特許 7550564 加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-05

(45)【発行日】2024-09-13

(54)【発明の名称】加工装置

(51)【国際特許分類】

   G05B 19/409 20060101AFI20240906BHJP

   H01L 21/02 20060101ALI20240906BHJP

   G06F 3/02 20060101ALI20240906BHJP

   G06F 3/027 20060101ALI20240906BHJP

   B24B 7/04 20060101ALN20240906BHJP

【ＦＩ】

G05B19/409 C

H01L21/02 Z

G06F3/02 F

G06F3/027

B24B7/04 A

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2020138266

(22)【出願日】2020-08-18

(65)【公開番号】P2022034469

(43)【公開日】2022-03-03

【審査請求日】2023-06-29

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】大森 崇史

(72)【発明者】

【氏名】三宮 沙紀

【審査官】中川 康文

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－０８６９７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１４３０２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－０８４０１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１３／００５７４７７（ＵＳ，Ａ１）

【文献】中国特許出願公開第１９６７４５１（ＣＮ，Ａ）

【文献】特開２０１４－０８１７４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１９７３０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１７５１７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－０７１００９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－３２７７８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－１２３５１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１６／０２９１５８２（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１６／０２７４７８４（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許第０６２４３６１９（ＵＳ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０５Ｂ １９／１８－１９／４１６

Ｈ０１Ｌ ２１／００－２１／１６

Ｇ０６Ｆ ３／０２－３／０２７

Ｂ２４Ｂ ４１／００－５１／００

Ｂ２４Ｂ ７／０４

Ｇ０６Ｆ ３／０１

Ｇ０６Ｆ ３／０４８－３／０４８９５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、
加工条件が入力されるオペレーションパネルと、
該オペレーションパネルを制御する制御ユニットと、を有する加工装置であって、
該制御ユニットは、
該加工条件に含まれる複数の項目に対応する複数の入力欄を該オペレーションパネルに表示させ、
複数の該入力欄のうち一の入力欄が選択されると、数字キーを表示させ、
該数字キーが選択されると、該数字キーにより入力される数値をそれぞれ異なる桁に変更した複数の桁違い数字キーを表示させ、
該桁違い数字キーが選択されると、
該一の入力欄に、選択された該桁違い数字キーの数値を入力し、
該制御ユニットは、
複数の該入力欄にそれぞれ入力可能な数値の範囲を設定する範囲設定部を有し、
該範囲設定部で設定された範囲内に該当する該桁違い数字キーのみを表示させることを特徴とする加工装置。

【請求項2】

該桁違い数字キーは、該数字キーからのフリック操作により選択される
請求項１に記載の加工装置。

【請求項3】

複数の該入力欄と複数の入力欄に過去に入力された数値の桁と紐づけて記憶する桁記憶部をさらに有し、
該制御ユニットは、一の入力欄が選択されたとき、該桁記憶部に記憶されている桁に該当する桁違い数字キーのみを表示させる
請求項１に記載の加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

タッチパネルを備える加工装置の加工条件を設定する際には、オペレータがタッチパネルを操作して加工条件を入力する。その際、オペレータは、タッチパネルに表示された入力部（テンキー、キーボード等）に含まれる入力キーのタッチ操作により、加工装置に所定の情報（数値、文字列等）を入力する。例えば、特許文献１には、数値の桁を設定する桁設定キーが配置されたオペレーションパネルを搭載した加工装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００１－８４０１５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、従来の加工装置は、タッチパネルに表示される入力キーが狭い間隔で密集して配置されている場合、入力される数値の桁数が多い場合には、オペレータが誤った情報を入力してしまうことがある。そして、タッチパネルに誤った情報が入力されると、加工装置は、意図しない加工条件で被加工物を加工し、加工不良が生じる恐れがある。また、加工装置の加工条件は、小数点以下から１０以上の桁までを設定するため、特許文献１の加工装置のように、複数の桁設定キーを常に表示しておくと、数値を入力する数字キーが小さくなり、入力の操作性が低下するという問題がある。

【0005】

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、数字キーを表示する領域の増加を抑制し、かつ複数の桁数を入力する場合の誤入力を抑制することができる加工装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、加工条件が入力されるオペレーションパネルと、該オペレーションパネルを制御する制御ユニットと、を有する加工装置であって、該制御ユニットは、該加工条件に含まれる複数の項目に対応する複数の入力欄を該オペレーションパネルに表示させ、複数の該入力欄のうち一の入力欄が選択されると、数字キーを表示させ、該数字キーが選択されると、該数字キーにより入力される数値をそれぞれ異なる桁に変更した複数の桁違い数字キーを表示させ、該桁違い数字キーが選択されると、該一の入力欄に、選択された該桁違い数字キーの数値を入力し、該制御ユニットは、複数の該入力欄にそれぞれ入力可能な数値の範囲を設定する範囲設定部を有し、該範囲設定部で設定された範囲内に該当する該桁違い数字キーのみを表示させることを特徴とする。

【0007】

前記加工装置において、該桁違い数字キーは、該数字キーからのフリック操作により選択されてもよい。

【0009】

前記加工装置において、複数の該入力欄と複数の入力欄に過去に入力された数値の桁と紐づけて記憶する桁記憶部をさらに有し、該制御ユニットは、一の入力欄が選択されたとき、該桁記憶部に記憶されている桁に該当する桁違い数字キーのみを表示させてもよい。

【発明の効果】

【0010】

本願発明の加工装置は、例えば、数値を入力する数字キーが小さくなり、入力の操作性が低下することを抑制し、かつ複数の桁数を入力する操作性を向上させることができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、実施形態に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。

【図2】図２は、実施形態に係る加工装置の機能構成の一例を模式的に示す図である。

【図3】図３は、実施形態に係るデバイスデータの表示例を示す図である。

【図4】図４は、実施形態に係る入力欄に対する入力処理の一例を説明するための図である。

【図5】図５は、実施形態に係る入力欄に対する入力処理の他の一例を説明するための図である。

【図6】図６は、実施形態に係る入力欄に対する入力処理の他の一例を説明するための図である。

【図7】図７は、実施形態に係る加工装置の入力処置に係る処理手順の一例を示すフローチャートである。

【図8】図８は、実施形態に係る桁データの一例を示す図である。

【図9】図９は、実施形態に係る入力欄に対する入力処理の変形例を説明するための図である。

【図10】図１０は、実施形態の変形例（１）に係る加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。

【図11】図１１は、実施形態の変形例（２）に係る加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明に係る実施形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0013】

〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態に係る加工装置１の構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態に係る加工装置１の機能構成の一例を模式的に示す図である。

【0014】

実施形態に係る加工装置１は、図１に示すように、箱形の筐体である本体２を備える。加工装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０と、加工ユニット２０と、タッチパネル３０と、制御ユニット４０と、を備える。制御ユニット４０は、チャックテーブル１０、加工ユニット２０及びタッチパネル３０と電気的に接続されている。

【0015】

加工装置１の加工対象である被加工物１００は、例えば、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素等を基板１０１とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。被加工物１００は、粘着テープ１０３を介して、環状のフレーム１０２の開口に基板１０１を支持して構成される。

【0016】

チャックテーブル１０は、保持面１１で被加工物１００を保持する。チャックテーブル１０は、不図示の吸引源と連通しており、吸引源から供給される負圧によって被加工物１００を吸引保持する。チャックテーブル１０は、後述するＸ軸移動手段２２によってＸ軸方向に沿って移動可能であり、不図示の回転駆動源によってＺ軸周りに回転可能である。

【0017】

本実施形態では、加工装置１は、図２に示すように、撮像ユニット１２、駆動手段１４及びＺ軸移動手段１５をさらに備える。制御ユニット４０は、撮像ユニット１２、駆動手段１４及びＺ軸移動手段１５と電気的に接続されている。

【0018】

図１及び図２に示すように、撮像ユニット１２は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサを搭載した電子顕微鏡である。撮像ユニット１２は、チャックテーブル１０の保持面上に保持された被加工物１００の表面を撮像する。撮像ユニット１２は、加工ユニット２０用のハウジングの一部に取り付け支持されることで一体化されており、ボールねじ、ナット、パルスモータ等によるＺ軸移動手段１５によってＺ軸方向に移動可能に設けられている。撮像ユニット１２は、例えば、チャックテーブル１０の保持面に保持された被加工物１００の表面に照明光を照射する光源を備えてもよい。

【0019】

加工ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００を加工する。加工ユニット２０は、例えば、一対の切削手段であり、それぞれ切削ブレードを有する。一対の切削手段のそれぞれの切削ブレードは、Ｙ軸方向において互いに対向しており、いずれもＹ軸周りに回転する。加工ユニット２０は、回転する切削ブレードによって、被加工物１００に対して切削加工を施す。加工ユニット２０は、Ｙ軸移動手段２７によってＹ軸方向に沿って移動可能であり、Ｚ軸移動手段１５によってＺ軸方向に沿って移動可能である。チャックテーブル１０の保持面に対して撮像ユニット１２や加工ユニット２０を相対的にＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段２７は、ボールねじ、ナット、パルスモータ等からなり、Ｘ軸移動手段２２とともに駆動手段１４を構成する。

【0020】

加工装置１は、Ｘ軸移動手段２２、Ｙ軸移動手段２７及びＺ軸移動手段１５により、チャックテーブル１０と加工ユニット２０とを相対移動させることにより、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００を加工する。

【0021】

なお、加工装置１が備える加工ユニット２０は、切削ブレードで被加工物１００を切削加工する切削ユニットに限定されない。他には、加工ユニット２０は、例えば、研削砥石等で同様の被加工物１００を研削加工する研削ユニットや、研磨パッド等で同様の被加工物１００を研磨加工する研磨ユニットや、同様の被加工物１００にレーザービームを照射してレーザー加工するレーザー加工ユニットなどでもよい。

【0022】

タッチパネル３０は、図１に示すように、表示面を外側に向けた状態で本体２に設置される。タッチパネル３０は、加工装置１の筐体において見やすくて操作しやすい箇所に配設される。タッチパネル３０は、制御ユニット４０による制御の下、撮像ユニット１２が撮像した被加工物１００の表面の画像や加工処理に必要な各種情報を表示するとともに、加工処理に必要な入力操作等をオペレータから受け付ける。本実施形態では、タッチパネル３０は、オペレーションパネルの一例である。

【0023】

タッチパネル３０は、図２に示すように、加工装置１に関する各種情報を表示する表示部３１と、加工条件の設定入力など、加工装置１に関する各種操作入力をオペレータから受け付ける入力部３２と、を有する。表示部３１は、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの表示デバイスを有する。入力部３２は、例えば、表示デバイスの表示面における物体の接触位置や座標を指定するタッチスクリーンを有する。

【0024】

本実施形態では、タッチパネル３０は、情報を出力する出力部の一例である場合について説明するが、これに限定されない。例えば、出力部は、スピーカー、通信装置等の電子機器で実現してもよい。

【0025】

図２に示すように、加工装置１は、ストレージ５０を備える。ストレージ５０は、制御ユニット４０により実行される各種処理等の機能を実現するプログラムや、かかるプログラムによる処理に用いられるデータなどを記憶する。ストレージ５０は、制御ユニット４０と電気的に接続されている。ストレージ５０は、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）や半導体メモリ等により実現できる。ストレージ５０は、制御ユニット４０が備えるプロセッサが制御プログラムに記述された命令を実行する際の一時的な作業領域としても利用されてもよい。

【0026】

なお、本実施形態では、加工装置１がストレージ５０を備える場合について説明するが、これに限定されない。例えば、ストレージ５０は、加工装置１の外部のコンピュータ及び電子機器、他の加工装置１等の加工装置１がアクセス可能な記憶装置とすることができる。

【0027】

ストレージ５０は、例えば、デバイスデータ５００、桁データ５１０等の各種データを記憶できる。デバイスデータ５００は、例えば、オペレータが被加工物１００の加工条件を設定可能な入力欄を表示するためのデータを含む。デバイスデータ５００は、デバイスの種類毎に用意されている。例えば、デバイスの種類は、デバイスの番号で管理されている。デバイスデータ５００は、例えば、複数の入力欄を有するデバイスデータ画面としてタッチパネル３０に表示される。デバイスデータ５００は、入力欄と該入力欄に入力された数値またはデフォルト値とが紐付けられている。制御ユニット４０は、デバイスの番号が指示されると、当該デバイスの番号に紐づく各設定項目の値が入力欄に入力する。

【0028】

桁データ５１０は、デバイスデータ５００等の入力欄と該入力欄に過去に入力された複数の数値の桁とを紐づけるデータを含む。桁データ５１０は、入力欄に入力可能な数値の範囲を示すデータを含む。桁データ５１０を記憶しているストレージ５０は、桁記憶部として機能する。また、本実施形態では、桁データ５１０は、デバイスデータ５００とは別のデータとする場合について説明するが、これに限定されない。桁データ５１０は、デバイスデータ５００に含まれてもよい。

【0029】

なお、本実施形態では、加工装置１は、デバイスデータ５００が示す入力欄に対する数値の入力処理について説明するが、これに限定されない。加工装置１は、例えば、アライメントデータ、洗浄データ、搬送データ、カーフチェックデータ等の複数の入力欄に対し、オペレータが数値を入力する処理に本発明を適用することができる。

【0030】

制御ユニット４０は、加工装置１を駆動する各機構（Ｘ軸移動手段２２、Ｙ軸移動手段２７、Ｚ軸移動手段１５）を制御する。制御ユニット４０は、加工装置１の各部を制御し、加工装置１による加工処理を実現する。制御ユニット４０は、例えばオペレータにより入力設定された加工条件に従って、チャックテーブル１０や加工ユニット２０を含む加工装置１の各部を制御し、被加工物１００の加工処理を実現する。

【0031】

制御ユニット４０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）などの記憶装置と、入出力インターフェース装置とを備える。制御ユニット４０は、かかる装置を用いて、加工装置１が実施する一連の加工工程に従い、上述した各構成要素を制御するための制御プログラムなどを実行可能なコンピュータである。

【0032】

制御ユニット４０は、タッチパネル３０の入力部３２を介してオペレータにより設定された加工条件に従って、加工装置１の動作全般を制御する。制御ユニット４０は、表示制御部４１と、範囲設定部４２と、を備える。制御ユニット４０は、プログラムを実行することにより、各部の機能、作用等を実現する。

【0033】

表示制御部４１は、タッチパネル３０の表示部３１の表示を制御する。表示制御部４１は、被加工物１００のデバイスの該加工条件に含まれる複数の項目に対応する複数の入力欄をタッチパネル３０に表示させる。表示制御部４１は、複数の該入力欄のうち一の入力欄が選択されると、数字キーを表示させる。表示制御部４１は、入力部３２により検出された接触、該接触が検出されたタッチパネル３０の位置、接触が検出された位置の変化等に基づいてジェスチャを検出する。ジェスチャは、タッチパネル３０に対して行われたオペレータの操作である。表示制御部４１は、例えば、タッチ、タップ、ロングタッチ、リリース、フリック等のジェスチャを検出する。

【0034】

表示制御部４１は、該数字キーが第１のジェスチャによって選択されると、該数字キーが示す数値を入力欄に入力する。第１のジェスチャは、例えば、タッチ、タップ等のジェスチャを含む。表示制御部４１は、該数字キーが第２のジェスチャによって選択されると、該数字キーにより入力される数値をそれぞれ異なる桁に変更した複数の桁違い数字キーが表示させる。第２のジェスチャは、例えば、ロングタッチ、フリック等のジェスチャを含む。例えば、「１」の数字キーが選択された場合、表示制御部４１は、「０．１」、「０．０１」、「１０」、「１００」等の桁違い数字キーを表示させる。

【0035】

なお、表示制御部４１は、桁違い数字キーを第１のジェスチャによって表示させてもよい。この場合、該数字キーがタッチ、タップ、ロングタッチ、フリック等を含む第１のジェスチャによって選択されると、桁違い数字キーが選択された数字キーの近傍に表示される。

【0036】

次に、オペレータがタッチパネル３０に触れた状態で桁違い数字キー上に接触をスライドさせたのち桁違い数字キーの上で接触をやめるという第２のジェスチャを行うと、表示制御部４１は、入力欄に桁違い数字キーの数値を入力する。また、オペレータが桁違い数字キー上に接触をスライドさせず、数字キーの上で接触をやめる第２のジェスチャを行うと、表示制御部４１は、入力欄に数字キーの数値を入力する。

【0037】

表示制御部４１は、該桁違い数字キーが選択されると、該一の入力欄に、選択された該桁違い数字キーの数値を入力する。表示制御部４１は、数字キーから桁違い数字キーへのフリック操作により、桁違い数字キーが選択されたことを検出する。これにより、加工装置１は、数字キーから桁違い数字キーへの連続した操作によって桁違い数字キーをオペレータに選択させることができるので、桁違い数字キーに対する操作性を向上させることができる。その結果、加工装置１は、桁違い数字キーを常に表示させる必要がないので、数字キーのサイズが小さくならず、数字の入力ミスを防ぐことができる。

【0038】

範囲設定部４２は、複数の入力欄にそれぞれ入力可能な数値の範囲を設定する。範囲設定部４２は、例えば、入力欄に入力可能な数値の範囲を設定すると、該数値の範囲を示す情報をデバイスデータ５００の入力欄の項目に紐付ける。例えば、入力欄が１から５０００の数値を入力できる場合、範囲設定部４２は、例えば、１から５０００までの範囲で入力欄に入力可能なことを示す情報を入力欄に紐付ける。そして、表示制御部４１は、範囲設定部４２で設定された範囲内に該当する数値を示す該桁違い数字キーのみを、数字キーの近傍に表示させる。

【0039】

以上、本実施形態に係る加工装置１の構成例について説明した。なお、図１及び図２を用いて説明した上記の構成はあくまで一例であり、本実施形態に係る加工装置１の構成は係る例に限定されない。本実施形態に係る加工装置１の機能構成は、仕様や運用に応じて柔軟に変形可能である。

【0040】

（入力欄の入力処理の例）
次に、実施形態に係る加工装置１が実行する入力処理の一例を説明する。図３は、実施形態に係るデバイスデータ５００の表示例を示す図である。図４は、実施形態に係る入力欄に対する入力処理の一例を説明するための図である。図５及び図６は、実施形態に係る入力欄に対する入力処理の他の一例を説明するための図である。

【0041】

図３に示すデバイスデータ５００は、制御ユニット４０の制御により、デバイスデータ画面としてタッチパネル３０の表示部３１に表示される。デバイスデータ５００は、複数の入力欄５０１を有する。複数の入力欄５０１は、オペレータの操作によって入力された数値を入力可能な構成になっている。図３に示す一例では、デバイスデータ５００は、スピンドル回転数、ブレードハイト、送り速度、インデックス、ワーク形状とサイズ、厚さ等の複数の項目のそれぞれに対応した複数の入力欄５０１を有している。制御ユニット４０は、オペレータに数値を入力させるための入力キー部６００を、デバイスデータ５００の近傍に表示するように、タッチパネル３０の表示部３１を制御する。制御ユニット４０は、例えば、複数の入力欄５０１のいずれかがオペレータによって選択された場合に、入力キー部６００を表示させてもよいし、入力キー部６００を常時表示させてもよい。

【0042】

入力キー部６００は、複数の数字キー６１０と、複数の操作キー６２０と、を有する。複数の数字キー６１０は、オペレータに数値を入力させるための「０」から「９」のキーである。複数の操作キー６２０は、例えば、確定、移動、削除、シフト等の命令をオペレータに選択させるためのキーである。

【0043】

図３に示す一例では、デバイスデータ５００は、テープの厚さの項目におけるテープに対応した入力欄５０１がオペレータによって選択されている。この場合、制御ユニット４０は、入力キー部６００をデバイスデータ５００とともに表示させ、該入力欄５０１が選択されているときの表示態様となるように、タッチパネル３０の表示部３１を制御する。

【0044】

図４に示す場面１００１では、制御ユニット４０は、不図示のデバイスデータ５００と入力キー部６００とを表示部３１に表示させている。オペレータは、タッチパネル３０に対し、指が「９」の数字キー６１０の位置に接触している。そして、場面１００２に示すように、オペレータは、タッチパネル３０に接触した指を「９」の数字キー６１０の位置から直ちに離している。この場合、制御ユニット４０は、タッチパネル３０を介して、「９」の数字キー６１０に対するタッチ操作を検出する。制御ユニット４０は、「９」の数字キー６１０が選択されたと認識し、「９」の数字キー６１０が示す数値を入力欄５０１に入力し、デバイスデータ５００の表示を更新する。これにより、加工装置１は、被加工物１００の厚さの項目におけるテープに対応した入力欄５０１に「９」の数値を入力したデバイスデータ５００をオペレータに表示する。

【0045】

図５に示す場面１００１では、図４に示したように、制御ユニット４０は、不図示のデバイスデータ５００と入力キー部６００とを表示部３１に表示させている。オペレータは、タッチパネル３０に対し、指が「９」の数字キー６１０の位置に接触している状態を、所定時間以上にわたって継続している。所定時間は、例えば、桁違い数字キー６３０を表示させるか否かを判定するために設定された時間を含む。制御ユニット４０は、入力部３２を介して、「９」の数字キー６１０に対するロングタッチ操作を検出すると、場面１０１０に示すように、複数の桁違い数字キー６３０を表示するように、表示部３１を制御する。なお、制御ユニット４０は、入力部３２を介して、「９」の数字キー６１０に対するタッチ操作を検出した場合に、複数の桁違い数字キー６３０を表示するように、表示部３１を制御してもよい。

【0046】

図５に示す一例では、制御ユニット４０は、「９」の数字キー６１０の両側に、複数の桁違い数字キー６３０を表示させている。複数の桁違い数字キー６３０は、例えば、「９」の数字キー６１０の桁が異なるキーとなっている。複数の桁違い数字キー６３０は、例えば、「０．９」、「０．０９」、「０．００９」及び「０．０００９」の小数点以下の桁違いの４つのキーと、「９０」、「９００」、「９０００」及び「９００００」の整数の桁違いの４つのキーと、を含む。「０．９」、「０．０９」、「０．００９」及び「０．０００９」の桁違い数字キー６３０は、「８」、「５」、「２」の数字キー６１０に重畳され、数字キー６１０に沿った列状に表示されている。「９０」、「９００」、「９０００」及び「９００００」の桁違い数字キー６３０は、「＋／－」、「．」、「０」の数字キー６１０に重畳され、数字キー６１０に沿った列状に表示されている。複数の桁違い数字キー６３０は、入力欄５０１毎に予め設定しておいてもよいし、入力欄５０１毎に範囲設定部４２によって入力可能な数値の範囲を設定してもよい。

【0047】

続いて、場面１０１１では、オペレータは、「９」の数字キー６１０を指示している指を、タッチパネル３０に接触した状態で、「９０００」の桁違い数字キー６３０にスライドさせている。そして、場面１０１２では、オペレータは、９０００」の桁違い数字キー６３０に接触していた指をタッチパネル３０から離している。制御ユニット４０は、入力部３２を介して、場面１０１１から場面１０１２のオペレータの一連の操作を、「９０００」の桁違い数字キー６３０へのフリック操作として検出する。この場合、制御ユニット４０は、「９０００」の桁違い数字キー６３０が選択されたと認識し、「９０００」の桁違い数字キー６３０が示す数値を入力欄５０１に入力し、デバイスデータ５００の表示を更新する。これにより、加工装置１は、被加工物１００の厚さの項目におけるテープに対応した入力欄５０１に「９０００」の数値を入力したデバイスデータ５００をオペレータに表示する。同様に、加工装置１は、「１」から「８」の数字キー６１０に対しても、複数の桁違い数字キー６３０を表示させることができる。

【0048】

例えば、オペレータは、入力欄５０１に「７５００」を入力する場合、まず、「７」の数字キー６１０に対してタップ操作を行うことで、入力欄５０１に「７」の数値を入力する。そして、オペレータは、「５」の数字キー６１０に対してロングタッチ操作を行い、「５００」の桁違い数字キー６３０が表示されると、「５００」の桁違い数字キー６３０に対してフリック操作を行うことで、入力欄５０１に「７５００」の数値を入力する。これにより、オペレータは、タップ操作と、ロングタッチ操作からのフリック操作との２回の操作によって４桁の「７５００」を入力欄５０１に入力することができる。すなわち、加工装置１は、入力欄５０１に「７５００」を入力する場合に、「７」、「５」、「０」、「０」の数字キー６１０を４回操作するよりも、２回の操作に削減させることができるので、入力作業の効率を向上させることができる。

【0049】

例えば、オペレータは、入力欄５０１に「０．０１２５」を入力する場合、まず、「１」の数字キー６１０に対してロングタップ操作を行い、「０．０１」の桁違い数字キー６３０が表示されると、「０．０１」の桁違い数字キー６３０に対してフリック操作を行うことで、入力欄５０１に「０．０１」の数値を入力する。そして、オペレータは、「２」の数字キー６１０に対してタップ操作を行い、「５」の数字キー６１０に対してタップ操作を行うことで、入力欄５０１に「０．０１２５」の数値を入力する。これにより、オペレータは、ロングタッチ操作からのフリック操作と、２回のタップ操作との合計の３回の操作によって小数点以下４桁の「０．０１２５」を入力欄５０１に入力することができる。すなわち、加工装置１は、入力欄５０１に「０．０１２５」を入力する場合に、「．」、「０」、「１」、「２」、「５」の数字キー６１０を５回操作するよりも、３回の操作に削減させることができるので、入力作業の効率を向上させることができる。

【0050】

以上のように、加工装置１は、複数の桁数の数値を入力欄５０１に入力する場合、桁違い数字キー６３０を表示させることにより、数字キー６１０の操作回数を削減させることができるので、誤入力を抑制することができる。例えば、加工装置１は、タッチパネル３０に表示される複数の数字キー６１０が狭い間隔で密集して配置された場合に、数字キー６１０の操作回数を削減させることで、誤入力を抑制することができる。その結果、加工装置１は、入力する桁数が多い場合にも、数字キー６１０のみを複数回操作するよりも、操作回数を削減することができるので、誤入力を抑制しかつ操作性を向上させることができる。さらに、加工装置１は、桁違い数字キー６３０を数字キー６１０に重ねて表示することで、表示部３１に表示される複数の数字キー６１０が狭い間隔で密集して配置されていても、複数の桁違い数字キー６３０を表示することができる。

【0051】

また、加工装置１は、複数の桁違い数字キー６３０を入力キー部６００に常に表示させずに、数字キー６１０を所定時間以上触れ続けて選択したときに表示させ、フリック操作によって選択させることができる。その結果、加工装置１は、表示させるキーのサイズを小さくする必要がないので、オペレータが誤入力することをより一層抑制することができる。

【0052】

なお、本実施形態では、加工装置１は、複数の桁違い数字キー６３０の左右に表示する場合について説明したが、これに限定されない。例えば、加工装置１は、桁違い数字キー６３０が数字キー６１０に隣接した位置に表示されれば、数字キー６１０の上下左右、斜めなどのいずれかに、複数の桁違い数字キー６３０を表示するように構成してもよい。例えば、加工装置１は、オペレータが選択している数字キー６１０の一部に重なるように、桁違い数字キー６３０を表示するように構成してもよい。

【0053】

例えば、加工装置１は、範囲設定部４２が入力欄５０１に対する入力可能な数値の範囲として、１から５０００を設定しているとする。この場合、加工装置１は、桁違い数字キー６３０のキーの数を制限することができる。

【0054】

図６に示す場面１１０１では、制御ユニット４０は、不図示のデバイスデータ５００と入力キー部６００とを表示部３１に表示させている。オペレータは、タッチパネル３０に対し、指が「５」の数字キー６１０の位置に接触している状態を、所定時間以上にわたって継続している。制御ユニット４０は、入力部３２を介して、「５」の数字キー６１０に対するロングタッチ操作を検出すると、入力欄５０１の入力可能な数値の範囲に基づいて、表示する桁違い数字キー６３０を特定する。例えば、制御ユニット４０は、１から５０００の範囲内に収まる「５０」、「５００」及び「５０００」の３つの桁違い数字キー６３０を特定する。制御ユニット４０は、場面１１０２に示すように、「５０」、「５００」及び「５０００」の３つの桁違い数字キー６３０が「５」の数字キー６１０を囲んで表示するように、表示部３１を制御する。

【0055】

また、例えば、テープの厚みの入力欄５０１は、範囲設定部４２によって０．０１～５．００ｍｍと入力範囲が設定されているとする。この場合、加工装置１は、「９」の数字キー３１０が所定時間以上の選択を検出すると、範囲内に収まる「０．０９」及び「０．９」の２つの桁違い数字キー６３０を、「９」の数字キー３１０の周囲に表示させることができる。その結果、加工装置１は、入力欄５０１に入力可能な桁の桁違い数字キー６３０をオペレータに選択させることができるので、入力欄５０１に対する誤入力をより一層抑制することができる。

【0056】

（入力欄の入力処理）
次に、実施形態に係る加工装置１が実行する入力処理の処理手順の一例を説明する。図７は、実施形態に係る加工装置１の入力処置に係る処理手順の一例を示すフローチャートである。図７に示す処理手順は、加工装置１の制御ユニット４０がプログラムを実行することによって実現される。図７に示す処理手順は、デバイスデータ５００を表示する場合に実行される。

【0057】

図７に示すように、加工装置１の制御ユニット４０は、デバイスデータ５００をタッチパネル３０に表示させる（ステップ２００１）。制御ユニット４０は、例えば、複数の入力欄５０１を有するデバイスデータ５００を表示するように、タッチパネル３０の表示部３１を制御する。これにより、表示部３１は、複数の入力欄５０１を有するデバイスデータ画面を表示する。制御ユニット４０は、ステップ２００１の処理が終了すると、処理をステップ２００２に進める。

【0058】

制御ユニット４０は、入力欄５０１が選択されたか否かを判定する（ステップ２００２）。例えば、制御ユニット４０は、タッチパネル３０の入力部３２が供給する表示面における物体の接触位置が、デバイスデータ画面の入力欄５０１の位置である場合に、入力欄５０１が選択されたと判定する。制御ユニット４０は、入力欄５０１が選択されていないと判定した場合（ステップ２００２でＮｏ）、処理を後述するステップ２０１５に進める。また、制御ユニット４０は、入力欄５０１が選択されたと判定した場合（ステップ２００２でＹｅｓ）、処理をステップ２００３に進める。

【0059】

制御ユニット４０は、数字キー６１０をタッチパネル３０に表示させる（ステップ２００３）。例えば、制御ユニット４０は、上述した入力キー部６００を表示させることで、複数の数字キー６１０を操作可能に表示する。制御ユニット４０は、ステップ２００３の処理が終了すると、処理をステップ２００４に進める。

【0060】

制御ユニット４０は、数字キー６１０が所定時間以上選択されたか否かを判定する（ステップ２００４）。例えば、制御ユニット４０は、タッチパネル３０の入力部３２が供給する表示面における物体の接触位置が、数字キー６１０の位置である状態が所定時間以上継続している場合に、数字キー６１０が選択されたと判定する。制御ユニット４０は、数字キー６１０が所定時間以上選択されたと判定した場合（ステップ２００４でＹｅｓ）、処理をステップ２００５に進める。

【0061】

制御ユニット４０は、数字キー６１０に対応する桁違い数字キー６３０を特定する（ステップ２００５）。例えば、制御ユニット４０は、範囲設定部４２が該当する入力欄５０１に入力可能な数値の範囲を設定していない場合、数字キー６１０に予め定められた複数の桁違い数字キー６３０を特定する。例えば、制御ユニット４０は、範囲設定部４２が該当する入力欄５０１に入力可能な数値の範囲を設定している場合、範囲内に該当する桁違い数字キー６３０を特定する。制御ユニット４０は、ステップ２００５の処理が終了すると、処理をステップ２００６に進める。

【0062】

制御ユニット４０は、桁違い数字キー６３０を数字キー６１０の近傍に表示させる（２００６）。例えば、制御ユニット４０は、複数の桁違い数字キー６３０がオペレータによって選択されている数字キー６１０の近傍に表示されるように、表示部３１を制御する。制御ユニット４０は、ステップ２００６の処理が終了すると、処理をステップ２００７に進める。

【0063】

制御ユニット４０は、桁違い数字キー６３０の確定操作を検出したか否かを判定する（ステップ２００７）。例えば、制御ユニット４０は、入力部３２を介して、桁違い数字キー６３０に対するフリック操作を検出した場合に、桁違い数字キー６３０の確定操作を検出したと判定する。制御ユニット４０は、桁違い数字キー６３０の確定操作を検出したと判定した場合（ステップ２００７でＹｅｓ）、処理をステップ２００８に進める。

【0064】

制御ユニット４０は、桁違い数字キー６３０の数値を入力欄５０１に入力する（ステップ２００８）。例えば、制御ユニット４０は、確定操作を検出した桁違い数字キー６３０の数値を特定し、該数値を入力欄５０１に入力し、表示部３１の表示内容を更新させる。制御ユニット４０は、ステップ２００８の処理が終了すると、処理を後述するステップ２０１３に進める。

【0065】

また、制御ユニット４０は、桁違い数字キー６３０の確定操作を検出していないと判定した場合（ステップ２００７でＮｏ）、処理をステップ２００９に進める。制御ユニット４０は、桁違い数字キー６３０の消去条件を満たすか否かを判定する（ステップ２００９）。桁違い数字キー６３０の消去条件は、例えば、タッチパネル３０からオペレータの指が離れる、他の数字キー６１０が選択される、他の入力欄５０１が選択される等のうちのいずれかの操作を検出することを含む。制御ユニット４０は、いずれかの操作を検出した場合に、桁違い数字キー６３０の消去条件を満たすと判定する。制御ユニット４０は、桁違い数字キー６３０の消去条件を満たしていないと判定した場合（ステップ２００９でＮｏ）、処理を既に説明したステップ２００７に戻し、処理を継続する。また、制御ユニット４０は、桁違い数字キー６３０の消去条件を満たすと判定した場合（ステップ２００９でＹｅｓ）、処理をステップ２０１０に進める。

【0066】

制御ユニット４０は、表示させている桁違い数字キー６３０を消去させる（ステップ
２０１０）。例えば、制御ユニット４０は、オペレータによって選択されている数字キー６１０の近傍に表示させている複数の桁違い数字キー６３０を消去するように、表示部３１を制御する。その結果、表示部３１は、複数の桁違い数字キー６３０を消去し、数字キー６１０のみを表示した状態になる。制御ユニット４０は、ステップ２０１０の処理が終了すると、処理を後述するステップ２０１３に進める。

【0067】

また、制御ユニット４０は、数字キー６１０が所定時間以上選択されていないと判定した場合（ステップ２００４でＮｏ）、処理をステップ２０１１に進める。制御ユニット４０は、数字キー６１０の確定操作を検出したか否かを判定する（ステップ２０１１）。例えば、制御ユニット４０は、入力部３２を介して、数字キー６１０に対するタッチ操作を検出した場合に、数字キー６１０の確定操作を検出したと判定する。制御ユニット４０は、数字キー６１０の確定操作を検出していないと判定した場合（ステップ２０１１でＮｏ）、処理を後述するステップ２０１３に進める。

【0068】

また、制御ユニット４０は、数字キー６１０の確定操作を検出したと判定した場合（ステップ２０１１でＹｅｓ）、処理をステップ２０１２に進める。制御ユニット４０は、数字キー６１０の数値を入力欄５０１に入力する（ステップ２０１２）。例えば、制御ユニット４０は、確定操作を検出した数字キー６１０の数値を特定し、該数値を入力欄５０１に入力し、表示部３１の表示内容を更新させる。制御ユニット４０は、ステップ２０１２の処理が終了すると、処理をステップ２０１３に進める。

【0069】

制御ユニット４０は、数字キー６１０の消去条件を満たすか否かを判定する（ステップ２０１３）。数字キー６１０の消去条件は、例えば、タッチパネル３０からオペレータの指が離れる、入力欄５０１の選択が解除される等のうちのいずれかの操作を検出することを含む。制御ユニット４０は、いずれかの操作を検出した場合に、数字キー６１０の消去条件を満たすと判定する。制御ユニット４０は、数字キー６１０の消去条件を満たしていないと判定した場合（ステップ２０１３でＮｏ）、処理を後述するステップ２０１５に進める。また、制御ユニット４０は、数字キー６１０の消去条件を満たすと判定した場合（ステップ２０１３でＹｅｓ）、処理をステップ２０１４に進める。

【0070】

制御ユニット４０は、タッチパネル３０に表示させている数字キー６１０を消去する（ステップ２０１４）。例えば、制御ユニット４０は、上述した入力キー部６００を表示部３１に消去させることで、複数の数字キー６１０を消去する。制御ユニット４０は、ステップ２０１４の処理が終了すると、処理をステップ２０１５に進める。

【0071】

制御ユニット４０は、デバイスデータ５００を消去するか否かを判定する（ステップ２０１５）。例えば、制御ユニット４０は、入力部３２を介して、デバイスデータ５００の保存操作、終了操作等を検出している場合に、デバイスデータ５００を消去すると判定する。制御ユニット４０は、デバイスデータ５００を消去しないと判定した場合（ステップ２０１５でＮｏ）、処理を既に説明したステップ２００２に戻し、処理を継続する。また、制御ユニット４０は、デバイスデータ５００を消去すると判定した場合（ステップ２０１５でＹｅｓ）、処理をステップ２０１６に進める。

【0072】

制御ユニット４０は、入力欄５０１の入力値を保存して、デバイスデータ５００を消去する（ステップ２０１６）。例えば、制御ユニット４０は、入力欄５０１に入力された数値を反映したデバイスデータ５００をストレージ５０に記憶し、表示させているデバイスデータ５００を消去するように、タッチパネル３０を制御する。これにより、表示部３１は、表示していたデバイスデータ画面を消去する。制御ユニット４０は、ステップ２０１６の処理が終了すると、図７に示す処理手順を終了させる。

【0073】

（入力処理の変形例）
次に、桁違い数字キー６３０を表示する個数を入力欄５０１の過去に入力された数値に基づいて変更する一例について説明する。図８は、実施形態に係る桁データ５１０の一例を示す図である。図９は、実施形態に係る入力欄に対する入力処理の変形例を説明するための図である。

【0074】

図８に示すように、桁データ５１０は、複数の入力欄５０１のそれぞれに対応した桁情報５１１と入力欄５０１とを紐づけるデータである。桁データ５１０を記憶しているストレージ５０は、桁記憶部として機能する。桁データ５１０は、例えば、入力欄５０１の入力値が変更された場合等に、制御ユニット４０によって更新される。桁データ５１０は、複数の桁情報５１１を有している。桁情報５１１は、入力欄５０１に入力された過去の数値の桁数または数値を示す情報を含む。例えば、桁情報５１１は、１回目が「２０」、２回目が「２２」等を示す情報を含む。この場合、桁情報５１１は、入力欄５０１に対して、２桁の数値が入力される可能性が高いことを示している。例えば、桁情報５１１は、１回目が「３桁」、２回目が「２桁」等を示す情報を含む。この場合、桁情報５１１は、入力欄５０１に対して、３桁から２桁の数値が入力される可能性が高いことを示している。なお、桁データ５１０は、任意の回数、例えば直近の３回分の入力値の桁を記憶し、入力値が更新される度に更新され、直近の入力３回に該当する桁のみを表示可能とする。

【0075】

図９に示す場面１２０１では、制御ユニット４０は、不図示のデバイスデータ５００と入力キー部６００とを表示部３１に表示させている。オペレータは、タッチパネル３０に対し、指が「５」の数字キー６１０の位置に接触している状態を、所定時間以上にわたって継続している。制御ユニット４０は、入力部３２を介して、「５」の数字キー６１０に対するロングタッチ操作を検出すると、入力欄５０１に対応した桁情報５１１を桁データ５１０から抽出する。この場合、桁情報５１１は、１回目が「３桁」、２回目が「２桁」を示しているとする。制御ユニット４０は、抽出した桁情報５１１に基づいて、表示する桁違い数字キー６３０を特定する。例えば、制御ユニット４０は、３桁以下の「５０」、及び「５００」の２つの桁違い数字キー６３０を特定する。制御ユニット４０は、場面１２０２に示すように、「５０」及び「５００」の２つの桁違い数字キー６３０が「５」の数字キー６１０の左側及び上側に位置するように、表示部３１を制御する。

【0076】

これにより、加工装置１は、入力欄５０１に入力可能な範囲内、かつ入力欄５０１の過去の入力結果を示す桁情報５１１に該当する桁違い数字キー６３０のみを表示させることができる。その結果、加工装置１は、入力欄５０１に入力された過去の桁数に応じた桁違い数字キー６３０のみを表示させることで、誤った桁違い数字キー６３０が選択されることがなくなり、入力欄５０１に対する誤入力をより一層抑制することができる。

【0077】

なお、上述した入力処理の変形例は、図７に示した処理手順のステップ２００５に、桁情報５１１に基づいて表示する桁違い数字キー６３０を特定する処理を追加する、あるいは置き換えることで、実現することができる。

【0078】

なお、上述した実施形態の加工装置１は、入力処理及び変形例の技術思想を組み合わせることができる。

【0079】

［変形例（１）］
上記実施形態の変形例（１）に係る加工装置１を以下に説明する。図１０は、実施形態の変形例（１）に係る加工装置１の構成例を模式的に示す斜視図である。なお、以下の各実施形態において、同一の部位には同一の符号を付することにより重複する説明を省略する。なお、図１０に示す一例では、説明を簡単化するために、加工装置１は、上述した本体２を省略している。

【0080】

図１０に示すように、実施形態の変形例（１）に係る加工装置１は、被加工物１００にレーザー光線を照射するレーザー加工装置である。加工装置１は、基本的な構成として、チャックテーブル１０と、加工ユニット２０と、タッチパネル３０と、制御ユニット４０と、を備える。加工装置１は、撮像ユニット１２と、駆動手段１４と、Ｚ軸移動手段１５と、をさらに備える。加工ユニット２０は、上記の切削ブレードに代わり、レーザー照射ユニット５を有する。

【0081】

レーザー照射ユニット５は、例えば、発振器、強度調整部（アッテネータ）、偏光方向設定部、ミラー素子、集光レンズ等を備える。レーザー照射ユニット５は、制御ユニット４０によって制御される。

【0082】

加工装置１は、分割予定ラインであるストリートで区画された被加工物１００を、ストリートに沿って加工する。加工装置１は、例えば、被加工物１００に対して透過性を有する波長のレーザー光線を照射し、被加工物１００の内部にストリートに沿って改質層（変質領域）を連続的に形成する。さらに、加工装置１は、この改質層が形成されることによって強度が低下したストリートに沿って外力を加えることにより、被加工物１００を分割する機能を有しても良い。また、加工装置１は、例えば、被加工物１００に対して吸収性を有する波長のレーザー光線を照射し、被加工物１００の表面に、ストリートに沿って切削溝を形成する。切削溝は被加工物１００をハーフカットする深さでもよいし、フルカットする深さがあってもよい。

【0083】

以上、本実施形態の変形例（１）に係る加工装置１の構成例について説明した。なお、図１０を用いて説明した上記の構成はあくまで一例であり、本実施形態の変形例（１）に係る加工装置１の構成は係る例に限定されない。本実施形態の変形例（１）に係る加工装置１の機能構成は、仕様や運用に応じて柔軟に変形可能である。

【0084】

図１０に示す加工装置１は、上述した入力キー部６００をタッチパネル３０に表示させる。例えば、オペレータは、タッチパネル３０に対し、指が「８」の数字キー６１０の位置に接触している状態を、所定時間以上にわたって継続している。制御ユニット４０は、入力部３２を介して、「８」の数字キー６１０に対するロングタッチ操作を検出すると、複数の桁違い数字キー６３０を表示するように、タッチパネル３０を制御する。

【0085】

複数の桁違い数字キー６３０は、例えば、「８」の数字キー６１０の桁が異なるキーとなっている。複数の桁違い数字キー６３０は、例えば、「０．８」、「０．０８」、「０．００８」及び「０．０００８」の小数点以下の桁違いの４つのキーと、「８０」、「８００」、「８０００」及び「８００００」の整数の桁違いの４つのキーと、を含む。

【0086】

加工装置１は、「８」の数字キー６１０から「８００」の桁違い数字キー６３０へのフリック操作を検出すると、「８００」の桁違い数字キー６３０が示す数値を入力欄５０１に入力し、デバイスデータ５００の表示を更新する。これにより、加工装置１は、被加工物１００の厚さの項目におけるテープに対応した入力欄５０１に「８００」の数値を入力したデバイスデータ５００をオペレータに表示する。

【0087】

このように、変形例（１）に係る加工装置１は、上述した実施形態と同様に、入力欄５０１に対するオペレータの入力操作を、数字キー６１０を複数回操作させる必要がないので、誤入力の防止に貢献することができる。その結果、加工装置１は、入力する桁数が多い場合にも、数字キー６１０を複数回操作するよりも、操作回数を削減することができるので、誤入力を抑制しかつ操作性を向上させることができる。

【0088】

［変形例（２）］
上記実施形態の変形例（２）に係る加工装置１を以下に説明する。図１１は、実施形態の変形例（２）に係る加工装置１の構成例を模式的に示す斜視図である。なお、以下の各実施形態において、同一の部位には同一の符号を付することにより重複する説明を省略する。なお、図１１に示す一例では、説明を簡単化するために、加工装置１は、上述した本体２を省略している。

【0089】

図１１に示すように、実施形態の変形例（２）に係る加工装置１は、カセット９１，９２に収容された被加工物１００を研削する研削装置である。加工装置１は、基本的な構成として、チャックテーブル１０と、加工ユニット２０と、タッチパネル３０と、制御ユニット４０と、を備える。加工ユニット２０は、上記の切削ブレード、レーザー照射ユニット等に代わり、研削ユニットを有する。

【0090】

加工ユニット２０は、例えば、環状に配された研削砥石２１を有する研削ホイール２５と、スピンドル２３と、サーボモータ２４と、を備える。研削ホイール２５は、スピンドル２３の下端に装着されており、スピンドル２３の回転に伴い回転する。スピンドル２３は、研削ホイール２５を鉛直方向と平行なＺ軸方向に概ね平行な不図示の回転軸回りに回転可能に支持する。サーボモータ２４は、スピンドル２３に回転動力を供給する回転駆動源として機能する。

【0091】

加工装置１は、研削砥石２１が環状に配置された研削ホイール２５を回転させながら、チャックテーブル１０に保持された半導体ウエーハ等の円板状の被加工物１００に、送り機構により押圧することによって、被加工物１００を研削する。

【0092】

以上、本実施形態の変形例（２）に係る加工装置１の構成例について説明した。なお、図１１を用いて説明した上記の構成はあくまで一例であり、本実施形態の変形例（２）に係る加工装置１の構成は係る例に限定されない。本実施形態の変形例（２）に係る加工装置１の機能構成は、仕様や運用に応じて柔軟に変形可能である。

【0093】

図１１に示す加工装置１は、上述した入力キー部６００をタッチパネル３０に表示させる。例えば、オペレータは、タッチパネル３０に対し、指が「１」の数字キー６１０の位置に接触している状態を、所定時間以上にわたって継続している。制御ユニット４０は、入力部３２を介して、「１」の数字キー６１０に対するロングタッチ操作を検出すると、複数の桁違い数字キー６３０を表示するように、タッチパネル３０を制御する。

【0094】

複数の桁違い数字キー６３０は、例えば、「１」の数字キー６１０の桁が異なるキーとなっている。複数の桁違い数字キー６３０は、例えば、「０．１」、「０．０１」、「０．００１」及び「０．０００１」の小数点以下の桁違いの４つのキーと、「１０」、「１００」、「１０００」及び「１００００」の整数の桁違いの４つのキーと、を含む。

【0095】

加工装置１は、「１」の数字キー６１０から「１００００」の桁違い数字キー６３０へのフリック操作を検出すると、「１００００」の桁違い数字キー６３０が示す数値を入力欄５０１に入力し、デバイスデータ５００の表示を更新する。これにより、加工装置１は、被加工物１００の厚さの項目におけるテープに対応した入力欄５０１に「１００００」の数値を入力したデバイスデータ５００をオペレータに表示する。

【0096】

このように、変形例（２）に係る加工装置１は、上述した実施形態と同様に、入力欄５０１に対するオペレータの入力操作を、数字キー６１０を複数回操作させる必要がないので、誤入力の防止に貢献することができる。その結果、加工装置１は、入力する桁数が多い場合にも、数字キー６１０を複数回操作するよりも、操作回数を削減することができるので、誤入力を抑制しかつ操作性を向上させることができる。

【0097】

なお、実施形態の変形例（１）及び変形例（２）は、上述した実施形態の加工装置１の技術思想を適用することができる。

【0098】

上述した実施形態、変形例（１）及び変形例（２）では、オペレータが数字キー６１０をロングタッチした場合に、加工装置１は、桁違い数字キー６３０を該数字キー６１０の周囲に表示する場合について説明したが、これに限定されない。例えば、加工装置１は、オペレータが数字キー６１０をタッチした場合に、桁違い数字キー６３０を該数字キー６１０の周囲に表示するように構成してもよい。この場合、加工装置１は、オペレータが数字キー６１０の上で指、接触物等を離した場合、該数字キー６１０が示す数値を入力欄５０１に入力する。また、加工装置１は、オペレータが指、接触物等をタッチパネル３０にタッチしたまま桁違い数字キー６３０上に動かすフリック操作を行い、桁違い数字キー６３０の上で接触を解除した場合、該桁違い数字キー６３０が示す桁違いの数値を入力欄５０１に入力する。

【符号の説明】

【0099】

１ 加工装置
１０ チャックテーブル
１２ 撮像ユニット
２０ 加工ユニット
３０ タッチパネル（オペレーションパネル）
３１ 表示部
３２ 入力部
４０ 制御ユニット
４１ 表示制御部
４２ 範囲設定部
５０ ストレージ
１００ 被加工物
５００ デバイスデータ
５０１ 入力欄
５１０ 桁データ
５１１ 桁情報

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】