特許 7524472 セルフロックマニホールド及びフィルタ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-19

(45)【発行日】2024-07-29

(54)【発明の名称】セルフロックマニホールド及びフィルタ

(51)【国際特許分類】

   B01D 27/08 20060101AFI20240722BHJP

   B01D 46/00 20220101ALI20240722BHJP

【ＦＩ】

B01D27/08

B01D46/00 C

【請求項の数】 20

(21)【出願番号】P 2023519977

(86)(22)【出願日】2021-09-27

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2023-10-18

(86)【国際出願番号】 US2021052188

(87)【国際公開番号】W WO2022072276

(87)【国際公開日】2022-04-07

【審査請求日】2023-05-23

(31)【優先権主張番号】63/085,639

(32)【優先日】2020-09-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】505307471

【氏名又は名称】インテグリス・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】ヤン， コボルド

(72)【発明者】

【氏名】ワン， ハン イー

(72)【発明者】

【氏名】シェ， ボブ

(72)【発明者】

【氏名】ヤン， ヒ ジュン

【審査官】中村 泰三

(56)【参考文献】

【文献】再公表特許第２０１８／１３４９５４（ＪＰ，Ａ１）

【文献】特開昭６２－２３４５１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１３／０２２８５０９（ＵＳ，Ａ１）

【文献】中国実用新案第２０１７２８０１５（ＣＮ，Ｕ）

【文献】特表２００７－５３１６２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／１４５１９６（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０１Ｄ ２７／００－３５／３０

Ｂ０１Ｄ ４６／００－９０

Ｃ０２Ｆ １／２８

Ｆ０１Ｍ １１／０３

Ｆ１６Ｎ ３９／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

本体と、
第１のフィルタアパーチャを有する第１の端部と、
第１の端部に位置する第１のフランジと、
第１の端部の反対側にあり、第２のフィルタアパーチャを有する第２の端部と
を備えたフィルタであって、
第１のフランジは、平面視において長軸及び短軸を含む形状を有し、長軸に沿った長さは短軸に沿った幅よりも大きく、
第１のフランジは、第１のフランジから突出するストッパを含み、ストッパは、第１のフランジがフィルタマニホールドに挿入されてロック位置に回転したときにフィルタマニホールドの保持機構に接触するように構成される、フィルタ。

【請求項2】

第１のフランジ上に配置されたシールをさらに備え、シールは第１のフィルタアパーチャを囲む、請求項１に記載のフィルタ。

【請求項3】

シールは面シールである、請求項２に記載のフィルタ。

【請求項4】

シールは、第１のフランジに形成された溝に配置される、請求項２に記載のフィルタ。

【請求項5】

平面視における第１のフランジの形状は、長軸に平行な直線状の側面を含む、請求項１から４のいずれか一項に記載のフィルタ。

【請求項6】

第１のフランジは、直線状の側面に向かう面取り部を含む、請求項５に記載のフィルタ。

【請求項7】

ストッパは、ストッパの縁部が直線状の側面の１つと同一直線上にあるように第１のフランジから突出する、請求項５に記載のフィルタ。

【請求項8】

平面視における第１のフランジの形状の長軸に沿った各端部は曲線を含む、請求項１から７のいずれか一項に記載のフィルタ。

【請求項9】

平面視における第１のフランジの形状は、長軸に平行な直線状の側面をさらに含む、請求項８に記載のフィルタ。

【請求項10】

ストッパは、長軸に沿った一端の曲線が直線状の側面の１つと交わる角から延びる、請求項９に記載のフィルタ。

【請求項11】

本体、
第１のフィルタアパーチャを有する第１の端部、
第１の端部に位置する第１のフランジ、及び
第１の端部の反対側にあり、第２のフィルタアパーチャを有する第２の端部
を含むフィルタであって、
第１のフランジが、平面視において長軸及び短軸を含む形状を有し、長軸に沿った長さが短軸に沿った幅よりも大きく、
第１のフランジが、第１のフランジから突出するストッパを含む、フィルタと、
第１の端部ブロックアパーチャ、及びフィルタの第１のフランジを受け入れるように構成されたスロットを含む第１の端部ブロックであって、スロットが、短軸に沿った幅よりも大きく、長軸を横切る長さよりも小さい幅と、長軸に沿った第１のフランジの長さよりも大きい内部スロット幅とを有する開口部、及び第１のフランジがスロットに挿入され、フィルタがロック位置に回転したときにフィルタのストッパに接触するように構成された係合機構を含む、第１の端部ブロック、並びに
第２の端部ブロックアパーチャ、及びフィルタの第２の端部の少なくとも一部を受け入れるように構成された開口部を含む第２の端部ブロック
を備えるマニホールドと
を備えるフィルタ及びマニホールドシステムであって、
フィルタがロック位置にあるとき、流体は、第２の端部ブロックアパーチャから第２のフィルタアパーチャを通り、本体を通り、第１のフィルタアパーチャを通り、そして、第１の端部ブロックアパーチャに流れることができる、
フィルタ及びマニホールドシステム。

【請求項12】

平面視における第１のフランジの形状は、長軸に平行な直線状の側面を含む、請求項１１に記載のフィルタ及びマニホールドシステム。

【請求項13】

ストッパは、ストッパの縁部が直線状の側面の１つと同一直線上にあるように第１のフランジから突出する、請求項１２に記載のフィルタ及びマニホールドシステム。

【請求項14】

ストッパは、ストッパの縁部に垂直な端部を有する、請求項１３に記載のフィルタ及びマニホールドシステム。

【請求項15】

平面視における第１のフランジの形状の長軸に沿った各端部は曲線を含む、請求項１１から１４のいずれか一項に記載のフィルタ及びマニホールドシステム。

【請求項16】

平面視における第１のフランジの形状は、長軸に平行な直線状の側面をさらに含む、請求項１５に記載のフィルタ及びマニホールドシステム。

【請求項17】

ストッパは、長軸に沿った一端の曲線が直線状の側面の１つと交わる角から延びる、請求項１６に記載のフィルタ及びマニホールドシステム。

【請求項18】

係合機構は、スロットの側壁である、請求項１１から１７のいずれか一項に記載のフィルタ及びマニホールドシステム。

【請求項19】

スロットの側壁は、スロットの開口部にある、請求項１８に記載のフィルタ及びマニホールドシステム。

【請求項20】

フィルタはフィルタアライメントマークを含み、マニホールドはマニホールドアライメントマークを含み、フィルタアライメントマークとマニホールドアライメントマークとの相対位置は、フィルタがマニホールドに対して挿入位置にあるかどうかを示す、請求項１１から１９のいずれか一項に記載のフィルタ及びマニホールドシステム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、フィルタ及びフィルタマニホールド、特に回転時にフィルタマニホールドとセルフロックするフィルタに関する。

【背景技術】

【0002】

フィルタは、十分なフィルタ性能を確保するためのフィルタの定期的な交換を容易にする、フランジなどの取り付け具によってマニホールド内に固定することができる。しかしながら、フィルタの使用において、濾過される流体からの圧力により、フィルタがマニホールドから外れ、漏れを引き起こし、フィルタを通過する流体を使用するプロセスを中断させる可能性がある。これは、フィルタの故障による中断及び廃棄バッチが非常に高価になる半導体製造、特定の化学プロセスなどの高精度製造において特に問題となる場合がある。

【発明の概要】

【0003】

本開示は、フィルタ及びフィルタマニホールド、特に回転時にフィルタマニホールドとセルフロックするフィルタに関する。

【0004】

ストッパ機構を含むと共に、異なる長さの長軸及び短軸を有するフランジ形状を含むフィルタを提供することによって、挿入方向ではフィルタをマニホールドに挿入することができ、次いで回転させると、フィルタをマニホールド内に保持することができ、その結果、通常の動作中にフィルタがマニホールドから外れることはなくなる。

【0005】

一実施形態では、フィルタは、本体と、第１のフィルタアパーチャを有する第１の端部と、第１の端部に位置する第１のフランジと、第１の端部の反対側にあり、第２のフィルタアパーチャを有する第２の端部とを含む。第１のフランジは、平面視において、長軸及び短軸を含む形状を有し、長軸に沿った長さは短軸に沿った幅よりも大きい第１のフランジは、第１のフランジから突出するストッパを含み、ストッパは、第１のフランジがフィルタマニホールドに挿入されてロック位置に回転したときにフィルタマニホールドの保持機構に接触するように構成される。

【0006】

一実施形態では、フィルタは、第１のフランジ上に配置されたシールをさらに含み、シールは第１のフィルタアパーチャを囲む。一実施形態では、シールは面シールである。一実施形態では、シールは、第１のフランジに形成された溝に配置される。

【0007】

一実施形態では、平面視での第１のフランジの形状は、長軸に平行な直線状の側面を含む。一実施形態では、第１のフランジは、直線状の側面に向かう面取り部を含む。一実施形態では、ストッパは、ストッパの縁部が直線状の側面の１つと同一直線上にあるように第１のフランジから突出する。

【0008】

一実施形態では、平面視での第１のフランジの形状の長軸に沿った各端部は、曲線を含む。一実施形態では、平面視での第１のフランジの形状は、長軸に平行な直線状の側面をさらに含む。一実施形態では、ストッパは、長軸に沿った一端の曲線が直線状の側面の１つと交わる角から延びる。

【0009】

一実施形態では、フィルタ及びマニホールドシステムはフィルタを含む。フィルタは、本体と、第１のフィルタアパーチャを有する第１の端部と、第１の端部に位置する第１のフランジと、第１とは反対側にあり、第２のフィルタアパーチャを有する第２の端部とを含む。第１のフランジは、平面視において、長軸及び短軸を含む形状を有し、長軸に沿った長さは短軸に沿った幅よりも大きい第１のフランジは、第１のフランジから突出するストッパを含む。システムは、マニホールドをさらに含む。マニホールドは、第１の端部ブロックアパーチャと、フィルタの第１のフランジを受け入れるように構成されたスロットとを含む第１の端部ブロックを含む。スロットは、短軸に沿った幅よりも大きく、長軸を横切る長さよりも小さい幅を有する開口部と、長軸に沿った第１のフランジの長さよりも大きい内部スロット幅とを有する。第１の端部ブロックは、第１のフランジがスロットに挿入され、フィルタがロック位置に回転したときにフィルタのストッパに接触するように構成された係合機構をさらに含む。マニホールドはまた、第２の端部ブロックアパーチャと、フィルタの第２の端部の少なくとも一部を受け入れるように構成された開口部とを含む第２の端部ブロックを含む。フィルタがロック位置にあるとき、流体は、第２の端部ブロックアパーチャから第２のフィルタアパーチャを通り、本体を通り、第１のフィルタアパーチャを通り、そして、第１の端部ブロックアパーチャに流れることができる。

【0010】

一実施形態では、平面視での第１のフランジの形状は、長軸に平行な直線状の側面を含む。一実施形態では、ストッパは、ストッパの縁部が直線状の側面の１つと同一直線上にあるように第１のフランジから突出する。一実施形態では、ストッパは、ストッパの縁部に垂直な端部を有する。

【0011】

一実施形態では、平面視での第１のフランジの形状の長軸に沿った各端部は、曲線を含む。一実施形態では、平面視での第１のフランジの形状は、長軸に平行な直線状の側面をさらに含む。一実施形態では、ストッパは、長軸に沿った一端の曲線が直線状の側面の１つと交わる角から延びる。

【0012】

一実施形態では、係合機構はスロットの側壁である。一実施形態では、スロットの側壁はスロットの開口部にある。

【0013】

一実施形態では、フィルタはフィルタアライメントマークを含み、マニホールドはマニホールドアライメントマークを含み、フィルタアライメントマークとマニホールドアライメントマークとの相対位置は、フィルタがマニホールドに対して挿入位置にあるかどうかを示す。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】一実施形態によるフィルタの上面図を示す。

【図2】一実施形態によるフィルタ及びフィルタマニホールドを示す。

【図3A】フィルタが挿入方向にあるときの、一実施形態によるフィルタ及びフィルタマニホールドを示す。

【図3B】フィルタがロック位置にあるときの、図３Ａに示す実施形態によるフィルタ及びフィルタマニホールドを示す。

【図4A】一実施形態によるフィルタマニホールドの一部の断面図を示す。

【図4B】一実施形態によるフィルタマニホールドの一部の正面図を示す。

【図5】一実施形態によるフィルタのフランジの下側を示す。

【図6】一実施形態によるマニホールド及びフィルタを示す。

【発明を実施するための形態】

【0015】

本開示は、フィルタ及びフィルタマニホールド、特に回転時にフィルタマニホールドとセルフロックするフィルタに関する。

【0016】

図１は、一実施形態によるフィルタの上面図を示す。フィルタ１００は、フィルタ本体１０２と、フランジ１０４と、ストッパ１０６と、シール１０８と、アパーチャ１１０とを含む。

【0017】

フィルタ本体１０２は、フィルタ１００の本体である。フィルタ本体１０２は、気体又は液体などの流体がフィルタ本体１０２を通過するときに流体を濾過するように選択されたフィルタ媒体を収容することができる。フィルタ本体１０２は、円筒形とすることができる。フィルタ本体１０２は、図１の上面図に見られる端部から第２の端部（図示せず）まで延びることができる。フィルタ本体１０２は、側壁及び端壁などの複数の構成要素、例えば、図１の上面図に見える端壁を含むことができる。一実施形態では、複数の構成要素は、例えば、フィルタ本体１０２がマニホールド内で使用されて流体によって加圧されているときにフィルタ１００を長さ方向に沿って膨張させるなど、互いに対して移動することができるように接合することができる。

【0018】

フランジ１０４は、フィルタ本体１０２の第１の端部に設けられたフランジである。フランジ１０４は、長軸と、長軸に略垂直な短軸とを含む形状を有する。フランジ１０４の形状は、長軸Ｌに沿った形状の長さがその短軸Ｗに沿った形状の幅よりも大きいような形状である。形状は、挿入方向ではフランジ１０４をスロットに挿入することができるが、挿入方向に対して回転したロック位置にあるときにはスロットに挿入することも、スロットから取り外すこともできないように、フィルタ１００と共に使用されるマニホールドに設けられたスロットとの方向選択的嵌合を有するように選択することができる。一実施形態では、形状は、図１に示すように、形状の長さに沿った端部に曲線部分を含み、各端部において、曲線部分の間に直線状の平行な側面を含む。非限定的な例として、長軸Ｌに沿った形状の長さは０．２インチ～１インチであり、短軸Ｗに沿った形状の幅は０．１インチ～０．９インチであり、各々がこれらのそれぞれの範囲内から選択される場合、Ｌ＞Ｗである。長軸Ｌに沿った長さが短軸Ｗに沿った幅よりも大きい限り、形状は任意の適切な寸法を有することができることが理解される。一実施形態では、短軸Ｗに沿った幅と長軸に沿った長さとの比は、０．２以上から１未満の範囲である。

【0019】

ストッパ１０６は、フランジ１０４に形成された突起とすることができる。ストッパ１０６は、フィルタ１００がロック位置に回転したときに、フランジ１０４が挿入されたスロットに対するフィルタ１００の回転及び／又は他の移動を制限するように構成される。ストッパ１０６は、フランジ１０４を収容するスロットに接触するための、又はマニホールドブロックに設けられた、フランジ１０４を受け入れる任意の係合機構に接触するための任意の適切な形状を有することができる。ストッパ１０６の形状の非限定的な例は、例えば、図１に示すような平坦な形状であってもよく、スロットの内部に接触する直線状の側面を提供する。他の非限定的な例は、マニホールドのスロット又は係合機構に接触するように構成された傾斜面又は湾曲面を含むことができる。ストッパ１０６に適した構造は、マニホールドの端部ブロックに設けられたスロット及び／又は保持機構の形状など、フィルタ１００と共に使用されるマニホールドの端部ブロックの形状に基づくことができる。一実施形態では、ストッパ１０６は、フィルタ１００がマニホールド内に位置決めされると、時計回りの回転によってフィルタ１００をロック位置に配置するように構成される。一実施形態では、ストッパ１０６は、フィルタ１００がマニホールド内に位置決めされると、挿入位置から反時計回りに回転することによってフィルタ１００をロック位置に配置するように構成される。一実施形態では、ストッパ１０６は、ほぼ三角形の形状である。一実施形態では、ストッパ１０６の縁部は、フランジ１０４の直線状の側面と同一直線上にある。

【0020】

シール１０８は、アパーチャ１１０と、フィルタ１００が共に使用されるマニホールド内の流体チャネルとの間にシールを形成するように構成されたシールである。シール１０８は、アパーチャ１１０と、マニホールドのチャネルとの間にこのシールを形成するための任意の適切なシール、例えば、Ｏリング、ガスケットなどとすることができる。図１に示す実施形態では、シール１０８は、アパーチャ１１０を囲む平坦なガスケットである。シール１０８は、フランジの表面とマニホールドとの間に面シールを形成することができる。シール１０８は、フランジ１０４の表面に形成された溝内に配置され、接着剤によって、又はアパーチャ１１０とマニホールドとの間にシールを提供するようにシール１０８を位置決め及び保持する任意の他の適切な手段によってフランジ１０４に固定することができる。

【0021】

アパーチャ１１０は、流体の流れがフィルタ本体１０２に出入りすることを可能にする開口部である。フィルタ１００がマニホールドに設置されたときに、フランジ１０４を収容するスロットを含むマニホールドの端部ブロックを介して、アパーチャが流体チャネルと接触面で接続するように、アパーチャ１１０は、フランジ１０４に位置する開口部を含むことができる。

【0022】

図２は、一実施形態によるフィルタ及びフィルタマニホールドを示す。フィルタ２００は、フィルタ本体２０２と、第１の端部２０４と、フランジ２０６と、第１のシール２０８と、第１の端部アパーチャ２１０と、第２の端部２１２と、ボール２１４と、第２のシール２１６と、第２の端部アパーチャ２１８とを含む。マニホールド２２０は、第１の端部ブロック２２２を含む。第１の端部ブロック２２２は、第１のコネクタ２２４と、第１の流体ライン２２６と、スロット２２８とを含む。マニホールド２２０はまた、第２の端部ブロック２３０を含む。第２の端部ブロック２３０は、第２のコネクタ２３２と、第２の流体ライン２３４と、カップ２３６とを含む。任意選択的に、第１の端部ブロック２２２は、スペーサ２３８によって第２の端部ブロック２３０に接合することができる。

【0023】

フィルタ２００は、マニホールド２２０内に設置されるように構成されたフィルタユニットである。フィルタ２００は、液体又は気体などの流体を濾過するために使用することができる。フィルタ２００は、交換可能なフィルタユニットとすることができ、例えば、フィルタが装填され、所定の使用期間の終わりに有効性を失ったときに、又はそのようなフィルタを交換するための任意の他の適切な理由で、マニホールド２２０から取り替えることができる。

【0024】

フィルタ本体２０２は、フィルタ２００の本体である。フィルタ本体２０２は、気体又は液体などの流体がフィルタ本体２０２を通過するときに流体を濾過するように選択されたフィルタ媒体を収容することができる。フィルタ本体２０２は、円筒形とすることができる。フィルタ本体２０２は、複数の構成要素、例えば、側壁シリンダ２０２ａ、並びに第１の端壁２０２ｂ及び第２の端壁２０２ｃなどの端壁を含むことができる。一実施形態では、複数の構成要素２０２ａ、ｂ、ｃは、例えば、フィルタ本体１０２がマニホールド内で使用されて流体によって加圧されているときにフィルタ２００を長さ方向に沿って膨張させるなど、互いに対して移動することができるように接合することができる。

【0025】

第１の端部２０４は、フランジ２０６と、第１のシール２０８と、第１の端部アパーチャ２１０とを含むフィルタ本体２０２の端部である。第１の端部２０４は、マニホールド２２０と接触面で接続して、フィルタ２００とマニホールド２２０との間の接続及び流体連通を可能にするように構成される。

【0026】

フィルタ２００の第１の端部２０４には、フランジ２０６が設けられている。フランジ２０６は、長軸と、長軸に略垂直な短軸とを含む形状を有する。フランジ２０６の形状は、上述し、図１に示すフランジ１０４について示すように、長軸に沿った形状の長さがその短軸に沿った形状の幅よりも大きいような形状である。形状は、挿入方向ではフランジ２０６をスロットに挿入することができるが、挿入方向に対して回転するロック位置にあるときにはスロットに挿入することも、スロットから取り外すこともできないように、フィルタ２００と共に使用されるマニホールド２２０に設けられたスロット２２８との方向選択的嵌合を有するように選択することができる。形状は、長軸に沿った長さが短軸に沿った幅よりも大きい限り、任意の適切な寸法を有することができることが理解される。フランジ２０６は、上述し、図１に示すストッパ１０６などのストッパを含むことができる。

【0027】

第１のシール２０８は、第１の端部アパーチャ２１０を囲む。第１のシール２０８は、マニホールド２２０に設けられた第１の端部アパーチャ２１０と第１の流体チャネル２２６との間の流体接続をシールするための任意の適切なシールとすることができる。第１のシール２０８は、例えばＯリング又はガスケットとすることができる。一実施形態では、第１のシール２０８は平坦なガスケットである。一実施形態では、第１のシール２０８は、スロット２２８と、及び／又は第１の流体チャネル２２６の一部と面シールを形成する。一実施形態では、第１のシール２０８は接着剤によってフランジ２０６の表面に接合される。一実施形態では、第１のシール２０８は、フランジ２０６の表面に形成されたチャネル内に配置される。

【0028】

第１の端部アパーチャ２１０は、流体がフィルタ本体２０２に出入りすることを可能にするアパーチャである。フランジ２０６がスロット２２８に挿入され、フィルタ２００がロック位置に回転すると、第１の端部アパーチャ２１０が第１の流体チャネル２２６と流体連通し、流体が第１の端部アパーチャ２１０と第１の流体チャネル２２６との間を通過することができるように、第１の端部アパーチャ２１０は第１の端部２０４に位置決めされる。第１のシール２０８は、第１の端部アパーチャ２１０と第１の流体チャネル２２６との間の接触面の周りに形成することができる。

【0029】

第２の端部２１２は、第１の端部２０４の反対側にある、フィルタ本体２０２の端部である。第２の端部２１２は、マニホールド２２０と接触面で接続するように構成された別の接続点と、第２の端部アパーチャ２１８とを含む。第２の端部２１２は、第２の端部アパーチャ２１８が第２の流体チャネル２３４と流体連通するように配置され得るように構成される。図２に示す実施形態では、第２の端部２１２におけるマニホールド２２０への接続部はボール２１４である。これは非限定的な例であり、第２の端部２１２は、マニホールド２２０の第２の端部ブロック２３０に接合することができるように、マニホールド２２０の機構に対応する任意の適切な接続を有することができる。例えば、第２の端部２１２は、第１の端部２０４に設けられたフランジ２０６などのフランジ、円形フランジ、プラグコネクタなどを含むことができる。

【0030】

ボール２１４は、マニホールド２２０の第２の端部２１２と第２の端部ブロック２３０との間の接続を提供するために使用することができる。ボール２１４は、マニホールド２２０のカップ２３６内で受け入れることができるように構成される。ボール２１４がカップ２３６内に挿入されることにより、フィルタ２００の第２の端部２１２をマニホールド２２０に固定することができる。一実施形態では、ボール２１４は、ほぼ球形の形状を有する。一実施形態では、ボール２１４は、楕円形の輪郭などの非球形、又はカップ２３６によって収容され得る任意の他の形状を有する。一実施形態では、ボール２１４は、その形状を形成する傾斜面を有することができる。一実施形態では、ボール２１４は、先細の上側及び下側部分を含むことができる。一実施形態では、ボール２１４は、第２のシール２１６を配置することができる溝を含む。

【0031】

第２のシール２１６は、第２の端部２１２、例えばボール２１４に配置されたシールである。第２のシール２１６は、フィルタ２００がマニホールド２２０内に設置されたときに、第２の端部アパーチャ２１８と第２の流体チャネル２３４との間の流体接続を囲むシールを形成する。第２のシール２１６は、そのようなシールを提供するための、マニホールド２２０の第２の端部ブロック２３０及びフィルタ２００の第２の端部２１２の幾何学的形状に基づく任意の適切なシールとすることができる。第２のシール２１６は、例えばＯリング又はガスケットとすることができる。一実施形態では、シール２１６は、第２の端部２１２の表面に形成されたチャネル内に配置される。一実施形態では、シール２１６は、第２の端部２１２のボール２１４の表面に形成されたチャネル内に配置されたＯリングである。

【0032】

第２の端部アパーチャ２１８は、流体がフィルタ本体２０２に出入りすることを可能にする開口部である。フィルタ２００がマニホールド２２０内に設置されたときに、第２の端部アパーチャ２１８が第２の流体チャネル２３４と流体連通し、流体が第２の端部アパーチャ２１８と第２の流体チャネル２３４との間を通過することができるように、第２の端部アパーチャ２１８は第１の端部２１２に位置決めされる。第２のシール２１６は、第２の端部アパーチャ２１８と第２の流体チャネル２３４との間の接触面の周りに形成することができる。

【0033】

マニホールド２２０は、流体がフィルタ２００を通って流れるように導かれるようにフィルタ２００を保持し、フィルタ２００を出る流体を受け取り、受け取った流体を流体ラインに導くように構成されたマニホールドであり、流体ラインは流体を別の場所に運ぶことができ、そこで流体を例えばさらに処理、使用などすることができる。

【0034】

第１の端部ブロック２２２は、流体をフィルタ２００に供給又はフィルタ２００から受け取ることができるように、フィルタ２００の第１の端部２０４を収容するように構成されたマニホールド２２０の一部である。

【0035】

第１のコネクタ２２４は、マニホールド２２０に流体ラインを接続することを可能にする接続点である。第１のコネクタ２２４は、ねじ接続部、隔螺式ねじ、スナップ嵌合を提供する１つ以上の機械的係合機構、１つ以上のクイックディスコネクトコネクタなど、流体ラインをマニホールドに接合するように構成された任意の適切なコネクタとすることができる。フィルタ２００がスロット２２８に挿入され、ロック位置にあるとき、フィルタ２００のフランジ２０６に設けられた第１のシール２０８は、第１のコネクタ２２４と第１の端部アパーチャ２１０との間の流れのためのシールを形成することができる。

【0036】

第１の流体チャネル２２６は、第１のコネクタ２２４を通って、フィルタ２００の第１の端部アパーチャ２１０に、又は第１の端部アパーチャ２１０から流体を搬送する。一実施形態では、第１の流体チャネル２２６は、第１のコネクタ２２４に接合された流体ラインから流体を受け取り、流体をフィルタ２００の第１の端部アパーチャ２１０に向けて導くことができる。別の実施形態では、第１の流体チャネル２２６は、第１の端部アパーチャ２１０においてフィルタ２００を出る流体を受け取り、濾過された流体を第１のコネクタ２２４に接合された流体ラインに導くことができる。

【0037】

スロット２２８は、フランジ２０６を受け入れるように構成された第１の端部ブロック２２２に形成されたスロットである。スロット２２８は、比較的狭い開口部及び比較的広い内部チャネルを含む。比較的狭い開口部の幅は、その短軸に沿ってフランジ２０６の長さを収容することができるが、その長軸に沿ってフランジ２０６の長さを収容することができないように選択することができる。比較的広い内部チャネルは、その長軸に沿ってフランジ２０６の長さを収容するようにサイズ決めすることができる。比較的狭い開口部及び比較的広い内部チャネルの幅はそれぞれ、マニホールド２２０と共に使用されるフィルタ２００のフランジ２０６の寸法、並びにその長軸及び短軸に沿ったそのフランジ２０６の長さの間の関係に基づく任意の適切な幅とすることができる。一実施形態では、ストッパとスロット２２８との間の接触が、スロット２２８に対するフィルタ２００の回転又は他の移動を制限することができるように、スロット２２８の一部は、上述し、図１に示すストッパ１０６などのストッパに接触することができる。一実施形態では、ストッパは、スロット２２８の側壁においてスロットに接触することができる。例えば、ストッパが接触するスロット２２８の側壁は、スロット２２８の比較的狭い開口部の側壁とすることができる。

【0038】

第２の端部ブロック２３０は、第２の端部ブロック２３０において流体をフィルタ２００から受け取るか、又はフィルタ２００に提供することができるように、フィルタ２００の第２の端部２１２を収容するように構成されたマニホールド２２０の一部である。第２の端部ブロック２３０は、フィルタ２００がマニホールド２２０に適切に接続され得るように、マニホールド２２０と共に使用されるフィルタ２００のサイズに基づく距離だけ第１の端部ブロック２２２から離間することができる。

【0039】

第２のコネクタ２３２は、マニホールド２２０に流体ラインを接続することを可能にする接続点である。第２のコネクタ２３２は、ねじ接続部、隔螺式ねじ、スナップ嵌合を提供する１つ以上の機械的係合機構、１つ以上のクイックディスコネクトコネクタなど、流体ラインをマニホールドに接合するように構成された任意の適切なコネクタとすることができる。

【0040】

第２の流体チャネル２３４は、第２のコネクタ２３２を通って、フィルタ２００の第２の端部アパーチャ２１８へ、又は第２の端部アパーチャ２１８から流体を搬送する。一実施形態では、第２の流体チャネル２３４は、第２の端部アパーチャ２１８においてフィルタ２００を出る流体を受け取り、濾過された流体を第２のコネクタに接合された流体ラインに導くことができる。別の実施形態では、第２の流体チャネル２３４は、第２のコネクタ２３２に接合された流体ラインから流体を受け取り、流体をフィルタ２００の第２の端部アパーチャ２１８に向けて導くことができる。

【0041】

カップ２３６は、フィルタ２００のボール２１４を受け入れるように構成されたマニホールドブロック２２０の一部である。カップ２３６は、フランジ又は任意の他のそのような機構を受け入れるように構成されたスロットなど、フィルタ２００の第２の端部２１２のための任意の他の適切な機械的接触面によって置き換えることができる。図２に示す実施形態では、カップ２３６は、フィルタ設置プロセスの最初の工程としてボール２１４を挿入することを可能にする。一実施形態では、カップ２３６又は缶（ｃｕｐ ２３６ ｏｒ ｔｈｅ ｃａｎ）は、図３Ａ及び図３Ｂに示し、以下に示すような挿入位置とロック位置との間でフィルタ２００が回転することができるように、その軸を中心としたフィルタ２００の回転を可能にする。一実施形態では、ボール２１４がカップ２３６内にあるとき、フィルタ２００は、フランジ２０６が第１の端部ブロック２２２のスロット２２８に挿入されることを可能にする可動域を通って移動することができる。カップ２３６は、ボール２１４がカップ２３６内にあり、フランジ２０６がスロット２２８内にあるとき、第２のシール２１６がボール２１４とカップ２３６との間にシールを形成するようにサイズ決めすることができる。

【0042】

任意選択的に、第１の端部ブロック２２２と第２の端部ブロック２３０との間にスペーサ２３８を含めることができる。スペーサ２３８は、例えば、フィルタを適切に設置することを可能にする端部ブロック２２２、２３０間の距離を維持するために、端部ブロック２２２、２３０を接続する部品とすることができる。他の実施形態では、第１の端部ブロック２２２及び第２の端部ブロック２３０は、例えば、それぞれが端部ブロック２２２、２３０が取り付けられる壁などの表面に接続された別個の部品であってもよい。

【0043】

図３Ａは、フィルタが挿入方向にあるときの、一実施形態によるフィルタ及びフィルタマニホールドを示す。フィルタ３００は、スロット３０８の開口部３０６の幅方向において、フランジ３０２がフランジ３０２の短軸でマニホールドブロック３０４に挿入されるように配向される。これにより、ブロック３１０が、短軸に沿ったフランジの幅よりも大きい距離Ｄだけ離間しているため、フランジ３０２が開口部３０６のいずれかの側のブロック３１０間を通過することが可能になる。長軸が開口部３０６に提示されるフランジ３０２の幅であるようにフィルタ３００が位置合わせされた場合、距離Ｄがフランジ３０２の長軸に沿った距離よりも小さいため、ブロック３１０はフィルタ３００の挿入を防止する。

【0044】

図３Ｂは、フィルタがロック位置にあるときの、図３Ａに示す実施形態によるフィルタ及びフィルタマニホールドを示す。図３Ｂでは、フランジ３０２は、図３Ａに示す挿入方向でマニホールドブロック３０４に挿入されており、フランジ３０２が開口部３０６を通過すると、ブロック３１０間において、フィルタ３００はロック位置に回転する。図３Ｂに示すロック位置では、フランジ３０２の長軸は、ここではスロット３０８に対して幅方向にあり、ブロック３１０を越えてスロット３０８の必要以上の幅内に収容される。ブロック３１０は、ロック位置においてフィルタが開口部３０６を通過することを禁止する。図３Ｂに示すロック位置では、ロックストッパ３１２は、例えばブロック３１０のうちの１つにおいて、又はスロット３０８の壁に沿ってマニホールドブロック３０４に接触して、フィルタ３００の回転を制限し、及び／又はフランジ３０２をさらに固定して、フランジ３０２が開口部３０６を通過し得ないようにすることができる。

【0045】

図４Ａは、一実施形態によるフィルタマニホールドの一部の断面図を示す。フィルタマニホールド４００の一部は、上述し、図２に示す第１の端部ブロック２２２などのフィルタマニホールドの上端ブロックとすることができる。図４Ａの断面図では、スロット４０２が見え、ブロック４０４がスロット４０２の開口部を画定している。コネクタ４０６及び流体チャネル４０８も見ることができ、取り付けアパーチャ４１０も見ることができる。

【0046】

スロット４０２は、幅Ｗ１を有する。スロット４０２は、幅Ｗ１が、スロット４０２に挿入されることになるフランジの長軸に沿った長さよりも大きくなるようにサイズ決めされる。ブロック４０４は、Ｗ１未満、かつスロット４０２に挿入されることになるフランジの長軸に沿った長さ未満の幅Ｗ２を有するようにスロット４０２の開口部を画定する。フランジが挿入位置に配向されたときにフランジが開口部に入ることができるが、ロック位置に配向されたときはブロック４０４に起因してフランジが開口部を通過することができないように、幅Ｗ２は、スロット４０２に挿入されることになるフランジの短軸に沿った長さよりも大きい。スロット４０２及び／又はブロック４０４は、スロット４０２に挿入されることになるフランジに形成されたストッパと接触する接触面又は係合点をさらに提供することができ、ストッパとの接触は、フィルタの回転など、スロット４０２に対する、フランジを含むフィルタの移動を制限することができる。

【0047】

コネクタ４０６は、上述し、図２に示す第１のコネクタ２２４などの、流体ラインの取り付けを可能にするコネクタである。流体チャネル４０８は、コネクタ４０６に接合された流体ラインと、スロット４０２に挿入されたフィルタとの間で流体を搬送可能なチャネルである。流体チャネル４０８は、例えば、上述し、図２に示す第１の流体チャネル２２６とすることができる。

【0048】

取り付けアパーチャ４１０は、表面に接合され、その表面に端部ブロックを固定することを可能にする端部ブロックの開口部とすることができる。取り付けアパーチャ４１０は、ピンを受け入れるための穿孔、所定の位置にねじ込まれるためのねじ穴、タブを受け入れるように構成されたスロットなどの機械的接続のための任意の適切な開口部とすることができる。一実施形態では、取り付けアパーチャ４１０は、上述し、図２に示すスペーサ２３８などのスペーサに端部ブロックを接合するために使用される。

【0049】

図４Ｂは、一実施形態によるフィルタマニホールドの一部の正面図を示す。この図では、ブロック４０４によるスロット４０２の開口部の狭窄部を見ることができる。この正面図から分かるように、開口部の幅Ｗ２は、ブロック４０４によって画定されるものである。コネクタ４０６はまた、流体ラインを接合することができるコネクタ４０６のねじ山を示す、図４Ｂに示す正面図でも見ることができる。

【0050】

図５は、一実施形態によるフィルタのフランジの下側を示す。フランジ５００は、下側ベース面５０２を含み、下側ベース面５０２と側縁部５０６との間に面取り部５０４を含む。側縁部５０６は、その短軸又は幅方向に沿ったフランジ５００の端部とすることができる。面取り部は、上面（図示せず）から下側ベース面５０２までの厚さと比較して、側縁部５０６におけるフランジ５００の厚さを狭くすることができる。

【0051】

図６は、一実施形態によるマニホールド及びフィルタシステム６００を示す。図６に示す実施形態では、マニホールド６０２は、第１のアライメントマーク６０４を含むマニホールドブロック６０４を含む。フィルタ６０８は、第２のアライメントマーク６１０を含む。

【0052】

マニホールドブロック６０４は、上述し、図２に示すマニホールド２２０の第１の端部ブロック２２２などのマニホールドブロックとすることができる。第１のアライメントマーク６０６は、マニホールドブロック６０４に形成されたスロット６１２に近接して位置決めすることができる。図６に示す実施形態では、第１のアライメントマーク６０６はスロット６１２上の中心にあるが、第１のアライメントマーク６０６は、ユーザがフィルタ６０８をマニホールドブロック６０４と位置合わせするのを助けることができる任意の適切な位置を有することができる。一実施形態では、第１のアライメントマーク６０６は、着色又は任意の他のそのような視覚的識別子によって画定される。一実施形態では、第１のアライメントマーク６０６は、マニホールドブロック６０４から外側への突起又はマニホールドブロック６０４の窪みなどの物理的特徴を含むことができる。一実施形態では、第１のアライメントマーク６０６は、ユーザによって理解される視覚的基準を提供することができる。一実施形態では、第１のアライメントマーク６０６は、自動化と共に使用される機械的又は機械用視覚基準を提供することができる。

【0053】

フィルタ６０８は、例えば、上述し、図１及び図２にそれぞれ示すフィルタ１００又は２００など、マニホールド６０２と共に使用される任意の適切なフィルタとすることができる。フィルタ６０８は、第２のアライメントマーク６１０を含む。第２のアライメントマーク６１０は、フィルタ６０８とマニホールド６０２との位置合わせを容易にするために、フィルタ６０８上の所定の位置に位置決めされる。図６に示す実施形態では、第２のアライメントマークは、フランジの長軸と一致して、フィルタ６０８のフランジの短軸に対してフィルタ６０８の中心に位置するように示されている。しかしながら、第２のアライメントマーク６１０は、フィルタ６０８とマニホールド６０２との位置合わせを容易にするために、フィルタ６０８上の任意の適切な位置にあることができる。一実施形態では、第２のアライメントマーク６１０は、着色又は任意の他のそのような視覚的識別子によって画定される。一実施形態では、第２のアライメントマーク６１０は、フィルタ６０８から外側への突起又はフィルタ６０８の窪みなどの物理的特徴を含むことができる。一実施形態では、第２のアライメントマーク６１０は、ユーザによって理解される視覚的基準を提供することができる。一実施形態では、第２のアライメントマーク６１０は、自動化と共に使用される機械的又は機械用視覚基準を提供することができる。一実施形態の使用において、第１のアライメントマーク６０６及び第２のアライメントマーク６１０は、互いに対して所定の方向で配置することができ、この方向は、マニホールド６０２に対するフィルタ６０８の挿入方向と関連付けられる。これにより、フィルタ６０８がスロット６１２に入り、所定の方向に回転することによってロック位置に移動するように適切に位置決めされるように、フィルタ６０８をスロット６１２に適切に挿入することができる。任意選択的に、フィルタ６０８がロック位置に完全に回転したときに第１のアライメントマーク６０６に対して所定の位置にあり得る第３のアライメントマーク（図示せず）など、マニホールド６０２に対するフィルタ６０８の位置に関するさらなるガイドを提供するために追加のマーキングを含めることができる。

【0054】

態様：
態様１～１２のいずれかを態様１３～１８のいずれかと組み合わせ得ることが理解される。

【0055】

態様１．本体と、
第１のフィルタアパーチャを有する第１の端部と、
第１の端部に位置する第１のフランジと、
第１の端部の反対側にあり、第２のフィルタアパーチャを有する第２の端部と
を備えたフィルタであって、
第１のフランジは、平面視において長軸及び短軸を含む形状を有し、長軸に沿った長さは短軸に沿った幅よりも大きく、
第１のフランジは、第１のフランジから突出するストッパを含み、ストッパは、第１のフランジがフィルタマニホールドに挿入されてロック位置に回転したときにフィルタマニホールドの保持機構に接触するように構成される、フィルタ。

【0056】

態様２．第１のフランジ上に配置されたシールをさらに備え、シールは第１のフィルタアパーチャを囲む、態様１に記載のフィルタ。

【0057】

態様３．シールは面シールである、態様２に記載のフィルタ。

【0058】

態様４．シールは、第１のフランジに形成された溝に配置される、態様２又は３のいずれか一項に記載のフィルタ。

【0059】

態様５．平面視における第１のフランジの形状は、長軸に平行な直線状の側面を含む、態様１から４のいずれか一項に記載のフィルタ。

【0060】

態様６．第１のフランジは、直線状の側面に向かう面取り部を含む、態様５に記載のフィルタ。

【0061】

態様７．ストッパは、ストッパの縁部が直線状の側面の１つと同一直線上にあるように第１のフランジから突出する、態様５又は６のいずれか一項に記載のフィルタ。

【0062】

態様８．平面視における第１のフランジの形状の長軸に沿った各端部は曲線を含む、態様１から７のいずれか一項に記載のフィルタ。

【0063】

態様９．平面視における第１のフランジの形状は、長軸に平行な直線状の側面をさらに含む、態様８に記載のフィルタ。

【0064】

態様１０．ストッパは、長軸に沿った一端の曲線が直線状の側面の１つと交わる角から延びる、態様９に記載のフィルタ。

【0065】

態様１１．本体、
第１のフィルタアパーチャを有する第１の端部、
第１の端部に位置する第１のフランジ、及び
第１の端部の反対側にあり、第２のフィルタアパーチャを有する第２の端部
を含むフィルタであって、
第１のフランジは、平面視において長軸及び短軸を含む形状を有し、長軸に沿った長さが短軸に沿った幅よりも大きく、
第１のフランジは、第１のフランジから突出するストッパを含む、フィルタと、
第１の端部ブロックアパーチャ、及びフィルタの第１のフランジを受け入れるように構成されたスロットを含む第１の端部ブロックであって、スロットが、短軸に沿った幅よりも大きく、長軸を横切る長さよりも小さい幅と、長軸に沿った第１のフランジの長さよりも大きい内部スロット幅とを有する開口部、及び第１のフランジがスロットに挿入され、フィルタがロック位置に回転したときにフィルタのストッパに接触するように構成された係合機構を含む第１の端部ブロック、並びに
第２の端部ブロックアパーチャ、及びフィルタの第２の端部の少なくとも一部を受け入れるように構成された開口部を含む第２の端部ブロック
を含むマニホールドと
を備えたフィルタ及びマニホールドシステムであって、
フィルタがロック位置にあるとき、流体は、第２の端部ブロックアパーチャから第２のフィルタアパーチャを通り、本体を通り、第１のフィルタアパーチャを通り、そして、第１の端部ブロックアパーチャに流れることができる、フィルタ及びマニホールドシステム。

【0066】

態様１２．平面視における第１のフランジの形状は、長軸に平行な直線状の側面を含む、１１に記載の（ａｃｃｏｒｄｉｎｇ ｔｏ １１）フィルタ及びマニホールドシステム。

【0067】

態様１３．ストッパは、ストッパの縁部が直線状の側面の１つと同一直線上にあるように第１のフランジから突出する、態様１２に記載のフィルタ及びマニホールドシステム。

【0068】

態様１４．ストッパは、ストッパの縁部に垂直な端部を有する、態様１３に記載のフィルタ及びマニホールドシステム。

【0069】

態様１５．平面視における第１のフランジの形状の長軸に沿った各端部は曲線を含む、態様１１から１４のいずれか一項に記載のフィルタ及びマニホールドシステム。

【0070】

態様１６．平面視における第１のフランジの形状は、長軸に平行な直線状の側面をさらに含む、態様１５に記載のフィルタ及びマニホールドシステム。

【0071】

態様１７．ストッパは、長軸に沿った一端の曲線が直線状の側面の１つと交わる角から延びる、態様１６に記載のフィルタ及びマニホールドシステム。

【0072】

態様１８．係合機構はスロットの側壁である、態様１１から１７のいずれか一項に記載のフィルタ及びマニホールドシステム。

【0073】

態様１９．スロットの側壁はスロットの開口部にある、態様１８に記載のフィルタ及びマニホールドシステム。

【0074】

態様２０．フィルタはフィルタアライメントマークを含み、マニホールドはマニホールドアライメントマークを含み、フィルタアライメントマークとマニホールドアライメントマークとの相対位置は、フィルタがマニホールドに対して挿入位置にあるかどうかを示す、態様１１から１９のいずれか一項に記載のフィルタ及びマニホールドシステム。

【0075】

本出願で開示される例は、すべての点で例示的であり、限定的ではないと見なされるべきである。本発明の範囲は、前述の説明ではなく添付の特許請求の範囲によって示され、また、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内にあるすべての変更は、特許請求の範囲に包含されることが意図されている。

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4A】

【図4B】

【図5】

【図6】