特許7529969IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

磁気センサに使用される感磁ワイヤ等

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

特許文献1は、従来の感磁ワイヤと異なり、テンションアニール条件を根本的に見直し、非晶質相中に微細な結晶粒(単に「微結晶」ともいう。)を析出させた複合組織からなる感磁ワイヤを提案している。その微結晶により感磁ワイヤの異方性磁界が増大し、MIセンサの測定レンジも拡張し得る。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明者はこの課題を解決すべく鋭意研究した結果、零磁歪となる基準組成よりもFeを多く含むCo基合金からなるワイヤを用いることにより、異方性磁界と磁歪を所望範囲とした感磁ワイヤを得ることに成功した。この成果を発展させることにより、以降に述べる本発明を完成するに至った。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1A】 感磁ワイヤのFe比毎に、異方性磁界(Hk)と応力感受性の関係を示したグラフである。
【図1B】 Hk毎に、Fe比と応力感受性の関係を示したグラフである。
【図1C】 Fe比が8.2%である感磁ワイヤの断面を、高分解能透過電子顕微鏡(HR-TEM)で観察した明視野(BF)像である。
【図1D】 微結晶周辺を3次元アトムプローブで分析して得た磁性元素濃度の分布図である。
【図2】 感磁ワイヤの応力感受性と、その感磁ワイヤを用いたMIセンサの感度変化率との関係を示す表である。
【図3】 磁歪(λs)と応力感受性の関係を示す模式図である。

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