特許 7563091 光偏向器、偏向装置、物体認識装置、画像投影装置、及び移動体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-30

(45)【発行日】2024-10-08

(54)【発明の名称】光偏向器、偏向装置、物体認識装置、画像投影装置、及び移動体

(51)【国際特許分類】

   G02B 26/10 20060101AFI20241001BHJP

   G02B 26/08 20060101ALI20241001BHJP

   B60R 11/02 20060101ALI20241001BHJP

   B81B 3/00 20060101ALI20241001BHJP

   B60K 35/23 20240101ALI20241001BHJP

   G02B 27/01 20060101ALN20241001BHJP

【ＦＩ】

G02B26/10 104Z

G02B26/08 E

B60R11/02 C

B81B3/00

B60K35/23

G02B27/01

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2020167189

(22)【出願日】2020-10-01

(65)【公開番号】P2021089418

(43)【公開日】2021-06-10

【審査請求日】2023-08-24

(31)【優先権主張番号】P 2019214515

(32)【優先日】2019-11-27

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006747

【氏名又は名称】株式会社リコー

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】赤沼 悟一

【審査官】山本 貴一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－２１５５３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１５９２５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－０１０２７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－１７６０５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－１３３２４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０９７３０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０９５３３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１４／０３２７９４６（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０２Ｂ ２６／０８，２６／１０

Ｂ８１Ｂ ３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

光を反射するミラー部と、
前記ミラー部と一端が接続されており前記ミラー部を支持する１対の支持部と、
各々の前記支持部の他端と接続されており、前記支持部を変形させて前記ミラー部を第１軸を中心に回動させる１対の駆動梁と、
前記支持部と前記駆動梁とを接続する接続部と、
を有し、
前記接続部には、前記１対の支持部の長手方向と交差する方向を長手とするリブが設けられており、
前記１対の駆動梁を駆動していないときの前記ミラー部の反射面と平行な平面を、前記１対の支持部の長手方向と平行な直線で二分したとき、前記１対の駆動梁は、前記二分された平面の何れか一方に配置されていることを特徴とする光偏向器。

【請求項2】

前記リブは前記第１軸と直交する方向に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の光偏向器。

【請求項3】

前記リブは、前記接続部において、前記ミラー部と接続されている側とは反対側に寄って設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の光偏向器。

【請求項4】

前記駆動梁を支持する枠部を有し、
前記駆動梁、前記接続部、前記支持部及び前記ミラー部からなる部材は、前記枠部に片持ち支持されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の光偏向器。

【請求項5】

前記接続部は、前記第１軸よりも前記駆動梁側の第１の領域で前記駆動梁と接続されており、
前記接続部において、前記第１の領域とは反対の第２の領域には、前記駆動梁と前記枠部とが接続されている部分に対し反対側に出っ張った凸部を有しており、
前記凸部の前記支持部側には、フィレット形状を有する第１のフィレット部が設けられていることを特徴とする請求項４に記載の光偏向器。

【請求項6】

前記接続部の前記第１の領域の前記支持部側には、フィレット形状を有する第２のフィレット部が設けられていることを特徴とする請求項５に記載の光偏向器。

【請求項7】

前記リブは、前記第２のフィレット部の最も前記駆動梁側の端点から前記第１軸方向に沿った仮想線に対して跨るように設けられていることを特徴とする請求項６に記載の光偏向器。

【請求項8】

前記接続部の前記第１の領域の前記支持部側には、フィレット形状を有する第２のフィレット部が設けられており、
前記第１のフィレット部におけるフィレット形状の曲率と、前記第２のフィレット部におけるフィレット形状の曲率と、は異なることを特徴とする請求項５に記載の光偏向器。

【請求項9】

前記第１のフィレット部におけるフィレット形状は、楕円弧であることを特徴とする請求項５から８のいずれか１項に記載の光偏向器。

【請求項10】

前記第１のフィレット部におけるフィレット形状は、円弧であって、前記円弧の中心に対し９０度以下の範囲に形成されていることを特徴とする請求項５から９のいずれか１項に記載の光偏向器。

【請求項11】

前記枠部は可動枠であって、
前記可動枠と一端が接続されており前記可動枠を前記第１軸と直交する第２軸を中心に回動可能に支持する１対の可動枠支持部と、
前記可動枠支持部の他端が接続された固定枠と、
を有することを特徴とする請求項４から１０のいずれかに記載の光偏向器。

【請求項12】

請求項１から１０のいずれか１項に記載の光偏向器と、
光源と、
を備えた偏向装置。

【請求項13】

請求項１から１０のいずれか１項に記載の光偏向器を備える物体認識装置。

【請求項14】

請求項１から１０のいずれか１項に記載の光偏向器を備える画像投影装置。

【請求項15】

請求項１３に記載の物体認識装置、請求項１４に記載の画像投影装置の少なくとも１つを有する移動体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光偏向器、偏向装置、物体認識装置、画像投影装置、及び移動体に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、半導体製造技術を応用したマイクロマシニング技術の発達に伴い、シリコンまたはガラスを微細加工して製造されるＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)デバイスの開発が進んでいる。

【0003】

ＭＥＭＳデバイスは、例えば、圧電アクチュエータでミラー部を駆動（回動）させる光偏向器として利用できる。圧電アクチュエータは、例えば、反射面を設けたミラー部とトーションバーと梁部（弾性梁）とをウエハ上に一体に形成し、梁部上に薄膜化した圧電材料を積層した構造である。

【0004】

上記のような光偏向器の一例として、ミラー部の限界振れ角を大きくすることが可能な光偏向器が開示されている（例えば、特許文献１）。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に記載されている光偏向器は、周回リブと突出リブとを有している。しかし、この光偏向器では、突出リブが可動部を形成する枠部の周回リブと連続しているため、トーションバーのねじれ変形が抑制され、ミラー部のねじり共振モードの阻害が生じる。このため、ミラー部の振幅（振幅感度）を大きくすることが困難であり、所望の高画角化を達成することはできない。

【0006】

本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、光偏向器の破壊限界角を拡大し、所望の高画角化を実現することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

開示の技術の一態様に係る光偏向器は、光を反射するミラー部と、前記ミラー部と一端が接続されており前記ミラー部を支持する１対の支持部と、各々の前記支持部の他端と接続されており、前記支持部を変形させて前記ミラー部を第１軸を中心に回動させる１対の駆動梁と、前記支持部と前記駆動梁とを接続する接続部と、を有し、前記接続部には、前記１対の支持部の長手方向と交差する方向を長手とするリブが設けられており、前記１対の駆動梁を駆動していないときの前記ミラー部の反射面と平行な平面を、前記１対の支持部の長手方向と平行な直線で二分したとき、前記１対の駆動梁は、前記二分された平面の何れか一方に配置されていることを特徴とする。

【発明の効果】

【0008】

開示の技術によれば、光偏向器の破壊限界角を拡大し、所望の高画角化を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】第１の実施形態における光偏向器の上面図である。

【図2】第１の実施形態における光偏向器の裏面図である。

【図3】接続部リブ長と接続部における破壊振幅の相関図である。

【図4】第１の実施形態における光偏向器の接続部リブの説明図（１）である。

【図5】第１の実施形態における光偏向器の接続部リブの説明図（２）である。

【図6】第２の実施形態における光偏向器の上面図である。

【図7】第２の実施形態における光偏向器の裏面図である。

【図8】第２の実施形態における光偏向器の変形例の裏面図である。

【図9】第３の実施形態における光偏向器の上面図である。

【図10】第３の実施形態における光偏向器の裏面図である。

【図11】第３の実施形態における光偏向器の変形例の裏面図である。

【図12】第４の実施形態における光偏向器の上面図である。

【図13】光走査システムの一例の概略図である。

【図14】光走査システムの一例のハードウェア構成図である。

【図15】駆動装置の一例の機能ブロック図である。

【図16】光走査システムに係る処理の一例のフローチャートである。

【図17】ヘッドアップディスプレイ装置を搭載した自動車の一例の概略図である。

【図18】ヘッドアップディスプレイ装置の一例の概略図である。

【図19】光書込装置を搭載した画像形成装置の一例の概略図である。

【図20】光書込装置の一例の概略図である。

【図21】レーザレーダ装置を搭載した自動車の一例の概略図である。

【図22】レーザレーダ装置の一例の概略図である。

【図23】パッケージングされた光偏向器の一例の概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一の構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。

【0011】

〔第１の実施形態〕
近年、画像形成装置等に用いられる光偏向器には、画像形成装置等を高画質化するために、ミラー部の大振幅化、及びミラー部の高解像度化が求められている。

【0012】

ミラー部を大振幅化すると、ミラー部の振幅に比例してミラー部の回転加速度が大きくなる。即ち、ミラー部の振幅が増加すると、それに伴ってミラー部を支持するトーションバー及び固定部にかかる応力が大きくなる。トーションバー及び固定部への応力が大きくなり、ミラー部の振幅がトーションバー及び固定部の破壊が生じるミラー振幅限界角に達すると、光偏向器は破壊に至る。

【0013】

また、ミラー部を高解像度化するためには走査線を多くする必要があり、そのためにはミラー部の駆動周波数（共振周波数）を高くする必要がある。ミラー部の共振周波数が高くなると、周波数の二乗に比例してミラー部の回転加速度が大きくなる。従って、ミラー部の振幅が同じであっても、ミラー部の周波数が高くなると、ミラー部を支持するトーションバー及び固定部への負荷は急激に増大する。そして、トーションバー及び固定部への負荷が、トーションバー及び固定部の破壊強度を超えると、光偏向器は破壊に至る。

【0014】

また、従来の片持ち構造の光偏向器では、トーションバーを片持ち支持する駆動梁（梁部）との接続部において駆動梁の先端側は開放されている。そのため、ミラー部の周波数が高くなると、トーションバーと駆動梁との接続部において変形が大きくなりやすい。このため、トーションバーと駆動梁との接続部がトーションバーのねじりによる負荷に耐え切れずに光偏向器が破壊されやすい傾向にある。

【0015】

本実施形態における光偏向器は、トーションバーと駆動梁（梁部）とを接続する接続部にリブ構造を有する。リブ構造は、ミラー部の大振幅化及び高周波数化に伴う負荷増大による接続部の変形を抑制して接続部の応力を緩和するため、光偏向器の破壊限界角を拡大できる。

【0016】

（光偏向器）
第１の実施形態における光偏向器について、図１及び図２に基づき説明する。尚、図１は、本実施形態における光偏向器の上面図であり、図２は、裏面図である。

【0017】

本実施形態における光偏向器は、光を反射する反射面１４を有するミラー部１１０を備えており、このミラー部１１０の両側にはトーションバー１２０が接続されている。トーションバー１２０は、トーションバースプリングとも呼ばれるが、本願においては、トーションバー１２０と記載する。

【0018】

トーションバー１２０の一方の端部１２０ａは、ミラー部１１０に接続されており、一方の端部１２０ａとは反対の他方の端部１２０ｂは、接続部１４０を介して、駆動梁１３０と接続されている。駆動梁１３０は、トーションバー１２０の軸方向（即ち、Ｘ軸方向）の両側に配置されている。本願においては、対象物の一方の端部を一端と記載し、他方の端部を他端と記載する場合がある。

【0019】

駆動梁１３０は、シリコン基板等により形成された基体の梁部１３１の上に、圧電材料１３２が積層された構造である。駆動梁１３０は、例えば、平板短冊状のユニモルフ構造である。駆動梁１３０の一方の端部は、固定枠１５０に接続されており、他方の端部は、接続部１４０を介して、トーションバー１２０の他方の端部１２０ｂに接続されている。本願においては、固定枠１５０を枠部と記載する場合がある。

【0020】

このような構造の光偏向器において、ミラー部１１０の回動軸となる第１軸、即ち、１対のトーションバー１２０の中心軸に対して、片側に設けられた駆動梁１３０は、ミラー部１１０及びトーションバー１２０を支持している。駆動梁１３０は、例えば、第１軸に対し－Ｙ側に位置している。本実施形態における光偏向器は、駆動梁１３０が固定枠１５０に片持ち支持された片持ち構造である。

【0021】

本実施形態においては、トーションバー１２０のねじれ中心軸方向、即ち、ミラー部１１０の第１軸方向をＸ軸方向、ミラー部１１０の反射面１４の法線をＺ軸方向、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に直交する方向をＹ軸方向とする。また、シリコン基板等により形成された基体において、トーションバー１２０と駆動梁１３０とが接続されている接続部分を接続部１４０とする。

【0022】

本実施形態における光偏向器においては、ミラー部１１０の裏面にミラー部リブ１１１が設けられており、接続部１４０の裏面に接続部リブ１４１が設けられている。接続部リブ１４１は、回動軸である第１軸に対し交差する方向、好ましくは第１軸と直交するＹ軸方向に伸びるように形成されている。このように接続部１４０の裏面に形成された接続部リブ１４１により、接続部１４０における変形が抑制されるため、ミラー部１１０の回動時における接続部１４０の応力が低減され、光偏向器の破壊限界角を大きくすることができる。その結果、ミラー部１１０を大振幅で回動することが可能となる。

【0023】

ここで、駆動梁１３０と接続部１４０との接続部分の境界となる接続線を、フィレット形状の固定端側フィレット１４２の最も駆動梁１３０側の端点から第１軸方向に沿った仮想線Ｋとする。本実施形態においては、この仮想線Ｋ上に接続部リブ１４１を設けることにより破壊に対する接続部１４０の強度を高めることができる。接続部リブ１４１は、固定端側フィレット１４２の最も駆動梁１３０側の端からＸ軸方向となる第１軸方向に沿った仮想線Ｋを跨ぐように設けられている。

【0024】

接続部１４０及び駆動梁１３０に、第１軸に直交するＹ軸方向に伸びる接続部リブ１４１を設けることにより、大振幅化及び高周波数化に伴う負荷増大による接続部１４０の変形が抑制され、接続部１４０の応力が緩和される。これにより、光偏向器の破壊限界角を拡大することができる。

【0025】

本実施形態における光偏向器では、ＭＥＭＳプロセスによってシリコン基板を加工することにより、ミラー部１１０、トーションバー１２０、及び駆動梁１３０を一体で形成している。ミラー部１１０の反射面１４は、例えば、シリコン基板の表面にアルミニウムまたは銀などの金属の薄膜を成膜することで形成する。

【0026】

駆動梁１３０は、トーションバー１２０とミラー部１１０を片側から支持した片持ち構造であり、駆動梁１３０の＋Ｙ側の先端は自由端である。そのため、ミラー部１１０は、回動する際に余計な制約を受けることなく大きな振幅で回動することができる。これにより、駆動梁１３０の曲げにより発生する力を効率よくトーションバー１２０の捻り方向の変形に伝えることができる。

【0027】

図１及び図２に示される片持ち構造の光偏向器は、駆動梁１３０の曲げ共振とトーションバー１２０のねじれ共振を適切に設計することにより、駆動感度（印加電圧に対する振幅角）を十分に大きくすることが可能である。従って、片持ち構造の光偏向器において、実現可能な振幅角は、シリコン構造体の強度に起因する破壊限界角が制約となる。

【0028】

従って、光偏向器の強度限界（破壊応力）は材料（Ｓｉ）で決まってしまうため、回動時に発生する応力が破壊応力より低くなるように構造設計を最適化する必要がある。本実施形態における光偏向器では、前述のように接続部１４０の裏面に、接続部リブ１４１を設けた構造とすることにより、ミラー部１１０の回動時に接続部１４０に発生する応力を抑制し、光偏向器の破壊限界角を増大することが可能である。

【0029】

尚、接続部１４０の裏面に接続部リブ１４１が設けられていない構造の光偏向器では、接続部において、駆動梁が設けられている側に形成された固定端側フィレットや仮想線Ｋ上の所定の箇所に応力が集中する。これに対し、本実施形態における光偏向器では、接続部１４０の裏面に接続部リブ１４１が設けられているため、接続部１４０の駆動梁１３０が設けられている側に形成された固定端側フィレット１４２や仮想線Ｋ上の所定の箇所において生じる応力が緩和される。

【0030】

図３は、有限要素シミュレーションで得られた接続部１４０における発生応力から推定した破壊振幅と、接続部１４０の接続部リブ１４１の接続部リブ長との関係を示す。破壊振幅は、実験的に破壊応力を求め、シミュレーションで得られた応力から換算した。尚、図３における『接続部リブ長０μｍ』は、接続部リブ１４１が設けられていない状態を意味している。図３に示されるように、接続部リブ長が３５０μｍの接続部リブ１４１を設けることにより、破壊強度を高くすることができ、破壊振幅を約３０°以上にすることができる。この場合、図４に示されるように、接続部リブ１４１は、固定端側フィレット１４２の－Ｙ側の端部よりも、更に、駆動梁１３０側となる－Ｙ側に延びている。このように、接続部１４０において、Ｘ軸方向における幅が最も狭くなる固定端側フィレット１４２よりも駆動梁１３０側にまで、接続部リブ１４１を設けることにより、破壊振幅を大きくすることができる。尚、図３に示される５水準のパラメータ８５、９５、１０５、１１５、１２５は、トーションバー１２０のミラー部１１０の中心に対するオフセット量に関する設計パラメータであって、片持ち構造のバランスを最適化するパラメータである。５水準のいずれのパラメータにおいても、同様の傾向にある。

【0031】

次に、図５に基づき、接続部リブ１４１が形成される位置について説明する。接続部リブ１４１は、Ｘ軸方向における接続部１４０の中央１４０ａにおいて、Ｙ軸方向に沿って接続部１４０を２つの領域に２分した場合に、トーションバー１２０とは反対側の領域に設けられている。このように、接続部リブ１４１をトーションバー１２０から離れた位置に設けることにより、トーションバー１２０のねじれ変形が、接続部リブ１４１によって急激に拘束されることで発生する応力集中を抑制することができる。その結果、光偏向器の破壊限界角を増大できる。

【0032】

更に、接続部リブ１４１は、接続部１４０の＋Ｙ側の端部１４０ｂ及び－Ｘ側の端部１４０ｃよりも所定の長さだけ内側に設けられている。具体的には、接続部リブ１４１は、接続部１４０の＋Ｙ側の端部１４０ｂよりも内側となる－Ｙ側にＹａ離れた位置に設けられ、かつ－Ｘ側の端部１４０ｃよりも内側となる＋Ｘ側にＸａ離れた位置に設けられている。接続部の端部に接続部リブを設けた場合には、応力集中が生じる場合があるが、接続部リブ１４１を接続部１４０の端部よりも内側に設けることにより、応力集中が生じることを抑制できる。

【0033】

〔第２の実施形態〕
次に、第２の実施形態における光偏向器について、図６及び図７に基づき説明する。尚、図６は、本実施形態における光偏向器の上面図であり、図７は、裏面図である。

【0034】

本実施形態における光偏向器は、接続部１４０において、駆動梁１３０と接続されている側とは反対側となる＋Ｙ側の端に凸部１４３が形成されており、凸部１４３のトーションバー１２０側には、自由端側フィレット１４４が形成されている。尚、接続部１４０において、駆動梁１３０側となる－Ｙ側には、固定端側フィレット１４２が設けられている。よって、接続部１４０において、トーションバー１２０の両側には、自由端側フィレット１４４と、固定端側フィレット１４２が設けられている。自由端側フィレット１４４は、トーションバー１２０のねじれによる応力抑制のために設けられている。本願においては、自由端側フィレット１４４を第１のフィレット部と記載し、固定端側フィレット１４２を第２のフィレット部と記載する場合がある。

【0035】

更に、本実施形態における光偏向器では、接続部リブ１４１は、凸部１４３にも設けられている。即ち、本実施形態においては、接続部リブ１４１は、トーションバー１２０の＋Ｙ側の端部よりも、更に＋Ｙ側に延びて形成されている。尚、接続部リブ１４１は、ミラー部１１０の回動軸となる第１軸、即ち、トーションバー１２０の中心軸と交差する方向、好ましくは第１軸と直交するＹ軸方向に伸びるように形成されている。これにより、接続部１４０における変形が抑制されるため、ミラー部１１０の回動時における接続部１４０の応力が低減され、光偏向器の破壊限界角を大きくすることができ、ミラー部１１０を大振幅で回動することが可能となる。

【0036】

本実施形態における光偏向器は、自由端側フィレット１４４の形状は円弧により形成されていてもよい。また、固定端側フィレット１４２におけるフィレット形状の曲率と、自由端側フィレット１４４におけるフィレット形状の曲率とが異なっていてもよい。具体的には、自由端側フィレット１４４におけるフィレット形状の曲率が、固定端側フィレット１４２におけるフィレット形状の曲率よりも小さくなるように形成されていてもよい。

【0037】

固定端側フィレット１４２におけるフィレット形状を形成する円弧の曲率と、自由端側フィレット１４４におけるフィレット形状を形成する円弧の曲率が同じである場合には、固定端側フィレット１４２の近傍における応力が大きくなる。固定端側フィレット１４２のフィレット形状の曲率よりも、自由端側フィレット１４４のフィレット形状の曲率を小さくすることにより、固定端側フィレット１４２の近傍の応力と、自由端側フィレット１４４の近傍の応力とを等しくすることができる。

【0038】

また、自由端側フィレット１４４のフィレット形状が、楕円弧により形成されていてもよい。この場合、楕円形の長径がＸ軸方向、即ち、トーションバー１２０の長手方向となるように形成されていてもよい。

【0039】

また、自由端側フィレット１４４のフィレット形状が所定の曲率半径の円弧により形成されており、自由端側フィレット１４４のフィレット形状が形成されている部分のなす角が、９０度以下であってもよい。

【0040】

このような形状にすることにより、凸部１４３の＋Ｙ側における長さを短くして、駆動梁１３０を軽量化して共振周波数を高くしたり、駆動梁１３０の曲げによる破壊を抑制したりすることができる。

【0041】

図６及び図７に示される光偏向器は、自由端側フィレット１４４が設けられている構造の光偏向器であるが、本実施形態における光偏向器は、図８に示されるように、自由端側フィレット１４４が設けられていない光偏向器であってもよい。図８に示される構造の光偏向器であっても、接続部リブ１４１を凸部１４３にまで設けた効果は得られる。

【0042】

尚、上記以外の内容については、第１の実施形態と同様である。

【0043】

〔第３の実施形態〕
次に、第３の実施形態における光偏向器について、図９及び図１０に基づき説明する。尚、図９は、本実施形態における光偏向器の上面図であり、図１０は、裏面図である。

【0044】

本実施形態における光偏向器は、光を反射する反射面１４を有するミラー部１１０を有しており、このミラー部１１０の両側にはトーションバー１２０が接続されている。

【0045】

トーションバー１２０の一方の端部１２０ａは、ミラー部１１０に接続されており、一方の端部１２０ａとは反対の他方の端部１２０ｂは、接続部２４０を介して、駆動梁２３０と接続されている。駆動梁２３０は、トーションバー１２０の軸方向（即ち、Ｘ軸方向）の両側に配置されている。

【0046】

本実施形態における光偏向器においては、トーションバー１２０の中心軸である第１軸を挟んで、両側から駆動梁２３０が一対のトーションバー１２０を支持している。即ち、図１０に示されるように、２つの駆動梁２３０が一対のトーションバー１２０のそれぞれを支持した構造であり、合計で４つの駆動梁２３０が設けられている。

【0047】

駆動梁２３０は、シリコン基板等により形成された基体の梁部２３１の上に、圧電材料２３２が積層された構造である。駆動梁２３０は、例えば、平板短冊状のユニモルフ構造である。駆動梁２３０の一方の端部は、固定枠２５０に接続されており、他方の端部は、接続部２４０を介して、トーションバー１２０の他方の端部１２０ｂに接続されている。本願においては、固定枠２５０を枠部と記載する場合がある。

【0048】

従って、駆動梁２３０は、トーションバー１２０の他方の端部１２０ｂにおいて、トーションバー１２０の中心軸に対して両側に配置されており、梁状部材でミラー部１１０とトーションバー１２０を固定枠２５０に対して両持ち支持した構造である。即ち、ミラー部１１０及びトーションバー１２０は、第１軸に対し＋Ｙ側の駆動梁２３０及び－Ｙ側の駆動梁２３０により支持された両持ち構造である。

【0049】

図９及び図１０に示されるように、トーションバー１２０と駆動梁２３０とを接続する接続部２４０の裏面には、回動軸である第１軸に対し直交するＹ軸方向に伸びる接続部リブ２４１が設けられている。これにより、接続部２４０の変形が抑制されるため、ミラー部１１０の回動時における接続部２４０の応力が低減され、光偏向器の破壊限界角を大きくすることができ、ミラー部１１０を大振幅で回動することが可能となる。

【0050】

接続部リブ２４１は、図１０に示されるように連続した１本のリブでもよいが、図１１に示されるように、トーションバー１２０の中心軸を挟んで２分割した構造のものであってもよい。図１１に示されるように、接続部リブ２４１を２分割することにより、接続部２４０における剛性が若干低くなるため、破壊への耐性は低くなるが、駆動梁２３０による力による変形がトーションバー１２０に伝わりやすくなるため、大きな振幅が得られやすい。

【0051】

尚、上記以外の内容については、第１の実施形態と同様である。

【0052】

〔第４の実施形態〕
次に、第４の実施形態における光偏向器について説明する。本実施形態における光偏向器は、回動軸である第１軸と、第１軸と直交する第２軸とを中心に回動可能である。具体的には、図１２に示されるように、副走査の可動枠３５０の内側に、第２の実施形態におけるミラー部１１０、トーションバー１２０、駆動梁１３０、固定端側フィレット１４２、及び自由端側フィレット１４４が設けられている。駆動梁１３０は可動枠３５０に支持されており、ミラー部１１０は、第１軸を中心に回動可能である。本実施形態における光偏向器では、駆動梁１３０が主走査駆動梁となる。

【0053】

また、可動枠３５０の両側には、ミアンダ構造の可動枠支持部３６０が設けられている。可動枠支持部３６０は、Ｘ軸方向が長手方向となる複数の梁部３６１と、隣り合う梁部３６１を接続する梁部接続部３６２と、各々の梁部３６１の上に設けられた圧電部材３６３とを有している。各々の可動枠支持部３６０の一方の端部は可動枠３５０に接続されており、他方の端部は固定枠３７０に接続されている。

【0054】

本実施形態における光偏向器では、各々の梁部３６１の上に設けられた圧電部材３６３に電圧を印加することにより、ミラー部１１０を含む可動枠３５０全体を、第２軸を中心に回動させることができる。

【0055】

上記における説明では、可動枠３５０の内側に第２の実施形態における光偏向器を配置する例について説明したが、可動枠３５０の内側に第１または第３の実施形態における光偏向器を配置することも可能である。

【0056】

以上に説明した第１から第４の実施形態に係る光偏向器は、光走査システム、画像投影装置、光書込装置、物体認識装置に使用することができる。

【0057】

［光走査システム］
まず、図１３～図１６を参照して、第１から第４の実施形態に係る光偏向器の何れかを搭載した光走査システムについて詳細に説明する。

【0058】

図１３に、光走査システムの一例の概略図を示す。

【0059】

図１３に示すように、光走査システム１０は、駆動装置１１の制御に従って光源装置１２から照射された光を光偏向器１３の有する反射面１４により偏向して被走査面１５を光走査するシステムである。光偏向器１３は、第１から第４の実施形態に係る光偏向器の何れか１つである。

【0060】

光走査システム１０は、駆動装置１１、光源装置１２、及び反射面１４を有する光偏向器１３を含む。光走査システム１０は、本発明に係る偏向装置の代表的な一例である。

【0061】

駆動装置１１は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）およびＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）等を備えた電子回路ユニットである。光偏向器１３は、例えば反射面１４を有し、反射面１４を可動可能なＭＥＭＳ（Micro Electromechanical Systems）デバイスである。光源装置１２は、例えばレーザを照射するレーザ装置である。なお、被走査面１５は、例えばスクリーンである。

【0062】

駆動装置１１は、取得した光走査情報に基づいて光源装置１２および光偏向器１３の制御命令を生成し、制御命令に基づいて光源装置１２および光偏向器１３に駆動信号を出力する。

【0063】

光源装置１２は、入力された駆動信号に基づいて光源の照射を行う。光偏向器１３は、入力された駆動信号に基づいて反射面１４を１軸方向または２軸方向の少なくともいずれかに可動させる。

【0064】

これにより、駆動装置１１は、例えば、光走査情報の一例である画像情報に基づいた制御によって、光偏向器１３の反射面１４を所定の範囲で２軸方向に往復可動させ、反射面１４に入射する光源装置１２からの照射光を偏向して光走査する。その結果、駆動装置１１は、被走査面１５に任意の画像を投影することができる。

【0065】

なお、駆動装置１１による制御の詳細については後述する。

【0066】

次に、図１４を参照して、光走査システム１０の一例のハードウェア構成について説明する。

【0067】

図１４は、光走査システム１０の一例のハードウェア構成図である。

【0068】

図１４に示すように、光走査システム１０は、駆動装置１１、光源装置１２および光偏向器１３を備え、それぞれが電気的に接続されている。

【0069】

［駆動装置］
駆動装置１１は、ＣＰＵ２０、ＲＡＭ２１（Random Access Memory）、ＲＯＭ２２（Read Only Memory）、ＦＰＧＡ２３、外部Ｉ／Ｆ２４、光源装置ドライバ２５、及び光偏向器ドライバ２６を備えている。

【0070】

ＣＰＵ２０は、ＲＯＭ２２等の記憶装置からプログラムやデータをＲＡＭ２１上に読み出し、処理を実行して、駆動装置１１の全体の制御や機能を実現する演算装置である。ＲＡＭ２１は、プログラムやデータを一時保持する揮発性の記憶装置である。

【0071】

ＲＯＭ２２は、電源を切ってもプログラムやデータを保持することができる不揮発性の記憶装置であり、ＣＰＵ２０が光走査システム１０の各機能を制御するために実行する処理用プログラムやデータを記憶している。

【0072】

ＦＰＧＡ２３は、ＣＰＵ２０の処理に従って、光源装置ドライバ２５および光偏向器ドライバ２６に適した制御信号を出力する回路である。

【0073】

外部Ｉ／Ｆ２４は、例えば外部装置またはネットワーク等とのインタフェースである。外部装置には、例えば、ＰＣ（Personal Computer）等の上位装置、ＵＳＢメモリ、ＳＤカード、ＣＤ、ＤＶＤ、ＨＤＤ、またはＳＤ等の記憶装置が含まれる。また、ネットワークは、例えば自動車のＣＡＮ(Controller Area Network)、ＬＡＮ（Local Area Network）、またはンターネット等である。外部Ｉ／Ｆ２４は、外部装置との接続または通信を可能にする構成であればよく、外部装置ごとに外部Ｉ／Ｆ２４が用意されてもよい。

【0074】

光源装置ドライバ２５は、入力された制御信号に従って光源装置１２に駆動電圧等の駆動信号を出力する電気回路である。

【0075】

光偏向器ドライバ２６は、入力された制御信号に従って光偏向器１３に駆動電圧等の駆動信号を出力する電気回路である。

【0076】

駆動装置１１において、ＣＰＵ２０は、外部Ｉ／Ｆ２４を介して外部装置またはネットワーク等から光走査情報を取得する。なお、駆動装置１１は、ＣＰＵ２０が光走査情報を取得することができる構成であればよく、駆動装置１１内のＲＯＭ２２またはＦＰＧＡ２３に光走査情報を格納する構成としてもよい。また、駆動装置１１は、内部に新たにＳＳＤ等の記憶装置を設けて、その記憶装置に光走査情報を格納する構成としてもよい。

【0077】

ここで、光走査情報とは、被走査面１５にどのように光走査させるかを示した情報であり、例えば、光走査により画像を表示する場合は、光走査情報は画像データである。また、例えば、光走査により光書込みを行う場合は、光走査情報は書込み順または書込み箇所を示した書込みデータである。他にも、例えば、光走査により物体認識を行う場合は、光走査情報は物体認識用の光を照射するタイミングと照射範囲を示す照射データである。

【0078】

駆動装置１１は、ＣＰＵ２０の命令および図１４に示したハードウェア構成によって、次に説明する機能構成を実現することができる。

【0079】

［駆動装置の機能構成］
次に、図１５を参照して、光走査システム１０の駆動装置１１の機能構成について説明する。図１５は、光走査システムの駆動装置の一例の機能ブロック図である。

【0080】

図１５に示すように、駆動装置１１は、機能として制御部３０と駆動信号出力部３１とを有する。

【0081】

制御部３０は、例えばＣＰＵ２０及びＦＰＧＡ２３等により実現され、外部装置から光走査情報を取得し、光走査情報を制御信号に変換して駆動信号出力部３１に出力する。例えば、制御部３０は、制御手段であり、外部装置等から画像データを光走査情報として取得し、所定の処理により画像データから制御信号を生成して駆動信号出力部３１に出力する。

【0082】

駆動信号出力部３１は、印加手段であり、光源装置ドライバ２５及び光偏向器ドライバ２６等により実現され、入力された制御信号に基づいて光源装置１２または光偏向器１３に駆動信号を出力する。駆動信号出力部３１（印加手段）は、例えば、駆動信号を出力する対象ごとに設けられてもよい。

【0083】

駆動信号は、光源装置１２または光偏向器１３の駆動を制御するための信号である。例えば、光源装置１２においては、駆動信号は、光源の照射タイミングおよび照射強度を制御する駆動電圧である。また、例えば、光偏向器１３においては、駆動信号は、光偏向器１３の有する反射面１４を可動させるタイミングおよび可動範囲を制御する駆動電圧である。なお、駆動装置は、光源装置１２や受光装置等の外部装置から光源の照射タイミング及び受光タイミングを取得し、これらを光偏向器１３の駆動に同期するようにしてもよい。

【0084】

［光走査処理］
次に、図１６を参照して、光走査システム１０が被走査面１５を光走査する処理について説明する。図１６は、光走査システムに係る処理の一例のフローチャートである。

【0085】

ステップＳ１１において、制御部３０は、外部装置等から光走査情報を取得する。

【0086】

ステップＳ１２において、制御部３０は、取得した光走査情報から制御信号を生成し、制御信号を駆動信号出力部３１に出力する。

【0087】

ステップＳ１３において、駆動信号出力部３１は、入力された制御信号に基づいて駆動信号を光源装置１２および光偏向器１３に出力する。

【0088】

ステップＳ１４において、光源装置１２は、入力された駆動信号に基づいて光照射を行う。また、光偏向器１３は、入力された駆動信号に基づいて反射面１４の可動を行う。光源装置１２および光偏向器１３の駆動により、反射面１４に入射した光は任意の方向に偏向され、光走査される。

【0089】

なお、上記光走査システム１０では、１つの駆動装置１１が光源装置１２および光偏向器１３を制御するが、光源装置１２を制御する駆動装置と光偏向器１３を制御する駆動装置とを別々に設けてもよい。

【0090】

また、上記光走査システム１０では、一つの駆動装置１１に制御部３０の機能および駆動信号出力部３１の機能を設けている。しかし、これらの機能は別体として存在していてもよく、例えば制御部３０を有した駆動装置１１とは別に駆動信号出力部３１を有した駆動信号出力装置を設けてもよい。なお、上記光走査システム１０のうち、反射面１４を有した光偏向器１３と駆動装置１１により、光偏向を行う光偏向システムを構成してもよい。

【0091】

第１から第４の実施形態に係る光偏向器を光走査システムに用いることにより、可動部の高画角及び高解像での光走査が可能となる。

【0092】

［画像投影装置］
次に、図１７及び図１８を参照して、光偏向器１３を適用した画像投影装置について詳細に説明する。

【0093】

図１７は、画像投影装置の一例であるヘッドアップディスプレイ装置５００を搭載した自動車４００の実施形態に係る概略図である。また、図１８はヘッドアップディスプレイ装置５００の一例の概略図である。

【0094】

画像投影装置は、光走査により画像を投影する装置であり、例えばヘッドアップディスプレイ装置である。

【0095】

図１７に示すように、ヘッドアップディスプレイ装置５００は、例えば、自動車４００のウインドシールド（フロントガラス４０１等）の付近に設置される。ヘッドアップディスプレイ装置５００から発せられる投射光Ｌがフロントガラス４０１で反射され、ユーザーである観察者（運転者４０２）に向かう。

【0096】

これにより、運転者４０２は、ヘッドアップディスプレイ装置５００によって投影された画像等を虚像として視認することができる。なお、ウインドシールドの内壁面にコンバイナを設置し、コンバイナによって反射する投射光によってユーザーに虚像を視認させる構成にしてもよい。

【0097】

図１８に示すように、ヘッドアップディスプレイ装置５００は、赤色、緑色、及び青色のレーザ光源５０１Ｒ，５０１Ｇ，及び５０１Ｂからレーザ光が出射される。出射されたレーザ光は、各レーザ光源に対して設けられるコリメートレンズ５０２，５０３，及び５０４と、２つのダイクロイックミラー５０５及び５０６と、光量調整部５０７とを含む入射光学系に入射する。そして、入射光学系を経たレーザ光は、反射面１４を有する光偏向器１３で偏向される。

【0098】

そして、偏向されたレーザ光は、自由曲面ミラー５０９と、中間スクリーン５１０と、投射ミラー５１１とを含む投射光学系を経て、スクリーンに投影される。

【0099】

ヘッドアップディスプレイ装置５００では、レーザ光源５０１Ｒ，５０１Ｇ，及び５０１Ｂ、コリメートレンズ５０２，５０３，及び５０４、並びにダイクロイックミラー５０５及び５０６は、光源ユニット５３０として光学ハウジングでユニット化されている。

【0100】

上記ヘッドアップディスプレイ装置５００は、中間スクリーン５１０に表示される中間像を自動車４００のフロントガラス４０１に投射することで、その中間像を運転者４０２に虚像として視認させる。

【0101】

レーザ光源５０１Ｒ，５０１Ｇ，及び５０１Ｂから発せられる各色レーザ光は、それぞれ、コリメートレンズ５０２，５０３，及び５０４で略平行光とされ、２つのダイクロイックミラー５０５及び５０６により合成される。合成されたレーザ光は、光量調整部５０７で光量が調整された後、反射面１４を有する光偏向器１３によって二次元走査される。光偏向器１３で二次元走査された投射光Ｌは、自由曲面ミラー５０９で反射されて歪みを補正された後、中間スクリーン５１０に集光され、中間像を表示する。中間スクリーン５１０は、例えば、マイクロレンズが二次元配置されたマイクロレンズアレイであり、中間スクリーン５１０に入射する投射光Ｌをマイクロレンズ単位で拡大する。

【0102】

光偏向器１３は、反射面１４を２軸方向に往復可動させ、反射面１４に入射する投射光Ｌを二次元走査する。この光偏向器１３による反射面１４の駆動制御は、レーザ光源５０１Ｒ，５０１Ｇ，及び５０１Ｂの発光タイミングに同期して行われる。

【0103】

以上、画像投影装置の一例としてのヘッドアップディスプレイ装置５００の説明をしたが、画像投影装置は、反射面１４を有した光偏向器１３により光走査を行うことで画像を投影する装置であれば、ヘッドアップディスプレイ装置以外であってもよい。

【0104】

画像投影装置は、例えば、机等に置かれ、表示スクリーン上に画像を投影するプロジェクタにも、同様に適用することができる。また、画像投影装置は、観測者の頭部等に装着される装着部材に搭載され、装着部材が有する反射透過スクリーンに投影、または眼球をスクリーンとして画像を投影するヘッドマウントディスプレイ装置等にも、同様に適用することができる。

【0105】

また、画像投影装置は、車両や装着部材だけでなく、例えば、航空機、船舶、及び移動式ロボット等の移動体、あるいは、その場から移動せずにマニピュレータ等の駆動対象を操作する作業ロボットなどの非移動体に搭載されてもよい。

【0106】

第１から第４の実施形態に係る光偏向器を画像投影装置に用いることにより、可動部の高画角及び高解像での画像投影が可能となる。

【0107】

［光書込装置］
次に、図１９及び図２０を参照して、光偏向器１３を適用した光書込装置について詳細に説明する。

【0108】

図１９は、光書込装置６００を組み込んだ画像形成装置の一例である。また、図２０は、光書込装置の一例の概略図である。

【0109】

図１９に示すように、上記光書込装置６００は、レーザ光によるプリンタ機能を有するレーザプリンタ６５０等に代表される画像形成装置の構成部材として使用される。画像形成装置において光書込装置６００は、１本または複数本のレーザビームで被走査面１５である感光体ドラムを光走査することにより、感光体ドラムに光書込を行う。

【0110】

図２０に示すように、光書込装置６００において、レーザ素子などの光源装置１２からのレーザ光は、コリメートレンズなどの結像光学系６０１を経た後、反射面１４を有する光偏向器１３により１軸方向または２軸方向に偏向される。

【0111】

そして、光偏向器１３で偏向されたレーザ光は、その後、第一レンズ６０２ａと第二レンズ６０２ｂ、及び反射ミラー部６０２ｃを含む走査光学系６０２を経て、被走査面１５（例えば感光体ドラムや感光紙）に照射し、光書込みを行う。走査光学系６０２は、被走査面１５にスポット状に光ビームを結像する。

【0112】

また、光源装置１２および反射面１４を有する光偏向器１３は、駆動装置１１の制御に基づき駆動する。

【0113】

このように上記光書込装置６００は、レーザ光によるプリンタ機能を有する画像形成装置の構成部材として使用することができる。

【0114】

また、光書込装置６００は、走査光学系を異ならせて１軸方向だけでなく２軸方向に光走査することも可能である。光書込装置６００は、例えば、レーザ光をサーマルメディアに偏向して２軸方向に光走査し、サーマルメディアを加熱することで印字するレーザラベル装置等の画像形成装置の構成部材として使用することができる。

【0115】

上記光書込装置に適用される反射面１４を有した光偏向器１３は、ポリゴンミラー等を用いた回転多面鏡に比べ駆動のための消費電力が小さいため、光書込装置の省電力化に有利である。

【0116】

また、光偏向器１３の振動時における風切り音は回転多面鏡に比べ小さいため、光書込装置の静粛性の改善に有利である。光書込装置は回転多面鏡に比べ設置スペースが圧倒的に少なくて済み、また光偏向器１３の発熱量もわずかであるため、小型化が容易であり、よって画像形成装置の小型化に有利である。

【0117】

第１から第４の実施形態に係る光偏向器を光書込装置に用いることにより、可動部の高画角及び高解像での光書き込みが可能となる。

【0118】

［物体認識装置］
次に、図２１及び図２２を参照して、光偏向器１３を適用した物体認識装置について詳細に説明する。

【0119】

図２１は、物体認識装置の一例であるレーザレーダ装置を搭載した自動車の概略図である。また、図２２はレーザレーダ装置の一例の概略図である。

【0120】

物体認識装置は、対象方向の物体を認識する装置であり、例えばレーザレーダ装置である。

【0121】

図２１に示すように、レーザレーダ装置７００は、例えば自動車７０１に搭載され、対象方向を光走査して、対象方向に存在する被対象物７０２からの反射光を受光することで、被対象物７０２を認識する。

【0122】

図２２に示すように、光源装置１２から出射されたレーザ光は、発散光を略平行光とする光学系であるコリメートレンズ７０３と、平面ミラー７０４とを含む入射光学系を経て、反射面１４を有する光偏向器１３で１軸もしくは２軸方向に走査される。

【0123】

そして、２軸方向に走査されたレーザ光は、投光光学系である投光レンズ７０５等を経て装置前方の被対象物７０２に照射される。光源装置１２および光偏向器１３は、駆動装置１１により駆動を制御される。被対象物７０２で反射された反射光は、光検出器７０９により光検出される。

【0124】

すなわち、被対象物７０２で反射された反射光は受光光学系である集光レンズ７０６等を経て撮像素子７０７により受光され、撮像素子７０７は検出信号を信号処理回路７０８に出力する。信号処理回路７０８は、入力された検出信号に２値化やノイズ処理等の所定の処理を行い、結果を測距回路７１０に出力する。

【0125】

測距回路７１０は、光源装置１２がレーザ光を発光したタイミングと、光検出器７０９でレーザ光を受光したタイミングとの時間差、または受光した撮像素子７０７の画素ごとの位相差とによって、被対象物７０２の有無を認識する。測距回路７１０は、さらに被対象物７０２との距離情報を算出する。

【0126】

反射面１４を有する光偏向器１３は多面鏡に比べて破損しづらく、小型であるため、耐久性の高い小型のレーダ装置を提供することができる。

【0127】

このようなレーザレーダ装置は、例えば、車両、航空機、船舶及び移動式ロボット等の移動体、あるいは、その場から移動せずにマニピュレータ等の駆動対象を操作する作業ロボットなどの非移動体に搭載できる。そして、レーザレーダ装置は、所定範囲を光走査して障害物の有無や障害物までの距離を認識することができる。
なお、上記では、物体認識装置の一例として、レーザレーダ装置７００の説明をしたが、物体認識装置はレーザレーダ装置に限定されるものではない。物体認識装置は、反射面１４を有した光偏向器１３を駆動装置１１で制御することにより光走査を行い、光検出器により反射光を受光することで被対象物７０２を認識する装置であれば、レーザレーダ装置以外であってもよい。

【0128】

物体認識装置は、例えば、手や顔を光走査して得た距離情報から形状等の物体情報を算出し、記録と参照することで対象物を認識する生体認証にも同様に適用することができる。また、物体認識装置は、対象範囲への光走査により侵入物を認識するセキュリティセンサ、及び光走査により得た距離情報から形状等の物体情報を算出して認識し、３次元データとして出力する３次元スキャナの構成部材などにも同様に適用することができる。

【0129】

第１から第４の実施形態に係る光偏向器を物体認識装置に用いることにより、可動部の高画角及び高解像での物体認識が可能となる。

【0130】

［パッケージング］
次に、図２３を参照して、光偏向器１３のパッケージングについて説明する。

【0131】

図２３は、パッケージングされた光偏向器の一例の概略図である。

【0132】

図２３に示すように、光偏向器１３は、凹状のパッケージ部材８０１の底面に配置される取付部材８０２に取り付けられている。パッケージ部材８０１には、光偏向器１３が配置された領域を覆う透過部材８０３が設けられている。パッケージ部材８０１と透過部材８０３で密閉されることで、光偏向器１３がパッケージングされる。

【0133】

さらに、パッケージ内は窒素等の不活性ガスが密封されている。これにより、光偏向器１３の酸化による劣化が抑制され、さらに温度等の環境の変化に対する耐久性が向上する。

【0134】

以上、本発明の実施形態の例について記述したが、本発明は斯かる特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

【符号の説明】

【0135】

１０ 光走査システム
１１ 駆動装置
１２、１２ｂ 光源装置
１３ 光偏向器
１４ 反射面
１５ 被走査面
２５ 光源装置ドライバ
２６ 光偏向器ドライバ
３０ 制御部
３１ 駆動信号出力部
５０ レーザヘッドランプ
５１ ミラー
５２ 透明板
１１０ ミラー部
１２０ トーションバー
１２０ａ 一方の端部
１２０ｂ 他方の端部
１３０ 駆動梁
１３１ 梁部
１３２ 圧電材料
１４０ 接続部
１４１ 接続部リブ
１４２ 固定端側フィレット
１４３ 凸部
１４４ 自由端側フィレット
１５０ 固定枠
３５０ 可動枠
３６０ 可動枠支持部
３６１ 梁部
３６２ 梁部接続部
３６３ 圧電部材
３７０ 固定枠
４００ 自動車（車両の一例）
５００ ヘッドアップディスプレイ装置（画像投影装置の一例、ヘッドアップディスプレイの一例）
６５０ レーザプリンタ
７００ レーザレーダ装置（物体認識装置の一例）
７０２ 被対象物
８０１ パッケージ部材
８０２ 取付部材
８０３ 透過部材

【先行技術文献】

【特許文献】

【0136】

【文献】特開２０１９－１４４４１６号公報

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】