(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-09-24
(45)【発行日】2024-10-02
(54)【発明の名称】リングフレームの保持機構
(51)【国際特許分類】
H01L 21/683 20060101AFI20240925BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20240925BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 P
H01L21/78 M
【請求項の数】
2
(21)【出願番号】P 2019166308
(22)【出願日】2019-09-12
(65)【公開番号】P2021044445
(43)【公開日】2021-03-18
【審査請求日】2022-07-15
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110001014
【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】和田 昌大
(72)【発明者】
【氏名】渡辺 奈王久
【審査官】井上 和俊
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１８－１３９２８４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－０２６３７５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－０１５８２５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１４－１５０２３３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００２－０１６１２７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００６－２１２７１８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－１３５０７２（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６８３
Ｈ０１Ｌ ２１／３０１
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
吸引保持具を用いてリングフレームの下面を吸引することにより、該リングフレームを保持するリングフレーム保持機構であって、テーブルと、
該テーブルの上面に形成された開口を有する凹部に配置された該吸引保持具と、
該吸引保持具を吸引源に連通する吸引路と、
該吸引路に配設される吸引バルブと、
該吸引保持具をエア供給源に連通するエア供給路と、を備え、
該吸引保持具は、
吸盤と、
該吸盤の下端に連結された筒蛇腹と、
該筒蛇腹の内部に配設され、該吸盤の上端より下方に位置付けられ、かつ、該テーブルの上面より下方に位置付けられた上端を有する筒と、を備え、
該筒の下開口を吸引源に連通して、該吸盤の上端に該リングフレームを接触させて、該リングフレームが該吸盤の上端に接触している状態で密室となった該筒蛇腹の内部を負圧にすることにより、該吸盤が該リングフレームを保持するとともに、該筒蛇腹の内部にかかる負圧と該筒蛇腹外の大気圧との間に圧力差が発生して、大気圧によって該筒の外側面側によって内側面側が支持されている該筒蛇腹が該筒の外側面にガイドされて収縮して該筒蛇腹の収縮方向に該吸盤を移動させて該吸盤が該凹部内に収容されていき、該筒が該リングフレームに非接触の状態で、該テーブルの上面によって該リングフレームを保持する、リングフレームの保持機構。
【請求項2】
該リングフレームは、平行に向かい合った第１平坦面及び第２平坦面と、該第１平坦面及び該第２平坦面の向かい合う方向に対して直交する方向に向かい合った第３平坦面及び第４平坦面とを備え、該第１平坦面及び該第２平坦面を挟む第１固定位置決め部及び第１可動位置決め部と、
該第３平坦面及び該第４平坦面を挟む第２固定位置決め部及び第２可動位置決め部と、を備え、
位置決めされている該リングフレームを保持した該吸盤を該テーブルの上面に垂直な方向に下降させ該凹部に収容させ、該テーブルの上面によって該リングフレームを支持する、請求項１記載のリングフレームの保持機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、リングフレームの保持機構に関する。
【背景技術】
【0002】
リングフレームとウェーハとにダイシングテープを貼着して一体化するテープマウンタは、ウェーハの直径よりも大きい内径のリングフレームを保持するリングフレーム保持機構と、リングフレームの開口部分でウェーハを保持するウェーハ保持手段と、リングフレームとウェーハとに円形のダイシングテープを貼着する貼着手段とを備える。
リングフレーム保持機構は、リングフレームの下面を吸引保持する吸盤と、リングフレームの下面を支持する支持テーブルと、を備える。
ウェーハ保持手段は、ウェーハの下面を吸引保持する保持面を有する保持テーブルを備える。
リングフレーム保持機構は、リングフレームの下面を吸引保持する吸盤と、リングフレームの下面を支持する支持テーブルと、を備える。
ウェーハ保持手段は、ウェーハの下面を吸引保持する保持面を有する保持テーブルを備える。
【0003】
ウェーハの中心とリングフレームの開口の中心とを一致させるために、リングフレーム保持機構は、特許文献１に開示のように、位置決め手段等を用いてリングフレームの外周に対向して形成されている平坦面を挟むことにより、リングフレームを目標位置に位置決めしている。リングフレームは、吸盤から噴出されるエアによって浮上して所定の位置に位置決めされてから、吸盤の上に保持されることで、支持テーブルで支持している。
吸盤を使用している理由は、リングフレームの下面に傷をつけないようにするため、および、リングフレームに僅かな歪みがあっても吸引保持することを可能にするためである。吸盤は、歪みに対応するため、筒状の蛇腹を備えている。
吸盤を使用している理由は、リングフレームの下面に傷をつけないようにするため、および、リングフレームに僅かな歪みがあっても吸引保持することを可能にするためである。吸盤は、歪みに対応するため、筒状の蛇腹を備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２０１３－０８２０４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかし、吸盤の上にリングフレームを吸引保持し、支持テーブルにリングフレームを支持させている際に、吸盤とリングフレームとの間に作用する吸引力によって蛇腹が内側に凹んでしまい、リングフレームの吸引保持を止めても凹みが回復しないため、蛇腹に凹みが形作られる。すると、他の吸盤と高さが変わってしまい、その後にリングフレームを浮上させることができなくなってしまう。
したがって、吸盤を用いてリングフレームを吸引保持するリングフレームの保持機構には、リングフレームを吸引保持しているときに、蛇腹を不適切な形に変形させないようにするという解決すべき課題がある。
したがって、吸盤を用いてリングフレームを吸引保持するリングフレームの保持機構には、リングフレームを吸引保持しているときに、蛇腹を不適切な形に変形させないようにするという解決すべき課題がある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、吸引保持具を用いてリングフレームの下面を吸引することにより、該リングフレームを保持するリングフレーム保持機構であって、テーブルと、該テーブルの上面に形成された開口を有する凹部に配置された該吸引保持具と、該吸引保持具を吸引源に連通する吸引路と、該吸引路に配設される吸引バルブと、該吸引保持具をエア供給源に連通するエア供給路と、を備え、該吸引保持具は、吸盤と、該吸盤の下端に連結された筒蛇腹と、該筒蛇腹の内部に配設され、該吸盤の上端より下方に位置付けられ、かつ、該テーブルの上面より下方に位置付けられた上端を有する筒と、を備え、該筒の下開口を吸引源に連通して、該吸盤の上端に該リングフレームを接触させて、該リングフレームが該吸盤の上端に接触している状態で密室となった該筒蛇腹の内部を負圧にすることにより、該吸盤が該リングフレームを保持するとともに、該筒蛇腹の内部にかかる負圧と該筒蛇腹外の大気圧との間に圧力差が発生して、大気圧によって該筒の外側面側によって内側面側が支持されている該筒蛇腹が該筒の外側面にガイドされて収縮して該筒蛇腹の収縮方向に該吸盤を移動させて該吸盤が該凹部内に収容されていき、該筒が該リングフレームに非接触の状態で、該テーブルの上面によって該リングフレームを支持する。
このリングフレームの保持機構において、該リングフレームは、平行に向かい合った第１平坦面及び第２平坦面と、該第１平坦面及び該第２平坦面の向かい合う方向に対して直交する方向に向かい合った第３平坦面及び第４平坦面とを備え、該第１平坦面及び該第２平坦面を挟む第１固定位置決め部及び第１可動位置決め部と、該第３平坦面及び該第４平坦面を挟む第２固定位置決め部及び第２可動位置決め部とを備え、位置決めされている該リングフレームを保持した該吸盤を該テーブルの上面に垂直な方向に下降させ該凹部に収容させ、該テーブルの上面によって該リングフレームを支持するようにしてもよい。
このリングフレームの保持機構において、該リングフレームは、平行に向かい合った第１平坦面及び第２平坦面と、該第１平坦面及び該第２平坦面の向かい合う方向に対して直交する方向に向かい合った第３平坦面及び第４平坦面とを備え、該第１平坦面及び該第２平坦面を挟む第１固定位置決め部及び第１可動位置決め部と、該第３平坦面及び該第４平坦面を挟む第２固定位置決め部及び第２可動位置決め部とを備え、位置決めされている該リングフレームを保持した該吸盤を該テーブルの上面に垂直な方向に下降させ該凹部に収容させ、該テーブルの上面によって該リングフレームを支持するようにしてもよい。
【発明の効果】
【0007】
本発明においては、筒蛇腹の内部に筒が配設されているため、筒蛇腹が凹もうとするときに筒蛇腹が筒に支持されて、筒蛇腹が不適切な形に変形するのを抑制することができる。これによって、複数備えられている吸盤の各々の高さが変わることなく、リングフレームを浮上させることが可能になり、位置決めを行うことができるようになった。そして、位置決めされたリングフレームを吸引保持することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】リングフレーム保持機構の全体を表す斜視図である。
【図2】リングフレーム保持機構を側方から見た断面図である。
【図3】搬送機構を用いてリングフレームをリングフレーム保持機構に搬送する様子を側方から見た断面図である。
【図4】リングフレームと吸盤との間にエア層が形成されている様子を側方から見た断面図である。
【図5】リングフレームが吸盤の上に吸引保持されている様子を側方から見た断面図である。
【図6】リングフレーム保持機構に配設されている吸引保持具が、吸盤と筒蛇腹とが一体化したベローズパッドであり、筒蛇腹の内部に備える筒がつば部を有するものである場合のリングフレーム保持機構を側方から見た断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
１ リングフレーム保持機構の構成
図１に示すように、リングフレーム保持機構１０は、リングフレーム１を保持する保持機構である。リングフレーム１は、例えば、図示しないウェーハ等とともに図示しない貼着テープに貼着して、リングフレーム１とウェーハ等とが一体化することにより、ウェーハ等のハンドリング性能を向上させることができる。
リングフレーム１は、平行に向かい合った第１平坦面３１及び第２平坦面３２、第１平坦面３１及び第２平坦面３２の向かい合う方向に対して直交する方向に向かい合った第３平坦面３３及び第４平坦面３４を備えている。これら４つの平坦面３１～３４は、リングフレーム１の外周に備えられている。
以下、リングフレーム保持機構１０について説明する。
図１に示すように、リングフレーム保持機構１０は、リングフレーム１を保持する保持機構である。リングフレーム１は、例えば、図示しないウェーハ等とともに図示しない貼着テープに貼着して、リングフレーム１とウェーハ等とが一体化することにより、ウェーハ等のハンドリング性能を向上させることができる。
リングフレーム１は、平行に向かい合った第１平坦面３１及び第２平坦面３２、第１平坦面３１及び第２平坦面３２の向かい合う方向に対して直交する方向に向かい合った第３平坦面３３及び第４平坦面３４を備えている。これら４つの平坦面３１～３４は、リングフレーム１の外周に備えられている。
以下、リングフレーム保持機構１０について説明する。
【0010】
図１に示すように、リングフレーム保持機構１０は、保持テーブル１２を備えている。保持テーブル１２の上面はウェーハ等が保持される保持面１２ａとなっている。
リングフレーム保持機構１０は、環状テーブル１１を備えている。環状テーブル１１は保持テーブル１２を囲繞しており、環状テーブル１１の上面１１ａには開口を有する複数（図１においては４つ）の凹部１１ｃが形成されている。
リングフレーム保持機構１０は、環状テーブル１１を備えている。環状テーブル１１は保持テーブル１２を囲繞しており、環状テーブル１１の上面１１ａには開口を有する複数（図１においては４つ）の凹部１１ｃが形成されている。
【0011】
リングフレーム保持機構１０は、例えば、互いに向かい合う第１固定位置決め部５１及び第１可動位置決め部５３と、互いに向かい合う第２固定位置決め部５５及び第２可動位置決め部５７と、を備えている。例えば、第１固定位置決め部５１と第１可動位置決め部５３とが向かい合う方向と、第２固定位置決め部５５と第２可動位置決め部５７とが向かい合う方向とは、互いに直交している。
【0012】
第１固定位置決め部５１は、環状テーブル１１に固定された第１固定部材５１Ｂ、および、第１固定部材５１Ｂに取り付けられた２本の第１固定ピン５１Ｐを備えている。
第１固定位置決め部５１に対向する第１可動位置決め部５３は、第１可動部材５３Ｂと、第１可動部材５３Ｂに取り付けられた１本の第１可動ピン５３Ｐと、第１可動部材５３Ｂを環状テーブル１１の径方向に貫通する第１シャフト５３Ｓを備えている。第１可動部材５３Ｂは、第１シャフト５３Ｓに沿って環状テーブル１１の径方向に移動可能である。
第１固定位置決め部５１に対向する第１可動位置決め部５３は、第１可動部材５３Ｂと、第１可動部材５３Ｂに取り付けられた１本の第１可動ピン５３Ｐと、第１可動部材５３Ｂを環状テーブル１１の径方向に貫通する第１シャフト５３Ｓを備えている。第１可動部材５３Ｂは、第１シャフト５３Ｓに沿って環状テーブル１１の径方向に移動可能である。
【0013】
同様に、第２固定位置決め部５５は、環状テーブル１１に固定された第２固定部材５５Ｂと、第２固定部材５５Ｂに取り付けられた２本の第２固定ピン５５Ｐとを備えている。
第２固定位置決め部５５に対向する第２可動位置決め部５７は、第２可動部材５７Ｂと第２可動部材５７Ｂに取り付けられた１本の第２可動ピン５７Ｐと第２可動部材５７Ｂを環状テーブル１１の径方向に貫通する第２シャフト５７Ｓとを備えている。第２可動部材５７Ｂは、第２シャフト５７Ｓに沿って環状テーブル１１の径方向に移動可能である。
第２固定位置決め部５５に対向する第２可動位置決め部５７は、第２可動部材５７Ｂと第２可動部材５７Ｂに取り付けられた１本の第２可動ピン５７Ｐと第２可動部材５７Ｂを環状テーブル１１の径方向に貫通する第２シャフト５７Ｓとを備えている。第２可動部材５７Ｂは、第２シャフト５７Ｓに沿って環状テーブル１１の径方向に移動可能である。
【0014】
第１可動位置決め部５３においては、例えば、第１可動部材５３Ｂの内部に例えば図示しないバネ機構等が配設されている。例えば、第１可動ピン５３Ｐを＋Ｚ方向側から押圧すると、係るバネ機構等により、第１可動ピン５３Ｐが－Ｚ方向に降下して第１可動部材５３Ｂの内部に収容される。また、第１可動ピン５３Ｐに＋Ｚ方向側からかけられている押圧力を解くことにより、第１可動部材５３Ｂの内部に収容されていた第１可動ピン５３Ｐが＋Ｚ方向に上昇して再び環状テーブル１１の上に突出することとなる。図１においては、第１可動ピン５３Ｐには上記のような押圧力がかけられておらず、第１可動ピン５３Ｐは環状テーブル１１の上に突出している。
【0015】
第２可動位置決め部５７においても同様に、例えば、第２可動部材５７Ｂの内部に配設されている図示しないバネ機構等によって第２可動ピン５７Ｐが昇降移動可能となっている。
環状テーブル１１の上面１１ａにリングフレーム１が載置された状態で、例えば、第１固定位置決め部５１と第１可動位置決め部５３とによって、リングフレーム１の第１平坦面３１と第２平坦面３２とを挟むことにより、リングフレーム１は環状テーブル１１の上面１１ａにおいて位置決めされ、固定されることとなる。
環状テーブル１１の上面１１ａにリングフレーム１が載置された状態で、例えば、第１固定位置決め部５１と第１可動位置決め部５３とによって、リングフレーム１の第１平坦面３１と第２平坦面３２とを挟むことにより、リングフレーム１は環状テーブル１１の上面１１ａにおいて位置決めされ、固定されることとなる。
【0016】
図２に示すように、環状テーブル１１に形成されている凹部１１ｃの底面には、凹部１１ｃよりも小さな孔１１０ｂを形成している。
【0017】
凹部１１ｃには、吸引保持具４０が配設されている。
吸引保持具４０は吸盤４１を備えている。吸盤４１の上にはリングフレーム１を載置することができる。
吸引保持具４０は吸盤４１を備えている。吸盤４１の上にはリングフレーム１を載置することができる。
【0018】
吸引保持具４０はＺ軸方向に伸縮可能な筒蛇腹４２を備えている。筒蛇腹４２は、吸盤４１の下端４１ｂに連結されている。
【0019】
吸引保持具４０は中空円筒状の筒４３を備えている。筒４３は、筒蛇腹４２の内部に配設されており、筒４３の下開口４３ｂは、孔１１０ｂに連結されている。
また、筒４３の上端４３ａは、環状テーブル１１の上面１１ａより下方に位置付けられている。筒４３の上端４３ａの高さ位置と吸盤４１の上端４１ａの高さ位置との位置関係は、例えば、吸盤４１の上にリングフレーム１を吸引保持することにより筒蛇腹４２が収縮しても、筒４３の上端４３ａの高さ位置が吸盤４１の上端４１ａの高さ位置よりも上にならない位置関係である。
また、筒４３の上端４３ａは、環状テーブル１１の上面１１ａより下方に位置付けられている。筒４３の上端４３ａの高さ位置と吸盤４１の上端４１ａの高さ位置との位置関係は、例えば、吸盤４１の上にリングフレーム１を吸引保持することにより筒蛇腹４２が収縮しても、筒４３の上端４３ａの高さ位置が吸盤４１の上端４１ａの高さ位置よりも上にならない位置関係である。
【0020】
保持テーブル１２の下方には、吸引源６１と、吸引源６１に接続された吸引路６３と、吸引源６１と吸引路６３との連通状態を切り替える吸引バルブ６２とが配設されている。
また、保持テーブル１２の下方には、エア供給源６４と、エア供給源６４に接続されたエア供給路６６と、エア供給源６４とエア供給路６６との連通状態を切り替えるエアバルブ６５とが配設されている。
吸引路６３とエア供給路６６とは、合流点ａにおいて合流しており、共通路６７に接続されている。共通路６７は、孔１１０ｂに接続されている。
また、保持テーブル１２の下方には、エア供給源６４と、エア供給源６４に接続されたエア供給路６６と、エア供給源６４とエア供給路６６との連通状態を切り替えるエアバルブ６５とが配設されている。
吸引路６３とエア供給路６６とは、合流点ａにおいて合流しており、共通路６７に接続されている。共通路６７は、孔１１０ｂに接続されている。
【0021】
例えば、吸引バルブ６２が開いている状態、かつ、エアバルブ６５が閉じている状態において、吸引源６１により吸引力を発揮すると、生み出された吸引力が吸引路６３を通じて共通路６７に伝達され、さらに共通路６７を通って、孔１１０ｂへと伝達される。そして、孔１１０ｂに連結されている筒４３の下開口４３ｂから筒４３の内部へと伝わり、筒４３の上端４３ａから、環状テーブル１１の上方へと伝達されることとなる。
また、例えば、吸引バルブ６２が閉じている状態、かつ、エアバルブ６５が開いている状態において、エア供給源６４を作動させてエアの供給を行うと、供給されたエアがエア供給路６６を通じて共通路６７に伝達され、さらに共通路６７を通って孔１１０ｂへと伝達される。そして、孔１１０ｂに連結されている筒４３の下開口４３ｂから筒４３の内部へと伝わり、環状テーブル１１の上方へとエアが供給されることとなる。
また、例えば、吸引バルブ６２が閉じている状態、かつ、エアバルブ６５が開いている状態において、エア供給源６４を作動させてエアの供給を行うと、供給されたエアがエア供給路６６を通じて共通路６７に伝達され、さらに共通路６７を通って孔１１０ｂへと伝達される。そして、孔１１０ｂに連結されている筒４３の下開口４３ｂから筒４３の内部へと伝わり、環状テーブル１１の上方へとエアが供給されることとなる。
【0022】
図３に示すように、リングフレーム保持機構１０は、例えば、第１固定位置決め部５１、第１可動位置決め部５３、第２固定位置決め部５５、及び第２可動位置決め部５７に代えて、第１ブロック７１及び第２ブロック７２を備えていてもよい。
第１ブロック７１は、シリンダ機構８に接続されており、第１ブロック７１と第２ブロック７２とシリンダ機構８とはリングフレーム１の位置決めを行う機能を有している。
例えば、リングフレーム１が環状テーブル１１に載置された状態で、シリンダ機構８を用いて第１ブロック７１をリングフレーム１の径方向（＋Ｙ方向）に向けて移動させることによって、第１ブロック７１の側面７１ｃを第１平坦面３１に、第２ブロック７２の側面７２ｃを第２平坦面３２にそれぞれ接触させて、第１平坦面３１と第２平坦面３２とを外側から挟み込むことができる。この状態で、シリンダ機構８を用いて第１ブロック７１の位置を適宜調整して、環状テーブル１１の上におけるリングフレーム１の位置決めをすることができる。
なお、例えば、第１ブロック７１と第２ブロック７２とが向かい合う方向に直交する方向にも、同様にリングフレーム１の位置決めの機能を有する２つのブロックやシリンダ機構等が配設されていてもよい。
第１ブロック７１は、シリンダ機構８に接続されており、第１ブロック７１と第２ブロック７２とシリンダ機構８とはリングフレーム１の位置決めを行う機能を有している。
例えば、リングフレーム１が環状テーブル１１に載置された状態で、シリンダ機構８を用いて第１ブロック７１をリングフレーム１の径方向（＋Ｙ方向）に向けて移動させることによって、第１ブロック７１の側面７１ｃを第１平坦面３１に、第２ブロック７２の側面７２ｃを第２平坦面３２にそれぞれ接触させて、第１平坦面３１と第２平坦面３２とを外側から挟み込むことができる。この状態で、シリンダ機構８を用いて第１ブロック７１の位置を適宜調整して、環状テーブル１１の上におけるリングフレーム１の位置決めをすることができる。
なお、例えば、第１ブロック７１と第２ブロック７２とが向かい合う方向に直交する方向にも、同様にリングフレーム１の位置決めの機能を有する２つのブロックやシリンダ機構等が配設されていてもよい。
【0023】
リングフレーム保持機構１０の近傍には、例えばリングフレーム１を環状テーブル１１の上へと搬入したり、環状テーブル１１の上から搬出したりする機能を有する搬送機構２が配設されている。搬送機構２は、例えばリングフレーム１を吸着する複数の吸着部２１と、複数の吸着部２１をそれぞれ保持する保持部材２２と、複数の保持部材２２を支持する支持部２３と、駆動源（図示せず）に連結されたアーム部２４と、支持部２３とアーム部２４とを連結する連結部材２５とを備えている。吸着部２１の内部には、連通路２７が形成されており、連通路２７は搬送吸引源２６に接続されている。
吸着部２１の下面とリングフレーム１の上面１ａとが接触している状態で、搬送吸引源２６を作動させて、搬送吸引源２６が吸引力を発揮すると、生み出された吸引力が連通路２７を通じて吸着部２１の下面に伝達される。これにより吸着部２１においてリングフレーム１を吸引保持することができる。
吸着部２１にリングフレーム１が吸引保持された状態で、図示しない移動手段等がアーム部２４を移動させることによって、搬送機構２がリングフレーム１を環状テーブル１１の上面１１ａに搬入したり、環状テーブル１１の上面１１ａから搬出したりすることが可能となっている。
吸着部２１の下面とリングフレーム１の上面１ａとが接触している状態で、搬送吸引源２６を作動させて、搬送吸引源２６が吸引力を発揮すると、生み出された吸引力が連通路２７を通じて吸着部２１の下面に伝達される。これにより吸着部２１においてリングフレーム１を吸引保持することができる。
吸着部２１にリングフレーム１が吸引保持された状態で、図示しない移動手段等がアーム部２４を移動させることによって、搬送機構２がリングフレーム１を環状テーブル１１の上面１１ａに搬入したり、環状テーブル１１の上面１１ａから搬出したりすることが可能となっている。
【0024】
２ リングフレーム保持機構の動作
上記のリングフレーム保持機構１０を用いてリングフレーム１を保持する際のリングフレーム保持機構１０の動作について説明する。
上記のリングフレーム保持機構１０を用いてリングフレーム１を保持する際のリングフレーム保持機構１０の動作について説明する。
【0025】
まず、図３に示すように、搬送機構２を用いてリングフレーム１を環状テーブル１１の上に搬送して、リングフレーム１を環状テーブル１１の上に載置する。リングフレーム１が環状テーブル１１の上に載置されている状態においては、リングフレーム１の下面１ｂは、環状テーブル１１の凹部１１ｃから突出している吸盤４１の上端４１ａに接触している。
【0026】
そして、図４に示すように、吸引バルブ６２を閉めてエアバルブ６５を開くとともに、エア供給源６４を作動する。これにより、エア供給源６４から供給されたエアが、エア供給路６６から共通路６７に伝達され、孔１１０ｂへと伝達される。孔１１０ｂに伝達されたエアは、孔１１０ｂに連結されている筒４３の下開口４３ｂから筒４３の内部へと供給されて、吸盤４１の上方に供給されることとなる。
吸盤４１の上方にエアが供給されると、リングフレーム１がその下面１ｂ側から上方へと付勢されて、吸盤４１の上端４１ａとリングフレーム１の下面１ｂとの間にエア層Ａが形成される。
吸盤４１の上方にエアが供給されると、リングフレーム１がその下面１ｂ側から上方へと付勢されて、吸盤４１の上端４１ａとリングフレーム１の下面１ｂとの間にエア層Ａが形成される。
【0027】
吸盤４１の上端４１ａとリングフレーム１の下面１ｂとの間にエア層Ａが形成されている状態で、例えば、シリンダ機構８を用いて第１ブロック７１をリングフレーム１の径方向（＋Ｙ方向）に向けて移動させる。これにより、第１ブロック７１の側面７１ｃが第１平坦面３１に接触する。さらに、第１ブロック７１を＋Ｙ方向に横滑りさせることによって、第２ブロック７２の側面７２ｃを第２平坦面３２に接触させて、第１平坦面３１と第２平坦面３２とを外側から挟み込む。この状態で、シリンダ機構８を用いて第１ブロック７１の位置を適宜調整することにより、環状テーブル１１の上におけるリングフレーム１の位置決めがなされる。
【0028】
次いで、エア供給源６４の動作を停止させて、吸盤４１の上方へのエアの供給を停止する。これにより、吸盤４１の上端４１ａとリングフレーム１の下面１ｂとの間に形成されていたエア層Ａがなくなり、図５に示すように、リングフレーム１の下面１ｂと吸盤４１の上端４１ａとが当接する。
その後、エアバルブ６５を閉じて吸引バルブ６２を開くとともに、吸引源６１を作動させて吸引力を発揮させる。これにより、吸引源６１によって生み出された吸引力が吸引路６３を通じて共通路６７に伝達され、孔１１０ｂへと伝達される。そして、孔１１０ｂに連結されている筒４３の下開口４３ｂから筒４３の内部へと伝わり、筒４３の上端４３ａからリングフレーム１の下面１ｂへと伝達される。
その後、エアバルブ６５を閉じて吸引バルブ６２を開くとともに、吸引源６１を作動させて吸引力を発揮させる。これにより、吸引源６１によって生み出された吸引力が吸引路６３を通じて共通路６７に伝達され、孔１１０ｂへと伝達される。そして、孔１１０ｂに連結されている筒４３の下開口４３ｂから筒４３の内部へと伝わり、筒４３の上端４３ａからリングフレーム１の下面１ｂへと伝達される。
【0029】
このようにして、リングフレーム１の下面１ｂが吸盤４１の上端４１ａに接触している状態で筒蛇腹４２の内部を負圧にすることにより、筒蛇腹４２の内部にかかる圧力と筒蛇腹４２の外部の大気圧との間に圧力差が発生する。これにより、リングフレーム１が吸盤４１に吸引保持されるとともに、大気圧によって筒蛇腹４２が収縮して吸盤４１が凹部１１ｃの内部に収容される。
【0030】
筒蛇腹４２が収縮していく際、筒蛇腹４２の内部に配設されている筒４３によって筒蛇腹４２がガイドされて、筒蛇腹４２の収縮方向に直交する方向に筒蛇腹４２が変形するのが防止される。したがって、複数備えられている吸盤４１の各々の高さが変わることなく、リングフレーム１を浮上させることが可能になり、位置決めを行うことができるようになる。そして、位置決めされたリングフレーム１を吸引保持することが可能となる。
【0031】
なお、リングフレーム保持機構１０に備える吸引保持具４０は、図６に示すように、例えば、吸盤４１と筒蛇腹４２とが一体化している、いわゆるベローズパッドでもよい。
筒蛇腹４２の内部には、略円柱状の筒４３が配設されており、筒４３の側面の下部には雄ねじ４３１が形成されている。孔１１０ｂには、雄ねじ４３１に対応する雌ねじ１１０ｃが形成されており、筒４３の雄ねじ４３１が雌ねじ１１０ｃに螺合して、筒４３が孔１１０ｂに固定されている。
例えば、筒４３の側面には、筒４３の径方向に向かって張り出すようにつば部４３０が形成されている。
筒４３の雄ねじ４３１が雌ねじ１１０ｃに螺合して、つば部４３０と凹部１１ｃの底部とで筒蛇腹４２を挟み、筒蛇腹４２を凹部１１ｃに固定する。また、上記のように、リングフレーム１が吸盤４１に載置された状態で、吸引源６１を用いて筒蛇腹４２の内部を負圧にすると、吸盤４１の上にリングフレーム１が吸引保持されて筒蛇腹４２が収縮する。このとき、つば部４３０で固定される筒蛇腹４２の内部の壁を筒の上端４３ａ（筒４３）で押さえ、大気圧によって筒蛇腹４２が筒蛇腹４２の収縮方向に直交する方向に変形するのを防ぐことができる。
筒蛇腹４２の内部には、略円柱状の筒４３が配設されており、筒４３の側面の下部には雄ねじ４３１が形成されている。孔１１０ｂには、雄ねじ４３１に対応する雌ねじ１１０ｃが形成されており、筒４３の雄ねじ４３１が雌ねじ１１０ｃに螺合して、筒４３が孔１１０ｂに固定されている。
例えば、筒４３の側面には、筒４３の径方向に向かって張り出すようにつば部４３０が形成されている。
筒４３の雄ねじ４３１が雌ねじ１１０ｃに螺合して、つば部４３０と凹部１１ｃの底部とで筒蛇腹４２を挟み、筒蛇腹４２を凹部１１ｃに固定する。また、上記のように、リングフレーム１が吸盤４１に載置された状態で、吸引源６１を用いて筒蛇腹４２の内部を負圧にすると、吸盤４１の上にリングフレーム１が吸引保持されて筒蛇腹４２が収縮する。このとき、つば部４３０で固定される筒蛇腹４２の内部の壁を筒の上端４３ａ（筒４３）で押さえ、大気圧によって筒蛇腹４２が筒蛇腹４２の収縮方向に直交する方向に変形するのを防ぐことができる。
【符号の説明】
【0032】
１：リングフレーム １ａ：リングフレームの上面 １ｂ：リングフレームの下面
１０：リングフレーム保持機構 １１：環状テーブル １１ａ：環状テーブルの上面
１１ｃ：凹部 １１０ｂ：孔 １１０ｃ：雌ねじ
１２：保持テーブル １２ａ：保持面
２：搬送機構 ２１：吸着部 ２２：保持部材 ２３：支持部 ２４：アーム部
２５：連結部材 ２６：搬送吸引源 ２７：連通路
３１：第１平坦面 ３２：第２平坦面 ３３：第３平坦面 ３４：第４平坦面
４０：吸引保持具 ４１：吸盤 ４１ａ：吸盤の上端 ４１ｂ：吸盤の下端
４２：筒蛇腹 ４３：筒 ４３ａ：筒の上端 ４３ｂ：筒の下開口
４３０：つば部 ４３１：雄ねじ
５１：第１固定位置決め部 ５１Ｂ：第１固定部材 ５１Ｐ：第１固定ピン
５３：第１可動位置決め部 ５３Ｂ：第１可動部材 ５３Ｐ：第１可動ピン
５３Ｓ：第１シャフト
５５：第２固定位置決め部 ５５Ｂ：第２固定部材 ５５Ｐ：第２固定ピン
５７：第２可動位置決め部 ５７Ｂ：第２可動部材 ５７Ｐ：第２可動ピン
５７Ｓ：第２シャフト
６１：吸引源 ６２：吸引バルブ ６３：吸引路 ６４：エア供給源
６５：エアバルブ ６６：エア供給路 ａ：合流点 ６７：共通路
７１：第１ブロック ７２：第２ブロック
１０：リングフレーム保持機構 １１：環状テーブル １１ａ：環状テーブルの上面
１１ｃ：凹部 １１０ｂ：孔 １１０ｃ：雌ねじ
１２：保持テーブル １２ａ：保持面
２：搬送機構 ２１：吸着部 ２２：保持部材 ２３：支持部 ２４：アーム部
２５：連結部材 ２６：搬送吸引源 ２７：連通路
３１：第１平坦面 ３２：第２平坦面 ３３：第３平坦面 ３４：第４平坦面
４０：吸引保持具 ４１：吸盤 ４１ａ：吸盤の上端 ４１ｂ：吸盤の下端
４２：筒蛇腹 ４３：筒 ４３ａ：筒の上端 ４３ｂ：筒の下開口
４３０：つば部 ４３１：雄ねじ
５１：第１固定位置決め部 ５１Ｂ：第１固定部材 ５１Ｐ：第１固定ピン
５３：第１可動位置決め部 ５３Ｂ：第１可動部材 ５３Ｐ：第１可動ピン
５３Ｓ：第１シャフト
５５：第２固定位置決め部 ５５Ｂ：第２固定部材 ５５Ｐ：第２固定ピン
５７：第２可動位置決め部 ５７Ｂ：第２可動部材 ５７Ｐ：第２可動ピン
５７Ｓ：第２シャフト
６１：吸引源 ６２：吸引バルブ ６３：吸引路 ６４：エア供給源
６５：エアバルブ ６６：エア供給路 ａ：合流点 ６７：共通路
７１：第１ブロック ７２：第２ブロック
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】