特許 7521902 テープ貼着装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-16

(45)【発行日】2024-07-24

(54)【発明の名称】テープ貼着装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240717BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20240717BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

H01L21/78 M

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2020023266

(22)【出願日】2020-02-14

(65)【公開番号】P2021129038

(43)【公開日】2021-09-02

【審査請求日】2022-12-16

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】齋藤 良信

【審査官】境 周一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－１１８５８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１８７５３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－０８８０３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－００９１８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－２４３２８６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

一方の面の中央に円形の凹部を備えるとともに、該凹部の外側に環状の凸部を備える円板状の被加工物の一方の面に、テープを貼着するテープ貼着装置であって、
被加工物の他方の面を載置する載置面を有する載置手段と、
該載置面に載置された該被加工物の一方の面を覆うようにテープを配置するテープ配置手段と、
該被加工物の凸部の上面のみに該テープを押し付けるためのローラと、
該テープの上面上で転動するように該ローラを移動させるためのローラ移動手段と、
少なくとも該載置手段と該ローラとを収容する収容室と、
該収容室内を減圧する減圧手段と、
該収容室内を加圧する加圧手段と、
該減圧手段を用いて、該収容室内を減圧すること、該ローラ移動手段を用いて、該被加工物における該凸部の上面のみに該テープを貼着すること、および、該加圧手段を用いて該収容室内を加圧して、該凹部と該凸部との角部に該テープを押し付けること、を制御する制御手段と、を備える、
テープ貼着装置。

【請求項2】

該テープ配置手段は、該被加工物を収容可能な開口を有する環状のリングフレームと、該開口を塞ぐように該リングフレームに貼着された該テープとを含むフレームユニットを用いる、
請求項１記載のテープ貼着装置。

【請求項3】

該テープを加熱する加熱手段をさらに備え、
該制御手段は、該収容室内を加圧する際に、該加熱手段を用いて該テープを加熱して軟化させて、該テープを該角部に押し付ける、
請求項１記載のテープ貼着装置。

【請求項4】

該テープを加熱する加熱手段をさらに備え、
該制御手段は、該収容室内を加圧する際に、該加熱手段を用いて該テープを加熱して軟化させて、該テープを該角部に押し付ける、
請求項２記載のテープ貼着装置。

【請求項5】

該テープは、該リングフレームに対応する部分にのみ粘着層を備え、該加熱手段で加熱し、さらに該加圧手段で加圧することによって、該テープを該角部に押し付ける、
請求項４記載のテープ貼着装置。

【請求項6】

一方の面の中央に円形の凹部を備えるとともに、該凹部の外側に環状の凸部を備える円板状の被加工物の一方の面に、テープを貼着するテープ貼着装置であって、
被加工物の他方の面を載置する載置面を有する載置手段と、
該載置面に載置された該被加工物の一方の面を覆うようにテープを配置するテープ配置手段と、
該被加工物に該テープを押し付けるためのローラと、
該テープの上面上で転動するように該ローラを移動させるためのローラ移動手段と、
少なくとも該載置手段と該ローラとを収容する収容室と、
該収容室内を減圧する減圧手段と、
該収容室内を加圧する加圧手段と、
該減圧手段を用いて、該収容室内を減圧すること、該ローラ移動手段を用いて、該被加工物における該凸部の上面に該テープを貼着すること、および、該加圧手段を用いて該収容室内を加圧して、該凹部と該凸部との角部に該テープを押し付けること、を制御する制御手段と、を備え、
該テープ配置手段は、該被加工物を収容可能な開口を有する環状のリングフレームと、該開口を塞ぐように該リングフレームに貼着された該テープとを含むフレームユニットを用いており、
該テープを加熱する加熱手段をさらに備え、
該制御手段は、該収容室内を加圧する際に、該加熱手段を用いて該テープを加熱して軟化させて、該テープを該角部に押し付け、
該テープは、該リングフレームに対応する部分にのみ粘着層を備え、該加熱手段で加熱し、さらに該加圧手段で加圧することによって、該テープを該角部に押し付ける、
テープ貼着装置。

【請求項7】

該加圧手段は、エアを噴射するエア供給手段であり、
該制御手段は、該エア供給手段を用いて、該載置面にエアを噴射して該載置面を清掃する、
請求項１または請求項６記載のテープ貼着装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、テープ貼着装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１および特許文献２には、被加工物の一方の面を保護するために、この面にテープを貼着するテープ貼着装置が開示されている。この装置では、真空室内で、被加工物にテープを貼着することによって、テープと被加工物と間に空気溜まりができることを抑制している。

【0003】

また、特許文献３には、ＴＡＩＫＯプロセスが開示されている。このプロセスでは、ウェーハの中央部分を研削砥石で研削することによって、中央部分に凹部を有するとともに、この凹部の周囲に環状の凸部を有するＴＡＩＫＯウェーハが形成される。その後、ＴＡＩＫＯウェーハを分割加工してチップを得る。

【0004】

この分割加工では、まず、ウェーハの凹部にテープを貼着し、凹部の外周を環状に加工することにより、環状の凸部を除去する。その後、ウェーハの一方の面に形成されている複数のデバイスの間のストリートに沿って、ウェーハを分割する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２００７－０７３７６７号公報

【文献】特開２０１７－０５０３８８号公報

【文献】特開２００７－０１９４６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

上述した従来技術では、ＴＡＩＫＯウェーハにおける環状の凸部を除去するための環状の加工の際、大きなチッピングが形成され、このチッピングを起点としてウェーハが割れることがある。
また、ストリートに沿ってウェーハを分割する際に、ウェーハの外周に形成される三角形のチップが飛散することがある。

【0007】

これらの対策として、ＴＡＩＫＯウェーハにおける環状の凸部と凹部との境に、テープを密着させることが好ましい。すなわち、真空室内でテープをＴＡＩＫＯウェーハに貼着した後、ＴＡＩＫＯウェーハを大気圧にさらす。これにより、テープが、大気圧に押されて、環状の凸部と凹部との境（角部）に密着される。また、加熱によってテープを軟化することにより、密着をさらに容易にすることができる。

【0008】

しかし、上記のような方法によってテープを密着させるには、時間がかかる。また、テープを軟化させるための時間もかかる。そして、加温されたテープを冷却する冷却時間も必要となる。

【0009】

したがって、本発明の目的は、ＴＡＩＫＯプロセスにおいて、短い時間で、ＴＡＩＫＯウェーハにおける環状の凸部と凹部との角部にテープが密着するように、ＴＡＩＫＯウェーハにテープを貼着することにある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明のテープ貼着装置（本テープ貼着装置）は、一方の面の中央に円形の凹部を備えるとともに、該凹部の外側に環状の凸部を備える円板状の被加工物の一方の面に、テープを貼着するテープ貼着装置であって、被加工物の他方の面を載置する載置面を有する載置手段と、該載置面に載置された該被加工物の一方の面を覆うようにテープを配置するテープ配置手段と、該被加工物の凸部の上面のみに該テープを押し付けるためのローラと、該テープの上面上で転動するように該ローラを移動させるためのローラ移動手段と、少なくとも該載置手段と該ローラとを収容する収容室と、該収容室内を減圧する減圧手段と、該収容室内を加圧する加圧手段と、該減圧手段を用いて、該収容室内を減圧すること、該ローラ移動手段を用いて、該被加工物における該凸部の上面のみに該テープを貼着すること、および、該加圧手段を用いて該収容室内を加圧して、該凹部と該凸部との角部に該テープを押し付けること、を制御する制御手段と、を備える。

【0011】

本テープ貼着装置では、該テープ配置手段は、該被加工物を収容可能な開口を有する環状のリングフレームと、該開口を塞ぐように該リングフレームに貼着された該テープとを含むフレームユニットを用いてもよい。

【0012】

本テープ貼着装置は、該テープを加熱する加熱手段をさらに備えてもよく、該制御手段は、該収容室内を加圧する際に、該加熱手段を用いて該テープを加熱して軟化させて、該テープを該角部に押し付けてもよい。
また、この場合、該テープは、該リングフレームに対応する部分にのみ粘着層を備えてもよい。そして、該加熱手段で加熱し、さらに該加圧手段で加圧することによって、該テープを該角部に押し付けてもよい。

【0013】

また、本発明の他のテープ貼着装置は、一方の面の中央に円形の凹部を備えるとともに、該凹部の外側に環状の凸部を備える円板状の被加工物の一方の面に、テープを貼着するテープ貼着装置であって、被加工物の他方の面を載置する載置面を有する載置手段と、該載置面に載置された該被加工物の一方の面を覆うようにテープを配置するテープ配置手段と、該被加工物に該テープを押し付けるためのローラと、該テープの上面上で転動するように該ローラを移動させるためのローラ移動手段と、少なくとも該載置手段と該ローラとを収容する収容室と、該収容室内を減圧する減圧手段と、該収容室内を加圧する加圧手段と、該減圧手段を用いて、該収容室内を減圧すること、該ローラ移動手段を用いて、該被加工物における該凸部の上面に該テープを貼着すること、および、該加圧手段を用いて該収容室内を加圧して、該凹部と該凸部との角部に該テープを押し付けること、を制御する制御手段と、を備え、該テープ配置手段は、該被加工物を収容可能な開口を有する環状のリングフレームと、該開口を塞ぐように該リングフレームに貼着された該テープとを含むフレームユニットを用いており、該テープを加熱する加熱手段をさらに備え、該制御手段は、該収容室内を加圧する際に、該加熱手段を用いて該テープを加熱して軟化させて、該テープを該角部に押し付け、該テープは、該リングフレームに対応する部分にのみ粘着層を備え、該加熱手段で加熱し、さらに該加圧手段で加圧することによって、該テープを該角部に押し付ける。
本発明のテープ貼着装置では、該加圧手段は、エアを噴射するエア供給手段であってもよく、該制御手段は、該エア供給手段を用いて、該載置面にエアを噴射して該載置面を清掃してもよい。

【発明の効果】

【0014】

本テープ貼着装置では、収容室を減圧した後、被加工物の一方の面を覆っているテープを、被加工物の環状の凸部の先端に貼着する。その後、収容室を加圧することにより、テープを、被加工物の一方の面に形成されている凹部に向かう方向に押しつける。これにより、凹部と環状の凸部との境である角部を含む、被加工物の一方の面の略全面に、実質的に隙間なく、テープを貼着することができる。
このように、本テープ貼着装置では、収容室内の気圧を調整することにより、容易かつ短時間で、テープを被加工物の一方の面の略全面に貼着することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】ウェーハの構成を示す斜視図である。

【図2】ウェーハの構成を示す断面図である。

【図3】テープ貼着装置の構成を示す断面図である。

【図4】フレームユニットの構成を示す斜視図である。

【図5】テープ貼着装置の筐体内にフレームユニットを配置する様子を示す説明図である。

【図6】テープ貼着装置の収容室が密封されている状態を示す説明図である。

【図7】収容室が減圧されている状態を示す説明図である。

【図8】図７に示した点線で囲まれている領域を拡大して示す説明図である。

【図9】収容室が加圧されている状態を示す説明図である。

【図10】図９に示した点線で囲まれている領域を拡大して示す説明図である。

【図11】テープ貼着装置の他の態様を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

図１および図２に示すように、本実施形態にかかる円板状の被加工物であるウェーハ１００は、一方の面である裏面１０４の中央に、円形の凹部１１０を備えている。さらに、ウェーハ１００は、凹部１１０の外側に、環状凸部１１２を備えている。

【0017】

このように、ウェーハ１００は、いわゆるＴＡＩＫＯウェーハであり、中央が薄化されている一方、外周の環状凸部１１２によって、ウェーハ１００が反ったり、割れたりしないように補強されている。
なお、ウェーハ１００の他方の面である表面１０１には、図示しないデバイスが形成されている。

【0018】

図３に示す本実施形態にかかるテープ貼着装置１は、このようなウェーハ１００の裏面１０４に、テープを貼着する。
なお、ウェーハ１００の裏面１０４にもデバイスを形成することがあり、その際は、デバイスにテープを貼着する。

【0019】

図３に示すように、テープ貼着装置１は、上側筐体５０および下側筐体４０を含む筐体１０、および、開閉手段１３を備えている。上側筐体５０および下側筐体４０は、ともに、有底筒状を有している。筐体１０は、上側筐体５０および下側筐体４０を、その開口を対向させるように重ねて連結することによって構成される。開閉手段１３は、上側筐体５０を、下側筐体４０に対して、上下方向に移動させるものである。

【0020】

筐体１０は、内部空間としての収容室１５を有している。上側筐体５０が、開閉手段１３によって下方に移動されて、下側筐体４０に連結されることにより、筐体１０が閉じられて、その内部の収容室１５が密封される。
また、上側筐体５０が、開閉手段１３によって上方に移動されて、下側筐体４０から離れることにより、筐体１０および収容室１５が開放されて、収容室１５の密封が破られる。

【0021】

また、上側筐体５０は、円板状の上側底部５１と、上側底部５１の外周上に設けられた筒状の上側側部５２とを有している。上側底部５１には、エア供給口５３が設けられている。このエア供給口５３は、エアを噴射するエア供給手段としてのエア供給源５５に、加圧バルブ５７を介して接続されている。エア供給源５５は、エア供給口５３を介して、密封された収容室１５内にエアを供給して、収容室１５を加圧することが可能となっている。このように、エア供給源５５は、収容室１５内を加圧する加圧手段として機能する。

【0022】

また、下側筐体４０は、円板状の下側底部４１と、下側底部４１の外周上に設けられた筒状の下側側部４２とを有している。下側底部４１には、減圧口４３が設けられている。この減圧口４３は、真空源４５に、真空バルブ４４を介して接続されている。真空源４５は、たとえば真空ポンプである。真空源４５は、減圧口４３を介して、密封された収容室１５内の空気を吸い込むことにより、収容室１５内の気圧を下げることができる。このように、真空源４５は、収容室１５内を減圧する減圧手段として機能する。

【0023】

なお、下側側部４２は、上側筐体５０の上側側部５２と、パッキン４７を介して連結されることが可能である。下側側部４２と上側側部５２とがパッキン４７を介して連結されることにより、筐体１０の内部の収容室１５の密封度を高めることができる。

【0024】

また、本実施形態では、下側側部４２と上側側部５２とが連結される際には、これらは、ロック部材４９によって互いに固定される。これにより、収容室１５が加圧されたときに、下側側部４２と上側側部５２との連結が解除されることを抑制することができる。

【0025】

また、下側筐体４０の内部には、フレーム保持テーブル２０が配置されており、フレーム保持テーブル２０上には、載置手段の一例としてのウェーハ保持テーブル３０が配置されている。

【0026】

ウェーハ保持テーブル３０は、円板状の基台３２と、基台３２の外周上に設けられた薄い筒状のウェーハ保持部３１とを有している。ウェーハ保持部３１は、ウェーハ１００の表面１０１を載置するための載置面として機能し、ウェーハ１００の表面１０１を吸着保持する。このため、ウェーハ保持部３１および基台３２内には、第１吸引路３６が設けられている。この第１吸引路３６は、筐体１０の外部に配置された吸引源２７に連通されることが可能である。

【0027】

フレーム保持テーブル２０は、ウェーハ保持テーブル３０のウェーハ保持部３１に載置されたウェーハ１００の裏面１０４を覆うようにダイシングテープ１２２を配置するために用いられる。

【0028】

フレーム保持テーブル２０は、下側筐体４０の下側底部４１に支持されている円板状の基台２２と、基台２２の外周上に設けられた筒状のフレーム保持部２１とを有している。

【0029】

図４に示すように、本実施形態においてウェーハ１００に貼着されるテープであるダイシングテープ１２２は、フレームユニット１２０の状態で取り扱われる。
フレームユニット１２０は、ウェーハ１００を収容可能な開口１２３を有する環状のリングフレーム１２１と、開口１２３を塞ぐようにリングフレーム１２１に貼着されたダイシングテープ１２２とを含む。このように、ダイシングテープ１２２は、その外周にリングフレーム１２１が貼着された状態、すなわち、ダイシングテープ１２２に支持された状態で用いられる。フレーム保持テーブル２０には、このようなフレームユニット１２０が載置される。

【0030】

図３に示したフレーム保持テーブル２０のフレーム保持部２１は、ダイシングテープ１２２を支持しているリングフレーム１２１を載置して吸着するために用いられる。このため、フレーム保持テーブル２０のフレーム保持部２１および基台２２内には、第２吸引路２６が設けられている。この第２吸引路２６は、第１吸引路３６と同様に、吸引源２７に連通されることが可能である。

【0031】

また、上側筐体５０の上側底部５１には、ローラ移動手段６３が設けられており、ローラ移動手段６３には、貼着ローラとしてのローラ６１が取り付けられている。ローラ６１は、ウェーハ１００にダイシングテープ１２２を押し付けるために用いられる。ローラ移動手段６３は、ローラ６１を移動させるためのレールおよびモータ等を備えており、ダイシングテープ１２２の上面上で転動するように、ローラ６１移動させることが可能である。

【0032】

このように、本実施形態にかかるテープ貼着装置１では、ローラ６１、ローラ移動手段６３、フレーム保持テーブル２０、およびウェーハ保持テーブル３０が、収容室１５内に収容されている。

【0033】

また、テープ貼着装置１は、テープ貼着装置１の各部材を制御するための制御手段７０を有している。
以下に、制御手段７０の機能とともに、テープ貼着装置１におけるダイシングテープ１２２の貼着動作について説明する。

【0034】

動作の開始時には、図５に示すように、開閉手段１３によって上側筐体５０が上昇されて、上側筐体５０と下側筐体４０との連結が解除されて、筐体１０および収容室１５が開放された状態となっている。なお、このときには、真空バルブ４４および加圧バルブ５７は、ともに閉じられている。

【0035】

この状態で、ウェーハ１００が、凹部１１０を有する裏面１０４が上向きとなるように、ウェーハ保持テーブル３０上に載せられる。この際、ウェーハ保持テーブル３０のウェーハ保持部３１上に、ウェーハ１００の環状凸部１１２が配置される。そして、第１吸引路３６が吸引源２７に連通されて、ウェーハ保持部３１が、ウェーハ１００の環状凸部１１２を吸引保持する。

【0036】

なお、上述したように、ウェーハ保持部３１は、円板状の基台３２の外周上に設けられた薄い筒状を有しており、ウェーハ保持部３１から上方に突き出ている。このため、本実施形態では、ウェーハ保持テーブル３０において下面となるウェーハ１００の表面１０１が、基台３２に接触することを抑制することができる。これにより、表面１０１に形成されているデバイスを保護することができる。

【0037】

次に、搬送手段８０によって、フレーム保持テーブル２０に、フレームユニット１２０が載置される。
搬送手段８０は、テープ配置手段の一例であり、ウェーハ保持テーブル３０のウェーハ保持部３１に載置されたウェーハ１００の裏面１０４を覆うように、ダイシングテープ１２２を配置する。このために、搬送手段８０は、ダイシングテープ１２２を含むフレームユニット１２０を用いる。

【0038】

すなわち、搬送手段８０は、円板状の基体８３と、基体８３の外周における複数箇所に設けられた吸引パッド８５と、基体８３の中央を支持し、基体８３を上下方向および水平方向に移動可能なアーム８１と、を備えている。

【0039】

搬送手段８０は、吸引パッド８５によって、図４に示したフレームユニット１２０のリングフレーム１２１を吸引保持した状態で、アーム８１によって、上側筐体５０と下側筐体４０との間に基体８３を挿入させて、基体８３をフレーム保持テーブル２０の上方に配置する。

【0040】

その後、搬送手段８０は、アーム８１を用いて基体８３を降下させて、リングフレーム１２１を、フレーム保持テーブル２０のフレーム保持部２１上に載置する。その後、搬送手段８０は、アーム８１を用いて、基体８３を筐体１０の外部に退避させる。

【0041】

また、第２吸引路２６が吸引源２７に連通されて、フレーム保持部２１が、フレームユニット１２０のリングフレーム１２１を吸引保持する。これにより、ウェーハ保持部３１に載置されたウェーハ１００の裏面１０４上が、フレームユニット１２０のダイシングテープ１２２によって覆われる。

【0042】

次に、図６に示すように、開閉手段１３によって上側筐体５０が降下されて、上側筐体５０の上側側部５２と下側筐体４０の下側側部４２とが、パッキン４７を介して連結されて、ロック部材４９によって固定される。これにより、筐体１０内の収容室１５が密封される。

【0043】

この状態で、制御手段７０が、真空バルブ４４を開放して、減圧口４３と真空源４５とを連通させる。これにより、真空源４５が、減圧口４３を介して、密封された収容室１５内の空気を吸い込む。これにより、収容室１５内が減圧されるとともに、ウェーハ保持テーブル３０に保持されているウェーハ１００の凹部１１０と、その上を覆っているダイシングテープ１２２との間も減圧される。

【0044】

このような減圧により、図７に示すように、ダイシングテープ１２２が垂れ下がり、凹部１１０に接触する。ただし、図８に示すように、ウェーハ１００における環状凸部１１２の近傍では、ウェーハ１００の凹部１１０と環状凸部１１２との境である角部１１３には、まだダイシングテープ１２２が貼着（密着）されていない可能性がある。この図８には、図７に示した点線で囲まれている、環状凸部１１２の近傍の領域４００が、拡大して示されている。

【0045】

なお、収容室１５の減圧時には、吸引源２７を用いた、ウェーハ保持部３１によるウェーハ１００の吸着およびフレーム保持部２１によるリングフレーム１２１の吸着は、停止されてもよい。

【0046】

次に、制御手段７０は、ローラ移動手段６３を用いて、ウェーハ１００における環状凸部１１２の上方に位置しているダイシングテープ１２２を、環状凸部１１２の先端（上面）に、押しつけて貼着する。

【0047】

すなわち、図７に示すように、制御手段７０は、ローラ移動手段６３を制御して、ローラ６１を、ウェーハ１００の環状凸部１１２上のダイシングテープ１２２に沿って転動させることにより、環状凸部１１２にダイシングテープ１２２を押しつける。これにより、ダイシングテープ１２２が、ウェーハ１００の環状凸部１１２の上面に、堅固に貼着される。その結果、凹部１１０とダイシングテープ１２２との間の空間が、ダイシングテープ１２２によって、収容室１５から実質的に隔離される。

【0048】

次に、制御手段７０は、図９に示すように、真空バルブ４４を閉じるとともに、加圧バルブ５７を開放する。これにより、減圧口４３と真空源４５との連通が遮断されるとともに、エア供給口５３とエア供給源５５とが連通される。このようにして、制御手段７０は、エア供給源５５を用いて、密封された収容室１５内に空気を送り込み、収容室１５内を加圧する。

【0049】

これにより、加圧された収容室１５と、収容室１５から実質的に隔離されている凹部１１０とダイシングテープ１２２との間の空間とに、気圧差が生じる。その結果、ダイシングテープ１２２が、収容室１５から凹部１１０に向かう方向に押しつけられる。このため、図１０に示すように、ウェーハ１００における環状凸部１１２の近傍において、ウェーハ１００の凹部１１０と環状凸部１１２との境である角部１１３にも、ダイシングテープ１２２が押しつけられる。

【0050】

したがって、角部１１３にダイシングテープ１２２が密着するように、ウェーハ１００の裏面１０４にダイシングテープ１２２が貼着される。すなわち、角部１１３を含むウェーハ１００の裏面１０４の略全面に対して、実質的に隙間なく、ダイシングテープ１２２が貼着（密着）される。

【0051】

以上のように、本実施形態では、密封された収容室１５を減圧した後、ウェーハ１００の裏面１０４を覆っているダイシングテープ１２２を、ウェーハ１００の環状凸部１１２の上面に貼着している。その後、収容室１５を加圧することにより、ダイシングテープ１２２を、ウェーハ１００の裏面１０４に形成されている凹部１１０に向かう方向に押しつけている。これにより、凹部１１０と環状凸部１１２との境である角部１１３を含む、ウェーハ１００の裏面１０４の略全面に、実質的に隙間なく、ダイシングテープ１２２を貼着することができる。

【0052】

このように、本実施形態では、収容室１５内の気圧を調整することにより、容易かつ短時間で、ダイシングテープ１２２をウェーハ１００の裏面１０４の略全面に貼着することができる。

【0053】

なお、本実施形態では、図１１に示すように、たとえばウェーハ保持テーブル３０の基台３２内に、ダイシングテープ１２２を加熱する加熱手段９０をさらに備えてもよい。この構成では、収容室１５内を加圧する際に、加熱手段９０によって、ウェーハ１００の凹部１１０を覆っているダイシングテープ１２２を、加熱して軟化させることができる。

【0054】

これにより、ウェーハ１００の裏面１０４の略全面に、ダイシングテープ１２２を、より容易に貼着することができる。なお、加熱手段９０によってダイシングテープ１２２を加熱するタイミングは、収容室１５内を加圧する前でもよいし、加圧中でもよい。また加圧後であってよい。

【0055】

また、図１１に示す構成を用いる場合、ダイシングテープ１２２は、リングフレーム１２１に対応する部分のみに粘着層を備えていてもよい。そして、加熱手段９０で加熱し、さらに、加圧手段としてのエア供給源５５を用いて加圧することによって、ダイシングテープ１２２を角部１１３に押し付けてもよい。

【0056】

また、本実施形態では、制御手段７０は、エア供給源５５を用いて、ウェーハ１００の表面１０１を載置するための載置面であるウェーハ保持テーブル３０のウェーハ保持部３１を清掃してもよい。この場合、エア供給口５３に、ウェーハ保持部３１にエアを容易に噴射することを可能とするノズルが備えられてもよい。

【符号の説明】

【0057】

１：テープ貼着装置，１０：筐体，１５：収容室，
２０：フレーム保持テーブル，２１：フレーム保持部，２２：基台，
２６：第２吸引路，２７：吸引源，
３０：ウェーハ保持テーブル，３１：ウェーハ保持部，３２：基台，
３６：第１吸引路，
４０：下側筐体，４１：下側底部，４２：下側側部，
４３：減圧口，４４：真空バルブ，４５：真空源，
１３：開閉手段，４７：パッキン，４９：ロック部材，
５０：上側筐体，５１：上側底部，５２：上側側部，
５３：エア供給口，５５：エア供給源，５７：加圧バルブ，
６１：ローラ，６３：ローラ移動手段，
７０：制御手段，９０：加熱手段，
８０：搬送手段，８１：アーム，８３：基体，８５：吸引パッド，
１００：ウェーハ，１０１：表面，１０４：裏面，
１１０：凹部，１１２：環状凸部，１１３：角部，
１２０：フレームユニット，１２１：リングフレーム，１２２：ダイシングテープ，

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】