特許 7521978 保護部材形成装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-16

(45)【発行日】2024-07-24

(54)【発明の名称】保護部材形成装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240717BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20240717BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240717BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20240717BHJP

   B05C 5/00 20060101ALI20240717BHJP

   B05C 11/10 20060101ALI20240717BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

H01L21/68 B

H01L21/68 N

H01L21/304 622J

B65G49/07 C

B05C5/00 101

B05C11/10

【請求項の数】 1

(21)【出願番号】P 2020146721

(22)【出願日】2020-09-01

(65)【公開番号】P2022041495

(43)【公開日】2022-03-11

【審査請求日】2023-07-25

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】桑名 一孝

【審査官】境 周一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１３－１７５６４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－０３３００５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－１００７２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－１２３６４２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｂ６５Ｇ ４９／０７

Ｂ０５Ｃ ５／００

Ｂ０５Ｃ １１／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェーハを棚状に収納したカセットを載置するカセットステージと、該カセットから取り出したウェーハを仮置きする仮置きテーブルと、シートを載置するステージと、該ステージに載置された該シートの上に液状の樹脂を供給する液状樹脂供給ノズルと、該シートに供給された液状の該樹脂に押し付けるウェーハを保持するウェーハ保持部と、液状の該樹脂を硬化させウェーハの片面に該シートと硬化した該樹脂とからなる保護部材を形成する硬化手段と、ウェーハの片面に形成した該保護部材の該シートをウェーハの外周に沿って円形に切断するためのカットテーブルと、該仮置きテーブルと該ステージとの間、及び該ステージと該カットテーブルとの間においてウェーハを搬送するロボットと、制御手段と、を備える保護部材形成装置であって、
該ロボットは、上面に吸引面を有するＵ字形状のロボットハンドと、該ロボットハンドの直下に配置し片面に該保護部材を形成したウェーハをもう片方の上面側から該シートを介して吸引保持する吸引パッドと、該吸引パッドに配置され該保護部材を形成したウェーハの外に該シートがはみ出した部分を吸引保持する複数の吸盤と、該ロボットハンド、及び該吸引パッドを配置するホルダと、該ホルダを鉛直方向に移動させる昇降手段と、該ホルダを水平方向に移動させる水平移動手段と、を備え、
該仮置きテーブルは、該ロボットハンドのＵ字状の開口の中を通過可能に形成され、
該カットテーブルは、中心が該仮置きテーブルの中心と同一線上に位置するように該仮置きテーブルの直下に配置され、
該制御手段は、該昇降手段を制御して該ホルダを昇降させることによって、該吸引パッドで該カットテーブルに該保護部材を形成したウェーハを載置した後に該ロボットハンドで該仮置きテーブルのウェーハを受け取り可能とし、また、該ロボットハンドが保持しているウェーハを該ウェーハ保持部に受け渡して該ウェーハ保持部で保持させた後に該吸引パッドで該ステージ上の該保護部材を形成したウェーハを受け取り可能とする保護部材形成装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェーハの一方の面に保護部材を形成する保護部材形成装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１、又は特許文献２に開示されているように、半導体ウェーハなどの製造工程においては、円柱状のインゴットをワイヤーソーによってスライスして円板状のウェーハを形成するときに、ウェーハに反りやうねりが形成されることがある。この反りやうねりを除去するために、反りやうねりが形成されたウェーハの片面にポリエチレン等の液状樹脂を塗布し、これを硬化させ保護部材を形成した後に、回転する研削砥石でウェーハの該片面の反対面を研削して平坦化し、さらに、保護部材を剥離してから、露出した該片面を研削してウェーハを所定の厚みに平坦化する技術がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１６－１６７５４６号公報

【文献】特開２０１７－２２４６７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記技術において、ウェーハの片面に液状樹脂を塗布して硬化させるためには、例えば、保護部材形成装置のステージ上に載置されたシートの上に所定量の液状樹脂を滴下し、ステージの上方で吸引保持部に保持されたウェーハを、その片面（下面）側から液状樹脂に対して上方から押し付けてウェーハの片面の中心から外周側に向けて液状樹脂をシートとウェーハの片面との間で拡張させ該片面の全域に液状樹脂を行きわたらせた後、この液状樹脂を加熱したり、紫外光を照射したりすることにより液状樹脂を硬化させている。

【0005】

上記のような保護部材形成装置は、カセットからウェーハを取り出し仮置きテーブルに搬送する第１ロボットと、仮置きテーブルからステージの真上に待機するウェーハ保持部にウェーハを搬送して受け渡す第２ロボットとを備える。そして、第２ロボットは、保護部材を形成したウェーハをウェーハ保持部から搬出する際にも用いられる。そのため、第２ロボットがウェーハ保持部から保護部材を形成したウェーハを搬出し、次のウェーハをウェーハ保持部に搬送するまで、一連のウェーハ搬送における待機時間が発生する。

【0006】

よって、保護部材形成装置においては、保護部材形成における一連のウェーハ搬送における待機時間を少なくして、生産性を向上させるという課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するための本発明は、ウェーハを棚状に収納したカセットを載置するカセットステージと、該カセットから取り出したウェーハを仮置きする仮置きテーブルと、シートを載置するステージと、該ステージに載置された該シートの上に液状の樹脂を供給する液状樹脂供給ノズルと、該シートに供給された液状の該樹脂に押し付けるウェーハを保持するウェーハ保持部と、液状の該樹脂を硬化させウェーハの片面に該シートと硬化した該樹脂とからなる保護部材を形成する硬化手段と、ウェーハの片面に形成した該保護部材の該シートをウェーハの外周に沿って円形に切断するためのカットテーブルと、該仮置きテーブルと該ステージとの間、及び該ステージと該カットテーブルとの間においてウェーハを搬送するロボットと、制御手段と、を備える保護部材形成装置であって、該ロボットは、上面に吸引面を有するＵ字形状のロボットハンドと、該ロボットハンドの直下に配置し片面に該保護部材を形成したウェーハをもう片方の上面側から該シートを介して吸引保持する吸引パッドと、該吸引パッドに配置され該保護部材を形成したウェーハの外に該シートがはみ出した部分を吸引保持する複数の吸盤と、該ロボットハンド、及び該吸引パッドを配置するホルダと、該ホルダを鉛直方向に移動させる昇降手段と、該ホルダを水平方向に移動させる水平移動手段と、を備え、該仮置きテーブルは、該ロボットハンドのＵ字状の開口の中を通過可能に形成され、該カットテーブルは、中心が該仮置きテーブルの中心と同一線上に位置するように該仮置きテーブルの直下に配置され、該制御手段は、該昇降手段を制御して該ホルダを昇降させることによって、該吸引パッドで該カットテーブルに該保護部材を形成したウェーハを載置した後に該ロボットハンドで該仮置きテーブルのウェーハを受け取り可能とし、また、該ロボットハンドが保持しているウェーハを該ウェーハ保持部に受け渡して該ウェーハ保持部で保持させた後に該吸引パッドで該ステージ上の該保護部材を形成したウェーハを受け取り可能とする保護部材形成装置である。

【発明の効果】

【0008】

本発明に係る保護部材形成装置は、ロボットは、上面に吸引面を有するＵ字形状のロボットハンドと、ロボットハンドの直下に配置し片面に保護部材を形成したウェーハをもう片方の上面側からシートを介して吸引保持する吸引パッドと、吸引パッドに配置され保護部材を形成したウェーハの外にシートがはみ出した部分を吸引保持する複数の吸盤と、ロボットハンド、及び吸引パッドを配置するホルダと、ホルダを鉛直方向に移動させる昇降手段と、ホルダを水平方向に移動させる水平移動手段と、を備え、仮置きテーブルは、ロボットハンドのＵ字状の開口の中を通過可能に形成され、カットテーブルは、中心が仮置きテーブルの中心と同一線上に位置するように仮置きテーブルの直下に配置されていることで、制御手段は、昇降手段を制御してホルダを昇降させることによって、吸引パッドでカットテーブルに保護部材を形成したウェーハを載置した後にロボットハンドで仮置きテーブルのウェーハを受け取り可能とし、また、ロボットハンドが保持しているウェーハをウェーハ保持部に受け渡してウェーハ保持部で保持させた後に吸引パッドでステージ上の保護部材を形成したウェーハを受け取り可能とすることが可能となり、ウェーハ搬送における待機時間を減らして、ウェーハの搬送時間を短くすることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】保護部材形成装置の一例を示す斜視図である。

【図2】ロボットの一例を示す斜視図である。

【図3】仮置きテーブルとカットテーブルとの位置関係を説明する斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

図１に示す保護部材形成装置１は、ウェーハ９０の片面９００（下面）に保護部材を形成する装置の一例であり、加工室を形成する筐体１００と、筐体１００内に配設された装置ベース１０１と、装置ベース１０１上に立設するコラム１０２と、装置ベース１０１側面に隣接して配設された支持ベース１０３と、筐体１００の後側（＋Ｙ方向側）に連結されＸ軸方向に並んだカセットステージ１０４１、カセットステージ１０４２を有するカセット収容本体１０４とを備える。

【0011】

カセットステージ１０４１には、保護部材が形成される前のウェーハ９０を複数棚状に収納するカセット１０４３が載置され、カセットステージ１０４２には、保護部材が形成された後のウェーハ９０が複数棚状に収納されるカセット１０４４が載置されている。なお、保護部材形成前のウェーハ９０を収容するカセット１０４３と保護部材形成後のウェーハ９０を収容するカセット１０４４とは左右の配置が逆になっていてもよい。
平面視円形のウェーハ９０は、例えば、シリコンインゴットから切り出したアズスライスウェーハであるが、これに限定されるものではない。

【0012】

図１に示すコラム１０２の＋Ｙ方向側の背後には、カセット１０４３から取り出したウェーハ９０を仮置きする仮置きテーブル７０と、仮置きテーブル７０より下方に位置しウェーハ９０の片面９００に形成した保護部材のシート１２をウェーハ９０の外周に沿って円形に切断するためのカットテーブル７２とが連結されている。仮置きテーブル７０の上方には、仮置きテーブル７０に載置され保護部材が形成される前のウェーハ９０の中心位置等を撮像画像を用いて検出するカメラ等からなるウェーハ検出部１０６が配設されている。カットテーブル７２上には、ウェーハ９０に形成された保護部材のウェーハ９０の外周縁からのはみ出し部分をウェーハ９０の外周に沿って円形に切断するカッター７５が旋回可能に配設されている。

【0013】

カセット収容本体１０４と仮置きテーブル７０との間には、カセット１０４３、カセット１０４４に対してウェーハ９０の搬出入を行う多関節ロボット等のウェーハ搬送手段１０８１が配設されており、ウェーハ搬送手段１０８１は、ボールネジ機構等のＸ軸方向移動手段１０８２によりＸ軸方向に往復移動可能となっている。ウェーハ搬送手段１０８１は、保護部材が形成される前のウェーハ９０をカセット１０４３から搬出して仮置きテーブル７０に搬入するとともに、保護部材形成済みのウェーハ９０をカットテーブル７２から搬出してカセット１０４４に搬入することができる。

【0014】

仮置きテーブル７０上でウェーハ検出部１０６により中心位置等が検出されたウェーハ９０は、図１に示す多関節のロボット４により保持されて搬送される。
図２に示すロボット４は、上面に吸引面４００を有するＵ字形状のロボットハンド４０と、ロボットハンド４０の直下に配置し片面９００に保護部材を形成したウェーハ９０をもう片方の上面９０２側からシート１２を介して吸引保持する吸引パッド４２と、吸引パッド４２に配置され保護部材を形成したウェーハ９０の外にシート１２がはみ出した部分を吸引保持する複数の吸盤４４と、ロボットハンド４０、及び吸引パッド４２を配置するホルダ４６と、ホルダ４６を鉛直方向に移動させる昇降手段４７と、ホルダ４６を水平方向に移動させる水平移動手段４８と、を備えている。

【0015】

図２に詳しく示す水平移動手段４８は、例えば、長尺板状の第１のアーム４８１と、長尺板状の第２のアーム４８２と、Ｚ軸方向に延在する円柱状のアーム連結部４８３と、を備えており、第１のアーム４８１の一端の下面には、アーム連結部４８３を介して、第２のアーム４８２の一端の上面が連結されている。第１のアーム４８１のもう一端には、ホルダ４６が連結されており、第２のアーム４８２のもう一端の下面は、昇降手段４７に連結されている。そして、第１のアーム４８１、第２のアーム４８２、及びアーム連結部４８３の内部に旋回軸等からなり旋回モータ４８９を駆動源とするベルトプーリ機構が配設されており、水平移動手段４８は、旋回モータ４８９が生み出す回転力により、第１のアーム４８１、及び第２のアーム４８２を軸方向がＺ軸方向（鉛直方向）である旋回軸を軸にして互いに旋回させることができる。そして、ロボットハンド４０及び吸引パッド４２を水平面内（Ｘ軸Ｙ軸平面内）において旋回移動させることができるとともに、第１のアーム４８１、及び第２のアーム４８２を互いが交差した状態から互いが直線状となる状態等に変形させることができ、また、ロボットハンド４０及び吸引パッド４２を水平面内において直動させることができる。

【0016】

水平移動手段４８の第２のアーム４８２の下側には例えば電動アクチュエータ等で構成される昇降手段４７が接続されており、昇降手段４７は、水平移動手段４８と共にロボットハンド４０及び吸引パッド４２をＺ軸方向において上下動させ、吸引パッド４２を所定高さに位置づけできる。昇降手段４７は、図１に示す電動スライダ１０９上に配設されており、ロボット４は電動スライダ１０９によってＹ軸方向に往復移動可能となっている。

【0017】

図２に示すホルダ４６は、例えば、長尺板状のハンド支持アーム４６１と、長尺板状のパッド支持アーム４６２と、Ｚ軸方向に延在するホルダ回転軸４６３とを備えている。ホルダ回転軸４６３は、第１のアーム４８１の先端にＺ軸方向を軸方向として回転可能に連結されており、例えば、第１のアーム４８１内に配設されたベルトプーリ機構によって、第１のアーム４８１と連動して水平面内（Ｘ軸Ｙ軸平面内）においてハンド支持アーム４６１及びパッド支持アーム４６２を旋回移動させることができるとともに、ハンド支持アーム４６１及びパッド支持アーム４６２を、例えば第１のアーム４８１の延在方向に水平面内において交差した状態から第１のアーム４８１の延在方向と同方向に延在するように変形させることができる。

【0018】

ハンド支持アーム４６１の先端側の上面にロボットハンド４０の下面が固定されている。また、パッド支持アーム４６２の先端側の下面に吸引パッド４２の上面が固定されている。
ホルダ４６に配置されウェーハ９０を吸引保持する板状のロボットハンド４０は、平面視Ｕ字形状となっており、上側を向いている面が吸引面４００となる。吸引面４００は平滑に仕上げられており、また、ウェーハ９０に接触した場合に、ウェーハ９０を傷付けないように吸引面４００の端部（稜線）には面取りが施されていてもよい。

【0019】

吸引面４００には、複数の吸引孔４０１が開口している。吸引孔４０１は、例えば、吸引面４００に略等間隔空けて、３箇所にそれぞれ３つずつ開口している。なお、吸引孔４０１の数や配設箇所は本例に限定されるものではない。
なお、吸引孔４０１には、変形可能なゴム吸盤等が配設されていてもよい。

【0020】

各吸引孔４０１にはロボットハンド４０の内部を通る各ハンド内吸引路４０３の一端がそれぞれ連通しており、ハンド内吸引路４０３のもう一端側は、ホルダ４６側に延びて合流した後、ロボットハンド４０の旋回移動を妨げないように可撓性を備える樹脂チューブ４９０が、図示しない継手等を介して連通している。そして、樹脂チューブ４９０のもう一端側は、真空発生装置、又はエジェクター機構等の吸引源４９に接続されている。
なお、図２においては、１つの吸引孔４０１のみにハンド内吸引路４０３を連通させるように図示しているが、他の吸引孔４０１にもそれぞれハンド内吸引路４０３は連通している。また、例えば、樹脂チューブ４９０には、吸引源４９との連通状態と非連通状態とを切り換える制御弁４９１が配設されている。

【0021】

吸引パッド４２は平面視略Ｈ状に形成されており、吸引パッド４２の各先端の下面には吸盤４４が配設されている。吸盤４４は、例えば、変形可能なゴム等の弾性材を平面視円形状で下方に向かって拡径するように形成されている。吸盤４４の下面が吸着面となる。また、吸盤４４には、吸引パッド４２の旋回移動を妨げないように可撓性を備える樹脂チューブ４２５が、図示しない継手等を介して連通している。そして、樹脂チューブ４２５のもう一端側は、例えば一つに合流して吸引源４９に接続されている。
なお、図２においては、１つの吸盤４４のみに樹脂チューブ４２５を連通させるように図示しているが、他の吸盤４４にもそれぞれ樹脂チューブ４２５は連通している。また、例えば、樹脂チューブ４２５には、吸引源４９との連通状態と非連通状態とを切り換える制御弁４９３が配設されている。

【0022】

例えば、吸引パッド４２の中央部分には、ロボットハンド４０のＵ字状の開口４０５に平面視相似又は合同のＵ字状の開口４２６が形成されている。また、ロボットハンド４０の中心と吸引パッド４２の中心とは、略合致している。

【0023】

例えば、図３に詳しく示すカットテーブル７２は平面視円形に形成された吸引保持部７２０と、吸引保持部７２０を囲繞するカバー部７２２と、吸引保持部７２０とカバー部７２２との間に配設されウェーハ９０よりも少しだけ大径の逃げ溝７２３とを備えている。例えば吸引保持部７２０の中心には、吸引孔７２０１が形成されており、該吸引孔７２０１は図示しない吸引源に連通している。

【0024】

カバー部７２２には、仮置きテーブル７０及びカッター７５を支持する支持柱７７が＋Ｚ方向に立設しており、支持柱７７の－Ｘ方向側の前面には上から順に仮置きテーブル７０が埋設されたテーブル支持アーム７７３と、シリンダ支持アーム７７０とが－Ｘ方向に水平に延在している。

【0025】

仮置きテーブル７０は、Ｚ軸方向に上下動するロボットハンド４０のＵ字状の開口４０５の中をＺ軸方向に通過可能に形成されている。即ち、先端側に仮置きテーブル７０が例えば埋設され－Ｘ方向に向かって長尺板状に形成されたテーブル支持アーム７７３は、Ｕ字状の開口４０５よりも幅が細く形成されており、先端側がＵ字状の開口４０５に合わせて半円形状に丸められている。

【0026】

仮置きテーブル７０は、例えば、テーブル支持アーム７７３の上面と吸引保持面７００とが面一になるようにしてテーブル支持アーム７７３の先端側に埋設されている。そして、仮置きテーブル７０の吸引保持面７００に仮置きされたウェーハ９０は、テーブル支持アーム７７３の上面の一領域にも載置されるようになっているが、この形状に限定されるものではない。例えば、仮置きテーブル７０の中心とカットテーブル７２の吸引保持部７２０の中心とは略合致している。また、仮置きテーブル７０は、ウェーハ９０よりの中央部分のみに当接するように、ウェーハ９０よりも小径となっている。

【0027】

平面視円形の仮置きテーブル７０は、例えば、ポーラス部材からなる吸引保持面、又は図３に示すように吸引孔７０３及び吸引孔７０３から放射方向に吸引溝７０１が形成された吸引保持面７００を備えており、該吸引保持面７００には図示しない吸引源が生み出す吸引力が伝達可能となっている。

【0028】

仮置きテーブル７０の下面にはスピンドル及びモータ等で構成される仮置きテーブル回転手段７０９が連結されており、仮置きテーブル７０は吸引保持したウェーハ９０を軸方向がＺ軸方向の回転軸を軸として回転させることができ、ウェーハ検出部１０６の下方に保持したウェーハ９０の外周縁等を通過させることができる。

【0029】

シリンダ支持アーム７７０は、例えば、テーブル支持アーム７７３と同様の外形を備えており、上下動するロボットハンド４０の開口４０５及び上下動する図２に示す吸引パッド４２の開口４２６をＺ軸方向に通過可能となっている。そして、シリンダ支持アーム７７０の－Ｘ方向側の先端部分には、昇降シリンダ７８が配設されている。

【0030】

昇降シリンダ７８は、シリンダ支持アーム７７０に支持された有底筒状のシリンダケース７８０からＺ軸方向にロッド７８２が伸縮する構成となっており、吸引保持部７２０の中心線上に重なるように位置付けられている。そして、ロッド７８２には水平方向に延在するカッター支持バー７８３が取り付けられており、カッター支持バー７８３の先端下面に逃げ溝７２３に対向するカッター７５が配設されている。また、昇降シリンダ７８はカッター旋回モータ７６によって、軸方向がＺ軸方向の回転軸回りに回転可能となっている。そして、昇降シリンダ７８が回転することで、カッター７５が逃げ溝７２３に沿って旋回する。

【0031】

なお、図３においては、カットテーブル７２は逃げ溝７２３を１条備えているが、例えば、吸引保持部７２０の中心を中心とする同心円状に逃げ溝７２３の外側にさらに１条の逃げ溝を備え、また、カッター支持バー７８３を水平方向に伸縮可能として、カッター７５によって径の大きさの異なるウェーハ９０の保護部材のシート１２をウェーハ９０の外周に沿って円形に切断可能としてもよい。

【0032】

図１に示す装置ベース１０１上には、回転軸、モータ、及び複数本の回転ローラ等からなるシート供給手段１１と、液状樹脂が滴下されるシート１２を載置する円形の上面１４０を有しガラス等の透明部材で構成されるステージ１４とが配設されている。複数のローラ等で構成されるシート供給手段１１は、所定の樹脂で構成されるシート１２がロール状に巻かれて形成されたシートロール１２９から、所望の長さのシート１２を前方（＋Ｙ方向）に位置するステージ１４に向かって送り出すことができる。

【0033】

装置ベース１０１の上面の中位置はシート供給手段１１から＋Ｙ方向側に送り出されたシート１２が切断時に載置される仮置き面１０１１となっており、該仮置き面１０１１のシート供給手段１１に近い領域には、シート１２のＸ軸方向における幅程度の長さにわたって、シート吸引孔１０１３が例えば２列でＸ軸方向に等間隔を空けて複数形成されている。該シート吸引孔１０１３は、図示しない真空発生装置等の吸引源に連通している。なお、シート吸引孔１０１３は、Ｘ軸方向に延在する１本のスリット状に形成されていてもよい。

【0034】

保護部材形成装置１は、図１に示すように、シート１２の外周端（＋Ｙ方向側の外周端）を把持する把持部１５と、把持部１５に把持されたシート１２をステージ１４の上面１４０に平行な水平方向（＋Ｙ方向）に引き出すように移動させる水平移動機構１６と、ステージ１４に載置されたシート１２の上に液状の樹脂を供給する液状樹脂供給ノズル１７９と、を備えている。

【0035】

保護部材形成装置１は、例えば、把持部１５に把持され引き出されたシート１２の先端側（＋Ｙ方向側）に対する後端側（－Ｙ方向側）を切断するシート切断手段８０を備えている。
シート切断手段８０は、例えば、シート供給手段１１の前方近傍に配設されている。シート切断手段８０は、図１に示すように、装置ベース１０１の仮置き面１０１１の２列のシート吸引孔１０１３の間に形成されシート１２の幅方向に横断する図示しないカッター用逃げ溝と、カッター用逃げ溝の上方に配置されカッター用逃げ溝の延在方向に沿ってカッター用逃げ溝内を進行させるカッター８０１を昇降及びＸ軸方向に移動可能とするカッター移動手段８０２とを備えている。

【0036】

図１に示すように、水平移動機構１６は、例えば、支持ベース１０３内に配設された図示しない電動スライダにより可動アーム１６０をＹ軸方向に移動させることができる。

【0037】

例えば、図１に示す支持ベース１０３の天板には、可動アーム１６０をＹ軸方向において移動可能とする可動孔１０３３がＹ軸方向に所定の長さで延在するように貫通形成されている。そして、可動アーム１６０は、例えば、＋Ｚ方向に延在して可動孔１０３３を通り、支持ベース１０３から外部に露出した後、＋Ｙ方向側に所定の長さで水平に延在し、さらに＋Ｘ方向にシート１２を横断するように水平に伸びている。

【0038】

図１に示すように、可動アーム１６０のＸ軸方向にシート１２を横断するように伸びた部分の－Ｙ方向側の内側面に、把持部１５が配置されている。把持部１５は、例えば、互いがＺ軸方向に接近及び離間可能な一対の把持板の間に把持対象であるシート１２の外周端を挟み込む把持クランプである。

【0039】

図１に示すように、本実施形態においては、液状樹脂供給ノズル１７９は、把持部１５に隣接して配置され水平移動機構１６によって移動可能でありシート１２の上に所定量の液状の樹脂を供給する。なお、液状樹脂供給ノズル１７９は、ステージ１４上を旋回移動でき、側面視逆Ｌ字状で噴射口がステージ１４の中央に向かって向けられる旋回ノズルであってもよい。
本実施形態において、液状樹脂供給ノズル１７９は、可動アーム１６０のＸ軸方向にシート１２を横断するように伸びた部分の領域中央に配設されており、例えばＺ軸方向に延在する直進ノズルである。そして、液状樹脂供給ノズル１７９は水平移動機構１６によってステージ１４の上面１４０の中央領域の直上に位置付け可能となっている。

【0040】

保護部材形成装置１は、図１に示すように、液状樹脂供給ノズル１７９に液状樹脂を所定量送出するディスペンサ１７１と、液状樹脂供給ノズル１７９とディスペンサ１７１とを接続する接続管１７２とを備える。可撓性を有する樹脂チューブ等で構成される接続管１７２は、図１に示す液状樹脂供給ノズル１７９の上端側の供給口に連通している。また、ディスペンサ１７１は、図示しない樹脂供給源に接続されている。樹脂供給源が液状樹脂供給ノズル１７９に供給する液状樹脂は、本実施形態においては紫外線が照射されることで硬化する紫外線硬化樹脂であるが、熱が加えられることで硬化する熱硬化樹脂であってもよい。

【0041】

例えば、保護部材形成装置１は、シート１２の除電を行うイオナイザーノズルを備えていてもよい。イオナイザーノズルは、例えば、ステージ１４に載置されたシート１２に対して、エア供給源から供給されたエアを、正に帯電したイオン化エアと、例えば概略同じ量の負に帯電したイオン化エアとにし、シート１２の上方からシート１２に向かって噴出させる。

【0042】

図１に示すウェーハ９０の保護部材を形成する片面９００の面積より大きい面積で平坦な上面１４０を備え上面１４０より例えば大きな面積のシート１２（切断された矩形状のシート１２）を載置させる平面視円形のステージ１４は、例えば、石英ガラスによって形成されている。そして、ステージ１４は、例えば平面視矩形状の吸引カバー１４３によって囲繞されており、該吸引カバー１４３の上面には吸引孔１４４が四隅に配設されている。該吸引孔１４４には、真空発生装置等の図示しない吸引源が連通しており、切断された矩形状のシート１２がステージ１４の上面１４０及び吸引カバー１４３の上面に載置されると、吸引源が生み出す吸引力が該吸引孔１４４に伝達され、シート１２がステージ１４及び吸引カバー１４３上で吸引保持される。なお、ステージ１４と吸引カバー１４３との間にも吸引孔が配置されていてもよい。

【0043】

ステージ１４の下方となる位置には、液状の樹脂を硬化させウェーハ９０の片面９００にシート１２と硬化した樹脂とからなる保護部材を形成する硬化手段１４９が配設されている。硬化手段１４９は、例えば、上方に向かって所定波長の紫外線を照射することが可能なＵＶランプを備えている。なお、シート１２上に供給する液状樹脂が熱硬化樹脂である場合には、硬化手段１４９はヒータ等であってもよい。

【0044】

図１に示すコラム１０２の－Ｙ方向側の前面には、ウェーハ保持部５０とステージ１４とを相対的に上面１４０に垂直方向（Ｚ軸方向）に接近させ、シート１２の上面に供給された液状の樹脂をウェーハ保持部５０が保持したウェーハ９０の下面である片面９００で押し広げる拡張手段５１が配設されている。
拡張手段５１は、Ｚ軸方向（鉛直方向）の軸心を有するボールネジ５１０と、ボールネジ５１０と平行に配設された一対のガイドレール５１１と、ボールネジ５１０に連結されボールネジ５１０を回動させるモータ５１２と、内部のナットがボールネジ５１０に螺合すると共に側部がガイドレール５１１に摺接する昇降ホルダ５１３とから構成され、モータ５１２がボールネジ５１０を回転させることに伴い昇降ホルダ５１３がガイドレール５１１にガイドされて支持するウェーハ保持部５０とともに昇降する構成となっている。

【0045】

ウェーハ９０を保持するウェーハ保持部５０は、昇降ホルダ５１３によって保持されるホイール支持部５０２と、ホイール支持部５０２の下面に固定された円板状のホイール５００と、を備えている。ホイール５００は、枠体の中にポーラス板を下方に露出するようにはめ込んで構成されており、ホイール５００の平坦な下面がウェーハ９０を吸引保持する保持面５０３となる。保持面５０３は、真空発生装置等の図示しない吸引源に連通している。

【0046】

保護部材形成装置１は、上記の装置の各構成の動作を制御する制御手段１９を備えている。ＣＰＵ及びメモリ等の記憶素子等で構成される制御手段１９は、例えば、図２に示すロボット４の水平移動手段４８を構成する旋回モータ、及び電動アクチュエータ等の昇降手段４７に電気的に接続されている。

【0047】

制御手段１９による制御の一例として、例えば図２に示す旋回モータ４８９は、サーボモータであり、旋回モータ４８９の図示しないエンコーダは、サーボアンプとしての機能も有する制御手段１９に接続されており、制御手段１９の出力インターフェイスから旋回モータ４８９に対して動作信号が供給されることによって旋回モータ４８９が回転し、図示しないエンコーダが検知した回転数をエンコーダ信号として制御手段１９の入力インターフェイスに対して出力する。そして、エンコーダ信号を受け取った制御手段１９は、旋回モータ４８９によって旋回移動するロボットハンド４０及び吸引パッド４２の水平面内における位置を遂次認識できる。これと略同様の方式によって、制御手段１９は昇降手段４７を制御して、ロボットハンド４０及び吸引パッド４２をＺ軸方向における所定の高さ位置に位置付け可能となる。

【0048】

以下に、上述した保護部材形成装置１を用いてウェーハ９０に保護部材を形成する場合の、保護部材形成装置１の動作について説明する。
まず、図１に示すウェーハ搬送手段１０８１により、カセット１０４３から保護部材が形成される前の狙いの一枚目のウェーハ９０が取り出されて、仮置きテーブル７０に搬送される。そして、例えば、図３に示す仮置きテーブル７０の吸引保持面７００の中心とウェーハ９０の中心とを略合致させた状態で、ウェーハ９０が仮置きテーブル７０によって吸引保持され、ウェーハ搬送手段１０８１がウェーハ９０から離間する。

【0049】

仮置きテーブル７０に仮置きされたウェーハ９０の外周縁が、ウェーハ検出部１０６のカメラの撮像領域に入れられ、例えば、ウェーハ９０の上面９０２にカメラのピントが合わせられ、ウェーハ９０の外周縁が写った撮像画像が形成される。図３に示す仮置きテーブル回転手段７０９により仮置きテーブル７０が回転し、ウェーハ検出部１０６のカメラに対するウェーハ９０の外周部分の位置が変えられる。そして、仮置きテーブル７０に吸引保持されたウェーハ９０についての同様の撮像画像が、カメラで複数箇所（例えば、先に撮像した箇所からウェーハ９０の周方向に離間したさらに２か所）撮像される。即ち、ウェーハ９０の外周縁が写った第２、第３の撮像画像がさらに形成される。そして、従来から知られている撮像画像中のウェーハ９０の外周縁の３点のエッジ座標に基づく幾何学的演算処理により、ウェーハ９０の中心が認定される。
また、仮置きテーブル７０の中心に対しウェーハ９０の中心のズレ量とズレ方向とが認識され、そのズレ方向にＸ軸方向に平行になるよう仮置きテーブル７０を回転させる。

【0050】

次いで、仮置きテーブル７０上のウェーハ９０がロボット４によって、ウェーハ保持部５０に搬送される。具体的には、制御手段１９による制御の下で、図１、図２に示す昇降手段４７によってロボットハンド４０が吸引パッド４２とともに上下動し、ロボットハンド４０が、仮置きテーブル７０上の一枚目のウェーハ９０の高さ位置に位置づけられる。

【0051】

さらに、制御手段１９による水平移動手段４８の制御の下で、ロボットハンド４０が吸引パッド４２とともに旋回され、ロボットハンド４０のＵ字状の開口４０５がテーブル支持アーム７７３にＸ軸方向において正対する。さらに、水平移動手段４８によって、ロボットハンド４０が＋Ｘ方向に直動していき、テーブル支持アーム７７３及び仮置きテーブル７０にＵ字状の開口４０５内を進入していく。なお、同時に吸引パッド４２の開口４２６内をシリンダ支持アーム７７０及び昇降シリンダ７８に進入していくため、吸引パッド４２によってロボットハンド４０の進行が阻害されることはない。
なお、ロボットハンド４０を進入させる際に、カッター支持バー７８３をＸ軸方向に平行にするとよい。

【0052】

そして、例えば、ロボットハンド４０の中心と既に認識されたウェーハ９０の中心とが略合致するように、ロボットハンド４０の水平面内における位置（Ｘ軸方向の位置）が微調整された後、昇降手段４７がロボットハンド４０を上昇させて、ウェーハ９０の下方を向いている片面９００に吸引面４００を接触させる。そして、図２に示す吸引源４９の生み出す吸引力が、開かれた状態の制御弁４９１、樹脂チューブ４９０、ハンド内吸引路４０３を通りロボットハンド４０の吸引孔４０１に伝達されて、ロボットハンド４０が上面である吸引面４００でウェーハ９０の下方を向いている片面９００の仮置きテーブル７０からのはみ出した領域を吸引保持する。また、仮置きテーブル７０によるウェーハ９０の吸引保持が解除される。
なお、仮置きテーブル７０がＸ軸方向に移動可能なＸ軸移動機構を備え、上記のようにロボットハンド４０がウェーハ９０を受け取る際のＸ軸方向の位置の微調整の代わりに、仮置きテーブル７０をＸ軸方向に移動させ、ロボットハンド４０の中心とウェーハ９０の中心とが略合致するようにしてもよい。

【0053】

次いで、ウェーハ９０を吸引保持したロボットハンド４０が、例えば、－Ｘ方向へと移動していき、ウェーハ９０を仮置きテーブル７０から搬出する。その後、ロボット４が、図１に示す電動スライダ１０９によって－Ｙ方向に移動して、ウェーハ保持部５０にウェーハ９０を受け渡す。即ち、ウェーハ保持部５０の保持面５０３の中心とウェーハ９０の中心とを略合致させた状態で、ウェーハ保持部５０が保持面５０３でウェーハ９０の上面９０２を吸引保持する。次いで、ロボットハンド４０によるウェーハ９０の片面９００の吸引保持が解除され、ロボットハンド４０がウェーハ９０の下方から退避する。

【0054】

例えば、一枚目のウェーハ９０の中心位置の検出が行われ、ロボットハンド４０による仮置きテーブル７０からの一枚目のウェーハ９０の搬出が行われると、仮置きテーブル７０は空いた状態になるため、保護部材形成のスループット向上のために、図１に示すウェーハ搬送手段１０８１により、カセット１０４３から保護部材が形成される前の狙いの二枚目のウェーハ９０が取り出されて、仮置きテーブル７０に搬送され、中心位置の検出がなされる。

【0055】

一枚目のウェーハ９０のウェーハ保持部５０への搬送と並行して、シート供給手段１１がシートロール１２９を回転させながら、帯状となったシート１２がガイドローラ等によってその先端が＋Ｙ方向に水平に送り出される。水平移動機構１６によって、可動アーム１６０に配設された把持部１５が－Ｙ方向に移動し、把持部１５が帯状のシート１２の先端（外周端）を把持する。

【0056】

次いで、シート供給手段１１によるシート１２の送り出しとともに、把持部１５が＋Ｙ方向に移動し、図１に示すシート切断位置Ｐ２に位置付けられる。また、シート供給手段１１によるシート１２の送り出しが一時停止する。さらに、把持部１５によって＋Ｙ方向に水平方向に所定長さ引き出された帯状のシート１２が装置ベース１０１の仮置き面１０１１に仮置きされるとともに、シート吸引孔１０１３に図示しない吸引源が生み出す吸引力が伝達されて、シート１２の後端側が仮置き面１０１１上で吸引保持される。この段階では、シート１２の上方にシート切断手段８０のカッター８０１が待機している。

【0057】

カッター８０１がカッター移動手段８０２によって、－Ｘ方向側の開始位置に位置づけられる。つまり、カッター８０１を帯状のシート１２の一方の側辺側から露出した図示しないカッター用逃げ溝の一端の位置に位置づける。さらに、カッター移動手段８０２によって、カッター８０１の最下端が図示しないカッター用逃げ溝内に至るまでカッター８０１が下降する。さらに、カッター８０１がカッター用逃げ溝の延在方向に沿って＋Ｘ方向に進行し、カッター８０１によってシート１２が切断される。カッター８０１がシート１２を幅方向に切断した後、カッター８０１は＋Ｚ方向に上昇して矩形状になったシート１２から退避する。

【0058】

次いで、矩形状にカットされたシート１２の先端側を把持する把持部１５が、＋Ｙ方向にさらに移動し、ウェーハ保持部５０の下方を通過してステージ１４をカットされたシート１２で覆う位置に付けられる。その結果、ステージ１４及び吸引カバー１４３が矩形のシート１２によって覆われ、吸引カバー１４３の四隅に形成された吸引孔１４４に図示しない吸引源が生み出す吸引力が伝達されることで、シート１２がステージ１４及び吸引カバー１４３上で吸引保持される。また、把持部１５がシート１２の把持を解除する。

【0059】

次に、水平移動機構１６によって可動アーム１６０に配置した液状樹脂供給ノズル１７９がＹ軸方向において移動して、ステージ１４に載置されたシート１２の中央に液状樹脂を供給する位置に位置づけされる。

【0060】

続いて、図１に示すディスペンサ１７１が、液状樹脂供給ノズル１７９に基準温度に温度管理されている液状樹脂を所定量送り出して、液状樹脂供給ノズル１７９がステージ１４上のシート１２の上面に向けて液状樹脂を滴下する。そして、所定量の液状樹脂がシート１２上に堆積したら、シート１２への液状樹脂の供給が停止され、液状樹脂供給ノズル１７９がシート１２上から退避する。

【0061】

次に、拡張手段５１によってウェーハ保持部５０が下降され、ウェーハ保持部５０に吸引保持されたウェーハ９０の下面である片面９００が液状樹脂に接触する。なお、シート１２上の液状樹脂に対するウェーハ９０の接触の前に、予めウェーハ保持部５０に保持されているウェーハ９０の下面の中心に液状樹脂を水滴状に少しだけ付着しておくと好ましい。さらにウェーハ保持部５０が下降すると、ウェーハ９０の片面９００によって押圧された液状樹脂は、ウェーハ９０の径方向に押し広げられる。その結果、ウェーハ９０の片面９００全面に液状樹脂の膜が形成される。

【0062】

所定時間、ウェーハ９０の液状樹脂に対する押し付けが行われ、ウェーハ９０の片面９００の全面に液状樹脂の膜が形成された後、図１に示す硬化手段１４９が、液状の樹脂の膜に向けて紫外線を照射する。その結果、液状の樹脂の膜は硬化して、ウェーハ９０の片面９００に矩形のシート１２及び樹脂からなる保護部材が形成される。
なお、一枚目のウェーハ９０に保護部材を形成している際中に、仮置きテーブル７０には、二枚目のウェーハ９０の中心が検知され、さらに、ロボットハンド４０がウェーハ９０を吸引保持した状態で待機している。

【0063】

保護部材を上記のように形成した後、ウェーハ９０をシート１２および樹脂からなる保護部材ごとステージ１４から離間させる。即ち、図示しない吸引源が生み出す吸引力の吸引カバー１４３の吸引孔１４４に対する伝達が遮断される。さらに、例えば、エアが吸引孔１４４に供給され、吸引孔１４４から上方に向かって噴出し、このエアの噴出圧力でシート１２をステージ１４の上面１４０及び吸引カバー１４３の上面から持ち上げ、上面１４０とシート１２との間に残存する真空吸着力を排除し、ウェーハ９０、及び保護部材をステージ１４から確実に離脱可能とする。また、ウェーハ保持部５０がウェーハ９０の吸引保持を解除した後、拡張手段５１によって上昇してウェーハ９０から離脱する。なお、ステージ１４からウェーハ９０を離間させる前に、ウェーハ保持部５０へ二枚目のウェーハ９０をロボットハンド４０で搬送する。また、空いた仮置きテーブル７０に三枚目のウェーハ９０が搬送される。

【0064】

次に、保護部材が形成された後の一枚目のウェーハ９０がロボット４の吸引パッド４２によって、カットテーブル７２に搬送される。具体的には、電動スライダ１０９によって、ロボット４がステージ１４の近傍まで移動する。さらに、制御手段１９による水平移動手段４８の制御の下で、吸引パッド４２がロボットハンド４０とともに旋回され、吸引パッド４２の中心がステージ１４上のウェーハ９０の中心と略合致するように、ウェーハ９０の上方に吸引パッド４２が位置づけされる。

【0065】

さらに、制御手段１９による制御の下で、図１、図２に示す昇降手段４７によってホルダ４６が下降し、これに伴って吸引パッド４２がロボットハンド４０とともに下降して、吸引パッド４２に配置された吸盤４４が、保護部材を形成したウェーハ９０の外に矩形のシート１２がはみ出した部分の例えば四隅に接触する。そして、図２に示す吸引源４９の生み出す吸引力が、開かれた状態の制御弁４９３、及び樹脂チューブ４２５を通り吸盤４４に伝達されて、吸引パッド４２が、保護部材が形成されたウェーハ９０を上面９０２側からシート１２を介して吸引保持する。

【0066】

昇降手段４７及び水平移動手段４８によって、ウェーハ９０をシート１２を介して吸盤４４で吸引保持した吸引パッド４２が上昇して－Ｘ方向側へと移動しウェーハ保持部５０の下方から退避した後、電動スライダ１０９によって、ロボット４がカットテーブル７２の近傍まで移動する。なお、先に説明したように、仮置きテーブル７０には、二枚目のウェーハ９０がすでに中心位置が検出された状態で吸引保持されている。

【0067】

一枚目のウェーハ９０をシート１２を介して吸引保持した吸引パッド４２が、制御手段１９による水平移動手段４８の制御の下で、ロボットハンド４０とともに旋回され、例えば、吸引パッド４２のＵ字状の開口４２６がシリンダ支持アーム７７０にＸ軸方向において正対する。また、例えば、昇降手段４７によって、少なくとも吸引パッド４２の吸盤４４にシート１２を介して吸引保持されたウェーハ９０が図２に示す昇降シリンダ７８に接触しない高さに吸引パッド４２が位置づけされる。なお、この際に、カッター支持バー７８３は、例えば、＋Ｘ方向側に先端を向けるようにしてロボット４に接触しないように退避している。

【0068】

水平移動手段４８によって、一枚目のウェーハ９０を吸引保持する吸引パッド４２が＋Ｘ方向に直動していき、図３に示すシリンダ支持アーム７７０及び昇降シリンダ７８に図２に示す吸引パッド４２のＵ字状の開口４２６内を進入していく。なお、同時に、ロボットハンド４０のＵ字状の開口４０５内にテーブル支持アーム７７３を進入していくため、ロボットハンド４０によって吸引パッド４２の進行が阻害されることはない。

【0069】

そして、例えば、吸引パッド４２に保持され中心が認識されている一枚目のウェーハ９０の中心とカットテーブル７２の吸引保持部７２０の中心とが略合致するように、吸引パッド４２の水平面内における位置が微調整された後、昇降手段４７が吸引パッド４２を下降させて、図３に示す吸引保持部７２０及びカバー部７２２の上面に矩形の一枚目のウェーハ９０の片面９００に硬化した樹脂を介して貼着された状態のシート１２を接触させる。そして、カットテーブル７２の逃げ溝７２３の内側にウェーハ９０が位置し、かつ、矩形のシート１２が逃げ溝７２３を覆った状態になる。

【0070】

図示しない吸引源の生み出す吸引力が、吸引保持部７２０の上面に開口する吸引孔７２０１に伝達されて、カットテーブル７２がウェーハ９０に形成された保護部材の下面側となるシート１２を吸引保持する。また、吸盤４４によるシート１２の吸引保持が解除される。

【0071】

そして、制御手段１９による昇降手段４７の制御の下で、ホルダ４６を上昇させることによって、吸引パッド４２をロボットハンド４０とともに＋Ｚ方向に上昇させて、カッター７５によるシート１２の切断を可能にする。例えば、昇降シリンダ７８によって、カッター７５の最下端が逃げ溝７２３に至るまでカッター７５が下降する。そして、カッター旋回モータ７６によってカッター７５が吸引保持部７２０の中心を回転軸として、逃げ溝７２３に沿って旋回して、保護部材のウェーハ９０の外周からはみ出した部分を備える矩形のシート１２が一枚目のウェーハ９０の外周に沿って円形に切断される。
そして、保護部材が形成されシート１２が円形に切断されたウェーハ９０は、図１に示すウェーハ搬送手段１０８１によりカットテーブル７２から搬出されて、カセット１０４４に収容される。

【0072】

先に説明したように、カットテーブル７２の直上にカットテーブル７２の中心と中心を同一線上に位置するように配設された仮置きテーブル７０には、既に、三枚目のウェーハ９０が中心位置を検出された状態で吸引保持されているため、上記のように、制御手段１９による昇降手段４７の制御の下で、ホルダ４６を上昇させることによって、保護部材を形成した一枚目のウェーハ９０から離間する吸引パッド４２をロボットハンド４０とともに＋Ｚ方向に上昇させ、ロボットハンド４０の吸引面４００が三枚目のウェーハ９０の仮置きテーブル７０からはみ出した片面９００の外周領域に向かっていく。

【0073】

例えば、ロボットハンド４０の中心と認識された三枚目のウェーハ９０の中心とが略合致するように、ロボットハンド４０の水平面内における位置が微調整されつつ、昇降手段４７がロボットハンド４０を上昇させて、ウェーハ９０の下方を向いている片面９００に吸引面４００を接触させる。この際に、ロボットハンド４０のＵ字状の開口４０５内にテーブル支持アーム７７３及び仮置きテーブル７０が進入する。また、同時に吸引パッド４２の開口４２６内にシリンダ支持アーム７７０及び昇降シリンダ７８が進入していくため、吸引パッド４２によってロボットハンド４０の上昇が阻害されることはない。

【0074】

ロボットハンド４０が上面である吸引面４００で三枚目のウェーハ９０の下方を向いている片面９００を吸引保持する。また、仮置きテーブル７０によるウェーハ９０の吸引保持が解除される。その後、先に説明した一枚目のウェーハ９０と同様に、三枚目のウェーハ９０のウェーハ保持部５０への受け渡し、三枚目のウェーハ９０の保護部材の形成等が行われていく。このように、ロボット４は、一枚目のウェーハ９０のカットテーブル７２に対する搬入と、三枚目のウェーハ９０の仮置きテーブル７０からの搬出とにおける動作の無駄が無い。なお、この間にステージ１４上では二枚目のウェーハ９０に対する保護部材の形成が行われている。

【0075】

このように、ウェーハ９０に対する保護部材の形成が連続的に行われていき、例えば、図１に示すステージ１４上に保護部材が形成された７枚目のウェーハ９０が載置されており、かつ、７枚目のウェーハ９０からウェーハ保持部５０が上方に既に離間しており、ウェーハ９０を保持していないウェーハ保持部５０に、ロボットハンド４０が保持する保護部材の形成されていない８枚目のウェーハ９０を受け渡す場合について説明する。

【0076】

ウェーハ保持部５０の保持面５０３の中心と８枚目のウェーハ９０の中心とを略合致させた状態で、ウェーハ保持部５０が保持面５０３でウェーハ９０の上面９０２を吸引保持する。次いで、ロボットハンド４０によるウェーハ９０の下面である片面９００の吸引保持が解除された後、制御手段１９による昇降手段４７の制御によって、ウェーハ保持部５０の直下に位置し、かつ、ウェーハ保持部５０に８枚目のウェーハ９０を受け渡した後の空のロボットハンド４０、及び何も保持していない状態の吸引パッド４２が、昇降手段４７によって下降していく。

【0077】

例えば、吸引パッド４２の中心とステージ１４上の保護部材が形成された７枚目のウェーハ９０の中心とが略合致するように、吸引パッド４２の水平面内における位置が微調整されつつ、下降する吸引パッド４２に配置された吸盤４４が、７枚目のウェーハ９０の外に矩形のシート１２がはみ出した部分の四隅に接触し吸引保持し、吸引パッド４２がステージ１４上の保護部材を形成した７枚目のウェーハ９０を受け取る。そして、昇降手段４７及び水平移動手段４８によって、７枚目のウェーハ９０をシート１２を介して吸盤４４で吸引保持した吸引パッド４２が上昇してから、－Ｘ方向側へと移動した後、図１に示す電動スライダ１０９によって、ロボット４がカットテーブル７２の近傍まで移動する。一方、ステージ１４上には新たなシート１２が載置され、液状樹脂がシート１２上に供給され、ウェーハ保持部５０が吸引保持する８枚目のウェーハ９０の片面９００に保護部材が形成される。このように、ロボット４は、８枚目のウェーハ９０のウェーハ保持部５０に対する受け渡しと、７枚目のウェーハ９０のステージ１４からの搬出とにおける動作の無駄が無い。

【0078】

例えば、カセット１０４４が、保護部材が形成されたウェーハ９０で満杯になった後、カセット１０４４が図示しない研削装置に搬送される。そして、その後、ウェーハ９０は、保護部材が形成されていない上面９０２が上側になるようにして、図示しない研削装置のチャックテーブルの保持面上に載置され、ウェーハ９０の上方から回転する研削ホイールを降下させて、ウェーハ９０の上面９０２に研削砥石を当接させながら研削される。その後、テープ剥離装置によりウェーハ９０から保護部材が剥離され、次いで、保護部材により保護されていたウェーハ９０の片面９００がさらに研削されることで、両面が平坦面となるウェーハ９０が製造される。

【0079】

上記のように、本発明に係る保護部材形成装置１は、ロボット４は、上面に吸引面４００を有するＵ字形状のロボットハンド４０と、ロボットハンド４０の直下に配置し片面９００に保護部材を形成したウェーハ９０をもう片方の上面９０２側からシート１２を介して吸引保持する吸引パッド４２と、吸引パッド４２に配置され保護部材を形成したウェーハ９０の外にシート１２がはみ出した部分を吸引保持する複数の吸盤４４と、ロボットハンド４０、及び吸引パッド４２を配置するホルダ４６と、ホルダ４６を鉛直方向に移動させる昇降手段４７と、ホルダ４６を水平方向に移動させる水平移動手段４８と、を備え、仮置きテーブル７０は、ロボットハンド４０のＵ字状の開口４０５の中を通過可能に形成され、カットテーブル７２は、中心が仮置きテーブル７０の中心と同一線上に位置するように仮置きテーブル７０の直下に配置されていることで、制御手段１９は、昇降手段４７を制御してホルダ４６を昇降させることによって、吸引パッド４２でカットテーブル７２に保護部材を形成したウェーハ９０を載置した後にロボットハンド４０で仮置きテーブル７０のウェーハ９０を受け取り可能とし、また、ロボットハンド４０が保持しているウェーハ９０をウェーハ保持部５０に受け渡してウェーハ保持部５０で保持させた後に吸引パッド４２でステージ１４上の保護部材を形成したウェーハ９０を受け取り可能とすることが可能となり、ウェーハ９０の搬送における待機時間を減らして、ウェーハ９０の搬送時間を短くすることが可能となる。
なお、例えば、仮置きテーブル７０をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構を備えることにより、カットテーブル７２に保護部材を形成したウェーハ９０を搬送した吸引パッド４２とともにロボットハンド４０を上昇させる動作によって、ロボットハンド４０の中心と仮置きテーブル７０に仮置きされたウェーハ９０の中心とを一致させ、ロボットハンド４０がウェーハ９０を吸引保持することが可能となり、ウェーハ９０の受取時間をさらに短縮させることができる。

【0080】

本発明に係る保護部材形成装置１は上記実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。また、添付図面に図示されている保護部材形成装置１の各構成の形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

【符号の説明】

【0081】

９０：ウェーハ ９００：ウェーハの片面（下面） ９０２：ウェーハの上面
１：保護部材形成装置 １００：筐体 １０２：コラム
１０１：装置ベース １０１１：仮置き面 １０１３：シート吸引孔
１０３：支持ベース １０３３：可動孔
１０４：カセット収容本体 １０４１、１０４２：カセットステージ
１０４３、１０４４：カセット
７０：仮置きテーブル ７００：吸引保持面 ７０３：吸引孔 ７０１：吸引溝
７０９：仮置きテーブル回転手段
７２：カットテーブル ７２０：吸引保持部 ７２０１：吸引孔 ７２２：カバー部 ７２３：逃げ溝
７５：カッター
７７：支持柱 ７７３：テーブル支持アーム ７７０：シリンダ支持アーム
７８：昇降シリンダ ７８０：シリンダケース ７８２：ロッド ７８３：カッター支持バー
１０６：ウェーハ検出部
１０８１：ウェーハ搬送手段 １０８２：Ｘ軸方向移動手段
４：ロボット
４０：ロボットハンド ４００：吸引面 ４０１：吸引孔 ４０３：ハンド内吸引路 ４０５：Ｕ字状の開口
４２：吸引パッド ４２５：樹脂チューブ ４２６：開口 ４９３：制御弁
４４：吸盤
４６：ホルダ ４６１：ハンド支持アーム ４６２：パッド支持アーム ４６３：ホルダ回転軸
４７：昇降手段
４８：水平移動手段 ４８１：第１のアーム ４８２：第２のアーム ４８３：アーム連結部 ４８９：旋回モータ
１０９：電動スライダ
４９：吸引源 ４９０：樹脂チューブ ４９１：制御弁
１１：シート供給手段 １２：シート １２９：シートロール
１４：ステージ １４０：ステージの上面 １４３：吸引カバー １４４：吸引孔
１４９：硬化手段
５０：ウェーハ保持部 ５００：ホイール ５０２：ホイール支持部 ５０３：保持面
５１：拡張手段 ５１０：ボールネジ ５１１：ガイドレール ５１２：モータ
１６：水平移動機構 １６０：可動アーム １５：把持部
８０：シート切断手段 カッター用逃げ溝 ８０１：カッター ８０２：カッター移動手段
１７９：液状樹脂供給 １７１：ディスペンサ １７２：接続管
１９：制御手段

【図1】

【図2】

【図3】