特許 7550633 ダイシング装置、及びダイシング装置の検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-05

(45)【発行日】2024-09-13

(54)【発明の名称】ダイシング装置、及びダイシング装置の検査方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20240906BHJP

   B24B 27/06 20060101ALI20240906BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20240906BHJP

   B24B 49/10 20060101ALI20240906BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 F

H01L21/78 B

B24B27/06 M

B24B41/06 L

B24B49/10

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2020211661

(22)【出願日】2020-12-21

(65)【公開番号】P2022098244

(43)【公開日】2022-07-01

【審査請求日】2023-10-30

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】福岡 武臣

【審査官】小山 和俊

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２０－１２４７７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－１０２８５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－２４３３８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１８８４８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１０１９０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－６３８１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１３４７１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１１５９６２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｂ２４Ｂ ２７／０６

Ｂ２４Ｂ ４１／０６

Ｂ２４Ｂ ４９／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ダイシング装置であって、
被加工物を保持する保持テーブルを有した保持テーブル機構と、
該保持テーブルで保持された被加工物をダイシングするダイシング機構と、
該保持テーブル機構を該ダイシング機構に対してＸ軸方向に移動させる加工送りユニットと、
該保持テーブル機構を該ダイシング機構に対して該Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に相対的に移動させる割り出し送りユニットと、
少なくとも該ダイシング機構と該加工送りユニットと該割り出し送りユニットとを制御するコントローラと、を備え、
該保持テーブル機構は、該Ｙ軸方向の加速度を検出するＹ軸加速度検出器と、該Ｘ軸方向と該Ｙ軸方向とにそれぞれ直交するＺ軸方向の加速度を検知するＺ軸加速度検出器と、を有し、
該コントローラは、
該保持テーブル機構を該Ｘ軸方向に所定距離移動させた間に該Ｙ軸加速度検出器で検出された該Ｙ軸方向の加速度を２回積分することで、該保持テーブル機構を該Ｘ軸方向に該所定距離移動させた間における該保持テーブル機構の該Ｙ軸方向の振れ量を検出する保持テーブル機構ヨーイング算出部と、
該保持テーブル機構を該Ｘ軸方向に所定距離移動させた間に該Ｚ軸加速度検出器で検出された該Ｚ軸方向の加速度を２回積分することで、該保持テーブル機構を該Ｘ軸方向に該所定距離移動させた間における該保持テーブル機構の該Ｚ軸方向の振れ量を検出する保持テーブル機構ピッチング算出部と、を有する、ダイシング装置。

【請求項2】

該割り出し送りユニットは、該ダイシング機構を該保持テーブル機構に対して該Ｙ軸方向に移動させ、
該ダイシング機構は、先端に該Ｘ軸方向の加速度を検出するダイシング機構Ｘ軸加速度検出器と、該Ｘ軸方向と該Ｙ軸方向とにそれぞれ直交するＺ軸方向の加速度を検知するダイシング機構Ｚ軸加速度検出器と、を有し、
該コントローラは、
該ダイシング機構を該Ｙ軸方向に所定距離移動させた間に該ダイシング機構Ｘ軸加速度検出器で検出された該Ｘ軸方向の加速度を２回積分することで、該ダイシング機構を該Ｙ軸方向に該所定距離移動させた間における該ダイシング機構の該Ｘ軸方向の振れ量を検出するダイシング機構ヨーイング算出部と、
該ダイシング機構を該Ｙ軸方向に所定距離移動させた間に該ダイシング機構Ｚ軸加速度検出器で検出された該Ｚ軸方向の加速度を２回積分することで、該ダイシング機構を該Ｙ軸方向に該所定距離移動させた間における該ダイシング機構の該Ｚ軸方向の振れ量を検出するダイシング機構ピッチング算出部と、を有する、請求項１に記載のダイシング装置。

【請求項3】

ダイシング装置の検査方法であって、
被加工物を保持する保持テーブルと、水平方向と平行なＹ軸方向の加速度を検出するＹ軸加速度検出器と、該Ｙ軸方向に直交しかつ鉛直方向と平行なＺ軸方向の加速度を検知するＺ軸加速度検出器と、を有し、加工送りユニットにより水平方向と平行でかつ該Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向に移動される保持テーブル機構を、水平方向と平行でかつ該Ｘ軸方向に所定距離移動させた間に該Ｙ軸加速度検出器で検出された該Ｙ軸方向の加速度を２回積分することで、該保持テーブル機構を該Ｘ軸方向に該所定距離移動させた間における該保持テーブル機構の該Ｙ軸方向の振れ量を検出する保持テーブル機構ヨーイング算出ステップと、
該保持テーブル機構を該Ｘ軸方向に所定距離移動させた間に該Ｚ軸加速度検出器で検出された該Ｚ軸方向の加速度を２回積分することで、該保持テーブル機構を該Ｘ軸方向に該所定距離移動させた間における該保持テーブル機構の該Ｚ軸方向の振れ量を検出する保持テーブル機構ピッチング算出ステップと、
を有するダイシング装置の検査方法。

【請求項4】

該保持テーブルで保持された被加工物をダイシングする加工工具と、先端に該Ｘ軸方向の加速度を検出するダイシング機構Ｘ軸加速度検出器と、該Ｘ軸方向と該Ｙ軸方向とにそれぞれ直交するＺ軸方向の加速度を検知するダイシング機構Ｚ軸加速度検出器と、を有し、割り出し送りユニットにより該保持テーブル機構に対して該Ｙ軸方向に相対的に移動されるダイシング機構を、該Ｙ軸方向に所定距離移動させた間に該ダイシング機構Ｘ軸加速度検出器で検出された該Ｘ軸方向の加速度を２回積分することで、該ダイシング機構を該Ｙ軸方向に該所定距離移動させた間における該ダイシング機構の該Ｘ軸方向の振れ量を検出するダイシング機構ヨーイング算出ステップと、
該ダイシング機構を該Ｙ軸方向に所定距離移動させた間に該ダイシング機構Ｚ軸加速度検出器で検出された該Ｚ軸方向の加速度を２回積分することで、該ダイシング機構を該Ｙ軸方向に該所定距離移動させた間における該ダイシング機構の該Ｚ軸方向の振れ量を検出するダイシング機構ピッチング算出ステップと、
を有する請求項３に記載のダイシング装置の検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ダイシング装置、及びダイシング装置の検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ダイシング装置は、工場出荷時、移設時や定期点検時にＸ軸方向とＹ軸方向において、ピッチングとヨーイングがそれぞれ許容値内にあるか否か検査されている。

【0003】

具体的には、保持テーブルをＸ軸方向に所定距離移動させたときのＸ軸ピッチング即ち保持テーブル上面の上下方向であるＺ軸方向の振れ、及びＸ軸ヨーイング即ち保持テーブルのＹ軸方向の振れが、許容範囲内であるか否か検査されている。さらに、ダイシング機構をＹ軸方向に所定距離移動させたときのＹ軸ピッチング即ちダイシング機構のスピンドル先端のＺ軸方向の振れ、及びＹヨーイング即ちスピンドル先端のＸ軸方向の振れが、許容範囲内であるか否か検査されている。

【0004】

前述した検査に際し、保持テーブルの上にストレートエッジを固定し、スピンドルの先端にダイヤルゲージを固定する（例えば、特許文献１参照）。そして、ストレートエッジの上面や側面にダイヤルゲージの測定点を位置づけＸ軸方向やＹ軸方向を所定距離移動させることで前述したピッチングとヨーイングを測定していた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１７－１９９７７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、特許文献１等に記載された方法では、ストレートエッジやダイヤルゲージ等の測定器具をセッティングするのに時間を要しており、検査に手間がかかり、改善が切望されていた。

【0007】

本発明の目的は、検査にかかる手間を抑制することができるダイシング装置及びダイシング装置の検査方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のダイシング装置は、ダイシング装置であって、被加工物を保持する保持テーブルを有した保持テーブル機構と、該保持テーブルで保持された被加工物をダイシングするダイシング機構と、該保持テーブル機構を該ダイシング機構に対してＸ軸方向に移動させる加工送りユニットと、該保持テーブル機構を該ダイシング機構に対して該Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に相対的に移動させる割り出し送りユニットと、少なくとも該ダイシング機構と該加工送りユニットと該割り出し送りユニットとを制御するコントローラと、を備え、該保持テーブル機構は、該Ｙ軸方向の加速度を検出するＹ軸加速度検出器と、該Ｘ軸方向と該Ｙ軸方向とにそれぞれ直交するＺ軸方向の加速度を検知するＺ軸加速度検出器と、を有し、該コントローラは、該保持テーブル機構を該Ｘ軸方向に所定距離移動させた間に該Ｙ軸加速度検出器で検出された該Ｙ軸方向の加速度を２回積分することで、該保持テーブル機構を該Ｘ軸方向に該所定距離移動させた間における該保持テーブル機構の該Ｙ軸方向の振れ量を検出する保持テーブル機構ヨーイング算出部と、該保持テーブル機構を該Ｘ軸方向に所定距離移動させた間に該Ｚ軸加速度検出器で検出された該Ｚ軸方向の加速度を２回積分することで、該保持テーブル機構を該Ｘ軸方向に該所定距離移動させた間における該保持テーブル機構の該Ｚ軸方向の振れ量を検出する保持テーブル機構ピッチング算出部と、を有することを特徴とする。

【0009】

前記ダイシング装置において、該割り出し送りユニットは、該ダイシング機構を該保持テーブル機構に対して該Ｙ軸方向に移動させ、該ダイシング機構は、先端に該Ｘ軸方向の加速度を検出するダイシング機構Ｘ軸加速度検出器と、該Ｘ軸方向と該Ｙ軸方向とにそれぞれ直交するＺ軸方向の加速度を検知するダイシング機構Ｚ軸加速度検出器と、を有し、該コントローラは、該ダイシング機構を該Ｙ軸方向に所定距離移動させた間に該ダイシング機構Ｘ軸加速度検出器で検出された該Ｘ軸方向の加速度を２回積分することで、該ダイシング機構を該Ｙ軸方向に該所定距離移動させた間における該ダイシング機構の該Ｘ軸方向の振れ量を検出するダイシング機構ヨーイング算出部と、該ダイシング機構を該Ｙ軸方向に所定距離移動させた間に該ダイシング機構Ｚ軸加速度検出器で検出された該Ｚ軸方向の加速度を２回積分することで、該ダイシング機構を該Ｙ軸方向に該所定距離移動させた間における該ダイシング機構の該Ｚ軸方向の振れ量を検出するダイシング機構ピッチング算出部と、を有しても良い。

【0010】

本発明のダイシング装置の検査方法は、ダイシング装置の検査方法であって、被加工物を保持する保持テーブルと、水平方向と平行なＹ軸方向の加速度を検出するＹ軸加速度検出器と、該Ｙ軸方向に直交しかつ鉛直方向と平行なＺ軸方向の加速度を検知するＺ軸加速度検出器と、を有し、加工送りユニットにより水平方向と平行でかつ該Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向に移動される保持テーブル機構を、水平方向と平行でかつ該Ｘ軸方向に所定距離移動させた間に該Ｙ軸加速度検出器で検出された該Ｙ軸方向の加速度を２回積分することで、該保持テーブル機構を該Ｘ軸方向に該所定距離移動させた間における該保持テーブル機構の該Ｙ軸方向の振れ量を検出する保持テーブル機構ヨーイング算出ステップと、該保持テーブル機構を該Ｘ軸方向に所定距離移動させた間に該Ｚ軸加速度検出器で検出された該Ｚ軸方向の加速度を２回積分することで、該保持テーブル機構を該Ｘ軸方向に該所定距離移動させた間における該保持テーブル機構の該Ｚ軸方向の振れ量を検出する保持テーブル機構ピッチング算出ステップと、を有することを特徴とする。

【0011】

前記ダイシング装置の検査方法において、該保持テーブルで保持された被加工物をダイシングする加工工具と、先端に該Ｘ軸方向の加速度を検出するダイシング機構Ｘ軸加速度検出器と、該Ｘ軸方向と該Ｙ軸方向とにそれぞれ直交するＺ軸方向の加速度を検知するダイシング機構Ｚ軸加速度検出器と、を有し、割り出し送りユニットにより該保持テーブル機構に対して該Ｙ軸方向に相対的に移動されるダイシング機構を、該Ｙ軸方向に所定距離移動させた間に該ダイシング機構Ｘ軸加速度検出器で検出された該Ｘ軸方向の加速度を２回積分することで、該ダイシング機構を該Ｙ軸方向に該所定距離移動させた間における該ダイシング機構の該Ｘ軸方向の振れ量を検出するダイシング機構ヨーイング算出ステップと、該ダイシング機構を該Ｙ軸方向に所定距離移動させた間に該ダイシング機構Ｚ軸加速度検出器で検出された該Ｚ軸方向の加速度を２回積分することで、該ダイシング機構を該Ｙ軸方向に該所定距離移動させた間における該ダイシング機構の該Ｚ軸方向の振れ量を検出するダイシング機構ピッチング算出ステップと、を有しても良い。

【発明の効果】

【0012】

本発明は、検査にかかる手間を抑制することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１は、実施形態１に係るダイシング装置の概略の構成例を示す斜視図である。

【図2】図２は、図１に示されたダイシング装置の保持テーブル機構を所定距離移動させる状態を模式的に示す斜視図である。

【図3】図３は、図１に示されたダイシング装置のダイシング機構を所定距離移動させる状態を模式的に示す斜視図である。

【図4】図４は、図１に示されたダイシング装置の保持テーブル機構又はダイシング機構を所定距離移動させたときの加速度検出器の検出結果を示す図である。

【図5】図５は、図４に示された加速度検出器の検出結果を時間で積分した結果を示す図である。

【図6】図６は、図４に示された加速度検出器の検出結果を時間で２回積分した結果を示す図である。

【図7】図７は、実施形態１に係るダイシング装置の検査方法の流れを示すフローチャートである。

【図8】図８は、実施形態１の変形例に係るダイシング装置の概略の構成例を示す斜視図である。

【図9】図９は、実施形態２に係るダイシング装置の概略の構成例を示す斜視図である。

【図10】図１０は、実施形態２に係るダイシング装置の検査方法の流れを示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0014】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。

【0015】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るダイシング装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るダイシング装置の概略の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示されたダイシング装置の保持テーブル機構を所定距離移動させる状態を模式的に示す斜視図である。図３は、図１に示されたダイシング装置のダイシング機構を所定距離移動させる状態を模式的に示す斜視図である。図４は、図１に示されたダイシング装置の保持テーブル機構又はダイシング機構を所定距離移動させたときの加速度検出器の検出結果を示す図である。図５は、図４に示された加速度検出器の検出結果を時間で積分した結果を示す図である。図６は、図４に示された加速度検出器の検出結果を時間で２回積分した結果を示す図である。

【0016】

実施形態１に係る図１に示すダイシング装置１は、被加工物２００を切削加工（ダイシングに相当）するダイシング装置である。図１に示すダイシング装置１の加工対象の被加工物２００は、シリコン、ガリウムヒ素、ＳｉＣ（炭化ケイ素）又はサファイア、などを基板とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハなどのウェーハである。被加工物２００は、表面２０１に格子状に複数の分割予定ライン２０２が形成され、複数の分割予定ライン２０２によって区画された各領域にデバイス２０３が形成されている。デバイス２０３は、ＩＣ（Integrated Circuit）、又はＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、又はＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサである。

【0017】

また、本発明では、被加工物２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウェーハでも良く、デバイスチップを樹脂で封止したパッケージ基板、セラミックス板又はガラス基板でも良い。実施形態１において、被加工物２００は、表面２０１の裏側の裏面２０４が外周縁に環状フレーム２０５が装着されたテープ２０６に貼着されて、環状フレーム２０５の開口２０８内にテープ２０６を介して貼着される。実施形態１に係る被加工物２００は、分割予定ライン２０２に沿って、個々のチップ２０７に分割される。なお、チップ２０７は、基板の一部分と、基板上に形成されたデバイス２０３とを含む。

【0018】

実施形態１に係る図１に示されたダイシング装置１は、被加工物２００を保持テーブル１１で保持し分割予定ライン２０２に沿って加工工具である切削ブレード２１で切削加工して、被加工物２００を個々のチップ２０７に分割する切削装置である。ダイシング装置１は、被加工物２００を保持する保持テーブル機構１０と、ダイシング機構２０と、図示しない撮像ユニットと、コントローラ１００とを備える。ダイシング装置１は、図１に示すように、ダイシング機構２０を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。

【0019】

また、ダイシング装置１は、図１に示すように、保持テーブル機構１０とダイシング機構２０とを相対的に移動させる移動ユニット３０を備える。移動ユニット３０は、保持テーブル機構１０を水平方向と平行なＸ軸方向に加工送りする加工送りユニットであるＸ軸移動ユニット３１と、水平方向と平行でかつＸ軸方向と直交する割り出し送り方向であるＹ軸方向にダイシング機構２０を移動させる割り出し送りユニットであるＹ軸移動ユニット３２と、Ｘ軸方向とＹ軸方向とにそれぞれ直交する鉛直方向に平行な切り込み送り方向であるＺ軸方向にダイシング機構２０を移動させるＺ軸移動ユニット３３と、保持テーブル１１をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転する回転移動ユニット３４とを備える。即ち、移動ユニット３０は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に保持テーブル機構１０とダイシング機構２０とを相対的に移動させるものである。

【0020】

Ｘ軸移動ユニット３１は、保持テーブル機構１０を回転移動ユニット３４とともに加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、保持テーブル機構１０をダイシング機構２０に対してＸ軸方向に移動させるものである。Ｘ軸移動ユニット３１は、保持テーブル機構１０に保持された被加工物２００をダイシング機構２０が切削加工する加工領域と、保持テーブル機構１０に被加工物２００を搬入出する搬入出領域との間で、保持テーブル機構１０をＸ軸方向に沿って移動する。

【0021】

Ｙ軸移動ユニット３２は、ダイシング機構２０を保持テーブル機構１０に対して割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、保持テーブル機構１０をダイシング機構２０に対してＹ軸方向に相対的に移動させるものである。Ｚ軸移動ユニット３３は、ダイシング機構２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、保持テーブル機構１０をダイシング機構２０に対してＺ軸方向に相対的に移動させるものである。回転移動ユニット３４は、Ｘ軸移動ユニット３１によりＸ軸方向に移動される移動フレーム３５上に設置され、保持テーブル機構１０のテーブル基台１２をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転させるものである。

【0022】

Ｘ軸移動ユニット３１、Ｙ軸移動ユニット３２及びＺ軸移動ユニット３３は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ３１１，３２１，３３１、ボールねじ３１１，３２１，３３１を軸心回りに回転させる周知のモータ３１２，３２２，３３２及び保持テーブル機構１０又はダイシング機構２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレール３１３，３２３，３３３を備える。

【0023】

保持テーブル機構１０は、被加工物２００を保持面１１１で吸引保持する保持テーブル１１と、保持テーブル機構１０が設置されるテーブル基台１２と、Ｙ軸加速度検出器１３と、Ｚ軸加速度検出器１４とを有する。なお、Ｙ軸加速度検出器１３と、Ｚ軸加速度検出器１４は、実施形態１に係るダイシング装置の検査方法が実施される時のみではなく、被加工物２００に切削加工を施す際にもテーブル基台１２に取り付けられたままとされるものである。

【0024】

保持テーブル１１は、円盤形状であり、被加工物２００を保持する保持面１１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、保持テーブル機構１０の保持テーブル１１は、テーブル基台１２の上面に固定され、Ｘ軸移動ユニット３１により搬入出領域と加工領域とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転移動ユニット３４によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。保持テーブル１１は、保持面１１１が図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源より吸引されることで、保持面１１１に載置された被加工物２００を吸引、保持する。実施形態１では、保持テーブル１１は、テープ２０６を介して被加工物２００を吸引、保持する。

【0025】

テーブル基台１２は、上面に保持テーブル１１を固定するものである。テーブル基台１２は、Ｘ軸移動ユニット３１により回転移動ユニット３４とともにＸ軸方向に移動自在に設けられ、回転移動ユニット３４によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。

【0026】

Ｙ軸加速度検出器１３は、保持テーブル機構１０のＹ軸方向の加速度を検出するものである。Ｚ軸加速度検出器１４は、保持テーブル機構１０のＺ軸方向の加速度を検出するものである。これらの加速度検出器１３，１４は、テーブル基台１２に固定されている。Ｙ軸加速度検出器１３は、保持テーブル１１の保持面１１１の軸心から極力離れた位置に配置されるのが望ましい。保持テーブル１１の保持面１１１の軸心から離れると、Ｙ軸加速度検出器１３が検出する保持テーブル機構１０のＹ軸方向の加速度が大きくなるからである。

【0027】

Ｚ軸加速度検出器１４は、保持テーブル１１の保持面１１１に極力近い位置に配置されるのが望ましい。保持テーブル１１の保持面１１１に近いと、Ｚ軸加速度検出器１４が検出する保持テーブル機構１０のＺ軸方向の加速度が大きくなるからである。加速度検出器１３，１４は、周知の加速度計により構成される。加速度検出器１３，１４は、検出結果を所定時間間隔毎、コントローラ１００に出力する。

【0028】

また、保持テーブル機構１０は、保持テーブル１１の周囲に、図１に示すように、環状フレーム２０５をクランプするクランプ部１５を複数備えている。

【0029】

ダイシング機構２０は、保持テーブル１１で保持された被加工物２００を切削加工する切削ユニットである。ダイシング機構２０は、それぞれ、Ｙ軸移動ユニット３２により保持テーブル機構１０に対して、Ｙ軸方向に相対的に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット３３によりＺ軸方向に相対的に移動自在に設けられている。

【0030】

ダイシング機構２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動ユニット３２及びＺ軸移動ユニット３３などを介して、装置本体２から立設した門型の支持フレーム３に設けられている。ダイシング機構２０は、Ｙ軸移動ユニット３２及びＺ軸移動ユニット３３により、保持テーブル１１の保持面１１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。

【0031】

ダイシング機構２０は、図１に示すように、保持テーブル１１で保持された被加工物２００を切削加工する切削ブレード２１と、Ｙ軸移動ユニット３２及びＺ軸移動ユニット３３によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング２２と、スピンドルハウジング２２に軸心回りに回転可能に設けられかつ図示しないモータにより回転されるとともに先端部に切削ブレード２１が装着されるスピンドル２３と、被加工物２００に切削液を供給する切削液供給ノズル２４とを有する。切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の環状の切削砥石である。ダイシング機構２０の切削ブレード２１及びスピンドル２３の軸心は、Ｙ軸方向と平行である。

【0032】

また、ダイシング機構２０は、図１に示すように、ダイシング機構Ｘ軸加速度検出器２５と、ダイシング機構Ｚ軸加速度検出器２６とを有する。なお、ダイシング機構Ｘ軸加速度検出器２５と、ダイシング機構Ｚ軸加速度検出器２６は、実施形態１に係るダイシング装置の検査方法が実施される時のみではなく、被加工物２００に切削加工を施す際にもダイシング機構２０に取り付けられたままとされるものである。

【0033】

ダイシング機構Ｘ軸加速度検出器２５は、ダイシング機構２０の切削ブレード２１の寄りの先端のＸ軸方向の加速度を検出するものである。ダイシング機構Ｚ軸加速度検出器２６は、ダイシング機構２０の切削ブレード２１の寄りの先端のＺ軸方向の加速度を検出するものである。

【0034】

これらの加速度検出器２５，２６は、一方のダイシング機構２０のスピンドルハウジング２２の切削ブレード２１寄りの先端に固定されている。加速度検出器２５，２６は、周知の加速度計により構成される。加速度検出器２５，２６は、検出結果を所定時間間隔毎、コントローラ１００に出力する。

【0035】

撮像ユニットは、ダイシング機構２０と一体的に移動するように、一方のダイシング機構２０に固定されている。撮像ユニットは、保持テーブル１１に保持された切削前の被加工物２００の分割すべき領域を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニットは、保持テーブル１１に保持された被加工物２００を撮影して、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像をコントローラ１００に出力する。

【0036】

また、ダイシング装置１は、保持テーブル１１のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、ダイシング機構２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、ダイシング機構２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータ３３２のパルスでダイシング機構２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、保持テーブル１１のＸ軸方向、ダイシング機構２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置をコントローラ１００に出力する。なお、実施形態１では、ダイシング装置１の保持テーブル１１及びダイシング機構２０のＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の位置は、予め定められた図示しない原点位置を基準とした位置で定められる。

【0037】

コントローラ１００は、ダイシング装置１の上述した各ユニットをそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作をダイシング装置１に実施させるものである。即ち、コントローラ１００は、少なくともダイシング機構２０とＸ軸移動ユニット３１とＹ軸移動ユニット３２とを制御する。

【0038】

なお、コントローラ１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。コントローラ１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理装置が演算処理を実施して、ダイシング装置１を制御するための制御信号を入出力インターフェース装置を介してダイシング装置１の上述した構成要素に出力する。

【0039】

また、コントローラ１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニットと、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとに接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。

【0040】

なお、前述したダイシング装置１は、Ｘ軸移動ユニット３１がＸ軸方向に保持テーブル機構１０を移動した際にＸ軸移動ユニット３１のボールねじ３１１及びガイドレール３１３の寸法誤差、及びダイシング装置１に作用する外的な振動を原因として、Ｘ軸方向の移動中に保持テーブル機構１０が設計上定められた正規の位置から僅かにＺ軸方向とＹ軸方向とに移動する。ボールねじ３１１が軸心回りに回転されて保持テーブル機構１０がＸ軸方向に移動するために、保持テーブル機構１０は、Ｘ軸方向に移動するのにしたがって、多くの場合、Ｙ軸方向又はＺ軸方向の位置が周期的に変化する正弦波上を移動する。

【0041】

以下、保持テーブル機構１０のＸ軸方向の移動中のＹ軸方向の移動量を保持テーブル機構１０のＹ軸方向の振れ量３０１（図２に示す）と記載する。また、保持テーブル機構１０のＸ軸方向の移動中のＺ軸方向の移動量を保持テーブル機構１０のＺ軸方向の振れ量３０２（図２に示す）と記載する。

【0042】

また、前述したダイシング装置１は、Ｙ軸移動ユニット３２がＹ軸方向にダイシング機構２０を移動した際にＹ軸移動ユニット３２のボールねじ３２１及びガイドレール３２３の寸法誤差、及びダイシング装置１に作用する外的な振動を原因として、Ｙ軸方向の移動中にダイシング機構２０が設計上定められた正規の位置から僅かにＸ軸方向とＺ軸方向とに移動する。ボールねじ３２１が軸心回りに回転されてダイシング機構２０がＹ軸方向に移動するために、ダイシング機構２０は、Ｙ軸方向に移動するのにしたがって、多くの場合、Ｘ軸方向又はＺ軸方向の位置が周期的に変化する正弦波上を移動する。

【0043】

以下、ダイシング機構２０のＹ軸方向の移動中のＸ軸方向の移動量をダイシング機構２０のＸ軸方向の振れ量３０３（図３に示す）と記載する。また、ダイシング機構２０のＹ軸方向の移動中のＺ軸方向の移動量をダイシング機構２０のＺ軸方向の振れ量３０４（図３に示す）と記載する。

【0044】

また、コントローラ１００は、図１に示すように、保持テーブル機構ヨーイング算出部１０１と、保持テーブル機構ピッチング算出部１０２と、ダイシング機構ヨーイング算出部１０３と、ダイシング機構ピッチング算出部１０４と、を有する。

【0045】

保持テーブル機構ヨーイング算出部１０１は、保持テーブル機構１０をＸ軸移動ユニット３１によりＸ軸方向に所定距離４０１（図２に示す）移動させた間にＹ軸加速度検出器１３で所定時間間隔毎に検出されたＹ軸方向の加速度５０１（図４に示す）を時間で積分して、保持テーブル機構１０のＹ軸方向の速度６０１（図５に示す）を検出する。保持テーブル機構ヨーイング算出部１０１は、保持テーブル機構１０のＹ軸方向の速度６０１を時間で積分して、保持テーブル機構１０のＹ軸方向の振れ量３０１（図６に示す）を検出する。このように、保持テーブル機構ヨーイング算出部１０１は、保持テーブル機構１０をＸ軸移動ユニット３１によりＸ軸方向に所定距離４０１移動させた間にＹ軸加速度検出器１３で所定時間間隔毎に検出されたＹ軸方向の加速度５０１を時間で２回積分することで、保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離４０１移動させた間における保持テーブル機構１０のＹ軸方向の振れ量３０１を検出するものである。

【0046】

保持テーブル機構ピッチング算出部１０２は、保持テーブル機構１０をＸ軸移動ユニット３１によりＸ軸方向に所定距離４０１移動させた間にＺ軸加速度検出器１４で所定時間間隔毎に検出されたＺ軸方向の加速度５０２（図４に示す）を時間で積分して、保持テーブル機構１０のＺ軸方向の速度６０２（図５に示す）を検出する。保持テーブル機構ピッチング算出部１０２は、保持テーブル機構１０のＺ軸方向の速度６０２を時間で積分して、保持テーブル機構１０のＺ軸方向の振れ量３０２（図６に示す）を検出する。このように、保持テーブル機構ピッチング算出部１０２は、保持テーブル機構１０をＸ軸移動ユニット３１によりＸ軸方向に所定距離４０１移動させた間にＺ軸加速度検出器１４で所定時間間隔毎に検出されたＺ軸方向の加速度５０２を時間で２回積分することで、保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離４０１移動させた間における保持テーブル機構１０のＺ軸方向の振れ量３０２を検出するものである。

【0047】

ダイシング機構ヨーイング算出部１０３は、ダイシング機構２０をＹ軸移動ユニット３２によりＹ軸方向に所定距離４０２（図３に示す）移動させた間にダイシング機構Ｘ軸加速度検出器２５で所定時間間隔毎に検出されたＸ軸方向の加速度５０３（図４に示す）を時間で積分して、ダイシング機構２０のＸ軸方向の速度６０３（図５に示す）を検出する。ダイシング機構ヨーイング算出部１０３は、ダイシング機構２０のＸ軸方向の速度６０３を時間で積分して、ダイシング機構２０のＸ軸方向の振れ量３０３（図６に示す）を検出する。このように、ダイシング機構ヨーイング算出部１０３は、ダイシング機構２０をＹ軸移動ユニット３２によりＹ軸方向に所定距離４０２移動させた間にダイシング機構Ｘ軸加速度検出器２５で所定時間間隔毎に検出されたＸ軸方向の加速度５０３を時間で２回積分することで、ダイシング機構２０をＹ軸方向に所定距離４０２移動させた間におけるダイシング機構２０のＸ軸方向の振れ量３０３を検出するものである。

【0048】

ダイシング機構ピッチング算出部１０４は、ダイシング機構２０をＹ軸移動ユニット３２によりＹ軸方向に所定距離４０２移動させた間にダイシング機構Ｚ軸加速度検出器２６で所定時間間隔毎に検出されたＺ軸方向の加速度５０４（図４に示す）を時間で積分して、ダイシング機構２０のＺ軸方向の速度６０４（図５に示す）を検出する。ダイシング機構ピッチング算出部１０４は、ダイシング機構２０のＺ軸方向の速度６０４を時間で積分して、ダイシング機構２０のＺ軸方向の振れ量３０４（図６に示す）を検出する。このように、ダイシング機構ピッチング算出部１０４は、ダイシング機構２０をＹ軸移動ユニット３２によりＹ軸方向に所定距離４０２移動させた間にダイシング機構Ｚ軸加速度検出器２６で所定時間間隔毎に検出されたＺ軸方向の加速度５０４を時間で２回積分することで、ダイシング機構２０をＹ軸方向に所定距離４０２移動させた間におけるダイシング機構２０のＺ軸方向の振れ量３０４を検出するものである。

【0049】

なお、図４、図５及び図６の横軸は、保持テーブル機構１０又はダイシング機構２０のＸ軸方向又はＹ軸方向に所定距離４０１，４０２の移動を開始してからの経過時間を示す。図４の縦軸は、各加速度検出器１３，１４，２５，２６が検出した各加速度５０１，５０２，５０３，５０４を示す。図５の縦軸は、図４に示された各加速度５０１，５０２，５０３，５０４を時間で積分した速度６０１，６０２，６０３，６０４を示す。図６の縦軸は、図４に示された各加速度５０１，５０２，５０３，５０４を時間で２回積分した振れ量３０１，３０２，３０３，３０４を示す。

【0050】

また、保持テーブル機構ヨーイング算出部１０１と、保持テーブル機構ピッチング算出部１０２と、ダイシング機構ヨーイング算出部１０３と、ダイシング機構ピッチング算出部１０４の機能は、それぞれ、演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施することにより実現される。

【0051】

次に、実施形態１に係るダイシング装置の検査方法を説明する。図７は、実施形態１に係るダイシング装置の検査方法の流れを示すフローチャートである。実施形態１に係るダイシング装置の検査方法は、前述した構成のダイシング装置１の検査方法であって、例えば、ダイシング装置１を製造する工場からの出荷時、ダイシング装置１の移設時、定期点検時に実施される。

【0052】

実施形態１に係るダイシング装置の検査方法は、オペレータにより登録された検査内容情報をコントローラ１００が受け付けて登録し、オペレータからの検査開始指示をコントローラ１００が受け付けると、ダイシング装置１により開始される。なお、検査内容情報は、保持テーブル機構１０をＸ軸方向に移動する所定距離４０１、及びダイシング機構２０をＹ軸方向に移動する所定距離４０２を含む。

【0053】

ダイシング装置の検査方法は、図７に示すように、保持テーブル機構検査ステップ１００１と、ダイシング機構検査ステップ１０１１とを有する。

【0054】

保持テーブル機構検査ステップ１００１は、保持テーブル機構１０をＸ軸移動ユニット３１によりＸ軸方向に図２に示す所定距離４０１移動させて、前述した振れ量３０１，３０２を検出するステップである。保持テーブル機構検査ステップ１００１は、図７に示すように、保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ１００２と、保持テーブル機構ピッチング算出ステップ１００３と、を有する。

【0055】

保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ１００２は、保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離４０１移動させた間にＹ軸加速度検出器１３で検出されたＹ軸方向の加速度５０１を２回積分することで、保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離４０１移動させた間における保持テーブル機構１０のＹ軸方向の振れ量３０１を検出するステップである。

【0056】

保持テーブル機構ピッチング算出ステップ１００３は、保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離４０１移動させた間にＺ軸加速度検出器１４で検出されたＺ軸方向の加速度５０２を２回積分することで、保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離４０１移動させた間における保持テーブル機構１０のＺ軸方向の振れ量３０２を検出するステップである。

【0057】

保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ１００２及び保持テーブル機構ピッチング算出ステップ１００３では、コントローラ１００が、Ｘ軸移動ユニット３１を制御して、保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離４０１移動させる。

【0058】

保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ１００２では、保持テーブル機構ヨーイング算出部１０１が、保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離４０１移動させた間にＹ軸加速度検出器１３で所定時間間隔毎に検出されたＹ軸方向の加速度５０１を時間で２回積分して、保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離４０１移動させた間における保持テーブル機構１０のＹ軸方向の振れ量３０１を検出する。保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ１００２では、保持テーブル機構ヨーイング算出部１０１が、検出した保持テーブル機構１０のＹ軸方向の振れ量３０１を記憶装置に記憶する。

【0059】

保持テーブル機構ピッチング算出ステップ１００３では、保持テーブル機構ピッチング算出部１０２が、保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離４０１移動させた間にＺ軸加速度検出器１４で所定時間間隔毎に検出されたＺ軸方向の加速度５０２を時間で２回積分して、保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離４０１移動させた間における保持テーブル機構１０のＺ軸方向の振れ量３０２を検出する。保持テーブル機構ピッチング算出ステップ１００３では、保持テーブル機構ピッチング算出部１０２が、検出した保持テーブル機構１０のＺ軸方向の振れ量３０２を記憶装置に記憶する。

【0060】

ダイシング機構検査ステップ１０１１は、ダイシング機構２０をＹ軸移動ユニット３２によりＹ軸方向に図３に示す所定距離４０２移動させて、前述した振れ量３０３，３０４を検出するステップである。ダイシング機構検査ステップ１０１１は、図７に示すように、ダイシング機構ヨーイング算出ステップ１０１２と、ダイシング機構ピッチング算出ステップ１０１３と、を有する。

【0061】

ダイシング機構ヨーイング算出ステップ１０１２は、ダイシング機構２０をＹ軸方向に所定距離４０２移動させた間にダイシング機構Ｘ軸加速度検出器２５で検出されたＸ軸方向の加速度５０３を２回積分することで、ダイシング機構２０をＹ軸方向に所定距離４０２移動させた間におけるダイシング機構２０のＸ軸方向の振れ量３０３を検出するステップである。

【0062】

ダイシング機構ピッチング算出ステップ１０１３は、ダイシング機構２０をＹ軸方向に所定距離４０２移動させた間にダイシング機構Ｚ軸加速度検出器２６で検出されたＺ軸方向の加速度５０４を２回積分することで、ダイシング機構２０をＹ軸方向に所定距離４００２移動させた間におけるダイシング機構２０のＺ軸方向の振れ量３０４を検出するステップである。

【0063】

ダイシング機構ヨーイング算出ステップ１０１２及びダイシング機構ピッチング算出ステップ１０１３では、コントローラ１００が、Ｙ軸移動ユニット３２を制御して、ダイシング機構２０をＹ軸方向に所定距離４０２移動させる。

【0064】

ダイシング機構ヨーイング算出ステップ１０１２では、ダイシング機構ヨーイング算出部１０３が、ダイシング機構２０をＹ軸方向に所定距離４０２移動させた間にダイシング機構Ｘ軸加速度検出器２５で所定時間間隔毎に検出されたＸ軸方向の加速度５０３を時間で２回積分して、ダイシング機構２０をＹ軸方向に所定距離４０２移動させた間におけるダイシング機構２０のＸ軸方向の振れ量３０３を検出する。ダイシング機構ヨーイング算出ステップ１０１２では、ダイシング機構ヨーイング算出部１０３が、検出したダイシング機構２０のＸ軸方向の振れ量３０３を記憶装置に記憶する。

【0065】

ダイシング機構ピッチング算出ステップ１０１３では、ダイシング機構ピッチング算出部１０４が、ダイシング機構２０をＹ軸方向に所定距離４０２移動させた間にダイシング機構Ｚ軸加速度検出器２６で所定時間間隔毎に検出されたＺ軸方向の加速度５０４を時間で２回積分して、ダイシング機構２０をＹ軸方向に所定距離４０２移動させた間におけるダイシング機構２０のＺ軸方向の振れ量３０４を検出する。ダイシング機構ピッチング算出ステップ１０１３では、ダイシング機構ピッチング算出部１０４が、検出したダイシング機構２０のＺ軸方向の振れ量３０４を記憶装置に記憶する。

【0066】

ダイシング装置１のコントローラ１００は、保持テーブル機構検査ステップ１００１と、ダイシング機構検査ステップ１０１１とを実施すると、ダイシング装置の検査方法を終了する。なお、オペレータなどが検出した振れ量３０１，３０２，３０３，３０４がそれぞれ許容値内になるか否か（即ち、予め定められた許容値以下であるか否か）を判定して、ダイシング装置１の良否を判定する。判定の際には、オペレータは、例えば、振れ量３０１，３０２，３０３，３０４の全てが許容値以下であると判定すると、ダイシング装置１が良品であると判定し、振れ量３０１，３０２，３０３，３０４の少なくとも一つが許容値を超えると判定すると、ダイシング装置１が不良であると判定する。

【0067】

以上説明したように、実施形態１に係るダイシング装置１は、保持テーブル機構１０がＹ軸加速度検出器１３とＺ軸加速度検出器１４とを有する。そして、コントローラ１００が、各加速度検出器１３，１４が検出した加速度５０１，５０２を時間で２回積分して保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離４０１移動させた間における保持テーブル機構１０のＹ軸方向の振れ量３０１とＺ軸方向の振れ量３０２を検出する。このために、ダイシング装置１は、保持テーブル機構１０の振れ量３０１，３０２を検出するために、測定器具を保持テーブル機構１０やダイシング機構２０に取り付けることが不要となる。その結果、ダイシング装置１は、検査にかかる手間を抑制することができるという効果を奏する。

【0068】

また、ダイシング装置１は、ダイシング機構２０がダイシング機構Ｘ軸加速度検出器２５とダイシング機構Ｚ軸加速度検出器２６とを有する。そして、コントローラ１００が、各加速度検出器２５，２６が検出した加速度５０３，５０４を時間で２回積分してダイシング機構２０をＹ軸方向に所定距離４０２移動させた間におけるダイシング機構２０のＸ軸方向の振れ量３０３とＺ軸方向の振れ量３０４を検出する。その結果、ダイシング装置１は、ダイシング機構２０の振れ量３０３，３０４を検出するための測定器具が不要となるという効果を奏する。

【0069】

また、実施形態１に係るダイシング装置の検査方法は、前述した構成のダイシング装置１により実施されるので、検査の際に測定器具が不要となり、検査にかかる手間を抑制することができるという効果を奏する。

【0070】

〔変形例〕
本発明の実施形態１の変形例に係るダイシング装置を図面に基づいて説明する。図８は、実施形態１の変形例に係るダイシング装置の概略の構成例を示す斜視図である。なお、図１は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0071】

変形例に係るダイシング装置１－１は、図８に示すように、一方のダイシング機構２０のスピンドルハウジング２２の切削ブレード２１寄りの先端に固定されたダイシング機構Ｙ軸加速度検出器２７を更に備え、コントローラ１００が更にＺ軸位置精度算出部１０５と、Ｙ軸位置精度算出部１０６とを備えること以外、実施形態１と同じである。

【0072】

ダイシング機構Ｙ軸加速度検出器２７は、ダイシング機構２０の切削ブレード２１の寄りの先端のＺ軸方向の加速度を検出するものである。ダイシング機構Ｙ軸加速度検出器２７は、検出結果を所定時間間隔毎、コントローラ１００に出力する。

【0073】

Ｚ軸位置精度算出部１０５は、Ｚ軸移動ユニット３３によりダイシング機構２０を複数の所定回数、Ｚ軸方向の所定位置に位置づけ、ダイシング機構２０を複数の所定回数、Ｚ軸方向の所定位置に位置づけた際それぞれのダイシング機構Ｚ軸加速度検出器２６が検出した加速度を２回積分してダイシング機構２０のＺ軸方向の位置を複数検出し、複数検出したダイシング機構２０のＺ軸方向の位置のばらつきを算出して、記憶装置に記憶するものである。

【0074】

Ｙ軸位置精度算出部１０６は、Ｙ軸移動ユニット３２によりダイシング機構２０を複数の所定回数、Ｙ軸方向の所定位置に位置づけ、ダイシング機構２０を複数の所定回数、Ｚ軸方向の所定位置に位置づけた際それぞれのダイシング機構Ｙ軸加速度検出器２７が検出した加速度を２回積分してダイシング機構２０のＹ軸方向の位置を複数検出し、複数検出したダイシング機構２０のＹ軸方向の位置のばらつきを算出して、記憶装置に記憶するものである。

【0075】

変形例に係るダイシング装置１－１は、加速度検出器１３，１４，２５，２６，２７を有しているので、実施形態１と同様に、検査の際に、測定器具が不要となるので、検査にかかる手間を抑制することができるという効果を奏する。

【0076】

また、変形例に係るダイシング装置１－１は、コントローラ１００がＺ軸位置精度算出部１０５とＹ軸位置精度算出部１０６とを備えているので、ダイシング機構２０のＹ軸方向及びＺ軸方向の位置のばらつきを把握することができる。

【0077】

なお、保持テーブル機構ヨーイング算出部１０１と、Ｚ軸位置精度算出部１０５と、Ｙ軸位置精度算出部１０６の機能は、それぞれ、演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施することにより実現される。

【0078】

〔実施形態２〕
実施形態２に係るダイシング装置を図面に基づいて説明する。図９は、実施形態２に係るダイシング装置の概略の構成例を示す斜視図である。なお、図９は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0079】

実施形態２に係るダイシング装置１－２は、被加工物２００にレーザービームを照射して、被加工物２００をレーザー加工（ダイシングに相当）するレーザー加工装置である。

【0080】

実施形態２に係るダイシング装置１－２は、被加工物２００を保持する保持テーブル１１を有した保持テーブル機構１０と、保持テーブル１１で保持された被加工物２００をレーザー加工するレーザービーム照射ユニット２０－２（ダイシング機構に相当する）と、保持テーブル機構１０とレーザービーム照射ユニット２０－２とを相対的に移動させる移動ユニット３０－２と、少なくともレーザービーム照射ユニット２０－２と移動ユニット３０－２とを制御するコントローラ１００とを備える。

【0081】

保持テーブル機構１０は、Ｙ軸加速度検出器１３とＺ軸加速度検出器１４とに加え、テーブル基台１２に固定されたＸ軸加速度検出器１６を備えている。なお、Ｘ軸加速度検出器１６は、実施形態２に係るダイシング装置の検査方法が実施される時のみではなく、被加工物２００にレーザー加工を施す際にもテーブル基台１２に取り付けられたままとされるものである。

【0082】

Ｘ軸加速度検出器１６は、テーブル基台１２に固定され、保持テーブル機構１０のＸ軸方向の加速度を検出するものである。Ｘ軸加速度検出器１６は、保持テーブル１１の保持面１１１の軸心から極力離れた位置に配置されるのが望ましい。保持テーブル１１の保持面１１１の軸心から離れると、Ｘ軸加速度検出器１６が検出する保持テーブル機構１０のＸ軸方向の加速度が大きくなるからである。Ｘ軸加速度検出器１６は、周知の加速度計により構成される、検出結果を所定時間間隔毎、コントローラ１００に出力する。

【0083】

ダイシング装置１－２の移動ユニット３０－２は、保持テーブル機構１０をレーザービーム照射ユニット２０－２に対してＸ軸方向に移動させる加工送りユニットであるＸ軸移動ユニット３１－２と、保持テーブル機構１０をレーザービーム照射ユニット２０－２に対してＹ軸方向に相対的に移動させる割り出し送りユニットであるＹ軸移動ユニット３２－２と、保持テーブル機構１０をレーザービーム照射ユニット２０－２に対して切り込み送り方向であるＺ軸方向に相対的に移動させるＺ軸移動ユニット３３－２とを備える。即ち、移動ユニット３０－２は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に保持テーブル機構１０とレーザービーム照射ユニット２０－２とを相対的に移動させるものである。

【0084】

Ｙ軸移動ユニット３２－２は、装置本体２上に設置され、保持テーブル機構１０を支持した支持フレーム３６及びＸ軸移動ユニット３１－２を支持した第２支持フレーム３７を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、保持テーブル機構１０をレーザービーム照射ユニット２０－２に対してＹ軸方向に移動させるものである。Ｘ軸移動ユニット３１－２は、第２支持フレーム３７上に設置され、保持テーブル機構１０を支持した支持フレーム３６を加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、保持テーブル機構１０をレーザービーム照射ユニット２０－２に対してＸ軸方向に移動させるものである。

【0085】

Ｚ軸移動ユニット３３－２は、装置本体２のＹ軸方向の一端から立設した立設壁５に設置され、レーザービーム照射ユニット２０－２をＺ軸方向に移動させることで、保持テーブル機構１０をダイシング機構２０に対してＺ軸方向に相対的に移動させるものである。

【0086】

Ｘ軸移動ユニット３１－２、Ｙ軸移動ユニット３２－２及びＺ軸移動ユニット３３－２は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ３１１，３２１，３３１、ボールねじ３１１，３２１，３３１を軸心回りに回転させる周知のモータ３１２，３２２，３３２及び保持テーブル機構１０又はダイシング機構２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレール３１３，３２３，３３３を備える。

【0087】

また、ダイシング装置１－２は、保持テーブル機構１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ方向位置検出ユニットと、保持テーブル機構１０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、レーザービーム照射ユニット２０－２のＺ軸方向の位置を検出するための図示しないＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。これらの位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、又はＺ軸方向と平行に設置されたリニアスケールと、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、又はＺ軸方向に移動する支持フレーム３６，３７又はレーザービーム照射ユニット２０－２に設置されたリニアスケールを読み取る読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット、及びＺ軸方向位置検出ユニットは、保持テーブル機構１０又はレーザービーム照射ユニット２０－２のＸ軸方向、Ｙ軸方向、又はＺ軸方向の位置をコントローラ１００に出力する。

【0088】

レーザービーム照射ユニット２０－２は、被加工物２００の基板に対して吸収性又は透過性を有する波長のレーザービームを発振するレーザービーム発振器と、レーザービーム発振器が発振したレーザービームを被加工物２００に集光するとともにＺ軸移動ユニット３３によりＺ軸方向に移動する集光レンズ２８とを備えている。また、実施形態２において、レーザービーム照射ユニット２０－２は、ダイシング機構Ｚ軸加速度検出器２９を備えている。

【0089】

ダイシング機構Ｚ軸加速度検出器２９は、集光レンズ２８とともにＺ軸移動ユニット３３によりＺ軸方向に移動するとともに、集光レンズ２８のＺ軸方向の加速度を検出するものである。

【0090】

コントローラ１００は、ダイシング装置１－２の上述した構成要素をそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作をダイシング装置１－２に実施させるものである。

【0091】

なお、前述したダイシング装置１－２は、Ｙ軸移動ユニット３２－２がＹ軸方向に保持テーブル機構１０等を支持した第２支持フレーム３７を移動した際にＹ軸移動ユニット３２－２のボールねじ３２１及びガイドレール３２３の寸法誤差、及びダイシング装置１－２に作用する外的な振動を原因として、Ｙ軸方向の移動中に保持テーブル機構１０が設計上定められた正規の位置から僅かにＺ軸方向とＸ軸方向とに移動する。ボールねじ３２１が軸心回りに回転されて保持テーブル機構１０がＹ軸方向に移動するために、保持テーブル機構１０は、Ｙ軸方向に移動するのにしたがって、多くの場合、Ｘ軸方向又はＺ軸方向の位置が周期的に変化する正弦波上を移動する。

【0092】

また、前述したダイシング装置１－２は、Ｘ軸移動ユニット３１－２がＸ軸方向に保持テーブル機構１０を支持した支持フレーム３６を移動した際にＸ軸移動ユニット３１－２のボールねじ３１１及びガイドレール３１３の寸法誤差、及びダイシング装置１－２に作用する外的な振動を原因として、Ｘ軸方向の移動中に保持テーブル機構１０が設計上定められた正規の位置から僅かにＹ軸方向とＺ軸方向とに移動する。ボールねじ３１１が軸心回りに回転されて保持テーブル機構１０がＸ軸方向に移動するために、保持テーブル機構１０は、Ｘ軸方向に移動するのにしたがって、多くの場合、Ｙ軸方向又はＺ軸方向の位置が周期的に変化する正弦波上を移動する。

【0093】

以下、保持テーブル機構１０の移動中のＸ軸方向の移動量を保持テーブル機構１０のＸ軸方向の振れ量と記載する。また、保持テーブル機構１０の移動中のＹ軸方向の移動量を保持テーブル機構１０のＹ軸方向の振れ量と記載する。また、保持テーブル機構１０の移動中のＺ軸方向の移動量を保持テーブル機構１０のＺ軸方向の振れ量と記載する。

【0094】

また、実施形態２において、コントローラ１００は、図９に示すように、保持テーブル機構Ｘ軸ヨーイング算出部１０１－１と、保持テーブル機構Ｙ軸ヨーイング算出部１０１－２と、保持テーブル機構ピッチング算出部１０２－２と、レンズ位置精度算出部１０７と、を有する。

【0095】

保持テーブル機構Ｘ軸ヨーイング算出部１０１－１は、Ｘ軸移動ユニット３１－２を停止した状態で保持テーブル機構１０をＹ軸移動ユニット３２－２によりＹ軸方向に所定距離移動させた間にＸ軸加速度検出器１６で所定時間間隔毎に検出されたＸ軸方向の加速度を時間で２回積分して、保持テーブル機構１０のＸ軸方向の振れ量を検出するものである。

【0096】

保持テーブル機構Ｙ軸ヨーイング算出部１０１－２は、Ｙ軸移動ユニット３２－２を停止した状態で保持テーブル機構１０をＸ軸移動ユニット３１－２によりＸ軸方向に所定距離移動させた間にＹ軸加速度検出器１３で所定時間間隔毎に検出されたＹ軸方向の加速度を時間で２回積分して、保持テーブル機構１０のＹ軸方向の振れ量を検出して、記憶装置に記憶するものである。

【0097】

保持テーブル機構ピッチング算出部１０２－２は、Ｘ軸移動ユニット３１－２を停止した状態で保持テーブル機構１０をＹ軸移動ユニット３２によりＹ軸方向に所定距離移動させた間、及びＹ軸移動ユニット３２－２を停止した状態で保持テーブル機構１０をＸ軸移動ユニット３１－２によりＸ軸方向に所定距離移動させた間にＺ軸加速度検出器１４で所定時間間隔毎に検出されたＺ軸方向の加速度を時間で２回積分して、保持テーブル機構１０のＺ軸方向の振れ量を検出して、記憶装置に記憶するものである。

【0098】

レンズ位置精度算出部１０７は、Ｚ軸移動ユニット３３によりレーザービーム照射ユニット２０－２の集光レンズ２８を複数の所定回数、Ｚ軸方向の所定位置に位置づけ、集光レンズ２８を複数の所定回数、Ｚ軸方向の所定位置に位置づけた際それぞれのダイシング機構Ｚ軸加速度検出器２６が検出した加速度を２回積分して、集光レンズ２８のＺ軸方向の位置を複数検出し、複数検出した集光レンズ２８のＺ軸方向の位置のばらつきを算出して、記憶装置に記憶するものである。

【0099】

また、保持テーブル機構Ｘ軸ヨーイング算出部１０１－１と、保持テーブル機構Ｙ軸ヨーイング算出部１０１－２と、保持テーブル機構ピッチング算出部１０２と、レンズ位置精度算出部１０７の機能は、それぞれ、コントローラ１００の演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施することにより実現される。

【0100】

次に、実施形態２に係るダイシング装置の検査方法を説明する。図１０は、実施形態２に係るダイシング装置の検査方法の流れを示すフローチャートである。実施形態２に係るダイシング装置の検査方法は、前述した構成の実施形態２に係るダイシング装置１の検査方法であって、実施形態１と同様に、例えば、ダイシング装置１を製造する工場からの出荷時、ダイシング装置１の移設時、定期点検時に実施される。

【0101】

実施形態２に係るダイシング装置の検査方法は、オペレータにより登録された検査内容情報をコントローラ１００が受け付けて登録し、オペレータからの検査開始指示をコントローラ１００が受け付けると、ダイシング装置１により開始される。なお、検査内容情報は、保持テーブル機構１０をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動する所定距離、及びレーザービーム照射ユニット２０－２の集光レンズ２８を位置付けるＺ軸方向の所定位置を含む。

【0102】

実施形態２に係るダイシング装置の検査方法は、図１０に示すように、第１保持テーブル機構検査ステップ１００１－１と、第２保持テーブル機構検査ステップ１００１－２と、レンズ位置精度算出ステップ１０２０とを有する。

【0103】

第１保持テーブル機構検査ステップ１００１－１は、図１０に示すように、第１保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ１００２－１と、第１保持テーブル機構ピッチング算出ステップ１００３－１と、を有する。

【0104】

第１保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ１００２－１は、Ｘ軸移動ユニット３１－２を停止した状態で保持テーブル機構１０をＹ軸移動ユニット３２－２によりＹ軸方向に所定距離移動させた間にＸ軸加速度検出器１６で検出されたＸ軸方向の加速度を２回積分することで、保持テーブル機構１０をＹ軸方向に所定距離移動させた間における保持テーブル機構１０のＸ軸方向の振れ量を検出するステップである。

【0105】

第１保持テーブル機構ピッチング算出ステップ１００３－１は、Ｘ軸移動ユニット３１－２を停止した状態で保持テーブル機構１０をＹ軸移動ユニット３２－２によりＹ軸方向に所定距離移動させた間にＺ軸加速度検出器１４で検出されたＺ軸方向の加速度を２回積分することで、保持テーブル機構１０をＹ軸方向に所定距離移動させた間における保持テーブル機構１０のＺ軸方向の振れ量を検出するステップである。

【0106】

第１保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ１００２－１及び第１保持テーブル機構ピッチング算出ステップ１００３－１では、コントローラ１００が、Ｘ軸移動ユニット３１－２及びＹ軸移動ユニット３２－２を制御して、Ｘ軸移動ユニット３１－２を停止した状態で、Ｙ軸移動ユニット３２－２により保持テーブル機構１０をＹ軸方向に所定距離移動させる。

【0107】

第１保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ１００２－１では、保持テーブル機構Ｘ軸ヨーイング算出部１０１－１が、Ｙ軸移動ユニット３２－２により保持テーブル機構１０をＹ軸方向に所定距離移動させた間にＸ軸加速度検出器１６で所定時間間隔毎に検出されたＸ軸方向の加速度を時間で２回積分して、保持テーブル機構１０をＹ軸方向に所定距離移動させた間における保持テーブル機構１０のＸ軸方向の振れ量を検出する。第１保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ１００２－１では、保持テーブル機構Ｘ軸ヨーイング算出部１０１－１が、検出した保持テーブル機構１０のＸ軸方向の振れ量を記憶装置に記憶する。

【0108】

第１保持テーブル機構ピッチング算出ステップ１００３－１では、保持テーブル機構ピッチング算出部１０２－２が、Ｙ軸移動ユニット３２－２により保持テーブル機構１０をＹ軸方向に所定距離移動させた間にＺ軸加速度検出器１４で所定時間間隔毎に検出されたＺ軸方向の加速度を時間で２回積分して、保持テーブル機構１０をＹ軸方向に所定距離移動させた間における保持テーブル機構１０のＺ軸方向の振れ量を検出する。第１保持テーブル機構ピッチング算出ステップ１００３－１では、保持テーブル機構ピッチング算出部１０２－２が、検出した保持テーブル機構１０のＺ軸方向の振れ量を記憶装置に記憶する。

【0109】

第２保持テーブル機構検査ステップ１００１－２は、図１０に示すように、第２保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ１００２－２と、第２保持テーブル機構ピッチング算出ステップ１００３－２と、を有する。

【0110】

第２保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ１００２－２は、Ｙ軸移動ユニット３２－２を停止した状態で保持テーブル機構１０をＸ軸移動ユニット３１－２によりＸ軸方向に所定距離移動させた間にＹ軸加速度検出器１３で検出されたＹ軸方向の加速度を２回積分することで、保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離移動させた間における保持テーブル機構１０のＹ軸方向の振れ量を検出するステップである。

【0111】

第２保持テーブル機構ピッチング算出ステップ１００３－２は、Ｙ軸移動ユニット３２－２を停止した状態で保持テーブル機構１０をＸ軸移動ユニット３１－２によりＸ軸方向に所定距離移動させた間にＺ軸加速度検出器１４で検出されたＺ軸方向の加速度を２回積分することで、保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離移動させた間における保持テーブル機構１０のＺ軸方向の振れ量を検出するステップである。

【0112】

第２保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ１００２－２及び第２保持テーブル機構ピッチング算出ステップ１００３－２では、コントローラ１００が、Ｘ軸移動ユニット３１－２及びＹ軸移動ユニット３２－２を制御して、Ｙ軸移動ユニット３２－２を停止した状態で、Ｘ軸移動ユニット３１－２により保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離移動させる。

【0113】

第２保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ１００２－２では、保持テーブル機構Ｙ軸ヨーイング算出部１０１－２が、Ｘ軸移動ユニット３１－２により保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離移動させた間にＹ軸加速度検出器１３で所定時間間隔毎に検出されたＹ軸方向の加速度を時間で２回積分して、保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離移動させた間における保持テーブル機構１０のＹ軸方向の振れ量を検出する。第２保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ１００２－２では、保持テーブル機構Ｙ軸ヨーイング算出部１０１－２が、検出した保持テーブル機構１０のＹ軸方向の振れ量を記憶装置に記憶する。

【0114】

第２保持テーブル機構ピッチング算出ステップ１００３－２では、保持テーブル機構ピッチング算出部１０２－２が、Ｘ軸移動ユニット３１－２により保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離移動させた間にＺ軸加速度検出器１４で所定時間間隔毎に検出されたＺ軸方向の加速度を時間で２回積分して、保持テーブル機構１０をＸ軸方向に所定距離移動させた間における保持テーブル機構１０のＺ軸方向の振れ量を検出する。第２保持テーブル機構ピッチング算出ステップ１００３－２では、保持テーブル機構ピッチング算出部１０２－２が、検出した保持テーブル機構１０のＺ軸方向の振れ量を記憶装置に記憶する。

【0115】

レンズ位置精度算出ステップ１０２０は、レーザービーム照射ユニット２０－２の集光レンズ２８のＺ軸方向の位置の精度を算出するステップである。レンズ位置精度算出ステップ１０２０では、コントローラ１００が、Ｚ軸移動ユニット３３を制御して、レーザービーム照射ユニット２０－２の集光レンズ２８を複数の所定回数、Ｚ軸方向の所定位置に位置づける。

【0116】

レンズ位置精度算出ステップ１０２０では、レンズ位置精度算出部１０７が、集光レンズ２８を複数の所定回数、Ｚ軸方向の所定位置に位置づけた際それぞれのダイシング機構Ｚ軸加速度検出器２６が検出した加速度を２回積分して、集光レンズ２８のＺ軸方向の位置を複数検出する。レンズ位置精度算出ステップ１０２０では、レンズ位置精度算出部１０７が、複数検出した集光レンズ２８のＺ軸方向の位置のばらつきを算出して、記憶装置に記憶する。

【0117】

実施形態２に係るダイシング装置１－２は、保持テーブル機構１０がＸ軸加速度検出器１６と、Ｙ軸加速度検出器１３とＺ軸加速度検出器１４とを有する。そして、コントローラ１００が、各加速度検出器１３，１４，１６が検出した加速度を時間で２回積分して保持テーブル機構１０をＸ軸方向又はＹ軸方向に所定距離移動させた間における保持テーブル機構のＸ軸方向の振れ量、Ｙ軸方向の振れ量及びＺ軸方向の振れ量を検出する。このために、ダイシング装置１－２は、保持テーブル機構１０の振れ量を検出するために、測定器具を保持テーブル機構１０やレーザービーム照射ユニット２０－２に取り付けることが不要となり、その結果、実施形態１と同様に、検査にかかる手間を抑制することができるという効果を奏する。

【0118】

また、実施形態２に係るダイシング装置１－２は、コントローラ１００がレンズ位置精度算出部１０７を備えているので、レーザービーム照射ユニット２０－２の集光レンズ２８のＺ軸方向の位置のばらつきを把握することができる。

【0119】

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

【符号の説明】

【0120】

１，１－１，１－２ ダイシング装置
１０ 保持テーブル機構
１１ 保持テーブル
１３ Ｙ軸加速度検出器
１４ Ｚ軸加速度検出器
２０ ダイシング機構
２０－２ レーザービーム照射ユニット（ダイシング機構）
２５ ダイシング機構Ｘ軸加速度検出器
２６ ダイシング機構Ｚ軸加速度検出器
３１，３１－２ Ｘ軸移動ユニット（加工送りユニット）
３２，３２－２ Ｙ軸移動ユニット（割り出し送りユニット）
１００ コントローラ
１０１ 保持テーブル機構ヨーイング算出部
１０２ 保持テーブル機構ピッチング算出部
１０３ ダイシング機構ヨーイング算出部
１０４ ダイシング機構ピッチング算出部
２００ 被加工物
３０１ Ｙ軸方向の振れ量
３０２ Ｚ軸方向の振れ量
３０３ Ｘ軸方向の振れ量
３０４ Ｚ軸方向の振れ量
４０１，４０２ 所定距離
５０１ Ｙ軸方向の加速度
５０２ Ｚ軸方向の加速度
５０３ Ｘ軸方向の加速度
５０４ Ｚ軸方向の加速度
１００２ 保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ
１００３ 保持テーブル機構ピッチング算出ステップ
１００２－１ 第１保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ
１００３－１ 第１保持テーブル機構ピッチング算出ステップ
１００２－２ 第２保持テーブル機構ヨーイング算出ステップ
１００３－２ 第２保持テーブル機構ピッチング算出ステップ
１０１２ ダイシング機構ヨーイング算出ステップ
１０１３ ダイシング機構ピッチング算出ステップ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】