特許 7544573 マルチプローバ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-26

(45)【発行日】2024-09-03

(54)【発明の名称】マルチプローバ

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/66 20060101AFI20240827BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20240827BHJP

   G01R 31/26 20200101ALI20240827BHJP

   G01R 31/28 20060101ALI20240827BHJP

【ＦＩ】

H01L21/66 B

H01L21/68 N

G01R31/26 J

G01R31/28 K

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2020193571

(22)【出願日】2020-11-20

(65)【公開番号】P2022082169

(43)【公開日】2022-06-01

【審査請求日】2023-10-04

(73)【特許権者】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100163533

【弁理士】

【氏名又は名称】金山 義信

(72)【発明者】

【氏名】家老 統矢

【審査官】堀江 義隆

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－１８３４２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１９２５４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１９６９７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０７５６３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０２－０７３１７０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６６

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｇ０１Ｒ ３１／２６

Ｇ０１Ｒ ３１／２８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の測定部を有し、一つのアライメント装置で前記複数の測定部において、プローブ針とウェーハのアライメントとコンタクトとを行うマルチプローバであって、
前記ウェーハを載置し、前記アライメント装置に着脱自在に支持固定されるウェーハチャックと、
前記ウェーハチャックの重心位置を通る位置で１８０度反対側に設けられた２本の回転軸と、
半円型リング形状とされ、前記ウェーハチャックの外周側の側面に前記２本の前記回転軸で軸支されて取り付けられた半円リングと、
一端が前記半円リングに移動端金具を介して接続され、他端は固定端金具を介して固定されたケーブル案内装置と、
を備えたことを特徴とするマルチプローバ。

【請求項2】

前記半円リングは、前記２本の前記回転軸を中心として前記ウェーハチャックの高さ方向に回動可能とされたことを特徴とする請求項１に記載のマルチプローバ。

【請求項3】

前記移動端金具の前記ケーブル案内装置側に設けられたケーブル回転軸を備え、前記ウェーハチャックが下降すると、前記ケーブル案内装置は前記２本の前記回転軸及び前記ケーブル回転軸によって回動することを特徴とする請求項１又は２に記載のマルチプローバ。

【請求項4】

前記ケーブル案内装置の前記移動端金具に固定されたアライメント側ボールキャスタとステージ側ボールキャスタとを備え、前記アライメント側ボールキャスタは、前記アライメント時にアライメント側荷重受けの上に乗り、前記ステージ側ボールキャスタは、コンタクト時にステージ側荷重受けの上に載置されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のマルチプローバ。

【請求項5】

前記アライメント装置は、前記ウェーハチャックを真空吸着により着脱自在に支持することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のマルチプローバ。

【請求項6】

前記アライメント装置は、前記複数の測定部間で相互に移動可能に構成され、同一の段に配置される前記複数の測定部間で共有されることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のマルチプローバ。

【請求項7】

前記ウェーハチャックの内部に、加熱／冷却源としての加熱冷却機構が設けられたことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のマルチプローバ。

【請求項8】

前記ケーブル案内装置に収容されて案内される冷却配管を備えたことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のマルチプローバ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウェーハに形成された複数チップの電気的特性の検査を行うプローバに係り、特に、一つのアライメント装置で複数ヘッドステージにおいて、真空吸着力によるプローブ針とウェーハのコンタクトを行い、コンタクト時のアライメントを行うマルチプローバに好適である。

【背景技術】

【0002】

半導体製造工程は、多数の工程を有し、品質保証及び歩留まりの向上のために、各種の製造工程で各種の検査が行われる。例えば、半導体ウェーハ上に半導体装置の複数のチップが形成された段階で、各チップの半導体装置の電極パッドは、テストヘッドに接続され、テストヘッドから電源及びテスト信号が供給される。そして、半導体装置の出力する信号は、テストヘッドで測定され、正常に動作するかを電気的に検査される。

【0003】

また、設置面積の増加や装置コストの増加を抑えてスループットを向上させるため、複数の測定部を有するプローバが知られて、例えば、特許文献１に記載されている。このプローバは、複数の測定部が多段状に積層された積層構造（多段構造）を有し、ウェーハレベル検査を測定部毎に行うマルチプローバとされている。

【0004】

マルチプローバは、一つのアライメント装置で複数ヘッドステージにおいて、プローブ針とウェーハのコンタクト時のアライメントを行う。そのため、アライメント装置の昇降軸でプローブ針とウェーハのコンタクトを行うと、アライメント装置は、テスト中に一つのヘッドステージで占有されることになる。そこで、マルチプローバは、真空吸着力によるコンタクトを採用し、テスト中はアライメント装置とウェーハを載置したウェーハチャックを切り離すことが行われている。特許文献１は、プローブカードとウェーハチャックとの間に形成される内部空間を減圧することにより、ウェーハチャックをプローブカードに向かって引き寄せる構成となっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１９－１４９４４７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

上記従来技術は、ウェーハチャックの構成部品による荷重等の影響によってウェーハチャックに傾きや位置ずれが生じてしまう可能性がある。この場合、プローブカードとウェーハとの平行度が悪くなり、プローブカードの各プローブ針をウェーハの各チップの電極パッドに均一に接触させることができなくなる。そのため、ウェーハレベル検査の測定精度が低下してしまう結果になる。

【0007】

真空吸着力によってプローブ針とウェーハのコンタクトを実施するプローバは、ウェーハチャックに偏荷重が掛かるとウェーハチャックが傾き、適切なコンタクトに必要とされるオーバドライブ量に偏りが生じる。そのため、ウェーハチャック端部に取り付けられた配線や配管による偏荷重は、配線が取り付けられる位置とは反対側にカウンターウェイトを取り付けたキャンセル機構でウェーハチャックのバランスを取る必要がある。しかし、このキャンセル機構は、配管が増え、冷却液の有無や温度変化によって配管の重量が変化する場合等に対応ができなかった。

【0008】

本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、真空吸着力によってプローブ針とウェーハのコンタクトを実施するプローバにおいて、配線や配管によるウェーハチャックへの偏荷重を無くし、ウェーハチャックの傾きを抑制して適切なコンタクトを常に確保することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記目的を達成するため、本発明は、複数の測定部を有し、一つのアライメント装置で前記複数の測定部において、プローブ針とウェーハのコンタクト時にアライメントを行うマルチプローバであって、前記ウェーハを載置し、前記アライメント装置に着脱自在に支持固定されるウェーハチャックと、前記ウェーハチャックの重心位置を通る位置で１８０度反対側に設けられた２本の回転軸と、半円型リング形状とされ、前記ウェーハチャックの外周側の側面に前記２本の前記回転軸で軸支されて取り付けられた半円リングと、一端が前記半円リングに移動端金具を介して接続され、他端は固定端金具を介して固定されたケーブル案内装置と、を備えたものである。

【0010】

また、上記のマルチプローバにおいて、前記半円リングは、前記２本の前記回転軸を中心として前記ウェーハチャックの高さ方向に回動可能とされたことが望ましい。

【0011】

さらに、上記のマルチプローバにおいて、前記移動端金具の前記ケーブル案内装置側に設けられたケーブル回転軸を備え、前記ウェーハチャックが下降すると、前記ケーブル案内装置は前記２本の前記回転軸及び前記ケーブル回転軸によって回動することが望ましい。

【0012】

さらに、上記のマルチプローバにおいて、前記ケーブル案内装置の前記移動端金具に固定されたアライメント側ボールキャスタとステージ側ボールキャスタとを備え、前記アライメント側ボールキャスタは、前記アライメント時にアライメント側荷重受けの上に乗り、前記ステージ側ボールキャスタは、コンタクト時にステージ側荷重受けの上に載置されることが望ましい。

【0013】

さらに、上記のマルチプローバにおいて、前記アライメント装置は、前記ウェーハチャックを真空吸着により着脱自在に支持することが望ましい。

【0014】

さらに、上記のマルチプローバにおいて、前記アライメント装置は、前記複数の測定部間で相互に移動可能に構成され、同一の段に配置される前記複数の測定部間で共有されることが望ましい。

【0015】

さらに、上記のマルチプローバにおいて、前記ウェーハチャックの内部に、加熱／冷却源としての加熱冷却機構が設けられたことが望ましい。

【0016】

さらに、上記のマルチプローバにおいて、前記ケーブル案内装置に収容されて案内される冷却配管を備えたことが望ましい。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、半円型リング形状とされた半円リングをウェーハチャックの重心位置を通る位置で１８０度反対側に設けられた２本の回転軸で軸支して、ケーブル案内装置を半円リングに接続するので、ウェーハチャックへの配線や配管による偏荷重を無くすことができる。したがって、ウェーハチャックの傾きを抑制して適切なコンタクトを確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の一実施形態に係るプローバの全体構成を示した外観図

【図2】図１に示したプローバを示した平面図

【図3】図１の測定ユニットの内部構造を示した測定ユニットの正面図

【図4】測定部の構成を示した概略図

【図5】ウェーハチャック５０がプローブカード５６に向かって引き寄せられた状態を示す側面図（検査開始可能な状態の測定部を示した側面図）

【図6】従来のウェーハチャック５０を斜め下から見た斜視図

【図7】図６の従来例におけるウェーハチャック５０部の側面図

【図8】図６の従来例におけるウェーハチャック５０がプローブカード５６と引き離された状態を示す側面図

【図9】本発明の一実施形態によるウェーハチャック５０を斜め下から見た斜視図

【図10】図９の一部拡大側面図

【図11】一実施形態におけるウェーハチャック５０部の側面図

【図12】一実施形態におけるウェーハチャック５０がプローブカード５６と引き離された状態を示す側面図

【発明を実施するための形態】

【0019】

図１は、本発明の実施形態に係るマルチプローバ１０の全体構成を示した外観図である。図２は、図１に示したマルチプローバ１０の平面図である。図３は、図１の測定ユニット１２の内部構造を示した図であり、測定ユニット１２を正面側（ローダ部１４側）から見た図である。

【0020】

図１及び図２に示すように、マルチプローバ１０は、検査するウェーハＷ（図４参照）を供給及び回収するローダ部１４と、ローダ部１４に隣接して配置され、複数の測定部１６を有する測定ユニット１２とを備えている。測定ユニット１２では、ローダ部１４から各測定部１６にウェーハＷが供給されると、各測定部１６でそれぞれウェーハＷの各チップの電気的特性の検査（ウェーハレベル検査）が行われる。

【0021】

そして、各測定部１６で検査されたウェーハＷはローダ部１４により回収される。ローダ部１４及び測定ユニット１２は、筐体３０（図３参照）に収容されている。なお、マルチプローバ１０は、操作パネル２１及び各部を制御する制御装置（図示せず）なども備えている。

【0022】

ローダ部１４は、ウェーハカセット２０が載置されるロードポート１８と、測定ユニット１２の各測定部１６とウェーハカセット２０との間でウェーハＷを搬送する搬送ユニット２２とを有する。搬送ユニット２２は、図示しない搬送ユニット駆動機構を備えており、Ｘ方向及びＺ方向に移動可能に構成されると共に、θ方向（Ｚ方向周り）に回転可能に構成されている。また、搬送ユニット２２は、搬送アーム２４を備えており、搬送ユニット駆動機構により搬送アーム２４を前後に伸縮させることが可能となっている。

【0023】

搬送アーム２４の上面部には図示しない吸着パッドが設けられており、搬送アーム２４は、吸着パッドでウェーハＷの裏面を真空吸着してウェーハＷを保持する。これにより、ウェーハカセット２０内のウェーハＷは、搬送ユニット２２の搬送アーム２４によって取り出され、その上面に保持された状態で測定ユニット１２の各測定部１６に搬送される。また、検査の終了した検査済みのウェーハＷは逆の経路で各測定部１６からウェーハカセット２０に戻される。

【0024】

図３に示すように、測定ユニット１２は、複数の測定部１６が多段状に積層された積層構造（多段構造）を有しており、各測定部１６はＸ方向及びＺ方向に沿って２次元的に配列されている。図３は、Ｘ方向に４つの測定部１６がＺ方向に３段積み重ねられている。なお、各測定部１６は、いずれも同一の構成を有しており、ウェーハチャック５０やプローブカード５６等を備えて構成される。ここで、図３において、測定ユニット１２が、複数の測定部１６により多段状に積層された積層構造（多段構造）を有している例で説明したが、多段状では無く１段のみの場合も本発明の範囲に含まれるものである。

【0025】

次に、測定部１６の構成について説明する。図４は、測定部１６の構成を示した側面図である。測定部１６は、ウェーハチャック５０と、ヘッドステージ５２と、テストヘッド５４と、プローブカード５６と、ポゴフレーム５８とを備えている。ヘッドステージ５２は、筐体３０の一部を構成するフレーム部材３４に支持されている。テストヘッド５４の受け部５４ａは、テストヘッド保持部８０によりヘッドステージ５２の上方に支持されている。

【0026】

テストヘッド５４の受け部５４ａと、フレーム部材３４に固定されるバネ受け部８７と、の間は、バネ部材８８が介在している。テストヘッド５４は、プローブカード５６のプローブ針６６に電気的に接続され、電気的検査のためにウェーハＷに構成された各チップに電源及びテスト信号を供給すると共に、各チップからの出力信号を検出して正常に動作するかを測定する。

【0027】

ポゴフレーム５８は、テストヘッド５４の下面（ポゴフレーム５８に対向する面）に形成される各端子とプローブカード５６の上面（ポゴフレーム５８に対向する面）に形成される各端子とを電気的に接続する多数のポゴピン（不図示）を備えている。また、テストヘッド５４、ポゴフレーム５８及びプローブカード５６は、吸引手段等により一体化される。

【0028】

プローブカード５６は、複数のプローブ針６６が設けられ、各プローブ針６６は、プローブカード５６の下面（ウェーハチャック５０に対向する面）から下方に向けて突出して形成されている。また、プローブ針６６は、ポゴフレーム５８を介してテストヘッド５４の各端子に電気的に接続される。

【0029】

ウェーハチャック５０は、真空吸着等によりウェーハＷを吸着して載置する。ウェーハチャック５０は、アライメント装置７０に着脱自在に支持固定される。アライメント装置７０は、ウェーハチャック５０をＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向に移動することで、ウェーハチャック５０に保持されたウェーハＷとプローブカード５６との相対的な位置合わせ、即ちアライメントを行う。

【0030】

図５は、測定部１６において、ウェーハチャック５０がプローブカード５６に向かって引き寄せられた状態を示し、検査開始可能な状態の測定部１６を示した側面図である。ウェーハチャック５０の上面（ウエハ載置面）の外周部は、弾性を有するリング状のシール部材としてチャックシールゴム６４が設けられている。

【0031】

Ｚ軸移動・回転部７２は、ウェーハチャック５０をプローブカード５６に向かって移動（上昇）させ、チャックシールゴム６４をヘッドステージ５２の下面に接触させる。そして、ウェーハチャック５０、プローブカード５６（ヘッドステージ５２）及びチャックシールゴム６４により囲まれた内部空間Ｓが形成される。

【0032】

そして、図示しない吸引装置（例えば、真空ポンプ）により、内部空間Ｓが減圧されることにより、ウェーハチャック５０がプローブカード５６（ヘッドステージ５２）に向かって引き寄せられる。これにより、プローブカード５６の各プローブ針６６は、ウェーハＷの各チップの電極パッドに接触して検査を開始可能な状態となる。なお、チャックシールゴム６４は環状のシール部材の一例である。

【0033】

ウェーハチャック５０の内部は、チップを高温状態（例えば、最高で１５０℃）、又は低温状態（例えば最低で－４０℃）で電気的特性検査が行えるように、加熱／冷却源としての加熱冷却機構（不図示）が設けられている。したがって、ウェーハチャック５０は、可動部となり、制御部（図示せず）等と配線、配管が案内されるケーブル案内装置４０（図６参照）を介して接続される。

【0034】

ケーブル案内装置４０は、可動部に接続された配線や配管等を保護・案内するために収容する部品であり、チェーンのように小さな部品が連結されている。特に、低温状態で電気的特性検査を行う場合、つまり低温仕様は、冷却液が流通する冷却配管がケーブル案内装置４０に収容されて案内される。

【0035】

アライメント装置７０は、ウェーハチャック５０を真空吸着等により着脱自在に支持する。また、アライメント装置７０は、ウェーハチャック５０に保持されたウェーハＷとプローブカード５６との相対的な位置合わせを行うものである。そして、アライメント装置７０は、ウェーハチャック５０を着脱自在に支持固定してウェーハチャック５０をＺ軸方向に移動する。そして、アライメント装置７０は、Ｚ軸を回転中心としてθ方向に回転するＺ軸移動・回転部７２と、Ｚ軸移動・回転部７２を支持してＸ軸方向に移動するＸ軸移動台７４と、Ｘ軸移動台７４を支持してＹ軸方向に移動するＹ軸移動台７６とを備えている。

【0036】

アライメント装置７０は、それぞれの段毎に設けられており（図３参照）、図示しないアライメント装置駆動機構によって、各段に配置された複数の測定部１６間で相互に移動可能に構成されている。すなわち、アライメント装置７０は、同一の段に配置される複数の測定部１６間で共有されており、同一の段に配置された複数の測定部１６間を相互に移動する。

【0037】

図６は、従来のウェーハチャック５０を斜め下から見た斜視図であり、ケーブル案内装置４０との関係を示している。ケーブル案内装置４０は、一端がウェーハチャック５０の外周側の端部である矢印Ｍ点で移動端金具４１を介して接続されている。ケーブル案内装置４０の他端は、固定端金具４２を介して固定されている。カウンターウェイト１００は、ケーブル案内装置４０が取り付けられる位置とは反対側に取り付けられる。これにより、カウンターウェイト１００は、配線や配管による偏荷重をキャンセルし、ウェーハチャック５０のバランスを取っている。

【0038】

図７は、図６の従来例におけるウェーハチャック５０部の側面図であり、ウェーハチャック５０がプローブカード５６に向かって引き寄せられた状態を示している。図８は、図６の従来例におけるウェーハチャック５０がプローブカード５６と引き離された状態を示す側面図である。

【0039】

ケーブル案内装置４０の両端、つまり移動端金具４１のケーブル案内装置４０側にケーブル回転軸４３が設けられ、固定端金具４２に固定側回転軸４４が設けられている。そして、ウェーハチャック５０がプローブカード５６から引き離されて下降すると、ケーブル案内装置４０は、ケーブル回転軸４３、固定側回転軸４４によって、図８に示すように矢印Ｋのように回動する。

【0040】

図７、８で示した従来例は、配管が増え、冷却液の有無や温度変化によって配管の重量が変化する場合等ではカウンターウェイト１００によって常にバランスをとることができなかった。また、ケーブル案内装置４０の両端にケーブル回転軸４３、固定側回転軸４４を設けているので、ケーブル案内装置４０はウェーハチャック５０の昇降に伴い傾く。そのためスペースの効率が悪く、冷却等のための配管が増える場合は、スペースの点からも対応ができなかった。

【0041】

図９は、実施形態によるウェーハチャック５０を斜め下から見た斜視図である。ウェーハチャック５０は、外周側の側面に半円型リング形状のプレートで構成された半円リング９１が２本の回転軸９２、９３で軸支されて取り付けられる。２本の回転軸９２、９３は、ウェーハチャック５０の中心Ｃ、つまり重心位置を通る位置で１８０度反対側に設けられる。

【0042】

したがって、半円リング９１は、矢印Ｈ、実際にはウェーハチャック５０の高さ方向であるＺ方向（図４参照）に回転軸９２、９３を中心として回動可能となっている。ケーブル案内装置４０は、一端が半円リング９１に矢印Ｍ点で移動端金具４１を介して接続されている。ケーブル案内装置４０の他端は、固定端金具４２を介して固定されている。ウェーハチャック５０からの制御部への配線、あるいは配管は、ケーブル案内装置４０で保護及び案内されて接続される。

【0043】

配線あるいは配管による荷重は、半円リング９１、回転軸９２、９３を介してウェーハチャック５０へ掛かる。しかし、回転軸９２、９３は、ウェーハチャック５０の中心Ｃ、つまり重心位置に設けられているので、配線あるいは配管による荷重の力点は、回転軸９２、９３となり、ウェーハチャック５０の重心位置となる。したがって、ウェーハチャック５０は、ケーブル案内装置４０からの力によるモーメントを受けないので、バランスは保たれる。したがって、ウェーハチャック５０は、カウンターウェイト１００を設けなくても配線や配管による偏荷重の影響を受けない。

【0044】

また、アライメント側ボールキャスタ４５、ステージ側ボールキャスタ４６は、ケーブル案内装置４０（移動端金具４１）に固定されている。図１０は、図９の一部拡大側面図であり、アライメント側ボールキャスタ４５及びステージ側ボールキャスタ４６と、アライメント装置７０及びヘッドステージ５２との関係を示している。

【0045】

アライメント側ボールキャスタ４５は、ウェーハチャック５０のアライメント時にアライメント側荷重受け４７の上に乗る。ステージ側ボールキャスタ４６は、コンタクト時、つまりウェーハチャック５０がプローブカード５６に向かって引き寄せられ、アライメント装置７０が他の測定部１６へ移動した際にステージ側荷重受け４８の上に載置される。

【0046】

これにより、配線・配管の荷重は、アライメント中とコンタクト中のいずれの場合もアライメント装置７０又はヘッドステージ５２側で受けることになる。したがって、アライメント中あるいはコンタクト中であっても、冷却液を通す配管の有無や温度変化に係わらず、ウェーハチャック５０に荷重が掛からないので、ウェーハチャック５０の傾きが抑えられる。

【0047】

図１１は、図９の実施形態におけるウェーハチャック５０部の側面図であり、ウェーハチャック５０がプローブカード５６に向かって引き寄せられた状態を示している。図１２は、実施形態におけるウェーハチャック５０がプローブカード５６と引き離された状態を示す側面図である。移動端金具４１のケーブル案内装置４０側は、ケーブル回転軸４９が設けられている。

【0048】

ウェーハチャック５０がプローブカード５６から引き離されて下降すると、半円リング９１は、Ｚ方向（図４参照）に回転軸９２、９３を中心として回動する。同様に、ケーブル案内装置４０は、回転軸９３、９２及びケーブル回転軸４９によって、回動して図１２の状態となる。そして、ケーブル案内装置４０は、ウェーハチャック５０の昇降によって、傾くこと無く水平が保たれる。これにより、ケーブル案内装置４０のスペースを有効に使えるため、冷却用の配管を追加すること等が可能となる。

【0049】

以上説明したように、本実施形態によれば、ウェーハチャック５０の構成部品による荷重等の影響によってウェーハチャック５０に傾きや位置ずれが生じることを抑制することができる。これにより、プローブカード５６とウェーハＷとの平行度を確保して、プローブカード５６の各プローブ針６６をウェーハＷの各チップの電極パッドに均一に接触させることができる。そして、ウェーハレベル検査の測定精度を向上できる。

【0050】

また、本実施形態によれば、ウェーハチャック５０のバランスを取るためのカウンターウェイト１００を不要とし、スペース効率が良くなるので、配管の数、重量の増加等にも対応が可能となる。

【符号の説明】

【0051】

１０…マルチプローバ
１２…測定ユニット
１４…ローダ部
１６…測定部
１８…ロードポート
２０…ウェーハカセット
２１…操作パネル
２２…搬送ユニット
２４…搬送アーム
３０…筐体
３４…フレーム部材
４０…ケーブル案内装置
４１…移動端金具
４２…固定端金具
４３、４９…ケーブル回転軸
４４…固定側回転軸
４５…アライメント側ボールキャスタ
４６…ステージ側ボールキャスタ
４７…アライメント側荷重受け
４８…ステージ側荷重受け
５０…ウェーハチャック
５２…ヘッドステージ
５４…テストヘッド
５４ａ…受け部
５６…プローブカード
５８…ポゴフレーム
６４…チャックシールゴム
６６…プローブ針
７０…アライメント装置
７２…Ｚ軸移動・回転部
７４…Ｘ軸移動台
７６…Ｙ軸移動台
８０…テストヘッド保持部
８７…バネ受け部
８８…バネ部材
９１…半円リング
９２、９３…回転軸
１００…カウンターウェイト
Ｃ…中心
Ｈ、Ｋ、Ｍ…矢印
Ｓ…内部空間
Ｗ…ウェーハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】