特許 7526915 発光素子

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-25

(45)【発行日】2024-08-02

(54)【発明の名称】発光素子

(51)【国際特許分類】

   H01L 33/14 20100101AFI20240726BHJP

   H01L 33/32 20100101ALI20240726BHJP

   H01L 33/04 20100101ALI20240726BHJP

【ＦＩ】

H01L33/14

H01L33/32

H01L33/04

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2021206191

(22)【出願日】2021-12-20

(65)【公開番号】P2023091442

(43)【公開日】2023-06-30

【審査請求日】2023-01-17

(73)【特許権者】

【識別番号】000226057

【氏名又は名称】日亜化学工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100108062

【弁理士】

【氏名又は名称】日向寺 雅彦

(74)【代理人】

【識別番号】100168332

【弁理士】

【氏名又は名称】小崎 純一

(74)【代理人】

【氏名又は名称】内田 敬人

(72)【発明者】

【氏名】川田 至孝

(72)【発明者】

【氏名】船越 良太

【審査官】百瀬 正之

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－２５１８０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－１４８６７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－０３６４３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００５／００６７６２７（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０２１－１５８２９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１３０８７７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１２２９５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１９－５１７１４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１９－５２２３５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０４０７８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－０６２５２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】Joachim PIPREK，Origin of InGaN/GaN light-emitting diode efficiency improvements using tunnel-junction-cascaded active regions，Applied Physics Letters，米国，2014年02月，Vol.104，p.051118-1 - p.051118-4

【文献】P. LI et al.，Demonstration of high efficiency cascaded blue and green micro-light-emitting diodes with independent junction control，Applied Physics Letters，米国，2021年06月，Vol.118，p.261104-1 - p.261104-4

【文献】S.J. CHANG et al.，Cascaded GaN Light-Emitting Diodes With Hybrid Tunnel Junction Layers，IEEE JOURNAL OF QUANTUM ELECTRONICS，米国，2015年08月，VOL.51, NO.8，p.3300505

【文献】TURSKI Henryk et al.，Polarization control in nitride quantum well light emitters enabled by bottom tunnel-junctions，Journal of Applied Physics，米国，2019年05月，Vol.125，p.203104-1 - p.203104-11

【文献】ZHANG Yuewei et al.，Tunnel-injected sub 290nm ultra-violet light emitting diodes with 2.8% external quantum efficiency，APPLIED PHYSICS LETTERS，米国，2018年02月，Vol.112，p.071107-1 - p.071107-4

【文献】ZHANG YUEWEI et al.，Design and demonstration of ultra-wide bandgap AlGaN tunnel junctions，APPLIED PHYSICS LETTERS，米国，2016年09月，Vol.109，p.121102-1 - p.121102-5

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ３３／００－３３／６４

Ｈ０１Ｓ ５／００－５／５０

ＩＥＥＥ Ｘｐｌｏｒｅ

Ｓｃｉｔａｔｉｏｎ

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

下方から上方に向かって順に、それぞれが窒化物半導体からなる、第１ｎ側半導体層と、第１活性層と、第１ｐ側半導体層と、前記第１ｐ側半導体層にトンネル接合する第２ｎ側半導体層と、第２活性層と、第２ｐ側半導体層と、を備え、
前記第２ｎ側半導体層は、下方から上方に向かって順に、第１層と、第２層と、第３層と、を有し、
前記第１層は、インジウムおよびガリウムを含み、第１ｎ型不純物濃度を有し、
前記第２層は、インジウムおよびガリウムを含み、前記第１ｎ型不純物濃度よりも低い第２ｎ型不純物濃度を有し、
前記第２層におけるインジウムの組成比の値は、前記第１層におけるインジウムの組成比の値よりも小さく、
前記第２層の厚みは、前記第１層の厚みよりも大きく、
前記第３層は、ガリウムを含み、前記第２ｎ型不純物濃度よりも低い第３ｎ型不純物濃度を有する、発光素子。

【請求項2】

前記第２層の厚みは、前記第３層の厚みよりも小さい、請求項１に記載の発光素子。

【請求項3】

前記第２ｎ側半導体層は、前記第２層と前記第３層との間に配置された第４層をさらに有し、
前記第４層は、アルミニウムおよびガリウムを含み、前記第３ｎ型不純物濃度よりも高い第４ｎ型不純物濃度を有する、請求項１または２に記載の発光素子。

【請求項4】

前記第４ｎ型不純物濃度は、前記第２ｎ型不純物濃度以下である、請求項３に記載の発光素子。

【請求項5】

前記第１層の厚みは、０．１ｎｍ以上２ｎｍ以下である、請求項１～４のいずれか１つに記載の発光素子。

【請求項6】

前記第２層の厚みは、１０ｎｍ以上４０ｎｍ以下である、請求項１～５のいずれか１つに記載の発光素子。

【請求項7】

前記第１層および前記第２層は、ｎ型不純物がドープされた窒化インジウムガリウム層であり、
前記第３層は、ｎ型不純物がドープされた窒化ガリウム層である、請求項１～６のいずれか１つに記載の発光素子。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、発光素子に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、例えば、第１のｎ型層、第１の活性層、および第１のｐ型層を含む第１発光部と、第１発光部上に配置されたトンネル接合層と、トンネル接合層上に配置され、第２のｎ型層、第２の活性層、および第２のｐ型層を含む第２発光部と、を備える発光素子が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００４－１２８５０２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明の一実施形態は、順方向電圧が低い発光素子を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の一実施形態に係る発光素子は、下方から上方に向かって順に、それぞれが窒化物半導体からなる、第１ｎ側半導体層と、第１活性層と、第１ｐ側半導体層と、前記第１ｐ側半導体層に接する第２ｎ側半導体層と、第２活性層と、第２ｐ側半導体層と、を備える。前記第２ｎ側半導体層は、下方から上方に向かって順に、第１層と、第２層と、第３層と、を有する。前記第１層は、インジウムおよびガリウムを含み、第１ｎ型不純物濃度を有する。前記第２層は、インジウムおよびガリウムを含み、前記第１ｎ型不純物濃度よりも低い第２ｎ型不純物濃度を有する。前記第２層におけるインジウムの組成比の値は、前記第１層におけるインジウムの組成比の値よりも小さい。前記第２層の厚みは、前記第１層の厚みよりも大きい。前記第３層は、ガリウムを含み、前記第２ｎ型不純物濃度よりも低い第３ｎ型不純物濃度を有する。

【発明の効果】

【0006】

本発明の一実施形態によれば、順方向電圧が低い発光素子を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】実施形態に係る発光素子を示す断面図である。

【図2】図１の第２ｎ側半導体層を拡大して示す断面図である。

【図3】実施形態に係る発光素子のエネルギーバンド図の例である。

【図4】実施形態に係る発光素子の製造方法を示すフローチャートである。

【図5】図４の第２ｎ側半導体層を形成する工程の詳細を示すフローチャートである。

【図6】実施形態に係る発光素子の製造過程を説明するための断面図である。

【図7】実施形態に係る発光素子の製造過程を説明するための断面図である。

【図8】参考例に係る発光素子の第２ｎ側半導体層の層構成を示す断面図である。

【図9A】参考例に係る発光素子および実施例に係る発光素子の順方向電圧Ｖｆと基準となる順方向電圧Ｖｆｒｅｆとの差ΔＶｆを示すグラフである。

【図9B】参考例に係る発光素子および実施例に係る発光素子の各出力Ｐｏを正規化した値Ｐｏ／Ｐｏｒｅｆを示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下に、実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。さらに、本明細書と各図において、既出の図に関して説明したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。

【0009】

また、以下では、説明をわかりやすくするために、ＸＹＺ直交座標系を用いて、各部分の配置および構成を説明する。Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、相互に直交している。またＸ軸が延びる方向を「Ｘ方向」とし、Ｙ軸が延びる方向を「Ｙ方向」とし、Ｚ軸が延びる方向を「Ｚ方向」とする。また、説明をわかりやすくするために、上方をＺ方向、下方をその反対方向とするが、これらの方向は、相対的なものであり重力方向とは無関係である。

【0010】

図１は、本実施形態に係る発光素子１０を示す断面図である。
図２は、図１の第２ｎ側半導体層１２１を拡大して示す断面図である。
図３は、本実施形態に係る発光素子１０のエネルギーバンド図の例である。
発光素子１０は、図１に示すように、基板１１と、半導体構造体１２と、ｎ側電極１３と、ｐ側電極１４と、を備える。

【0011】

基板１１の形状は平板状である。基板１１の上面および下面は、例えば、Ｘ－Ｙ平面に概ね平行である。基板１１は、例えば、サファイア（Ａｌ_２Ｏ_３）からなる。ただし、基板１１には、シリコン（Ｓｉ）、炭化シリコン（ＳｉＣ）、または窒化ガリウム（ＧａＮ）等他の材料を用いてもよい。基板１１の上には、半導体構造体１２が配置されている。

【0012】

半導体構造体１２は、例えば、窒化物半導体からなる複数の半導体層が積層された積層体である。ここで、「窒化物半導体」とは、窒素を含む半導体であって、典型的には、Ｉｎ_ｘＡｌ_ｙＧａ_{１－ｘ－ｙ}Ｎ（０≦ｘ≦１，０≦ｙ≦１，ｘ＋ｙ≦１）なる化学式において組成比ｘおよびｙをそれぞれの範囲内で変化させた全ての組成の半導体を含むものである。

【0013】

半導体構造体１２は、下方から上方に向かって順に、第１発光部１１０と、第２発光部１２０と、を有する。第１発光部１１０は、下方から上方に向かって順に、第１ｎ側半導体層１１２と、第１活性層１１３と、第１ｐ側半導体層１１４と、を含む。第１発光部１１０は、第１ｎ側半導体層１１２の下に配置された下地層１１１をさらに含む。第２発光部１２０は、下方から上方に向かって順に、第２ｎ側半導体層１２１と、第２活性層１２２と、第２ｐ側半導体層１２３と、を含む。以下、半導体構造体１２の各部について詳述する。

【0014】

第１発光部１１０の下地層１１１は、基板１１の上に配置されている。下地層１１１は、例えば、アンドープの半導体層を含む。本明細書において、「アンドープ」とは、ｎ型不純物およびｐ型不純物を意図的にドープしていないことを意味する。すなわち、アンドープの半導体層は、ｎ型不純物およびｐ型不純物を含む原料ガスを供給させずに形成した半導体層である。「ｎ型不純物」とは、ドナーとなる不純物を意味する。「ｐ型不純物」とは、アクセプターとなる不純物を意味する。アンドープの半導体層が、ｎ型不純物および／またはｐ型不純物を意図的にドープした層と隣接している場合、その隣接した層からの拡散等によって、アンドープの半導体層にｎ型不純物および／またはｐ型不純物が含まれる場合がある。

【0015】

下地層１１１におけるアンドープの半導体層は、例えばＧａＮを含む。下地層１１１の上には、第１ｎ側半導体層１１２が配置されている。ただし、第１発光部に下地層が配置されておらず、第１ｎ側半導体層が基板上に直接配置されていてもよい。

【0016】

第１ｎ側半導体層１１２は、１以上のｎ型半導体層を含む。第１ｎ側半導体層１１２におけるｎ型半導体層は、例えば、ｎ型不純物であるシリコン（Ｓｉ）がドープされたＧａＮを含む。第１ｎ側半導体層１１２におけるｎ型半導体層は、インジウム（Ｉｎ）またはアルミニウム（Ａｌ）等をさらに含んでもよい。第１ｎ側半導体層１１２におけるｎ型半導体層は、ｎ型不純物としてゲルマニウム（Ｇｅ）含んでもよい。

【0017】

また、第１ｎ側半導体層１１２は、第１活性層１１３に電子を供給するという機能を有していればよく、１以上のアンドープの半導体層をさらに含んでいてもよい。第１ｎ側半導体層１１２におけるアンドープの半導体層は、例えばＧａＮを含む。

【0018】

第１ｎ側半導体層１１２は、第１面１１２ｓ１、第２面１１２ｓ２、および第３面１１２ｓ３を含む。第１面１１２ｓ１は、Ｘ－Ｙ平面に概ね平行な面である。第２面１１２ｓ２は、第１面１１２ｓ１よりも上方に位置し、Ｘ－Ｙ平面に概ね平行な面である。上面視において、第２面１１２ｓ２は第１面１１２ｓ１とＸ方向に隣り合っている。第３面１１２ｓ３は、第１面１１２ｓ１と第２面１１２ｓ２の間に位置し、Ｙ－Ｚ平面に概ね平行な面である。第２面１１２ｓ２上には、第１活性層１１３が配置されている。

【0019】

第１活性層１１３は、例えば、複数の井戸層と複数の障壁層とを有する多重量子井戸構造を有する。複数の井戸層には、例えば窒化インジウムガリウム（ＩｎＧａＮ）を用いることができる。複数の障壁層には、例えばＧａＮを用いることができる。井戸層および障壁層は、例えば、アンドープの半導体層であってもよい。また、井戸層および障壁層の少なくとも一部にｎ型不純物および／またはｐ型不純物が含有されていてもよい。第１活性層１１３の上には、第１ｐ側半導体層１１４が配置されている。

【0020】

第１ｐ側半導体層１１４は、例えば、第１活性層１１３にホールを供給する機能を有する１以上のｐ型の半導体層を含む。第１ｐ側半導体層１１４におけるｐ型の半導体層は、例えば、ｐ型不純物であるマグネシウム（Ｍｇ）がドープされたＧａＮを含む。第１ｐ側半導体層１１４におけるｐ型の半導体層は、Ａｌをさらに含んでもよい。

【0021】

また、第１ｐ側半導体層１１４は、１以上のアンドープの半導体層をさらに含んでいてもよい。第１ｐ側半導体層１１４におけるアンドープの半導体層は、例えばＧａＮを含む。第１ｐ側半導体層１１４におけるアンドープの半導体層は、Ａｌをさらに含んでもよい。また、第１ｐ側半導体層１１４は、第２ｎ側半導体層１２１にトンネル接合するｐ型の上部半導体層をさらに含んでもよい。上部半導体層は、例えば、ｐ型不純物としてＭｇがドープされたＧａＮを含む。上部半導体層のｐ型不純物濃度は、例えば、第１ｐ側半導体層１１４において上部半導体層の下方に位置するｐ型の半導体層のｐ型不純物濃度よりも高い。第１ｐ側半導体層１１４上には、第２ｎ側半導体層１２１が配置されている。

【0022】

第２ｎ側半導体層１２１は、第１ｐ側半導体層１１４と接している。第２ｎ側半導体層１２１は、図２に示すように、下方から上方に向かって順に、第１層１２１ａと、第２層１２１ｂと、第３層１２１ｄと、を有する。第２ｎ側半導体層１２１は、本実施形態では、第２層１２１ｂと第３層１２１ｄとの間に配置された第４層１２１ｃと、第３層１２１ｄの上に配置された第５層１２１ｅと、をさらに有する。

【0023】

第１層１２１ａは、第１ｐ側半導体層１１４上に配置される。第１層１２１ａは、例えば、ｎ型不純物であるＳｉがドープされたＩｎＧａＮ層である。第１層１２１ａにおけるＩｎの組成比の値は、例えば、１０％以上４０％以下であることが好ましく、２０％以上４０％以下であることがさらに好ましい。

【0024】

第２層１２１ｂは、第１層１２１ａ上に配置される。第２層１２１ｂは、例えば、ｎ型不純物であるＳｉがドープされたＩｎＧａＮ層である。第２層１２１ｂにおけるＩｎの組成比の値は、第１層１２１ａにおけるＩｎの組成比の値よりも小さい。第２層１２１ｂにおけるＩｎの組成比の値は、例えば、０．１％以上３％以下であることが好ましい。

【0025】

第４層１２１ｃは、第２層１２１ｂ上に配置される。第４層１２１ｃは、図３に示すように、第１層１２１ａおよび第２層１２１ｂのバンドギャップよりも大きいバンドギャップを有する。第４層１２１ｃは、本実施形態では、ｎ型不純物であるＳｉがドープされたＡｌＧａＮ層である。ただし、第４層１２１ｃは、第２層１２１ｂのバンドギャップよりも大きいバンドギャップを有する層であればよい。第４層１２１ｃは、例えば、窒化アルミニウムインジウムガリウム（ＡｌＩｎＧａＮ）層であってもよい。第４層１２１ｃにおけるＡｌの組成比の値は、例えば、５％以上３５％以下である。

【0026】

第３層１２１ｄは、図２に示すように、第４層１２１ｃ上に配置される。第３層１２１ｄは、例えば、ｎ型不純物であるＳｉがドープされたＧａＮ層である。

【0027】

第５層１２１ｅは、第３層１２１ｄ上に配置される。第５層１２１ｅは、例えば第２活性層１２２に電子を供給する機能を有する。第５層１２１ｅは、例えば、ＧａＮ層とＩｎＧａＮ層とが交互に配置された超格子層とすることができる。第５層１２１ｅの少なくとも一部の半導体層にｎ型不純物および／またはｐ型不純物が含有されていてもよい。

【0028】

以下、第１層１２１ａ、第２層１２１ｂ、第４層１２１ｃ、第３層１２１ｄ、および第５層１２１ｅのｎ型不純物濃度について説明する。ここで、第１層１２１ａのｎ型不純物濃度を「第１ｎ型不純物濃度」ともいい、第２層１２１ｂのｎ型不純物濃度を「第２ｎ型不純物濃度」ともいい、第４層１２１ｃのｎ型不純物濃度を「第４ｎ型不純物濃度」ともいい、第３層１２１ｄのｎ型不純物濃度を「第３ｎ型不純物濃度」ともいい、第５層１２１ｅのｎ型不純物濃度を「第５ｎ型不純物濃度」ともいう。

【0029】

本実施形態では、ｎ型不純物濃度の大小関係が、第１ｎ型不純物濃度＞第２ｎ型不純物濃度≧第４ｎ型不純物濃度＞第３ｎ型不純物濃度である。また、第２ｎ型不純物濃度＞第５ｎ型不純物濃度である。ただし、これらのｎ型不純物濃度の大小関係は、上記に限定されない。例えば、第４ｎ型不純物濃度は、第２ｎ型不純物濃度よりも高くてもよい。また、例えば、第５ｎ型不純物濃度は、第２ｎ型不純物濃度以上であってもよい。

【0030】

第１ｎ型不純物濃度は、例えば、２×１０^２０ｃｍ^－３以上１×１０^２１ｃｍ^－３以下である。第２ｎ型不純物濃度は、例えば、４×１０^１９ｃｍ^－３以上２×１０^２０ｃｍ^－３以下である。第４ｎ型不純物濃度は、例えば、２×１０^１９ｃｍ^－３以上２×１０^２０ｃｍ^－３以下である。第３ｎ型不純物濃度は、例えば、１×１０^１８ｃｍ^－３以上２×１０^１９ｃｍ^－３以下である。第５ｎ型不純物濃度は、例えば、１×１０^１８ｃｍ^－３以上４×１０^１９ｃｍ^－３以下である。

【0031】

次に、第１層１２１ａの厚みｔ１、第２層１２１ｂの厚みｔ２、第４層１２１ｃの厚みｔ４、および第３層１２１ｄの厚みｔ３について説明する。ここで「厚み」とは、上下方向における各層の寸法を意味する。

【0032】

本実施形態では、各層の厚みの大小関係が、厚みｔ１＜厚みｔ４＜厚みｔ２＜厚みｔ３である。ただし、これらの厚みの大小関係は、上記に限定されない。例えば、厚みｔ４は、厚みｔ２以上であってもよい。また、例えば、厚みｔ２は、厚みｔ３以上であってもよい。

【0033】

第１層１２１ａの厚みｔ１は、例えば、０．１ｎｍ以上２ｎｍ以下である。第２層１２１ｂの厚みｔ２は、例えば、１０ｎｍ以上４０ｎｍ以下である。第４層１２１ｃの厚みｔ４は、例えば、１０ｎｍ以上３０ｎｍ以下である。第３層１２１ｄの厚みｔ３は、例えば、８０ｎｍ以上１５０ｎｍ以下である。

【0034】

次に、第１層１２１ａ、第２層１２１ｂ、第４層１２１ｃ、および第３層１２１ｄの機能を説明する。

【0035】

第１ｐ側半導体層１１４と第２ｎ側半導体層１２１とによるｐｎ接合部の近辺に、ｎ型不純物濃度が高い第１層１２１ａが配置されている。これにより、ｐｎ接合部の近辺のキャリア密度を高めることができるため、ｐｎ接合部における空乏層の幅が狭くなり電子がトンネリングし易くなる。

【0036】

また、第１層１２１ａにおけるＩｎの組成比の値を高めることで、第１層１２１ａのバンドギャップを小さくできる。例えば、図３に示すように、第１ｐ側半導体層１１４と第２ｎ側半導体層１２１とによるｐｎ接合部の近辺に、伝導帯においてエネルギー順位が低い部分が生じる。その結果、第１ｐ側半導体層１１４と第２ｎ側半導体層１２１との間においてトンネル効果が生じやすくなる。詳細は後述するが、発光素子１０に順方向電圧が印加された場合に、例えば、第１ｐ側半導体層１１４の価電子帯に存在する電子ｅが、第２ｎ側半導体層１２１の伝導帯にトンネリングし易くなる。

【0037】

また、半導体層において、Ｉｎの組成比の値が比較的高い場合やｎ型不純物濃度が比較的高い場合、半導体層の結晶性が悪くなり易い傾向がある。本実施形態では、第２層１２１ｂよりも、Ｉｎの組成比の値が大きく、かつ、ｎ型不純物濃度が高い第１層１２１ａの厚みｔ１を第２層１２１ｂよりも小さくすることで第１層１２１ａの結晶性が悪くなることを低減できる。

【0038】

一方、第２層１２１ｂにおける第２ｎ型不純物濃度を第１ｎ型不純物濃度よりも低くし、第２層１２１ｂの厚みｔ２を厚みｔ１よりも大きくすることで、第２層１２１ｂの結晶性の悪化を低減しつつ、第１ｐ側半導体層１１４と第２ｎ側半導体層１２１とによるｐｎ接合部の近辺におけるキャリア密度を高くすることができる。また、第２層１２１ｂに含まれるＩｎがサーファクタントとして機能するため、第２層１２１ｂにおける点欠陥の発生を低減することができる。これにより、第１ｐ側半導体層１１４に含まれるｐ型不純物が、第３層１２１ｄや第５層１２１ｅ等の第２層１２１ｂよりも上方に位置する半導体層に拡散することを低減できる。

【0039】

第２層１２１ｂの上にＡｌを含む第４層１２１ｃを形成することで、第１層１２１ａ等の第４層１２１ｃよりも下方の半導体層の形成時に生じた点欠陥を埋め込み、第４層１２１ｃの表面状態を平坦に近付けることができる。また、第４層１２１ｃの第４ｎ型不純物濃度を第２ｎ型不純物濃度以下とすることで、第２層１２１ｂにより、第１ｐ側半導体層１１４と第２ｎ側半導体層１２１とによるｐｎ接合部の近辺のキャリア密度を確保しつつ、第４層１２１ｃにより結晶性が悪くなることを低減できる。

【0040】

さらに、第４層１２１ｃよりも上方に、厚みｔ３が厚みｔ２よりも大きく、かつ、第３ｎ型不純物濃度が第２ｎ型不純物濃度よりも低い第３層１２１ｄを配置する。これにより、第１層１２１ａ等の第３層１２１ｄよりも下方の層の形成時に生じた点欠陥をさらに埋め込み、第３層１２１ｄの表面状態をさらに平坦に近づけることができる。これにより、第５層１２１ｅや第２活性層１２２等の第３層１２１ｄよりも上方に位置する半導体層の結晶性が悪くなることを低減できる。特に第２活性層１２２の結晶性が悪くなることを低減することで、発光効率を向上できる。

【0041】

ただし、第２ｎ側半導体層１２１の構成は、上記に限定されない。例えば、第２ｎ側半導体層１２１は、１以上のアンドープの半導体層をさらに含んでいてもよい。第２ｎ側半導体層１２１におけるアンドープの半導体層は、例えば、ＧａＮを含む。また、第２ｎ側半導体層１２１は、第４層１２１ｃを含んでいなくてもよい。

【0042】

第２活性層１２２は、例えば、複数の井戸層と複数の障壁層とを有する多重量子井戸構造を有する。複数の井戸層には、例えば窒化インジウムガリウム（ＩｎＧａＮ）を用いることができる。複数の障壁層には、例えばＧａＮを用いることができる。井戸層および障壁層は、例えば、アンドープの半導体層であってもよい。また、井戸層および障壁層の少なくとも一部にｎ型不純物および／またはｐ型不純物が含有されていてもよい。第２活性層１２２の上には、第２ｐ側半導体層１２３が配置されている。

【0043】

第２ｐ側半導体層１２３は、例えば、１以上のｐ型の半導体層を含む。第２ｐ側半導体層１２３におけるｐ型の半導体層は、例えば、ｐ型不純物であるＭｇがドープされたＧａＮを含む。第２ｐ側半導体層１２３におけるｐ型の半導体層は、Ａｌをさらに含んでもよい。

【0044】

また、第２ｐ側半導体層１２３は、第２活性層１２２にホールを供給するという機能を有していればよく、１以上のアンドープの半導体層をさらに含んでいてもよい。第２ｐ側半導体層１２３におけるアンドープの半導体層は、例えばＧａＮを含む。第２ｐ側半導体層１２３におけるアンドープの半導体層は、Ａｌをさらに含んでもよい。

【0045】

ｎ側電極１３は、図１に示すように、第１ｎ側半導体層１１２の第１面１１２ｓ１上に配置されている。ｎ側電極１３は、第１ｎ側半導体層１１２に電気的に接続されている。ｐ側電極１４は、第２ｐ側半導体層１２３上に配置されている。ｐ側電極１４は、第２ｐ側半導体層１２３に電気的に接続されている。ｎ側電極１３とｐ側電極１４との間に順方向電圧Ｖｆを印加することで第１活性層１１３および第２活性層１２２が発光する。

【0046】

第１活性層１１３および第２活性層１２２が発する光は、例えば、紫外光または可視光である。第１活性層１１３の発光ピーク波長と第２活性層１２２の発光ピーク波長と同じとすることができる。例えば、第１活性層１１３と第２活性層１２２が青色光を発してもよい。第１活性層１１３の発光ピーク波長と第２活性層１２２の発光ピーク波長は異なっていてもよい。例えば、第１活性層１１３が青色光を発し、第２活性層１２２が緑色光を発してもよい。青色光の発光ピーク波長は、例えば、４３０ｎｍ以上４９０ｎｍ以下である。緑色光の発光ピーク波長は、例えば、５００ｎｍ以上５４０ｎｍ以下である。紫外光の発光ピーク波長は、４００ｎｍ以下である。

【0047】

ｎ側電極１３とｐ側電極１４との間に順方向電圧Ｖｆが印加された場合、すなわち、ｐ側電極１４に正電位が、ｎ側電極１３にｐ側電極１４よりも低い電位が印加された場合、第２ｎ側半導体層１２１と第１ｐ側半導体層１１４との間には逆方向にバイアスがかかる。そのため、第２ｎ側半導体層１２１と第１ｐ側半導体層１１４との間に電流を流すために、第２ｎ側半導体層１２１が第１ｐ側半導体層１１４にトンネル接合されていることによるトンネル効果を利用する。具体的には、第１ｐ側半導体層１１４の価電子帯に存在する電子を、第２ｎ側半導体層１２１の伝導帯にトンネリングさせることで第２ｎ側半導体層１２１と第１ｐ側半導体層１１４との間に電流を流す。換言すれば、発光素子１０に順方向電圧Ｖｆを印加した場合に、第２ｎ側半導体層１２１と第１ｐ側半導体層１１４との間に電流が流れれば、第２ｎ側半導体層１２１が第１ｐ側半導体層１１４にトンネル接合されているということである。

【0048】

第１ｐ側半導体層１１４および第２ｎ側半導体層１２１においてｐｎ接合を形成するｐ型半導体層とｎ型半導体層に含まれる各導電型の不純物濃度を高くすることで、ｐｎ接合により形成される空乏層の幅を狭くすることができる。そして、空乏層の幅が狭いほど、電圧印加時に、第１ｐ側半導体層１１４の価電子帯に存在する電子が、第２ｎ側半導体層１２１の伝導帯にトンネリングし易くなる。

【0049】

次に、発光素子１０の製造方法を説明する。
図４は、本実施形態に係る発光素子１０の製造方法を示すフローチャートである。
図５は、第２ｎ側半導体層１２１を形成する工程Ｓ２１の詳細を示すフローチャートである。
図６は、本実施形態に係る発光素子１０の製造過程を説明するための断面図である。
図７は、本実施形態に係る発光素子１０の製造過程を説明するための断面図である。

【0050】

発光素子１０の製造方法は、図４に示すように、第１発光部１１０を形成する工程Ｓ１と、第２発光部１２０を形成する工程Ｓ２と、ｎ側電極１３およびｐ側電極１４を形成する工程Ｓ３と、を備える。

【0051】

半導体構造体１２に含まれる第１発光部１１０および第２発光部１２０は、例えば、圧力および温度の調整が可能な炉内において、ＭＯＣＶＤ（metal organic chemical vapor deposition）法により形成される。具体的には、半導体構造体１２は、炉内にキャリアガスおよび原料ガスを供給することで基板１１上に形成される。

【0052】

キャリアガスとしては、例えば、水素（Ｈ_２）ガスまたは窒素（Ｎ_２）ガス等を用いることができる。

【0053】

原料ガスは、形成する半導体層に応じて適宜選択される。Ｇａを含む半導体層を形成する場合は、例えば、トリメチルガリウム（ＴＭＧ）ガスまたはトリエチルガリウム（ＴＥＧ）ガス等のＧａを含む原料ガスが用いられる。Ｎを含む半導体層を形成する場合は、例えば、アンモニア（ＮＨ_３）ガス等のＮを含む原料ガスが用いられる。Ａｌを含む半導体層を形成する場合は、例えば、トリメチルアルミニウム（ＴＭＡ）ガス等のＡｌを含む原料ガスが用いられる。Ｉｎを含む半導体層を形成する場合は、例えば、トリメチルインジウム（ＴＭＩ）等のＩｎを含む原料ガスが用いられる。Ｓｉを含む半導体層を形成する場合は、例えば、モノシラン（ＳｉＨ_４）ガス等のＳｉを含むガスが用いられる。Ｍｇを含む半導体層を形成する場合は、例えば、ビスシクロペンタジエニルマグネシウム（Ｃｐ_２Ｍｇ）ガス等のＭｇを含む原料ガスが用いられる。なお、以下において、炉内に、一の元素を含む原料ガスおよび他の元素を含む原料ガスを供給することを、単に「一の元素および他の元素を含む原料ガスを供給する」ともいう。以下、各工程について詳述する。

【0054】

先ず、第１発光部１１０を形成する工程Ｓ１を行う。
第１発光部１１０を形成する工程Ｓ１は、下地層１１１を形成する工程Ｓ１１と、第１ｎ側半導体層１１２を形成する工程Ｓ１２と、第１活性層１１３を形成する工程Ｓ１３と、第１ｐ側半導体層１１４を形成する工程Ｓ１４と、を含む。

【0055】

下地層１１１を形成する工程Ｓ１１においては、炉内に、下地層１１１に対応するキャリアガスおよび原料ガスを供給する。これにより、下地層１１１を基板１１上に形成する。

【0056】

第１ｎ側半導体層１１２を形成する工程Ｓ１２においては、炉内に、第１ｎ側半導体層１１２に対応するキャリアガスおよび原料ガスを供給する。これにより、第１ｎ側半導体層１１２を下地層１１１上に形成する。

【0057】

第１活性層１１３を形成する工程Ｓ１３は、炉内に、第１活性層１１３に対応するキャリアガスおよび原料ガスを供給する。これにより、第１活性層１１３を第１ｎ側半導体層１１２上に形成する。

【0058】

第１ｐ側半導体層１１４を形成する工程Ｓ１４においては、炉内に、第１ｐ側半導体層１１４に対応するキャリアガスおよび原料ガスを供給する。これにより、第１ｐ側半導体層１１４を第１活性層１１３の上に形成する。

【0059】

以上により、図６に示すように、下地層１１１、第１ｎ側半導体層１１２、第１活性層１１３、および第１ｐ側半導体層１１４を含む第１発光部１１０を、基板１１上に形成する。

【0060】

次に、第２発光部１２０を形成する工程Ｓ２を行う。
第２発光部１２０を形成する工程Ｓ２は、図４に示すように、第２ｎ側半導体層１２１を形成する工程Ｓ２１と、第２活性層１２２を形成する工程Ｓ２２と、第２ｐ側半導体層１２３を形成する工程Ｓ２３と、を含む。

【0061】

第２ｎ側半導体層１２１を形成する工程Ｓ２１は、図５に示すように本実施形態では、第１層１２１ａを形成する工程Ｓ２１ａと、第２層１２１ｂを形成する工程Ｓ２１ｂと、第４層１２１ｃを形成する工程Ｓ２１ｃと、第３層１２１ｄを形成する工程Ｓ２１ｄと、第５層１２１ｅを形成する工程Ｓ２１ｅと、を含む。

【0062】

第１層１２１ａを形成する工程Ｓ２１ａにおいては、キャリアガスと、Ｉｎ、ＧａおよびＮを含む原料ガスと、ｎ型不純物であるＳｉを含む原料ガスと、を供給する。これにより、ＳｉがドープされたＩｎＧａＮ層からなる第１層１２１ａを、第１ｐ側半導体層１１４上に形成する。

【0063】

第２層１２１ｂを形成する工程Ｓ２１ｂにおいては、キャリアガスと、Ｉｎ、ＧａおよびＮを含む原料ガスと、ｎ型不純物であるＳｉを含む原料ガスと、を供給する。これにより、ＳｉがドープされたＩｎＧａＮ層からなる第２層１２１ｂを、第１層１２１ａ上に形成する。この際、第２層１２１ｂにおけるＩｎの組成比の値が第１層１２１ａにおけるＩｎの組成比の値よりも低くなり、かつ、第２ｎ型不純物濃度が第１ｎ型不純物濃度よりも低くなるように、Ｉｎを含む原料ガス、Ｇａを含む原料ガス、Ｎを含む原料ガス、およびＳｉを含む原料ガスのそれぞれの流量を調整する。また、第２層１２１ｂの厚みｔ２が第１層１２１ａの厚みｔ１よりも大きくなるように形成する。なお、各半導体層の厚みは、例えば、半導体層を形成する時間を適宜変更することで調整することができる。

【0064】

第４層１２１ｃを形成する工程Ｓ２１ｃにおいては、キャリアガスと、Ａｌ、Ｇａ、およびＮを含む原料ガスと、ｎ型不純物であるＳｉを含む原料ガスと、を供給する。これにより、ＳｉがドープされたＡｌＧａＮ層からなる第４層１２１ｃを、第２層１２１ｂ上に形成する。この際、第４ｎ型不純物濃度が第２ｎ型不純物濃度以下となるように、Ａｌを含む原料ガス、Ｇａを含む原料ガス、Ｎを含む原料ガス、およびＳｉを含む原料ガスのそれぞれの流量を調整する。ただし、前述したように、第４ｎ型不純物濃度は第２ｎ型不純物濃度よりも高くてもよい。また、第４層１２１ｃの厚みｔ４が第１層１２１ａの厚みｔ１よりも大きく、かつ、第２層１２１ｂの厚みｔ２よりも小さくなるように形成する。ただし、前述したように、厚みｔ４は厚みｔ２以上であってもよい。

【0065】

第３層１２１ｄを形成する工程Ｓ２１ｄにおいては、キャリアガスと、ＧａおよびＮを含む原料ガスと、ｎ型不純物であるＳｉを含む原料ガスと、を供給する。これにより、ＳｉがドープされたＧａＮ層からなる第３層１２１ｄを、第４層１２１ｃ上に形成する。この際、第３ｎ型不純物濃度が第２ｎ型不純物濃度および第４ｎ型不純物濃度より低くなるように、Ｇａを含む原料ガス、Ｎを含む原料ガス、およびＳｉを含む原料ガスのそれぞれの流量を調整する。また、第３層１２１ｄの厚みｔ３が第２層１２１ｂの厚みｔ２よりも大きくなるように形成する。ただし、前述したように、厚みｔ３は厚みｔ２以下であってもよい。

【0066】

第５層１２１ｅを形成する工程Ｓ２１ｅにおいては、ｎ型不純物であるＳｉがドープされたＧａＮ層と、ｎ型不純物であるＳｉがドープされたＩｎＧａＮ層と、が交互に、第３層１２１ｄ上に形成される。ＳｉがドープされたＧａＮ層は、炉内に、キャリアガスと、ＧａおよびＮを含む原料ガスと、Ｓｉを含む原料ガスと、を供給することにより形成される。ＳｉがドープされたＩｎＧａＮ層は、炉内に、キャリアガスと、Ｉｎ、Ｇａ、およびＮを含む原料ガスと、Ｓｉを含む原料ガスと、を供給することにより形成される。

【0067】

第２活性層１２２を形成する工程Ｓ２２は、炉内に、第２活性層１２２に対応するキャリアガスおよび原料ガスを供給する。これにより、第２活性層１２２を第２ｎ側半導体層１２１上に形成する。

【0068】

第２ｐ側半導体層１２３を形成する工程Ｓ２３においては、炉内に、第２ｐ側半導体層１２３に対応するキャリアガスおよび原料ガスを供給する。これにより、第２ｐ側半導体層１２３を第２活性層１２２の上に形成する。

【0069】

以上により、図７に示すように、第２ｎ側半導体層１２１、第２活性層１２２、および第２ｐ側半導体層１２３を含む第２発光部１２０を、第１発光部１１０上に形成する。

【0070】

次に、ｎ側電極１３およびｐ側電極１４を形成する工程Ｓ３を行う。
ｎ側電極１３およびｐ側電極１４を形成する工程Ｓ３では、先ず、図１に示すように、半導体構造体１２の一部を除去して、第１ｎ側半導体層１１２の第１面１１２ｓ１および第３面１１２ｓ３を、第１活性層１１３、第１ｐ側半導体層１１４、および第２発光部１２０から露出させる。半導体構造体１２の一部は、例えば、レジストを用いて選択的にエッチングすることにより除去することができる。

【0071】

次に、露出した第１面１１２ｓ１の上にｎ側電極１３を形成する。また、第２ｐ側半導体層１２３上にｐ側電極１４を形成する。ｎ側電極１３およびｐ側電極１４は、例えば、スパッタリング法または蒸着法により形成することができる。

【0072】

以上により、発光素子１０を得ることができる。ただし、発光素子１０の製造方法は、上記の方法に限定されない。例えば、発光素子１０の製造方法は、下地層１１１を形成する工程Ｓ１１を含まず、基板１１上に第１ｎ側半導体層１１２が直接形成されてもよい。

【0073】

次に、本実施形態の効果を説明する。
本実施形態に係る発光素子１０は、下方から上方に向かって順に、それぞれが窒化物半導体からなる、第１ｎ側半導体層１１２と、第１活性層１１３と、第１ｐ側半導体層１１４と、第１ｐ側半導体層１１４に接する第２ｎ側半導体層１２１と、第２活性層１２２と、第２ｐ側半導体層１２３と、を備える。第２ｎ側半導体層１２１は、下方から上方に向かって順に、第１層１２１ａと、第２層１２１ｂと、第３層１２１ｄと、を有する。第１層１２１ａは、ＩｎおよびＧａを含み、第１ｎ型不純物濃度を有する。第２層１２１ｂは、ＩｎおよびＧａを含み、第１ｎ型不純物濃度よりも低い第２ｎ型不純物濃度を有する。第２層１２１ｂにおけるＩｎの組成比の値は、第１層１２１ａにおけるＩｎの組成比の値よりも小さい。第２層１２１ｂの厚みｔ２は、第１層１２１ａの厚みｔ１よりも大きい。第３層１２１ｄは、Ｇａを含み、第２ｎ型不純物濃度よりも低い第３ｎ型不純物濃度を有する。

【0074】

第１層１２１ａにおけるＩｎの組成比を高くし、第１ｎ型不純物濃度を高くすることで、発光素子１０に順方向電圧Ｖｆを印加した場合に、第２ｎ側半導体層１２１と第１ｐ側半導体層１１４との間に電流が流れやすくなる。また、第１層１２１ａの厚みｔ１を小さくすることで、第１層１２１ａの結晶性が悪くなることを低減できる。一方、第２層１２１ｂにおけるＩｎの組成比を第１層１２１ａにおけるＩｎの組成比よりも低くし、第２ｎ型不純物濃度を第１ｎ型不純物濃度よりも低くし、第２層１２１ｂの厚みｔ２を第１層１２１ａの厚みｔ１よりも大きくしている。これにより、第２層１２１ｂの結晶性の悪化を低減しつつ、第１ｐ側半導体層１１４と第２ｎ側半導体層１２１とによるｐｎ接合部の近辺におけるキャリア密度を高くすることができる。また、第２層１２１ｂにおける点欠陥の発生を低減し、第１ｐ側半導体層１１４に含まれるｐ型不純物が、第３層１２１ｄ等の第２層１２１ｂよりも上方に位置する半導体層に拡散することを低減できる。その結果、順方向電圧Ｖｆを低減できる。また、第３層１２１ｄを第２層１２１ｂ上に形成し、第３ｎ型不純物濃度を第２ｎ型不純物濃度よりも低くすることで、結晶性をさらに改善できる。そのため、第３層１２１ｄよりも上方に形成する第２活性層１２２等の結晶性が悪くなることを低減できる。

【0075】

また、第２層１２１ｂの厚みｔ２は、第３層１２１ｄの厚みｔ３よりも小さい。そのため、第２層１２１ｂの結晶性が悪くなることを低減できるとともに、第１層１２１ａ等の第３層１２１ｄよりも下方の半導体層の形成時に生じた点欠陥を第３層１２１ｄにより埋め込み易くできる。これにより、結晶性を改善し、第３層１２１ｄの表面状態を平坦に近付けることができる。そのため、第３層１２１ｄよりも上方に形成する第２活性層１２２等の半導体層の結晶性が悪くなることを低減できる。

【0076】

また、第２ｎ側半導体層１２１は、第２層１２１ｂと第３層１２１ｄとの間に配置された第４層１２１ｃをさらに有する。第４層１２１ｃは、ＡｌおよびＧａを含み、第３ｎ型不純物濃度よりも高い第４ｎ型不純物濃度を有する。このようなＡｌを含む第４層１２１ｃにより、第４層１２１ｃよりも下方の半導体層の形成時に生じた点欠陥を埋め込み、第４層１２１ｃの表面状態を平坦に近付けることができる。これにより、第４層１２１ｃよりも上方に形成する半導体層の結晶性が悪くなることを低減できる。

【0077】

また、第４ｎ型不純物濃度は、第２ｎ型不純物濃度以下である。そのため、第１ｐ側半導体層１１４と第２ｎ側半導体層１２１とによるｐｎ接合部の近辺のキャリア密度を第２層１２１ｂにより確保しつつ、第４層１２１ｃにより結晶性が悪くなることを低減できる。

【0078】

＜実施例＞
次に、実施例および参考例について説明する。
図８は、参考例に係る発光素子９０の第２ｎ側半導体層９２１の層構成を示す断面図である。
実施例に係る発光素子１０および参考例に係る発光素子９０を作成した。実施例に係る発光素子１０は、図１および図２に示す発光素子１０と同様の層構成を有する。

【0079】

参考例に係る発光素子９０は、図２に示す第１層１２１ａ、第２層１２１ｂ、および第４層１２１ｃを、ＳｉがドープされたＧａＮ層（以下、「最下層９２１ａ」という）に置き換えた点で実施例に係る発光素子１０と相違し、その他の層構成は発光素子１０と共通するように作成した。以下、各発光素子１０、９０の製造方法について詳述する。

【0080】

先ず、サファイアからなる基板１１上に、アンドープのＧａＮ層を含む厚み約３μｍの下地層１１１を形成した。

【0081】

次に、下地層１１１上に、ＳｉがドープされたＧａＮ層と、アンドープのＧａＮ層とを含む厚み約９μｍの第１ｎ側半導体層１１２を形成した。

【0082】

次に、第１ｎ側半導体層１１２上に、アンドープのＧａＮ層を含む複数の障壁層と、アンドープのＩｎＧａＮ層を含む複数の井戸層と、を含む厚み約５５ｎｍの第１活性層１１３を形成した。第１活性層１１３は、障壁層と井戸層のペアを７組含むように形成した。

【0083】

次に、第１活性層１１３上にＭｇがドープされたＧａＮ層を含む厚み約８５ｎｍの第１ｐ側半導体層１１４を形成した。

【0084】

次に、第１ｐ側半導体層１１４上に、参考例においては第２ｎ側半導体層９２１を形成し、実施例においては第２ｎ側半導体層１２１を形成した。

【0085】

参考例における第２ｎ側半導体層９２１は、図８に示すように、下方から上方に向かって順に、最下層９２１ａと、第３層１２１ｄと、第５層１２１ｅと、を有する。最下層９２１ａは、ＳｉがドープされたＧａＮ層からなり、その厚みｔ９１は約３５ｎｍである。第３層１２１ｄは、ＳｉがドープされたＧａＮ層からなり、その厚みｔ３は約１００ｎｍである。第３層１２１ｄの第３ｎ型不純物濃度は、最下層９２１ａのｎ型不純物濃度よりも低くした。最下層９２１ａのｎ型不純物濃度は、実施例における第２層１２１ｂの第２ｎ型不純物濃度と同じになるようにした。第５層１２１ｅは、ＳｉがドープされたＧａＮ層と、ＳｉがドープされたＩｎＧａＮ層と、が交互に積層された積層体を含み、その厚みは約５６ｎｍである。

【0086】

実施例における第２ｎ側半導体層１２１は、図２に示すように、下方から上方に向かって順に、第１層１２１ａと、第２層１２１ｂと、第４層１２１ｃと、第３層１２１ｄと、第５層１２１ｅと、を有する。

【0087】

第１層１２１ａは、ＳｉがドープされたＩｎＧａＮ層からなり、その厚みｔ１は約１ｎｍである。第１層１２１ａのＩｎの組成比の値は、約３５％とした。

【0088】

第２層１２１ｂは、ＳｉがドープされたＩｎＧａＮ層からなり、その厚みｔ２は約２０ｎｍである。第２層１２１ｂのＩｎの組成比の値は、約１％とした。第２層１２１ｂの第２ｎ型不純物濃度は、第１層１２１ａの第１ｎ型不純物濃度よりも低くした。

【0089】

第４層１２１ｃは、ＳｉがドープされたＡｌＧａＮ層からなり、その厚みｔ４は約１５ｎｍとした。第４層１２１ｃの第４ｎ型不純物濃度は、第２層１２１ｂの第２ｎ型不純物濃度と同じになるようにした。

【0090】

実施例における第３層１２１ｄは参考例における第３層１２１ｄと同様に形成し、実施例における第５層１２１ｅは参考例における第５層１２１ｅと同様に形成した。

【0091】

次に、第２ｎ側半導体層１２１、９２１上に、アンドープのＧａＮ層を含む複数の障壁層と、アンドープのＩｎＧａＮ層を含む複数の井戸層と、を含む厚み約５５ｎｍの第２活性層１２２を形成した。第２活性層１２２は、障壁層と井戸層のペアを７組含むように形成した。

【0092】

次に、第２活性層１２２上に、ＭｇがドープされたＧａＮ層を含む厚み約１１５ｎｍの第２ｐ側半導体層１２３を形成した。

【0093】

次に、第１ｎ側半導体層１１２、第１活性層１１３、第１ｐ側半導体層１１４、第２ｎ側半導体層１２１、９２１、第２活性層１２２、および第２ｐ側半導体層１２３の一部を除去して、露出した第１ｎ側半導体層１１２上にｎ側電極１３を形成し、第２ｐ側半導体層上にｐ側電極１４を形成した。

【0094】

図９Ａは、参考例に係る発光素子９０および実施例に係る発光素子１０の順方向電圧Ｖｆと基準となる順方向電圧Ｖｆｒｅｆとの差ΔＶｆを示すグラフである。
図９Ｂは、参考例に係る発光素子９０および実施例に係る発光素子１０の各出力Ｐｏを正規化した値Ｐｏ／Ｐｏｒｅｆを示すグラフである。

【0095】

参考例に係る発光素子９０および実施例に係る発光素子１０の順方向電圧Ｖｆをそれぞれ測定した。その結果を図９Ａに示す。なお、図９Ａの縦軸は、参考例における順方向電圧Ｖｆを基準となる順方向電圧Ｖｆｒｅｆとし、測定した各順方向電圧Ｖｆから基準となる順方向電圧Ｖｆｒｅｆを減算した値である。すなわち、ΔＶｆ＝Ｖｆ－Ｖｆｒｅｆである。

【0096】

また、参考例および実施例に係る発光素子の出力Ｐｏをそれぞれ測定した。その結果を図９Ｂに示す。なお、図９Ｂの縦軸は、参考例における出力Ｐｏを基準となる出力Ｐｏｒｅｆとし、測定した各出力Ｐｏを基準となる出力Ｐｏｒｅｆで除算することにより、正規化した値である。

【0097】

図９Ａに示すように、実施例に係る発光素子１０の順方向電圧Ｖｆは、参考例に係る発光素子９０の順方向電圧Ｖｆよりも低い。そして、図９Ｂに示すように、実施例に係る発光素子１０の出力Ｐｏは、参考例に係る発光素子９０の出力Ｐｏと概ね同等である。したがって、第２ｎ側半導体層１２１に第１層１２１ａ、第２層１２１ｂ、および第４層１２１ｃを配置することで、出力Ｐｏを維持しつつ、順方向電圧Ｖｆを低減できることが分かった。

【符号の説明】

【0098】

１０、９０ ：発光素子
１１ ：基板
１２ ：半導体構造体
１３ ：ｎ側電極
１４ ：ｐ側電極
１１０ ：第１発光部
１１１ ：下地層
１１２ ：第１ｎ側半導体層
１１２ｓ１ ：第１面
１１２ｓ２ ：第２面
１１２ｓ３ ：第３面
１１３ ：第１活性層
１１４ ：第１ｐ側半導体層
１２０ ：第２発光部
１２１、９２１：第２ｎ側半導体層
１２１ａ ：第１層
１２１ｂ ：第２層
１２１ｃ ：第４層
１２１ｄ ：第３層
１２１ｅ ：第５層
１２２ ：第２活性層
１２３ ：第２ｐ側半導体層
９２１ａ ：最下層
ｅ ：電子
ｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４、ｔ９１：厚み

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9A】

【図9B】