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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-06-28
(45)【発行日】2024-07-08
(54)【発明の名称】アライメント調整装置、及び電子デバイスの製造方法
(51)【国際特許分類】
H01S 3/10 20060101AFI20240701BHJP
H01S 3/02 20060101ALI20240701BHJP
H01S 3/00 20060101ALI20240701BHJP
G03F 7/20 20060101ALI20240701BHJP
【ＦＩ】
H01S3/10 Z
H01S3/02
H01S3/00 A
G03F7/20 501
G03F7/20 521
【請求項の数】
17
(21)【出願番号】P 2022528378
(86)(22)【出願日】2020-06-05
(86)【国際出願番号】 JP2020022347
(87)【国際公開番号】W WO2021245918
(87)【国際公開日】2021-12-09
【審査請求日】2023-05-10
(73)【特許権者】
【識別番号】300073919
【氏名又は名称】ギガフォトン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100105212
【弁理士】
【氏名又は名称】保坂 延寿
(72)【発明者】
【氏名】大賀 仁
【審査官】大西 孝宣
(56)【参考文献】
【文献】特開２００８－０１６５４４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００２－１６４５９２（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２００４／０９５６６１（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０１０－１１８５１８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－１７５００６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－１９９５１２（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｓ ３／００ － ５／５０
Ｇ０３Ｆ ７／２０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
光学素子を支持する第１の材質の第１のホルダと、前記第１の材質と異なる第２の材質の第１の伸縮部を含み、前記第１の伸縮部を前記第１のホルダに接触させて前記第１の伸縮部の長さを調整することで、前記第１のホルダ及び前記光学素子を第１の軸の周りに回転させる第１の調整装置と、
前記第１の調整装置を支持する前記第２の材質の第１の支持部材と、
前記第１のホルダを前記第１の軸において支持するとともに前記第１の支持部材を前記第１の支持部材の第１の端部及び第２の端部の両方において支持する前記第１の材質の第２のホルダと、
を備え、
前記第１の調整装置は、前記第１の端部と前記第１の軸とを含む第１の平面に、前記第１の伸縮部と前記第１のホルダとが接触する位置を調整可能に構成され、
前記第２の端部と前記第１の軸とを含む第２の平面が、前記第１の平面に垂直である、
アライメント調整装置。
【請求項2】
請求項１に記載のアライメント調整装置であって、前記第２の材質は、前記第１の材質よりも熱膨張係数が小さい、
アライメント調整装置。
【請求項3】
請求項１に記載のアライメント調整装置であって、前記第１の材質は、前記第２の材質よりも比重が小さい、
アライメント調整装置。
【請求項4】
光学素子を支持する第１の材質の第１のホルダと、
前記第１の材質と異なる第２の材質の第１の伸縮部を含み、前記第１の伸縮部を前記第１のホルダに接触させて前記第１の伸縮部の長さを調整することで、前記第１のホルダ及び前記光学素子を第１の軸の周りに回転させる第１の調整装置と、
前記第１の調整装置を支持する前記第２の材質の第１の支持部材と、
前記第１のホルダを前記第１の軸において支持するとともに前記第１の支持部材を前記第１の支持部材の第１の端部において支持する前記第１の材質の第２のホルダと、
前記第２の材質の第２の伸縮部を含み、前記第２の伸縮部を前記第２のホルダに接触させて前記第２の伸縮部の長さを調整することで、前記第２のホルダ、前記第１のホルダ及び前記光学素子を前記第１の軸と異なる第２の軸の周りに回転させる第２の調整装置と、
前記第２の調整装置を支持する前記第２の材質の第２の支持部材と、
を備え、
前記第１の調整装置は、前記第１の端部と前記第１の軸とを含む第１の平面に、前記第１の伸縮部と前記第１のホルダとが接触する位置を調整可能に構成された、
アライメント調整装置。
【請求項5】
請求項４に記載のアライメント調整装置であって、前記第２の調整装置は、前記第２の支持部材の第３の端部と前記第２の軸とを含む第３の平面に、前記第２の伸縮部と前記第２のホルダとが接触する位置を調整可能に構成された
アライメント調整装置。
【請求項6】
請求項５に記載のアライメント調整装置であって、前記第２のホルダを前記第２の軸において支持するとともに前記第２の支持部材を前記第３の端部において支持する前記第１の材質の第３のホルダをさらに含む
アライメント調整装置。
【請求項7】
請求項５に記載のアライメント調整装置であって、前記第２の支持部材の第４の端部と前記第２の軸とを含む第４の平面が、前記第３の平面に垂直である
アライメント調整装置。
【請求項8】
請求項７に記載のアライメント調整装置であって、前記第２のホルダを前記第２の軸において支持するとともに前記第２の支持部材を前記第３の端部及び前記第４の端部の両方において支持する前記第１の材質の第３のホルダをさらに含む
アライメント調整装置。
【請求項9】
請求項４に記載のアライメント調整装置であって、前記第２の支持部材の第２の端部と前記第１の軸とを含む第２の平面が、前記第１の軸と前記第２の軸とを含む第５の平面に垂直である
アライメント調整装置。
【請求項10】
光学素子を支持する第１の材質の第１のホルダと、前記第１の材質と異なる第２の材質の第１の伸縮部を含み、前記第１の伸縮部を前記第１のホルダに接触させて前記第１の伸縮部の長さを調整することで、前記第１のホルダ及び前記光学素子を第１の軸の周りに回転させる第１の調整装置と、
前記第１の調整装置を支持する前記第２の材質の第１の支持部材と、
前記第１のホルダを前記第１の軸において支持するとともに前記第１の支持部材を前記第１の支持部材の第１の端部において支持する前記第１の材質の第２のホルダと、
前記第２の材質の第２の伸縮部を含み、前記第２の伸縮部を前記第２のホルダに接触させて前記第２の伸縮部の長さを調整することで、前記第２のホルダ、前記第１のホルダ及び前記光学素子を前記第１の軸と交差する第２の軸の周りに回転させる第２の調整装置と、
前記第２の調整装置を支持する前記第２の材質の第２の支持部材と、
を備え、
前記第１の軸と前記第２の軸とを含む第５の平面に、前記第１の端部が位置する
アライメント調整装置。
【請求項11】
請求項１０に記載のアライメント調整装置であって、前記第１の端部と前記第１の軸とを含む第１の平面が、前記第１の伸縮部が伸長する方向に垂直である
アライメント調整装置。
【請求項12】
請求項１０に記載のアライメント調整装置であって、前記第２のホルダを前記第２の軸において支持するとともに前記第２の支持部材を前記第２の支持部材の第３の端部において支持する前記第１の材質の第３のホルダをさらに含む
アライメント調整装置。
【請求項13】
請求項１２に記載のアライメント調整装置であって、前記第２の伸縮部は、前記第５の平面において前記第２のホルダに接触する
アライメント調整装置。
【請求項14】
請求項１３に記載のアライメント調整装置であって、前記第３の端部と前記第２の軸とを含む第３の平面が、前記第２の伸縮部が伸長する方向に垂直である
アライメント調整装置。
【請求項15】
請求項１０に記載のアライメント調整装置であって、前記第１の支持部材の第２の端部と前記第１の軸とを含む第２の平面が、前記第１の端部と前記第１の軸とを含む第１の平面に垂直である
アライメント調整装置。
【請求項16】
請求項１０に記載のアライメント調整装置であって、前記第２の支持部材の第４の端部と前記第２の軸とを含む第４の平面が、前記第２の支持部材の第３の端部と前記第２の軸とを含む第３の平面に垂直である
アライメント調整装置。
【請求項17】
電子デバイスの製造方法であって、光学素子を支持する第１の材質の第１のホルダと、
前記第１の材質と異なる第２の材質の第１の伸縮部を含み、前記第１の伸縮部を前記第１のホルダに接触させて前記第１の伸縮部の長さを調整することで、前記第１のホルダ及び前記光学素子を第１の軸の周りに回転させる第１の調整装置と、
前記第１の調整装置を支持する前記第２の材質の第１の支持部材と、
前記第１のホルダを前記第１の軸において支持するとともに前記第１の支持部材を前記第１の支持部材の第１の端部において支持する前記第１の材質の第２のホルダと、
前記第２の材質の第２の伸縮部を含み、前記第２の伸縮部を前記第２のホルダに接触させて前記第２の伸縮部の長さを調整することで、前記第２のホルダ、前記第１のホルダ及び前記光学素子を前記第１の軸と異なる第２の軸の周りに回転させる第２の調整装置と、
前記第２の調整装置を支持する前記第２の材質の第２の支持部材と、
を備え、
前記第１の調整装置は、前記第１の端部と前記第１の軸とを含む第１の平面に、前記第１の伸縮部と前記第１のホルダとが接触する位置を調整可能に構成された
アライメント調整装置
を備えるレーザ装置によってパルスレーザ光を生成し、
前記パルスレーザ光を露光装置に出力し、
電子デバイスを製造するために、前記露光装置内で感光基板上に前記パルスレーザ光を露光する
ことを含む電子デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、アライメント調整装置、及び電子デバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、半導体露光装置においては、半導体集積回路の微細化及び高集積化につれて、解像力の向上が要請されている。このため、露光用光源から放出される光の短波長化が進められている。たとえば、露光用のガスレーザ装置としては、波長約２４８ｎｍのレーザ光を出力するＫｒＦエキシマレーザ装置、ならびに波長約１９３ｎｍのレーザ光を出力するＡｒＦエキシマレーザ装置が用いられる。
【0003】
ＫｒＦエキシマレーザ装置及びＡｒＦエキシマレーザ装置の自然発振光のスペクトル線幅は、３５０～４００ｐｍと広い。そのため、ＫｒＦ及びＡｒＦレーザ光のような紫外線を透過する材料で投影レンズを構成すると、色収差が発生してしまう場合がある。その結果、解像力が低下し得る。そこで、ガスレーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル線幅を、色収差が無視できる程度となるまで狭帯域化する必要がある。そのため、ガスレーザ装置のレーザ共振器内には、スペクトル線幅を狭帯域化するために、狭帯域化素子（エタロンやグレーティング等）を含む狭帯域化モジュール（Line Narrow Module：ＬＮＭ）が備えられる場合がある。以下では、スペクトル線幅が狭帯域化されるガスレーザ装置を狭帯域化ガスレーザ装置という。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】米国特許第６９７３１１１号明細書
【文献】米国特許出願公開第２００５／０１５７９０号明細書
【概要】
【0005】
本開示の１つの観点に係るアライメント調整装置は、光学素子を支持する第１の材質の第１のホルダと、第１の材質と異なる第２の材質の第１の伸縮部を含み、第１の伸縮部を第１のホルダに接触させて第１の伸縮部の長さを調整することで、第１のホルダ及び光学素子を第１の軸の周りに回転させる第１の調整装置と、第１の調整装置を支持する第２の材質の第１の支持部材と、を備え、第１の調整装置は、第１の支持部材の第１の端部と第１の軸とを含む第１の平面に、第１の伸縮部と第１のホルダとが接触する位置を調整可能に構成される。
【0006】
本開示の他の１つの観点に係るアライメント調整装置は、光学素子を支持する第１の材質の第１のホルダと、第１の材質と異なる第２の材質の第１の伸縮部を含み、第１の伸縮部を第１のホルダに接触させて第１の伸縮部の長さを調整することで、第１のホルダ及び光学素子を第１の軸の周りに回転させる第１の調整装置と、第１の調整装置を支持する第２の材質の第１の支持部材と、第１のホルダを第１の軸において支持するとともに第１の支持部材を第１の支持部材の第１の端部において支持する第１の材質の第２のホルダと、第２の材質の第２の伸縮部を含み、第２の伸縮部を第２のホルダに接触させて第２の伸縮部の長さを調整することで、第２のホルダ、第１のホルダ及び光学素子を第１の軸と交差する第２の軸の周りに回転させる第２の調整装置と、第２の調整装置を支持する第２の材質の第２の支持部材と、を備え、第１の軸と第２の軸とを含む第５の平面に、第１の端部が位置する。
【0007】
本開示の１つの観点に係る電子デバイスの製造方法は、光学素子を支持する第１の材質の第１のホルダと、第１の材質と異なる第２の材質の第１の伸縮部を含み、第１の伸縮部を第１のホルダに接触させて第１の伸縮部の長さを調整することで、第１のホルダ及び光学素子を第１の軸の周りに回転させる第１の調整装置と、第１の調整装置を支持する第２の材質の第１の支持部材と、を備え、第１の調整装置は、第１の支持部材の第１の端部と第１の軸とを含む第１の平面に、第１の伸縮部と第１のホルダとが接触する位置を調整可能に構成されたアライメント調整装置を備えるレーザ装置によってパルスレーザ光を生成し、パルスレーザ光を露光装置に出力し、電子デバイスを製造するために、露光装置内で感光基板上にパルスレーザ光を露光することを含む。
【図面の簡単な説明】
【0008】
本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
【実施形態】
【0009】
＜内容＞
１．比較例
１．１ レーザ装置１の構成
１．１．１ マスターオシレータＭＯ
１．１．２ 第１のビームステアリングユニット７６
１．１．３ 増幅器ＰＯ
１．１．４ 第２のビームステアリングユニット８６
１．１．５ 光学パルスストレッチャー８９
１．２ レーザ装置１の動作
１．２．１ マスターオシレータＭＯの動作
１．２．２ 増幅器ＰＯの動作
１．２．３ 光学パルスストレッチャー８９の動作
１．３ アライメント調整装置の構成
１．３．１ 第１のホルダ１１
１．３．２ 第２のホルダ２２
１．３．３ 第３のホルダ３３
１．３．４ 第１の調整装置４１及び第２の調整装置５２
１．４ アライメント調整装置の動作
１．４．１ 第１のホルダ１１の回転
１．４．２ 第２のホルダ２２の回転
１．５ 作用
１．６ 比較例の課題
１．６．１ 第１の伸縮部４１１と第２のホルダ２２との関係
１．６．２ 第２の伸縮部５２２と第３のホルダ３３との関係
１．６．３ 解決方法の検討
２．伸縮部と同じ材質の支持部材を含むアライメント調整装置
２．１ 構成及び動作
２．１．１ 第２のホルダ２２ａ及び第１の支持部材２１ａ
２．１．２ 第３のホルダ３３ａ及び第２の支持部材３２ａ
２．２ 他の構成例
２．３ 作用
３．第２の平面Ｐ２が第１の平面Ｐ１に垂直であるアライメント調整装置
３．１ 構成及び動作
３．１．１ 第２のホルダ２２ｂ及び第１の支持部材２１ｂ
３．１．２ 第３のホルダ３３ｂ及び第２の支持部材３２ｂ
３．２ 他の構成例
３．３ 作用
４．その他
１．比較例
１．１ レーザ装置１の構成
１．１．１ マスターオシレータＭＯ
１．１．２ 第１のビームステアリングユニット７６
１．１．３ 増幅器ＰＯ
１．１．４ 第２のビームステアリングユニット８６
１．１．５ 光学パルスストレッチャー８９
１．２ レーザ装置１の動作
１．２．１ マスターオシレータＭＯの動作
１．２．２ 増幅器ＰＯの動作
１．２．３ 光学パルスストレッチャー８９の動作
１．３ アライメント調整装置の構成
１．３．１ 第１のホルダ１１
１．３．２ 第２のホルダ２２
１．３．３ 第３のホルダ３３
１．３．４ 第１の調整装置４１及び第２の調整装置５２
１．４ アライメント調整装置の動作
１．４．１ 第１のホルダ１１の回転
１．４．２ 第２のホルダ２２の回転
１．５ 作用
１．６ 比較例の課題
１．６．１ 第１の伸縮部４１１と第２のホルダ２２との関係
１．６．２ 第２の伸縮部５２２と第３のホルダ３３との関係
１．６．３ 解決方法の検討
２．伸縮部と同じ材質の支持部材を含むアライメント調整装置
２．１ 構成及び動作
２．１．１ 第２のホルダ２２ａ及び第１の支持部材２１ａ
２．１．２ 第３のホルダ３３ａ及び第２の支持部材３２ａ
２．２ 他の構成例
２．３ 作用
３．第２の平面Ｐ２が第１の平面Ｐ１に垂直であるアライメント調整装置
３．１ 構成及び動作
３．１．１ 第２のホルダ２２ｂ及び第１の支持部材２１ｂ
３．１．２ 第３のホルダ３３ｂ及び第２の支持部材３２ｂ
３．２ 他の構成例
３．３ 作用
４．その他
【0010】
以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
【0011】
１．比較例
１．１ レーザ装置１の構成
図１は、比較例に係るレーザ装置１の構成を模式的に示す。比較例に係るレーザ装置１は、マスターオシレータＭＯと、第１のビームステアリングユニット７６と、増幅器ＰＯと、第２のビームステアリングユニット８６と、光学パルスストレッチャー８９と、を含む。
１．１ レーザ装置１の構成
図１は、比較例に係るレーザ装置１の構成を模式的に示す。比較例に係るレーザ装置１は、マスターオシレータＭＯと、第１のビームステアリングユニット７６と、増幅器ＰＯと、第２のビームステアリングユニット８６と、光学パルスストレッチャー８９と、を含む。
【0012】
１．１．１ マスターオシレータＭＯ
マスターオシレータＭＯは、レーザチャンバ７０と、狭帯域化モジュール７４と、出力結合ミラー７５と、を含む。
マスターオシレータＭＯは、レーザチャンバ７０と、狭帯域化モジュール７４と、出力結合ミラー７５と、を含む。
【0013】
レーザチャンバ７０は、狭帯域化モジュール７４と出力結合ミラー７５とで構成されたレーザ共振器の光路に配置されている。レーザチャンバ７０には、２つのウインドウ７０１及び７０２が設けられている。レーザチャンバ７０は、放電電極７１１及び７１２を収容している。放電電極７１１及び７１２は図示しないパルス電源に接続されている。レーザチャンバ７０は、レーザ媒質としてのレーザガスを収容する。レーザガスは、例えば、アルゴンガスと、フッ素ガスと、ネオンガスとを含む。あるいは、レーザガスは、例えば、クリプトンガスと、フッ素ガスと、ネオンガスとを含む。
【0014】
狭帯域化モジュール７４は、プリズム７４１及びグレーティング７４２などの波長選択素子を含む。出力結合ミラー７５は、部分反射ミラーで構成されている。
【0015】
１．１．２ 第１のビームステアリングユニット７６
第１のビームステアリングユニット７６は、高反射ミラー７６１及び７６２を含む。高反射ミラー７６１及び７６２はそれぞれアライメント調整装置７６６及び７６７に支持されている。
第１のビームステアリングユニット７６は、高反射ミラー７６１及び７６２を含む。高反射ミラー７６１及び７６２はそれぞれアライメント調整装置７６６及び７６７に支持されている。
【0016】
１．１．３ 増幅器ＰＯ
増幅器ＰＯは、レーザチャンバ８０と、リアミラー８４と、出力結合ミラー８５と、を含む。レーザチャンバ８０、出力結合ミラー８５、及びレーザチャンバ８０に付随するウインドウ８０１及び８０２、放電電極８１１及び８１２については、マスターオシレータＭＯにおいて対応する構成要素と同様である。
リアミラー８４は、第１のビームステアリングユニット７６を通過したパルスレーザ光の光路に配置されている。リアミラー８４は、部分反射ミラーで構成されている。リアミラー８４と出力結合ミラー８５とでレーザ共振器が構成される。
増幅器ＰＯは、レーザチャンバ８０と、リアミラー８４と、出力結合ミラー８５と、を含む。レーザチャンバ８０、出力結合ミラー８５、及びレーザチャンバ８０に付随するウインドウ８０１及び８０２、放電電極８１１及び８１２については、マスターオシレータＭＯにおいて対応する構成要素と同様である。
リアミラー８４は、第１のビームステアリングユニット７６を通過したパルスレーザ光の光路に配置されている。リアミラー８４は、部分反射ミラーで構成されている。リアミラー８４と出力結合ミラー８５とでレーザ共振器が構成される。
【0017】
１．１．４ 第２のビームステアリングユニット８６
第２のビームステアリングユニット８６は、高反射ミラー８６１及び８６２を含む。高反射ミラー８６１及び８６２はそれぞれアライメント調整装置８６６及び８６７に支持されている。
第２のビームステアリングユニット８６は、高反射ミラー８６１及び８６２を含む。高反射ミラー８６１及び８６２はそれぞれアライメント調整装置８６６及び８６７に支持されている。
【0018】
１．１．５ 光学パルスストレッチャー８９
光学パルスストレッチャー８９は、第２のビームステアリングユニット８６を通過したパルスレーザ光の光路に配置されている。光学パルスストレッチャー８９は、ビームスプリッタ８９５及び第１～第４の凹面ミラー８９１～８９４を含む。第１～第４の凹面ミラー８９１～８９４はそれぞれアライメント調整装置８９６～８９９に支持されている。
光学パルスストレッチャー８９は、第２のビームステアリングユニット８６を通過したパルスレーザ光の光路に配置されている。光学パルスストレッチャー８９は、ビームスプリッタ８９５及び第１～第４の凹面ミラー８９１～８９４を含む。第１～第４の凹面ミラー８９１～８９４はそれぞれアライメント調整装置８９６～８９９に支持されている。
【0019】
１．２ レーザ装置１の動作
１．２．１ マスターオシレータＭＯの動作
マスターオシレータＭＯにおいて、図示しないパルス電源がパルス状の高電圧を生成し、この高電圧を放電電極７１１及び７１２の間に印加する。
放電電極７１１及び７１２の間に高電圧が印加されると、放電電極７１１及び７１２の間に放電が起こる。この放電のエネルギーにより、レーザチャンバ７０内のレーザガスが励起されて高エネルギー準位に移行する。励起されたレーザガスが、その後、低エネルギー準位に移行するとき、そのエネルギー準位差に応じた波長の光を放出する。
１．２．１ マスターオシレータＭＯの動作
マスターオシレータＭＯにおいて、図示しないパルス電源がパルス状の高電圧を生成し、この高電圧を放電電極７１１及び７１２の間に印加する。
放電電極７１１及び７１２の間に高電圧が印加されると、放電電極７１１及び７１２の間に放電が起こる。この放電のエネルギーにより、レーザチャンバ７０内のレーザガスが励起されて高エネルギー準位に移行する。励起されたレーザガスが、その後、低エネルギー準位に移行するとき、そのエネルギー準位差に応じた波長の光を放出する。
【0020】
レーザチャンバ７０内で発生した光は、ウインドウ７０１及び７０２を介してレーザチャンバ７０の外部に出射する。ウインドウ７０１から出射した光は、プリズム７４１によってビーム幅を拡大させられて、グレーティング７４２に入射する。プリズム７４１からグレーティング７４２に入射した光は、グレーティング７４２の複数の溝によって反射されるとともに、光の波長に応じた方向に回折させられる。グレーティング７４２は、プリズム７４１からグレーティング７４２に入射する光の入射角と、所望波長の回折光の回折角とが一致するようにリトロー配置とされている。これにより、所望波長付近の光がプリズム７４１を介してレーザチャンバ７０に戻される。
【0021】
出力結合ミラー７５は、ウインドウ７０２から出射した光のうちの一部を透過させて出力し、他の一部を反射してレーザチャンバ７０に戻す。
【0022】
このようにして、レーザチャンバ７０から出射した光は、狭帯域化モジュール７４と出力結合ミラー７５との間で往復する。この光は、放電電極７１１及び７１２の間の放電空間を通過する度に増幅される。また、この光は、狭帯域化モジュール７４で折り返される度に狭帯域化される。こうしてレーザ発振し狭帯域化された光が、出力結合ミラー７５からパルスレーザ光として出力される。
【0023】
１．２．２ 増幅器ＰＯの動作
出力結合ミラー７５から出力されたパルスレーザ光は、第１のビームステアリングユニット７６及びリアミラー８４を介してレーザチャンバ８０に入射する。
パルスレーザ光がレーザチャンバ８０に入射するのと同期して、増幅器ＰＯにおいて、図示しないパルス電源がパルス状の高電圧を生成し、この高電圧が放電電極８１１及び８１２の間に印加される。
放電電極８１１及び８１２の間に高電圧が印加されると、放電電極８１１及び８１２の間に放電が起こる。この放電のエネルギーにより、レーザチャンバ８０に入射したパルスレーザ光が増幅される。
出力結合ミラー７５から出力されたパルスレーザ光は、第１のビームステアリングユニット７６及びリアミラー８４を介してレーザチャンバ８０に入射する。
パルスレーザ光がレーザチャンバ８０に入射するのと同期して、増幅器ＰＯにおいて、図示しないパルス電源がパルス状の高電圧を生成し、この高電圧が放電電極８１１及び８１２の間に印加される。
放電電極８１１及び８１２の間に高電圧が印加されると、放電電極８１１及び８１２の間に放電が起こる。この放電のエネルギーにより、レーザチャンバ８０に入射したパルスレーザ光が増幅される。
【0024】
レーザチャンバ８０内で増幅された光は、リアミラー８４と出力結合ミラー８５との間で往復する。この光は、放電電極８１１及び８１２の間の放電空間を通過する度に増幅される。こうして増幅された光が、出力結合ミラー８５からパルスレーザ光として出力される。
【0025】
１．２．３ 光学パルスストレッチャー８９の動作
出力結合ミラー８５から出力されたパルスレーザ光は、第２のビームステアリングユニット８６を介して光学パルスストレッチャー８９のビームスプリッタ８９５に図１における右方向に入射する。ビームスプリッタ８９５は、図１における右方向に入射したパルスレーザ光の一部を透過させてパルスレーザ光Ｂ１として出射し、他の一部を図１における下方向に反射する。反射されたパルスレーザ光は、第１～第４の凹面ミラー８９１～８９４によって順次反射され、ビームスプリッタ８９５に図１における下方向に入射する。
出力結合ミラー８５から出力されたパルスレーザ光は、第２のビームステアリングユニット８６を介して光学パルスストレッチャー８９のビームスプリッタ８９５に図１における右方向に入射する。ビームスプリッタ８９５は、図１における右方向に入射したパルスレーザ光の一部を透過させてパルスレーザ光Ｂ１として出射し、他の一部を図１における下方向に反射する。反射されたパルスレーザ光は、第１～第４の凹面ミラー８９１～８９４によって順次反射され、ビームスプリッタ８９５に図１における下方向に入射する。
【0026】
第２のビームステアリングユニット８６から入射したパルスレーザ光のビームスプリッタ８９５におけるビーム断面は、第１～第４の凹面ミラー８９１～８９４により、１：１の大きさでビームスプリッタ８９５に結像する。ビームスプリッタ８９５は、第４の凹面ミラー８９４から図１における下方向に入射したパルスレーザ光の一部を図１における右方向に反射してパルスレーザ光Ｂ２として出射する。パルスレーザ光Ｂ１とパルスレーザ光Ｂ２とはほぼ同軸である。
【0027】
パルスレーザ光Ｂ１とパルスレーザ光Ｂ２との間には、第１～第４の凹面ミラー８９１～８９４によって構成される遅延光路の光路長に応じた時間差が存在する。パルスレーザ光Ｂ１とパルスレーザ光Ｂ２とを空間的に重ねることにより、パルス幅が伸長されたパルスレーザ光を出射することができる。
【0028】
１．３ アライメント調整装置の構成
図２Ａは、比較例に係るアライメント調整装置を模式的に示す。図２Ａにおいて、横方向の軸をＨ軸とし、縦方向の軸をＶ軸とし、紙面に垂直な軸をＺ軸とする。Ｈ軸、Ｖ軸、及びＺ軸は互いに直交している。
図２Ｂは、図２ＡのＩＩＢ－ＩＩＢ線における断面図であり、図２Ｃは、図２ＡのＩＩＣ－ＩＩＣ線における断面図であり、図２Ｄは、図２ＡのＩＩＤ－ＩＩＤ線における断面図である。
図２Ａは、比較例に係るアライメント調整装置を模式的に示す。図２Ａにおいて、横方向の軸をＨ軸とし、縦方向の軸をＶ軸とし、紙面に垂直な軸をＺ軸とする。Ｈ軸、Ｖ軸、及びＺ軸は互いに直交している。
図２Ｂは、図２ＡのＩＩＢ－ＩＩＢ線における断面図であり、図２Ｃは、図２ＡのＩＩＣ－ＩＩＣ線における断面図であり、図２Ｄは、図２ＡのＩＩＤ－ＩＩＤ線における断面図である。
【0029】
アライメント調整装置は、光学素子を支持し、光学素子の姿勢を調整する装置である。以下の説明においては、光学素子の例としてミラー１０を用いる。ミラー１０の例として、図１を参照しながら説明した高反射ミラー７６１、７６２、８６１、及び８６２、第１～第４の凹面ミラー８９１～８９４などが挙げられる。
アライメント調整装置は、第１のホルダ１１と、第２のホルダ２２と、第３のホルダ３３と、第１の調整装置４１と、第２の調整装置５２と、を含む。
アライメント調整装置は、第１のホルダ１１と、第２のホルダ２２と、第３のホルダ３３と、第１の調整装置４１と、第２の調整装置５２と、を含む。
【0030】
１．３．１ 第１のホルダ１１
第１のホルダ１１は、ミラー１０を取り囲んで、ミラー１０に接触してミラー１０を支持している。但し、第１のホルダ１１は、ミラー１０の＋Ｚ側の面である反射表面１０１を覆わないようになっている。
第１のホルダ１１は、ミラー１０を取り囲んで、ミラー１０に接触してミラー１０を支持している。但し、第１のホルダ１１は、ミラー１０の＋Ｚ側の面である反射表面１０１を覆わないようになっている。
【0031】
１．３．２ 第２のホルダ２２
第２のホルダ２２は、第１のホルダ１１を取り囲んで、第１のホルダ１１と間隔をあけて第１のホルダ１１を支持している。第２のホルダ２２は、ピン１６及び１７によって第１のホルダ１１を支持しており、第１のホルダ１１は、ピン１６及び１７によって規定される第１の軸ＡＸ１の周りに回転可能となっている。第１の軸ＡＸ１は、ピン１６及び１７のそれぞれの中心を結ぶ直線である。
第２のホルダ２２は、第１のホルダ１１を取り囲んで、第１のホルダ１１と間隔をあけて第１のホルダ１１を支持している。第２のホルダ２２は、ピン１６及び１７によって第１のホルダ１１を支持しており、第１のホルダ１１は、ピン１６及び１７によって規定される第１の軸ＡＸ１の周りに回転可能となっている。第１の軸ＡＸ１は、ピン１６及び１７のそれぞれの中心を結ぶ直線である。
【0032】
第２のホルダ２２は、ミラー１０の反射表面１０１を覆わないようになっている。また、第２のホルダ２２は開口２５を有している。第２のホルダ２２が開口２５を有する理由は以下の通りである。ミラー１０の反射表面１０１に入射する光のうちのほとんどの光はミラー１０によって反射されるが、一部の光はミラー１０を透過する。ミラー１０を透過した光が第２のホルダ２２に入射すると第２のホルダ２２の温度が上昇し、第２のホルダ２２が熱膨張することによりミラー１０の姿勢が意図せずに変動することがある。ミラー１０を透過した光を通過させるように開口２５を設けることにより、第２のホルダ２２の熱膨張を抑制し得る。また開口２５を介して、ミラー１０の反射表面１０１と反対側である裏面側にミラー１０の熱を放熱させることもできる。第２のホルダ２２だけでなく第１のホルダ１１においても、ミラー１０の裏面側の位置に、ミラー１０の直径より小さい図示しない開口が設けられてもよい。
【0033】
１．３．３ 第３のホルダ３３
第３のホルダ３３は、第２のホルダ２２を取り囲んで、第２のホルダ２２と間隔をあけて第２のホルダ２２を支持している。第３のホルダ３３は、ピン２６及び２７によって第２のホルダ２２を支持しており、第２のホルダ２２は、ピン２６及び２７によって規定される第２の軸ＡＸ２の周りに回転可能となっている。第２の軸ＡＸ２は、ピン２６及び２７のそれぞれの中心を結ぶ直線であり、第２の軸ＡＸ２はＨ軸と平行である。第１の軸ＡＸ１と第２の軸ＡＸ２とは、ミラー１０の反射表面１０１のほぼ中心の位置で直交している。以下の説明において、第１の軸ＡＸ１と第２の軸ＡＸ２とを含む平面を第５の平面Ｐ５という。
第３のホルダ３３は、第２のホルダ２２を取り囲んで、第２のホルダ２２と間隔をあけて第２のホルダ２２を支持している。第３のホルダ３３は、ピン２６及び２７によって第２のホルダ２２を支持しており、第２のホルダ２２は、ピン２６及び２７によって規定される第２の軸ＡＸ２の周りに回転可能となっている。第２の軸ＡＸ２は、ピン２６及び２７のそれぞれの中心を結ぶ直線であり、第２の軸ＡＸ２はＨ軸と平行である。第１の軸ＡＸ１と第２の軸ＡＸ２とは、ミラー１０の反射表面１０１のほぼ中心の位置で直交している。以下の説明において、第１の軸ＡＸ１と第２の軸ＡＸ２とを含む平面を第５の平面Ｐ５という。
【0034】
第３のホルダ３３は、ミラー１０の反射表面１０１を覆わないようになっている。また、第３のホルダ３３は開口３５を有している。第３のホルダ３３が開口３５を有する理由は開口２５に関して説明したのと同様である。第１、第２、及び第３のホルダ１１、２２、及び３３は、例えば、アルミニウムで構成される。アルミニウムは、本開示における第１の材質に相当する。
【0035】
１．３．４ 第１の調整装置４１及び第２の調整装置５２
第１の調整装置４１は、第２のホルダ２２に支持されている。第１の調整装置４１は、駆動部４１０と第１の伸縮部４１１とを含む。駆動部４１０は第２のホルダ２２の－Ｚ側の面２２８に固定されている。第１の伸縮部４１１は棒状の部材であり、第２のホルダ２２を貫通している。第１の伸縮部４１１の端部４１９は駆動部４１０の外に位置し、第１の伸縮部４１１の図示しない反対側の端部は駆動部４１０に収容されている。駆動部４１０が第１の伸縮部４１１の一部を出し入れすることにより、第１の伸縮部４１１のうちの駆動部４１０の外に位置する部分の長さが伸縮するようになっている。以下の説明において、第１の伸縮部４１１のうちの駆動部４１０の外に位置する部分の長さが伸縮することを、「第１の伸縮部４１１が伸縮する」ということがある。伸縮とは伸長及び収縮を含む。第１の伸縮部４１１が伸長するＸ方向は、第５の平面Ｐ５に垂直である。
第１の調整装置４１は、第２のホルダ２２に支持されている。第１の調整装置４１は、駆動部４１０と第１の伸縮部４１１とを含む。駆動部４１０は第２のホルダ２２の－Ｚ側の面２２８に固定されている。第１の伸縮部４１１は棒状の部材であり、第２のホルダ２２を貫通している。第１の伸縮部４１１の端部４１９は駆動部４１０の外に位置し、第１の伸縮部４１１の図示しない反対側の端部は駆動部４１０に収容されている。駆動部４１０が第１の伸縮部４１１の一部を出し入れすることにより、第１の伸縮部４１１のうちの駆動部４１０の外に位置する部分の長さが伸縮するようになっている。以下の説明において、第１の伸縮部４１１のうちの駆動部４１０の外に位置する部分の長さが伸縮することを、「第１の伸縮部４１１が伸縮する」ということがある。伸縮とは伸長及び収縮を含む。第１の伸縮部４１１が伸長するＸ方向は、第５の平面Ｐ５に垂直である。
【0036】
第１の伸縮部４１１の端部４１９は、第１の軸ＡＸ１よりも＋Ｈ側の位置で、第１のホルダ１１に接触している。
第１のホルダ１１と第２のホルダ２２との間において、第１の伸縮部４１１の近傍に、バネ４５が伸長された状態で配置されている。あるいは、第１のホルダ１１と第２のホルダ２２との間において、第１の軸ＡＸ１よりも－Ｈ側の位置に、図示しないバネが圧縮された状態で配置されていてもよい。あるいは、第１のホルダ１１の＋Ｚ側の面に、図示しないバネが配置されていてもよい。
第１のホルダ１１と第２のホルダ２２との間において、第１の伸縮部４１１の近傍に、バネ４５が伸長された状態で配置されている。あるいは、第１のホルダ１１と第２のホルダ２２との間において、第１の軸ＡＸ１よりも－Ｈ側の位置に、図示しないバネが圧縮された状態で配置されていてもよい。あるいは、第１のホルダ１１の＋Ｚ側の面に、図示しないバネが配置されていてもよい。
【0037】
第２の調整装置５２は、第３のホルダ３３に支持されている。第２の調整装置５２は、駆動部５２０と第２の伸縮部５２２とを含む。駆動部５２０は第３のホルダ３３の－Ｚ側の面３３８に固定されている。第２の伸縮部５２２は棒状の部材であり、第３のホルダ３３を貫通している。第２の伸縮部５２２の端部５２９は駆動部５２０の外に位置し、第２の伸縮部５２２の図示しない反対側の端部は駆動部５２０に収容されている。駆動部５２０が第２の伸縮部５２２の一部を出し入れすることにより、第２の伸縮部５２２のうちの駆動部５２０の外に位置する部分の長さが伸縮するようになっている。以下の説明において、第２の伸縮部５２２のうちの駆動部５２０の外に位置する部分の長さが伸縮することを、「第２の伸縮部５２２が伸縮する」ということがある。第２の伸縮部５２２が伸長する方向は＋Ｚ方向である。
【0038】
第２の伸縮部５２２の端部５２９は、第２の軸ＡＸ２よりも＋Ｖ側の位置で、第２のホルダ２２に接触している。第２の伸縮部５２２の端部５２９は、第５の平面Ｐ５に位置している。
第２のホルダ２２と第３のホルダ３３との間において、第２の伸縮部５２２の近傍に、バネ５５が伸長された状態で配置されている。あるいは、第２のホルダ２２と第３のホルダ３３との間において、第２の軸ＡＸ２よりも－Ｖ側の位置に、図示しないバネが圧縮された状態で配置されていてもよい。あるいは、第２のホルダ２２の＋Ｚ側の面に、図示しないバネが配置されていてもよい。
第２のホルダ２２と第３のホルダ３３との間において、第２の伸縮部５２２の近傍に、バネ５５が伸長された状態で配置されている。あるいは、第２のホルダ２２と第３のホルダ３３との間において、第２の軸ＡＸ２よりも－Ｖ側の位置に、図示しないバネが圧縮された状態で配置されていてもよい。あるいは、第２のホルダ２２の＋Ｚ側の面に、図示しないバネが配置されていてもよい。
【0039】
第１の調整装置４１及び第２の調整装置５２の各々は、例えばマイクロメータで構成される。
第１の伸縮部４１１及び第２の伸縮部５２２は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）で構成される。ステンレス鋼は、本開示における第２の材質に相当する。ステンレス鋼などの第２の材質は、アルミニウムなどの第１の材質よりも熱膨張係数が小さい。アルミニウムなどの第１の材質は、ステンレス鋼などの第２の材質よりも比重が小さい。
第１の伸縮部４１１及び第２の伸縮部５２２は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）で構成される。ステンレス鋼は、本開示における第２の材質に相当する。ステンレス鋼などの第２の材質は、アルミニウムなどの第１の材質よりも熱膨張係数が小さい。アルミニウムなどの第１の材質は、ステンレス鋼などの第２の材質よりも比重が小さい。
【0040】
１．４ アライメント調整装置の動作
図２Ｅは、比較例において第２のホルダ２２を回転させた場合の図２Ｂに相当する部分を示す断面図である。図２Ｆは、比較例において第１のホルダ１１を回転させた場合の図２Ｄに相当する部分を示す断面図である。
１．４．１ 第１のホルダ１１の回転
駆動部４１０によって第１の伸縮部４１１が伸長すると、第１のホルダ１１の一部が第１の伸縮部４１１によって押されることにより、第１のホルダ１１が第２のホルダ２２に対して第１の軸ＡＸ１の周りに回転する。
図２Ｅは、比較例において第２のホルダ２２を回転させた場合の図２Ｂに相当する部分を示す断面図である。図２Ｆは、比較例において第１のホルダ１１を回転させた場合の図２Ｄに相当する部分を示す断面図である。
１．４．１ 第１のホルダ１１の回転
駆動部４１０によって第１の伸縮部４１１が伸長すると、第１のホルダ１１の一部が第１の伸縮部４１１によって押されることにより、第１のホルダ１１が第２のホルダ２２に対して第１の軸ＡＸ１の周りに回転する。
【0041】
駆動部４１０によって第１の伸縮部４１１が収縮すると、第１のホルダ１１の一部がバネ４５によって引っ張られることにより、第１のホルダ１１が第２のホルダ２２に対して第１の軸ＡＸ１の周りに回転する（図２Ｆ参照）。第１のホルダ１１の回転は、第１の伸縮部４１１が伸長したときと収縮したときとで逆の回転となる。
【0042】
このように、第１の伸縮部４１１を第１のホルダ１１に接触させて第１の伸縮部４１１の長さを調整することで、第１のホルダ１１及びミラー１０が第１の軸ＡＸ１の周りに回転する。
【0043】
図２Ｄに示されるように、第１の伸縮部４１１の端部４１９が第５の平面Ｐ５に位置している状態を、以下の説明において「未調整状態」ということがある。
図２Ｆに示されるように、第１の伸縮部４１１の伸縮によって、第１の伸縮部４１１の端部４１９が第５の平面Ｐ５以外に位置している状態を、以下の説明において「調整状態」ということがある。
図２Ｆに示されるように、第１の伸縮部４１１の伸縮によって、第１の伸縮部４１１の端部４１９が第５の平面Ｐ５以外に位置している状態を、以下の説明において「調整状態」ということがある。
【0044】
１．４．２ 第２のホルダ２２の回転
駆動部５２０によって第２の伸縮部５２２が伸長すると、第２のホルダ２２の一部が第２の伸縮部５２２によって押されることにより、第２のホルダ２２が第３のホルダ３３に対して第２の軸ＡＸ２の周りに回転する。
駆動部５２０によって第２の伸縮部５２２が伸長すると、第２のホルダ２２の一部が第２の伸縮部５２２によって押されることにより、第２のホルダ２２が第３のホルダ３３に対して第２の軸ＡＸ２の周りに回転する。
【0045】
駆動部５２０によって第２の伸縮部５２２が収縮すると、第２のホルダ２２の一部がバネ５５によって引っ張られることにより、第２のホルダ２２が第３のホルダ３３に対して第２の軸ＡＸ２の周りに回転する（図２Ｅ参照）。第２のホルダ２２の回転は、第２の伸縮部５２２が伸長したときと収縮したときとで逆の回転となる。第２のホルダ２２が第２の軸ＡＸ２の周りに回転すると、第１の軸ＡＸ１も第２の軸ＡＸ２の周りに回転し、第５の平面Ｐ５も傾く。
【0046】
このように、第２の伸縮部５２２を第２のホルダ２２に接触させて第２の伸縮部５２２の長さを調整することで、第２のホルダ２２、第１の調整装置４１、第１のホルダ１１、及びミラー１０が第２の軸ＡＸ２の周りに回転する。
【0047】
図２Ｃに示されるように、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対して第５の平面Ｐ５が垂直である状態を、以下の説明において「未調整状態」ということがある。第２の伸縮部５２２が未調整状態であるときの第１の軸ＡＸ１は、Ｖ軸と平行である。
図２Ｅに示されるように、第２の伸縮部５２２の伸縮によって、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対して第５の平面Ｐ５が傾いている状態を、以下の説明において「調整状態」ということがある。
図２Ｅに示されるように、第２の伸縮部５２２の伸縮によって、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対して第５の平面Ｐ５が傾いている状態を、以下の説明において「調整状態」ということがある。
【0048】
１．５ 作用
以上のようにして第１のホルダ１１が第２のホルダ２２に対して第１の軸ＡＸ１の周りに回転し、第２のホルダ２２が第３のホルダ３３に対して第２の軸ＡＸ２の周りに回転できるようになっている。これにより、互いに直交する２つの軸の周りにミラー１０を回転させてその姿勢を調整することができ、それらの軸の周りの回転角度を独立に調整することができる。
以上のようにして第１のホルダ１１が第２のホルダ２２に対して第１の軸ＡＸ１の周りに回転し、第２のホルダ２２が第３のホルダ３３に対して第２の軸ＡＸ２の周りに回転できるようになっている。これにより、互いに直交する２つの軸の周りにミラー１０を回転させてその姿勢を調整することができ、それらの軸の周りの回転角度を独立に調整することができる。
【0049】
第１の伸縮部４１１及び第２の伸縮部５２２は、それぞれ第１のホルダ１１及び第２のホルダ２２に接触するだけでなく、それぞれ第１のホルダ１１及び第２のホルダ２２に引っ掛けられるように構成されてもよい。その場合、第１の伸縮部４１１及び第２の伸縮部５２２が収縮するときに、それぞれに引っ張られることによって第１のホルダ１１及び第２のホルダ２２が回転してもよく、バネ４５及び５５は設けられなくてもよい。
【0050】
１．６ 比較例の課題
１．６．１ 第１の伸縮部４１１と第２のホルダ２２との関係
上述のように、第１の調整装置４１の駆動部４１０は第２のホルダ２２に固定され、未調整状態において第１の伸縮部４１１の端部４１９と第１のホルダ１１とが接触する位置は、第５の平面Ｐ５に一致している。
１．６．１ 第１の伸縮部４１１と第２のホルダ２２との関係
上述のように、第１の調整装置４１の駆動部４１０は第２のホルダ２２に固定され、未調整状態において第１の伸縮部４１１の端部４１９と第１のホルダ１１とが接触する位置は、第５の平面Ｐ５に一致している。
【0051】
ここで、第２のホルダ２２及び第１の伸縮部４１１の熱膨張係数が異なる場合、以下の問題がある。駆動部４１０が固定された第２のホルダ２２の－Ｚ側の面２２８から第５の平面Ｐ５までのＺ方向の距離は、第２のホルダ２２の熱膨張係数及び温度に依存する。面２２８から第１の伸縮部４１１の端部４１９までのＺ方向の距離は、第１の伸縮部４１１の熱膨張係数及び温度に依存する。第２のホルダ２２と第１の伸縮部４１１とを含むアライメント調整装置の温度がパルスレーザ光のエネルギーにより変化すると、第５の平面Ｐ５と第１の伸縮部４１１の端部４１９との位置関係が、駆動部４１０による調節とは別に変化してしまう。従って、ミラー１０の姿勢が変化してしまう。
【0052】
また、第２のホルダ２２及び第１の伸縮部４１１の熱伝導率の違い、又は比熱の違いなどの要因で第２のホルダ２２と第１の伸縮部４１１とに温度差が生じた場合も、第５の平面Ｐ５と第１の伸縮部４１１の端部４１９との位置関係が変化してしまう。
【0053】
１．６．２ 第２の伸縮部５２２と第３のホルダ３３との関係
上述のように、第２の調整装置５２の駆動部５２０は第３のホルダ３３に固定され、第２の伸縮部５２２の端部５２９は第５の平面Ｐ５において第２のホルダ２２に接触している。未調整状態における第５の平面Ｐ５は、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対して垂直となっている。
上述のように、第２の調整装置５２の駆動部５２０は第３のホルダ３３に固定され、第２の伸縮部５２２の端部５２９は第５の平面Ｐ５において第２のホルダ２２に接触している。未調整状態における第５の平面Ｐ５は、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対して垂直となっている。
【0054】
ここで、第３のホルダ３３及び第２の伸縮部５２２の熱膨張係数が異なる場合、上述と同様の問題がある。すなわち、アライメント調整装置の温度がパルスレーザ光のエネルギーにより変化すると、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対する第５の平面Ｐ５の傾きが、駆動部５２０による調節とは別に変化してしまう。従って、ミラー１０の姿勢が変化してしまう。
【0055】
また、第３のホルダ３３と第２の伸縮部５２２の熱伝導率の違い、比熱の違いなどの要因で第３のホルダ３３と第２の伸縮部５２２とに温度差が生じた場合も、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対する第５の平面Ｐ５の傾きが変化してしまう。
【0056】
１．６．３ 解決方法の検討
第２のホルダ２２及び第３のホルダ３３を第１の伸縮部４１１及び第２の伸縮部５２２と同じ第２の材質で構成すれば、これらの部材間で熱膨張係数、熱伝導率、及び比熱が同じになるので上記の問題は軽減される。しかし、第２の材質の比重が大きい場合には第２のホルダ２２などが重くなり、高速な姿勢制御が困難になり得る。
第２のホルダ２２及び第３のホルダ３３を第１の伸縮部４１１及び第２の伸縮部５２２と同じ第２の材質で構成すれば、これらの部材間で熱膨張係数、熱伝導率、及び比熱が同じになるので上記の問題は軽減される。しかし、第２の材質の比重が大きい場合には第２のホルダ２２などが重くなり、高速な姿勢制御が困難になり得る。
【0057】
以下に説明する幾つかの実施形態においては、第１の調整装置４１を支持する第１の支持部材２１ａ又は２１ｂを第２のホルダ２２ａ又は２２ｂに配置し、第１の支持部材２１ａ又は２１ｂと第１の伸縮部４１１とを同じ材質で構成している。さらに、第２の調整装置５２を支持する第２の支持部材３２ａ又は３２ｂを第３のホルダ３３ａ又は３３ｂに配置し、第２の支持部材３２ａ又は３２ｂと第２の伸縮部５２２とを同じ材質で構成している。
【0058】
２．伸縮部と同じ材質の支持部材を含むアライメント調整装置
２．１ 構成及び動作
図３Ａは、第１の実施形態に係るアライメント調整装置を模式的に示す。図３Ｂは、図３ＡのＩＩＩＢ－ＩＩＩＢ線における断面図であり、図３Ｃは、図３ＡのＩＩＩＣ－ＩＩＩＣ線における断面図であり、図３Ｄは、図３ＡのＩＩＩＤ－ＩＩＩＤ線における断面図である。
２．１ 構成及び動作
図３Ａは、第１の実施形態に係るアライメント調整装置を模式的に示す。図３Ｂは、図３ＡのＩＩＩＢ－ＩＩＩＢ線における断面図であり、図３Ｃは、図３ＡのＩＩＩＣ－ＩＩＩＣ線における断面図であり、図３Ｄは、図３ＡのＩＩＩＤ－ＩＩＩＤ線における断面図である。
【0059】
２．１．１ 第２のホルダ２２ａ及び第１の支持部材２１ａ
第１の実施形態に係るアライメント調整装置は、比較例における第２のホルダ２２の代わりに、第２のホルダ２２ａ及び第１の支持部材２１ａを含む。第２のホルダ２２ａと第１の支持部材２１ａとを組み合わせた形状が、比較例における第２のホルダ２２の形状にほぼ相当する。
第１の実施形態に係るアライメント調整装置は、比較例における第２のホルダ２２の代わりに、第２のホルダ２２ａ及び第１の支持部材２１ａを含む。第２のホルダ２２ａと第１の支持部材２１ａとを組み合わせた形状が、比較例における第２のホルダ２２の形状にほぼ相当する。
【0060】
第２のホルダ２２ａは、第１のホルダ１１を第１の軸ＡＸ１において支持するほかに、第１の支持部材２１ａを第１の支持部材２１ａの＋Ｚ側の第１の端部２１１において支持している。第２のホルダ２２ａは、例えばアルミニウムなどの第１の材質で構成されている。第１の支持部材２１ａは、第１の端部２１１を貫通する図示しないボルトによって第２のホルダ２２ａに固定される。
【0061】
第１の支持部材２１ａは、第１の調整装置４１を支持している。第１の調整装置４１に含まれる駆動部４１０は、第１の支持部材２１ａの－Ｚ側の面２１８に固定されている。
第１の支持部材２１ａの第１の端部２１１は、第５の平面Ｐ５に位置する。これにより、第１の端部２１１と第１の軸ＡＸ１とを含む第１の平面Ｐ１は、第５の平面Ｐ５と一致する。第１の平面Ｐ１は、第１の伸縮部４１１が伸長するＸ方向に垂直である。
第１の支持部材２１ａの第１の端部２１１は、第５の平面Ｐ５に位置する。これにより、第１の端部２１１と第１の軸ＡＸ１とを含む第１の平面Ｐ１は、第５の平面Ｐ５と一致する。第１の平面Ｐ１は、第１の伸縮部４１１が伸長するＸ方向に垂直である。
【0062】
未調整状態における第１の伸縮部４１１の端部４１９は、第５の平面Ｐ５に位置するだけでなく、第１の平面Ｐ１にも位置する。従って、駆動部４１０が固定された第１の支持部材２１ａの－Ｚ側の面２１８から未調整状態における第１の伸縮部４１１の端部４１９までのＺ方向の距離と、面２１８から第１の支持部材２１ａの第１の端部２１１までのＺ方向の距離とが、ほぼ等しくなっている。
【0063】
第１の支持部材２１ａは、第１の伸縮部４１１と同じ第２の材質で構成されており、例えばステンレス鋼で構成されている。これによれば、第１の支持部材２１ａと第１の伸縮部４１１とが温度変化しても、第１の支持部材２１ａのＺ方向の長さと第１の伸縮部４１１のＺ方向の長さとがほぼ同じだけ変化する。従って、未調整状態における第１の伸縮部４１１の端部４１９と、第５の平面Ｐ５との位置関係が安定化し得る。
【0064】
ここでは、未調整状態において第１の伸縮部４１１と第１のホルダ１１とが接触する端部４１９の位置が、第１の平面Ｐ１に一致する場合について説明したが、本開示はこれに限定されない。第１の伸縮部４１１と第１のホルダ１１とが接触する端部４１９の位置が第１の平面Ｐ１に調整可能であればよい。調整可能であるとは、第１の伸縮部４１１と第１のホルダ１１とが接触する端部４１９の位置の可動範囲内に、第１の平面Ｐ１の一部が含まれていることをいう。
【0065】
２．１．２ 第３のホルダ３３ａ及び第２の支持部材３２ａ
第１の実施形態に係るアライメント調整装置は、比較例における第３のホルダ３３の代わりに、第３のホルダ３３ａ及び第２の支持部材３２ａを含む。第３のホルダ３３ａと第２の支持部材３２ａとを組み合わせた形状が、比較例における第３のホルダ３３の形状にほぼ相当する。
第１の実施形態に係るアライメント調整装置は、比較例における第３のホルダ３３の代わりに、第３のホルダ３３ａ及び第２の支持部材３２ａを含む。第３のホルダ３３ａと第２の支持部材３２ａとを組み合わせた形状が、比較例における第３のホルダ３３の形状にほぼ相当する。
【0066】
第３のホルダ３３ａは、第２のホルダ２２ａを第２の軸ＡＸ２において支持するほかに、第２の支持部材３２ａを第２の支持部材３２ａの＋Ｚ側の第３の端部３２３（図３Ｃ参照）において支持している。第３のホルダ３３ａは、例えばアルミニウムなどの第１の材質で構成されている。第２の支持部材３２ａは、第３の端部３２３を貫通するボルト３２６によって第３のホルダ３３ａに固定される。
【0067】
第２の支持部材３２ａは、第２の調整装置５２を支持している。第２の調整装置５２に含まれる駆動部５２０は、第２の支持部材３２ａの－Ｚ側の面３２８に固定されている。第２の支持部材３２ａの第３の端部３２３と第２の軸ＡＸ２とを含む第３の平面Ｐ３は、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に垂直である。
第３の端部３２３は、未調整状態における第５の平面Ｐ５に位置する。すなわち、第３の平面Ｐ３は未調整状態における第５の平面Ｐ５と一致する。
第３の端部３２３は、未調整状態における第５の平面Ｐ５に位置する。すなわち、第３の平面Ｐ３は未調整状態における第５の平面Ｐ５と一致する。
【0068】
上述のように、第２の伸縮部５２２の端部５２９は、第５の平面Ｐ５に位置する。すなわち、第２の伸縮部５２２は、第５の平面Ｐ５において第２のホルダ２２ａに接触する。
また、未調整状態において第２の伸縮部５２２の端部５２９と第２のホルダ２２ａとが接触する位置は、第３の平面Ｐ３に一致している。従って、駆動部５２０を固定した第２の支持部材３２ａの－Ｚ側の面３２８から未調整状態における第２の伸縮部５２２の端部５２９までのＺ方向の距離と、面３２８から第２の支持部材３２ａの第３の端部３２３までのＺ方向の距離とが、ほぼ等しくなっている。
また、未調整状態において第２の伸縮部５２２の端部５２９と第２のホルダ２２ａとが接触する位置は、第３の平面Ｐ３に一致している。従って、駆動部５２０を固定した第２の支持部材３２ａの－Ｚ側の面３２８から未調整状態における第２の伸縮部５２２の端部５２９までのＺ方向の距離と、面３２８から第２の支持部材３２ａの第３の端部３２３までのＺ方向の距離とが、ほぼ等しくなっている。
【0069】
第２の支持部材３２ａは、第２の伸縮部５２２と同じ第２の材質で構成されており、例えばステンレス鋼で構成されている。これによれば、第２の伸縮部５２２と第２の支持部材３２ａとが温度変化しても、第２の伸縮部５２２のＺ方向の長さと第２の支持部材３２ａのＺ方向の長さとがほぼ同じだけ変化する。従って、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対する第５の平面Ｐ５の傾きが安定化し得る。
【0070】
ここでは、未調整状態において第２の伸縮部５２２と第２のホルダ２２ａとが接触する端部５２９の位置が、第３の平面Ｐ３に一致する場合について説明したが、本開示はこれに限定されない。第２の伸縮部５２２と第２のホルダ２２ａとが接触する端部５２９の位置が第３の平面Ｐ３に調整可能であればよい。調整可能であるとは、第２の伸縮部５２２と第２のホルダ２２ａとが接触する端部５２９の位置の可動範囲内に、第３の平面Ｐ３の一部が含まれていることをいう。
【0071】
２．２ 他の構成例
第１の実施形態においては、互いに直交する２軸でミラー１０の姿勢を調節しているが、本開示はこれに限定されない。回転軸は第１の軸ＡＸ１だけでもよく、第３のホルダ３３ａ、第２の支持部材３２ａ、及び第２の調整装置５２は設けられなくてもよい。
第１の実施形態においては、互いに直交する２軸でミラー１０の姿勢を調節しているが、本開示はこれに限定されない。回転軸は第１の軸ＡＸ１だけでもよく、第３のホルダ３３ａ、第２の支持部材３２ａ、及び第２の調整装置５２は設けられなくてもよい。
【0072】
２．３ 作用
第１の実施形態によれば、アライメント調整装置は、第１のホルダ１１と、第１の調整装置４１と、第１の支持部材２１ａと、を含む。第１のホルダ１１は、アルミニウムなどの第１の材質で構成されており、ミラー１０を支持する。第１の調整装置４１は、第１の材質と異なるステンレス鋼などの第２の材質で構成された第１の伸縮部４１１を含む。第１の調整装置４１は、第１の伸縮部４１１を第１のホルダ１１に接触させて第１の伸縮部４１１の長さを調整することで、第１のホルダ１１及びミラー１０を第１の軸ＡＸ１の周りに回転させる。第１の支持部材２１ａは、第２の材質で構成されており、第１の調整装置４１を支持する。
第１の調整装置４１は、第１の支持部材２１ａの第１の端部２１１と第１の軸ＡＸ１とを含む第１の平面Ｐ１に、第１の伸縮部４１１と第１のホルダ１１とが接触する位置を調整可能に構成されている。
第１の実施形態によれば、アライメント調整装置は、第１のホルダ１１と、第１の調整装置４１と、第１の支持部材２１ａと、を含む。第１のホルダ１１は、アルミニウムなどの第１の材質で構成されており、ミラー１０を支持する。第１の調整装置４１は、第１の材質と異なるステンレス鋼などの第２の材質で構成された第１の伸縮部４１１を含む。第１の調整装置４１は、第１の伸縮部４１１を第１のホルダ１１に接触させて第１の伸縮部４１１の長さを調整することで、第１のホルダ１１及びミラー１０を第１の軸ＡＸ１の周りに回転させる。第１の支持部材２１ａは、第２の材質で構成されており、第１の調整装置４１を支持する。
第１の調整装置４１は、第１の支持部材２１ａの第１の端部２１１と第１の軸ＡＸ１とを含む第１の平面Ｐ１に、第１の伸縮部４１１と第１のホルダ１１とが接触する位置を調整可能に構成されている。
【0073】
これによれば、第１の支持部材２１ａの－Ｚ側の面２１８から第１の端部２１１までのＺ方向の距離と、面２１８から第１の伸縮部４１１と第１のホルダ１１とが接触する端部４１９までのＺ方向の距離とが、等しくなるように調整することができる。第１の支持部材２１ａと第１の伸縮部４１１とはいずれも第２の材質で構成され、熱膨張係数が同じであるため、第１の支持部材２１ａと第１の伸縮部４１１とが温度変化しても、第１の支持部材２１ａのＺ方向の長さと第１の伸縮部４１１のＺ方向の長さとがほぼ同じだけ変化する。従って、第１の伸縮部４１１の端部４１９と第５の平面Ｐ５との位置関係が駆動部４１０による調節とは別に変化してしまうことが抑制される。また、第１の支持部材２１ａと第１の伸縮部４１１とは熱伝導率及び比熱が同じであるため、第１の支持部材２１ａと第１の伸縮部４１１との温度差が抑制される。従って、第１の伸縮部４１１の端部４１９と第５の平面Ｐ５との位置関係の変化が抑制される。
【0074】
第１の実施形態によれば、アライメント調整装置は、第１のホルダ１１を第１の軸ＡＸ１において支持するとともに第１の支持部材２１ａを第１の端部２１１において支持する第１の材質の第２のホルダ２２ａをさらに含む。
これによれば、第１のホルダ１１を第１の軸ＡＸ１において支持することと、第１の調整装置４１を支持する第１の支持部材２１ａを第１の端部２１１において支持することとが、共通の第２のホルダ２２ａによってなされる。従って、ミラー１０の姿勢がより安定化し得る。
これによれば、第１のホルダ１１を第１の軸ＡＸ１において支持することと、第１の調整装置４１を支持する第１の支持部材２１ａを第１の端部２１１において支持することとが、共通の第２のホルダ２２ａによってなされる。従って、ミラー１０の姿勢がより安定化し得る。
【0075】
第１の実施形態によれば、第２の材質は、第１の材質よりも熱膨張係数が小さい。
これによれば、第１の伸縮部４１１及び第１の支持部材２１ａは、熱膨張係数が小さい材質で構成され、第１のホルダ１１の姿勢がより安定化し得る。
これによれば、第１の伸縮部４１１及び第１の支持部材２１ａは、熱膨張係数が小さい材質で構成され、第１のホルダ１１の姿勢がより安定化し得る。
【0076】
第１の実施形態によれば、第１の材質は、第２の材質よりも比重が小さい。
これによれば、第１のホルダ１１が、あるいは第１のホルダ１１及び第２のホルダ２２ａの両方が、比重が小さい材質で構成され、高速な姿勢制御が可能になり得る。
これによれば、第１のホルダ１１が、あるいは第１のホルダ１１及び第２のホルダ２２ａの両方が、比重が小さい材質で構成され、高速な姿勢制御が可能になり得る。
【0077】
第１の実施形態によれば、アライメント調整装置は、第２の調整装置５２と、第２の支持部材３２ａと、をさらに含む。第２の調整装置５２は、第２の材質の第２の伸縮部５２２を含み、第２の伸縮部５２２を第２のホルダ２２ａに接触させて第２の伸縮部５２２の長さを調整することで、第２のホルダ２２ａ、第１のホルダ１１及びミラー１０を第１の軸ＡＸ１と異なる第２の軸ＡＸ２の周りに回転させる。第２の支持部材３２ａは、第２の材質で構成されており、第２の調整装置５２を支持する。
これによれば、第１の軸ＡＸ１に加えて第２の軸ＡＸ２においてもミラー１０の姿勢を調整可能となる。
これによれば、第１の軸ＡＸ１に加えて第２の軸ＡＸ２においてもミラー１０の姿勢を調整可能となる。
【0078】
第１の実施形態によれば、第２の調整装置５２は、第２の支持部材３２ａの第３の端部３２３と第２の軸ＡＸ２とを含む第３の平面Ｐ３に、第２の伸縮部５２２と第２のホルダ２２ａとが接触する位置を調整可能に構成されている。
これによれば、第２の支持部材３２ａの－Ｚ側の面３２８から第３の端部３２３までのＺ方向の距離と、面３２８から第２の伸縮部５２２と第２のホルダ２２ａとが接触する端部５２９までのＺ方向の距離とが、等しくなるように調整することができる。第２の支持部材３２ａと第２の伸縮部５２２とはいずれも第２の材質で構成され、熱膨張係数が同じであるため、第２の支持部材３２ａと第２の伸縮部５２２とが温度変化しても、第２の支持部材３２ａのＺ方向の長さと第２の伸縮部５２２のＺ方向の長さとがほぼ同じだけ変化する。従って、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対する第５の平面Ｐ５の傾きが駆動部５２０による調節とは別に変化してしまうことが抑制される。また、第２の支持部材３２ａと第２の伸縮部５２２とは熱伝導率及び比熱が同じであるため、第２の支持部材３２ａと第２の伸縮部５２２との温度差が抑制される。従って、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対する第５の平面Ｐ５の傾きの変化が抑制される。
これによれば、第２の支持部材３２ａの－Ｚ側の面３２８から第３の端部３２３までのＺ方向の距離と、面３２８から第２の伸縮部５２２と第２のホルダ２２ａとが接触する端部５２９までのＺ方向の距離とが、等しくなるように調整することができる。第２の支持部材３２ａと第２の伸縮部５２２とはいずれも第２の材質で構成され、熱膨張係数が同じであるため、第２の支持部材３２ａと第２の伸縮部５２２とが温度変化しても、第２の支持部材３２ａのＺ方向の長さと第２の伸縮部５２２のＺ方向の長さとがほぼ同じだけ変化する。従って、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対する第５の平面Ｐ５の傾きが駆動部５２０による調節とは別に変化してしまうことが抑制される。また、第２の支持部材３２ａと第２の伸縮部５２２とは熱伝導率及び比熱が同じであるため、第２の支持部材３２ａと第２の伸縮部５２２との温度差が抑制される。従って、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に対する第５の平面Ｐ５の傾きの変化が抑制される。
【0079】
第１の実施形態によれば、アライメント調整装置は、第２のホルダ２２ａを第２の軸ＡＸ２において支持するとともに第２の支持部材３２ａを第３の端部３２３において支持する第１の材質の第３のホルダ３３ａをさらに含む。
これによれば、第２のホルダ２２ａを第２の軸ＡＸ２において支持することと、第２の調整装置５２を支持する第２の支持部材３２ａを第３の端部３２３において支持することとが、共通の第３のホルダ３３ａによってなされる。従って、ミラー１０の姿勢がより安定化し得る。
これによれば、第２のホルダ２２ａを第２の軸ＡＸ２において支持することと、第２の調整装置５２を支持する第２の支持部材３２ａを第３の端部３２３において支持することとが、共通の第３のホルダ３３ａによってなされる。従って、ミラー１０の姿勢がより安定化し得る。
【0080】
第１の実施形態によれば、第１の軸ＡＸ１と第２の軸ＡＸ２とは交差しており、第１の軸ＡＸ１と第２の軸ＡＸ２とを含む第５の平面Ｐ５に、第１の支持部材２１ａの第１の端部２１１が位置する。
これによれば、第１及び第２の軸ＡＸ１及びＡＸ２で規定される第５の平面Ｐ５を基準として第１の支持部材２１ａを配置するので、ミラー１０の姿勢が安定化し得る。
これによれば、第１及び第２の軸ＡＸ１及びＡＸ２で規定される第５の平面Ｐ５を基準として第１の支持部材２１ａを配置するので、ミラー１０の姿勢が安定化し得る。
【0081】
第１の実施形態によれば、第１の端部２１１と第１の軸ＡＸ１とを含む第１の平面Ｐ１が、第１の伸縮部４１１が伸長するＸ方向に垂直である。
これによれば、第１の伸縮部４１１と第１のホルダ１１とが接触する端部４１９が第１の平面Ｐ１に位置するときに、第１のホルダ１１を回転させる力を効率的に作用させることができる。
これによれば、第１の伸縮部４１１と第１のホルダ１１とが接触する端部４１９が第１の平面Ｐ１に位置するときに、第１のホルダ１１を回転させる力を効率的に作用させることができる。
【0082】
第１の実施形態によれば、第２の伸縮部５２２は、第５の平面Ｐ５において第２のホルダ２２ａに接触する。
これによれば、第１及び第２の軸ＡＸ１及びＡＸ２で規定される第５の平面Ｐ５を基準として第２のホルダ２２ａの姿勢を調整するので、ミラー１０の姿勢が安定化し得る。
これによれば、第１及び第２の軸ＡＸ１及びＡＸ２で規定される第５の平面Ｐ５を基準として第２のホルダ２２ａの姿勢を調整するので、ミラー１０の姿勢が安定化し得る。
【0083】
第１の実施形態によれば、第２の支持部材３２ａの第３の端部３２３と第２の軸ＡＸ２とを含む第３の平面Ｐ３が、第２の伸縮部５２２が伸長する＋Ｚ方向に垂直である。
これによれば、第２の伸縮部５２２と第２のホルダ２２ａとが接触する端部５２９が第３の平面Ｐ３に位置するときに、第２のホルダ２２ａを回転させる力を効率的に作用させることができる。
その他の点については、第１の実施形態は比較例と同様である。
これによれば、第２の伸縮部５２２と第２のホルダ２２ａとが接触する端部５２９が第３の平面Ｐ３に位置するときに、第２のホルダ２２ａを回転させる力を効率的に作用させることができる。
その他の点については、第１の実施形態は比較例と同様である。
【0084】
３．第２の平面Ｐ２が第１の平面Ｐ１に垂直であるアライメント調整装置
３．１ 構成及び動作
図４Ａは、第２の実施形態に係るアライメント調整装置を模式的に示す。図４Ｂは、図４ＡのＩＶＢ－ＩＶＢ線における断面図であり、図４Ｃは、図４ＡのＩＶＣ－ＩＶＣ線における断面図であり、図４Ｄは、図４ＡのＩＶＤ－ＩＶＤ線における断面図である。
３．１ 構成及び動作
図４Ａは、第２の実施形態に係るアライメント調整装置を模式的に示す。図４Ｂは、図４ＡのＩＶＢ－ＩＶＢ線における断面図であり、図４Ｃは、図４ＡのＩＶＣ－ＩＶＣ線における断面図であり、図４Ｄは、図４ＡのＩＶＤ－ＩＶＤ線における断面図である。
【0085】
３．１．１ 第２のホルダ２２ｂ及び第１の支持部材２１ｂ
第２の実施形態に係るアライメント調整装置は、第１の実施形態における第２のホルダ２２ａ及び第１の支持部材２１ａの代わりに、第２のホルダ２２ｂ及び第１の支持部材２１ｂを含む。第２のホルダ２２ｂと第１の支持部材２１ｂとを組み合わせた形状が、第１の実施形態における第２のホルダ２２ａ及び第１の支持部材２１ａを組み合わせた形状にほぼ相当する。
第２の実施形態に係るアライメント調整装置は、第１の実施形態における第２のホルダ２２ａ及び第１の支持部材２１ａの代わりに、第２のホルダ２２ｂ及び第１の支持部材２１ｂを含む。第２のホルダ２２ｂと第１の支持部材２１ｂとを組み合わせた形状が、第１の実施形態における第２のホルダ２２ａ及び第１の支持部材２１ａを組み合わせた形状にほぼ相当する。
【0086】
第２のホルダ２２ｂは、第１のホルダ１１を第１の軸ＡＸ１において支持するほかに、第１の支持部材２１ｂを第１の支持部材２１ｂの＋Ｚ側の第１の端部２１１と第１の支持部材２１ｂの－Ｈ側の第２の端部２１２とにおいて支持している。第１の支持部材２１ｂは、第１の端部２１１を貫通する図示しないボルト及び第２の端部２１２を貫通する図示しないボルトによって第２のホルダ２２ｂに固定される。
【0087】
第２の端部２１２と第１の軸ＡＸ１とを含む第２の平面Ｐ２は、第１の支持部材２１ｂの第１の端部２１１と第１の軸ＡＸ１とを含む第１の平面Ｐ１に垂直である。第２の平面Ｐ２は、第１の軸ＡＸ１と第２の軸ＡＸ２とを含む第５の平面Ｐ５にも垂直である。
【0088】
３．１．２ 第３のホルダ３３ｂ及び第２の支持部材３２ｂ
第２の実施形態に係るアライメント調整装置は、第１の実施形態における第３のホルダ３３ａ及び第２の支持部材３２ａの代わりに、第３のホルダ３３ｂ及び第２の支持部材３２ｂを含む。第３のホルダ３３ｂと第２の支持部材３２ｂとを組み合わせた形状が、第１の実施形態における第３のホルダ３３ａ及び第２の支持部材３２ａを組み合わせた形状にほぼ相当する。
第２の実施形態に係るアライメント調整装置は、第１の実施形態における第３のホルダ３３ａ及び第２の支持部材３２ａの代わりに、第３のホルダ３３ｂ及び第２の支持部材３２ｂを含む。第３のホルダ３３ｂと第２の支持部材３２ｂとを組み合わせた形状が、第１の実施形態における第３のホルダ３３ａ及び第２の支持部材３２ａを組み合わせた形状にほぼ相当する。
【0089】
第３のホルダ３３ｂは、第２のホルダ２２ｂを第２の軸ＡＸ２において支持するほかに、第２の支持部材３２ｂを第２の支持部材３２ｂの＋Ｚ側の第３の端部３２３と第２の支持部材３２ｂの－Ｖ側の第４の端部３２４とにおいて支持している。第２の支持部材３２ｂは、第３の端部３２３を貫通するボルト３２６及び第４の端部３２４を貫通するボルト３２７によって第３のホルダ３３ｂに固定される。
【0090】
第４の端部３２４と第２の軸ＡＸ２とを含む第４の平面Ｐ４は、第２の支持部材３２ｂの第３の端部３２３と第２の軸ＡＸ２とを含む第３の平面Ｐ３に垂直である。
【0091】
３．２ 他の構成例
第２の実施形態においては、互いに直交する２軸でミラー１０の姿勢を調節しているが、本開示はこれに限定されない。回転軸は第１の軸ＡＸ１だけでもよく、第３のホルダ３３ｂ、第２の支持部材３２ｂ、及び第２の調整装置５２は設けられなくてもよい。
第２の実施形態においては、互いに直交する２軸でミラー１０の姿勢を調節しているが、本開示はこれに限定されない。回転軸は第１の軸ＡＸ１だけでもよく、第３のホルダ３３ｂ、第２の支持部材３２ｂ、及び第２の調整装置５２は設けられなくてもよい。
【0092】
３．３ 作用
図４Ｅは、第１の実施形態において調整状態であるときの第２の伸縮部５２２と第２の軸ＡＸ２との位置関係を示す図である。
第２の伸縮部５２２の端部５２９が第３の平面Ｐ３に位置する未調整状態に対して、端部５２９が第３の平面Ｐ３から距離Ｚ１ずれた調整状態におけるミラー１０の傾斜をθ１とする。第２の軸ＡＸ２から第２の伸縮部５２２までのＶ方向の距離をＬ１とする。
図４Ｅは、第１の実施形態において調整状態であるときの第２の伸縮部５２２と第２の軸ＡＸ２との位置関係を示す図である。
第２の伸縮部５２２の端部５２９が第３の平面Ｐ３に位置する未調整状態に対して、端部５２９が第３の平面Ｐ３から距離Ｚ１ずれた調整状態におけるミラー１０の傾斜をθ１とする。第２の軸ＡＸ２から第２の伸縮部５２２までのＶ方向の距離をＬ１とする。
【0093】
ここで、駆動部５２０による第２の伸縮部５２２の調整状態はそのままで、第３のホルダ３３ａと第２の支持部材３２ａと第２の伸縮部５２２とを含むアライメント調整装置の温度が上昇した場合を考える。第２の軸ＡＸ２から第２の伸縮部５２２までのＶ方向の距離Ｌ２は、距離Ｌ１に対し、第３のホルダ３３ａを構成する第１の材質の熱膨張係数αｈに従って増加した値となる。一方、端部５２９と第３の平面Ｐ３との距離Ｚ２は、距離Ｚ１に対し、第２の支持部材３２ａと第２の伸縮部５２２とを構成する第２の材質の熱膨張係数αｍに従って増加した値となる。第２の材質が第１の材質よりも熱膨張係数が小さい場合、ミラー１０の傾斜はθ１よりもわずかに小さいθ２となる。
【0094】
第２の伸縮部５２２が未調整状態であれば、端部５２９が第３の平面Ｐ３に位置し、θ１もθ２も０であるので、第１の実施形態においてアライメント調整装置の温度が変化してもミラー１０の傾斜はほとんど変化しない。しかし、図４Ｅに示される調整状態で温度が変化するとミラー１０の傾斜が変化し得る。
【0095】
図４Ｆは、第２の実施形態において調整状態であるときの第２の伸縮部５２２と第２の軸ＡＸ２との位置関係を示す図である。
図４Ｅの場合と同様に、駆動部５２０による第２の伸縮部５２２の調整状態はそのままでアライメント調整装置の温度が上昇した場合を考える。第２の実施形態において、第２の軸ＡＸ２から第２の伸縮部５２２までのＶ方向の距離Ｌ３は、距離Ｌ１に対し、第２の支持部材３２ｂを構成する第２の材質の熱膨張係数αｍに従って増加した値となる。一方、端部５２９と第３の平面Ｐ３との距離Ｚ２は、距離Ｚ１に対し、第２の支持部材３２ｂと第２の伸縮部５２２とを構成する第２の材質の熱膨張係数αｍに従って増加した値となる。この場合、アライメント調整装置の温度が上昇しても、ミラー１０の傾斜はほぼθ１のままとなる。
図４Ｅの場合と同様に、駆動部５２０による第２の伸縮部５２２の調整状態はそのままでアライメント調整装置の温度が上昇した場合を考える。第２の実施形態において、第２の軸ＡＸ２から第２の伸縮部５２２までのＶ方向の距離Ｌ３は、距離Ｌ１に対し、第２の支持部材３２ｂを構成する第２の材質の熱膨張係数αｍに従って増加した値となる。一方、端部５２９と第３の平面Ｐ３との距離Ｚ２は、距離Ｚ１に対し、第２の支持部材３２ｂと第２の伸縮部５２２とを構成する第２の材質の熱膨張係数αｍに従って増加した値となる。この場合、アライメント調整装置の温度が上昇しても、ミラー１０の傾斜はほぼθ１のままとなる。
【0096】
ここでは第２の軸ＡＸ２及び第２の伸縮部５２２の位置関係について説明したが、第１の軸ＡＸ１及び第１の伸縮部４１１の位置関係についても同様である。
【0097】
第２の実施形態によれば、第１の支持部材２１ｂの第２の端部２１２と第１の軸ＡＸ１とを含む第２の平面Ｐ２が、第１の支持部材２１ｂの第１の端部２１１と第１の軸ＡＸ１とを含む第１の平面Ｐ１に垂直である。
これによれば、第１の伸縮部４１１の端部４１９が第５の平面Ｐ５以外に位置する調整状態において、第１の支持部材２１ｂと第１の伸縮部４１１とを含むアライメント調整装置の温度が変化してもミラー１０の姿勢の変化が抑制され得る。
これによれば、第１の伸縮部４１１の端部４１９が第５の平面Ｐ５以外に位置する調整状態において、第１の支持部材２１ｂと第１の伸縮部４１１とを含むアライメント調整装置の温度が変化してもミラー１０の姿勢の変化が抑制され得る。
【0098】
第２の実施形態によれば、アライメント調整装置は、第１のホルダ１１を第１の軸ＡＸ１において支持するとともに第１の支持部材２１ｂを第１の端部２１１及び第２の端部２１２の両方において支持する第１の材質の第２のホルダ２２ｂをさらに含む。
これによれば、第１のホルダ１１を第１の軸ＡＸ１において支持することと、第１の調整装置４１を支持する第１の支持部材２１ｂを第１の端部２１１及び第２の端部２１２の両方において支持することとが、共通の第２のホルダ２２ｂによってなされる。従って、ミラー１０の姿勢がより安定化し得る。
これによれば、第１のホルダ１１を第１の軸ＡＸ１において支持することと、第１の調整装置４１を支持する第１の支持部材２１ｂを第１の端部２１１及び第２の端部２１２の両方において支持することとが、共通の第２のホルダ２２ｂによってなされる。従って、ミラー１０の姿勢がより安定化し得る。
【0099】
第２の実施形態によれば、第２の支持部材３２ｂの第４の端部３２４と第２の軸ＡＸ２とを含む第４の平面Ｐ４が、第２の支持部材３２ｂの第３の端部３２３と第２の軸ＡＸ２とを含む第３の平面Ｐ３に垂直である。
これによれば、第２の伸縮部５２２の端部５２９が第３の平面Ｐ３以外に位置する調整状態において、第２の支持部材３２ｂと第２の伸縮部５２２とを含むアライメント調整装置の温度が変化してもミラー１０の姿勢の変化が抑制され得る。
これによれば、第２の伸縮部５２２の端部５２９が第３の平面Ｐ３以外に位置する調整状態において、第２の支持部材３２ｂと第２の伸縮部５２２とを含むアライメント調整装置の温度が変化してもミラー１０の姿勢の変化が抑制され得る。
【0100】
第２の実施形態によれば、アライメント調整装置は、第２のホルダ２２ｂを第２の軸ＡＸ２において支持するとともに第２の支持部材３２ｂを第３の端部３２３及び第４の端部３２４の両方において支持する第１の材質の第３のホルダ３３ｂをさらに含む。
これによれば、第２のホルダ２２ｂを第２の軸ＡＸ２において支持することと、第２の調整装置５２を支持する第２の支持部材３２ｂを第３の端部３２３及び第４の端部３２４の両方において支持することとが、共通の第３のホルダ３３ｂによってなされる。従って、ミラー１０の姿勢がより安定化し得る。
これによれば、第２のホルダ２２ｂを第２の軸ＡＸ２において支持することと、第２の調整装置５２を支持する第２の支持部材３２ｂを第３の端部３２３及び第４の端部３２４の両方において支持することとが、共通の第３のホルダ３３ｂによってなされる。従って、ミラー１０の姿勢がより安定化し得る。
【0101】
第２の実施形態によれば、第１の支持部材２１ｂの第２の端部２１２と第１の軸ＡＸ１とを含む第２の平面Ｐ２が、第１の軸ＡＸ１と第２の軸ＡＸ２とを含む第５の平面Ｐ５に垂直である。
これによれば、第１の伸縮部４１１の端部４１９が第５の平面Ｐ５以外に位置する調整状態において、第１の支持部材２１ｂと第１の伸縮部４１１とを含むアライメント調整装置の温度が変化してもミラー１０の姿勢の変化が抑制され得る。
その他の点については、第２の実施形態は第１の実施形態と同様である。
これによれば、第１の伸縮部４１１の端部４１９が第５の平面Ｐ５以外に位置する調整状態において、第１の支持部材２１ｂと第１の伸縮部４１１とを含むアライメント調整装置の温度が変化してもミラー１０の姿勢の変化が抑制され得る。
その他の点については、第２の実施形態は第１の実施形態と同様である。
【0102】
４．その他
図５は、レーザ装置１に接続された露光装置６００の構成を概略的に示す。レーザ装置１はパルスレーザ光を生成して露光装置６００に出力する。
図５において、露光装置６００は、照明光学系６０１と投影光学系６０２とを含む。照明光学系６０１は、レーザ装置１から入射したパルスレーザ光によって、レチクルステージＲＴ上に配置された図示しないレチクルのレチクルパターンを照明する。投影光学系６０２は、レチクルを透過したパルスレーザ光を、縮小投影してワークピーステーブルＷＴ上に配置された図示しないワークピースに結像させる。ワークピースはフォトレジストが塗布された半導体ウエハ等の感光基板である。露光装置６００は、レチクルステージＲＴとワークピーステーブルＷＴとを同期して平行移動させることにより、レチクルパターンを反映したパルスレーザ光をワークピースに露光する。以上のような露光工程によって半導体ウエハにレチクルパターンを転写後、複数の工程を経ることで電子デバイスを製造することができる。
図５は、レーザ装置１に接続された露光装置６００の構成を概略的に示す。レーザ装置１はパルスレーザ光を生成して露光装置６００に出力する。
図５において、露光装置６００は、照明光学系６０１と投影光学系６０２とを含む。照明光学系６０１は、レーザ装置１から入射したパルスレーザ光によって、レチクルステージＲＴ上に配置された図示しないレチクルのレチクルパターンを照明する。投影光学系６０２は、レチクルを透過したパルスレーザ光を、縮小投影してワークピーステーブルＷＴ上に配置された図示しないワークピースに結像させる。ワークピースはフォトレジストが塗布された半導体ウエハ等の感光基板である。露光装置６００は、レチクルステージＲＴとワークピーステーブルＷＴとを同期して平行移動させることにより、レチクルパターンを反映したパルスレーザ光をワークピースに露光する。以上のような露光工程によって半導体ウエハにレチクルパターンを転写後、複数の工程を経ることで電子デバイスを製造することができる。
【0103】
上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図している。従って、特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかである。また、本開示の実施形態を組み合わせて使用することも当業者には明らかである。
【0104】
本明細書及び特許請求の範囲全体で使用される用語は、明記が無い限り「限定的でない」用語と解釈されるべきである。たとえば、「含む」、「有する」、「備える」、「具備する」などの用語は、「記載されたもの以外の構成要素の存在を除外しない」と解釈されるべきである。また、修飾語「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。また、「Ａ、Ｂ及びＣの少なくとも１つ」という用語は、「Ａ」「Ｂ」「Ｃ」「Ａ＋Ｂ」「Ａ＋Ｃ」「Ｂ＋Ｃ」又は「Ａ＋Ｂ＋Ｃ」と解釈されるべきである。さらに、それらと「Ａ」「Ｂ」「Ｃ」以外のものとの組み合わせも含むと解釈されるべきである。
【図1】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図2D】
【図2E】
【図2F】
【図3A】
【図3B】
【図3C】
【図3D】
【図4A】
【図4B】
【図4C】
【図4D】
【図4E】
【図4F】
【図5】