特許 7544132 半導体用接着剤、並びに、半導体装置及びその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-26

(45)【発行日】2024-09-03

(54)【発明の名称】半導体用接着剤、並びに、半導体装置及びその製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/60 20060101AFI20240827BHJP

   C09J 201/00 20060101ALI20240827BHJP

   C09J 163/00 20060101ALI20240827BHJP

   C09J 7/35 20180101ALI20240827BHJP

   C09J 5/00 20060101ALI20240827BHJP

   C09J 11/06 20060101ALI20240827BHJP

【ＦＩ】

H01L21/60 311Q

C09J201/00

C09J163/00

C09J7/35

C09J5/00

C09J11/06

【請求項の数】 29

(21)【出願番号】P 2022550093

(86)(22)【出願日】2020-09-16

(86)【国際出願番号】 JP2020035093

(87)【国際公開番号】W WO2022059095

(87)【国際公開日】2022-03-24

【審査請求日】2023-07-19

(73)【特許権者】

【識別番号】000004455

【氏名又は名称】株式会社レゾナック

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128381

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 義憲

(74)【代理人】

【識別番号】100169454

【弁理士】

【氏名又は名称】平野 裕之

(72)【発明者】

【氏名】秋吉 利泰

(72)【発明者】

【氏名】上野 恵子

【審査官】小池 英敏

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１５－１５３９４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１４１１０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１９２４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１４５３４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１８／２３５８５４（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６０

Ｃ０９Ｊ ２０１／００

Ｃ０９Ｊ １６３／００

Ｃ０９Ｊ ７／３５

Ｃ０９Ｊ ５／００

Ｃ０９Ｊ １１／０６

Ｈ０１Ｌ ２３／１９－２３／３１

Ｈ０１Ｌ ２３／１４

Ｈ０１Ｌ ２１／５２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、硬化剤及び酸基を有するフラックス化合物を含む半導体用接着剤であって、
前記半導体用接着剤を１０℃／分の昇温速度で加熱する示差走査熱量測定により得られるＤＳＣ曲線の６０～１５５℃の発熱量が、２０Ｊ／ｇ以下であり、
前記半導体用接着剤を１０℃／分の昇温速度で加熱するずり粘度測定により得られる粘度曲線の最低溶融粘度が、２０００Ｐａ・ｓ以上である、半導体用接着剤。

【請求項2】

前記最低溶融粘度が３０００Ｐａ・ｓ以上である、請求項１に記載の半導体用接着剤。

【請求項3】

前記最低溶融粘度が４０００Ｐａ・ｓ以上である、請求項１に記載の半導体用接着剤。

【請求項4】

前記最低溶融粘度が２００００Ｐａ・ｓ以下である、請求項１～３のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項5】

前記最低溶融粘度が１５０００Ｐａ・ｓ以下である、請求項１～３のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項6】

前記最低溶融粘度が１００００Ｐａ・ｓ以下である、請求項１～３のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項7】

前記半導体用接着剤を１０℃／分の昇温速度で加熱する示差走査熱量測定により得られるＤＳＣ曲線のオンセット温度が１５５℃以上である、請求項１～６のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項8】

前記最低溶融粘度を示す温度が１３５℃以上である、請求項１～７のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項9】

前記最低溶融粘度を示す温度が１４０℃以上である、請求項１～７のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項10】

前記最低溶融粘度を示す温度が１４５℃以上である、請求項１～７のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項11】

前記半導体用接着剤を１０℃／分の昇温速度で加熱するずり粘度測定により得られる粘度曲線の８０℃における粘度が、１００００Ｐａ・ｓ以上である、請求項１～１０のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項12】

前記熱可塑性樹脂の重量平均分子量が、１００００以上である、請求項１～１１のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項13】

前記熱可塑性樹脂の含有量が、前記半導体用接着剤の固形分全量を基準として、１～３０質量％である、請求項１～１２のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項14】

前記熱可塑性樹脂の含有量が、前記半導体用接着剤の固形分全量を基準として、５質量％以上である、請求項１～１３のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項15】

前記硬化剤が、アミン系硬化剤を含む、請求項１～１４のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項16】

前記硬化剤が、イミダゾール系硬化剤を含む、請求項１～１５のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項17】

前記硬化剤の含有量が、前記半導体用接着剤の固形分全量を基準として、２．３質量％以下である、請求項１～１６のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項18】

前記フラックス化合物の融点が、２５～２３０℃である、請求項１～１７のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項19】

前記フラックス化合物の融点が、１００～１７０℃である、請求項１～１８のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項20】

前記熱硬化性樹脂が、エポキシ樹脂を含有する、請求項１～１９のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項21】

前記熱硬化性樹脂が、３５℃で液状のエポキシ樹脂を実質的に含有しない、請求項１～２０のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項22】

フィルム状である、請求項１～２１のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項23】

加圧雰囲気下で熱を加えることにより硬化させる、請求項１～２２のいずれか一項に記載の半導体用接着剤。

【請求項24】

半導体チップ及び配線回路基板のそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置、又は、複数の半導体チップのそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置の製造方法であって、
請求項１～２３のいずれか一項に記載の半導体用接着剤を加圧雰囲気下で熱を加えることにより硬化させ、硬化した前記半導体用接着剤により前記接続部の少なくとも一部を封止する封止工程を備える、半導体装置の製造方法。

【請求項25】

前記封止工程の前に、
ステージ上に複数の半導体チップを配置する工程と、
前記ステージを６０～１５５℃に加熱しながら、前記ステージ上に配置された前記複数の半導体チップのそれぞれの上に、前記半導体用接着剤を介して他の半導体チップを順次配置し、前記半導体チップ、前記半導体用接着剤及び前記他の半導体チップがこの順に積層されてなる積層体を複数得る仮固定工程と、を更に備える、請求項２４に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項26】

前記仮固定工程の後、且つ、前記封止工程の前に、
前記半導体チップと前記他の半導体チップとを、それぞれの接続部のうちの少なくとも一方の接続部の融点以上の温度に加熱しながら圧着することで、それぞれの接続部間に金属接合を形成する接合工程を更に備える、請求項２５に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項27】

前記封止工程の前に、
ステージ上に配線回路基板又は半導体ウェハを配置する工程と、
前記ステージを６０～１５５℃に加熱しながら、前記ステージ上に配置された前記配線回路基板又は半導体ウェハの上に、前記半導体用接着剤を介して複数の半導体チップを順次配置し、前記配線回路基板、前記半導体用接着剤及び複数の前記半導体チップがこの順に積層されてなる積層体、又は、前記半導体ウェハ、前記半導体用接着剤及び複数の前記半導体チップがこの順に積層されてなる積層体を得る仮固定工程と、を更に備える、請求項２４に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項28】

前記仮固定工程の後、且つ、前記封止工程の前に、
前記配線回路基板又は半導体ウェハと前記半導体チップとを、それぞれの接続部のうちの少なくとも一方の接続部の融点以上の温度に加熱しながら圧着することで、それぞれの接続部間に金属接合を形成する接合工程を更に備える、請求項２７に記載の半導体装置の製造方法。

【請求項29】

半導体チップ及び配線回路基板のそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置、又は、複数の半導体チップのそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置であって、前記接続部の少なくとも一部が、加圧雰囲気下で熱を加えて硬化された請求項１～２３のいずれか一項に記載の半導体用接着剤の硬化物によって封止されている、半導体装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、半導体用接着剤、並びに、半導体装置及びその製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体チップと基板とを接続するには、金ワイヤ等の金属細線を用いるワイヤーボンディング方式が広く適用されてきた。

【0003】

近年、半導体装置に対する高機能化、高集積化、高速化等の要求に対応するため、半導体チップ又は基板にバンプと呼ばれる導電性突起を形成して、半導体チップと基板とを直接接続するフリップチップ接続方式（ＦＣ接続方式）が広まりつつある。

【0004】

例えば、半導体チップ及び基板間の接続に関して、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ Ｐａｃｋａｇｅ）等に盛んに用いられているＣＯＢ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｂｏａｒｄ）型の接続方式もＦＣ接続方式に該当する。また、ＦＣ接続方式は、半導体チップ上に接続部（バンプ又は配線）を形成して、半導体チップ間を接続するＣＯＣ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｃｈｉｐ）型、及び、半導体ウェハ上に接続部（バンプ又は配線）を形成して、半導体チップと半導体ウェハとの間を接続するＣＯＷ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｗａｆｅｒ）型の接続方式にも広く用いられている（例えば、特許文献１参照）。

【0005】

また、さらなる小型化、薄型化及び高機能化が強く要求されるパッケージでは、上述した接続方式を積層・多段化したチップスタック型パッケージ、ＰＯＰ（Ｐａｃｋａｇｅ Ｏｎ Ｐａｃｋａｇｅ）、ＴＳＶ（Ｔｈｒｏｕｇｈ－Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｖｉａ）等も広く普及し始めている。このような積層・多段化技術は、半導体チップ等を三次元的に配置することから、二次元的に配置する手法と比較してパッケージを小さくできる。また、半導体の性能向上、ノイズ低減、実装面積の削減、省電力化等にも有効であることから、次世代の半導体配線技術として注目されている。

【0006】

ところで、一般に接続部同士の接続には、接続信頼性（例えば絶縁信頼性）を充分に確保する観点から、金属接合が用いられている。上記接続部（例えば、バンプ及び配線）に用いられる主な金属としては、はんだ、スズ、金、銀、銅、ニッケル等があり、これらの複数種を含んだ導電材料も用いられている。接続部に用いられる金属は、表面が酸化して酸化膜が生成してしまうこと、及び、表面に酸化物等の不純物が付着してしまうことにより、接続部の接続面に不純物が生じる場合がある。このような不純物が残存すると、半導体チップと基板との間、又は２つの半導体チップの間における接続信頼性（例えば絶縁信頼性）が低下し、上述した接続方式を採用するメリットが損なわれてしまうことが懸念される。

【0007】

また、これらの不純物の発生を抑制する方法として、ＯＳＰ（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｓｏｌｄｅｒｂｉｌｉｔｙ Ｐｒｅｓｅｒｖａｔｉｖｅｓ）処理等で知られる接続部を酸化防止膜でコーティングする方法があるが、この酸化防止膜は接続プロセス時のはんだ濡れ性の低下、接続性の低下等の原因となる場合がある。

【0008】

そこで上述の酸化膜及び不純物を除去する方法として、半導体用接着剤にフラックス剤を含有させる方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【文献】特開２００８－２９４３８２号公報

【文献】国際公開第２０１３／１２５０８６号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

近年、生産性を向上させる観点から、半導体用接着剤を介して複数の半導体チップを被搭載部材（半導体チップ、半導体ウェハ、配線回路基板等）の上に搭載し仮固定した後、一括して硬化と封止を行うプロセスが提案されている。このプロセスでは、半導体用接着剤が流動可能な程度にステージに熱（６０～１５５℃程度）を加えることで、被搭載部材に半導体チップを仮固定した後、再び接続部（バンプ又は配線）の融点以上の温度（例えば２６０℃程度）で高温圧着し金属接合を行った上で、半導体用接着剤を一括して硬化する。このプロセスによれば、複数個のパッケージを効率良く作製することができる。

【0011】

上記プロセスでは、半導体用接着剤中にボイドが残存する場合があり、このボイドの発生を防止するため、一括硬化を加圧条件下で行う方法が提案されている。しかしながら、半導体チップの数が多くなると、上記方法であってもボイドが残存する場合があり、更なる改良の余地があることが明らかになった。

【0012】

そこで、本開示の目的の一つは、半導体用接着剤を介して複数の半導体チップを被搭載部材上に仮固定し、それらを高温圧着して金属接合を行った後、一括して硬化と封止を行うプロセスにおいて、半導体用接着剤中に残存し得るボイドを低減することである。

【0013】

すなわち、本開示は、上記ボイドを低減することができる半導体用接着剤、並びに、上記半導体用接着剤を用いた半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0014】

本発明者らは、上記プロセスの高温圧着時にボイドが多く発生し、結果として半導体用接着剤中にボイドが残存しやすくなると推察した。すなわち、上記高温圧着時に、半導体用接着剤には急激に高温の熱がかかる為、半導体用接着剤に含有される揮発成分が発泡、膨張することによりボイドが多く発生するものと考えられる。この高温圧着の後、一括硬化時の加圧によってボイドを除去する工程もあるが、硬化前のボイド量が多すぎると、加圧してもボイドを潰しきれずに一部が残存してしまうものと推察される。

【0015】

また、半導体ウェハ上への半導体チップの搭載数が多い場合、仮固定及び高温圧着の際に半導体用接着剤が部分的に硬化するため、結果として半導体用接着剤中にボイドが残存しやすくなると推察される。すなわち、上記プロセスでは半導体チップが順次搭載されるため、初期に搭載された半導体チップ及び半導体用接着剤に対しては、最後の半導体チップの搭載が完了するまでステージによる熱履歴が与えられ続けることとなる。そのため、半導体チップの数が多くなると、初期に搭載された半導体チップを仮固定する半導体用接着剤の硬化が部分的に進行してしまい、一括硬化時の加圧によってボイドが除去されずに残存すると推察される。本発明者らは、上記推察に基づき更なる検討を行い、本発明を完成させた。

【0016】

本開示のいくつかの側面は、以下を提供する。

【0017】

［１］可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、硬化剤及び酸基を有するフラックス化合物を含む半導体用接着剤であって、上記半導体用接着剤を１０℃／分の昇温速度で加熱する示差走査熱量測定により得られるＤＳＣ曲線の６０～１５５℃の発熱量が、２０Ｊ／ｇ以下であり、上記半導体用接着剤を１０℃／分の昇温速度で加熱するずり粘度測定により得られる粘度曲線の最低溶融粘度が、２０００Ｐａ・ｓ以上である、半導体用接着剤。

【0018】

［２］上記最低溶融粘度が３０００Ｐａ・ｓ以上である、上記［１］に記載の半導体用接着剤。

【0019】

［３］上記最低溶融粘度が４０００Ｐａ・ｓ以上である、上記［１］に記載の半導体用接着剤。

【0020】

［４］上記最低溶融粘度が２００００Ｐａ・ｓ以下である、上記［１］～［３］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0021】

［５］上記最低溶融粘度が１５０００Ｐａ・ｓ以下である、上記［１］～［３］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0022】

［６］上記最低溶融粘度が１００００Ｐａ・ｓ以下である、上記［１］～［３］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0023】

［７］上記半導体用接着剤を１０℃／分の昇温速度で加熱する示差走査熱量測定により得られるＤＳＣ曲線のオンセット温度が１５５℃以上である、上記［１］～［６］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0024】

［８］上記最低溶融粘度を示す温度が１３５℃以上である、上記［１］～［７］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0025】

［９］上記最低溶融粘度を示す温度が１４０℃以上である、上記［１］～［７］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0026】

［１０］上記最低溶融粘度を示す温度が１４５℃以上である、上記［１］～［７］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0027】

［１１］上記半導体用接着剤を１０℃／分の昇温速度で加熱するずり粘度測定により得られる粘度曲線の８０℃における粘度が、１００００Ｐａ・ｓ以上である、上記［１］～［１０］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0028】

［１２］上記熱可塑性樹脂の重量平均分子量が、１００００以上である、上記［１］～［１１］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0029】

［１３］上記熱可塑性樹脂の含有量が、上記半導体用接着剤の固形分全量を基準として、１～３０質量％である、上記［１］～［１２］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0030】

［１４］上記熱可塑性樹脂の含有量が、上記半導体用接着剤の固形分全量を基準として、５質量％以上である、上記［１］～［１３］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0031】

［１５］上記硬化剤が、アミン系硬化剤を含む、上記［１］～［１４］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0032】

［１６］上記硬化剤が、イミダゾール系硬化剤を含む、上記［１］～［１５］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0033】

［１７］上記硬化剤の含有量が、上記半導体用接着剤の固形分全量を基準として、２．３質量％以下である、上記［１］～［１６］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0034】

［１８］上記フラックス化合物の融点が、２５～２３０℃である、上記［１］～［１７］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0035】

［１９］上記フラックス化合物の融点が、１００～１７０℃である、上記［１］～［１８］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0036】

［２０］上記熱硬化性樹脂が、エポキシ樹脂を含有する、上記［１］～［１９］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0037】

［２１］上記熱硬化性樹脂が、３５℃で液状のエポキシ樹脂を実質的に含有しない、上記［１］～［２０］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0038】

［２２］フィルム状である、上記［１］～［２１］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0039】

［２３］加圧雰囲気下で熱を加えることにより硬化させる、上記［１］～［２２］のいずれかに記載の半導体用接着剤。

【0040】

［２４］半導体チップ及び配線回路基板のそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置、又は、複数の半導体チップのそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置の製造方法であって、上記［１］～［２３］のいずれかに記載の半導体用接着剤を加圧雰囲気下に熱を加えることにより硬化させ、硬化した上記半導体用接着剤により上記接続部の少なくとも一部を封止する封止工程を備える、半導体装置の製造方法。

【0041】

［２５］上記封止工程の前に、ステージ上に複数の半導体チップを配置する工程と、上記ステージを６０～１５５℃に加熱しながら、上記ステージ上に配置された上記複数の半導体チップのそれぞれの上に、上記半導体用接着剤を介して他の半導体チップを順次配置し、上記半導体チップ、上記半導体用接着剤及び上記他の半導体チップがこの順に積層されてなる積層体を複数得る仮固定工程と、を更に備える、上記［２４］に記載の半導体装置の製造方法。

【0042】

［２６］上記仮固定工程の後、且つ、上記封止工程の前に、上記半導体チップと上記他の半導体チップとを、それぞれの接続部のうちの少なくとも一方の接続部の融点以上の温度に加熱しながら圧着することで、それぞれの接続部間に金属接合を形成する接合工程を更に備える、上記［２５］に記載の半導体装置の製造方法。

【0043】

［２７］上記封止工程の前に、ステージ上に配線回路基板又は半導体ウェハを配置する工程と、上記ステージを６０～１５５℃に加熱しながら、上記ステージ上に配置された上記配線回路基板又は半導体ウェハの上に、上記半導体用接着剤を介して複数の半導体チップを順次配置し、上記配線回路基板、上記半導体用接着剤及び複数の上記半導体チップがこの順に積層されてなる積層体、又は、上記半導体ウェハ、上記半導体用接着剤及び複数の上記半導体チップがこの順に積層されてなる積層体を得る仮固定工程と、を更に備える、上記［２４］に記載の半導体装置の製造方法。

【0044】

［２８］上記仮固定工程の後、且つ、上記封止工程の前に、上記配線回路基板又は半導体ウェハと上記半導体チップとを、それぞれの接続部のうちの少なくとも一方の接続部の融点以上の温度に加熱しながら圧着することで、それぞれの接続部間に金属接合を形成する接合工程を更に備える、上記［２７］に記載の半導体装置の製造方法。

【0045】

［２９］半導体チップ及び配線回路基板のそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置、又は、複数の半導体チップのそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置であって、上記接続部の少なくとも一部が、加圧雰囲気下で熱を加えて硬化された上記［１］～［２３］のいずれかに記載の半導体用接着剤の硬化物によって封止されている、半導体装置。

【発明の効果】

【0046】

本開示によれば、半導体用接着剤を介して複数の半導体チップを被搭載部材上に仮固定し、それらを高温圧着して金属接合を行った後、一括して硬化と封止を行うプロセスにおいて、半導体用接着剤中に残存し得るボイドを低減することができる。本開示によれば、このようなボイドを低減することができる半導体用接着剤、並びに、このようなボイドが低減された半導体装置及びその製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0047】

【図1】半導体装置の一実施形態を示す模式断面図である。

【図2】半導体装置の一実施形態を示す模式断面図である。

【図3】半導体装置の一実施形態を示す模式断面図である。

【図4】半導体装置の製造方法の一実施形態を示す模式断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0048】

以下、場合により図面を参照しつつ本開示の一実施形態について詳細に説明する。なお、図面中、同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。さらに、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。

【0049】

本明細書に記載される数値範囲の上限値及び下限値は、任意に組み合わせることができる。実施例に記載される数値も、数値範囲の上限値又は下限値として用いることができる。本明細書において、「（メタ）アクリル」とは、アクリル又はそれに対応するメタクリルを意味する。

【0050】

＜半導体用接着剤及びその製造方法＞
本実施形態の半導体用接着剤は、熱可塑性樹脂（以下、場合により「（ａ）成分」という。）、熱硬化性樹脂（以下、場合により「（ｂ）成分」という。）、硬化剤（以下、場合により「（ｃ）成分」という。）及び酸基を有するフラックス化合物（以下、場合により「（ｄ）成分」という。）を含有する。本実施形態の半導体用接着剤は、必要に応じて、フィラー（以下、場合により「（ｅ）成分」という。）を含有していてもよい。

【0051】

本実施形態の半導体用接着剤の示差走査熱量測定（ＤＳＣ：Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ ｓｃａｎｎｉｎｇ ｃａｌｏｒｉｍｅｔｒｙ）により得られるＤＳＣ曲線の６０～１５５℃の発熱量は、２０Ｊ／ｇ以下である。ここで、示差走査熱量測定は、サンプルとなる半導体用接着剤の重量を１０ｍｇとし、測定温度範囲を３０～３００℃とし、昇温速度を１０℃／ｍｉｎとして、空気又は窒素雰囲気で半導体用接着剤を加熱することにより行う。発熱量は、ピーク面積の積分により算出される。

【0052】

従来の半導体用接着剤は、ＤＳＣ曲線の６０～１５５℃の温度領域に発熱ピークを有している。この温度領域における発熱は、半導体用接着剤中の熱硬化性樹脂とフラックス化合物の反応に由来する発熱であると推察され、この反応が進行すると、半導体用接着剤が部分的に硬化し、流動性が低下すると推察される。一方、通常、半導体用接着剤による半導体チップの仮固定は、半導体用接着剤を例えば６０～１５５℃に加熱して適度に流動させることにより行われる。したがって、半導体用接着剤を介して複数の半導体チップを被搭載部材（半導体チップ、半導体ウェハ、配線回路基板等）の上に搭載し仮固定した後、加圧条件下で一括して硬化と封止を行うプロセスにおいて従来の半導体用接着剤を用いると、半導体チップを仮固定する際に、半導体用接着剤中の熱硬化性樹脂とフラックス化合物とが反応することで、半導体用接着剤の硬化が部分的に進行し、加圧条件下での一括硬化時に充分に流動しなくなると推察される。一方、本実施形態の半導体用接着剤は、ＤＳＣ曲線の６０～１５５℃の発熱量が２０Ｊ／ｇ以下であり、上記半導体チップの仮固定を行う温度領域（例えば６０～１５５℃）において硬化が進行し難い。そのため、上記プロセスにおいて本実施形態の半導体用接着剤を用いることで、半導体用接着剤の充分な流動性を維持しながら複数の半導体チップを仮固定することができ、封止工程において一括硬化時のボイドの発生の低減及びそれ以前の工程で発生したボイドの消失を実現することが可能となる。さらに、ボイドの発生が低減される結果、吸湿後のリフロー工程において接続部の融点以上の温度（例えば２６０℃）で加熱したとしても、不具合（半導体用接着剤の剥離、接続部での電気的な接続不良等）が起こり難くなることが期待される。すなわち、本実施形態の半導体用接着剤によれば、半導体装置の製造における吸湿リフロー信頼性（耐リフロー性）を向上させることができる傾向がある。

【0053】

上記ＤＳＣ曲線の６０～１５５℃の発熱量は、本開示の効果が得られやすい観点から、１５Ｊ／ｇ以下が好ましく、１０Ｊ／ｇ以下がより好ましい。上記ＤＳＣ曲線の６０～１５５℃の発熱量は、本開示の効果が得られやすい観点から、６０～２８０℃の発熱量の２０％以下、１５％以下又は１０％以下であってよい。上記ＤＳＣ曲線の６０～２８０℃の発熱量は、本開示の効果が得られやすい観点から、５０Ｊ／ｇ以上又は１００Ｊ／ｇ以上であってよく、２００Ｊ／ｇ以下又は１８０Ｊ／ｇ以下であってよく、５０～２００Ｊ／ｇ、１００～２００Ｊ／ｇ又は１００～１８０Ｊ／ｇであってよい。上記ＤＳＣ曲線は、本開示の効果が得られやすい観点から、オンセット温度が１５５℃以下にある発熱ピークを有しないことが好ましい。すなわち、上記ＤＳＣ曲線の発熱ピークのオンセット温度は、本開示の効果が得られやすい観点から、１５５℃以上であることが好ましく、１６５℃以上であることがより好ましく、１７０℃以上であることがより一層好ましい。

【0054】

上記ＤＳＣ曲線を示す本実施形態の半導体用接着剤は、例えば、硬化剤全量中の反応基（フラックス化合物の酸基と反応する基）のモル数に対する、フラックス化合物全量中の酸基のモル数の比が０．０１～４．８となるように、硬化剤及びフラックス化合物を配合することで得ることができる。すなわち、本実施形態の半導体用接着剤の製造方法は、熱可塑性樹脂と、熱硬化性樹脂と、硬化剤と、酸基を有するフラックス化合物と、を混合する工程を備え、当該工程では、硬化剤全量中の反応基のモル数に対する、フラックス化合物全量中の酸基のモル数の比が０．０１～４．８となるように、硬化剤及びフラックス化合物を配合する。

【0055】

硬化剤とフラックス化合物のモル比を上記範囲とすることで、上記ＤＳＣ曲線を示す半導体用接着剤が得られる理由を本発明者らは次のように推察している。すなわち、上述のとおり、６０～１５５℃の温度領域では、半導体用接着剤中の熱硬化性樹脂とフラックス化合物とが反応する。しかしながら、硬化剤とフラックス化合物のモル比が上記範囲であると、フラックス化合物が、熱硬化性樹脂と反応する前に硬化剤と塩を形成し安定化することができると推察される。そのため、熱硬化性樹脂とフラックス化合物との反応が抑制され、結果として、上記ＤＳＣ曲線を示す半導体用接着剤が得られると推察している。

【0056】

また、本実施形態の半導体用接着剤の回転式レオメータによるずり粘度測定によって得られる粘度曲線の最低溶融粘度は２０００Ｐａ・ｓ以上である。ここで示す回転式レオメータによるずり粘度測定は、半導体用接着剤の硬化前のサンプルを２００～１５００μｍの厚みとし、測定温度範囲３０～１８０℃とし、昇温速度を１０℃／ｍｉｎとして、半導体用接着剤を加熱することにより行う。なお、半導体用接着剤の最低溶融粘度を示す温度（溶融温度）が１８０℃よりも高い場合には、測定温度範囲は当該溶融温度が含まれる範囲に設定する。最低溶融粘度は、より具体的には実施例に記載の方法で測定することができる。

【0057】

従来の半導体用接着剤は、オンセット温度が１５５℃以上である場合、最低溶融粘度が２０００Ｐａ・ｓ未満であった。このように高温状態での粘度が低いと、半導体用接着剤中に含まれる揮発成分の発泡、膨張により、ボイドが多くなることが推察される。一方、接続部の金属接合は、仮固定後の高温圧着により、半導体用接着剤を接続部の融点以上の温度（例えば２６０℃）で加熱した流動しやすい状態で行われる。したがって、半導体用接着剤を介して複数の半導体チップを被搭載部材（半導体チップ、半導体ウェハ、配線回路基板等）の上に搭載し仮固定した後、再び接続部の融点以上の温度（例えば２６０℃程度）で高温圧着し金属接合を行うプロセスにおいて従来の半導体用接着剤を用いると、樹脂の流動を伴い金属接合が行われると共に、半導体用接着剤中に含まれる揮発成分にも急激に高温がかかることで、半導体用接着剤の硬化反応が開始されゲル化してボイドを抑え込む粘度に到達する前に、揮発成分が発泡、膨張して多くのボイドを発生させてしまう。

【0058】

これに対し、本実施形態の半導体用接着剤は、最低溶融粘度が２０００Ｐａ・ｓ以上であり、上記接続部の金属接合を伴う高温圧着プロセスにおいて揮発成分の発泡、膨張を抑制しやすい。そのため、上記プロセスにおいて本実施形態の半導体用接着剤を用いることで、半導体用接着剤の充分な流動性を維持しながら複数の半導体チップを仮固定することができ、高温圧着時もボイドの量を抑制でき、封止工程において一括硬化時のボイドの発生の低減及びそれ以前の工程で発生したボイドの消失を実現することが可能となる。さらに、ボイドの発生が低減される結果、吸湿後のリフロー工程において接続部の融点以上の温度（例えば２６０℃）で加熱したとしても、不具合（半導体用接着剤の剥離、接続部での電気的な接続不良等）が起こり難くなることが期待される。すなわち、本実施形態の半導体用接着剤によれば、半導体装置の製造における吸湿リフロー信頼性（耐リフロー性）を向上させることができる傾向がある。

【0059】

上記粘度曲線の最低溶融粘度は、２０００Ｐａ・ｓ以上であるが、本開示の効果がより得られやすい観点から、３０００Ｐａ・ｓ以上が好ましく、４０００Ｐａ・ｓ以上がより好ましい。また、樹脂の流動不足による噛みこみを防ぎ、金属接合を形成しやすくするという観点から、最低溶融粘度は２００００Ｐａ・ｓ以下が好ましく、１５０００Ｐａ・ｓ以下がより好ましく、１００００Ｐａ・ｓ以下が更に好ましい。半導体用接着剤が最低溶融粘度を示す温度（溶融温度）は、熱時安定性の観点から、１３５℃以上が好ましく、１４０℃以上がより好ましく、１４５℃以上が更に好ましい。

【0060】

以下、本実施形態の半導体用接着剤を構成する各成分について説明する。

【0061】

（ａ）熱可塑性樹脂
（ａ）成分としては、特に限定されるものではないが、例えば、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカルボジイミド樹脂、シアネートエステル樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ウレタン樹脂及びアクリルゴムが挙げられる。これらの中でも耐熱性及びフィルム形成性に優れる観点から、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、アクリルゴム、シアネートエステル樹脂及びポリカルボジイミド樹脂が好ましく、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂及びアクリル樹脂がより好ましい。これらの（ａ）成分は単独で使用することができ、２種以上の混合物又は共重合体として使用することもできる。

【0062】

（ａ）成分の重量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは１００００以上であり、４００００以上であることがより好ましく、６００００以上であることが更に好ましい。このような（ａ）成分によれば、フィルム形成性及び接着剤の耐熱性を一層向上させることができる。また、重量平均分子量が１００００以上であると、フィルム状の半導体用接着剤に柔軟性を付与しやすいため、一層優れた加工性が得られやすい。また、（ａ）成分の重量平均分子量は、１００００００以下であることが好ましく、５０００００以下であることがより好ましい。このような（ａ）成分によれば、フィルムの粘度が低下するため、バンプへの埋め込み性が良好になり、より一層ボイド無く実装することができる。これらの観点から、（ａ）成分の重量平均分子量は、１００００～１００００００が好ましく、４００００～５０００００がより好ましく、６００００～５０００００が更に好ましい。

【0063】

なお、本明細書において、上記重量平均分子量とは、ＧＰＣ（ゲル浸透クロマトグラフィー、Ｇｅｌ Ｐｅｒｍｅａｔｉｏｎ Ｃｈｒｏｍａｔｏｇｒａｐｈｙ）を用いて測定された、ポリスチレン換算の重量平均分子量を示す。ＧＰＣ法の測定条件の一例を以下に示す。
装置：ＨＣＬ－８３２０ＧＰＣ、ＵＶ－８３２０（製品名、東ソー株式会社製）、又はＨＰＬＣ－８０２０（製品名、東ソー株式会社製）
カラム：ＴＳＫｇｅｌ ｓｕｐｅｒＭｕｌｔｉｐｏｒｅＨＺ－Ｍ×２、又は２ｐｉｅｃｅｓ ｏｆ ＧＭＨＸＬ ＋ １ｐｉｅｃｅ ｏｆ Ｇ－２０００ＸＬ
検出器：ＲＩ又はＵＶ検出器
カラム温度：２５～４０℃
溶離液：高分子成分が溶解する溶媒を選択する。溶媒としては、例えば、ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）、ＤＭＦ（Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド）、ＤＭＡ（Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド）、ＮＭＰ（Ｎ－メチルピロリドン）、トルエン等が挙げられる。なお、極性を有する溶剤を選択する場合は、リン酸の濃度を０．０５～０．１ｍｏｌ／Ｌ（通常は０．０６ｍｏｌ／Ｌ）、ＬｉＢｒの濃度を０．５～１．０ｍｏｌ／Ｌ（通常は０．６３ｍｏｌ／Ｌ）と調整してもよい。
流速：０．３０～１．５ｍＬ／分
標準物質：ポリスチレン

【0064】

（ａ）成分の含有量Ｃ_ａに対する（ｂ）成分の含有量Ｃ_ｂの比Ｃ_ｂ／Ｃ_ａ（質量比）は、好ましくは０．０１以上、より好ましくは０．１以上、更に好ましくは１以上であり、好ましくは５以下、より好ましくは４．５以下、更に好ましくは４以下である。比Ｃ_ｂ／Ｃ_ａを０．０１以上とすることで、より良好な硬化性及び接着力が得られ、比Ｃ_ｂ／Ｃ_ａを５以下とすることでより良好なフィルム形成性が得られる。これらの観点から、比Ｃ_ｂ／Ｃ_ａは０．０１～５であることが好ましく、０．１～４．５であることがより好ましく、１～４であることが更に好ましい。

【0065】

（ａ）成分のガラス転移温度は、接続信頼性の向上等の観点から、好ましくは－５０℃以上、より好ましくは－４０℃以上、更に好ましくは－３０℃以上であり、ラミネート性等の観点から、好ましくは２２０℃以下、より好ましくは２００℃以下、更に好ましくは１８０℃以下である。（ａ）成分のガラス転移温度は、－５０～２２０℃であることが好ましく、－４０～２００℃であることがより好ましく、－３０～１８０℃であることが更に好ましい。このような（ａ）成分を含む半導体用接着剤によれば、ウェハレベルでの実装プロセスに際し、ウェハ反り量を一層低減することができると共に、半導体用接着剤の耐熱性及びフィルム形成性を一層向上させることができる。（ａ）成分のガラス転移温度は、示差走査熱量計（ＤＳＣ）により測定することができる。

【0066】

（ａ）成分の含有量は、半導体用接着剤の固形分全量を基準として、３０質量％以下であることが好ましく、２５質量％以下であることがより好ましく、２０質量％以下であることが更に好ましい。（ａ）成分の含有量が３０質量％以下であると、半導体用接着剤は温度サイクル試験の際に良好な信頼性を得ることができ、吸湿後でも２６０℃前後のリフロー温度で良好な接着力を得ることができる。また、（ａ）成分の含有量は、半導体用接着剤の固形分全量を基準として、１質量％以上であることが好ましく、３質量％以上であることがより好ましく、５質量％以上であることが更に好ましい。（ａ）成分の含有量が１質量％以上であると、半導体用接着剤はウェハレベルでの実装プロセスに際し、ウェハ反り量を一層低減することができると共に、半導体用接着剤の耐熱性及びフィルム形成性を一層向上させることができる。また、（ａ）成分の含有量が５質量％以上であると、ウェハ形状に外形加工する際のバリ及び欠けの発生を抑制することができる。（ａ）成分の含有量は、上記観点、及び、フィルム状の半導体用接着剤に柔軟性を付与しやすく、一層優れた加工性が得られやすい観点から、半導体用接着剤の固形分全量を基準として、１～３０質量％が好ましく、３～３０質量％がより好ましく、５～３０質量％が更に好ましい。なお、「半導体用接着剤の固形分全量」とは、半導体用接着剤の全量から半導体用接着剤に含まれる溶媒の量を除いた量である。本明細書では、「半導体用接着剤の固形分全量」を、「（ａ）～（ｅ）成分の合計量」と言い換えてもよい。

【0067】

（ｂ）熱硬化性樹脂
（ｂ）成分としては、分子内に２個以上の反応基を有するものであれば特に制限なく用いることができる。半導体用接着剤が熱硬化性樹脂を含有することで、加熱により接着剤が硬化することができ、硬化した接着剤が高い耐熱性とチップへの接着力を発現し、優れた耐リフロー性が得られる。

【0068】

（ｂ）成分としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、イミド樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、シリコン樹脂、（メタ）アクリル化合物、ビニル化合物が挙げられる。これらの中でも耐熱性（耐リフロー性）及び保存安定性に優れる観点から、エポキシ樹脂、フェノール樹脂及びイミド樹脂が好ましく、エポキシ樹脂及びイミド樹脂がより好ましく、エポキシ樹脂が更に好ましい。これらの（ｂ）成分は単独で使用することができ、２種以上の混合物又は共重合体として使用することもできる。従来の半導体用接着剤の中でも、特に、熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂、メラミン樹脂又はユリア樹脂である場合に、６０～１５５℃の温度領域で後述するフラックス化合物との反応が進行しやすく、一括硬化の前に部分的な硬化が進行する傾向があるが、本実施形態では、熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂、メラミン樹脂及びユリア樹脂からなる群より選択される少なくとも一種の樹脂を含む場合であっても、このような反応及び部分的な硬化が起こり難い。

【0069】

エポキシ樹脂及びイミド樹脂としては、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂及び各種多官能エポキシ樹脂、ナジイミド樹脂、アリルナジイミド樹脂、マレイミド樹脂、アミドイミド樹脂、イミドアクリレート樹脂、各種多官能イミド樹脂及び各種ポリイミド樹脂を使用することができる。これらは単独で又は２種以上の混合物として使用することができる。

【0070】

（ｂ）成分は、高温での接続時に分解して揮発成分が発生することを抑制する観点から、接続時の温度が２５０℃の場合は、２５０℃における熱重量減少量率が５％以下のものを用いることが好ましく、接続時の温度が３００℃の場合は、３００℃における熱重量減少量率が５％以下のものを用いることが好ましい。

【0071】

（ｂ）成分は、３５℃で液状のエポキシ樹脂を実質的に含有しない（例えば（ｂ）成分１００質量部に対して３５℃で液状のエポキシ樹脂の含有量が０．１質量部以下である）ことが好ましい。この場合、熱圧着時に液状のエポキシ樹脂が分解、揮発することなく実装することができ、チップ周辺部のアウトガス汚染が抑制されるため、一層優れたパッケージスループット性が得られやすい。

【0072】

（ｂ）成分の含有量は、半導体用接着剤の固形分全量を基準として、例えば５質量％以上であり、好ましくは１５質量％以上であり、より好ましくは３０質量％以上である。（ｂ）成分の含有量は、半導体用接着剤の固形分全量を基準として、例えば８０質量％以下であり、好ましくは７０質量％以下であり、より好ましくは６０質量％以下である。（ｂ）成分の含有量は、半導体用接着剤の固形分全量を基準として、例えば、５～８０質量％であり、好ましくは１５～７０質量％であり、より好ましくは３０～６０質量％である。

【0073】

（ｃ）硬化剤
（ｃ）成分は、後述するフラックス剤と塩を形成することができる硬化剤であってよい。（ｃ）成分としては、例えば、アミン系硬化剤（アミン類）及びイミダゾール系硬化剤（イミダゾール類）が挙げられる。（ｃ）成分がアミン系硬化剤又はイミダゾール系硬化剤を含むと、接続部に酸化膜が生じることを抑制するフラックス活性を示し、接続信頼性・絶縁信頼性を向上させることができる。また、（ｃ）成分がアミン系硬化剤又はイミダゾール系硬化剤を含むと、保存安定性が一層向上し、吸湿による分解又は劣化が起こりにくくなる傾向がある。さらに、（ｃ）成分がアミン系硬化剤又はイミダゾール系硬化剤を含むと、硬化速度の調整が容易となり、また、潜在的硬化性により生産性向上を目的とした短時間硬化の実現が容易となる。

【0074】

以下、各硬化剤について説明する。

【0075】

（ｉ）アミン系硬化剤
アミン系硬化剤としては、例えばジシアンジアミドを使用することができる。

【0076】

アミン系硬化剤の含有量は、上記（ｂ）成分１００質量部に対して、好ましくは０．１質量部以上であり、好ましくは１０質量部以下であり、より好ましくは５質量部以下である。アミン系硬化剤の含有量が０．１質量部以上であると硬化性が向上する傾向があり、１０質量部以下であると金属接合が形成される前に半導体用接着剤が硬化することがなく、接続不良が発生しにくい傾向がある。これらの観点から、アミン系硬化剤の含有量は、（ｂ）成分１００質量部に対して、０．１～１０質量部が好ましく、０．１～５質量部がより好ましい。

【0077】

（ｉｉ）イミダゾール系硬化剤
イミダゾール系硬化剤としては、例えば、２－フェニルイミダゾール、２－フェニル－４－メチルイミダゾール、１－ベンジル－２－メチルイミダゾール、１－ベンジル－２－フェニルイミダゾール、１－シアノエチル－２－ウンデシルイミダゾール、１－シアノ－２－フェニルイミダゾール、１－シアノエチル－２－ウンデシルイミダゾールトリメリテイト、１－シアノエチル－２－フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、２，４－ジアミノ－６－［２’－メチルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジン、２，４－ジアミノ－６－［２’－ウンデシルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジン、２，４－ジアミノ－６－［２’－エチル－４’－メチルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジン、２，４－ジアミノ－６－［２’－メチルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジンイソシアヌル酸付加体、２－フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加体、２－フェニル－４，５－ジヒドロキシメチルイミダゾール、２－フェニル－４－メチル－５－ヒドロキシメチルイミダゾール、及び、エポキシ樹脂とイミダゾール類の付加体が挙げられる。これらの中でも、優れた硬化性、保存安定性及び接続信頼性の観点から、１－シアノエチル－２－ウンデシルイミダゾール、１－シアノ－２－フェニルイミダゾール、１－シアノエチル－２－ウンデシルイミダゾールトリメリテイト、１－シアノエチル－２－フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、２，４－ジアミノ－６－［２’－メチルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジン、２，４－ジアミノ－６－［２’－エチル－４’－メチルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジン、２，４－ジアミノ－６－［２’－メチルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジンイソシアヌル酸付加体、２－フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加体、２－フェニル－４，５－ジヒドロキシメチルイミダゾール及び２－フェニル－４－メチル－５－ヒドロキシメチルイミダゾールが好ましい。これらは単独で又は２種以上を併用して用いることができる。また、これらをマイクロカプセル化した潜在性硬化剤としてもよい。

【0078】

イミダゾール系硬化剤の含有量は、（ｂ）成分１００質量部に対して、好ましくは０．１質量部以上であり、好ましくは１０質量部以下であり、より好ましくは５質量部以下であり、更に好ましくは２．３質量部以下である。イミダゾール系硬化剤の含有量が０．１質量部以上であると硬化性が向上する傾向がある。イミダゾール系硬化剤の含有量が１０質量部以下であると金属接合が形成される前に半導体用接着剤が硬化することがなく、接続不良が発生しにくく、また、加圧雰囲気下の硬化プロセスにおいてはボイドの発生を抑制しやすい。これらの観点から、イミダゾール系硬化剤の含有量は、（ｂ）成分１００質量部に対して、０．１～１０質量部が好ましく、０．１～５質量部がより好ましく、０．１～２．３質量部がより好ましい。

【0079】

（ｃ）成分は、それぞれ１種を単独で又は２種以上の混合物として使用することができる。例えば、イミダゾール系硬化剤は単独で用いてもよく、アミン系硬化剤と共に用いてもよい。（ｃ）成分としては、（ｂ）成分の硬化剤として機能する上記以外の硬化剤も使用可能である。

【0080】

（ｃ）成分の含有量は、（ｂ）成分１００質量部に対して、好ましくは０．５質量部以上であり、好ましくは２０質量部以下であり、より好ましくは６質量部以下であり、更に好ましくは４質量部以下である。（ｃ）成分の含有量が０．５質量部以上の場合、充分に硬化が進行する傾向がある。（ｃ）成分の含有量が２０質量部以下の場合、硬化が急激に進行して反応点が多くなることを抑制し、分子鎖が短くなったり、未反応基が残存したりして信頼性が低下することを防ぐことができる傾向があり、加えて、加圧雰囲気下での硬化時にボイドが残存することを抑制しやすくなる。これらの観点から、（ｃ）成分の含有量は、（ｂ）成分１００質量部に対して、０．２～２０質量部が好ましく、０．５～６質量部がより好ましく、０．５～４質量部が更に好ましい。

【0081】

（ｃ）成分の含有量は、半導体用接着剤の固形分全量を基準として、好ましくは０．５質量％以上であり、好ましくは２．３質量％以下、より好ましくは２．０質量％以下、更に好ましくは１．５質量％以下である。（ｃ）成分の含有量が０．５質量％以上の場合、充分に硬化が進行する傾向がある。（ｃ）成分の含有量が２．３質量％以下の場合、硬化が急激に進行して反応点が多くなることを抑制し、分子鎖が短くなったり、未反応基が残存したりして信頼性が低下することを防ぐことができる傾向があり、加えて、加圧雰囲気下での硬化時にボイドが残存することを抑制しやすくなる。これらの観点から、（ｃ）成分の含有量は、半導体用接着剤の固形分全量を基準として、０．５～２．３質量％が好ましく、０．５～２．０質量％がより好ましい。

【0082】

半導体用接着剤が（ｃ）成分としてアミン系硬化剤を含む場合、酸化膜を除去するフラックス活性を示し、接続信頼性をより向上することができる。

【0083】

（ｄ）フラックス化合物
（ｄ）成分はフラックス活性（酸化物及び不純物を除去する活性）を有する化合物であり、例えば有機酸である。半導体用接着剤が（ｄ）成分を含むことで、接続部の金属の酸化膜、及び、ＯＳＰ処理によるコーティングを除去できるため、優れた接続信頼性が得られやすい。（ｄ）成分としては、フラックス化合物（例えば有機酸）の１種を単独で用いてもよく、フラックス化合物（例えば有機酸）の２種以上を併用してもよい。

【0084】

（ｄ）成分は１以上の酸基を有する。酸基は、好ましくはカルボキシル基である。（ｄ）成分がカルボキシル基を有する化合物（例えばカルボン酸）である場合、一層優れた接続信頼性が得られやすい。（ｄ）成分がカルボキシル基を有する化合物（例えばカルボン酸）である場合、本開示の効果が得られやすくなる観点から、（ｂ）成分はエポキシ樹脂、ウレタン樹脂及びユリア樹脂からなる群より選択される少なくとも一種の熱硬化性樹脂であることが好ましく、（ｃ）成分は、アミン系硬化剤及びイミダゾール系硬化剤からなる群より選択される少なくとも一種の硬化剤であることが好ましい。

【0085】

（ｄ）成分は、酸基を１～３つ有する化合物が好ましく、酸基としてカルボキシル基を１～３つ有する化合物がより好ましい。（ｄ）成分は、モノカルボン酸、ジカルボン酸及びトリカルボン酸からなる群より選択される少なくとも一種を含むことが好ましい。カルボキシル基を１～３つ有する（ｄ）成分を用いる場合、カルボキシル基を４つ以上有する化合物を用いる場合と比較して、保管時・接続作業時等における半導体用接着剤の粘度上昇を一層抑制することができ、半導体装置の接続信頼性を一層向上させることができる。

【0086】

（ｄ）成分は、モノカルボン酸及びジカルボン酸からなる群より選択される少なくとも一種を含むことがより好ましい。例えば、熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂、ウレタン樹脂又はユリア樹脂である場合には、熱による重合（硬化）をする際に、一部の（ｂ）成分と一部の（ｄ）成分が反応しエステルを生成する。カルボキシル基を１つ有するモノカルボン酸を用いた場合には、このエステルに由来するエステル結合が重合主鎖中に存在し難くなる。そのため、吸湿によりエステル加水分解が起こったとしても、分子鎖が大幅に減少することがない。したがって、吸湿後の密着力（例えばシリコンへの密着力）、及び、硬化物のバルク強度を高い水準で維持することができ、半導体装置の耐リフロー性及び接続信頼性を一層向上させることができる。また、カルボキシル基を２つ有するジカルボン酸を用いた場合には、一部の（ｂ）成分と一部の（ｄ）成分が反応し、重合主鎖中に積極的に取り込まれ、最終的な硬化物の中に（ｄ）成分が残渣として残りにくくなる為、硬化物中の酸基の数が少なくなる。したがって、半導体装置の電極部分の腐食及びイオンマイグレーションを抑制することができ、耐ＨＡＳＴ性を一層向上させることができる。

【0087】

（ｄ）成分の融点は、好ましくは２５℃以上、より好ましくは９０℃以上、更に好ましくは１００℃以上であり、好ましくは２３０℃以下、より好ましくは１８０℃以下、更に好ましくは１７０℃以下、特に好ましくは１６０℃以下である。（ｄ）成分の融点が２３０℃以下の場合は、熱硬化性樹脂と硬化剤との硬化反応が生じる前にフラックス活性が充分に発現しやすい。そのため、このような（ｄ）成分を含有する半導体用接着剤によれば、チップ搭載時に（ｄ）成分が溶融し、はんだ表面の酸化膜が除去されることで、接続信頼性に一層優れる半導体装置を実現できる。また、（ｄ）成分の融点が２５℃以上の場合は、室温下での反応が開始しにくくなり、一層保存安定性に優れる。これらの観点から、（ｄ）成分の融点は、２５～２３０℃が好ましく、９０～１８０℃以下がより好ましく、１００～１７０℃が更に好ましく、１００～１６０℃が特に好ましい。

【0088】

（ｄ）成分の融点は、一般的な融点測定装置を用いて測定できる。融点を測定する試料は、微粉末に粉砕され且つ微量を用いることで試料内の温度の偏差を少なくすることが求められる。試料の容器としては一方の端を閉じた毛細管が用いられることが多いが、測定装置によっては２枚の顕微鏡用カバーグラスに挟み込んで容器とするものもある。また、急激に温度を上昇させると試料と温度計との間に温度勾配が発生して測定誤差を生じるため、融点を計測する時点での加温は毎分１℃以下の上昇率で測定することが望ましい。

【0089】

前述のように微粉末として調製されるので、表面での乱反射により融解前の試料は不透明である。試料の外見が透明化し始めた温度を融点の下限点とし、融解しきった温度を上限点とすることが通常である。測定装置は種々の形態のものが存在するが、最も古典的な装置は二重管式温度計に試料を詰めた毛細管を取り付けて温浴で加温する装置が使用される。二重管式温度計に毛細管を貼り付ける目的で温浴の液体として粘性の高い液体が用いられ、濃硫酸ないしはシリコンオイルが用いられることが多く、温度計先端の溜めの近傍に試料が来るように取り付ける。また、融点測定装置としては金属のヒートブロックを使って加温し、光の透過率を測定しながら加温を調整しつつ自動的に融点を決定するものを使用することもできる。

【0090】

なお、本明細書中、融点が２３０℃以下とは、融点の上限点が２３０℃以下であることを意味し、融点が２５℃以上とは、融点の下限点が２５℃以上であることを意味する。

【0091】

具体的な（ｄ）成分としては、例えば、マロン酸、メチルマロン酸、ジメチルマロン酸、エチルマロン酸、アリルマロン酸、２，２’－チオジ酢酸、３，３’－チオジプロピオン酸、２，２’－（エチレンジチオ）ジ酢酸、３，３’－ジチオジプロピオン酸、２－エチル－２－ヒドロキシ酪酸、ジチオジグリコール酸、ジグリコール酸、アセチレンジカルボン酸、マレイン酸、リンゴ酸、２－イソプロピルリンゴ酸、酒石酸、イタコン酸、１，３－アセトンジカルボン酸、トリカルバリン酸、ムコン酸、β－ヒドロムコン酸、コハク酸、メチルコハク酸、ジメチルコハク酸、グルタル酸、α－ケトグルタル酸、２－メチルグルタル酸、３－メチルグルタル酸、２，２－ジメチルグルタル酸、３，３－ジメチルグルタル酸、２，２－ビス（ヒドロキシメチル）プロピオン酸、クエン酸、アジピン酸、３－ｔｅｒｔ－ブチルアジピン酸、ピメリン酸、フェニルシュウ酸、フェニル酢酸、ニトロフェニル酢酸、フェノキシ酢酸、ニトロフェノキシ酢酸、フェニルチオ酢酸、ヒドロキシフェニル酢酸、ジヒドロキシフェニル酢酸、マンデル酸、ヒドロキシマンデル酸、ジヒドロキシマンデル酸、１，２，３，４－ブタンテトラカルボン酸、スベリン酸、４，４’－ジチオジ酪酸、けい皮酸、ニトロけい皮酸、ヒドロキシけい皮酸、ジヒドロキシけい皮酸、クマリン酸、フェニルピルビン酸、ヒドロキシフェニルピルビン酸、カフェ酸、ホモフタル酸、トリル酢酸、フェノキシプロピオン酸、ヒドロキシフェニルプロピオン酸、ベンジルオキシ酢酸、フェニル乳酸、トロパ酸、３－（フェニルスルホニル）プロピオン酸、３，３－テトラメチレングルタル酸、５－オキソアゼライン酸、アゼライン酸、フェニルコハク酸、１，２－フェニレンジ酢酸、１，３－フェニレンジ酢酸、１，４－フェニレンジ酢酸、ベンジルマロン酸、セバシン酸、ドデカン二酸、ウンデカン二酸、ジフェニル酢酸、ベンジル酸、ジシクロヘキシル酢酸、テトラデカン二酸、２，２－ジフェニルプロピオン酸、３，３－ジフェニルプロピオン酸、４，４－ビス（４－ヒドロキシフェニル）吉草酸（ジフェノール酸）、ピマール酸、パラストリン酸、イソピマル酸、アビエチン酸、デヒドロアビエチン酸、ネオアビエチン酸、アガト酸、安息香酸、２－ヒドロキシ安息香酸、３－ヒドロキシ安息香酸、４－ヒドロキシ安息香酸、２，３－ジヒドロキシ安息香酸、２，４－ジヒドロキシ安息香酸、２，５－ジヒドロキシ安息香酸、２，６－ジヒドロキシ安息香酸、３，４－ジヒドロキシ安息香酸、２，３，４－トリヒドロキシ安息香酸、２，４，６－トリヒドロキシ安息香酸、３，４，５－トリヒドロキシ安息香酸、１，２，３－ベンゼントリカルボン酸、１，２，４－ベンゼントリカルボン酸、１，３，５－ベンゼントリカルボン酸、２－［ビス（４－ヒドロキシフェニル）メチル］安息香酸、１－ナフトエ酸、２－ナフトエ酸、１－ヒドロキシ－２－ナフトエ酸、２－ヒドロキシ－１－ナフトエ酸、３－ヒドロキシ－２－ナフトエ酸、６－ヒドロキシ－２－ナフトエ酸、１，４－ジヒドロキシ－２－ナフトエ酸、３，５－ジヒドロキシ－２－ナフトエ酸、３，７－ジヒドロキシ－２－ナフトエ酸、２，３－ナフタレンジカルボン酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸、２－フェノキシ安息香酸、ビフェニル－４－カルボン酸、ビフェニル－２－カルボン酸、２－ベンゾイル安息香酸などが挙げられる。これらの中でも、優れたフラックス活性が得られやすい観点及び本開示の効果が得られやすい観点から、ベンジル酸及びジフェニル酢酸が好ましい。

【0092】

（ｄ）成分の含有量は、半導体用接着剤の固形分全量を基準として、好ましくは０．１質量％以上であり、好ましくは１０質量％以下、より好ましくは５質量％以下、更に好ましくは２質量％以下である。（ｄ）成分の含有量は、半導体装置作製時の接続信頼性と耐リフロー性の観点から、半導体用接着剤の固形分全量を基準として、０．１～１０質量％であることが好ましく、０．１～５質量％であることがより好ましく、０．１～２質量％であることが更に好ましい。なお、フラックス活性を有する化合物が（ａ）～（ｃ）成分に該当する場合、当該化合物は（ｄ）成分にも該当するものとして（ｄ）成分の含有量を算出する。後述の酸基のモル数等についても同様である。

【0093】

本実施形態では、（ｃ）成分全量中の反応基のモル数に対する、（ｄ）成分全量中の酸基のモル数の比が、０．０１以上であることが好ましく、４．８以下であることが好ましい。上記モル比は、より好ましくは０．１以上であり、更に好ましくは０．５以上であり、より好ましくは４．０以下であり、更に好ましくは３．０以下である。

【0094】

（ｄ）成分がモノカルボン酸、ジカルボン酸及びトリカルボン酸からなる群より選択される少なくとも一種を含む場合、（ｃ）成分全量中の反応基のモル数に対する、（ｄ）成分全量中の酸基のモル数の比が、０．０１～４．８であり、且つ、（ｃ）成分全量中の反応基のモル数に対する、モノカルボン酸のモル数の比が０．０１～４．８であり、（ｃ）成分全量中の反応基のモル数に対する、ジカルボン酸のモル数の比が０．０１～２．４であり、（ｃ）成分全量中の反応基のモル数に対する、トリカルボン酸のモル数の比が０．０１～１．６であることが好ましく、（ｃ）成分全量中の反応基のモル数に対する、モノカルボン酸のモル数の比が０．５～３．０であり、（ｃ）成分全量中の反応基のモル数に対する、ジカルボン酸のモル数の比が０．２５～１．５であり、（ｃ）成分全量中の反応基のモル数に対する、トリカルボン酸のモル数の比が０．５／３～１．０であることが好ましい。

【0095】

（ｅ）フィラー
本実施形態の半導体用接着剤は、必要に応じて、フィラー（（ｅ）成分）を含有していてもよい。（ｅ）成分によって、半導体用接着剤の粘度、半導体用接着剤の硬化物の物性等を制御することができる。具体的には、（ｅ）成分によれば、例えば、接続時のボイド発生の抑制、半導体用接着剤の硬化物の吸湿率の低減、等を図ることができる。

【0096】

（ｅ）成分としては、絶縁性無機フィラー、ウィスカー、樹脂フィラー等を用いることができる。また、（ｅ）成分としては、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

【0097】

絶縁性無機フィラーとしては、例えば、ガラス、シリカ、アルミナ、酸化チタン、カーボンブラック、マイカ及び窒化ホウ素が挙げられる。これらの中でも、シリカ、アルミナ、酸化チタン及び窒化ホウ素が好ましく、シリカ、アルミナ及び窒化ホウ素がより好ましい。

【0098】

ウィスカーとしては、例えば、ホウ酸アルミニウム、チタン酸アルミニウム、酸化亜鉛、珪酸カルシウム、硫酸マグネシウム及び窒化ホウ素が挙げられる。

【0099】

樹脂フィラーとしては、例えば、ポリウレタン、ポリイミド等の樹脂からなるフィラーが挙げられる。

【0100】

樹脂フィラーは、有機成分（エポキシ樹脂及び硬化剤等）と比較して熱膨張率が小さいため接続信頼性の向上効果に優れる。また、樹脂フィラーによれば、半導体用接着剤の粘度調整を容易に行うことができる。また、樹脂フィラーは、無機フィラーと比較して応力を緩和する機能に優れている。

【0101】

無機フィラーは、樹脂フィラーと比較して熱膨張率が小さいため、無機フィラーによれば、接着剤組成物の低熱膨張率化が実現できる。また、無機フィラーには汎用品で粒径制御されたものが多いため、粘度調整にも好ましい。

【0102】

樹脂フィラー及び無機フィラーはそれぞれに有利な効果があるため、用途に応じていずれか一方を用いてもよく、双方の機能を発現するため双方を混合して用いてもよい。

【0103】

（ｅ）成分の形状、粒径及び含有量は特に制限されない。また、（ｅ）成分は、表面処理によって物性を適宜調整されたものであってもよい。

【0104】

（ｅ）成分の含有量は、半導体用接着剤の固形分全量基準で、好ましくは１０質量％以上であり、より好ましくは１５質量％以上であり、好ましくは８０質量％以下であり、より好ましくは６０質量％以下である。（ｅ）成分の含有量は、半導体用接着剤の固形分全量基準で、１０～８０質量％であることが好ましく、１５～６０質量％であることがより好ましい。

【0105】

（ｅ）成分は、絶縁物で構成されていることが好ましい。（ｅ）成分が導電性物質（例えば、はんだ、金、銀、銅等）で構成されていると、絶縁信頼性（特にＨＡＳＴ耐性）が低下するおそれがある。

【0106】

（その他の成分）
本実施形態の半導体用接着剤には、酸化防止剤、シランカップリング剤、チタンカップリング剤、レベリング剤、イオントラップ剤等の添加剤を配合してもよい。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。これらの配合量については、各添加剤の効果が発現するように適宜調整すればよい。

【0107】

本実施形態の半導体用接着剤は、フィルム状であってよい。この場合、Ｐｒｅ－ａｐｐｌｉｅｄ方式で半導体チップと配線基板の空隙又は複数の半導体チップ間の空隙を封止する場合の作業性を向上させることができる。フィルム状に成形された本実施形態の半導体用接着剤（フィルム状接着剤）の作製方法の一例を以下に示す。

【0108】

まず、（ａ）成分、（ｂ）成分、（ｃ）成分及び（ｄ）成分、並びに必要に応じて添加される（ｅ）成分等を、有機溶媒中に加え、攪拌混合、混錬等により、溶解又は分散させて、樹脂ワニスを調製する。その後、離型処理を施した基材フィルム上に、樹脂ワニスをナイフコーター、ロールコーター、アプリケーター等を用いて塗布した後、加熱により有機溶媒を除去することにより、基材フィルム上にフィルム状接着剤を形成することができる。

【0109】

フィルム状接着剤の厚みは特に制限されないが、例えば、接続前のバンプの高さの０．５～１．５倍であることが好ましく、０．６～１．３倍であることがより好ましく、０．７～１．２倍であることが更に好ましい。

【0110】

フィルム状接着剤の厚さがバンプの高さの０．５倍以上であると、接着剤の未充填によるボイドの発生を充分に抑制することができ、接続信頼性を一層向上させることができる。また、厚さが１．５倍以下であると、接続時にチップ接続領域から押し出される接着剤の量を充分に抑制することができるため、不要な部分への接着剤の付着を充分に防止することができる。フィルム状接着剤の厚さが１．５倍より大きいと、多くの接着剤をバンプが排除しなければならなくなり、導通不良が生じやすくなる。また、狭ピッチ化・多ピン化によるバンプの弱化（バンプ径の微小化）に対して、多くの樹脂を排除することは、バンプへのダメージが大きくなるため好ましくない。

【0111】

一般にバンプの高さが５～１００μｍであることからすると、フィルム状接着剤の厚さは２．５～１５０μｍであることが好ましく、３．５～１２０μｍであることがより好ましい。

【0112】

樹脂ワニスの調製に用いる有機溶媒としては、各成分を均一に溶解又は分散し得る特性を有するものが好ましく、例えば、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ－メチル－２－ピロリドン、ジメチルスルホキシド、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トルエン、ベンゼン、キシレン、メチルエチルケトン、テトラヒドロフラン、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブ、ジオキサン、シクロヘキサノン、及び酢酸エチルが挙げられる。これらの有機溶媒は、単独で又は２種以上を組み合わせて使用することができる。樹脂ワニス調製の際の攪拌混合及び混錬は、例えば、攪拌機、らいかい機、３本ロール、ボールミル、ビーズミル又はホモディスパーを用いて行うことができる。

【0113】

基材フィルムとしては、有機溶媒を揮発させる際の加熱条件に耐え得る耐熱性を有するものであれば特に制限はなく、ポリプロピレンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム等のポリオレフィンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム及びポリエーテルイミドフィルムを例示できる。基材フィルムは、これらのフィルムからなる単層のものに限られず、２種以上の材料からなる多層フィルムであってもよい。

【0114】

基材フィルムへ塗布した樹脂ワニスから有機溶媒を揮発させる際の乾燥条件は、有機溶媒が充分に揮発する条件とすることが好ましく、具体的には、５０～２００℃、０．１～９０分間の加熱を行うことが好ましい。有機溶媒は、フィルム状接着剤全量に対して１．５質量％以下まで除去されることが好ましい。

【0115】

また、本実施形態の半導体用接着剤は、ウェハ上で直接形成してもよい。具体的には、例えば、上記樹脂ワニスをウェハ上に直接スピンコートして膜を形成した後、有機溶媒を除去することにより、ウェハ上に直接半導体用接着剤からなる層を形成してもよい。

【0116】

本実施形態の半導体用接着剤は、６０～１５５℃の温度領域での半導体チップの仮固定が容易となる観点から、８０℃での溶融粘度が５０００～３００００Ｐａ・ｓであることが好ましく、１３０℃での溶融粘度が２５００～２００００Ｐａ・ｓであることが好ましく、８０℃での溶融粘度が８０００～２７０００Ｐａ・ｓであり、且つ、１３０℃での溶融粘度が３５００～１５０００Ｐａ・ｓであることがより好ましく、８０℃での溶融粘度が１００００～２５０００Ｐａ・ｓであり、且つ、１３０℃での溶融粘度が４５００～１００００Ｐａ・ｓであることが更に好ましい。上記溶融粘度は、実施例に記載の方法で測定することができる。

【0117】

以上説明した本実施形態の半導体用接着剤は、加圧雰囲気下で熱を加えることにより硬化させるプロセスに好適に用いることができ、特に、半導体用接着剤を介して複数の半導体チップを被搭載部材（半導体チップ、半導体ウェハ、配線回路基板等）の上に搭載し仮固定した後、再び接続部の融点以上の温度（例えば２６０℃程度）で高温圧着し金属接合を行った上で、半導体用接着剤を一括して硬化と封止を行うプロセスに好適に用いることができる。このプロセスに本実施形態の半導体用接着剤を用いる場合、仮固定時及び高温圧着による金属接合時のボイドの発生を抑制できると共に、加圧により接着剤内部のボイドが除去されやすく、一層優れた耐リフロー性が得られやすい。

【0118】

＜半導体装置＞
本実施形態の半導体装置は、半導体チップ及び配線回路基板のそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置、又は、複数の半導体チップのそれぞれの接続部が互いに電気的に接続された半導体装置である。この半導体装置では、接続部の少なくとも一部が、加圧雰囲気下で熱を加えて硬化された上記半導体用接着剤の硬化物によって封止されている。以下、図１、図２及び図３を参照して本実施形態の半導体装置について説明する。図１、図２及び図３は、それぞれ、後述する実施形態に係る方法によって製造され得る半導体装置の一実施形態を示す断面図である。

【0119】

図１は、半導体チップ及び基板のＣＯＢ型の接続態様を示す模式断面図である。図１に示す半導体装置１００は、半導体チップ１及び基板２（配線回路基板）と、これらの間に介在する接着剤層４０とを備える。半導体装置１００の場合、半導体チップ１は、半導体チップ本体１０と、半導体チップ本体１０の基板２側の面上に配置された配線又はバンプ１５と、配線又はバンプ１５上に配置された接続部としてのはんだ３０とを有する。基板２は、基板本体２０と、基板本体２０の半導体チップ１側の面上に配置された接続部としての配線又はバンプ１６とを有する。半導体チップ１のはんだ３０と、基板２の配線又はバンプ１６とは、金属接合によって電気的に接続されている。半導体チップ１及び基板２は、配線又はバンプ１６及びはんだ３０によりフリップチップ接続されている。配線又はバンプ１５，１６及びはんだ３０は、接着剤層４０によって封止されることで、外部環境から遮断されている。

【0120】

図２は、半導体チップ同士のＣＯＣ型の接続態様を示す。図２に示す半導体装置３００の構成は、２つの半導体チップ１が配線又はバンプ１５及びはんだ３０を介してフリップチップ接続されている点を除き、半導体装置１００と同様である。

【0121】

図１及び図２において、配線又はバンプ１５等の接続部は、パッドと呼ばれる金属膜（例えば、金めっき）であってもよく、ポスト電極（例えば、銅ピラー）であってもよい。

【0122】

半導体チップ本体１０としては、特に制限はなく、シリコン、ゲルマニウム等の同一種類の元素から構成される元素半導体、ガリウムヒ素、インジウムリン等の化合物半導体などの各種半導体を用いることができる。

【0123】

基板２としては、配線回路基板であれば特に制限はなく、ガラスエポキシ、ポリイミド、ポリエステル、セラミック、エポキシ、ビスマレイミドトリアジン等を主な成分とする絶縁基板の表面に形成された金属層の不要な箇所をエッチング除去して配線（配線パターン）が形成された回路基板、上記絶縁基板の表面に金属めっき等によって配線（配線パターン）が形成された回路基板、上記絶縁基板の表面に導電性物質を印刷して配線（配線パターン）が形成された回路基板などを用いることができる。

【0124】

配線又はバンプ１５及び１６、はんだ３０等の接続部の材質としては、主成分として、金、銀、銅、はんだ（主成分は、例えば、スズ－銀、スズ－鉛、スズ－ビスマス、スズ－銅、スズ－銀－銅）、スズ、ニッケル等が用いられ、単一の成分のみで構成されていてもよく、複数の成分から構成されていてもよい。接続部は、これらの金属が積層された構造を有していてもよい。金属材料のうち、銅、はんだが、比較的安価であり、好ましい。接続信頼性の向上及び反り抑制の観点から、接続部がはんだを含んでいてもよい。

【0125】

パッドの材質としては、主成分として、金、銀、銅、はんだ（主成分は、例えば、スズ－銀、スズ－鉛、スズ－ビスマス、スズ－銅、スズ－銀－銅）、スズ、ニッケル等が用いられ、単一の成分のみで構成されていてもよく、複数の成分から構成されていてもよい。パッドは、これらの金属が積層された構造を有していてもよい。接続信頼性の観点から、パッドが金又ははんだを含んでいてもよい。

【0126】

配線又はバンプ１５，１６（配線パターン）の表面には、金、銀、銅、はんだ（主成分は、例えば、スズ－銀、スズ－鉛、スズ－ビスマス、スズ－銅）、スズ、ニッケル等を主成分とする金属層が形成されていてもよい。この金属層は単一の成分のみで構成されていてもよく、複数の成分から構成されていてもよい。金属層が複数の金属層が積層された構造を有していてもよい。金属層が、比較的安価な銅又ははんだを含んでいてもよい。接続信頼性の向上及び反り抑制の観点から、金属層が、はんだを含んでいてもよい。

【0127】

図１又は図２に示すような半導体装置（パッケージ）を積層して、金、銀、銅、はんだ（主成分は、例えば、スズ－銀、スズ－鉛、スズ－ビスマス、スズ－銅、スズ－銀－銅）、スズ、ニッケル等で電気的に接続してもよい。接続するための金属は、比較的安価な銅又ははんだであってもよい。例えば、ＴＳＶ技術で見られるような、接着剤層を半導体チップ間に介して、フリップチップ接続又は積層し、半導体チップを貫通する孔を形成し、パターン面の電極とつなげてもよい。

【0128】

図３は、半導体装置の他の実施形態（半導体チップ積層型の態様（ＴＳＶ））を示す断面図である。図３に示す半導体装置５００では、基板としてのインターポーザー本体５０上に形成された配線又はバンプ１５が半導体チップ１のはんだ３０と接続されることにより、半導体チップ１とインターポーザー５とがフリップチップ接続されている。半導体チップ１とインターポーザー５との間には接着剤層４０が介在している。上記半導体チップ１におけるインターポーザー５と反対側の表面上に、配線又はバンプ１５、はんだ３０及び接着剤層４０を介して半導体チップ１が繰り返し積層されている。半導体チップ１の表裏におけるパターン面の配線又はバンプ１５は、半導体チップ本体１０の内部を貫通する孔内に充填された貫通電極３４により互いに接続されている。貫通電極３４の材質としては、銅、アルミニウム等を用いることができる。

【0129】

このようなＴＳＶ技術により、通常は使用されない半導体チップの裏面からも信号を取得することができる。更には、半導体チップ１内に貫通電極３４を垂直に通すため、対向する半導体チップ１間、並びに、半導体チップ１及びインターポーザー５間の距離を短くし、柔軟な接続が可能である。接着剤層は、このようなＴＳＶ技術において、対向する半導体チップ１間、並びに、半導体チップ１及びインターポーザー５間の封止材料として適用することができる。

【0130】

＜半導体装置の製造方法＞
半導体装置の製造方法の一実施形態は、接続部を有する第一の部材と接続部を有する第二の部材とを、第一の部材の接続部と第二の部材の接続部とが対向配置されるように、半導体用接着剤を介して積層する積層工程と、当該半導体用接着剤を加圧雰囲気下で熱を加えることにより硬化させ、硬化した半導体用接着剤により接続部の少なくとも一部を封止する封止工程と、を備える。ここで、第一の部材は、例えば、配線回路基板、半導体チップ又は半導体ウェハであり、第二の部材は半導体チップである。また、本実施形態の製造方法は、積層工程と封止工程との間に、積層工程において得られた積層体の第一の部材と第二の部材とを、それぞれの接続部のうちの少なくとも一方の接続部の融点以上の温度に加熱しながら圧着することで、それぞれの接続部間に金属接合を形成する接合工程を備えていてよい。

【0131】

第一の部材が半導体チップである場合、積層工程は、例えば、ステージ上に複数の半導体チップを配置する工程と、ステージを加熱しながら、ステージ上に配置された複数の半導体チップのそれぞれの上に、半導体用接着剤を介して他の半導体チップを順次配置し、半導体チップ、半導体用接着剤及び他の半導体チップがこの順に積層されてなる積層体（仮固定体）を複数得る仮固定工程と、を含む。

【0132】

第一の部材が配線回路基板又は半導体ウェハである場合、積層工程は、例えば、ステージ上に配線回路基板又は半導体ウェハを配置する工程と、ステージを加熱しながら、ステージ上に配置された配線回路基板又は半導体ウェハの上に、半導体用接着剤を介して複数の半導体チップを順次配置し、配線回路基板、半導体用接着剤及び複数の上記半導体チップがこの順に積層されてなる積層体（仮固定体）、又は、半導体ウェハ、半導体用接着剤及び複数の上記半導体チップがこの順に積層されてなる積層体（仮固定体）を得る仮固定工程と、を含む。

【0133】

仮固定工程では、例えば、まず、第一の部材上又は第二の部材上に半導体用接着剤を配置（例えばフィルム状の半導体用接着剤を貼付）する。次いで、ダイシングテープ上で個片化された半導体チップをピックアップして、圧着機の圧着ツール（圧着ヘッド）に吸着させ、配線回路基板、他の半導体チップ又は半導体ウェハに仮固定する。

【0134】

半導体用接着剤を配置する方法は特に限定されず、例えば、半導体用接着剤がフィルム状である場合には、加熱プレス、ロールラミネート、真空ラミネート等の方法であってよい。配置される半導体用接着剤の面積及び厚みは、第一の部材及び第二の部材のサイズ、接続部（バンプ）の高さ等によって適宜設定される。半導体用接着剤を半導体チップ上に配置してもよいし、半導体用接着剤が配置された半導体ウェハをダイシングした後、これを半導体チップに個片化してもよい。

【0135】

仮固定工程では、接続部同士を電気的に接続するために位置あわせが必要である。そのため、一般的にはフリップチップボンダー等の圧着機が使用される。

【0136】

仮固定のために圧着ツールが半導体チップをピックアップする際に、半導体チップ上の半導体用接着剤等に熱が転写しないように、圧着ツールが低温であることが好ましい。一方、圧着（仮圧着）時には、半導体用接着剤の流動性を高めて、巻き込まれたボイドを効率的に排除できるように、半導体チップが高温に加熱されることが好ましい。ただし、半導体用接着剤の硬化反応の開始温度よりも低温の加熱が好ましい。冷却時間を短縮するため、半導体チップをピックアップする際の圧着ツールの温度と、仮固定の際の圧着ツールの温度との差は、小さい方が好ましい。この温度差は、１００℃以下が好ましく、６０℃以下がより好ましく、実質的に０℃であることが更に好ましい。温度差が１００℃以上であると、圧着ツールの冷却に時間がかかるため生産性が低下する傾向がある。半導体用接着剤の硬化反応の開始温度とはＤＳＣ（株式会社パーキンエルマー製、ＤＳＣ－Ｐｙｉｒｓ１）を用いて、サンプル量１０ｍｇ、昇温速度１０℃／分、空気又は窒素雰囲気の条件で測定したときのオンセット温度をいう。

【0137】

仮固定のために加えられる荷重は、接続部（バンプ）の数、接続部（バンプ）の高さばらつきの吸収、接続部（バンプ）の変形量等の制御を考慮して適宜設定される。仮固定工程では、圧着（仮圧着）後に、対向する接続部同士が接触していることが好ましい。圧着後に接続部同士が接触していると、接合工程における高温圧着において接続部の金属接合が形成しやすく、また、半導体用接着剤の噛み込みが少ない傾向がある。荷重は、ボイドを排除し、接続部の接触のために、大きい方が好ましく、例えば、接続部（バンプ）１個あたり、０．０００１～０．２Ｎが好ましく、０．０００５～０．１５Ｎがより好ましく、０．００１～０．１Ｎがより一層好ましい。

【0138】

仮固定工程の圧着時間は、生産性向上の観点から、短時間であるほど好ましく、例えば、５秒以下、３秒以下、又は２秒以下であってもよい。

【0139】

ステージの加熱温度は、第一の部材の接続部の融点及び第二の部材の接続部の融点よりも低い温度であり、通常６０～１５０℃、又は、７０～１００℃であってよい。このような温度で加熱することで、半導体用接着剤中に巻き込まれたボイドを効率的に排除できる。

【0140】

仮固定の際の圧着ツールの温度は、前述のように半導体チップをピックアップする際の圧着ツールの温度との温度差が小さくなるように設定することが好ましいが、例えば、８０～３５０℃、又は、１００～１７０℃であってよい。

【0141】

接合工程では、仮固定工程で得られた積層体（仮固定体）における第一の部材と第二の部材とを、それぞれの接続部（バンプ）のうちの少なくとも一方の接続部の融点以上の温度に加熱しながら圧着することで、それぞれの接続部間に金属接合を形成する。接合工程では、フリップチップボンダー等の圧着機が使用される。

【0142】

接合工程において、圧着機の圧着ツール（圧着ヘッド）の温度は、第一の部材の接続部の融点及び第二の部材の接続部の融点のうちの少なくとも一方の融点以上の温度とされる。圧着ツールの温度は、それぞれの接続部間に金属接合を充分に形成する観点から、１８０℃以上、２２０℃以上、又は２５０℃以上であってよい。一方、半導体用接着剤に急激に高温の熱がかかることで半導体用接着剤に含有される揮発成分が発泡、膨張し、ボイドが多く発生することを抑制する観点から、圧着ツールの温度は、３５０℃以下、３２０℃以下、又は３００℃以下であってよい。

【0143】

圧着のために加えられる荷重は、接続部（バンプ）の数、接続部（バンプ）の高さばらつきの吸収、接続部（バンプ）の変形量等の制御を考慮して適宜設定される。荷重は、ボイドを排除し、接続部の金属接合を効率的に行う観点から、大きい方が好ましく、例えば、接続部（バンプ）１個あたり、０．０００１～０．２Ｎが好ましく、０．０００５～０．１５Ｎがより好ましく、０．００１～０．１Ｎがより一層好ましい。

【0144】

接合工程の圧着時間は、生産性向上及び半導体用接着剤の硬化の進行を抑制する観点から、例えば、１０秒以下、５秒以下、又は４秒以下であってもよい。一方、それぞれの接続部間に金属接合を充分に形成する観点から、圧着時間は、１秒以上、２秒以上、又は３秒以上であってもよい。

【0145】

ステージの加熱温度は、通常６０～１５０℃、又は、７０～１００℃であってよい。このような温度で加熱することで、半導体用接着剤中に巻き込まれたボイドを効率的に排除できる。

【0146】

積層工程が上記仮固定工程及び上記接合工程を含む場合、接合工程に続く封止工程では、複数の積層体又は複数の半導体チップを備える積層体（高温圧着積層体）における半導体用接着剤を一括して硬化させ、複数の接続部を一括して封止してよい。封止工程により、通常、半導体用接着剤によって接続部間の空隙が充てんされる。また、対向する接続部間の金属接合がより強固なものとなる。封止工程は、加熱及び加圧が可能な装置を用いて行われる。装置の例としては、加圧リフロ炉、及び加圧オーブンが挙げられる。

【0147】

封止工程の加熱温度（接続温度）は、対向する接続部（例えば、バンプ－バンプ、バンプ－パッド、バンプ－配線）の融点未満、且つ、半導体用接着剤が硬化可能な温度で加熱することが好ましい。加熱温度は、例えば、１５０～４５０℃、又は、１７０～２００℃であってよい。

【0148】

封止工程において、加圧を圧着機を用いて行うと、接続部の側面にはみ出た半導体用接着剤（フィレット）には圧着機の熱が伝わり難いため、圧着（本圧着）後、半導体用接着剤の硬化を充分に進行させるための加熱処理が更に必要となることが多い。そのため、封止工程での加圧は、圧着機ではなく、加圧リフロ炉、加圧オーブン等内での気圧により行うことが好ましい。気圧による加圧であれば、全体に熱を加えることができ、圧着（本圧着）後の加熱処理を短縮、又は無くすことができ、生産性が向上する。また、気圧による加圧であれば、複数の積層体（高温圧着積層体）又は複数の半導体チップを備える積層体（高温圧着積層体）の本圧着を、一括して行い易い。さらに、圧着機を用いた直接的な加圧ではなく、気圧による加圧の方が、フィレット抑制の観点からも、好ましい。フィレット抑制は、半導体装置の小型化及び高密度化の傾向に対して、重要である。

【0149】

封止工程における圧着が行われる雰囲気は、特に制限はないが、空気、窒素、蟻酸等を含む雰囲気が好ましい。

【0150】

封止工程における圧着の圧力は、接続される部材のサイズ及び数等に応じて適宜設定される。圧力は、例えば、大気圧を超えて１ＭＰａ以下であってもよい。圧力が大きいほうがボイド抑制、接続性向上の観点から好ましく、フィレット抑制の観点からは圧力は小さいほうが好ましい。そのため、積層体が加圧される際の装置のゲージ圧力は０．０５～１．０ＭＰａがより好ましい。

【0151】

圧着時間は、ボイドを充分に消失させ、且つ、半導体用接着剤を充分に硬化させる観点から、０．１～３時間、０．２～２時間、又は０．２５～１時間であってよい。

【0152】

ＴＳＶ構造の半導体装置のように、立体的に複数の半導体チップが積層される場合、複数の半導体チップを一つずつ積み重ねて仮固定及び高温圧着された状態とし、その後、積層された複数の半導体チップを一括して加熱及び加圧することで半導体装置を得てもよい。

【0153】

図４は、半導体装置の製造方法の一実施形態を示す模式断面図である。以下、図４を参照しながら各工程について説明する。なお、図４において、第一の部材は半導体ウェハ、第二の部材は半導体チップである。

【0154】

積層工程は、図４の（ａ）に示すように、ステージ６０上に半導体ウェハ３を配置する工程と、半導体用接着剤４４を介して複数の半導体チップ１を順次配置し、半導体ウェハ３、半導体用接着剤４４及び複数の半導体チップ１がこの順に積層されてなる積層体（仮固定体）を得る仮固定工程と、を含む。仮固定工程は、圧着ツール７０を備える圧着機を用いて行われる。積層工程の各条件は上述した通りである。

【0155】

ここで、半導体ウェハ３は、半導体ウェハ本体１１と、半導体ウェハ本体１１の半導体チップ１側の面上に配置された配線又はバンプ１５と、配線又はバンプ１５上に配置された接続部としてのバンプ３８とを有する。また、半導体ウェハ３は、その表面保護の目的で、パッシベーション膜４６を備える。パッシベーション膜の構成材料としては、ポリイミド樹脂、窒化ケイ素（ＳｉＮ）、酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）等が挙げられる。なお、半導体ウェハ３は、パッシベーション膜４６を備えていなくてもよい。

【0156】

半導体チップ１は、半導体チップ本体１０と、半導体チップ本体１０の半導体ウェハ３側の面上に配置された接続部としてのバンプ又は銅ピラー１７と、バンプ又は銅ピラー１７上に配置された接続部としてのはんだ３６とを有する。なお、図３に示すように複数の半導体チップ１を多段化する場合には、積層する半導体チップ１の内部には貫通電極３４が設けられていてもよい。

【0157】

本実施形態では、仮固定の際に、半導体チップ１の面上に、半導体用接着剤４４が配置される。半導体用接着剤４４としては、本実施形態の半導体用接着剤が用いられる。

【0158】

仮固定工程において半導体ウェハ３上への半導体チップ１の搭載数が多い場合、図４の（ｂ）に示すように、初期に搭載された半導体チップ１及び半導体用接着剤４４に対しては、最後の半導体チップ１の搭載が完了するまでステージ６０による熱履歴が与えられ続けることとなる。全ての半導体チップ１が搭載されるまでの時間（最初に搭載された半導体チップに熱履歴が与えられ続ける時間）は、半導体チップ１の搭載数によって変動するが、例えば、１～３時間である。

【0159】

接合工程では、図４の（ｃ）に示すように、仮固定工程で得られた積層体（仮固定体）における半導体ウェハ３と半導体チップ１とを、それぞれの接続部（はんだ３６又はバンプ３８）のうちの少なくとも一方の接続部の融点以上の温度に加熱しながら圧着することで、はんだ３６及びバンプ３８間に金属接合を形成する。接合工程は、圧着ツール８０を備える圧着機を用いて行われる。接合工程の各条件は上述した通りである。また、この接合工程での加熱により、半導体用接着剤４４は、後述する封止工程でまだ流動性が保たれる程度にやや硬化（半硬化）してもよい。但し、接合工程における加熱時間は短いため、半導体用接着剤４４が完全に硬化することはない。接合工程を経て、半導体用接着剤４４は、半硬化した半導体用接着剤４２となる。

【0160】

半導体ウェハ３上への半導体チップ１の圧着数が多い場合、接合工程においても、図４の（ｄ）に示すように、初期に圧着された半導体チップ１及び半硬化した半導体用接着剤４２に対しては、最後の半導体チップ１の搭載が完了するまでステージ６０による熱履歴が与えられ続けることとなる。全ての半導体チップ１が圧着されるまでの時間（最初に圧着された半導体チップに熱履歴が与えられ続ける時間）は、半導体チップ１の搭載数によって変動するが、例えば、１～３時間である。

【0161】

封止工程では、図４の（ｅ）に示すように、接合工程で得られた積層体（高温圧着積層体）を加圧オーブン９０内で加熱及び加圧することで、半硬化した半導体用接着剤４２を一括して硬化させて接着剤層４０を形成し、複数の接続部を一括して封止する。封止工程の各条件は上述した通りである。

【0162】

上記プロセスにおいて本実施形態の半導体用接着剤４４を用いることで、半導体用接着剤４４の充分な流動性を維持しながら複数の半導体チップ１を仮固定することができ、接合工程における高温圧着時もボイドの量を抑制でき、封止工程において一括硬化時のボイドの発生の低減及びそれ以前の工程で発生したボイドの消失を実現することが可能となる。また、仮固定工程及び接合工程において長時間の熱履歴が半導体用接着剤に与えられた場合でも、ボイドの発生を低減することが可能となる。

【実施例】

【0163】

以下、実施例により本開示をより具体的に説明するが、本開示は実施例に限定されるものではない。

【0164】

各実施例及び比較例で使用した化合物は以下の通りである。
（ａ）成分：熱可塑性樹脂
・ポリウレタン（ディーアイシーコベストロポリマー株式会社製、商品名「Ｔ－８１７５Ｎ」、Ｔｇ：－２３℃、Ｍｗ：１２００００）
・フェノキシ樹脂（新日鉄住金化学株式会社製、商品名「ＺＸ１３５６－２」、Ｔｇ：約７１℃、Ｍｗ：約６３０００）
・フェノキシ樹脂（新日鉄住金化学株式会社製、商品名「ＦＸ２９３」、Ｔｇ：約１６０℃、Ｍｗ：約４００００）

【0165】

（ｂ）成分：熱硬化性樹脂
・トリフェノールメタン骨格含有多官能固形エポキシ（三菱ケミカル株式会社製、商品名「ＥＰ１０３２Ｈ６０」）
・ビスフェノールＦ型液状エポキシ（三菱ケミカル株式会社製、商品名「ＹＬ９８３Ｕ」）

【0166】

（ｃ）成分：硬化剤
・２，４－ジアミノ－６－［２’－メチルイミダゾリル－（１’）］－エチル－ｓ－トリアジンイソシアヌル酸付加物（四国化成工業株式会社製、商品名「２ＭＡＯＫ－ＰＷ」、Ｍｗ：３８４）
・２－フェニル－４，５－ジヒドロキシメチルイミダゾール（（四国化成工業株式会社製、商品名「２ＰＨＺ－ＰＷ」、Ｍｗ：２０４）

【0167】

（ｄ）成分：フラックス化合物
・ジフェノール酸（東京化成工業株式会社製、融点：１７７℃、Ｍｗ：２８６）
・グルタル酸（富士フイルム和光純薬株式会社製、融点：９８℃、Ｍｗ：１３２）

【0168】

（ｅ）フィラー
・シリカフィラー（株式会社アドマテックス製、商品名「ＳＥ２０３０」、平均粒径０．５μｍ）
・エポキシシラン表面処理シリカフィラー（株式会社アドマテックス製、商品名「ＳＥ２０３０－ＳＥＪ」、平均粒径０．５μｍ）
・メタクリル表面処理シリカフィラー（株式会社アドマテックス製、商品名「ＹＡ０５０Ｃ－ＳＭ１」、平均粒径約０．０５μｍ）

【0169】

（ａ）成分の重量平均分子量（Ｍｗ）は、ＧＰＣ法によって求めたものである。ＧＰＣ法の詳細は以下のとおりである。
装置名：ＨＰＬＣ－８０２０（製品名、東ソー株式会社製）
カラム：２ｐｉｅｃｅｓ ｏｆ ＧＭＨＸＬ ＋ １ｐｉｅｃｅ ｏｆ Ｇ－２０００ＸＬ
検出器：ＲＩ検出器
カラム温度：３５℃
流速：１ｍＬ／分
標準物質：ポリスチレン

【0170】

＜フィルム状半導体用接着剤の作製＞
表１に示す配合量（単位：質量部）の熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、硬化剤、フラックス化合物及びフィラーを、ＮＶ値（［乾燥後の塗料分質量］／［乾燥前の塗料分質量］×１００）が５０％になるように有機溶媒（シクロヘキサノン）に添加した。その後、固形分（熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、硬化剤、フラックス化合物及びフィラー）の配合量と同質量のφ１．０ｍｍのジルコニアビーズ及びφ２．０ｍｍのジルコニアビーズを同容器内に加え、ボールミル（フリッチュ・ジャパン株式会社、遊星型微粉砕機Ｐ－７）で３０分撹拌した。撹拌後、ジルコニアビーズをろ過によって除去し、塗工ワニスを作製した。

【0171】

得られた塗工ワニスを、基材フィルム（帝人デュポンフィルム株式会社製、商品名「ピューレックスＡ５５」）上に、小型精密塗工装置（康井精機社製）で塗工し、クリーンオーブン（ＥＳＰＥＣ製）で乾燥（１００℃／１０ｍｉｎ）することで、膜厚２０μｍのフィルム状接着剤（フィルム状半導体用接着剤）を得た。

【0172】

以下に、実施例及び比較例で得られたフィルム状接着剤の評価方法を示す。評価結果は表１に示す。

【0173】

＜ＤＳＣ測定＞
得られたフィルム状接着剤を、アルミパン（株式会社エポリードサービス製）に１０ｍｇ秤量し、アルミ蓋を被せ、クリンパを用いて評価サンプルをサンプルパン内に密閉した。示差走査熱量計（Ｔｈｅｒｍｏ ｐｌｕｓ ＤＳＣ８２３５Ｅ、株式会社リガク製）を使用し、窒素雰囲気下、昇温速度１０℃／ｍｉｎ、測定温度範囲３０～３００℃で測定した。発熱量の解析手段としては、部分面積の解析方法を用い、各ＤＳＣ曲線の６０℃～２８０℃の温度範囲で解析指示することにより、解析温度範囲のベースライン指定、及び、ピーク面積の積分を行うことで総発熱量（単位：Ｊ／ｇ）を算出した。続いて、１５５℃を分割温度として指示することにより、６０～１５５℃、及び、１５５～２８０℃のそれぞれの部分面積を積分し、各発熱量（単位：Ｊ／ｇ）を算出した。一方、オンセット温度の解析手段としては、全面積（ＪＩＳ法）の解析手法を用い、６０℃～２８０℃の温度範囲で解析指示することにより、各ＤＳＣ曲線におけるピークのベースラインと最大傾斜点の交点を算出し、オンセット温度（単位：℃）を求めた。

【0174】

＜高温放置安定性評価＞
上記で得られたＤＳＣ曲線の解析を行い、６０～２８０℃の発熱量（単位：Ｊ／ｇ）を算出した。これを初期発熱量とした。

【0175】

実施例及び比較例で得られたフィルム状接着剤（初期サンプル）を１００℃に設定したオーブンに入れ、１時間の加熱処理を行った後サンプルを取り出し、１００℃熱処理後の評価用サンプルＡを得た。

【0176】

実施例及び比較例で得られたフィルム状接着剤（初期サンプル）を８０℃に設定したオーブンに入れ、６時間の加熱処理を行った後サンプルを取り出し、８０℃熱処理後の評価用サンプルＢを得た。

【0177】

評価用サンプルＡと評価用サンプルＢを用い、加熱前と同じ手順で６０～２８０℃の発熱量（単位：Ｊ／ｇ）を算出した。これを熱処理後発熱量とした。

【0178】

得られた２つの発熱量（初期サンプルの発熱量と評価用サンプルＡの発熱量、又は、初期サンプルの発熱量と評価用サンプルＢの発熱量）を用いて反応率を下記の式で算出した。
反応率（％）＝（初期発熱量－熱処理後発熱量）／初期発熱量×１００
反応率が１０％未満の場合を「Ａ」、１０％以上で２０％未満の場合を「Ｂ」、２０％以上の場合を「Ｃ」と判定した。

【0179】

＜粘度測定＞
実施例及び比較例で得られたフィルム状接着剤（初期サンプル）を用い、卓上ラミネータ（製品名：Ｈｏｔｄｏｇ ＧＫ－１３ＤＸ、（株）ラミーコーポレーション製）を用いて、フィルム状接着剤を複数回重ね合わせ、４００μｍになるまでラミネートし、粘度測定用サンプルを作製した。ラミネート条件は装置設定温度５０℃、装置搬送速度レベル９の条件で実施した。

【0180】

ラミネートした粘度測定用サンプルを１０ｍｍ角のパンチを用いて打ち抜き、８０℃での溶融粘度（８０℃粘度）、１３０℃での溶融粘度（１３０℃粘度）、最低溶融粘度及び最低溶融粘度を示す温度（溶融温度）を回転式レオメータ（ＴＡＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ社製、商品名：ＡＲＥＳ－Ｇ２）を用いて粘度測定した。
［測定条件］
測定ツールサイズ：９ｍｍφ
サンプル厚み：４００μｍ
昇温速度：１０℃／分
周波数：１０Ｈｚ
温度範囲：３０～１８０℃

【0181】

＜ボイド評価＞
（半導体装置の作製）
実施例及び比較例で得られたフィルム状接着剤（初期サンプル）を、卓上ラミネータ（製品名：Ｈｏｔｄｏｇ ＧＫ－１３ＤＸ、（株）ラミーコーポレーション製）を用いて膜厚４０μｍにした後、７．５ｍｍ四方サイズに切り抜き、これを複数のはんだバンプ付き半導体チップ（チップサイズ：７．３ｍｍ×７．３ｍｍ、厚さ０．１ｍｍ、バンプ（接続部）高さ：約４５μｍ（銅ピラーとはんだの合計）、バンプ数：１０４８ピン、ピッチ８０μｍ、製品名：ＷＡＬＴＳ－ＴＥＧ ＣＣ８０、株式会社ウォルツ製）上に８０℃で貼付した。フィルム状接着剤が貼付された半導体用チップを、別の半導体チップ（チップサイズ：１０ｍｍ×１０ｍｍ、厚さ０．１ｍｍ、バンプ数：１０４８ピン、ピッチ８０μｍ、製品名：ＷＡＬＴＳ－ＴＥＧ ＩＰ８０、株式会社ウォルツ製）に、フリップチップボンダー（ＦＣＢ３、パナソニック株式会社製）で加熱及び加圧することにより順次圧着し、仮固定した。仮固定時のステージ温度は７０℃とし、圧着条件はツール温度：１３０℃、荷重：２５Ｎ（バンプ１個あたり０．０２４Ｎ）、時間：３秒とし、仮圧着後の積層体（仮固定体）を作製した。

【0182】

上記仮圧着後の積層体（仮固定体）をフリップチップボンダー（ＦＣＢ３、パナソニック株式会社製）で高温圧着した。高温圧着時のステージ温度は７０℃とし、圧着条件はツール温度：２６０℃、荷重：３５Ｎ（バンプ１個あたり０．０３３Ｎ）、時間：３秒とし、接続部が金属接合された評価用サンプルＣ（高温圧着積層体）を得た。

【0183】

高温圧着後の積層体である評価用サンプルＣ（高温圧着積層体）を加圧オーブン内で、昇温速度２０℃／分で１９０℃まで昇温し、１９０℃、０．８ＭＰａの条件で１時間加熱及び加圧することにより評価用サンプルＤ（加圧積層体）を得た。

【0184】

一方、高温圧着後の積層体である評価用サンプルＣ（高温圧着積層体）を８０℃のオーブン内で６時間熱処理した後、一度取出し、加圧オーブン内で、昇温速度２０℃／分で１９０℃まで昇温し、１９０℃、０．８ＭＰａの条件で１時間加熱及び加圧することにより評価用サンプルＥ（熱履歴加圧積層体）を得た。

【0185】

（解析・評価）
上記評価用サンプルＣと評価用サンプルＤと評価用サンプルＥを用い、超音波映像診断装置（Ｉｎｓｉｇｈｔ－３００、インサイト株式会社製）によって評価用サンプル内部の画像を撮影した。得られた画像から、スキャナ（ＧＴ－９３００ＵＦ、セイコーエプソン株式会社製）でチップ間の接着剤層の画像を取り込んだ。取り込んだ画像において、画像処理ソフト（Ａｄｏｂｅ Ｐｈｏｔｏｓｈｏｐ（商品名））を用いて、色調補正、二階調化によりボイド部分を識別し、ヒストグラムによりボイド部分の占める割合を算出した。ボイド部分を含む接着剤層全体の面積を１００面積％とした。ボイドの面積割合が５％未満の場合を「Ａ」とし、ボイドの面積割合が５％以上で２０％未満の場合を「Ｂ」、２０％以上の場合を「Ｃ」とした。表１に評価結果を示す。

【0186】

【表1】

【符号の説明】

【0187】

１…半導体チップ、２…基板、３…半導体ウェハ、１０…半導体チップ本体、１１…半導体ウェハ本体、１５，１６…配線又はバンプ、１７…バンプ又は銅ピラー、２０…基板本体、３０，３６…はんだ、３４…貫通電極、３８…バンプ、４０…接着剤層、４２…半硬化した半導体用接着剤、４４…半導体用接着剤、４６…パッシベーション膜、５０…インターポーザー本体、６０…ステージ、７０，８０…圧着ツール、９０…加圧オーブン、１００，３００，５００…半導体装置。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】