特許 7546427 搬送方法及び処理システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-08-29

(45)【発行日】2024-09-06

(54)【発明の名称】搬送方法及び処理システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/02 20060101AFI20240830BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240830BHJP

【ＦＩ】

H01L21/02 Z

H01L21/68 A

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2020159632

(22)【出願日】2020-09-24

(65)【公開番号】P2022053047

(43)【公開日】2022-04-05

【審査請求日】2023-06-23

(73)【特許権者】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100096389

【弁理士】

【氏名又は名称】金本 哲男

(74)【代理人】

【識別番号】100101557

【弁理士】

【氏名又は名称】萩原 康司

(74)【代理人】

【識別番号】100167634

【弁理士】

【氏名又は名称】扇田 尚紀

(74)【代理人】

【識別番号】100187849

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 隆史

(74)【代理人】

【識別番号】100212059

【弁理士】

【氏名又は名称】三根 卓也

(72)【発明者】

【氏名】中込 渉

(72)【発明者】

【氏名】村川 章太郎

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 直之

(72)【発明者】

【氏名】仙頭 史孝

(72)【発明者】

【氏名】向山 達也

(72)【発明者】

【氏名】窪田 茂

(72)【発明者】

【氏名】平出 圭介

【審査官】堀江 義隆

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０２０／００８９５４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１４／１６８００６（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板に所望の処理を施す少なくとも１つの処理部と、前記処理部に対して基板を搬送する搬送部と、を備える処理システムにおいて、連続的に処理される複数の基板を前記搬送部から前記処理部に搬送する方法であって、
複数の前記基板のそれぞれには、当該基板に対する処理時間を任意に変更するための調整値が予め割り当てられ、
今回処理される第１の基板に割り当てられた前記調整値を取得する工程と、
前記第１の基板よりも前に処理された基準基板に割り当てられた基準調整値を取得する工程と、
前記基準基板に対して行われた実際の処理時間である実績時間を取得する工程と、
前記実績時間に前記第１の基板に割り当てられた前記調整値と前記基準調整値との差分を反映させることにより、第１の基板の予測処理時間を算出する工程と、
算出された前記予測処理時間に基づいて、前記第１の基板よりも後に処理される第２の基板の搬送タイミングを調整する工程と、を含む、搬送方法。

【請求項2】

前記第２の基板の搬送タイミングの調整に際しては、
前記予測処理時間から算出される、処理モジュールにおける前記第１の基板に対する処理の終了予測時間と、
前記第２の基板の前記処理モジュールまでの搬送時間と、
を比較することにより、前記第２の基板の搬送開始のタイミングが調整される、請求項１に記載の搬送方法。

【請求項3】

前記終了予測時間の前後５秒以内に、前記第２の基板が前記処理モジュールに搬送されるように、前記搬送開始のタイミングが調整される、請求項２に記載の搬送方法。

【請求項4】

前記処理システムには、前記基板に各種処理を施すための複数の処理モジュールが設けられ、
前記搬送開始のタイミングが調整される前記処理モジュールは、複数の前記処理モジュールの内、前記基板に対する処理時間が長く、処理システムにおける前記基板の処理に律速が生じる処理モジュールである、請求項２又は３に記載の搬送方法。

【請求項5】

前記第１の基板に対する処理の終了後、前記第１の基板に割り当てられた前記調整値を、前記基準調整値として上書きして更新する工程を含む、請求項１～４のいずれか一項に記載の搬送方法。

【請求項6】

複数の基板を連続的に処理する処理システムであって、
基板に所望の処理を施す少なくとも１つの処理部と、
前記処理部に対して基板を搬送する搬送部と、
前記搬送部から前記処理部に対する基板の搬送動作を制御する制御部と、を備え、
複数の前記基板のそれぞれには、当該基板に対する処理時間を任意に変更するための調整値が予め割り当てられ、
前記制御部は、
今回処理される第１の基板に割り当てられた前記調整値を取得する工程と、
前記第１の基板よりも前に処理された基準基板に割り当てられた基準調整値を取得する工程と、
前記基準基板に対して行われた実際の処理時間である実績時間を取得する工程と、
前記実績時間に前記第１の基板に割り当てられた前記調整値と前記基準調整値との差分を反映させることにより、第１の基板の予測処理時間を算出する工程と、
算出された前記予測処理時間に基づいて、前記第１の基板よりも後に処理される第２の基板の搬送タイミングを調整する工程と、を行うように前記基板の搬送動作を制御する、処理システム。

【請求項7】

前記制御部は、前記第２の基板の搬送タイミングの調整に際して、
前記予測処理時間から算出される、前記処理部における前記第１の基板に対する処理の終了予測時間と、
前記第２の基板の前記処理部までの搬送時間と、
を比較することにより、前記第２の基板の搬送開始のタイミングを調整する、請求項６に記載の処理システム。

【請求項8】

前記制御部は、前記終了予測時間の前後５秒以内に、前記第２の基板が前記処理部に搬送されるように、前記搬送開始のタイミングが調整する、請求項７に記載の処理システム。

【請求項9】

前記搬送部に隣接して複数の前記処理部が設けられ、
前記搬送開始のタイミングが調整される前記処理部は、複数の前記処理部の内、前記基板に対する処理時間が長く、処理システムにおける前記基板の処理に律速が生じる処理部である、請求項７又は８に記載の処理システム。

【請求項10】

前記制御部は、前記第１の基板に対する処理の終了後、前記第１の基板に割り当てられた前記調整値を、前記基準調整値として上書きして更新する、請求項６～９のいずれか一項に記載の処理システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、基板の搬送方法及び処理システムに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、内部に収容した基板に対して所望のガス処理を施すチャンバと、前記チャンバに対し複数の基板を連続的に搬送する搬送機構と、基板を前記チャンバに搬入する前に処理ガスを前記チャンバに導入させ、所定時間後に前記チャンバ内に基板を搬入させるように前記処理ガスの導入と前記搬送機構の動作とを制御する制御機構と、を具備するガス処理装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００８－１６００００号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本開示にかかる技術は、基板処理装置において連続的に処理される複数の基板の搬送タイミングを適切に調整し、該基板処理装置における基板処理を効率的に行う。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の一態様は、基板に所望の処理を施す少なくとも１つの処理部と、前記処理部に対して基板を搬送する搬送部と、を備える処理システムにおいて、連続的に処理される複数の基板を前記搬送部から前記処理部に搬送する方法であって、複数の前記基板のそれぞれには、当該基板に対する処理時間を任意に変更するための調整値が予め割り当てられ、今回処理される第１の基板に割り当てられた前記調整値を取得する工程と、前記第１の基板よりも前に処理された基準基板に割り当てられた基準調整値を取得する工程と、前記基準基板に対して行われた実際の処理時間である実績時間を取得する工程と、前記実績時間に前記第１の基板に割り当てられた前記調整値と前記基準調整値との差分を反映させることにより、第１の基板の予測処理時間を算出する工程と、算出された前記予測処理時間に基づいて、前記第１の基板よりも後に処理される第２の基板の搬送タイミングを調整する工程と、を含む。

【発明の効果】

【0006】

本開示によれば、基板処理装置において連続的に処理される複数の基板の搬送タイミングを適切に調整し、該基板処理装置における基板処理を効率的に行う。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】本実施形態にかかる基板処理装置の構成の概略を示す平面図である。

【図2】本実施形態にかかるウェハ搬送のタイミング制御方法の主な工程を示すフロー図である。

【図3】レシピデータベースに記録されたレシピ情報の詳細を示す説明図である。

【図4】本実施形態にかかるウェハ搬送の様子を模式的に示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

従来、真空雰囲気下で半導体ウェハ（基板：以下、単に「ウェハ」という。）を搬送し、該ウェハに対して各種真空処理を行う真空処理装置が知られている。この真空処理装置では、該真空処理装置に搬入される複数枚のウェハに対して、各種処理モジュール間での搬送、及び各種真空処理が、順次、連続的に行われる。

【0009】

上述した特許文献１には、真空処理としてのＣＯＲ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｒｅｍｏｖａｌ）処理、及びＰＨＴ（Ｐｏｓｔ Ｈｅａｔ Ｔｒｅａｔｍｅｎｔ）処理を、順次、ウェハに対して行うガス処理装置が開示されている。特許文献１に記載のガス処理装置によれば、プロセスコントローラからの指令により、複数枚のウェハが連続的に各処理チャンバ（処理モジュール）に搬送されるように、ウェハの搬送が制御される。

【0010】

このウェハの搬送、及び各種真空処理においては、真空処理装置におけるスループットの低下を抑制するため、各種処理モジュールに対するウェハ搬送のタイミングを制御し、該ウェハの処理待機時間を短くすることが求められる。

【0011】

このウェハ搬送のタイミング制御には、従来、該タイミング制御が行われる今回のウェハ（以下、「今回ウェハ」という。）に先行して処理されたウェハ（以下、「先行ウェハ」という。）に対して対象の真空処理（レシピ）を実行したときの計測時間をレシピに保存した「レシピ実績時間（以下、単に「実績時間」という場合がある。）」が用いられている。具体的には、対象のレシピが行われた先行ウェハの実績時間を用いることで、同様のレシピが実行される今回ウェハに対する該レシピに要する時間を予測し、レシピの終了のタイミングに合わせて今回ウェハの搬送タイミングを制御することにより、ウェハ搬送を最適化することができる。

【0012】

ところで、このウェハ搬送のタイミング制御をするための「実績時間」には、例えば今回ウェハの前工程の処理結果や、先行ウェハの対象レシピの処理結果等に基づいて、今回ウェハに対する対象レシピの処理時間を調整するためデータ（以下、「バリアブルデータ」という。）が含まれている。該バリアブルデータは、例えばオペレータの手入力や前工程の処理結果に基づく自動入力等により、真空処理装置に搬入される複数枚のウェハ毎に割り当てて設定される。

【0013】

しかしながら、上述した従来のウェハ搬送のタイミング制御方法においては、このようにウェハ毎に割り当てられるバリアブルデータが考慮されておらず、先行ウェハと今回ウェハで該バリアブルデータが異なる場合にスループットが低下するおそれがあった。具体的には、上述したように先行ウェハの実績時間に基づいて今回ウェハの搬送タイミングが制御されるが、この際、先行ウェハと今回ウェハのバリアブルデータが同じであることを想定して今回ウェハを搬送するため、搬送タイミングが正しく予測されず、処理待機時間が発生してスループット低下の原因となるおそれがあった。そして、このようなバリアブルデータが異なることに起因するスループットの低下については特許文献１にも記載がなく、かかる観点において改善の余地がある。

【0014】

本開示にかかる技術は、上記事情に鑑みてなされたものであり、基板処理装置において連続的に処理される複数の基板の搬送タイミングを適切に調整し、該基板処理装置における基板処理を効率的に行う。以下、一実施形態にかかる真空処理装置、及び本実施形態にかかるウェハ搬送方法について、図面を参照しながら説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

【0015】

＜真空処理装置＞
先ず、一実施形態にかかる真空処理装置の構成について説明する。図１は、真空処理装置１の構成の概略を模式的に示す平面図である。本実施形態においては、真空処理装置１が、処理モジュールとしてのＣＯＲモジュール、及びＰＨＴモジュールを備える場合を例に説明する。なお、本開示の真空処理装置１が備える各種処理モジュールの構成はこれに限られず、任意に選択され得る。

【0016】

図１に示すように真空処理装置１は、大気部１０と減圧部１１がロードロックモジュール２０ａ、２０ｂを介して一体に接続された構成を有している。大気部１０は、大気圧雰囲気下においてウェハＷに所望の処理を行う複数の大気モジュールを備える。減圧部１１は、減圧雰囲気下においてウェハＷに所望の処理を行う複数の減圧モジュールを備える。

【0017】

ロードロックモジュール２０ａは、大気部１０の後述するローダーモジュール３０から搬送されたウェハＷを、減圧部１１の後述するトランスファモジュール６０に引き渡すため、ウェハＷを一時的に保持する。ロードロックモジュール２０ａは、内部に複数、例えば２つのストッカ（図示せず）を有しており、これにより内部に２枚のウェハＷを同時に保持する。

【0018】

ロードロックモジュール２０ａは、ゲートバルブ（図示せず）が設けられたゲート（図示せず）を介して、後述するローダーモジュール３０及び後述するトランスファモジュール６０に接続されている。このゲートバルブにより、ロードロックモジュール２０ａと、ローダーモジュール３０及びトランスファモジュール６０の間の気密性の確保と互いの連通を両立する。

【0019】

ロードロックモジュール２０ａにはガスを供給する給気部（図示せず）とガスを排出する排気部（図示せず）が接続され、当該給気部と排気部によって内部が大気圧雰囲気と減圧雰囲気に切り替え可能に構成されている。すなわちロードロックモジュール２０ａは、大気圧雰囲気の大気部１０と、減圧雰囲気の減圧部１１との間で、適切にウェハＷの受け渡しができるように構成されている。

【0020】

ロードロックモジュール２０ｂはトランスファモジュール６０から搬送されたウェハＷをローダーモジュール３０に引き渡すため、ウェハＷを一時的に保持する。ロードロックモジュール２０ｂは、ロードロックモジュール２０ａと同様の構成を有している。すなわち、図示しないゲートバルブ、図示しないゲート、図示しない給気部、及び図示しない排気部を有している。

【0021】

なお、ロードロックモジュール２０ａ、２０ｂの数や配置は、本実施形態に限定されるものではなく、任意に設定できる。

【0022】

大気部１０は、後述するウェハ搬送機構４０を備えたローダーモジュール３０、複数のウェハＷを保管可能なフープ３１を載置するロードポート３２、ウェハＷを冷却するＣＳＴモジュール３３、及びウェハＷの水平方向の向きを調節するオリエンタモジュール３４を有している。

【0023】

ローダーモジュール３０は内部が矩形の筐体からなり、筐体の内部は大気圧雰囲気に維持されている。ローダーモジュール３０の筐体の長辺を構成する一側面には、複数、例えば３つのロードポート３２が並設されている。ローダーモジュール３０の筐体の長辺を構成する他側面には、ロードロックモジュール２０ａ、２０ｂが並設されている。ローダーモジュール３０の筐体の短辺を構成する一側面には、ＣＳＴモジュール３３が設けられている。ローダーモジュール３０の筐体の短辺を構成する他側面には、オリエンタモジュール３４が設けられている。

【0024】

なお、ロードポート３２、ＣＳＴモジュール３３、及びオリエンタモジュール３４の数や配置は本実施形態に限定されるものではなく、任意に設定できる。また、大気部１０に設けられる大気モジュールの種類も本実施形態に限定されるものではなく、任意に選択できる。

【0025】

フープ３１は複数、例えば１ロット２５枚のウェハＷを収容する。また、ロードポート３２に載置されたフープ３１の内部は、例えば、大気や窒素ガスなどで満たされて密閉されている。

【0026】

ローダーモジュール３０の内部には、ウェハＷを搬送するウェハ搬送機構４０が設けられている。ウェハ搬送機構４０は、ウェハＷを保持して移動する搬送アーム４１ａ、４１ｂと、搬送アーム４１ａ、４１ｂを回転可能に支持する回転台４２と、回転台４２を搭載した回転載置台４３とを有している。ウェハ搬送機構４０は、ローダーモジュール３０の筐体の内部において長手方向に移動可能に構成されている。

【0027】

減圧部１１は、２枚のウェハＷを各種処理モジュールに対して同時に搬送するトランスファモジュール６０と、ウェハＷにＣＯＲ処理を行うＣＯＲモジュール６１と、ウェハＷにＰＨＴ処理を行うＰＨＴモジュール６２とを有している。トランスファモジュール６０、ＣＯＲモジュール６１、及びＰＨＴモジュール６２の内部は、それぞれ減圧雰囲気に維持される。また、ＣＯＲモジュール６１及びＰＨＴモジュール６２は、トランスファモジュール６０に対して複数、例えば３つずつ設けられている。

【0028】

搬送部としてのトランスファモジュール６０は内部が矩形の筐体からなり、上述したように図示しないゲートバルブを介してロードロックモジュール２０ａ、２０ｂに接続されている。トランスファモジュール６０は、ロードロックモジュール２０ａに搬入されたウェハＷを一のＣＯＲモジュール６１、一のＰＨＴモジュール６２に順次搬送してＣＯＲ処理とＰＨＴ処理を施した後、ロードロックモジュール２０ｂを介して大気部１０に搬出する。

【0029】

処理部としてのＣＯＲモジュール６１の内部には、２枚のウェハＷを水平方向に並べて載置する２つのステージ６１ａ、６１ｂが設けられている。ＣＯＲモジュール６１は、ステージ６１ａ、６１ｂにウェハＷを並べて載置することにより、２枚のウェハＷに対して同時にＣＯＲ処理を行う。なお、ＣＯＲモジュール６１には、処理ガスやパージガスなどを供給する給気部（図示せず）とガスを排出する排気部（図示せず）が接続されている。

【0030】

処理部としてのＰＨＴモジュール６２の内部には、２枚のウェハＷを水平方向に並べて載置する２つのステージ６２ａ、６２ｂが設けられている。ＰＨＴモジュール６２は、ステージ６２ａ、６２ｂにウェハＷを並べて載置することにより、２枚のウェハＷに対して同時にＰＨＴ処理を行う。なお、ＰＨＴモジュール６２には、ガスを供給する給気部（図示せず）とガスを排出する排気部（図示せず）が接続されている。

【0031】

また、ＣＯＲモジュール６１及びＰＨＴモジュール６２は、ゲートバルブ（図示せず）が設けられたゲート（図示せず）を介して、トランスファモジュール６０に接続されている。このゲートバルブにより、トランスファモジュール６０とＣＯＲモジュール６１及びＰＨＴモジュール６２の間の気密性の確保と互いの連通を両立する。

【0032】

なお、トランスファモジュール６０に設けられる処理モジュールの数や配置、及び種類は本実施形態に限定されるものではなく、任意に設定できる。

【0033】

トランスファモジュール６０の内部には、ウェハＷを搬送するウェハ搬送機構７０が設けられている。ウェハ搬送機構７０は、２枚のウェハＷを縦並びに保持して移動する搬送アーム７１ａ、７１ｂと、搬送アーム７１ａ、７１ｂを回転可能に支持する回転台７２と、回転台７２を搭載した回転載置台７３とを有している。また、トランスファモジュール６０の内部には、トランスファモジュール６０の長手方向に延伸するガイドレール７４が設けられている。回転載置台７３はガイドレール７４上に設けられ、ウェハ搬送機構７０をガイドレール７４に沿って移動可能に構成されている。

【0034】

以上の真空処理装置１には、制御部８０が設けられている。制御部８０は、例えばＣＰＵやメモリ等を備えたコンピュータであり、プログラム格納部（図示せず）を有している。プログラム格納部には、真空処理装置１におけるウェハＷの処理を制御するプログラムが格納されている。また、プログラム格納部には、上述の各種処理モジュールや搬送機構などの駆動系の動作を制御して、真空処理装置１における後述のウェハ搬送のタイミング制御を行うためのプログラムも格納されている。具体的には、例えばウェハの搬送動作を制御する後述の「ウェハ搬送制御タスク」、処理モジュールにおけるレシピを実行する後述の「レシピ実行制御タスク」、及び処理モジュールにおけるレシピを管理する後述の「レシピ管理タスク」等が格納されている。なお、上記プログラムは、コンピュータに読み取り可能な記憶媒体Ｈに記録されていたものであって、当該記憶媒体Ｈから制御部８０にインストールされたものであってもよい。

【0035】

＜ウェハ搬送方法＞
本開示にかかる真空処理装置１は以上のように構成されている。次に、真空処理装置１を用いて行われるウェハ処理、及びウェハ搬送について説明する。なお、以下の説明においてはフープ３１に収容された１ロット（２５枚）のウェハＷに対して、連続的に２枚葉で処理を行う場合を例に説明を行う。また、以下の説明に用いる「ウェハＷ_１～Ｗ_２５」は、１ロット（２５枚）のウェハＷのそれぞれに対して、ウェハ処理が行われる順番に１～２５の番号を付したものである。

【0036】

また、通常のウェハ処理においては減圧部１１に設けられた複数のＣＯＲモジュール６１、及びＰＨＴモジュール６２を用いてウェハＷを並行処理するが、以下の説明においてはウェハ搬送のタイミング制御についての説明を明確化するため、ウェハＷ_１～Ｗ_２５の全てが同一のＣＯＲモジュール６１、ＰＨＴモジュール６２を用いて処理される場合を例に説明を行う。

【0037】

先ず、複数、１ロット（２５枚）のウェハＷを収納したフープ３１が、ロードポート３２に搬入される。ロードポート３２にフープ３１が配置されると、フープ３１に対してウェハ搬送機構４０がアクセスし、フープ３１からウェハＷ_１が取り出される。フープ３１から搬出されたウェハＷ_１は、オリエンタモジュール３４により水平方向の向きが調節される。次に、ウェハＷ_１の水平方向の向きを調節する間に、フープ３１からウェハＷ₂が取り出される。

【0038】

フープ３１から取り出されたウェハＷ_２は、水平方向の向きが調節されたウェハＷ_１がオリエンタモジュール３４から取り出された直後に、当該オリエンタモジュール３４に搬入されて水平方向の向きが調節される。

【0039】

オリエンタモジュール３４から取り出されたＷ_１は、ロードロックモジュール２０ａのストッカ（図示せず）に搬送され、一時的に保持される。同様に、水平方向の向きが調節されたウェハＷ_２がオリエンタモジュール３４から取り出され、ロードロックモジュール２０ａのストッカ（図示せず）に搬送される。

【0040】

ロードロックモジュール２０ａに２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２が搬送されると、該ロードロックモジュール２０ａの内部が大気圧雰囲気から減圧雰囲気に切り替えられた後、トランスファモジュール６０の内部と連通される。続いて２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２は、ウェハ搬送機構７０の搬送アーム７１ａに受け渡され、トランスファモジュール６０に搬入される。

【0041】

２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２を保持したウェハ搬送機構７０は、次に、一のＣＯＲモジュール６１の前に移動する。続いて、搬送アーム７１ａがＣＯＲモジュール６１の内部に進入し、２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２がＣＯＲモジュール６１のステージ６１ａ、６１ｂにそれぞれ受け渡される。その後、搬送アーム７１ａはＣＯＲモジュール６１から退出し、２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２に対してＣＯＲ処理が行われる。なお、本実施形態にかかるＣＯＲ処理においては、後述のレシピデータベースＤＢに記録された複数のＣＯＲ処理のレシピの中から、目的に応じて少なくとも一のレシピを選択的に実行する。

【0042】

２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２のＣＯＲ処理が開始されると、次に処理される２枚のウェハＷ_３、Ｗ_４がフープ３１から取り出され、オリエンタモジュール３４を介してロードロックモジュール２０ａに搬入された後、さらにウェハ搬送機構７０により一のＣＯＲモジュール６１の前に搬送される。ここで、２枚のウェハＷ_３、Ｗ_４の一のＣＯＲモジュール６１への搬送タイミングは、先行ウェハである２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２に対するＣＯＲ処理が完了するタイミングで、該一のＣＯＲモジュール６１の前にウェハＷ_３、Ｗ_４が到着するように制御される。すなわち、一のＣＯＲモジュール６１に対するウェハＷ_１、Ｗ_２の搬出と、ウェハＷ_３、Ｗ_４の搬入とを同時に行うことができるように搬送タイミングが制御される。なお、この搬送タイミングの制御方法の詳細については後述する。

【0043】

続いて、ウェハＷ_１、Ｗ_２に対するＣＯＲ処理が完了すると、ウェハ搬送機構７０の搬送アーム７１ｂがＣＯＲモジュール６１の内部に進入し、ステージ６１ａ、６１ｂから搬送アーム７１ｂに２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２が受け渡される。続けて、ウェハ搬送機構７０の搬送アーム７１ａがＣＯＲモジュール６１の内部に進入し、搬送アーム７１ｂからステージ６１ａ、６１ｂに２枚のウェハＷ_３、Ｗ_４が受け渡される。その後、搬送アーム７１ａがＣＯＲモジュール６１から退出し、２枚のウェハＷ_３、Ｗ_４に対してＣＯＲ処理が行われる。

【0044】

次に、２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２を保持したウェハ搬送機構７０が一のＰＨＴモジュール６２の前まで移動する。続いて、搬送アーム７１ｂがＰＨＴモジュール６２に進入し、２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２がＰＨＴモジュール６２のステージ６２ａ、６２ｂにそれぞれ受け渡される。その後、搬送アーム７１ｂはＰＨＴモジュール６２から退出し、２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２に対してＰＨＴ処理が行われる。なお、本実施形態にかかるＰＨＴ処理においては、後述のレシピデータベースＤＢに記録された複数のＰＨＴ処理のレシピの中から、目的に応じて少なくとも一のレシピを選択的に実行する。

【0045】

続いて、ウェハＷ_１、Ｗ_２に対するＰＨＴ処理が完了すると、ウェハ搬送機構７０の搬送アーム７１ｂがＰＨＴモジュール６２の内部に進入し、ステージ６２ａ、６２ｂから搬送アーム７１ｂに２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２が受け渡される。この際、ＣＯＲ処理が完了した２枚のウェハＷ_３、Ｗ_４をＰＨＴモジュール６２のステージ６２ａ、６２ｂに搬送すること、すなわち、ＰＨＴモジュール６２に対するウェハＷ_１，Ｗ_２の搬出と、ウェハＷ_３、Ｗ_４の搬入が同時に行われることが好ましい。また更に、この際、ＣＯＲモジュール６１に対するウェハＷ_３，Ｗ_４の搬出と、次に処理される２枚のウェハＷ_５、Ｗ_６の搬入が同時に行われることが更に好ましい。なお、上述したように、搬送タイミングの制御方法の詳細については後述する。

【0046】

２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２がＰＨＴモジュール６２から搬出されると、次に、２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２を保持したウェハ搬送機構７０がロードロックモジュール２０ｂの前まで移動する。続けて、２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２がウェハ搬送機構７０の搬送アーム７１ｂからストッカ（図示せず）に受け渡される。

【0047】

ロードロックモジュール２０ｂに２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２が搬送されると、該ロードロックモジュール２０ｂの内部が減圧雰囲気から大気圧雰囲気に切り替えられた後、ローダーモジュール３０の内部と連通される。続いて２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２は、ウェハ搬送機構４０に受け渡され、ローダーモジュール３０に搬入される。その後、ローダーモジュール３０によって２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２がＣＳＴモジュール３３に収納され、ＣＳＴ処理が行われる。

【0048】

ＣＳＴモジュール３３に搬送された２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２は、予め定められた時間（例えば１分）のＣＳＴ処理が完了すると、ローダーモジュール３０によってロードポート３２に載置されたフープ３１に収納され、他のウェハＷ_３～Ｗ_２５の処理が完了するまで待機状態となる。

【0049】

このように、一連のオリエント処理、ＣＯＲ処理、ＰＨＴ処理、及びＣＳＴ処理が、全てのウェハＷ_１～Ｗ_２５に対して順次行われる。そして、全てのウェハＷ_１～Ｗ_２５に対しての所望の処理が終了し、最後のウェハＷ_２５がフープ３１に収納されると、真空処理装置１における一連のウェハ処理が終了する。

【0050】

本実施形態にかかる真空処理装置１におけるウェハ処理、及びウェハ搬送は以上のようにして行われる。上述したように、ウェハの搬送タイミングは、一の処理モジュールに対する先行ウェハの搬出と、今回ウェハの搬入とが同時に行われるように搬送タイミングが制御されることが望ましい。しかしながら、特にウェハ毎に割り当てられるバリアブルデータが先行ウェハと今回ウェハで異なる場合、一の処理モジュールにおけるレシピの終了タイミングを正確に予測できず、搬送のタイミングを適切に制御できないおそれがある。

【0051】

ここで、今回ウェハの搬送タイミングが早く、処理モジュールでの先行ウェハに対するレシピが継続されている途中で今回ウェハが処理モジュールの前まで搬送されてしまった場合、該今回ウェハは、ウェハ搬送機構７０の搬送アーム７１上で先行ウェハの処理が完了するまで待機することになる。通常、上述したように真空処理装置１においては複数のフープ３１から搬入される複数のウェハＷを複数の処理モジュールを用いて並行して処理するため、このように搬送アーム７１上での今回ウェハの待機が生じた場合、かかる間は搬送アーム７１で他のウェハＷを搬送することができなくなる。すなわち、かかる間に他のウェハＷの処理を行うことができず、これにより真空処理装置１のスループットが低下する。

【0052】

一方、今回ウェハの搬送タイミングが遅く、処理モジュールでの先行ウェハに対するレシピが完了しても今回ウェハが処理モジュールの前まで搬送されない場合、先行ウェハを処理モジュールから搬出できず、該先行ウェハは処理モジュールの内部で待機することになる。このように先行ウェハの待機が生じた場合、かかる間は処理モジュールで他のウェハＷを処理することができなくなり、スループットが低下する。また更に、このように処理モジュールの内部での先行ウェハの待機が生じた場合、該処理モジュールの内部の残ガスの影響により先行ウェハへの処理が過分に進行し、先行ウェハに対して所望の処理結果が得られなくなるおそれがある。

【0053】

このように、ウェハ搬送のタイミングが適切に制御できなかった場合、スループットの低下や先行ウェハに対する処理結果の不具合が生じるおそれがある。このため、ウェハ搬送のタイミングは、好ましくは処理モジュールにおける先行ウェハのレシピの完了前後５秒以内、より好ましくは先行ウェハのレシピの完了と略同時に、今回ウェハが該処理モジュールの前に到着するように制御されることが望ましい。

【0054】

そこで次に、上述した真空処理装置１におけるウェハＷの搬送タイミングの制御方法の詳細について説明する。なお、以下の説明においてはＣＯＲモジュール６１におけるＣＯＲ処理の設定時間がｔ秒、ＰＨＴモジュール６２におけるＰＨＴ処理の設定時間がＴ秒（ｔ＜Ｔ）である場合、すなわちＰＨＴ処理がＣＯＲ処理よりも長く、ＰＨＴモジュール６２において真空処理装置１における処理が律速する場合を例に説明を行う。

【0055】

図２は、本実施形態にかかるウェハ搬送のタイミング制御の一連の流れを簡易に示すフロー図である。図２に示すように、本実施形態にかかる搬送タイミングの制御においては、上述の「ウェハ搬送制御タスク」、「レシピ実行制御タスク」、「レシピ管理タスク」が用いられる。また、図３はレシピデータベースＤＢの記録されたレシピ情報の詳細を模式的に示す説明図である。

【0056】

先ず、真空処理装置１におけるウェハＷに対する処理の開始に先立ち、ウェハ搬送制御タスクにより最初に処理される２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２の搬送計画を構築する（図２のシーケンスＳ１）。

【0057】

搬送計画の構築に際しては、２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２に割り当てられたバリアブルデータＶを取得する。バリアブルデータＶは、ウェハＷ_１、Ｗ_２に施される各種真空処理の処理ステップ時間毎に設定され、かかる処理ステップの実行時間を任意に調整するために入力される調整値である。このバリアブルデータを変更することにより、任意のウェハＷに対する該当処理ステップの実行時間を任意に変更することができる。

【0058】

なお、本実施形態においてはバリアブルデータＶの変更によりウェハＷに対する該当処理ステップの実行時間を変更する場合を例に説明を行うが、バリアブルデータＶは、ウェハＷの処理にかかる他の条件、例えばガスの流量や温度等を制御することも可能である。

【0059】

また搬送計画の構築に際しては、該搬送計画が構築されるウェハＷ_１，Ｗ_２を今回ウェハとして、該ウェハＷ_１、Ｗ_２よりも前に同レシピが施された先行ウェハ搬送時のレシピ実績時間、及び該先行ウェハに割り当てられたバリアブルデータＶを取得する。先行ウェハの実績時間、及びバリアブルデータＶは、例えばレシピ管理タスクが、各種レシピの前回実行時における実績時間（処理実測時間）、及びバリアブルデータＶが対となって記録されたレシピデータベースＤＢを参照することで取得される。

【0060】

ウェハＷ_１、Ｗ_２（今回ウェハ）のバリアブルデータＶ、先行ウェハの実績時間及びバリアブルデータＶが取得されると、次に、シーケンスＳ１で取得された各種データに基づいて、ウェハＷ_１、Ｗ_２にレシピを実行した場合に要するレシピ処理時間を予測する（図２のシーケンスＳ２）。

【0061】

具体的には、先行ウェハと今回ウェハとでバリアブルデータＶが異なる場合、先行ウェハと今回ウェハのレシピ処理時間はバリアブルデータＶの差分で変動する。すなわち、例えば先行ウェハのバリアブルデータＶが例えば１０秒、今回ウェハのバリアブルデータＶが例えば２０秒であった場合、今回ウェハに対するレシピ処理時間は、先行ウェハのレシピ処理時間と比較して１０秒長くなると予測される。そこで本実施形態にかかるウェハ搬送のタイミング制御においては、下記（１）式により、今回ウェハのレシピ処理時間を予測する。

【0062】

今回ウェハのレシピ処理時間［秒］＝先行ウェハの実績時間［秒］＋（今回ウェハのバリアブルデータＶ［秒］－先行ウェハのバリアブルデータＶ［秒］） ・・・（１）

【0063】

本実施形態においては、このように先行ウェハと今回ウェハとのバリアブルデータＶの差分を考慮して今回ウェハのレシピ処理時間を予測する。そして、このように予測されたレシピ処理時間に基づいて後述するように今回ウェハの搬送タイミングを制御、調整することで、連続して処理されるウェハＷ間でバリアブルデータＶが異なる場合であっても、真空処理装置１における処理のスループット低下を抑制することができる。

【0064】

ウェハＷ_１、Ｗ_２のレシピ処理時間が予測されると、搬送計画が構築された２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２の各種処理モジュールへの搬送が開始され（図２のシーケンスＳ４）、順次、ＣＯＲ処理及びＰＨＴ処理が実行される（図２のシーケンスＳ５）。また、この各種処理モジュールへのウェハ搬送に際しては、ウェハ搬送制御タスクからレシピ実行制御タスクにウェハＷ_１、Ｗ_２のレシピ、及び各種処理データに設定されたバリアブルデータＶが提供される。なお、ウェハＷ_１、Ｗ_２はロット中で最初に処理されるウェハであるため、図２のシーケンスＳ３に示す搬送タイミングの調整は行われない。

【0065】

２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２の搬送、及び各種モジュールにおけるレシピが開始されると、次に処理される２枚のウェハＷ_３、Ｗ_４の搬送計画が構築され（図２のシーケンスＳ１）、ウェハＷ_３、Ｗ_４のレシピ処理時間を予測する（図２のシーケンスＳ２）。

【0066】

ウェハＷ_３、Ｗ_４の搬送計画の構築方法、及びレシピ処理時間を予測はウェハＷ_１、Ｗ_２と同様である。すなわち、ウェハＷ_３、Ｗ_４に割り当てられたバリアブルデータＶ、レシピデータベースＤＢに記録された先行ウェハの実績時間、及びバリアブルデータＶを取得しした後、上記（１）式に基づいて今回ウェハとしてのウェハＷ_３、Ｗ_４のレシピ処理時間を予測する。

【0067】

ウェハＷ_３、Ｗ_４のレシピ処理時間が予測されると、構築された搬送計画、及び先行して処理される２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２の搬送状態（シーケンスＳ４）及び処理状態（シーケンスＳ５）に基づいて、２枚のウェハＷ_３、Ｗ_４の各種処理モジュールへの搬送タイミングが調整される（図２のシーケンスＳ３）。

【0068】

２枚のウェハＷ_１，Ｗ_２の搬送、処理状態（シーケンスＳ４、Ｓ５）と、２枚のウェハＷ_３、Ｗ_４の搬送タイミングの調整の関係について、具体的に説明する。図４は、真空処理装置１におけるウェハ搬送の様子を経時的に示す説明図である。

【0069】

シーケンスＳ３においてウェハＷ_１、Ｗ_２のレシピ処理時間が予測されると、図４（ａ）に示すように、搬送計画が構築された２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２がフープ３１から取り出されてロードロックモジュール２０ａを介して一のＣＯＲモジュール６１に搬入され、ｔ秒のＣＯＲ処理が実行される。なお、このＣＯＲ処理には図３のレシピデータベースＤＢにも示すように複数の処理ステップが含まれている。上述したＣＯＲ処理のｔ秒の処理時間とは、図３に示すようにこれら複数の処理ステップの合計時間としてのレシピ処理時間を示したものである。

【0070】

２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２に対するＣＯＲ処理が完了すると、図４（ｂ）に示すように、２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２はＰＨＴモジュール６２に搬送される。本実施形態においては、ＰＨＴ処理がＣＯＲ処理よりも長く、ＰＨＴモジュール６２において処理が律速するため、ＣＯＲ処理が完了した２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２は、次に処理される２枚のウェハＷ_３、Ｗ_４を待たずにＰＨＴモジュール６２に搬入される。

【0071】

２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２がＰＨＴモジュール６２に搬入されると、Ｔ秒のＰＨＴ処理が開始される。このＰＨＴ処理のＴ秒の処理時間とは、図３に示すように複数の処理ステップの合計時間としてのレシピ処理時間を示したものである。

【0072】

ウェハＷ_１、Ｗ_２に対するＰＨＴ処理が開始されると、次にウェハＷ_３、Ｗ_４がロードロックモジュール１０ａ、ＣＯＲモジュール６１を介してＰＨＴモジュール６２の前まで搬送される。ここで、ウェハＷ_３、Ｗ_４のＰＨＴモジュール６２の前への到着のタイミングは、上述したように好ましくは先行ウェハ（ウェハＷ_１、Ｗ_２）のＰＨＴ処理の完了前後５秒以内、より好ましくは先行ウェハのレシピの完了と略同時であることが望ましい。そこで本実施形態におけるウェハ搬送のタイミング制御においては、下記（２）式に基づいて今回ウェハ（ウェハＷ_３、Ｗ_４）のフープ３１からの搬送開始タイミングを制御する。

【0073】

Ｘ＝先行ウェハに実行中のレシピの残時間－今回ウェハの対象の処理モジュールの前までの搬送に要する時間 ・・・（２）

【0074】

式（２）中、「先行ウェハに実行中のレシピの残時間」は、例えばＰＨＴモジュール６２における２枚のウェハＷ_１、Ｗ_２に対するＰＨＴ処理の残時間を示している。また、「今回ウェハの対象の処理モジュールの前までの搬送に要する時間」は、例えばロードロックモジュール１０ａ、ＣＯＲモジュール６１を介してウェハＷ_３、Ｗ_４をフープ３１からＰＨＴモジュール６２の前まで搬送するのに要する時間を示している。

【0075】

そして本実施形態においては、式（２）の算出結果が０以上（Ｘ≧０）である場合、すなわちウェハＷ_１、Ｗ_２に対するＰＨＴ処理の残時間がウェハＷ_３、Ｗ_４の搬送に要する時間よりも大きい場合にはウェハＷ_３、Ｗ_４の搬送を開始しない。換言すれば、ＰＨＴモジュール６２の前でウェハＷ_３、Ｗ_４の待機時間が発生するおそれがある場合にはウェハＷ_３、Ｗ_４の搬送を開始せず、ＰＨＴモジュール６２の前でのウェハＷ_３、Ｗ_４の待機時間が生じなくなるタイミングまでフープ３１の内部で待機する。一方、式（２）の算出結果がそれ以外（Ｘ＜０）である場合、すなわちウェハＷ_３、Ｗ_４の搬送に要する時間がウェハＷ_１、Ｗ_２に対するＰＨＴ処理の残時間よりも大きい場合にはウェハＷ_３、Ｗ_４の搬送をただちに開始する。換言すれば、ＰＨＴモジュール６２の前でウェハＷ_３、Ｗ_４の待機時間が発生せず、また、ＰＨＴモジュール６２の内部でウェハＷ_１、Ｗ_２の待機時間が発生する場合にはウェハＷ_３、Ｗ_４の搬送を開始する。

【0076】

本実施形態においては、このように先行ウェハに対するレシピの残時間と、今回ウェハの搬送に要する時間とに基づいて今回ウェハの搬送開始タイミングを制御することにより、適切に真空処理装置１におけるスループットの低下を抑制できる。また、この搬送タイミングの調整に用いられるレシピの残時間は、図２のシーケンスＳ２で算出された先行ウェハのレシピ処理時間の予測結果に基づいて算出される。すなわち、ウェハＷの割り当てられたバリアブルデータＶを考慮して算出されたレシピ処理時間の予測結果に基づいて搬送開始タイミングが制御されるため、連続して処理されるウェハＷ間でバリアブルデータＶが異なる場合であっても、真空処理装置１における処理のスループット低下を適切に抑制することができる。

【0077】

２枚のウェハＷ_３、Ｗ_４の搬送タイミングが調整（図２のシーケンスＳ３）されると、２枚のウェハＷ_３、Ｗ_４の各種処理モジュールへの搬送、及び処理が開始され（図２のシーケンスＳ４、Ｓ５）、図４（ｃ）に示すようにＰＨＴモジュール６２の前まで搬送される。

【0078】

そして、ウェハＷ_１、Ｗ_２に対するＰＨＴ処理が完了すると、図４（ｄ）に示すように、ＰＨＴモジュール６２に対するウェハＷ_１，Ｗ_２の搬出と、ウェハＷ_３、Ｗ_４の搬入が順次行われる。

【0079】

その後、ＰＨＴモジュール６２から搬出されたウェハＷ_１、Ｗ_２は、図４（ｅ）に示すようにロードロックモジュール２０ｂを介してＣＳＴモジュール３３に搬送される。そしてその後、さらにウェハ搬送機構４０によりフープ３１に受け渡されることで、ウェハＷ_１、Ｗ_２に対する一連のウェハ処理が終了する。

【0080】

ウェハＷ_１、Ｗ_２に対するウェハ処理が完了すると、該ウェハＷ_１、Ｗ_２の各種処理に実際に要した時間（ウェハＷ_１、Ｗ_２のレシピ実績時間）、及び該ウェハＷ_１、Ｗ_２に割り当てられたバリアブルデータＶが、図２に示したレシピデータベースＤＢに保存される（図２のシーケンスＳ６）。より具体的には、ウェハＷ_１、Ｗ_２のレシピ実績時間、及びバリアブルデータＶにより、対象のレシピにかかるレシピデータベースＤＢのデータを上書き更新する。上書き更新されたレシピデータベースＤＢの実績時間、及びバリアブルデータＶは、次回、同様のレシピによりウェハＷの処理が行われる際に参照される。

【0081】

一方、２枚のウェハＷ_３、Ｗ_４の搬送、及び各種モジュールにおけるレシピが開始（図２のシーケンスＳ４、Ｓ５）されると、図４（ｅ）に示したように、更に次に処理される２枚のウェハＷ_５、Ｗ_６の搬送計画が構築され（図２のシーケンスＳ１）、ウェハＷ_５、Ｗ_６のレシピ処理時間を予測する（図２のシーケンスＳ２）。また更に、構築された搬送計画、及び先行して処理される２枚のウェハＷ_３、Ｗ_４の搬送状態（シーケンスＳ４）及び処理状態（シーケンスＳ５）に基づいて、２枚のウェハＷ_５、Ｗ_６の各種処理モジュールへの搬送タイミングが調整され（図２のシーケンスＳ３）、その後、２枚のウェハＷ_５、Ｗ_６の搬送、及び各種モジュールにおけるレシピが開始（図２のシーケンスＳ４、Ｓ５）される。

【0082】

そして本実施形態においては、このように１ロット（２５枚）のウェハＷの全てに対して図２及び図４に示した上述の方法と同様の方法によりウェハ搬送、及び処理が行われ、その後、フープ３１に全てのウェハＷ_１～Ｗ_２５が受け渡されると、真空処理装置１における一連のウェハ処理が終了する。なお、全てのウェハＷ_１～Ｗ_２５に対して同様のレシピで処理が行われた場合には、該一連のウェハ処理の終了後、レシピデータベースＤＢには最後に処理されたウェハＷ_２５の実績時間、及びバリアブルデータＶが記録された状態となる。

【0083】

本実施形態にかかるウェハ搬送のタイミング制御は、以上のようにして行われる。なお、以上の実施形態においては説明の明確化の為、複数のウェハＷを一のＣＯＲモジュール６１、及び一のＰＨＴモジュール６２のみを用いて処理を行う場合を例に説明を行った。しかしながら、当然に複数のＣＯＲモジュール６１、及びＰＨＴモジュール６２によりウェハＷを並行処理することで、真空処理装置１におけるスループットを向上することができる。

【0084】

以上、本実施形態にかかるウェハ搬送のタイミング制御方法によれば、任意に入力される調整値（変数）であるバリアブルデータＶの変動を考慮して、上記（１）式により真空処理装置１において処理されるウェハＷのレシピ処理時間を算出する。これにより、先行ウェハと今回ウェハとでバリアブルデータＶが異なる場合であっても、適切に該バリアブルデータＶの差分を考慮してウェハＷに施される処理ステップ毎の処理時間や、複数の処理ステップの合計時間としてのレシピ処理時間を算出することができる。換言すれば、バリアブルデータＶの差分を考慮して今回ウェハに対するレシピの完了タイミングを算出することができ、これにより適切にウェハＷの搬送タイミングを決定することができる。

【0085】

そして、このようにウェハＷの搬送タイミングを適切に決定することができるため、搬送アーム上における今回ウェハの待機時間、及び、処理モジュールの内部における先行ウェハの待機時間を低減することができる。これにより、特に複数の処理モジュールを並行して用いる場合において、搬送アームがウェハを保持した状態で待機状態となることで、該搬送アームにより他のウェハを搬送できなくなる時間が低減され、真空処理装置１におけるスループットの低下が抑制される。また、処理モジュールの内部で先行ウェハの待機時間が生じることによる、スループットの低下、及び先行ウェハへの過分な処理の進行が抑制される。

【0086】

また、このようにウェハＷの搬送タイミングを適切に決定することができるため、一の処理モジュールに対する先行ウェハの搬出と、今回ウェハの搬入を同時に行うことができる。これにより、一の処理モジュールの前へのウェハ搬送機構の移動回数を低減でき、その結果、真空処理装置１におけるスループットの低下が更に適切に抑制される。

【0087】

また、以上の実施形態によれば、ウェハ搬送のタイミング制御に用いられる先行ウェハの実績時間、及びバリアブルデータＶが記録されるレシピデータベースＤＢには、今回ウェハのレシピ実績時間、及びバリアブルデータＶが上書きにより記録される。ウェハＷに対するレシピ処理時間は、例えば処理モジュールの装置特性の変化等により変化する場合があるが、このようにレシピデータベースＤＢを上書きにより更新することにより、常に最新の先行ウェハのデータを参照してレシピ処理時間を算出することができる。すなわち、装置特性等の変化を経時的に更新してレシピ処理時間を算出できる。

【0088】

なお、以上の実施形態においてはウェハＷの搬送計画は、フープ３１から搬出前のウェハＷに対して順次構築されたが、ウェハＷの搬送計画を構築するタイミングはこれに限定されるものではない。すなわち、上記実施形態においては一連のウェハ処理の全体にわたる搬送計画を構築した後にウェハＷの搬送（フープ３１からの搬出）を開始したが、ウェハＷの搬送計画は、各種処理モジュールに対するウェハＷの搬送前にそれぞれ構築されてもよい。具体的には、例えばフープ３１の内部で待機するウェハＷに対してＣＯＲモジュール６１に対する搬送計画を構築し、その後、ＣＯＲ処理が行われているウェハＷに対しは、改めてＰＨＴモジュール６２に対する搬送計画が更に構築されるようにしてもよい。

【0089】

なお、以上の実施形態においては、ＣＯＲモジュール６１におけるＣＯＲ処理が、ＰＨＴモジュール６２におけるＰＨＴ処理よりも短い（ＰＨＴ処理で律速する）場合を例に説明を行った。しかしながら、当然に、ＣＯＲ処理がＰＨＴ処理よりも長い（ＣＯＲ処理で律速する）場合や、ＣＯＲ処理とＰＨＴ処理の処理時間が同じである場合であっても、本開示の技術にかかるウェハ搬送のタイミング制御を行うことができる。

【0090】

なお、図３のレシピデータベースＤＢにも示したように、ＣＯＲモジュール６１におけるＣＯＲ処理やＰＨＴモジュール６２におけるＰＨＴ処理には、複数の処理ステップが含まれている。該処理ステップには、予め定められた設定時間で処理を行う「時間ステップ」と、予め定められた処理結果（例えば温度や圧力等）に到達するまで処理を行う「安定ステップ」とが含まれている。

【0091】

かかる安定ステップにおいては、上述したように先行ウェハと今回ウェハとでバリアブルデータＶが異なる場合であっても、予め定められた処理結果が得られるまでの時間を実績時間として使用するため、バリアブルデータＶの変動に起因するスループットの低下が生じるおそれは少ない。一方、時間ステップにおいては、上述したように先行ウェハと今回ウェハとでバリアブルデータＶが異なる場合には、実際のレシピ処理時間を実績時間として使用するため、バリアブルデータＶの変動に起因するスループットの低下が生じるおそれは大きい。

【0092】

そこで、本実施形態にかかるウェハ搬送のタイミング制御においては、ウェハＷに施されるレシピに含まれる複数の処理ステップのうち、「時間ステップ」にかかる処理ステップにのみ、上述のタイミング制御が行われてもよい。このようにタイミング制御を行う対象の処理ステップの数を減らすことにより、真空処理装置１における処理の制御を簡易化することができる。ただし、当然に「安定ステップ」にかかる処理ステップに対しても上述のタイミング制御を行ってもよい。

【0093】

なお、以上の実施形態においては、減圧環境下でウェハＷに対して処理を行う真空処理装置１におけるウェハ搬送のタイミング制御を行う場合を例に説明を行ったが、複数の処理モジュールに対してウェハＷを連続的に搬送して処理を行うものであれば、本開示にかかる技術が適用されるウェハ処理装置の構成は限定されるものではない。すなわち、例えば大気圧化で複数の処理を連続的に行う大気処理装置において、本開示の技術にかかるウェハ搬送のタイミング制御が行われてもよい。

【0094】

また、以上の実施形態においては２枚のウェハＷが同時に搬送、処理される２枚葉処理が行われる場合を例に説明を行ったが、例えばウェハＷが枚葉処理、又は３枚要以上で処理される場合であっても本開示の技術にかかるウェハ搬送のタイミング制御を適用できる。

【0095】

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。

【符号の説明】

【0096】

１ 真空処理装置
Ｖ バリアブルデータ
Ｗ ウェハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】