特許 7549060 反転装置、撮影装置、反転方法及び撮影方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-02

(45)【発行日】2024-09-10

(54)【発明の名称】反転装置、撮影装置、反転方法及び撮影方法

(51)【国際特許分類】

   C01B 33/02 20060101AFI20240903BHJP

   B65G 47/248 20060101ALI20240903BHJP

   C30B 15/00 20060101ALI20240903BHJP

   C30B 29/06 20060101ALI20240903BHJP

   G01N 21/84 20060101ALI20240903BHJP

【ＦＩ】

C01B33/02 E

B65G47/248 G

C30B15/00 Z

C30B29/06 D

G01N21/84 C

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2023016440

(22)【出願日】2023-02-06

(65)【公開番号】P2024111751

(43)【公開日】2024-08-19

【審査請求日】2024-07-12

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000003182

【氏名又は名称】株式会社トクヤマ

(74)【代理人】

【識別番号】110000338

【氏名又は名称】弁理士法人 ＨＡＲＡＫＥＮＺＯ ＷＯＲＬＤ ＰＡＴＥＮＴ ＆ ＴＲＡＤＥＭＡＲＫ

(72)【発明者】

【氏名】植杉 真也

(72)【発明者】

【氏名】神崎 正大

(72)【発明者】

【氏名】西川 正芳

【審査官】玉井 一輝

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ０１Ｂ ３３／０２

Ｂ６５Ｇ ４７／２４８

Ｃ３０Ｂ １５／００

Ｃ３０Ｂ ２９／０６

Ｇ０１Ｎ ２１／８４

Ｂ６５Ｇ ４７／２４４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

弾性変形する第１弾性変形部を有する第１挟持部と、
弾性変形する第２弾性変形部を有する第２挟持部と、
前記第１弾性変形部と、前記第２弾性変形部との間でポリシリコンの破砕物が挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンの破砕物の撮影のために前記ポリシリコンの破砕物を反転させる反転機構と、を備えることを特徴とする反転装置。

【請求項2】

前記第１弾性変形部は、
前記挟持状態で前記ポリシリコンの破砕物と接触し弾性変形する第１弾性シートと、
前記第１弾性シートよりも軟質であるとともに、前記挟持状態で前記第１弾性シートに対して前記ポリシリコンの破砕物とは反対側から接触し弾性変形する第１緩衝材と、を有し、
前記第２弾性変形部は、
前記挟持状態で前記ポリシリコンの破砕物と接触し弾性変形する第２弾性シートと、
前記第２弾性シートよりも軟質であるとともに、前記挟持状態で前記第２弾性シートに対して前記ポリシリコンの破砕物とは反対側から接触し弾性変形する第２緩衝材と、を有することを特徴とする請求項１に記載の反転装置。

【請求項3】

前記第１弾性シート及び前記第２弾性シートの硬度は、ショアＡ３０以上かつショアＡ９０以下であることを特徴とする請求項２に記載の反転装置。

【請求項4】

前記第１弾性シート及び前記第２弾性シートの厚みは、０．５ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項２または３に記載の反転装置。

【請求項5】

前記第１緩衝材及び前記第２緩衝材の４０％圧縮硬さは、２０Ｎ以上かつ８０Ｎ以下であることを特徴とする請求項２または３に記載の反転装置。

【請求項6】

前記第１緩衝材及び前記第２緩衝材の反発弾性率は、１％以上かつ６％以下であることを特徴とする請求項２または３に記載の反転装置。

【請求項7】

弾性変形する第１弾性変形部を有する第１挟持部と、
弾性変形する第２弾性変形部を有する第２挟持部と、
前記第１弾性変形部と、前記第２弾性変形部との間でポリシリコンの破砕物が挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンの破砕物を反転させる反転機構と、
前記反転機構によって反転させられた前記ポリシリコンの破砕物を撮影可能な撮影部と、を備えることを特徴とする撮影装置。

【請求項8】

前記撮影部が設けられる半球状の天井部を有するドーム部と、
（ｉ）前記ドーム部の前記天井部における内面に光を照射することにより、当該内面で光を反射させて前記ドーム部の下方に向かって光を照射させる照射部、及び（ｉｉ）前記ドーム部の下方に向かって光を照射する照射部、の少なくとも一方の照射部と、を備え、
前記撮影部は、
前記反転機構によって反転させられた位置から撮影位置に搬送された前記ポリシリコンの破砕物を撮影することを特徴とする請求項７に記載の撮影装置。

【請求項9】

複数の方向から前記ポリシリコンの破砕物を撮影可能なように、前記撮影部は複数設けられることを特徴とする請求項７または８に記載の撮影装置。

【請求項10】

第１挟持部が有するものであり、弾性変形する第１弾性変形部と、第２挟持部が有するものであり、弾性変形する第２弾性変形部との間でポリシリコンの破砕物を挟持する挟持工程と、
前記挟持工程で前記ポリシリコンの破砕物が挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンの破砕物の撮影のために前記ポリシリコンの破砕物を反転させる反転工程と、を含むことを特徴とする反転方法。

【請求項11】

第１挟持部が有するものであり、弾性変形する第１弾性変形部と、第２挟持部が有するものであり、弾性変形する第２弾性変形部との間でポリシリコンの破砕物を挟持する挟持工程と、
前記挟持工程で前記ポリシリコンの破砕物が挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンの破砕物を反転させる反転工程と、
前記反転工程で反転させられた前記ポリシリコンの破砕物を撮影する撮影工程と、を含むことを特徴とする撮影方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、反転装置、撮影装置、反転方法及び撮影方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、多結晶シリコンを分類するための方法であって、シリコンロッドまたはシリコンチャンクを撮影して画像を生成し、生成した画像に基づいてシリコンロッドまたはシリコンチャンクを分類する方法が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特表２０２２－５３７０１４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に開示の多結晶シリコンを分類するための方法では、所定の配置面に配置されるシリコンロッドまたはシリコンチャンクを撮影する場合、シリコンロッドまたはシリコンチャンクにおける配置面側の部分を撮影することができないという問題がある。本発明の一態様は、ポリシリコンの撮影のために形状及びサイズの少なくとも一方が異なるポリシリコンを反転させることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る反転装置は、弾性変形する第１弾性変形部を有する第１挟持部と、弾性変形する第２弾性変形部を有する第２挟持部と、前記第１弾性変形部と、前記第２弾性変形部との間でポリシリコンが挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンの撮影のために前記ポリシリコンを反転させる反転機構と、を備える。

【0006】

本発明の一態様に係る撮影装置は、弾性変形する第１弾性変形部を有する第１挟持部と、弾性変形する第２弾性変形部を有する第２挟持部と、前記第１弾性変形部と、前記第２弾性変形部との間でポリシリコンが挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンを反転させる反転機構と、前記反転機構によって反転させられた前記ポリシリコンを撮影可能な撮影部と、を備える。

【0007】

本発明の一態様に係る反転方法は、第１挟持部が有するものであり、弾性変形する第１弾性変形部と、第２挟持部が有するものであり、弾性変形する第２弾性変形部との間でポリシリコンを挟持する挟持工程と、前記挟持工程で前記ポリシリコンが挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンの撮影のために前記ポリシリコンを反転させる反転工程と、を含む。

【0008】

本発明の一態様に係る撮影方法は、第１挟持部が有するものであり、弾性変形する第１弾性変形部と、第２挟持部が有するものであり、弾性変形する第２弾性変形部との間でポリシリコンを挟持する挟持工程と、前記挟持工程で前記ポリシリコンが挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンを反転させる反転工程と、前記反転工程で反転させられた前記ポリシリコンを撮影する撮影工程と、を含む。

【発明の効果】

【0009】

本発明の一態様によれば、ポリシリコンの撮影のために形状及びサイズの少なくとも一方が異なるポリシリコンを反転させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の実施形態１に係る撮影装置の構成を示す模式図である。

【図2】図１に示す撮影装置が備える反転装置の動作を説明するための図である。

【図3】図１に示す撮影装置が備える反転装置の動作を説明するための図である。

【図4】図１に示す撮影装置が備えるドーム部、撮影部及び照射部の構成を示す図である。

【図5】本発明の実施形態２に係る撮影装置が備えるドーム部、撮影部及び照射部の構成を示す図である。

【図6】本発明の実施形態３に係る撮影装置の構成を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

〔実施形態１〕
図１は、本発明の実施形態１に係る撮影装置１の構成を示す模式図である。図１において、搬送機構２の延伸方向をＸ軸方向、搬送機構２からドーム部４に向かう方向をＺ軸方向、Ｘ軸方向及びＺ軸方向の両方の方向に直交する方向をＹ軸方向とする。Ｘ軸方向及びＺ軸方向は互いに直交する方向である。ここで説明したＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の定義については、他の図においても適用されるものとする。

【0012】

＜撮影装置１の構成＞
図１に示すように、撮影装置１は、搬送機構２と、反転装置３と、ドーム部４，７と、撮影部５，８と、照射部６，９と、制御部１０と、を備える。撮影装置１は、ポリシリコンＳを撮影することにより、ポリシリコンＳの表面状態、形状及びサイズを判別するための装置である。ポリシリコンＳは、反転装置３の第１挟持部３１または第２挟持部３２の上に配置される。第１挟持部３１または第２挟持部３２の上には、複数のポリシリコンＳが配置されてもよい。第１挟持部３１または第２挟持部３２の上に配置されるポリシリコンＳの数は、例えば１つまたは２つである。

【0013】

本発明の一態様に係る撮影装置に供されるポリシリコンＳは、公知の方法より製造されたシリコンロッドまたはシリコンチャンクを破砕したポリシリコンの破砕物である。ポリシリコンＳの形状としては、扁平状または拳状といった多くの形態が含まれうる。また、ポリシリコンＳの大きさとしては、用途に応じて適宜の大きさが選択されるが、通常、長径が１０ｍｍ以上かつ１５０ｍｍ以下の範囲で選択される。

【0014】

さらに、エッチング処理を用いて表面浄化することにより、ポリシリコンの破砕物として、高純度のポリシリコンの破砕物を得ることができる。本発明の一態様に係る撮影装置に供されるポリシリコンＳとしては、表面浄化後のポリシリコンの破砕物、及び、表面浄化する前のポリシリコンの破砕物のいずれも用いることができる。

【0015】

搬送機構２は、第１挟持部３１または第２挟持部３２をＸ軸正方向に搬送することにより、ポリシリコンＳをＸ軸正方向に搬送する。搬送機構２におけるＺ軸正方向側には、反転装置３及びドーム部４，７が配置されている。また、Ｘ軸正方向に向かって、ドーム部４、反転装置３の反転機構３３Ａ，３３Ｂ及びドーム部７の順に配置されている。

【0016】

＜反転装置３の構成＞
図２及び図３は、図１に示す撮影装置１が備える反転装置３の動作を説明するための図である。図２の符号１０１は、図１においてポリシリコンＳが配置された第２挟持部３２が、ドーム部４の位置から、搬送機構２上において反転機構３３Ａ，３３Ｂが配置される位置まで搬送機構２によって搬送された場合を示す図である。図２の符号１０２は、図２の符号１０１に示す状態から、ポリシリコンＳが第１挟持部３１及び第２挟持部３２によって挟持された挟持状態に遷移した場合を示す図である。

【0017】

図２の符号１０３は、図２の符号１０２に示す状態から、ポリシリコンＳが反転機構３３Ａ，３３Ｂによって反転した状態に遷移した場合を示す図である。図３の符号１０４は、図２の符号１０３に示す状態から、反転機構３３Ａ，３３ＢがＺ軸負方向に移動した場合を示す図である。図３の符号１０５は、図３の符号１０４に示す状態から、ポリシリコンＳの挟持状態が解除された状態に遷移した場合を示す図である。

【0018】

図２の符号１０１に示すように、反転装置３は、第１挟持部３１、第２挟持部３２及び反転機構３３Ａ，３３Ｂを備える。第１挟持部３１は第１弾性変形部３１１及び支持部材３１２を有し、第２挟持部３２は第２弾性変形部３２１及び支持部材３２２を有する。

【0019】

第１弾性変形部３１１は、弾性変形するものであり、第１弾性シート３１３及び第１緩衝材３１４を有するものである。支持部材３１２は第１弾性変形部３１１を支持する部材であり、例えばポリ塩化ビニル樹脂（ＰＶＣ）である。支持部材３１２には凹部３１５が形成されている。凹部３１５には第１緩衝材３１４が設けられており、凹部３１５は第１緩衝材３１４によって閉塞されている。

【0020】

第１弾性シート３１３は、第１緩衝材３１４を覆うように支持部材３１２に、例えば接着固定されている。なお、第１弾性シート３１３は第１緩衝材３１４には接着固定されていない。これは、第１弾性シート３１３の交換頻度が第１緩衝材３１４の交換頻度と異なるためであり、また第１弾性シート３１３の反発弾性率が第１緩衝材３１４の反発弾性率よりも大きいためである。なお、第１弾性シート３１３の支持部材３１２に対する固定方法は、接着固定に限られず、例えば押さえ板等による固定方法であってもよい。また、第１緩衝材３１４は凹部３１５の底面に、例えば接着固定されている。

【0021】

第２弾性変形部３２１は、弾性変形するものであり、第２弾性シート３２３及び第２緩衝材３２４を有するものである。支持部材３２２は第２弾性変形部３２１を支持する部材であり、例えばポリ塩化ビニル樹脂である。支持部材３２２には凹部３２５が形成されている。凹部３２５には第２緩衝材３２４が設けられており、凹部３２５は第２緩衝材３２４によって閉塞されている。

【0022】

第２弾性シート３２３は、第２緩衝材３２４を覆うように支持部材３２２に、例えば接着固定されている。なお、第２弾性シート３２３は第２緩衝材３２４には接着固定されていない。これは、第２弾性シート３２３の交換頻度が第２緩衝材３２４の交換頻度と異なるためであり、また第２弾性シート３２３の反発弾性率が第２緩衝材３２４の反発弾性率よりも大きいためである。なお、第２弾性シート３２３の支持部材３２２に対する固定方法は、接着固定に限られず、例えば押さえ板等による固定方法であってもよい。また、第２緩衝材３２４は凹部３２５の底面に、例えば接着固定されている。

【0023】

反転機構３３Ａ，３３Ｂは、第１弾性変形部３１１と、第２弾性変形部３２１との間でポリシリコンＳが挟持された挟持状態で、撮影部８によるポリシリコンＳの撮影のためにポリシリコンＳを反転させるものである。

【0024】

反転機構３３Ａは、第１保持部３３１、第２保持部３３２、回転部３３３及び移動部材３３７，３３８を有する。第１保持部３３１は、支持部材３１２の側壁に設けられており、回転部３３３に接続された移動部材３３７の先端部が挿入されたときに、移動部材３３７を保持する部材である。第２保持部３３２は、支持部材３２２の側壁に設けられており、回転部３３３に接続された移動部材３３８の先端部が挿入されたときに、移動部材３３８を保持する部材である。

【0025】

回転部３３３は、移動部材３３７，３３８と接続されており、Ｙ軸周りに１８０°回転することにより、移動部材３３７の位置と移動部材３３８の位置とを反転させるものである。回転部３３３は、不図示のバネ機構及び駆動部材を有する。バネ機構及び駆動部材は、移動部材３３７，３３８にそれぞれ接続されている。これにより、移動部材３３７，３３８は、それぞれＹ軸正方向またはＹ軸負方向に移動可能となる。移動部材３３７，３３８の移動は、それぞれ独立して制御される。駆動部材としては、例えばエアシリンダーが用いられる。

【0026】

移動部材３３７は、Ｙ軸に沿って移動可能なものであり、第１保持部３３１に保持されることにより、支持部材３１２を反転機構３３Ａに保持（固定）させるものである。移動部材３３８は、Ｙ軸に沿って移動可能なものであり、第２保持部３３２に保持されることにより、支持部材３２２を反転機構３３Ａに保持（固定）させるものである。

【0027】

移動部材３３７，３３８の先端部には爪部が設けられている。爪部がそれぞれ、第１保持部３３１に形成された凹部または第２保持部３３２に形成された凹部に掛止されることにより、移動部材３３７，３３８は、それぞれ第１保持部３３１または第２保持部３３２に保持される。

【0028】

反転機構３３Ｂは、第１保持部３３４、第２保持部３３５、回転部３３６及び移動部材３３９，３４０を有する。第１保持部３３４は、支持部材３１２の側壁に設けられており、回転部３３６に接続された移動部材３３９の先端部が挿入されたときに、移動部材３３９を保持する部材である。第２保持部３３５は、支持部材３２２の側壁に設けられており、回転部３３６に接続された移動部材３４０の先端部が挿入されたときに、移動部材３４０を保持する部材である。

【0029】

回転部３３６は、移動部材３３９，３４０と接続されており、Ｙ軸周りに１８０°回転することにより、移動部材３３９の位置と移動部材３４０の位置とを反転させるものである。回転部３３６は、不図示のバネ機構及び駆動部材を有する。バネ機構及び駆動部材は、移動部材３３９，３４０にそれぞれ接続されている。これにより、移動部材３３９，３４０は、それぞれＹ軸正方向またはＹ軸負方向に移動可能となる。移動部材３３９，３４０の移動は、それぞれ独立して制御される。駆動部材としては、例えばエアシリンダーが用いられる。

【0030】

移動部材３３９は、Ｙ軸に沿って移動可能なものであり、第１保持部３３４に保持されることにより、支持部材３１２を反転機構３３Ｂに保持（固定）させるものである。移動部材３４０は、Ｙ軸に沿って移動可能なものであり、第２保持部３３５に保持されることにより、支持部材３２２を反転機構３３Ｂに保持（固定）させるものである。

【0031】

移動部材３３９，３４０の先端部には爪部が設けられている。爪部がそれぞれ、第１保持部３３４に形成された凹部または第２保持部３３５に形成された凹部に掛止されることにより、移動部材３３９，３４０は、それぞれ第１保持部３３４または第２保持部３３５に保持される。

【0032】

図２の符号１０１に示すように、第２挟持部３２が反転機構３３Ａ，３３Ｂが配置される位置まで搬送された場合、第１挟持部３１及び第２挟持部３２は互いに対向する。つまり、第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３が互いに対向する。また、第１保持部３３１，３３４がそれぞれ移動部材３３７，３３９を保持することにより、支持部材３１２は、反転機構３３Ａ，３３Ｂに保持されている。ポリシリコンＳは、第２弾性シート３２３の上に配置されている。

【0033】

図２の符号１０２に示すように、支持部材３１２が反転機構３３Ａ，３３Ｂによって保持されている状態で、回転部３３３，３３６はＺ軸負方向に移動する。これにより、ポリシリコンＳは、第１弾性変形部３１１と、第２弾性変形部３２１との間で挟持された挟持状態となる。つまり、反転装置３は、第１弾性変形部３１１と第２弾性変形部３２１との間でポリシリコンＳを挟持する（挟持工程）。

【0034】

このとき、第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３は、上記挟持状態でポリシリコンＳと接触し弾性変形する。また、第１緩衝材３１４は、上記挟持状態で第１弾性シート３１３に対してポリシリコンＳとは反対側から接触し弾性変形する。第２緩衝材３２４は、上記挟持状態で第２弾性シート３２３に対してポリシリコンＳとは反対側から接触し弾性変形する。

【0035】

また、移動部材３３８にはバネ機構が接続されている。そのため、回転部３３３，３３６がＺ軸負方向に移動することにより、移動部材３３８，３４０は、それぞれ第２保持部３３２，３３５の表面に沿ってＹ軸方向に移動し、第２保持部３３２，３３５に挿入される。このとき、バネ機構の弾性力により、移動部材３３８は、第２保持部３３２の凹部においてＹ軸正方向に押さえつけられる。また、バネ機構の弾性力により、移動部材３４０は、第２保持部３３５の凹部においてＹ軸負方向に押さえつけられる。これにより、支持部材３２２は、反転機構３３Ａ，３３Ｂに保持される。

【0036】

図２の符号１０３に示すように、反転機構３３Ａ，３３Ｂは、それぞれ移動部材３３７，３３９によって支持部材３１２を保持するとともに、反転機構３３Ａ，３３Ｂは、それぞれ移動部材３３８，３４０によって支持部材３２２を保持している。この状態で、回転部３３３，３３６は所定位置までＺ軸正方向に移動する。そして、反転機構３３Ａ，３３Ｂはそれぞれ、回転部３３３，３３６をＹ軸周りに１８０°回転させる。

【0037】

これにより、反転機構３３Ａ，３３Ｂは、移動部材３３７の位置と移動部材３３８の位置とを反転させるとともに、移動部材３３９の位置と移動部材３４０の位置とを反転させる。つまり、反転機構３３Ａ，３３Ｂは、第１保持部３３１の位置と第２保持部３３２の位置とを反転させるとともに、第１保持部３３４の位置と第２保持部３３５の位置とを反転させる。よって、反転機構３３Ａ，３３Ｂは、第１挟持部３１の位置と第２挟持部３２の位置とを反転させ、ポリシリコンＳを反転させる（反転工程）。

【0038】

反転機構３３Ａ，３３ＢがポリシリコンＳを反転させた後、図３の符号１０４に示すように、回転部３３３，３３６はＺ軸負方向に移動する。これにより、第１挟持部３１は搬送機構２の上に配置された状態となる。第１挟持部３１が搬送機構２の上に配置された状態となった後、駆動部材は、移動部材３３７をＹ軸負方向に移動させて、移動部材３３７の先端部を第１保持部３３１の凹部から引き抜く。また、駆動部材は、移動部材３３９をＹ軸正方向に移動させて、移動部材３３９の先端部を第１保持部３３４の凹部から引き抜く。これにより、反転機構３３Ａ，３３Ｂは、支持部材３１２の保持を解除する。

【0039】

反転機構３３Ａ，３３Ｂが支持部材３１２の保持を解除した後、図３の符号１０５に示すように、支持部材３２２が反転機構３３Ａ，３３Ｂによって保持されている状態で、回転部３３３，３３６はＺ軸正方向に移動する。これにより、搬送機構２は第１挟持部３１をＸ軸正方向に搬送可能となるため、第１挟持部３１をＸ軸正方向に搬送する。

【0040】

上記構成によれば、第１弾性変形部３１１と、第２弾性変形部３２１との間でポリシリコンＳが挟持された挟持状態で、反転機構３３Ａ，３３ＢはポリシリコンＳを反転させる。これにより、挟持状態で第１弾性変形部３１１及び第２弾性変形部３２１がポリシリコンＳの形状に沿って変形するため、反転装置３は、形状及びサイズの少なくとも一方が異なるポリシリコンＳを反転させることができる。

【0041】

＜第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３について＞
第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３の材質は、例えばウレタンゴムであるが、これに限定されない。第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３の硬度は、ショアＡ３０以上かつショアＡ９０以下であることが好ましい。第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３の硬度は、ＪＩＳＫ６２５３に準拠したデュロメータータイプＡにより測定された結果である。

【0042】

上述のとおり、ポリシリコンＳの形状としては、扁平状または拳状といった多くの形態が含まれうるため、破砕物の一部が鋭利に尖った形状を有するものもある。ポリシリコンのモース硬度が６以上かつ８以下であるため、第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３とポリシリコンＳとの接触時に、第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３の表面が摩耗または破れを起こす虞がある。

【0043】

第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３の硬度がショアＡ３０以上であることにより、第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３とポリシリコンＳとの、接触時の衝撃を小さくできる。加えて、第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３の弾性を保持することができる。そのため、第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３の摩耗または破れを防止できる。

【0044】

また、第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３の硬度がショアＡ９０以下であることにより、第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３をポリシリコンＳの形状に沿わせ、反転時にも安定的にポリシリコンＳを保持できる形状に変形させることができる。このため、反転機構３３Ａ，３３ＢがポリシリコンＳを反転させるときにポリシリコンＳの保持を確実に行うことができる。

【0045】

第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３におけるＺ軸方向に沿った厚みは、０．５ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下であることが好ましい。第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３の厚みが０．５ｍｍ以上であることにより、第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３を長期に亘って継続使用することができる摩耗代を確保できる。このような効果は、例えば、国連が提唱する持続可能な開発目標（ＳＤＧｓ）の目標１２「持続可能な生産消費形態を確保する」等の達成にも貢献するものである。

【0046】

また、第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３の厚みが５ｍｍ以下であることにより、第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３をポリシリコンＳの形状に沿わせ、反転時にも安定的にポリシリコンＳを保持できる形状に変形させることができる。このため、反転機構３３Ａ，３３ＢがポリシリコンＳを反転させるときにポリシリコンＳの保持を確実に行うことができる。

【0047】

＜第１緩衝材３１４及び第２緩衝材３２４について＞
第１緩衝材３１４及び第２緩衝材３２４の材質は、例えばウレタンフォームであるが、これに限定されない。ポリシリコンＳには扁平状のものがあり、緩衝材の圧縮硬さによっては、扁平状のポリシリコンＳが、挟持状態で回転させた場合に第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３上を横滑りする虞がある。したがって、反転機構３３Ａ，３３Ｂの回転時に挟持状態を保持する必要性から、第１緩衝材３１４及び第２緩衝材３２４の４０％圧縮硬さは、２０Ｎ以上かつ８０Ｎ以下であることが好ましい。第１緩衝材３１４及び第２緩衝材３２４の４０％圧縮硬さは、ＪＩＳＫ６４００－２Ａ法に準拠して測定された結果である。

【0048】

第１緩衝材３１４及び第２緩衝材３２４の４０％圧縮硬さが２０Ｎ以上であることにより、第１挟持部３１及び第２挟持部３２により扁平状のポリシリコンＳが挟持される場合において、挟持した第１弾性シート３１３と第２弾性シート３２３との間でポリシリコンＳが横滑りしないことが十分に担保できる。

【0049】

また、第１緩衝材３１４及び第２緩衝材３２４の４０％圧縮硬さが８０Ｎ以下であることにより、ポリシリコンＳの形状に沿った第１弾性シート３１３・第２弾性シート３２３の変形を、第１緩衝材３１４及び第２緩衝材３２４によって適切に吸収できる。このため、反転機構３３Ａ，３３ＢがポリシリコンＳを反転させるときにポリシリコンＳの保持を確実に行うことができる。

【0050】

上述のとおり、ポリシリコンＳの大きさとしては、通常、長径が１０ｍｍ以上かつ１５０ｍｍ以下の範囲で選択される。サイズの大きいポリシリコンＳが第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３に接触した際の第１緩衝材３１４及び第２緩衝材３２４の反発弾性率が大きいと、ポリシリコンＳが第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３上を飛び跳ねる傾向がある。また、上記反発弾性率が小さすぎると、第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３の変形が大きくなる傾向にある。

【0051】

上記大きさのポリシリコンＳの比重は、通常、２．２ｇ/ｃｍ^３以上かつ２．５ｇ/ｃｍ^３以下である。これにより、長径が約１０ｍｍ以上かつ約１５０ｍｍ以下であるポリシリコンＳに適した、第１緩衝材３１４及び第２緩衝材３２４の反発弾性率は、１％以上かつ６％以下であることが好ましい。第１緩衝材３１４及び第２緩衝材３２４の反発弾性率は、ＪＩＳＫ６４００－３に準拠して測定された結果である。

【0052】

また、ポリシリコンＳと第１緩衝材３１４及び第２緩衝材３２４との接触は、第１弾性シート３１３または第２弾性シート３２３を介して行われるため、接触時の第１緩衝材３１４及び第２緩衝材３２４の摩耗が少なくなる。そのため、第１緩衝材３１４は第１弾性シート３１３よりも軟質であり、第２緩衝材３２４は第２弾性シート３２３よりも軟質である。

【0053】

第１弾性変形部３１１及び第２弾性変形部３２１によりポリシリコンＳが挟持されるとき、ポリシリコンＳの形状に沿った第１弾性シート３１３・第２弾性シート３２３の変形を、第１緩衝材３１４及び第２緩衝材３２４によって適切に吸収できる。第１緩衝材３１４及び第２緩衝材３２４の反発弾性率が１％以上であることにより、第１弾性変形部３１１及び第２弾性変形部３２１によるポリシリコンＳの挟持状態を解除したときに、第１緩衝材３１４及び第２緩衝材３２４の形状をポリシリコンＳが挟持状態になる前の形状に戻すことができる。

【0054】

また、第１緩衝材３１４及び第２緩衝材３２４の反発弾性率が６％以下であることにより、サイズの大きいポリシリコンＳが第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３に接触した際に、ポリシリコンＳが第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３上を飛び跳ねることを防止できる。

【0055】

ポリシリコンＳに直接接触するものについては、撮影時におけるポリシリコンＳの位置安定性や耐久性の観点から、ある程度の硬さが求められる。一方、ポリシリコンＳに直接接触するものを硬くしすぎると、ポリシリコンＳに直接接触するものについて形状追従性が損なわれ、反転時においてポリシリコンＳを安定して保持できなくなる可能性がある。そこで、上述のように、第１弾性変形部３１１及び第２弾性変形部３２１のいずれについても、弾性シート及び緩衝材を有する構成としている。これにより、上述の位置安定性及び耐久性と、形状追従性との両立を実現することができる。

【0056】

＜ドーム部７及び撮影部８の構成＞
図４は、図１に示す撮影装置１が備えるドーム部７、撮影部８及び照射部９の構成を示す図である。図４に示すように、ドーム部７は、撮影部８が設けられる半球状の天井部７１を有する。天井部７１は、Ｚ軸正方向に向かって凸状に形成される。天井部７１には、複数の方向からポリシリコンＳを撮影可能なように、撮影部８が複数設けられる。これにより、ポリシリコンＳが撮影された結果を、制御部１０によるポリシリコンＳの表面状態及び表面形状の正確な判定に利用することができる。

【0057】

複数の撮影部８は、天井部７１に形成される開口部に設けられており、反転機構３３Ａ，３３Ｂによって反転させられたポリシリコンＳを撮影可能である。図１に示すように、例えば、Ｚ軸負方向に向かってドーム部７を視認した場合、１つの撮影部８がドーム部７の頂部に設けられており、８つの撮影部８が当該１つの撮影部８の周囲に環状に並ぶように設けられていてもよい。８つの撮影部８は、当該８つの撮影部８の撮影方向がＺ軸方向に対して３０°傾斜する方向となるように設けられていることが好ましい。

【0058】

搬送機構２は、反転機構３３Ａ，３３Ｂによって反転させられた位置から第２撮影位置に、ポリシリコンＳが配置された第１挟持部３１を搬送する。反転機構３３Ａ，３３Ｂによって反転させられた位置は、搬送機構２上において反転機構３３Ａ，３３Ｂが配置される位置である。

【0059】

上記第２撮影位置は、ドーム部７の下方の位置であり、複数の撮影部８がポリシリコンＳを撮影可能な位置である。複数の撮影部８は、反転機構３３Ａ，３３Ｂによって反転させられた位置から上記第２撮影位置に搬送されたポリシリコンＳを撮影する（撮影工程）。

【0060】

ポリシリコンＳの撮影手段としては、ポリシリコンＳ全体の形状及び表面状態を認識できる撮影手段を採用できる。具体的には、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラによる静止画または動画の撮影等の撮影手段を採用できる。

【0061】

撮影部５，８によってポリシリコンＳを撮影した画像は、ポリシリコンＳの表面に存在する１ｍｍ以下の孔を識別可能な画質となるように調整される。具体的には、画像の幅が、ポリシリコンＳの最大サイズの１．２倍以上かつ５．０倍以下の幅となるように、画角及び被写体距離が調整される。また、ポリシリコンＳは、２００万画素以上の画素数で撮影される。

【0062】

複数の撮影部８によってポリシリコンＳが撮影された後、搬送機構２は、ポリシリコンＳが配置された第１挟持部３１を、ポリシリコンＳの分別が行われる場所に搬送する。このとき、搬送機構２は第１挟持部３１をＸ軸正方向に搬送する。ポリシリコンＳの分別が行われる場所では、後述するサーバ１１によってポリシリコンＳの分類が行われた結果に基づいて、ポリシリコンＳの分別が行われる。

【0063】

上記構成によれば、反転機構３３Ａ，３３ＢはポリシリコンＳの挟持状態でポリシリコンＳを反転させ、撮影部８は反転機構３３Ａ，３３Ｂによって反転させられたポリシリコンＳを撮影可能である。これにより、撮影装置１は形状及びサイズの少なくとも一方が異なるポリシリコンＳを撮影することができ、反転した後のポリシリコンＳを撮影することができる。

【0064】

＜照射部９の構成＞
複数の照射部９は、ドーム部７の天井部７１における内面７２の下方の位置に配置されており、内面７２によって囲まれる空間内の位置に配置されている光源である。複数の照射部９は、内面７２に光Ｌを照射することにより、内面７２で光Ｌを反射させてドーム部７の下方に向かって光Ｌを照射させる。内面７２は、光Ｌを反射可能な材料から構成される。図１に示すように、例えば、Ｚ軸負方向に向かってドーム部７を視認した場合、ドーム部７の外周の近傍に６つの照射部９が設けられていてもよい。

【0065】

上記構成によれば、第２撮影位置に、反転した後のポリシリコンＳを配置し、照射部９によって第２撮影位置に位置するポリシリコンＳにドーム部７の天井部７１における内面７２で反射した光Ｌを照射することができる。このため、撮影装置１は、反転した後のポリシリコンＳを鮮明に撮影することができる。

【0066】

＜ドーム部４、撮影部５及び照射部６の構成＞
図１に示すドーム部４、撮影部５及び照射部６の構成はそれぞれ、ドーム部７、撮影部８及び照射部９の構成と同様である。複数の撮影部５は、搬送機構２によって搬送されたポリシリコンＳを撮影可能である。搬送機構２は、ポリシリコンＳが配置された第２挟持部３２を第１撮影位置に搬送する。当該第１撮影位置は、ドーム部４の下方の位置であり、複数の撮影部５がポリシリコンＳを撮影可能な位置である。

【0067】

複数の撮影部５は、上記第１撮影位置に搬送された、反転機構３３Ａ，３３Ｂによって反転させられる前の状態のポリシリコンＳを撮影する。複数の撮影部５によってポリシリコンＳが撮影された後、搬送機構２は、搬送機構２上において反転機構３３Ａ，３３Ｂが配置される位置に、ポリシリコンＳが配置された第２挟持部３２を搬送する。

【0068】

＜制御部１０の構成＞
制御部１０は、搬送機構２、反転装置３、撮影部５，８及び照射部６，９を制御可能な制御装置であってもよく、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）である。また、制御部１０は、このような制御装置を備えるとともに、メモリ等の記憶装置と、サーバ１１と通信可能な通信装置等と、をさらに備える装置であってもよい。

【0069】

制御部１０は、複数の撮影部５及び複数の撮影部８によって撮影された撮影画像を取得する。制御部１０は、取得した撮影画像をサーバ１１に送信する。サーバ１１は、制御部１０から受信した撮影画像を参照することにより、ポリシリコンＳの多孔度、亀裂、孔、ステイン、ロッドの直径及び表面形状からなる群から選択される少なくとも１つの特徴を判定する。サーバ１１は、当該少なくとも１つの特徴に基づいてポリシリコンＳの分類を行う。当該ロッドの直径は、ポリシリコンＳがロッド状に形成される場合におけるロッドの直径である。

【0070】

なお、サーバ１１ではなく制御部１０がポリシリコンＳの分類を行ってもよい。この場合、制御部１０は、取得した撮影画像を参照することにより、上記少なくとも１つの特徴を判定する。また、制御部１０は、上記少なくとも１つの特徴に基づいてポリシリコンＳの分類を行う。

【0071】

＜変形例＞
ポリシリコンＳが第１挟持部３１及び第２挟持部３２によって挟持された挟持状態で、反転機構３３Ａ，３３Ｂが配置される位置に第１挟持部３１及び第２挟持部３２が搬送され、上記挟持状態で反転機構３３Ａ，３３ＢがポリシリコンＳを反転させてもよい。具体的に以下に説明する。

【0072】

複数の撮影部５によってポリシリコンＳが撮影された後、ポリシリコンＳが配置された第２挟持部３２が搬送機構２によってＸ軸正方向に搬送される場合を考える。この場合、ドーム部４と反転機構３３Ａ，３３Ｂとの間の位置で、図示しない機構によって第２挟持部３２及びポリシリコンＳの上に第１挟持部３１が配置されてもよい。このとき、第１弾性シート３１３及び第２弾性シート３２３は互いに対向し、ポリシリコンＳは第１挟持部３１及び第２挟持部３２によって挟持された挟持状態となる。

【0073】

ポリシリコンＳが上記挟持状態となった後、搬送機構２は、搬送機構２上において反転機構３３Ａ，３３Ｂが配置される位置に、上記挟持状態で第１挟持部３１及び第２挟持部３２を搬送する。そして、図２に示す回転部３３３，３３６がＺ軸負方向に移動することにより、移動部材３３７，３３９がそれぞれ第１保持部３３１，３３４に挿入される。これにより、反転機構３３Ａ，３３Ｂは、第１挟持部３１の支持部材３１２を保持する。また、移動部材３３８，３４０がそれぞれ第２保持部３３２，３３５に挿入される。これにより、反転機構３３Ａ，３３Ｂは、第２挟持部３２の支持部材３２２を保持する。

【0074】

そして、回転部３３３，３３６がＺ軸正方向に移動し、反転機構３３Ａ，３３Ｂはそれぞれ、回転部３３３，３３６をＹ軸周りに１８０°回転させることにより、ポリシリコンＳを反転させる。反転機構３３Ａ，３３ＢがポリシリコンＳを反転させた後、回転部３３３，３３６はＺ軸負方向に移動する。これにより、第１挟持部３１は搬送機構２の上に配置された状態となる。

【0075】

第１挟持部３１が搬送機構２の上に配置された状態となった後、移動部材３３７，３３９はそれぞれ、先端部が第１保持部３３１，３３４から離れるように移動する。これにより、反転機構３３Ａ，３３Ｂは、支持部材３１２の保持を解除する。また、移動部材３３８，３４０はそれぞれ、先端部が第２保持部３３２，３３５から離れるように移動する。これにより、反転機構３３Ａ，３３Ｂは、支持部材３２２の保持を解除する。

【0076】

支持部材３１２，３２２の保持が解除された後、搬送機構２は、上記挟持状態で第１挟持部３１及び第２挟持部３２をＸ軸正方向に搬送する。そして、反転機構３３Ａ，３３Ｂとドーム部７との間の位置で、図示しない機構によって第１挟持部３１から第２挟持部３２が取り除かれてもよい。第２挟持部３２が取り除かれた後、搬送機構２は、ポリシリコンＳが配置された第１挟持部３１を上記第２撮影位置に搬送する。

【0077】

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。図５は、本発明の実施形態２に係る撮影装置が備えるドーム部７、撮影部８及び照射部９の構成を示す図である。

【0078】

実施形態２の撮影装置は、実施形態１の撮影装置１に比べて、図５に示すように、照射部９が設けられる位置が異なる。複数の照射部９は、天井部７１に形成される開口部に設けられており、ドーム部７の下方に向かって光Ｌを照射する。つまり、複数の照射部９は、反転機構３３Ａ，３３Ｂによって反転させられたポリシリコンＳに光Ｌを直接照射する。例えば、Ｚ軸負方向に向かってドーム部７を視認した場合、６つの照射部９が複数の撮影部８の周囲に環状に並ぶように設けられていてもよい。

【0079】

上記構成によれば、ドーム部７の下方の第２撮影位置に、反転した後のポリシリコンＳを配置し、第２撮影位置に位置するポリシリコンＳに光Ｌを直接照射することができる。このため、実施形態２の撮影装置は、反転した後のポリシリコンＳを鮮明に撮影することができる。

【0080】

なお、ドーム部７は、例えば図４に示すように配置された、ポリシリコンＳに光Ｌを間接的に照射する照射部９と、例えば図５に示すように配置された、ポリシリコンＳに光Ｌを直接照射する照射部９と、の両方を備えていてもよい。

【0081】

〔実施形態３〕
本発明の実施形態３について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。図６は、本発明の実施形態３に係る撮影装置１Ａの構成を示す模式図である。

【0082】

図６に示すように、撮影装置１Ａは、実施形態１の撮影装置１に比べて、ドーム部７、撮影部８及び照射部９を備えない点が異なる。複数の撮影部５は、搬送機構２によって搬送されたポリシリコンＳを撮影可能である。搬送機構２は、ポリシリコンＳが配置された第２挟持部３２を第１撮影位置に搬送する。当該第１撮影位置は、ドーム部４の下方の位置であり、複数の撮影部５がポリシリコンＳを撮影可能な位置である。

【0083】

複数の撮影部５は、上記第１撮影位置に搬送された、反転機構３３Ａ，３３Ｂによって反転させられる前の状態のポリシリコンＳを撮影する。複数の撮影部５によってポリシリコンＳが撮影された後、搬送機構２は、搬送機構２上において反転機構３３Ａ，３３Ｂが配置される位置に、ポリシリコンＳが配置された第２挟持部３２を搬送する。このとき、搬送機構２は第２挟持部３２をＸ軸正方向に搬送する。

【0084】

ポリシリコンＳが配置された第２挟持部３２が、搬送機構２上において反転機構３３Ａ，３３Ｂが配置される位置に搬送された後、反転機構３３Ａ，３３Ｂは、第１挟持部３１の位置と第２挟持部３２の位置とを反転させ、ポリシリコンＳを反転させる。反転機構３３Ａ，３３ＢによってポリシリコンＳが反転させられた後、搬送機構２は、ポリシリコンＳが配置された第１挟持部３１を上記第１撮影位置に搬送する。このとき、搬送機構２は第１挟持部３１をＸ軸負方向に搬送する。

【0085】

複数の撮影部５は、上記第１撮影位置に搬送された、反転機構３３Ａ，３３Ｂによって反転させられた後の状態のポリシリコンＳを撮影する。複数の撮影部５によってポリシリコンＳが撮影された後、搬送機構２は、ポリシリコンＳが配置された第１挟持部３１を、ポリシリコンＳの分別が行われる場所に搬送する。このとき、搬送機構２は第１挟持部３１をＸ軸正方向に搬送する。

【0086】

〔まとめ〕
本発明の態様１に係る反転装置は、弾性変形する第１弾性変形部を有する第１挟持部と、弾性変形する第２弾性変形部を有する第２挟持部と、前記第１弾性変形部と、前記第２弾性変形部との間でポリシリコンが挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンの撮影のために前記ポリシリコンを反転させる反転機構と、を備える構成である。

【0087】

本発明の態様２に係る反転装置は、上記の態様１において、前記第１弾性変形部は、前記挟持状態で前記ポリシリコンと接触し弾性変形する第１弾性シートと、前記第１弾性シートよりも軟質であるとともに、前記挟持状態で前記第１弾性シートに対して前記ポリシリコンとは反対側から接触し弾性変形する第１緩衝材と、を有し、前記第２弾性変形部は、前記挟持状態で前記ポリシリコンと接触し弾性変形する第２弾性シートと、前記第２弾性シートよりも軟質であるとともに、前記挟持状態で前記第２弾性シートに対して前記ポリシリコンとは反対側から接触し弾性変形する第２緩衝材と、を有する構成としてもよい。

【0088】

本発明の態様３に係る反転装置は、上記の態様２において、前記第１弾性シート及び前記第２弾性シートの硬度は、ショアＡ３０以上かつショアＡ９０以下である構成としてもよい。

【0089】

本発明の態様４に係る反転装置は、上記の態様２または３において、前記第１弾性シート及び前記第２弾性シートの厚みは、０．５ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下である構成としてもよい。

【0090】

本発明の態様５に係る反転装置は、上記の態様２から４のいずれかにおいて、前記第１緩衝材及び前記第２緩衝材の４０％圧縮硬さは、２０Ｎ以上かつ８０Ｎ以下である構成としてもよい。

【0091】

本発明の態様６に係る反転装置は、上記の態様２から５のいずれかにおいて、前記第１緩衝材及び前記第２緩衝材の反発弾性率は、１％以上かつ６％以下である構成としてもよい。

【0092】

本発明の態様７に係る撮影装置は、弾性変形する第１弾性変形部を有する第１挟持部と、弾性変形する第２弾性変形部を有する第２挟持部と、前記第１弾性変形部と、前記第２弾性変形部との間でポリシリコンが挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンを反転させる反転機構と、前記反転機構によって反転させられた前記ポリシリコンを撮影可能な撮影部と、を備える構成である。

【0093】

本発明の態様８に係る撮影装置は、上記の態様７において、前記撮影部が設けられる半球状の天井部を有するドーム部と、（ｉ）前記ドーム部の前記天井部における内面に光を照射することにより、当該内面で光を反射させて前記ドーム部の下方に向かって光を照射させる照射部、及び（ｉｉ）前記ドーム部の下方に向かって光を照射する照射部、の少なくとも一方の照射部とを備え、前記撮影部は、前記反転機構によって反転させられた位置から撮影位置に搬送された前記ポリシリコンを撮影する構成としてもよい。

【0094】

本発明の態様９に係る撮影装置は、上記の態様７または８において、複数の方向から前記ポリシリコンを撮影可能なように、前記撮影部は複数設けられる構成としてもよい。

【0095】

本発明の態様１０に係る反転方法は、第１挟持部が有するものであり、弾性変形する第１弾性変形部と、第２挟持部が有するものであり、弾性変形する第２弾性変形部との間でポリシリコンを挟持する挟持工程と、前記挟持工程で前記ポリシリコンが挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンの撮影のために前記ポリシリコンを反転させる反転工程と、を含む方法である。

【0096】

本発明の態様１１に係る撮影方法は、第１挟持部が有するものであり、弾性変形する第１弾性変形部と、第２挟持部が有するものであり、弾性変形する第２弾性変形部との間でポリシリコンを挟持する挟持工程と、前記挟持工程で前記ポリシリコンが挟持された挟持状態で、前記ポリシリコンを反転させる反転工程と、前記反転工程で反転させられた前記ポリシリコンを撮影する撮影工程と、を含む方法である。

【0097】

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0098】

１、１Ａ 撮影装置 ３ 反転装置
４、７ ドーム部 ５、８ 撮影部
６、９ 照射部 ３１ 第１挟持部
３２ 第２挟持部 ３３Ａ、３３Ｂ 反転機構
７１ 天井部 ７２ 内面
３１１ 第１弾性変形部 ３１３ 第１弾性シート
３１４ 第１緩衝材 ３２１ 第２弾性変形部
３２３ 第２弾性シート ３２４ 第２緩衝材
Ｓ ポリシリコン

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】