特許 7521947 切削装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-16

(45)【発行日】2024-07-24

(54)【発明の名称】切削装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 45/00 20060101AFI20240717BHJP

   B24B 27/06 20060101ALI20240717BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20240717BHJP

【ＦＩ】

B24B45/00 Z

B24B27/06 M

H01L21/78 F

【請求項の数】 1

(21)【出願番号】P 2020107008

(22)【出願日】2020-06-22

(65)【公開番号】P2022001396

(43)【公開日】2022-01-06

【審査請求日】2023-04-26

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】藤田 智也

(72)【発明者】

【氏名】北住 祐一

(72)【発明者】

【氏名】野村 洋志

【審査官】須中 栄治

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１５－０８９６０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２００３－５３０２２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】韓国登録特許第１０－２２４６５４１（ＫＲ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ３／００－３／６０

Ｂ２４Ｂ２１／００－５１／００

Ｂ２３Ｃ１／００－９／００

Ｂ２８Ｄ１／００－７／０４

Ｈ０１Ｌ２１／３０１；２１／７８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を保持するチャックテーブルと、被加工物を切削する切削手段とを備える切削装置であって、
該切削手段は、スピンドルと、中央に開口を有する環状基台の外周に環状に砥石が配置されたハブブレードと、該スピンドルの先端に固定され該スピンドルの軸心を中心とする環状の連結面と先端に雄ねじとを有するマウント基台と、該マウント基台の該連結面に連結され該環状基台の一方の面を支持する環状の支持面を有するリング状のリングマウントと、該リングマウントを該連結面に連結する連結機構と、該マウント基台の該雄ねじに螺合するナットとを備え、
該連結機構は、
該マウント基台の該連結面から該スピンドルの軸心の方向に突出する首と該首の先端に形成される該首よりも大径に形成された頭とからなるピンと、
該リングマウントに形成され該ピンの該頭が挿入される穴と、該穴に該ピンが挿入された状態で該リングマウントと該マウント基台とを相対的に該スピンドルの軸心を軸に回転可能とする該穴から回転方向に繋がる円弧状の長穴と、を備え、
該長穴は、該連結面側に形成され該穴の直径より狭い幅で該ピンの該首を摺動可能とする首摺動溝と、該穴の直径と同一の幅で該ピンの該頭を摺動可能とする頭摺動溝と、を備え、
該雄ねじに該ナットを螺合させることによって該ナットと該マウント基台の連結面とによって該ハブブレードと該リングマウントとを挟持固定する、切削装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、切削装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１、特許文献２、及び特許文献３に開示のように、切削装置は、ハブブレードをスピンドルの先端に固定して、スピンドルを回転させる事によって回転するハブブレードを用いて、チャックテーブルに保持されたウェーハを切削加工する。

【0003】

ハブブレードは、環状のアルミ基台の外周部分に砥石を電着させた後、アルミ基台の外周部分を除去して砥石だけにして環状の砥石を形成している。そのため、アルミ基台には、コーティングなどが施されていない。
そして、スピンドルにハブブレードを装着する際は、スピンドルの先端に固定したマウントにハブブレードを配置してナットをマウントの先端に締め込むことによって、ナットとマウントとによってアルミ基台を挟んで固定している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１９－１５０９０６号公報

【文献】特開２０００－１９０１５５号公報

【文献】特開２０００－０６１８０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ハブブレードの装着によってアルミがマウントに付着すると、切削ブレードが偏心し、その状態で回転して、ウェーハを切削加工した際にウェーハに形成されるカーフ幅が大きくなるという問題がある。
そのため、マウントの支持面を砥石を用いて研削してアルミを除去する端面修正を実施している。この端面修正は、マウントの支持面を研削するための砥石をチャックテーブルに装着して、スピンドルを軸心方向に移動させ、マウントの支持面を砥石に接触させ、支持面に平行な方向にマウントと砥石とを相対的に移動させるというように多数のステップを含むため、時間がかかるという問題がある。
したがって、マウントにアルミが付着しないようにして切削加工の異常を発生させないようにするという課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、被加工物を切削する切削手段とを備える切削装置であって、該切削手段は、スピンドルと、中央に開口を有する環状基台の外周に環状に砥石が配置されたハブブレードと、該スピンドルの先端に固定され該スピンドルの軸心を中心とする環状の連結面と先端に雄ねじとを有するマウント基台と、該マウント基台の該連結面に連結され該環状基台の一方の面を支持する環状の支持面を有するリング状のリングマウントと、該リングマウントを該連結面に連結する連結機構と、該マウント基台の該雄ねじに螺合するナットとを備え、該連結機構は、該マウント基台の該連結面から該スピンドルの軸心の方向に突出する首と該首の先端に形成される該首よりも大径に形成された頭とからなるピンと、該リングマウントに形成され該ピンの該頭が挿入される穴と、該穴に該ピンが挿入された状態で該リングマウントと該マウント基台とを相対的に該スピンドルの軸心を軸に回転可能とする該穴から回転方向に繋がる円弧状の長穴と、を備え、該長穴は、該連結面側に形成され該穴の直径より狭い幅で該ピンの該首を摺動可能とする首摺動溝と、該穴の直径と同一の幅で該ピンの該頭を摺動可能とする頭摺動溝と、を備え、該雄ねじに該ナットを螺合させることによって該ナットと該マウント基台の連結面とによって該ハブブレードと該リングマウントとを挟持固定する切削装置である。

【発明の効果】

【0007】

本発明は、スピンドルに固定するマウント基台のハブブレードを支持する支持面を有する外周部分のリングマウントを脱着式にしている。そのため、ハブブレードの環状基台のアルミがマウントに付着した際に、リングマウントのみを外して交換することによって、マウント基台に付着したアルミによってハブブレードが偏心することカーフが広くなってしまうという問題を解決する事ができる。リングマウントを介して切削ブレードを固定しているため、リングマウントにアルミが付着する。従って、リングマウントに付着したアルミを除去することにより、リングマウントを再利用が可能である。また、マウント基台にリングマウントを連結させているので、ハブブレードの装着作業は、従来と同じように行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】切削装置の斜視図である。

【図2】切削手段の分解斜視図である。

【図3】切削手段の分解断面図である。

【図4】リングマウントの斜視図である。

【図5】リングマウントの部分拡大斜視図である。

【図6】リングマウントにピンが挿入されてリングマウントが回転した際の様子を表す斜視図である。

【図7】リングマウントにマウント基台が連結されている様子を表す正面図である。

【図8】切削手段の断面図である。

【図9】リングマウントにマウント基台が連結されている様子を表す正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

１ 切削装置の構成
図１に示す切削装置１は、切削手段５を用いて被加工物１４０を切削加工する切削装置である。被加工物１４０が環状のフレーム１４１の内側に位置付けられている状態で、フレーム１４１の下面と被加工物１４０の下面とにテープ１４２が貼着されることにより、被加工物１４０、フレーム１４１、及びテープ１４２が一体化されたワークユニット１４が形成される。被加工物１４０の上面１４００には、互いに直交する複数の分割予定ライン１４０２が形成されており、分割予定ライン１４０２によって区画された領域には、デバイス１４０１が配設されている。以下、切削装置１の構成について説明する。

【0010】

切削装置１は、図１に示すように、略Ｌ字形状に形成されたベース１０を備えている。ベース１０の＋Ｘ方向側かつ－Ｙ方向側の部分は、カセットステージ１００となっており、カセットステージ１００には、カセット１２が載置されている。カセット１２には、ワークユニット１４が収容されている。

【0011】

ベース１０の上には、チャックテーブル２が配設されている。チャックテーブル２は、円板状の吸引部２０と吸引部２０を支持する環状の枠体２１とを備えている。吸引部２０の上面は、ワークユニット１４が保持される保持面２００となっている。

【0012】

チャックテーブル２に隣接された位置には、チャックテーブル２を四方から囲むようにして４つのクランプ２３が配設されている。保持面２００に被加工物１４０を載置して、フレーム１４１を四つのクランプ２３を用いて四方から挟持することにより、ワークユニット１４をチャックテーブル２に保持することができる。

【0013】

チャックテーブル２は、図示しない回転手段に接続されている。該回転手段を用いることにより、チャックテーブル２を回転させることができる。

【0014】

また、チャックテーブル２は、図示しない水平移動手段に接続されている。該水平移動手段を用いることにより、チャックテーブル２をＸ軸方向に水平移動させることができる。例えば、チャックテーブル２の保持面２００に被加工物１４０が保持されている状態で、該水平移動手段を用いてチャックテーブル２をＸ軸方向に水平移動させることにより、被加工物１４０をＸ軸方向に移動させることが可能となっている。

【0015】

チャックテーブル２の周囲にはカバー２７が配設されており、カバー２７は蛇腹２８に伸縮可能に連結されている。
チャックテーブル２がＹ軸方向に移動すると、カバー２７がチャックテーブル２と一体的にＹ軸方向に移動して、蛇腹２８が伸縮することとなる。

【0016】

ベース１０の＋Ｘ方向側かつ＋Ｙ方向側には、切削加工後の被加工物１４０を洗浄する洗浄手段１３が設けられている。洗浄手段１３は、被加工物１４０を保持するスピンナテーブル１３０と、スピンナテーブル１３０の上面に向けて洗浄水を噴射する洗浄ノズル１３１とを備えている。
スピンナテーブル１３０の上面に被加工物１４０が保持された状態で、スピンナテーブル１３０を回転させながら、洗浄ノズル１３１から洗浄水を噴射することによって、被加工物１４０を流水洗浄することができる。

【0017】

ベース１０の－Ｘ方向側には、Ｌ字コラム１１が立設されている。Ｌ字コラム１１の＋Ｘ方向側の側面には、切削手段５をＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段３が配設されている。

【0018】

Ｙ軸移動手段３は、Ｙ軸方向に延設されたボールネジ３０と、ボールネジ３０を回転させる図示しないＹ軸モータと、ボールネジ３０に平行に配設された一対のガイドレール３１と、側部のナットがボールネジ３０に螺合し側部がガイドレール３１に摺接する可動板３３とを備えている。
図示しないＹ軸モータを用いてボールネジ３０を回転させると、可動板３３がガイドレール３１に案内されながらＹ軸方向に水平移動する。可動板３３をＹ軸方向に水平移動させることにより、切削手段５をＹ軸方向に水平移動させることができる。

【0019】

可動板３３の＋Ｘ方向側の側面には、切削手段５をＺ軸方向に移動させるＺ軸移動手段４が配設されている。Ｚ軸移動手段４は、Ｚ軸方向に延設されたボールネジ４０と、ボールネジ４０を回転させるＺ軸モータ４２と、ボールネジ４０に平行に配設された一対のガイドレール４１と、側部のナットがボールネジ４０に螺合し側部がガイドレール４１に摺接する昇降板４３とを備えている。昇降板４３には、切削手段５が支持されている。
Ｚ軸モータ４２を用いてボールネジ４０を回転させると、昇降板４３がガイドレール４１に案内されながらＺ軸方向に移動することとなる。昇降板４３をＺ軸方向に昇降移動させることにより、昇降板４３に支持されている切削手段５をＺ軸方向に昇降移動させることができる。

【0020】

昇降板４３の＋Ｘ方向側の側面には、撮像手段１６が支持されている。撮像手段１６を用いて被加工物１４０の分割予定ライン１４０２を撮像することにより、撮像された分割予定ライン１４０２を基にして切削手段５の位置合わせを行うことが可能となっている。

【0021】

切削手段５は、図２に示すように、スピンドル５０と、スピンドル５０の先端に固定されるマウント基台５３と、マウント基台５３の連結面５３２に連結されるリングマウント５８と、リングマウント５８を介してマウント基台５３に装着されるハブブレード５４と、ハブブレード５４をマウント基台５３側に押さえるナット５６と、留め具５７とを備えている。

【0022】

スピンドル５０は、例えば、円柱状に形成されており、スピンドルハウジング５１に保護されている。スピンドル５０は、Ｙ軸方向の軸心５５を軸にしてスピンドル５０を回転させる図示しないモータに接続されている。スピンドル５０の先端には、雌ねじ５００が形成されている。

【0023】

ハブブレード５４は、中央に開口５４０を有するアルミ製の環状基台５４１と、環状基台５４１の外周に環状に配設された砥石５４２とを備えている。砥石５４２は、環状基台５４１の外周部分に電着されている。

【0024】

マウント基台５３は、円板状のフランジ部５３０と、フランジ部５３０の中央に形成され－Ｙ方向側に突出した円柱状のボス部５３３とを備えている。
フランジ部５３０は、図３に示すように、径方向最外周側に、＋Ｙ方向側に凹んだ凹部５３１を有しており、凹部５３１の－Ｙ方向側の面は、リングマウント５８が連結される環状の連結面５３２となっている。連結面５３２の中心は、図２に示したスピンドル５０の軸心５５に一致している。また、ボス部５３３の外側面の先端には、雄ねじ５３４が形成されている。

【0025】

リングマウント５８は、リング状に形成された金属部材であり、環状基台５４１の一方の面である被支持面５４３を支持する支持面５８０と、連結面５３２に対面する被連結面５８２とを有している。

【0026】

ナット５６の内側面には、マウント基台５３の雄ねじ５３４に対応する雌ねじ５６０が形成されている。また、留め具５７には、スピンドル５０の雌ねじ５００に対応する雄ねじ５７０が形成されている。

【0027】

切削手段５は、図３に示すように、リングマウント５８を連結面５３２に連結させる連結機構５９を備えている。連結機構５９は、例えば、マウント基台５３の連結面５３２からスピンドル５０の軸心５５の方向（－Ｙ方向）に突出する首５９２と首５９２の先端に形成された頭５９３とを有する２つのピン５９１を備えている。
２つのピン５９１は、例えば、マウント基台５３の連結面５３２の円周上に等しい間隔をあけて配設されており、２つのピン５９１を結んだ直線がマウント基台５３の連結面５３２の中心を通るように、マウント基台５３の連結面５３２にピン５９１が固定されている。ピン５９１の頭５９３の外径は首５９２の外径よりも大径に形成されている。

【0028】

また、連結機構５９は、図４に示すように、リングマウント５８に形成された穴５９４と、穴５９４からリングマウント５８の回転方向に向かって円弧状に延ばされて形成された長穴５９５とを備えている。穴５９４と長穴５９５とは、被連結面５３２からリングマウント５８の厚さ方向に窪んでおり、リングマウント５８の円周上に等しい間隔をあけてそれぞれ４つずつ形成されている。

【0029】

図５には、穴５９４及び長穴５９５の特徴を表すために部分的に拡大されたリングマウント５８とピン５９１とが示されている。穴５９４は、図５に示すように、ピン５９１の頭５９３を挿入可能な大きさの外径を有しており、また、頭５９３及び首５９２を収容可能なＹ軸方向の深さを有している。長穴５９５の円弧方向に直交する方向の幅は、穴５９４の直径より狭くなっている。
長穴５９５は、被連結面５８２側に形成された首摺動溝５９５３と、首摺動溝５９５３よりもリングマウント５８の厚さ方向奥側（－Ｙ方向側）に形成された頭摺動溝５９５４とで構成されている。頭摺動溝５９５４の溝幅は第１長さ５９５０であり、首摺動溝５９５３の溝幅は第２長さ５９５２である。第１長さ５９５０は、頭５９３の円の外径よりも僅かに大きい長さであり、第２長さ５９５２は、頭５９３の外径より小さく、かつ首５９２の外径よりも僅かに大きい長さである。
また、頭摺動溝５９５４の深さである長さ５９５１は、頭５９３の厚み５９３１よりも僅かに大きい長さとなっている。
連結機構５９は、ピン５９１、ピン５９１に係合される穴５９４、及び長穴５９５によって、いわゆる引掛けシーリング部材を構成している。

【0030】

リングマウント５８とマウント基台５３とを連結させる際には、図４に示したリングマウント５８の穴５９４にピン５９１の頭５９３及び首５９２を挿入してリングマウント５８をマウント基台５３に対して相対的に回転させる。すると、図６に示すように、ピン５９１の頭５９３が長穴５９５の頭摺動溝５９５４を摺動し、長穴５９５の穴５９４の反対側の端部まで移動する。これにより、図７に示すように、マウント基台５３にリングマウント５８がいわゆるシーリング固定された状態となる。このとき、図５に示した通り、ピン５９１の頭５９３の外径よりも長穴５９５の第２長さ５９５２の方が小さいため、ピン５９１は長穴５９５に対して＋Ｙ方向側へと外れない状態となっている。
なお、連結機構５９に備えるピン５９１、穴５９４及び長穴５９５の数は、それぞれ上記の数に限定されるものではない。

【0031】

図８には、切削手段５の各種の部材が組み合わされて嵌着されている状態が示されている。図８においては、マウント基台５３にリングマウント５８が連結された状態で、スピンドル５０の先端にマウント基台５３が固定されている。また、ハブブレード５４の環状基台５４１がマウント基台５３のボス部５３３に貫通されて、リングマウント５８の支持面５８０に支持されている。また、ハブブレード５４は、リングマウント５８の支持面５８０の反対側（－Ｙ方向側）からナット５６によって押さえられており、ボス部５３３の雄ねじ５３４にナット５６の雌ねじ５６０が螺合されている。すなわち、リングマウント５８とナット５６とによってハブブレード５４が挟まれている。そして、留め具５７の雄ねじ５７０がスピンドル５０の雌ねじ５００に螺合して、マウント基台５３、ハブブレード５４、及びナット５６が一体となっている。

【0032】

２ 切削装置の動作
上記の切削装置１を用いて被加工物１４０を切削加工する際の切削装置１の動作について、以下に説明する。
切削装置１を用いて被加工物１４０を切削加工する際には、まず、図１に示したカセット１２に収容されているワークユニット１４を一枚取り出して、チャックテーブル２の保持面２００に載置する。そして、フレーム１４１を四つのクランプ２３を用いて四方から挟持することにより、ワークユニット１４をチャックテーブル２に固定する。これにより、被加工物１４０がチャックテーブル２の保持面２００に保持される。

【0033】

次に、被加工物１４０がチャックテーブル２の保持面２００に保持されている状態で、図示しない水平移動手段を用いてチャックテーブル２を－Ｘ方向に移動させて、被加工物１４０を撮像手段１６の下方に位置付ける。そして、撮像手段１６を用いて分割予定ライン１４０２を撮像するとともに、撮像された分割予定ライン１４０２の画像に基づいて、Ｙ軸移動手段３をＹ軸方向に適宜移動させて、分割予定ライン１４０２に対する切削手段５のＹ軸方向の位置合わせを行う。

【0034】

また、図示しないモータ等を用いてスピンドルハウジング５１に収容されているスピンドル（図１においては図示せず）を回転させる。これにより、ハブブレード５４が回転する。

【0035】

そして、ハブブレード５４が回転している状態で、Ｚ軸移動手段４を用いて切削手段５を－Ｚ方向に移動させて、回転するハブブレード５４を被加工物１４０の分割予定ライン１４０２に当接させるとともに、図示しない水平移動手段を用いてチャックテーブル２に保持されている被加工物１４０を－Ｘ方向に移動させる。これにより、被加工物１４０とハブブレード５４とがＸ軸方向に相対移動して、被加工物１４０の分割予定ライン１４０２に沿って被加工物１４０が切削される。

【0036】

１つの分割予定ライン１４０２の切削を行った後、一旦、Ｚ軸移動手段４を用いて切削手段５を＋Ｚ方向に上昇させて、ハブブレード５４を被加工物１４０の上方へと退避させるとともに、該水平移動手段を用いてチャックテーブル２を＋Ｘ方向に移動させて、切削加工の開始位置に位置づける。
そして、例えば、隣り合う分割予定ライン１４０２の間隔の分だけＹ軸移動手段３を用いて切削手段５をＹ軸方向に移動させてから、同様に分割予定ライン１４０２に対してハブブレード５４を切り込ませることにより、隣り合う分割予定ライン１４０２を切削加工する。

【0037】

このようにして、被加工物１４０に形成されている同一方向の分割予定ライン１４０２を全て切削した後に、例えば、図示しない回転手段を用いてチャックテーブル２を例えば９０度回転させてから、同様に切削加工を行うことによって、被加工物１４０の全ての分割予定ライン１４０２に対して切削加工を行う。これにより、被加工物１４０に形成されているすべての分割予定ライン１４０２が切削される。

【0038】

切削装置１に備える切削手段５においては、図８に示すように、ハブブレード５４の環状基台５４１とマウント基台５３との間にリングマウント５８が配設されているため、環状基台５４１のアルミがリングマウント５８に付着する。従って、マウント基台５３の連結面５３２にアルミが付着するのを防止できる。

【0039】

従来は、所定の回数の切削加工した後にマウント基台５３を交換していたが、切削手段５にあっては、リングマウント５８を新しいものと交換する。リングマウント５８はマウント基台５３よりも安価であるため経済的であるというメリットがある。
また、切削手段５を用いて所定の回数の切削加工した後、リングマウント５８を一旦取り外して洗浄することも可能となっている。

【0040】

切削装置１は、上記のような連結機構５９にかえて、図９に示すような内壁支持部５９６を有する第２連結機構５９０を備えるものであってもよい。内壁支持部５９６は、マウント基台５３の外周部分に設けられた第１つまみ部５９６０及び第１つまみ部５９６０を支持する第１支持部材５９６１、並びにマウント基台５３の中心に対して第１つまみ部５９６０の反対側に設けられた第２つまみ部５９６２及び第２つまみ部５９６２を支持する第２支持部材５９６３を有している。第１つまみ部５９６０と第２つまみ部５９６２とは、両者を結んだ直線がマウント基台５３の中心を通るように位置づけられている。
第１つまみ部５９６０及び第２つまみ部５９６２の内部には、図示しないバネ機構等が配設されている。
第１つまみ部５９６０に外力が加えられていない状態においては、第１支持部材５９６１は、マウント基台５３の外周から－Ｘ方向に突出している。この状態から第１つまみ部５９６０に＋Ｘ方向の力を加えて第１つまみ部５９６０を＋Ｘ方向に押すと、第１支持部材５９６１が＋Ｘ方向に移動してマウント基台５３の内側に収容される。そして、第１つまみ部５９６０に加えられていた＋Ｘ方向の力を解くと、第１つまみ部５９６０及び第１支持部材５９６１が－Ｘ方向に移動してもとの位置に戻される。
同様に、第２つまみ部５９６２に外力が加えられていない状態においては、第２支持部材５９６３はマウント基台５３の外周から＋Ｘ方向に突出した状態にある。この状態から第２つまみ部５９６２を－Ｘ方向に押すと、第２支持部材５９６３が－Ｘ方向に移動して、第２支持部材５９６３がマウント基台５３の内側に収容される。第２つまみ部５９６２に加えられていた－Ｘ方向の力を解くと、第２つまみ部５９６２及び第２支持部材５９６３が＋Ｘ方向に移動してもとの位置に戻される。

【0041】

図９においては、第１支持部材５９６１がマウント基台５３の外周から－Ｘ方向に突出しており、同様に第２支持部材５９６３がマウント基台５３の外周から＋Ｘ方向に突出している状態が示されている。これにより、リングマウント５８の内壁面５８１が第１支持部材５９６１及び第２支持部材５９６３によって支持されてマウント基台５３とリングマウント５８とが連結されている。
例えば、リングマウント５８の交換時等に、リングマウント５８をマウント基台５３から取り外す際には、第１つまみ部５９６０を＋Ｘ方向に押して第１支持部材５９６１をマウント基台５３の内側に収容するとともに、第２つまみ部５９６２を－Ｘ方向に押して第２支持部材５９６３をマウント基台５３の内側に収容する。これにより、リングマウント５８の内壁面５８１が第１支持部材５９６１及び第２支持部材５９６３に支持されている状態から解かれて、リングマウント５８をマウント基台５３から取り外すことができる。

【0042】

連結機構５９は、リングマウント５８またはマウント基台５３のいずれか一方に図示しない磁石が配置され、リングマウント５８、及びマウント基台５３のうち該磁石が配置されていない方に磁性体が配置されているものであってもよい。
すなわち、例えば、図２に示したリングマウント５８に磁石が配設されており、マウント基台５３の連結面５３２に磁性体が配設されている構成であってもよい。また、例えば、マウント基台５３の連結面５３２に磁石が配設されており、リングマウント５８に磁性体が配設されている構成であってもよい。このような構成においては、リングマウント５８を磁力によってマウント基台５３に連結させることができる。

【符号の説明】

【0043】

１：切削装置 １０：ベース １００：カセットステージ １１：Ｌ字コラム
１２：カセット １３：洗浄手段 １３０：スピンナテーブル １３１：洗浄ノズル
１４：ワークユニット １４０：被加工物 １４１：フレーム １４２：テープ
１４００：上面 １４０１：デバイス １４０２：分割予定ライン １６：撮像手段
２：チャックテーブル ２０：吸引部 ２００：保持面 ２１：枠体
２３：クランプ ２７：蛇腹 ２８：カバー
３：Ｙ軸移動手段 ３０：ボールネジ ３１：ガイドレール ３３：可動板
４：Ｚ軸移動手段 ４０：ボールネジ ４１：ガイドレール ４２：Ｚ軸モータ
４３：昇降板 ５：切削手段 ５０：スピンドル ５００：雌ねじ
５１：スピンドルハウジング ５３：マウント基台
５３０：フランジ部 ５３１：凹部 ５３２：連結面 ５３３：ボス部
５３４：雄ねじ ５４：ハブブレード ５４０：開口 ５４１：環状基台
５４２：砥石５４３：被支持面 ５５：回転軸 ５６：ナット
５６０：雌ねじ ５７：留め具 ５７０：雄ねじ ５８：リングマウント
５８０：支持面 ５８１：内壁面
５９：連結機構 ５９１：ピン ５９２：首 ５９３：頭 ５９３１：頭の厚み
５９４：穴 ５９５：長穴 ５９５０：第１長さ ５９５１：厚み方向の長さ
５９５２：第２長さ ５９５３：首摺動溝 ５９５４：頭摺動溝
５９０：第２連結機構
５９６：内壁支持部 ５９６０：第１つまみ部 ５９６１：第１支持部材
５９６２：第２つまみ部 ５９６３：第２支持部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】