(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-09-17
(45)【発行日】2024-09-26
(54)【発明の名称】研削装置
(51)【国際特許分類】
B24B 7/04 20060101AFI20240918BHJP
B24B 45/00 20060101ALI20240918BHJP
【ＦＩ】
B24B7/04 A
B24B45/00 C
【請求項の数】
1
(21)【出願番号】P 2020042840
(22)【出願日】2020-03-12
(65)【公開番号】P2021142603
(43)【公開日】2021-09-24
【審査請求日】2023-01-13
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110001014
【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】北村 宏
(72)【発明者】
【氏名】浦山 孝世
【審査官】須中 栄治
(56)【参考文献】
【文献】特開平０７－０５８０６８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－１５８８７１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１１－１３１２９１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０００－０７９５４４（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２４Ｂ３／００－７／３０
Ｂ２４Ｂ２１／００－５１／００
Ｂ２４Ｄ３／００－９９／００
Ｂ２３Ｑ３／１５５－３／１５７
Ｈ０１Ｌ２１／３０１；２１／７８
Ｈ０１Ｌ２１／３０４；２１／４６３
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
保持手段に保持された被加工物を研削する研削装置であって、円環状の粗砥石と該粗砥石と同心の円環状の第１仕上げ砥石との中心を回転軸とし、該回転軸の軸方向に該粗砥石と該第１仕上げ砥石とを相対的に進退させて、該被加工物に対して該粗砥石または該第１仕上げ砥石を選択的に接近させる切換機構を備える複合研削手段と、
円環状の第２仕上げ砥石を備える仕上げ研削手段と、
該粗砥石を交換すべき砥石の残り厚さを設定する粗砥石交換設定部と、
該第１仕上げ砥石を交換すべき砥石の残り厚さを設定する第１仕上げ砥石交換設定部と、
該第２仕上げ砥石を交換すべき砥石の残り厚さを設定する第２仕上げ砥石交換設定部と、
該粗砥石、該第１仕上げ砥石及び該第２仕上げ砥石を用いて予め行われた被加工物のテスト研削により得られた、１枚の被加工物を所定の厚みまで研削したときの該粗砥石、該第１仕上げ砥石及び該第２仕上げ砥石の消耗量がそれぞれ記憶されている消耗量認識部と、
該粗砥石、該第１仕上げ砥石及び該第２仕上げ砥石の研削開始前の残量から、前記消耗量認識部により認識される該粗砥石、該第１仕上げ砥石及び該第２仕上げ砥石の消耗量をそれぞれ差し引くことにより、該粗砥石、該第１仕上げ砥石及び該第２仕上げ砥石の残量を検知する砥石残量検知部と、
該砥石残量検知部によって検知された該粗砥石の残量が該粗砥石交換設定部に設定された粗砥石の交換すべき残り厚さになったときに、該砥石残量検知部によって検知された該第１仕上げ砥石の残量が該第１仕上げ砥石交換設定部に設定された該第１仕上げ砥石の交換すべき残り厚さになるとともに、該砥石残量検知部によって検知された該第２仕上げ砥石の残量が該第２仕上げ砥石交換設定部に設定された該第２仕上げ砥石の交換すべき残り厚さになるように、該粗砥石による粗研削量と、該第１仕上げ砥石による仕上げ研削量と、該第２仕上げ砥石による仕上げ研削量と、を制御する制御手段と、
を備える研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、研削装置に関する。
【背景技術】
【0002】
研削砥石を用いて保持手段によって保持された被加工物を研削する研削装置は、特許文献１、２に開示のように粗砥石を用いて被加工物を所定の第１厚みに粗研削した後、仕上げ砥石を用いて被加工物を第１厚みより薄い第２厚みに研削している。
【0003】
上記のような２つの種類の砥石を用いて研削する研削加工においては、粗砥石より仕上げ砥石の消耗が大きいため、仕上げ砥石を頻繁に交換している。そして、仕上げ砥石の交換作業を行うには、研削加工を停止させる必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開１９９５－１３０６９２号公報
【文献】特開２００７－３３５４５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
そのため、研削加工が中断され生産性が低下するという課題がある。
従って、生産性を低下させずに砥石の交換を可能とするという課題がある。
従って、生産性を低下させずに砥石の交換を可能とするという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、保持手段に保持された被加工物を研削する研削装置であって、円環状の粗砥
石と該粗砥石と同心の円環状の第１仕上げ砥石との中心を回転軸とし、該回転軸の軸方向に該粗砥石と該第１仕上げ砥石とを相対的に進退させて、該被加工物に対して該粗砥石または該第１仕上げ砥石を選択的に接近させる切換機構を備える複合研削手段と、円環状の第２仕上げ砥石を備える仕上げ研削手段と、該粗砥石を交換すべき砥石の残り厚さを設定する粗砥石交換設定部と、該第１仕上げ砥石を交換すべき砥石の残り厚さを設定する第１仕上げ砥石交換設定部と、該第２仕上げ砥石を交換すべき砥石の残り厚さを設定する第２仕上げ砥石交換設定部と、該粗砥石、該第１仕上げ砥石及び該第２仕上げ砥石を用いて予め行われた被加工物のテスト研削により得られた、１枚の被加工物を所定の厚みまで研削したときの該粗砥石、該第１仕上げ砥石及び該第２仕上げ砥石の消耗量がそれぞれ記憶されている消耗量認識部と、該粗砥石、該第１仕上げ砥石及び該第２仕上げ砥石の研削開始前の残量から、前記消耗量認識部により認識される該粗砥石、該第１仕上げ砥石及び該第２仕上げ砥石の消耗量をそれぞれ差し引くことにより、該粗砥石、該第１仕上げ砥石及び該第２仕上げ砥石の残量を検知する砥石残量検知部と、該砥石残量検知部によって検知された該粗砥石の残量が該粗砥石交換設定部に設定された粗砥石の交換すべき残り厚さになったときに、該砥石残量検知部によって検知された該第１仕上げ砥石の残量が該第１仕上げ砥石交換設定部に設定された該第１仕上げ砥石の交換すべき残り厚さになるとともに、該砥石残量検知部によって検知された該第２仕上げ砥石の残量が該第２仕上げ砥石交換設定部に設定された該第２仕上げ砥石の交換すべき残り厚さになるように、該粗砥石による粗研削量と、該第１仕上げ砥石による仕上げ研削量と、該第２仕上げ砥石による仕上げ研削量と、を制御する制御手段と、を備える研削装置である。
石と該粗砥石と同心の円環状の第１仕上げ砥石との中心を回転軸とし、該回転軸の軸方向に該粗砥石と該第１仕上げ砥石とを相対的に進退させて、該被加工物に対して該粗砥石または該第１仕上げ砥石を選択的に接近させる切換機構を備える複合研削手段と、円環状の第２仕上げ砥石を備える仕上げ研削手段と、該粗砥石を交換すべき砥石の残り厚さを設定する粗砥石交換設定部と、該第１仕上げ砥石を交換すべき砥石の残り厚さを設定する第１仕上げ砥石交換設定部と、該第２仕上げ砥石を交換すべき砥石の残り厚さを設定する第２仕上げ砥石交換設定部と、該粗砥石、該第１仕上げ砥石及び該第２仕上げ砥石を用いて予め行われた被加工物のテスト研削により得られた、１枚の被加工物を所定の厚みまで研削したときの該粗砥石、該第１仕上げ砥石及び該第２仕上げ砥石の消耗量がそれぞれ記憶されている消耗量認識部と、該粗砥石、該第１仕上げ砥石及び該第２仕上げ砥石の研削開始前の残量から、前記消耗量認識部により認識される該粗砥石、該第１仕上げ砥石及び該第２仕上げ砥石の消耗量をそれぞれ差し引くことにより、該粗砥石、該第１仕上げ砥石及び該第２仕上げ砥石の残量を検知する砥石残量検知部と、該砥石残量検知部によって検知された該粗砥石の残量が該粗砥石交換設定部に設定された粗砥石の交換すべき残り厚さになったときに、該砥石残量検知部によって検知された該第１仕上げ砥石の残量が該第１仕上げ砥石交換設定部に設定された該第１仕上げ砥石の交換すべき残り厚さになるとともに、該砥石残量検知部によって検知された該第２仕上げ砥石の残量が該第２仕上げ砥石交換設定部に設定された該第２仕上げ砥石の交換すべき残り厚さになるように、該粗砥石による粗研削量と、該第１仕上げ砥石による仕上げ研削量と、該第２仕上げ砥石による仕上げ研削量と、を制御する制御手段と、を備える研削装置である。
【発明の効果】
【0007】
仕上げ砥石を交換している際に研削装置による被加工物の研削加工の動作を停止させないため、被加工物の連続加工が可能になる。また、仕上げ研削手段の仕上げ砥石と、複合研削手段に装着される該粗砥石と仕上げ砥石との３つの砥石を同時に交換可能とするため、研削装置を停止させている時間を短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】研削装置全体を表す斜視図である。
【図2】複合研削手段の粗砥石が第１仕上げ砥石よりも下側に位置づけられている様子を表す断面図である。
【図3】複合研削手段の第１仕上げ砥石が粗砥石よりも下側に位置づけられている様子を表す断面図である。
【図4】複合研削手段を用いて被加工物の粗研削を行う様子を表す断面図である。
【図5】複合研削手段を用いて被加工物の仕上げ研削を行う様子を表す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
１ 研削装置の構成
図１に示す研削装置１は、複合研削手段５及び仕上げ研削手段３を用いて被加工物１１を研削加工する研削装置である。被加工物１１の下面１１２には、保護テープ１１３が貼着されている。以下、研削装置１の構成について説明する。
図１に示す研削装置１は、複合研削手段５及び仕上げ研削手段３を用いて被加工物１１を研削加工する研削装置である。被加工物１１の下面１１２には、保護テープ１１３が貼着されている。以下、研削装置１の構成について説明する。
【0010】
図１に示すように、研削装置１は、Ｙ軸方向に延設されたベース１０を備えている。ベース１０の＋Ｙ方向側、かつ＋Ｘ方向側には、第１コラム１０１が立設されており、第１コラム１０１の－Ｘ方向側には、第２コラム１０２が立設されている。
【0011】
ベース１０の上における＋Ｘ方向側には第１保持手段２１が配設されており、ベース１０の上における－Ｘ方向側には第２保持手段２２が配設されている。
第１保持手段２１は、円板状の吸引部２１０と吸引部２１０を支持する枠体２１１とを備えている。吸引部２１０の上面は被加工物１１が保持される保持面２１２であり、保持面２１２は枠体２１１の上面２１３と面一に形成されている。
第２保持手段２２は、円板状の吸引部２２０と吸引部２２０を支持する枠体２２１とを備えている。吸引部２２０の上面は被加工物１１が保持される保持面２２２であり、保持面２２２は枠体２２１の上面２２３と面一に形成されている。
第１保持手段２１は、円板状の吸引部２１０と吸引部２１０を支持する枠体２１１とを備えている。吸引部２１０の上面は被加工物１１が保持される保持面２１２であり、保持面２１２は枠体２１１の上面２１３と面一に形成されている。
第２保持手段２２は、円板状の吸引部２２０と吸引部２２０を支持する枠体２２１とを備えている。吸引部２２０の上面は被加工物１１が保持される保持面２２２であり、保持面２２２は枠体２２１の上面２２３と面一に形成されている。
【0012】
第１保持手段２１は、図示しない吸引源に接続されている。第１保持手段２１の保持面２１２に被加工物１１が載置された状態で、第１保持手段２１に接続されている該吸引源を作動させて、生み出された吸引力を保持面２１２に伝達することによって、保持面２１２に被加工物１１を吸引保持することができる。同様に、第２保持手段２２も吸引源に接続されている。第２保持手段２２の保持面２２２に被加工物１１が載置された状態で該吸引源を作動させて、被加工物１１を吸引保持することができる。
【0013】
第１保持手段２１及び第２保持手段２２は、図示しない回転手段に接続されている。該回転手段を用いることにより、第１保持手段２１及び第２保持手段２２は、Ｚ軸方向の回転軸を軸にして回転可能となっている。
【0014】
第１保持手段２１の周囲には、カバー２７及びカバー２７に伸縮自在に連結された蛇腹２８が配設されている。例えば、第１保持手段２１がＹ軸方向に移動すると、カバー２７が第１保持手段２１とともにＹ軸方向に移動して蛇腹２８が伸縮することとなる。
第２保持手段２２の周囲には、第１保持手段２１の周囲に配設されているカバー２７及び蛇腹２８と同様の構成を有するカバー２７及び蛇腹２８が配設されている。
第２保持手段２２の周囲には、第１保持手段２１の周囲に配設されているカバー２７及び蛇腹２８と同様の構成を有するカバー２７及び蛇腹２８が配設されている。
【0015】
ベース１０の－Ｙ方向側かつ＋Ｘ方向側には第１カセット載置部７０１０が設けられており、第１カセット載置部７０１０の－Ｙ方向側には、第２カセット載置部７０２０が設けられている。
第１カセット載置部７０１０には、第１カセット７０１が配設されている。第１カセット７０１には、研削加工前の被加工物１１が収容されている。
第２カセット載置部７０２０には、第２カセット７０２が配設されている。第２カセット７０２には、研削加工後の被加工物１１を収容することができる。
第１カセット載置部７０１０には、第１カセット７０１が配設されている。第１カセット７０１には、研削加工前の被加工物１１が収容されている。
第２カセット載置部７０２０には、第２カセット７０２が配設されている。第２カセット７０２には、研削加工後の被加工物１１を収容することができる。
【0016】
第１カセット７０１の＋Ｙ方向側には、ロボット７１が配設されている。ロボット７１を用いて第１カセット７０１に収容されている被加工物１１を第１カセット７０１から取り出して、仮置き領域７２０に搬送することができる。
【0017】
ロボット７１の可動域における＋Ｘ方向側には、研削加工前の被加工物１１が仮置きされる仮置き領域７２０が配設されており、ロボット７１の可動域における－Ｘ方向側には、研削加工後の被加工物１１を洗浄する洗浄領域７３２が設けられている。
【0018】
仮置き領域７２０には、位置合わせ手段７２が配設されている。カセット７０から搬出されて仮置き領域７２０に載置された被加工物１１は、位置合わせ手段７２によって所定の位置に位置合わせされることとなる。
【0019】
洗浄領域７３２には、スピンナ洗浄手段７３が配設されている。スピンナ洗浄手段７３は、被加工物１１が保持されるスピンナテーブル７３０と、スピンナテーブル７３０に保持された被加工物１１に向けて洗浄水を噴出する洗浄水供給ノズル７３１とを備えている。スピンナテーブル７３０の上面は、被加工物１１が保持されるスピンナ保持面７４２となっている。
例えば、スピンナテーブル７３０のスピンナ保持面７４２に研削加工後の被加工物１１が載置されている状態で、洗浄水供給ノズル７３１から洗浄水を供給することにより被加工物１１を洗浄することができる。
例えば、スピンナテーブル７３０のスピンナ保持面７４２に研削加工後の被加工物１１が載置されている状態で、洗浄水供給ノズル７３１から洗浄水を供給することにより被加工物１１を洗浄することができる。
【0020】
ベース１０の－Ｙ方向側には、Ｘ軸移動手段７９を備えている。Ｘ軸移動手段７９は、仮置き領域７２０及び洗浄領域７３２に跨るようにＸ軸方向に向けて架設された門型の支持台７９０と、支持台７９０の上にＸ軸方向に向けて延設された薄板状のガイドボード７９２と、ガイドボード７９２の上に配設された可動板７９４とを備えている。また、可動板７９４の上には、スライドテーブル７９３が配設されている。
【0021】
スライドテーブル７９３は、保持部７９５と保持部７９５を支持する枠体７９８とを備えており、保持部７９５の上面は被加工物１１が保持される保持面７９６となっている。
【0022】
スライドテーブル７９３の保持面７９６は、図示しない吸引源に接続されている。
例えば、スライドテーブル７９３の保持面７９６に被加工物１１が載置されている状態で、該吸引源を用いて吸引力を発揮して、生み出された吸引力を保持面７９６に伝達することによって、保持面７９６に被加工物１１を吸引保持することができる。
例えば、スライドテーブル７９３の保持面７９６に被加工物１１が載置されている状態で、該吸引源を用いて吸引力を発揮して、生み出された吸引力を保持面７９６に伝達することによって、保持面７９６に被加工物１１を吸引保持することができる。
【0023】
可動板７９４は、図示しない移動機構に接続されている。該移動機構は、例えばボールネジやモータ等を備えるボールネジ機構であり、ガイドボード７９２に沿って可動板７９４をＸ軸方向に往復移動させることができる。可動板７９４がＸ軸方向に移動するのに伴って、可動板７９４に支持されているスライドテーブル７９３が可動板７９４と一体的にＸ軸方向に移動する構成となっている。
スライドテーブル７９３の保持面７９６に被加工物１１が保持されている状態で、該移動機構を用いてスライドテーブル７９３をＸ軸方向に移動させることにより、被加工物１１をＸ軸方向に移動させることができる。
スライドテーブル７９３の保持面７９６に被加工物１１が保持されている状態で、該移動機構を用いてスライドテーブル７９３をＸ軸方向に移動させることにより、被加工物１１をＸ軸方向に移動させることができる。
【0024】
ベース１０の上における第１保持手段２１と第２保持手段２２との間の領域には、背板８００が配設されている。
【0025】
背板８００の＋Ｘ方向側の側面には、第１搬送手段８００１が配設されている。
第１搬送手段８００１は、第１搬送パッド８０１と、第１搬送パッド８０１に背中合わせに配設された第２搬送パッド８０２と、第１搬送パッド８０１及び第２搬送パッド８０２を支持する反転手段８４とを備えている。
第１搬送手段８００１は、第１搬送パッド８０１と、第１搬送パッド８０１に背中合わせに配設された第２搬送パッド８０２と、第１搬送パッド８０１及び第２搬送パッド８０２を支持する反転手段８４とを備えている。
【0026】
第１搬送パッド８０１は、円板状の吸引部８１０と吸引部８１０を支持する枠体８１１とを備えている。吸引部８１０は、例えば多数の細孔を有するポーラス部材であり、吸引部８１０の露出面は、被加工物１１を保持する保持面８１２となっている。
吸引部８１０には、図示しない吸引源が接続されている。保持面８１２に被加工物１１の上面１１１が接触している状態で、該吸引源を作動させて、生み出された吸引力を保持面８１２に伝達することにより、保持面８１２に被加工物１１を吸引保持することができる。
吸引部８１０には、図示しない吸引源が接続されている。保持面８１２に被加工物１１の上面１１１が接触している状態で、該吸引源を作動させて、生み出された吸引力を保持面８１２に伝達することにより、保持面８１２に被加工物１１を吸引保持することができる。
【0027】
第２搬送パッド８０２は、第１搬送パッド８０１と同様に構成されているため、同様の符号を付してその説明を省略する。
【0028】
反転手段８４は、小径部８４０と小径部８４０に連結された大径部８４１とを備えている。小径部８４０の－Ｚ方向側の端部は、上下移動ブロック８２３の＋Ｘ方向側の側面に連結されている。大径部８４１の円筒側面は、第１搬送パッド８０１の枠体８１１の下面、及び第２搬送パッド８０２の枠体８１１の下面を支持している。
【0029】
また、例えば、小径部８４０の内部には、図示しないモータ等の回転制御機構が配設されている。第１搬送パッド８１の保持面８１２が＋Ｚ方向側に向いている状態で、反転手段８４を用いて第１搬送パッド８１を１８０度回転させることにより、第１搬送パッド８１の保持面８１２が－Ｚ方向側に向いている状態にすることができる。
また、第１搬送パッド８１の保持面８１２が＋Ｚ方向側に向いている状態では、第２搬送パッド８０２の保持面８１２は－Ｚ方向側に向いている。従って、第１搬送パッド８０１が＋Ｚ方向側に向いている状態で、反転手段８４を用いて第１搬送パッド８０１を１８０度回転させると、第２搬送パッド８０２の保持面８１２が＋Ｚ方向側に向いている状態となる。
また、第１搬送パッド８１の保持面８１２が＋Ｚ方向側に向いている状態では、第２搬送パッド８０２の保持面８１２は－Ｚ方向側に向いている。従って、第１搬送パッド８０１が＋Ｚ方向側に向いている状態で、反転手段８４を用いて第１搬送パッド８０１を１８０度回転させると、第２搬送パッド８０２の保持面８１２が＋Ｚ方向側に向いている状態となる。
【0030】
第１搬送手段８００１においては、例えば、第１搬送パッド８０１の保持面８１２に、ある被加工物１１が吸引保持されている状態で、反転手段８４を用いて第１搬送パッド８０１の保持面８１２の上下を反転させてから、第２搬送パッド８０２の保持面８１２に別の被加工物１１を吸引保持することが可能となっている。
【0031】
第１搬送手段８００１は、第１搬送パッド８０１、及び第２搬送パッド８０２を水平方向に移動させるＹ軸移動手段８３を備えている。
Ｙ軸移動手段８３は、背板８００の＋Ｘ方向側の側面に配設され、Ｙ軸方向の軸心８３５を有するボールネジ８３０と、ボールネジ８３０に対して平行に配設された一対のガイドレール８３１と、ボールネジ８３０を回転させる水平軸モータ８３２と、内部のナットがボールネジ８３０に螺合して側部がガイドレール８３１に摺接する水平移動ブロック８３３とを備えている。
Ｙ軸移動手段８３は、背板８００の＋Ｘ方向側の側面に配設され、Ｙ軸方向の軸心８３５を有するボールネジ８３０と、ボールネジ８３０に対して平行に配設された一対のガイドレール８３１と、ボールネジ８３０を回転させる水平軸モータ８３２と、内部のナットがボールネジ８３０に螺合して側部がガイドレール８３１に摺接する水平移動ブロック８３３とを備えている。
【0032】
第１搬送手段８００１は、第１搬送パッド８０１、及び第２搬送パッド８０２を＋Ｚ方向に移動させるＺ軸移動手段８２を備えている。
Ｚ軸移動手段８２は、水平移動ブロック８３３の＋Ｘ方向側の側面に連結された支持板８２４と、支持板８２４の＋Ｘ方向側の側面に配設されＺ軸方向の軸心８２５を有するボールネジ８２０と、ボールネジ８２０に平行に配列されたガイドレール８２１と、ボールネジ８２０を回転させる垂直軸モータ８２２と、側部のナットがボールネジ８２０にして側部がガイドレール８２１に摺接する上下移動ブロック８２３とを備えている。
Ｚ軸移動手段８２は、水平移動ブロック８３３の＋Ｘ方向側の側面に連結された支持板８２４と、支持板８２４の＋Ｘ方向側の側面に配設されＺ軸方向の軸心８２５を有するボールネジ８２０と、ボールネジ８２０に平行に配列されたガイドレール８２１と、ボールネジ８２０を回転させる垂直軸モータ８２２と、側部のナットがボールネジ８２０にして側部がガイドレール８２１に摺接する上下移動ブロック８２３とを備えている。
【0033】
水平軸モータ８３２に駆動されてボールネジ８３０が回転すると、ガイドレール８３１に案内されながら水平移動ブロック８３３がＹ軸方向に往復移動する。水平移動ブロック８３３のＹ軸方向への移動に伴い、水平移動ブロック８３３に支持されている支持板８２４、支持板８２４に支持されている上下移動ブロック８２３、上下移動ブロック８２３に連結されている反転手段８４、及び反転手段８４に支持されている第１搬送パッド８０１、並びに第２搬送パッド８０２が一体的にＹ軸方向に移動することとなる。
【0034】
また、垂直軸モータ８２２に駆動されてボールネジ８２０が回転軸８２５を軸にして回転すると、ガイドレール８２１に案内されながら上下移動ブロック８２３がＺ軸方向に往復移動する。上下移動ブロック８２３のＺ軸方向への移動に伴って、上下移動ブロック８２３に連結されている反転手段８４、及び反転手段８４に支持されている第１搬送パッド８０１、並びに第２搬送パッド８０２がＺ軸方向に移動する構成となっている。
【0035】
背板８００の－Ｘ方向側の側面には第２搬送手段８００２が配設されている。
第２搬送手段８００２は、第３搬送パッド８０３と、第３搬送パッド８０３に背中合わせに配設された第４搬送パッド８０４と、第３搬送パッド８０３と第４搬送パッドとを支持する反転手段８４を備えている。
第３搬送パッド８０３及び第４搬送パッド８０４は、第１搬送パッド８０１と同様に構成されているためその説明を省略する。
また、第２搬送手段８００２のその他の部分については、第１搬送手段８００１と同様に構成されているため、その説明を省略する。
第２搬送手段８００２は、第３搬送パッド８０３と、第３搬送パッド８０３に背中合わせに配設された第４搬送パッド８０４と、第３搬送パッド８０３と第４搬送パッドとを支持する反転手段８４を備えている。
第３搬送パッド８０３及び第４搬送パッド８０４は、第１搬送パッド８０１と同様に構成されているためその説明を省略する。
また、第２搬送手段８００２のその他の部分については、第１搬送手段８００１と同様に構成されているため、その説明を省略する。
【0036】
ベース１０の上における複合研削手段５の下方には、被加工物１１の厚みを測定する第１厚み測定手段１００１が配設されている。第１厚み測定手段１００１は、筐体１０３と、筐体１０３にそれぞれ連結された保持面ハイトゲージ１０４と上面ハイトゲージ１０５とを備えている。
保持面ハイトゲージ１０４の接触子を第１保持手段２１の保持面２１２に面一な枠体２１１の上面２１３に接触させることにより、保持面２１２の高さを測定できる。
また、例えば被加工物１１が保持面２１２に保持されている状態で、上面ハイトゲージ１０５の接触子を被加工物１１の上面１１１に接触させることにより、被加工物１１の上面１１１の高さを測定できる。
筐体１０３の内部には、ＣＰＵ、メモリ等を有する図示しない算出手段等が備えられている。保持面ハイトゲージ１０４により測定された保持面２１２の高さと上面ハイトゲージ１０５により測定された被加工物１１の上面１１１の高さの情報が電気信号によって該算出手段に送信されると、該算出手段において、両高さの差が被加工物１１の厚みとして算出される構成となっている。
保持面ハイトゲージ１０４の接触子を第１保持手段２１の保持面２１２に面一な枠体２１１の上面２１３に接触させることにより、保持面２１２の高さを測定できる。
また、例えば被加工物１１が保持面２１２に保持されている状態で、上面ハイトゲージ１０５の接触子を被加工物１１の上面１１１に接触させることにより、被加工物１１の上面１１１の高さを測定できる。
筐体１０３の内部には、ＣＰＵ、メモリ等を有する図示しない算出手段等が備えられている。保持面ハイトゲージ１０４により測定された保持面２１２の高さと上面ハイトゲージ１０５により測定された被加工物１１の上面１１１の高さの情報が電気信号によって該算出手段に送信されると、該算出手段において、両高さの差が被加工物１１の厚みとして算出される構成となっている。
【0037】
また、ベース１０の上における仕上げ研削手段３の下方には、第２厚み測定手段１００２が配設されている。第２厚み測定手段１００２は、第１厚み測定手段１００１と同様の構成を有しており、同様の符号を付してその説明を省略する。
【0038】
第２コラム１０２の－Ｙ方向側の側面には、仕上げ研削手段３を昇降可能に支持する第２研削送り手段４２が配設されている。
【0039】
仕上げ研削手段３は、Ｚ軸方向の回転軸３５を有するスピンドル３０と、スピンドル３０を回転可能に支持するハウジング３１と、回転軸３５を軸にしてスピンドル３０を回転駆動するスピンドルモータ３２と、スピンドル３０の下端に接続された円環状のマウント３３と、を備えている。マウント３３の下面には、研削ホイール３４が着脱可能に装着されている。
研削ホイール３４は、ホイール基台３４１と、ホイール基台３４１の下面に環状に配列された略直方体形状の複数の第２仕上げ砥石３４０とを備えている。
研削ホイール３４は、ホイール基台３４１と、ホイール基台３４１の下面に環状に配列された略直方体形状の複数の第２仕上げ砥石３４０とを備えている。
【0040】
第２研削送り手段４２は、Ｚ軸方向の回転軸４５を有するボールネジ４００と、ボールネジ４００に対して平行に配設された一対のガイドレール４１０と、回転軸４５０を軸にしてボールネジ４００を回転させるＺ軸モータ４２０と、内部のナットがボールネジ４００に螺合して側部がガイドレール４１０に摺接する昇降板４３０と、昇降板４３０に連結され仕上げ研削手段３を支持するホルダ４４０とを備えている。
【0041】
Ｚ軸モータ４２０によってボールネジ４００が駆動されて、ボールネジ４００が回転軸４５０を軸にして回転すると、これに伴って、昇降板４３０がガイドレール４１０に案内されてＺ軸方向に昇降移動するとともに、ホルダ４４０に保持されている仕上げ研削手段３がＺ軸方向に移動することとなる。
【0042】
第１コラム１０１の－Ｙ方向側の側面には、複合研削手段５を昇降可能に支持する第１研削送り手段４１が配設されている。
第１研削送り手段４１は、上記の第２研削送り手段４２と同様に構成されているため、同様の符号を付してその説明を省略する。
第１研削送り手段４１は、上記の第２研削送り手段４２と同様に構成されているため、同様の符号を付してその説明を省略する。
【0043】
複合研削手段５は、図２に示すように、Ｚ軸方向に延びる回転軸１９を備えている。回転軸１９の上端には、ロータリジョイント１７が接続されており、回転軸１９の下端にはマウント１３が連結されている。
【0044】
ロータリジョイント１７には、電磁弁９００が接続されている。電磁弁９００には、シリンダ用エア供給源９０が接続されている。
ロータリジョイント１７の内部には、第１の連通路９０１と、第１の連通路９０１に接続された第３のエア供給路９３と、第３のエア供給路９３に接続された第１のエア供給路９１とが備えられている。
また、同じくロータリジョイント１７の内部には、第２の連通路９０２と、第２の連通路９０２に接続された第４のエア供給路９４と、第４のエア供給路９４に接続された第３のエア供給路９３とが備えられている。
第１の連通路９０１と第２の連通路９０２とは、それぞれ電磁弁９００を介してシリンダ用エア供給源９０に接続されている。
電磁弁９００の開閉状態の切り替えを行うことによって、シリンダ用エア供給源９０と第１の連通路９０１とが接続された状態と、シリンダ用エア供給源９０と第２の連通路９０２とが接続された状態と、を切り替えることができる。
ロータリジョイント１７の内部には、第１の連通路９０１と、第１の連通路９０１に接続された第３のエア供給路９３と、第３のエア供給路９３に接続された第１のエア供給路９１とが備えられている。
また、同じくロータリジョイント１７の内部には、第２の連通路９０２と、第２の連通路９０２に接続された第４のエア供給路９４と、第４のエア供給路９４に接続された第３のエア供給路９３とが備えられている。
第１の連通路９０１と第２の連通路９０２とは、それぞれ電磁弁９００を介してシリンダ用エア供給源９０に接続されている。
電磁弁９００の開閉状態の切り替えを行うことによって、シリンダ用エア供給源９０と第１の連通路９０１とが接続された状態と、シリンダ用エア供給源９０と第２の連通路９０２とが接続された状態と、を切り替えることができる。
【0045】
回転軸１９は、Ｚ軸方向に延設された円筒状の第１軸部１９１と、第１軸部１９１の下方にＺ軸方向に延設され、第１軸部１９１よりも大きな外径を有する円筒状の第２軸部１９２とを備えている。第１軸部１９１と第２軸部１９２との間には、ベアリング板１９０が配設されている。
回転軸１９の内部には、研削水の流路である研削水供給路１９３がＺ軸方向に延ばされて形成されている。研削水供給路１９３の周りには、シリンダ用エア供給源９０から供給されるエアの流路である第１のエア供給路９１と第２のエア供給路９２とがＺ軸方向に延ばされて形成されている。
回転軸１９の内部には、研削水の流路である研削水供給路１９３がＺ軸方向に延ばされて形成されている。研削水供給路１９３の周りには、シリンダ用エア供給源９０から供給されるエアの流路である第１のエア供給路９１と第２のエア供給路９２とがＺ軸方向に延ばされて形成されている。
【0046】
第１軸部１９１の周りには、回転軸１９をＺ軸方向の軸心を軸にして回転駆動するモータ１６が配設されている。モータ１６は、回転軸１９に設けられたロータ１６０と、ロータ１６０の周りに配設されたステータ１６２とを備えている。
【0047】
複合研削手段５は、ケーシング１２を備えている。ケーシング１２は、第１軸部１９１及びモータ１６を囲繞する上部ケーシング１２０と、第２軸部１９２を囲繞する下部ケーシング１２１と、上部ケーシング１２０と下部ケーシング１２１とを連結し、ベアリング板１９０を囲繞する中部ケーシング１２２とを備えている。
【0048】
上部ケーシング１２０は、第１軸部１９１が貫通する開口が形成された上底面を備える中空円筒状の部材である。
上部ケーシング１２０の側面の下部には、冷却ジャケット１６１に冷却水を供給するための冷却水供給口１２３が形成されている。また、上部ケーシング１２０の側面の上部には、冷却ジャケット１６１から冷却水を排出するための冷却水排出口１２４が形成されている。
上部ケーシング１２０の側面の下部には、冷却ジャケット１６１に冷却水を供給するための冷却水供給口１２３が形成されている。また、上部ケーシング１２０の側面の上部には、冷却ジャケット１６１から冷却水を排出するための冷却水排出口１２４が形成されている。
【0049】
上部ケーシング１２０とステータ１６２との間には、ケーシング１２の内部を冷却する冷却ジャケット１６１が配設されている。冷却ジャケット１６１の内部には多数の冷却水路が形成されている。
図示しない冷却水供給源等から冷却水供給口１２３を通じて冷却ジャケット１６１に供給することにより、上部ケーシング１２０の内部を冷却することができる。上部ケーシング１２０の内部の冷却に用いられた冷却水は、冷却水排出口１２４から上部ケーシング１２０の外部へと排出されることとなる。
図示しない冷却水供給源等から冷却水供給口１２３を通じて冷却ジャケット１６１に供給することにより、上部ケーシング１２０の内部を冷却することができる。上部ケーシング１２０の内部の冷却に用いられた冷却水は、冷却水排出口１２４から上部ケーシング１２０の外部へと排出されることとなる。
【0050】
中部ケーシング１２２は円筒側面状の部材である。中部ケーシング１２２の内部にはエア流路１９７が形成されている。エア流路１９７の一方の端部にはエア供給口１９９が形成されており、エア流路１９７は、エア供給口１９９を通じて中部ケーシング１２２の外部の空間へと接続されている。
【0051】
下部ケーシング１２１は比較的大きな厚みを有する環状の部材である。
下部ケーシング１２１の内部には、エア流路１９７に接続され、複数の流路に分岐したエア流路１９８が形成されている。
下部ケーシング１２１の上面には複数の上側噴出口１８１が形成されており、下部ケーシング１２１の下面には複数の下側噴出口１８３が形成されている。また、下部ケーシング１２１の内側面には複数の内側噴出口１８５が形成されている。
エア流路１９８のエア流路１９７に接続されていない複数の端部は、上側噴出口１８１、下側噴出口１８３、及び内側噴出口１８５に接続されている。
下部ケーシング１２１の内部には、エア流路１９７に接続され、複数の流路に分岐したエア流路１９８が形成されている。
下部ケーシング１２１の上面には複数の上側噴出口１８１が形成されており、下部ケーシング１２１の下面には複数の下側噴出口１８３が形成されている。また、下部ケーシング１２１の内側面には複数の内側噴出口１８５が形成されている。
エア流路１９８のエア流路１９７に接続されていない複数の端部は、上側噴出口１８１、下側噴出口１８３、及び内側噴出口１８５に接続されている。
【0052】
図示しない高圧エア源からエア供給口１９９に高圧エアを供給すると、供給された高圧エアは中部ケーシング１２２の内部のエア流路１９７から下部ケーシング１２１の内部のエア流路１９８を通っていき、上側噴出口１８１、下側噴出口１８３、及び内側噴出口１８５から下部ケーシング１２１の外へと噴出することとなる。
【0053】
マウント１３は、回転軸１９の下端に連結された切換機構６と、円板マウント５４と、円板マウント５４の外側に配設された環状マウント１３０とを備えている。
【0054】
切換機構６はシリンダ１５を備えている。シリンダ１５は、下部ケーシング１２１の下面に連結された大径部１５０と、大径部１５０の下端に連なる小径部１５１とを備えている。
シリンダ１５の大径部１５０の内部には、環状の収容室６１が形成されている。収容室６１の内部には、環状ピストン６００が収容されている。環状ピストン６００の下部には環状ピストン６００の周方向に等間隔を空けて複数設けられたロッド６０が連結されている。ロッド６０は、少なくとも３本配置されているとよい。なお、図２においては１本のみが図示されている。
また、収容室６１およびピストンは、環状で無くてもよい。つまり、複数配置されるロッド毎にピストンを備え、各ピストンを摺動可能に収容する収容室を備えてもよい。
シリンダ１５の大径部１５０の内部には、環状の収容室６１が形成されている。収容室６１の内部には、環状ピストン６００が収容されている。環状ピストン６００の下部には環状ピストン６００の周方向に等間隔を空けて複数設けられたロッド６０が連結されている。ロッド６０は、少なくとも３本配置されているとよい。なお、図２においては１本のみが図示されている。
また、収容室６１およびピストンは、環状で無くてもよい。つまり、複数配置されるロッド毎にピストンを備え、各ピストンを摺動可能に収容する収容室を備えてもよい。
【0055】
シリンダ１５の内部には、第１流路１４１と第２流路１４２とが形成されている。第１流路１４１は、第１のエア供給路９１に接続されている。第２流路１４２は、第２のエア供給路９２に接続されている。
【0056】
収容室６１の上面には第１のエア供給口１４１０が形成されている。第１のエア供給口１４１０は、第１流路１４１に接続されている。
収容室６１の下面には第２のエア供給口１４２０が形成されている。第２のエア供給口１４２０は、第２流路１４２に接続されている。
収容室６１の下面には第２のエア供給口１４２０が形成されている。第２のエア供給口１４２０は、第２流路１４２に接続されている。
【0057】
例えば、シリンダ用エア供給源９０が第１の連通路９０１と連通している状態で、シリンダ用エア供給源９０を作動させて、第１のエア供給口１４１０から収容室６１にエアを供給することにより、収容室６１の上方の空間の圧力が上昇して、環状ピストン６００が下方に移動させられることとなる。
一方、例えば、シリンダ用エア供給源９０が第２の連通路９０２と連通している状態で、シリンダ用エア供給源９０を作動させて、第２のエア供給口１４２０から収容室６１にエアを供給することにより、収容室６１の下方の空間の圧力が上昇して環状ピストン６００が上方に移動させられることとなる。
一方、例えば、シリンダ用エア供給源９０が第２の連通路９０２と連通している状態で、シリンダ用エア供給源９０を作動させて、第２のエア供給口１４２０から収容室６１にエアを供給することにより、収容室６１の下方の空間の圧力が上昇して環状ピストン６００が上方に移動させられることとなる。
【0058】
ロッド６０の下面には、環状マウント１３０が連結されている。環状マウント１３０にはガイド５７が貫通するガイド穴５７０が形成されている。環状マウント１３０は、シリンダ用エア供給源９０から供給されるエアの作用による環状ピストン６００の上下移動に伴って、ガイド穴５７０に沿って、Ｚ軸方向に昇降移動することとなる。
【0059】
環状マウント１３０の内側の開口には、シリンダ１５の小径部１５１が貫通している。環状マウント１３０の下面には環状の仕上げ研削ホイール５２が着脱可能に配設されている。仕上げ研削ホイール５２には、複数の第１仕上げ砥石５２０が円環状に配設されている。
【0060】
シリンダ１５の小径部１５１の下面には、円板マウント５４が固定されている。円板マウント５４と、シリンダ１５の大径部１５０の下面との間には、両者を連結するガイド５７が設けられている。ガイド５７は、例えば、円板マウント５４の周方向に、隣り合うロッド６０の間にそれぞれ配置されている。図２においては１つのみが示されている。
【0061】
円板マウント５４の下面には、被加工物１１を粗研削加工する粗研削ホイール５５が着脱可能に配設されている。粗研削ホイール５５には複数の粗砥石５５０が第１砥石５２０と同心の円環状に配設されている。
【0062】
複合研削手段５においては、シリンダ用エア供給源９０からのエアの供給と電磁弁９００の開閉状態の切り替えとを行って切換機構６を作動させることにより、環状マウント１３０及び環状マウント１３０に配設された仕上げ研削ホイール５１が一体的に昇降移動する。
具体的には、図２に示すように、シリンダ用エア供給源９０と第２の連通路９０２とが連通している状態でシリンダ用エア供給源９０からエアを供給すると、供給されたエアが第２の連通路９０２、第４のエア供給路９４、第２のエア供給路９２、及び第２流路１４２を通って、第２のエア供給口１４２０から収容室６１にエアが供給される。これにより、環状ピストン６００が下方からエアの押圧力を受けて環状ピストン６００、ロッド６０、環状マウント１３０、及び仕上げ研削ホイール５２が＋Ｚ方向に押し上げられて、第１仕上げ砥石５２０が粗砥石５５０よりも上に位置づけられた状態となる。
かかる状態から、図３に示すように、電磁弁９００の開閉状態を切り替えて、シリンダ用エア供給源９０と第１の連通路９０１とが連通している状態で、シリンダ用エア供給源９０からエアを供給する。すると、第２のエア供給口１４２０から収容室６１へのエアの供給が停止されるとともに、今度は、シリンダ用エア供給源９０から供給されたエアが、第１の連通路９０１、第３のエア供給路９３、第１のエア供給路９１、及び第１流路１４１を通って第１のエア供給口１４１０から切換機構６の収容室６１の内部に供給される。これにより、環状ピストン６００が上方からエアの押圧力を受けて粗研削ホイール５１が－Ｚ方向に押し下げられて、仕上げ砥石５２０が粗砥石５５０に対して－Ｚ方向に進行していく。こうして、第１仕上げ砥石５２０の下面５２２が粗砥石５５０の下面５２２よりも下に位置づけられた状態となる。
上記のように、電磁弁９００の開閉状態の切り替えと、シリンダ用エア供給源９０からのエアの供給とを行って切換機構６を作動させて、第１仕上げ砥石５２０をＺ軸方向に昇降させることにより、第１仕上げ砥石５２０と粗砥石５５０とを相対的にＺ軸方向に進退させることが可能である。
具体的には、図２に示すように、シリンダ用エア供給源９０と第２の連通路９０２とが連通している状態でシリンダ用エア供給源９０からエアを供給すると、供給されたエアが第２の連通路９０２、第４のエア供給路９４、第２のエア供給路９２、及び第２流路１４２を通って、第２のエア供給口１４２０から収容室６１にエアが供給される。これにより、環状ピストン６００が下方からエアの押圧力を受けて環状ピストン６００、ロッド６０、環状マウント１３０、及び仕上げ研削ホイール５２が＋Ｚ方向に押し上げられて、第１仕上げ砥石５２０が粗砥石５５０よりも上に位置づけられた状態となる。
かかる状態から、図３に示すように、電磁弁９００の開閉状態を切り替えて、シリンダ用エア供給源９０と第１の連通路９０１とが連通している状態で、シリンダ用エア供給源９０からエアを供給する。すると、第２のエア供給口１４２０から収容室６１へのエアの供給が停止されるとともに、今度は、シリンダ用エア供給源９０から供給されたエアが、第１の連通路９０１、第３のエア供給路９３、第１のエア供給路９１、及び第１流路１４１を通って第１のエア供給口１４１０から切換機構６の収容室６１の内部に供給される。これにより、環状ピストン６００が上方からエアの押圧力を受けて粗研削ホイール５１が－Ｚ方向に押し下げられて、仕上げ砥石５２０が粗砥石５５０に対して－Ｚ方向に進行していく。こうして、第１仕上げ砥石５２０の下面５２２が粗砥石５５０の下面５２２よりも下に位置づけられた状態となる。
上記のように、電磁弁９００の開閉状態の切り替えと、シリンダ用エア供給源９０からのエアの供給とを行って切換機構６を作動させて、第１仕上げ砥石５２０をＺ軸方向に昇降させることにより、第１仕上げ砥石５２０と粗砥石５５０とを相対的にＺ軸方向に進退させることが可能である。
【0063】
第１保持手段２１に保持された被加工物１１が複合研削手段５の下方に位置付けられている状態で、上記のように切換機構６を作動させて、回転軸１９の軸方向に粗砥石５５０と第１仕上げ砥石５２０とを相対的に進退させることにより、被加工物１１に対して粗砥石５５０または第１仕上げ砥石５２０を選択的に接近させることができる。
【0064】
マウント１３の内部には、２本の流路１９４が形成されている。流路１９４は、研削水供給路１９３に連通されている。
円板マウント５４及び仕上げ研削ホイール５５の内部には研削水の流路１９５、１９６が形成されている。流路１９５と１９６とは連通されている。
また、流路１９５は、流路１９４に接続されている。
被加工物１１の研削加工時に、研削水供給路１９３に接続されている図示しない研削水供給源から研削水供給路１９３に研削水を供給することにより、研削水が研削水供給路１９３及び各流路１９４、１９５、１９６を通って仕上げ研削ホイール５５の流路１９６の下流端から流れ出し、被加工物１１の上面１１１に供給されることとなる。これにより、被加工物１１の上面１１１に付着している研削屑を洗い流すことができる。また、研削水の供給により、粗砥石５５０、第１仕上げ砥石５２０、及び被加工物１１を冷却することができる。
円板マウント５４及び仕上げ研削ホイール５５の内部には研削水の流路１９５、１９６が形成されている。流路１９５と１９６とは連通されている。
また、流路１９５は、流路１９４に接続されている。
被加工物１１の研削加工時に、研削水供給路１９３に接続されている図示しない研削水供給源から研削水供給路１９３に研削水を供給することにより、研削水が研削水供給路１９３及び各流路１９４、１９５、１９６を通って仕上げ研削ホイール５５の流路１９６の下流端から流れ出し、被加工物１１の上面１１１に供給されることとなる。これにより、被加工物１１の上面１１１に付着している研削屑を洗い流すことができる。また、研削水の供給により、粗砥石５５０、第１仕上げ砥石５２０、及び被加工物１１を冷却することができる。
【0065】
回転軸１９の周りには、ベアリング１８が形成されている。ベアリング１８は、上アキシャルベアリング１８０、下アキシャルベアリング１８２、及びラジアルベアリング１８４から構成されている。
【0066】
上アキシャルベアリング１８０では、下部ケーシング１２１の上側噴出口１８１からベアリング板１９０の下面に高圧エアを噴きつけることにより、ベアリング板１９０の下面と下部ケーシング１２１の上面との間にエアが流れ込んでいき、ベアリング板１９０の下面と下部ケーシング１２１の上面との間に僅かな隙間が形成されることとなる。
上側噴出口１８１からベアリング板１９０の下面に高圧エアが噴きつけられている状態では、ベアリング板１９０の下面と下部ケーシング１２１の上面との間に形成された隙間が維持される。
上側噴出口１８１からベアリング板１９０の下面に高圧エアが噴きつけられている状態では、ベアリング板１９０の下面と下部ケーシング１２１の上面との間に形成された隙間が維持される。
【0067】
下アキシャルベアリング１８２では、下部ケーシング１２１の下側噴出口１８３からシリンダ１５の上面に対して高圧エアを噴きつけることにより、シリンダ１５の上面と下部ケーシング１２１の下面との間にエアが流れ込んでいき、シリンダ１５の上面と下部ケーシング１２１の下面との間に僅かな隙間が形成されることとなる。
下側噴出口１８３からシリンダ１５の上面に高圧エアが噴きつけられている状態では、シリンダ１５の上面と下部ケーシング１２１の下面との間に形成された隙間が維持される。
下側噴出口１８３からシリンダ１５の上面に高圧エアが噴きつけられている状態では、シリンダ１５の上面と下部ケーシング１２１の下面との間に形成された隙間が維持される。
【0068】
ラジアルベアリング１８４では、下部ケーシング１２１の内側噴出口１８５から第２軸部１９２の外周面に高圧エアを噴きつけることにより、第２軸部１９２の外周面と下部ケーシング１２１の内周面との間にエアが流れ込んでいき、第２軸部１９２の外周面と下部ケーシング１２１の内周面との間に僅かな隙間が形成されることとなる。
内側噴出口１８５から第２軸部１９２の外周面に高圧エアが噴きつけられている状態では、第２軸部１９２の外周面と下部ケーシング１２１の内周面との間に形成された隙間が維持される。
内側噴出口１８５から第２軸部１９２の外周面に高圧エアが噴きつけられている状態では、第２軸部１９２の外周面と下部ケーシング１２１の内周面との間に形成された隙間が維持される。
【0069】
図１に示すように、研削装置１は、粗砥石５５０を交換すべき砥石の残り厚さを設定する粗砥石交換設定部４７と、第１仕上げ砥石５２０を交換すべき砥石の残り厚さを設定する第１仕上げ砥石交換設定部４８と、第２仕上げ砥石３４０を交換すべき砥石の残り厚さを設定する第２仕上げ砥石交換設定部４９と、を備えている。
【0070】
粗砥石交換設定部４７、第１仕上げ砥石交換設定部４８、及び第２仕上げ砥石交換設定部４９は、各々メモリ等の記憶媒体を備えており、交換すべき各砥石の残り厚さの設定値を記憶することができる。
【0071】
研削装置１は、研削装置１の各種の機構の動作を制御する制御手段４６を備えている。制御手段４６は、粗砥石５５０が粗砥石交換設定部４７に設定された砥石の残り厚さになったときに、第１仕上げ砥石５２０が第１仕上げ砥石交換設定部４８に設定された砥石の残り厚さになると共に、第２仕上げ砥石３４０が第２仕上げ砥石交換設定部４９に設定された砥石の残り厚さになるように、粗砥石５５０による粗研削量と、第１仕上げ砥石５２０による仕上げ研削量と、第２仕上げ砥石３４０による仕上げ研削量と、を制御する機能を有している。
【0072】
研削装置１は、消耗量認識部６７を備えている。
消耗量認識部６７には、例えば、複合研削手段５に備える粗砥石５５０を用いて予め行われた被加工物１１のテスト粗研削により得られた、１枚の被加工物１１を所定の厚みまで粗研削したときの粗砥石５５０の消耗量が記憶されている。そして、消耗量認識部６７は、上記の被加工物１枚当たりの粗砥石５５０の消耗量に、本番の研削加工において粗砥石５５０を用いて粗研削された被加工物の枚数を乗じた値を算出し、粗砥石５５０の消耗量として認識することができる。
同様に、消耗量認識部６７は、第１仕上げ砥石５２０、及び第２仕上げ砥石３４０の消耗量を認識することができる。
消耗量認識部６７には、例えば、複合研削手段５に備える粗砥石５５０を用いて予め行われた被加工物１１のテスト粗研削により得られた、１枚の被加工物１１を所定の厚みまで粗研削したときの粗砥石５５０の消耗量が記憶されている。そして、消耗量認識部６７は、上記の被加工物１枚当たりの粗砥石５５０の消耗量に、本番の研削加工において粗砥石５５０を用いて粗研削された被加工物の枚数を乗じた値を算出し、粗砥石５５０の消耗量として認識することができる。
同様に、消耗量認識部６７は、第１仕上げ砥石５２０、及び第２仕上げ砥石３４０の消耗量を認識することができる。
【0073】
研削装置１には、砥石残量検知部６８が備えられている。砥石残量検知部６８は、予め記憶された粗砥石５５０の研削開始前の残量から、上記の消耗量認識部６７により認識される砥石の消耗量を差し引くことにより、粗砥石５５０の残量を検知する機能を有している。
また、砥石残量検知部６８は、同様にして第１仕上げ砥石５２０、及び第２仕上げ砥石３４０の残量も検知することができる。
また、砥石残量検知部６８は、同様にして第１仕上げ砥石５２０、及び第２仕上げ砥石３４０の残量も検知することができる。
【0074】
研削装置１は、砥石交換時期算出手段６９を備えている。砥石交換時期算出手段６９は、上記の砥石残量検知部６８を用いて検知される各砥石の残量に基づいて、粗砥石５５０、第１仕上げ砥石５２０、及び第２仕上げ砥石３４０の交換時期を算出する機能を有している。
【0075】
２ 研削装置の動作
上記の研削装置１においては、図１に示した砥石交換時期算出手段６９によって算出された第２仕上げ砥石３４０の交換時期に、研削加工によって消耗された第２仕上げ砥石３４０が新たな第２仕上げ砥石３４０に交換される。第２仕上げ砥石３４０を交換する際には、第２仕上げ砥石３４０の交換を行いながら、複合研削手段５を用いて被加工物１１の粗研削、及び仕上げ研削を行う。
以下、複合研削手段５を用いて被加工物１１を粗研削、及び仕上げ研削する際の研削装置１の動作について説明する。
上記の研削装置１においては、図１に示した砥石交換時期算出手段６９によって算出された第２仕上げ砥石３４０の交換時期に、研削加工によって消耗された第２仕上げ砥石３４０が新たな第２仕上げ砥石３４０に交換される。第２仕上げ砥石３４０を交換する際には、第２仕上げ砥石３４０の交換を行いながら、複合研削手段５を用いて被加工物１１の粗研削、及び仕上げ研削を行う。
以下、複合研削手段５を用いて被加工物１１を粗研削、及び仕上げ研削する際の研削装置１の動作について説明する。
【0076】
まず、ロボット７１を用いて第１カセット７０１から被加工物１１を一枚取り出して仮置き領域７２０に載置し、位置合わせ手段７２を用いて被加工物１１の位置合わせをする。
【0077】
次いで、第１搬送手段８００１を用いて仮置き領域７２０から第１保持手段２１へと被加工物１１を搬送する。
第１搬送手段８００１を用いて仮置き領域７２０から第１保持手段２１へと被加工物１１を搬送する際には、まず、第１搬送手段８００１に備える第１搬送パッド８０１が、仮置き領域７２０において位置合わせされている被加工物１１を把持できるように、Ｙ軸移動手段８３を用いて、第１搬送パッド８０１を－Ｙ方向に移動させる。
そして、第１搬送パッド８０１の保持面８１２を被加工物１１の上面１１１に接触させて、図示しない吸引手段等を用いて被加工物１１の保持面８１２に接触されている面を吸引することにより、保持面８１２に被加工物１１を吸引保持する。
第１搬送手段８００１を用いて仮置き領域７２０から第１保持手段２１へと被加工物１１を搬送する際には、まず、第１搬送手段８００１に備える第１搬送パッド８０１が、仮置き領域７２０において位置合わせされている被加工物１１を把持できるように、Ｙ軸移動手段８３を用いて、第１搬送パッド８０１を－Ｙ方向に移動させる。
そして、第１搬送パッド８０１の保持面８１２を被加工物１１の上面１１１に接触させて、図示しない吸引手段等を用いて被加工物１１の保持面８１２に接触されている面を吸引することにより、保持面８１２に被加工物１１を吸引保持する。
【0078】
次に、Ｙ軸移動手段８３を用いて第１搬送パッド８０１を＋Ｙ方向に移動させて、第１搬送パッド８０１を第１保持手段２１の下方に位置付ける。
その後、Ｚ軸移動手段８２を用いて第１搬送パッド８０１を－Ｚ方向に移動させるとともに、該吸引源を停止させて、保持面８１２に作用している吸引力を取り除く。これにより、被加工物１１が、第１保持手段２１の保持面２１２に載置される。
その後、Ｚ軸移動手段８２を用いて第１搬送パッド８０１を－Ｚ方向に移動させるとともに、該吸引源を停止させて、保持面８１２に作用している吸引力を取り除く。これにより、被加工物１１が、第１保持手段２１の保持面２１２に載置される。
【0079】
その後、第１保持手段２１に接続されている図示しない吸引源を用いて第１保持手段２１の保持面２４２に被加工物１１を吸引保持する。
【0080】
次いで、図４に示すように、第１保持手段２１の下方に配設されているＹ軸移動手段２９を用いて第１保持手段２１を＋Ｙ方向に移動させる。これにより、第１保持手段２１に吸引保持されている被加工物１１が複合研削手段５の下方に位置付けられる。
【0081】
さらに、図示しないモータ等を用いて第１保持手段２１を回転させることにより、保持面２１２に保持されている被加工物１１を回転させる。
【0082】
このとき、図２に示すように、複合研削手段５においては、電磁弁９００によって第２の連通路９０２がシリンダ用エア供給源９０に連通されている状態で、シリンダ用エア供給源９０からエアが供給されており、エアが第２のエア供給口１４２０から収容室６１に供給されている。
従って、環状ピストン６００、ロッド６０、ロッド６０の下面に配設された環状マウント１３０、及び環状マウント１３０に装着されている仕上げ研削ホイール５２がエアの押圧力を受けて＋Ｚ方向に上昇させられており、粗砥石５５０が第１仕上げ砥石５２０よりも－Ｚ方向に押し下げられた状態、すなわち、保持面２１２に保持されている被加工物１１に対して粗砥石５５０が第１仕上げ砥石５２０よりも接近している状態にある。
従って、環状ピストン６００、ロッド６０、ロッド６０の下面に配設された環状マウント１３０、及び環状マウント１３０に装着されている仕上げ研削ホイール５２がエアの押圧力を受けて＋Ｚ方向に上昇させられており、粗砥石５５０が第１仕上げ砥石５２０よりも－Ｚ方向に押し下げられた状態、すなわち、保持面２１２に保持されている被加工物１１に対して粗砥石５５０が第１仕上げ砥石５２０よりも接近している状態にある。
【0083】
かかる状態で、図示しないモータ等を用いて複合研削手段５の回転軸１９を回転させる。これにより、回転軸１９に連結されているマウント１３が回転し、粗砥石５５０及び第１仕上げ砥石５２０が回転する。
【0084】
被加工物１１が回転しており、かつ、粗砥石５５０が回転している状態で、第１研削送り手段４１を用いて粗砥石５５０を－Ｚ方向に下降させる。これにより、図４に示すように、粗砥石５５０の下面５５２が被加工物１１の上面１１１に接触する。
粗砥石５５０の下面５５２が被加工物１１の上面１１１に接触している状態で、第１研削送り手段４１を用いてさらに粗砥石５５０を－Ｚ方向に下降させていくことにより、被加工物１１が粗研削される。
粗砥石５５０の下面５５２が被加工物１１の上面１１１に接触している状態で、第１研削送り手段４１を用いてさらに粗砥石５５０を－Ｚ方向に下降させていくことにより、被加工物１１が粗研削される。
【0085】
被加工物１１の粗研削後、第１研削送り手段４１を用いて複合研削手段５を＋Ｚ方向に上昇させて、一旦、粗砥石５５０を被加工物１１の上面１１１から離間させる。
【0086】
次いで、図３に示すように、電磁弁９００を用いてシリンダ用エア供給源９０が第１の連通路９０１に連通している状態に切り換えるとともに、シリンダ用エア供給源９０からエアを供給することによって、切換機構６を作動させて粗砥石５５０よりも第１仕上げ砥石５２０の方が被加工物１１に接近している状態に切り換える。
【0087】
粗砥石５５０よりも第１仕上げ砥石５２０の方が被加工物１１に接近している状態で、再び、第１研削送り手段４１を用いて粗砥石５５０を－Ｚ方向に下降させる。これにより、図５に示すように、被加工物１１の上面１１１に第１仕上げ砥石５２０の下面５２２が接触する。
被加工物１１の上面１１１に第１仕上げ砥石５２０の下面５２２が接触している状態で、さらに第１仕上げ砥石５２０を被加工物１１に対して－Ｚ方向に押し下げていくことにより、被加工物１１が仕上げ研削される。
被加工物１１の上面１１１に第１仕上げ砥石５２０の下面５２２が接触している状態で、さらに第１仕上げ砥石５２０を被加工物１１に対して－Ｚ方向に押し下げていくことにより、被加工物１１が仕上げ研削される。
【0088】
以上のように、仕上げ研削手段３の第２仕上げ砥石３４０の交換をしている間に、複合研削手段５を用いて被加工物１１を粗研削、及び仕上げ研削することにより、第２仕上げ砥石３４０を交換している間に研削装置１を停止させずに、複数の被加工物１１を連続して加工することができる。
【0089】
研削装置１においては、例えば、第１仕上げ砥石５２０を用いた仕上げ研削の終了時に、仕上げ研削手段３の第２仕上げ砥石３４０の交換が完了している場合、複合研削手段５に備える粗砥石５５０または第１仕上げ砥石５２０、若しくはその両方を交換しながら、仕上げ研削手段３を用いて被加工物１１の仕上げ研削を行うことも可能である。
【0090】
具体的には、まず被加工物１１を第１保持手段２１の保持面２１２から搬出する。その際には、Ｙ軸移動手段８３を用いて第１搬送パッド８０１を＋Ｙ方向に移動させて、第１搬送パッド８０１を第１保持手段２１の上方に位置づけてから、Ｚ軸移動手段８２を用いて第１搬送パッド８０１を－Ｚ方向に下降させる。これにより、第１搬送パッド８０１の保持面８１２が被加工物１１の上面１１１に接触する。第１搬送パッド８０１の保持面８１２が被加工物１１の上面１１１に接触している状態で、保持面８１２に接続されている図示しない吸引源を作動して、保持面８１２に吸引力を伝達し、保持面８１２に被加工物１１を吸引保持する。
【0091】
第１搬送パッド８０１の保持面８１２に被加工物１１が吸引保持されている状態で、Ｙ軸移動手段８３を用いて第１搬送パッド８０１を－Ｙ方向に移動させて、スライドテーブル７９３の保持面７９６の上方に位置づける。そして、保持面８１２に接続されている該吸引源を停止させて、保持面８１２に作用している吸引力を取り除くことにより、スライドテーブル７９３の保持面７９６に被加工物１１を載置する。
そして、スライドテーブル７９３に接続されている図示しない吸引源を作動させてスライドテーブル７９３の保持面７９６に吸引力を伝達し、スライドテーブル７９３の保持面７９６に被加工物１１を吸引保持する。
そして、スライドテーブル７９３に接続されている図示しない吸引源を作動させてスライドテーブル７９３の保持面７９６に吸引力を伝達し、スライドテーブル７９３の保持面７９６に被加工物１１を吸引保持する。
【0092】
次に、スライドテーブル７９３に接続された図示しないＸ軸方向への移動機構等を用いてスライドテーブル７９３を－Ｘ方向に移動させる。そして、スライドテーブル７９３に接続されている該吸引源を停止して、スライドテーブル７９３に作用している吸引力を取り除いてから、第２搬送手段８００２を用いてスライドテーブル７９３に保持されている被加工物１１を第２保持手段２２の保持面２１２に搬送する。
被加工物１１を第２保持手段２２の保持面２１２に搬送する際の第２搬送手段８００２の動作は、上記の第１搬送手段８００１による被加工物１１の搬送動作と同様であるため、その説明を省略する。
第２保持手段２２の保持面２１２に被加工物１１が載置されている状態で、図示しない吸引源を作動させて、保持面２１２に吸引力を伝達させることにより、第２保持手段の保持面２１２に被加工物１１を吸引保持する。
被加工物１１を第２保持手段２２の保持面２１２に搬送する際の第２搬送手段８００２の動作は、上記の第１搬送手段８００１による被加工物１１の搬送動作と同様であるため、その説明を省略する。
第２保持手段２２の保持面２１２に被加工物１１が載置されている状態で、図示しない吸引源を作動させて、保持面２１２に吸引力を伝達させることにより、第２保持手段の保持面２１２に被加工物１１を吸引保持する。
【0093】
その後、図５に示すように、Ｙ軸移動手段２９を用いて保持面２１２に保持されている被加工物１１を＋Ｙ方向に移動させて、仕上げ研削手段３の下方に位置付ける。
そして、図示しない回転手段を用いて保持面２１２に保持されている被加工物１１を回転させるとともに、スピンドルモータ３２を用いて回転軸３５を軸にして第２仕上げ砥石３４０を回転させる。
そして、図示しない回転手段を用いて保持面２１２に保持されている被加工物１１を回転させるとともに、スピンドルモータ３２を用いて回転軸３５を軸にして第２仕上げ砥石３４０を回転させる。
【0094】
被加工物１１が回転しており、かつ、第２仕上げ砥石３４０が回転軸３５を軸にして回転している状態で、第１研削送り手段４１を用いて第２仕上げ砥石３４０を－Ｚ方向に下降させて、第２仕上げ砥石３４０の下面３４２を被加工物１１の上面１１１に接触させる。
下面３４２が被加工物１１の上面１１１に接触している状態で、第１研削送り手段４１を用いて、さらに第２仕上げ砥石３４０を－Ｚ方向に下降させていくことにより、被加工物１１が仕上げ研削される。
下面３４２が被加工物１１の上面１１１に接触している状態で、第１研削送り手段４１を用いて、さらに第２仕上げ砥石３４０を－Ｚ方向に下降させていくことにより、被加工物１１が仕上げ研削される。
【0095】
研削装置１においては、粗研削及び仕上げ研削を行う際に、消耗量認識部６７によって粗砥石５５０、第１仕上げ砥石５２０、及び第２仕上げ砥石３４０の消耗量が認識されている。そして、砥石残量検知部６８によって、各砥石の研削開始前の残量から、消耗量認識部６７により認識された各砥石の消耗量が差し引かれて、各砥石の残量が検知されている。
【0096】
また、粗砥石５５０を交換すべき砥石の残り厚さが粗砥石交換設定部４７において設定されており、第１仕上げ砥石５２０を交換すべき砥石の残り厚さが第１仕上げ砥石交換設定部４８において設定されており、第２仕上げ砥石３４０を交換すべき砥石の残り厚さが第２仕上げ砥石交換設定部４９において設定されている。
【0097】
そこで、研削装置１を用いて被加工物１１を研削加工する際に、制御手段４６を用いて、粗砥石５５０による粗研削量と、第１仕上げ砥石５２０による仕上げ研削量と、第２仕上げ砥石３４０による仕上げ研削量とを制御することによって、粗砥石５５０が粗砥石交換設定部４７に設定された砥石の残り厚さになったときに、第１仕上げ砥石５２０が第１仕上げ砥石交換設定部４８に設定された砥石の残り厚さになるとともに、第２仕上げ砥石３４０が第２仕上げ砥石交換設定部４９に設定された砥石の残り厚さになるように制御する。
例えば、第１仕上げ研削砥石５２０及び第２仕上げ研削砥石３４０の消耗速度が粗研削砥石５５０の消耗速度の２倍である場合は、粗研削砥石５５０による累積研削時間が、第１仕上げ研削砥石５２０による累積研削時間の２倍であり、かつ、第２仕上げ研削砥石３４０による累積研削時間の２倍となるように、制御手段４６による制御を行う。ただし、粗研削砥石５５０による研削と第１仕上げ研削砥石５２０による研削とを同時に行うことはできないため、粗研削砥石５５０の厚さが設定された残り厚さに達する時期と、第１仕上げ砥石５２０の厚さが設定された残り厚さに達する時期と、第２仕上げ砥石３４０の厚さが設定された残り厚さに達する時期とを完全に一致させることはできない。したがって、例えば、複合研削手段５によるある被加工物の粗研削又は仕上げ研削と、仕上げ研削手段３による他の被加工物の仕上げ研削とが終了した時点で、粗研削砥石５５０、第１仕上げ砥石５２０及び第２仕上げ砥石３４０の残り厚さが、設定された所定の残り厚さになっていればよい。
例えば、第１仕上げ研削砥石５２０及び第２仕上げ研削砥石３４０の消耗速度が粗研削砥石５５０の消耗速度の２倍である場合は、粗研削砥石５５０による累積研削時間が、第１仕上げ研削砥石５２０による累積研削時間の２倍であり、かつ、第２仕上げ研削砥石３４０による累積研削時間の２倍となるように、制御手段４６による制御を行う。ただし、粗研削砥石５５０による研削と第１仕上げ研削砥石５２０による研削とを同時に行うことはできないため、粗研削砥石５５０の厚さが設定された残り厚さに達する時期と、第１仕上げ砥石５２０の厚さが設定された残り厚さに達する時期と、第２仕上げ砥石３４０の厚さが設定された残り厚さに達する時期とを完全に一致させることはできない。したがって、例えば、複合研削手段５によるある被加工物の粗研削又は仕上げ研削と、仕上げ研削手段３による他の被加工物の仕上げ研削とが終了した時点で、粗研削砥石５５０、第１仕上げ砥石５２０及び第２仕上げ砥石３４０の残り厚さが、設定された所定の残り厚さになっていればよい。
【0098】
このようにして、各砥石の交換時期を合わせることにより、各砥石を一挙に交換することが可能となり、研削装置１が停止している時間が短縮され、研削加工の効率化が図られる。
【0099】
なお、研削装置１は、被加工物１１をＹ軸方向に移動させる第１搬送手段８００１、及び第２搬送手段８００２、並びに被加工物１１をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動手段７９を備えるものにかえて、ターンテーブルとターンテーブルの上に配設された保持手段とを備えるものであってもよい。
【符号の説明】
【0100】
１：研削装置 １０９：研削装置 １０：ベース １０１：第１コラム
１０２：第２コラム １１：被加工物１１１：上面 １１２：下面 １１３：保護テープ
２１：第１保持手段２１０：吸引部 ２１１：枠体
２１２：保持面 ２１３：枠体の上面
２２：第２保持手段 ２２０：吸引部 ２２１：枠体
２２２：保持面 ２２３：枠体の上面
２７：カバー ２８：蛇腹 ２９：Ｙ軸移動手段
３：仕上げ研削手段 ３０：スピンドル ３１：ハウジング ３２：スピンドルモータ
３３：マウント ３４：粗研削ホイール ３５：回転軸 ３６：仕上げ研削ホイール
３４０：第２仕上げ砥石 ３４１：ホイール基台 ３４２：下面
４：移動手段４１：第１研削送り手段 ４２：第２研削送り手段
４００：ボールネジ ４１０：ガイドレール ４２０：Ｚ軸モータ ４３０：昇降板
４４０：ホルダ ４５０：回転軸
５：複合研削手段 ５２：仕上げ研削ホイール ５２０：粗砥石 ５２２：下面
５４：円板マウント ５５：粗研削ホイール ５５０：粗砥石 ５５２：下面
５７：ガイド ５７０：ガイド穴
６：切換手段 ６０：ロッド ６１：収容室 ６００：環状ピストン
１２：ケーシング １２０：上部ケーシング １２１：下部ケーシング
１２２：中部ケーシング １２３：冷却水供給口 １２４：冷却水排出口
１３：マウント １３０：環状マウント
１５：シリンダ １５０：大径部 １５１：小径部
１６：モータ １６０：ロータ １６１：冷却ジャケット １６２：ステータ
１７：ロータリジョイント
１８：ベアリング １８０：上アキシャルベアリング １８１：上側噴出口
１８２：下アキシャルベアリング １８３：下側噴出口
１８４：ラジアルベアリング １８５：内側噴出口
１９：スピンドル １９０：ベアリング板 １９１：第１軸部 １９２：第２軸部
１９３：研削水供給路 １９４：流路 １９５：流路 １９６：流路 １９７：エア流路
１９８：エア流路 １９９：エア供給口
７１：ロボット ７５：プレート ７６：アーム ７７：軸部
７０１：第１カセット ７０２：第２カセット
７０１０：第１カセット載置部 ７０２０：第２カセット載置部
７２：位置合わせ手段 ７２０：仮置き領域
７３：スピンナ洗浄手段 ７３０：スピンナテーブル ７３１：洗浄水供給ノズル
７３２：洗浄領域 ７４２：スピンナ保持面
７９：Ｘ軸方向移動手段 ７９０：支持台 ７９２：ガイドボード
７９３：スライドテーブル ７９４：可動板 ７９５：保持部 ７９６：保持面
７９８：枠体
８００：背板 ８００１：第１搬送手段 ８００２：第２搬送手段
８０１：第１搬送パッド ８０２：第２搬送パッド
８１０：吸引部 ８１１：枠体 ８１２：保持面
８２：Ｚ軸移動手段 ８２０：ボールネジ ８２１：ガイドレール
８２２：垂直軸モータ ８２３：上下移動ブロック ８２４：支持板 ８２５：回転軸
８３：Ｙ軸移動手段 ８３０：ボールネジ ８３１：ガイドレール
８３２：水平軸モータ ８３３：水平移動ブロック ８３５：回転軸
８４０：小径部 ８４１：大径部
９０：シリンダ用エア供給源 ９１：第１のエア供給路 ９２：第２のエア供給路
９３：第３のエア供給路 ９４：第４のエア供給路
９００：電磁弁 ９０１：第１の連通路 ９０２：第２の連通路
１００：研削条件設定部 １０１：制御手段 １０２：通知手段
１４１：第１流路 １４２：第２流路
１００１：第１厚み測定手段 １００２：第２厚み測定手段
１０３：筐体 １０４：保持面ハイトゲージ １０５：上面ハイトゲージ
１４１０：第１のエア供給口
１４２０：第２のエア供給口
４６：制御手段 ４７：粗砥石交換設定部 ４８：第１仕上げ砥石交換設定部
４９：第２仕上げ砥石交換設定部
６７：消耗量認識部 ６８：砥石残量検知部 ６９：砥石交換時期算出手段
１０２：第２コラム １１：被加工物１１１：上面 １１２：下面 １１３：保護テープ
２１：第１保持手段２１０：吸引部 ２１１：枠体
２１２：保持面 ２１３：枠体の上面
２２：第２保持手段 ２２０：吸引部 ２２１：枠体
２２２：保持面 ２２３：枠体の上面
２７：カバー ２８：蛇腹 ２９：Ｙ軸移動手段
３：仕上げ研削手段 ３０：スピンドル ３１：ハウジング ３２：スピンドルモータ
３３：マウント ３４：粗研削ホイール ３５：回転軸 ３６：仕上げ研削ホイール
３４０：第２仕上げ砥石 ３４１：ホイール基台 ３４２：下面
４：移動手段４１：第１研削送り手段 ４２：第２研削送り手段
４００：ボールネジ ４１０：ガイドレール ４２０：Ｚ軸モータ ４３０：昇降板
４４０：ホルダ ４５０：回転軸
５：複合研削手段 ５２：仕上げ研削ホイール ５２０：粗砥石 ５２２：下面
５４：円板マウント ５５：粗研削ホイール ５５０：粗砥石 ５５２：下面
５７：ガイド ５７０：ガイド穴
６：切換手段 ６０：ロッド ６１：収容室 ６００：環状ピストン
１２：ケーシング １２０：上部ケーシング １２１：下部ケーシング
１２２：中部ケーシング １２３：冷却水供給口 １２４：冷却水排出口
１３：マウント １３０：環状マウント
１５：シリンダ １５０：大径部 １５１：小径部
１６：モータ １６０：ロータ １６１：冷却ジャケット １６２：ステータ
１７：ロータリジョイント
１８：ベアリング １８０：上アキシャルベアリング １８１：上側噴出口
１８２：下アキシャルベアリング １８３：下側噴出口
１８４：ラジアルベアリング １８５：内側噴出口
１９：スピンドル １９０：ベアリング板 １９１：第１軸部 １９２：第２軸部
１９３：研削水供給路 １９４：流路 １９５：流路 １９６：流路 １９７：エア流路
１９８：エア流路 １９９：エア供給口
７１：ロボット ７５：プレート ７６：アーム ７７：軸部
７０１：第１カセット ７０２：第２カセット
７０１０：第１カセット載置部 ７０２０：第２カセット載置部
７２：位置合わせ手段 ７２０：仮置き領域
７３：スピンナ洗浄手段 ７３０：スピンナテーブル ７３１：洗浄水供給ノズル
７３２：洗浄領域 ７４２：スピンナ保持面
７９：Ｘ軸方向移動手段 ７９０：支持台 ７９２：ガイドボード
７９３：スライドテーブル ７９４：可動板 ７９５：保持部 ７９６：保持面
７９８：枠体
８００：背板 ８００１：第１搬送手段 ８００２：第２搬送手段
８０１：第１搬送パッド ８０２：第２搬送パッド
８１０：吸引部 ８１１：枠体 ８１２：保持面
８２：Ｚ軸移動手段 ８２０：ボールネジ ８２１：ガイドレール
８２２：垂直軸モータ ８２３：上下移動ブロック ８２４：支持板 ８２５：回転軸
８３：Ｙ軸移動手段 ８３０：ボールネジ ８３１：ガイドレール
８３２：水平軸モータ ８３３：水平移動ブロック ８３５：回転軸
８４０：小径部 ８４１：大径部
９０：シリンダ用エア供給源 ９１：第１のエア供給路 ９２：第２のエア供給路
９３：第３のエア供給路 ９４：第４のエア供給路
９００：電磁弁 ９０１：第１の連通路 ９０２：第２の連通路
１００：研削条件設定部 １０１：制御手段 １０２：通知手段
１４１：第１流路 １４２：第２流路
１００１：第１厚み測定手段 １００２：第２厚み測定手段
１０３：筐体 １０４：保持面ハイトゲージ １０５：上面ハイトゲージ
１４１０：第１のエア供給口
１４２０：第２のエア供給口
４６：制御手段 ４７：粗砥石交換設定部 ４８：第１仕上げ砥石交換設定部
４９：第２仕上げ砥石交換設定部
６７：消耗量認識部 ６８：砥石残量検知部 ６９：砥石交換時期算出手段
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】