特許 7511995 着脱用具

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-06-28

(45)【発行日】2024-07-08

(54)【発明の名称】着脱用具

(51)【国際特許分類】

   B25B 11/00 20060101AFI20240701BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20240701BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20240701BHJP

   B23Q 3/10 20060101ALI20240701BHJP

   B23Q 3/08 20060101ALI20240701BHJP

   H01L 21/683 20060101ALN20240701BHJP

【ＦＩ】

B25B11/00 Z

H01L21/78 N

B24B41/06 Z

B23Q3/10

B23Q3/08 A

H01L21/68 P

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2021024304

(22)【出願日】2021-02-18

(65)【公開番号】P2022126305

(43)【公開日】2022-08-30

【審査請求日】2023-12-27

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(74)【代理人】

【識別番号】100185959

【弁理士】

【氏名又は名称】今藤 敏和

(72)【発明者】

【氏名】添島 義勝

(72)【発明者】

【氏名】新 剛資

【審査官】須中 栄治

(56)【参考文献】

【文献】特開昭６１－０８６１８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５３－０１８３８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－１５２５３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－１７７６９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１６／０１４４４７２（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０２２－０９８８７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２１－１１１６８０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２５Ｂ１１／００－１１／０２

Ｈ０１Ｌ２１／３０１；２１／７８

Ｂ２４Ｂ４１／００－５１／００

Ｂ２３Ｑ３／００－３／１５４

Ｂ２３Ｑ３／１６－３／１８

Ｈ０１Ｌ２１／６７－２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を保持する保持面を表面に備える円板状のチャックテーブルと該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットとを備えた加工装置から該チャックテーブルを着脱する際に用いられる着脱用具であって、
該チャックテーブルの第１外周領域に嵌合する第１嵌合部と、
該チャックテーブルの中心からみて該第１外周領域とは反対に位置する該チャックテーブルの第２外周領域に嵌合する第２嵌合部と、
一端部の下面側に該第１嵌合部の上部が固定され、かつ、該第２嵌合部に向かって延在する第１本体部と、
一端部の下面側に該第２嵌合部の上部が固定され、かつ、該第１本体部の一部が挿入され又は一部が該第１本体部に挿入される第２本体部と、
該第１本体部に固定されている持ち手部と、を備え、
該第１嵌合部は、該第１外周領域に嵌合した状態で、該チャックテーブルの側面と対面する第１嵌合面と、該チャックテーブルの下面と対面する第２嵌合面と、を有し、
該第２嵌合部は、該第２外周領域に嵌合した状態で、該チャックテーブルの側面と対面する第３嵌合面と、該チャックテーブルの下面と対面する第４嵌合面と、を有し、
該第１本体部と該第２本体部とは、該第１嵌合面と該第３嵌合面との間隔が該チャックテーブルの径と等しい嵌合位置と、該第２嵌合面の該第１嵌合面から遠い側の端と該第４嵌合面の該第３嵌合面から遠い側の端との間隔が該チャックテーブルの径よりも長い退避位置と、のいずれかに該第１嵌合部及び該第２嵌合部を位置付けることができるように連結されている着脱用具。

【請求項2】

該第１本体部と該第２本体部とは、該第１嵌合部及び該第２嵌合部が該嵌合位置に位置付けられた場合及び該退避位置に位置付けられた場合の双方において、該第１嵌合部及び該第２嵌合部を互いに接近させる方向に該第１本体部及び該第２本体部を付勢するバネによって連結されている請求項１に記載の着脱用具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被加工物を保持する保持面を表面に備える円板状のチャックテーブルとチャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットとを備えた加工装置からチャックテーブルを着脱する際に用いられる着脱用具に関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）及びＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）等の半導体デバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このチップは、一般的に、表面に多数の半導体デバイスが形成されたウェーハ等の被加工物を分割することで製造される。

【0003】

被加工物の分割は、例えば、クリーンルーム内に置かれた加工装置（例えば、切削装置又はレーザ加工装置）を用いて行われる。このような加工装置は、一般的に、被加工物が置かれる表面側に負圧を生じさせて被加工物を吸引保持するチャックテーブルを有する（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開平１１－２５４２５９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

被加工物のサイズ及び加工条件は多岐にわたり、また、それらに応じて被加工物を加工するのに好適なチャックテーブルも変わる。そのため、加工装置においては、被加工物のサイズ及び加工条件等に応じて交換可能なようにチャックテーブルが設けられていることが多い。

【0006】

ただし、チャックテーブルは、被加工物の加工によって生じた加工屑及び／又は加工中に用いられる液体の付着等に起因して汚れることがある。そのため、クリーンルーム用手袋等を装着したオペレータが手作業でチャックテーブルを交換する際には、この手袋等も汚れることがある。

【0007】

また、チャックテーブルは、一般的に、重い構造物であるにもかかわらず、持ち手が設けられていない。そのため、手作業でチャックテーブルを運搬する際には、オペレータがチャックテーブルを落下させて破損させるおそれがある。

【0008】

他方、チャックテーブルに持ち手を設ける場合には、チャックテーブルが大きくなるとともにチャックテーブルが装着される加工装置の構造を変更する必要が生じるおそれがある。さらに、この場合には、チャックテーブルの持ち手が汚れるおそれもある。

【0009】

以上の点に鑑み、本発明の目的は、持ち手が設けられていないチャックテーブルをオペレータが手作業で加工装置から着脱する際に、クリーンルーム用手袋等を汚さず、かつ、安定した状態でチャックテーブルを着脱できる着脱用具を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明によれば、被加工物を保持する保持面を表面に備える円板状のチャックテーブルと該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットとを備えた加工装置から該チャックテーブルを着脱する際に用いられる着脱用具であって、該チャックテーブルの第１外周領域に嵌合する第１嵌合部と、該チャックテーブルの中心からみて該第１外周領域とは反対に位置する該チャックテーブルの第２外周領域に嵌合する第２嵌合部と、一端部の下面側に該第１嵌合部の上部が固定され、かつ、該第２嵌合部に向かって延在する第１本体部と、一端部の下面側に該第２嵌合部の上部が固定され、かつ、該第１本体部の一部が挿入され又は一部が該第１本体部に挿入される第２本体部と、該第１本体部に固定されている持ち手部と、を備え、該第１嵌合部は、該第１外周領域に嵌合した状態で、該チャックテーブルの側面と対面する第１嵌合面と、該チャックテーブルの下面と対面する第２嵌合面と、を有し、該第２嵌合部は、該第２外周領域に嵌合した状態で、該チャックテーブルの側面と対面する第３嵌合面と、該チャックテーブルの下面と対面する第４嵌合面と、を有し、該第１嵌合部は、該第１外周領域に嵌合した状態で、該チャックテーブルの側面と対面する第１嵌合面と、該チャックテーブルの下面と対面する第２嵌合面と、を有し、該第２嵌合部は、該第２外周領域に嵌合した状態で、該チャックテーブルの側面と対面する第３嵌合面と、該チャックテーブルの下面と対面する第４嵌合面と、を有し、該第１本体部と該第２本体部とは、該第１嵌合面と該第３嵌合面との間隔が該チャックテーブルの径と等しい嵌合位置と、該第２嵌合面の該第１嵌合面から遠い側の端と該第４嵌合面の該第３嵌合面から遠い側の端との間隔が該チャックテーブルの径よりも長い退避位置と、のいずれかに該第１嵌合部及び該第２嵌合部を位置付けることができるように連結されている着脱用具が提供される。

【0011】

さらに、本発明においては、該第１本体部と該第２本体部とは、該第１嵌合部及び該第２嵌合部が該嵌合位置に位置付けられた場合及び該退避位置に位置付けられた場合の双方において、該第１嵌合部及び該第２嵌合部を互いに接近させる方向に該第１本体部及び該第２本体部を付勢するバネによって連結されていることが好ましい。

【発明の効果】

【0012】

本発明の着脱用具を用いたチャックテーブルの着脱の際には、持ち手部と一体的に設けられた嵌合部がチャックテーブルの外周領域に嵌合した状態で、オペレータが持ち手部を掴んでチャックテーブルを加工装置から着脱する。これにより、クリーンルーム用手袋等を装着したオペレータが手作業でチャックテーブルを加工装置から着脱する際に、クリーンルーム用手袋等を汚さず、かつ、安定した状態でチャックテーブルを着脱できる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１は、加工装置の一例を模式的に示す斜視図である。

【図2】図２（Ａ）は、チャックテーブルの一例等を模式的に示す分解斜視図であり、図２（Ｂ）は、チャックテーブルの一例等を模式的に示す側面図である。

【図3】図３は、着脱用具の一例を模式的に示す斜視図である。

【図4】図４は、チャックテーブルに取り付けられた着脱用具の一例を模式的に示す斜視図である。

【図5】図５は、着脱用具の変形例を模式的に示す斜視図である。

【図6】図６は、チャックテーブルに取り付けられた着脱用具の変形例を模式的に示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、加工装置（切削装置）の一例を模式的に示す斜視図である。なお、図１に示されるＸ軸方向（前後方向）及びＹ軸方向（左右方向）は、水平面上において互いに直交する方向であり、また、Ｚ軸方向（上下方向）は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向（鉛直方向）である。

【0015】

図１に示される切削装置２は、基台４を有する。基台４の上側の角部には、カセット６ａが置かれるカセットテーブル６が設けられている。カセットテーブル６は、昇降機構（不図示）によって昇降可能である。なお、図１においては、カセットテーブル６に置かれたカセット６ａの輪郭が二点鎖線で示されている。

【0016】

カセット６ａには、複数の被加工物１が収容されている。被加工物１は、例えば、Ｓｉ（シリコン）、ＳｉＣ（炭化シリコン）又はＧａＮ（窒化ガリウム）等の半導体材料からなる円板状のウェーハである。被加工物１の表面には多数の半導体デバイスが形成されており、また、その裏面には被加工物１よりも径が長い円板状のダイシングテープ３が貼着されている。

【0017】

ダイシングテープ３は、例えば、可撓性を有するフィルム状の基材層と、この基材層と被加工物１との間に設けられた接着層（糊層）とを有する。また、ダイシングテープ３の被加工物１に貼着される面の外周領域には、被加工物１の径よりも内径が長いリングフレーム５が貼着されている。

【0018】

リングフレーム５は、例えば、アルミニウム又はステンレス鋼等の金属材料からなり、ダイシングテープ３が貼着されることによって中央の開口が塞がれる。そして、カセット６ａには、複数の被加工物１のそれぞれがダイシングテープ３を介してリングフレーム５と一体化された状態（フレームユニット１１の状態）で収容されている。

【0019】

基台４の上面のＹ軸方向においてカセットテーブル６と隣接する領域には、仮置きテーブル８が設けられている。仮置きテーブル８は、Ｙ軸方向に延在し、かつ、Ｘ軸方向において互いに接近又は離隔が可能な一対のガイドレール１０を有する。

【0020】

基台４の上面には、Ｙ軸方向に沿って一対のガイドレール１０の間をスライド可能な搬出ユニット１２が設けられている。搬出ユニット１２は、リングフレーム５を把持する機能を有する把持部をカセットテーブル６側に有する。

【0021】

カセット６ａに収容されたフレームユニット１１を搬出する際には、まず、搬出ユニット１２をＹ軸方向に沿ってスライドさせてカセット６ａに接近させる。次いで、搬出ユニット１２の把持部にリングフレーム５を把持させる。次いで、搬出ユニット１２をＹ軸方向に沿ってスライドさせてカセット６ａから離隔させる。

【0022】

これにより、カセット６ａからフレームユニット１１が仮置きテーブル８に引き出される。次いで、一対のガイドレール１０の双方がリングフレーム５に接触するまで一対のガイドレール１０を互いに接近させる。その結果、フレームユニット１１がＸ軸方向の所定の位置に位置付けられる。

【0023】

基台４の上面のＸ軸方向においてカセットテーブル６と隣接する領域には、Ｘ軸方向に延在する開口４ａが形成されている。開口４ａ内には、平板状のカバー１４と、カバー１４の移動に伴って伸縮する蛇腹状のカバー１６とが開口４ａを密閉するように設けられている。

【0024】

カバー１４の上方には、円板状のテーブルベース１８が配置されている。また、テーブルベース１８の上面には、円板状のチャックテーブル２０が交換可能な態様で装着されている。図２（Ａ）は、テーブルベース１８及びチャックテーブル２０等を模式的に示す分解斜視図であり、図２（Ｂ）は、テーブルベース１８及びチャックテーブル２０等を模式的に示す側面図である。

【0025】

チャックテーブル２０は、例えば、ステンレス鋼等の金属材料からなる枠体２０ａを有する。枠体２０ａは、円板状の底壁と、この底壁の外周領域から上方に向かって設けられている環状の側壁とを有し、この底壁及びこの側壁によって凹部が画定されている。この凹部にはセラミックス等からなる円板状のポーラス板２０ｂが固定されている。

【0026】

さらに、枠体２０ａの底壁の中央部には、厚さ方向に底壁を貫通する貫通孔が形成されている。すなわち、ポーラス板２０ｂの下面側は、この貫通孔を介して露出している。また、枠体２０ａの下面には、横断面が円状の溝２０ｃが設けられている。この溝２０ｃは、枠体２０ａの中心とテーブルベース１８の中心とを正確に重ねるため、すなわち、位置合わせのために利用される。

【0027】

テーブルベース１８は、円板状の基台部１８ａを有する。基台部１８ａの上面には、横断面が円状の第１凸部１８ｂが設けられている。第１凸部１８ｂの上面には、横断面が環状の第２凸部１８ｃが設けられている。なお、第２凸部１８ｃは、第１凸部１８ｂと同心円状に設けられている。

【0028】

また、第１凸部１８ｂの上面の第２凸部１８ｃよりも外側の領域には、横断面が円状の第３凸部１８ｄが設けられている。この第３凸部１８ｄは、上記の位置合わせに利用される。すなわち、チャックテーブル２０は、溝２０ｃに第３凸部１８ｄが挿入されることでテーブルベース１８に装着される。

【0029】

さらに、基台部１８ａ及び第１凸部１８ｂの中央部には、厚さ方向に基台部１８ａ及び第１凸部１８ｂを貫通する流路２２ａが設けられている。チャックテーブル２０がテーブルベース１８に装着されると、流路２２ａは、枠体２０ａに形成された貫通孔に連通する。

【0030】

テーブルベース１８の下部には、スピンドル２４の上部が固定されている。スピンドル２４の内部には、流路２２ａに連通する流路２２ｂが形成されている。この流路２２ｂは、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。

【0031】

そのため、チャックテーブル２０がテーブルベース１８に装着された状態で、この吸引源が動作すると、ポーラス板２０ｂの上面（チャックテーブル２０の保持面）側に負圧が発生する。これにより、チャックテーブル２０の保持面において、被加工物１（フレームユニット１１）を吸引保持することが可能になる。

【0032】

また、スピンドル２４の下端部は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されている。そのため、チャックテーブル２０がテーブルベース１８に装着された状態で、この回転駆動源を動作させると、チャックテーブル２０の中心を通るＺ軸方向に沿った直線を回転軸としてチャックテーブル２０及びテーブルベース１８が回転する。

【0033】

また、テーブルベース１８の上面の第１凸部１８ｂよりも外側の領域には、複数（例えば、４つ）のクランプ２６が設けられている。複数のクランプ２６は、基台部１８ａの周方向に沿って概ね等間隔に設けられ、リングフレーム５を把持する機能を有する。

【0034】

また、図１に示されるカバー１４，１６の下方には、テーブルベース１８及びテーブルベース１８に装着されたチャックテーブル２０をＸ軸方向に沿って移動させるＸ軸方向移動機構（不図示）が設けられている。このＸ軸方向移動機構は、搬入出位置と加工位置とのいずれかにチャックテーブル２０を位置付けることができる。

【0035】

搬入出位置は、チャックテーブル２０への被加工物１（フレームユニット１１）の搬入及びチャックテーブル２０からの被加工物１の搬出が行われる際のチャックテーブル２０の位置である。また、加工位置は、チャックテーブル２０に吸引保持された被加工物１の切削が行われる際のチャックテーブル２０の位置である。なお、図１においては、搬入出位置に位置付けられたチャックテーブル２０が示されている。

【0036】

仮置きテーブル８に置かれたフレームユニット１１は、搬送ユニット２８によってチャックテーブル２０に搬入される。搬送ユニット２８は、基台４の上面の開口４ａと仮置きテーブル８との間の領域から上方に突き出た軸部と、この軸部の上端部から水平方向に延在する腕部と、この腕部の先端部（軸部が接続する側とは反対側の端部）から下方に向かって設けられた保持部とを有する。

【0037】

なお、この軸部は、昇降できるようにエアシリンダ等の昇降機構（不図示）に連結されており、また、回転できるようにモータ等の回転駆動源に連結されている。また、この保持部は、リングフレーム５（フレームユニット１１）を吸引保持できるように配管（不図示）等を介してエジェクタ等の吸引源（不図示）に連結されている。

【0038】

仮置きテーブル８に置かれたフレームユニット１１をチャックテーブル２０に搬入する際には、まず、チャックテーブル２０を搬入出領域に位置付ける。次いで、仮置きテーブル８に置かれたフレームユニット１１のリングフレーム５を搬送ユニット２８の保持部に吸引保持させる。

【0039】

次いで、搬送ユニット２８の軸部を上昇させてから回転させることで、フレームユニット１１をチャックテーブル２０の上方に位置付ける。次いで、搬送ユニット２８の軸部を下降させてフレームユニット１１をチャックテーブル２０の保持面に置く。

【0040】

次いで、搬送ユニット２８の保持部によるリングフレーム５の吸引を止めてから搬送ユニット２８の軸部を上昇させる。これにより、フレームユニット１１がチャックテーブル２０に搬入される。

【0041】

チャックテーブル２０の搬入出位置から加工位置への移動経路の上方には、開口４ａを横切るように支持構造３０の一部が設けられている。この支持構造３０の一部には、チャックテーブル２０側を撮像する撮像ユニット３２が設けられている。

【0042】

撮像ユニット３２は、例えば、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサまたはＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサを備えるカメラである。撮像ユニット３２は、例えば、チャックテーブル２０に吸引保持された被加工物１を上方から撮像する。

【0043】

加工位置に位置付けられたチャックテーブル２０の上方には、チャックテーブル２０に吸引保持されたフレームユニット１１の被加工物１を切削する切削ユニット（加工ユニット）３４が設けられている。切削ユニット３４は、切削ブレード３６と、Ｙ軸方向に沿って延在し、かつ、先端部に切削ブレード３６が装着されるスピンドル３８とを備える。

【0044】

スピンドル３８の基端側には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。そのため、この回転駆動源を動作させると、Ｙ軸方向に沿った直線を回転軸として切削ブレード３６が回転する。切削ブレード３６は、例えば、アルミニウム等で形成された環状の基台と、この基台の外周領域に固定された環状の切り刃とを備える。この切り刃は、例えば、ダイヤモンド等の砥粒を樹脂又は金属等の結合材で固定することによって形成される。

【0045】

さらに、支持構造３０の内部には、切削ユニット３４をＹ軸方向に沿って移動させるＹ軸方向移動機構（不図示）及びＺ軸方向に沿って移動させるＺ軸方向移動機構（不図示）が設けられている。これらの移動機構は、チャックテーブル２０に吸引保持された被加工物１の所望の箇所に切削ブレード３６が接触するように切削ユニット３４を位置付けることができる。

【0046】

チャックテーブル２０に吸引保持された被加工物１の切削は、例えば、以下の順序で行われる。まず、撮像ユニット３２が被加工物１を撮像して被加工物１の切削予定ラインを特定する。次いで、この切削予定ラインがＸ軸方向と平行になるようにチャックテーブル２０を回転させ、かつ／又は、この切削予定ラインからみてＸ軸方向に切削ブレード３６が位置付けられるように切削ユニット３４をＹ軸方向に沿って移動させる。

【0047】

次いで、切削ブレード３６の下端が被加工物１の下面よりも低くなるように切削ユニット３４をＺ軸方向に沿って移動させる。次いで、切削ブレード３６を回転させながら、被加工物１のＸ軸方向における一端から他端までを切削ブレード３６が通り過ぎるようにチャックテーブル２０をＸ軸方向に沿って移動させる。これにより、被加工物１が切削予定ラインに沿って切削される。

【0048】

基台４の上面の仮置きテーブル８と支持構造３０との間の領域には開口４ｂが形成されており、開口４ｂには切削後の被加工物１（フレームユニット１１）を洗浄する洗浄ユニット４０が収容されている。洗浄ユニット４０は、フレームユニット１１を保持するスピンナテーブルを備えている。

【0049】

切削後のフレームユニット１１は、搬送ユニット４２によって洗浄ユニット４０に搬入される。搬送ユニット４２は、Ｙ軸方向に沿って移動可能なように支持構造３０に連結された腕部と、この腕部の先端部の下方に設けられた保持部とを有する。なお、この保持部は、昇降できるようにエアシリンダ等の昇降機構（不図示）を介して腕部に連結されており、かつ、リングフレーム５（フレームユニット１１）を吸引保持できるように配管（不図示）等を介してエジェクタ等の吸引源（不図示）に連結されている。

【0050】

チャックテーブル２０に吸引保持されたフレームユニット１１を洗浄ユニット４０に搬入する際には、まず、チャックテーブル２０を搬入出領域に位置付ける。次いで、搬送ユニット４２の保持部がフレームユニット１１のリングフレーム５に接触するように保持部を下降させる。

【0051】

次いで、チャックテーブル２０によるフレームユニット１１の吸引を止めてからリングフレーム５を搬送ユニット４２の保持部に吸引保持させる。次いで、搬送ユニット４２の保持部を上昇させてから、フレームユニット１１が洗浄ユニット４０の上方に位置付けられるように搬送ユニット４２をＹ軸方向に沿って移動させる。

【0052】

次いで、搬送ユニット４２の保持部を下降させてフレームユニット１１を洗浄ユニット４０のスピンナテーブルに置く。次いで、搬送ユニット４２の保持部によるリングフレーム５の吸引を止めてから保持部を上昇させる。これにより、フレームユニット１１が洗浄ユニット４０に搬入される。

【0053】

洗浄ユニット４０においては、スピンナテーブルを回転させながら被加工物１の表面に向けて洗浄用の流体（代表的には、水とエアーとを混合した混合流体）が噴射される。そして、洗浄ユニット４０で洗浄されたフレームユニット１１は、カセットテーブル６に載せられたカセット６ａに収容される。

【0054】

カセット６ａにフレームユニット１１を収容する際には、搬送ユニット２８を使用して洗浄ユニット４０から仮置きテーブル８にフレームユニット１１が搬送される。そして、搬送ユニット２８をカセット６ａに向けて移動させることで、フレームユニット１１がカセット６ａに押し入れられる。

【0055】

図３は、切削装置２のテーブルベース１８からチャックテーブル２０を着脱する際に用いられる着脱用具の一例を模式的に示す斜視図である。図３に示される着脱用具４４は、直方体状の第１本体部４６を有する。

【0056】

第１本体部４６は、互いに概ね平行な長方形状の第１面（上面）４６ａ及び第２面（下面）を有する。上面４６ａには、持ち手部４８が設けられている。持ち手部４８は、一対の足部４８ａ，４８ｂと、一対の足部４８ａ，４８ｂを連結する連結部４８ｃとを有する。

【0057】

一対の足部４８ａ，４８ｂのそれぞれは、上面４６ａに対して概ね垂直な方向に延在し、その下部が第１本体部４６の上部に固定されている。また、連結部４８ｃは、上面４６ａの長辺に対して概ね平行な方向に延在する。また、連結部４８ｃは、その一端（後端）部が足部４８ａの上部に連結され、また、その他端（前端）部が足部４８ｂの上部に連結されている。

【0058】

さらに、第１本体部４６の上面４６ａには、溝４６ｂが設けられている。この溝４６ｂは、上面４６ａの一端（後端）に位置する短辺と足部４８ａが固定される領域との間に設けられている。また、溝４６ｂは、上面４６ａの短辺に対して概ね平行な方向に延在し、その長さが上面４６ａの短辺よりも短い。

【0059】

また、第１本体部４６は、上面４６ａの他端（前端）に位置する短辺を長辺の一つとして共有する長方形状の第３面（前面）４６ｃと、上面４６ａ及び下面のそれぞれの後端に位置する短辺を長辺として共有する長方形状の第４面（後面）とを有する。

【0060】

第１本体部４６の前面４６ｃ側の端部の下面側には、第１嵌合部５０が設けられている。第１嵌合部５０は、第１本体部４６に固定され、かつ、第１本体部４６の上面４６ａ及び下面に概ね平行な面（下面）を下端に有する上部５０ａと、第１本体部４６の上面４６ａ及び下面に概ね平行な面（上面（第２嵌合面））を上端に有する下部５０ｂと、前面４６ｃに概ね面一な面（前面）を有し、上部５０ａ及び下部５０ｂを連結する連結部５０ｃとを有する。

【0061】

そして、上部５０ａの下面と下部５０ｂの上面（第２嵌合面）との間隔は、チャックテーブル２０の厚さよりも僅かに長い。また、連結部５０ｃの前面の反対に位置する面（後面（第１嵌合面））は、チャックテーブル２０の外周領域に沿うように所定の曲率で湾曲して凹んでいる。また、下部５０ｂの連結部５０ｃから遠い側の面（後面）は、連結部５０ｃの後面と同様に湾曲するような形状を有する。

【0062】

また、第１本体部４６は、上面４６ａ及び下面のそれぞれの長辺の一つを長辺として共有する長方形状の第５面（右側面）４６ｄ及び第６面（左側面）を有する。右側面４６ｄ及び左側面には、直方体状のバネ連結部５２ａ，５２ｂがそれぞれ設けられている。なお、バネ連結部５２ａ，５２ｂは、第１本体部４６の前面４６ｃよりも後面に近接する位置に設けられている。

【0063】

バネ連結部５２ａ，５２ｂは、第１本体部４６の前面４６ｃ及び後面に概ね平行な一対の面を有し、この一対の面のうち第１本体部４６の後面により近接する面には引張バネ５４ａ，５４ｂの一端部が固定されている。

【0064】

また、着脱用具４４は、直方体状の第２本体部５６を有する。第２本体部５６は、第１本体部４６の後面に対面するように配置される長方形状の第１面（前面）５６ａと、前面５６ａに概ね平行な第２面（後面）とを有する。

【0065】

この前面５６ａの長辺は、第１本体部４６の後面の長辺に概ね平行な方向に延在し、かつ、それよりも長い。また、この前面５６ａの短辺は、第１本体部４６の後面の短辺に概ね平行な方向に延在し、かつ、それよりも長い。すなわち、この前面５６ａの面積は、第１本体部４６の後面の面積よりも大きい。

【0066】

この前面５６ａには、溝５６ｂが設けられている。溝５６ｂには、第１本体部４６の後面側の一部が挿入される。そのため、溝５６ｂは、前面５６ａの長辺に平行な方向における長さが第１本体部４６の後面の長辺よりも僅かに長く、かつ、前面５６ａの短辺に平行な方向における幅が第１本体部４６の後面の短辺よりも僅かに長くなるように設けられる。

【0067】

また、第２本体部５６は、前面５６ａ及び後面のそれぞれの上端に位置する長辺を長辺として共有する長方形状の第３面（上面）５６ｃと、前面５６ａの下端に位置する長辺を長辺の一つとして共有する長方形状の第４面（下面）とを有する。さらに、第２本体部５６には、上面５６ｃから溝５６ｂに至る貫通孔５６ｄが設けられている。

【0068】

この貫通孔５６ｄは、上面５６ｃの長辺に対して概ね平行な方向に延在し、その長さが上面５６ｃの長辺よりも短い。なお、貫通孔５６ｄは、第２本体部５６の後面よりも前面５６ａに近接する位置に設けられている。

【0069】

また、上面５６ｃの長辺に対して概ね平行な方向における貫通孔５６ｄの長さは、第１本体部４６の上面４６ａに設けられた溝４６ｂの長さに概ね等しい。同様に、上面５６ｃの短辺に対して概ね平行な方向における貫通孔５６ｄの幅は、第１本体部４６の上面４６ａに設けられた溝４６ｂの幅に概ね等しい。

【0070】

第２本体部５６の後面側の端部の下面側には、第２嵌合部５８が設けられている。第２嵌合部５８は、第２本体部５６に固定され、かつ、第２本体部５６の上面５６ｃ及び下面に概ね平行な面（下面）を下端に有する上部５８ａと、第２本体部５６の上面５６ｃ及び下面に概ね平行な面（上面（第４嵌合面））を上端に有する下部５８ｂと、第２本体部５６の後面に概ね面一な面（後面）を有し、上部５８ａ及び下部５８ｂを連結する連結部５８ｃとを有する。

【0071】

そして、上部５８ａの下面と下部５８ｂの上面（第４嵌合面）との間隔は、チャックテーブル２０の厚さよりも僅かに長く、かつ、第１嵌合部５０の上部５０ａの下面と下部５０ｂの上面（第２嵌合面）との間隔に概ね等しい。また、連結部５８ｃの後面の反対に位置する面（前面（第３嵌合面））は、チャックテーブル２０の外周領域に沿うように所定の曲率で湾曲して凹んでいる。また、下部５８ｂの連結部５８ｃから遠い側の面（前面）は、連結部５８ｃの前面と同様に湾曲するような形状を有する。

【0072】

また、第２本体部５６は、上面５６ｃ及び下面のそれぞれの短辺の一つを長辺として共有する長方形状の第５面（右側面）５６ｅ及び第６面（左側面）を有する。右側面５６ｅ及び左側面には、直方体状のバネ連結部６０ａ，６０ｂがそれぞれ設けられている。なお、バネ連結部６０ａ，６０ｂは、第２本体部５６の後面よりも前面５６ａに近接する位置に設けられている。

【0073】

バネ連結部６０ａ，６０ｂは、第２本体部５６の前面５６ａ及び後面に概ね平行な一対の面を有し、この一対の面のうち前面５６ａにより近接する面には引張バネ５４ａ，５４ｂの他端部が固定されている。

【0074】

そのため、第２本体部５６は、一端部がバネ連結部５２ａ，５２ｂに固定されている引張バネ５４ａ，５４ｂを介して、第１本体部４６に連結される。なお、図３においては、自然長よりも伸長された状態の引張バネ５４ａ，５４ｂが示されている。

【0075】

引張バネ５４ａ，５４ｂは、第１嵌合部５０の連結部５０ｃの後面（第１嵌合面）と第２嵌合部５８の連結部５８ｃの前面（第３嵌合面）との間隔（第１間隔）が、チャックテーブル２０の径と等しい又はそれより長い場合に、第１嵌合部５０及び第２嵌合部５８を接近させるように第１本体部４６及び第２本体部５６を付勢する。

【0076】

なお、着脱用具４４は、第２本体部５６の前面５６ａに設けられた溝５６ｂに第１本体部４６の後面側の一部を挿入して、貫通孔５６ｄと溝４６ｂとが重なった状態における上記の第１間隔がチャックテーブル２０の径と等しくなるように設計されている。

【0077】

また、着脱用具４４は、引張バネ５４ａ，５４ｂを伸長させることで、第１嵌合部５０の下部５０ｂの上面（第２嵌合面）の連結部５０ｃの後面（第１嵌合面）から遠い側の端（後端）と、第２嵌合部５８の下部５８ｂの上面（第４嵌合面）の連結部５８ｃの前面（第３嵌合面）から遠い側の端（前端）と、の間隔（第２間隔）を、チャックテーブル２０の径よりも長くできるように設計されている。

【0078】

さらに、着脱用具４４は、貫通孔５６ｄと溝４６ｂとが重なった状態において、貫通孔５６ｄと溝４６ｂとに挿入される直方体状のストッパ６２を有する。ストッパ６２の高さは、貫通孔５６ｄと溝４６ｂとが重なった状態における、第２本体部５６の上面５６ｃと溝４６ｂの底面との間隔よりも長い。また、ストッパ６２の長さは、貫通孔５６ｄの長さ及び溝４６ｂの長さよりも僅かに短い。また、ストッパ６２の幅は、貫通孔５６ｄの幅及び溝４６ｂの幅よりも僅かに短い。

【0079】

着脱用具４４を用いたチャックテーブル２０の切削装置２からの取り外しは、例えば、以下の順序で行われる。まず、上記の第２間隔がチャックテーブル２０の径よりも長くなるまで引張バネ５４ａ，５４ｂを伸長させるための外力を着脱用具４４に加える。

【0080】

例えば、オペレータが両手で第１本体部４６及び第２本体部５６をそれぞれ掴んで、両者を離隔させるように引っ張って、上記の第２間隔をチャックテーブル２０の径よりも長くする。これにより、上記の第２間隔がチャックテーブル２０の径よりも長くなる退避位置に第１嵌合部５０及び第２嵌合部５８が位置付けられる。

【0081】

次いで、第１嵌合部５０と第２嵌合部５８との間の空間の中央にチャックテーブル２０の中央が位置付けられるように、着脱用具４４及び／又はチャックテーブル２０を配置する。例えば、チャックテーブル２０の保持面の中央に第１本体部４６の下面を接触させるようにオペレータが着脱用具４４を配置する。

【0082】

次いで、引張バネ５４ａ，５４ｂに加えられた外力を除去する。例えば、オペレータが第１本体部４６及び第２本体部５６から手を離す。これにより、上記の第１外周領域に第１嵌合部５０が嵌合し、かつ、上記の第２外周領域に第２嵌合部５８が嵌合する。すなわち、上記の第１間隔がチャックテーブル２０の径と等しくなる嵌合位置に第１嵌合部５０及び第２嵌合部５８が位置付けられる。

【0083】

この時、第１嵌合部５０の連結部５０ｃの後面（第１嵌合面）及び第２嵌合部５８の連結部５８ｃの前面（第３嵌合面）は、チャックテーブル２０の側面と対面する。また、第１嵌合部５０の下部５０ｂの上面（第２嵌合面）及び第２嵌合部５８の下部５８ｂの上面（第４嵌合面）は、チャックテーブル２０の下面と対面する。

【0084】

なお、引張バネ５４ａ，５４ｂは、第１嵌合部５０及び第２嵌合部５８が退避位置に位置付けられた場合及び嵌合位置に位置付けられた場合の双方において、第１嵌合部５０及び第２嵌合部５８を接近させる方向に第１本体部４６と第２本体部５６とを付勢する。

【0085】

次いで、第２本体部５６に設けられた貫通孔５６ｄ及び第１本体部４６の上面４６ａに設けられた溝４６ｂにストッパ６２を挿入する。この場合、例えば、引張バネ５４ａ，５４ｂを伸長させるような外力が加わった場合であっても、上記の第２間隔がチャックテーブル２０の径よりも長くなることがない。これにより、チャックテーブル２０の搬送時に、チャックテーブル２０が着脱用具４４から脱落することが防止される。

【0086】

以上によって、チャックテーブル２０に着脱用具４４が取り付けられる。図４は、このようにチャックテーブル２０に取り付けられた着脱用具４４を模式的に示す斜視図である。次いで、オペレータが持ち手部４８を掴んで、切削装置２からチャックテーブル２０を取り外す。

【0087】

着脱用具４４を用いたチャックテーブル２０の着脱の際には、持ち手部４８と一体的に設けられた第１嵌合部５０及び第２嵌合部５８がチャックテーブル２０の外周領域に嵌合した状態で、オペレータが持ち手部４８を掴んでチャックテーブル２０を切削装置２から着脱する。これにより、クリーンルーム用手袋等を装着したオペレータが手作業でチャックテーブル２０を切削装置２から着脱する際に、クリーンルーム用手袋等を汚さず、かつ、安定した状態でチャックテーブル２０を着脱できる。

【0088】

なお、着脱用具４４は本発明の一態様であって、本発明の着脱用具は着脱用具４４の構成に限定されない。例えば、本発明の着脱用具は、ストッパ６２を含まなくてもよい。すなわち、ストッパ６２と、第１本体部４６の上面４６ａに設けられた溝４６ｂと、第２本体部５６に設けられた貫通孔５６ｄとが存在しない着脱用具４４も本発明の一態様である。

【0089】

また、本発明の着脱用具においては、第２本体部５６の一部が第１本体部４６に挿入されてもよい。例えば、この場合には、第１本体部４６の後面に溝が設けられ、かつ、この溝に挿入される凸部が第２本体部５６の前面５６ａ側に設けられていてもよい。さらに、この場合には、図３に示される溝４６ｂが第１本体部４６に設けられず、また、図３に示される溝５６ｂ及び貫通孔５６ｄが第２本体部５６に設けられなくてもよい。

【0090】

また、本発明の着脱用具に含まれる持ち手部は、１つに限定されない。例えば、本発明の着脱用具は、２つの持ち手部を含んでもよい。着脱用具に２つの持ち手部が含まれる場合には、より安定した状態でチャックテーブルを着脱できる点で好ましい。他方、着脱用具４４のように着脱用具に含まれる持ち手部が１つの場合には、着脱用具を小型化できる点で好ましい。

【0091】

そのため、持ち手部が２つの着脱用具は、比較的大型のチャックテーブル（例えば、１２インチ以上のウェーハを加工する際に用いられるチャックテーブル）を着脱する際に用いられる着脱用具として好適である。他方、持ち手部が１つの着脱用具は、比較的小型のチャックテーブル（例えば、８インチ以下のウェーハを加工する際に用いられるチャックテーブル）を着脱する際に用いられる着脱用具として好適である。

【0092】

図５は、持ち手部が２つの着脱用具の一例を模式的に示す斜視図である。図５に示される着脱用具６４は、直方体状の第１本体部６６を有する。第１本体部６６は、互いに概ね平行な第１面（上面）６６ａ及び第２面（下面）を有する。上面６６ａ及び下面のそれぞれは、比較的長い長方形及び比較的短い長方形のそれぞれの長辺を直交させて重ねられたような十字状の面である。

【0093】

上面６６ａの比較的短い長方形状の部分の両端（左右端）部には、互いに対向するように一対の持ち手部６８，７０が設けられている。持ち手部６８は、一対の足部６８ａ，６８ｂと、一対の足部６８ａ，６８ｂを連結する連結部６８ｃとを有する。また、持ち手部７０は、一対の足部７０ａ，７０ｂと、一対の足部７０ａ，７０ｂを連結する連結部７０ｃとを有する。

【0094】

一対の足部６８ａ，６８ｂ及び一対の足部７０ａ，７０ｂのそれぞれは、上面６６ａに対して概ね垂直な方向に延在し、その下部が第１本体部６６の上部に固定されている。また、連結部６８ｃ，７０ｃは、上面６６ａに対して概ね平行な方向に延在する。また、連結部６８ｃは、その一端（後端）部が足部６８ａの上部に連結され、また、その他端（前端）部が足部６８ｂの上部に連結されている。また、連結部７０ｃは、その一端（後端）部が足部７０ａの上部に連結され、また、その他端（前端）部が足部７０ｂの上部に連結されている。

【0095】

また、第１本体部６６は、上面６６ａの比較的長い長方形状の部分の一端（前端）に位置する短辺を長辺の一つとして共有する長方形状の第３面（前面）６６ｂと、上面６６ａ及び下面の比較的長い長方形状の部分のそれぞれの他端（後端）に位置する短辺を長辺として共有する長方形状の第４面（後面）とを有する。

【0096】

そして、第１本体部６６は、後面に対して概ね垂直な方向に延在する直方体状の凸部７２を有する。凸部７２は、第１本体部６６の上面６６ａ及び下面と概ね平行な長方形状の第１面（上面）７２ａ及び第２面（下面）と、上面７２ａ及び下面に対して概ね垂直な直方体状の第３面（右側面）７２ｂ及び第４面（左側面）とを有する。

【0097】

凸部７２の上面７２ａ及び下面のそれぞれの短辺は、第１本体部６６の前面６６ｂ及び後面の長辺に概ね平行な方向に延在し、かつ、それよりも短い。また、凸部７２の右側面７２ｂ及び左側面のそれぞれの短辺は、第１本体部６６の前面６６ｂ及び後面の短辺に概ね平行な方向に延在し、かつ、それよりも短い。

【0098】

この凸部７２は、後述するように、第２本体部８２を貫通する。さらに、凸部７２の上面７２ａには、溝（不図示）が設けられている。この溝は、上面７２ａの短辺に対して概ね平行な方向に延在し、その長さが上面７２ａの短辺よりも短い。また、凸部７２の先端（第１本体部６６の後面から遠い側の端）には、直方体状のストッパ部７４が設けられている。

【0099】

ストッパ部７４は、凸部７２の上面７２ａ及び右側面７２ｂに対して概ね垂直な第１面（前面）７４ａ及び第２面（後面）を有する。ストッパ部７４の前面７４ａ及び後面のそれぞれの長辺は、凸部７２の上面７２ａの短辺に概ね平行な方向に延在し、また、ストッパ部７４の前面７４ａ及び後面のそれぞれの短辺は、凸部７２の右側面７２ｂの短辺に概ね平行な方向に延在する。そして、ストッパ部７４の前面７４ａ及び後面のそれぞれの長辺の長さは、凸部７２の上面７２ａの短辺の長さに概ね等しい。他方、ストッパ部７４の前面７４ａ及び後面のそれぞれの短辺は、凸部７２の右側面７２ｂの短辺よりも長い。

【0100】

第１本体部６６の前面６６ｂ側の端部の下面側には、第１嵌合部７６が設けられている。第１嵌合部７６は、第１本体部６６に固定され、かつ、第１本体部６６の上面６６ａ及び下面に概ね平行な面（下面）を下端に有する上部７６ａと、第１本体部６６の上面６６ａ及び下面に概ね平行な面（上面（第２嵌合面））を上端に有する下部７６ｂと、前面６６ｂに概ね面一な面（前面）を有し、上部７６ａ及び下部７６ｂを連結する連結部７６ｃとを有する。

【0101】

そして、上部７６ａの下面と下部７６ｂの上面（第２嵌合面）との間隔は、チャックテーブル２０の厚さよりも僅かに長い。また、連結部７６ｃの前面の反対に位置する面（後面（第１嵌合面））は、チャックテーブル２０の外周領域に沿うように所定の曲率で湾曲して凹んでいる。また、下部７６ｂの連結部７６ｃから遠い側の面（後面）は、連結部７６ｃの後面と同様に湾曲するような形状を有する。

【0102】

また、第１本体部６６は、その後面の短辺の一つを短辺の一つとして共有する長方形状の第５面（後方右側面）６６ｃ及び第６面（後方左側面）を有する。後方右側面６６ｃ及び後方左側面には、直方体状のバネ連結部７８ａ，７８ｂがそれぞれ設けられている。

【0103】

バネ連結部７８ａ，７８ｂは、第１本体部６６の前面６６ｂ及び後面に概ね平行な一対の面を有し、この一対の面のうち第１本体部６６の後面により近接する面には引張バネ８０ａ，８０ｂの一端部が固定されている。

【0104】

また、着脱用具６４は、直方体状の第２本体部８２を有する。第２本体部８２は、第１本体部６６の後面に対面するように配置される長方形状の第１面（前面）８２ａと、前面８２ａに概ね平行な長方形状の第２面（後面）とを有する。第２本体部８２の前面８２ａ及び後面のそれぞれの形状は、第１本体部６６の後面の形状に概ね等しい。なお、第２本体部８２の前面８２ａ及び後面の間隔は、第１本体部６６の後面とストッパ部７４の前面７４ａとの間隔よりも短い。

【0105】

また、第２本体部８２には、前面８２ａから後面に至る貫通孔が設けられ、この貫通孔には第１本体部６６の凸部７２が挿入されている。そのため、この貫通孔は、前面８２ａの長辺に平行な方向における長さが凸部７２の上面７２ａ及び下面のそれぞれの短辺よりも僅かに長く、かつ、前面８２ａの短辺に平行な方向における幅が凸部７２の右側面７２ｂ及び左側面のそれぞれの短辺よりも僅かに長くなるように設けられる。

【0106】

さらに、この貫通孔の幅は、ストッパ部７４の前面７４ａの短辺よりも短い。これにより、第１本体部６６の凸部７２は、この貫通孔においてスライド可能であるが、貫通孔から引き抜くことが不可能な態様で第２本体部８２に挿入される。

【0107】

また、第２本体部８２は、前面８２ａ及び後面のそれぞれの上端に位置する長辺を長辺として共有する長方形状の第３面（上面）８２ｂと、前面８２ａの下端に位置する長辺を長辺の一つとして共有する長方形状の第４面（下面）とを有する。さらに、第２本体部８２には、上面８２ｂから凸部７２が挿入されている貫通孔に至る貫通孔８２ｃが設けられている。

【0108】

この貫通孔８２ｃは、上面８２ｂの長辺に対して概ね平行な方向に延在し、その長さが上面８２ｂの長辺よりも短い。なお、貫通孔８２ｃは、第２本体部８２の後面よりも前面８２ａに近接する位置に設けられている。

【0109】

また、上面８２ｂの長辺に対して概ね平行な方向における貫通孔８２ｃの長さは、凸部７２の上面７２ａに設けられた溝の長さに概ね等しい。同様に、上面８２ｂの短辺に対して概ね平行な方向における貫通孔８２ｃの幅は、凸部７２の上面７２ａに設けられた溝の幅に概ね等しい。

【0110】

第２本体部８２の後面側の端部の下面側には、第２嵌合部８４が設けられている。第２嵌合部８４は、第２本体部８２に固定され、かつ、第２本体部８２の上面８２ｂ及び下面に概ね平行な面（下面）を下端に有する上部８４ａと、第２本体部８２の上面８２ｂ及び下面に概ね平行な面（上面（第４嵌合面））を上端に有する下部８４ｂと、第２本体部８２の後面に概ね面一な面（後面）を有し、上部８４ａ及び下部８４ｂを連結する連結部８４ｃとを有する。

【0111】

そして、上部８４ａの下面と下部８４ｂの上面（第４嵌合面）との間隔は、チャックテーブル２０の厚さよりも僅かに長く、かつ、第１嵌合部７６の上部７６ａの下面と下部７６ｂの上面（第２嵌合面）との間隔に概ね等しい。また、連結部８４ｃの後面の反対に位置する面（前面（第３嵌合面））は、チャックテーブル２０の外周領域に沿うように所定の曲率で湾曲して凹んでいる。また、下部８４ｂの連結部８４ｃから遠い側の面（前面）は、連結部８４ｃの前面と同様に湾曲するような形状を有する。

【0112】

また、第２本体部８２は、上面８２ｂ及び下面のそれぞれの短辺の一つを長辺として共有する長方形状の第５面（右側面）８２ｄ及び第６面（左側面）を有する。右側面８２ｄ及び左側面には、直方体状のバネ連結部８６ａ，８６ｂがそれぞれ設けられている。なお、バネ連結部８６ａ，８６ｂは、第２本体部８２の後面よりも前面８２ａに近接する位置に設けられている。

【0113】

バネ連結部８６ａ，８６ｂは、第２本体部８２の前面８２ａ及び後面に概ね平行な一対の面を有し、この一対の面のうち前面８２ａにより近接する面には引張バネ８０ａ，８０ｂの他端部が固定されている。

【0114】

そのため、第２本体部８２は、一端部がバネ連結部７８ａ，７８ｂに固定されている引張バネ８０ａ，８０ｂを介して、第１本体部６６に連結される。なお、図５においては、自然長よりも伸長された状態の引張バネ８０ａ，８０ｂが示されている。

【0115】

引張バネ８０ａ，８０ｂは、第１嵌合部７６の連結部７６ｃの後面（第１嵌合面）と第２嵌合部８４の連結部８４ｃの前面（第３嵌合面）との間隔（第３間隔）が、チャックテーブル２０の径と等しい又はそれより長い場合に、第１嵌合部７６及び第２嵌合部８４を接近させるように第１本体部６６及び第２本体部８２を付勢する。

【0116】

なお、着脱用具６４は、第２本体部８２に設けられた貫通孔８２ｃと第１本体部６６の凸部７２の上面７２ａに設けられた溝とが重なった状態における上記の第３間隔がチャックテーブル２０の径と等しくなるように設計されている。

【0117】

また、着脱用具６４は、引張バネ８０ａ，８０ｂを伸長させることで、第１嵌合部７６の下部７６ｂの上面（第２嵌合面）の連結部７６ｃの後面（第１嵌合面）から遠い側の端（後端）と、第２嵌合部８４の下部８４ｂの上面（第４嵌合面）の連結部８４ｃの前面（第３嵌合面）から遠い側の端（前端）と、の間隔（第４間隔）を、チャックテーブル２０の径よりも長くできるように設計されている。

【0118】

また、着脱用具６４は、引張バネ８０ａ，８０ｂを伸長させて第２本体部８２の後面をストッパ部７４の前面７４ａに接触させた状態において、上記の第４間隔がチャックテーブル２０の径よりも長くなるように設計されている。

【0119】

さらに、着脱用具６４は、第２本体部８２に設けられた貫通孔８２ｃと第１本体部６６の凸部７２の上面７２ａに設けられた溝とが重なった状態において、貫通孔８２ｃと当該溝とに挿入される直方体状のストッパ８８を有する。

【0120】

ストッパ８８の高さは、貫通孔８２ｃと当該溝とが重なった状態における、第２本体部８２の上面８２ｂと当該溝の底面との間隔よりも長い。また、ストッパ８８の長さは、貫通孔８２ｃの長さ及び当該溝の長さよりも僅かに短い。また、ストッパ８８の幅は、貫通孔８２ｃの幅及び当該溝の幅よりも僅かに短い。

【0121】

着脱用具６４を用いたチャックテーブル２０の切削装置２からの取り外しは、例えば、以下の順序で行われる。まず、上記の第４間隔がチャックテーブル２０の径よりも長くなるまで引張バネ８０ａ，８０ｂを伸長させるための外力を着脱用具６４に加える。

【0122】

例えば、オペレータが両手で第１本体部６６及び第２本体部８２をそれぞれ掴んで、第２本体部８２の後面がストッパ部７４の前面７４ａに接触するまで両者を離隔させるように引っ張る。これにより、上記の第４間隔がチャックテーブル２０の径よりも長くなる退避位置に第１嵌合部７６及び第２嵌合部８４が位置付けられる。

【0123】

次いで、第１嵌合部７６と第２嵌合部８４との間の空間の中央にチャックテーブル２０の中央が位置付けられるように、着脱用具６４及び／又はチャックテーブル２０を配置する。例えば、チャックテーブル２０の保持面の中央に第１本体部６６の下面を接触させるようにオペレータが着脱用具６４を配置する。

【0124】

次いで、引張バネ８０ａ，８０ｂに加えられた外力を除去する。例えば、オペレータが第１本体部６６及び第２本体部８２から手を離す。これにより、上記の第１外周領域に第１嵌合部７６が嵌合し、かつ、上記の第２外周領域に第２嵌合部８４が嵌合する。すなわち、上記の第１間隔がチャックテーブル２０の径と等しくなる嵌合位置に第１嵌合部７６及び第２嵌合部８４が位置付けられる。

【0125】

この時、第１嵌合部７６の連結部７６ｃの後面（第１嵌合面）及び第２嵌合部８４の連結部８４ｃの前面（第３嵌合面）は、チャックテーブル２０の側面と対面する。また、第１嵌合部７６の下部７６ｂの上面（第２嵌合面）及び第２嵌合部８４の下部８４ｂの上面（第４嵌合面）は、チャックテーブル２０の下面と対面する。

【0126】

なお、引張バネ８０ａ，８０ｂは、第１嵌合部７６と第２嵌合部８４とが退避位置に位置付けられた場合及び嵌合位置に位置付けられた場合の双方において、第１嵌合部７６及び第２嵌合部８４を接近させる方向に第１本体部６６と第２本体部８２とを付勢する。

【0127】

次いで、第２本体部８２に設けられた貫通孔８２ｃ及び第１本体部６６の凸部７２の上面７２ａに設けられた溝にストッパ８８を挿入する。この場合、例えば、引張バネ８０ａ，８０ｂを伸長させるような外力が加わった場合であっても、上記の第４間隔がチャックテーブル２０の径よりも長くなることがない。これにより、チャックテーブル２０の搬送時に、チャックテーブル２０が着脱用具６４から脱落することが防止される。

【0128】

以上によって、チャックテーブル２０に着脱用具６４が取り付けられる。図６は、このようにチャックテーブル２０に取り付けられた着脱用具６４を模式的に示す斜視図である。次いで、オペレータが両手で一対の持ち手部６８，７０を掴んで、切削装置２からチャックテーブル２０を取り外す。

【0129】

着脱用具６４を用いたチャックテーブル２０の着脱の際には、一対の持ち手部６８，７０と一体的に設けられた第１嵌合部７６及び第２嵌合部８４がチャックテーブル２０の外周領域に嵌合した状態で、オペレータが一対の持ち手部６８，７０を掴んでチャックテーブル２０を切削装置２から着脱する。これにより、クリーンルーム用手袋等を装着したオペレータが手作業でチャックテーブル２０を切削装置２から着脱する際に、クリーンルーム用手袋等を汚さず、かつ、安定した状態でチャックテーブル２０を着脱できる。

【0130】

その他、上述した実施形態及び変形例にかかる構造及び方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

【符号の説明】

【0131】

１ ：被加工物
３ ：ダイシングテープ
５ ：リングフレーム
１１ ：フレームユニット
２ ：切削装置
４ ：基台（４ａ，４ｂ：開口）
６ ：カセットテーブル（６ａ：カセット）
８ ：仮置きテーブル
１０ ：ガイドレール
１２ ：搬出ユニット
１４，１６：カバー
１８ ：テーブルベース（１８ａ：基台部、１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ：凸部）
２０ ：チャックテーブル（２０ａ：枠体、２０ｂ：ポーラス板、２０ｃ：溝）
２２ａ，２２ｂ：流路
２４ ：スピンドル
２６ ：クランプ
２８ ：搬送ユニット
３０ ：支持構造
３２ ：撮像ユニット
３４ ：切削ユニット（加工ユニット）
３６ ：切削ブレード
３８ ：スピンドル
４０ ：洗浄ユニット
４２ ：搬送ユニット
４４ ：着脱用具
４６ ：第１本体部（４６ａ：第１面（上面）、４６ｂ：溝）
（４６ｃ：第３面（前面）、４６ｄ：第５面（右側面））
４８ ：持ち手部（４８ａ，４８ｂ：足部、４８ｃ：連結部）
５０ ：第１嵌合部（上部：５０ａ、５０ｂ：下部、５０ｃ：連結部）
５２ａ，５２ｂ：バネ連結部
５４ａ，５４ｂ：引張バネ
５６ ：第２本体部（５６ａ：第１面（前面）、５６ｂ：溝）
（５６ｃ：第３面（上面）、５６ｄ：貫通孔）
（５６ｅ：第５面（右側面））
５８ ：第２嵌合部（５８ａ：上部、５８ｂ：下部、５８ｃ：連結部）
６０ａ，６０ｂ：バネ連結部
６２ ：ストッパ
６４ ：着脱用具
６６ ：第１本体部（６６ａ：第１面（上面）、６６ｂ：第３面（前面））
（６６ｃ：第５面（後方右側面））
６８ ：持ち手部（６８ａ，６８ｂ：足部、６８ｃ：連結部）
７０ ：持ち手部（７０ａ，７０ｂ：足部、７０ｃ：連結部）
７２ ：凸部（７２ａ：第１面（上面）、７２ｂ：第３面（右側面））
７４ ：ストッパ部（７４ａ：第１面（前面））
７６ ：第１嵌合部（上部：７６ａ、７６ｂ：下部、７６ｃ：連結部）
７８ａ，７８ｂ：バネ連結部
８０ａ，８０ｂ：引張バネ
８２ ：第２本体部（８２ａ：第１面（前面）、８２ｂ：第３面（上面））
（８２ｃ：貫通孔、８２ｄ：第５面（右側面））
８４ ：第２嵌合部（８４ａ：上部、８４ｂ：下部、８４ｃ：連結部）
８６ａ，８６ｂ：バネ連結部
８８ ：ストッパ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】