特許 7562668 基板処理において均一性を実現する変圧器の使用のためのシステム及び方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-27

(45)【発行日】2024-10-07

(54)【発明の名称】基板処理において均一性を実現する変圧器の使用のためのシステム及び方法

(51)【国際特許分類】

   H05H 1/46 20060101AFI20240930BHJP

   H01F 30/10 20060101ALI20240930BHJP

   H01L 21/3065 20060101ALI20240930BHJP

   H01L 21/31 20060101ALI20240930BHJP

   H01F 29/02 20060101ALI20240930BHJP

【ＦＩ】

H05H1/46 L

H05H1/46 R

H01F30/10 L

H01F30/10 K

H01F30/10 C

H01L21/302 101C

H01L21/31 C

H01F29/02 Z

【請求項の数】 20

(21)【出願番号】P 2022532018

(86)(22)【出願日】2020-11-23

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2023-02-03

(86)【国際出願番号】 US2020061874

(87)【国際公開番号】W WO2021113111

(87)【国際公開日】2021-06-10

【審査請求日】2023-11-02

(31)【優先権主張番号】62/944,323

(32)【優先日】2019-12-05

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】592010081

【氏名又は名称】ラム リサーチ コーポレーション

【氏名又は名称原語表記】ＬＡＭ ＲＥＳＥＡＲＣＨ ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ

(74)【代理人】

【識別番号】110000028

【氏名又は名称】弁理士法人明成国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】カプール・サニル

(72)【発明者】

【氏名】マロール・ダン

(72)【発明者】

【氏名】ペン・シェン

【審査官】右▲高▼ 孝幸

(56)【参考文献】

【文献】特開平１０－２４１８９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－１５１４９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２７２４８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－０７４２００（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－０７４４６４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｈ １／４６

Ｈ０１Ｆ ３０／１０

Ｈ０１Ｌ ２１／３０６５

Ｈ０１Ｌ ２１／３１

Ｈ０１Ｆ ２９／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

変圧器装置であって、
インピーダンス整合回路の出力に結合された第１の端部と、コンデンサに結合された第２の端部を有する１次巻線と、
前記１次巻線に対応付けられ、プラズマチャンバのトランス結合型プラズマ（ＴＣＰ）コイルの第１の端部及び第２の端部に結合された２次巻線とを含み、
前記１次巻線は、前記インピーダンス整合回路から修正高周波（ＲＦ）信号を受信して磁束を生成することにより、前記２次巻線に電圧を誘起するように構成されており、前記電圧によって生成されたＲＦ信号が前記２次巻線から前記ＴＣＰコイルに伝達されることを特徴とする、変圧器装置。

【請求項2】

請求項１に記載の変圧器装置であって、前記ＴＣＰコイルが前記２次巻線と直列である変圧器装置。

【請求項3】

請求項１に記載の変圧器装置であって、
前記インピーダンス整合回路の前記出力に結合された第１の端部と、付加的コンデンサに結合された第２の端部を有する付加的１次巻線と、
前記付加的１次巻線に対応付けられ、前記プラズマチャンバの付加的ＴＣＰコイルの第１の端部及び第２の端部に結合された付加的２次巻線と、をさらに含み、
前記付加的１次巻線が、前記インピーダンス整合回路から修正ＲＦ信号を受信して磁束を生成することにより、前記２次巻線に電圧を誘発するように構成されており、前記付加的２次巻線で誘起された前記電圧によって生成されたＲＦ信号が、前記付加的２次巻線から前記付加的ＴＣＰコイルに伝達されることを特徴とする、変圧器装置。

【請求項4】

請求項１に記載の変圧器装置であって、前記コンデンサは、アース接続に結合されている変圧器装置。

【請求項5】

請求項１に記載の変圧器装置であって、前記２次巻線は、前記１次巻線と撚り合わされることで、前記１次巻線と対応付けられることを特徴とする、変圧器装置。

【請求項6】

請求項１に記載の変圧器装置であって、前記２次巻線は、前記１次巻線と交互に巻回されることで、前記１次巻線と対応付けられることを特徴とする、変圧器装置。

【請求項7】

請求項１に記載の変圧器装置であって、前記コンデンサは、可変コンデンサ又は固定コンデンサである、変圧器装置。

【請求項8】

請求項１に記載の変圧器装置であって、前記コンデンサは可変コンデンサであり、前記可変コンデンサの容量を変更するためにモータに結合されている、変圧器装置。

【請求項9】

請求項１に記載の変圧器装置であって、前記２次巻線によって前記ＴＣＰコイルに印加される前記電圧を変化させる複数のタップが、前記２次巻線に設けられている、変圧器装置。

【請求項10】

請求項１に記載の変圧器装置であって、前記１次巻線の前記第１の端部は、他のコンデンサを介して前記インピーダンス整合回路に結合され、前記他のコンデンサは固定コンデンサ又は可変コンデンサである、変圧器装置。

【請求項11】

変圧器装置であって、
インピーダンス整合回路の出力に結合された第１の端部と、コンデンサに結合された第２の端部を有する１次巻線と、
前記１次巻線に対応付けられ、プラズマチャンバの第１のトランス結合型プラズマ（ＴＣＰ）コイルの第１の端部及び第２の端部に結合された第１の２次巻線と、
前記１次巻線に対応付けられ、前記プラズマチャンバの第２のＴＣＰコイルの第１の端部及び第２の端部に結合される第２の２次巻線と、を含み、
前記１次巻線は、前記インピーダンス整合回路から修正高周波（ＲＦ）信号を受信して磁束を生成することにより、前記第１の２次巻線に電圧を誘発するように構成されており、前記第１の２次巻線で誘起された前記電圧によって生成されたＲＦ信号が前記第１の２次巻線を介して前記第１のＴＣＰコイルに伝達され、
前記磁束は、前記第２の２次巻線に電圧を誘起するように構成されており、前記第２の２次巻線に誘起された前記電圧によって生成されたＲＦ信号は、前記第２の２次巻線から前記第２のＴＣＰコイルに伝達される、変圧器装置。

【請求項12】

請求項１１に記載の変圧器装置であって、前記第１のＴＣＰコイルが前記第１の２次巻線と直列であり、前記第２のＴＣＰコイルが前記第２の２次巻線と直列である、変圧器装置。

【請求項13】

請求項１１に記載の変圧器装置であって、
前記インピーダンス整合回路の前記出力に結合された第１の端部と、付加的コンデンサに結合された第２の端部を有する付加的１次巻線と、
前記付加的１次巻線に対応付けられ、前記プラズマチャンバの第３のＴＣＰコイルの第１の端部及び第２の端部に結合された付加的第１の２次巻線と、
前記付加的１次巻線に対応付けられ、前記プラズマチャンバの第４のＴＣＰコイルの第１の端部及び第２の端部に結合された付加的第２の２次巻線とをさらに含み、
前記付加的１次巻線は、前記インピーダンス整合回路から修正ＲＦ信号を受信して磁束を生成することにより、前記付加的第１の２次巻線に電圧を誘起するように構成されており、前記付加的第１の２次巻線で誘起された前記電圧によって生成されたＲＦ信号が、前記付加的第１の２次巻線から前記第３のＴＣＰコイルに伝達され、
前記付加的１次巻線に生成された前記磁束は、前記付加的第２の２次巻線に電圧を誘起し、前記付加的第２の２次巻線に誘起された前記電圧によって生成されたＲＦ信号は、前記付加的第２の２次巻線から前記第４のＴＣＰコイルに伝達される、変圧器装置。

【請求項14】

請求項１１に記載の変圧器装置であって、前記コンデンサは、アース接続に結合されている、変圧器装置。

【請求項15】

請求項１１に記載の変圧器装置であって、前記コンデンサは、可変コンデンサ又は固定コンデンサであり、前記可変コンデンサは、前記可変コンデンサの容量を変更するためにモータに結合されている、変圧器装置。

【請求項16】

請求項１１に記載の変圧器装置であって、前記第１の２次巻線は前記１次巻線に撚り合わされることで前記１次巻線と対応付けられ、前記第２の２次巻線は前記１次巻線に撚り合わされることで前記１次巻線と対応付けられている、変圧器装置。

【請求項17】

請求項１１に記載の変圧器装置であって、前記第１の２次巻線は前記１次巻線と交互に巻回されることで前記１次巻線と対応付けられ、前記第２の２次巻線は前記１次巻線と交互に巻回されることで、前記１次巻線と対応付けられている、変圧器装置。

【請求項18】

請求項１１に記載の変圧器装置であって、前記１次巻線の前記第１の端部は、他のコンデンサを介して前記インピーダンス整合回路に結合され、前記他のコンデンサは固定コンデンサ又は可変コンデンサである、変圧器装置。

【請求項19】

変圧器の、コンデンサに結合された１次巻線によって、インピーダンス整合回路の出力から修正高周波（ＲＦ）信号を受信すること、
前記修正ＲＦ信号の受信時に、前記１次巻線によって、前記変圧器の２次巻線にわたって電圧を誘起するための磁束を生成させること、及び
前記２次巻線の前記電圧で生成されたＲＦ信号を、プラズマチャンバのトランス結合型プラズマ（ＴＣＰ）コイルに転送すること、を含む方法。

【請求項20】

請求項１９に記載の方法であって、前記ＴＣＰコイルが前記２次巻線と直列である、方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示に記載された実施形態は、基板処理において均一性を実現する変圧器の使用のためのシステム及び方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ここで提供される背景技術の説明は、本開示の文脈を大まかに提示することを目的とする。この背景技術の項で説明される範囲内における、現時点で名前を挙げられている発明者らによる研究、ならびに出願の時点で先行技術として別途みなされ得ない説明の態様は、明示又は暗示を問わず、本開示に対抗する先行技術として認められない。

【0003】

プラズマツールでは、１つ又は複数の高周波（ＲＦ）発生器が、インピーダンス整合ネットワークに結合されている。インピーダンス整合ネットワークは、プラズマチャンバに結合されている。ＲＦ生成器からインピーダンス整合ネットワークに、ＲＦ信号が供給される。ＲＦ信号を受信すると、インピーダンス整合ネットワークは、ＲＦ信号を出力する。ＲＦ信号は、インピーダンス整合回路からプラズマチャンバに供給され、プラズマチャンバ内でウェハ処理が行われる。

【0004】

プラズマツールに導入される様々な構造により、ウェハと追加ウェハの処理における効率性は悪化する。例えば、複数のウェハは均一的に処理されない。また、各ウェハの処理速度の均一性も低下する。

【0005】

本開示の実施形態は、このような文脈において説明される。

【発明の概要】

【0006】

本開示の実施形態は、基板処理において均一性を実現する変圧器の使用のための装置、システム、方法、及びコンピュータプログラムを提供する。本実施形態は、あらゆる形態、例えば、プロセス、装置、システム、ハードウェア、又はコンピュータ読み取り可能な媒体を介した方法にて実施できることを理解されたい。以下、いくつかの実施形態について説明する。

【0007】

基板を処理するための処理速度、例えばエッチングレートや堆積レートは、様々な方法で向上できる。例えば、ＲＦ生成器から供給されるＲＦ（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ：高周波）電力が増加すると、処理速度が向上する。別の例として、同じ電力レベルである場合は、電圧と電流の比率が処理速度を決定する役割を担う。電圧電流比は、直列コンデンサの挿入や、インターレースデュアルコイルアンテナシステムの使用により変更可能である。本明細書では、直列コンデンサをコイル終端コンデンサと称する場合がある。直列コンデンサの一端部は単一のアンテナコイルと直列に結合され、直列コンデンサの他端は接地される。

【0008】

しかし、直列コンデンサは共振又は共振に近い状態を作り出し、単一アンテナコイルにわたる高電圧を発生させる。この高電圧によって、基板を処理する際の均一性が低下する。また、直列コンデンサの端部が接地されると、コイルアンテナにわたる電圧が大きく低下する。この大幅な低下によって、コイルアンテナにわたる電圧に傾きが生じ、均一性が低下する。

【0009】

インターレースデュアルコイルアンテナシステムの場合、複数の直列コンデンサが挿入される。各直列コンデンサは、インターレースデュアルコイルアンテナシステムのそれぞれのアンテナコイルと直列に接続されている。ここでも、インターレースデュアルコイルアンテナシステムの場合、直列コンデンサによって上記と同様の問題が起こる。

【0010】

一実施形態では、処理速度を上げるために、また均一性を大幅に向上させるために、トランス結合型誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）システムを使用する。変圧器は所与の電力量に対して電圧電流比を変化させるために使用される。電圧電流比は、１次２次巻線比が変わると変化する。１次２次巻線比とは、変圧器の１次巻線の巻数と変圧器の２次巻線の巻数の比をいう。１次２次巻線比が変わると、電圧電流比が変化し、均一性が向上する。変圧器は、シングル又はインターレースのデュアルアンテナコイルと共に使用できる。

【0011】

一実施形態では、高周波でも効率的に動作する変圧器について説明する。

【0012】

一実施形態では、基板処理において均一性を実現する変圧器の使用のためのシステムについて説明する。このシステムは、第１の端部と第２の端部を有する１次巻線を含む。第１の端部は、インピーダンス整合回路の出力に結合され、第２の端部は、コンデンサに結合される。システムは、さらに１次巻線に対応付けられ、プラズマチャンバのトランス結合型プラズマ（ＴＣＰ）コイルの第１の端部及び第２の端部に結合される２次巻線を含む。１次巻線は、インピーダンス整合回路から修正ＲＦ信号を受信して磁束を生成し、２次巻線に電圧を誘起する。該電圧で生成されたＲＦ信号を、２次巻線からＴＣＰコイルに転送する。

【0013】

一実施形態では、変圧器装置について説明する。変圧器装置は、第１の端部と第２の端部を有する１次巻線を含む。第１の端部は、インピーダンス整合回路の出力に結合され、第２の端部は、コンデンサに結合される。変圧器装置は、１次巻線に対応付けられ、プラズマチャンバの第１のＴＣＰコイルの第１の端部及び第２の端部に結合された第１の２次巻線を含む。１次巻線は、インピーダンス整合回路から修正ＲＦ信号を受信して磁束を生成し、第１の２次巻線に電圧を誘起する。第１の２次巻線で誘起された電圧によって生成されたＲＦ信号が、第１の２次巻線を介して、第１のＴＣＰコイルに伝達される。変圧器装置は、１次巻線に対応付けられ、プラズマチャンバの第２のＴＣＰコイルの第１の端部及び第２の端部に結合される第２の２次巻線を含む。磁場は、第２の２次巻線に電圧を誘起するように構成されている。第２の２次巻線に誘起された電圧によって生成されたＲＦ信号は、第２の２次巻線から第２のＴＣＰコイルに伝達される。

【0014】

一実施形態では、方法について説明する。該方法は、変圧器の１次巻線によって、インピーダンス整合回路の出力から修正ＲＦ信号を受信することを含む。１次巻線はコンデンサに結合されている。該方法は、修正ＲＦ信号の受信時に、１次巻線によって、変圧器の２次巻線にわたって電圧を誘起するための磁束を発生させることを含む。該方法は、２次巻線の電圧で生成されたＲＦ信号を、プラズマチャンバのＴＣＰコイルに転送することを含む。

【0015】

本明細書に記載されたシステム及び方法の利点の一部には、コイル終端コンデンサを除去することが含まれる。以上のように、コイル終端コンデンサは、基板表面における処理速度の均一性を低下させる。コイル終端コンデンサを除去することで、処理速度の均一性が向上する。

【0016】

本明細書に記載されるシステム及び方法の利点には、さらに、アンテナコイルの端点間の電圧変動を低減することも含まれる。この電圧変動は、基板表面での処理速度の傾きを誘発し得る。変圧器を可変コンデンサの両端に接続し、変圧器にわたる電圧を制御することで、電圧変動を低減できる。また電圧変動は、１次２次巻線比を変えることによっても低減できる。２次巻線は、アンテナコイルに直列に結合されている。１次巻線と２次巻線の比率を変えることで、アンテナコイルにわたる電圧を変化させ、アンテナコイルの端点間の電圧変動を低減できる。電圧の変動が少なくなることで、基板の半径方向の処理の均一性が向上する。

【0017】

アンテナコイルにわたる電圧は、２次巻線がアンテナコイルと直列に接続され、２次巻線又はアンテナコイルに他の構成要素が接続されていない場合の２次巻線にわたる電圧と同じである。アンテナコイルの両端の電圧は、１次２次巻線比を変えるか、１次巻線に可変コンデンサを結合することで制御できる。アンテナコイルの両端における電圧は、同じか、ほぼ同じになるように制御できる。例えば、アンテナコイルの両端における電圧を、同じ電圧から所定範囲におさまるように制御できる。同じ、又はほぼ同じ電圧にすることで、基板を処理する際の均一性を高めることができる。

【0018】

本明細書に記載されたシステム及び方法の利点には、さらに、アンテナコイル及び台座が共に同じＲＦ周波数を印加される場合において、プラズマビート周波数の問題を解消又は軽減することを含む。このビート周波数は、プラズマチャンバ内のプラズマを変調させるという不具合を引き起こす。変圧器は、絶縁変圧器として機能し、プラズマビート周波数の問題を解消又は軽減する。

【0019】

他の態様は、添付図面を参照した以下の詳細な説明から明らかになるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0020】

実施形態は、添付図面を参照した以下の説明によって理解できる。

【0021】

【図1A】図１Ａは、トランス結合型プラズマ（ＴＣＰ）チャンバのインナーコイルに対する変圧器型システムの使用を説明するための、システムの一実施形態の図である。

【0022】

【図1B】図１Ｂは、ＴＣＰチャンバの外側コイルに対する変圧器型システムの使用を説明するための、システムの一実施形態を示す図である。

【0023】

【図2】図２は、ＴＣＰチャンバの内側コイルと外側コイルの両方に対する変圧器型システムの使用を説明するための、システムの一実施形態を示す図である。

【0024】

【図3】図３は、インターレース内側ＴＣＰコイル用及びインターレース外側ＴＣＰコイル用変圧器を説明するための、システムの一実施形態を示す図である。

【0025】

【図4A】図４Ａは、１次巻線と複数の２次巻線とを有する変圧器の一実施形態を示す図である。

【0026】

【図4B】図４Ｂは、変圧器の一実施形態を示す図である。

【0027】

【図4C】図４Ｃは、２次巻線上の複数のタップを説明するための、変圧器の一実施形態を示す図である。

【0028】

【図4D】図４Ｄは、変圧器の１次巻線と２次巻線が互いに撚り合わされる様子を説明するための、変圧器の一実施形態を示す図である。

【0029】

【図4E】図４Ｅは、変圧器の一実施形態を示す図である。

【0030】

【図5】図５は、変圧器の製造における同軸ケーブルの使用を説明するための、変圧器の一実施形態を示す図である。

【0031】

【図6A】図６Ａは、図１Ａのシステムの固定コンデンサの代わりに可変コンデンサａを用いることを説明するための、システムの一実施形態を示す図である。

【0032】

【図6B】図６Ｂは、図１Ｂのシステムの固定コンデンサの代わりに可変コンデンサａを用いることを説明するための、システムの一実施形態を示す図である。

【0033】

【図7】図７は、図６Ａ及び図６Ｂに図示された可変コンデンサの、図２のシステムとの使用を説明するための、システムの一実施形態を示す図である。

【0034】

【図8】図８は、図６Ａ及び図６Ｂに図示された可変コンデンサの、図３のシステムとの使用を説明するための、システムの一実施形態を示す図である。

【0035】

【図9】図９は、変圧器型システムを用いたプラズマツールを説明するための、システムの一実施形態を示す図である。

【0036】

【図10】図１０は、変圧器の原理を説明するための、変圧器の一実施形態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0037】

以下の実施形態において、基板処理において均一性を実現する変圧器の使用のためのシステム及び使用方法を説明する。本実施形態は、以下の具体的な構成の一部又は全部がない場合でも実施できることは明らかである。他の例では、本実施形態を不必要に曖昧にすることを避けるため、周知の処理操作については、詳細な説明を省略する。

【0038】

図１Ａは、トランス結合型プラズマ（ＴＣＰ）チャンバ１１８の内側コイルに対する変圧器型システム（ＴＢＳ）１０２の使用を説明するための、システム１００の一実施形態の図である。本明細書では、ＴＢＳを変圧器装置と称する場合がある。システム１００は、ホストコンピュータ、高周波数発生器（ＲＰＧ）、インピーダンス整合回路（ＩＭＣ）１１０、ドライバ１、モータ１、ドライバ２、モータ２、接続機構１６０、及び、接続機構１６２を含む。システム１００は、ＴＢＳ１０２とプラズマチャンバ１１８をさらに含む。また、システム１００は、可変コンデンサ１０８と、別の可変コンデンサ１２８を含む。

【0039】

ホストコンピュータの例としては、デスクトップコンピュータ、ノート型コンピュータ、コントローラ、タブレット、スマートフォンなどが挙げられる。詳細には、ホストコンピュータは、プロセッサとメモリデバイスを含み、プロセッサはメモリデバイスに結合されている。プロセッサの例としては、マイクロプロセッサ、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）、ＰＬＤ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｌｏｇｉｃ Ｄｅｖｉｃｅ）、マイクロコントローラ、中央処理装置（ＣＰＵ）などが挙げられる。メモリデバイスの例としては、リードオンリーメモリ（ＲＯＭ）、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、フラッシュメモリ、ストレージディスクアレイ、ハードディスク等が挙げられる。

【0040】

ＲＦ生成器は、動作周波数を持つ。例えば、ここでのＲＦ生成器は、４００キロヘルツ（ｋＨｚ）、２メガヘルツ（ＭＨｚ）、２７ＭＨｚ、６０ＭＨｚのＲＦ生成器である。詳細には、ＲＦ生成器には、２ＭＨｚや２７ＭＨｚなどの周波数を持つＲＦ信号を生成するために発振するＲＦ発振器などのＲＦ電源が含まれる。ＲＦ発振器は、２ＭＨｚや２７ＭＨｚなどの動作周波数で動作し、ＲＦ信号を生成する。

【0041】

インピーダンス整合回路１１０の例としては、ＲＦ生成器から受信したＲＦ信号の転送を促進し修正ＲＦ信号を出力するために互いに結合された、１つ又は複数の直列回路及び１つ又は複数のシャント回路のネットワークが挙げられる。直列回路の例としては、コンデンサ、インダクタ、抵抗などが挙げられる。同様に、シャント回路の例としても、コンデンサ、インダクタ、抵抗などが挙げられる。

【0042】

本明細書で使用されるモータの例としては、電動モータが挙げられる。電動モータの例としては、交流（ＡＣ）モータや直流（ＤＣ）モータが挙げられる。詳細には、電動モータは、ステータとロータとを含み、ロータはステータに対して回転する。電動モータは、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機器であり、電動モータの磁場とステータの巻線に流れる電流の相互作用によって動作し、ロータに取り付けられたシャフトの回転という形で動力を発生する。

【0043】

本明細書で使用されるドライバの例としては、１つ又は複数のトランジスタの入力時の電圧の印加を受けて電流信号を出力する、互いに結合された１つ又は複数のトランジスタが挙げられる。

【0044】

本明細書で使用される接続機構の例としては、１つ又は複数のシャフトが挙げられる。接続機構の他の例としては、１つ又は複数のギアを介して互いに結合された複数のシャフトが挙げられる。

【0045】

ＴＢＳ１０２は、１次巻線１０４Ａ及び２次巻線１０４Ｂを有する変圧器１０４を含む。本明細書で使用される変圧器の例としては、低周波用途に使用されるフェライトコア変圧器が挙げられる。例えば、ＲＦ生成器の動作周波数が１ＭＨｚ未満の場合、フェライトコア変圧器が変圧器として使用される。別の例としては、後述するツイストワイヤ変圧器がある。ツイストワイヤ変圧器は高周波用途に使用される。詳細には、ツイストワイヤ変圧器は、ＲＦ生成器の動作周波数が１ＭＨｚより高い場合に使用する。ＴＢＳ１０２は、さらに、固定コンデンサであるコンデンサ１１２を含む。

【0046】

さらに、プラズマチャンバ１１８は、ＴＣＰコイルシステム（ＴＣＳ）１５０、コイル終端コンデンサ１５６、及びさらに別のコイル終端コンデンサ１５９とを含む。ＴＣＰコイルシステム１５０は、ＴＣＰコイル１１６と、複数のＴＣＰコイル１５２、１５４を含む。

【0047】

ＴＣＰコイル１１６は、内側ＴＣＰコイルであり、ＴＣＰコイル１５２、１５４は外側ＴＣＰコイルである。例えば、内側ＴＣＰコイルの直径は、いずれの外側ＴＣＰコイルの直径よりも小さくなっている。他の例として、外側ＴＣＰコイルが内側ＴＣＰコイルを囲んでいる場合もある。外側ＴＣＰコイルは、内側ＴＣＰコイルと同じ水平レベルで、又は内側ＴＣＰコイルとは異なる水平レベルで、内側ＴＣＰコイルを囲み得る。

【0048】

ＲＦ伝送路１５８は、１つ又は複数のＲＦロッドを含み、各ＲＦロッドは、ＲＦトンネルに囲まれている。一例として、ＲＦ伝送路１５８は複数のＲＦロッドを含み、ＲＦロッドのうちの任意の２つは、ＲＦストラップを介して互いに結合されている。各ＲＦロッドと、それぞれのＲＦロッドを囲んでいる各ＲＦトンネルの間には、ＲＦロッドとＲＦトンネルを絶縁するための絶縁材が設けられている。

【0049】

ホストコンピュータは、ＲＦ生成器の入力Ｉ１、ドライバ１、ドライバ２に結合されている。例えば、ホストコンピュータは、入力Ｉ１及びデータ転送ケーブル を介して、ＲＦ生成器のデジタルシグナルプロセッサ（ＤＳＰ）に結合されている。ＲＦ生成器は、ＤＳＰとＲＦ発振器を含み、ＤＳＰはＲＦ発振器に結合されている。転送ケーブルの例としては、ＤＳＰとＲＦ生成器の間でデータを順次転送するシリアル転送ケーブル、並列に転送するパラレル転送ケーブル、ＵＳＢ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ Ｓｅｒｉａｌ Ｂｕｓ）ケーブルなどが挙げられる。

【0050】

ＲＦ生成器の出力Ｏ１は、ＩＭＣ１１０の入力Ｉ２に結合されている。例えば、ＲＦ発振器の出力Ｏ１は、ＲＦケーブル１５６を介して、ＩＭＣ１１０の入力Ｉ２に結合されている。ＩＭＣ１１０の出力Ｏ２は、ＲＦ伝送路１５８の部分ＰＲＴＮ１を介して可変コンデンサ１０８に結合され、ＲＦ伝送路１５８の別の部分ＰＲＴＮ２を介して可変コンデンサ１２８に結合されている。例えば、可変コンデンサ１０８は、ＲＦ伝送路１５８のＲＦロッド上の点Ｐ１に結合され、可変コンデンサ１２８は、ＲＦ伝送路１５８のＲＦロッド上の点Ｐ２に結合されている。

【0051】

可変コンデンサ１０８は、接続機構１６０を介してモータ１に結合され、モータ１はドライバ１に結合されている。可変コンデンサ１０８の一端部は、点Ｐ１においてＲＦ伝送路１５８の部分ＰＲＴＮ１に結合され、可変コンデンサ１０８の反対側の端部は、１次巻線１０４Ａの一端部１０６Ａに結合されている。１次巻線１０４Ａの反対側の端部１０６ｂは、コンデンサ１１２の一端部に結合されている。コンデンサ１１２の反対側の端部は、ゼロ電位などの接地電位でアース接続に結合されている。

【0052】

２次巻線１０４Ｂの一端部は、ＴＣＰコイル１１６の一端部１１４Ａに結合され、２次巻線１０４Ｂの反対側の端部は、ＴＣＰコイル１１６の反対側の端部１１４Ｂに結合されている。ＴＣＰコイル１１６と２次巻線１０４Ｂは、互いに直列に結合されている。例えば、端部１１４Ａに結合されている２次巻線１０４Ｂの端部は、端部１１４Ａと同電位を有する。また、端部１１４Ｂに結合されている２次巻線１０４Ｂの反対側の端部は、端部１１４Ｂと同電位を有する。別の例として、２次巻線１０４Ｂの両端にかかる電圧は、ＴＣＰコイル１１６の両端部１１４Ａ及び１１４Ｂにかかる電圧と同じである。なお、ＴＣＰコイル１１６に直列に結合されたコイル終端コンデンサは存在しない。例えば、コイル終端コンデンサは、ＴＣＰコイル１１６の端部１１４Ｂには結合されない。

【0053】

可変コンデンサ１２８は、接続機構１６２を介してモータ２に結合され、モータ２はドライバ２に結合されている。可変コンデンサ１２８の一端部は点Ｐ２でＲＦ伝送路１５８の部分ＰＲＴＮ２に結合され、可変コンデンサ１２８の反対側の端部は点Ｐ３を介してＴＣＰコイル１５２及び１５４の端部に結合されている。ＴＣＰコイル１５２の反対側の端部は、コイル終端コンデンサ１５７の一端部に結合され、ＴＣＰコイル１５４の反対側の端部は、コイル終端コンデンサ１５９の一端部に結合されている。コイル終端コンデンサ１５７、１５９の反対側の端部は、アース接続に結合されている。

【0054】

ホストコンピュータは、制御信号を生成し、入力Ｉ１を介してＲＦ生成器に送信することで、プラズマシステム１００を動作させる。制御信号を受信すると、ＲＦ生成器のＤＳＰは、ＲＦ発振器を制御してＲＦ信号１６４を生成する。ＲＦ信号１６４は、ＲＦ生成器の出力Ｏ１及びＲＦケーブル１５６と、ＩＭＣ１１０の入力Ｉ２を介して、ＩＭＣ１１０に供給される。ＩＭＣ１１０は、ＲＦ信号１６４を受信し、ＲＦ信号１６４のインピーダンスを変化させ、ＩＭＣ１１０の出力Ｏ２において、修正されたＲＦ信号１６６を出力する。例えば、ＩＭＣ１１０の直列回路とシャント回路は、ＲＦ信号１６４のインピーダンスを変化させ、プラズマチャンバ１１８からＲＦ伝送路１５８を介してＲＦ生成器に向かって反射されるＲＦ電力を低減させる。

【0055】

修正ＲＦ信号１６６は、ＩＭＣ１１０の出力Ｏ２から、ＲＦ伝送路１５８の部分ＰＲＴＮ１を介して点Ｐ１に送られ、点Ｐ１において部分１６８と別の部分１７０とに分割される。修正ＲＦ信号１６６の部分１６８は、点Ｐ１から可変コンデンサ１０８に供給され、修正ＲＦ信号１６８の部分１７０は、点Ｐ１からＲＦ伝送路１５８の部分ＰＲＴＮ２と点Ｐ２を介して、可変コンデンサ１２８に供給される。本明細書では、部分１６８を修正ＲＦ信号１６８と称し、部分１７０を修正ＲＦ信号１７０と称する。

【0056】

可変コンデンサ１２８の静電容量により、修正ＲＦ信号１７０のインピーダンスが変化し、修正ＲＦ信号１７２が出力される。修正ＲＦ信号１７２は、点Ｐ３において、修正ＲＦ信号１７２Ａ及び１７２Ｂに分割される。修正ＲＦ信号１７２Ａは、点Ｐ３からＴＣＰコイル１５２に供給され、修正ＲＦ信号１７２Ｂは、点Ｐ３からＴＣＰコイル１５４に供給される。

【0057】

可変コンデンサ１０８の静電容量により、修正ＲＦ信号１６８のインピーダンスが変化し、修正ＲＦ信号１２０が出力される。修正ＲＦ信号１２０は、可変コンデンサ１０８及び１次巻線１０４Ａの端部１０６Ａから、１次巻線１０４Ａに送られる。修正ＲＦ信号１２０は、１次巻線１０４Ａの端部１０６Ａ及び１０６Ｂに電圧を生じさせ、１次巻線１０４Ａを介して端部１０６Ａから端部１０６Ｂまでを通過し、磁束を有する磁場を発生させる。磁束は、磁界に垂直な平面の単位表面積を通過する磁界の量である。

【0058】

磁界は、２次巻線１０４Ｂの両端部に電圧を誘起する。２次巻線１０４Ｂの両端部に誘起された電圧は、ＴＣＰコイル１１６の端部１１４ＡからＴＣＰコイルの端部１１４Ｂへと流れるＲＦ電流信号などのＲＦ信号１２２を発生させる。ＴＣＰコイル１１６へのＲＦ信号１２２の印加と、ＴＣＰコイル１５２及び１５４のそれぞれへの修正ＲＦ信号１７２Ａ及び１７２Ｂの印加に加えて、後述する１つ又は複数のプロセスガスをプラズマチャンバ１１８に印加すると、プラズマチャンバ１１８内での後述する基板処理のために、プラズマチャンバ１１８内でプラズマが生成されるか、あるいは維持される。

【0059】

１次巻線１０４Ａのインダクタンスは、端部１０６Ａにおいて受信した修正ＲＦ信号１２０のインピーダンスを修正し、１次巻線１０４Ａの端部１０６Ｂにおいて修正ＲＦ信号１７４を出力する。コンデンサ１１２は、修正ＲＦ信号１７４を受信する。修正ＲＦ信号１７４を受信すると、コンデンサ１１２の容量は、コンデンサ１１２の両端部に電圧を生じさせる容量となり、その電圧によって変圧器１０４の１次巻線１０４Ａの端部１０６Ａ及び１０６Ｂにかかる電圧が決定される。

【0060】

また、プラズマシステム１００の動作中、ホストコンピュータは、ドライバ１に対して容量制御信号を送信する。容量制御信号は、可変コンデンサ１０８の容量を実現するためにホストコンピュータによって生成され、該容量は、１次巻線１０４Ａにわたって実現すべき電圧量に対応し、該電圧量は、２次巻線１０４Ｂにわたって実現すべき別の電圧量に対応している。可変コンデンサ１０８の容量と、１次巻線１０４Ａ及び２次巻線１０４Ｂにわたって実現すべき電圧の量は、ホストコンピュータのメモリデバイスに格納される。ホストコンピュータのプロセッサは、可変コンデンサ１０８の容量値と、１次巻線１０４Ａ及び２次巻線１０４Ｂにおいて実現すべき電圧の量との対応関係から、可変コンデンサ１０８の容量を特定する。

【0061】

容量制御信号を受信すると、ドライバ１は電流信号を生成し、モータ１へ送信する。モータ１が回転することで、可変コンデンサ１０８のプレートを、接続機構１６０を介して、同じく可変コンデンサ１０８の対向するプレートに対して回転させて容量制御信号内の容量に到達させ、さらに１次巻線１０４Ａにわたる電圧、２次巻線１０４Ｂにわたる電圧に到達させる。

【0062】

さらに、プラズマシステム１００の動作中、ホストコンピュータは、ドライバ２に容量制御信号を送信する。容量制御信号は、可変コンデンサ１２８の容量を実現するために、ホストコンピュータによって生成される。容量制御信号を受信すると、ドライバ２は電流信号を生成し、モータ２へ送信する。モータ２が回転することで、接続機構１６２を介して、可変コンデンサ１２８のプレートを、可変コンデンサ１２８の対向するプレートに対して回転させ、容量制御信号内の容量に到達させる。

【0063】

一実施形態においては、可変コンデンサ１０８の容量は、プラズマシステム１００の動作中に制御されることはない。例えば、基板の処理中は、可変コンデンサ１０８の容量は固定される。別の例においては、可変コンデンサ１０８の代わりに、固定コンデンサを用いる。同様に、一実施形態においては、可変コンデンサ１２８の容量は、プラズマシステム１００の動作中に制御されることはない。例えば、基板の加工中は、可変コンデンサ１２８の容量が固定される。別の例においては、可変コンデンサ１２８の代わりに、固定コンデンサを用いる。

【0064】

一実施形態においては、可変コンデンサ１０８及び１２８の１つ又は複数は、プラズマシステム１００において使用されない。例えば、１次巻線１０４Ａは、可変コンデンサ１０８には結合されずに、ＲＦ伝送路１５８上の点Ｐ１に結合されている。別の例においては、ＴＣＰコイル１５２及び１５４は、可変コンデンサ１２８には結合されずに、点Ｐ２及びＰ３を介してＲＦ伝送路１５８に結合されている。

【0065】

図１Ｂは、トランス結合型プラズマ（ＴＣＰ）チャンバ１８２の外側コイルに対するＴＢＳ１８４の使用を説明するための、システム１８０の一実施形態の図である。システム１８０は、いくつかの違いを除いて、システム１００（図１Ａ）と同じ構造及び機能を有する。システム１８０とシステム１００の相違点を以下に説明する。

【0066】

システム１８０は、ホストコンピュータ、ＲＦ生成器、ＩＭＣ１１０、ドライバ１、モータ１、ドライバ２、モータ２、接続機構１６０、及び接続機構１６２を含む。システム１８０は、ＴＢＳ１８４とプラズマチャンバ１８２をさらに含む。また、システム１８０は、可変コンデンサ１０８、１２８を含む。

【0067】

ＴＢＳ１８４は、１次巻線１２４Ａ及び２次巻線１２４Ｂを有する変圧器１２４を含む。ＴＢＳ１８４は、さらに、固定コンデンサであるコンデンサ１３０を含む。さらに、プラズマチャンバ１８２は、ＴＣＰコイルシステム（ＴＣＳ）１８６、コイル終端コンデンサ１８８、及び別のコイル終端コンデンサ１９０を含む。ＴＣＰコイルシステム１８６は、ＴＣＰコイル１１６及び１５２と、ＴＣＰコイル１９２とを含む。

【0068】

ＴＣＰコイル１１６、１９２は内側ＴＣＰコイルであり、ＴＣＰコイル１５２は外側ＴＣＰコイルである。例えば、内側ＴＣＰコイルの直径は、いずれの外側ＴＣＰコイルの直径よりも小さくなっている。他の例として、外側ＴＣＰコイルが内側ＴＣＰコイルを囲んでいる場合もある。外側ＴＣＰコイルは、内側ＴＣＰコイルと同じ水平レベルで、又は内側ＴＣＰコイルとは異なる水平レベルで、内側ＴＣＰコイルを囲み得る。

【0069】

可変コンデンサ１０８の一端部は点Ｐ１でＲＦ伝送路１５８の部分ＰＲＴＮ１に結合され、可変コンデンサ１０８の反対側の端部は点Ｐ４を介してＴＣＰコイル１９２及び１１６の端部に結合されている。ＴＣＰコイルの反対側の端部は、コイル終端コンデンサ１８８の一端部に結合され、ＴＣＰコイル１１６の反対側の端部は、コイル終端コンデンサ１９０の一端部に結合されている。コイル終端コンデンサ１８８、１９０の反対側のそれぞれの端部は、アース接続に結合されている。

【0070】

可変コンデンサ１２８の一端部は、点Ｐ２においてＲＦ伝送路１５８の部分ＰＲＴＮ２に結合され、可変コンデンサ１２８の反対側の端部は、１次巻線１２４Ａの一端部１２６Ａに結合されている。１次巻線１２４Ａの反対側の端部１２６Ｂは、コンデンサ１３０の一端部に結合されている。コンデンサ１３０の反対側の端部は、アース接続に結合されている。

【0071】

２次巻線１２４Ｂの一端部は、ＴＣＰコイル１５２の一端部１３２Ａに結合され、２次巻線１２４Ｂの反対側の端部は、ＴＣＰコイル１５２の反対側の端部１３２Ｂに結合されている。ＴＣＰコイル１５２と２次巻線１２４Ｂは、互いに直列に結合されている。例えば、端部１３２Ａに結合されている２次巻線１２４Ｂの端部は、端部１３２Ａと同電位を有する。また、端部１３２Ｂと結合されている２次巻線１２４Ｂの反対側の端部は、端部１３２Ｂと同電位を有する。別の例として、２次巻線１２４Ｂの両端にかかる電圧は、ＴＣＰコイル１５２の両端部１３２Ａ及び１３２Ｂにかかる電圧と同じである。なお、ＴＣＰコイル１５２に直列に結合されたコイル終端コンデンサは存在しない。例えば、コイル終端コンデンサは、ＴＣＰコイル１５２の端部１３２Ｂには結合されない。

【0072】

プラズマシステム１８０の動作中、修正ＲＦ信号１２０及び１７２は、図１Ａを参照して上述した方法と同様に生成される。さらに、修正ＲＦ信号１２０は、点Ｐ４において修正ＲＦ信号１９４Ａ及び１９４Ｂに分割される。修正ＲＦ信号１９４Ａは、点Ｐ４からＴＣＰコイル１９２に供給され、修正ＲＦ信号１９４Ｂは、点Ｐ４からＴＣＰコイル１１６に供給される。

【0073】

また、修正ＲＦ信号１７２が、可変コンデンサ１２８と１次巻線１２４Ａの端部１２６Ａから１次巻線１２４Ａへ送信される。修正ＲＦ信号１７２は、１次巻線１２４Ａの端部１２６Ａ及び１２６Ｂに電圧を生じさせ、１次巻線１２４Ａを介して１次巻線１２４Ａの端部１２６Ａから端部１２６Ｂまでを通過し、磁束を有する磁場を発生させる。

【0074】

１次巻線１２４Ａによって発生した磁界は、２次巻線１２４Ｂの両端部に電圧を誘起する。２次巻線１２４Ｂの両端部に誘起された電圧は、ＴＣＰコイル１５２の端部１３２ＡからＴＣＰコイルの端部１３２Ｂへ流れるＲＦ電流信号などのＲＦ信号１３８を発生させる。ＴＣＰコイル１５２へのＲＦ信号１３８の印加、及びＴＣＰコイル１９２及び１１６のそれぞれへの修正ＲＦ信号１９４Ａ及び１９４Ｂの印加に加えて、１つ又は複数のプロセスガスをプラズマチャンバ１８２に印加すると、プラズマチャンバ１８２内での後述する基板処理のために、プラズマチャンバ１８２内でプラズマが生成されるか、あるいは維持される。

【0075】

１次巻線１２４Ａのインダクタンスは、端部１２６Ａにおいて受信した修正ＲＦ信号１７２のインピーダンスを修正し、１次巻線１２４Ａの端部１２６Ｂにおいて修正ＲＦ信号１９６を出力する。コンデンサ１３０は、修正ＲＦ信号１９６を受信する。修正ＲＦ信号１９６を受信すると、コンデンサ１３０の容量は、コンデンサ１３０の両端部に電圧を生じさせる容量となり、その電圧によって変圧器１２４の１次巻線１２４Ａの端部１２６Ａ及び１２６Ｂにかかる電圧が決定される。

【0076】

また、プラズマシステム１８０の動作中、ホストコンピュータは、ドライバ２に対して容量制御信号を送信する。容量制御信号は、可変コンデンサ１２８の容量を実現するためにホストコンピュータによって生成され、該容量は、１次巻線１２４Ａにわたって実現すべき電圧量に対応し、該電圧量は、２次巻線１２４Ｂにわたって実現すべき別の電圧量に対応している。可変コンデンサ１２８の容量と、１次巻線１２４Ａ及び２次巻線１２４Ｂにわたって実現すべき電圧の量は、ホストコンピュータのメモリデバイスに格納されている。ホストコンピュータのプロセッサは、可変コンデンサ１２８の容量値と、１次巻線１２４Ａ及び２次巻線１２４Ｂにおいて実現すべき電圧の量との対応関係から、可変コンデンサ１２８の容量を特定する。

【0077】

容量制御信号を受信すると、ドライバ２は電流信号を生成し、モータ２へ送信する。モータ２が回転することで、可変コンデンサ１２８のプレートを、可変コンデンサ１２８の対向するプレートに対して回転させて容量制御信号内の容量に到達させ、さらに１次巻線１２４Ａにわたる電圧、２次巻線１２４Ｂにわたる電圧に到達させる。

【0078】

さらに、プラズマシステム１８０の動作中、ホストコンピュータは、ドライバ１に容量制御信号を送信する。容量制御信号は、可変コンデンサ１０８の容量を実現するために、ホストコンピュータによって生成される。容量制御信号を受信すると、ドライバ１は電流信号を生成し、モータ１へ送信する。モータ１が回転することで、可変コンデンサ１０８のプレートを、可変コンデンサ１０８の対向するプレートに対して回転させ、容量制御信号内の容量に到達させる。

【0079】

一実施形態においては、可変コンデンサ１０８の容量は、プラズマシステム１８０の動作中に制御されることはない。例えば、基板の処理中は、可変コンデンサ１０８の容量は固定される。別の例においては、可変コンデンサ１０８の代わりに、固定コンデンサを用いる。同様に、一実施形態においては、可変コンデンサ１２８の容量は、プラズマシステム１８０の動作中に制御されることはない。例えば、基板の加工中は、可変コンデンサ１２８の容量が固定される。別の例においては、可変コンデンサ１２８の代わりに、固定コンデンサを用いる。

【0080】

一実施形態においては、可変コンデンサ１０８及び１２８の１つ又は複数は、プラズマシステム１８０において使用されない。例えば、ＴＣＰコイル１９２及び１１６は、可変コンデンサ１０８には結合されずに、点Ｐ４を介してＲＦ伝送路１５８上の点Ｐ１に結合されている。別の例として、１次巻線１２４Ａは、可変コンデンサ１２８には結合されずに、ＲＦ伝送路１５８上の点Ｐ２に結合されている。

【0081】

図２は、トランス結合型プラズマ（ＴＣＰ）チャンバ２０４の内側コイルと外側コイルの両方に対するＴＢＳ２０２の使用を説明するための、システム２００の一実施形態の図である。システム２００は、システム１００の一部分とシステム１８０の一部分を組み合わせたものである（図１Ａ、図１Ｂ）。例えば、システム２００は、以下に説明する違いを除いて、システム１００（図１Ａ）と同じ構造及び機能を有する。また、システム２００は、以下に説明する違いを除いて、システム１８０（図１Ｂ）と同じ構造及び機能を有する。

【0082】

システム２００は、ホストコンピュータ、ＲＦ生成器、ＩＭＣ１１０、ドライバ１、モータ１、ドライバ２、モータ２、接続機構１６０、及び接続機構１６２を含む。システム２００は、ＴＢＳ２０２とプラズマチャンバ２０４をさらに含む。また、システム２００は、可変コンデンサ１０８、１２８を含む。

【0083】

ＴＢＳ２０２は、変圧器１０４とコンデンサ１１２を含む。また、ＴＢＳ２０２は、変圧器１２４とコンデンサ１３０を含む。さらに、プラズマチャンバ２０４は、ＴＣＰコイルシステム（ＴＣＳ）２０６を含み、ＴＣＳ２０６は、ＴＣＰコイル１１６及び１５２を含む。プラズマチャンバ２０４からは、コイル終端コンデンサ１５７、１５９（図１Ａ）、１８８、及び１９０（図１Ｂ）などの、一切のコイル終端コンデンサが除かれている。

【0084】

ＴＣＰコイル１１６は内側ＴＣＰコイルであり、ＴＣＰコイル１５２は外側ＴＣＰコイルである。例えば、内側のＴＣＰコイルの直径は、外側のＴＣＰコイルの直径よりも小さくなっている。他の例として、外側ＴＣＰコイルが内側ＴＣＰコイルを囲んでいる場合もある。外側ＴＣＰコイルは、内側ＴＣＰコイルと同じ水平レベルで、又は内側ＴＣＰコイルとは異なる水平レベルで、内側ＴＣＰコイルを囲み得る。

【0085】

可変コンデンサ１０８の一端部は、図１Ａを参照して上述した方法と同様に変圧器１０４に結合され、変圧器１０４は、図１Ａを参照して上述した方法と同様にＴＣＰコイル１１６及びコンデンサ１１２に結合されている。さらに、可変コンデンサ１２８の一端部は、図１Ｂを参照して上述した方法と同様に変圧器１２４に結合され、変圧器１２４は、図１Ｂを参照して上述した方法と同様にＴＣＰコイル１５２及びコンデンサ１３０に結合されている。

【0086】

プラズマシステム２００の動作は、図１Ａを部分的に参照し、図１Ｂを部分的に参照しながら上述した通りである。例えば、変圧器１０４、可変コンデンサ１０８、コンデンサ１１２の動作については、図１Ａを参照して説明している。また、変圧器１２４、可変コンデンサ１２８、コンデンサ１３０の動作は、図１Ｂを参照して上述した通りである。

【0087】

一実施形態においては、可変コンデンサ１０８及び１２８の１つ又は複数は、プラズマシステム２００において使用されない。例えば、１次巻線１０４Ａは、可変コンデンサ１０８には結合されずに、ＲＦ伝送路１５８上の点Ｐ１に結合されている。別の例として、１次巻線１２４Ａは、可変コンデンサ１２８には結合されずに、ＲＦ伝送路１５８上の点Ｐ２に結合されている。

【0088】

図３は、インターレース内側ＴＣＰコイル用及びインターレース外側ＴＣＰコイル用の変圧器を説明するための、システム３００の一実施形態を示す図である。システム３００は、以下に説明する違いを除いて、システム２００（図２）と同じ構造及び機能を有する。システム３００は、ホストコンピュータ、ＲＦ生成器、ＩＭＣ１１０、モータ１、ドライバ１、モータ２、及びドライバ２を含む。システム３００は、さらに、可変コンデンサ１０８、１２８、変圧器型システム３０２、接続機構１６０、接続機構１６２と、プラズマチャンバ３１０とを含む。

【0089】

ＴＢＳ３０２は、１次巻線１０４Ａと複数の２次巻線１０４Ｂ、３０４とを有する変圧器３３２を含む。ＴＢＳ３０２はさらに、１次巻線１２４Ａと複数の２次巻線１２４Ｂ、３１４とを有する別の変圧器３３４を含む。

【0090】

プラズマチャンバ３１０は、ＴＣＰコイル１１６、ＴＣＰコイル１９２、別のＴＣＰコイル１５２と、ＴＣＰコイル１５４とを含む。ＴＣＰコイル１９２及び１１６は内側ＴＣＰコイルであり、ＴＣＰコイル１５２及び１５４は外側ＴＣＰコイルである。例えば、いずれの内側ＴＣＰコイルの直径も、いずれの外側ＴＣＰコイルの直径よりも小さくなっている。他の例として、外側ＴＣＰコイルが内側ＴＣＰコイルを囲んでいる場合もある。外側ＴＣＰコイルは、内側ＴＣＰコイルと同じ水平レベルで、又は内側ＴＣＰコイルとは異なる水平レベルで、内側ＴＣＰコイルを囲み得る。

【0091】

変圧器３３２の２次巻線３０４の一端部はＴＣＰコイル１９２の一端部３０６Ａに結合され、２次巻線３０４の反対側の端部はＴＣＰコイル１９２の反対側の端部３０６Ｂに結合されている。ＴＣＰコイル１９２と２次巻線３０４は、互いに直列に結合されている。例えば、端部３０６Ａに結合されている２次巻線３０４の端部は、端部３０６Ａと同電位を有する。また、端部３０６Ｂと結合されている２次巻線３０４の反対側の端部は、端部３０６Ｂと同電位を有する。別の例として、２次巻線３０４の両端にかかる電圧は、ＴＣＰコイル１９２の両端部３０６Ａ及び３０６Ｂにかかる電圧と同じである。なお、ＴＣＰコイル１９２に直列に結合されたコイル終端コンデンサは存在しない。例えば、コイル終端コンデンサは、ＴＣＰコイル１９２の端部３０６Ｂには結合されない。

【0092】

同様に、変圧器３３４の２次巻線３１４の一端部はＴＣＰコイル１５４の端部３１６Ａに結合され、２次巻線３１４の反対側の端部はＴＣＰコイル１５４の反対側の端部３１６Ｂに結合されている。例えば、端部３１６Ａに結合されている２次巻線３１４の端部は、端部３１６Ａと同電位を有する。また、端部３１６Ｂと結合されている２次巻線３１４の反対側の端部は、端部３１６Ｂと同電位を有する。別の例として、２次巻線３１４の両端にかかる電圧は、ＴＣＰコイル１５４の両端部３１６Ａ及び３１６Ｂにかかる電圧と同じである。なお、ＴＣＰコイル１５４に直列に結合されたコイル終端コンデンサは存在しない。例えば、コイル終端コンデンサは、ＴＣＰコイル１５４の端部３１６Ｂに結合されない。

【0093】

システム３００の動作中、修正ＲＦ信号１２０は、図１Ａを参照して上述した方法と同様に、可変コンデンサ１０８から出力される。また、ＲＦ信号１２２は、図１Ａを参照して上述した方法と同様に、変圧器３３２の２次巻線１０４Ｂによって生成される。修正ＲＦ信号１２０は、１次巻線１０４Ａの端部１０６Ａ及び１０６Ｂに電圧を生じさせ、１次巻線１０４Ａを介して１次巻線１０４Ａの端部１０６Ａから端部１０６Ｂまでを通過し、磁束を有する磁場を発生させる。磁界は、２次巻線３０４の両端部に電圧を誘起する。２次巻線３０４の両端部に誘起された電圧は、ＴＣＰコイル１９２の端部３０６ＡからＴＣＰコイル１９２の端部３０６Ｂへ流れるＲＦ電流信号などのＲＦ信号３１２を発生させる。

【0094】

さらに、システム３００の動作中、修正ＲＦ信号１７２は、図１Ｂを参照して上述した方法と同様に、可変コンデンサ１２８から出力される。また、ＲＦ信号１３８は、図１Ｂを参照して上述した方法と同様に、変圧器３３４の２次巻線１２４Ｂによって生成される。

【0095】

修正ＲＦ信号１７２は、１次巻線１２４Ａの両端部１２６Ａ及び１２６Ｂに電圧を生じさせ、１次巻線１２４Ａを介して１次巻線１２４Ａの端部１２６Ａから端部１２６Ｂまでを通過し、磁束を有する磁場を発生させる。磁界は、２次巻線３１４の両端部に電圧を誘起する。２次巻線３１４の両端部に誘起された電圧は、ＴＣＰコイル１５４の端部３１６ＡからＴＣＰコイル１５４の端部３１６Ｂへ流れるＲＦ電流信号などのＲＦ信号３２０を発生させる。

【0096】

ＴＣＰコイル１１６を通過するＲＦ信号１２２、ＴＣＰコイル１９２を通過するＲＦ信号３１２、ＴＣＰコイル１５４を通過するＲＦ信号３２０、及びＴＣＰコイル１５２を通過するＲＦ信号１３８に加えて、後述する１つ又は複数のプロセスガスをプラズマチャンバ３１０に印加すると、プラズマチャンバ３１０内での基板処理のために、プラズマチャンバ３１０内でプラズマが生成されるか、あるいは維持される。

【0097】

また、プラズマシステム３００の動作中、ホストコンピュータは、ドライバ１に対して容量制御信号を送信する。容量制御信号は、可変コンデンサ１０８の容量を実現するためにホストコンピュータによって生成され、該容量は、１次巻線１０４Ａにおいて実現すべき電圧量に対応し、該電圧量は、２次巻線１０４Ｂにおいて実現すべき別の電圧量と、２次巻線３０４において実現すべきさらに別の電圧量に対応する。可変コンデンサ１０８の容量と、１次巻線１０４Ａ、２次巻線１０４Ｂ、及び２次巻線３０４において実現すべき電圧の量は、ホストコンピュータのメモリデバイスに記憶される。ホストコンピュータのプロセッサは、可変コンデンサ１０８の容量値と、１次巻線１０４Ａ、２次巻線１０４Ｂ、及び２次巻線３０４において実現すべき電圧の量との対応関係から、可変コンデンサ１０８の容量を特定する。

【0098】

容量制御信号を受信すると、ドライバ１は電流信号を生成し、モータ１へ送信する。モータ１が回転することで、可変コンデンサ１０８のプレートを、可変コンデンサ１０８の対向するプレートに対して回転させて容量制御信号内の容量に到達させ、さらに１次巻線１０４Ａにわたる電圧、２次巻線１０４Ｂにわたる電圧、及び２次巻線３０４にわたる電圧に到達させる。

【0099】

さらに、プラズマシステム３００の動作中、ホストコンピュータは、ドライバ２に容量制御信号を送信する。容量制御信号は、可変コンデンサ１２８の容量を実現するためにホストコンピュータによって生成され、該容量は、１次巻線１２４Ａにおいて実現すべき電圧量に対応し、該電圧量は、２次巻線１２４Ｂにおいて実現すべき別の電圧量と、２次巻線３１４において実現すべきさらに別の電圧量に対応する。可変コンデンサ１２８の容量と、１次巻線１２４Ａ、２次巻線１２４Ｂ、及び２次巻線３１４において実現すべき電圧の量は、ホストコンピュータのメモリデバイスに記憶される。ホストコンピュータのプロセッサは、可変コンデンサ１２８の容量値と、１次巻線１２４Ａ、２次巻線１２４Ｂ、及び２次巻線３１４において実現すべき電圧の量との対応関係から、可変コンデンサ１２８の容量を特定する。

【0100】

容量制御信号を受信すると、ドライバ２は電流信号を生成し、モータ２へ送信する。モータ２が回転することで、可変コンデンサ１２８のプレートを、可変コンデンサ１２８の対向するプレートに対して回転させて容量制御信号内の容量に到達させ、さらに１次巻線１２４Ａにわたる電圧、２次巻線１２４Ｂにわたる電圧、及び２次巻線３１４にわたる電圧に到達させる。

【0101】

一実施形態においては、図２のプラズマシステム２００を参照して上述したのと同じ方法で、可変コンデンサ１０８及び１２８の１つ又は複数は、プラズマシステム３００において使用されない。

【0102】

また、一実施形態では、図２のプラズマシステム２００を参照して上述したように、可変コンデンサ１０８及び１２８の１つ又は複数は固定されている。

【0103】

図４Ａは、１次巻線と複数の２次巻線とを有する変圧器４００の一実施形態を示す図である。変圧器４００は、１次巻線４０２と、複数の２次巻線４０４Ａ、４０４Ｂ、４０４Ｃ、４０４Ｄとを含む。変圧器４００は、ツイストワイヤ変圧器の一例である。

【0104】

１次巻線４０２は、１次巻線１０４Ａ（図１Ａ、図２）及び１２４Ａ（図１Ｂ、図２）のいずれかの一例である。２次巻線４０４Ａ～４０４Ｄは、それぞれ、２次巻線１０４Ｂ（図１Ａ）、１２４Ｂ（図１Ｂ）、３０４（図３）、及び３１４（図３）のいずれかの一例である。

【0105】

１次巻線４０２と２次巻線４０４Ａ～４０４Ｄを互いに対して撚り合わせて、変圧器４００を作製する。１次巻線４０２の一例としては、金属線に絶縁体被覆を施したものがある。詳細には、１次巻線４０２は、ポリウレタンで被覆された銅線又は磁性線である。同様に、２次巻線４０４Ａ～４０４Ｄの各々の一例は、金属線である。また、２次巻線４０４Ａ～４０４Ｄの各々の一例は、ポリウレタンで被覆された銅線である。

【0106】

一実施形態では、変圧器４００は、４つ以上又は以下の２次巻線を含む。例えば、変圧器４００は、２つ、あるいは５つの２次巻線を有する。変圧器４００が１次巻線４０２と２次巻線４０４Ａ～４０４Ｄのうちの２つを含む場合、変圧器４００は、変圧器３３２又は変圧器３３４（図３）の一例である。変圧器４００が１次巻線４０２と２次巻線４０４Ａ～４０４Ｄのうちの１つを含む場合、変圧器４００は、変圧器１０４（図１Ａ）又は変圧器１２４（図１Ｂ）の一例である。

【0107】

一実施形態では、１次巻線４０２及び２次巻線４０４Ａ～４０４Ｄは、互いに撚り合わされて編組構造を形成している。

【0108】

図４Ｂは、変圧器４１０の一実施形態を示す図である。変圧器４１０は、ツイストワイヤ変圧器の別の例である。変圧器４１０は、１次巻線４０２と、２次巻線４０４Ａ、４０４Ｂ、４０４Ｃとを有する。１次巻線４０２と２次巻線４０４Ａ～４０４Ｃは互いに撚り合わされ、変圧器４１０を形成する。

【0109】

なお、変圧器４１０の作製には、芯材は使用されない。変圧器４１０は空芯変圧器である。これにより、後述する高周波用途での変圧器４１０の利用が容易になる。高周波にはマイクロ波周波数も含まれる。

【0110】

一実施形態では、１次巻線４０２及び２次巻線４０４Ａ，４０４Ｂ，及び４０４Ｃは、互いに撚り合わされて編組構造を形成している。

【0111】

図４Ｃは、２次巻線上の複数のタップを説明するための、変圧器４２０の一実施形態を示す図である。変圧器４２０は、ツイストワイヤ変圧器のさらにまた別の例である。変圧器４２０は、１次巻線４０２と２次巻線４０４Ａを有する。一例として、１次巻線４０２と２次巻線４０４Ａを互いに撚り合わせて、変圧器４２０を作製する。２次巻線４０４Ａは、タップ０、タップ１、タップ２、タップ３、タップ４、及びタップ５を含む複数のタップを有する。一例として、２次巻線のタップは、２次巻線に沿った位置に設けられたワイヤ接続などの接点である。

【0112】

一例として、ＴＣＰコイル１１６の端部１１４Ａ（図１Ａ、図２、図３）はタップ５に結合され、ＴＣＰコイル１１６の端部１１４Ｂはタップ０に結合されている。別の例として、ＴＣＰコイル１１６の端部１１４Ａは、タップ４に結合され、ＴＣＰコイル１１６の端部１１４Ｂは、タップ０に結合されている。さらに別の例として、ＴＣＰコイル１１６の端部１１４Ａは、タップ４に結合され、ＴＣＰコイル１１６の端部１１４Ｂは、タップ１に結合されている。さらにまた別の例として、ＴＣＰコイル１１６の端部１１４Ａは、タップ３に結合され、ＴＣＰコイル１１６の端部１１４Ｂは、タップ１に結合されている。

【0113】

別の例として、ＴＣＰコイル１９２（図３）の端部３０６Ａはタップ５に結合され、ＴＣＰコイル１９２の端部３０６Ｂはタップ０に結合されている。別の例として、ＴＣＰコイル１９２の端部３０６Ａは、タップ４に結合され、ＴＣＰコイル１９２の端部３０６Ｂは、タップ０に結合されている。さらに別の例として、ＴＣＰコイル１９２の端部３０６Ａは、タップ４に結合され、ＴＣＰコイル１９２の端部３０６Ｂは、タップ１に結合されている。さらにまた別の例として、ＴＣＰコイル１９２の端部３０６Ａは、タップ３に結合され、ＴＣＰコイル１９２の端部３０６Ｂは、タップ１に結合されている。

【0114】

さらに別の例として、ＴＣＰコイル１５４（図３）の端部３１６Ａはタップ５に結合され、ＴＣＰコイル１５４の端部３１６Ｂはタップ０に結合されている。別の例として、ＴＣＰコイル１５４の端部３１６Ａは、タップ４に結合され、ＴＣＰコイル１５４の端部３１６Ｂは、タップ０に結合されている。さらに別の例として、ＴＣＰコイル１５４の端部３１６Ａは、タップ４に結合され、ＴＣＰコイル１５４の端部３１６Ｂは、タップ１に結合されている。さらに別の例として、ＴＣＰコイル１５４の端部３１６Ａは、タップ３に結合され、ＴＣＰコイル１５４の端部３１６Ｂは、タップ１に結合されている。

【0115】

さらに別の例として、ＴＣＰコイル１５２（図１Ｂ、図２、図３）の端部１３２Ａはタップ５に結合され、ＴＣＰコイル１５２の端部１３２Ｂはタップ０に結合されている。別の例として、ＴＣＰコイル１５２の端部１３２Ａはタップ４に結合され、ＴＣＰコイル１５２の端部１３２Ｂはタップ０に結合されている。さらに別の例として、ＴＣＰコイル１５２の端部１３２Ａは、タップ４に結合され、ＴＣＰコイル１５２の端部１３２Ｂは、タップ１に結合されている。さらに別の例として、ＴＣＰコイル１５２の端部１３２Ａはタップ３に結合され、ＴＣＰコイル１５２の端部１３２Ｂはタップ１に結合されている。

【0116】

タップ１からタップ２へ、あるいはタップ２からタップ３へとタップが変化することにより、２次巻線４０４Ａに直列に結合されているＴＣＰコイルに２次巻線４０４Ａによって印加される電圧が変化する。例えば、ＴＣＰコイルがタップ０及び５を介して２次巻線４０４Ａに結合されている場合、ＴＣＰコイルがタップ１及び３を介して２次巻線４０４Ａに結合されている場合とは異なる量の電圧がＴＣＰコイルに印加される。別の例として、ＴＣＰコイルがタップ１及び２を介して２次巻線４０４Ａに結合されている場合、ＴＣＰコイルがタップ２及び４を介して２次巻線４０４Ａに結合されている場合とは異なる量の電圧がＴＣＰコイルに印加される。

【0117】

一実施形態においては、２次巻線４０４Ａは、６つのタップの代わりに、３つ又は７つなど、６以上又は以下のタップを有する。

【0118】

一実施形態では、２次巻線４０４Ａ～４０４Ｄ（図４Ａ）の１つ又は複数は、タップを有する。例えば、２次巻線４０４Ａは３つのタップを有し、２次巻線４０４Ｂも３つのタップを有し、２次巻線４０４Ｃもまた３つのタップを有する。別の例として、２次巻線４０４Ａにタップ０～６を接続する代わりに、又はそれに加えて、タップ０～６が２次巻線４０４Ｂに接続される。さらに別の例として、タップ０～６を２次巻線４０４Ａに接続する代わりに、又はそれに加えて、タップ０～６が２次巻線４０４Ｃ、４０４Ｄ、及び４０４Ｅのいずれかに接続される。

【0119】

一実施形態では、２次巻線４０４Ａ～４０４Ｄの１つ又は複数は、２次巻線４０４Ａ～４０４Ｄの残りの１つ又は複数とは異なるタップ数を有する。例えば、２次巻線４０４Ａ及び４０４Ｂの各々は３つのタップを有し、２次巻線４０４Ｃ及び４０４Ｄの各々は４つのタップを有する。

【0120】

図４Ｄは、変圧器４５０の１次巻線と２次巻線が互いに撚り合わされる様子を説明するための、一実施形態を示す図である。変圧器４５０は、１次巻線４０２と２次巻線４０４Ａを含む。１次巻線４０２が２次巻線４０４Ａと撚り合わされ、２次巻線４０４Ａが１次巻線４０２と撚り合わされることで、変圧器４５０が作製される。

【0121】

図４Ｅは、変圧器４６０の一実施形態を示す図である。変圧器４６０は、１次巻線４５２と２次巻線４５４とを含む。１次巻線４５２と２次巻線４５４のそれぞれは、絶縁体で包まれた金属管である。金属管は、例えば、銅でできている。他の例として、金属管は中空であり、管のハウジングには空間が通っている。１次巻線４５２と２次巻線４５４とは、交互に巻回されている。例えば、１次巻線４５２は２次巻線４５４の上に巻回され、２次巻線４５４は１次巻線４５２の上に巻回されており、１次巻線４５２を２次巻線４５４と交互にして変圧器を作製する。１次巻線４５２と２次巻線４５４が交互に巻回されると、１次巻線４５２と２次巻線４５４とを含むシリンダ４６２が形成される。

【0122】

図５は、変圧器５００の製造における同軸ケーブルの使用を説明するための、変圧器５００の一実施形態を示す図である。変圧器５００は高周波用途に使用される。例えば、変圧器５００は、ＲＦ生成器の動作周波数が１ＭＨｚより高い場合に使用される。

【0123】

変圧器５００は、１次巻線５０２と２次巻線５０４とを含む。１次巻線５０２は、１次巻線１０４Ａ（図１Ａ）及び１２４Ａ（図２）のいずれかの一例である。２次巻線５０４は、２次巻線１０４Ｂ（図１Ａ）、１２４Ｂ（図１Ｂ）、３０４（図３）、及び３１４（図３）のいずれかの一例である。

【0124】

１次巻線５０２は、外部シールド５０２Ａと内部導体５０２Ｂを有する。外部シールド５０２Ｂは絶縁体からなり、内部導体５０２Ａは銅などの金属からなる。外部シールド５０２Ａは、内部導体５０２Ｂの長さに沿って、内部導体５０２Ｂを包み込むように、包囲している。

【0125】

同様に、２次巻線５０４は、外部シールド５０４Ａと内部導体５０４Ｂを有する。外部シールド５０４Ａは絶縁体からなり、内部導体５０４Ａは銅などの金属からなる。本明細書で説明する絶縁体の例としては、プラスチック、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレンなどが挙げられる。外部シールド５０４Ａは、内部導体５０４Ｂの長さに沿って、内部導体５０４Ｂを包み込むように、包囲している。

【0126】

１次巻線５０２と２次巻線５０４は、接続５０６を介して互いに接続されている。例えば、１次巻線５０２を２次巻線５０４に隣接して配置し、１次巻線５０２と２次巻線５０４とを絶縁体で接続する。

【0127】

内部導体５０４Ｂは、１次巻線５０２と２次巻線５０４との比が１：２となるように、内部導体５０２Ｂの２倍の長さを有している。この内部導体５０４Ｂが有する２倍の長さは、内部導体５０２Ｂ上の点５０６Ａと内部導体５０４Ｂ上の点５０６Ｂとの間の破線によって示されている。破線は、内部導体５０４Ｂの長さが内部導体５０２Ｂの長さに比べて２倍になることを説明するものである。別の例として、内部導体５０４Ｂの長さは、内部導体５０２Ｂの３倍又は４倍となっていてもよい。

【0128】

一例として、２次巻線５０４の長さは、／４と図示される１／４波長である。２次巻線５０４の長さの他の例としては、１／２波長又は１／５波長であってもよい。

【0129】

一実施形態では、同軸ケーブルは、中心金属導体を有する。中心導体はその長さに沿って誘電体で包まれており、誘電体はその長さに沿って金属の外部導体で包まれている。外部金属導体は、その長さに沿って絶縁体で覆われている。中心導体は、例えば銅線である。誘電体の一例としては、プラスチック又はポリ塩化ビニルである。外部金属導体は、例えば、銅からなる金属メッシュであり、絶縁体は、例えば、プラスチック、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、又はポリプロピレンである。

【0130】

図６Ａは、コンデンサ１１２（図１Ａ）の代わりに可変コンデンサ６０２を用いることを説明するための、システム６００の一実施形態を示す図である。システム６００は、コンデンサ１１２の代わりに可変コンデンサ６０２を有することを除いては、システム１００（図１Ａ）と同じ構造及び機能を有する。例えば、システム６００は、変圧器型システム６０３を含み、変圧器型システム６０３は、固定されたコンデンサ１１２の代わりに可変コンデンサ６０２を含むことを除いて、変圧器型システム１０２（図１Ａ）と同じ構造及び機能を有する。

【0131】

システム６００は、さらに、ドライバ３、モータ３、及び接続機構６０４を含む。ホストコンピュータは、ドライバ３に結合され、ドライバ３はモータ３に結合されている。モータ３は、接続機構６０４を介して、可変コンデンサ６０２に結合されている。

【0132】

システム６００の動作中、ホストコンピュータは、容量制御信号をドライバ３に送信する。容量制御信号は、可変コンデンサ６０２の容量を実現するためにホストコンピュータによって生成され、該容量は、１次巻線１０４Ａにわたって実現すべき電圧量に対応し、該電圧量は、２次巻線１０４Ｂにわたって実現すべき別の電圧量に対応している。可変コンデンサ６０２の容量と、１次巻線１０４Ａ及び２次巻線１０４Ｂにわたって実現すべき電圧の量は、ホストコンピュータのメモリデバイスに格納される。ホストコンピュータのプロセッサは、可変コンデンサ６０２の容量値と、１次巻線１０４Ａ及び２次巻線１０４Ｂにおいて実現すべき電圧の量との対応関係から、可変コンデンサ６０２の容量を特定する。

【0133】

容量制御信号を受信すると、ドライバ３は電流信号を生成し、モータ３へ送信する。モータ３が回転することで、可変コンデンサ６０２のプレートを、接続機構６０４を介して、可変コンデンサ６０２の対向するプレートに対して回転させて容量制御信号内の容量に到達させ、さらに１次巻線１０４Ａにわたる電圧、２次巻線１０４Ｂにわたる電圧に到達させる。２次巻線１０４Ｂの電圧に到達すると、ＲＦ信号１２２が生成される。

【0134】

図６Ｂは、コンデンサ１３０（図１Ｂ）の代わりに可変コンデンサ６２２を用いることを説明するための、システム６２０の一実施形態を示す図である。システム６２０は、コンデンサ１３０の代わりに可変コンデンサ６２２を有することを除いては、システム１８０（図１Ｂ）と同じ構造及び機能を有する。例えば、システム６２０は、変圧器型システム６２１を含み、変圧器型システム６２１は、固定されたコンデンサ１３０の代わりに可変コンデンサ６２２を含むことを除いて、変圧器型システム１８４（図１Ｂ）と同じ構造及び機能を有する。

【0135】

システム６２０は、さらに、ドライバ４、モータ４、及び接続機構６２４を含む。ホストコンピュータはドライバ４に結合され、ドライバ４はモータ４に結合されている。モータ４は、接続機構６２４を介して、可変コンデンサ６２２に結合されている。

【0136】

システム６２０の動作中、ホストコンピュータは、ドライバ４に容量制御信号を送信する。容量制御信号は、可変コンデンサ６２２の容量を実現するためにホストコンピュータによって生成され、該容量は、１次巻線１２４Ａにわたって実現すべき電圧量に対応し、該電圧量は、２次巻線１２４Ｂにわたって実現すべき別の電圧量に対応している。可変コンデンサ６２２の容量と、１次巻線１２４Ａ及び２次巻線１２４Ｂにわたって実現すべき電圧の量は、ホストコンピュータのメモリデバイスに格納されている。ホストコンピュータのプロセッサは、可変コンデンサ６２２の容量値と、１次巻線１２４Ａ及び２次巻線１２４Ｂにおいて実現すべき電圧の量との対応関係から、可変コンデンサ６２２の容量を特定する。

【0137】

容量制御信号を受信すると、ドライバ４は電流信号を生成し、モータ４へ送信する。モータ４が回転することで、可変コンデンサ６２２のプレートを、接続機構６２４を介して、可変コンデンサ６２２の対向するプレートに対して回転させて容量制御信号内の容量に到達させ、さらに１次巻線１２４Ａにわたる電圧、２次巻線１２４Ｂにわたる電圧に到達させる。２次巻線１２４Ｂの電圧に到達すると、ＲＦ信号１９６が生成される。

【0138】

図７は、コンデンサ１１２（図２）の代わりに可変コンデンサ６０２を使用し、コンデンサ１３０（図２）の代わりに可変コンデンサ６２２を使用することを説明するための、システム７００の一実施形態を示す図である。システム７００は、コンデンサ１１２の代わりに可変コンデンサ６０２を有すること、コンデンサ１３０の代わりに可変コンデンサ６２２を有することを除いては、システム２００（図２）と同じ構造及び機能を有する。例えば、システム７００は、変圧器型システム７０１を含み、変圧器型システム７０１は、固定されたコンデンサ１１２の代わりに可変コンデンサ６０２を含むこと、可変コンデンサ１３０の代わりに可変コンデンサ６２２を有することを除いて、変圧器型システム２０２（図２）と同じ構造及び機能を有する。

【0139】

また、システム７００は、ドライバ３、４と、モータ３、４とを含む。ドライバ３及びモータ３の動作については、図６Ａを参照して前述した通りであり、ドライバ４及びモータ４の動作については、図６Ｂを参照して前述した通りである。２次巻線１０４Ｂの電圧に到達すると、ＲＦ信号１７４が生成され、２次巻線１２４Ｂの電圧に到達すると、ＲＦ信号１９６が生成される。

【0140】

図８は、コンデンサ１１２（図３）の代わりに可変コンデンサ６０２を使用し、コンデンサ１３０（図３）の代わりに可変コンデンサ６２２を使用することを説明するための、システム８００の一実施形態を示す図である。システム８００は、コンデンサ１１２の代わりに可変コンデンサ６０２を有すること、コンデンサ１３０の代わりに可変コンデンサ６２２を有することを除いては、システム３００（図３）と同じ構造及び機能を有する。例えば、システム８００は、変圧器型システム８０１を含み、変圧器型システム８０１は、コンデンサ１１２の代わりに可変コンデンサ６０２を含むこと、コンデンサ１３０の代わりに可変コンデンサ６２２を有することを除いて、変圧器型システム３０２（図３）と同じ構造及び機能を有する。また、システム８００は、ドライバ３、４と、モータ３、４とを含む。

【0141】

システム８００の動作中、ホストコンピュータは、ドライバ３に容量制御信号を送信する。容量制御信号は、可変コンデンサ６０２の容量を実現するためにホストコンピュータによって生成され、該容量は、１次巻線１０４Ａにわたって実現すべき電圧量に対応し、該電圧量は、２次巻線１０４Ｂにわたって実現すべき別の電圧量に対応している。また、１次巻線１０４Ａにわたって実現すべき電圧の量は、２次巻線３０４にわたって実現すべき別の電圧の量に対応する。可変コンデンサ６０２の容量と、１次巻線１０４Ａ、２次巻線１０４Ｂ、及び２次巻線３０４において実現すべき電圧の量は、ホストコンピュータのメモリデバイスに記憶される。ホストコンピュータのプロセッサは、可変コンデンサ６０２の容量値と、１次巻線１０４Ａ、２次巻線１０４Ｂ、及び２次巻線３０４において実現すべき電圧の量との対応関係から、可変コンデンサ６０２の容量を特定する。

【0142】

容量制御信号を受信すると、ドライバ３は電流信号を生成し、モータ３へ送信する。モータ３が回転することで、可変コンデンサ６０２のプレートを、可変コンデンサ６０２の対向するプレートに対して回転させて容量制御信号内の容量に到達させ、さらに１次巻線１０４Ａにわたる電圧、２次巻線１０４Ｂにわたる電圧、及び２次巻線３０４にわたる電圧に到達させる。２次巻線１０４Ｂの電圧に到達すると、ＲＦ信号１２２が生成され、２次巻線３０４の電圧に到達すると、ＲＦ信号３１２が生成される。

【0143】

さらに、システム８００の動作中、ホストコンピュータは、ドライバ４に容量制御信号を送信する。容量制御信号は、可変コンデンサ６２２の容量を実現するためにホストコンピュータによって生成され、該容量は、１次巻線１２４Ａにわたって実現すべき電圧量に対応し、該電圧量は、２次巻線１２４Ｂにわたって実現すべき別の電圧量に対応している。また、１次巻線１２４Ａにわたって実現すべき電圧の量は、２次巻線３１４にわたって実現すべき別の電圧の量に対応する。可変コンデンサ６２２の容量と、１次巻線１２４Ａ、２次巻線１２４Ｂ、及び２次巻線３１４において実現すべき電圧の量は、ホストコンピュータのメモリデバイスに記憶される。ホストコンピュータのプロセッサは、可変コンデンサ６２２の容量値と、１次巻線１２４Ａ、２次巻線１２４Ｂ、及び２次巻線３１４において実現すべき電圧の量との対応関係から、可変コンデンサ６２２の容量を特定する。

【0144】

容量制御信号を受信すると、ドライバ４は電流信号を生成し、モータ４へ送信する。モータ４が回転することで、可変コンデンサ６２２のプレートを、可変コンデンサ６２２の対向するプレートに対して回転させて容量制御信号内の容量に到達させ、さらに１次巻線１２４Ａにわたる電圧、２次巻線１２４Ｂにわたる電圧、及び２次巻線３１４にわたる電圧に到達させる。２次巻線１２４Ｂの電圧に到達すると、ＲＦ信号１３８が生成され、２次巻線３１４の電圧に到達すると、ＲＦ信号３２０が生成される。

【0145】

図９は、変圧器型システム９０２を用いたプラズマツールを説明するための、システム９００の一実施形態を示す図である。システム９００は、ホストコンピュータ、ＲＦ生成器、ＩＭＣ１１０、変圧器型システム９０２、プラズマチャンバ９０４、プロセスガス供給源９０６、及びガス供給マニホールド９０８を含む。

【0146】

プラズマチャンバ９０４は、ＴＣＰコイルシステム９１２と、基板ホルダ９１０とを含む。基板ホルダ９１０は、アース接続に結合されている。ＴＣＰコイルシステム９１２は、基板ホルダ９１０の上方にある。ＴＣＰコイルシステム９１２の例としては、ＴＣＰコイルシステム１５０（図１Ａ）、ＴＣＰコイルシステム１８６（図１Ｂ）、ＴＣＰコイルシステム２０６（図２）、及びＴＣＰコイルシステム３３０（図３）が挙げられる。

【0147】

プロセスガス供給源９０６の例としては、基板ホルダ９１０に載置された半導体ウェハなどの基板Ｓを処理するための１つ又は複数のプロセスガスを格納する１つ又は複数のガス容器が挙げられる。基板ホルダ９１０の一例は、チャックを含む。チャックは、アース接続と結合している下部電極を含む。１つ又は複数のプロセスガスの例としては、酸素含有ガス、フッ素含有ガスが挙げられる。ガス供給マニホールド９０８は、１つ又は複数の弁を含み、該弁は、プロセスガス供給源９０６からガス供給マニホールド９０８を介して受けた１つ又は複数のプロセスガスのプラズマチャンバ９０４への流れを許可又は禁止するなどの制御を行って、予め設定されたプロセスガスの混合物を得る。

【0148】

変圧器型システム９０２の例としては、変圧器型システム１０２（図１Ａ）、変圧器型システム１８４（図１Ｂ）、変圧器型システム２０２（図２）、変圧器型システム３０２（図３）、変圧器型システム６０３（図６Ａ）、変圧器型システム６２１（図６Ｂ）、変圧器型システム７０１（図７）、変圧器型システム８０１（図８）が挙げられる。ＴＣＰコイルシステム９１２の例としては、ＴＣＰコイルシステム１５０（図１Ａ）、ＴＣＰコイルシステム１８６（図１Ｂ）、ＴＣＰコイルシステム２０６（図２）、及びＴＣＰコイルシステム３３０（図３）が挙げられる。

【0149】

ホストコンピュータはＲＦ生成器に結合され、ＲＦ生成器はＩＭＣ１１０に結合されている。ＩＭＣ１１０は、ＲＦ伝送路１５８に結合されている。ホストコンピュータはプロセスガス供給源９０６に結合され、プロセスガス供給源９０６はガス供給マニホールド９０８に結合され、ガス供給マニホールド９０８はプラズマチャンバ９０４に結合されている。ＩＭＣ１１０は、ＲＦ伝送路１５８を介して変圧器型システム９０２に結合されている。可変コンデンサ１０８は、ＲＦ伝送路１５８に結合され、可変コンデンサ１２８は、ＲＦ伝送路１５８に結合されている。変圧器型システム９０２は、可変コンデンサ１０８及び１２８に結合され、またＴＣＰコイルシステム９１２に結合されている。

【0150】

動作中、修正ＲＦ信号１２０及び１７２は、図１Ａを参照して上述した方法と同様に生成される。変圧器型システム９０２は、修正ＲＦ信号１２０及び１７２を受信して、ＲＦ信号セット９１４、９１６を出力する。ＲＦ信号セット９１４の例としては、ＲＦ信号１２２（図１Ａ及び図２）、ＲＦ信号１９４Ａ及び１９４Ｂのセット（図１Ｂ）、又はＲＦ信号１２２及び３０４のセット（図３）が挙げられる。ＲＦ信号セット９１６の例としては、ＲＦ信号１７２Ａ及び１７２Ｂのセット（図１Ａ）、ＲＦ信号１３８（図１Ｂ及び図２）、又はＲＦ信号３２０及び１３８のセット（図３）が挙げられる。

【0151】

さらに、動作中、ホストコンピュータは、プロセスガス供給源９０６に制御信号を送って、１つ又は複数のプロセスガスを供給し、ガス供給マニホールド９０８に制御信号を送って、１つ又は複数のプロセスガスのプラズマチャンバ９０４への供給量を制御している。１つ又は複数のプロセスガスがプラズマチャンバ９０４に供給され、ＲＦ信号９１４、９１６がＴＣＰコイルシステム９１２に供給されると、プラズマチャンバ９０４内にプラズマが発火又は包含されて、基板Ｓが処理される。基板Ｓの処理の例としては、基板Ｓのエッチング、基板Ｓへの材料堆積、基板Ｓのスパッタリング、基板Ｓのクリーニングなどが挙げられる。

【0152】

一実施形態においては、基板ホルダ９１０は、アース接続に結合される代わりに、インピーダンス整合回路を介して１つ又は複数のＲＦ生成器に結合される。１つ又は複数のＲＦ生成器は、それぞれ１つ又は複数のＲＦケーブルを介してインピーダンス整合回路に結合され、インピーダンス整合回路は、ＲＦ伝送路を介して基板ホルダ９１０に結合されている。１つ又は複数のＲＦ生成器はそれぞれ１つ又は複数のＲＦ信号を生成し、１つ又は複数のＲＦ信号はそれぞれ１つ又は複数のＲＦケーブルを介して、インピーダンス整合回路に供給される。インピーダンス整合回路は、１つ又は複数のＲＦ信号に基づいて生成された修正ＲＦ信号を出力し、さらに修正ＲＦ信号を基板ホルダ９１０に送って基板Ｓを処理する。

【0153】

一実施形態においては、ＴＣＰコイルシステム９１２と基板ホルダ９１０との間に誘電体ウインドウが配置される。

【0154】

図１０は、変圧器１０００の原理を説明するための、変圧器１０００の一実施形態を示す図である。変圧器１０００は、変圧器１０４（図１Ａ）、又は変圧器１２４（図１Ｂ）の一例である。変圧器１０００は、１次巻線１００２と２次巻線１００４を有する。

【0155】

変圧器１０００は、２次巻線１００４の所与の電力量に対して、２次巻線１００４の電圧電流比を変化させるために用いることができる。１次巻線１００２と２次巻線１００４との巻線比Ｎｐ／Ｎｓを変化させることで、電圧電流比を変化させることができる。Ｎｐは１次巻線１００２の巻数であり、Ｎｓは２次巻線１００４の巻数である。１次巻線１００２にわたる電圧をＶｐとし、２次巻線１００４にわたる電圧をＶｓとする。１次巻線に流れる電流をＩｐ、２次巻線に流れる電流をＩｓとする。変圧器の方程式を以下に示す。
Ｖｐ／Ｖｓ ＝ Ｉｓ／Ｉｐ ＝ Ｎｐ／Ｎｓ ……（１）

【0156】

１次巻線１００２と２次巻線１００４との間の相互インダクタンスＭは、次式で表される。
Ｍ＝ｋ√（ＬｐＬｓ） ……（２）
ここで、ｋは１次巻線１００２と２次巻線１００４との結合係数であり、は平方根を表し、Ｌｐは１次巻線１００２のインダクタンスであり、またＬｓは２次巻線１００４のインダクタンスである。

【0157】

ツイストワイヤ変圧器は、１次巻線１００２と２次巻線１００４との間の結合係数を向上させる。ツイストワイヤ変圧器では、１次巻線１００２が２次巻線１００４と撚り合わされている。結合係数ｋは、ツイストワイヤ変圧器の、１次巻線１００２のピッチと２次巻線１００２のピッチに依存する。例えば、係数ｋが１、あるいは１から予め定められた範囲内などほぼ１に等しくなるように、１次巻線１００２及び２次巻線１００４のそれぞれのピッチを定義できる。また、結合係数は、１次巻線１００２や２次巻線１００４の作製に使用するワイヤの抵抗損失などのパラメータにも依存する。１次巻線１００２と２次巻線１００４とが互いに撚り合わされることで、異なる線である１次巻線１００２と２次巻線１００４によって生じる結合係数ｋの差異を低減できる。

【0158】

本明細書に記載される実施形態は、ハンドヘルドハードウェアユニット、マイクロプロセッサシステム、マイクロプロセッサ型又はプログラム制御型家電、ミニコンピュータ、メインフレームコンピュータなどを含む様々なコンピュータシステム構成で実施することができる。本明細書に記載された実施形態は、コンピュータネットワークを介して接続されるリモート処理ハードウェアユニットによってタスクを実行する分散コンピューティング環境でも実施できる。

【0159】

いくつかの実装形態では、コントローラは、上記で説明した例の一部となり得るシステムの一部である。該システムは、１つ又は複数の処理ツール、１つ又は複数のチャンバ、１つ又は複数の処理用プラットフォーム、及び／又は特定の処理構成要素（ウェハ台座、ガスフローシステムなど）を含む、半導体処理機器を備えることができる。このシステムは、半導体ウェハ又は基板の処理前、処理中、及び処理後に、その動作を制御するための電子機器と統合されていてもよい。電子機器は、システムの種々の構成要素、又はサブパーツの制御を可能にする「コントローラ」と称される。コントローラは、処理要件及び／又はシステムのタイプに応じて、プロセスガスの送出、温度設定（例えば、加熱及び／又は冷却）、圧力設定、真空設定、電力設定、ＲＦ生成器設定、ＲＦ整合回路設定、周波数設定、流量設定、流体送出設定、位置及び動作設定、システムに接続又はインターフェースされたツール及び他の搬送ツール及び／又はロードロックの内外へのウェハ搬送を含む、本明細書に開示されるプロセスのいずれかを制御するようにプログラムされる。

【0160】

概して、コントローラは、種々の実施形態で、様々な集積回路、論理、メモリ、及び／又はソフトウェアを有する電子機器として定義され、命令を受信・発令し、動作を制御し、クリーニング動作を可能にし、終了点測定を可能にする、等を行う。集積回路は、プログラム命令を記憶するファームウェア形態のチップ、デジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）、ＡＳＩＣとして定義されるチップ、ＰＬＤ、又はプログラム命令（例えば、ソフトウェア）を実行する１つ以上のマイクロプロセッサもしくはマイクロコントローラを含む。プログラム命令は、様々な個々の設定（又はプログラム・ファイル）の形態でコントローラに通信される命令であり、半導体ウェハに対して、又は半導体ウェハに関連して、処理を実行する操作パラメータを定義する。いくつかの実施形態では、操作パラメータは、ウェハの１つ又は複数の層、材料、金属、酸化物、シリコン、シリコン二酸化物、表面、回路、及び／又はダイの製造中において、１つ又は複数の処理ステップを達成するために、プロセスエンジニアによって定義されるレシピの一部である。

【0161】

いくつかの実施形態においては、コントローラは、コンピュータの一部であるか結合されており、コンピュータはシステムに統合又は結合されているか、ネットワーク接続されている。また、これらを組み合わせた形態であってもよい。例えば、コントローラは、「クラウド」内に存在するか、あるいはｆａｂホストコンピュータシステムの全体もしくは一部として遠隔アクセスによってウェハ処理を行う。コントローラは、システムへの遠隔アクセスを可能にし、製造動作に関する現在の経過を監視し、過去の製造動作の履歴を調査し、複数の製造動作から傾向若しくは性能メトリックを調査して、現在の処理のパラメータを変更し、現在の処理に追従する処理ステップを設定するか、又は新たな処理を開始する。

【0162】

いくつかの実施形態では、遠隔コンピュータ（例えば、サーバ）は、コンピュータネットワーク上で処理レシピをシステムに提供することができ、コンピュータネットワークには、ローカル・ネットワーク又はインターネットを含む。遠隔コンピュータは、パラメータ及び／又は設定の入力又はプログラミングを可能にするユーザ・インターフェースを含み、これらのパラメータ及び／又は設定は、次いで、遠隔コンピュータからシステムに伝達される。いくつかの例では、コントローラは、ウェハを処理するための設定の形で命令を受け取る。設定は、ウェハ上で実行される処理のタイプ、及びコントローラがインターフェースするか又は制御するツールのタイプに固有であることが理解できる。従って、上記のように、コントローラは、例えば、１つ又は複数の離散型コントローラなどを用いて分散しており、１つ又は複数の離散型コントローラは、まとめてネットワーク接続され、本明細書で説明する処理の履行等、共通の目的を持って動作する。このような目的のための分散型コントローラの例としては、（プラットフォーム・レベルで、又は遠隔コンピュータの一部として等）遠隔に位置する１つ又は複数の集積回路と通信できるチャンバ上の１つ又は複数の集積回路であり、これらはチャンバ上での処理を制御するために組み合わせられる。

【0163】

限定はしないが、種々の実施形態においてのシステムの例としては、プラズマ・エッチングチャンバ、堆積チャンバ、スピンリンスチャンバ、金属めっきチャンバ、クリーンチャンバ、斜縁エッチングチャンバ、物理蒸着（ＰＶＤ）チャンバ、化学蒸着（ＣＶＤ）チャンバ、原子層堆積（ＡＬＤ）チャンバ、原子層エッチング（ＡＬＥ）チャンバ、イオンインプランテーションチャンバ、トラックチャンバ、並び半導体ウェハの作製及び／又は製造に関連するか若しくは使用できるあらゆる他の半導体処理チャンバを含む。

【0164】

上述の操作は、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）反応器を参照して説明されているが、いくつかの実施形態において、上述の操作は、他のタイプのプラズマチャンバ、例えば、平行平板プラズマチャンバ、容量結合プラズマチャンバ、導体ツール、誘電体ツール、電子サイクロトロン共鳴（ＥＣＲ）反応器を含むプラズマチャンバなどにも適用される。

【0165】

上記のように、ツールによって実施する処理操作に応じて、コントローラは、１つ又は複数の他のツール回路若しくはモジュール、他のツール構成要素、クラスタ・ツール、他のツール・インターフェース、近接ツール、近隣ツール、工場全体に配置されるツール、主コンピュータ、別のコントローラ、又は半導体製造工場におけるツール位置及び／又は積載口へ、又はそこからウェハの容器を運ぶ材料輸送において使用されるツールと通信する。

【0166】

上記の実施形態を念頭に置いた上で、さらに実施形態のいくつかは、コンピュータシステムに格納されたデータを用いた様々なコンピュータ実装操作を使用することを理解されたい。これらのコンピュータ実装操作は、物理量を操作するものである。

【0167】

また、いくつかの実施形態は、これらの操作を実行するためのハードウェアユニット又は装置に関するものである。装置は、特殊な用途のコンピュータのために特別に構成される。特殊用途のコンピュータとして定義される場合、その特殊な用途に対する動作を可能としながらも、特殊用途の一部ではない他の処理、プログラムの実行又はルーチンも実行する。

【0168】

いくつかの実施形態では、本明細書に記載された操作は、選択的に起動されたコンピュータによって実行されるか、コンピュータメモリに格納された１つ又は複数のコンピュータプログラムによって構成されるか、又はコンピュータネットワークを介して取得される。コンピュータネットワーク上でデータを取得した場合、そのデータは、コンピュータネットワーク上の他のコンピュータ、例えば、コンピューティングリソースのクラウドによって処理され得る。

【0169】

本明細書に記載された１つ又は複数の実施形態は、非一時的なコンピュータによって読み取り可能な媒体上のコンピュータによって読み取り可能なコードとしても作製され得る。非一時的なコンピュータによって読み取り可能な媒体は、データを記憶する任意のデータ格納ハードウェアユニット、例えばメモリデバイスなどであり、記憶されたデータがコンピュータシステムによって読み取られる。非一時的なコンピュータによって読み取り可能な媒体の例としては、ハードディスク、ネットワーク接続ストレージ（ＮＡＳ）、ＲＯＭ、ＲＡＭ、コンパクトディスクＲＯＭ（ＣＤ－ＲＯＭ）、記録用ＣＤ（ＣＤ－Ｒ）、書き換え可能ＣＤ（ＣＤ－ＲＷ）、磁気テープ、その他の光学及び非光学のデータ格納ハードウェアユニットが挙げられる。いくつかの実施形態では、非一時的コンピュータ読み取り可能媒体は、ネットワーク結合コンピュータシステム上に分散されたコンピュータ読み取り可能な有形の媒体を含み、コンピュータ読み取り可能なコードの格納と実行を分散方式で行う。

【0170】

上述したいくつかの方法操作は特定の順序で示されるが、様々な実施形態においては、他のハウスキーピング操作が方法操作の間に行われたり、方法操作がわずかに異なる時間に発生するように調整されたり、方法操作の発生を様々な間隔で実行するようにシステム内で分散されたり、また、上述とは異なる順序で行われたりもすることが理解できる。

【0171】

一実施形態においては、上述の任意の実施形態における１つ又は複数の特徴は、本開示に記載する様々な実施形態において説明した範囲から逸脱しない範囲で、任意の他の実施形態の１つ又は複数の特徴と組み合わせられることにさらに留意されたい。

【0172】

前述の実施形態は、より明確な理解のために詳細に記載されているが、添付の特許請求の範囲内で、ある程度の変更及び修正が許容されることは明らかである。従って、本実施形態は、あくまで例示であり、制限的なものではないと認識すべきであり、また、本明細書に記載された詳細に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲及び均等箇所の範囲内において変更可能である。
本発明は、たとえば、以下のような態様で実現することもできる。
適用例１：
変圧器装置であって、
インピーダンス整合回路の出力に結合された第１の端部と、コンデンサに結合された第２の端部を有する１次巻線と、
前記１次巻線に対応付けられ、プラズマチャンバのトランス結合型プラズマ（ＴＣＰ）コイルの第１の端部及び第２の端部に結合された２次巻線とを含み、
前記１次巻線は、前記インピーダンス整合回路から修正高周波（ＲＦ）信号を受信して磁束を生成することにより、前記２次巻線に電圧を誘起するように構成されており、前記電圧によって生成されたＲＦ信号が前記２次巻線から前記ＴＣＰコイルに伝達されることを特徴とする、変圧器装置。
適用例２：
適用例１の変圧器装置であって、前記ＴＣＰコイルが前記２次巻線と直列である変圧器装置。
適用例３：
適用例１の変圧器装置であって、
前記インピーダンス整合回路の前記出力に結合された第１の端部と、付加的コンデンサに結合された第２の端部を有する付加的１次巻線と、
前記付加的１次巻線に対応付けられ、前記プラズマチャンバの付加的ＴＣＰコイルの第１の端部及び第２の端部に結合された付加的２次巻線と、をさらに含み、
前記付加的１次巻線が、前記インピーダンス整合回路から修正ＲＦ信号を受信して磁束を生成することにより、前記２次巻線に電圧を誘発するように構成されており、前記付加的２次巻線で誘起された前記電圧によって生成されたＲＦ信号が、前記付加的２次巻線から前記付加的ＴＣＰコイルに伝達されることを特徴とする、変圧器装置。
適用例４：
適用例１の変圧器装置であって、前記コンデンサは、アース接続に結合されている変圧器装置。
適用例５：
適用例１の変圧器装置であって、前記２次巻線は、前記１次巻線と撚り合わされることで、前記１次巻線と対応付けられることを特徴とする、変圧器装置。
適用例６：
適用例１の変圧器装置であって、前記２次巻線は、前記１次巻線と交互に巻回されることで、前記１次巻線と対応付けられることを特徴とする、変圧器装置。
適用例７：
適用例１の変圧器装置であって、前記コンデンサは、可変コンデンサ又は固定コンデンサである、変圧器装置。
適用例８：
適用例１の変圧器装置であって、前記コンデンサは可変コンデンサであり、前記可変コンデンサの容量を変更するためにモータに結合されている、変圧器装置。
適用例９：
適用例１の変圧器装置であって、前記２次巻線によって前記ＴＣＰコイルに印加される前記電圧を変化させる複数のタップが、前記２次巻線に設けられている、変圧器装置。
適用例１０：
適用例１の変圧器装置であって、前記１次巻線の前記第１の端部は、他のコンデンサを介して前記インピーダンス整合回路に結合され、前記他のコンデンサは固定コンデンサ又は可変コンデンサである、変圧器装置。
適用例１１：
変圧器装置であって、
インピーダンス整合回路の出力に結合された第１の端部と、コンデンサに結合された第２の端部を有する１次巻線と、
前記１次巻線に対応付けられ、プラズマチャンバの第１のトランス結合型プラズマ（ＴＣＰ）コイルの第１の端部及び第２の端部に結合された第１の２次巻線と、
前記１次巻線に対応付けられ、プラズマチャンバの第２のＴＣＰコイルの第１の端部及び第２の端部に結合される第２の２次巻線と、を含み、
前記１次巻線は、前記インピーダンス整合回路から修正高周波（ＲＦ）信号を受信して磁束を生成することにより、前記第１の２次巻線に電圧を誘発するように構成されており、前記第１の２次巻線で誘起された前記電圧によって生成されたＲＦ信号が前記第１の２次巻線を介して前記第１のＴＣＰコイルに伝達され、
前記磁場は、前記第２の２次巻線に電圧を誘起するように構成されており、前記第２の２次巻線に誘起された前記電圧によって生成されたＲＦ信号は、前記第２の２次巻線から前記第２のＴＣＰコイルに伝達される、変圧器装置。
適用例１２：
適用例１１の変圧器装置であって、前記第１のＴＣＰコイルが前記第１の２次巻線と直列であり、前記第２のＴＣＰコイルが前記第２の２次巻線と直列である、変圧器装置。
適用例１３：
適用例１１の変圧器装置であって、
前記インピーダンス整合回路の前記出力に結合された第１の端部と、付加的コンデンサに結合された第２の端部を有する付加的１次巻線と、
前記付加的１次巻線に対応付けられ、前記プラズマチャンバの第３のＴＣＰコイルの第１の端部及び第２の端部に結合された付加的第１の２次巻線と、
前記付加的１次巻線に対応付けられ、前記プラズマチャンバの第４のＴＣＰコイルの第１の端部及び第２の端部に結合された付加的第２の２次巻線とをさらに含み、
前記付加的１次巻線は、前記インピーダンス整合回路から修正ＲＦ信号を受信して磁束を生成することにより、前記付加的第１の２次巻線に電圧を誘起するように構成されており、前記付加的第１の２次巻線で誘起された前記電圧によって生成されたＲＦ信号が、前記付加的第１の２次巻線から前記第３のＴＣＰコイルに伝達され、
前記付加的１次巻線に生成された前記磁束は、前記付加的第２の２次巻線に電圧を誘起し、前記付加的第２の２次巻線に誘起された前記電圧によって生成されたＲＦ信号は、前記付加的第２の２次巻線から前記第４のＴＣＰコイルに伝達される、変圧器装置。
適用例１４：
適用例１１の変圧器装置であって、前記コンデンサは、アース接続に結合されている、変圧器装置。
適用例１５：
適用例１１の変圧器装置であって、前記コンデンサは、可変コンデンサ又は固定コンデンサであり、前記可変コンデンサは、前記可変コンデンサの容量を変更するためにモータに結合されている、変圧器装置。
適用例１６：
適用例１１の変圧器装置であって、前記第１の２次巻線は前記１次巻線に撚り合わされることで前記１次巻線と対応付けられ、前記第２の２次巻線は前記１次巻線に撚り合わされることで前記１次巻線と対応付けられている、変圧器装置。
適用例１７：
適用例１１の変圧器装置であって、前記第１の２次巻線は前記１次巻線と交互に巻回されることで前記１次巻線と対応付けられ、前記第２の２次巻線は前記１次巻線と交互に巻回されることで、前記１次巻線と対応付けられている、変圧器装置。
適用例１８：
適用例１１の変圧器装置であって、前記１次巻線の前記第１の端部は、他のコンデンサを介して前記インピーダンス整合回路に結合され、前記他のコンデンサは固定コンデンサ又は可変コンデンサである、変圧器装置。
適用例１９：
変圧器の、コンデンサに結合された１次巻線によって、インピーダンス整合回路の出力から修正高周波（ＲＦ）信号を受信すること、
前記修正ＲＦ信号の受信時に、前記１次巻線によって、前記変圧器の２次巻線にわたって電圧を誘起するための磁束を生成させること、及び
前記２次巻線の前記電圧で生成されたＲＦ信号を、プラズマチャンバのトランス結合型プラズマ（ＴＣＰ）コイルに転送すること、を含む方法。
適用例２０：
適用例１９の方法であって、前記ＴＣＰコイルが前記２次巻線と直列である、方法。

【図1A】

【図1B】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図4C】

【図4D】

【図4E】

【図5】

【図6A】

【図6B】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】