特許7512038基板処理装置

発明の名称　基板処理装置

出願人　ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシー　（識別番号 522041444）

　　　　特許公開件数ランキング 2781 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2289 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7512038

公報発行日　2024年7月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7512038

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