特許 7565361 加工システム、傾き調整方法及びコンピュータ記憶媒体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-02

(45)【発行日】2024-10-10

(54)【発明の名称】加工システム、傾き調整方法及びコンピュータ記憶媒体

(51)【国際特許分類】

   B24B 41/06 20120101AFI20241003BHJP

   B24B 49/12 20060101ALI20241003BHJP

   B23Q 17/00 20060101ALI20241003BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20241003BHJP

【ＦＩ】

B24B41/06 L

B24B49/12

B23Q17/00 D

H01L21/304 631

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2022542796

(86)(22)【出願日】2021-07-30

(86)【国際出願番号】 JP2021028333

(87)【国際公開番号】W WO2022034808

(87)【国際公開日】2022-02-17

【審査請求日】2023-01-30

(31)【優先権主張番号】P 2020136295

(32)【優先日】2020-08-12

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100096389

【弁理士】

【氏名又は名称】金本 哲男

(74)【代理人】

【識別番号】100101557

【弁理士】

【氏名又は名称】萩原 康司

(74)【代理人】

【識別番号】100167634

【弁理士】

【氏名又は名称】扇田 尚紀

(74)【代理人】

【識別番号】100187849

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 隆史

(74)【代理人】

【識別番号】100212059

【弁理士】

【氏名又は名称】三根 卓也

(72)【発明者】

【氏名】福永 信貴

(72)【発明者】

【氏名】鎗光 正和

【審査官】山内 康明

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１３－１４１７２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１８／２３５６１９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００３－０５３６５２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ ４１／０６

Ｂ２４Ｂ ４９／１２

Ｂ２３Ｑ １７／００

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

処理対象体の加工システムであって、
前記処理対象体としてのウェハを上面に保持する保持部と、
前記保持部を上面に保持する保持基台と、
前記保持部に保持された前記処理対象体を研削加工する加工部と、
前記保持部又は前記保持基台の上面と前記加工部の研削面との相対的な距離を測定する測定器により測定された距離情報に基づいて、前記保持部又は前記保持基台の上面と、前記加工部の研削面との相対的な傾きを調整する傾き調整部と、
前記保持部、前記保持基台、前記加工部、及び前記傾き調整部に関する情報を表示する情報表示部と、を有し、
前記情報表示部は、
前記測定器で測定された前記保持部又は前記保持基台の上面と、前記加工部の研削面との相対的な距離情報を入力する入力部と、
前記傾き調整部の動作を開始させる指示部と、を同一画面内に表示する、加工システム。

【請求項2】

前記傾き調整部の動作を制御する制御部を有し、
前記情報表示部に表示された前記指示部が選択されると、
前記制御部は、前記入力部に入力された前記距離情報と、予め決められた前記保持部又は前記保持基台の上面と、前記加工部の研削面との相対的な距離と、の差分に基づいて、前記傾き調整部を動作させる制御を行う、請求項１に記載の加工システム。

【請求項3】

前記加工部は、前記距離情報を取得するための前記測定器の取付け部を備え、
前記測定器は、前記保持部又は前記保持基台の面内における少なくとも３点の前記距離情報を取得する、請求項１または２に記載の加工システム。

【請求項4】

前記測定器は、前記保持部又は前記保持基台の中心部を通過する円弧線状の測定領域に沿って移動可能に取り付けられ、
前記入力部には、
前記測定領域の中心である測定中心における前記距離情報と、
前記測定領域の一端部における前記距離情報と、が入力される、請求項３に記載の加工システム。

【請求項5】

前記傾き調整部の動作を制御する制御部を有し、
前記制御部は、前記測定領域の他端部における前記距離情報を基準高さとして、前記測定領域の前記測定中心及び前記一端部における、前記保持部又は前記保持基台と前記加工部との相対的な距離を調整するように、前記傾き調整部を動作させる制御を行う、請求項４に記載の加工システム。

【請求項6】

前記入力部に入力される前記距離情報は、前記保持部又は前記保持基台の中心部を通過する円弧線状の測定領域に沿って測定された、前記測定領域の中心である測定中心における前記距離情報と、前記測定領域の一端部における前記距離情報であり、
前記制御部は、前記測定領域の他端部における前記距離情報を基準高さとして、前記測定領域の前記測定中心及び前記一端部における、前記保持部又は前記保持基台と前記加工部との相対的な距離を調整するように、前記傾き調整部を動作させる制御を行う、請求項２に記載の加工システム。

【請求項7】

処理対象体としてのウェハを上面に保持する保持部と、
前記保持部を上面に保持する保持基台と、
前記保持部に保持された前記処理対象体を研削加工する加工部と、
前記保持部又は前記保持基台の上面と前記加工部の研削面との相対的な距離を測定する測定器により測定された距離情報に基づいて、前記保持部又は前記保持基台の上面と、前記加工部の研削面との相対的な傾きを調整する傾き調整部と、
前記保持部、前記保持基台、前記加工部、及び前記傾き調整部に関する情報を表示する情報表示部と、を有する加工システムにおいて、前記保持部又は前記保持基台の上面と、前記加工部の研削面との相対的な傾きを調整する方法であって、
前記保持部又は前記保持基台の上面と、前記加工部の研削面との相対的な距離情報を取得することと、
前記情報表示部に表示される入力部に前記距離情報を入力することと、
前記入力部と同一画面内に表示される指示部を選択して前記傾き調整部の動作を開始することと、を含む、傾き調整方法。

【請求項8】

前記加工システムには、前記距離情報を取得する前記測定器が、前記保持部又は前記保持基台の中心部を通過する円弧線状の測定領域に沿って移動可能に取り付けられ、
前記距離情報の取得においては、前記測定領域に沿って少なくとも３点の前記距離情報を取得する、請求項７に記載の傾き調整方法。

【請求項9】

前記距離情報の入力においては、
前記測定領域の中心である測定中心における前記距離情報と、
前記測定領域の一端部における前記距離情報と、を入力する、請求項８に記載の傾き調整方法。

【請求項10】

前記指示部の選択後、前記入力部に入力された前記距離情報と、予め決められた前記保持部又は前記保持基台の上面と前記加工部の研削面との相対的な距離と、の差分に基づいて、前記傾き調整部の移動量を算出することと、
前記移動量の算出値に基づいて前記傾き調整部を移動させることと、を含む、請求項７～９のいずれか一項に記載の傾き調整方法。

【請求項11】

前記距離情報の入力においては、前記保持部又は前記保持基台の中心部を通過する円弧線状の測定領域に沿って測定された、前記測定領域の中心である測定中心における前記距離情報と、前記測定領域の一端部における前記距離情報と、を入力することと、
前記測定領域の他端部における前記距離情報を基準高さとして、前記測定領域の前記測定中心及び前記一端部における、前記保持部又は前記保持基台の上面と前記加工部の研削面との相対的な距離に基づいて、前記傾き調整部の移動量を算出することと、
前記移動量の算出値に基づいて前記傾き調整部を移動させることと、を含む、請求項７に記載の傾き調整方法。

【請求項12】

保持部又は保持基台の上面と加工部の研削面の相対的な傾きを調整する方法を加工システムによって実行させるように、当該加工システムを制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体であって、
前記加工システムは、
処理対象体としてのウェハを上面に保持する前記保持部と、
前記保持部を上面に保持する前記保持基台と、
前記保持部に保持された前記処理対象体を加工する前記加工部と、
前記保持部又は前記保持基台の上面と前記加工部の研削面との相対的な距離を測定する測定器により測定された距離情報に基づいて、前記保持部又は前記保持基台の上面と、前記加工部の研削面との相対的な傾きを調整する傾き調整部と、
前記保持部、前記保持基台、前記加工部、及び前記傾き調整部に関する情報を表示する情報表示部と、を有し、
前記傾きの調整方法は、
前記情報表示部に表示される入力部に入力された、前記保持部又は前記保持基台の上面と、前記加工部の研削面との相対的な距離情報を取得することと、
前記入力部と同一画面内に表示される指示部が選択されると、前記傾き調整部の動作を開始することと、を含む、コンピュータ記憶媒体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、加工システム、傾き調整方法及びコンピュータ記憶媒体に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、板状ワークを研削する研削装置であって、研削ホイールを支持する支持面に対するチャックテーブルの保持面の高さ位置を測定する高さ測定器を取り付ける高さ測定器取付け部を備え、該高さ測定器により、該保持面上における研削砥石の回転軌道上を走査させて該保持面の高さ位置の測定を行うことが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１３－１４１７２５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本開示にかかる技術は、処理対象体を研削処理する加工システムにおいて、処理対象体を研削する研削部の研削面と、処理対象体を保持する保持部の保持面との相対的な傾きを適切に調整する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の一態様は、処理対象体の加工システムであって、前記処理対象体としてのウェハを上面に保持する保持部と、前記保持部を上面に保持する保持基台と、前記保持部に保持された前記処理対象体を研削加工する加工部と、前記保持部又は前記保持基台の上面と、前記加工部の研削面との相対的な距離を測定する測定器により測定された距離情報に基づいて、前記保持部又は前記保持基台の上面と、前記加工部の研削面との相対的な傾きを調整する傾き調整部と、前記保持部、前記保持基台、前記加工部、及び前記傾き調整部に関する情報を表示する情報表示部と、を有し、前記情報表示部は、前記測定器で測定された前記保持部又は前記保持基台の上面と、前記加工部の研削面との相対的な距離情報を入力する入力部と、前記傾き調整部の動作を開始させる指示部と、を同一画面内に表示する。

【発明の効果】

【0006】

本開示によれば、処理対象体を研削処理する加工システムにおいて、処理対象体を研削する研削部の研削面と、処理対象体を保持する保持部の保持面との相対的な傾きを適切に調整することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】本実施形態にかかる加工装置の構成の概略を示す平面図である。

【図2】各研削部及びチャックの構成の一例を示す側面図である。

【図3】各研削部とチャックの接触の様子を示す説明図である。

【図4】測定器による測定領域の一例を示す説明図である。

【図5】本実施形態にかかる表示パネルの表示例を示す説明図である。

【図6】本実施形態にかかる傾き調整動作の主な工程を示すフロー図である。

【図7】測定器による距離データの取得の概要を示す説明図である。

【図8】チャックのセルフグラインドの様子を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

近年、半導体デバイスの製造工程においては、表面に複数の電子回路等のデバイスが形成された半導体基板（以下、「ウェハ」という。）に対し、当該ウェハを研削して、ウェハを薄化することが行われている。ウェハの研削は、例えば保持手段でウェハの研削面とは反対側の面を保持した状態で当該保持手段を回転させながら、ウェハの研削面に研削手段の研削砥石を当接させることにより行われる。

【0009】

このウェハの研削処理では、製品としてのウェハの面内厚みを均一にするため、保持手段の保持面と研削砥石の研削面とが平行に調整される。上述の特許文献１には、この保持面と研削面とを平行にするための調整を高精度に行う研削装置が開示されている。特許文献１に開示される研削装置によれば、研削砥石を支持するホイールマウントに取り付けられた高さ測定器を用いて、ホイールマウントの支持面（研削面）に対するチャックテーブルの保持面の高さ位置を測定し、該高さ測定器による測定値に基づいて、保持面と研削面の相対的な傾きの調整を行う。

【0010】

しかしながら、特許文献１に開示される研削装置においては、高さ測定器による測定値を確認しながら、保持面と研削面とが平行になるまで、同様の測定及び調整を手動で何度も繰り返し行う必要があった。このため、保持面と研削面との傾きの調整に多大な時間を要するとともに、手動での調整動作に起因して操作ミスや調整ミスが発生するおそれがあった。

【0011】

本開示にかかる技術は上記事情に鑑みてなされたものであり、処理対象体を研削処理する加工システムにおいて、処理対象体を研削する研削部の研削面と、処理対象体を保持する保持部の保持面との相対的な傾きを適切に調整する。以下、本実施形態にかかる加工システムとしての加工装置、及び保持面と研削面との相対的な傾きの調整動作（以下、単に「傾き調整動作」という場合がある。）について、図面を参照しながら説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

【0012】

本実施形態にかかる加工装置１では、処理対象体としてのウェハＷの面内厚みを均一に制御するための処理、具体的には保持面と研削面の傾き調整動作が行われる。より具体的には、例えば、ウェハＷの研削処理に際して、該ウェハＷを保持する保持部としてのチャックの保持面と、該ウェハＷを加工処理する研削部の研削面とを平行に調整する。また例えば、交換後の新たなチャックの保持面と研削部の研削面との相対的な傾きを調整し、かかる状態で研削部を使用してチャックのセルフグラインドを行うことで、該チャックを、ウェハＷの研削処理を適切に行うための所望の形状に加工する。

【0013】

図１に示すように加工装置１は、搬入出ステーション２と処理ステーション３を一体に接続した構成を有している。搬入出ステーション２では、例えば外部との間で複数のウェハＷを収容可能なカセットＣが搬入出される。処理ステーション３は、ウェハＷに対して所望の処理を施す各種処理装置を備えている。

【0014】

搬入出ステーション２には、カセット載置台１０が設けられている。また、カセット載置台１０のＹ軸正方向側には、当該カセット載置台１０に隣接してウェハ搬送領域２０が設けられている。ウェハ搬送領域２０には、Ｘ軸方向に延伸する搬送路２１上を移動自在に構成されたウェハ搬送装置２２が設けられている。

【0015】

ウェハ搬送装置２２は、ウェハＷを保持して搬送する搬送フォーク２３を有している。搬送フォーク２３は、水平方向、鉛直方向、水平軸回り及び鉛直軸回りに移動自在に構成されている。そして、ウェハ搬送装置２２は、カセット載置台１０のカセットＣ、後述のアライメント部５０、及び後述の第１の洗浄部６０に対して、ウェハＷを搬送可能に構成されている。

【0016】

処理ステーション３では、ウェハＷに対して研削や洗浄などの処理が行われる。処理ステーション３は、ウェハＷの搬送を行う搬送部３０、ウェハＷの研削処理を行う研削部４０、研削処理前のウェハＷの水平方向の向きを調整するアライメント部５０、研削処理後のウェハＷを洗浄する第１の洗浄部６０、及び第２の洗浄部７０を有している。

【0017】

搬送部３０は、複数、例えば３つのアーム３１を備えた多関節型のロボットである。３つのアーム３１は、それぞれが旋回自在に構成されている。先端のアーム３１には、ウェハＷを吸着保持する搬送パッド３２が取り付けられている。また、基端のアーム３１は、アーム３１を鉛直方向に昇降させる昇降機構３３に取り付けられている。そして、搬送部３０は、研削部４０の受渡位置Ａ０、アライメント部５０、第１の洗浄部６０、及び第２の洗浄部７０に対して、ウェハＷを搬送可能に構成されている。

【0018】

研削部４０には回転テーブル４１が設けられている。回転テーブル４１上には、ウェハＷを吸着保持する保持部としてのチャック４２が４つ設けられている。チャック４２には例えばポーラスチャックが用いられ、ウェハＷの表面を吸着保持する。チャック４２の表面、すなわちウェハＷの保持面は、側面視において中央部が端部に比べて突出した凸形状を有している。なおこの中央部の突出は微小であるが、以下の説明の図示においては、説明の明瞭化のためチャック４２の中央部の突出を大きく図示する場合がある。

【0019】

図２に示すように、チャック４２は保持基台としてのチャックベース４３に保持されている。チャックベース４３には、各研削部（粗研削部８０、中研削部９０及び仕上研削部１００）とチャック４２の相対的な傾きを調整する傾き調整部４４が設けられている。傾き調整部４４は、チャックベース４３の下面に設けられた固定軸４５と複数、例えば２本の昇降軸４６を有している。各昇降軸４６は伸縮自在に構成され、チャックベース４３を昇降させる。この傾き調整部４４によって、チャックベース４３の外周部の一端部（固定軸４５に対応する位置）を基点に、他端部を昇降軸４６によって鉛直方向に昇降させることで、チャック４２及びチャックベース４３を傾斜させることができる。そしてこれにより、加工位置Ａ１～Ａ３の各研削部（研削面）とチャック４２の表面（保持面）との相対的な傾きを調整できる。

【0020】

なお、傾き調整部４４の構成はこれに限定されず、各研削部（研削面）に対するチャック４２の表面（保持面）の相対的な角度（平行度）を調整することができれば、任意に選択できる。

【0021】

４つのチャック４２は、回転テーブル４１が回転することにより、受渡位置Ａ０及び加工位置Ａ１～Ａ３に移動可能になっている。また、４つのチャック４２はそれぞれ、回転機構（図示せず）によって鉛直軸回りに回転可能に構成されている。

【0022】

受渡位置Ａ０では、搬送部３０によるウェハＷの受け渡しが行われる。加工位置Ａ１には粗研削部８０が配置され、ウェハＷを粗研削する。加工位置Ａ２には中研削部９０が配置され、ウェハＷを中研削する。加工位置Ａ３には仕上研削部１００が配置され、ウェハＷを仕上研削する。

【0023】

図２に示すように、粗研削部８０は、下面に環状の粗研削砥石を備える粗研削ホイール８１、該粗研削ホイール８１を支持するマウント８２、該マウント８２を介して粗研削ホイール８１を回転させるスピンドル８３、及び、例えばモータ（図示せず）を内蔵する駆動部８４を有している。またマウント８２の外周面には、粗研削ホイール８１の下面（研削面）とチャック４２の表面（保持面）との相対的な距離を測定するための測定器１１０を取り付けるための取付け部８５が形成されている。また粗研削部８０は、図１に示す支柱８６に沿って鉛直方向に移動可能に構成されている。

【0024】

ここで、上述のようにチャック４２の保持面は凸形状を有している。このため、粗研削部８０を用いたウェハＷの粗研削処理においては、図３の太線部に示すように、環状の粗研削砥石の一部が、加工点としてウェハＷと接触する。より具体的には、環状の粗研削砥石とウェハＷの中心部から外周端部までが円弧線状に接触し、かかる状態でチャック４２と粗研削ホイール８１をそれぞれ回転させることによって、ウェハＷの全面が研削処理される。

【0025】

測定器１１０は、マウント８２から粗研削ホイール８１が取り外された状態で、該マウント８２の取付け部８５に対して接続される。測定器１１０の計測点は粗研削ホイール８１の研削面高さと同じ高さに設定され、マウント８２（スピンドル８３）の回転に伴って図４に示す粗研削ホイール８１の外縁（研削位置の外縁）に相当する円弧線状の領域（以下、「測定領域Ｒ」という場合がある。）に沿って回転し、これにより、保持面やチャックベース４３の上面と、研削面との相対的な距離を測定領域Ｒに沿って測定する。測定器１１０により測定された保持面やチャックベース４３の上面と研削面との相対的な距離は、例えば該測定器１１０に設けられた表示部１１０ａに表示される。なお、以下の説明において円弧線状の測定領域Ｒにおけるマウント８２の回転方向上流側の端部を「測定一端部Ｒａ」、マウント８２の回転方向下流側の端部を「測定他端部Ｒｂ」、測定一端部Ｒａと測定他端部Ｒｂとの中間点（チャック４２の中心部）を「測定中心Ｒｃ」、とそれぞれ呼称する場合がある。

【0026】

なお、取付け部８５に取り付けられる測定器１１０の種類は特に限定されるものではなく、任意に選択することができる。例えば測定器１１０としては、保持面と接触することで研削面との相対的な距離を測定する接触式の測定器を用いることができる。また例えば、保持面に対してセンサ光を照射し、該センサ光の保持面からの反射光を検知することで研削面との相対的な距離を測定する非接触式の測定器を用いてもよい。

【0027】

また、測定器１１０の取付位置も上記したようなマウント８２の外周面には限定されず、計測点を粗研削ホイール８１の研削面高さと同じ高さに設定できれば、例えば該マウント８２の下面に取り付け可能に構成されていてもよい。

【0028】

中研削部９０は粗研削部８０と同様の構成を有している。すなわち中研削部９０は、環状の中研削砥石を備える中研削ホイール９１、マウント９２、スピンドル９３、駆動部９４、取付け部９５、及び支柱９６を有している。中研削砥石の砥粒の粒度は、粗研削砥石の砥粒の粒度より小さい。

【0029】

仕上研削部１００は粗研削部８０及び中研削部９０と同様の構成を有している。すなわち仕上研削部１００は、環状の仕上研削砥石を備える仕上研削ホイール１０１、マウント１０２、スピンドル１０３、駆動部１０４、取付け部１０５、及び支柱１０６を有している。仕上研削砥石の砥粒の粒度は、中研削砥石の砥粒の粒度より小さい。

【0030】

以上の加工装置１には、情報表示部としての表示パネル１２０が設けられている。表示パネル１２０は例えばモニターやタッチパネルであり、加工装置１に直接取り付けられてもよいし、又は遠隔で確認できるものであってもよい。

【0031】

表示パネル１２０には、例えば図５に示すように、保持面と研削面との傾き調整動作にかかる各種情報を表示する表示エリア１２１と、傾き調整動作に係る各種情報を入力する入力エリア１２２と、表示エリア１２１に表示される各種情報や傾き調整動作の動作モードを切り替える切替エリア１２３と、加工装置１における傾き調整動作を実行するための指示エリア１２４と、を同一画面内に表示する。

【0032】

表示エリア１２１には、例えば傾き調整動作を行う対象としてのチャック４２、該チャック４２の配置（図５の例においては加工位置Ａ１）や、該チャック４２を保持するチャックベース４３の傾きに係る情報、例えばチャックベース４３の下方に設けられた傾き調整部４４の昇降軸４６の高さ位置等、が表示される。

【0033】

入力部としての入力エリア１２２には、例えば測定器１１０により測定された保持面と研削面との相対的な距離に係る情報、例えば図５の例においては測定領域Ｒの測定中心Ｒｃにおける測定値、及び測定他端部Ｒｂにおける測定値が、オペレータによって入力される。

【0034】

切替エリア１２３は、例えばオペレータにより該切替エリア１２３が選択されることにより、保持面と研削面との傾き調整動作の動作モードを、後述のフラットモードＭｆと後述のセルフグラインドモードＭｇとの間で切り替える。

【0035】

指示部としての指示エリア１２４は、例えばオペレータにより該指示エリア１２４が選択されることにより、保持面と研削面との傾き調整動作を実行するため、傾き調整部４４の動作を開始する。

【0036】

加工装置１における傾き調整動作においては、オペレータにより指示エリア１２４が選択されると、入力エリア１２２に入力された測定器１１０の測定値に基づいて、傾き調整部４４の昇降軸４６の移動量を算出する。そして、かかる算出値に基づいて昇降軸４６を自動で移動させ、保持面と研削面の相対的な傾きを自動調節する。かかる際、表示エリア１２１には２本の昇降軸４６それぞれの高さ位置、すなわち保持面の傾きがリアルタイムで表示される。

【0037】

なお、表示パネル１２０に出力される情報は本実施形態に限定されるものではなく、任意に設定することができる。

【0038】

また、以上の加工装置１には制御部１３０が設けられている。制御部１３０は、例えばＣＰＵやメモリ等を備えたコンピュータであり、プログラム格納部（図示せず）を有している。プログラム格納部には、加工装置１におけるウェハＷの加工処理を制御するプログラムが格納されている。またプログラム格納部には、後述の研削面と保持面との傾き調整動作を制御するプログラムが更に格納されている。なお、上記プログラムは、コンピュータに読み取り可能な記憶媒体Ｈに記録されていたものであって、当該記憶媒体Ｈから制御部１３０にインストールされたものであってもよい。

【0039】

本実施形態にかかる加工装置１は以上のように構成されている。次に、加工装置１において行われる傾き調整動作について説明する。なお、かかる傾き調整動作の動作モードとしては、上述したように、例えば保持面やチャックベース４３の上面と、研削面とを平行に調整するための動作（以下、「フラットモードＭｆ」という。）や、例えば交換後の新たなチャック４２を所望の凸形状に加工するための動作（以下、「セルフグラインドモードＭｇ」という。）等が挙げられる。

【0040】

以下の説明においては、先ず、加工装置１におけるセルフグラインドモードＭｇとしての傾き調整動作について説明を行う。すなわち、チャックベース４３により新たなチャック４２を保持し、該新たなチャック４２の保持面と、各研削部の研削面との相対的な傾きを調整する場合を例に説明を行う。なお、各研削部（粗研削部８０、中研削部９０及び仕上研削部１００）の傾き調整はそれぞれ同様の操作により行うことができるが、以下の説明においては、研削部としての粗研削部８０の研削面とチャック４２の保持面との相対的な傾きを調整する場合を例に説明を行う。

【0041】

先ず、粗研削部８０から粗研削ホイール８１を取り外した後、取付け部８５に対して測定器１１０（本実施形態においては接触式の測定器）を取り付ける（図６のステップＳ１）。測定器１１０が取付け部８５に取り付けられると、次に、チャックベース４３による新たなチャック４２の保持に先立ち、該チャックベース４３の上面と研削面との相対的な傾きを確認する（図６のステップＳ２）。

【0042】

チャックベース４３の上面と研削面との相対的な傾きの確認に際しては、先ず、オペレータにより表示パネル１２０に表示された切替エリア１２３が選択され、傾き調整動作の動作モードがフラットモードＭｆに決定される（図６のステップＳ２－１）。

【0043】

次に、測定器１１０によりチャックベース４３の上面と研削面との相対的な距離を測定し、距離データＤ１を取得する（図６のステップＳ２－２）。具体的には、粗研削部８０を支柱８６に沿って降下させて測定器１１０の接触端子（プローブ）をチャックベース４３の上面に接触させた後、かかる状態でスピンドル８３（測定器１１０）を回転させながら、該測定器１１０によりチャックベース４３の上面と研削面との相対的な距離を複数点で測定する。

【0044】

測定器１１０は、スピンドル８３の回転により、チャックベース４３の上面において図４に示した測定領域Ｒと対応するように、すなわち、該チャックベース４３の測定一端部Ｒａと測定他端部Ｒｂを結ぶ円弧線状に移動する。上述のステップＳ２－２においては、図７（ｂ）に示すように、チャックベース４３の傾きに追従して、測定領域Ｒに沿って該チャックベース４３の上面を測定器１１０が移動し、図７（ａ）に示すように測定一端部Ｒａ、測定他端部Ｒｂ、及び測定中心Ｒｃと対応する少なくとも３点において、距離データＤ１を取得する。なお、以下の説明において測定一端部Ｒａ、測定他端部Ｒｂ、及び測定中心Ｒｃで取得される距離データＤを、それぞれ距離データＤａ、Ｄｂ、Ｄｃという場合がある。

【0045】

測定器１１０により取得された距離データＤ１は、例えば測定器１１０の表示部１１０ａや表示パネル１２０に表示され、該表示は例えばオペレータの目視により確認される。ここで、表示部１１０ａ等に表示される距離データＤ１は、測定一端部Ｒａで測定された距離データＤａ１を基準距離として０点調節される。換言すれば、距離データＤｂ１、Ｄｃ１が、それぞれ０点調節された距離データＤａ１からの差分値として表示される。

【0046】

ここで、チャックベース４３の上面と研削面とが平行であった場合、表示される距離データＤｂ１、Ｄｃ１は基準となる距離データＤａ１と同じ値、すなわちＤａ１＝Ｄｂ１＝Ｄｃ１＝０となる。かかる場合、チャックベース４３の上面は研削面と平行であると判断され、チャックベース４３に新たなチャック４２を保持させる（図６のステップＳ５）。

【0047】

一方、チャックベース４３の上面と研削面とが平行でなかった場合、オペレータに通知される距離データＤｂ１、Ｄｃ１は基準となる距離データＤａ１とは異なる値、すなわちＤａ１＝０、Ｄｂ１≠０、Ｄｃ１≠０となる。かかる場合、チャックベース４３の上面と研削面が平行でないと判断され、チャックベース４３の傾き調整が行われる（図６のステップＳ３）。

【0048】

チャックベース４３の傾き調整においては、先ず、測定器１１０で測定された距離データＤｂ１、Ｄｃ１が、オペレータにより表示パネル１２０の入力エリア１２２に入力され（図６のステップＳ３－１）、続いてオペレータにより表示パネル１２０の指示エリア１２４が選択される（図６のステップＳ３－２）。

【0049】

オペレータにより指示エリア１２４が選択されると、入力エリア１２２に入力された距離データＤｂ１、Ｄｃ１に基づいて、傾き調整部４４の２本の昇降軸４６の移動（昇降）量がそれぞれ自動的に算出される（図６のステップＳ３－３）。具体的には、チャックベース４３の上面が研削面と平行になる際、より具体的にはＤａ１＝Ｄｂ１＝Ｄｃ１＝０となる際の２本の昇降軸４６の高さ位置を目標位置として、昇降軸４６の移動量が自動的に算出される。昇降軸４６の移動量が算出されると、傾き調整部４４の動作が開始される。そして、昇降軸４６が算出された移動量に基づいて目標位置まで移動されると、チャックベース４３の上面が研削面と平行に調節される（図６のステップＳ３－４）。

【0050】

チャックベース４３の上面と研削面との平行度が調節されると、次に、該チャックベース４３の上面と研削面との相対的な傾きを、該チャックベース４３に保持させるチャック４２のセルフグラインドを行うための傾きに調整する（図６のステップＳ４）。

【0051】

チャックベース４３の上面と研削面との傾き調整に際しては、先ず、オペレータにより表示パネル１２０に表示された切替エリア１２３が選択され、傾き調整動作の動作モードがフラットモードＭｆからセルフグラインドモードＭｇに切り替えられる（図６のステップＳ４－１）。

【0052】

次に、測定器１１０によりチャックベース４３の上面と研削面との相対的な距離を測定し、距離データＤ２を取得する（図６のステップＳ４－２）。距離データＤ２の取得方法はステップＳ２－２における距離データＤ１の取得方法と同様である。すなわち、測定器１１０の接触端子（プローブ）をチャックベース４３の上面に接触させた後、かかる状態でスピンドル８３（測定器１１０）を回転させながら、該測定器１１０によりチャックベース４３の上面と研削面との相対的な距離を複数点で測定する。

【0053】

上述したように測定器１１０は、スピンドル８３の回転により、図４に示した円弧線状の測定領域Ｒに沿ってチャック４２の保持面上又はチャックベース４３の上面を移動する。上述のステップＳ４－２においては、図７に示したように、測定領域Ｒの測定一端部Ｒａ、測定他端部Ｒｂ、及び測定中心Ｒｃを含む少なくとも３点において、距離データＤａ２、Ｄｂ２、Ｄｃ２を取得する。

【0054】

測定器１１０により取得された距離データＤ２は、例えば測定器１１０の表示部１１０ａや表示パネル１２０に表示され、該表示は例えばオペレータの目視により確認される。ここで、オペレータに通知される距離データＤ２は、測定一端部Ｒａで測定された距離データＤａ２を基準距離として０点調節される。換言すれば、距離データＤｂ２、Ｄｃ２が、それぞれ０点調節された距離データＤａ２からの差分値として表示される。

【0055】

ここで、チャック４２のセルフグラインド処理においては、図８に示すようにチャック４２を保持面が凸形状を有する略円錐形状に加工するため、保持面と研削面との相対的な傾きを、チャック４２の加工用の所望の傾きに調整する必要がある。そこで本実施形態にかかるセルフグラインドモードＭｇとしての傾き調整動作においては、ステップＳ４－２で取得された距離データＤ２に基づいて、チャック４２の傾き調整が行われる。

【0056】

具体的には、先ず、測定器１１０で測定された距離データＤｂ２、Ｄｃ２が、オペレータにより表示パネル１２０の入力エリア１２２に入力され（図６のステップＳ４－３）、続いてオペレータにより表示パネル１２０の指示エリア１２４が選択される（図６のステップＳ４－４）。

【0057】

オペレータにより指示エリア１２４が選択されると、入力エリア１２２に入力された距離データＤｂ２、Ｄｃ２に基づいて、傾き調整部４４の２本の昇降軸４６の移動（昇降）量がそれぞれ自動的に算出される（図６のステップＳ４－５）。具体的には、チャックベース４３の上面と研削面との相対的な傾きが図８に示した所望の傾きとなる際、より具体的には、チャックベース４３が該所望の傾きで配置された際の２本の昇降軸４６の高さ位置を目標位置として、昇降軸４６の移動量が自動的に算出される。昇降軸４６の移動量が算出されると、傾き調整部４４の動作が開始される。そして、昇降軸４６が算出された移動量に基づいて目標位置まで移動されると、チャックベース４３の上面と研削面との相対的な傾きが、チャック４２のセルフグラインドを行うための所望の傾きに調節される（図６のステップＳ４－６）。

【0058】

そして、このようにチャックベース４３の上面と研削面との相対的な傾きが調節されると、該チャックベース４３に新たなチャック４２を保持させ（図６のステップＳ５）、加工装置１における一連のセルフグラインドモードＭｇとしての傾き調整動作が終了する。

【0059】

なお、一連の傾き調整動作が行われると、取付け部８５から測定器１１０を取り外した後、粗研削部８０に対して粗研削ホイール８１を取り付ける。そしてその後、図３及び図８（ａ）に示したように環状の粗研削砥石の一部がチャック４２の保持面に当接され、かかる状態でチャック４２及び粗研削ホイール８１をそれぞれ回転させることで、図８（ｂ）及び図８（ｃ）に示したように、チャック４２が所望の略円錐形状に加工される。

【0060】

なお、以上の実施形態においてはチャックベース４３の上面と研削面の平行度を調整（図６のステップＳ４）した後、該チャックベース４３にチャック４２を保持（図６のステップＳ５）させたが、チャック４２の保持タイミングはこれに限定されない。すなわち、例えばチャックベース４３の上面と研削面との平行度を調節（図６のステップＳ３）し、該チャックベース４３にチャック４２を保持（図６のステップＳ５）させた後に、チャック４２の保持面と研削面の相対的な傾きをセルフグラインド用に調整（図６のステップＳ４に相当）してもよい。

【0061】

また、以上の実施形態においてはチャックベース４３の上面と研削面との平行度を調整（図６のステップＳ３）した後、更にチャック４２のセルフグラインドを行うために距離データＤ２を取得（図６のステップＳ４－２）したが、この距離データＤ２の取得は、適宜省略されてもよい。すなわち、例えば前工程においてチャックベース４３の上面と研削面との平行度が調節されているため、図６のステップＳ４－３における距離データＤ２の入力に際してはＤｂ２＝Ｄｃ２＝０が入力されてもよい。

【0062】

なお、以上の実施形態においては加工装置１においてセルフグラインドモードＭｇとしての傾き調整動作を行う場合を例に説明を行ったが、上述のように、加工装置１においてはチャック４２の保持面と研削面とを平行に調整するためのフラットモードＭｆとしての傾き調整動作を行うことができる。

【0063】

チャック４２の保持面と研削面とを平行に調整するためのフラットモードＭｆとしての傾き調整動作は、上述した図６のステップＳ１～ステップＳ３にかかるチャックベース４３の上面と研削面の傾き調整動作と同様の方法により行われる。

【0064】

具体的には、保持面と研削面との平行度を調節する必要が生じると、先ず、粗研削部８０から粗研削ホイール８１が取り外された後、取付け部８５に測定器１１０を取り付ける（図６のステップＳ１）。次に、チャックベース４３に保持されたチャック４２の保持面と研削面との相対的な傾きを確認する（図６のステップＳ２）。

【0065】

チャック４２の保持面と研削面との相対的な傾きの確認に際しては、切替エリア１２３の選択により傾き調整動作の動作モードがフラットモードＭｆに決定した後（図６のステップＳ２－１）、測定器１１０により保持面と研削面との相対的な距離を測定し、距離データＤ３（距離データＤａ３、Ｄｂ３、Ｄｃ３）を取得する（図６のステップＳ２－２）。測定器１１０により取得された距離データＤ３は、例えば測定器１１０の表示部１１０ａや表示パネル１２０に表示され、該表示は例えばオペレータの目視により確認される。なお、オペレータに通知される距離データＤ３は、距離データＤａ３を基準距離として０点調節され、距離データＤｂ３、Ｄｃ３はそれぞれ０点調節された距離データＤａ３からの差分値として表示される。

【0066】

次に、測定器１１０により取得された距離データＤ３に基づいて、チャック４２の保持面と研削面の傾き調整が行われる（図６のステップＳ３）。

【0067】

チャック４２の保持面と研削面との相対的な傾きの調整に際しては、先ず、測定器１１０で測定された距離データＤｂ３、Ｄｃ３が、オペレータにより入力エリア１２２に入力され（図６のステップＳ３－１）、続けて、指示エリア１２４が選択される（図６のステップＳ３－２）。

【0068】

オペレータにより指示エリア１２４が選択されると、入力エリア１２２に入力された距離データＤｂ３、Ｄｃ３に基づいて、傾き調整部４４の２本の昇降軸４６の移動量がそれぞれ自動的に算出される（図６のステップＳ３－３）。具体的には、保持面が研削面と平行になる際、より具体的にはＤａ３＝Ｄｂ３＝Ｄｃ３＝０となる際の２本の昇降軸４６の高さ位置を目標位置として、昇降軸４６の移動量が自動的に算出される。昇降軸４６の移動量が算出されると、傾き調整部４４の動作が開始される。そして、昇降軸４６が算出された移動量に基づいて目標位置まで移動されると、チャック４２の保持面が研削面と平行に調節される（図６のステップＳ３－４）。こうして、加工装置１における一連のフラットモードＭｆとしての傾き調整動作が終了する。

【0069】

以上、本実施形態にかかる傾き調整動作によれば、入力エリア１２２に測定値である距離データＤを入力した後、指示エリア１２４を選択することのみによって、チャック４２の保持面と研削面の相対的な傾きを所望の傾きに自動調整することができる。このため、従来の傾き調整動作のように、所望の平行度（傾き）が得られるまでに何度も手動による調整を行う必要がなく、傾き調整動作に要する時間を大幅に低減することができる。また、このように保持面と研削面との傾き調整を人の手を介することなく自動調整により行うことができるため、従来のような手動による操作ミスや調整ミスの発生を抑制することができる。

【0070】

また本実施形態によれば、測定器１１０て測定された３点の距離データＤａ、Ｄｂ、Ｄｃのうち、距離データＤａを基準距離として０点調節することで、距離データＤｂ、Ｄｃを距離データＤａからの差分値として表示し、該距離データＤｂ、Ｄｃのみをオペレータが入力エリア１２２に入力する。すなわち、測定値のすべてを入力値として入力する必要はなく、傾き調整に際して入力エリア１２２に手動で入力する情報量を減らすことができるため、手動による入力ミスの発生を抑制することができる。

【0071】

なお、以上の実施形態においては、上述のように測定一端部Ｒａにおいて取得された距離データＤａを基準距離として０点調節を行ったが、基準とする距離データＤは測定他端部Ｒｂ又は測定中心Ｒｃにおいて取得された距離データＤｂ又はＤｃであってもよい。

【0072】

また、以上の実施形態においては、チャックベース４３の下方に設けられた傾き調整部４４の動作により該チャックベース４３（チャック４２）を傾斜させることにより研削面に対する保持面の相対的な角度を調節したが、傾き調整部の構成はこれに限定されるものではない。すなわち、例えば傾き調整部を各研削部側に設けることで、チャック４２の保持面に対する研削面の相対的な角度を調整してもよい。また例えば、チャック４２の保持面、及び研削面のそれぞれが傾斜可能に構成されていてもよい。

【0073】

また更に、以上の実施形態においては研削部４０における加工処理として、ウェハＷ、チャック４２の保持面、及びチャックベース４３の上面の研削する場合を例に説明を行ったが、加工装置１において行われる加工処理は研削に限定されるものではない。具体的には、例えば加工装置１においてウェハＷ、チャック４２の保持面、及びチャックベース４３の上面には、研磨処理が行われてもよい。このように、上記実施例で説明を行った研削処理、及びかかる研磨処理のそれぞれが、本実施形態にかかる加工装置１で行われる「加工処理」に含まれるものとする。

【0074】

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。

【符号の説明】

【0075】

１ 加工装置
４２ チャック
４３ チャックベース
４４ 傾き調整部
８０ 粗研削部
１２０ 表示パネル
１２２ 入力エリア
１２４ 指示エリア
１３０ 制御部
Ｗ ウェハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】