特許 7529180 脱気装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-07-29

(45)【発行日】2024-08-06

(54)【発明の名称】脱気装置

(51)【国際特許分類】

   B01D 19/00 20060101AFI20240730BHJP

   B01D 61/00 20060101ALI20240730BHJP

【ＦＩ】

B01D19/00 H

B01D61/00

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2024515455

(86)(22)【出願日】2023-06-22

(86)【国際出願番号】 JP2023023202

(87)【国際公開番号】W WO2024004827

(87)【国際公開日】2024-01-04

【審査請求日】2024-03-08

(31)【優先権主張番号】P 2022102627

(32)【優先日】2022-06-27

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000002886

【氏名又は名称】ＤＩＣ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128381

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 義憲

(74)【代理人】

【識別番号】100185591

【弁理士】

【氏名又は名称】中塚 岳

(74)【代理人】

【識別番号】100130052

【弁理士】

【氏名又は名称】大阪 弘一

(72)【発明者】

【氏名】菅沼 洋平

(72)【発明者】

【氏名】川島 和保

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 明

(72)【発明者】

【氏名】布施 貴章

【審査官】壷内 信吾

(56)【参考文献】

【文献】特開２００４－２３０３７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１８－５２０８４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－０７０７０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１８１１１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－１６１７２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－０９５５２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－０５８６５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－０１０２１９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０１Ｄ １９／００－１９／０４

Ｂ０１Ｄ ５３／２２，６１／００－７１／８２

Ｃ０２Ｆ １／４４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

流体流通空間と減圧空間との間を仕切るガス透過性を有するチューブユニットを有する脱気モジュールと、
前記脱気モジュールに接続されて前記脱気モジュールの前記減圧空間に連通される真空配管と、
前記真空配管に接続されて前記真空配管を介して前記減圧空間内の気体を外部に排出するように構成された排出装置と、を備え、
前記真空配管は、
前記減圧空間に連通されて前記脱気モジュールから前記排出装置に至る吸引管部と、
前記吸引管部から分岐して先端部が閉塞されたバッファ管部と、を有する、
脱気装置。

【請求項2】

前記吸引管部から前記バッファ管部が分岐するバッファ分岐部は、前記脱気モジュールから前記排出装置に至る前記気体の流れ方向における前記脱気モジュールの下流側に位置する、
請求項１に記載の脱気装置。

【請求項3】

前記減圧空間の減圧度を検出するための検出器を更に備え、
前記真空配管は、吸引管部から分岐して前記検出器に接続される検出配管部を更に有する、
請求項１又は２に記載の脱気装置。

【請求項4】

前記吸引管部から前記検出配管部が分岐する検出分岐部は、前記脱気モジュールから前記排出装置に至る前記気体の流れ方向における、前記吸引管部から前記バッファ管部が分岐するバッファ分岐部の上流側に位置する、
請求項３に記載の脱気装置。

【請求項5】

前記バッファ管部の内径は、前記吸引管部の内径と同じである、
請求項１又は２に記載の脱気装置。

【請求項6】

前記バッファ管部の長さは、前記吸引管部の前記脱気モジュールから前記排出装置に至る経路の長さの５％以上３０％以下である、
請求項１又は２に記載の脱気装置。

【請求項7】

前記バッファ管部の長さは、前記バッファ管部の内径の１０００％以上１６００％以下である、
請求項１又は２に記載の脱気装置。

【請求項8】

前記バッファ管部の前記先端部に着脱可能に装着されて前記バッファ管部の前記先端部を閉塞する栓を更に備える、
請求項１又は２に記載の脱気装置。

【請求項9】

前記栓は、前記バッファ管部に圧入される挿入部を有する、
請求項８記載の脱気装置。

【請求項10】

前記脱気モジュールは、前記吸引管部に圧入される排出ノズル部を有し、
前記挿入部と前記バッファ管部との密着力は、前記排出ノズル部と前記吸引管部との密着力よりも小さい、
請求項９に記載の脱気装置。

【請求項11】

前記脱気モジュールは、前記吸引管部に圧入される排出ノズル部を有し、
前記挿入部の外周長は、前記排出ノズル部の外周長よりも小さい、
請求項９に記載の脱気装置。

【請求項12】

前記脱気モジュールは、前記吸引管部に圧入される円柱状の排出ノズル部を有し、
前記挿入部は、円柱状に形成されており、
前記挿入部の外径は、前記排出ノズル部の外径よりも小さい、
請求項９に記載の脱気装置。

【請求項13】

前記脱気モジュールは、前記吸引管部に圧入される排出ノズル部を有し、
前記挿入部の長さは、前記排出ノズル部の長さよりも短い、
請求項９に記載の脱気装置。

【請求項14】

前記脱気モジュールは、前記吸引管部に圧入される排出ノズル部を有し、
前記バッファ管部に対する前記挿入部の圧入長さは、前記吸引管部に対する前記排出ノズル部の圧入長さよりも短い、
請求項９に記載の脱気装置。

【請求項15】

前記真空配管の少なくとも一部は、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物である、
請求項１又は２に記載の脱気装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、脱気装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、液体クロマトグラフィ装置等に用いられる脱気装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】国際公開第２００７／０９４２４２号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の脱気装置は、チューブユニットが設けられた脱気モジュール内の減圧空間と排出装置（ポンプ）とが真空配管により連通されており、排出装置を作動させることでチューブユニットを流通する液体を脱気するように構成されている。しかしながら、排出装置を作動すると、真空配管内及び減圧空間内において吸引圧力の脈動が生じる。脱気モジュールでは、かかる脈動によりチューブユニットの膨張と収縮とが繰り返されるため、チューブユニットの容積が増減して、チューブユニットを流れる液体の流量及び流速に乱れが生じる。その結果、検査等に影響を与えてしまうことがある。

【0005】

そこで、本発明の一側面は、脱気モジュールの減圧空間内に生じる吸引圧力の脈動を低減して、チューブユニットを流れる液体の流量及び流速の乱れを抑制することができる脱気装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

［１］ 本発明の一側面に係る脱気装置は、流体流通空間と減圧空間との間を仕切るガス透過性を有するチューブユニットを有する脱気モジュールと、脱気モジュールに接続されて脱気モジュールの減圧空間に連通される真空配管と、真空配管に接続されて真空配管を介して減圧空間内の気体を外部に排出するように構成された排出装置と、を備え、真空配管は、減圧空間に連通されて脱気モジュールから排出装置に至る吸引管部と、吸引管部から分岐して先端部が閉塞されたバッファ管部と、を有する。

【0007】

この脱気装置では、真空配管の吸引管部を介して脱気モジュールの減圧空間と排出装置とが連通されているため、排出装置の作動に伴い、吸引管部内及び及び減圧空間内において吸引圧力の脈動が生じる。しかしながら、真空配管が、減圧空間に連通されて脱気モジュールから排出装置に至る吸引管部に加えて、吸引管部から分岐して先端部が閉塞されたバッファ管部を有するため、この吸引圧力の脈動がバッファ管部内にも波及することで、吸引管部内及び及び減圧空間内に生じる吸引圧力の脈動が低減される。これにより、脱気モジュールのチューブユニットを流れる液体の流量及び流速の乱れを抑制することができる。しかも、バッファ管部が吸引管部から分岐しているため、吸引管部を長くしなくてもバッファ管部を設けることができる。これにより、減圧空間から排出装置に至る気体の圧力損失の増大を抑制することができるため、排出装置の排出効率が低下するのを抑制することができる。また、吸引管部の取り回しを容易に行うことができる。

【0008】

［２］ ［１］に記載の脱気装置において、吸引管部からバッファ管部が分岐するバッファ分岐部は、脱気モジュールから排出装置に至る気体の流れ方向における脱気モジュールの下流側に位置してもよい。この脱気装置では、バッファ分岐部が、脱気モジュールから排出装置に至る気体の流れ方向における脱気モジュールの下流側に位置することで、吸引管部内に生じる吸引圧力の脈動が減圧空間に波及する前に、バッファ管部により当該脈動を抑制することができる。これにより、減圧空間内に生じる吸引圧力の脈動をより一層低減することができる。

【0009】

［３］ ［１］又は［２］に記載の脱気装置において、減圧空間の減圧度を検出するための検出器を更に備え、真空配管は、吸引管部から分岐して検出器に接続される検出配管部を更に有してもよい。この脱気装置では、吸引管部から分岐する検出配管部に減圧空間の減圧度を検出するための検出器が接続されていることで、減圧空間の減圧度を適切に検出することができる。また、検出配管部がバッファ管部とは別に設けられることで、検出器による制約を受けることなくバッファ管部の位置、形状等を設計することができる。

【0010】

［４］ ［３］に記載の脱気装置において、吸引管部から検出配管部が分岐する検出分岐部は、脱気モジュールから排出装置に至る気体の流れ方向における、吸引管部からバッファ管部が分岐するバッファ分岐部の上流側に位置してもよい。この脱気装置では、検出分岐部が、脱気モジュールから排出装置に至る気体の流れ方向におけるバッファ分岐部の上流側に位置することで、吸引管部内に生じる吸引圧力の脈動が検出配管部に波及する前に、バッファ管部により当該脈動を低減することができる。これにより、検出器の検出精度を向上することができる。

【0011】

［５］ ［１］～［４］の何れか一つに記載の脱気装置において、バッファ管部の内径は、吸引管部の内径と同じであってもよい。この脱気装置では、バッファ管部の内径が吸引管部の内径と同じであることで、真空配管を容易に製造することができる。

【0012】

［６］ ［１］～［５］の何れか一つに記載の脱気装置において、バッファ管部の長さは、吸引管部の脱気モジュールから排出装置に至る経路の長さの５％以上３０％以下であってもよい。この脱気装置では、バッファ管部の長さが吸引管部の脱気モジュールから排出装置に至る経路の長さの５％以上３０％以下であることで、バッファ管部の取り回しを容易に行うことができるとともに、吸引管部内に生じる吸引圧力の脈動を適切に低減することができる。

【0013】

［７］ ［１］～［６］の何れか一つに記載の脱気装置において、バッファ管部の長さは、バッファ管部の内径の１０００％以上１６００％以下であってもよい。この脱気装置では、バッファ管部の長さがバッファ管部の内径の１０００％以上１６００％以下であることで、バッファ管部の取り回しを容易に行うことができるとともに、吸引管部内に生じる吸引圧力の脈動を適切に低減することができる。

【0014】

［８］ ［１］～［７］の何れか一つに記載の脱気装置において、バッファ管部の先端部に着脱可能に装着されてバッファ管部の先端部を閉塞する栓を更に備えてもよい。この脱気装置では、バッファ管部の先端部を閉塞する栓を備えることで、バッファ管部の先端部を容易に閉塞することができる。ところで、メンテナンス等において誤って排出装置の排気口側に吸引管部が接続され、この状態で排出装置が作動すると、吸引管部及び減圧空間が高い圧力に加圧される。吸引管部及び減圧空間が高い圧力に加圧されると、減圧空間の減圧度を検出する検出器、吸引管部等が破損したり、脱気モジュールから吸引管部が抜けたりする可能性がある。しかしながら、栓は、バッファ管部の先端部に着脱可能に装着されているため、吸引管部及び減圧空間が高い圧力に加圧されると、バッファ管部の先端部から栓が抜けて、吸引管部及び減圧空間が大気開放される。このように、栓が安全弁として機能することで、検出器、吸引管部等の破損、脱気モジュールからの吸引管部の抜けを抑制することができる。

【0015】

［９］ ［８］に記載の脱気装置において、栓は、バッファ管部に圧入される挿入部を有してもよい。この脱気装置では、栓がバッファ管部に圧入される挿入部を有することで、バッファ管部の先端部を適切に閉塞することができる。

【0016】

［１０］ ［９］に記載の脱気装置において、脱気モジュールは、吸引管部に圧入される排出ノズル部を有し、挿入部とバッファ管部との密着力は、排出ノズル部と吸引管部との密着力よりも小さくてもよい。この脱気装置では、挿入部とバッファ管部との密着力が排出ノズル部と吸引管部との密着力よりも小さいことで、吸引管部及び減圧空間が高い圧力に加圧された際に、吸引管部から排出ノズル部が抜けるよりも先にバッファ管部から挿入部が抜けやすくすることができる。このため、栓の安全弁としての機能を更に向上することができる。

【0017】

［１１］ ［９］又は［１０］に記載の脱気装置において、脱気モジュールは、吸引管部に圧入される排出ノズル部を有し、挿入部の外周長は、排出ノズル部の外周長よりも小さくてもよい。この脱気装置では、挿入部の外周長が排出ノズル部の外周長よりも小さいことで、挿入部とバッファ管部との密着力を排出ノズル部と吸引管部との密着力よりも小さくすることができる。これにより、吸引管部及び減圧空間が高い圧力に加圧された際に、吸引管部から排出ノズル部が抜けるよりも先にバッファ管部から挿入部が抜けやすくすることができる。

【0018】

［１２］ ［９］～［１１］の何れか一つに記載の脱気装置において、脱気モジュールは、吸引管部に圧入される円柱状の排出ノズル部を有し、挿入部は、円柱状に形成されており、挿入部の外径は、排出ノズル部の外径よりも小さくてもよい。この脱気装置では、挿入部の外径が排出ノズル部の外径よりも小さいことで、挿入部とバッファ管部との密着力を排出ノズル部と吸引管部との密着力よりも小さくすることができる。これにより、吸引管部及び減圧空間が高い圧力に加圧された際に、吸引管部から排出ノズル部が抜けるよりも先に、バッファ管部から挿入部が抜けやすくすることができる。

【0019】

［１３］ ［９］～［１２］の何れか一つに記載の脱気装置において、脱気モジュールは、吸引管部に圧入される排出ノズル部を有し、挿入部の長さは、排出ノズル部の長さよりも短くてもよい。この脱気装置では、挿入部の長さが排出ノズル部の長さよりも短いことで、挿入部及び排出ノズル部の全体がバッファ管部及び吸引管部に圧入された際に、挿入部とバッファ管部との密着力を排出ノズル部と吸引管部との密着力よりも小さくすることができる。これにより、吸引管部及び減圧空間が高い圧力に加圧された際に、吸引管部から排出ノズル部が抜けるよりも先に、バッファ管部から挿入部が抜けやすくすることができる。

【0020】

［１４］ ［９］～［１３］の何れか一つに記載の脱気装置において、脱気モジュールは、吸引管部に圧入される排出ノズル部を有し、バッファ管部に対する挿入部の圧入長さは、吸引管部に対する排出ノズル部の圧入長さよりも短くてもよい。この脱気装置では、バッファ管部に対する挿入部の圧入長さが吸引管部に対する排出ノズル部の圧入長さよりも短いことで、挿入部とバッファ管部との密着力を排出ノズル部と吸引管部との密着力よりも小さくすることができる。これにより、吸引管部及び減圧空間が高い圧力に加圧された際に、吸引管部から排出ノズル部が抜けるよりも先に、バッファ管部から挿入部が抜けやすくすることができる。

【0021】

［１５］ ［１］～［１４］の何れか一つに記載の脱気装置において、真空配管の少なくとも一部は、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物であってもよい。この脱気装置では、真空配管の少なくとも一部がポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物であることで、耐溶剤性、耐薬品性、及び耐久性に優れるものとすることができる。また、気体透過性を低くすることができるとともに、真空配管の抜けを抑制することができる。しかも、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物の伸縮性により、吸引管部内に生じる吸引圧力の脈動に応じて吸引管部が膨張及び伸縮する。これにより、吸引管部内及び及び減圧空間内に生じる吸引圧力の脈動をより一層低減することができる。

【発明の効果】

【0022】

本発明の一側面によれば、脱気モジュールの減圧空間内に生じる吸引圧力の脈動を低減して、チューブユニットを流れる液体の流量及び流速の乱れを抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係る脱気装置を示す模式的な概略平面図である。

【図2】図２は、図１に示す脱気装置の模式的な概略側面図である。

【図3】図３は、図１に示す脱気装置に搭載される脱気モジュールの一例を示す概略断面図である。

【図4】図４は、図３に示す脱気モジュールのコネクタ部の付近を拡大して示す拡大断面図である。

【図5】図５は、図１に示す脱気モジュールのバッファ管部と栓との接続部分付近を拡大して示す拡大断面図である。

【図6】図６は、図１に示す脱気モジュールの脱気モジュールと吸引管部との接続部分付近を拡大して示す拡大断面図である。

【図7】図７は、図１に示す脱気装置の脱気モジュール、真空配管、及び排出装置を示す模式図である。

【図8】図８は、図１に示す脱気装置の防振部材の付近を拡大して示す拡大断面図である。

【図9】図９は、他の例の脱気装置を示す模式的な概略側面図である。

【図10】図１０は、図９に示す脱気装置の防振部材の付近を拡大して示す拡大断面図である。

【図11】図１１は、他の例の脱気装置を示す模式的な概略側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下、図面を参照して、実施形態の脱気装置について詳細に説明する。なお、全図中、同一または相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

【0025】

図１は、一実施形態に係る脱気装置を示す模式的な概略平面図である。図２は、図１に示す脱気装置の模式的な概略側面図である。図１及び図２に示すように、脱気装置１は、底板２、前板３及び後板４を有するハウジング５と、脱気モジュール１０，２０と、真空配管４０と、排出装置５０と、大気開放配管６０と、大気開放弁７０と、調整弁７５と、制御部８０と、を備えている。ハウジング５の底板２は、脱気装置１の底部を画定し、ハウジング５の前板３は、脱気装置１の前部を画定し、ハウジング５の後板４は、脱気装置１の後部を画定する。脱気装置１は、例えば、液体クロマトグラフィ用の脱気装置であり、液体クロマトグラフィの検査対象となる流体に対して脱ガス処理を行う。脱気装置１は、ガスクロマトグラフィー、生化学分析装置、インクジェット充填装置等に用いてももちろんよい。

【0026】

脱気モジュール１０，２０は、例えば図３に示す構成を有している。図３は、図１に示す脱気装置に搭載される脱気モジュールの一例を示す概略断面図である。図４は、図３に示す脱気モジュールのコネクタ部の付近を拡大して示す拡大断面図である。図３は、一例として、脱気モジュール１０の構成を示しているが、他の脱気モジュール２０も同様の構成である。図３及び図４に示すように、脱気モジュール１０は、内部に流体流通空間Ｓ１を画定する複数のチューブ１１が両端部において結束されたチューブユニット１２と、チューブユニット１２を収容するハウジング１３と、ハウジング１３の開口部１３ａを気密密封する蓋部１４と、蓋部１４を貫通するチューブユニット１２を接続固定するコネクタ部１５及びコネクタ部１６と、ハウジング１３から突出する排出ノズル部１７及び開放ノズル部１８と、を備えている。排出ノズル部１７には、減圧空間Ｓ２に連通している排出口１７ａが形成されており、開放ノズル部１８には、減圧空間Ｓ２に連通している開放口１８ａが形成されている。

【0027】

脱気モジュール１０は、ガス透過性を有するガス透過膜であるチューブユニット１２により、ハウジング１３内が、チューブユニット１２のチューブ１１のそれぞれの内部空間である流体流通空間Ｓ１と、チューブユニット１２の外側の空間である減圧空間Ｓ２と、に仕切られている。流体流通空間Ｓ１は、液体が供給される領域であり、チューブユニット１２の流入口１２ａから導入された液体を排出口１２ｂまで供給する。減圧空間Ｓ２は、内部の気体が吸気される領域である。そして、脱気モジュール１０では、複数のチューブ１１のそれぞれの内部空間である流体流通空間Ｓ１に液体が供給されるとともに、複数のチューブ１１の外側の減圧空間Ｓ２から吸気されることで、チューブユニット１２に供給された液体を脱気する。

【0028】

チューブユニット１２を構成する各チューブ１１は、気体を透過するが液体を透過しないチューブ状の膜（ガス透過膜）である（図４を参照）。チューブ１１の素材、膜形状、膜形態等は、特に制限されない。チューブ１１の素材としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン－パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン－ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン－エチレン共重合体（エチレン共重合樹脂）（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、アモルファスフロロポリマ（非晶性弗素樹脂；ＡＦ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）等のフッ素樹脂、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリメチルペンテン（ＰＭＰ）、シリコン、ポリイミド、ポリアミドが挙げられる。アモルファスフロロポリマとしては、例えば、テフロン（登録商標）ＡＦが挙げられる。

【0029】

脱気装置１には、このような脱気モジュール１０，２０が２つ配置されているが、１つの脱気モジュールが配置されていてもよいし、３つ以上の脱気モジュールが配置されていてもよい。

【0030】

図１及び図２に示すように、真空配管４０は、各減圧空間Ｓ２内の気体を外部に排出するための部材である。真空配管４０は、吸引管部４１と、排出管部４２と、検出配管部４３と、バッファ管部４４と、を備える。

【0031】

吸引管部４１は、脱気モジュール１０，２０の各減圧空間Ｓ２の気体を排出装置５０に送るために、脱気モジュール１０，２０の各減圧空間Ｓ２に連通されて、脱気モジュール１０，２０と排出装置５０とに接続されている。吸引管部４１は、脱気モジュール１０，２０の各排出ノズル部１７に連なる排出配管部４５，４６と、排出配管部４５，４６を集合させる排出集合部４７と、排出集合部４７を排出装置５０に繋げる配管部４８と、を有している。

【0032】

排出管部４２は、排出装置５０に送られた気体を脱気装置１の外部に排出するために、排出装置５０に接続されている。排出管部４２の排出装置５０とは反対側の端部は、前板３に取り付けられて、前板３の前方の脱気装置１の外部に開放されている。

【0033】

検出配管部４３は、脱気モジュール１０，２０の各減圧空間Ｓ２内の減圧度を検出するために、吸引管部４１から分岐されて検出器８５に接続されている。検出器８５は、後述するように、脱気モジュール１０，２０の各減圧空間Ｓ２内の減圧度を検出する気圧センサであり、制御部８０に設けられている。

【0034】

バッファ管部４４は、後述するように、吸引管部４１から分岐しており、バッファ管部４４の吸引管部４１とは反対側の先端部４４ａは、栓９０により閉塞されている。

【0035】

真空配管４０を構成する吸引管部４１（排出配管部４５，４６、排出集合部４７、及び配管部４８）、排出管部４２、検出配管部４３、及びバッファ管部４４の少なくとも一部は、例えば樹脂系のチューブから構成されている。真空配管４０のすべて又は略すべて（例えば連結部分を除く）の構成部材が樹脂系のチューブから構成されていてもよい。つまり、複数のチューブを連結部材等を使って連結して真空配管４０を構成してもよい。このようなチューブは、液体クロマトグラフィの使用溶媒に耐性があり、例えば、そのゴム硬度が好ましくは７０±３０度の範囲内であり、及び、その酸素透過性が６０００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ^２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０^－１０以下である配管から構成される。前記ゴム硬度は、好ましくは７０±３０度の範囲内であるが、連結部分での緩みや外れを防止する適切な可撓性と、チューブの変形、潰れ、閉塞を抑制する適切な耐久性を両立する観点から、その下限値が、５０度以上であることがより好ましく、５５度以上であることがさらに好ましくは、６０度以上であることが特に好ましく、そして、上限値が、９５度以下であることがより好ましく、８０度以下であることがさらに好ましく、７５度以下の範囲であることが特に好ましい。ただし、ゴム硬度はショアＡを表し、例えば、ＪＩＳ Ｋ７３１２（１９９６）に準拠した方法でデュロメータ（タイプＡ）で測定することができる。また、前記酸素透過性は、耐久性に優れる観点から、好ましくは６０００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ^２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０^－１０以下であるが、より好ましくは３０００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ^２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０^－１０以下、さらに好ましくは１０００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ^２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０^－１０以下、特に好ましくは５００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ^２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０^－１０以下であり、そして、好ましくは０．１ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ^２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０^－１０以上、より好ましくは１０ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ^２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０^－１０以上であってよい。ただし、酸素透過性は酸素透過速度を意味し、例えば、ＡＳＴＭ Ｄ １４３４圧力法に準拠した方法で測定することができる。

【0036】

真空配管４０を構成するチューブの材質は、上述した性質を有するものであれば特に限定されないが、例えば、塩化ビニル、シリコーンゴム；ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン１１、ナイロン１２などのポリアミド（ナイロン）；ポリウレタン；低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレンなどのポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン；ＦＥＰ、ＰＦＡ、ＥＴＦＥ、ＰＴＦＥなどのフッ素樹脂；ポリエステル系熱可塑性エラストマー、スチレン系熱可塑性エラストマー、オレフィン系熱可塑性エラストマーなどの熱可塑性エラストマーが挙げられ、これらの１種又は２種以上を用いることができる。真空配管４０を構成するチューブの材質としては、上述した材質のうち、ポリオレフィン及び熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物がより好ましいものとして挙げられ、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物がさらに好ましいものとして挙げられる。

【0037】

真空配管４０は、上述したポリオレフィン及び熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物で構成されることで、耐溶剤性に優れるだけでなく、気体透過性を低くすることができる。また、真空配管４０は、上述したポリオレフィン及び熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物で構成されることで、適切な可撓性を有しており、脱気動作時の排出集合部４７の連結部分での緩みや外れを防止しつつ、またチューブの変形、潰れ、閉塞を抑制することもできることから、耐久性にも優れる。さらに、本実施形態に係る脱気装置１は、複数の脱気モジュールを備え、真空配管４０と脱気モジュール１０，２０との連結部や排出集合部４７の他の部分との連結部など多くの連結構成を備えているが、かかる可撓性や耐久性を備えるチューブから構成されることで、脱気装置としての長期信頼性を向上することもできる。

【0038】

なお、真空配管４０に用いられるスチレン系熱可塑性エラストマーとは、少なくとも１つのスチレンブロック（ハードセグメント）と少なくとも１つのエラストマーブロックとを有する共重合体である。エラストマーブロックとしては、ビニル－ポリジエン、ポリイソプレン、ポリブタジエン、ポリエチレン、ポリクロロプレンまたはポリ２，３－ジメチルブタジエンなどを好ましくは用いることができる。エラストマーブロックは、水素添加したものを用いることもできる。エラストマーブロックが水素添加されていると、耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能がより良好となる傾向があり好ましい。スチレン系熱可塑性エラストマーの具体例としては、スチレン－ビニルイソプレン－スチレントリブロック共重合体（ＳＩＳ）、スチレン－イソブチレンジブロック共重合体（ＳＩＢ）、スチレン－ブタジエン－スチレントリブロック共重合体（ＳＢＳ）、スチレン－エチレン・ブテン－スチレントリブロック共重合体（ＳＥＢＳ）、スチレン－エチレン・プロピレン－スチレントリブロック共重合体（ＳＥＰＳ）、スチレン－エチレン・エチレン・プロピレン－スチレントリブロック共重合体（ＳＥＥＰＳ）、スチレン－ブタジエン・ブチレン－スチレントリブロック共重合体（ＳＢＢＳ）などが挙げられる。スチレン系熱可塑性エラストマーは、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。なかでも耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能がより優れることから、スチレン－ビニルイソプレン－スチレントリブロック共重合体を用いることが好ましい。このようなスチレン－ビニルイソプレン－スチレントリブロック共重合体の好適な例としては、クレイトン社製の「ＦＧ１９０１ Ｇ Ｐｏｌｙｍｅｒ」、「ＦＧ１９２４ Ｇ Ｐｏｌｙｍｅｒ」、（株）クラレ製のハイブラー５１２７などが挙げられる。また、ビニルイソプレンブロックを水素添加した、（株）クラレ製のハイブラー７３１１も好適に使用することができる。

【0039】

スチレン系熱可塑性エラストマー中のスチレンブロックの含有率（スチレン含有率）の範囲は、その下限値が、スチレンブロックとエラストマーブロックの合計に対し、好ましくは１質量％であり、より好ましくは５質量％であり、さらに好ましくは１０質量％であり、当該範囲で、より良好な耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能が得られる傾向がある。一方、その上限値は、スチレンブロックとエラストマーブロックの合計に対し、好ましくは３０質量％であり、より好ましくは２０質量％であり、当該範囲で、耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能がより優れる傾向がある。

【0040】

ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物におけるスチレン系熱可塑性エラストマーの含有量の範囲は、その下限値が、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーの合計に対し、好ましくは３質量％であり、より好ましくは５質量％であり、さらに好ましくは１０質量％であり、当該範囲で良好な耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能が得られる傾向がある。一方、その上限値は、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーの合計に対し、好ましくは３０質量％であり、より好ましくは２５質量％であり、さらに好ましくは２０質量％であり、当該範囲で、良好な耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能が得られる傾向がある。

【0041】

なお、排出集合部４７において、各チューブを相互に連結する連結部分は、硬質プラスチック（ポリプロピレン）等から構成されていてもよい。

【0042】

排出装置５０は、真空配管４０の吸引管部４１を介して脱気モジュール１０，２０の減圧空間Ｓ２に連通されており、制御部８０からの制御指示に基づいて、各減圧空間Ｓ２内の気体を外部に排出する。排出装置５０は、底板２の上方に配置されている。排出装置５０は、例えば、ポンプ５１、ポンプ５１が固定された固定板５２等を含んで構成されている。ポンプ５１は、固定板５２の上面５２ａ（底板２とは反対側の面）に固定されている。このため、固定板５２の下面５２ｂ（底板２側の面）が、排出装置５０の最下面（最も底板２側の面）となっている。ポンプ５１は、各減圧空間Ｓ２内の気体を外部に排出するためのモータ５３と、各減圧空間Ｓ２内の気体を吸い込むために配管部４８が接続された吸気口５４と、吸い込んだ気体を脱気装置１の外部に排出するために排出管部４２が接続された排気口５５と、を備え、制御部８０からの制御指示に基づいてモータ５３が回転駆動することで各減圧空間Ｓ２内の気体を外部に排出する。ポンプ５１としては、例えば、ダイアフラム型ドライ真空ポンプ等のダイヤフラムポンプが用いられる。ダイヤフラムポンプは、モータを回転駆動することにより隔膜（ダイアフラム）を上下動させ、この隔膜の上下動により吸気口から排気口に気体を移動させる真空ポンプである。固定板５２としては、例えば、矩形の金属プレート等が用いられる。

【0043】

各減圧空間Ｓ２内の気体を外部に排出するためにポンプ５１を作動させると、排出装置５０に接続されている吸引管部４１内において吸引圧力の脈動が生じる。また、吸引管部４１に連通されている各減圧空間Ｓ２内においても吸引圧力の脈動が生じる。上述したバッファ管部４４は、このような吸引管部４１０内及び各減圧空間Ｓ２内に生じる吸引圧力の脈動を抑制するためのものである。バッファ管部４４は、吸引管部４１の排出集合部４７から分岐しているとともに、吸引管部４１に連通されている。これにより、バッファ管部４４は、吸引管部４１に連通されている真空配管４０の容積を増大させて、吸引管部４１０内及び各減圧空間Ｓ２内に生じる吸引圧力の脈動を抑制する。なお、バッファ管部４４には、検出配管部４３とは異なり検出器８５が接続されていない。

【0044】

図５は、図１に示す脱気モジュールのバッファ管部と栓との接続部分付近を拡大して示す拡大断面図である。図６は、図１に示す脱気モジュールの脱気モジュールと吸引管部との接続部分付近を拡大して示す拡大断面図である。図５及び図６に示すように、バッファ管部４４の内径ｄ１は、特に限定されるものではない。例えば、真空配管４０を容易に製造することができる観点から、バッファ管部４４の内径ｄ１は、吸引管部４１の内径ｄ２と同じであってもよい。つまり、バッファ管部４４の内径ｄ１は、排出集合部４７において各チューブを相互に連結する連結部分を除く、吸引管部４１の排出配管部４５，４６、排出集合部４７、及び配管部４８のそれぞれの内径ｄ２と同じであってもよい。

【0045】

図７は、図１に示す脱気装置の脱気モジュール、真空配管、及び排出装置を示す模式図である。図７に示すように、バッファ管部４４の長さＬ１は、特に限定されるものではない。例えば、吸引管部４１内及び各減圧空間Ｓ２に生じる吸引圧力の脈動を適切に抑制することができる観点から、バッファ管部４４の長さＬ１は、例えば、吸引管部４１の脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る経路Ｒの長さＬ２の５％以上であることが好ましく、経路Ｒの長さＬ２の７．５％以上であることがより好ましく、経路Ｒの長さＬ２の１０％以上であることが更に好ましい。経路Ｒは、例えば、吸引管部４１の脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る最短経路である。脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る気体の流れ方向Ｄにおいて、脱気モジュール１０が脱気モジュール２０の下流側に配置されている場合、経路Ｒは、例えば、流れ方向Ｄにおいて下流側に配置される脱気モジュール１０から排出装置５０に至る経路となる。なお、バッファ管部４４の長さＬ１が経路Ｒの長さＬ２の５％であるとは、バッファ管部４４の長さＬ１が経路Ｒの長さＬ２の０．０５倍であることをいう。一方、バッファ管部４４の取り回しを容易に行うことができる観点から、バッファ管部４４の長さＬ１は、例えば、経路Ｒの長さＬ２の３０％以下であることが好ましく、経路Ｒの長さＬ２の２０％以下であることがより好ましく、経路Ｒの長さＬ２の１５％以下であることが更に好ましい。これらの観点から、バッファ管部４４の長さＬ１は、例えば、吸引管部４１の脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る経路Ｒの長さＬ２の５％以上３０％以下であることが好ましく、経路Ｒの長さＬ２の７．５％以上２０％以下であることがより好ましく、経路Ｒの長さＬ２の１０％以上１５％以下であることが更に好ましい。

【0046】

図５及び図７に示すように、例えば、吸引管部４１内及び各減圧空間Ｓ２に生じる吸引圧力の脈動を適切に抑制することができる観点から、バッファ管部４４の長さＬ１は、例えば、バッファ管部４４の内径ｄ１の１０００％以上であることが好ましく、バッファ管部４４の内径ｄ１の１１００％以上であることがより好ましく、バッファ管部４４の内径ｄ１の１２００％以上であることが更に好ましい。なお、バッファ管部４４の長さＬ１がバッファ管部４４の内径ｄ１の１０００％であるとは、バッファ管部４４の長さＬ１がバッファ管部４４の内径ｄ１の１０倍であることをいう。一方、バッファ管部４４の取り回しを容易に行うことができる観点から、バッファ管部４４の長さＬ１は、例えば、バッファ管部４４の内径ｄ１の１６００％以下であることが好ましく、バッファ管部４４の内径ｄ１の１５００％以下であることがより好ましく、バッファ管部４４の内径ｄ１の１４００％以下であることが更に好ましい。これらの観点から、バッファ管部４４の長さＬ１は、例えば、バッファ管部４４の内径ｄ１の１０００％以上１６００％以下であることが好ましく、バッファ管部４４の内径ｄ１の１１００％以上１５００％以下であることがより好ましく、バッファ管部４４の内径ｄ１の１２００％以上１４００％以下であることが更に好ましい。

【0047】

図１及び図７に示すように、吸引管部４１からバッファ管部４４が分岐する部分をバッファ分岐部Ｂ１といい、吸引管部４１から検出配管部４３が分岐する部分を検出分岐部Ｂ２という。この場合、バッファ分岐部Ｂ１及び検出分岐部Ｂ２は、吸引管部４１の如何なる位置であってもよい。例えば、減圧空間Ｓ２内に生じる吸引圧力の脈動をより一層低減することができる観点から、バッファ分岐部Ｂ１は、脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る気体の流れ方向Ｄにおける脱気モジュール１０，２０の下流側に位置することが好ましい。つまり、吸引管部４１の脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る経路Ｒにおいて、バッファ分岐部Ｂ１は、脱気モジュール１０，２０よりも排出装置５０側に位置することが好ましい。また、検出器８５の検出精度を向上することができる観点から、検出分岐部Ｂ２は、脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る気体の流れ方向Ｄにおけるバッファ分岐部Ｂ１の上流側に位置することが好ましい。つまり、吸引管部４１の脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る経路Ｒにおいて、検出分岐部Ｂ２は、バッファ分岐部Ｂ１よりも排出装置５０とは反対側に位置することが好ましい。

【0048】

図１、図５、及び図７に示すように、栓９０は、吸引管部４１及び減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧された際にバッファ管部４４の先端部４４ａから抜けるように、バッファ管部４４の先端部４４ａに着脱可能に装着されている。つまり、栓９０は、バッファ管部４４の先端部４４ａに装着されることで、バッファ管部４４の先端部４４ａを閉塞し、バッファ管部４４の先端部４４ａから抜けることで、バッファ管部４４の先端部４４ａを開放する。栓９０は、バッファ管部４４に圧入される挿入部９１と、挿入部９１に対して拡径された拡径部９２と、を有する。

【0049】

挿入部９１は、バッファ管部４４の先端部４４ａに圧入されることで、バッファ管部４４の先端部４４ａを閉塞する。挿入部９１は、バッファ管部４４の先端部４４ａに圧入されることでバッファ管部４４の先端部４４ａを閉塞することができれば、如何なる形状であってもよい。例えば、挿入部９１は、円柱状とすることができる。挿入部９１の外周長は、バッファ管部４４の先端部４４ａの内周長より長くなっている。挿入部９１が円柱状に形成されている場合、挿入部９１の外径Ｄ１は、バッファ管部４４の先端部４４ａの内径よりも大径となっている。このバッファ管部４４の先端部４４ａの内径は、挿入部９１が圧入されて拡大したバッファ管部４４の先端部４４ａの内径ではなく、挿入部９１が圧入される前のバッファ管部４４の先端部４４ａの内径をいう。

【0050】

拡径部９２は、挿入部９１に対して拡径されることで、挿入部９１との間に段差を形成している。拡径部９２は、この段差がバッファ管部４４の先端部４４ａの端面に当接することで、バッファ管部４４の先端部４４ａに対する挿入部９１の圧入量（圧入長さ）を規制する。また、拡径部９２が、バッファ管部４４の先端部４４ａから挿入部９１を引き抜くための取っ手にもなるように、拡径部９２の外径は、例えば、挿入部９１が圧入されることで拡大したバッファ管部４４の先端部４４ａの外径よりも大きくなっている。

【0051】

図５及び図６に示すように、脱気装置１では、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧された際に、吸引管部４１から排出ノズル部１７が抜けるよりも先にバッファ管部４４から栓９０が抜けやすいように、挿入部９１とバッファ管部４４との密着力が排出ノズル部１７と吸引管部４１との密着力よりも小さくなる構成となっている。このような構成としては、例えば、挿入部９１の外周長が、排出ノズル部１７の外周長よりも小さい構成とすることができる。また、排出ノズル部１７及び挿入部９１が円柱状に形成されている場合は、挿入部９１の外径Ｄ１が、排出ノズル部１７の外径Ｄ２よりも小さい構成とすることができる。また、挿入部９１及び排出ノズル部１７の全体がバッファ管部４４及び吸引管部４１に圧入される場合、挿入部９１の長さＬ３が、排出ノズル部１７の長さＬ４よりも短い構成とすることができる。また、挿入部９１及び排出ノズル部１７の任意の部分がバッファ管部４４及び吸引管部４１に圧入される場合、バッファ管部４４に対する挿入部９１の圧入長さＬ５が、吸引管部４１に対する排出ノズル部１７の圧入長さＬ６よりも短い構成とすることができる。

【0052】

図１及び図２に示すように、排出装置５０は、４つの防振部材１０１を介してハウジング５の底板２に支持されている。４つの防振部材１０１は、同じ構成であるため、特に分けて説明する場合を除き、防振部材１０１として纏めて説明する。防振部材１０１は、振動を減衰して振動が伝達されるのを抑制するための部材である。防振部材１０１は、底板２と排出装置５０（固定板５２）との間に介在して、底板２に対して排出装置５０を支持している。４つの防振部材１０１は、平面視における固定板５２の四隅に配置されて、固定板５２の四隅において排出装置５０（固定板５２）を支持している。排出装置５０は、防振部材１０１により、底板２の上面２ａ（排出装置５０側の面）から所定の高さに配置されている。

【0053】

防振部材１０１は、例えば図８に示す構成を有している。図８は、図１に示す脱気装置の防振部材の付近を拡大して示す拡大断面図である。図８に示すように、防振部材１０１は、底板２と固定板５２との間に介在して、底板２に対して固定板５２を支持している。防振部材１０１は、固定板５２の貫通穴５２ｃに挿入された首部１０１ａと、首部１０１ａから固定板５２の上面５２ａ側に延びて拡径された上拡径部１０１ｂと、首部１０１ａから固定板５２の下面５２ｂ側に延びて拡径された下拡径部１０１ｃと、首部１０１ａ、上拡径部１０１ｂ、及び下拡径部１０１ｃを貫通する貫通穴１０１ｄと、を有する。上拡径部１０１ｂ及び下拡径部１０１ｃは、固定板５２の貫通穴５２ｃを通過しないように、固定板５２の貫通穴５２ｃの穴径よりも大径となっている。そして、ネジ１０２が、固定板５２の上面５２ａ側から防振部材１０１の貫通穴１０１ｄに挿入されて、底板２のネジ穴２ｃにねじ込まれている。これにより、上拡径部１０１ｂ及び下拡径部１０１ｃが上面５２ａ側及び下面５２ｂ側から固定板５２を挟み込んで、下拡径部１０１ｃが底板２に押圧された状態となって、排出装置５０が防振部材１０１を介して底板２に支持された状態となっている。なお、下拡径部１０１ｃが固定板５２と底板２との間のスペーサーとなることで、固定板５２が底板２から所定高さとなるように配置されている。

【0054】

図１及び図２に示すように、大気開放配管６０は、脱気モジュール１０，２０の各減圧空間Ｓ２に連通され、各減圧空間Ｓ２を大気開放弁７０に繋げるための部材である。大気開放配管６０は、脱気モジュール１０，２０の各開放口１８ａに連なる開放配管部６１，６２と、開放配管部６１，６２を集合させる開放集合部６４と、開放集合部６４を大気開放弁７０に繋げる配管６５と、を有している。大気開放配管６０の開放集合部６４の配管６５と逆側の端部６６は閉じられている。大気開放配管６０は、真空配管４０と同様の材料、例えば、樹脂系のチューブから構成されている。より具体的には、大気開放配管６０を構成する開放配管部６１，６２、開放集合部６４及び配管６５の少なくとも一部は、例えば上述したような樹脂系のチューブから構成されている。大気開放配管６０のすべて又は略すべて（例えば連結部分を除く）の構成部材が樹脂系のチューブから構成されていてもよい。つまり、複数の樹脂チューブを連結部材等を使って連結して大気開放配管６０を構成してもよい。このような樹脂チューブは、液体クロマトグラフィの使用溶媒に耐性があり、そのゴム硬度が７０±３０度の範囲であり、且つ、その酸素透過性が６０００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ^２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０^－１０以下である配管から構成されている。なお、開放集合部６４の連結部分は、排出集合部４７の連結部分と同様に、硬質プラスチック（例えば、ポリプロピレン）等から構成されていてもよい。

【0055】

大気開放弁７０は、大気開放配管６０の一端に連通され、制御部８０からの制御指示に基づいて、大気開放配管６０を介して脱気モジュール１０，２０の各減圧空間Ｓ２に一気に大気を導入可能な電磁弁である。大気開放弁７０は、例えば、脱気モジュール１０，２０での脱ガス処理が終了すると、制御部８０からの制御指示に基づいて、電磁弁を５秒以内で閉状態（ＣＬＯＳＥ）から開状態（ＯＰＥＮ）に開放し、各減圧空間Ｓ２(例えば１Ｌの容器)を１分以内に大気開放する。

【0056】

調整弁７５は、脱気モジュール１０，２０と排出装置５０との間に配置され、減圧空間Ｓ２の減圧度を調整するための電磁弁である。調整弁７５は、排出装置５０による減圧空間Ｓ２の減圧処理を行っている場合には弁を開放し、一方、減圧空間Ｓ２の減圧度が所定の範囲内となった場合に、制御部８０からの制御指示に基づいて弁を閉める。この際、排出装置５０は、その排出動作を停止することができる。その後、一方、減圧空間Ｓ２の減圧度が所定の範囲外となった場合に、制御部８０からの制御指示に基づいて弁を開ける。大気開放弁７０及び調整弁７５のいずれも複数の脚部７１及び複数の脚部７６により、ハウジング５の底板２から所定の高さとなるように嵩上げされている。

【0057】

制御部８０は、排出装置５０のポンプ５１の作動及び作動の停止を制御する。また、制御部８０は、制御部８０は、減圧空間Ｓ２の減圧度を検出する検出器８５を有し、検出した減圧度に基づいて、排出装置５０及び調整弁７５の動作を制御する。この制御では、検出器８５で検出される減圧度が所定の値となるように排出装置５０による大気の排出を行うと共に、減圧空間Ｓ２の減圧度が所定の範囲内になった場合には、調整弁７５を閉めると共に排出装置５０の動作を停止する。調整弁７５を閉めた後に検出器８５で検出した減圧度が所定の範囲外となった場合には、制御部８０は、排出装置５０を再度、可動させて排出処理を行う。

【0058】

一方、制御部８０は、脱気モジュール１０，２０により脱ガス処理が終了すると、外部等からの停止指示に基づいて、排出装置５０及び大気開放弁７０の動作を制御する。この制御では、脱気処理を終了した後に大気開放弁７０を開放して各減圧空間Ｓ２を一気に大気開放する。脱気処理を終了した後に、排出装置５０による気体の排出動作を所定時間（例えば数秒）継続させつつ、大気開放弁７０を開放して各減圧空間Ｓ２を一気に大気開放するように制御してもよい。

【0059】

以上、本実施形態に係る脱気装置１では、真空配管４０の吸引管部４１を介して脱気モジュール１０，２０の各減圧空間Ｓ２と排出装置５０とが連通されているため、排出装置５０の作動に伴い、吸引管部４１内及び及び脱気モジュール１０，２０の各減圧空間Ｓ２内において吸引圧力の脈動が生じる。しかしながら、真空配管４０が、各減圧空間Ｓ２に連通されて脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る吸引管部４１に加えて、吸引管部４１から分岐して先端部４４ａが閉塞されたバッファ管部４４を有するため、この吸引圧力の脈動がバッファ管部４４内にも波及することで、吸引管部４１内及び及び各減圧空間Ｓ２内に生じる吸引圧力の脈動が低減される。これにより、脱気モジュール１０，２０の各チューブユニット１２を流れる液体の流量及び流速の乱れを抑制することができる。しかも、バッファ管部４４が吸引管部４１から分岐しているため、吸引管部４１を長くしなくてもバッファ管部４４を設けることができる。これにより、各減圧空間Ｓ２から排出装置５０に至る気体の圧力損失の増大を抑制することができるため、排出装置５０の排出効率が低下するのを抑制することができる。また、吸引管部４１の取り回しを容易に行うことができる。

【0060】

また、この脱気装置１では、バッファ分岐部Ｂ１が、脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る気体の流れ方向Ｄにおける脱気モジュール１０，２０の下流側に位置することで、吸引管部４１内に生じる吸引圧力の脈動が各減圧空間Ｓ２に波及する前に、バッファ管部４４により当該脈動を抑制することができる。これにより、各減圧空間Ｓ２内に生じる吸引圧力の脈動をより一層低減することができる。

【0061】

また、この脱気装置１では、吸引管部４１から分岐する検出配管部４３に各減圧空間Ｓ２の減圧度を検出するための検出器８５が接続されていることで、各減圧空間Ｓ２の減圧度を適切に検出することができる。また、検出配管部４３がバッファ管部４４とは別に設けられることで、検出器８５による制約を受けることなくバッファ管部４４の位置、形状等を設計することができる。

【0062】

また、この脱気装置１では、検出分岐部Ｂ２が、脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る気体の流れ方向Ｄにおけるバッファ分岐部Ｂ１の上流側に位置することで、吸引管部４１内に生じる吸引圧力の脈動が検出配管部４３に波及する前に、バッファ管部４４により当該脈動を低減することができる。これにより、検出器８５の検出精度を向上することができる。

【0063】

また、この脱気装置１では、バッファ管部４４の内径ｄ１が吸引管部４１の内径ｄ２と同じであることで、真空配管４０を容易に製造することができる。

【0064】

また、この脱気装置１では、バッファ管部４４の長さＬ１が吸引管部４１の脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る経路Ｒの長さＬ２の５％以上、７．５％以上、又は１０％以上であることで、吸引管部４１内に生じる吸引圧力の脈動を適切に抑制することができる。一方、バッファ管部４４の長さＬ１が吸引管部４１の脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る経路Ｒの長さＬ２の３０％以下、２０％以下、又は１５％以下であることで、バッファ管部４４の取り回しを容易に行うことができる。

【0065】

また、この脱気装置では、バッファ管部４４の長さＬ１がバッファ管部４４の内径ｄ１の１０００％以上、１１００％以上、又は１２００％以上であることで、吸引管部４１内に生じる吸引圧力の脈動を適切に抑制することができる。一方、バッファ管部４４の長さＬ１がバッファ管部４４の内径ｄ１の１６００％以下、１５００％以下、又は１４００％以下であることで、バッファ管部４４の取り回しを容易に行うことができる。

【0066】

また、この脱気装置１では、バッファ管部４４の先端部４４ａを閉塞する栓９０を備えることで、バッファ管部４４の先端部４４ａを容易に閉塞することができる。ところで、メンテナンス等において誤って排出装置５０の排気口５５側に吸引管部４１が接続され、この状態で排出装置５０が作動すると、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧される。吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧されると、各減圧空間Ｓ２の減圧度を検出する検出器８５、吸引管部４１等が破損したり、脱気モジュール１０，２０から吸引管部４１が抜けたりする可能性がある。しかしながら、栓９０は、バッファ管部４４の先端部４４ａに着脱可能に装着されているため、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧されると、バッファ管部４４の先端部４４ａから栓９０が抜けて、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が大気開放される。このように、栓９０が安全弁として機能することで、検出器８５、吸引管部４１等の破損、脱気モジュール１０，２０からの吸引管部４１の抜けを抑制することができる。なお、バッファ管部４４から栓９０を外すことで、バッファ管部４４に追加の脱気モジュール（不図示）を接続することもできるため、拡張性にも優れる。

【0067】

また、この脱気装置１では、栓９０がバッファ管部４４に圧入される挿入部９１を有することで、バッファ管部４４の先端部４４ａを適切に閉塞することができる。

【0068】

また、この脱気装置１では、挿入部９１とバッファ管部４４との密着力が排出ノズル部１７と吸引管部４１との密着力よりも小さいことで、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧された際に、吸引管部４１から排出ノズル部１７が抜けるよりも先にバッファ管部４４から挿入部９１が抜けやすくすることができる。これにより、より早い段階で吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２を大気開放させることができるため、栓９０の安全弁としての機能を更に向上することができる。

【0069】

また、この脱気装置１では、挿入部９１の外周長が排出ノズル部１７の外周長よりも小さいことで、挿入部９１とバッファ管部４４との密着力を排出ノズル部１７と吸引管部４１との密着力よりも小さくすることができる。これにより、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧された際に、吸引管部４１から排出ノズル部１７が抜けるよりも先にバッファ管部４４から挿入部９１が抜けやすくすることができる。

【0070】

また、この脱気装置１では、挿入部９１の外径Ｄ１が排出ノズル部１７の外径Ｄ２よりも小さいことで、挿入部９１とバッファ管部４４との密着力を排出ノズル部１７と吸引管部４１との密着力よりも小さくすることができる。これにより、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧された際に、吸引管部４１から排出ノズル部１７が抜けるよりも先に、バッファ管部４４から挿入部９１が抜けやすくすることができる。

【0071】

また、この脱気装置１では、挿入部９１の長さＬ３が排出ノズル部１７の長さＬ４よりも短いことで、挿入部９１及び排出ノズル部１７の全体がバッファ管部４４及び吸引管部４１に圧入された際に、挿入部９１とバッファ管部４４との密着力を排出ノズル部１７と吸引管部４１との密着力よりも小さくすることができる。これにより、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧された際に、吸引管部４１から排出ノズル部１７が抜けるよりも先に、バッファ管部４４から挿入部９１が抜けやすくすることができる。

【0072】

また、この脱気装置１では、バッファ管部４４に対する挿入部９１の圧入長さＬ５が吸引管部４１に対する排出ノズル部１７の圧入長さＬ６よりも短いことで、挿入部９１とバッファ管部４４との密着力を排出ノズル部１７と吸引管部４１との密着力よりも小さくすることができる。これにより、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧された際に、吸引管部４１から排出ノズル部１７が抜けるよりも先に、バッファ管部４４から挿入部９１が抜けやすくすることができる。

【0073】

また、この脱気装置１では、真空配管４０の少なくとも一部がポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物であることで、耐溶剤性、耐薬品性、及び耐久性に優れるものとすることができる。また、気体透過性を低くすることができるとともに、真空配管４０の抜けを抑制することができる。しかも、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物の伸縮性により、吸引管部４１内に生じる吸引圧力の脈動に応じて吸引管部４１が膨張及び伸縮する。これにより、吸引管部４１内及び及び各減圧空間Ｓ２内に生じる吸引圧力の脈動をより一層低減することができる。

【0074】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内で適宜、変更または修正することが可能である。

【0075】

例えば、バッファ管部は、栓以外の他の構成により閉塞されていてもよい。例えば、バッファ管部がクリップ等の挟持部材により挟み込まれることで、バッファ管部が閉塞されていてもよい。この場合、クリップ等の挟持部材により挟み込まれて閉塞した位置までがバッファ管部となり、クリップ等の挟持部材により挟み込まれて閉塞した位置の近傍が、バッファ管部の先端部となる。

【0076】

また、例えば、防振部材は、ハウジング及び排出装置に直接的に取り付けられるものではなく、他の部材を介してハウジング及び排出装置に取り付けられるものであってもよい。図９は、他の例の脱気装置を示す模式的な概略側面図である。図１０は、図９に示す脱気装置の防振部材の付近を拡大して示す拡大断面図である。図９及び図１０に示す脱気装置１Ａでは、防振部材１０３は、円柱、角柱等の柱状に形成されている。防振部材１０３の一方側の先端である上端には、ネジ溝１０４ａが形成された上部プレート１０４が接続されており、防振部材１０３の他方側の先端である下端には、ネジ溝１０５ａが形成された下部プレート１０５が接続されている。そして、固定板５２の貫通穴５２ｄに挿入されたネジ１０６が上部プレート１０４のネジ溝１０４ａにねじ込まれることで、固定板５２に上部プレート１０４が固定されており、底板２の貫通穴２ｄに挿入されたネジ１０７が下部プレート１０５のネジ溝１０５ａにねじ込まれることで、底板２に下部プレート１０５が固定されている。これにより、防振部材１０３は、ハウジング５の底板２と排出装置５０の固定板５２との間に介在して、ハウジング５の底板２に対して排出装置５０を支持した状態となっている。

【0077】

また、例えば、防振部材は、排出装置の固定板に取り付けられるのではなく、排出装置のポンプに取り付けられるものであってもよい。図１１は、他の例の脱気装置を示す模式的な概略側面図である。図１１に示す脱気装置１Ｂでは、排出装置５６は、上記実施形態と同様のポンプ５１を有するが、上記実施形態の固定板に対応する構成を有しない。そして、防振部材１０９は、直接的又は間接的にポンプ５１と底板２とに取り付けられている。防振部材１０９の形状、及びポンプ５１及び底板２に対する防振部材１０９の取付構造は、例えば、図８に示す防振部材１０１の形状、及び固定板５２及び底板２に対する防振部材１０１の取付構造、図１０に示す防振部材１０３の形状、及び固定板５２及び底板２に対する防振部材１０３の取付構造等と同様とすることができる。

【産業上の利用可能性】

【0078】

本発明は、液体クロマトグラフィ、ガスクロマトグラフィー、生化学分析装置、インクジェット充填装置等に用いる脱気装置として利用可能である。

【符号の説明】

【0079】

１，１Ａ，１Ｂ…脱気装置、２…底板、２ａ…上面、２ｃ…ネジ穴、２ｄ…貫通穴、３…前板、４…後板、５…ハウジング、１０…脱気モジュール、１１…チューブ、１２…チューブユニット、１２ａ…流入口、１２ｂ…排出口、１３…ハウジング、１３ａ…開口部、１４…蓋部、１５…コネクタ部、１６…コネクタ部、１７…排出ノズル部、１７ａ…排出口、１８…開放ノズル部、１８ａ…開放口、２０…脱気モジュール、４０…真空配管、４１…吸引管部、４２…排出管部、４３…検出配管部、４４…バッファ管部、４４ａ…先端部、４５，４６…排出配管部、、４７…排出集合部、４８…配管部、５０…排出装置、５１…ポンプ、５２…固定板、５２ａ…上面、５２ｂ…下面、５２ｃ…貫通穴、５２ｄ…貫通穴、５３…モータ、５４…吸気口、５５…排気口、５６…排出装置、６０…大気開放配管、６１，６２…開放配管部、６４…開放集合部、６５…配管、６６…端部、７０…大気開放弁、７１…脚部、７５…調整弁、７６…脚部、８０…制御部、８５…検出器、９０…栓、９１…挿入部、９２…拡径部、１０１…防振部材、１０１ａ…首部、１０１ｂ…上拡径部、１０１ｃ…下拡径部、１０１ｄ…貫通穴、１０２…ネジ、１０３…防振部材、１０４…上部プレート、１０４ａ…ネジ溝、１０５…下部プレート、１０５ａ…ネジ溝、１０６…ネジ、１０７…ネジ、１０９…防振部材、Ｂ１…バッファ分岐部、Ｂ２…検出分岐部、Ｄ…流れ方向、ｄ１…内径、ｄ２…内径、Ｄ１…外径、Ｄ２…外径、Ｌ１…バッファ管部の長さ、Ｌ２…吸引管部の脱気モジュールから排出装置に至る経路の長さ、Ｌ３…挿入部の長さ、Ｌ４…排出ノズル部の長さ、Ｌ５…バッファ管部に対する挿入部の圧入長さ、Ｌ６…吸引管部に対する排出ノズル部の圧入長さ、Ｒ…経路、Ｓ１…流体流通空間、Ｓ２…減圧空間。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】