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特許7550558ピックアップ方法、及びピックアップ装置
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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-09-05
(45)【発行日】2024-09-13
(54)【発明の名称】ピックアップ方法、及びピックアップ装置
(51)【国際特許分類】
   H01L 21/301 20060101AFI20240906BHJP
   H01L 21/52 20060101ALI20240906BHJP
【FI】
H01L21/78 Y
H01L21/52 F
【請求項の数】 8
(21)【出願番号】P 2020125351
(22)【出願日】2020-07-22
(65)【公開番号】P2022021643
(43)【公開日】2022-02-03
【審査請求日】2023-05-25
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】小林 真
【審査官】鈴木 孝章
(56)【参考文献】
【文献】特開2019-186398(JP,A)
【文献】特開2007-103644(JP,A)
【文献】特開2013-251322(JP,A)
【文献】特開2008-177260(JP,A)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
H01L 21/301
H01L 21/52
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数のチップへと分割されたウェーハがテープを介して環状フレームに固定されたウェーハユニットからチップをピックアップするピックアップ方法であって、
ウェーハユニットの該環状フレームを固定する固定ステップと、
該固定ステップで固定された該環状フレームを含む該ウェーハユニットの該ウェーハを撮像しつつ該テープを拡張して隣接するチップ間に間隔を形成するとともに該間隔を検出する拡張ステップと、
隣接するチップ間に所定の間隔が形成された際に該テープの拡張を停止し、該ウェーハユニットの隣接する間に該所定の間隔が形成されたチップを貼着した該テープからチップをピックアップするピックアップステップと、を備えたピックアップ方法。
【請求項2】
該ピックアップステップでは、隣接するチップ間に所定の間隔を形成して該テープの拡張を停止した後、ピックアップすべきチップの周囲の該テープを該チップを突き上げる突き上げ手段の外層部の上面に吸引保持し、該突き上げ手段の柱状の第1の突き上げピン及び該第1の突き上げピンを囲繞し筒状に形成されるとともに該外層部により囲繞された第2の突き上げピンで該テープを介して該チップを支持するとともに、該チップを挟んで該突き上げ手段に対面したピックアップコレットの下面を該チップに接触させて該ピックアップコレットと該突き上げ手段とで該チップを挟持し、該第1の突き上げピンと該第2の突き上げピンに該挟持したチップを突き上げさせて、該外層部と該第2の突き上げピンとを該チップから離反させ該第1の突き上げピンと該ピックアップコレットとで該チップを挟持した状態とすることで、該チップの外周縁から該テープを剥離させ、該ピックアップコレットの下面に該チップを吸引保持した後、該ピックアップコレットに吸引保持された該チップを該テープからピックアップする、請求項1に記載のピックアップ方法。
【請求項3】
該拡張ステップでは、該ウェーハの中心部における該間隔を検出する、請求項1又は請求項2に記載のピックアップ方法。
【請求項4】
該拡張ステップを実施した後、該ピックアップステップを実施する前に、該ウェーハを撮像してピックアップすべきチップの座標位置を検出する検出ステップ、を更に備えた、請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載のピックアップ方法。
【請求項5】
複数のチップへと分割されたウェーハがテープを介して環状フレームに固定されたウェーハユニットからチップをピックアップするピックアップ装置であって、
ウェーハユニットの該環状フレームを固定する固定ユニットと、
該固定ユニットで固定された該環状フレームを含む該ウェーハユニットの該ウェーハを撮像する撮像カメラと、
該固定ユニットで固定された該環状フレームの内周縁と該ウェーハの外周縁との間の該テープを押圧して拡張し、隣接するチップ間に間隔を形成する拡張手段と、
該拡張手段で拡張された該テープを介してチップを突き上げる突き上げ手段と、
該突き上げ手段で突き上げられたチップをピックアップするピックアップコレットと、
少なくとも該撮像カメラと、該拡張手段と、該突き上げ手段と、該ピックアップコレットと、を制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、該撮像カメラで撮像された撮像画像をもとに隣接するチップ間の該間隔を検出し、隣接するチップ間に所定の間隔が形成された際に該拡張手段による該テープの拡張を停止して、該突き上げ手段で隣接する間に所定の間隔が形成されかつ該テープに貼着された該チップを突き上げるとともに該突き上げ手段で突き上げられたチップを該ピックアップコレットでピックアップするよう制御する、ピックアップ装置。
【請求項6】
該コントローラは、隣接するチップ間に所定の間隔を形成して該テープの拡張を停止した後、ピックアップすべきチップの周囲の該テープを該突き上げ手段の外層部の上面に吸引保持し、該突き上げ手段の柱状の第1の突き上げピン及び該第1の突き上げピンを囲繞し筒状に形成されるとともに該外層部により囲繞された第2の突き上げピンで該テープを介して該チップを支持するとともに、該ピックアップコレットの下面を該チップに接触させて該ピックアップコレットと該突き上げ手段とで該チップを挟持し、該第1の突き上げピンと該第2の突き上げピンに該挟持したチップを突き上げさせて、該外層部と該第2の突き上げピンとを該チップから離反させ該第1の突き上げピンと該ピックアップコレットとで該チップを挟持した状態とすることで、該チップの外周縁から該テープを剥離させ、該ピックアップコレットの下面に該チップを吸引保持した後、該ピックアップコレットに吸引保持された該チップを該テープからピックアップする、請求項5に記載のピックアップ装置。
【請求項7】
該コントローラは、該撮像カメラを該ウェーハの中心部に位置付け、撮像した撮像画像をもとに該間隔を検出する、請求項5又は請求項6に記載のピックアップ装置。
【請求項8】
該コントローラは、該撮像カメラをピックアップすべきチップに対応した位置に位置付け、撮像した撮像画像をもとにピックアップすべきチップの座標を検出する、請求項5から請求項7のうちいずれか一項に記載のピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、複数のチップへと分割されたウェーハがテープを介して環状フレームに固定されたウェーハユニットからチップをピックアップするピックアップ方法、及びピックアップ装置に関する。
【背景技術】
【0002】
複数のチップへと分割され、かつテープに貼着されるとともにテープの外周が環状フレームに装着されてウェーハユニットを構成するウェーハのチップをテープから剥離するピックアップ装置が利用されている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
前述した特許文献1に示されたピックアップ装置は、チップをウェーハユニットからピックアップする際、ピックアップするチップが隣接するチップと接触して損傷してしまうことを避けるべく、テープを拡張して隣接するチップ間に所望の間隔を形成した状態でピックアップしている。そして、前述した特許文献1に示されたピックアップ装置は、チップ間を所望の間隔に形成するために、テープを所定の量、拡張している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開2008-177260号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
テープの拡張量は、ウェーハやテープの品種によって異なるため、前述した特許文献1に示されたピックアップ装置は、品種毎に最適な拡張量を探し出して拡張条件を設定している。しかし、ウェーハユニットが変更される都度、最適な拡張条件を探し出すのは手間であり、改善が切望されていた。
【0006】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、手間を抑制しながらもチップを損傷することなくピックアップすることができるピックアップ方法、及びピックアップ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のピックアップ方法は、複数のチップへと分割されたウェーハがテープを介して環状フレームに固定されたウェーハユニットからチップをピックアップするピックアップ方法であって、ウェーハユニットの該環状フレームを固定する固定ステップと、該固定ステップで固定された該環状フレームを含む該ウェーハユニットの該ウェーハを撮像しつつ該テープを拡張して隣接するチップ間に間隔を形成するとともに該間隔を検出する拡張ステップと、隣接するチップ間に所定の間隔が形成された際に該テープの拡張を停止し、該ウェーハユニットの隣接する間に該所定の間隔が形成されたチップを貼着した該テープからチップをピックアップするピックアップステップと、を備えたことを特徴とする。
前記ピックアップ方法において、該ピックアップステップでは、隣接するチップ間に所定の間隔を形成して該テープの拡張を停止した後、ピックアップすべきチップの周囲の該テープを該チップを突き上げる突き上げ手段の外層部の上面に吸引保持し、該突き上げ手段の柱状の第1の突き上げピン及び該第1の突き上げピンを囲繞し筒状に形成されるとともに該外層部により囲繞された第2の突き上げピンで該テープを介して該チップを支持するとともに、該チップを挟んで該突き上げ手段に対面したピックアップコレットの下面を該チップに接触させて該ピックアップコレットと該突き上げ手段とで該チップを挟持し、該第1の突き上げピンと該第2の突き上げピンに該挟持したチップを突き上げさせて、該外層部と該第2の突き上げピンとを該チップから離反させ該第1の突き上げピンと該ピックアップコレットとで該チップを挟持した状態とすることで、該チップの外周縁から該テープを剥離させ、該ピックアップコレットの下面に該チップを吸引保持した後、該ピックアップコレットに吸引保持された該チップを該テープからピックアップしても良い。
【0008】
前記ピックアップ方法において、該拡張ステップでは、該ウェーハの中心部における該間隔を検出しても良い。
【0009】
前記ピックアップ方法において、該拡張ステップを実施した後、該ピックアップステップを実施する前に、該ウェーハを撮像してピックアップすべきチップの座標位置を検出する検出ステップ、を更に備えても良い。
【0010】
本発明のピックアップ装置は、複数のチップへと分割されたウェーハがテープを介して環状フレームに固定されたウェーハユニットからチップをピックアップするピックアップ装置であって、ウェーハユニットの該環状フレームを固定する固定ユニットと、該固定ユニットで固定された該環状フレームを含む該ウェーハユニットの該ウェーハを撮像する撮像カメラと、該固定ユニットで固定された該環状フレームの内周縁と該ウェーハの外周縁との間の該テープを押圧して拡張し、隣接するチップ間に間隔を形成する拡張手段と、該拡張手段で拡張された該テープを介してチップを突き上げる突き上げ手段と、該突き上げ手段で突き上げられたチップをピックアップするピックアップコレットと、少なくとも該撮像カメラと、該拡張手段と、該突き上げ手段と、該ピックアップコレットと、を制御するコントローラと、を備え、該コントローラは、該撮像カメラで撮像された撮像画像をもとに隣接するチップ間の該間隔を検出し、隣接するチップ間に所定の間隔が形成された際に該拡張手段による該テープの拡張を停止して、該突き上げ手段で隣接する間に所定の間隔が形成されかつ該テープに貼着された該チップを突き上げるとともに該突き上げ手段で突き上げられたチップを該ピックアップコレットでピックアップするよう制御することを特徴とする。
前記ピックアップ装置において、該コントローラは、隣接するチップ間に所定の間隔を形成して該テープの拡張を停止した後、ピックアップすべきチップの周囲の該テープを該突き上げ手段の外層部の上面に吸引保持し、該突き上げ手段の柱状の第1の突き上げピン及び該第1の突き上げピンを囲繞し筒状に形成されるとともに該外層部により囲繞された第2の突き上げピンで該テープを介して該チップを支持するとともに、該ピックアップコレットの下面を該チップに接触させて該ピックアップコレットと該突き上げ手段とで該チップを挟持し、該第1の突き上げピンと該第2の突き上げピンに該挟持したチップを突き上げさせて、該外層部と該第2の突き上げピンとを該チップから離反させ該第1の突き上げピンと該ピックアップコレットとで該チップを挟持した状態とすることで、該チップの外周縁から該テープを剥離させ、該ピックアップコレットの下面に該チップを吸引保持した後、該ピックアップコレットに吸引保持された該チップを該テープからピックアップしても良い。
【0011】
前記ピックアップ装置において、該コントローラは、該撮像カメラを該ウェーハの中心部に位置付け、撮像した撮像画像をもとに該間隔を検出しても良い。
【0012】
前記ピックアップ装置において、該コントローラは、該撮像カメラをピックアップすべきチップに対応した位置に位置付け、撮像した撮像画像をもとにピックアップすべきチップの座標を検出しても良い。
【発明の効果】
【0013】
本発明は、手間を抑制しながらもチップを損傷することなくピックアップすることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【0014】
図1図1は、実施形態1に係るピックアップ装置の構成例の要部を示す斜視図である。
図2図2は、図1に示されたピックアップ装置のピックアップすべきチップを備えるウェーハユニットの断面図である。
図3図3は、図1に示されたピックアップ装置の要部の一部を断面で示す側面図である。
図4図4は、実施形態1に係るピックアップ方法の流れを示すフローチャートである。
図5図5は、図4に示されたピックアップ方法の固定ステップを一部断面で示す側面図である。
図6図6は、図4に示されたピックアップ方法の拡張ステップを一部断面で示す側面図である。
図7図7は、図4に示されたピックアップ方法の拡張ステップにおいて、撮像ユニットが取得した撮像画像の一例を示す図である。
図8図8は、図4に示されたピックアップ方法の拡張ステップにおいて、撮像ユニットが取得した撮像画像の他の例を示す図である。
図9図9は、図4に示されたピックアップ方法の検出ステップを一部断面で示す側面図である。
図10図10は、図4に示されたピックアップ方法の検出ステップにおいて、撮像ユニットが取得した撮像画像の一例を示す図である。
図11図11は、図4に示されたピックアップ方法のピックアップステップにおいて、ピックアップすべきチップを突き上げユニットとピックアップコレットとで挟持した状態を模式的に示す断面図である。
図12図12は、図4に示されたピックアップ方法のピックアップステップにおいて、突き上げユニットでテープを介してチップを突き上げし始めた状態を模式的に示す断面図である。
図13図13は、図4に示されたピックアップ方法のピックアップステップにおいて、突き上げユニットでテープを介して突き上げたチップをピックアップコレットが吸引保持した状態を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0015】
本発明を実施するための形態(実施形態)につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【0016】
〔実施形態1〕
本発明の実施形態1に係るプピックアップ装置を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係るピックアップ装置の構成例の要部を示す斜視図である。図2は、図1に示されたピックアップ装置のピックアップすべきチップを備えるウェーハユニットの断面図である。図3は、図1に示されたピックアップ装置の要部の一部を断面で示す側面図である。
【0017】
実施形態1に係る図1に示すピックアップ装置1は、図2に示すウェーハユニット17からチップ14をピックアップする装置である。
【0018】
(ウェーハユニット)
実施形態1では、ウェーハユニット17は、図2に示すように、複数のチップ14へ分割されたウェーハ10がテープ15を介して環状フレーム16に固定されている。ウェーハ10は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを基板11とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等である。
【0019】
ウェーハ10は、基板11の表面11-1に格子状に形成された複数の分割予定ライン12によって区画された領域にデバイス13が形成されている。実施形態1において、ウェーハ10は、ウェーハ10よりも大径な円板状のテープ15が下面11-2に貼着されて、テープ15の外縁部に環状フレーム16が貼着されて、ウェーハユニット17を構成している。また、ウェーハ10は、分割予定ライン12に沿って切削加工等が施されて、個々のチップ14に個片化されている。即ち、ウェーハ10は、チップ14間にウェーハ10自体を貫通した切削溝18が形成されている。なお、チップ14は、基板11の一部とデバイス13とを備える。
【0020】
(ピックアップ装置)
ピックアップ装置1は、前述したウェーハユニット17のテープ15からチップ14をピックアップする装置である。ピックアップ装置1は、図1に示すように、固定ユニット20と、固定ユニット20を移動する移動機構30と、撮像カメラ40と、光源ユニット50と、拡張手段である拡張ユニット60(図3に示す)と、突き上げ手段である突き上げユニット70と、ピックアップ機構80と、コレット移動機構90と、コントローラである制御ユニット100とを備える。
【0021】
(固定ユニット)
固定ユニット20は、ウェーハユニット17の環状フレーム16を固定するものである。固定ユニット20は、図1に示すように、装置本体2上に設置された移動テーブル21上に設置されている。固定ユニット20は、図3に示すように、移動テーブル21上に設置された支持テーブル22と、支持テーブル22上に設置された支持フレーム23と、支持フレーム23上に設置された環状のフレーム支持部材24と、フレーム支持部材24の上方に設置されかつ支持フレーム23に固定された環状のフレーム押さえ部材25と、フレーム支持部材24を鉛直方向と平行なZ軸方向に沿って昇降させる昇降シリンダ26とを備える。
【0022】
フレーム支持部材24と、フレーム押さえ部材25とは、内外径が同等のリング状に形成され、互いに同軸となる位置に配置され、Z軸方向に間隔あけて重ねられている。昇降シリンダ26は、実施形態1では、支持フレーム23に固定されたシリンダ261と、シリンダ261から伸縮自在に設けられたロッド262とを備える。ロッド262は、先端にフレーム支持部材24が固定され、シリンダ261から伸長するとフレーム支持部材24をZ軸方向に沿って上昇させるとともに、シリンダ261に縮小するとフレーム支持部材24をZ軸方向に沿って下降させる。
【0023】
固定ユニット20は、下降したフレーム支持部材24上に図示しない搬送ユニットによりウェーハユニット17の環状フレーム16が載置される。固定ユニット20は、フレーム支持部材24の上面にウェーハユニット17の環状フレーム16が載置されると、昇降シリンダ26がフレーム支持部材24を上昇させて、フレーム押さえ部材25とフレーム支持部材24との間に環状フレーム16を挟み込んで、ウェーハユニット17を固定する。
【0024】
(移動機構)
移動機構30は、装置本体2上に設けられかつ移動テーブル21即ち固定ユニット20を水平方向と平行なX軸方向に移動するX軸移動機構31と、X軸移動機構31によりX軸方向に移動される移動テーブル21上に設けられかつ支持テーブル22即ち固定ユニット20を水平方向と平行でかつX軸方向に対して直交するY軸方向に移動するY軸移動機構32とを備える。各移動機構31,32は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ33,34、ボールねじ33,34を軸心回りに回転させる周知のモータ35,36及び移動テーブル21又は支持テーブル22をX軸方向又はY軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレール37,38を備える。
【0025】
(撮像カメラ)
撮像カメラ40は、固定ユニット20で固定された環状フレーム16を含むウェーハユニット17のウェーハ10を撮像するものである。実施形態1では、撮像カメラ40は、装置本体2のX軸方向の一端部に設けられた凹部3の中央の上方に配置されている。実施形態1では、撮像カメラ40は、移動機構30により凹部3の上方に配置された固定ユニット20により固定された環状フレーム16を含むウェーハユニットのウェーハ10の中心部である中央の上方に配置されて、ウェーハユニット17のウェーハ10の中央を撮像する。撮像カメラ40は、ウェーハユニット17のウェーハ10の中央のチップ14及びこのチップ14の周囲を撮像して、撮像画像201,202(図7及び図8に示す)を形成するものである。
【0026】
また、撮像カメラ40は、移動機構30により突き上げユニット70の上方に位置付けられて、テープ15からピックアップされる対象であるピックアップすべきチップ14及びこのチップ14の周囲を撮像して、撮像画像203(図10に示す)を形成するものでもある。
【0027】
撮像カメラ40は、固定ユニット20で保持された環状フレーム16を含むウェーハユニット17のウェーハ10のチップ14及びこのチップ14の周囲を撮像する撮像素子(即ち、画素)を備えている。撮像素子は、例えば、CCD(Charge-Coupled Device)撮像素子又はCMOS(Complementary MOS)撮像素子である。撮像カメラ40は、固定ユニット20で保持された環状フレーム16を含むウェーハユニット17のウェーハ10のチップ14及びこのチップ14の周囲を撮影して、撮像画像201,202,203を取得し、取得した撮像画像201,202,203を制御ユニット100に出力する。
【0028】
(光源ユニット)
光源ユニット50は、装置本体2の凹部3内に設けられ、移動機構30により凹部3の上方に配置された固定ユニット20で固定された環状フレーム16を含むウェーハユニット17のテープ15越しにウェーハ10に照明光を照射するものである。
【0029】
(拡張ユニット)
拡張ユニット60は、固定ユニット20で固定された環状フレーム16の内周縁とウェーハ10の外周縁との間のテープ15を押圧して拡張し、隣接するチップ14間に間隔19(図11に示す)を形成するユニットである。
【0030】
実施形態1では、拡張ユニット60は、図3に示すように、拡張用シリンダ61と、円筒状の拡張ドラム62とを備える。拡張用シリンダ61は、支持フレーム23即ち固定ユニット20のフレーム支持部材24及びフレーム押さえ部材25をZ軸方向に沿って昇降させるものである。
【0031】
拡張用シリンダ61は、支持テーブル22に固定されたシリンダ611と、シリンダ611から伸縮自在に設けられたロッド612とを備える。ロッド612は、先端に支持フレーム23が固定され、シリンダ611から伸長すると支持フレーム23すなわちフレーム支持部材24及びフレーム押さえ部材25をZ軸方向に沿って上昇させるとともに、シリンダ611に縮小すると支持フレーム23すなわちフレーム支持部材24及びフレーム押さえ部材25をZ軸方向に沿って下降させる。拡張用シリンダ61は、フレーム支持部材24及びフレーム押さえ部材25をZ軸方向に沿って昇降させることで、フレーム支持部材24及びフレーム押さえ部材25で固定した環状フレーム16を含むウェーハユニット17をZ軸方向に沿って昇降させる。
【0032】
拡張ドラム62は、内径がウェーハ10の外径よりも大きく外径が環状フレーム16の内径よりも小さい円筒状に形成され、支持テーブル22上の固定ユニット20により固定されるウェーハユニット17のウェーハ10及び環状フレーム16と概ね同軸となる位置に配置されている。拡張ドラム62の上端は、昇降シリンダ26により下降されかつ拡張用シリンダ61により上昇されたフレーム支持部材24の上面よりも下方に配置されている。拡張ドラム62の上端は、昇降シリンダ26により上昇されかつ拡張用シリンダ61により下降されたフレーム支持部材24の上面よりも上方に配置されている。
【0033】
拡張ユニット60は、昇降シリンダ26がフレーム支持部材24を上昇させてウェーハユニット17を固定ユニット20が固定した状態で、拡張用シリンダ61のロッド612が縮小して、固定ユニット20を下降させることで、拡張ドラム62の上端で環状フレーム16の内周縁とウェーハ10の外周縁との間のテープ15を押圧して、テープ15を拡張する。
【0034】
(突き上げユニット)
突き上げユニット70は、格調ユニットで拡張されたテープ15を介してチップ14を突き上げるものである。突き上げユニット70は、装置本体2の凹部3内の光源ユニット50の隣に設けられ、撮像カメラ40とZ軸方向に沿って対向する位置即ち撮像カメラ40の下方に配置されている。
【0035】
突き上げユニット70は、全体が一体として、モータ等で構成される昇降機構(図示せず)と接続され、Z軸方向に沿って昇降する。突き上げユニット70は、図3に示すように、中空の円筒状に形成された外層部71と、外層部71の内部に配置された四角柱状の突き上げ部72とを備える。外層部71の上面78には、外層部71の周方向に沿って同心円状に形成された複数の吸引溝74が形成されている。吸引溝74は、それぞれ、突き上げユニット70の内部に形成された吸引路75及び開閉弁76を介して、エジェクタ等でなる吸引源87に接続している。
【0036】
突き上げ部72は、四角柱状に形成された第1突き上げピン72-1と、四角筒状に形成され第1突き上げピン72-1を囲繞する第2突き上げピン72-2と、四角筒状に形成され第2突き上げピン72-2を囲繞する第3突き上げピン72-3とを備える。第1突き上げピン72-1、第2突き上げピン72-2、及び第3突き上げピン72-3は、それぞれ、固定ユニット20で保持された環状フレーム16を含むウェーハユニット17のテープ15を介していずれかのチップ14を突き上げる突き上げ部材である。第1突き上げピン72-1、第2突き上げピン72-2、及び第3突き上げピン72-3は、それぞれ、モータ等で構成される昇降機構(図示せず)と接続され、Z軸方向に沿って昇降する。
【0037】
突き上げユニット70は、固定ユニット20で保持された環状フレーム16を含むウェーハユニット17が上方に位置付けられた状態で、外層部71の上面78の吸引溝74が吸引源87により吸引されて、外層部71の上面78にテープ15のチップ14の周囲を吸引保持する。突き上げユニット70は、外層部71の上面78にテープ15のチップ14の周囲を吸引保持して、突き上げ部72の各突き上げピン72-1,72-2,72-3が上昇されることで、チップ14をテープ15よりも上方に突き上げる。なお、突き上げユニット70の寸法は、チップ14のサイズに応じて適宜調整される。
【0038】
実施形態1では、突き上げユニット70は、チップ14を突き上げる際に、昇降機構により第1突き上げピン72-1、第2突き上げピン72-2、及び第3突き上げピン72-3の上昇が同時に同速度で開始され、第2突き上げピン72-2が第3突き上げピン72-3よりも上側まで上昇され、第1突き上げピン72-1が第2突き上げピン72-2よりも上側まで上昇されて、それぞれの上昇が停止する。即ち、突き上げユニット70は、チップ14を突き上げる際に、第1突き上げピン72-1、第2突き上げピン72-2、及び第3突き上げピン72-3が同時に同速度で上昇を開始し、第3突き上げピン72-3、第2突き上げピン72-2、第1突き上げピン72-1が順に上昇を停止する。
【0039】
(ピックアップ機構)
ピックアップ機構80は、複数のチップ14に分割されテープ15で支持されたウェーハ10から突き上げユニット70により突き上げられたチップ14をピックアップするものである。ピックアップ機構80は、図1に示すように、コレット移動機構90によりY軸方向とZ軸方向とに移動される移動基台82と、移動基台82からコレット移動機構90から離れる方向にX軸方向に延在したアーム84と、アーム84の先端に設けられチップ14を保持するピックアップコレット86とを備える。
【0040】
ピックアップコレット86は、移動機構30により凹部3上に位置付けられた固定ユニット20で保持されたウェーハユニット17を挟んで突き上げユニット70の突き上げピン72-1,72-2,72-3に対面し、突き上げユニット70の突き上げピン72-1,72-2,72-3で突き上げられたチップ14を保持して、テープ15からピックアップするものである。ピックアップコレット86は、アーム84の先端の下端部に取り付けられている。ピックアップコレット86は、図3に示すように、下面88に吸引路83及び開閉弁85を介してエジェクタ等でなる吸引源87に接続した吸引溝89が形成されている。
【0041】
ピックアップコレット86は、下面88に突き上げピン72-1,72-2,72-3で突き上げられたチップ14を接触させた状態で、吸引溝89が吸引源87により吸引されて、チップ14を下面88に吸引保持する。ピックアップコレット86は、下面88に突き上げユニット70の突き上げピン72-1,72-2,72-3で突き上げられたチップ14を吸引保持し、コレット移動機構90により上昇されることで、下面88に吸引保持したチップ14をテープ15からピックアップする。
【0042】
また、実施形態1では、ピックアップ装置1は、突き上げユニット70の上面側にテープ15からピックアップされる際にチップ14にかかる荷重を計測する計測手段であるロードセルを備えても良い。ロードセルは、計測結果を制御ユニット100に出力する。なお、本発明では、計測手段であるロードセルをピックアップ機構80のピックアップコレット86の下面88側に設けても良い。
【0043】
(コレット移動機構)
コレット移動機構90は、ピックアップコレット86をY軸方向に移動させるとともに、ピックアップコレット86をZ軸方向に移動させるものである。コレット移動機構90は、装置本体2上に設けられかつ移動テーブル93をY軸方向に移動する第2Y軸移動機構91と、第2Y軸移動機構91によりY軸方向に移動される移動テーブル93上に設けられかつ移動基台82即ちピックアップ機構80をZ軸方向に移動するZ軸移動機構92とを備える。
【0044】
各移動機構91,92は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ94,95、ボールねじ94,95を軸心回りに回転させる周知のモータ96,97及び移動テーブル93又はピックアップ機構80をY軸方向又はZ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレール98,99を備える。
【0045】
また、ピックアップ装置1は、図1に示すように、固定ユニット20に固定されたウェーハユニット17のウェーハ10の各チップ14のX軸方向の位置を検出するためのX軸方向位置検出ユニット110と、固定ユニット20に固定されたウェーハユニット17のウェーハ10の各チップ14のY軸方向の位置を検出するためのY軸方向位置検出ユニット120とを備える。
【0046】
X軸方向位置検出ユニット110は、装置本体2上に設置されたX軸方向と平行なリニアスケール111と、移動テーブル21に設置されて固定ユニット20とともにX軸方向に移動する図示しない読み取りヘッドとにより構成することができる。X軸方向位置検出ユニット110は、移動テーブル21の装置本体2に対するX軸方向の位置を検出することで、固定ユニット20に固定されたウェーハユニット17のウェーハ10のうちの撮像カメラ40の撮像範囲内の各チップ14のX軸方向の位置を検出する。
【0047】
Y軸方向位置検出ユニット120は、移動テーブル21上に設置されたY軸方向と平行なリニアスケール121と、支持テーブル22に設置されて固定ユニット20とともにY軸方向に移動する図示しない読み取りヘッドとにより構成することができる。Y軸方向位置検出ユニット120は、支持テーブル22の移動テーブル21に対するY軸方向の位置を検出することで、固定ユニット20に固定されたウェーハユニット17のウェーハ10ののうちの撮像カメラ40の撮像範囲内の各チップ14のY軸方向の位置を検出する。X軸方向位置検出ユニット110及びY軸方向位置検出ユニット120は、固定ユニット20に固定されたウェーハユニット17のウェーハ10の各チップ14のX軸方向又はY軸方向の位置を制御ユニット100に出力する。
【0048】
なお、実施形態1では、固定ユニット20に固定されたウェーハユニット17のウェーハ10の各チップ14の位置は、予め定められた基準位置からのX軸方向の距離とY軸方向の距離とで定められる。
【0049】
(制御ユニット)
制御ユニット100は、ピックアップ装置1の上述した各構成ユニットである固定ユニット20と、撮像カメラ40と、光源ユニット50と、移動機構30と、拡張ユニット60と、突き上げユニット70と、ピックアップ機構80即ちピックアップコレット86と、コレット移動機構90とをそれぞれ制御して、ウェーハユニット17からチップ14をピックアップするピックアップ動作をピックアップ装置1に実施させるものである。即ち、制御ユニット100は、少なくとも撮像カメラ40と、拡張ユニット60と、突き上げユニット70と、ピックアップコレット86と、を制御する。
【0050】
制御ユニット100は、CPU(central processing unit)のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ROM(read only memory)又はRAM(random access memory)のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット100の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、ピックアップ装置1を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介してピックアップ装置1の上述した各ユニットに出力する。
【0051】
また、制御ユニット100は、ピックアップ動作の状態や画像などを表示する表示画面を有する表示手段である表示ユニットと、オペレータがピックアップ装置1の制御ユニット100に情報などを入力する際に用いる入力手段であるタッチパネルとが接続されている。表示ユニットは、液晶表示装置などにより構成される。タッチパネルは、表示ユニットの表示画面に重ねられる。
【0052】
また、制御ユニット100は、間隔検出部101と、座標検出部102と、ピックアップ部103とを備える。間隔検出部101は、撮像カメラ40で撮像された撮像画像201,202をもとに隣接するチップ14間の間隔19を検出する。座標検出部102は、固定ユニット20に固定されるウェーハユニット17のウェーハ10の各チップ14の位置を含むウェーハマップ104を予め記憶し、ウェーハマップ104、撮像カメラ40にピックアップ対象であるピックアップすべきチップ14を撮像させて取得した撮像画像203及び位置検出ユニット110,120の検出結果からピックアップすべきチップ14の座標位置を検出する。
【0053】
ピックアップ部103は、隣接するチップ14間に所定の幅191以上の間隔192が形成された際に拡張ユニット60によるテープ15の拡張を停止して、突き上げユニット70でピックアップすべきチップ14を突き上げるとともに突き上げユニット70で突き上げられたチップ14をピックアップコレット86でピックアップするよう、拡張ユニット60、突き上げユニット70、ピックアップ機構80及びコレット移動機構90を制御する。
【0054】
間隔検出部101と、ピックアップ部103との機能は、演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施することにより実現される。また、座標検出部102の機能は、記憶装置が予めウェーハマップ104を記憶し、演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施することにより実現される。
【0055】
(ピックアップ方法)
次に、本明細書は、実施形態1に係るピックアップ方法を図面に基づいて説明する。図4は、実施形態1に係るピックアップ方法の流れを示すフローチャートである。ピックアップ方法は、ウェーハユニット17のテープ15からチップ14をピックアップする方法であるとともに、実施形態1では、ピックアップ装置1のピックアップ動作である。
【0056】
実施形態1に係るピックアップ方法は、タッチパネルを操作して、ピックアップ動作内容情報を制御ユニット100に入力し、制御ユニット100がオペレータのピックアップ動作開始指示を受け付けると、ピックアップ装置1により実施される。なお、ピックアップ動作内容情報は、テープ15からピックアップされるピックアップすべきチップ14の位置と、前述したウェーハマップ104とを含む。
【0057】
即ち、テープ15からピックアップされるピックアップすべきチップ14の位置は、実施形態1に係るピックアップ方法が実施される前に、制御ユニット100に予め登録されている。なお、本明細書では、ピックアップ方法の実施中に、チップ14をピックアップする度に、オペレータがタッチパネル等を操作して、テープ15からピックアップするチップ14を選定しても良い。ピックアップ方法は、図4に示すように、固定ステップ1001と、拡張ステップ1002と、検出ステップ1003と、ピックアップステップ1004とを備える。
【0058】
(固定ステップ)
図5は、図4に示されたピックアップ方法の固定ステップを一部断面で示す側面図である。固定ステップ1001は、ウェーハユニット17の環状フレーム16を固定ユニット20で保持するステップである。
【0059】
固定ステップ1001では、制御ユニット100は、図示しない搬送ユニットを制御して、拡張用シリンダ61により上昇されかつ昇降シリンダ26により下降されたフレーム支持部材24の上面にウェーハユニット17の環状フレーム16を載置させる。固定ステップ1001では、制御ユニット100は、固定ユニット20を制御して、昇降シリンダ26によりフレーム支持部材24を上昇させて、図5に示すように、フレーム押さえ部材25とフレーム支持部材24との間に環状フレーム16を挟み込んで、ウェーハユニット17を固定ユニット20で固定する。
【0060】
(拡張ステップ)
図6は、図4に示されたピックアップ方法の拡張ステップを一部断面で示す側面図である。図7は、図4に示されたピックアップ方法の拡張ステップにおいて、撮像ユニットが取得した撮像画像の一例を示す図である。図8は、図4に示されたピックアップ方法の拡張ステップにおいて、撮像ユニットが取得した撮像画像の他の例を示す図である。
【0061】
拡張ステップ1002は、固定ステップ1001で固定された環状フレーム16を含むウェーハユニット17のウェーハ10を撮像しつつテープ15を拡張して隣接するチップ14間に間隔19を形成するとともに間隔19を検出するステップである。拡張ステップ1002では、制御ユニット100は、移動機構30を制御し固定ユニット20を移動して、固定ユニット20で保持された環状フレーム16を含むウェーハユニット17のウェーハ10の中央を撮像カメラ40の下方でかつ突き上げユニット70の上方に位置付ける。
【0062】
このとき、実施形態1では、ウェーハ10の表面11-1上において、撮像カメラ40の撮像範囲は、ウェーハ10の中央のチップ14と中央のチップ14の周囲のチップ14とを含む。拡張ステップ1002では、制御ユニット100は、図6に示すように、拡張ユニット60を制御して拡張用シリンダ61により固定ユニット20を下降させながら光源ユニット50からテープ15越しに光をウェーハ10に照射して、撮像カメラ40に固定ユニット20に固定されたウェーハユニット17のウェーハ10の中央のチップ14及び中央のチップ14の周囲を撮像させて、図7及び図8に示す撮像画像201,202を所定時間間隔毎に取得する。なお、図7に示す撮像画像201は、拡張ステップ1002開始直後のウェーハ10の中央の画像である。
【0063】
なお、撮像画像201,202は、光源ユニット50から光を照射して撮像カメラ40がチップ14等を撮像して取得されるので、切削溝18(図7及び図8では、白地で示す)がチップ14(図7及び図8では、黒地で示す)よりも明るく(光量が高く)なっている。
【0064】
拡張ステップ1002では、拡張用シリンダ61により固定ユニット20が下降されると、ウェーハユニット17の環状フレーム16の内周縁とウェーハ10の外周縁との間のテープ15に拡張ドラム62の上端が接触する。拡張ステップ1002では、固定ユニット20の下降とともに、図6に示すように、拡張ドラム62の上端がテープ15の環状フレーム16の内周縁とウェーハ10の外周縁との間を下方から上方に向けて押圧して、テープ15が面方向に拡張される。拡張ステップ1002では、テープ15の拡張の結果、テープ15に放射状に引張力が作用し、図8に示すように、チップ14間の間隔19が徐々に広がる。
【0065】
拡張ステップ1002では、制御ユニット100の間隔検出部101は、撮像画像201,202の光量が所定値を超えた画素を切削溝18として検出し、隣接するチップ14間の間隔19を検出する。拡張ステップ1002では、制御ユニット100の間隔検出部101が検出した互いに隣接するチップ14間の間隔19が、予め定められた所定の幅191以上の間隔192であるか否かを判定し、所定の幅191以上の間隔192であると判定するまで、拡張用シリンダ61を制御して固定ユニット20を下降させる。
【0066】
拡張ステップ1002では、制御ユニット100の間隔検出部101が検出した隣接するチップ14間の間隔19が、図8に示すように、予め定められた所定の幅191以上の間隔192以上であると判定すると、ピックアップ部103が拡張ユニット60の拡張用シリンダ61を制御して固定ユニット20の下降を停止し、テープ15の拡張を停止する。こうして、実施形態1において、拡張ステップ1002では、隣接するチップ14間に所定の幅191以上の間隔192が形成された際にテープ15の拡張を停止する。
【0067】
なお、実施形態1において、拡張ステップ1002では、制御ユニット100の間隔検出部101が、撮像カメラ40をウェーハ10の中央の上方に位置付けて、撮像した撮像画像201,202をもとに間隔19を検出するので、ウェーハ10の中央のチップ14間の間隔19を検出することとなる。なお、所定の幅191以上の間隔192とは、ピックアップコレット86がチップ14を破損させることなくピックアップすることが可能な隣接するチップ14間の間隔である。実施形態1では、所定の幅191は、例えば、30μmであるが、本発明では、30μmに限定されない。本発明では、所定の幅191は、チップ14のサイズ、チップ14の厚みやテープ15の品種に基づいて適宜設定される。
【0068】
(検出ステップ)
図9は、図4に示されたピックアップ方法の検出ステップを一部断面で示す側面図である。図10は、図4に示されたピックアップ方法の検出ステップにおいて、撮像ユニットが取得した撮像画像の一例を示す図である。
【0069】
検出ステップ1003は、拡張ステップ1002を実施した後、ピックアップステップ1004を実施する前に、ウェーハ10を撮像してピックアップすべきチップ14の座標位置を検出するステップである。検出ステップ1003では、制御ユニット100は、拡張ステップ1002での固定ユニット20のZ軸方向の位置を維持したまま、測定内容情報等に基づいて移動機構30を制御し固定ユニット20を移動して、図9に示すように、固定ユニット20で保持された環状フレーム16を含むウェーハユニット17のテープ15からピックアップされるピックアップすべきチップ14(以下、符号14-1で示す)を突き上げユニット70の上方でかつ撮像カメラ40の下方に位置付ける。
【0070】
検出ステップ1003では、制御ユニット100は、光源ユニット50からテープ15越しに光をウェーハ10に照射して、撮像カメラ40に固定ユニット20に固定されたウェーハユニット17のウェーハ10のチップ14-1及びチップ14-1の周囲を撮像させて、図10に示す撮像画像203を取得する。
【0071】
撮像画像203は、光源ユニット50から光を照射して撮像カメラ40がチップ14-1等を撮像して取得されるので、撮像画像201,202と同様に、切削溝18即ち間隔192(図10では、白地で示す)がチップ14-1,14(図10では、黒地で示す)よりも明るく(光量が高く)なっている。検出ステップ1003では、制御ユニット100の座標検出部102は、撮像画像201,202の光量が所定値を超えた画素を切削溝18及び間隔192として検出し、チップ14-1の外縁の位置をチップ14-1の座標位置として検出する。
【0072】
こうして、検出ステップ1003では、制御ユニット100の座標検出部102は、撮像カメラ40をピックアップすべきチップ14-1に対応した位置であるチップ14-1の上方に位置付け、撮像した撮像画像203をもとにピックアップすべきチップ14-1の座標である外縁の位置を検出する。
【0073】
(ピックアップステップ)
図11は、図4に示されたピックアップ方法のピックアップステップにおいて、ピックアップすべきチップを突き上げユニットとピックアップコレットとで挟持した状態を模式的に示す断面図である。図12は、図4に示されたピックアップ方法のピックアップステップにおいて、突き上げユニットでテープを介してチップを突き上げし始めた状態を模式的に示す断面図である。図13は、図4に示されたピックアップ方法のピックアップステップにおいて、突き上げユニットでテープを介して突き上げたチップをピックアップコレットが吸引保持した状態を模式的に示す断面図である。
【0074】
ピックアップステップ1004は、隣接するチップ14間に所定の幅191以上の間隔192が形成された際に該テープ15の拡張を停止し、ウェーハユニット17からチップ14-1をピックアップするステップである。ピックアップステップ1004では、制御ユニット100のピックアップ部103は、拡張ステップ1002での固定ユニット20のZ軸方向の位置を維持したまま、開閉弁76,85を閉じた状態で、検出ステップ1003で検出したチップ14-1の外縁の位置に基づいて、移動機構30を制御し固定ユニット20の位置を調整するとともに、コレット移動機構90を制御しピックアップコレット86を移動して、ウェーハ10のチップ14-1と、突き上げユニット70及びピックアップコレット86との位置合わせを遂行する。
【0075】
なお、実施形態1において、位置合わせでは、チップ14-1の外縁と第3突き上げピン72-3の外縁とを鉛直方向に沿って対面させ、チップ14-1の外縁とピックアップコレット86の下面88の外縁とを鉛直方向に沿って対面させる。こうして、ピックアップステップ1004では、制御ユニット100のピックアップ部103は、拡張ステップ1002での固定ユニット20のZ軸方向の位置を維持することで、隣接するチップ14間に所定の幅191以上の間隔192が形成された際にテープ15の拡張を停止した状態を維持する。
【0076】
ピックアップステップ1004では、制御ユニット100のピックアップ部103が突き上げユニット70を制御して、突き上げピン72-1,72-2,72-3を下降させた状態で、突き上げユニット70全体を上昇させて、突き上げユニット70の外層部71の上面78及び突き上げピン72-1,72-2,72-3の上面をテープ15に接触させる。ピックアップステップ1004では、制御ユニット100のピックアップ部103がコレット移動機構90を制御して、ピックアップコレット86を下降させて、ピックアップコレット86の下面88をチップ14-1に接触させて、テープ15を介してピックアップすべきチップ14-1を突き上げユニット70とピックアップコレット86とで挟持する。ピックアップステップ1004では、制御ユニット100のピックアップ部103が、開閉弁76を開いて、図11に示すように、突き上げユニット70の外層部71の上面78にチップ14-1の周囲のテープ15を吸引保持する。
【0077】
ピックアップステップ1004では、図12に示すように、制御ユニット100のピックアップ部103が突き上げユニット70を制御して突き上げピン72-1,72-2,72-3を上昇させるとともに、コレット移動機構90を制御してピックアップコレット86を上昇させる。このとき、検出ステップ1003では、制御ユニット100は、突き上げピン72-1,72-2,72-3の上昇動作と、ピックアップコレット86との上昇動作とを、第1突き上げピン72-1の上面とピックアップコレット86の下面88との距離がチップ14-1の厚みに応じた距離(実施形態1では、チップ14-1の厚みとテープ15の厚みとを合わせた距離)となるように連動させる。
【0078】
ピックアップステップ1004では、制御ユニット100のピックアップ部103は、突き上げユニット70を制御して、図12に示す位置で第3突き上げピン72-3の上昇を停止し、図13に示すように、第2突き上げピン72-2の上昇を第3突き上げピン72-3よりも上方で停止し、第1突き上げピン72-1の上昇を第2突き上げピン72-2よりも上方で停止する。こうして、ピックアップステップ1004では、突き上げピン72-1,72-2,72-3がテープ15を介してチップ14-1を突き上げて、第2突き上げピン72-2及び第3突き上げピン72-3をチップ14-1から離反させて、特に、第2突き上げピン72-2及び第3突き上げピン72-3上のテープ15からチップ14-1が剥離される。
【0079】
ピックアップステップ1004では、制御ユニット100のピックアップ部103は、図13に示すように、開閉弁85を開いて、ピックアップコレット86の下面88にチップ14-1を吸引保持する。ピックアップステップ1004では、制御ユニット100のピックアップ部103は、コレット移動機構90を制御して、ピックアップコレット86を上昇して、ピックアップコレット86の下面88に吸引保持したチップ14-1をテープ15からピックアップする。ピックアップステップ1004では、制御ユニット100のピックアップ部103は、コレット移動機構90を制御して、ピックアップコレット86の下面88に吸引保持したチップ14-1を所定の搬送先まで搬送する。
【0080】
ピックアップ装置1の制御ユニット100は、測定内容情報に位置が入力されたチップ14-1の全てをテープ15からピックアップすると、ピックアップ方法を終了する。
【0081】
以上説明したように、実施形態1に係るピックアップ方法は、拡張ステップ1002のテープ15の拡張中にウェーハ10を撮像した撮像画像201,202をもとにチップ14間の間隔19を検出し、隣接するチップ14間に所定の幅191以上の間隔192が形成された後に、ピックアップステップ1004でウェーハユニット17からチップ14-1をピックアップする。このために、実施形態1に係るピックアップ方法は、ウェーハユニット17毎に隣接するチップ14間に所定の幅191以上の間隔192を形成することができるテープ15の拡張条件を探し出す手間を必要なしに、拡張ステップ1002において、ウェーハユニット17毎に隣接するチップ14間に所定の幅191以上の間隔192を形成することができる。また、ピックアップ方法は、拡張ステップ1002において、ウェーハユニット17毎に隣接するチップ14間に所定の幅191以上の間隔192を形成することができるので、ピックアップステップ1004においてチップ14-1を損傷することなくピックアップすることができる。
【0082】
その結果、実施形態1に係るピックアップ方法は、手間を抑制しながらもチップ14-1を損傷することなくピックアップすることができるという効果を奏する。
【0083】
また、実施形態1に係るピックアップ方法は、一般的に、ウェーハユニット17の中央は外周部に比べてテープ15が拡張されにくいが、拡張ステップ1002では、ウェーハ10の中央を撮像することで、中央の隣接するチップ14間に所定の幅191以上の間隔192が形成されたことを検出する。その結果、実施形態1に係るピックアップ方法は、ウェーハ10の全体においてチップ14間に所定の幅191以上の間隔192が形成された状態でのチップ14-1のピックアップが可能となる。
【0084】
また、実施形態1に係るピックアップ装置1は、前述したピックアップ方法を実施するので、手間を抑制しながらもチップ14-1を損傷することなくピックアップすることができるという効果を奏する。
【0085】
なお、本発明は、上記実施形態等に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。また、実施形態1では、ピックアップ装置1は、単体の装置であったが、本発明では、ピックアップしたチップ14-1の構成強度を測定する試験装置等の他の装置の一部分を構成しても良い。また、実施形態1では、突き上げピン72-1,72-2,72-3のチップ14-1の突き上げ後にピックアップコレット86の下面88にチップ14-1を吸引保持したが、本発明では、突き上げ前に突き上げユニット41とピックアップコレット86とでチップ14-1を挟持した際にピックアップコレット86の下面88にチップ14-1を吸引保持しても良い。
【符号の説明】
【0086】
1 ピックアップ装置
10 ウェーハ
14,14-1 チップ
15 テープ
16 環状フレーム
17 ウェーハユニット
19 間隔
20 固定ユニット
40 撮像カメラ
60 拡張ユニット(拡張手段)
70 突き上げユニット(突き上げ手段)
86 ピックアップコレット
100 制御ユニット(コントローラ)
192 所定の幅以上の間隔(所定の間隔)
201,202 撮像画像
203 撮像画像
1001 固定ステップ
1002 拡張ステップ
1003 検出ステップ
1004 ピックアップステップ
図1
図2
図3
図4
図5
図6
図7
図8
図9
図10
図11
図12
図13