(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-09-24
(45)【発行日】2024-10-02
(54)【発明の名称】基板検査方法、基板検査プログラム、及び基板検査装置
(51)【国際特許分類】
G01R 31/54 20200101AFI20240925BHJP
G01R 31/08 20200101ALI20240925BHJP
G01R 31/00 20060101ALI20240925BHJP
G06F 3/041 20060101ALI20240925BHJP
【ＦＩ】
G01R31/54
G01R31/08
G01R31/00
G06F3/041 660
【請求項の数】
10
(21)【出願番号】P 2021553529
(86)(22)【出願日】2020-10-22
(86)【国際出願番号】 JP2020039741
(87)【国際公開番号】W WO2021079945
(87)【国際公開日】2021-04-29
【審査請求日】2023-10-18
(31)【優先権主張番号】P 2019194401
(32)【優先日】2019-10-25
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】392019709
【氏名又は名称】ニデックアドバンステクノロジー株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100138689
【弁理士】
【氏名又は名称】梶原 慶
(72)【発明者】
【氏名】久保 清文
【審査官】永井 皓喜
(56)【参考文献】
【文献】特開２００８－２６３２０（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１１／１２１８６２（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００１－２０１７５３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平７－２７０４７７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００９－１２１８９４（ＪＰ，Ａ）
【文献】韓国公開特許第１０－２００８－００９２５２３（ＫＲ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｒ ３１／５４
Ｇ０１Ｒ ３１／５０
Ｇ０１Ｒ ３１／００
Ｇ０１Ｒ ２７／２６
Ｇ０１Ｒ ２７／０２
Ｈ０５Ｋ １／０２
Ｈ０５Ｋ ３／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
所定の第一方向に沿って延びる複数の第一電極と、前記第一方向と交差する第二方向に沿って延びる第二電極とが互いに対向するように形成された基板を検査する基板検査方法であって、一方の前記第一電極と他方の前記第一電極とに挟まれた前記第一電極の数を電極間数とし、前記複数の第一電極のうち一つを第一選択電極として選択し、前記第一選択電極との間の前記電極間数が一以上の前記第一電極を第二選択電極として選択する第一選択工程と、
前記第一及び第二選択電極以外の前記第一電極と、前記第二電極とをグラウンドに接続する第一グラウンド工程と、
前記第一選択電極に交流電圧を供給し、前記第二選択電極で測定される電流値に基づいて第一容量を測定する第一測定工程と、
前記第一容量に基づいて、前記第一選択電極及び前記第二選択電極の間の領域における前記第一電極及び前記第二電極の少なくとも一方の断線の有無を判定する判定工程とを含む基板検査方法。
【請求項2】
前記電極間数が前記第一及び第二選択電極間と等しい一対の前記第一電極を第三及び第四選択電極として選択し、前記第四選択電極は、前記第一選択電極と前記第二選択電極との間の前記第一電極である第二選択工程と、前記第三、及び第四選択電極以外の前記第一電極と、前記第二電極とをグラウンドに接続する第二グラウンド工程と、
前記第三選択電極に交流電圧を供給し、前記第四選択電極で測定される電流値に基づいて第二容量を測定する第二測定工程と、
前記第一容量と前記第二容量との差を測定差分として算出する差分工程とをさらに含み、
前記判定工程は、前記測定差分に基づいて、前記第一選択電極と第二選択電極との間の領域における前記第一電極及び前記第二電極の少なくとも一方の断線の有無を判定する請求項１に記載の基板検査方法。
【請求項3】
前記第二電極は、前記複数の第一電極に対して交差する位置で対向する幅狭部と、
前記複数の第一電極と対向しない位置で前記幅狭部よりも幅が広い幅広部とを含み、
前記判定工程は、
前記測定差分に基づいて、前記第一選択電極及び前記第二選択電極の間の前記第一電極の少なくとも一つと対向する位置における前記第二電極の断線の有無を判定する請求項２に記載の基板検査方法。
【請求項4】
前記複数の第一電極は、それぞれ、前記第一方向に沿って延びる複数の子電極が並列接続されたものであり、前記第二電極は、
前記複数の子電極に対して交差する位置で対向する幅狭部と、
前記複数の子電極と対向しない位置で前記幅狭部よりも幅が広い幅広部とを含み、
前記判定工程は、
前記測定差分に基づいて、前記第一選択電極及び前記第二選択電極の間の前記第一電極の少なくとも一つにおける、前記複数の子電極の少なくとも一つと対向する位置での前記第二電極の断線の有無を判定する請求項２に記載の基板検査方法。
【請求項5】
前記第一選択工程、前記第一グラウンド工程、前記第一測定工程、前記第二選択工程、前記第二グラウンド工程、前記第二測定工程、及び前記差分工程を含む一連の組工程を、前記第一及び第二選択工程において選択される前記第一、第二、第三、及び第四選択電極を前記電極間数ずつずらしながら繰り返し実行し、前記判定工程は、前記組工程のそれぞれに対応する前記測定差分に基づいて、前記各工程における前記第一選択電極及び前記第二選択電極の間の領域における前記第二電極の断線の有無を判定する請求項２～４のいずれか１項に記載の基板検査方法。
【請求項6】
前記各第一電極には、配線が接続され、前記第一測定工程は、前記配線を介して前記第一容量を測定し、
前記第二測定工程は、前記配線を介して前記第二容量を測定し、
前記基板は、前記第二電極が断線していない場合に、前記第一、第二、第三、及び第四選択電極の位置が、前記第二方向の一方側から他方側へ向かう方向に移動するほど前記第一及び第二容量が減少し、
前記第一選択電極は前記第三選択電極よりも前記他方側に位置し、前記第二選択電極は前記第四選択電極よりも前記他方側に位置する請求項２～５のいずれか１項に記載の基板検査方法。
【請求項7】
前記電極間数は一である請求項１～６のいずれか一項に記載の基板検査方法。【請求項8】
前記第二電極は複数であり、前記各第二電極の断線の有無を検出する断線電極特定工程をさらに含む請求項１～７のいずれか一項に記載の基板検査方法。
【請求項9】
請求項１～８のいずれか１項に記載の基板検査方法を実行するための基板検査プログラムであって、コンピュータに、
前記第一選択工程、前記第一グラウンド工程、前記第一測定工程、及び前記判定工程を実行させる基板検査プログラム。
【請求項10】
請求項１～８のいずれか一項に記載の基板検査方法を実行する基板検査装置であって、前記第一選択工程、前記第一グラウンド工程、及び前記第一測定工程を実行する測定処理部と、
前記判定工程を実行する判定処理部とを備える基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板を検査する基板検査方法、基板検査プログラム、及び基板検査装置に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、スマートフォンやタブレットを始めとした電子機器の急速な普及に伴い、人間の指やスタイラスペンがタッチした位置を検出するタッチパネル（TSP：Touch Screen Panel）の需要が特に高まっている。このようなタッチパネルとして、格子状に配置した透明電極をタッチ面に配置し、ユーザがパネルを指でタッチしたときに生じる静電容量に基づき、タッチ位置を検出する静電容量方式のタッチパネルが広く用いられている。
【0003】
静電容量方式のタッチパネルは、パネル表面にＸ－Ｙの二次元座標が設定され、Ｘ－Ｙ座標に対応するように、例えばガラス等の透明基板上にＸ方向に延びる複数の透明電極（Ｘ電極）と、Ｙ方向に延びる複数の透明電極（Ｙ電極）とが互いに絶縁されて対向配置されている。
【0004】
このようなタッチパネルの検査方法として、Ｘ座標の各Ｘ電極と、Ｙ座標の各Ｙ電極との間の静電容量を測定し、測定された静電容量を予め記憶された判定値と比較することによって検査する検査方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】国際公開第２０１６／０６７７０９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
ところで、上述の検査方法では、一本のＹ電極が一箇所で断線していた場合、断線箇所の前後のＸ電極で静電容量が大きく変化するため、Ｙ電極の断線箇所が推定できる。しかしながら、一本のＹ電極が複数箇所で断線していた場合、測定部に最も近い位置の断線箇所は特定できるものの、測定部からみて二番目以降の断線箇所では、その前後のＸ電極に対して測定される静電容量に大きな差が生じない。そのため、測定部からみて二番目以降の断線箇所を特定することが難しい。
【0007】
本発明の目的は、一本の電極が複数箇所で断線している場合であっても断線位置を判定することが容易な基板検査方法、基板検査プログラム、及び基板検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の一例に係る基板検査方法は、所定の第一方向に沿って延びる複数の第一電極と、前記第一方向と交差する第二方向に沿って延びる第二電極とが互いに対向するように形成された基板を検査する基板検査方法であって、一方の前記第一電極と他方の前記第一電極とに挟まれた前記第一電極の数を電極間数とし、前記複数の第一電極のうち一つを第一選択電極として選択し、前記第一選択電極との間の前記電極間数が一以上の前記第一電極を第二選択電極として選択する第一選択工程と、前記第一及び第二選択電極以外の前記第一電極と、前記第二電極とをグラウンドに接続する第一グラウンド工程と、前記第一選択電極に交流電圧を供給し、前記第二選択電極で測定される電流値に基づいて第一容量を測定する第一測定工程と、前記第一容量に基づいて、前記第一選択電極及び前記第二選択電極の間の領域における前記第一電極及び前記第二電極の少なくとも一方の断線の有無を判定する判定工程とを含む。
【0009】
また、本発明の一例に係る基板検査プログラムは、上述の基板検査方法を実行するための基板検査プログラムであって、コンピュータに、前記第一選択工程、前記第一グラウンド工程、前記第一測定工程、及び前記判定工程を実行させる。
【0010】
また、本発明の一例に係る基板検査装置は、上述の基板検査方法を実行する基板検査装置であって、前記第一選択工程、前記第一グラウンド工程、及び前記第一測定工程を実行する測定処理部と、前記判定工程を実行する判定処理部とを備える。
【発明の効果】
【0011】
このような構成の基板検査方法、基板検査プログラム、及び基板検査装置は、一本の電極が複数箇所で断線している場合であっても断線位置を判定することが容易となる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】本発明の一実施形態に係る基板検査方法を実行する基板検査装置の構成の一例を概念的に示すブロック図である。
【図2】断線電極特定工程の一例を示すフローチャートである。
【図3】第一選択工程、第一グラウンド工程、第一測定工程、第二選択工程、第二グラウンド工程、第二測定工程、及び差分工程の一例を示すフローチャートである。
【図4】判定工程の一例を示すフローチャートである。
【図5】変数ｉが０、第一選択電極がＹ電極Ｙ０、第二選択電極がＹ電極Ｙ２の場合について、ステップＳ１４におけるＸ電極Ｘ及びＹ電極Ｙと、交流電源２、電流計３、及びグラウンドとの接続関係を概略的に示した説明図である。
【図6】第一容量の測定方法を概略的に示す説明図である。
【図8】第一及び第二測定工程で測定される静電容量の一例を示すグラフである。
【図9】測定差分Ｄ０～Ｄ１６の一例を示すグラフである。
【図10】グラフＧ１～Ｇ４に対応する状態、すなわち電極Ｘ３が、Ｙ電極Ｙ６と交差して対向する位置、及びＹ電極Ｙ１７と交差して対向する位置の二箇所で断線している状態を説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。図１に示す基板検査装置１は、交流電源２、電流計３、制御部４、表示部５、操作部６、接続端子Ｔｙ０～Ｔｙ１９（第一接続端子）、接続端子Ｔｘ０～Ｔｘ３（第二接続端子）、及び切替スイッチＳＷ１，ＳＷ２を備える。
【0014】
図１に示す基板検査装置１には、検査対象のタッチパネル基板Ｐ（基板）が接続されている。図１に示すタッチパネル基板Ｐには、Ｘ－Ｙ座標が設定されており、図１に示す例では横方向がＸ軸、縦方向がＹ軸とされている。
【0015】
タッチパネル基板Ｐには、板状の例えばガラス等の透明な基材Ｐａの表面に、複数のＹ電極Ｙ０～Ｙ１９（第一電極）と、複数のＸ電極Ｘ０～Ｘ３（第二電極）とが形成されている。Ｙ電極Ｙ０～Ｙ１９は、互いに離間してＸ軸方向（第一方向）に沿って延びる。Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３は、互いに離間してＸ軸方向と垂直に交差するＹ軸方向（第二方向）に沿って延びる。Ｙ電極Ｙ０～Ｙ１９と、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３とは、タッチパネル基板Ｐの厚み方向（紙面奥行き方向）に互いに対向するように形成されている。これにより、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３がＸ座標に対応し、Ｙ電極Ｙ０～Ｙ１９がＹ座標に対応する。
【0016】
すなわち、Ｘ電極Ｘ１とＹ電極Ｙ１の組み合わせは、タッチパネル基板Ｐにおける座標位置（Ｘ１，Ｙ１）と対応し、Ｘ電極ＸｍとＹ電極Ｙｎの組み合わせは、タッチパネル基板Ｐにおける座標位置（Ｘｍ，Ｙｎ）と対応している（ｍ、ｎは任意の整数）。
【0017】
なお、基板は、必ずしもタッチパネル用の基板でなくてもよく、例えばプリント配線基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板であってもよい。
【0018】
なお、図１に示す例では説明を簡単にするため便宜上、Ｘ電極が四つ、Ｙ電極が二十個の例を示したが、電極の数は、タッチパネル基板Ｐの大きさや位置検出精度に応じて適宜設定される。
【0019】
Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３及びＹ電極Ｙ０～Ｙ１９は、いわゆる透明電極であり、例えば酸化インジウムスズ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ、ＩＴＯ）や、酸化インジウム亜鉛（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ、ＩＺＯ）等により構成されている。なお、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３及びＹ電極Ｙ０～Ｙ１９としては種々の材料を用いることができ、必ずしも透明電極でなくてもよい。
【0020】
Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３とＹ電極Ｙ０～Ｙ１９とが交差する位置には、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３とＹ電極Ｙ０～Ｙ１９との間に絶縁被膜が形成され、互いに電気的に絶縁されている。また、絶縁被膜の厚みによって、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３とＹ電極Ｙ０～Ｙ１９との間に微少な間隔が生じている。その結果、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３とＹ電極Ｙ０～Ｙ１９とが交差する位置、すなわち座標位置（Ｘｍ，Ｙｎ）で、Ｘ電極ＸｍとＹ電極Ｙｎとの間に静電容量が生じる。
【0021】
Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３、及びＹ電極Ｙ０～Ｙ１９は、一定の大きさの小さな複数の幅広部Ｗを串刺ししたようなパターン形状を有している。Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３、及びＹ電極Ｙ０～Ｙ１９には、幅狭部Ｎと、幅狭部Ｎよりも幅が広い幅広部Ｗとが長手方向で繰返し交互に配置されている。Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３、及びＹ電極Ｙ０～Ｙ１９は、互いの幅狭部Ｎの部分において、平面視で互いに交差し、対向している。これにより、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３、及びＹ電極Ｙ０～Ｙ１９のうち何れかによって、タッチ位置検出可能な領域（以下、タッチ領域と称する）のほぼ全体が覆われている。
【0022】
タッチパネル基板Ｐには、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３と導通接続された配線Ｐｘ０～Ｐｘ３と、Ｙ電極Ｙ０～Ｙ１９と導通接続された配線Ｐｙ０～Ｐｙ１９とが形成されている。配線Ｐｘ０～Ｐｘ３及び配線Ｐｙ０～Ｐｙ１９は、例えば銀ペーストや銅ペースト等の導電性を有するペースト材料を用いて、スクリーン印刷により形成されている。
【0023】
配線Ｐｘ０～Ｐｘ３，Ｐｙ０～Ｐｙ１９は、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３，Ｙ電極Ｙ０～Ｙ１９と、接続端子Ｔｘ０～Ｔｘ３，Ｔｙ０～Ｔｙ１９とを導通接続させるものであればよく、上述の例に限らない。また、配線Ｐｘ０～Ｐｘ３，Ｐｙ０～Ｐｙ１９を設けず、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３，Ｙ電極Ｙ０～Ｙ１９と、接続端子Ｔｘ０～Ｔｘ３，Ｔｙ０～Ｔｙ１９とを直接導通接続させる構成としてもよい。
【0024】
以下、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３，Ｙ電極Ｙ０～Ｙ１９を総称してそれぞれＸ電極Ｘ、Ｙ電極Ｙと称し、配線Ｐｘ０～Ｐｘ３，Ｐｙ０～Ｐｙ１９を総称してそれぞれ配線Ｐｘ，Ｐｙと称し、接続端子Ｔｘ０～Ｔｘ３，Ｔｙ０～Ｔｙ１９を総称してそれぞれ接続端子Ｔｘ，Ｔｙと称する場合がある。
【0025】
図１３を参照して、検査対象となる基板は、タッチパネル基板Ｐ’であってもよい。タッチパネル基板Ｐ’は、タッチパネル基板Ｐとは、下記の点で異なる。
【0026】
すなわち、タッチパネル基板Ｐ’は、Ｙ電極Ｙ０が子電極Ｙａ０，Ｙｂ０、Ｙ電極Ｙ１が子電極Ｙａ１，Ｙｂ１、・・・Ｙ電極Ｙ１９が子電極Ｙａ１９，Ｙｂ１９によって構成されている。以下、子電極Ｙａ０～Ｙａ１９，Ｙｂ０～Ｙｂ１９を総称して、子電極Ｙａ，Ｙｂと称する。なお、各Ｙ電極Ｙの子電極は、複数であればよく、三つ以上であってもよい。
【0027】
タッチパネル基板Ｐ’のＹ電極Ｙは、子電極Ｙａと子電極Ｙｂとが並列接続されて構成されている。子電極Ｙａ，Ｙｂは、タッチパネル基板ＰのＹ電極Ｙと略同様の形状を有している。子電極Ｙａ，Ｙｂには、幅狭部Ｎと、幅狭部Ｎよりも幅が広い幅広部Ｗとが長手方向で繰返し交互に配置されている。Ｘ電極Ｘ、及び子電極Ｙａ，Ｙｂは、互いの幅狭部Ｎの部分において、平面視で互いに交差し、対向している。
【0028】
また、タッチパネル基板Ｐ’は、配線Ｐｙ’０～Ｐｙ’１９をさらに備えていてもよい。以下、配線Ｐｙ’０～Ｐｙ’１９を総称して、配線Ｐｙ’と称する。配線Ｐｙ’は、配線Ｐｙとは反対側で、Ｙ電極Ｙと接続されている。
【0029】
接続端子Ｔｘ，Ｔｙは、配線Ｐｘ，Ｐｙの端部と接続可能に構成された接続端子である。配線Ｐｘ，Ｐｙの端部は、例えばパッド、基板エッジコネクタ等とされ、接続端子Ｔｘ，Ｔｙと電気的に接続可能になっている。
【0030】
例えばユーザが検査対象のタッチパネル基板Ｐ，Ｐ’を基板検査装置１の所定の取り付け位置に取り付けることによって、接続端子Ｔｘ０～Ｔｘ３，Ｔｙ０～Ｔｙ１９と、配線Ｐｘ０～Ｐｘ３，Ｐｙ０～Ｐｙ１９とが接続される。その結果、接続端子Ｔｘ０～Ｔｘ３及び接続端子Ｔｙ０～Ｔｙ１９と、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３及びＹ電極Ｙ０～Ｙ１９とが導通する。
【0031】
切替スイッチＳＷ１は、制御部４からの制御信号に応じて、接続端子Ｔｙ０～Ｔｙ１９の接続先を、それぞれ、交流電源２、電流計３、及び回路グラウンド（以下グラウンドと称する）のいずれか一つとの間で切り替える。切替スイッチＳＷ２は、制御部４からの制御信号に応じて、接続端子Ｔｘ０～Ｔｘ３の接続先を、それぞれ、電流計３と回路グラウンドとの間で切り替える。
【0032】
なお、基板検査装置１は、配線Ｐｙ’の端部と接続可能な接続端子Ｔｙ’０～Ｔｙ’１９をさらに備え、切替スイッチＳＷ１は、さらに、接続端子Ｔｙ’０～Ｔｙ’１９の接続先を、それぞれ、交流電源２、電流計３、及びグラウンドのいずれか一つとの間で切り替え可能であってもよい。
【0033】
交流電源２は、切替スイッチＳＷ１によって選択された接続端子Ｔｙへ例えば実効値で電圧Ｖの交流電圧ＳＡを供給する。交流電圧ＳＡは、例えば周波数ｆの正弦波にされている。
【0034】
電流計３は、切替スイッチＳＷ２によって選択された接続端子Ｔｘに流れる電流を検出し、その実効値の電流値Ｉを示す情報を制御部４へ出力する。
【0035】
表示部５は、例えば液晶表示装置や有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ等の表示装置である。操作部６は、ユーザの操作入力を受け付ける操作装置である。操作部６としては、例えば操作スイッチやキーボード、タッチパネル等が用いられる。
【0036】
制御部４は、いわゆるコンピュータであり、例えば所定の演算処理を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）、データを一時的に記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）、所定の基板検査プログラムを記憶する不揮発性のフラッシュメモリやＨＤＤ（Hard Disk Drive）等の記憶部４４、及びこれらの周辺回路等から構成されている。
【0037】
そして、制御部４は、例えば記憶部４４に記憶された、基板検査プログラムを実行することによって、断線電極特定処理部４１、測定処理部４２、及び判定処理部４３として機能する。記憶部４４には、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３及びＹ電極Ｙ０～Ｙ１９に断線が無いことが判っているタッチパネル基板Ｐに基づいて得られた後述の基準差分Ｄｃ（０）～Ｄｃ（１６）が予め記憶されている。
【0038】
断線電極特定処理部４１は、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３のそれぞれについて、断線の有無を検出する断線電極特定工程を実行する。断線電極特定処理部４１は、断線の有無を検出する方法として、例えば特許文献１に記載されているような、種々の公知の断線検出方法を用いることができる。
【0039】
具体的には、例えばＸ電極Ｘ０の断線の有無を検出する場合、断線電極特定処理部４１は、切替スイッチＳＷ１によって配線Ｐｙ０に交流電源２を接続させ、切替スイッチＳＷ２によってＸ電極Ｘ０に電流計３を接続させる。そして、断線電極特定処理部４１は、交流電源２からＹ電極Ｙ０へ交流電圧ＳＡを供給させる。
【0040】
Ｘ電極Ｘ０に断線がなければ座標位置（Ｘ０，Ｙ０）で、Ｘ電極Ｘ０とＹ電極Ｙ０とは、静電容量Ｃ（０，０）で容量結合されている。従って、Ｙ電極Ｙ０に交流電圧ＳＡが供給されると、Ｙ電極Ｙ０から静電容量Ｃ（０，０）を介してＸ電極Ｘ０に電流が流れ、その電流が電流計３によって検出される。
【0041】
一方、Ｘ電極Ｘ０が断線していれば、Ｙ電極Ｙ０から静電容量Ｃ（０，０）を介してＸ電極Ｘ０に流れた電流は、断線箇所で止まり、微小な漏れ電流を除いて電流計３では検出されない。
【0042】
従って、断線電極特定処理部４１は、電流計３で検出された電流値Ｉを予め設定された断線判定値Ｉｒｅｆと比較し、電流値Ｉが断線判定値Ｉｒｅｆを超えていればＸ電極Ｘ０には断線無と判定することができる。一方、電流値Ｉが断線判定値Ｉｒｅｆ以下であれば断線電極特定処理部４１は、Ｘ電極Ｘ０に断線有と判定することができる。同様にして、断線電極特定処理部４１は、他のＸ電極Ｘ１～Ｘ３についても、その断線の有無を判定することができる。
【0043】
ここで、交流電源２から電流計３に至る測定経路全体の静電容量をＣとすると、静電容量Ｃは、下記の式（１）で近似できる。
Ｃ＝Ｉ／（２πｆＶ） ・・・（１）
Ｃ＝Ｉ／（２πｆＶ） ・・・（１）
【0044】
従って、電流値Ｉに基づき静電容量Ｃを算出することができる。また、交流電圧ＳＡの実効値電圧Ｖと、周波数ｆとは固定値である。式（１）から、電流値Ｉと静電容量Ｃとは比例関係を有している。従って、電流値Ｉは、そのまま静電容量Ｃを表す情報としての意義を有している。従って、電流値Ｉを検出することは、静電容量Ｃを測定することに他ならない。
【0045】
測定処理部４２は、後述する第一選択工程、第一グラウンド工程、第一測定工程、第二選択工程、第二グラウンド工程、第二測定工程を実行する。判定処理部４３は、後述する差分工程、及び判定工程を実行する。
【0046】
次に、上述のように構成された基板検査装置１が実行する基板検査方法の一例について、図２～図４を参照しつつ説明する。以下のフローチャートにおいて、同一の処理には同一のステップ番号を付してその説明を省略する。
【0047】
断線電極特定処理部４１は、まず、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３の断線の有無を検査するべく、ステップＳ１～Ｓ９の断線電極特定工程を実行する。具体的には、断線電極特定処理部４１は、変数ｉを０に初期化する（ステップＳ１）。
【0048】
次に、断線電極特定処理部４１は、切替スイッチＳＷ２によって電流計３を接続端子Ｔｘｉと接続させる（ステップＳ２）。次に、断線電極特定処理部４１は、切替スイッチＳＷ１によって接続端子Ｔｙ０に交流電源２を接続させ、交流電源２からＹ電極Ｙ０へ交流電圧ＳＡを供給させる（ステップＳ３）。このとき、断線電極特定処理部４１は、接続端子Ｔｘｉ以外の接続端子Ｔｘ、及び接続端子Ｔｙ０以外の接続端子Ｔｙ１～Ｔｙ１９をグラウンドに接続してもよい。
【0049】
次に、断線電極特定処理部４１は、電流計３で検出された電流値Ｉを断線判定値Ｉｒｅｆと比較する（ステップＳ４）。電流値Ｉが断線判定値Ｉｒｅｆに満たなければ（ステップＳ４でＹＥＳ）、断線電極特定処理部４１は、Ｘ電極Ｘｉに断線有として記憶部４４に記憶させる（ステップＳ５）。これにより、断線が生じているＸ電極Ｘを特定することができる。
【0050】
一方、電流値Ｉが断線判定値Ｉｒｅｆ以上であれば（ステップＳ４でＮＯ）、Ｘ電極Ｘｉは断線していないと判断できるので、断線電極特定処理部４１はステップＳ６へ処理を移行する。
【0051】
次に、断線電極特定処理部４１は、変数ｉが３と等しいか、すなわち全てのＸ電極Ｘ０～Ｘ３について断線の検査が終了したか否かを判断する（ステップＳ６）。変数ｉが３と等しくなければ、断線電極特定処理部４１は、変数ｉに１を加算し（ステップＳ７）、再びステップＳ２～Ｓ６を繰り返す。
【0052】
そして、変数ｉが３と等しくなったとき（ステップＳ６でＹＥＳ）、断線電極特定処理部４１は、記憶部４４を参照し、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３のいずれかに断線が有ったか否かをチェックする（ステップＳ８）。そして、断線有とされたＸ電極Ｘが記憶部４４に記憶されていなければ（ステップＳ８でＮＯ）、断線電極特定処理部４１は、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３に断線無と判定し（ステップＳ９）、処理を終了する。
【0053】
一方、断線有とされたＸ電極Ｘが記憶部４４に記憶されていた場合（ステップＳ８でＹＥＳ）、Ｘ電極Ｘに断線が生じているＹ軸方向の位置を判定するべくステップＳ１１へ移行する。
【0054】
ステップＳ１１において、測定処理部４２は、変数ｉを０に初期化する（ステップＳ１１）。次に、測定処理部４２は、Ｙ電極Ｙｉを第三選択電極、Ｙ電極Ｙ（ｉ＋２）を第四選択電極として選択する（ステップＳ１２：第二選択工程）。この場合、Ｙ電極Ｙｉと、Ｙ電極Ｙ（ｉ＋２）とに挟まれたＹ電極Ｙは、Ｙ電極Ｙ（ｉ＋１）のみであり、電極間数は１である。
【0055】
次に、測定処理部４２は、Ｙ電極Ｙｉ，Ｙ（ｉ＋２）以外のＹ電極Ｙ、すなわち第三、第四選択電極以外のＹ電極Ｙを、切替スイッチＳＷ１によってグラウンドに接続させ、さらに全てのＸ電極Ｘ０～Ｘ３を、切替スイッチＳＷ２によってグラウンドに接続させる（ステップＳ１３：第二グラウンド工程）。
【0056】
次に、測定処理部４２は、第三選択電極に対応する接続端子Ｔｙｉに交流電圧ＳＡを供給したときに、第四選択電極に対応する接続端子Ｔｙ（ｉ＋２）の電流を電流値Ｉとして測定し、電流値Ｉに基づいて第二容量Ｃｂを測定する（ステップＳ１４：第二測定工程）。具体的には、測定処理部４２は、切替スイッチＳＷ１によって交流電源２を接続端子Ｔｙｉに接続させ、切替スイッチＳＷ１によって電流計３を接続端子Ｔｙ（ｉ＋２）に接続させる。測定処理部４２は、電流計３で検出された電流値Ｉに基づいて、例えば式（１）を用いることによって、第二容量Ｃｂを算出する。なお、断線電極特定処理部４１と同様、電流値Ｉを、そのまま第二容量Ｃｂを表す情報として用いてもよい。
【0057】
図５を参照して、変数ｉが０のとき、ステップＳ１４において交流電源２が接続端子Ｔｙ０に接続され、電流計３が接続端子Ｔｙ２に接続される。そうすると、交流電源２からＹ電極Ｙ０とＹ電極Ｙ２の間に交流電圧ＳＡが供給される。
【0058】
そうすると、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３が、Ｙ電極Ｙ０とＹ電極Ｙ２の間で断線していなければ、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３と、Ｙ電極Ｙ０，Ｙ２との間の静電結合を介して、電流経路Ａ０～Ａ３が形成される。
【0059】
従って、電流経路Ａ０～Ａ３を流れた電流の合計が、電流値Ｉの電流として電流計３で検出される。測定処理部４２は、このようにして得られた電流値Ｉに基づいて、接続端子Ｔｙｉと、接続端子Ｔｙ（ｉ＋２）との間の第二容量Ｃｂを取得することができる。
【0060】
ここで、図１に示す配線Ｐｙ０～Ｐｙ１９には、それぞれ寄生容量が生じている。それらの寄生容量値は、切替スイッチＳＷ１と各Ｙ電極Ｙとの間の配線長に概ね比例する。そのため、ステップＳ１４で測定される第二容量Ｃｂには、上記配線長に応じた寄生容量が含まれる。
【0061】
なお、検査対象がタッチパネル基板Ｐ’であった場合、ステップＳ１４において測定処理部４２は、切替スイッチＳＷ１によって交流電源２を接続端子Ｔｙｉ，Ｔｙ’ｉに接続させ、切替スイッチＳＷ１によって電流計３を接続端子Ｔｙ（ｉ＋２），Ｔｙ’（ｉ＋２）に接続させてもよい。これにより、図１４に示すように、交流電圧ＳＡをＹ電極Ｙｉの両端に供給し、Ｙ電極Ｙ（ｉ＋２）の両端から流れ出る電流を、電流値Ｉとして測定してもよい。また、検査対象がタッチパネル基板Ｐ’であっても、接続端子Ｔｙ’を開放したままとし、上述のステップＳ１４をそのまま実行してもよい。
【0062】
以下、ステップＳ１７，Ｓ１４ａ，Ｓ１７ａにおいても、交流電源２と電流計３とを、図１４と同様に接続してもよい。
【0063】
次に、測定処理部４２は、Ｙ電極Ｙ（ｉ＋１）を第一選択電極、Ｙ電極Ｙ（ｉ＋３）を第二選択電極として選択する（ステップＳ１５：第一選択工程）。第一選択電極であるＹ電極Ｙ（ｉ＋１）と第二選択電極であるＹ電極Ｙ（ｉ＋３）の電極間数は、第三選択電極であるＹ電極Ｙｉと第四選択電極であるＹ電極Ｙ（ｉ＋２）の電極間数と等しく、１である。
【0064】
次に、測定処理部４２は、Ｙ電極Ｙ（ｉ＋１），Ｙ（ｉ＋３）以外のＹ電極Ｙ、すなわち第一、第二選択電極以外のＹ電極Ｙを、切替スイッチＳＷ１によってグラウンドに接続させ、さらに全てのＸ電極Ｘ０～Ｘ３を、切替スイッチＳＷ２によってグラウンドに接続させる（ステップＳ１６：第一グラウンド工程）。
【0065】
次に、測定処理部４２は、第一選択電極に対応する接続端子Ｔｙ（ｉ＋１）に交流電圧ＳＡを供給したときに、第二選択電極に対応する接続端子Ｔｙ（ｉ＋３）の電流を電流値Ｉとして測定し、電流値Ｉに基づいて第一容量Ｃａを測定する（ステップＳ１７：第一測定工程）。測定処理部４２は、切替スイッチＳＷ１によって交流電源２を接続端子Ｔｙ（ｉ＋１）に接続させ、切替スイッチＳＷ２によって電流計３を接続端子Ｔｙ（ｉ＋３）に接続させる。
【0066】
図６を参照して、変数ｉ＝０のとき、接続端子Ｔｙ（ｉ＋１）はＹ電極Ｙ１と接続されているから、交流電源２がＹ電極Ｙ１と接続され、接続端子Ｔｙ（ｉ＋３）はＹ電極Ｙ３と接続されているから、電流計３がＹ電極Ｙ３と接続される。
【0067】
測定処理部４２は、ステップＳ１７において、電流計３で検出された電流値Ｉに基づいてステップＳ１４の第二容量Ｃｂと同様にして、第一容量Ｃａを測定する。
【0068】
なお、測定処理部４２は、ステップＳ１４，Ｓ１７において、配線Ｐｙを介して、配線Ｐｙの寄生容量を含む第二容量Ｃｂ、第一容量Ｃａを測定する例を示した。しかしながら、例えば接続端子Ｔｘ，Ｔｙを直接接続端子Ｔｙの端部に接触させるなどすることによって、配線Ｐｙを介さず、配線Ｐｙの寄生容量を含まない第二容量Ｃｂ、第一容量Ｃａを測定してもよい。
【0069】
また、測定処理部４２は、ステップＳ１４，Ｓ１７において、第二容量Ｃｂ、第一容量Ｃａを測定することができればよく、その測定方法は、上述の方法に限らない。測定処理部４２は、ステップＳ１４，Ｓ１７において、種々の静電容量の測定方法を用いることができる。
【0070】
次に、判定処理部４３は、第二容量Ｃｂから第一容量Ｃａを減算し、第一容量Ｃａと第二容量Ｃｂの差を測定差分Ｄｉとして算出する（ステップＳ１８：差分工程）。
【0071】
次に、判定処理部４３は、記憶部４４から基準差分Ｄｃ（ｉ）を読み出して、測定差分Ｄｉから基準差分Ｄｃ（ｉ）を減算することによって、判定対象差分ＤＤｉを算出する（ステップＳ２０：判定工程）。
【0072】
次に、判定処理部４３は、予め設定された判定基準値Ｄｒｅｆと判定対象差分ＤＤｉとを比較する（ステップＳ２１：判定工程）。そして、判定対象差分ＤＤｉが判定基準値Ｄｒｅｆを超えた場合（ステップＳ２１でＹＥＳ）、判定処理部４３は、第一選択電極であるＹ電極Ｙ（ｉ＋１）と第二選択電極であるＹ電極Ｙ（ｉ＋３）との間に配置されたＹ電極Ｙ（ｉ＋２）と交差して対向する位置で、Ｘ電極Ｘの少なくとも一つに断線有と判定する（ステップＳ２２：判定工程）。「第一選択電極であるＹ電極Ｙ（ｉ＋１）と第二選択電極であるＹ電極Ｙ（ｉ＋３）との間」には、第一選択電極及び第二選択電極そのものも含まれる。
【0073】
ここで、判定対象差分ＤＤｉは、ステップＳ１７，Ｓ１８，Ｓ２０によって第一容量Ｃａに基づき得られた値であるから、ステップＳ２１，Ｓ２２は、第一容量Ｃａに基づいて、第一選択電極及び第二選択電極の間の領域における第二電極の断線の有無を判定する判定工程に他ならない。
【0074】
次に、判定処理部４３は、ステップＳ２２で判定された断線位置を、記憶部４４に記憶させる（ステップＳ２３）。
【0075】
一方、ステップＳ２１において、判定対象差分ＤＤｉが判定基準値Ｄｒｅｆ以下の場合（ステップＳ２１でＮＯ）、判定処理部４３は、第一選択電極であるＹ電極Ｙ（ｉ＋１）と、第二選択電極であるＹ電極Ｙ（ｉ＋３）との間ではＸ電極Ｘのいずれも断線していないと判定できるので、ステップＳ２２，Ｓ２３を実行することなくステップＳ２４へ移行する。
【0076】
ステップＳ２４において、判定処理部４３は、変数ｉを、１９－３＝１６と比較する（ステップＳ２４）。そして、変数ｉ＝１６であれば、判定処理部４３は、断線位置の検査を終了したと判断し、処理を終了する。一方、変数ｉ＝１６でなければ、変数ｉに電極間数である１を加算して（ステップＳ２５）、再びステップＳ１２～Ｓ２４を繰り返す。
【0077】
なお、図２～図４のフローチャートは、図１に記載のＹ電極Ｙ０～Ｙ１９を備えたタッチパネル基板Ｐを検査対象とする場合と例示している。そのため、ステップＳ２４では、Ｙ電極Ｙの最大の番号である１９に基づいて処理の終了条件を判断している。ステップＳ２４の終了条件は、検査対象のＹ電極Ｙの数に応じて適宜設定すればよい。
【0078】
これにより、ステップＳ１５（第一選択工程）、ステップＳ１６（第一グラウンド工程）、ステップＳ１７（第一測定工程）、ステップＳ１２（第二選択工程）、ステップＳ１３（第二グラウンド工程）、ステップＳ１４（第二測定工程）、及びステップＳ１８（差分工程）を含む一連の組工程が、電極間数（＝１）ずつ第一～第四選択電極をずらしながら繰り返し実行され、Ｘ電極Ｘの断線位置が検査される。
【0079】
図８を参照して、縦軸は静電容量（ｆＦ）を示し、横軸は静電容量の測定位置を示している。横軸の”Ｔｙ０－Ｔｙ２”は接続端子Ｔｙ０，Ｔｙ２間を示し、”Ｔｙ１－Ｔｙ３”は接続端子Ｔｙ１，Ｔｙ３間を示し、以下同様に、接続端子Ｔｙ２，Ｔｙ４間から、接続端子Ｔｙ１７，Ｔｙ１９間までの測定位置を示している。
【0080】
図８では、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３に断線が無い正常時の静電容量を破線のグラフＧ１で、Ｘ電極Ｘ３に断線が有る場合の静電容量を実線のグラフＧ２で示している。グラフＧ２は、電極Ｘ３が、Ｙ電極Ｙ６と交差して対向する位置、及びＹ電極Ｙ１７と交差して対向する位置の二箇所で断線している場合の例を示している。
【0081】
なお、図８及び図９のデータは、検査対象として図１３に記載のタッチパネル基板Ｐ’を用いて測定されたデータである。しかしながら、検査対象がタッチパネル基板Ｐ，Ｐ’の何れであっても、基本的に同一の検査方法が適用できるので、以下、主に図５～７、及び図１０に基づいて説明し、適宜図１３を参照しつつ説明する。
【0082】
図１を参照して、配線Ｐｙ０～Ｐｙ１９は、配線Ｐｙ０が最も長く、配線Ｐｙ１９に近づくに従って短くなる。その結果、配線Ｐｙ０の寄生容量が最も大きく、配線Ｐｙ１９の寄生容量が最も小さい。そのため、図８に示すグラフＧ１，Ｇ２は、接続端子Ｔｙ０，Ｔｙ２間で最も静電容量が大きく、接続端子Ｔｙ１７，Ｔｙ１９間に近づくに従って静電容量が小さくなっている。
【0083】
また、Ｘ電極Ｘに断線が有ると、グラウンドに接続されているＸ電極Ｘの端部からみて断線箇所から先の部分は、浮島になる。浮島に電位が供給されている場合には浮島で生じる静電容量が増大する。浮島に電位が供給されていない場合はその静電容量を無視できる。図１０の不良サンプルと、良品サンプルに対して、ステップＳ１２～Ｓ１４と同様の測定方法によって、変数ｉを０～１７まで変化させつつ静電容量を測定した。その結果、図８に示すように、良品サンプルのグラフＧ１より、不良サンプルのグラフＧ２のほうが、全体的に静電容量が大きくなる結果が得られた。
【0084】
グラフＧ２は、全体的に略直線的に変化しているが、部分的に非線形に静電容量が低下している箇所がある。以下、グラフＧ２が得られる理由について、考えられる原因を説明する。
【0085】
Ｔｙ０－Ｔｙ２～Ｔｙ３－Ｔｙ５の場合、不良サンプルはＹ１７、Ｙ６の電極位置で断線しているので、Ｙ０～Ｙ６の区間でＸ電極Ｘ３が浮島ＦＩ１になっている。この浮島ＦＩ１に交流電圧ＳＡが供給されているので、浮島ＦＩ１のメタル分の寄生容量分が、良品サンプルに比べて増加していると考えられる。
【0086】
Ｔｙ４－Ｔｙ６の場合、不良サンプルはＹ１７、Ｙ６の電極位置で断線しているので、Ｙ０～Ｙ６が浮島ＦＩ１になっている。この浮島ＦＩ１に交流電圧ＳＡが供給されているので、浮島ＦＩ１のメタル分の寄生容量分が、良品サンプルに比べて増加している。Ｘ電極Ｘ３は、Ｙ電極Ｙ６と交差する位置で断線しているので、その交差位置におけるＸ電極Ｘ３とＹ電極Ｙ６との間の静電容量は減少すると考えられる。しかしながら、Ｘ電極Ｘ３とＹ電極Ｙ６とは断線しつつも、ある程度容量結合していると考えられる。その結果、Ｙ０～Ｙ６の浮島ＦＩ１の寄生容量が良品サンプルの静電容量に上乗せされ、不良サンプルにおけるＴｙ４－Ｔｙ６の静電容量が、良品サンプルの静電容量よりも大きくなっていると考えられる。
【0087】
Ｔｙ５－Ｔｙ７の場合、座標位置（Ｘ３，Ｙ５）、（Ｘ２，Ｙ５）、（Ｘ２，Ｙ６）、（Ｘ３，Ｙ７）におけるＸ電極ＸとＹ電極Ｙとの間の静電容量は良品サンプルと同様である。このとき、座標位置（Ｘ３，Ｙ６）におけるＸ電極ＸとＹ電極Ｙとの間の静電容量は測定されない。Ｙ６～Ｙ１７の浮島ＦＩ２に電流計３が接続されるが、Ｙ６～Ｙ１７の浮島ＦＩ２には交流電源２が接続されないためにフローティング状態となり、Ｙ６～Ｙ１７の浮島ＦＩ２が静電容量に与える影響は小さい。このため、Ｔｙ５－Ｔｙ７の場合の方が、Ｔｙ４－Ｔｙ６の場合よりも、静電容量が良品サンプルに近くなると考えられる。
【0088】
Ｔｙ７－Ｔｙ９～Ｔｙ１４－Ｔｙ１６の場合、交流電源２は、Ｙ６－Ｙ１７の浮島ＦＩ２に相当する部分に電位を供給する。この浮島ＦＩ２に相当する部分の寄生容量により、静電容量が良品サンプルの静電容量よりも大きくなっていると考えられる。
【0089】
Ｔｙ６－Ｔｙ８の場合については図１３に示すタッチパネル基板Ｐ’を参照しつつ説明する。図８及び図９のデータが測定されたタッチパネル基板Ｐ’は、Ｙ電極Ｙ６に含まれる子電極Ｙａ６，Ｙｂ６のうち、子電極Ｙａ６とＸ電極Ｘ３とが交差する位置で、Ｘ電極Ｘ３が断線している。図１３では図示していないが、タッチパネル基板Ｐ’のＸ電極Ｘ３は、Ｙ６～Ｙ１７の区間で図１０に示す浮島ＦＩ２と同様の浮島になっている。交流電源２は、Ｙ６～Ｙ１７の浮島ＦＩ２に相当する部分に電位を供給する。この浮島ＦＩ２に相当する部分の寄生容量により、Ｔｙ６－Ｔｙ８の静電容量が良品サンプルの静電容量よりも大きくなっていると考えられる。
【0090】
このように、Ｘ電極Ｘのどこかに断線が生じた場合、断線していない位置で測定された静電容量も正常時の値から変化する場合がある。そのため、ステップＳ１４で測定された第二容量Ｃｂを単純に基準値と比較するといった判定方法よりも、判定対象差分ＤＤｉを判定基準値Ｄｒｅｆと比較する方が、断線の有無を判定することが容易となる。
【0091】
そこで、ステップＳ１４，Ｓ１７で第二容量Ｃｂ、第一容量Ｃａを測定し、ステップＳ１８で測定差分Ｄｉを算出し、ステップＳ２０で判定対象差分ＤＤｉを算出し、ステップＳ２１で判定対象差分ＤＤｉを判定基準値Ｄｒｅｆと比較することによって、変数ｉに対応する位置におけるＸ電極Ｘの断線の有無を判定する。
【0092】
以下、測定差分Ｄ０～Ｄ１６を総称して測定差分Ｄと称する。図９を参照して、破線で示すグラフＧ３は、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３に断線が無い正常時の測定差分Ｄを示し、実線で示すグラフＧ４は、電極Ｘ３が、Ｙ電極Ｙ６と交差して対向する位置、及びＹ電極Ｙ１７と交差して対向する位置の二箇所で断線している場合の測定差分Ｄを示している。
【0093】
図８に示すグラフＧ１，Ｇ２の間では、全体的に静電容量に差が生じるのに対し、図９に示すグラフＧ３，Ｇ４の間では、電極Ｘ３の断線の影響を受けたＤ３，Ｄ４，Ｄ６，及びＤ１４～Ｄ１６以外、測定差分Ｄの値に大きな差が生じない。
【0094】
そこで、Ｘ電極Ｘ０～Ｘ３に断線が無いタッチパネル基板Ｐについて、予め実験的にステップＳ１１～Ｓ１８，Ｓ２４，Ｓ２５を実行し、得られた測定差分Ｄ０～Ｄ１６を基準差分Ｄｃ（０）～Ｄｃ（１６）として記憶部４４に記憶しておく。例えば、図９に示すグラフＧ３の測定差分Ｄ０～Ｄ１６に対応する静電容量を、基準差分Ｄｃ（０）～Ｄｃ（１６）として用いることができる。
【0095】
そして、Ｘ電極Ｘに断線が生じた場合に生じる測定差分Ｄの増加と、バラツキ等による測定差分Ｄの増加とを区別できるように、判定基準値Ｄｒｅｆを予め設定すればよい。例えば図９に示す例では、判定基準値Ｄｒｅｆを２０ｆＦとすることができる。
【0096】
例えば、図９に示すグラフＧ３の測定差分Ｄ０～Ｄ１６に対応する静電容量を基準差分Ｄｃ（０）～Ｄｃ（１６）とし、判定基準値Ｄｒｅｆを２０ｆＦとする。図９によれば、グラフＧ４から、測定差分Ｄ４，Ｄ１５は、８０ｆＦ，７８ｆＦとなり、グラフＧ３から、測定差分Ｄ４，Ｄ１５に対応する基準差分Ｄｃ（４），Ｄｃ（１５）は、４５ｆＦ，４５ｆＦとなる。
【0097】
そうすると、ステップＳ２０において、判定対象差分ＤＤ４＝Ｄ４－Ｄｃ（４）＝８０－４５＝３５、判定対象差分ＤＤ１５＝Ｄ１５－Ｄｃ（１５）＝７８－４５＝３３となる。従って、判定対象差分ＤＤ４，ＤＤ１５は、いずれも判定基準値Ｄｒｅｆ＝２０ｆＦよりも大きい（ステップＳ２１でＹＥＳ）。従って、判定処理部４３は、ステップＳ２２において、Ｙ電極Ｙ（４＋１）とＹ電極Ｙ（４＋３）との間にあるＹ電極Ｙ（４＋２）と対向する位置と、Ｙ電極Ｙ（１５＋１）とＹ電極Ｙ（１５＋３）との間にあるＹ電極Ｙ（１５＋２）と対向する位置とで、Ｘ電極Ｘに断線有と判定される。すなわち、Ｙ電極Ｙ（６），Ｙ（１７）と対向する二箇所でＸ電極Ｘが断線していると判定することができる。
【0098】
なお、検査対象がタッチパネル基板Ｐ’の場合であっても、判定処理部４３は、ステップＳ２２において、Ｙ電極Ｙ（ｉ＋２）と対向する位置で、Ｘ電極Ｘに断線有と判定することができる。この場合、判定処理部４３は、Ｙ電極Ｙ（ｉ＋２）と対向する位置、すなわち子電極Ｙａ（ｉ＋２），Ｙｂ（ｉ＋２）のうち少なくとも一つと対向する位置でＸ電極Ｘが断線していると判定することができる。
【0099】
さらに、ステップＳ１～Ｓ９によれば、ステップＳ５において断線が生じているＸ電極Ｘが特定され、断線が生じているＸ電極Ｘを示す情報が記憶部４４に記憶されている。従って、ステップＳ５で得られた情報と、ステップＳ２２で得られた断線位置を示す情報とを合わせることで、どのＸ電極Ｘが、どの位置で断線しているかが判る。
【0100】
以上、ステップＳ１１～Ｓ２５によれば、図１０に示すように、一本のＸ電極Ｘが複数箇所で断線している場合であっても、それぞれの断線位置を判定することが容易である。
【0101】
また、図８に示す例では、タッチパネル基板ＰにおいてＸ電極Ｘ（第二電極）が断線していない場合に、第一～第四選択電極に対応する接続端子Ｔｙｉ～Ｔｙ（ｉ＋３）の位置が、Ｙ座標０（第二方向の一方側）から座標値の大きいＹ座標１９（第二方向の他方側）へ向かう方向に移動するほど静電容量（第一及び第二容量）が減少する。すなわち、グラフＧ１は、図８の左から右に向かって下がるように傾斜する。
【0102】
そして、ステップＳ１５においてＹ電極Ｙ（ｉ＋１）が第一選択電極、Ｙ電極Ｙ（ｉ＋３）が第二選択電極として選択され、ステップＳ１２においてＹ電極Ｙｉが第三選択電極、Ｙ電極Ｙ（ｉ＋２）が第四選択電極として選択されるから、第一選択電極は第三選択電極よりも座標値が大きい他方側に位置し、第二選択電極は第四選択電極よりも座標値が大きい他方側に位置している。
【0103】
その結果、グラフＧ１の傾斜に伴い静電容量が大きい位置で第二容量Ｃｂが測定され（ステップＳ１４）、グラフＧ１の傾斜に伴い静電容量が小さい位置で第一容量Ｃａが測定される（ステップＳ１７）から、ステップＳ１８で算出される測定差分Ｄｉには、断線の有無に伴う第一容量Ｃａの減少量と、グラフＧ１の傾きに伴う静電容量の減少量とが加算されて含まれる。
【0104】
一方、もし仮に、第一選択電極が第三選択電極よりも座標値が小さい一方側に位置し、第二選択電極が第四選択電極よりも座標値が小さい一方側に位置していた場合、ステップＳ１８で算出される測定差分Ｄｉは、断線の有無に伴う第一容量Ｃａの減少量に対し、グラフＧ１の傾きに伴う静電容量の増加量が加算される。すなわち第一容量Ｃａの減少量がグラフＧ１の傾きに伴う静電容量の増加量で相殺されてしまう。そのため、測定差分Ｄｉの値が小さくなり、測定差分Ｄｉに基づく断線の有無の判定を行う難易度が増大する。
【0105】
従って、図８に示すように、第一～第四選択電極に対応する接続端子Ｔｙｉ～Ｔｙ（ｉ＋３）の位置が、Ｙ座標０（第二方向の一方側）から座標値の大きいＹ座標１９（第二方向の他方側）へ向かう方向に移動するほど静電容量（第一及び第二容量）が減少する場合、第一選択電極は第三選択電極よりも座標値が大きい他方側に位置し、第二選択電極は第四選択電極よりも座標値が大きい他方側に位置することがより好ましい。
【0106】
なお、電極間数が一である例を示したが、電極間数は２以上であってもよい。図１１、図１２を参照して、電極間数が２の場合、ステップＳ１２ａにおいて、Ｙ電極Ｙｉを第三選択電極とし、Ｙ電極Ｙ（ｉ＋３）を第四選択電極として選択し、このＹ電極Ｙｉ，Ｙ（ｉ＋３）を第三、第四選択電極としてステップＳ１３ａ，Ｓ１４ａを実行する。
【0107】
また、ステップＳ１５ａにおいて、Ｙ電極Ｙ（ｉ＋２）を第一選択電極とし、Ｙ電極Ｙ（ｉ＋５）を第二選択電極として選択し、このＹ電極Ｙ（ｉ＋２），Ｙ（ｉ＋５）を第一、第二選択電極としてステップＳ１６ａ，Ｓ１７ａ，Ｓ２２ａを実行する。さらに、ステップＳ２４ａにおいて、変数ｉを１９－４と比較し、ステップＳ２５ａにおいて、変数ｉに電極間数である２を加算する。
【0108】
このようにしても、Ｘ電極Ｘの断線位置を検査することができる。第一選択電極を電極間数分シフトして選択、測定を繰り返しているため、電極間数を２倍にすれば、測定回数を約半分に削減できる。測定回数を削減することにより、検査時間を短縮できる。なお、第一選択電極を選択するときのシフト量は、電極間数と同じでなくてもよい。
【0109】
なお、図１１，図１２のフローチャートは、図１に記載のＹ電極Ｙ０～Ｙ１９を備えたタッチパネル基板Ｐを検査対象とし、電極間数が２の場合を例示している。ため、ステップＳ２４ａでは、Ｙ電極Ｙの最大の番号である１９と、電極間数に２を加算した４とに基づいて処理の終了条件を判断している。ステップＳ２４ａの終了条件は、検査対象のＹ電極Ｙの数及び電極間数に応じて適宜設定すればよい。
【0110】
なお、第一選択電極が第三選択電極よりも座標値が小さい一方側に位置し、第二選択電極が第四選択電極よりも座標値が小さい一方側に位置する構成としてもよい。
【0111】
また、Ｙ電極Ｙを第一電極、Ｘ電極Ｘを第二電極とする例を示したが、Ｙ電極Ｙを第二電極、Ｘ電極Ｘを第一電極としてもよい。
【0112】
また、断線電極特定処理部４１を備えず、ステップＳ１～Ｓ９の断線電極特定工程を実行しなくてもよい。
【0113】
また、ステップＳ２４（Ｓ２４ａ），Ｓ２５（Ｓ２５ａ）を実行せず、ステップＳ１１において検査箇所を示す変数ｉを適宜設定し、ステップＳ１２（Ｓ１２ａ）～Ｓ２３を一回実行するだけでもよい。このような場合であっても、変数ｉに応じた箇所におけるＸ電極Ｘの断線の有無を検査することができる。
【0114】
また、ステップＳ２２で断線箇所をＹ電極Ｙ（ｉ＋２）と対向する位置に特定せず、断線位置を、「Ｙ電極Ｙ（ｉ＋１）（第一選択電極）と、Ｙ電極Ｙ（ｉ＋３）（第二選択電極）との間」としてもよい。Ｘ電極Ｘが、図１に示すように幅狭部Ｎと幅広部Ｗとを備える形状を有している場合、幅広部Ｗは断線しにくいので、Ｙ電極Ｙと交差する幅狭部Ｎで断線している可能性が高い。そのため、ステップＳ２２で断線箇所をＹ電極Ｙ（ｉ＋２）と対向する位置に特定することができる。
【0115】
しかしながら、幅狭部Ｎで断線する可能性も低いながら存在する。また、Ｘ電極Ｘは、幅狭部Ｎと幅広部Ｗとを備えず、幅が略一定の帯状形状であってもよい。
【0116】
従って、ステップＳ２２では、断線位置をＹ電極Ｙ（ｉ＋２）と対向する位置に特定せず、「Ｙ電極Ｙ（ｉ＋１）（第一選択電極）と、Ｙ電極Ｙ（ｉ＋３）（第二選択電極）との間」としてもよい。ステップＳ２２ａについても同様に、断線位置をＹ電極Ｙ（ｉ＋３），（ｉ＋４）と対向する位置に特定せず、「Ｙ電極Ｙ（ｉ＋２）（第一選択電極）と、Ｙ電極Ｙ（ｉ＋５）（第二選択電極）との間」としてもよい。
【0117】
また、ステップＳ１１において検査箇所を示す変数ｉを適宜設定し、ステップＳ１５～Ｓ１７（ステップＳ１５ａ～Ｓ１７ａ）のみを実行し、得られた第一容量Ｃａのみに基づいて、第一選択電極及び第二選択電極の間の領域における第二電極の断線の有無を判定してもよい。
【0118】
図８のグラフＧ２に示すように、第一容量Ｃａとして測定される、”Ｔｙ６－Ｔｙ８”，”Ｔｙ１６－Ｔｙ１８”の静電容量は、断線が無い箇所と比べて非線形に低下する。従って、第一容量Ｃａのみに基づいて、第一選択電極及び第二選択電極の間の領域における第二電極の断線の有無を判定することも可能である。
【0119】
すなわち、本発明の一例に係る基板検査方法は、所定の第一方向に沿って延びる複数の第一電極と、前記第一方向と交差する第二方向に沿って延びる第二電極とが互いに対向するように形成された基板を検査する基板検査方法であって、一方の前記第一電極と他方の前記第一電極とに挟まれた前記第一電極の数を電極間数とし、前記複数の第一電極のうち一つを第一選択電極として選択し、前記第一選択電極との間の前記電極間数が一以上の前記第一電極を第二選択電極として選択する第一選択工程と、前記第一及び第二選択電極以外の前記第一電極と、前記第二電極とをグラウンドに接続する第一グラウンド工程と、前記第一選択電極に交流電圧を供給し、前記第二選択電極で測定される電流値に基づいて第一容量を測定する第一測定工程と、前記第一容量に基づいて、前記第一選択電極及び前記第二選択電極の間の領域における前記第一電極及び前記第二電極の少なくとも一方の断線の有無を判定する判定工程とを含む。
【0120】
この方法によれば、第一測定工程で測定された第一容量は、第一選択電極から第二電極を介して第二選択電極に至る経路の静電容量となる。第一選択電極及び第二選択電極の間の領域で第二電極が断線していた場合、この経路の静電容量が断線していない場合に対して大きく変化する。従って、第一選択電極及び第二選択電極の間の領域における第二電極の断線の有無を判定することができる。この場合、第一選択電極及び第二選択電極の間の領域以外の領域で第二電極が断線していたとしても、第一容量には影響が及びにくい。その結果、一本の第二電極が複数箇所で断線している場合であっても断線位置を判定することが容易となる。
【0121】
また、前記電極間数が前記第一及び第二選択電極間と等しい一対の前記第一電極を第三及び第四選択電極として選択し、前記第四選択電極は、前記第一選択電極と前記第二選択電極との間の前記第一電極である第二選択工程と、前記第三、及び第四選択電極以外の前記第一電極と、前記第二電極とをグラウンドに接続する第二グラウンド工程と、前記第三選択電極に交流電圧を供給し、前記第四選択電極で測定される電流値に基づいて第二容量を測定する第二測定工程と、前記第一容量と前記第二容量との差を測定差分として算出する差分工程とをさらに含み、前記判定工程は、前記測定差分に基づいて、前記第一選択電極と第二選択電極との間の領域における前記第一電極及び前記第二電極の少なくとも一方の断線の有無を判定することが好ましい。
【0122】
第一容量は、測定位置や断線の有無によって変動する場合がある。このような場合、第一容量のみに基づいて第一選択電極及び第二選択電極の間の領域における第一及び第二電極の少なくとも一方の断線の有無を判定することの難易度が高まるおそれがある。しかしながら、断線が無い領域における第一容量と第二容量の差である測定差分は、測定位置や断線の有無による変動が第一容量のみの変動よりも小さい。そこで、測定差分に基づいて、第一選択電極と第二選択電極との間の領域において断線の有無を判定するようにすれば、第一容量のみに基づいて断線の有無を判定するよりも、判定の難易度が低下する。
【0123】
また、前記第二電極は、前記複数の第一電極に対して交差する位置で対向する幅狭部と、前記複数の第一電極と対向しない位置で前記幅狭部よりも幅が広い幅広部とを含み、前記判定工程は、前記測定差分に基づいて、前記第一選択電極及び前記第二選択電極の間の前記第一電極の少なくとも一つと対向する位置における前記第二電極の断線の有無を判定することが好ましい。
【0124】
第二電極が幅狭部と幅広部とを含んでいる場合、幅広部よりも幅狭部の方が、断線の可能性が高い。従って、判定工程において、測定差分に基づいて、第一選択電極及び前記第二選択電極の間の第一電極の少なくとも一つと対向する位置における、第二電極の断線の有無を判定することができる。
【0125】
また、前記複数の第一電極は、それぞれ、前記第一方向に沿って延びる複数の子電極が並列接続されたものであり、前記第二電極は、前記複数の子電極に対して交差する位置で対向する幅狭部と、前記複数の子電極と対向しない位置で前記幅狭部よりも幅が広い幅広部とを含み、前記判定工程は、前記測定差分に基づいて、前記第一選択電極及び前記第二選択電極の間の前記第一電極の少なくとも一つにおける、前記複数の子電極の少なくとも一つと対向する位置での前記第二電極の断線の有無を判定してもよい。
【0126】
この構成によれば、第一電極が、第一方向に沿って延びる複数の子電極が並列接続された構造を有する基板を検査することができる。
【0127】
また、前記第一選択工程、前記第一グラウンド工程、前記第一測定工程、前記第二選択工程、前記第二グラウンド工程、前記第二測定工程、及び前記差分工程を含む一連の組工程を、前記第一及び第二選択工程において選択される前記第一、第二、第三、及び第四選択電極を前記電極間数ずつずらしながら繰り返し実行し、前記判定工程は、前記組工程のそれぞれに対応する前記測定差分に基づいて、前記各工程における前記第一選択電極及び前記第二選択電極の間の領域における前記第二電極の断線の有無を判定することができる。
【0128】
この構成によれば、第一、第二、第三、及び第四選択電極を電極間数ずつずらしながら、すなわち検査位置を変化させながら第二電極の断線位置が探索されるので、第二電極の複数箇所の断線位置を探索することができる。
【0129】
また、前記各第一電極には、配線が接続され、前記第一測定工程は、前記配線を介して前記第一容量を測定し、前記第二測定工程は、前記配線を介して前記第二容量を測定し、前記基板は、前記第二電極が断線していない場合に、前記第一、第二、第三、及び第四選択電極の位置が、前記第二方向の一方側から他方側へ向かう方向に移動するほど前記第一及び第二容量が減少し、前記第一選択電極は前記第三選択電極よりも前記他方側に位置し、前記第二選択電極は前記第四選択電極よりも前記他方側に位置することが好ましい。
【0130】
この構成によれば、検査対象の基板が、第二電極が断線していないときに第一、第二、第三、及び第四選択電極の位置が、第二方向の一方側から他方側へ向かう方向に移動するほど第一及び第二容量が減少する特性を有している場合に、判定対象差分に基づく断線の有無の判定が容易となる。
【0131】
また、前記電極間数は一であってもよい。
【0132】
この構成によれば、第一選択電極と第二選択電極の間に位置する第一電極が一本だけなので、第一選択電極及び第二選択電極の間の領域が狭くなる。その結果、第二電極の断線位置の特定精度が向上する。
【0133】
また、前記第二電極は複数であり、前記各第二電極の断線の有無を検出する断線電極特定工程をさらに含むことが好ましい。
【0134】
この構成によれば、判定工程の判定結果と、断線電極特定工程による各第二電極の断線の検出結果とを組み合わせることによって、断線している第二電極と、その第二電極における断線位置とを特定することが容易になる。
【0135】
また、本発明の一例に係る基板検査プログラムは、上述の基板検査方法を実行するための基板検査プログラムであって、コンピュータに、前記第一選択工程、前記第一グラウンド工程、前記第一測定工程、及び前記判定工程を実行させる。
【0136】
このプログラムによれば、コンピュータに、上述の基板検査方法を実行させることができる。
【0137】
また、本発明の一例に係る基板検査装置は、上述の基板検査方法を実行する基板検査装置であって、前記第一選択工程、前記第一グラウンド工程、及び前記第一測定工程を実行する測定処理部と、前記判定工程を実行する判定処理部とを備える。
【0138】
この構成によれば、上述の基板検査方法を実行することができる。
【符号の説明】
【0139】
１：基板検査装置、２：交流電源、３：電流計、４：制御部、５：表示部、６：操作部、４１：断線電極特定処理部、４２：測定処理部、４３：判定処理部、４４：記憶部、Ａ０～Ａ３：電流経路、Ｃ：静電容量、Ｃａ：第一容量、Ｃｂ：第二容量、Ｄ，Ｄ０～Ｄ１６，ＤＤ，ＤＤｉ，ＤＤ１～ＤＤ１６：判定対象差分、Ｄｃ，Ｄｃ（ｉ），Ｄｃ（０）～Ｄｃ（１６）：基準差分、Ｄｉ，Ｄ１～Ｄ１６：測定差分、Ｄｒｅｆ：判定基準値、Ｆ：断線部、ＦＩ１，ＦＩ２：浮島、Ｉ：電流値、Ｉｒｅｆ：断線判定値、Ｎ：幅狭部、Ｐ，Ｐ’：タッチパネル基板（基板）、Ｐａ：基材、Ｐｘ，Ｐｙ，Ｐｘ０～Ｐｘ３，Ｐｙ０～Ｐｙ１９，Ｐｙ’０～Ｐｙ’１９：配線、ＳＡ：交流電圧、ＳＷ１，ＳＷ２：切替スイッチ、Ｔｘ，Ｔｙ，Ｔｘｉ，Ｔｘ０～Ｔｘ３，Ｔｙ０～Ｔｙ１９，Ｔｙ’０～Ｔｙ’１９：接続端子、Ｖ：電圧、Ｗ：幅広部、Ｘ，Ｘｉ，Ｘ０～Ｘ３：Ｘ電極（第二電極）、Ｙ，Ｙｉ，Ｙ０～Ｙ１９：Ｙ電極（第一電極）、Ｙａ，Ｙａ０～Ｙａ１９，Ｙｂ，Ｙｂ０～Ｙｂ１９：子電極、ｆ：周波数
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】