特許7563555IP Force 特許公報全文掲載

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基板上の形成領域内にパターンを形成する際に、形成位置を位置合わせするアライメント系を有するパターン形成装置

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 第１の実施の形態によるパターン描画装置ＥＸの概略的な全体構成を示す斜視図である。
【図2】 図１のパターン描画装置ＥＸにおける描画ユニットＵ１～Ｕ６の配置とアライメント系ＡＬＧｎの配置とを具体的に示した図である。
【図3】 図１のパターン描画装置ＥＸにおける描画ユニットＵ１～Ｕ６のうち、代表して描画ユニットＵ１内の詳細構成を示す斜視図である。
【図4】 図２に示した回転ドラムＤＲと７つのアライメント系ＡＬＧ１～ＡＬＧ７と基準バー部材ＲＢとの配置関係を概略的に示す斜視図である。
【図5】 図４に示した描画ラインＳＬ１～ＳＬ６とアライメント系ＡＬＧ１～ＡＬＧ７の各々の検出領域ＡＤ１～ＡＤ７との配置関係と、回転ドラムＤＲの回転角度の変化を計測するエンコーダ計測系の配置とを表した図である。
【図6】 図６Ａは基準バー部材ＲＢの７ヶ所に形成される基準マークＲＭ１～ＲＭ７の配置の一例を示す図であり、図６Ｂは撮像領域ＤＩＳ’と基準マークＲＭ１との配置関係の一例を誇張して表した図であり、図６Ｃは撮像領域ＤＩＳ’と基準マークＲＭ２との配置関係の一例を誇張して表した図である。
【図7】 アライメント系ＡＬＧｎ（ＡＬＧ１～ＡＬＧ７）の詳細な光学構成と、アライメント系ＡＬＧｎに照明光を供給する照明系ＩＬＵの光学構成との一例を示す図である。
【図8】 テレセン誤差がある場合に、アライメント系ＡＬＧｎの対物レンズ系ＯＢＬからの落射照明によって基板Ｐから発生する反射光ＬＲｆの検出状態を示す図である。
【図9】 テレセン誤差による影響を補正した場合に、アライメント系ＡＬＧｎの対物レンズ系ＯＢＬからの落射照明によって基板Ｐから発生する反射光ＬＲｆの検出状態を説明する図である。
【図10】 アライメント系ＡＬＧｎに照明光を供給する為の導光部材の第２の実施の形態による光学構成を示す図である。
【図11】 アライメント系ＡＬＧｎに供給される照明光として、ハロゲン化錫を封入したメタルハライドランプの発光波長特性の一例を示すグラフである。
【図12】 図１０に示したアライメント系ＡＬＧｎの為の照明系（照明ユニット）ＩＬＵの変形例１を示す概略図である。
【図13】 ダイクロイックミラーＤＣＭの波長選択特性とＬＥＤ光源ＬＤ１、ＬＤ２の各々の発光波長特性との一例を模式的に示したグラフである。
【図14】 図７又は図１０に示したアライメント系ＡＬＧｎに照明系ＩＬＵからの照明光ＩＬｂを伝送する導光部材の光学構成の変形を示す図である。
【図15】 図１４に示した光ファイバー束ＩＬＦの入射端ＩＬＦａの面内に形成される光源像ＳＯａの様子を模式的に示す図である。
【図16】 図７、図１０に示したアライメント系ＡＬＧｎの変形例による光学構成を模式的に示す図である。
【図17】 図１４に示した照明系（照明ユニット）ＩＬＵ内で光源像ＳＯａ’を形成する光源部ＩＬＳの変形例を示す図である。
【図18】 図１２、図１７に適用される光源部ＩＬＳのうち、ダイクロイックミラーＤＣＭ付近の変形例を示す図である。
【図19】 図１４に示した光源部ＩＬＳの変形例を示す図である。
【図20】 図７、図１０、図１６のいずれかのアライメント系ＡＬＧｎの各々に照明光ＩＬｂを供給する為に、図１４の構成による導光部材を用いた場合の照明系ＩＬＵの概略的な構成を示す図である。
【図21】 第３の実施の形態によるアライメント系ＡＬＧｎと照明系（照明ユニット）ＩＬＵの概略構成を示す図である。
【図22】 図２１に示した楔プリズムＤＰ１、ＤＰ２による機能を誇張して説明する斜視図である。

代表図 図1本件の代表的な図

ＡＤｎ、ＡＲｎ…検出領域 ＡＬＧｎ…アライメント系 ＡＸｓ、ＡＸｓ’、ＡＸｊ…光軸 ＢＳ１、ＢＳ２…ビームスプリッタ Ｂｓｐ…光分割面 ＤＩＳ…撮像素子 ＤＰ１、ＤＰ２…楔プリズム Ｅｐ、Ｅｐ’…瞳面 ＥＸ…パターン描画装置 Ｇｂ…結像用レンズ系 ＩＬｂ…照明光 ＩＬＦ…光ファイバー束 ＩＬＳ…光源部 ＩＬＵ…照明系、照明ユニット ＭＫｎ…アライメントマーク ＯＢＬ…対物レンズ系 Ｐ…基板 ＲＭｎ…基準マーク ＳＦｙ、ＳＦｚ…平行平板 ＳＯａ、ＳＯａ’、ＳＯｂ、ＳＯｂ’、ＳＯｃ’…光源像 Ｕｎ…描画ユニット（パターン形成機構）

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