特許7547624深紫外線光源のための光学コンポーネント

発明の名称　深紫外線光源のための光学コンポーネント

出願人　サイマー　リミテッド　ライアビリティ　カンパニー　（識別番号 513192029）

　　　　特許公開件数ランキング 2052 位（3件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1425 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7547624

公報発行日　2024年9月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7547624

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