(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-09-24
(45)【発行日】2024-10-02
(54)【発明の名称】切削装置
(51)【国際特許分類】
B24B 55/06 20060101AFI20240925BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20240925BHJP
B24B 27/06 20060101ALI20240925BHJP
B24B 55/02 20060101ALI20240925BHJP
【ＦＩ】
B24B55/06
H01L21/78 F
B24B27/06 J
B24B55/02 D
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2020172503
(22)【出願日】2020-10-13
(65)【公開番号】P2022064024
(43)【公開日】2022-04-25
【審査請求日】2023-09-07
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110001014
【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】美細津 祐成
【審査官】マキロイ 寛済
(56)【参考文献】
【文献】特開２００７－１８８９７４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１１３３７３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００３－２３４３０８（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２４Ｂ ５５／０６
Ｈ０１Ｌ ２１／３０１
Ｂ２４Ｂ ２７／０６
Ｂ２４Ｂ ５５／０２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
保持面にウェーハを保持するチャックテーブルと、ウェーハを切削する切削ブレードがスピンドルの先端に配置され該保持面に保持されたウェーハを切削する切削手段と、該切削ブレードの回転方向に対して順方向の切削送り方向に該チャックテーブルを切削送りすることによってウェーハを切削する切削送り手段と、を備える切削装置であって、該スピンドルに平行に延在し該切削送り方向における該スピンドルの上流側に配置され、ウェーハの切削加工中に、該切削送りされる該チャックテーブルの該切削送り方向に対して順方向に水を噴射して、該保持面に保持されたウェーハの上面に水層を形成する水ノズルと、
該スピンドルおよび該水ノズルに平行に延在し該切削送り方向における該水ノズルの下流側に配置され、該水ノズルにより水を噴射し該水層を形成しつつ該水層の上面に該チャックテーブルの該切削送り方向に対して順方向にエアを流し該切削送り方向の該順方向に水流を形成するエアノズルと、を備える切削装置。
【請求項2】
該水ノズルと、該エアノズルとを、該チャックテーブルに隣接して配置して、該チャックテーブルと共に該切削送り方向に移動させる請求項１記載の切削装置。
【請求項3】
該エアノズルは、エアに水を混合させた二流体を噴射する請求項１記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、切削装置に関する。
【背景技術】
【0002】
切削ブレードを用いてチャックテーブルに保持されたウェーハを切削する切削装置は、ウェーハの研削加工によって生じた切削屑がウェーハの上面に付着しないように切削中にウェーハの上面を水で満たしている。特許文献１に開示のようにウェーハの上面の全面に水を行き渡らせながら、チャックテーブルを切削送りさせてウェーハを切削している。
【0003】
しかし、ウェーハの上面の水は流れが小さく、または水の流れが無く、さらに、切削ブレードを回転させるスピンドルユニットの下面とウェーハの上面との隙間が水で満たされ、水を介してウェーハの上面とスピンドルユニットの下面とが接合されたようになる。
そのため、ウェーハの上面の水に流れが生じなくなり、切削屑がウェーハの上面の水層の中で滞留してウェーハの上面に付着してしまう。
また、特許文献２、３に開示のように水槽を形成してウェーハの上面の全面を水で満たすという発明がある。この場合も、ウェーハの上面の水に流れが無くウェーハの上面に切削屑が付着してしまう。
そのため、ウェーハの上面の水に流れが生じなくなり、切削屑がウェーハの上面の水層の中で滞留してウェーハの上面に付着してしまう。
また、特許文献２、３に開示のように水槽を形成してウェーハの上面の全面を水で満たすという発明がある。この場合も、ウェーハの上面の水に流れが無くウェーハの上面に切削屑が付着してしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２００５－２２２９９０号公報
【文献】特開２００１－１３５５９６号公報
【文献】特開２０１７－０９４４５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
したがって、切削装置にはウェーハの上面に水の流れがある水層を形成して、切削屑の付着を防止するという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、保持面にウェーハを保持するチャックテーブルと、ウェーハを切削する切削ブレードがスピンドルの先端に配置され該保持面に保持されたウェーハを切削する切削手段と、該切削ブレードの回転方向に対して順方向の切削送り方向に該チャックテーブルを切削送りすることによってウェーハを切削する切削送り手段と、を備える切削装置であって、該スピンドルに平行に延在し該切削送り方向における該スピンドルの上流側に配置され、ウェーハの切削加工中に、該切削送りされる該チャックテーブルの該切削送り方向に対して順方向に水を噴射して、該保持面に保持されたウェーハの上面に水層を形成する水ノズルと、該スピンドルおよび該水ノズルに平行に延在し該切削送り方向における該水ノズルの下流側に配置され、該水ノズルにより水を噴射し該水層を形成しつつ該水層の上面に該チャックテーブルの該切削送り方向に対して順方向にエアを流し該切削送り方向の該順方向に水流を形成するエアノズルと、を備える切削装置である。
上記の切削装置は、該水ノズルと、該エアノズルとを、該チャックテーブルに隣接して配置して、該チャックテーブルと共に該切削送り方向に移動させるものであることが望ましい。
上記のエアノズルは、エアに水を混合させた二流体を噴射するものであってもよい。
上記の切削装置は、該水ノズルと、該エアノズルとを、該チャックテーブルに隣接して配置して、該チャックテーブルと共に該切削送り方向に移動させるものであることが望ましい。
上記のエアノズルは、エアに水を混合させた二流体を噴射するものであってもよい。
【発明の効果】
【0007】
本発明の切削装置では、ウェーハの研削加工中に水ノズルから水を噴射するとともにエアノズルからエアを噴射することにより、ウェーハの上面に水の流れを生じさせてウェーハの研削加工によって生じた研削屑をウェーハの上面から洗い流すことができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
１ 切削装置の構成
図１に示す切削装置１は、第1切削手段３１及び第２切削手段３２を用いてウェーハ１４０を切削加工する切削装置である。ウェーハ１４０が環状のフレーム１４１の内側に位置付けられている状態で、フレーム１４１の下面とウェーハ１４０の下面とにテープ１４２が貼着されることにより、ウェーハ１４０、フレーム１４１、及びテープ１４２が一体化されたワークユニット１４が形成される。ウェーハ１４０の上面１４００には、互いに直交する複数の分割予定ライン１４０２が形成されており、分割予定ライン１４０２によって区画された領域にはデバイス１４０１が配設されている。以下、切削装置１の構成について説明する。
図１に示す切削装置１は、第1切削手段３１及び第２切削手段３２を用いてウェーハ１４０を切削加工する切削装置である。ウェーハ１４０が環状のフレーム１４１の内側に位置付けられている状態で、フレーム１４１の下面とウェーハ１４０の下面とにテープ１４２が貼着されることにより、ウェーハ１４０、フレーム１４１、及びテープ１４２が一体化されたワークユニット１４が形成される。ウェーハ１４０の上面１４００には、互いに直交する複数の分割予定ライン１４０２が形成されており、分割予定ライン１４０２によって区画された領域にはデバイス１４０１が配設されている。以下、切削装置１の構成について説明する。
【0010】
切削装置１は、図１に示すように水平方向に延設されたベース１０を備えている。ベース１０の＋Ｘ方向側かつ－Ｙ方向側の部分はカセットステージ１００となっており、カセットステージ１００には、ワークユニット１４が収容された図示しないカセットが載置される。
【0011】
ベース１０の－Ｘ方向側には、門型コラム１１が立設されている。門型コラム１１の＋Ｘ方向側かつ＋Ｙ方向側には、第１切削手段３１を昇降可能に支持する第１Ｚ軸移動手段４１が配設されている。
【0012】
第１Ｚ軸移動手段４１は、Ｚ軸方向の回転軸４１５を有するボールネジ４１０と、ボールネジ４１０に平行に配設されたガイドレール４１１と、回転軸４１５を軸にしてボールネジ４１０を回転させるＺ軸モータ４１２と、側部のナットがボールネジ４１０に螺合してガイドレール４１１に摺接する昇降板４１３とを備えている。昇降板４１３には、スピンドルハウジング３１１が連結されている。
【0013】
Ｚ軸モータ４１２を用いてボールネジ４１０を回転させることにより、昇降板４１３がガイドレール４１１に案内されながらＺ軸方向に移動するとともに、昇降板４１３に連結されているスピンドルハウジング３１１がＺ軸方向に移動する構成となっている。
【0014】
第１切削手段３１は、切削ブレード３１０とスピンドルハウジング３１１とスピンドルハウジング３１１の内部に収納された第１スピンドル３１２とを備えている。第１スピンドル３１２はＹ軸方向に延設されており、第１スピンドル３１２の－Ｙ方向側には切削ブレード３１０が装着されている。第１スピンドル３１２は図示しないモータ等に連結されており、第１スピンドル３１２が該モータにより駆動されて回転すると第１スピンドル３１２に連結されている切削ブレード３１０が回転することとなる。
【0015】
切削ブレード３１０に隣接する位置には、カメラ等を有する撮像手段３３が配設されている。撮像手段３３を用いてチャックテーブル２の保持面２００に保持されたウェーハ１４０に形成されている分割予定ライン１４０２を撮像することができる。
【0016】
門型コラム１１の＋Ｘ方向側かつ－Ｙ方向側には、第２切削手段３２を昇降可能に支持する第２Ｚ軸移動手段４２が配設されている。
【0017】
第２Ｚ軸移動手段４２は第１Ｚ軸移動手段４１と同様に構成されている。すなわち、第２Ｚ軸移動手段４２は、Ｚ軸方向の回転軸４２５を有するボールネジ４２０と、ボールネジ４２０に平行に配設されたガイドレール４２１と、回転軸４２５を軸にしてボールネジ４２０を回転させるＺ軸モータ４２２と、側部のナットがボールネジ４２０に螺合してガイドレール４２１に摺接する昇降板４２３とを備えている。昇降板４２３には、スピンドルハウジング３２１が連結されている。
【0018】
Ｚ軸モータ４２２を用いてボールネジ４２０を回転させると、昇降板４２３がガイドレール４２１に案内されながらＺ軸方向に移動し、これに伴って昇降板４２３に連結されているスピンドルハウジング３２１がＺ軸方向に移動する構成となっている。
【0019】
第２切削手段３２は第１切削手段３１と同様に構成されている。すなわち、第２切削手段３２は、切削ブレード３２０とスピンドルハウジング３２１とスピンドルハウジング３２１の内部に収納された第２スピンドル３２２とを備えている。第２スピンドル３２２はＹ軸方向に延設されており、第２スピンドル３２２の＋Ｙ方向側には切削ブレード３２０が回転可能に装着されている。第２スピンドル３２２は図示しないモータ等に連結されており、第２スピンドル３２２が該モータにより駆動されて回転すると第２スピンドル３２２に装着された切削ブレード３２０が回転することとなる。
【0020】
門型コラム１１には、第１切削手段３１をＹ軸方向に移動させる第１Ｙ軸移動手段５１と、第２切削手段３２をＹ軸方向に移動させる第２Ｙ軸移動手段５２とが配設されている。
【0021】
第１Ｙ軸移動手段５１は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ５１０と、ボールネジ５１０を回動させるＹ軸モータ（図示せず）と、ボールネジ５１０に平行に配設されたガイドレール５１１と、側部のナットがボールネジ５１０に螺合しガイドレール５１１に摺接するスライド板５１３とを備えている。スライド板５１３は、第１Ｚ軸移動手段４１を支持している。
【0022】
該Ｙ軸モータを用いてボールネジ５１０を回転させるとスライド板５１３がガイドレール５１１に案内されてＹ軸方向に移動し、これに伴ってスライド板５１３に支持されている第１Ｚ軸移動手段４１及び第１Ｚ軸移動手段４１の昇降板４１３に支持されている第１切削手段３１が一体的にＹ軸方向に移動することとなる。
【0023】
第２Ｙ軸移動手段５２は、第１Ｙ軸移動手段５１と同様に構成されている。すなわち、第２Ｙ軸移動手段５２は、Ｙ軸方向の軸心５２５を有するボールネジ５２０と、ボールネジ５２０を回動させるＹ軸モータ５２２と、ボールネジ５２０に平行に配設されたガイドレール５２１と、側部のナットがボールネジ５２０に螺合しガイドレール５２１に摺接するスライド板５２３とを備えている。
【0024】
Ｙ軸モータ５２２を用いてボールネジ５２０を回転させるとスライド板５２３がガイドレール５２１に案内されてＹ軸方向に移動し、これに伴ってスライド板５２３に支持されている第２Ｚ軸移動手段４２及び第２Ｚ軸移動手段４２の昇降板４２３に支持されている第２切削手段３２が一体的にＹ軸方向に移動することとなる。なお、ガイドレール５２１は、第１Ｙ軸移動手段５１のスライド板５１３が移動する際のガイドにもなり、また、同様に、第１Ｙ軸移動手段５１のガイドレール５１１は、第２Ｙ軸移動手段５２のスライド板５２３が移動する際のガイドにもなる。
【0025】
ベース１０の上にはチャックテーブル２が配設されている。チャックテーブル２は、円板状の吸引部２０と吸引部２０を支持する環状の枠体２１とを備えている。吸引部２０の上面はワークユニット１４が保持される保持面２００であり、枠体２１の上面２１０は保持面２００に面一に形成されている。
【0026】
チャックテーブル２に隣接された位置には、チャックテーブル２を四方から囲むようにして４つのクランプ２３が配設されている。テープ１４２と保持面２００とが接触するように上面１４００を＋Ｚ方向に向けて保持面２００にワークユニット１４を載置して、四つのクランプ２３を用いてフレーム１４１を四方から挟持することにより、保持面２００の上にてワークユニット１４を固定することができる。
【0027】
チャックテーブル２は吸引源２９に接続されている。吸引源２９を作動することにより、生み出された吸引力が保持面２００に伝達されることとなる。例えば、保持面２００にワークユニット１４を載置して吸引源２９を作動させることにより、ウェーハ１４０を保持面２００に吸引保持することができる。
【0028】
また、チャックテーブル２は図示しない回転手段に接続されている。該回転手段を用いることにより、チャックテーブル２を回転させることができる。
【0029】
切削装置１は、チャックテーブル２をＸ軸方向に水平移動させる切削送り手段２６を備えている。例えば、チャックテーブル２の保持面２００にウェーハ１４０が保持されている状態で、切削送り手段２６を用いてチャックテーブル２をＸ軸方向に水平移動させることにより、ウェーハ１４０をＸ軸方向に移動させることが可能となっている。
【0030】
チャックテーブル２の周囲にはカバー２７が配設されており、カバー２７は蛇腹２８に伸縮可能に連結されている。
チャックテーブル２がＸ軸方向に移動すると、カバー２７がチャックテーブル２と一体的にＹ軸方向に移動して、蛇腹２８が伸縮することとなる。
チャックテーブル２がＸ軸方向に移動すると、カバー２７がチャックテーブル２と一体的にＹ軸方向に移動して、蛇腹２８が伸縮することとなる。
【0031】
切削装置１は水ノズル６０を備えている。水ノズル６０は、第１スピンドル３１２及び第２スピンドル３２２の延在方向であるＹ軸方向に対して平行に延在するように配設されており、切削送り方向の上流方向側である＋Ｘ方向側に配置されている。水ノズル６０は、図２に示すようにチャックテーブル２に隣接する水平位置に配置されており、チャックテーブル２の＋Ｘ方向側に配置されたクランプ２３の上方に固定されている。また、水ノズル６０の噴射口は－Ｘ方向と－Ｚ方向との間の方向に向けられている。
水ノズル６０は水供給源６００に接続されており、水供給源６００から水ノズル６０に水を供給することによってチャックテーブル２の保持面２００に向けて水を噴射することができる。
水ノズル６０は水供給源６００に接続されており、水供給源６００から水ノズル６０に水を供給することによってチャックテーブル２の保持面２００に向けて水を噴射することができる。
【0032】
切削装置１はエアノズル６１を備えている。エアノズル６１は第１スピンドル３１２、第２スピンドル３２２及び水ノズル６０に対して平行に延在するように配設されている。エアノズル６１の噴射口は－Ｘ方向と－Ｚ方向との間の方向に向けられている。エアノズル６１はエア供給源６１０に接続されている。エア供給源６１０からエアノズル６１にエアを供給することにより、エアノズル６１から保持面２００に対して例えば３０度上方からエアを噴射することができる。そして、例えば水ノズル６０から水を噴射しながらエアノズル６１からエアを噴射することにより、水ノズル６０から噴射し保持面２００に供給された水の水面をエアノズル６１から噴射したエアが流れることによって保持面２００上の水に水流を形成させることができる。
【0033】
エアノズル６１は、上記の構成にかえて水ノズル６０と一体となった混合流体ノズルであって、エアに水を混合させた二流体を噴射することができるものであってもよい。
【0034】
第１切削手段３１には切削ブレード３１０とウェーハ１４０の上面１４００とが接触する加工点に切削水を噴射する切削水ノズル８が配設されている。切削水ノズル８は切削水供給源９に接続されている。切削水供給源９から切削水ノズル８に切削水を供給することにより、切削水ノズル８から加工点に向けて切削水を噴射することができる。
【0035】
２ 切削装置の動作
切削装置１を用いてウェーハ１４０を切削加工する際の切削装置１の動作について説明する。
切削装置１を用いてウェーハ１４０を切削加工する際は、まず、図１に示したワークユニット１４を保持面２００に載置して、４つのクランプ２３を用いてフレーム１４１を把持して固定する。そして、吸引源２９を作動させて生み出された吸引力を保持面２００に伝達することにより、保持面２００にテープ１４２が吸引され、ウェーハ１４０が保持面２００に保持される。
切削装置１を用いてウェーハ１４０を切削加工する際の切削装置１の動作について説明する。
切削装置１を用いてウェーハ１４０を切削加工する際は、まず、図１に示したワークユニット１４を保持面２００に載置して、４つのクランプ２３を用いてフレーム１４１を把持して固定する。そして、吸引源２９を作動させて生み出された吸引力を保持面２００に伝達することにより、保持面２００にテープ１４２が吸引され、ウェーハ１４０が保持面２００に保持される。
【0036】
次に、切削送り手段２６を用いてチャックテーブル２を－Ｘ方向に移動させて、チャックテーブル２に保持されているウェーハ１４０を撮像手段３３の下方に位置付ける。
【0037】
ウェーハ１４０を撮像手段３３の下方に位置付けた後、撮像手段３３を用いてウェーハ１４０に形成されている分割予定ライン１４０２を撮像する。そして、撮像された分割予定ライン１４０２の画像に基づいて、第１Ｙ軸移動手段５１や第２Ｙ軸移動手段５２を用いて第１切削手段３１や第２切削手段３２をＹ軸方向に適宜移動させて、分割予定ライン１４０２に対する第１切削手段３１や第２切削手段３２のＹ軸方向の位置合わせを行う。
【0038】
その後、図２に示すように、切削ブレード３１０及び３２０が回転している状態で、図１に示した第１Ｚ軸移動手段４１及び第２Ｚ軸移動手段４２を用いて第１切削手段３１を－Ｚ方向に移動させて、回転する切削ブレード３１０及び３２０をウェーハ１４０の分割予定ライン１４０２に接触させる。
【0039】
回転する切削ブレード３１０及び３２０がウェーハ１４０の分割予定ライン１４０２に切り込んでいる状態で、切削送り手段２６を用いて、切削ブレード３１０、及び３２０の回転方向に対する順方向である切削送り方向（－Ｘ方向）にチャックテーブル２に保持されたウェーハ１４０を移動させる。
これにより、ウェーハ１４０と切削ブレード３１０、３２０とがＸ軸方向に相対移動し、ウェーハ１４０の分割予定ライン１４０２に沿ってウェーハ１４０が切削される。このとき、チャックテーブル２とともに水ノズル６０とエアノズル６１とが切削送り方向に移動することとなる。
これにより、ウェーハ１４０と切削ブレード３１０、３２０とがＸ軸方向に相対移動し、ウェーハ１４０の分割予定ライン１４０２に沿ってウェーハ１４０が切削される。このとき、チャックテーブル２とともに水ノズル６０とエアノズル６１とが切削送り方向に移動することとなる。
【0040】
ウェーハ１４０の切削加工を行うと切削屑が生じる。そこで、ウェーハ１４０の研削加工中には、図２に示すように水ノズル６０から－Ｘ方向と－Ｚ方向との間の方向に水を噴射する。これにより、ウェーハ１４０の上面１４００をチャックテーブル２の切削送り方向に対する順方向（－Ｘ方向）に水が流れていき、ウェーハ１４０の上面１４００に水が行き渡って、図３に示すように、ウェーハ１４０の上面１４００に水層６２が形成される。
また、エアノズル６１から－Ｘ方向と－Ｚ方向との間の方向にエアを噴射し、ウェーハ１４０の上面１４００に形成されている水層６２の上面に切削送り方向に対する順方向にエアを噴出する。これにより、ウェーハ１４０の上面１４００に水の流れが形成され、ウェーハ１４０の上面１４００に形成された水層６２に滞留している切削屑をウェーハ１４０の上面１４００から－Ｘ方向側に押し流すことができる。
また、エアノズル６１から－Ｘ方向と－Ｚ方向との間の方向にエアを噴射し、ウェーハ１４０の上面１４００に形成されている水層６２の上面に切削送り方向に対する順方向にエアを噴出する。これにより、ウェーハ１４０の上面１４００に水の流れが形成され、ウェーハ１４０の上面１４００に形成された水層６２に滞留している切削屑をウェーハ１４０の上面１４００から－Ｘ方向側に押し流すことができる。
【0041】
１つの分割予定ライン１４０２の切削を行った後、チャックテーブル２を＋Ｘ方向に移動させて元の位置に戻し、例えば、隣り合う分割予定ライン１４０２の間隔の分だけ第１Ｙ軸移動手段５１及び第２Ｙ軸移動手段５２を用いて第１切削手段３１及び第２切削手段３２をＹ軸方向に移動させてから、同様に分割予定ライン１４０２に対して切削ブレード３０を切り込ませ切削送りすることにより、隣り合う分割予定ライン１４０２を切削加工する。
【0042】
このようにして、ウェーハ１４０に形成されている同一方向の分割予定ライン１４０２を全て切削した後に、例えば、図示しない回転手段を用いてチャックテーブル２を例えば９０度回転させてから、同様に切削加工を行うことによって、ウェーハ１４０の全ての分割予定ライン１４０２に対して切削加工を行う。これにより、ウェーハ１４０に形成されているすべての分割予定ライン１４０２が切削される。
【0043】
切削装置１においては、ウェーハ１４０の研削加工中に水ノズル６０から水を噴射するとともにエアノズル６１からエアを噴射することにより、ウェーハ１４０の上面１４００に水の流れを生じさせて、ウェーハ１４０の研削加工によって生じた研削屑をウェーハ１４０の上面１４００から洗い流すことができる。
【0044】
また、従来の切削装置は切削加工後のウェーハ１４０の上面１４００を洗浄する図示しない洗浄ユニットを備える必要があったが、切削装置１においては、例えばウェーハ１４０に形成されている分割予定ライン１４０２が比較的少なく、切削加工によって生じる切削屑が比較的少ない場合には、水ノズル６０から噴出される水とエアノズル６１から噴出されるエアとを用いてウェーハ１４０の上面１４００を洗浄することにより、該洗浄ユニットによるウェーハ１４０の上面１４００の洗浄を省略することができる。この場合には切削装置１が該洗浄ユニットを要さず、切削装置を小型化することができる。
【0045】
切削装置１は、ウェーハの外周縁に沿って環状に切削加工するエッジトリミング装置であってもよい。
【符号の説明】
【0046】
１：切削装置 １０：ベース １００：カセットステージ １１：門型コラム
１４：ワークユニット １４０：ウェーハ １４１：フレーム １４２：テープ
１４００：上面 １４０１：デバイス １４０２：分割予定ライン
２：チャックテーブル ２０：吸引部２００：保持面 ２１：枠体 ２１０：上面
２３：クランプ ２６：切削送り手段 ２７：カバー ２８：蛇腹 ２９：吸引源
３０：切削ブレード ３１：第１切削手段 ３２：第２切削手段
３３：撮像手段 ３１０：切削ブレード ３１１：スピンドルハウジング
３１２：第１スピンドル ３２０：切削ブレード ３２１：スピンドルハウジング
３２２：第２スピンドル
４１：第１Ｚ軸移動手段 ４２：第２Ｚ軸移動手段
４１０：ボールネジ ４１１：ガイドレール ４１２：Ｚ軸モータ
４１３：昇降板 ４１５：回転軸 ４２０：ボールネジ ４２１：ガイドレール
４２２：Ｚ軸モータ ４２３：昇降板 ４２５：回転軸
５１：第１Ｙ軸移動手段 ５２：第２Ｙ軸移動手段 ５１０：ボールネジ
５１１：ガイドレール ５１３：スライド板 ５２０：ボールネジ
５２１：ガイドレール ５２２：Ｙ軸モータ ５２３：スライド板
６０：水ノズル ６１：エアノズル ６００：水供給源 ６１０：エア供給源
６２：水層
８：切削水ノズル ９：切削水供給源
１４：ワークユニット １４０：ウェーハ １４１：フレーム １４２：テープ
１４００：上面 １４０１：デバイス １４０２：分割予定ライン
２：チャックテーブル ２０：吸引部２００：保持面 ２１：枠体 ２１０：上面
２３：クランプ ２６：切削送り手段 ２７：カバー ２８：蛇腹 ２９：吸引源
３０：切削ブレード ３１：第１切削手段 ３２：第２切削手段
３３：撮像手段 ３１０：切削ブレード ３１１：スピンドルハウジング
３１２：第１スピンドル ３２０：切削ブレード ３２１：スピンドルハウジング
３２２：第２スピンドル
４１：第１Ｚ軸移動手段 ４２：第２Ｚ軸移動手段
４１０：ボールネジ ４１１：ガイドレール ４１２：Ｚ軸モータ
４１３：昇降板 ４１５：回転軸 ４２０：ボールネジ ４２１：ガイドレール
４２２：Ｚ軸モータ ４２３：昇降板 ４２５：回転軸
５１：第１Ｙ軸移動手段 ５２：第２Ｙ軸移動手段 ５１０：ボールネジ
５１１：ガイドレール ５１３：スライド板 ５２０：ボールネジ
５２１：ガイドレール ５２２：Ｙ軸モータ ５２３：スライド板
６０：水ノズル ６１：エアノズル ６００：水供給源 ６１０：エア供給源
６２：水層
８：切削水ノズル ９：切削水供給源
【図1】
【図2】
【図3】