特許 7544576 テープ剥離装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-26

(45)【発行日】2024-09-03

(54)【発明の名称】テープ剥離装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240827BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240827BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

H01L21/304 622J

【請求項の数】 1

(21)【出願番号】P 2020195916

(22)【出願日】2020-11-26

(65)【公開番号】P2022084207

(43)【公開日】2022-06-07

【審査請求日】2023-09-25

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 邦重

【審査官】小山 和俊

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１１－１４２２４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１１０１８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－１４３３５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－０１６８６２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

上面に保護テープを貼着したウェーハの下面を保持する保持面を有する保持テーブルと、帯状の剥離テープをロール状に巻いたロールテープを回転可能に支持する少なくとも２つのロール支持部と、該ロールテープの外周から引き出された該剥離テープを把持する把持部と、該把持部が把持する該剥離テープを該保護テープの外周部分に貼着する貼着部と、を備え、該保護テープの外周部分に貼着した該剥離テープを把持した該把持部とウェーハとを互いが離間する方向に相対的に移動させ該保護テープを剥離するテープ剥離装置であって、
該把持部が把持可能に一方の該ロール支持部に支持された一方の該剥離テープと他方の該ロール支持部に支持された他方の該剥離テープとを切り替える切り替え手段を備え、
該切り替え手段は、
該ロール支持部と、該ロール支持部から引き出された該剥離テープを保持するテープ保持部と、該テープ保持部と該貼着部との間で該剥離テープを切断するカッターと、を備える剥離テープ供給部を少なくとも２つ配置するプレートと、
該テープ保持部が保持している該剥離テープの端を該把持部が把持可能に該プレートを移動させる移動手段と、を備えるテープ剥離装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェーハから保護テープを剥離するテープ剥離装置に関する。

【背景技術】

【0002】

下記特許文献１に開示されているテープ剥離装置は、剥離テープをウェーハの一方の面の全面を保護するために貼着している保護テープ（ＢＧテープ）の表面の外周部分に貼着させ、剥離テープの端を把持してウェーハから相対的に離間する方向に引っ張ることによって、ウェーハから保護テープを剥離している。

【0003】

このような剥離テープは、例えば、熱によって貼着可能な状態にするヒートシールを用いたり、粘着層を一方の面に備える粘着テープを用いたりすることがある。そして、このように貼着方法が異なる剥離テープを、保護テープの種類によって使い分けることがある。また、貼着方法が同じ別種のヒートシールを用いる場合において、保護テープの種類、又はウェーハのデバイスによって加える熱の温度を変えたい事があり、加える熱の温度を異なる熱の温度としても保護テープを剥離可能に貼着できるように、別種のヒートシールを使い分けることがある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１７－２２０５０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

このような品種の異なる剥離テープの切り替えは、作業者が手作業で行っており、作業者の負担が大きく、また、切り替え作業中のテープ剥離装置の停止時間が長くなってしまうという問題がある。
したがって、テープ剥離装置においては、作業者による剥離テープの切り替え作業を無くすという解決課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決する本発明は、上面に保護テープを貼着したウェーハの下面を保持する保持面を有する保持テーブルと、帯状の剥離テープをロール状に巻いたロールテープを回転可能に支持する少なくとも２つのロール支持部と、該ロールテープの外周から引き出された該剥離テープを把持する把持部と、該把持部が把持する該剥離テープを該保護テープの外周部分に貼着する貼着部と、を備え、該保護テープの外周部分に貼着した該剥離テープを把持した該把持部とウェーハとを互いが離間する方向に相対的に移動させ該保護テープをウェーハから剥離するテープ剥離装置であって、該把持部が把持可能に一方の該ロール支持部に支持された一方の該剥離テープと他方の該ロール支持部に支持された他方の該剥離テープとを切り替える切り替え手段を備え、該切り替え手段は、該ロール支持部と、該ロール支持部から引き出された該剥離テープを保持するテープ保持部と、該テープ保持部と該貼着部との間で該剥離テープを切断するカッターと、を備える剥離テープ供給部を少なくとも２つ配置するプレートと、該テープ保持部が保持している該剥離テープの端を該把持部が把持可能に該プレートを移動させる移動手段と、を備えるテープ剥離装置である。

【発明の効果】

【0007】

本発明に係るテープ剥離装置は、把持部が把持可能に一方のロール支持部に支持された一方の剥離テープと他方のロール支持部に支持された他方の剥離テープとを切り替える切り替え手段を備え、切り替え手段は、ロール支持部と、ロール支持部から引き出された剥離テープを保持するテープ保持部と、テープ保持部と貼着部との間で剥離テープを切断するカッターと、を備える剥離テープ供給部を少なくとも２つ配置するプレートと、テープ保持部が保持している剥離テープの端を把持部が把持可能にプレートを移動させる移動手段と、を備えることで、例えば予め保護テープの品種と剥離テープの品種との対応表、又はデバイスと剥離テープの品種との対応表等を装置に記憶させおくことにより、テープ剥離装置自体が、使用する剥離テープをウェーハに貼着されている保護テープ、またはデバイスに対応した適切な剥離テープに切り替えることができる。そのため、作業者による剥離テープの切り替え作業を無くすことができ、テープ剥離装置を作業者による切り替え作業のために長時間停止させる必要もなくなる。また、保護テープと剥離テープ、又はデバイスと剥離テープとの対応していない組み合わせが生じて、デバイスを破損させたり、貼着力が弱く保護テープを剥離できなかったりするという事態が発生することを抑止できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】テープ剥離装置の一例を示す側面図である。

【図2】第１剥離テープを切断する際の第１テープ保持部の状態を説明する側面図である。

【図3】第１剥離テープを把持部で把持させる際の第１テープ保持部の状態を説明する側面図である。

【図4】第２剥離テープを把持部が把持する状態を説明する側面図である。

【図5】第２剥離テープを把持した把持部が、ウェーハの保護テープに第２剥離テープを貼着する貼着位置までＸ軸方向において移動する場合を説明する側面図である。

【図6】テープ剥離装置において保護テープに貼着する剥離テープを第２剥離テープから第１剥離テープに切り替えるために、第２剥離テープを第２カッター及び第２テープ保持部を用いて切断している状態を説明する側面図である。

【図7】切断された第２剥離テープが第２テープ保持部で吸引保持された状態を説明する側面図である。

【図8】切り替え手段のプレートを移動手段によって下降させて、把持部が第１テープ保持部で保持されている第１剥離テープの端を把持可能な状態にする場合を説明する側面図である。

【図9】第２剥離テープから第１剥離テープに切り替えて、把持部が第１剥離テープを把持した状態を説明する側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

図１に示すウェーハ９０は、例えば、シリコンを母材とする外形が円形の半導体ウェーハであり、その上面９００は、直交差する複数の分割予定ラインで格子状に区画されており、格子状に区画された各領域にはＩＣ等のデバイスがそれぞれ形成されている。
ウェーハ９０の上面９００全面を覆うように貼着されている保護テープ９１は、本実施形態においては、例えば、樹脂（例えば、ポリオレフィン系樹脂等）からなる基材層と基材層下の粘着層（糊層）とを備えている。
なお、ウェーハ９０はシリコン以外にガリウムヒ素、サファイア、セラミックス、樹脂、窒化ガリウム又はシリコンカーバイド等で構成されていてもよいし、保護テープ９１も上記例に限定されるものではない。

【0010】

例えば、ウェーハ９０は上面９００の反対面である下面９０１にウェーハ９０よりも大径の支持テープ９３が貼着されている。そして、支持テープ９３の糊層の外周部がリングフレーム９４にも貼着されていることで、ウェーハ９０は、支持テープ９３を介してリングフレーム９４に支持され、リングフレーム９４によるハンドリングが可能である。なお、ウェーハ９０は、リングフレーム９４によって支持されていなくてもよい。

【0011】

図１に示す本発明に係るテープ剥離装置１は、帯状の第１剥離テープ８３、又は帯状の第２剥離テープ８４を用いて、ウェーハ９０の図１における上面９００に貼着されている保護テープ９１を剥離するテープ剥離装置の一例であり、上面９００に保護テープ９１を貼着したウェーハ９０の下面９０１を保持する保持面３０２を有する保持テーブル３０と、帯状の第１剥離テープ８３をロール状に巻いた第１ロールテープ８５、帯状の第２剥離テープ８４をロール状に巻いた第２ロールテープ８６をそれぞれ回転可能に支持する少なくとも２つの第１ロール支持部１１３、第２ロール支持部１１４と、第１ロールテープ８５の外周から引き出された第１剥離テープ８３、又は第２ロールテープ８６の外周から引き出された第２剥離テープ８４を把持する把持部６０と、把持部６０が把持する例えば第２剥離テープ８４を保護テープ９１の外周部分に貼着する貼着部６６と、を備えている。

【0012】

第１剥離テープ８３は、例えば、保護テープ９１の外周部分に熱を加えて接着される接着剤層と基材とからなる２層構造のヒートシールである。基材の材質は、例えばポリエチレンテレフタレート等の樹脂からなる。ホットメルトと呼ばれ加熱されることで粘着力を発現する接着剤層は、例えばエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂で構成されている。第１剥離テープ８３の保護テープ９１に対する粘着力は、保護テープ９１のウェーハ９０に対する粘着力よりも強く設定されている。かかる第１剥離テープ８３は、内側（引き出された状態における下面側）に接着剤層が位置する状態で、円筒８５５に巻回されて第１ロールテープ８５となっている。

【0013】

なお、第１剥離テープ８３は、ヒートシールに限定されない。また、第１剥離テープ８３は、例えば、一層のポリオレフィン系の樹脂テープであり、保護テープ９１を貼着させる糊層を備えないものであってもよい。この場合、室温では第１剥離テープ８３は、保護テープ９１に貼着できないが、ポリオレフィン系の樹脂テープは熱可塑性を有するため、所定の圧力を印加し押圧しながら保護テープ９１と接合させた状態で融点近傍の温度まで加熱すると、部分的に溶融して保護テープ９１に接着できる。

【0014】

例えば、第１剥離テープ８３を、品種１の剥離テープとする。また、第２剥離テープ８４を、品種２の剥離テープとする。品種２の第２剥離テープ８４は、例えば、品種１の第１剥離テープ８３とホットメルトである接着剤層の種類が異なり、保護テープ９１に対する熱接着の際に加えられる熱の温度が異なる。第２剥離テープ８４が円筒８６６に巻回されてなる第２ロールテープ８６は、上記相違点以外は第１ロールテープ８５と同様の構成となっている。

【0015】

テープ剥離装置１は、把持部６０が把持可能に一方の第１ロール支持部１１３に支持された一方の第１剥離テープ８３と他方の第２ロール支持部１１４に支持された他方の第２剥離テープ８４とを切り替える切り替え手段１１を備えている。そして、切り替え手段１１は、図１に示す例えば矩形状の大きなプレート１１０を備えている。
Ｚ軸方向に水平に延在するプレート１１０の紙面手前側の前面には、第１剥離テープ８３がロール状に巻回されている円筒８５５に挿入するシャフトである第１ロール支持部１１３、及び第２剥離テープ８４がロール状に巻回されている円筒８６６に挿入するシャフトである第２ロール支持部１１４が上下に二本並べて配設されており、第１ロール支持部１１３（第２ロール支持部１１４）は、図示しない回転手段によってそれぞれＹ軸方向の回転軸を軸に回転可能となっている。

【0016】

プレート１１０は、図１に示す第１テープ保持部７１（第２テープ保持部７２）が保持している第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）の端を把持部６０が把持可能にプレート１１０を例えばＺ軸方向に上下動させる移動手段１１７を備えている。移動手段１１７は、例えば、電動スライダー等である。

【0017】

プレート１１０の前面には、第１ロール支持部１１３（第２ロール支持部１１４）が支持している第１ロールテープ８５（第２ロールテープ８６）の残量を検出する第１残量検出部１１５（第２残量検出部１１６）が配設されている。第１残量検出部１１５（第２残量検出部１１６）は、例えば、受光部と投光部とからなる透過型の光センサ等であり、受光部と投光部とがＸ軸方向において第１ロールテープ８５（第２ロールテープ８６）を挟むように配設されている。例えば第１ロールテープ８５が減っていくことで、第１ロールテープ８５の直径が小さくなっていき、投光部が照射した検知光の受光部における受光量が第１ロールテープ８５により遮られずに増加することで、第１残量検出部１１５は第１ロールテープ８５の残量が所定量以下になった事を検出する。

【0018】

プレート１１０の前面の第１ロール支持部１１３（第２ロール支持部１１４）から見てテープ送り出し方向となる－Ｘ方向側の近傍位置には、一対のガイドローラ１４（一対のガイドローラ１５）がそれぞれ配設されており、第１ロールテープ８５（第２ロールテープ８６）から引き出された第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）を挟み込んだ状態で、第１テープ保持部７１（第２テープ保持部７２）に向かってテンションをかけつつガイドして送り出すことができる。

【0019】

第１テープ保持部７１と第２テープ保持部７２とは、同一の構成となっているため、以下に第１テープ保持部７１の構成についてのみ説明する。
図２、図３に示すように、第１テープ保持部７１は、例えば、ポーラス部材等からなり第１剥離テープ８３を吸着する吸着部７１０と、吸着部７１０を支持する枠体７１１とを備える。吸着部７１０は、エジェクター機構又は真空発生装置等の吸引源７９に連通し、吸引源７９が吸引することで生み出された吸引力が、吸着部７１０の下面である保持面７１２に伝達されることで、第１テープ保持部７１は保持面７１２で第１剥離テープ８３を吸引保持することができる。

【0020】

例えば、第１テープ保持部７１の枠体７１１には、第１剥離テープ８３を図１に示す第１カッター１７で切断する際の切り台としての機能も有する回動部材７４が取り付けられている。回動部材７４は、例えば側面視略Ｌ字状に形成されており、一端側がベアリング及び回動軸７４１を介して枠体７１１の側面側に取り付けされており、他端側を第１剥離テープ８３の上面に当接させた状態で、図１に示す第１カッター１７が回動部材７４の外側面に沿って例えば上昇することで回動部材７４を切り台として機能させて第１剥離テープ８３を切断面が回動部材７４の外側面と略面一になるように適切に切断することが可能となる。
また、図３に示すように、第１剥離テープ８３を切断した後、回動部材７４を持ち上げるように回動させて第１剥離テープ８３から回動部材７４の他端側を離間させることで、第１テープ保持部７１の枠体７１１のテープの送り方向側（－Ｘ方向側）に第１剥離テープ８３の先端側を把持部６０によって把持可能に所定長さ飛び出させた状態にすることができる。

【0021】

図１に示すように、プレート１１０の前面には、第１テープ保持部７１（第２テープ保持部７２）と貼着部６６との間で第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）を切断する第１カッター１７（第２カッター１８）が、電動スライダー等によって上下動可能に配設されている。また、第１カッター１７（第２カッター１８）は、例えば、Ｚ軸方向の回転軸回りに回転可能となっており、－Ｘ方向において貼着部６６に対向する状態と、＋Ｘ方向において第１テープ保持部７１（第２テープ保持部７２）に対向する状態とを切り替えることが可能となっていてもよい。
なお、第１カッター１７（第２カッター１８）は、Ｙ軸方向に移動して第１カッター１７（第２カッター１８）を切断しても良い。
なお、切り替え手段１１は、第１カッター１７のみを備えており、第１カッター１７が第１剥離テープ８３に加えて第２剥離テープ８４も切断可能となっていてもよい。

【0022】

上記のように説明してきた第１ロール支持部１１３、第１テープ保持部７１、及び第１カッター１７によって第１剥離テープ供給部２１が形成され、第２ロール支持部１１４、第２テープ保持部７２、及び第２カッター１８によって第２剥離テープ供給部２２が形成され、切り替え手段１１は、第１剥離テープ供給部２１及び第２剥離テープ供給部２２が配置されたプレート１１０と、プレート１１０を上下動させる移動手段１１７とを備えている。

【0023】

図１に示すように貼着部６６のＸ軸方向における前方には、貼着用カッター６８が配設されている。貼着用カッター６８は、鋭利な刃先を有しているとともに、該刃先を下端としてＹ軸方向（紙面奥側方向）に直線的に第１剥離テープ８３や第２剥離テープ８４の幅以上の長さで延在しており、アクチュエータ等によってＺ軸方向に昇降可能となっている。
なお、貼着用カッター６８の刃先が入り込む逃げ溝を備え第１剥離テープ８３を支持する切り台を貼着用カッター６８の下方に配置してもよいし、貼着用カッター６８がＹ軸方向に移動しつつ第１剥離テープ８３を切断する構成となっていてもよい。

【0024】

貼着部６６は、例えば、所定の金属等からなり外形が略直方体状に形成されており、Ｙ軸方向に直線的に第１剥離テープ８３や第２剥離テープ８４の幅以上の長さで延在しており、アクチュエータ等によってＺ軸方向に昇降可能となっている。貼着部６６が下降することで、その下面から第１剥離テープ８３に所定の押圧力を加えつつ保護テープ９１に熱接着することができる。

【0025】

貼着部６６の例えば両脇には、一対のヒータ６６７が配設されている。例えば、一対のヒータ６６７は、図示しない電源から所定の電圧が印加され発熱体に電流が流れることで赤外線を放射し発熱する赤外線ヒータであり、セラミックヒータ又はハロゲンヒータ等であってもよく、貼着部６６の下部、すなわち、第１剥離テープ８３との接触部を短時間で均等に加熱できる。
なお、ヒータ６６７が、貼着部６６に内蔵されていてもよい。

【0026】

把持部６０は、例えば、図１に示す把持部移動手段１６によって、Ｘ軸方向に往復移動可能となっている。把持部移動手段１６は、Ｘ軸方向に延在するガイドレール１６４と、把持部６０が固定されガイドレール１６４においてＸ軸方向にスライド移動可能なスライダー１６５と、スライダー１６５を移動させる図示しないボールネジ機構とにより構成されている。

【0027】

把持部６０は、例えば、側面視略コの字状の固定台６０２と、固定台６０２のコの字状の内部空間に配設され固定台６０２の内部下面に対して接近又は離間可能な昇降爪６０３とを備えている。昇降爪６０３をアクチュエータ６０５によって固定台６０２に対して接近させることにより、例えば第１テープ保持部７１が吸引保持する第１剥離テープ８３の先端をその間に把持させることができる。

【0028】

把持部６０の移動経路下方には、ウェーハ９０及びリングフレーム９４を保持する保持手段３がＸ軸方向に往復移動可能に配設されている。本実施形態において、保持手段３は、ウェーハ９０を吸引保持する保持テーブル３０と、リングフレーム９４を例えば挟持固定するリングフレーム保持部３１とを備えている。

【0029】

リングフレーム保持部３１は、平面視円環状であり、その平坦な上面に載置されたリングフレーム９４を回動可能なクランプ３１８と共に挟持固定できる。クランプ３１８は、例えば、リングフレーム保持部３１の周方向に９０度間隔を空けて４つ配設されている。
例えば、リングフレーム保持部３１及びクランプ３１８は、アクチュエータ３３によって上下動可能となっている。なお、リングフレーム保持部３１、クランプ３１８、及びアクチュエータ３３は無くてもよい。

【0030】

リングフレーム保持部３１に囲繞されリングフレーム９４の開口内でウェーハ９０を吸引保持する保持テーブル３０は、平面視円形状であり、その平坦な上面はポーラス部材等からなり図示しない吸引源に連通する保持面３０２となる。

【0031】

保持テーブル３０及びリングフレーム保持部３１等は、その下方に配設された保持手段移動手段３４によってＸ軸方向に直動移動可能となっている。保持手段移動手段３４は、Ｘ軸方向に延在するガイドレール３４１と、ガイドレール３４１に沿ってＸ軸方向に移動可能な移動基台３４２と、移動基台３４２を移動させる図示しないボールネジ機構等とを備えている。

【0032】

把持部６０の移動経路の－Ｘ方向端側の下方の位置には、例えば第１剥離テープ８３と共にウェーハ９０から剥離した保護テープ９１を廃棄するゴミ箱１９が配置されている。ゴミ箱１９は、上側が開口している。ゴミ箱１９の上部には、例えば、ゴミ箱１９が保護テープ９１等で満杯になったことを検知する光センサ等が配設されていてもよい。ゴミ箱１９が満杯になったか否かは、重量センサで検知してもよいし、作業者が確認してもよい。

【0033】

例えば、図１に示すように、テープ剥離装置１は、装置全体の制御を行う制御手段５を備えている。ＣＰＵ等で構成される制御手段５は、テープ剥離装置１の各構成要素に電気的に接続されている。制御手段５は、一例として、プレート１１０を上下移動させる移動手段１１７、及び第１残量検出部１１５（第２残量検出部１１６）等に電気的に接続されており、制御手段５による制御の下で、プレート１１０の上下動動作が実施され、また、制御手段５に第１残量検出部１１５（第２残量検出部１１６）から検出信号が送られてくる。

【0034】

例えば、制御手段５のメモリ等からなる記憶媒体には、保護テープ９１の品種ごとの基材層に対する剥離テープの熱接着の際の加熱温度の違い等に基づく対応する剥離テープの品種を予め定めた保護テープ用対応表５０、及びウェーハ９０に形成されたデバイスごとの剥離テープの熱接着の際の加熱温度の違い等に基づく対応する剥離テープの品種を予め定めたデバイス用対応表５１が記憶されている。

【0035】

以下に、図１に示すテープ剥離装置１の動作例について説明する。
まず、例えば作業者が、ウェーハ９０に貼着されている例えば保護テープ９１の品種を選択して、図示しない入力手段（テープ剥離装置１付属のタッチパネルやキーボード）を介して該品種の情報を制御手段５に入力する。制御手段５は、保護テープ用対応表５０を参照して、保護テープ９１の品種に対応する剥離テープが、例えば、第２剥離テープ８４であると選択する。

【0036】

図１に示すように、ウェーハ９０が保持手段３の保持テーブル３０に互いの中心を略合わせて載置されるとともに、図示しない吸引源が作動し、保持テーブル３０の保持面３０２でウェーハ９０が吸引保持される。並行して、リングフレーム保持部３１とクランプ３１８とによって、ウェーハ９０を支持するリングフレーム９４が挟持固定される。

【0037】

例えば、図４に示すように、予め、図示しない回転手段により第２ロール支持部１１４により支持されている第２ロールテープ８６を正転方向（例えば、紙面手前から見て時計回り方向）に回転させながら、帯状となった第２剥離テープ８４が一対のガイドローラ１５の間に通され、一対のガイドローラ１５によって－Ｘ方向に送り出される。そして、吸引源７９から吸引力が伝達された第２テープ保持部７２の保持面７２２で、第２剥離テープ８４の先端が吸引保持された状態となっている。また、第２テープ保持部７２の回動部材７４が持ち上げられており、第２テープ保持部７２の保持面７２２から第２剥離テープ８４の先端が所定長さはみ出た状態になっている。
同様に、第１剥離テープ８３も第１ロールテープ８５から引き出されて、先端が第１テープ保持部７１によって吸引保持された状態になっている。

【0038】

まず、図４に示す移動手段１１７がＺ軸方向にプレート１１０を移動させて、第２テープ保持部７２で保持されている第２剥離テープ８４の先端の高さ位置が固定台６０２の内部下面の高さ位置に略合致するように、把持部６０と第２剥離テープ８４とのＺ軸方向における位置合わせが行われる。

【0039】

次いで、又は上記Ｚ軸方向における高さ位置合わせ動作と並行して、把持部移動手段１６によって把持部６０が＋Ｘ方向に移動して、第２剥離テープ８４の先端が固定台６０２の内部下面上に所定長さ載るように、把持部６０と第２剥離テープ８４とのＸ軸方向における位置合わせが行われる。そして、把持部６０の昇降爪６０３が下降することで、第２剥離テープ８４の先端を昇降爪６０３と固定台６０２との間で把持する。

【0040】

把持部６０が第２剥離テープ８４の先端を把持した後、第２テープ保持部７２が第２剥離テープ８４の吸引保持を解除する。そして、図５に示すように、第２ロール支持部１１４が所定の回転速度で第２ロールテープ８６を回転させつつ、回転自在の一対のガイドローラ１５が把持部６０と第２ロールテープ８６との間の第２剥離テープ８４にテンションをかけつつ－Ｘ方向に送り出し、把持部移動手段１６が把持部６０を－Ｘ方向へと移動させていき第２ロールテープ８６から第２剥離テープ８４を－Ｘ方向へと引き出していく。

【0041】

図５に示す第２剥離テープ８４を引き出す把持部６０が図１、図５に示す貼着位置Ｐ１まで移動した後、Ｘ軸方向における把持部６０の移動が一度停止される。また、図１に示すウェーハ９０を吸引保持した保持テーブル３０が＋Ｘ方向に移動して、例えば、ウェーハ９０に貼着された保護テープ９１の＋Ｘ方向側の外周部分の上方に＋Ｘ方向側から順番に貼着用カッター６８と、貼着部６６及び一対のヒータ６６７と、第２剥離テープ８４の先端側を把持した把持部６０とが位置付けられた状態になる。

【0042】

一対のヒータ６６７に所定の電圧が印加されて電流が流されて一対のヒータ６６７が発熱し、貼着部６６が、一対のヒータ６６７によって加熱される。一対のヒータ６６７は、図１、図５においては貼着部６６に接触していないが、貼着部６６に接触していてもよい。一対のヒータ６６７による貼着部６６の加熱中においては、貼着部６６に内蔵されている図示しない温度センサが貼着部６６の温度を計測する。貼着部６６の温度が、予め設定された保護テープ９１に対する第２剥離テープ８４の好適な熱接着温度に達する。また、制御手段５の制御の下で、アクチュエータによって貼着部６６が下降していく。

【0043】

図１、図５に示す貼着部６６を下降させ、貼着部６６が保護テープ９１の＋Ｘ方向側の外周部分の上方において延在する第２剥離テープ８４を下方に押し動かし、第２剥離テープ８４の接着剤層を保護テープ９１の上面の外周部分に接触させ、押し付けていく。予め熱接着温度まで加熱されている貼着部６６により、第２剥離テープ８４の接着剤層の粘着性を最適な状態で発現させて、第２剥離テープ８４の先端側の接着剤層を、保持テーブル３０に保持されたウェーハ９０の保護テープ９１の上面の外周部分に貼着する。

【0044】

次いで、図１、図５に示す貼着用カッター６８が下降して、貼着用カッター６８の刃先が第２剥離テープ８４の貼着部分よりも後方の部分に切り込み、第２剥離テープ８４を切断し帯状にする。貼着用カッター６８が第２剥離テープ８４を切断した後、貼着用カッター６８及び貼着部６６は、上昇して第２剥離テープ８４から退避する。なお、貼着用カッター６８下方の図示しない切り台上に切断側が先端となる第２剥離テープ８４が載置された状態になっており、後述する新たなウェーハ９０の保護テープ９１に新たな第２剥離テープを貼着する際に、第２剥離テープ８４の先端を把持部６０によって把持可能となる。

【0045】

次に、図１に示す保持手段移動手段３４が保持手段３を＋Ｘ方向に移動させていくとともに、把持部移動手段１６が、保護テープ９１の上面の＋Ｘ方向側の外周部分に貼着された第２剥離テープ８４の先端を把持した把持部６０を－Ｘ方向へと移動させていく。即ち、保護テープ９１の外周部分に貼着した第２剥離テープ８４を把持した把持部６０とウェーハ９０とを互いが離間するＸ軸方向に相対的に移動させる。よって、第２剥離テープ８４及び保護テープ９１に付与される張力と、加熱された第２剥離テープ８４の接着剤層の保護テープ９１に対する粘着力とがウェーハ９０の上面９００に貼着される保護テープ９１の貼着力より大きいことにより、ウェーハ９０の上面９００から保護テープ９１をウェーハ９０の＋Ｘ方向側の外周部分から中心に向けて剥離していく。なお、保持手段３、又は把持部６０のどちらか一方を固定して、保持手段３、又は把持部６０をＸ軸方向に移動させることで、ウェーハ９０から保護テープ９１を剥離してもよい。

【0046】

ウェーハ９０の上面９００全面から保護テープ９１が剥離された後、剥離した保護テープ９１及び第２剥離テープ８４を把持した把持部６０がゴミ箱１９の上方まで移動して、第２剥離テープ８４の把持を解除して、ゴミ箱１９に剥離した保護テープ９１ごと落下させる。

【0047】

図示しない搬送手段が保護テープ９１が剥離されたウェーハ９０を保持テーブル３０上から搬出するとともに、保護テープ９１が上面９００に貼着された新たなウェーハ９０を保持テーブル３０上に載置し、貼着用カッター６８下方の図示しない切り台上に先端側が載置された第２剥離テープ８４の把持部６０による把持を起点とし上記と同様の工程を繰り返して、ウェーハ９０の上面９００から保護テープ９１を剥離していくことで、テープ剥離動作が滞りなく行われていき、複数枚のウェーハ９０の各保護テープ９１を次々に剥離していくことができる。

【0048】

複数枚のウェーハ９０の各保護テープ９１を次々に剥離した後、例えば、テープ剥離装置１の保持テーブル３０上に搬送されるウェーハ９０が、保護テープ９１が貼着されているウェーハ９０から、保護テープ９１とは別種の図１に示す保護テープ９６が貼着されているウェーハ９０に切り替わることがある。該切り替え情報は、例えば、作業者からテープ剥離装置１に入力される。なお、ウェーハ９０の貼着されている該保護テープ９１が保護テープ９６に切り替えられたことの認識は、テープ剥離装置１自体が特開２０１８－０４９９１３号公報等に開示されている技術を用いて行ってもよい。例えば、保護テープ９６は、保護テープ９１に比べて、剥離テープを貼着させる際に熱を多く加えることができない種類のテープであり、保護テープ９６に対する剥離テープの好適な熱接着温度は、保護テープ９１に対する第２剥離テープ８４の好適な熱接着温度よりも数度～数十度低い温度である。

【0049】

テープ剥離装置１の保持テーブル３０上に新たに搬送されたウェーハ９０に貼着されている保護テープが保護テープ９１から保護テープ９６に切り替わったことを認識した制御手段５は、保護テープ用対応表５０を参照して、保護テープ９６の品種に対応する剥離テープが、例えば、第１剥離テープ８３であると選択する。

【0050】

そして、切り替え手段１１が、把持部６０が把持可能に一方の第２ロール支持部１１４に支持された一方の第２剥離テープ８４とこれから使用する他方の第１ロール支持部１１３に支持された他方の第１剥離テープ８３とを切り替える。
具体的には、図６に示すように、第２テープ保持部７２に配設された回動部材７４が下がるように回動して自由端である他端側を第２剥離テープ８４の上面に当接させる。そして、第２カッター１８が、回転し第２テープ保持部７２に対向する状態になった後、第２カッター１８が回動部材７４の外側面に沿って上昇することで回動部材７４を切り台として機能させて第２剥離テープ８４を適切に切断する。

【0051】

把持部６０が先端を把持する第２剥離テープ８４は、後端側が上記のように切断された後、ゴミ箱１９の上方まで移動した把持部６０によってゴミ箱１９に廃棄される。
図７に示すように、第２剥離テープ８４は、第２テープ保持部７２によって吸引保持された状態が維持され、例えば、次に再び使用される際に第１剥離テープ８３からの切り替えがスムーズに行えるようにされる。

【0052】

図８に示すように、移動手段１１７が－Ｚ方向にプレート１１０を下降させて、第１テープ保持部７１で保持されている第１剥離テープ８３の先端の高さ位置が固定台６０２の内部下面の高さ位置に略合致するように、把持部６０と第１剥離テープ８３とのＺ軸方向における位置合わせが行われる。また、第１テープ保持部７１に配設された回動部材７４が持ち上げられるように回動して、第１テープ保持部７１の保持面７１２から、第１剥離テープ８３の先端が所定長さ－Ｘ方向にはみ出た状態になる。
なお、Ｚ軸方向に移動するプレート１１０は、第１テープ保持部７１と第２テープ保持部７２とを配置して、把持部６０が第１剥離テープ８３又は第２剥離テープ８４を把持可能にＺ軸方向に移動させてもよい。

【0053】

次いで、又は上記Ｚ軸方向における位置合わせ動作と並行して、図９に示すように、把持部移動手段１６によって把持部６０が＋Ｘ方向に移動して、第１剥離テープ８３の先端が固定台６０２の内部下面上に所定長さ載るように、把持部６０と第１剥離テープ８３とのＸ軸方向における位置合わせが行われる。そして、把持部６０の昇降爪６０３が下降することで、第１剥離テープ８３の先端を昇降爪６０３と固定台６０２との間で把持する。

【0054】

図９に示すように把持部６０が第１剥離テープ８３の先端を把持した後、第１テープ保持部７１が第１剥離テープ８３の吸引保持を解除する。そして、第１ロール支持部１１３が所定の回転速度で第１ロールテープ８５を回転させつつ、回転自在の一対のガイドローラ１４が把持部６０と第１ロールテープ８５との間の第１剥離テープ８３にテンションをかけつつ－Ｘ方向に送り出し、把持部移動手段１６が把持部６０を－Ｘ方向へと移動させていき、第１ロールテープ８５から第１剥離テープ８３を－Ｘ方向へと引き出していく。

【0055】

その後の第１剥離テープ８３のウェーハ９０に貼着された保護テープ９６への接着は、先に説明した第２剥離テープ８４の場合と略同様に行われる。なお、保護テープ９６に対する剥離テープの好適な熱接着温度は、保護テープ９１に対する第２剥離テープ８４の好適な熱接着温度よりも数度～数十度低い温度であるため、貼着部６６の温度が、予め設定された保護テープ９６に対する第１剥離テープ８３の好適な熱接着温度に設定される。そして、先に説明した第２剥離テープ８４を介した把持部６０による保護テープ９１の剥離と略同様に、第１剥離テープ８３を介した把持部６０による保護テープ９６の剥離が実施されていく。

【0056】

上記のように本発明に係るテープ剥離装置１は、把持部６０が把持可能に一方の第２ロール支持部１１４に支持された一方の第２剥離テープ８４と他方の第１ロール支持部１１３に支持された他方の第１剥離テープ８３とを切り替える切り替え手段１１を備え、切り替え手段１１は、第１ロール支持部１１３（第２ロール支持部１１４）と、第１ロール支持部１１３（第２ロール支持部１１４）から引き出された第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）を保持する第１テープ保持部７１（第２テープ保持部７２）と、第１テープ保持部７１（第２テープ保持部７２）と貼着部６６との間で第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）を切断する第１カッター１７（第２カッター１８）と、を備える第１剥離テープ供給部２１（第２剥離テープ供給部２２）を配置するプレート１１０と、第１テープ保持部７１（第２テープ保持部７２）が保持している第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）の端を把持部６０が把持可能にプレート１１０を移動させる移動手段１１７と、を備えることで、例えば予め保護テープの品種と第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）の品種との保護テープ用対応表５０、又はデバイスと第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）の品種とのデバイス用対応表５１等を装置の制御手段５に記憶させおくことにより、テープ剥離装置１自体が、使用する第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）をウェーハ９０に貼着されている保護テープ、またはデバイスに対応した適切な第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）に切り替えることができる。そのため、作業者による例えば第２剥離テープ８４から第１剥離テープ８３への切り替え作業を無くすことができ、テープ剥離装置１を作業者による切り替え作業のために長時間停止させる必要も無くなる。また、保護テープと第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）、又はデバイスと第１剥離テープ８３（第２剥離テープ８４）との対応していない組み合わせが生じて、デバイスを破損させたり、貼着力が弱く保護テープを剥離できなかったりするという事態が発生することを抑止できる。

【0057】

なお、本発明に係るテープ剥離装置１は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されているテープ剥離装置１の各構成の形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

【符号の説明】

【0058】

９０：ウェーハ ９００：ウェーハの上面 ９０１：ウェーハの下面
９１：保護テープ ９３：支持テープ ９４：リングフレーム ９６：保護テープ
１：テープ剥離装置
１１：切り替え手段 １１０：プレート １１７：移動手段
２１：第１剥離テープ供給部
１１３：第１ロール支持部
８５：第１ロールテープ ８３：第１剥離テープ ８５５：円筒 １４：一対のガイドローラ １１５：第１残量検出部 １７：第１カッター
７１：第１テープ保持部 ７１０：吸着部 ７１２：保持面 ７１１：枠体 ７９：吸引源 ７４：回動部材 ７４１：回動軸
２２：第２剥離テープ供給部
１１４：第２ロール支持部
８６：第２ロールテープ ８４：第２剥離テープ ８６６：円筒 １５：一対のガイドローラ １１６：第２残量検出部 １８：第２カッター
７２：第２テープ保持部 回動部材７４
６０：把持部 ６０２：固定台 ６０３：昇降爪 ６０５：アクチュエータ
１６：把持部移動手段
６６：貼着部 ６６７：一対のヒータ ６８：貼着用カッター
３：保持手段 ３０：保持テーブル ３０２：保持面
３１：リングフレーム保持部 ３１８：クランプ ３３：アクチュエータ
３４：保持手段移動手段 ３４１：ガイドレール ３４２：移動基台
１９：ゴミ箱
５：制御手段 ５０：保護テープ用対応表 ５１：デバイス用対応表

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】