発明の名称 インゴットネック引張速度の移動平均の監視を伴うシリコンインゴットの製造方法
出願人 グローバルウェーハズ カンパニー リミテッド (識別番号 518112516)
特許公開件数ランキング 796 位(10件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 760 位(9件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7539318
公報発行日 2024年8月23
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7539318
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