特許 7509596 加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-24

(45)【発行日】2024-07-02

(54)【発明の名称】加工装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 7/00 20060101AFI20240625BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240625BHJP

   B24B 7/04 20060101ALI20240625BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20240625BHJP

   B24B 47/04 20060101ALI20240625BHJP

   B23Q 7/08 20060101ALI20240625BHJP

   B23Q 7/03 20060101ALI20240625BHJP

   B23Q 7/04 20060101ALI20240625BHJP

【ＦＩ】

B24B7/00 A

H01L21/68 A

B24B7/04 A

B24B41/06 A

B24B47/04

B23Q7/08 B

B23Q7/03 A

B23Q7/04 A

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2020126287

(22)【出願日】2020-07-27

(65)【公開番号】P2022023378

(43)【公開日】2022-02-08

【審査請求日】2023-05-25

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】宮本 弘樹

(72)【発明者】

【氏名】山中 聡

(72)【発明者】

【氏名】万波 秀年

【審査官】山村 和人

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１１－００８８７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－０６５１２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１１２２２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２５３２２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０６８１５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０１－２０５４３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０５５０８０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ ７／００ － ７／３０

Ｂ２４Ｂ ４１／０６

Ｂ２４Ｂ ４７／０４

Ｂ２３Ｑ ７／００ － ７／１８

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

保持面によって板状ワークを保持する保持手段と、該保持面に保持された板状ワークを加工する加工手段と、上下方向に隙間をあけて複数の板状ワークを収容する棚を備えたカセットを載置するためのカセットステージと、該カセットから取り出された板状ワークを仮置きするための仮置き手段と、該仮置き手段に仮置きされた板状ワークを該保持面に搬送する搬送手段とを少なくとも備える加工装置であって、
該保持手段は、該保持面を複数備え、
該仮置き手段は、
エアを介して板状ワークの下面を非接触で支持するために、上面に開口されたエアを噴出するエア噴射孔を有し、該カセットから該搬送手段の受取位置に延在するエアスライダと、
該エアを介して該エアスライダの該上面に非接触で支持された板状ワークを、該エアスライダの延在方向に移動させるスライダ移動手段と、
該スライダ移動手段によって移動される板状ワークを、該搬送手段の該受取位置で停止させる停止手段と、を備え、該保持面の数に対応した枚数の板状ワークを仮置き可能であって、
該搬送手段は、複数の板状ワークを同時に保持する保持部と、該保持部を該仮置き手段から該保持手段へ移動させる移動手段と、を備え、
該移動手段による該保持部の一度の動作で、該仮置き手段に仮置きされた複数の板状ワークを受け取り、該保持面に搬送する、
加工装置。

【請求項2】

該スライダ移動手段は、該エアスライダの上面に非接触で支持された板状ワークの一方の縁を該受取位置に向かって押す押し機構を備え、
該停止手段は、該受取位置に移動した板状ワークの他方の縁に接触するストッパを備える、
請求項１記載の加工装置。

【請求項3】

該エア噴射孔は、
エアが板状ワークの移動方向に流れるように、該エアスライダの該上面に垂直な方向から移動方向に傾けられて形成された、該スライダ移動手段としての順エア噴射孔と、
該順エア噴射孔から噴射されたエアの流れに対向するエアの流れを形成するように、該順エア噴射孔の傾きに対向する傾きを有する、該停止手段としての逆エア噴射孔と、を備え、
該仮置き手段は、該順エア噴射孔から噴射されたエアの流れと該逆エア噴射孔から噴射されたエアの流れとによって、該受取位置において非接触で板状ワークを支持する、
請求項１記載の加工装置。

【請求項4】

該仮置き手段は、
板状ワークの両側下面を各々支持する第１レールおよび第２レールからなる第１レーンと、
該第１レーンに並列に配置され、該第１レーンと同様に板状ワークの両側下面を各々支持する第３レールおよび第４レールからなる第２レーンと、
該第１レーンおよび該第２レーンの幅を同時に調整可能な幅変更手段とを備え、
該幅変更手段は、
該第２レールに形成される第１雌ネジと、
該第３レールに該第１雌ネジと同じネジピッチで形成される第２雌ネジと、
該第４レールに該第１雌ネジおよび該第２雌ネジのネジピッチの倍のネジピッチで形成される第３雌ネジと、
該第１雌ネジおよび該第２雌ネジに螺合する第１雄ネジ、および、該第３雌ネジに螺合する第２雄ネジを備えるシャフトと、
該シャフトを回転させる回転手段と、を備え、
該幅変更手段は、該シャフトを回転させることによって、該第１レーンおよび該第２レーンの幅を同時に広げたり狭めたりすることを可能とする、
請求項１記載の加工装置。

【請求項5】

保持面によって板状ワークを保持する保持手段と、該保持面に保持された板状ワークを加工する加工手段と、上下方向に隙間をあけて複数の板状ワークを収容する棚を備えたカセットを載置するためのカセットステージと、該カセットから取り出された板状ワークを仮置きするための仮置き手段と、該仮置き手段に仮置きされた板状ワークを該保持面に搬送する搬送手段とを少なくとも備える加工装置であって、
該保持手段は、該保持面を複数備え、
該仮置き手段は、
無端ベルトと、
該無端ベルトを回転させる回転機構と、
該無端ベルトの上面に載置された板状ワークが該搬送手段の受取位置に到達したことを検知する先端センサと、を備え、該保持面の数に対応した枚数の板状ワークを仮置き可能であって、
該搬送手段は、複数の板状ワークを同時に保持する保持部と、該保持部を該仮置き手段から該保持手段へ移動させる移動手段と、を備え、
該移動手段による該保持部の一度の動作で、該仮置き手段に仮置きされた複数の板状ワークを受け取り、該保持面に搬送する、
加工装置。

【請求項6】

該カセットから取り出され該無端ベルトに載置された板状ワークを検知する検知センサと、
板状ワークの大きさ（長さおよび幅）を設定する大きさ設定部と、
該回転機構によって該無端ベルトを所定の回転速度で回転させる速度設定部と、
該大きさ設定部によって大きさが設定された板状ワークが、該速度設定部によって設定された速度で移動した際に、該検知センサが該板状ワークの一方の縁を検知してから他方の縁を検知するまでの時間を測定する時間測定部と、
該速度設定部によって設定された該無端ベルトの回転速度と該時間測定部によって測定された時間とから、板状ワークの大きさを算出する大きさ算出部と、
該大きさ設定部によって設定された板状ワークの大きさよりも、該大きさ算出部によって算出された板状ワークの大きさが小さいときに、該無端ベルトの回転に不具合があると判断する判断部と、をさらに備える、
請求項５記載の加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

板状ワークをチャックテーブルの保持面によって保持し、板状ワークの上面を研削砥石によって研削する研削装置では、たとえば特許文献１に開示のように、保持面によって、複数の板状ワークを保持することがある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０２０－５５０８０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

保持面によって複数の板状ワークを保持する際には、搬送手段によって、板状ワークが、一枚ずつ、複数回にわたって、保持面に搬送される。

【0005】

そのため、研削加工にかかる研削加工時間よりも、研削後の板状ワークを保持面から搬出すること、および、その後に保持面に新たな板状ワークを搬入することにかかる搬送時間の方が長くなる。このため、研削手段に待ち時間が生じている。

【0006】

したがって、本発明の目的は、研削手段の待ち時間を短縮して、研削装置における生産性を向上させることにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の加工装置（本加工装置）は、保持面によって板状ワークを保持する保持手段と、該保持面に保持された板状ワークを加工する加工手段と、上下方向に隙間をあけて複数の板状ワークを収容する棚を備えたカセットを載置するためのカセットステージと、該カセットから取り出された板状ワークを仮置きするための仮置き手段と、該仮置き手段に仮置きされた板状ワークを該保持面に搬送する搬送手段とを少なくとも備える加工装置であって、該保持手段は、該保持面を複数備え、該仮置き手段は、エアを介して板状ワークの下面を非接触で支持するために、上面に開口されたエアを噴出するエア噴射孔を有し、該カセットから該搬送手段の受取位置に延在するエアスライダと、該エアを介して該エアスライダの該上面に非接触で支持された板状ワークを、該エアスライダの延在方向に移動させるスライダ移動手段と、該スライダ移動手段によって移動される板状ワークを、該搬送手段の該受取位置で停止させる停止手段と、を備え、該保持面の数に対応した枚数の板状ワークを仮置き可能であって、該搬送手段は、複数の板状ワークを同時に保持する保持部と、該保持部を該仮置き手段から該保持手段へ移動させる移動手段と、を備え、該移動手段による該保持部の一度の動作で、該仮置き手段に仮置きされた複数の板状ワークを受け取り、該保持面に搬送する。

【0009】

この場合、該スライダ移動手段は、該エアスライダの上面に非接触で支持された板状ワークの一方の縁を該受取位置に向かって押す押し機構を備えてもよく、該停止手段は、該受取位置に移動した板状ワークの他方の縁に接触するストッパを備えてもよい。

【0010】

あるいは、該エア噴射孔は、エアが板状ワークの移動方向に流れるように、該エアスライダの該上面に垂直な方向から移動方向に傾けられて形成された、該スライダ移動手段としての順エア噴射孔と、該順エア噴射孔から噴射されたエアの流れに対向するエアの流れを形成するように、該順エア噴射孔の傾きに対向する傾きを有する、該停止手段としての逆エア噴射孔と、を備えてもよく、該仮置き手段は、該順エア噴射孔から噴射されたエアの流れと該逆エア噴射孔から噴射されたエアの流れとによって、該受取位置において非接触で板状ワークを支持してもよい。

【0011】

あるいは、該仮置き手段は、板状ワークの両側下面を各々支持する第１レールおよび第２レールからなる第１レーンと、該第１レーンに並列に配置され、該第１レーンと同様に板状ワークの両側下面を各々支持する第３レールおよび第４レールからなる第２レーンと、該第１レーンおよび該第２レーンの幅を同時に調整可能な幅変更手段とを備えてもよく、該幅変更手段は、該第２レールに形成される第１雌ネジと、該第３レールに該第１雌ネジと同じネジピッチで形成される第２雌ネジと、該第４レールに該第１雌ネジおよび該第２雌ネジのネジピッチの倍のネジピッチで形成される第３雌ネジと、該第１雌ネジおよび該第２雌ネジに螺合する第１雄ネジ、および、該第３雌ネジに螺合する第２雄ネジを備えるシャフトと、該シャフトを回転させる回転手段と、を備えてもよく、該幅変更手段は、該シャフトを回転させることによって、該第１レーンおよび該第２レーンの幅を同時に広げたり狭めたりすることを可能とするように構成されていてもよい。

【0012】

また、他の本加工装置は、保持面によって板状ワークを保持する保持手段と、該保持面に保持された板状ワークを加工する加工手段と、上下方向に隙間をあけて複数の板状ワークを収容する棚を備えたカセットを載置するためのカセットステージと、該カセットから取り出された板状ワークを仮置きするための仮置き手段と、該仮置き手段に仮置きされた板状ワークを該保持面に搬送する搬送手段とを少なくとも備える加工装置であって、該保持手段は、該保持面を複数備え、該仮置き手段は、無端ベルトと、該無端ベルトを回転させる回転機構と、該無端ベルトの上面に載置された板状ワークが該搬送手段の受取位置に到達したことを検知する先端センサと、を備え、該保持面の数に対応した枚数の板状ワークを仮置き可能であって、該搬送手段は、複数の板状ワークを同時に保持する保持部と、該保持部を該仮置き手段から該保持手段へ移動させる移動手段と、を備え、該移動手段による該保持部の一度の動作で、該仮置き手段に仮置きされた複数の板状ワークを受け取り、該保持面に搬送する。

【0013】

この場合、本加工装置は、該カセットから取り出され該無端ベルトに載置された板状ワークを検知する検知センサと、板状ワークの大きさ（長さおよび幅）を設定する大きさ設定部と、該回転機構によって該無端ベルトを所定の回転速度で回転させる速度設定部と、該大きさ設定部によって大きさが設定された板状ワークが、該速度設定部によって設定された速度で移動した際に、該検知センサが該板状ワークの一方の縁を検知してから他方の縁を検知するまでの時間を測定する時間測定部と、該速度設定部によって設定された該無端ベルトの回転速度と該時間測定部によって測定された時間とから、板状ワークの大きさを算出する大きさ算出部と、該大きさ設定部によって設定された板状ワークの大きさよりも、該大きさ算出部によって算出された板状ワークの大きさが小さいときに、該無端ベルトの回転に不具合があると判断する判断部と、をさらに備えてもよい。

【発明の効果】

【0014】

本加工装置では、搬送手段は、移動手段による保持部の一度の動作で、仮置き手段に仮置きされた複数の板状ワークを受け取り、保持面に搬送する。すなわち、本加工装置では、仮置き手段に仮り置きされている複数の板状ワークを、１回の搬送動作で保持面に搬送することができる。したがって、保持面に複数の板状ワークを搬送するための搬送時間を短縮することが可能である。これにより、本加工装置では、加工手段の待ち時間を短縮することができる。したがって、加工装置は、高い生産性を有することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の一実施形態にかかる加工装置の構成を示す斜視図である。

【図2】仮置き手段の位置を示す斜視図である。

【図3】搬送手段の構成を示す斜視図である。

【図4】カセット搬送機構の構成を示す斜視図である。

【図5】仮置き手段の構成を示す斜視図である。

【図6】図６（ａ）は、第２レールに形成される第１雌ネジを示す断面図であり、図６（ｂ）は、第４レールに形成される第３雌ネジの構成を示す断面図である。

【図7】図７（ａ）は、第１案内レールの構成を示す斜視図であり、図７（ｂ）は、第１案内レールの構成を示す説明図である。

【図8】第１案内レール上を板状ワークが移動する様子を示す説明図である。

【図9】第１レール上を板状ワークが移動する様子を示す説明図である。

【図10】第１レール上において板状ワークが停止する様子を示す説明図である。

【図11】第１ベルト移動手段の構成を示す斜視図である。

【図12】第２ベルト移動手段の構成を示す斜視図である。

【図13】仮置き手段の他の例を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

図１に示すように、本実施形態にかかる加工装置１は、粗研削部１０、仕上げ研削部３０および制御部７を備え、制御部７による制御によって、粗研削部１０および仕上げ研削部３０により、四角形の板状ワーク２を研削加工するものである。

【0017】

加工装置１は、第１の装置ベース３と、第１の装置ベース３の後方（＋Ｙ方向側）に配置された第２の装置ベース５とを有している。第１の装置ベース３上では、板状ワーク２の搬出入等が行われる。第２の装置ベース５上では、粗研削部１０または仕上げ研削部３０によって、板状ワーク２が加工される。

【0018】

第１の装置ベース３の正面側（－Ｙ方向側）には、カセットステージ４０およびストッカー５０が設けられている。カセットステージ４０には、加工前の板状ワーク２が収容されているカセット４１が載置されている。ストッカー５０には、加工前の板状ワーク２が収容されている同様のカセット４１が、複数、載置されることが可能である。

【0019】

カセット４１は、上下方向に隙間をあけて複数の板状ワーク２を収容する棚を備えている。各棚に一枚ずつ、板状ワーク２が収容されている。

【0020】

カセット４１は、＋Ｙ方向側を向く開口を有している。この開口の＋Ｙ方向側には、ロボット１５５が配設されている。ロボット１５５は、加工後の板状ワーク２を、図示しない加工済みワーク収容用のカセットに搬入（収納）する。

【0021】

また、ロボット１５５は、カセット４１から加工前の板状ワーク２を取り出して、図２に示す仮置き手段２００に載置する。仮置き手段２００は、図１に示すように、カセットステージ４０の＋Ｙ方向側の、破線によって示す仮置き空間１９０に備えられている。仮置き手段２００は、カセット４１から取り出された板状ワーク２を仮置きするために用いられる。

【0022】

また、図１に示すように、仮置き空間１９０の＋Ｙ方向側における第２の装置ベース５上には、粗研削部１０および仕上げ研削部３０が配置されている。

【0023】

粗研削部１０は、板状ワーク２を保持するための第１チャックテーブル１３を備えている。第１チャックテーブル１３は、板状ワーク２を保持するための保持手段の一例であり、板状ワーク２を吸引保持する２つの第１保持面１２を備えている。各第１保持面１２は、図示しない吸引源に連通されて、１枚の板状ワーク２を吸引保持することが可能である。したがって、本実施形態では、第１チャックテーブル１３は、２つの第１保持面１２によって、２枚の板状ワーク２を同時に保持することが可能である。

【0024】

第１チャックテーブル１３は、第１保持面１２によって板状ワーク２を吸引保持した状態で、第１保持面１２の中心を通りＺ軸方向に延在する中心軸を中心として、回転可能である。

【0025】

また、第２の装置ベース５上の後方（＋Ｙ方向側）には、第１のコラム１４が立設されている。そして、粗研削部１０は、第１のコラム１４の前面に、板状ワーク２を粗研削する粗研削手段１５、および、粗研削手段１５を研削送りする粗研削送り手段１１を備えている。

【0026】

粗研削手段１５は、第１保持面１２に保持された板状ワーク２を加工する加工手段の一例であり、粗研削砥石１８を有する粗研削ホイール１７を備えている。粗研削砥石１８は、加工具の一例であり、比較的大きな砥粒を含む砥石である。

【0027】

さらに、粗研削部１０は、第１チャックテーブル１３の第１保持面１２に保持された板状ワーク２の厚みを測定するための第１ハイトゲージ１９を備えている。

【0028】

粗研削部１０では、粗研削手段１５のスピンドル１６の回転により回転される粗研削砥石１８によって、第１チャックテーブル１３の第１保持面１２に保持された板状ワーク２が粗研削される。

【0029】

仕上げ研削部３０は、板状ワーク２を保持するための第２チャックテーブル３３を備えている。第２チャックテーブル３３は、板状ワーク２を保持するための保持手段の一例であり、板状ワーク２を吸引保持する２つの第２保持面３２を備えている。各第２保持面３２は、図示しない吸引源に連通されて、１枚の板状ワーク２を吸引保持することが可能である。したがって、本実施形態では、第２チャックテーブル３３は、２つの第２保持面３２によって、２枚の板状ワーク２を同時に保持することが可能である。

【0030】

第２チャックテーブル３３は、第２保持面３２によって板状ワーク２を吸引保持した状態で、第２保持面３２の中心を通りＺ軸方向に延在する中心軸を中心として、回転可能である。

【0031】

また、第２の装置ベース５上の後方では、第１のコラム１４に隣接するように、第２のコラム３４が立設されている。そして、仕上げ研削部３０は、第２のコラム３４の前面に、板状ワーク２を仕上げ研削する仕上げ研削手段３５、および、仕上げ研削手段３５を研削送りする仕上げ研削送り手段３１を備えている。

【0032】

仕上げ研削手段３５は、第２保持面３２に保持された板状ワーク２を加工する加工手段の一例であり、仕上げ研削砥石３８を有する仕上げ研削ホイール３７を備えている。仕上げ研削砥石３８は、加工具の一例であり、比較的に小さな砥粒を含む砥石である。

【0033】

さらに、仕上げ研削部３０は、第２チャックテーブル３３の第２保持面３２に保持された板状ワーク２の厚みを測定するための第２ハイトゲージ３９を備えている。

【0034】

仕上げ研削部３０では、仕上げ研削手段３５のスピンドル３６の回転により回転される仕上げ研削砥石３８によって、第２チャックテーブル３３の第２保持面３２に保持された板状ワーク２が仕上げ研削される。

【0035】

また、第２の装置ベース５上の粗研削部１０と仕上げ研削部３０との間における、図１において破線によって示す搬送空間１７０には、粗研削部１０用および仕上げ研削部３０用の、２台の搬送手段１００（図３参照）が備えられている。

【0036】

図３には、粗研削部１０用の搬送手段１００を示している。粗研削部１０用の搬送手段１００は、Ｙ軸方向に延びる筐体板１０１における－Ｘ方向側の面に、複数の板状ワーク２を同時に保持する保持部１４０、および、保持部１４０を移動させる移動手段１１０を備えている。

【0037】

移動手段１１０は、保持部１４０をＺ軸方向に移動させるためのＺ軸移動機構１３０、ならびに、保持部１４０およびＺ軸移動機構１３０をＹ軸方向に移動させるためのＹ軸移動機構１２０を備えている。

【0038】

Ｙ軸移動機構１２０は、Ｙ軸方向に延びる一対のガイドレール１２３、ガイドレール１２３に載置されたＹ軸テーブル１２４、ガイドレール１２３と平行に延びるボールネジ１２５、および、ボールネジ１２５を回転させる駆動モータ１２６を含んでいる。

【0039】

一対のガイドレール１２３は、Ｙ軸方向に平行に、筐体板１０１の前面に配置されている。Ｙ軸テーブル１２４は、一対のガイドレール１２３上に、これらのガイドレール１２３に沿ってスライド可能に設置されている。Ｙ軸テーブル１２４上には、Ｚ軸移動機構１３０および保持部１４０が取り付けられている。

【0040】

ボールネジ１２５は、Ｙ軸テーブル１２４に設けられたナット部（図示せず）に螺合されている。駆動モータ１２６は、ボールネジ１２５の一端部に連結されており、ボールネジ１２５を回転駆動する。ボールネジ１２５が回転駆動されることで、Ｙ軸テーブル１２４、Ｚ軸移動機構１３０および保持部１４０が、ガイドレール１２３に沿って、Ｙ軸方向に移動する。

【0041】

Ｚ軸移動機構１３０は、取付板１３４、Ｚ軸方向に延びるガイドレール１３１、ガイドレール１３１上に載置されたＺ軸テーブル１３２、ガイドレール１３１と平行に延びるボールネジ１３３、ボールネジ１３３を回転させる駆動モータ１３５、および、保持部１４０を支持するアーム１３７を備えている。

【0042】

取付板１３４は、Ｙ軸テーブル１２４の側面に配置されている。ガイドレール１３１は、Ｚ軸方向に平行に、取付板１３４に配置されている。Ｚ軸テーブル１３２は、ガイドレール１３１上に、ガイドレール１３１に沿ってスライド可能に設置されている。Ｚ軸テーブル１３２上には、アーム１３７が取り付けられている。

【0043】

ボールネジ１３３は、Ｚ軸テーブル１３２に設けられたナット部（図示せず）に螺合されている。駆動モータ１３５は、ボールネジ１３３の一端部に連結されており、ボールネジ１３３を回転駆動する。ボールネジ１３３が回転駆動されることで、Ｚ軸テーブル１３２、アーム１３７、および、アーム１３７に支持された保持部１４０が、ガイドレール１３１に沿って、Ｚ軸方向に移動する。

【0044】

アーム１３７は、Ｚ軸テーブル１３２に取り付けられており、Ｘ軸方向に沿って延びている。

【0045】

保持部１４０は、アーム１３７の先端に支持されている。保持部１４０は、アーム１３７を挟むように設けられた一対の保持板１４１、および、保持板１４１に２つずつ備えられた吸引パッド１４２を有している。吸引パッド１４２は、図示しない吸引源に連通されることにより、板状ワーク２を吸引保持することが可能である。このように、保持部１４０は、１枚の保持板１４１に複数の吸引パッド１４２を備えているため、複数の板状ワーク２を同時に保持することが可能である。

【0046】

粗研削部１０用の搬送手段１００では、複数の板状ワーク２を保持している保持部１４０を、移動手段１１０によって、仮置き手段２００から第１チャックテーブル１３へ移動させる。すなわち、この搬送手段１００は、仮置き手段２００に仮置きされた２枚の板状ワーク２を、保持部１４０によって同時に保持し、粗研削部１０の第１チャックテーブル１３の２つの第１保持面１２に搬送および載置する。
このように、搬送手段１００では、移動手段１１０による保持部１４０の一度の動作で、仮置き手段２００に仮置きされた複数の板状ワーク２を受け取り、第１保持面１２に搬送する。

【0047】

また、粗研削部１０用の搬送手段１００は、粗研削後、第１チャックテーブル１３における２つの第１保持面１２上の２枚の板状ワーク２を、保持部１４０によって同時に保持し、図１に示す中継手段１５２の中継テーブル１５４に載置する。

【0048】

中継テーブル１５４は、粗研削部１０によって粗研削された板状ワーク２を、仕上げ研削部３０に移動させるために用いられる。中継テーブル１５４は、２枚の板状ワーク２を載置できるように構成されている。中継手段１５２は、さらに、中継テーブル１５４をＸ軸方向に移動させるための移動手段１５３を有している。

【0049】

搬送手段１００によって板状ワーク２が中継手段１５２の中継テーブル１５４に載置される際には、中継手段１５２は、移動手段１５３によって、中継テーブル１５４を、－Ｘ方向側の粗研削位置（図１に示されている中継テーブル１５４の位置）に配置しておく。

【0050】

粗研削後の板状ワーク２が中継手段１５２の中継テーブル１５４に載置された後、中継手段１５２は、移動手段１５３によって、中継テーブル１５４を、－Ｘ方向側の粗研削位置から、＋Ｘ方向側の仕上げ研削位置に移動させる。

【0051】

また、搬送空間１７０には、粗研削部１０用の搬送手段１００の＋Ｘ方向側に、仕上げ研削部３０用の搬送手段１００も配置されている。仕上げ研削部３０用の搬送手段１００は、図３に示した粗研削部１０用の搬送手段１００の構成において、筐体板１０１の＋Ｘ方向側の面に、保持部１４０、および、搬送手段１００（Ｚ軸移動機構１３０およびＹ軸移動機構１２０）を有するように構成されている。

【0052】

仕上げ研削部３０用の搬送手段１００は、＋Ｘ方向側の仕上げ研削位置にある中継テーブル１５４に仮置きされた２枚の板状ワーク２を、保持部１４０によって同時に保持し、仕上げ研削部３０の第２チャックテーブル３３における２つの第２保持面３２に搬送および載置する。

【0053】

また、仕上げ研削部３０用の搬送手段１００は、仕上げ研削後、第２チャックテーブル３３における２つの第２保持面３２上の２枚の板状ワーク２を、保持部１４０によって同時に保持し、図１に示す洗浄手段１５６のスピンナテーブル１５７に搬送する。

【0054】

洗浄手段１５６は、板状ワーク２を洗浄するスピンナ洗浄ユニットである。洗浄手段１５６は、板状ワーク２を保持するスピンナテーブル１５７、および、スピンナテーブル１５７に向けて洗浄水および乾燥エアを噴射するノズル１５８を備えている。スピンナテーブル１５７は、２枚の板状ワーク２を同時に保持できるように構成されている。

【0055】

洗浄手段１５６では、板状ワーク２を保持したスピンナテーブル１５７が回転するとともに、板状ワーク２に向けて洗浄水が噴射されて、板状ワーク２がスピンナ洗浄される。その後、板状ワーク２に乾燥エアが吹き付けられて、板状ワーク２が乾燥される。

【0056】

洗浄手段１５６によって洗浄された板状ワーク２は、ロボット１５５により、加工済みワーク収容用のカセットに搬入される。

【0057】

また、図１に示すように、ストッカー５０は、直方体状のテーブル５１、および、テーブル５１とカセット４１との間に介在されるアダプタプレート５２を備えている。カセット４１は、このアダプタプレート５２の上面に載置される。

【0058】

また、テーブル５１上には、各アダプタプレート５２に対応する３つのプレート支持部５１１が設けられている。アダプタプレート５２は、テーブル５１上において、これら３つのプレート支持部５１１によって位置決めされる。

【0059】

また、加工装置１には、図１に示すように、ロボット１５５の上部に、破線によって示すカセット搬送空間１８０が設けられている。このカセット搬送空間１８０には、ストッカー５０に載置されたカセット４１をカセットステージ４０に搬送するための、図４に示すカセット搬送機構６０が備えられている。

【0060】

カセット搬送機構６０は、カセット４１を載せたアダプタプレート５２を支持する支持機構７０と、支持機構７０をストッカー５０とカセットステージ４０との間で移動させる移動機構６２と、を備えている。

【0061】

移動機構６２は、カセット搬送機構６０のＸ軸方向に延びる筐体板６１の前面（－Ｙ方向側の面）に設けられている。移動機構６２は、支持機構７０をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構６３、および支持機構７０をＺ軸方向に移動させるＺ軸移動機構６４を備えている。

【0062】

カセット搬送機構６０は、テーブル５１のアダプタプレート５２上に配置されているカセット４１を、支持機構７０によってアダプタプレート５２ごと支持し、移動機構６２によってカセットステージ４０に搬送するように構成されている。

【0063】

ここで、上述した仮置き手段２００の構成について説明する。仮置き手段２００は、第１チャックテーブル１３（第２チャックテーブル３３）の有する第１保持面１２（第２保持面３２）の数に対応した枚数の板状ワーク２を仮置き可能なように構成されている。したがって、本実施形態では、仮置き手段２００には、２枚の板状ワーク２を仮置きすることが可能である。

【0064】

図５に示すように、仮置き手段２００は、基台２０１、第１レーン２１１および第２レーン２１５を含む仮置きレーン部２１０、第１レーン２１１および第２レーン２１５の幅を調整するための幅変更手段２２０、仮置きレーン部２１０のＸ軸方向における位置を調整する位置調整手段２３０、および、仮置きレーン部２１０に板状ワーク２を案内する案内レーン２５０を備えている。

【0065】

位置調整手段２３０は、幅変更手段２２０および仮置きレーン部２１０を支持しており、これらのＸ軸方向における位置を調整する。

【0066】

位置調整手段２３０は、Ｘ軸方向に延びる一対のガイドレール２３１、ガイドレール２３１に載置されたＸ軸テーブル２３４、ガイドレール２３１と平行に延びるボールネジ２３２、および、ボールネジ２３２を回転させる駆動モータ２３３を含んでいる。

【0067】

一対のガイドレール２３１は、Ｘ軸方向に平行に、基台２０１上に配置されている。Ｘ軸テーブル２３４は、一対のガイドレール２３１上に、これらのガイドレール２３１に沿ってスライド可能に設置されている。Ｘ軸テーブル２３４上には、幅変更手段２２０および仮置きレーン部２１０が配置されている。

【0068】

ボールネジ２３２は、Ｘ軸テーブル２３４に設けられたナット部（図示せず）に螺合されている。駆動モータ２３３は、ボールネジ２３２の一端部に連結されており、ボールネジ２３２を回転駆動する。ボールネジ２３２が回転駆動されることで、Ｘ軸テーブル２３４、幅変更手段２２０および仮置きレーン部２１０が、ガイドレール２３１に沿って、Ｘ軸方向に移動する。これにより、幅変更手段２２０および仮置きレーン部２１０におけるＸ軸方向での位置を調整することができる。

【0069】

仮置きレーン部２１０における＋Ｙ方向側は、搬送手段１００（図３参照）の受取位置、すなわち、第１チャックテーブル１３に搬送するための板状ワーク２を搬送手段１００が受け取る位置に配置されている。仮置きレーン部２１０は、第１レーン２１１および第２レーン２１５を備えている。第１レーン２１１は、板状ワーク２の両側下面を各々支持する第１レール２１２および第２レール２１３を有している。これら第１レール２１２および第２レール２１３は、Ｙ軸方向に沿って延びている。

【0070】

第２レーン２１５は、第１レーン２１１と並列に配置されている。第２レーン２１５は、第１レーン２１１と同様に、板状ワーク２の両側下面を各々支持する第３レール２１６および第４レール２１７を有している。これら第３レール２１６および第４レール２１７は、Ｙ軸方向に沿って延びている。
また、本実施形態では、第２レーン２１５の第３レール２１６は、第１レーン２１１の第２レール２１３に隣接している。

【0071】

幅変更手段２２０は、第１レーン２１１および第２レーン２１５の幅を同時に調整可能なように構成されている。幅変更手段２２０は、位置調整手段２３０のＸ軸テーブル２３４の上面に取り付けられた基台２２９を有している。幅変更手段２２０は、さらに、基台２２９上に、Ｘ軸方向に延びる一対のガイドレール２２１を備えている。

【0072】

一対のガイドレール２２１は、Ｘ軸方向に平行に、基台２０１上に配置されている。この一対のガイドレール２２１上に、第１レーン２１１の第２レール２１３、ならびに、第２レーン２１５の第３レール２１６および第４レール２１７が、ガイドレール２２１に沿ってスライド可能に設置されている。
なお、第１レール２１２は、基台２２９上に固定されている。

【0073】

さらに、幅変更手段２２０は、図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、第２レール２１３に形成される第１雌ネジ２４１と、第３レール２１６に形成される第２雌ネジ２４２と、第４レール２１７に形成される第３雌ネジ２４３とを含んでいる。

【0074】

図６（ａ）に示すように、第３レール２１６の第１雌ネジ２４１および第２レール２１３の第２雌ネジ２４２は、同じネジピッチＰ１を有している。また、図６（ｂ）に示すように、第４レール２１７の第３雌ネジ２４３は、ネジピッチＰ１の倍のネジピッチＰ２を有している（Ｐ２＝２×Ｐ１）。

【0075】

また、図５に示すように、幅変更手段２２０は、ガイドレール２２１と平行に延びるシャフト２２２を有している。シャフト２２２は、第２レール２１３の第１雌ネジ２４１および第３レール２１６の第２雌ネジ２４２に螺合するネジピッチＰ１を有する第１雄ネジ２２５、ならびに、第４レール２１７の第３雌ネジ２４３に螺合するネジピッチＰ２を有する第２雄ネジ２２６を備えている。

【0076】

シャフト２２２は、第１雄ネジ２２５を第２レール２１３の第１雌ネジ２４１および第３レール２１６の第２雌ネジ２４２に螺合させるとともに、第２雄ネジ２２６を第４レール２１７の第３雌ネジ２４３に螺合させた状態で、ガイドレール２２１と平行に延びている。

【0077】

また、幅変更手段２２０は、基台２２９上に固定された、シャフト２２２の末端を回転可能に支持するシャフト支持部２２４、および、シャフト２２２の先端に取り付けられた、シャフト２２２を回転させる駆動モータ２３３を備えている。駆動モータ２３３は、回転手段の一例である。

【0078】

幅変更手段２２０は、駆動モータ２３３によってシャフト２２２を回転させることによって、第１レーン２１１および第２レーン２１５の幅を、同時に、広げたり狭めたりすることを可能とする。

【0079】

すなわち、第２レール２１３の第１雌ネジ２４１および第３レール２１６の第２雌ネジ２４２は、たとえば、シャフト２２２が時計回りに回転する場合、第２レール２１３および第３レール２１６がガイドレール２２１に沿って－Ｘ方向に移動するように、シャフト２２２の第１雄ネジ２２５に螺合されている。

【0080】

また、第４レール２１７の第３雌ネジ２４３も、シャフト２２２が時計回りに回転する場合、第４レール２１７がガイドレール２２１に沿って－Ｘ方向に移動するように、シャフト２２２の第２雄ネジ２２６に螺合されている。ここで、第４レールの第３雌ネジ２４３は、第１雌ネジ２４１および第２雌ネジ２４２のネジピッチＰ１の倍のネジピッチＰ２を有している。このため、シャフト２２２における時計回りの回転に伴う第４レール２１７の移動距離は、第２レール２１３および第３レール２１６の倍の距離となる。

【0081】

したがって、シャフト２２２が時計回りに回転すると、第２レール２１３が－Ｘ方向に移動するため、この第２レール２１３と固定されている第１レール２１２との間の距離である第１レーン２１１の幅が広がる。

【0082】

なお、シャフト２２２における時計回りの回転に伴って、第２レール２１３に隣接している第３レール２１６が、第２レール２１３と同じ距離だけ－Ｘ方向に移動する。このため、第２レール２１３の移動が阻害されることはない。また、第４レール２１７は、第３レール２１６の倍の距離を移動する。このため、第３レール２１６と第４レール２１７との間の距離である第２レーン２１５の幅も、第１レーン２１１と同様に広がる。

【0083】

また、シャフト２２２を反時計回りに回転させることにより、第２レール２１３および第３レール２１６が＋Ｘ方向に移動するとともに、第４レール２１７が、第２レール２１３および第３レール２１６の倍の距離を移動する。このため、第１レーン２１１および第２レーン２１５の幅が、同様に狭められる。

【0084】

このようにして、幅変更手段２２０では、シャフト２２２を回転させることによって、第１レーン２１１および第２レーン２１５の幅を、板状ワーク２の幅に合わせて、広げたり狭めたりすることが可能となっている。
なお、板状ワーク２の大きさ（長さおよび幅）を設定（取得）する大きさ設定部を備えていてもよい。

【0085】

案内レーン２５０は、カセット４１の＋Ｙ方向側に位置している（図２参照）。案内レーン２５０は、図５に示すように、板状ワーク２の両側下面を各々支持する第１案内レール２５１および第２案内レール２５２を有している。これら第１案内レール２５１および第２案内レール２５２は、Ｙ軸方向に沿って延びている。案内レーン２５０の幅である第１案内レール２５１と第２案内レール２５２との間の距離は、第１レーン２１１および第２レーン２１５の幅と同様となるように構成されている。

【0086】

本実施形態では、位置調整手段２３０は、仮置きレーン部２１０における第１レーン２１１および第２レーン２１５のいずれかが、案内レーン２５０と整合する（すなわち、Ｙ軸方向に沿って案内レーン２５０と並ぶ）ように、仮置きレーン部２１０のＸ軸方向における位置を調整する。

【0087】

ここで、仮置き手段２００におけるレールの構造について説明する。仮置き手段２００における第１レール２１２、第２レール２１３、第３レール２１６、第４レール２１７、第１案内レール２５１および第２案内レール２５２は、雌ネジの有無およびピッチを除いて、同様の構成を有している。そこで、これらのレールの構造について、第１案内レール２５１を例に説明する。

【0088】

図７（ａ）に示すように、第１案内レール２５１は、略Ｌ字状の断面を有しており、板状ワーク２の側端部を支持するための段部２６０を有している。そして、図７（ａ）および図７（ｂ）に示すように、この段部２６０の上面には、第１エア噴射孔２６１が開口されている。第１エア噴射孔２６１は、エア源２７０に連通されて、エアを噴出することが可能なように構成されている。第１案内レール２５１によって支持される板状ワーク２は、第１エア噴射孔２６１から噴出されるエアにより、段部２６０から浮いた状態となる。したがって、第１案内レール２５１は、エアを介して板状ワーク２の下面を非接触で支持するように構成されている。

【0089】

したがって、第１案内レール２５１および第２案内レール２５２を含む案内レーン２５０と、第１レール２１２および第２レール２１３を含む第１レーン２１１および第３レール２１６および第４レール２１７を含む第２レーン２１５とは、エアを介して板状ワーク２の下面を非接触で支持するために、上面に開口されたエアを噴出する第１エア噴射孔２６１を有し、カセット４１から搬送手段１００の受取位置に延在するエアスライダとして機能する。

【0090】

また、図５に示すように、案内レーン２５０における第１案内レール２５１と第２案内レール２５２との間には、押し機構２５３が設けられている。

【0091】

押し機構２５３は、エアを介して第１案内レール２５１および第２案内レール２５２の段部２６０の上面に非接触で支持された板状ワーク２の一方の縁（－Ｙ方向側の縁）を、搬送手段１００の受取位置を含む仮置きレーン部２１０に向かって、＋Ｙ方向に向けて押すように構成されている。

【0092】

押し機構２５３によって押されることにより、板状ワーク２は、案内レーン２５０、および、案内レーン２５０に整合している第１レーン２１１あるいは第２レーン２１５上を、エアによって浮いた状態で、＋Ｙ方向に向かって、搬送手段１００の受取位置にまで移動する。

【0093】

この押し機構２５３は、エアを介して第１案内レール２５１および第２案内レール２５２の段部２６０の上面に非接触で支持された板状ワーク２を、案内レーン２５０の延在方向に移動させるスライダ移動手段の一例である。

【0094】

また、図５に示すように、第１レーン２１１および第２レーン２１５における＋Ｙ方向側の端部には、ストッパ２１４が設けられている。ストッパ２１４は、搬送手段１００の受取位置にある仮置きレーン部２１０の＋Ｙ方向側に移動した板状ワーク２の他方の縁（＋Ｙ方向側の縁）に接触するように構成されている。これにより、ストッパ２１４は、＋Ｙ方向に向かって移動している板状ワーク２を、仮置きレーン部２１０（第１レーン２１１あるいは第２レーン２１５）における搬送手段１００の受取位置で停止させる。

【0095】

このストッパ２１４は、スライダ移動手段としての押し機構２５３によって移動される板状ワーク２を、搬送手段１００の受取位置で停止させる停止手段の一例である。

【0096】

本実施形態における加工動作では、まず、制御部７が、仮置き手段２００の幅変更手段２２０を制御して、加工される板状ワーク２の幅に合わせて、第１レーン２１１および第２レーン２１５の幅を変更する。また、制御部７は、案内レーン２５０の幅も、同様に変更する。

【0097】

次に、制御部７が、仮置き手段２００の位置調整手段２３０を制御することにより、仮置きレーン部２１０における第１レーン２１１を、案内レーン２５０と整合させる。また、制御部７は、仮置き手段２００における各レールの第１エア噴射孔２６１をエア源２７０に連通させて、第１エア噴射孔２６１からエアを噴射させる。

【0098】

さらに、制御部７は、図１に示したロボット１５５を制御して、カセット４１から加工前の板状ワーク２を取り出して、図５に示した仮置き手段２００の案内レーン２５０上（第１案内レール２５１および第２案内レール２５２上）に載置する。板状ワーク２は、案内レーン２５０の－Ｙ方向側に、エアによって浮いた状態で支持される。

【0099】

制御部７は、押し機構２５３を制御して、案内レーン２５０に支持されている板状ワーク２を、＋Ｙ方向に向けて押し、＋Ｙ方向に向かって移動させる。移動されている板状ワーク２は、第１レーン２１１におけるストッパ２１４に接触して停止する。このようにして、第１レーン２１１が、搬送手段１００の受取位置において、板状ワーク２を支持する。

【0100】

その後、制御部７は、幅変更手段２２０を制御することにより、仮置きレーン部２１０における第２レーン２１５を案内レーン２５０と整合させる。その後、制御部７は、ロボット１５５および押し機構２５３を制御して、上述と同様に、第２レーン２１５によって、もう１つの板状ワーク２を支持する。
このようにして、仮置き手段２００の仮置きレーン部２１０における搬送手段１００の受取位置に、２枚の板状ワーク２が支持される。

【0101】

次に、制御部７は、図３に示した粗研削部１０用の搬送手段１００を制御して、仮置き手段２００の仮置きレーン部２１０における搬送手段１００の受取位置に仮置きされた２枚の板状ワーク２を、保持部１４０によって同時に保持し、図１に示した粗研削部１０の第１チャックテーブル１３の２つの第１保持面１２に搬送および載置する。その後、制御部７は、粗研削部１０を制御して、板状ワーク２に対する粗研削を実施する。

【0102】

さらに、制御部７は、粗研削部１０用の搬送手段１００を制御して、粗研削された板状ワーク２を中継手段１５２に搬送し、仕上げ研削部３０用の搬送手段１００を制御して、２枚の板状ワーク２を、仕上げ研削部３０の第２チャックテーブル３３の２つの第２保持面３２に搬送および載置する。その後、制御部７は、仕上げ研削部３０を制御して、板状ワーク２に対する仕上げ研削を実施する。

【0103】

次に、制御部７は、仕上げ研削部３０用の搬送手段１００を制御して、仕上げ研削された２枚の板状ワーク２を、洗浄手段１５６に同時に搬送する。さらに、制御部７は、洗浄手段１５６を制御して、２枚の板状ワーク２を、洗浄手段１５６によって同時に洗浄する。その後、制御部７は、ロボット１５５を制御して、洗浄された板状ワーク２を、加工済みワーク収容用のカセットに搬入する。

【0104】

以上のように、本実施形態では、搬送手段１００は、移動手段１１０による保持部１４０の一度の動作で、仮置き手段２００に仮置きされた複数の板状ワーク２を受け取り、粗研削部１０の第１保持面１２に搬送する。すなわち、本実施形態では、仮置き手段２００に仮り置きされている複数の板状ワーク２を、１回の搬送動作で第１保持面１２に搬送することができる。したがって、第１保持面１２に複数の板状ワーク２を搬送するための搬送時間を短縮することが可能である。

【0105】

これにより、本実施形態では、粗研削部１０の待ち時間を短縮することができる。したがって、加工装置１の生産性を高めることが可能である。

【0106】

また、本実施形態では、仮置き手段２００において、仮置きレーン部２１０の第１レーン２１１および第２レーン２１５と案内レーン２５０とが、エアを介して板状ワーク２の下面を非接触で支持するエアスライダとして機能する。そして、案内レーン２５０に載置された板状ワーク２を、非接触で、搬送手段１００の受取位置を含む仮置きレーン部２１０に移動させ、仮置きレーン部２１０によって非接触で支持することが可能である。

【0107】

このように、本実施形態では、板状ワーク２を、非接触で仮置きレーン部２１０に移動させて支持するため、板状ワーク２の下面を傷付けることを抑制することができる。

【0108】

また、本実施形態では、仮置き手段２００の幅変更手段２２０によって、第１レーン２１１および第２レーン２１５の幅を、加工される板状ワーク２の幅に合わせて、任意に変更することが可能である。したがって、本実施形態では、加工される板状ワーク２が変更された場合でも、変更後の板状ワーク２の幅に対応するように、第１レーン２１１および第２レーン２１５の幅を素早く変更することができる。

【0109】

なお、本実施形態の仮置き手段２００は、板状ワーク２を案内レーン２５０の延在方向に移動させるスライダ移動手段の一例として、押し機構２５３を有している。また、仮置き手段２００は、押し機構２５３によって移動される板状ワーク２を搬送手段１００の受取位置で停止させる停止手段の一例として、ストッパ２１４を備えている。

【0110】

これに関し、仮置き手段２００は、押し機構２５３およびストッパ２１４を備えなくてもよい。この場合、たとえば、仮置き手段２００における第１レール２１２、第２レール２１３、第３レール２１６、第４レール２１７、第１案内レール２５１および第２案内レール２５２が、図５に示した第１エア噴射孔２６１とは異なる形状のエア噴射孔を有している。

【0111】

これに関し、案内レーン２５０の第１案内レール２５１（および第２案内レール２５２）は、その段部２６０に、図８に示すように、第２エア噴射孔２６２を有している。第２エア噴射孔２６２は、板状ワーク２の移動方向である＋Ｙ方向にエアが流れるように、第１案内レール２５１の段部２６０の上面に垂直な方向から、移動方向である＋Ｙ方向に傾けられて形成されている。第２エア噴射孔２６２は、スライダ移動手段としての順エア噴射孔の一例である。

【0112】

案内レーン２５０上（第１案内レール２５１および第２案内レール２５２上）に載置された板状ワーク２は、図８に矢印３０１によって示すように第２エア噴射孔２６２から噴射されるエアによって、矢印３０２によって示すように、浮いた状態で＋Ｙ方向に移動される。このように、第２エア噴射孔２６２は、板状ワーク２を案内レーン２５０の延在方向に移動させるスライダ移動手段として機能する。

【0113】

また、仮置きレーン部２１０の第１レール２１２（第２レール２１３、第３レール２１６および第４レール２１７）は、その段部２６０の－Ｙ方向側に、図９に示すように、第１案内レール２５１と同様の第２エア噴射孔２６２を備えている。さらに、第１レール２１２は、その段部２６０の＋Ｙ方向側に、第３エア噴射孔２６３を有している。第１レール２１２における第３エア噴射孔２６３の形成位置は、搬送手段１００の受取位置に含まれている。

【0114】

第３エア噴射孔２６３は、第２エア噴射孔２６２から噴射されたエアの流れに対向するエアの流れを形成するように、第２エア噴射孔２６２の傾きに対向する傾きを有するように、－Ｙ方向に傾けられて形成されている。第３エア噴射孔２６３は、停止手段としての逆エア噴射孔の一例である。

【0115】

案内レーン２５０から移動されてきた板状ワーク２は、図９に示すように、第１保持面１２に形成されている第１エア噴射孔２６１から噴射されるエアにより、第１レール２１２の段部２６０の上面において、浮いた状態で＋Ｙ方向に移動される。そして、板状ワーク２は、第１レール２１２の＋Ｙ方向側に到達すると、図１０に示すように、第２エア噴射孔２６２および第３エア噴射孔２６３の双方から噴射されるエアを受ける。

【0116】

第２エア噴射孔２６２から噴射されるエアは、矢印３０１によって示すように、＋Ｙ方向の成分を有している。一方、第３エア噴射孔２６３から噴射されるエアは、矢印３０３によって示すように、－Ｙ方向の成分を有している。このため、第１レール２１２の＋Ｙ方向側において、第２エア噴射孔２６２および第３エア噴射孔２６３の双方から噴射されるエアを受けた板状ワーク２は、この位置で停止する。

【0117】

このように、この構成では、仮置き手段２００は、第２エア噴射孔２６２から噴射されたエアの流れと第３エア噴射孔２６３から噴射されたエアの流れとによって、搬送手段１００の受取位置である第３エア噴射孔２６３の形成位置において、非接触で板状ワーク２を支持する。

【0118】

この構成では、仮置き手段２００に、図５に示した押し機構２５３およびストッパ２１４を設ける必要がない。このため、仮置き手段２００のコストを低減することができる。また、板状ワーク２を移動および停止させるために、板状ワーク２に部材を接触させる必要がない。このため、板状ワーク２が損傷することを、より効果的に抑制することができる。

【0119】

また、本実施形態では、仮置き手段２００における第１レール２１２、第２レール２１３、第３レール２１６、第４レール２１７、第１案内レール２５１および第２案内レール２５２に、板状ワーク２を支持するために、第１エア噴射孔２６１，第２エア噴射孔２６２あるいは第３エア噴射孔２６３が形成されている。

【0120】

これに関し、仮置き手段２００は、これらのエア噴射孔を各レールに有することに代えて、図１１に示すような第１ベルト移動手段４００、および、図１２に示すような、第２ベルト移動手段４２０を備えてもよい。

【0121】

第１ベルト移動手段４００は、案内レーン２５０、第１レーン２１１および第２レーン２１５のそれぞれのレールの間に設けられており、各レーンにおいて板状ワーク２を移動させるために設けられている。

【0122】

図１１に示す第１ベルト移動手段４００は、第１レーン２１１および第２レーン２１５のレールの間に備えられる。第１ベルト移動手段４００は、無端ベルト４０１と、無端ベルト４０１を回転させる回転機構４０２と、を備えている。

【0123】

回転機構４０２は、無端ベルト４０１における－Ｙ方向側の端部に設けられた従動ローラ４０３、無端ベルト４０１における＋Ｙ方向側の端部に設けられた駆動ローラ４０４、駆動ローラ４０４を駆動するモータ４０５、および、モータ４０５の回転角度を検出するエンコーダ４０７を備えている。

【0124】

無端ベルト４０１は、その内周面に接触するように設けられた従動ローラ４０３および駆動ローラ４０４に架橋されている。また、無端ベルト４０１は、その上面に板状ワーク２が載置されるように構成されている。

【0125】

このような構成を有する第１ベルト移動手段４００では、案内レーン２５０から搬送されてきた板状ワーク２が、無端ベルト４０１の上面における－Ｙ方向側の端部に載置される。この状態で、モータ４０５によって駆動ローラ４０４が回転されることにより、無端ベルト４０１が、駆動ローラ４０４および従動ローラ４０３を回転軸として回転する。これにより、無端ベルト４０１の上面に載置された板状ワーク２が、矢印３１０によって示すように、－Ｙ方向側に搬送される。

【0126】

また、第１ベルト移動手段４００は、図１１に示すように、先端センサ４１０を備えている。先端センサ４１０は、無端ベルト４０１の上面に載置された板状ワーク２の先端（＋Ｙ方向側の端部）が、無端ベルト４０１（第１レーン２１１および第２レーン２１５）の＋Ｙ方向側の端部に到達したことを検知する。これにより、先端センサ４１０は、板状ワーク２が、搬送手段１００の受取位置に到達したことを検知する。

【0127】

たとえば、制御部７は、板状ワーク２を搬送手段１００の受取位置に運ぶために、モータ４０５によって、板状ワーク２を載せた無端ベルト４０１を回転させる。制御部７は、板状ワーク２の先端が無端ベルト４０１の＋Ｙ方向側の端部に到達したことを先端センサ４１０が検知したときに、板状ワーク２が受取位置に到達したと判断して、モータ４０５の駆動を停止して、無端ベルト４０１の回転を停止する。

【0128】

また、図１２に示す第２ベルト移動手段４２０は、案内レーン２５０のレールの間に備えられる。第２ベルト移動手段４２０は、先端センサ４１０と同様に、無端ベルト４０１および回転機構４０２を備えている。第２ベルト移動手段４２０においては、図１に示したロボット１５５によってカセット４１から取り出された板状ワーク２が、無端ベルト４０１の上面における－Ｙ方向側に載置される。この状態で、モータ４０５によって駆動ローラ４０４が回転されることにより、無端ベルト４０１が、駆動ローラ４０４および従動ローラ４０３を回転軸として回転する。これにより、無端ベルト４０１の上面に載置された板状ワーク２が、矢印３１０によって示すように、＋Ｙ方向側に、第１レーン２１１あるいは第２レーン２１５に向けて搬送される。

【0129】

また、第２ベルト移動手段４２０は、図１２に示すように、板状ワーク２を検知する検知センサ４２１を備えている。検知センサ４２１は、カセット４１から取り出され無端ベルト４０１に載置された板状ワーク２を検知する。具体的には、検知センサ４２１は、無端ベルト４０１によって＋Ｙ方向に向けて搬送されている板状ワーク２の一方の縁（一方の端部）および他方の縁（他方の端部）を検知する。

【0130】

また、第２ベルト移動手段４２０は、板状ワーク２の大きさ（長さおよび幅）を設定（取得）する大きさ設定部４２７、および、無端ベルト４０１の回転速度を設定（制御）する速度設定部４２５を備えている。

【0131】

大きさ設定部４２７は、たとえば制御部７（図１参照）からの情報に基づいて、カセット４１から取り出されて無端ベルト４０１上に載置されているカセット４１の大きさを取得する。速度設定部４２５は、たとえば制御部７からの指示に基づいて、無端ベルト４０１の回転速度を制御する。すなわち、速度設定部４２５は、回転機構４０２によって、無端ベルト４０１を所定の回転速度で回転させる。

【0132】

さらに、第２ベルト移動手段４２０は、検知センサ４２１に接続された時間測定部４２３、板状ワーク２の大きさを算出する大きさ算出部４２９、および、不具合の有無を判断する判断部４３１を備えている。

【0133】

時間測定部４２３は、大きさ設定部４２７によって大きさが設定され、無端ベルト４０１に載置された板状ワーク２が、速度設定部４２５によって設定された速度で移動した際に、検知センサ４２１が板状ワーク２の一方の縁を検知してから他方の縁を検知するまでの時間を測定する。

【0134】

大きさ算出部４２９は、速度設定部４２５によって設定された無端ベルト４０１の回転速度と、時間測定部４２３によって測定された時間とから、無端ベルト４０１上に載置されて移動されている板状ワーク２の大きさを算出する。

【0135】

判断部４３１は、大きさ設定部４２７によって設定（取得）された板状ワーク２の大きさと、大きさ算出部４２９によって算出された板状ワーク２の大きさとを比較する。判断部４３１は、大きさ設定部４２７によって設定された板状ワーク２の大きさよりも、大きさ算出部４２９によって算出された板状ワーク２の大きさが小さいときに、無端ベルト４０１の回転に不具合があると判断する。

【0136】

これに関し、無端ベルト４０１は、弛みが発生することによって正常に回転しないことがある。上記の構成では、判断部４３１によって、無端ベルト４０１が正常に回転しているか否かを確認することができる。

【0137】

なお、判断部４３１は、大きさ設定部４２７によって設定された板状ワーク２の大きさと、大きさ算出部４２９によって算出された板状ワーク２の大きさとが、互いに異なるとき（前者が後者よりもが小さいとき、および、前者が後者よりも大きいとき）に、無端ベルト４０１の回転に不具合があると判断してもよい。

【0138】

また、図１１に示した第１ベルト移動手段４００に、図１２に示した検知センサ４２１、時間測定部４２３、速度設定部４２５、大きさ設定部４２７、大きさ算出部４２９および判断部４３１が設けられてもよい。この場合、第１ベルト移動手段４００によって移動されている板状ワーク２を用いて、第１ベルト移動手段４００の無端ベルト４０１の回転に不具合があるか否かを判断することが可能となる。

【0139】

また、図１２に示した第２ベルト移動手段４２０を用いる場合、ロボット１５５の代わりに、第２ベルト移動手段４２０の無端ベルト４０１によって、カセット４１から板状ワーク２を取り出してもよい。この構成では、無端ベルト４０１の－Ｙ方向側の端部を、カセット４１に収容されている板状ワーク２の下に進入させて、この端部によって板状ワーク２の下面を支持する。この状態で無端ベルト４０１を回転させることにより、カセット４１に収容されている板状ワーク２が、カセット４１から引き出される。

【0140】

また、本実施形態にかかる加工装置１は、図５に示した仮置き手段２００に代えて、図１３に示すような仮置き手段５００を備えていてもよい。この仮置き手段５００は、仮置き手段２００の構成において、仮置きレーン部２１０に、第１レーン２１１および第２レーン２１５に加えて、第３レーン２０５を有する構成を有している。
なお、仮置き手段５００も、図５に示した案内レーン２５０を有している。図１３では、案内レーン２５０の図示を省略している。

【0141】

第３レーン２０５は、第１レーン２１１の＋Ｘ方向側に、第１レーン２１１に隣接するように配置されている。第３レーン２０５は、板状ワーク２の両側下面を各々支持する第５レール２０６および第６レール２０７を有している。これら第５レール２０６および第６レール２０７は、Ｙ軸方向に沿って延びている。
また、第３レーン２０５の第５レール２０６は、第１レーン２１１の第１レール２１２に隣接している。

【0142】

また、この構成では、幅変更手段２２０の一対のガイドレール２２１上に、第１レーン２１１の第１レール２１２および第２レール２１３、第２レーン２１５の第３レール２１６および第４レール２１７、ならびに、第３レーン２０５の第５レール２０６および第６レール２０７が、ガイドレール２２１に沿ってスライド可能に設置されている。
つまり、第１レーン２１１の幅を変更するために第１レール２１２の移動方向と同一方向に第３レーン２０５を移動させるとともに第３レーン２０５の幅を変更する。また、第１レーン２１１の幅を変更するために第２レール２１３の移動方向と同一方向に第２レーン２１５を移動させるとともに第２レーン２１５の幅を変更する。

【0143】

したがって、第１レール２１２の移動方向に反する方向に第２レール２１３を移動してシャフト２２２を回転させると、第１レーン２１１、第２レーン２１５、および第３レーン２０５の幅が、同時に変更される。

【0144】

さらに、この構成では、第２レール２１３に第１雌ネジ２４１が形成され、第３レール２１６に第２雌ネジ２４２が形成され、第４レール２１７に第３雌ネジ２４３が形成されている。上述したように、第２レール２１３の第１雌ネジ２４１および第３レール２１６の第２雌ネジ２４２は、ネジピッチＰ１を有している（図６（ａ）参照）。一方、第４レール２１７の第３雌ネジ２４３は、この構成では、ネジピッチＰ１の３倍のネジピッチＰ３を有している（Ｐ３＝３×Ｐ１）。

【0145】

また、この構成では、第１レール２１２に第１逆雌ネジ２４５が形成され、第５レール２０６に第２逆雌ネジ２４６が形成され、第６レール２０７に第３逆雌ネジ２４７が形成されている。第１レール２１２の第１逆雌ネジ２４５および第５レール２０６の第２逆雌ネジ２４６は、ネジピッチＰ１を有している。第６レール２０７の第３逆雌ネジ２４７は、ネジピッチＰ１の３倍のネジピッチＰ３を有している。なお、第１逆雌ネジ２４５、第２逆雌ネジ２４６、および第３逆雌ネジ２４７は、第１雌ネジ２４１とは逆向きの雌ネジである。

【0146】

また、この構成でも、シャフト２２２は、第２レール２１３の第１雌ネジ２４１および第３レール２１６の第２雌ネジ２４２に螺合するネジピッチＰ１を有する第１雄ネジ２２５、ならびに、第４レール２１７の第３雌ネジ２４３に螺合するネジピッチＰ３を有する第２雄ネジ２２６を備えている。さらに、シャフト２２２は、第１レール２１２の第１逆雌ネジ２４５および第５レール２０６の第２逆雌ネジ２４６に螺合するネジピッチＰ１の第１逆雄ネジ２２７と、第６レール２０７の第３逆雌ネジ２４７に螺合するネジピッチＰ３の第２逆雄ネジ２２８とを有している。

【0147】

シャフト２２２は、第１雄ネジ２２５を第２レール２１３の第１雌ネジ２４１および第３レール２１６の第２雌ネジ２４２に螺合させ、第２雄ネジ２２６を第４レール２１７の第３雌ネジ２４３に螺合させ、第１逆雄ネジ２２７を第１レール２１２の第１逆雌ネジ２４５および第５レール２０６の第２逆雌ネジ２４６に螺合させ、第２逆雄ネジ２２８を第６レール２０７の第３逆雌ネジ２４７に螺合させた状態で、ガイドレール２２１と平行に延びている。

【0148】

この構成では、第２レール２１３の第１雌ネジ２４１および第３レール２１６の第２雌ネジ２４２は、たとえば、シャフト２２２が時計回りに回転する場合、第２レール２１３および第３レール２１６がガイドレール２２１に沿って－Ｘ方向に移動するように、シャフト２２２の第１雄ネジ２２５に螺合されている。

【0149】

また、第４レール２１７の第３雌ネジ２４３も、シャフト２２２が時計回りに回転する場合、第４レール２１７がガイドレール２２１に沿って－Ｘ方向に移動するように、シャフト２２２の第２雄ネジ２２６に螺合されている。ここで、第４レール２１７の第３雌ネジ２４３は、第１雌ネジ２４１および第２雌ネジ２４２のネジピッチＰ１の３倍のネジピッチＰ３を有している。このため、シャフト２２２における時計回りの回転に伴う第４レール２１７の移動距離は、第２レール２１３および第３レール２１６の３倍の距離となる。

【0150】

また、第１レール２１２の第１逆雌ネジ２４５および第５レール２０６の第２逆雌ネジ２４６は、シャフト２２２が時計回りに回転する場合、第１レール２１２および第５レール２０６がガイドレール２２１に沿って＋Ｘ方向に移動するように、シャフト２２２の第１逆雄ネジ２２７に螺合されている。

【0151】

したがって、シャフト２２２が時計回りに回転すると、第２レール２１３が－Ｘ方向に移動する一方、第１レール２１２が＋Ｘ方向に移動する。このため、これら第２レール２１３と第１レール２１２との間の距離である第１レーン２１１の幅が広がる。また、第４レール２１７は、－Ｘ方向に、第３レール２１６の３倍の距離を移動する。このため、第３レール２１６と第４レール２１７との間の距離である第２レーン２１５の幅も、第１レーン２１１と同様に広がる。

【0152】

さらに、この構成では、第６レール２０７の第３逆雌ネジ２４７も、シャフト２２２が時計回りに回転する場合、第６レール２０７がガイドレール２２１に沿って＋Ｘ方向に移動するように、シャフト２２２の第２逆雄ネジ２２８に螺合されている。ここで、第６レール２０７の第３逆雌ネジ２４７は、ネジピッチＰ１の３倍のネジピッチＰ３を有している。このため、シャフト２２２の時計回りの回転に伴う第６レール２０７の＋Ｘ方向への移動距離は、第１レール２１２および第５レール２０６の３倍の距離となる。
このため、シャフト２２２における時計回りの回転に伴って、第６レール２０７が、＋Ｘ方向に、第５レール２０６の３倍の距離を移動する。したがって、この第６レール２０７と第５レール２０６との間の距離である第３レーン２０５の幅が、第１レーン２１１と同様に広がる。

【0153】

また、シャフト２２２を反時計回りに回転させることにより、第２レール２１３および第３レール２１６が＋Ｘ方向に移動するとともに、第４レール２１７が、第２レール２１３および第３レール２１６の３倍の距離を＋Ｘ方向に移動する。さらに、第１レール２１２および第５レール２０６が－Ｘ方向に移動するとともに、第６レール２０７が、第１レール２１２および第５レール２０６の３倍の距離を－Ｘ方向に移動する。このため、第１レーン２１１、第２レーン２１５および第３レーン２０５の幅が、同様に狭められる。

【0154】

このようにして、この構成においても、シャフト２２２を回転させることによって、第１レーン２１１、第２レーン２１５および第３レーン２０５の幅を、板状ワーク２の幅に合わせて、広げたり狭めたりすることが可能となっている。

【符号の説明】

【0155】

１：加工装置，２：板状ワーク，
３：第１の装置ベース，５：第２の装置ベース，７：制御部，
１０：粗研削部，１１：粗研削送り手段，１２：第１保持面，
１３：第１チャックテーブル，１５：粗研削手段，１８：粗研削砥石，
３０：仕上げ研削部，３１：仕上げ研削送り手段，３２：第２保持面，
３３：第２チャックテーブル，３５：仕上げ研削手段，３８：仕上げ研削砥石，
４０：カセットステージ，４１：カセット，
１８０：カセット搬送空間，６０：カセット搬送機構，
６１：筐体板，６２：移動機構，７０：支持機構，
１７０：搬送空間，１００：搬送手段，１０１：筐体板，１１０：移動手段，
１２０：Ｙ軸移動機構，１３０：Ｚ軸移動機構，
１４０：保持部，１４１：保持板，１４２：吸引パッド，
１５２：中継手段，１５３：移動手段，１５４：中継テーブル，
１５５：ロボット，
１９０：仮置き空間，２００：仮置き手段，
２０１：基台，２１０：仮置きレーン部，
２１１：第１レーン，２１２：第１レール，２１３：第２レール，
２１４：ストッパ，２５３：押し機構，
２１５：第２レーン，２１６：第３レール，２１７：第４レール，
２０５：第３レーン，２０６：第５レール，２０７：第６レール，
２５０：案内レーン，２５１：第１案内レール，２５２：第２案内レール，
２６０：段部，
２２５：第１雄ネジ，２２６：第２雄ネジ，
２２７：第１逆雄ネジ，２２８：第２逆雄ネジ，
２２０：幅変更手段，２２１：ガイドレール，２２２：シャフト，
２４１：第１雌ネジ，２４２：第２雌ネジ，２４３：第３雌ネジ，
２４５：第１逆雌ネジ，２４６：第２逆雌ネジ，２４７：第３逆雌ネジ
Ｐ１～３：ネジピッチ，
２２９：基台，２３０：位置調整手段，
２６１：第１エア噴射孔，２６２：第２エア噴射孔，２６３：第３エア噴射孔，
２７０：エア源，
４００：第１ベルト移動手段，４０１：無端ベルト，
４０２：回転機構，４０３：従動ローラ，４０４：駆動ローラ，
４０５：モータ，４０７：エンコーダ，４１０：先端センサ，
４２０：第２ベルト移動手段，４２１：検知センサ，
４２３：時間測定部，４２５：速度設定部，４２７：設定部，
４２９：算出部，４３１：判断部，
５００：仮置き手段

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】