特許7554192非磁性層形成用スパッタリングターゲット部材

発明の名称　非磁性層形成用スパッタリングターゲット部材

出願人　ＪＸ日鉱日石金属株式会社　（識別番号 502362758）

　　　　特許公開件数ランキング 512 位（35件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 410 位（39件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7554192

公報発行日　2024年9月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7554192

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