特許 7521893 チャックテーブルの固定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-16

(45)【発行日】2024-07-24

(54)【発明の名称】チャックテーブルの固定方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 49/10 20060101AFI20240717BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20240717BHJP

   B23Q 3/08 20060101ALI20240717BHJP

   B23Q 3/18 20060101ALI20240717BHJP

   B23Q 17/00 20060101ALI20240717BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240717BHJP

   B24B 7/04 20060101ALN20240717BHJP

【ＦＩ】

B24B49/10

B24B41/06 L

B23Q3/08 A

B23Q3/18 C

B23Q17/00 A

H01L21/304 631

B24B7/04 A

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2019232598

(22)【出願日】2019-12-24

(65)【公開番号】P2021100769

(43)【公開日】2021-07-08

【審査請求日】2022-10-21

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】川越 大輔

【審査官】小川 真

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－２０３２７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０８３８２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－０１７８９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－３２６４５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１５／０３４３５８９（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ ４９／１０

Ｂ２４Ｂ ４１／０６

Ｂ２３Ｑ ３／０８

Ｂ２３Ｑ ３／１８

Ｂ２３Ｑ １７／００

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｂ２４Ｂ ７／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

保持面によって被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを支持する支持面を有する支持テーブルと、該支持面の中心を回転中心とし該支持面の反対面に連結する回転軸と、該回転軸を貫通させる開口を有し該回転軸を回転可能に支持する基台と、該回転軸を回転させる回転手段と、該回転軸の回転角度を検知するエンコーダと、該回転軸の中心を中心とする円周上の３箇所に等間隔に配設され、該基台を下から支持し該基台に装着される部品と該基台との重さを検知する３つの重さ検知部と、を備える加工装置において、該保持面の中心と該支持面の中心とを一致させ該支持テーブルに該チャックテーブルを固定させるチャックテーブルの固定方法であって、
該支持テーブルの該支持面に該チャックテーブルを仮置きさせる仮置き工程と、
該仮置き工程の後、該重さ検知部が検知した値をゼロリセットするリセット工程と、
該回転軸を回転させて、該３つの該重さ検知部のうち、１つの重さ検知部の値が最大となった時に、該回転軸の中心、該保持面の中心、及び該重さ検知部を通る一直線と該チャックテーブルの側面との交点を該チャックテーブルの外から該回転中心に向かって押し込み該支持面の中心と該保持面の中心とを一致させる中心一致工程と、
該中心一致工程の後、該チャックテーブルを該支持テーブルに固定させる固定工程と、
を備えるチャックテーブルの固定方法。

【請求項2】

該加工装置は該重さ検知部が検知する値の大きさを該支持面の中心と該支持面の上に仮置きした該チャックテーブルの該保持面の中心とのズレ量に変換可能なデータテーブルを備え、
該中心一致工程の前に、１つの該重さ検知部が検知した該値を基に、該データテーブルを参照して、該チャックテーブルを押し込む押し込み量を算出する押し込み量算出工程を含む
請求項１記載のチャックテーブルの固定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、チャックテーブルの固定方法に関する。

【背景技術】

【0002】

研削装置は、研削砥石を用いて保持面に保持されたウェーハを研削する際に、特許文献１に開示のように、ウェーハの外周に形成されウェーハの結晶方位を示すノッチまたはオリエンテーションフラットを特定の位置に位置決めして、ウェーハの中心と保持面の中心とを一致させて保持面に保持する。保持面は、ウェーハの面積及び形状に一致した面積及び形状に形成されている。かかる保持面にウェーハを保持すると、両者の形状が一致しているために、保持面はウェーハに覆われることとなる。これにより、研削中に保持面からウェーハが剥がれるという問題と、ウェーハの下面に研削屑が付着するという問題とが解消されている。

【0003】

ここで、例えば、研削装置には、チャックテーブルを装着する少なくとも２つの基台をターンテーブルに備える種類の研削装置があり、かかる２つの基台にはそれぞれチャックテーブルが装着される。例えば、ターンテーブルの上に２つの基台が配設されている場合、ターンテーブルを回転させると、一方のチャックテーブルが研削加工位置に位置づけられるとともに、他方のチャックテーブルがウェーハを保持面に搬送可能な搬送位置に位置づけられる。２つの基台は、ターンテーブルの円周上に等しい間隔をあけて配設されている。それぞれの基台は、基台の中心を通り基台に垂直な回転軸を軸に基台を回転させる回転手段を備える。チャックテーブルは、作業者が基台の中心とチャックテーブルの中心とを一致させて基台に装着する。ウェーハを搬送する搬送手段を備えた全自動機では、ターンテーブルが回転することによって、チャックテーブルが公転させられて、チャックテーブルが毎度同じ搬送位置に位置づけられるため、ウェーハも同様に毎度同じ搬送位置に位置づけることにより、順次、保持面とウェーハとを一致させて保持面にウェーハを保持させることが可能になる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１７－０９２４１２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

チャックテーブルの中心と基台の中心のずれ量を測定する測定作業は、チャックテーブルの外周面に外周面の変位を測定するゲージを接触させ、チャックテーブルを回転させ外周面の変位を測定するという面倒な作業を要する。
したがって、加工装置には、作業者が容易に基台の中心と保持面の中心とを一致させるという課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、保持面によって被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを支持する支持面を有する支持テーブルと、該支持面の中心を回転中心とし該支持面の反対面に連結する回転軸と、該回転軸を貫通させる開口を有し該回転軸を回転可能に支持する基台と、該回転軸を回転させる回転手段と、該回転軸の回転角度を検知するエンコーダと、該回転軸の中心を中心とする円周上の３箇所に等間隔に配設され、該基台を下から支持し該基台に装着される部品と該基台との重さを検知する３つの重さ検知部と、を備える加工装置において、該保持面の中心と該支持面の中心とを一致させ該支持テーブルに該チャックテーブルを固定させるチャックテーブルの固定方法であって、該支持テーブルの該支持面に該チャックテーブルを仮置きさせる仮置き工程と、該仮置き工程の後、該重さ検知部が検知した値をゼロリセットするリセット工程と、該回転軸を回転させて、該３つの該重さ検知部のうち、１つの重さ検知部の値が最大となった時に、該回転軸の中心、該保持面の中心、及び該重さ検知部を通る一直線と該チャックテーブルの側面との交点を該チャックテーブルの外から該回転中心に向かって該チャックテーブルを押し込み該支持面の中心と該保持面の中心とを一致させる中心一致工程と、該中心一致工程の後、該チャックテーブルを該支持テーブルに固定させる固定工程と、を備えるチャックテーブルの固定方法である。
上記のチャックテーブルの固定方法においては、該加工装置は該重さ検知部が検知する値の大きさを該支持面の中心と該支持面の上に仮置きした該チャックテーブルの該保持面の中心とのズレ量に変換可能なデータテーブルを備え、該中心一致工程の前に、１つの該重さ検知部が検知した該値を基に、該データテーブルを参照して、該チャックテーブルを押し込む押し込み量を算出する押し込み量算出工程を含むことが望ましい。

【発明の効果】

【0007】

本固定方法は、認識されたズレ量を利用して支持テーブルの中心とチャックテーブルの中心とを一致させるため、作業者の心出し作業の作業工数を少なくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】加工装置全体を表す斜視図である。

【図2】支持テーブルに支持されているチャックテーブル等を側方から見た断面図である。

【図3】（ａ）は、支持テーブルの上にチャックテーブルが仮置きされている状態を表す平面図であり、（ｂ）は、支持テーブルを回転させる途中の様子を表す平面図であり、（ｃ）は、支持面の中心と、保持面の中心と、第２重さ検知部とが一直線状に配置された状態を表す平面図である。

【図4】基台の回転角度を横軸に表示し、かつ、重さ検知部に検知された重さの値を縦軸に表示して、基台の回転角度に応じて変化する重さ検知部の重さの値を表したグラフである。

【図5】チャックテーブルの側面を押し込んで、支持面の中心と保持面の中心とを一致させる様子を側方から見た断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

１ 加工装置
図１に示す加工装置１は、被加工物Ｗを加工する加工装置である。以下、加工装置１について説明する。加工装置１は、図１に示すように、Ｙ軸方向に延設されたベース１０と、ベース１０の上における＋Ｙ方向側に立設されたコラム１１とを備えている。

【0010】

コラム１１の－Ｙ方向側の側面には、例えば、加工手段３を支持する加工送り手段４が配設されている。加工手段３は、Ｚ軸方向の回転軸３５を有するスピンドル３０と、スピンドル３０を回転可能に支持するハウジング３１と、回転軸３５を軸にしてスピンドル３０を回転駆動するスピンドルモータ３２と、スピンドル３０の下端に接続された円環状のマウント３３と、マウント３３の下面に着脱可能に装着された研削ホイール３４とを備えている。研削ホイール３４は、ホイール基台３４１と、ホイール基台３４１の下面に環状に配列された略直方体形状を有する複数の研削砥石３４０とを備えており、研削砥石３４０の下面は被加工物Ｗを研削する研削面３４０ａとなっている。
スピンドルモータ３２を用いて、回転軸３５を軸にしてスピンドル３０を回転させることにより、スピンドル３０に接続されているマウント３３及びマウント３３に装着されている研削砥石３４０が、回転軸３５を軸にして回転することとなる。

【0011】

加工送り手段４は、Ｚ軸方向の回転軸４５を有するボールネジ４０と、ボールネジ４０に対して平行に配設された一対のガイドレール４１と、ボールネジ４０の上端に連結され回転軸４５を軸にしてボールネジ４０を回動させるモータ４２と、内部のナットがボールネジ４０に螺合し側部がガイドレール４１に摺接する昇降板４３と、昇降板４３に連結されスピンドル３０を保持するホルダ４４とを備えている。
モータ４２を用いてボールネジ４０を駆動することにより、ボールネジ４０が回転軸４５を軸にして回転すると、これに伴って、昇降板４３がガイドレール４１に案内されてＺ軸方向に昇降移動するとともにホルダ４４に保持されている加工手段３がＺ軸方向に移動することとなる。

【0012】

ベース１０の上には、チャックテーブル２が配設されている。チャックテーブル２は、円板状の吸引部２０と吸引部２０を支持する環状の枠体２１とを備えている。吸引部２０の上面は被加工物Ｗが吸引保持される保持面２０ａであり、枠体２１の上面２１ａは、保持面２０ａに面一に形成されている。

【0013】

チャックテーブル２の周囲にはカバー１２が配設されており、カバー１２は蛇腹１３に伸縮可能に連結されている。
チャックテーブル２がＹ軸方向に移動すると、カバー１２が支持テーブル２２と一体的にＹ軸方向に移動して、蛇腹１３が伸縮することとなる。

【0014】

ベース１０の内部には、内部ベース１００が配設されている。内部ベース１００の上には、支持テーブル２２を水平方向に移動させる水平移動手段５が配設されている。

【0015】

水平移動手段５は、Ｙ軸方向の回転軸５５を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０に対して平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０に連結され回転軸５５を軸にしてボールネジ５０を回動させるＹ軸モータ５２と、底部のナットがボールネジ５０に螺合してガイドレール５１に沿ってＹ軸方向に移動する可動板５３とを備えている。Ｙ軸モータ５２にボールネジ５０が駆動されてボールネジ５０が回転軸５５を軸として回転すると、これに伴い、可動板５３がガイドレール５１に案内されてＹ軸方向に移動することとなる。

【0016】

ベース１０の上における－Ｙ方向側には、チャックテーブル２の枠体２１の側面２１ｃを押す機能を有する押し部６が備えられている。押し部６は、チャックテーブル２の枠体２１の側面２１ｃに当接して側面２１ｃをＹ軸方向に押す当接部材６０と、当接部材６０を支持するアーム６１とを備えている。押し部６は、水平移動手段５による支持テーブル２２の移動方向であるＹ軸方向において、支持テーブル２２に対して離間して配設されている。

【0017】

ベース１０の上には、押し部６を水平方向に移動させる機能を有する押し部移動手段７が配設されている。押し部移動手段７は、例えば、ベース１０の上にＹ軸方向に延設された支持板７００と、支持板７００の側面７００ｃに配設され、Ｙ軸方向の回転軸７５を有するボールネジ７０と、ボールネジ７０に対して平行になるように、同じく支持板７００の側面７００ｃに配設されたガイドレール７１と、ボールネジ７０に連結され回転軸７５を軸にしてボールネジ７０を回動させるモータ７２と、ボールネジ７０に螺合するナット部７４と、ナット部７４に連結されるとともにガイドレール７１に摺接しガイドレール７１に沿ってＹ軸方向に移動する可動部７３と、を備えており、可動部７３にはアーム６１が連結されている。

【0018】

モータ７２によってボールネジ７０が駆動されてボールネジ７０が回転軸７５を軸として回転すると、これに伴い、可動部７３がガイドレール７１に案内されてＹ軸方向に移動し、可動部７３に連結されているアーム６１がＹ軸方向に移動することとなる。
押し部移動手段７は、押し部６をＹ軸方向に移動させる機能を有するものに限らず、例えば、アーム６１をＸ－Ｙ平面上において旋回移動させる機能等を有するものであってもよい。
例えば、水平移動手段５により支持テーブル２２がＹ軸方向に移動したり、押し部移動手段７により押し部６がＹ軸方向に移動したりすることによって、支持テーブル２２と押し部６とは、互いに接近・離間する構成となっている。

【0019】

枠体２１の側面２１ｃは、押し部６に当接する部分となっており、枠体２１の上面２１ａにおける外周部分には、複数の貫通孔２１０が枠体２１の高さ方向（Ｚ軸方向）に貫通形成されている。

【0020】

チャックテーブル２の下方には、図２に示すように、支持テーブル２２が配設されている。支持テーブル２２は、チャックテーブル２を支持する支持面２２ａを有している。
支持テーブル２２の支持面２２ａにおける外周部分には、例えば、貫通孔２１０よりも小さな径を有する、貫通孔２１０と同じ個数のネジ穴２２０が、支持テーブル２２の高さ方向（Ｚ軸方向）に形成されている。
チャックテーブル２が支持テーブル２２の上に支持されている状態で、ネジ穴２２０に対応するネジ２３が＋Ｚ方向から貫通孔２１０を貫通して、ネジ穴２２０に螺合することにより、支持テーブル２２にチャックテーブル２が固定されることとなる。

【0021】

支持テーブル２２の支持面２２ａの反対側の面である反対面２２ｂ（－Ｚ方向に面している）には回転軸２５が連結されている。回転軸２５は、支持面２２ａの中心Ｏ２を通るＺ軸方向の軸心を有しており、支持面２２ａの中心Ｏ２をその回転中心として回転することが可能となっている。

【0022】

回転軸２５の周りには、環状の基台２４が配設されている。基台２４は開口２４０を有しており、開口２４０には回転軸２５が貫通している。基台２４は、その環の内側面に配設された連結部２４１が回転軸２５の外側面に連結して、回転軸２５を回転可能に支持している。

【0023】

支持テーブル２２の下方には、回転軸２５を回転させる回転手段２６が配設されている。
回転手段２６には、モータ２６０が配設されている。モータ２６０にはモータ２６０の回転量を検知するエンコーダ２６１が取り付けられている。
回転手段２６は、例えばプーリ機構であり、モータ２６０によってＺ軸方向の軸心を軸に回転可能な駆動軸２６２と、駆動軸２６２の上端に連結されている駆動プーリ２６３と、駆動プーリ２６３に巻回されて駆動プーリ２６３の駆動力を従動プーリ２６５に伝達する伝動ベルト２６４と、駆動プーリ２６３とともに伝動ベルト２６４に巻回されている従動プーリ２６５と、従動プーリ２６５に接続されている従動軸２６６と、従動軸２６６の下端に連結されたロータリージョイント２６７と、を備えている。従動軸２６６は、回転軸２５に連結されている。

【0024】

モータ２６０には、回転角度制御部９１が接続されている。回転角度制御部９１は、エンコーダ２６１によって検知されるモータ２６０の回転量等を参照して回転軸２５の回転角度を制御する機能を有している。

【0025】

モータ２６０を用いて駆動軸２６２を回転させると、駆動プーリ２６３が回転するとともに、駆動プーリ２６３の回転力が伝動ベルト２６４によって従動プーリ２６５に伝達されて従動プーリ２６５が回転することとなる。これにより、従動プーリ２６５に接続されている従動軸２６６がＺ軸方向の軸心を軸にして回転して、従動軸２６６に連結されている回転軸２５が支持面２２ａの中心Ｏ２を回転中心として回転する構成となっている。

【0026】

基台２４と可動板５３との間には、３つの重さ検知部８が配設されている。３つの重さ検知部８は、第１重さ検知部８ａ（図２に不図示）、第２重さ検知部８ｂ、及び第３重さ検知部８ｃを備えている。３つの重さ検知部８はそれぞれ圧電素子を有しており、回転軸２５の中心である支持面２２ａの中心Ｏ２を中心とする円周上の３箇所において基台２４を支持している。
３つの重さ検知部８のうちの１つ、例えば第２重さ検知部８ｂは、支持面２２ａの中心Ｏ２とともに、押し部６の移動経路（Ｙ軸方向）に一直線状に整列されて配設されているものとする。
なお、重さ検知部８は、支持面２２ａの中心Ｏ２を中心とする円周上に等間隔で配置されていてもよい。

【0027】

重さ検知部８は、基台２４に支持されている回転軸２５、回転軸２５に連結されている支持テーブル２２、及び支持テーブル２２に支持されるチャックテーブル２を含む諸々の部品と基台２４との合計の重さを検知することができる。
各々の重さ検知部８により検知される重さの値は、チャックテーブル２が支持テーブル２２の支持面２２ａにどのように位置づけられているかによって変わるものとする。すなわち、例えば、チャックテーブル２が、その中心Ｏ１の位置が第２重さ検知部８ｂよりも第３重さ検知部８ｃに近い位置に位置づけられて支持面２２ａに載置されている場合には、第３重さ検知部８ｃの方が第２重さ検知部８ｂよりも大きな値の重さを検知することとなる。

【0028】

加工装置１はデータテーブル９を備えている。データテーブル９は、重さ検知部８が検知する重さの値の大きさを、支持面２２ａの中心Ｏ２と支持面２２ａの上に仮置きされたチャックテーブル２の保持面２０ａの中心Ｏ１との間のズレ量に変換することができる。
加工装置１は、重さ検知部８に検知された重さの値を基にデータテーブル９を参照して、チャックテーブル２を押し込む押し込み量を算出することができる。

【0029】

押し部移動手段７には移動量制御部９０が接続されている。移動量制御部９０は、算出された上記の押し込み量の分、チャックテーブル２を押し込むために押し部６を移動させる際の、押し部６の＋Ｙ方向への移動量を制御する機能を有している。

【0030】

上記の加工装置１による被加工物Ｗの研削加工においては、まず、図１に示したチャックテーブル２が支持テーブル２２の支持面２２ａに固定されている状態で、チャックテーブル２の保持面２０ａに被加工物Ｗを保持してから、水平移動手段５を用いてチャックテーブル２及びその保持面２０ａに保持された被加工物Ｗを＋Ｙ方向に移動させることにより、被加工物Ｗを加工手段３の下方に位置付ける。

【0031】

次いで、保持面２０ａ及び保持面２０ａに保持されている被加工物Ｗを回転させるとともに、スピンドルモータ３２を用いて回転軸３５を軸にして研削砥石３４０を回転させる。
被加工物Ｗと研削砥石３４０とが回転している状態で、加工送り手段４を用いて研削砥石３４０を－Ｚ方向に移動させて、研削砥石３４０の研削面３４０ａを被加工物Ｗの上面Ｗａに接触させる。研削面３４０ａが被加工物Ｗの上面Ｗａに接触している状態で、さらに研削砥石３４０を－Ｚ方向に移動させて被加工物Ｗの上面Ｗａに押し下げていくことにより、被加工物Ｗが研削加工される。
なお、加工装置１は、上記のような研削加工装置に限定されず、例えば切削装置、研磨装置等であってもよい。

【0032】

２ チャックテーブルの固定方法
（１）仮置き工程
上記の加工装置１において、支持テーブル２２にチャックテーブル２を固定させるチャックテーブル２の固定方法について以下に説明する。
まず、図２に示した支持テーブル２２の支持面２２ａにチャックテーブル２を仮置きする。具体的には、支持テーブル２２の支持面２２ａにチャックテーブル２を載置してから、チャックテーブル２の枠体２１に形成されている複数の貫通孔２１０にネジ２３を貫通させ、さらにネジ２３を支持テーブル２２のネジ穴２２０に僅かに螺入させる。これにより、支持面２２ａに対するチャックテーブル２の仮の位置合わせがなされる。

【0033】

（２）リセット工程
チャックテーブル２の仮置きを行うと、支持テーブル２２に装着されたチャックテーブル２等の部品と支持テーブル２２との合計の重さが、重さ検知部８によって検知される。そこで、チャックテーブル２の仮置きを行った後、重さ検知部８が検知した値をゼロリセットする。
図３（ａ）には、支持テーブル２２と支持テーブル２２に仮置きされたチャックテーブル２との位置関係の例が図示されている。

【0034】

（３）回転軸の中心と保持面の中心と重さ検知部とを一直線上に配置する工程
重さ検知部８によって検知された値をゼロリセットした後、図２に示した回転手段２６を用いて、第１重さ検知部８ａに検知される重さの値が最大になる角度まで回転軸２５を回転させて、支持テーブル２２を回転させる。
具体的には、回転角度制御部９１を用いてモータ２６０を制御して回転軸２５を回転さ
せることにより、図３（ａ）の支持テーブル２２を、例えば、中心Ｏ２を回転の中心として反時計回りに回転させる。図３（ｂ）には、支持テーブル２２が５０°回転した状態が示されている。

【0035】

さらに、支持テーブル２２を回転させていき、第２重さ検知部８ｂに検知される重さの値が最大となったときに、回転軸２５の回転を停止させて、支持テーブル２２の回転を停止させる。
図４のグラフに示すように、支持テーブル２２が６０°回転した状態において、第２重さ検知部８ｂに検知される重さの値が最大となっている。
図３（ｃ）に示すように、支持テーブル２２が６０°回転した状態では、回転軸２５の回転中心である中心Ｏ２と、保持面２０ａの中心Ｏ１と、第２重さ検知部８ｂとが一直線状に配置された状態になっている。

【0036】

（４）押し込み量算出工程及び中心一致工程
その後、図１に示したデータテーブル９を参照して、第２重さ検知部８ｂに検知された重さの値の大きさを、支持面２２ａの中心Ｏ２と支持面２２ａの上に仮置きされたチャックテーブル２の保持面２０ａの中心Ｏ１とのズレ量に変換して、チャックテーブル２を支持面２２ａの中心Ｏ２に向かって押し込む押し込み量を算出する。
そして、図５に示すように、移動量制御部９０を用いて押し部６の移動量を制御して、上記の押し込み量の分、チャックテーブル２を押し込む。具体的には、押し部移動手段７を用いて押し部６を移動させて、回転軸２５の中心である中心Ｏ２、保持面２０ａの中心Ｏ１、及び第２重さ検知部８ｂを通る一直線Ｌとチャックテーブル２の枠体２１の側面２１ｃとの交点Ｐをチャックテーブル２の外から中心Ｏ２に向かって押し込む。これにより、支持面２２ａの中心Ｏ２と保持面２０ａの中心Ｏ１とが一致する。

【0037】

なお、上記のように押し部移動手段７を用いて押し部６を＋Ｙ方向に移動させてチャックテーブル２を＋Ｙ方向に押し込むかわりに、例えば、水平移動手段５を用いてチャックテーブル２を－Ｙ方向に移動させてもよい。かかる場合には、その水平位置が固定されている押し部６に向かってチャックテーブル２を－Ｙ方向に向けて適宜押し込んでいくと、チャックテーブル２が支持テーブル２２に対して＋Ｙ方向に移動していき、これにより、支持面２２ａの中心Ｏ２と保持面２０ａの中心Ｏ１とが一致する。

【0038】

（５）固定工程
上記のように支持面２２ａの中心Ｏ２と保持面２０ａの中心Ｏ１とを一致させた後、ネジ穴２２０に僅かに螺入しているネジ２３を更にネジ穴２２０と螺入させて、ネジ穴２２０にネジ２３を螺嵌させる。これにより、チャックテーブル２が支持テーブル２２に固定される。

【0039】

本固定方法においては、認識されたズレ量を利用して支持テーブル２２の中心Ｏ２とチャックテーブル２の中心Ｏ１とを一致させるため、作業者の芯出し作業の作業工数を少なくすることができる。

【0040】

また、データテーブル９を参照して、重さ検知部８に検知された重さの値を支持面２２ａの中心Ｏ２と保持面２０ａの中心Ｏ１とのズレ量に変換することによって、より効率的に芯出し作業を行うことができる。

【符号の説明】

【0041】

１：加工装置 １０：ベース １１：コラム １００：内部ベース
１２：カバー １３：蛇腹
２：チャックテーブル ２０：吸引部 ２０ａ：保持面 Ｏ１：保持面の中心
２１：枠体 ２１ａ：枠体の上面 ２１ｂ：枠体の下面 ２１ｃ：枠体の側面
２１０：貫通孔
２２：支持テーブル ２２ａ：支持面 Ｏ２：支持面の中心
２２ｂ：反対面 ２２０：ネジ穴
２３：ネジ ２４：基台 ２４０：開口 ２４１：連結部 ２５：回転軸
２６：回転手段 ２６０：モータ ２６１：エンコーダ ２６２：駆動軸
２６３：駆動プーリ ２６４：伝動ベルト ２６５：従動プーリ ２６６：従動軸
２６７：ロータリージョイント
３：加工手段 ３０：スピンドル ３１：ハウジング ３２：スピンドルモータ
３３：マウント ３４：研削ホイール ３４０：研削砥石 ３４０ａ：研削面
３４１：ホイール基台 ３５：回転軸
４：加工送り手段 ４０：ボールネジ ４１：ガイドレール ４２：Ｚ軸モータ
４３：昇降板 ４４：ホルダ ４５：回転軸
５：水平移動手段 ５０：ボールネジ ５１：ガイドレール ５２：Ｙ軸モータ
５３：可動板 ５５：回転軸
６：押し部 ６０：当接部材 ６１：アーム
７：移動手段 ７０：ボールネジ ７００：支持板 ７００ｃ：側面
７１：ガイドレール ７２：モータ ７３：可動部 ７４：ナット部 ７５：回転軸
８：重さ検知部
８ａ：第１重さ検知部 ８ｂ：第２重さ検知部 ８ｃ：第３重さ検知部
９：データテーブル ９０：移動量制御部 ９１：回転角度制御部
Ｗ：被加工物 Ｗａ：被加工物の上面 Ｌ：一直線 Ｐ：交点

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】