知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-08-13
(45)【発行日】2024-08-21
(54)【発明の名称】切削装置
(51)【国際特許分類】
B24B 45/00 20060101AFI20240814BHJP
B24B 27/06 20060101ALI20240814BHJP
B24B 49/10 20060101ALI20240814BHJP
B24B 49/12 20060101ALI20240814BHJP
B24B 7/00 20060101ALI20240814BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20240814BHJP
【ＦＩ】
B24B45/00 Z
B24B27/06 M
B24B49/10
B24B49/12
B24B7/00 Z
H01L21/78 F
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2020108765
(22)【出願日】2020-06-24
(65)【公開番号】P2022006509
(43)【公開日】2022-01-13
【審査請求日】2023-04-26
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110001014
【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】武田 俊
【審査官】須中 栄治
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１９－１１５９６１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１１－０１６１８２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１６－１７９５２０（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２０１６／０３１１１２７（ＵＳ，Ａ１）
【文献】特開２０１６－０３６８３２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０４－２６７１０６（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２４Ｂ３／００－７／３０
Ｂ２４Ｂ２１／００－５１／００
Ｂ２８Ｄ１／００－７／０４
Ｈ０１Ｌ２１／３０１；２１／７８
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
保持面においてウェーハを保持する保持手段と、スピンドルの先端に装着した切削ブレードを用いて該保持面に保持されたウェーハを切削する切削手段と、を備え、ウェーハを切削する切削装置であって、該切削手段は、該スピンドルの先端に配置され該スピンドルの軸方向に延在する円柱の先端に形成された雄ネジと該雄ネジに対し同心円状に環状に形成され該切削ブレードを支持する支持面とを有するマウントと、該雄ネジに螺合させ該支持面との間で該切削ブレードを挟むナットとを備え、
該支持面の該スピンドルの軸方向の断面における該マウントの径方向の断面形状を設定し記憶する形状記憶部と、
該支持面の該スピンドルの軸方向の断面における該マウントの径方向の断面形状を非接触にて測定する形状測定手段と、
該形状記憶部に記憶された記憶断面形状と該形状測定手段が測定した測定断面形状とを比較して該支持面の修正が必要か否かを判断する判断部と、
該判断部が該支持面の修正が必要と判断したら、該形状記憶部に記憶されている断面形状となるように該支持面の形状を修正する端面修正手段と、を備え、
該端面修正手段は、該支持面に接触可能な修正砥石と、該修正砥石の先端を検知する先端検知部と、該支持面に該修正砥石の先端を接触させた状態で該修正砥石と該支持面とを相対的に該支持面に平行な方向に移動させる移動制御部とを備え、該支持面に該修正砥石の先端を接触させうる位置に位置づけ、該修正砥石と該支持面とを相対的に該支持面に平行な方向に移動させつつ該切削手段を該スピンドルの軸方向に移動させて、該支持面の形状を修正する
切削装置。
【請求項2】
該形状測定手段は、該スピンドルの軸方向に該支持面に向かってレーザー光を投光する投光部と、該レーザー光が該支持面において反射した反射光を受光するイメージセンサと、を備え、該イメージセンサが該反射光を受光した受光位置によって該投光部から該支持面までの該スピンドルの軸方向の距離を測定する
請求項1記載の切削装置。
【請求項3】
該形状測定手段は、該スピンドルの軸方向に該支持面に向かって超音波振動を発振する発振部と、該発振部が発振した超音波振動が該支持面において反射した振動を受振する受振部と、を備え、該発振部が超音波振動を発振してから該受振部が該支持面で反射した振動を受振するまでの時間によって、該発振部から該支持面までの該スピンドルの軸方向の距離を測定する請求項1記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、切削ブレードを用いて被加工物を切削する切削装置に関する。
【背景技術】
【0002】
切削ブレードを用いて保持テーブルの保持面に保持された被加工物を切削する切削装置は、切削ブレードを回転させ、切削ブレードの切削方向に被加工物を移動させることにより、被加工物を切削している。
【0003】
切削ブレードには、円環板状のワッシャーのような形状のブレードと、電鋳によりアルミ基台に砥石を形成したハブブレードとがあり、スピンドルの先端に固定され先端に雄ネジを備えるマウントと、該マウントの雄ネジに螺合するナットとによって、切削ブレードを挟んで固定している。
【0004】
そのため、円環板状の切削ブレードがマウントに固定されている場合は、マウントの切削ブレードが接する支持面に傷がつき、当該支持面が平坦ではなくなる。また、アルミ基台の外周に電鋳で環状に砥石を形成したタイプの切削ブレードがマウントに固定されている場合は、マウントのアルミ基台が接する支持面にアルミが付着して、当該支持面が所望の形状ではなくなる。このように、切削ブレードが接するマウントの支持面が所望の形状でなくなることによって、マウントに装着された切削ブレードが厚さ方向にぶれながら回転するため、被加工物に形成されるカーフの幅が広くなるという問題がある。
【0005】
そこで、このような問題が生じるのを防ぐために、下記特許文献１ないし６に開示されているように、切削ブレードが接するマウントの支持面を砥石で削ってその形状を修正している。また、下記特許文献７に開示されているように、切削ブレードをマウントから外し、支持面の形状の修正を行った後、支持面の形状が適切に修正されたか否かを確認することも提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】特開２０１１－２２４６６６号公報
【文献】特開２０１１－０１１２９９号公報
【文献】特開２０１１－２５５４５８号公報
【文献】特開２０１２－２２３８４８号公報
【文献】特開２０１８－１８７６９４号公報
【文献】特開２０１１－０１１２９９号公報
【文献】特開２０１７－２２１９９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
しかし、特許文献７に開示された方法では、切削ブレードが接触する支持面に治具を接触させて判断しているため、支持面に傷をつける可能性がある。
したがって、切削装置においては、支持面の修正の要否及び修正が適切に行われたか否かの検査を、支持面に治具を接触させることなく行うことを課題としている。
したがって、切削装置においては、支持面の修正の要否及び修正が適切に行われたか否かの検査を、支持面に治具を接触させることなく行うことを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明は、保持面においてウェーハを保持する保持手段と、スピンドルの先端に装着した切削ブレードを用いて該保持面に保持されたウェーハを切削する切削手段と、を備え、ウェーハを切削する切削装置であって、該切削手段は、該スピンドルの先端に配置され該スピンドルの軸方向に延在する円柱の先端に形成された雄ネジと該雄ネジに対し同心円状に環状に形成され該切削ブレードを支持する支持面とを有するマウントと、該雄ネジに螺合させ該支持面との間で該切削ブレードを挟むナットとを備え、
該支持面の該スピンドルの軸方向の断面における該マウントの径方向の断面形状を設定し記憶する形状記憶部と、該支持面の該スピンドルの軸方向の断面における該マウントの径方向の断面形状を非接触にて測定する形状測定手段と、該形状記憶部に記憶された記憶断面形状と該形状測定手段が測定した測定断面形状とを比較して該支持面の修正が必要か否かを判断する判断部と、該判断部が該支持面の修正が必要と判断したら、該形状記憶部に記憶されている断面形状となるように該支持面の形状を修正する端面修正手段と、を備え、該端面修正手段は、該支持面に接触可能な修正砥石と、該修正砥石の先端を検知する先端検知部と、該支持面に該修正砥石の先端を接触させた状態で該修正砥石と該支持面とを相対的に該支持面に平行な方向に移動させる移動制御部とを備え、該支持面に該修正砥石の先端を接触させうる位置に位置づけ、該修正砥石と該支持面とを相対的に該支持面に平行な方向に移動させつつ該切削手段を該スピンドルの軸方向に移動させて、該支持面の形状を修正する切削装置である。
該支持面の該スピンドルの軸方向の断面における該マウントの径方向の断面形状を設定し記憶する形状記憶部と、該支持面の該スピンドルの軸方向の断面における該マウントの径方向の断面形状を非接触にて測定する形状測定手段と、該形状記憶部に記憶された記憶断面形状と該形状測定手段が測定した測定断面形状とを比較して該支持面の修正が必要か否かを判断する判断部と、該判断部が該支持面の修正が必要と判断したら、該形状記憶部に記憶されている断面形状となるように該支持面の形状を修正する端面修正手段と、を備え、該端面修正手段は、該支持面に接触可能な修正砥石と、該修正砥石の先端を検知する先端検知部と、該支持面に該修正砥石の先端を接触させた状態で該修正砥石と該支持面とを相対的に該支持面に平行な方向に移動させる移動制御部とを備え、該支持面に該修正砥石の先端を接触させうる位置に位置づけ、該修正砥石と該支持面とを相対的に該支持面に平行な方向に移動させつつ該切削手段を該スピンドルの軸方向に移動させて、該支持面の形状を修正する切削装置である。
【0009】
上記切削装置において、該形状測定手段は、該スピンドルの軸方向に該支持面に向かってレーザー光を投光する投光部と、該レーザー光が該支持面において反射した反射光を受光するイメージセンサと、を備え、該イメージセンサが該反射光を受光した受光位置によって該投光部から該支持面までの該スピンドルの軸方向の距離を測定することが望ましい。
また、該形状測定手段は、該スピンドルの軸方向に該支持面に向かって超音波振動を発振する発振部と、該発振部が発振した超音波振動が該支持面において反射した振動を受振する受振部と、を備え、該発振部が超音波振動を発振してから該受振部が該支持面で反射した振動を受振するまでの時間によって、該発振部から該支持面までの該スピンドルの軸方向の距離を測定することが望ましい。
また、該形状測定手段は、該スピンドルの軸方向に該支持面に向かって超音波振動を発振する発振部と、該発振部が発振した超音波振動が該支持面において反射した振動を受振する受振部と、を備え、該発振部が超音波振動を発振してから該受振部が該支持面で反射した振動を受振するまでの時間によって、該発振部から該支持面までの該スピンドルの軸方向の距離を測定することが望ましい。
【発明の効果】
【0010】
本切削装置は、マウントの支持面の形状を修正する必要があるか否かを非接触にて判断し、必要な場合は支持面の形状を修正することができるため、支持面に傷をつけることなく支持面を所望の形状に形成し、被加工物のカーフが広くなるのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】切削装置の第１例を示す斜視図である。
【図2】切削手段の例を示す分解斜視図である。
【図3】形状測定手段の第１の例を示す模式図である。
【図4】支持面の断面形状の第１例を示す斜視図である。
【図5】支持面の断面形状の第２例を示す斜視図である。
【図6】第１例の切削装置において支持面の断面形状を測定する様子を示す模式図である。
【図7】同切削装置において端面の形状を修正する状態を示す模式図である。
【図8】切削装置の第２例を示す斜視図である。
【図9】第２例の切削装置において支持面の断面形状を測定する様子を示す模式図である。
【図10】同切削装置において端面の形状を修正する状態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0012】
１ 第１実施形態
（１）切削装置
図１に示す切削装置１は、保持手段２の上面である保持面に保持された被加工物１０１を、第１切削手段３０００と第２切削手段３００１とを用いて切削加工する切削装置である。例えば、被加工物１０１は、円板形状の半導体ウェーハ等である。被加工物１０１の上面には、交差する複数の分割予定ライン１０４が形成されており、分割予定ライン１０４により区画された各領域にはデバイスチップ１０５が配設されている。
（１）切削装置
図１に示す切削装置１は、保持手段２の上面である保持面に保持された被加工物１０１を、第１切削手段３０００と第２切削手段３００１とを用いて切削加工する切削装置である。例えば、被加工物１０１は、円板形状の半導体ウェーハ等である。被加工物１０１の上面には、交差する複数の分割予定ライン１０４が形成されており、分割予定ライン１０４により区画された各領域にはデバイスチップ１０５が配設されている。
【0013】
切削装置１は、直方体形状を有するベース１０を備えている。
ベース１０の上には、保持手段２をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動手段７が配設されている。Ｘ軸移動手段７は、Ｘ軸方向の回転軸７５を有するボールネジ７０と、回転軸７５を軸にしてボールネジ７０を回転させるＸ軸モータ７２と、ボールネジ７０に平行に配設された一対のガイドレール７１と、底部のナットがボールネジ７０に螺合してガイドレール７１に沿ってＸ軸方向に移動可能な可動板７３と、を備えている。
可動板７３の上には、円筒形状を有するケーシング２６が配設されており、ケーシング２６の内部には、例えば図示しない回転手段等が配設されている。図１においては、ケーシング２６の上方に保持手段２が配設されている状態が示されている。
Ｘ軸モータ７２を用いてボールネジ７０を駆動して、回転軸７５を軸にしてボールネジ７０を回転させることによって、可動板７３がガイドレール７１に案内されながらＸ軸方向に移動するとともに、可動板７３に支持されている保持手段２がＸ軸方向に移動することとなる。また、保持手段２は、図示しない回転手段等により回転軸２４を中心として回転可能である。また、保持手段２の保持面は、吸引源２３に連通している。保持手段２の保持面の周囲には、複数（図１においては４つ）のクランプ２７が配設されている。
ベース１０の上には、保持手段２をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動手段７が配設されている。Ｘ軸移動手段７は、Ｘ軸方向の回転軸７５を有するボールネジ７０と、回転軸７５を軸にしてボールネジ７０を回転させるＸ軸モータ７２と、ボールネジ７０に平行に配設された一対のガイドレール７１と、底部のナットがボールネジ７０に螺合してガイドレール７１に沿ってＸ軸方向に移動可能な可動板７３と、を備えている。
可動板７３の上には、円筒形状を有するケーシング２６が配設されており、ケーシング２６の内部には、例えば図示しない回転手段等が配設されている。図１においては、ケーシング２６の上方に保持手段２が配設されている状態が示されている。
Ｘ軸モータ７２を用いてボールネジ７０を駆動して、回転軸７５を軸にしてボールネジ７０を回転させることによって、可動板７３がガイドレール７１に案内されながらＸ軸方向に移動するとともに、可動板７３に支持されている保持手段２がＸ軸方向に移動することとなる。また、保持手段２は、図示しない回転手段等により回転軸２４を中心として回転可能である。また、保持手段２の保持面は、吸引源２３に連通している。保持手段２の保持面の周囲には、複数（図１においては４つ）のクランプ２７が配設されている。
【0014】
保持手段２に保持される被加工物１０１は、環状のフレーム１０２に囲繞された状態で被加工物１０１の下面側からフレーム１０２とともにテープ１０３に貼着されることによって、フレーム１０２にテープ１０３を介して支持されている。
【0015】
ベース１０の－Ｘ方向側には、門型コラム１１が配設されている。門型コラム１１は、ベース１０の上にＸ軸移動手段７を介して着脱可能に配設される保持手段２の移動経路（Ｘ軸方向）の両側に立設された第１柱部１２及び第２柱部１３並びに第１柱部１２と第２柱部１３との上部の間にＹ軸方向に架設された架設部１４を備えている。
【0016】
第１柱部１２の＋Ｘ方向側の側面には、第１切削手段３０００をＹ軸方向に移動させる第１Ｙ軸移動手段４０００が配設されており、第２柱部１３の＋Ｘ方向側の側面には、第２切削手段３００１をＹ軸方向に移動させる第２Ｙ軸移動手段４００１が配設されている。
【0017】
第１Ｙ軸移動手段４０００は、Ｙ軸方向の回転軸４５を有するボールネジ４０と、ボールネジ４０に対して平行に配設された一対のガイドレール４１と、ボールネジ４０の一端に連結されたＹ軸モータ４２と、内部のナットがボールネジ４０に螺合して側部がガイドレール４１に摺接する移動基台４３とを備えている。
移動基台４３には、第１切削手段３０００をＺ軸方向に移動させる第１Ｚ軸移動手段５０００が配設されており、移動基台４３は、第１Ｚ軸移動手段５０００を介して、第１切削手段３０００を支持している。
Ｙ軸モータ４２を用いてボールネジ４０を駆動して、回転軸４５を軸にしてボールネジ４０を回転させることにより、移動基台４３がガイドレール４１に案内されながらＹ軸方向に移動するとともに、第１Ｚ軸移動手段５０００及び第１切削手段３０００がＹ軸方向に移動することとなる。
第２Ｙ軸移動手段４００１は、第１Ｙ軸移動手段４０００と同様の構成を有しており、共通の符号を付し、その説明を省略する。
移動基台４３には、第１切削手段３０００をＺ軸方向に移動させる第１Ｚ軸移動手段５０００が配設されており、移動基台４３は、第１Ｚ軸移動手段５０００を介して、第１切削手段３０００を支持している。
Ｙ軸モータ４２を用いてボールネジ４０を駆動して、回転軸４５を軸にしてボールネジ４０を回転させることにより、移動基台４３がガイドレール４１に案内されながらＹ軸方向に移動するとともに、第１Ｚ軸移動手段５０００及び第１切削手段３０００がＹ軸方向に移動することとなる。
第２Ｙ軸移動手段４００１は、第１Ｙ軸移動手段４０００と同様の構成を有しており、共通の符号を付し、その説明を省略する。
【0018】
第１Ｚ軸移動手段５０００は、Ｚ軸方向の回転軸５５を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０に対して平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０の一端に連結され、回転軸５５を軸にしてボールネジ５０を回転させるＺ軸モータ５２と、内部のナットがボールネジ５０に螺合して側部がガイドレール５１に摺接する昇降板５３とを備えている。昇降板５３は、第１切削手段３０００を支持している。
Ｚ軸モータ５２を用いてボールネジ５０を駆動すると、回転軸５５を軸にしてボールネジ５０が回転する。これに伴って、ガイドレール５１に案内されながら昇降板５３がＺ軸方向に移動するとともに、第１切削手段３０００がＺ軸方向に昇降移動することとなる。
第２Ｚ軸移動手段５００１は、第１Ｚ軸移動手段５０００と同様の構成を有しており、共通の符号を付してその説明を省略する。
Ｚ軸モータ５２を用いてボールネジ５０を駆動すると、回転軸５５を軸にしてボールネジ５０が回転する。これに伴って、ガイドレール５１に案内されながら昇降板５３がＺ軸方向に移動するとともに、第１切削手段３０００がＺ軸方向に昇降移動することとなる。
第２Ｚ軸移動手段５００１は、第１Ｚ軸移動手段５０００と同様の構成を有しており、共通の符号を付してその説明を省略する。
【0019】
Ｘ軸移動手段７、第１Ｙ軸移動手段４０００及び第２Ｙ軸移動手段４００１並びに第１Ｚ軸移動手段５０００及び第２Ｚ軸移動手段５００１は、制御部８７によって制御される。
【0020】
第１切削手段３０００及び第２切削手段３００１は、切削ブレード３０と、切削ブレード３０を上方から覆うブレードカバー３１とを備えている。
切削ブレード３０の＋Ｘ方向側には、切削ブレード３０の外周側から切削ブレード３０に向けて切削水を供給する切削水ノズル３２が配設されている。
切削ブレード３０の＋Ｘ方向側には、切削ブレード３０の外周側から切削ブレード３０に向けて切削水を供給する切削水ノズル３２が配設されている。
【0021】
第２切削手段３００１は、第１切削手段３０００と同様に構成されているため、共通の符号を付し、その説明を省略する。
【0022】
第１切削手段３０００及び第２切削手段３００１に隣接する位置には、それぞれ、切削すべき分割予定ライン１０４を検出するアライメント手段３４が配設されている。アライメント手段３４は、撮像カメラ３４０等を有しており、例えば、アライメント手段３４の下方に被加工物１０１が位置付けられている状態で、撮像カメラ３４０を用いて被加工物１０１に形成されている分割予定ライン１０４を撮像することによって、撮像された画像に基づいて分割予定ライン１０４を検出することができる。
【0023】
第１切削手段３０００及び第２切削手段３００１には、ハウジング３６をそれぞれ備えており、ハウジング３６の内部には図示しないモータ等が収容されている。
【0024】
第１切削手段３０００及び第２切削手段３００１は、図２に示すように、スピンドル６０と、スピンドル６０の先端に固定されるマウント６３と、マウント６３に装着される切削ブレード３０と、切削ブレード３０をマウント６３側に押さえるナット６６と、留め具６７とを備えている。
【0025】
スピンドル６０は、例えば、円柱状に形成されている。スピンドル６０は、ハウジング３６に保護されている。スピンドル６０は、Ｙ軸方向の回転軸６５を軸にしてスピンドル６０を回転させる図示しないモータに接続されている。スピンドル６０の先端には雌ねじ６００が形成されている。
【0026】
切削ブレード３０は、中央に開口３００を有するアルミ製の環状基台３０１と、環状基台３０１の外周に配設された切り刃３０２とを備えている。切り刃３０２は、環状基台３０１の外周部分に電着されている。
【0027】
マウント６３は、円板状のフランジ部６３０と、フランジ部６３０の中央に形成されスピンドル６０の回転軸６５の方向（－Ｙ方向側）に突出した円柱状のボス部６３３とを備えている。
フランジ部６３０は、切削ブレード３０の＋Ｙ方向側の面を支持する環状の支持面６３１を有している。また、フランジ部６３０は、支持面６３１の径方向内側に、支持面６３１より＋Ｙ方向）に凹んだ凹み部６３２を備えている。
ボス部６３３の外側面の先端には、雄ねじ６３４が形成されており、支持面６３１は、雄ねじ６３４に対し同心円状に環状に形成されている。
フランジ部６３０は、切削ブレード３０の＋Ｙ方向側の面を支持する環状の支持面６３１を有している。また、フランジ部６３０は、支持面６３１の径方向内側に、支持面６３１より＋Ｙ方向）に凹んだ凹み部６３２を備えている。
ボス部６３３の外側面の先端には、雄ねじ６３４が形成されており、支持面６３１は、雄ねじ６３４に対し同心円状に環状に形成されている。
【0028】
ナット６６の内側面には、マウント６３の雄ねじ６３４に対応する雌ねじ６６０が形成されている。また、留め具６７には、スピンドル６０の雌ねじ６００に対応する雄ねじ６７０が形成されている。
【0029】
切削ブレード３０の開口３００をマウント６３のボス部６３３に挿入し、切削ブレード３０の一方の面をマウント６３の支持面６３１に当接させ、ナット６６をボス部６３３の雄ねじ６３４に螺着することにより、切削ブレード３０が支持面６３１とナット６６とによって挟まれてスピンドル６０の先端に固定される。
【0030】
例えば、ハウジング３６の内部に収容されている図示しないモータ等により駆動されて回転している状態の切り刃３０１を図１に示した被加工物１０１に切り込ませることによって、被加工物１０１を切削加工することができる。
なお、第２切削手段３００１は、第１切削手段３０００と同様に構成されており、共通の符号を付し、その説明を省略する。
なお、第２切削手段３００１は、第１切削手段３０００と同様に構成されており、共通の符号を付し、その説明を省略する。
【0031】
図１に示すように、可動板７３の上には、第１基台７３１及び第２基台７３２が配設されている。第１基台７３１及び第２基台７３２の上には、第１切削手段３０００及び第２切削手段３００１に備えたそれぞれのマウント６３の支持面６３１のＹ軸方向の断面形状をそれぞれ修正する端面修正手段８０が配設されている。
【0032】
端面修正手段８０は、Ｘ－Ｙ平面方向に平板状に形成された修正砥石８１を備えている。修正砥石８１は、第１基台７３１の＋Ｙ方向側の側面及び第２基台７３２の－Ｙ方向側の側面からそれぞれのマウント６３に近い側に突出している。
【0033】
また、端面修正手段８０は、修正砥石８１の先端を検知する先端検知部８２を備えている。図１の例では、アライメント手段３４が先端検知部８２を兼ねているが、アライメント手段３４とは別に先端検知部を備えていてもよい。
【0034】
また、端面修正手段８０は、支持面６３１と修正砥石８１の先端とを接触させた状態で修正砥石８１と支持面６３１とを相対的に支持面６３１に平行なＸ軸方向に移動させる移動制御部８６を備えている。図１の例では、移動制御部８６がＸ軸移動手段７を制御することにより、修正砥石８１と支持面６３１とを相対的に支持面６３１に平行な方向に移動させることができる。
【0035】
端面修正手段８０の－Ｘ方向側の隣接する位置には、形状測定手段８３が配設されている。形状測定手段８３は、図３に示すように、第１切削手段３０００及び第２切削手段３００１に備えたマウント６３の支持面６３１に対してスピンドル６０の回転軸６５の方向（Ｙ軸方向）にレーザー光８３５を投光する投光部８３１と、レーザー光８３５が支持面６３１において反射した反射光８３６を結像するレンズ８３２と、結像した反射光８３７を受光するイメージセンサ８３３、投光部８１１から支持面６１３までの距離を算出し、その算出値を基に支持面６３１の断面形状を求める算出部８３４とを備えている。
【0036】
レンズ８３２及びイメージセンサ８３３は、投光部８３１よりもＸ軸方向又はＺ軸方向にずれた位置に配置されている。図３は、第１基台７３１上の形状測定手段８３を示しており、レンズ８３２及びイメージセンサ８３３は、例えば投光部８３１よりも－Ｘ方向側に位置している。一方、第１基台７３１上の形状測定手段８３のレンズ８３２及びイメージセンサ８３３は、図示していないが、例えば投光部８３１よりも＋Ｘ方向側に配置される。
【0037】
イメージセンサ８３３は、レンズ８３２が結像した反射光８３７を受光する複数の受光部がＸ軸方向に整列して配置されて構成されている。算出部８３４は、イメージセンサ８３３のどの受光部が反射光８３７を受光したかによって、投光部８３１から支持面６３１までの距離を算出する。このような距離の算出を、イメージセンサ８３３と支持面６１３とをＸ軸方向またはＺ軸方向に相対移動させながら連続的に行うことにより、支持面６３１のスピンドル６０の軸方向（Ｙ軸方向）の断面形状を取得する。
【0038】
切削装置１には、支持面６３１のスピンドル６０の回転軸６５の方向（Ｙ軸方向）の断面形状を設定し記憶断面形状として記憶する形状記憶部８４と、形状記憶部８４に記憶された記憶断面形状と形状測定手段８３が測定した実際の断面形状である測定断面形状とを比較して支持面６３１の形状の修正が必要か否かを判断する判断部８５とを備えている。
【0039】
第１切削手段３０００及び第２切削手段に備える切削ブレード３０が、図４に示すハブブレード３０である場合は、図４に示す支持面６３１１は、支持面６３１１におけるマウント６３の径方向の位置に応じてＹ軸方向の位置が異なる断面円弧形状に形成される。
また、第１切削手段３０００及び第２切削手段に備える切削ブレード３０が、図５に示す円形基台がないワッシャー型のハブレスブレード３０６である場合は、支持面６３１６は、マウント６３の径方向外側ほど－Ｙ方向に突出しハブレスブレード３０２に近くなる断面末広がり形状に形成される。
形状記憶部８４には、マウント６３に装着される切削ブレードがハブブレード３０であるかハブレスブレード３０６であるかに応じ、断面円弧形状又は断面末広がり形状のいずれかの形状が設定され記憶される。例えば、断面円弧形状の場合は、最も－Ｙ方向に突出した部分と最も＋Ｙ方向に位置する部分との高低差、最も＋Ｙ方向に位置する２か所の径方向の距離、円弧の曲率半径等の値が記憶される。一方、断面末広がり形状の場合は、最外周部と最内周部とのＹ軸方向の距離等が記憶される。
また、形状記憶部８４は、ハブブレード３０に対応した断面円弧形状と、ハブレスブレード３０６に対応した断面末広がり形状との２つの形状が設定され記憶されていてもよい。
（２）支持面形状の修正
また、第１切削手段３０００及び第２切削手段に備える切削ブレード３０が、図５に示す円形基台がないワッシャー型のハブレスブレード３０６である場合は、支持面６３１６は、マウント６３の径方向外側ほど－Ｙ方向に突出しハブレスブレード３０２に近くなる断面末広がり形状に形成される。
形状記憶部８４には、マウント６３に装着される切削ブレードがハブブレード３０であるかハブレスブレード３０６であるかに応じ、断面円弧形状又は断面末広がり形状のいずれかの形状が設定され記憶される。例えば、断面円弧形状の場合は、最も－Ｙ方向に突出した部分と最も＋Ｙ方向に位置する部分との高低差、最も＋Ｙ方向に位置する２か所の径方向の距離、円弧の曲率半径等の値が記憶される。一方、断面末広がり形状の場合は、最外周部と最内周部とのＹ軸方向の距離等が記憶される。
また、形状記憶部８４は、ハブブレード３０に対応した断面円弧形状と、ハブレスブレード３０６に対応した断面末広がり形状との２つの形状が設定され記憶されていてもよい。
（２）支持面形状の修正
【0040】
第１切削手段３０００又は第２切削手段３００１に備える切削ブレード３０を交換する際には、図２に示したナット６７をマウント６３から取り外した後、切削ブレード３０をマウント３から抜き取る。そして、マウント６３の支持面６３１が切削ブレードのタイプに応じた所望の形状か否かを確認する。
【0041】
例えば、第１切削手段３０００に備えたマウント６３の支持面６３１の形状を修正する場合は、まず、図１に示したＸ軸移動手段７が可動板７３をＸ軸方向に移動させるとともに、第１Ｙ軸移動手段４０００及び第１Ｚ軸移動手段５０００が第１切削手段３０００をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させることにより、図６に示すように、支持面６３１と距離測定手段８３とを対面させる。
【0042】
そして、投光部８３１から支持面６３１に対してレーザー光を投光しながら、第１Ｚ軸移動手段５０００が第１切削手段３０００のＺ軸方向の高さ位置を変化させ、支持面６３１の径方向にレーザー光を走査することにより、投光部８３１と支持面６３１との距離を、支持面６３１の径方向の位置ごとに、算出部８３４が算出する。このようにして算出部８３４が算出したデータを基に、支持面６３１のＹ軸方向の位置を示す分布が作成され、支持面６３１の現状の形状が把握される。
なお、投光部８３１から支持面６３１に対してレーザー光を投光しながら、Ｘ軸移動手段７が可動板７３をＸ軸方向に移動させ、支持面６３１の径方向にレーザー光を走査することにより、投光部８３１と支持面６３１との距離を、支持面６３１の径方向の位置ごとに、算出部８３４が算出するというようにして支持面６３１の形状を把握してもよい。
また、回転軸６５を中心としてマウント６３を回転させ、支持面６３１の形状をはあくしてもよい。
なお、投光部８３１から支持面６３１に対してレーザー光を投光しながら、Ｘ軸移動手段７が可動板７３をＸ軸方向に移動させ、支持面６３１の径方向にレーザー光を走査することにより、投光部８３１と支持面６３１との距離を、支持面６３１の径方向の位置ごとに、算出部８３４が算出するというようにして支持面６３１の形状を把握してもよい。
また、回転軸６５を中心としてマウント６３を回転させ、支持面６３１の形状をはあくしてもよい。
【0043】
形状記憶部８４には、支持面６３１の所望の形状が記憶されている。すなわち、切削ブレード３０がハブブレードである場合は、図４に示した断面円弧形状が記憶され、切削ブレード３０がハブレスブレードである場合は、図５に示した断面末広がり形状が記憶されている。
なお、上記のように装置に装着されているマウントを測定して支持面形状を記憶してもよいし、画像データまたは数値データなどのデータとして記憶していてもよい。
なお、上記のように装置に装着されているマウントを測定して支持面形状を記憶してもよいし、画像データまたは数値データなどのデータとして記憶していてもよい。
【0044】
例えばマウント６３にハブブレード３０を装着する場合、判断部８５は、形状記憶部８４に記憶されている断面円弧形状と、形状測定手段８３が認識した実際の形状とを比較する。そして、両形状が異なっている場合は、端面修正手段８０が支持面６３１の形状を修正する。その具体的な方法は以下のとおりである。
【0045】
まず、図１に示したＸ軸移動手段７が可動板７３をＸ軸方向に移動させるとともに、第１Ｚ軸移動手段５０００が第１切削手段３０００を下降させていき、第１基台７３１の上に配設された修正砥石８１の上方にカメラ３４０を位置付ける。そして、例えばカメラ３４０のレンズの中心に修正砥石８１の＋Ｙ方向の先端に位置するときの第１切削手段３０００の位置を、修正砥石８１の先端位置としてそのときのＹ軸モータ４２に対するパルス信号数等によって認識する。
これによって、予め記憶されているカメラ３４０の中心と支持面６３１１とのＹ軸方向の距離によって、修正砥石の先端が支持面６３１１に接触する位置に移動することが可能になる。
これによって、予め記憶されているカメラ３４０の中心と支持面６３１１とのＹ軸方向の距離によって、修正砥石の先端が支持面６３１１に接触する位置に移動することが可能になる。
【0046】
次に、Ｘ軸移動手段７が可動板７３をＸ軸方向に移動させ、図７に示すように、マウント６３の支持面６３１１を、例えば端面修正手段８０に備える修正砥石８１よりも－Ｘ方向側に位置付ける。また、図７の例では、支持面６３１１の内周の最下部が修正砥石８１よりも若干下方に位置するようにしている。
【0047】
次に、第１切削手段３０００を、マウント６３の支持面６３１１と修正砥石８１の＋Ｙ方向側の先端とが接触しうる位置に位置付ける。ここで、例えば、カメラ３４０のＹ軸方向の位置とマウント６３の支持面６３１１の最も＋Ｙ方向側に位置する基部６３１２のＹ軸方向の位置との距離はあらかじめ図１に示した制御部８７に認識されており、カメラ３４０のレンズの中心が修正砥石８１の＋Ｙ方向の先端に位置するときの第１切削手段３０００の位置に当該距離を差し引きした位置に、第１切削手段３０００を位置付けることにより、支持面６３１１の基部６３１２のＹ軸方向の位置と、修正砥石８１の＋Ｙ方向の先端の位置とが一致する。
【0048】
こうして支持面６３１が修正砥石８１による加工を受けることが可能となった状態で、スピンドル６０を回転させるとともに、移動制御部８６による制御の下でＸ軸移動手段７が可動板７３を－Ｘ方向と＋Ｘ方向とに移動させることにより、修正砥石８１が支持面６３１１に接触して支持面６３１１が削られる。
【0049】
支持面６３１１を断面円弧形状に加工するために、修正砥石８１を－Ｘ方向に移動させ修正砥石８１が支持面６３１１を横断させる。次に、第１Ｙ軸移動手段４０００は、第１切削手段３０００を－Ｙ方向に所定量インデックス送り移動させる。次に、修正砥石８１を＋Ｘ方向に移動させ修正砥石８１が支持面６３１１を横断させる。次に、第１Ｙ軸移動手段４０００は、第１切削手段３０００を－Ｙ方向に所定量インデックス送り移動させる。このように、修正砥石８１をＸ軸方向に移動させるごとに支持面６３１１を修正砥石８１に近づける。修正砥石８１が支持面６３１１に接触して消耗することによって、支持面６３１１に接触当初は研削量が大きく支持面６３１１を横断するにしたがって修正砥石８１が消耗するため徐々に研削量が小さくなるという現象を利用して、支持面６３１１の断面が円弧に形成される。
なお、修正砥石９１を用いて支持面６３１１の修正を行ってもよい
なお、修正砥石９１を用いて支持面６３１１の修正を行ってもよい
【0050】
このようにして支持面６３１１の形状を修正した後、形状測定手段８３を支持面６３１１に対面させ、形状が修正された支持面６３１１の形状を認識する。その方法は、支持面６３１１の形状を修正する前と同様である。そして、形状測定手段８３が認識した支持面６３１の測定断面形状と形状記憶部８４に記憶されている記憶断面形状とを判断部８５が比較し、形状が異なる場合は、再び支持面６３１１の形状の修正を行う。一方、測定断面形状と記憶断面形状とが一致している判断された場合は、切削ブレード３０をマウント６３に装着し、ナット６７をマウント６３の雄ねじ６３４に螺着する。この状態では、図４及び図６に示すように、基台３０１の一方の面が、支持面６３１１の頂点６３１３においてマウント６３の回転軸６５を中心とする円弧状に支持された状態となる。
【0051】
なお、上記の例では第１切削手段３０００のマウント６３の支持面６３１１の形状を修正する場合について説明したが、第２切削手段３００１のマウント６３の支持面６３１１の形状を修正する場合も、方法は同様である。
【0052】
（３）被加工物の切削
図１に示した被加工物１０１を切削加工する際には、まず、テープ１０３を介してフレーム１０２に支持されている被加工物１０１を保持手段２の保持面に吸引保持する。そして、Ｘ軸移動手段７を用いて保持手段２をＸ軸方向に移動させて、保持手段２に保持されている被加工物１０１を第１切削手段３０００及び第２切削手段３００１の下方に位置付ける。
図１に示した被加工物１０１を切削加工する際には、まず、テープ１０３を介してフレーム１０２に支持されている被加工物１０１を保持手段２の保持面に吸引保持する。そして、Ｘ軸移動手段７を用いて保持手段２をＸ軸方向に移動させて、保持手段２に保持されている被加工物１０１を第１切削手段３０００及び第２切削手段３００１の下方に位置付ける。
【0053】
次いで、アライメント手段３４に備える撮像カメラ３４０を用いて分割予定ライン１０４の撮像等を行い、撮像された分割予定ライン１０４の画像に基づいて、第１Ｙ軸移動手段４０００や第２Ｙ軸移動手段４００１を用いて第１切削手段３０００や第２切削手段３００１をＹ軸方向に適宜移動させて、分割予定ライン１０４に対する第１切削手段３０００及び第２切削手段３００１のＹ軸方向の位置合わせを行う。
【0054】
その後、ハウジング３６の内部に収容されている図示しないモータ等を用いて第１切削手段３０００及び第２切削手段３００１に備える切削ブレード３０をそれぞれ回転させる。
そして、第１Ｚ軸移動手段５０００及び第２Ｚ軸移動手段５００１を用いて第１切削手段３０００を－Ｚ方向に移動させて、回転する各々の切削ブレード３０の切り刃３０１を被加工物１０１の分割予定ライン１０４に当接させるとともに、Ｘ軸移動手段７を用いて保持手段２に保持されている被加工物１０１をＸ軸方向に移動させる。これにより、被加工物１０１と切削ブレード３０とがＸ軸方向に相対移動して、２本の分割予定ライン１０４に沿って被加工物１０１が切削される。
２本の分割予定ライン１０４の切削を行った後、例えば、隣り合う分割予定ライン１０４の間隔の分だけ第１Ｙ軸移動手段４０００及び第２Ｙ軸移動手段４００１を用いて第１切削手段３０００及び第２切削手段３００１をＹ軸方向に移動させて、同様に分割予定ライン１０４に対して切削ブレード３０を切り込ませることにより、隣り合う分割予定ライン１０４を切削加工することができる。
このようにして、被加工物１０１に形成されている同一方向の分割予定ライン１０４を全て切削した後に、例えば、図示しない回転手段等を用いて保持手段２を例えば９０度回転させてから、同様に切削加工を行うことによって、被加工物１０１の全ての分割予定ライン１０４に対して切削加工を行うことができる。
そして、第１Ｚ軸移動手段５０００及び第２Ｚ軸移動手段５００１を用いて第１切削手段３０００を－Ｚ方向に移動させて、回転する各々の切削ブレード３０の切り刃３０１を被加工物１０１の分割予定ライン１０４に当接させるとともに、Ｘ軸移動手段７を用いて保持手段２に保持されている被加工物１０１をＸ軸方向に移動させる。これにより、被加工物１０１と切削ブレード３０とがＸ軸方向に相対移動して、２本の分割予定ライン１０４に沿って被加工物１０１が切削される。
２本の分割予定ライン１０４の切削を行った後、例えば、隣り合う分割予定ライン１０４の間隔の分だけ第１Ｙ軸移動手段４０００及び第２Ｙ軸移動手段４００１を用いて第１切削手段３０００及び第２切削手段３００１をＹ軸方向に移動させて、同様に分割予定ライン１０４に対して切削ブレード３０を切り込ませることにより、隣り合う分割予定ライン１０４を切削加工することができる。
このようにして、被加工物１０１に形成されている同一方向の分割予定ライン１０４を全て切削した後に、例えば、図示しない回転手段等を用いて保持手段２を例えば９０度回転させてから、同様に切削加工を行うことによって、被加工物１０１の全ての分割予定ライン１０４に対して切削加工を行うことができる。
【0055】
支持面６３１１の形状を修正した状態で被加工物１０１の切削を行うことにより、切削ブレード３０の切り刃３０２がＹ軸方向にぶれず、切削溝（カーフ）の幅が広くなるのを防ぐことができる。
【0056】
２ 第２実施形態
図８に示す切削装置１００は、図１に示した第１基台７３１及び第２基台７３２、端面修正手段８０並びに及び形状測定手段８３に代えて、第１基台７３３及び第２基台７３４、端面修正手段９０並びに形状測定手段９３を採用したものであり、その他の部位は、図１に示した切削装置１と同様に構成されている。以下では、切削装置１と同様に構成される部位については図１と共通の符号を付し、その説明は省略することとする。
図８に示す切削装置１００は、図１に示した第１基台７３１及び第２基台７３２、端面修正手段８０並びに及び形状測定手段８３に代えて、第１基台７３３及び第２基台７３４、端面修正手段９０並びに形状測定手段９３を採用したものであり、その他の部位は、図１に示した切削装置１と同様に構成されている。以下では、切削装置１と同様に構成される部位については図１と共通の符号を付し、その説明は省略することとする。
【0057】
第１基台７３３は、第１柱部１２に固定され、第２基台７３４は第２柱部７３４に固定されている。
【0058】
端面修正手段９０は、第一基台７３３及び第２基台７３４の上部における＋Ｘ方向側に配設されている。端面修正手段９０に備える修正砥石９１は、第１基台７３３の＋Ｙ方向側の側面及び第２基台７３４の－Ｙ方向側の側面からそれぞれのマウント６３に近い側に突出している点は図１に示した修正砥石８１と同様であるが、修正砥石９１の向きが異なっており修正砥石９１は、平板状に形成されたものが立設された状態となっている。
【0059】
形状測定手段９３は、第一基台７３３及び第２基台７３４の上における端面修正手段９０の－Ｘ方向側の隣接する位置に配設されている。図９に示すように、形状測定手段９３には、支持面６３１６に向かってスピンドル６０の軸方向に超音波振動９３４を発振する発振部９３１と、発振部９３１が発振した超音波振動９３４が支持面６３１において反射した超音波反射振動９３５を受振する受振部９３２と、発振部９３１が超音波振動を発振してから受振部９３２が支持面６３１６で反射した振動を受振するまでの時間を算出し、その時間に基づき発振部９３１から支持面６３１までの距離を算出する算出部９３３とを備えている。
【0060】
図９に示すように、マウント６３が断面末広がり形状の支持面６３１６を有する場合における支持面６３１６の形状の修正について説明する。
【0061】
図５に示した切削ブレード３０６を交換する際には、切削ブレード３０６をマウント６３から取り外す。そして、図１に示した切削装置１と同様に、マウント６３の支持面６３１６の形状を形状認識手段９３が認識する。具体的には、図９に示すように、スピンドル６０の回転軸６５を中心としてマウント６３を回転させるとともに、第１Ｚ軸移動手段５０００が第１切削手段３０００を昇降させながら、発振部９３１から支持面６３１６に向かってスピンドル６０の軸方向に超音波振動９３４を発振し、超音波振動９３４が支持面６３１において反射した超音波反射振動９３５を受振部９３２が受振し、発振部９３１が超音波振動を発振してから受振部９３２が支持面６３１６で反射した振動を受振するまでの時間を算出部９３３が算出する。そして、各点におけるそれぞれの算出した時間の値に基づいて、算出部９３３が測定断面形状を求め、形状記憶部８４に記憶された記憶断面形状と形状認識手段９３が認識した測定断面形状とを判断部８５において比較し、支持面６３１６の形状修正が必要と判断した場合は、以下のようにして支持面６３１６の形状を修正する。
【0062】
支持面６３１の断面形状を修正する場合は、移動制御部８６が第１Ｚ軸移動手段５０００を制御して第１切削手段３０００をＺ軸方向に移動させ、Ｘ軸移動手段７を制御して可動板７３をＸ軸方向に移動させ、図１０に示すように、修正砥石９１を、例えば支持面６３１６の内側に位置させる。
【0063】
次に、第１切削手段３０００をＹ軸方向に移動させ、マウント６３の支持面６３１６と修正砥石９１の先端とが接触しうる位置に位置付ける。例えば、カメラ３４０のＹ軸方向の位置とマウント６３の支持面６３１６の最も－Ｙ方向に突出した最突部６３１７のＹ軸方向の位置との距離はあらかじめ制御部８７に認識されており、カメラ３４０のレンズの中心が修正砥石９１の＋Ｙ方向の先端に位置するときの第１切削手段３０００の位置に当該距離を差し引きした位置に、第１切削手段３０００を位置付けることにより、支持面６３１６の最突部６３１７のＹ軸方向の位置と、修正砥石９１の先端の位置とが一致する。
【0064】
こうして支持面６３１６が修正砥石９１による加工を受けることが可能となった状態で、スピンドル６０の回転軸を中心としてマウント６３を回転させるとともに、第１Ｚ軸移動手段５０００により第１切削手段３０００を＋Ｚ軸方向に上昇させることにより、修正砥石９１が支持面６３１６の内周６３１８に接触して支持面６３１の加工が開始される。
【0065】
そして、第１Ｚ軸移動手段５０００が第１切削手段３０００を＋Ｚ軸方向に上昇させる
次に、修正砥石９１の先端が支持面６３１６に接触しないように第１Ｙ軸移動手段４０００を制御し第１切削手段３０００を＋Ｙ方向に移動させる。次に、第１切削手段３０００を－Ｚ軸方向に下降させ修正砥石９１を支持面６３１６の内側に位置づける。次に、第１Ｙ軸移動手段４０００が所定量で第１切削手段３０００を－Ｙ方向にインデックス送り移動させ、支持面８３１を修正砥石９１の先端に接触可能にさせる。また、このような動きを何度も繰り返すことにより、修正砥石９１が支持面８３１に接触当初は、支持面６３１６の研削量が大きく修正砥石９１が消耗することによって支持面６３１６の研削量が小さくなるという現象を利用して支持面６３１６が断面末広がり状に形成される。
なお、修正砥石８１を用いて支持面６３１６の修正を行ってもよい
次に、修正砥石９１の先端が支持面６３１６に接触しないように第１Ｙ軸移動手段４０００を制御し第１切削手段３０００を＋Ｙ方向に移動させる。次に、第１切削手段３０００を－Ｚ軸方向に下降させ修正砥石９１を支持面６３１６の内側に位置づける。次に、第１Ｙ軸移動手段４０００が所定量で第１切削手段３０００を－Ｙ方向にインデックス送り移動させ、支持面８３１を修正砥石９１の先端に接触可能にさせる。また、このような動きを何度も繰り返すことにより、修正砥石９１が支持面８３１に接触当初は、支持面６３１６の研削量が大きく修正砥石９１が消耗することによって支持面６３１６の研削量が小さくなるという現象を利用して支持面６３１６が断面末広がり状に形成される。
なお、修正砥石８１を用いて支持面６３１６の修正を行ってもよい
【0066】
このようにして支持面６３１６の形状を修正した後、形状測定手段８３を支持面８３１６に対面させ、形状が修正された支持面６３１６の形状を認識する。その方法は、支持面６３１６の形状を修正する前と同様である。
【0067】
形状測定手段８３が認識した支持面６３１６の測定断面形状と形状記憶部８４に記憶されている記憶断面形状とを判断部８５が比較し、形状が異なる場合は、再び支持面６３１６の形状の修正を行う。一方、測定断面形状と記憶断面形状とが一致している判断された場合は、切削ブレード３０をマウント６３に装着し、ナット６７をマウント６３の雄ねじ６３４に螺着する。この状態では、図５に示したように、支持面６３１６の最突部６３１７においてハブレスブレード３０６の一方の面が円弧状に支持された状態となる。
【0068】
なお、上記の例では、第１切削手段３０００のマウント６３の支持面６３１１、支持面６３１６の形状を修正する場合について説明したが、第２切削手段３００１のマウント６３の支持面６３１の形状を修正する場合も、形状修正手段９０及び形状測定手段並びにマウント６３の向きが逆になるだけで、方法は同様である。
【0069】
また、上記第１及び第２実施形態では、端面修正手段８０、９０及び形状測定手段８３、９３を固定し、第１切削手段３０００及び第２切削手段３００１を移動可能として構成したが、端面修正手段８０、９０及び形状測定手段８３、９３を移動可能としてもよい。
さらに、上記第１及び第２実施形態では、切削手段を２つ有する切削装置について説明したが、切削手段は１つでもよい。
さらに、上記第１及び第２実施形態では、切削手段を２つ有する切削装置について説明したが、切削手段は１つでもよい。
【符号の説明】
【0070】
１、１００：切削装置 １０：ベース １１：門型コラム
１２：第１柱部 １３：第２柱部
１４：架設部 ２：チャックテーブル ２３：吸引源 ２４：吸引路 ２６：ケーシング
２７：クランプ
３０００：第１切削手段 ３０００：第２切削手段
３０：切削ブレード ３０１：基台 ３０２：切り刃
３１：ブレードカバー ３２：切削水ノズル
３４：アライメント手段 ３４０:撮像カメラ ３６：ハウジング
４０００：第１Ｙ軸移動手段 ４０００：第２Ｙ軸移動手段
４０：ボールネジ ４１：ガイドレール ４２：Ｙ軸モータ ４３：移動基台
４５：回転軸
５０００：第１Ｚ軸移動手段 ５０００：第２Ｚ軸移動手段
５０：ボールネジ ５１：ガイドレール ５２：Ｚ軸モータ ５３：昇降板
５５：回転軸
６０：スピンドル ６００：雌ねじ
６３：マウント ６３０：フランジ部 ６３１、６３１１、６３１６：支持面
６３２：凹み部 ６３３：ボス部 ６３４：雄ねじ
６６：ナット ６６０：雌ねじ ６７：留め具 ６７０：雄ねじ
７：Ｘ軸移動手段 ７０：ボールネジ ７１：ガイドレール ７２：Ｘ軸モータ
７３：可動板 ７５：回転軸
７３１、７３３：第１基台 ７３２、７３４：第２基台
８０：端面修正手段 ８１：修正砥石 ８２：先端検知部
８３：形状測定手段
８３１：投光部 ８３２：レンズ ８３３：受光部 ８３４：算出部
８３５：レーザー光 ８３６、８３７：反射光
８４：形状記憶部 ８５：判断部 ８６：移動制御部
８６：移動制御部 ９０：端面修正手段 ９１：修正砥石
９３：形状測定手段 ９３１：発振部 ９３２：受振部 ９３３：算出部
９３４：超音波振動 ９３５：超音波反射振動
１０１：被加工物 １０２：フレーム １０３：テープ
１０４：分割予定ライン １０５：デバイスチップ
１２：第１柱部 １３：第２柱部
１４：架設部 ２：チャックテーブル ２３：吸引源 ２４：吸引路 ２６：ケーシング
２７：クランプ
３０００：第１切削手段 ３０００：第２切削手段
３０：切削ブレード ３０１：基台 ３０２：切り刃
３１：ブレードカバー ３２：切削水ノズル
３４：アライメント手段 ３４０:撮像カメラ ３６：ハウジング
４０００：第１Ｙ軸移動手段 ４０００：第２Ｙ軸移動手段
４０：ボールネジ ４１：ガイドレール ４２：Ｙ軸モータ ４３：移動基台
４５：回転軸
５０００：第１Ｚ軸移動手段 ５０００：第２Ｚ軸移動手段
５０：ボールネジ ５１：ガイドレール ５２：Ｚ軸モータ ５３：昇降板
５５：回転軸
６０：スピンドル ６００：雌ねじ
６３：マウント ６３０：フランジ部 ６３１、６３１１、６３１６：支持面
６３２：凹み部 ６３３：ボス部 ６３４：雄ねじ
６６：ナット ６６０：雌ねじ ６７：留め具 ６７０：雄ねじ
７：Ｘ軸移動手段 ７０：ボールネジ ７１：ガイドレール ７２：Ｘ軸モータ
７３：可動板 ７５：回転軸
７３１、７３３：第１基台 ７３２、７３４：第２基台
８０：端面修正手段 ８１：修正砥石 ８２：先端検知部
８３：形状測定手段
８３１：投光部 ８３２：レンズ ８３３：受光部 ８３４：算出部
８３５：レーザー光 ８３６、８３７：反射光
８４：形状記憶部 ８５：判断部 ８６：移動制御部
８６：移動制御部 ９０：端面修正手段 ９１：修正砥石
９３：形状測定手段 ９３１：発振部 ９３２：受振部 ９３３：算出部
９３４：超音波振動 ９３５：超音波反射振動
１０１：被加工物 １０２：フレーム １０３：テープ
１０４：分割予定ライン １０５：デバイスチップ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】