特許 7532809 基板及び基板検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-05

(45)【発行日】2024-08-14

(54)【発明の名称】基板及び基板検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/85 20060101AFI20240806BHJP

   G01N 21/88 20060101ALI20240806BHJP

   B41J 2/14 20060101ALI20240806BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20240806BHJP

【ＦＩ】

G01N21/85 B

G01N21/88 Z

B41J2/14 605

B41J2/01 451

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2020035016

(22)【出願日】2020-03-02

(65)【公開番号】P2021139645

(43)【公開日】2021-09-16

【審査請求日】2023-01-16

(73)【特許権者】

【識別番号】000006747

【氏名又は名称】株式会社リコー

(74)【代理人】

【識別番号】100090527

【弁理士】

【氏名又は名称】舘野 千惠子

(72)【発明者】

【氏名】渡邉 佑

(72)【発明者】

【氏名】三輪 圭史

【審査官】井上 徹

(56)【参考文献】

【文献】再公表特許第２００８／１１７６５１（ＪＰ，Ａ１）

【文献】特開平１０－２８８５８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－００８７２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－０９４７４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１１１６９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－２２５１８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－１４５４５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－０２５５８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平８－１１８６４８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２１／００－２１／９５８

Ｂ４１Ｊ ２／００－ ２／５２５

Ｇ０１Ｎ ３５／００－３７／００

Ｂ０１Ｊ １９／００－１９／３２

ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＭＥＤＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

流体流路または凹部が設けられた第１の面を有する被接着基板と、
前記被接着基板に設けられる前記流体流路または前記凹部の平面視の形状に対応する形状を示す識別部が設けられる第２の面に、前記第１の面が接着される接着基板と、
を備え、
前記識別部は、
前記流体流路または凹部の平面視における外縁の形状より、平面視の外縁の形状の大きさが小さく、前記識別部の中に付着した異物の大きさの許容範囲を、前記識別部の外に付着した異物の大きさの許容範囲より緩和して検査ができる形状を有する基板。

【請求項2】

前記識別部は、
溝部である請求項１に記載の基板。

【請求項3】

前記識別部は、
凸部である請求項１または２に記載の基板。

【請求項4】

流体流路または凹部が設けられた第１の面を有する被接着基板と、
前記被接着基板に設けられる前記流体流路または前記凹部の平面視の形状に対応する形状を示す識別部が設けられる第２の面に、前記第１の面が接着される接着基板と、
を備え、
前記識別部は、
前記流体流路または前記凹部の形状に対応する形状に外接する複数の凹部であり、前記識別部の中に付着した異物の大きさの許容範囲を、前記識別部の外に付着した異物の大きさの許容範囲より緩和して検査ができる形状を有する基板。

【請求項5】

流体流路または凹部が設けられた第１の面を有する被接着基板と、
前記被接着基板に設けられる前記流体流路または前記凹部の平面視の形状に対応する形状を示す識別部が設けられる第２の面に、前記第１の面が接着される接着基板と、
を備え、
前記識別部は、
前記流体流路または前記凹部の形状に対応する形状に内接する複数の凹部であり、前記識別部の中に付着した異物の大きさの許容範囲を、前記識別部の外に付着した異物の大きさの許容範囲より緩和して検査ができる形状を有する基板。

【請求項6】

請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の基板と、
ノズルを有するノズル板と、
前記ノズル板に連通する液室と、
前記液室内の液体を加圧するアクチュエータと、
を備える液体吐出ヘッド。

【請求項7】

請求項６に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させるキャリッジと、
記録媒体を前記主走査方向に対して垂直方向に搬送する搬送部と、
を備える液体吐出装置。

【請求項8】

制御部及び撮像部を備える基板検査装置の制御部が、
前記撮像部によって、被接着基板に設けられた流体流路に対応する位置に、前記流体流路に対応する形状を示す識別部を備える基板を撮像し、
撮像して得られた画像から識別部を抽出し、
前記画像から異物の位置及び大きさを抽出し、
前記異物が前記識別部の内部にあると判定し、かつ、前記異物の大きさが前記識別部の内部にある場合に許容される前記異物の大きさの許容最大値を示す閾値以下であると判定した場合、前記基板は良品であると判定する基板検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板及び基板検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

流体を輸送する微細な流路を複数の基板を接合して構成する場合がある。例えば、インクジェットプリンタのヘッドのような液体吐出装置のヘッドにおいては、ノズルを備える圧力室の体積をピエゾ素子に電圧を印加して変えることにより、インクなどの液体を吸入、吐出を行う。この圧力室などの流体の流路は、幅が数十μｍ程度と微細である。

【0003】

この流路は、一方の基板に流路を形成し、この基板に他方の基板を接着剤によって接着して形成される。接着剤の層厚は数μｍである。

【0004】

このように精度を要する基板の接着形成において、基板に異物が付着していると封止不良や部品の破壊の可能性がある。しかし、数ミクロンサイズの異物を、基板の損傷なしに取り除くことは困難であるため、異物が付着した基板は不良品として廃棄する他はない。従って、歩留まりが良くなかった。

【0005】

この点に関し、基板に流路以外の微細な凹部を設け、接着剤の凝集を抑制する技術が提案されている（例えば、特許文献１。）。

【0006】

しかし、この技術によっても微小な異物が付着している場合には不良品として扱う他はない。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

よって、複数の基板を接着して流路を形成する際に、不良品と判定されることが少ない基板が求められている。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するために、本発明は、流体流路または凹部が設けられた第１の面を有する被接着基板と、前記被接着基板に設けられる前記流体流路または前記凹部の平面視の形状に対応する形状を示す識別部が設けられる第２の面に、前記第１の面が接着される接着基板と、を備え、前記識別部は、前記流体流路または凹部の平面視における外縁の形状より、平面視の外縁の形状の大きさが小さく、前記識別部の中に付着した異物の大きさの許容範囲を、前記識別部の外に付着した異物の大きさの許容範囲より緩和して検査ができる形状を有する基板を提供する。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、複数の基板を接着して流路を形成する際に、不良品と判定されることが少ない基板を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】ヘッドの外観斜視図である。

【図2】ヘッドの長手方向に沿った縦断の部分拡大図である。

【図3】図２におけるヘッドのＡＡ線断面図である。

【図4】第１の実施形態の基板を示す図である。

【図5】第２の実施形態の基板を示す図である。

【図6】第３の実施形態の基板を示す図である。

【図7】第４の実施形態の基板を示す図である。

【図8】第５の実施形態の基板を示す図である。

【図9】基板が良品か不良品かを検査する基板検査装置の構成を示す図である。

【図10】基板検査装置の制御部の動作を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明に係る一実施形態の基板及び基板検査方法について図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下に示す実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、修正、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。

【0012】

本実施形態の基板及び基板検査方法は、複数の基板を接着して流体の流路を形成する場合に、特に好適である。流路の大きさや基板の厚さを問わない。また、本実施形態の基板及び基板検査方法は、複数の基板を接着する場合に、被接着基板に接着剤の逃げ場としての凹部を設ける場合にも好適である。この場合の凹部は基板を貫通していなくてもよい。以下、本実施形態の基板及び基板検査方法が適用される一例として、インクジェットプリンタなどの液体吐出装置の液体吐出ヘッド（以下、ヘッドという。）を例に説明する。

【0013】

［液体吐出ヘッド］
図１は、本発明の実施形態にかかるヘッド１００の外観斜視図である。図２は、ヘッド１００の長手方向に沿った縦断の部分拡大図である。図３は、図２におけるヘッド１００のＡＡ線断面図である。

【0014】

図１から図３に示すように、ヘッド１００は、本体部２９と、フレーム２０と、振動部３と、流路部２と、吐出部１と、を備える。

【0015】

フレーム２０は、本体部２９の底面側に配置され、液体を供給する供給ポート７１と、液体を循環回収する回収ポート７２が設置される。

【0016】

振動部３は、フレーム２０の本体部２９に対向する面に配置される第２振動部材３Ｂと、第２振動部材３Ｂの底面側に配置される第１振動部材３Ａと、を有する。

【0017】

流路部２は、振動部３の底面側に配置される第２流路部材２Ｂと、第２流路部材２Ｂの底面側に配置される第１流路部材２Ａと、を有する。

【0018】

吐出部１は、流路部２の底面側に配置され、吐出孔４を有する。

【0019】

フレーム２０は、内部に液体を収容する共通流路１０を有する。

【0020】

共通流路１０は、振動部３、流路部２によって形成され、開口部９を有し、中間供給流路８に連通する。

【0021】

中間供給流路８は、第１振動部材３Ａ及び第１流路部材２Ａによって形成される個別供給流路７（７Ａ、７Ｂ、７Ｃ）に連通する。

【0022】

個別供給流路７は、第１振動部材３Ａ、流路部２、及び吐出部１によって形成され、吐出孔４が連通して配置される圧力室６に連通する。

【0023】

圧力室６を形成する第１振動部材３Ａの吐出孔４に対向する面には、第２振動部材３Ｂを挟み、アクチュエータ１１が配置される。

【0024】

アクチュエータ１１は、櫛の歯状にハーフカットされた圧電素子１２を備える。圧電素子１２はフレキシブル配線部材１５を介して外部電極に接続される。圧電素子１２はベース部材１３によって支持される。

【0025】

圧電素子１２と第１振動部材３Ａの間には、圧電素子１２の部分の周囲が切り欠かれた肉厚部３０ａが配置され、肉厚部３０ａに対応する第１振動部材３Ａの部分は、圧電素子１２に電圧が印加されることによって振動するのに従って振動する振動領域３０となる。

【0026】

圧電素子に１２に印加される電圧が基準電圧より下がると圧電素子１２は収縮し、振動領域３０の第１振動部材３Ａが上方に引かれて圧力室６の容積が増加し、流体が圧力室６の内部に流入する。

【0027】

圧電素子に印加される電圧が上がると、圧電素子は積層方向に伸長し、圧力室６の容積が減少し、流体が吐出孔４から吐出される。

【0028】

本実施形態は、特に第１流路部材２Ａと、吐出部１との接着において好適である。

【0029】

［液体吐出装置］
本実施形態のヘッド１００が適用される液体吐出装置について説明する。

【0030】

液体吐出装置は、ヘッド１００を有する液体吐出ユニットと、液体吐出ユニットを主走査方向に往復搬送するキャリッジと、記録媒体を主走査方向に対して垂直方向に搬送する搬送部と、を備える。

【0031】

ヘッド１００には液体タンクから、ヘッド１００から吐出される液体が供給される。

【0032】

ヘッド１００からは、主走査方向に液体吐出ユニットが搬送されるのに合わせて液体が記録媒体に向けて吐出される。

【0033】

ヘッド１００から吐出される液体は、その種類を問わない。また、記録媒体は紙に限定されず、液体が付着するものであればどのようなものでもよい。

【0034】

［基板］
以下、本実施形態の基板２１１について説明する。基板２１１は上述の例において吐出部１に相当する。

【0035】

（第１の実施形態）
図４は、本実施形態の基板２１１を示す平面図である。図４（Ａ）は基板２１１接着される他の基板である被接着基板２０１の平面視を、図４（Ｂ）は基板２１１の被接着基板２０１との接着面の平面視を、図４（Ｃ）は接着された基板２１１と被接着基板２０１の縦断面図を、それぞれ示す。

【0036】

本実施形態の基板２１１は、被接着基板２０１に設けられた凹部２０２（以下、流体流路ともいう。）に対応する位置に、凹部２０２の平面視の形状に対応する形状、つまりほぼ同形状の凹部によって示される識別部２１２を被接着基板２０１との接着面に備える。

【0037】

識別部２１２は、凹部２０２の平面視の外縁の形状より、平面視の外縁の形状の大きさが小さくてもよい。

【0038】

識別部２１２の外に付着している異物は、その許容範囲は異物の断面の最大直径が第１の閾値以下、例えば接着剤層２２０の厚みより十分に小さい直径以下であることが求められる。この点は、従来技術と変わりはない。

【0039】

識別部２１２の中に付着している異物は、その許容範囲は異物の断面の最大直径が第１の閾値より大きい第２の閾値以下、例えば凹部２０２の深さより十分に小さい直径以下であればよい。

【0040】

従って、識別部２１２の中に異物が付着し、その大きさが第２の閾値以下であれば、基板２１１は良品であるとして扱うことができ、歩留まりがその分向上する。

【0041】

なお、識別部２１２は、接着剤層２２０の厚みより十分に薄ければ、凹部２０２に対応する形状の凸部であってもよい。

【0042】

また、凹部２０２は、被接着基板２０１を貫通する貫通孔であってもよい。

【0043】

識別部２１２はエッチングにより形成できる。

【0044】

以上述べたように、本実施形態の基板２１１は、被接着基板２０１に設けられた凹部２０２に対応する位置に、凹部２０２に対応する形状を示す識別部２１２を備える。

【0045】

従って、識別部２１２内に付着した異物の大きさの許容範囲を緩和することができ、不良品と判定されることが少ない基板２１１を提供することができるため、歩留まりを向上させることが可能となるという効果がある。

【0046】

（第２の実施形態）
図５は、本実施形態の基板２１１を示す平面図である。図５（Ａ）は基板２１１接着される他の基板である被接着基板２０１の平面視を、図５（Ｂ）は基板２１１の被接着基板２０１との接着面の平面視を、図５（Ｃ）は接着された基板２１１と被接着基板２０１の縦断面図を、それぞれ示す。

【0047】

本実施形態の基板２１１は、被接着基板２０１に設けられた凹部２０２に対応する位置に、凹部２０２の平面視の形状に対応する形状の溝部によって示される識別部２１３を被接着基板２０１との接着面に備える。

【0048】

識別部２１３は、凹部２０２の平面視の外縁の形状より、平面視の外縁の形状の大きさが小さくてもよい。

【0049】

識別部２１３の中に付着している異物は、その許容範囲は異物の断面の最大直径が第１の閾値より大きい第２の閾値以下、例えば凹部２０２の深さより十分に小さい直径以下であればよい。

【0050】

従って、識別部２１３の中に異物が付着し、その大きさが第２の閾値以下であれば、基板２１１は良品であるとして扱うことができ、歩留まりがその分向上する。

【0051】

なお、識別部２１３は、接着剤層２２０の厚みより十分に薄ければ、凹部２０２に対応する形状の凸部であってもよい。

【0052】

また、凹部２０２は、被接着基板２０１を貫通する貫通孔であってもよい。

【0053】

識別部２１３はエッチングにより形成できる。

【0054】

以上述べたように、本実施形態の基板２１１は、被接着基板２０１に設けられた凹部２０２に対応する位置に、凹部２０２に対応する形状を示す溝部である識別部２１３を備える。

【0055】

従って、凹部２０２の容積の増減を小さくして、識別部２１２内に付着した異物の大きさの許容範囲を緩和することができ、不良品と判定されることが少ない基板２１１を提供することができるため、歩留まりを向上させることが可能となるという効果がある。

【0056】

（第３の実施形態）
図６は、本実施形態の基板２１１を示す平面図である。図６（Ａ）は基板２１１接着される他の基板である被接着基板２０１の平面視を、図６（Ｂ）は基板２１１の被接着基板２０１との接着面の平面視を、図６（Ｃ）は接着された基板２１１と被接着基板２０１の縦断面図を、それぞれ示す。

【0057】

本実施形態の基板２１１は、被接着基板２０１に設けられた凹部２０２に対応する位置に、凹部２０２の平面視の形状に対応する形状の凸部によって示される識別部２１４を被接着基板２０１との接着面に備える。

【0058】

識別部２１４は、凹部２０２の平面視の外縁の形状２０２Ａより、平面視の外縁の形状の大きさが小さくてもよい。

【0059】

識別部２１４の中に付着している異物は、その許容範囲は異物の断面の最大直径が第１の閾値より大きい第２の閾値以下、例えば凹部２０２の深さより十分に小さい直径以下であればよい。

【0060】

従って、識別部２１４の中に異物が付着し、その大きさが第２の閾値以下であれば、基板２１１は良品であるとして扱うことができ、歩留まりがその分向上する。

【0061】

なお、凹部２０２は、被接着基板２０１を貫通する貫通孔であってもよい。

【0062】

識別部２１４はエッチングにより形成できる。

【0063】

以上述べたように、本実施形態の基板２１１は、被接着基板２０１に設けられた凹部２０２に対応する位置に、凹部２０２に対応する形状を示す凸部である識別部２１４を備える。

【0064】

従って、さらに異物の位置を識別しやすくしながら、識別部２１２内に付着した異物の大きさの許容範囲を緩和することができ、不良品と判定されることが少ない基板２１１を提供することができるため、歩留まりを向上させることが可能となるという効果がある。

【0065】

また、識別部２１４が、凹部２０２の外縁の形状２０２Ａより外縁の形状の大きさが小さい場合には、被接着基板２０１との接着位置が少しずれた場合であっても凹部２０２の容積を変化させることなく、異物を識別部２１４の中にトラップすることができるという効果がある。

【0066】

（第４の実施形態）
図７は、本実施形態の基板２１１を示す平面図である。図７（Ａ）は基板２１１接着される他の基板である被接着基板２０１の平面視を、図７（Ｂ）は基板２１１の被接着基板２０１との接着面の平面視を、図７（Ｃ）は接着された基板２１１と被接着基板２０１の縦断面図を、それぞれ示す。

【0067】

本実施形態の基板２１１は、被接着基板２０１に設けられた凹部２０２に対応する位置に、凹部２０２の平面視の形状に対応する形状に外接する複数の凹部によって示される識別部２１５を被接着基板２０１との接着面に備える。

【0068】

識別部２１５は、識別部２１５に内接する形状が凹部２０２とほぼ同じ形状をなすように配置される。

【0069】

識別部２１５の内接する形状の中に付着している異物は、その許容範囲は異物の断面の最大直径が第１の閾値より大きい第２の閾値以下、例えば凹部２０２の深さより十分に小さい直径以下であればよい。

【0070】

従って、識別部２１５の中に異物が付着し、その大きさが第２の閾値以下であれば、基板２１１は良品であるとして扱うことができ、歩留まりがその分向上する。

【0071】

なお、識別部２１５は、接着剤層２２０の厚みより十分に薄ければ、凹部２０２に対応する形状の凸部であってもよい。

【0072】

また、凹部２０２は、被接着基板２０１を貫通する貫通孔であってもよい。

【0073】

識別部２１５はエッチングにより形成できる。

【0074】

以上述べたように、本実施形態の基板２１１は、被接着基板２０１に設けられた凹部２０２に対応する位置に、内接する形状が凹部２０２に対応する形状を示す複数の凹部である識別部２１５を備える。

【0075】

従って、凹部２０２の容積を変更せずに、識別部２１２内に付着した異物の大きさの許容範囲を緩和することができ、不良品と判定されることが少ない基板２１１を提供することができるため、歩留まりを向上させることが可能となるという効果がある。

【0076】

（第５の実施形態）
図８は、本実施形態の基板２１１を示す平面図である。図８（Ａ）は基板２１１接着される他の基板である被接着基板２０１の平面視を、図８（Ｂ）は基板２１１の被接着基板２０１との接着面の平面視を、それぞれ示す。

【0077】

本実施形態の基板２１１は、被接着基板２０１に設けられた凹部２０２に対応する位置に、凹部２０２の平面視の形状に対応する形状に内接する複数の凹部によって示される識別部２１７を被接着基板２０１との接着面に備える。

【0078】

識別部２１７は、識別部２１７に外接する形状が凹部２０２とほぼ同じ形状をなすように配置される。

【0079】

識別部２１７の外接する形状の中に付着している異物は、その許容範囲は異物の断面の最大直径が第１の閾値より大きい第２の閾値以下、例えば凹部２０２の深さより十分に小さい直径以下であればよい。

【0080】

従って、識別部２１７の中に異物が付着し、その大きさが第２の閾値以下であれば、基板２１１は良品であるとして扱うことができ、歩留まりがその分向上する。

【0081】

なお、識別部２１７は、接着剤層２２０の厚みより十分に薄ければ、凹部２０２に対応する形状の凸部であってもよい。

【0082】

また、凹部２０２は、被接着基板２０１を貫通する貫通孔であってもよい。また、基板２１１は貫通孔２１６を有していてもよい。

【0083】

識別部２１７はエッチングにより形成できる。

【0084】

以上述べたように、本実施形態の基板２１１は、被接着基板２０１に設けられた凹部２０２に対応する位置に、外接する形状が凹部２０２に対応する形状を示す複数の凹部である識別部２１７を備える。

【0085】

従って、凹部２０２の容積の増減を少なくして、識別部２１２内に付着した異物の大きさの許容範囲を緩和することができ、不良品と判定されることが少ない基板２１１を提供することができるため、歩留まりを向上させることが可能となるという効果がある。

【0086】

（凹部の深さ）
上記の各実施形態において、各識別部の深さは、基板２１１を貫通しない深さであることが望ましい。各識別部の深さは、後述の基板検査装置９００によって識別できる限度において浅くすることが可能である。

【0087】

識別部の深さを浅くすると、凹部２０２の目標とする容積からの差が少なくなるという効果がある。また、識別部の深さを浅くすると、基板の剛性を維持できるという効果がある。

【0088】

さらに、第４の実施形態及び第５の実施形態のように、一つの凹部２０２の位置及び形状を識別するために複数の識別部を設ける場合、識別部の深さを浅くすると、基板２１１に形成する流体流路のパターンを形成するためのエッチング工程と同時に識別部も形成でき、工程数を減少させることができるという効果がある。

【0089】

これは、識別部が浅く、しかも平面視の面積が比較的小さい場合、エッチングの時間が伸びてもエッチング用のガスがマスクと基板２１１の間に入り込まないからである。

【0090】

[基板検査方法]

【0091】

（基板検査装置）
図９は、基板２１１が良品か不良品かを検査する基板検査装置９００の構成を示す図である。

【0092】

図９に示すように、基板検査装置９００は、ＣＰＵ（central processing unit）などの演算装置を含む制御部９０１と、メモリなどの記憶装置を含む記憶部９０２と、ディスプレイ、キーボード、マウス、或いはタッチパネルなどの入出力装置を含む入出力部９０３と、基板を拡大するレンズ群及びカメラなどの撮像装置を含む撮像部９０４と、外部装置と通信する通信部と、を備える。

【0093】

基板検査装置９００は、基板２１１を１枚ずつ取り出し、検査を行う。

【0094】

（基板検査方法）
本発明の基板検査方法は、制御部及び撮像部を備える基板検査装置の制御部が、前記撮像部によって、被接着基板に設けられた流体流路に対応する位置に、前記流体流路に対応する形状を示す識別部を備える基板を撮像し、撮像して得られた画像から識別部を抽出し、前記画像から異物の位置及び大きさを抽出し、前記異物が前記識別部の内部にあると判定し、かつ、前記異物の大きさが前記識別部の内部にある場合に許容される前記異物の大きさの許容最大値を示す閾値以下であると判定した場合、前記基板は良品であると判定することを特徴とする。その一例を次に述べる。
図１０は、基板検査装置９００の制御部９０１の動作を示す図である。図１０に示しように、ステップＳ００１において、制御部９０１は、検査する基板２１１の接着面を撮像する。

【0095】

ステップＳ００２において、制御部９０１は、撮像して得られた画像から識別パターンを抽出する。

【0096】

ステップＳ００３において、制御部９０１は、撮像して得られた画像から異物の位置と大きさを抽出する。制御部９０１は、あらかじめ記憶部９０２に格納してある識別パターンの形状と、撮像して得られた画像とを比較することにより、異物の有無、位置、大きさを抽出する。

【0097】

ステップＳ００４において、制御部９０１は、異物が識別パターンによって示される形状の内部にあるか、否かを判定する。制御部９０１は、異物が識別パターンによって示される形状の内部にない場合（ステップＳ００４のＮ）、ステップＳ００５に進み、異物が識別パターンによって示される形状の内部にある場合（ステップＳ００４のＹ）、ステップＳ００６に進む。

【0098】

ステップＳ００５において、制御部９０１は、異物の大きさが第１の閾値以下であるか否かを判定する。制御部９０１は、異物の大きさが第１の閾値以下である場合（ステップＳ００５のＹ）、ステップＳ００８に進み、その基板２１１は良品であると判定し、異物の大きさが第１の閾値以下でない場合（ステップＳ００５のＮ）、ステップＳ００９に進み、その基板２１１は不良品であると判定する。

【0099】

ステップＳ００６において、制御部９０１は、異物の大きさが第１の閾値より大きい第２の閾値以下であるか否かを判定する。制御部９０１は、異物の大きさが第２の閾値以下である場合（ステップＳ００６のＹ）、ステップＳ００８に進み、その基板２１１は良品であると判定し、異物の大きさが第２の閾値以下でない場合（ステップＳ００６のＮ）、ステップＳ００９に進み、その基板２１１は不良品であると判定する。

【0100】

以上述べたように、本実施形態の基板検査方法は、基板検査装置９００の制御部９０１が、撮像部９０４によって識別部を備える基板２１１を撮像し、撮像して得られた画像から識別部を抽出し、この画像から異物の位置及び大きさを抽出し、異物が識別部の内部にあると判定した場合、異物が識別部の外部にある場合に許容される異物の大きさの許容最大値を示す第１の閾値より大きい第２の閾値以下である場合、その基板２１１は良品であると判定する。

【0101】

従って、第１の閾値によって一律に基板の良否を判定するよりも、歩留まりを向上させることができるという効果がある。

【符号の説明】

【0102】

１ 吐出部
２ 流路部
２Ａ 第１流路部材
２Ｂ 第２流路部材
３ 振動部
３Ａ 第１振動部材
３Ｂ 第２振動部材
４ 吐出孔
６ 圧力室
７ 個別供給流路
７Ａ 個別供給流路
７Ｂ 個別供給流路
７Ｃ 個別供給流路
８ 中間供給流路
９ 開口部
１０ 共通流路
１１ アクチュエータ
１２ 圧電素子
１３ ベース部材
１５ フレキシブル配線部材
２０ フレーム
２９ 本体部
３０ 振動領域
３０ａ 肉厚部
７１ 供給ポート
７２ 回収ポート
１００ ヘッド
２０１ 被接着基板
２０２ 凹部
２０２Ａ 凹部の外縁の形状
２１１ 基板
２１２ 識別部
２１３ 識別部
２１４ 識別部
２１５ 識別部
２１６ 貫通孔
２１７ 識別部
２２０ 接着剤層
９００ 基板検査装置
９０１ 制御部
９０２ 記憶部
９０３ 入出力部
９０４ 撮像部

【先行技術文献】

【特許文献】

【0103】

【文献】特開２０１９－１５０９９１号公報

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】