特許 7520501 半導体素子の分析システム及び方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-12

(45)【発行日】2024-07-23

(54)【発明の名称】半導体素子の分析システム及び方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/66 20060101AFI20240716BHJP

   G01N 23/2251 20180101ALI20240716BHJP

   G01N 23/2273 20180101ALI20240716BHJP

   G01N 23/227 20180101ALI20240716BHJP

【ＦＩ】

H01L21/66 N

G01N23/2251

G01N23/2273

G01N23/227

【請求項の数】 17

(21)【出願番号】P 2019224666

(22)【出願日】2019-12-12

(65)【公開番号】P2021019179

(43)【公開日】2021-02-15

【審査請求日】2022-11-08

(31)【優先権主張番号】10-2019-0088824

(32)【優先日】2019-07-23

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】310024033

【氏名又は名称】エスケーハイニックス株式会社

【氏名又は名称原語表記】ＳＫ ｈｙｎｉｘ Ｉｎｃ．

【住所又は居所原語表記】２０９１， Ｇｙｅｏｎｇｃｈｕｎｇ－ｄａｅｒｏ，Ｂｕｂａｌ－ｅｕｂ，Ｉｃｈｅｏｎ－ｓｉ，Ｇｙｅｏｎｇｇｉ－ｄｏ，Ｋｏｒｅａ

(74)【代理人】

【識別番号】110000796

【氏名又は名称】弁理士法人三枝国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ハン ジンヒ

(72)【発明者】

【氏名】イ ビョンホ

(72)【発明者】

【氏名】イ チャンファン

(72)【発明者】

【氏名】イ チュンミン

(72)【発明者】

【氏名】マ ソンミン

【審査官】平野 崇

(56)【参考文献】

【文献】特開２００４－０４５１７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１５２３３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０７８６８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－２０９１１２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６６

Ｈ０１Ｌ ２１／３０６５

Ｈ０１Ｌ ２１／３０６

Ｇ０１Ｎ ２３／２２５１

Ｇ０１Ｎ ２３／２２７３

Ｇ０１Ｎ ２３／２２７

Ｇ０１Ｒ ３１／２６

Ｇ０１Ｒ ３１／２８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

分析対象が存在する深さまで、ウェーハの表面の全面を同一のエッチング速度でエッチングする全面エッチングモジュール；
繰り返しエッチングされた前記ウェーハの表面から２次元構造情報を取得する分析モジュール；及び、
前記分析モジュールから繰り返し獲得した前記２次元構造情報を時系列的に積層処理して、３次元イメージを再構成するコンピュータ装置を含み、
前記分析モジュールは、
前記エッチングされたウェーハの表面の物理的イメージを獲得する第１の分析ユニット；及び、
前記エッチングされたウェーハの表面の電気的イメージを獲得する第２の分析ユニットを含む、半導体素子の分析システム。

【請求項2】

前記全面エッチングモジュールは、前記ウェーハの表面の全面にイオンビームを照射するミリング装置、ＣＭＰ(Chemical mechanical polishing)装置、乾式エッチング装置及び湿式エッチング装置から選択される一つである、請求項１に記載の半導体素子の分析システム。

【請求項3】

前記ミリング装置は、前記ウェーハの全面に対してイオンビームを供給するイオンビーム照射部を含む、請求項２に記載の半導体素子の分析システム。

【請求項4】

前記分析モジュールは、ＳＥＭ(Scanning Electron Microscope)装置、ＰＥＥＭ(Photo Electron Emission Microscopy)装置、ＥＤＸ(Energy Dispersive X-ray analysis)装置、ＸＰＳ(X-rays Photoelectron Spectroscopy)、ＳＰＭ(Scanning Probe Microscopy)、ＡＦＭ(Atomic Force Microscopy)及びＳＴＭ(Scanning Tunneling Microscopy)のようにプローブ(probe)を用いた計測/分析装置、ラマン分光器(Raman spectroscopy)、ＴＣＡＤ(Technology Computer Aided Design)又は素子内のオプティック(optic)又は電子(electron)の挙動(behavior)を計算及び演算するシミュレーション技法及び光学計測/検査装備(Optical Metrology/Inspection tool)の少なくとも一つである、請求項１に記載の半導体素子の分析システム。

【請求項5】

前記第１の分析ユニットはＳＥＭ装置を含む、請求項１に記載の半導体素子の分析システム。

【請求項6】

前記第２の分析ユニットはＰＥＥＭ装置又はＥＤＸ装置を含む、請求項１に記載の半導体素子の分析システム。

【請求項7】

前記全面エッチングモジュールは、
前記ウェーハを支持するステージ；及び、
前記ウェーハの表面の回路層が同一のエッチング速度でエッチングされるように、前記ウェーハの全面に対してイオンビームを照射するイオンビーム照射部を含む、請求項１に記載の半導体素子の分析システム。

【請求項8】

前記イオンビーム照射部は、前記ウェーハの口径よりも大きい口径を有する、請求項７に記載の半導体素子の分析システム。

【請求項9】

前記繰り返し得られた２次元構造情報は２次元イメージを含み、
前記コンピュータ装置は、
前記分析モジュールから提供される前記２次元イメージをエッチング深さ及び(Ｘ、Ｙ)座標の形態で区分し、前記エッチング深さ及び前記(Ｘ、Ｙ)座標値に基づいて、前記２次元イメージを時系列的に積層して前記３次元イメージを再生成する制御器；及び、
前記制御器により区分された２次元イメージを格納する格納ユニットを含む、請求項１に記載の半導体素子の分析システム。

【請求項10】

前記全面エッチングが進行された前記ウェーハの表面をクリーニングするクリーニングモジュールをさらに含む、請求項１に記載の半導体素子の分析システム。

【請求項11】

処理する前記ウェーハが待機するロードロックをさらに含み、
前記全面エッチングモジュール、前記分析モジュール及び前記クリーニングモジュールは、前記ロードロックを基準としてクラスター形態で連結する、請求項１０に記載の半導体素子の分析システム。

【請求項12】

前記分析モジュールは、前記ウェーハのエッチング時に発生するエッチング副産物を分析する質量分析器及びＯＥＳ(Optical Emission Spectroscopy)の少なくとも一つをさらに含む、請求項１に記載の半導体素子の分析システム。

【請求項13】

ウェーハの表面の全体を同一のエッチング速度で設定のエッチングターゲット深さだけ繰り返しエッチングして、前記ウェーハの次の表面を露出させるステップ；
前記エッチングターゲット深さだけ繰り返しエッチングされた前記ウェーハの表面の２次元構造情報を各々獲得するステップ；及び、
繰り返し獲得した前記２次元構造情報を時系列的に積層及び処理して３次元イメージを生成するステップを含み、
前記２次元構造情報を繰り返し獲得するステップは、
前記ウェーハの表面の２次元物理構造情報を獲得するステップ；及び、
前記ウェーハの表面の２次元電気構造情報を獲得するステップを含む、半導体素子の分析方法。

【請求項14】

前記繰り返し得られた２次元構造情報は２次元イメージを含み、
前記２次元構造情報を繰り返し獲得するステップは、
前記ウェーハのエッチングターゲット深さ別に前記２次元イメージを(Ｘ、Ｙ)座標形態で区分するステップ；及び、
前記エッチングターゲット深さ及び前記(Ｘ、Ｙ)座標に基づいて、前記繰り返し獲得された２次元イメージを連続積層及び処理するステップを含む、請求項１３に記載の半導体素子の分析方法。

【請求項15】

前記ウェーハの表面のエッチング時に発生するエッチング副産物を分析するステップをさらに含む、請求項１３に記載の半導体素子の分析方法。

【請求項16】

前記エッチング副産物の量を分析して前記エッチングターゲット深さを制御する、請求項１５に記載の半導体素子の分析方法。

【請求項17】

前記ウェーハの表面の全体をエッチングするステップと、前記２次元イメージを測定するステップとの間に、エッチングされた前記ウェーハの表面をクリーニングするステップをさらに含む、請求項１４に記載の半導体素子の分析方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体素子の分析システム及び方法に関し、特に半導体素子の構造分析システム及び方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＴ技術の急速な発展に伴い、現代人は持続的に多くの情報を取り扱っており、今後の情報量においても飛躍的な増加が予想される。情報使用者はより多くの情報がより速く処理されるような技術の開発を要求しており、現在の半導体製造技術は制限された領域により多くの情報を格納して処理するために、数十ｎｍ以下のサイズを持つ３次元の幾何学的構造が形成されるように転換及び発展しつつある。このような３次元の幾何学的構造を持つパターンは、その深層部に多様な欠陥要素を内在する恐れがあり、このような深層部の不良は２次元の情報が取得可能な一般の半導体計測/検査装備としては不良発見の信頼性が低い。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

本発明は、多様な不良が正確に検出できる半導体素子の分析システム及び方法を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0004】

本発明の一実施例に係る半導体素子の分析システムは、分析対象が存在する深さまで、ウェーハの表面の全面を同一のエッチング速度でエッチングする全面エッチングモジュール；エッチングされた前記ウェーハの表面で２次元構造の分析情報を取得する分析モジュール；及び、前記分析モジュールで獲得した前記２次元情報を時系列的に積層及び処理して３次元イメージを再構成するコンピュータ装置を含む。

【0005】

前記全面エッチングモジュールは、前記ウェーハの表面の全面にイオンビームを照射するミリング装置、ＣＭＰ(Chemical mechanical polishing)装置、乾式エッチング装置及び湿式エッチング装置から選択される一つが用いられる。

【0006】

前記分析モジュールは、２次元情報取得が可能な光、電子ビーム、Ｘ線を使用する全ての計測、検査、分析装備を含むことができる。一例として、分析モジュールは、ＳＥＭ(Scanning Electron Microscope)装置、ＰＥＥＭ(Photo Electron Emission Microscopy)装置、ＥＤＸ(Energy Dispersive X-ray analysis)装置、ＸＰＳ(X-rays Photoelectron Spectroscopy)、ＳＰＭ(Scanning Probe Microscopy)、ＡＦＭ(Atomic Force Microscopy)及びＳＴＭ(Scanning Tunneling Microscopy)のようにプローブ(probe)を用いた計測/分析装置、ラマン分光器(Raman spectroscopy)、ＴＣＡＤ(Technology Computer Aided Design)又は素子内のオプティック(optic)又は電子(electron)の挙動(behavior)を計算及び演算するシミュレーション技法及び光学計測/検査装備(Optical Metrology/Inspection tool)の少なくとも一つが用いられる。

【0007】

前記コンピュータ装置は、前記分析モジュールから提供される前記２次元イメージをエッチング深さ及び(Ｘ、Ｙ)座標形態で位置を区分し、前記エッチング深さ及び前記(Ｘ、Ｙ)座標に基づいて、前記２次元イメージを時系列的に積層して前記３次元イメージを生成する制御器を含む。また、コンピュータ装置は、前記制御器により区分された２次元イメージを格納する格納ユニットを含むことができる。

【0008】

また、本発明の一実施例に係る半導体素子の分析方法は、ウェーハの表面の全体を同一のエッチング速度で設定のエッチングターゲット深さだけ繰り返しエッチングして、前記ウェーハの次の表面を露出させるステップ；前記エッチングターゲット深さだけ繰り返しエッチングされた前記ウェーハの表面の２次元構造情報を各々獲得するステップ；及び、繰り返し獲得した前記２次元構造情報を時系列的に積層及び処理して３次元イメージを生成するステップを含む。

【0009】

前記２次元構造情報を繰り返し獲得するステップは、前記ウェーハの表面の２次元物理構造情報を獲得するステップ、及び、前記ウェーハの表面の２次元電気構造情報を獲得するステップを含む。

【発明の効果】

【0010】

本発明の実施例に係る半導体素子の分析システムは、ウェーハ全面に対して一定深さだけ同一のエッチング速度でエッチングした後、エッチングされたウェーハの表面の２次元イメージを測定する。また、半導体素子の分析システムは、前記測定された２次元イメージを時系列的に積層して３次元イメージを生成する。これにより、本発明の実施例に係る分析システムは、２次元イメージを集合して得られた３次元イメージにより、高集積３Ｄ素子で発生し得る３次元物理/電気的な構造不良及び内部不良の分析に対する高い信頼性が提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の一実施例に係る半導体素子の分析システムを示すブロック図である。

【図2】本発明の一実施例に係る全面エッチングモジュールの断面図である。

【図3】本発明の一実施例に係るコンピュータ装置の細部構造を示すブロック図である。

【図4】本発明の一実施例に係る半導体素子の分析システムの動作を説明するためのフローチャートである。

【図5】本発明の一実施例に係るウェーハのエッチング面を示す断面図である。

【図6】図５のウェーハエッチング面の２次元イメージを示す図である。

【図7】本発明の一実施例に係る図６の２次元イメージから生成された３次元イメージを示す図である。

【図8】本発明の他の実施例に係る分析モジュールを示すブロック図である。

【図9】図８の分析モジュールを用いて半導体素子の分析方法を説明するための図である。

【図10】図８の分析モジュールを用いて半導体素子の分析方法を説明するための図である。

【図11】本発明の他の実施例に係る半導体素子の分析システムを示す概略ブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

本発明の利点や特徴、並びにそれらを達成する方法は、添付図面に基づいて詳細に後述する実施例により明確になる。しかしながら、本発明は、以下で開示している実施例に限定されず、互いに異なる多様な形態で具現可能である。但し、本実施例は、本発明の開示が完全になるようにし、本発明の属する技術分野における通常の知識を有した者に発明の範囲を完全に認知させるために提供されるものであり、本発明は請求の範囲によって定義されるだけである。図において、層及び領域のサイズ及び相対的なサイズは、説明の明確性を期するために誇張されたものである。明細書の全般にわたって同一の参照符号は同一の構成要素を示す。

【0013】

図１は、本発明の一実施例に係る半導体素子の分析システムを示すブロック図である。

【0014】

図１に示すように、本実施例の半導体素子の分析システム１００は、２次元情報検査装置１１０、コンピュータ装置１５０及びクリーニングモジュール１８０を含むことができる。前記２次元情報検査装置１１０は、全面エッチングモジュール１２０及び分析モジュール１３０を含むことができる。

【0015】

全面エッチングモジュール１２０は、同一のエッチング速度でウェーハの全面を一定厚さ(深さ)だけエッチングできる装置であり得る。前記全面エッチングモジュール１２０としては、例えば、３００ｍｍの大尺寸ウェーハの全面がエッチングできるイオンビームエッチングによるミリング(ion beam milling)装置、ＣＭＰ(Chemical Mechanical Polishing)装置、乾式エッチング装置又は湿式エッチング装置が用いられる。その中で、イオンビームミリング方式は、イオンビームの照射によって半導体ウェーハの全面の物質層をスパッタリング(sputtering)技法で除去する方式である。また、本実施例のイオンビームミリング方式は、ウェーハの全面に対してイオンビームを均一に照射してウェーハの表面を一定厚さだけ除去できる。一方、前記ＣＭＰは、研磨パッド(図示せず)を用いてウェーハの表面を一定厚さだけ除去する方式である。

【0016】

前記エッチングターゲット厚さ(エッチングターゲット深さ)は、検査位置等を考慮して任意に設定されることができる。このとき、エッチングターゲット厚さは、エッチング深さ分解能(etching depth resolution)を考慮して１０ｎｍ以下に設定されることができる。

【0017】

本実施例において、全面エッチングモジュール１２０は、多様な物質からなるウェーハ上の結果物を一定ターゲット深さ(厚さ)だけ同一のエッチング速度(例えば、物質別ウェーハの全面のエッチング率が全部“１”)でエッチングすることが重要である。全面エッチングモジュール１２０としてイオンビームエッチングによるミリング装置が採用される場合、前記ミリング装置は、少なくとも一つのイオンビームソースを含み、ウェーハの表面の結果物を同一のエッチング速度で除去できる。

【0018】

分析モジュール１３０は、前記全面エッチングモジュール１２０を用いてエッチングされたウェーハの表面の２次元構造情報を獲得するための装置であり得る。例えば、分析モジュール１３０は、ウェーハ(ｗ)の表面から放出されるイオン及び電子により、エッチングされたウェーハの全面の２次元イメージが獲得できる。本発明の一実施例に係る分析モジュール１３０は、２次元情報取得が可能な光、電子ビーム又はＸ－レイを使用する全ての計測、検査及び分析装備がここに含まれることができる。一例として、ＳＥＭ(Scanning Electron Microscope)装置、ＰＥＥＭ(Photo Electron Emission Microscopy)装置、ＥＤＸ(Energy Dispersive X-ray analysis)装置、ＸＰＳ(X-rays Photoelectron Spectroscopy)、ＳＰＭ(Scanning Probe Microscopy)、ＡＦＭ(Atomic Force Microscopy)及びＳＴＭ(Scanning Tunneling Microscopy)のようにプローブ(probe)を用いた計測/分析装置、ラマン分光器(Raman spectroscopy)、光学計測/検査装備(Optical Metrology/Inspection tool)、ＴＣＡＤ(Technology Computer Aided Design)又は素子内のオプティック(optic)又は電子(electron)の挙動(behavior)を計算及び演算するシミュレーション技法又は各種検査(inspection)装置がここに用いられる。さらに、分析モジュール１３０は、質量分析器及び/又はＯＥＳ(Optical Emission Spectroscopy)を備えることができる。前記質量分析器及び/又はＯＥＳは、前記ウェーハ(ｗ)のエッチング時に発生するエッチング副産物の量が測定できる。前記質量分析器及び/又はＯＥＳは、測定された前記エッチング副産物の量を前記コンピュータ装置１５０に提供できる。前記コンピュータ装置１５０は、前記全面エッチングモジュール１２０のターゲット深さが制御でき、さらにエッチング副産物の物性が分析できる。

【0019】

図２は、本発明の一実施例に係る全面エッチングモジュールの断面図である。

【0020】

図２に示すように、本実施例の全面エッチングモジュール１２０は、例えば、イオンビームエッチングを用いたミリング装置であり得る。以下、全面エッチングモジュール及びイオンビームエッチングを用いたミリング装置は、同一の符号１２０として説明する。

【0021】

ミリング装置１２０は、分析するウェーハ(ｗ)が支持されるステージ１１１を含むことができる。ウェーハ(ｗ)は、半導体基板１０１及び前記半導体基板１０１上に形成される複数の物質からなる回路層１０２を含むことができる。

【0022】

また、前記ミリング装置１２０は、ウェーハ(ｗ)の全体面積に対してイオンビーム(ＢＥＡＭ)を照射するイオンビーム照射部１１５を含むことができる。前記イオンビーム照射部１１５は、ステージ１１１上に配置されることができ、前記ウェーハ(ｗ)の口径よりも大きい口径を有するように構成されることができる。また、イオンビーム照射部１１５は、ウェーハの表面、例えば、前記回路層１０２の表面を前記半導体基板１０１の表面に対して垂直する方向に一定厚さだけ均一にエッチングできるようにイオンビーム(ＢＥＡＭ)が照射できる。このとき、イオンビーム(ＢＥＡＭ)は、前記ウェーハ(ｗ)の表面に対して多様な方向に入射できる。

【0023】

また、本実施例におけるミリング装置１２０は、集束イオンビーム(Focused ion beam：ＦＩＢ)素子によってＦＩＢを集束したり、クラスターイオンビーム(cluster ion beam：ＣＩＢ)素子によってＣＩＢを前記ウェーハ(ｗ)上に照射したりできる。前記ＦＩＢ方式及びＣＩＢ方式も、ウェーハ(ｗ)の全面に対してイオンビームが照射されなければならず、これにより、ウェーハ(ｗ)の回路層１０２の全体が一定厚さでエッチングされなければならない。

【0024】

一例として、前記ミリング装置１２０は、Ａｒイオンをエッチングイオンとして用いられる。

【0025】

また、前述したように、ミリング装置１２０としてＦＩＢ又はＣＩＢを用いる場合、低融点及び低い反応性を持つ金属をエッチングイオンとして用いられる。前記ソースとしてはＡｌ、Ａｓ、Ａｕ、Ｂｅ、Ｂｉ、Ｃｓ、Ｃｕ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｆｅ、Ｉｎ、Ｌｉ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｐｄ、Ｐｒ、Ｐｔ又はＺｎが用いられる。一例として、前記ミリング装置１２０は、固体状態のＧａソースを加熱してＧａ^＋イオン形態に変化させ、Ｇａ^＋イオンを所定の加速電圧で加速させて照射できる。例えば、ミリング装置１２０内に具備されたイオンビーム照射部は、約３０ｋｅＶ以上の加速電圧を持つイオンビームを発生させることができる。前記ミリング装置１２０によりイオンビームが照射されると、ウェーハ(ｗ)の表面からイオン及び電子などが放出されることができる。イオンビームミリング速度及びイオンビーム深さ分解能は、イオンビーム電流及びイオンビームの入射角度により制御できる。

【0026】

一方、全面エッチングモジュール１２０がＦＩＢ又はＣＩＢ装置からなる場合、分析モジュール１３０が前記全面エッチングモジュール１２０内に備えられる。分析モジュール１３０は、ウェーハ(ｗ)から放出されたイオン及び電子が検出できるようにウェーハ(ｗ)上に位置できる。前記ＳＥＭ装置１３０は、ウェーハ(ｗ)の表面から放出されるイオン及び電子により、前記ウェーハ(ｗ)の表面の２次元イメージが獲得できる。

【0027】

さらに、図１を参照すれば、コンピュータ装置１５０は、前記分析モジュール１３０から得られた２次元情報(イメージ)を積層及び処理して３次元イメージが獲得できる。

【0028】

図３は、本発明の一実施例に係るコンピュータ装置の細部構造を示すブロック図である。

【0029】

図３に示すように、本実施例のコンピュータ装置１５０は、制御器１５２、格納ユニット１５４、入出力ユニット１５６及びインターフェースユニット１５８を含むことができる。

【0030】

前記制御器１５２は、前記分析モジュール１３０から獲得された２次元イメージ(Ｉ)に基づいて多様な工程モニターリングデータが算出できる。このような算出作業は、所望の工程モニターリングデータの算出のために設計されたアルゴリズムによって駆動できる。本実施例の制御器１５２は、分析モジュール１３０から獲得された２次元イメージを時間順に積層/合成して、３次元イメージデータが生成できる。

【0031】

格納ユニット１５４は、例えば、非揮発性記憶媒体を含むことができる。一例として、格納ユニット１５４は、ハードディスク及び/又は非揮発性半導体記憶素子（例えば、フラッシュメモリ素子、相変化記憶素子及び/又は磁気記憶素子等）を含むことができる。格納ユニット１５４は、前記分析モジュール１３０から獲得された２次元イメージ及び前記コンピュータ装置１５０で処理されたイメージデータ(例えば、各種パラメータ及び３次元イメージ)が格納できる。

【0032】

入出力ユニット１５６は、キーボード(keyboard)、キーパッド(keypad)及び/又はディスプレイ装置(display device)を含むことができる。

【0033】

２次元情報検査装置１１０から獲得されたイメージデータは、インターフェースユニット１５８によってコンピュータ装置１５０に伝達されることができる。また、コンピュータ装置１５０で処理されたデータは、インターフェースユニット１５８によって２次元情報検査装置１１０又は他の外部装置(一例として、データサーバやＡＰＣサーバ)に伝達されることもできる。インターフェースユニット１５８は、有線要素、無線要素及び/又はＵＳＢ(universal serial bus)ポート等を含むことができる。制御器１５２、格納ユニット１５４、入出力ユニット１５６及びインターフェースユニット１５８は、データバス(data bus)を介して互いに結合されることができる。

【0034】

さらに、図１を参照すれば、前記クリーニングモジュール１８０は、一定深さだけ一括エッチングされたウェーハ(ｗ)の表面がクリーニングできる。クリーニングモジュール１８０は、湿式クリーニング装置又は乾式クリーニング装置が用いられる。

【0035】

図４は、本発明の一実施例に係る半導体素子の分析システムの動作を説明するためのフローチャートである。図５は、本発明の一実施例に係るウェーハのエッチング面を示す断面図である。図６は、図５のウェーハエッチング面の２次元情報を示す図である。図７は、本発明の一実施例に係る図６の２次元情報から生成された３次元イメージを示す図である。本実施例では、全面エッチングモジュール１２０がミリング装置である場合を一例として説明する。また、本実施例のウェーハ(ｗ)は、複数のコンタクトプラグＣＴ１～ＣＴ３が具備された状態を例として説明する。

【0036】

図４及び図５に示すように、検査するウェーハ(ｗ)が２次元情報検査装置１１０内に提供される。全面エッチングモジュール１２０は、前記ウェーハ(ｗ)の全体の表面に向けて、イオンビームを一定エッチングターゲット深さで均一に照射する(Ｓ１)。例えば、先に、図５のＡ－Ａ'の表面を1次ターゲット深さとしてイオンビームが照射される。イオンビームの照射によりウェーハ(ｗ)の表面が一定深さだけスパッタリングエッチングできる。このとき、前記イオンビームによりウェーハ(ｗ)がエッチングされる間、前記分析モジュール１３０内に含まれた質量分析器又はＯＥＳ(Optical Emission Spectroscopy)によりエッチング副産物の量及び種類が測定され、前記エッチング副産物の量によって深さが制御できる。

【0037】

分析モジュール１３０を用いて、ウェーハ(ｗ)の表面から放出されるイオン及び電子等の成分を測定して、エッチングされたウェーハ(ｗ)の表面の２次元イメージを獲得する(Ｓ２)。イオンビームのミリング後、ＳＥＭ装置、ＰＥＥＭ装置、プローブを用いた装置等のように多様な分析モジュール１３０を用いて、図６に示すように、エッチングされたウェーハ(ｗ)の表面の２次元イメージを測定する。

【0038】

次に、前記ウェーハ(ｗ)の表面を図５のＢ－Ｂ'の表面をターゲット深さとしてイオンビームを照射するステップ、エッチングされたウェーハ(ｗ)のＢ－Ｂ'の表面の２次元イメージを検出するステップ、前記ウェーハ(ｗ)の表面を図５のＣ－Ｃ'の表面をターゲット深さとしてイオンビームを照射するステップ、及びエッチングされたウェーハ(ｗ)のＣ－Ｃ'の表面の２次元イメージを検出するステップを繰り返し遂行できる。本実施例では、説明の便宜のために、Ａ－Ａ'、Ｂ－Ｂ'及びＣ－Ｃ'の表面をエッチングターゲット深さとして設定しただけで、より狭かったりより大きい間隔でターゲット深さが調整できる。２次元イメージを検出するステップ(Ｓ２)と、ウェーハの表面をエッチングするステップ(Ｓ１)との間にウェーハの表面をクリーニングするステップをさらに含むことができる。

【0039】

理論的には、Ａ－Ａ'の表面の２次元イメージと、Ｂ－Ｂ'の表面の２次元イメージと、Ｃ－Ｃ'の表面の２次元イメージとが同一であるべきである。しかしながら、工程進行上、特に高集積３Ｄ素子の場合、コンタクトプラグＣＴ１～ＣＴ３のサイズ及び形状が不均一になり、コンタクトプラグＣＴ１～ＣＴ３内にボイド(void)不良(ｖ)が発生し得る。前記測定された２次元イメージは、測定の位置によって、内部不良及び形状不良が検出されることができるが、そうでないこともできる。さらに、前記２次元イメージ情報だけでは、高集積の半導体装置の３次元パターンの形状を予測し難い。

【0040】

本実施例によれば、前記コンピュータ装置１５０の制御器１５２を用いて、分析モジュール１３０で測定された２次元情報、例えば、２次元イメージを積層及び処理して３次元イメージデータが獲得できる(Ｓ３、図６参照)。前記制御器１５２は、前記分析モジュール１３０で測定された２次元情報をエッチング深さによってＸ－Ｙ方向に区分して格納ユニット１５４に提供できる。より詳しくは、制御器１５２は、ウェーハの全面の２次元イメージを(Ｘ、Ｙ)座標形態に区分して格納ユニット１５４に提供できる。また、制御器１５２は、エッチング深さ順に２次元情報データを区分して格納ユニット１５４に提供できる。図３には示さないが、制御器１５２内に別途のノイズ処理装置を備え、前記２次元イメージのノイズ成分をフィルターリングできる。

【0041】

また、本実施例の制御器１５２は、エッチングターゲット深さによる２次元イメージのＸ－Ｙ成分(又はＸ－Ｙ座標)をアライン(align)して、前記２次元イメージを積層させることで、３次元輪郭イメージが抽出できる。これにより、ウェーハ(ｗ)の断層イメージを通して、ウェーハ上に形成された３次元構造物の細部形態が予測できる。

【0042】

一例として、図６のＢ－Ｂ'の表面における第３のコンタクトプラグＣＴ３の断面イメージは、Ａ－Ａ'の表面及び/又はＣ－Ｃ'の表面における第３のコンタクトプラグＣＴ３の断面積よりも相対的に小さく、一方側に偏っている。このような形態が検出された場合、図７に示すように、第３のコンタクトプラグＣＴ３Ｉの３次元イメージは、中心深さ(例えばＢ－Ｂ'線に位置する部分)の直径が不均一な構造で復元される。これにより、コンピュータ装置１５０は、第３のコンタクトプラグＣＴ３Ｉに形状不良、即ち物理的欠陥が発生したことが検出でき、さらに、第３のコンタクトプラグＣＴ３Ｉのサイズ、コンタクトプラグＣＴ１Ｉ～ＣＴ３Ｉ間の距離、コンタクトプラグＣＴ１Ｉ～ＣＴ３Ｉの抵抗及びその外に予測される工程パラメータが異なるように算出できる。

【0043】

一例として、図６に示すように、Ｃ－Ｃ'の表面における第２のコンタクトプラグＣＴ２の断面イメージがリング(ring)形態で検出されると、第２のコンタクトプラグＣＴ２のＣ－Ｃ'の表面周囲にボイドが発生したことを確認でき、３次元的イメージも該当部分が異なる色相又は透明度で表示されることができる。本実施例のコンピュータ装置１５０の制御器１５２は、抽出された３次元輪郭イメージを回転及び変形(拡大又は縮小)させることができる。これにより、使用者が３次元輪郭イメージの形状及び内部欠陥が容易に判断できる。

【0044】

本実施例のコンピュータ装置１５０の制御器１５２は、エッチング厚さ及びＸ－Ｙ方向(座標)によってウェーハ(ｗ)結果物の全体の２次元イメージを全部格納している。これにより、前記入出力ユニット１５６からＲＯＩ(Region Of Interest)のエッチング深さ及び(Ｘ、Ｙ)座標が入力される場合、該ＲＯＩの該イメージを出力、回転及び変形させて使用者に提供できる。

【0045】

図８は、本発明の他の実施例に係る分析モジュールを示すブロック図である。図９及び図１０は、図８の分析モジュールを用いて半導体素子の分析方法を説明するための図である。

【0046】

図８に示すように、本実施例の分析モジュール１３０は、第１の分析ユニット１３５ａ及び第２の分析ユニット１３５ｂを含むことができる。第１の分析ユニット１３５ａは、例えば、エッチングされた表面の物理的イメージを検出する装置、例えば、ＳＥＭ装置を含むことができる。第２の分析ユニット１３５ｂは、例えば、エッチングされた表面の電気的特性を示す装置、例えば、ＰＥＥＭ装置又はＥＤＸ(Energy Dispersive X-ray analysis)装置を含むことができる。ＰＥＥＭ装置のような第２の分析ユニット１３５ｂは、不純物の濃度分布のような電気的特性が図式化できる。

【0047】

図８の分析モジュールを用いて半導体素子の分析方法については、図９及び図１０を参照して詳細に説明する。

【0048】

まず、前記ウェーハ結果物(＜ｗ０＞)を用意する。前記ウェーハ結果物(＜ｗ０＞)は、ＭＯＳトランジスタが形成されたウェーハ基板１０構造物であり得る。前記ＭＯＳトランジスタは、公知のように、ウェーハ基板１０上に形成されるゲート構造物、ソース２０ｓ及びドレイン２０ｄを含むことができる。前記ゲート構造物は積層されたゲート絶縁膜１２、ゲート１５及びハードマスク膜１７を含むことができる。前記ゲート構造物は、前記ゲート絶縁膜１２、ゲート１５及びハードマスク膜１７の側壁に位置するスペーサー１９をさらに含むことができる。前記ソース２０ｓ及びドレイン２０ｄは、前記ゲート構造物の両側のウェーハ基板１０内に形成されることができる。前記ウェーハ結果物(＜ｗ０＞)は、前記ＭＯＳトランジスタをカバーする層間絶縁膜２２及びコンタクト部２５ａ、２５ｂ、２５ｃをさらに含むことができる。前記コンタクト部２５ａ、２５ｂ、２５ｃは、前記層間絶縁膜２２内に位置し、ゲート１５、ソース２０ｓ及びドレイン２０ｄと各々コンタクトされることができる。

【0049】

第１の分析ユニット１３５ａにより、前記ウェーハ結果物(＜ｗ０＞)の上部表面のイメージＩ０が測定される。前述したように、第１の分析ユニット１３５ａは物理的イメージを検出する装置であるので、前記イメージＩ０は層間絶縁膜２２及びコンタクト部２５ａ、２５ｂ、２５ｃが表示できる。前記イメージＩ０によってコンタクト部２５ａ、２５ｂ、２５ｃの形状及び位置のような物理的情報が確認できる。

【0050】

次に、全面エッチングモジュール１２０を用いて、ウェーハ(ｗ)を第１のターゲット深さ(ｄａ)だけエッチングして、ウェーハ(ｗ)の第１の表面ａ－a'を露出させる。前記第１のターゲット深さ(ｄａ)は、例えば、前記ウェーハ結果物(＜ｗ０＞)の表面からハードマスク膜１７の表面までの深さであり得る。その後、第１の分析ユニット１３５ａにより露出されたウェーハ(ｗ)の第１の表面ａ－a'の物理的イメージＩａが測定される。前記ウェーハ(ｗ)の第１の表面ａ－a'の物理的イメージＩａは、互いに異なる物性を持つ層間絶縁膜２２、コンタクト部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ及びハードマスク膜１７の形状及び位置が表示できる。

【0051】

前記全面エッチングモジュール１２０を用いて、ウェーハ(ｗ)を第２のターゲット深さ(ｄｂ)だけエッチングして、ウェーハ(ｗ)の第２の表面ｂ－ｂ'を露出させる。前記第２のターゲット深さ(ｄｂ)は、前記ゲート１５の所定部分を露出させることができる深さであり得る。その後、第１の分析ユニット１３５ａにより露出されたウェーハ(ｗ)の第２の表面ｂ－ｂ'の物理的イメージＩｂが測定される。前記ウェーハ(ｗ)の第２の表面ｂ－ｂ'の物理的イメージＩｂは、互いに異なる物性を持つ層間絶縁膜２２、コンタクト部２５ｂ、２５ｃ、ゲート１５及び側壁スペーサー１９の形状及び位置が表示できる。

【0052】

前記全面エッチングモジュール１２０を用いて、ウェーハ(ｗ)を第３のターゲット深さ(ｄｃ)だけエッチングして、ウェーハ(ｗ)の第３の表面ｃ－ｃ'を露出させる。前記第３のターゲット深さ(ｄｃ)は、前記ウェーハ基板１０の表面を露出させることができる深さであり得る。第１及び第２の分析ユニット１３５ａ、１３５ｂにより、ウェーハ(ｗ)の第３の表面ｃ－ｃ'の物理的イメージＩｃ及び電気的イメージＩＥｃを測定する。前記第１の分析ユニット１３５ａによって測定された２次元物理的イメージＩｃは、物性が異なるウェーハ基板１０、ソース２０ｓ及びドレイン２０ｄの形状及び位置が表示できる。一方、第２の分析ユニット１３５ｂによって測定された２次元電気的イメージＩＥｃは、ソース２０ｓ及びドレイン２０ｄの位置は勿論、不純物の濃度分布まで表示できる。前記２次元電気的イメージＩＥｃによれば、前記ソース２０ｓ及びドレイン２０ｄは、ガウス分布によって端部に行くほど不純物濃度が低くなることが観察できる。

【0053】

前記全面エッチングモジュール１２０を用いて、ウェーハ(ｗ)を第４のターゲット深さ(ｄｄ)だけエッチングして、ウェーハ(ｗ)の第４の表面ｄ－ｄ'を露出させる。前記第４のターゲット深さ(ｄｄ)は、例えば、ソース２０ｓ及びドレイン２０ｄの底面を露出させることができる深さであり得る。第１及び第２の分析ユニット１３５ａ、１３５ｂにより、ウェーハ(ｗ)の第４の表面ｄ－ｄ'の物理的イメージＩｄ及び電気的イメージＩＥｄを測定する。前記第１の分析ユニット１３５ａによって測定された２次元物理的イメージＩｄは、ソース２０ｓ及びドレイン２０ｄとウェーハ基板１０との物性差による形状及び位置が表示できる。前記ソース２０ｓ及びドレイン２０ｄは不純物領域であるため、ガウス分布によって下部に行くほどドーピング濃度が減少し、その線幅も減少する。これにより、ウェーハ(ｗ)の第４の表面ｄ－ｄ'で露出されるソース２０ｓ及びドレイン２０ｄの線幅は、ウェーハ(ｗ)の第３の表面ｃ－ｃ'で露出されるソース２０ｓ及びドレイン２０ｄの線幅よりも小さい。一方、第２の分析ユニット１３５ｂによって測定された２次元電気的イメージＩＥｄは、ソース２０ｓ及びドレイン２０ｄの濃度分布が表示できる。前記イメージＩＥｄにより、ウェーハ(ｗ)の第４の表面ｄ－ｄ'で露出されるソース２０ｓ及びドレイン２０ｄの不純物濃度が、ウェーハ(ｗ)の第３の表面ｃ－ｃ'で露出されるソース２０ｓ及びドレイン２０ｄの不純物濃度よりも低いことが観察できる。

【0054】

コンピュータ装置１５０、特に、コンピュータ装置１５０の制御器１５２は、分析モジュール１３０から得られた前記２次元イメージＩ０、Ｉａ、Ｉｂ、Ｉｃ、Ｉｄ、ＩＥｃ、ＩＥｄを集合する。次に、前記制御器１５２は、前記２次元イメージを時系列的に積層して、図１０に示すように、実際素子(ａ)に対応する３次元構造物イメージ(ｂ)が生成できる。また、本実施例では、第１の分析ユニット１３５ａによって得られた２次元物理的イメージＩ０、Ｉａ、Ｉｂ、Ｉｃ、Ｉｄ及び第２の分析ユニット１３５ｂによって得られた２次元電気的イメージＩＥｃ、ＩＥｄの合成により、素子を構成する各成分等の形状及び位置分布は勿論、電気的特性分布まで３次元イメージとして表示できる。したがって、３次元イメージにより、半導体素子等の３次元的な形状欠陥及び内部欠陥の判断が容易になる。

【0055】

図１１は、本発明の他の実施例に係る半導体素子の分析システムを示す概略ブロック図である。

【0056】

図１１に示すように、半導体素子の分析システム１００ａを構成する各モジュール、例えば、全面エッチングモジュール１２０、分析モジュール１３０、コンピュータ装置１５０及びクリーニングモジュール１８０は、ロードロック(load lock)１９０を基準としてクラスター(Cluster)形態で構成されることができる。

【0057】

全面エッチングモジュール１２０、分析モジュール１３０、コンピュータ装置１５０及びクリーニングモジュール１８０をクラスター方式によりシステム化することで、検査効率の改善を図ることができる。

【0058】

本実施例に係る半導体素子の分析システムは、ウェーハ全面に対して一定深さだけ同一のエッチング速度でエッチングした後、エッチングされたウェーハの表面の２次元イメージを測定する。また、半導体素子の分析システムは、前記測定された２次元イメージを時系列的に積層して３次元イメージを生成する。本発明の分析システムは、２次元イメージを集合して得られた３次元イメージにより、高集積３Ｄ素子で発生できる３次元不良及び内部不良が容易に検出できる。

【0059】

以上、本発明の好適な実施例により詳細に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されず、本発明の技術的思想から逸脱しない範囲内において、当分野における通常の知識を有した者によって多様な変形が可能である。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】