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特許7566916基板搬送装置

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-04

(45)【発行日】2024-10-15

(54)【発明の名称】基板搬送装置

(51)【国際特許分類】

H01L 21/677 20060101AFI20241007BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【請求項の数】 33

(21)【出願番号】P 2022544860

(86)(22)【出願日】2021-01-25

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2023-05-31

(86)【国際出願番号】 US2021014899

(87)【国際公開番号】W WO2021154640

(87)【国際公開日】2021-08-05

【審査請求日】2024-01-24

(31)【優先権主張番号】62/964,817

(32)【優先日】2020-01-23

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(31)【優先権主張番号】17/156,007

(32)【優先日】2021-01-22

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】522041444

【氏名又は名称】ブルックスオートメーションユーエス、エルエルシー

(74)【代理人】

【識別番号】110001896

【氏名又は名称】弁理士法人朝日奈特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】バブス、ダニエル

(72)【発明者】

【氏名】ツァン、ヴィンセントダブリュー

(72)【発明者】

【氏名】メイ、ロバートシー

【審査官】渡井高広

(56)【参考文献】

【文献】特表２０１６－５３２２９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１６／０３２７１３８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特表２０１９－５２６１７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０７－１２２６２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第１０１５５３０９（ＵＳ，Ｂ１）

【文献】特開平０１－２４０２８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１２４７４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６３－０８４８８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６３－０８４８８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－２２３９７４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送チャンバ内の基板を移送するための基板搬送装置であって、
前記搬送チャンバ内に配置されたフレームであって、前記搬送チャンバが、チャンバ端部と、前記チャンバ端部の間に延びるチャンバ側面を有し、各チャンバ側面は、チャンバ側面を貫通する少なくとも４つの処理ステーション開口部を有する、フレームと、
前記フレームに接続された駆動セクションと、
前記フレームに対して枢動軸を中心に回転し、前記チャンバ側面の各々の前記少なくとも４つの処理ステーション開口部の各々への、および前記チャンバ側面の各々の前記少なくとも４つの処理ステーション開口部の各々からの、前記基板の移送をもたらすために、前記枢動軸に対して伸長および収縮するように、前記駆動セクションに動作可能に接続された少なくとも１つの関節式アームリンクを有する関節式アームと、を備え、
前記関節式アームが、前記少なくとも１つの関節式アームリンクに枢動可能に取り付けられたエンドエフェクタを有して、前記エンドエフェクタと前記少なくとも１つの関節式アームリンクとの間に関節を形成し、アーム関節枢動軸が、前記エンドエフェクタが前記アーム関節枢動軸を中心に前記少なくとも１つの関節式アームリンクに対して回転するように配置され、前記関節式アームが、駆動プーリと前記エンドエフェクタに接続された従動プーリとを備えた駆動バンドトランスミッションを有し、少なくとも１つのバンドが、接続されたプーリのうちの少なくとも１つの周りに巻かれ、前記少なくとも１つのバンドが、それ自体に対して重ねられ、前記駆動バンドトランスミッションが、前記チャンバ側面の各々の前記少なくとも４つの処理ステーション開口部の各々への、および前記チャンバ側面の各々の前記少なくとも４つの処理ステーション開口部の各々からの、前記基板の移送をもたらすために、前記チャンバ側面の各々の前記少なくとも４つの処理ステーション開口部の各々に前記エンドエフェクタを位置付けるように、いずれの方向でも十分に１８０°を超えて前記エンドエフェクタの回転を生成することができ、
前記エンドエフェクタが、前記アーム関節枢動軸の片側に配置された１つまたは複数の基板保持位置を有する、基板搬送装置。

【請求項2】

最大伸長ストロークと最大収縮ストロークとの間の前記エンドエフェクタの回転が、エンドエフェクタ中間ストロークの回転位置のいずれの方向でも少なくとも約±３００°である、請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項3】

前記少なくとも１つのバンドが、それ自体に対して重ねられている、請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項4】

前記少なくとも１つのバンドは、バンドラップがプーリ上でそれ自体の上に螺旋状になるように重ねられている、請求項３記載の基板搬送装置。

【請求項5】

前記少なくとも１つのバンドは、バンドラップがそれ自体を包むように重ねられている、請求項３記載の基板搬送装置。

【請求項6】

前記少なくとも１つのバンドは、バンドがプーリ軸に沿って並置されたコイルエッジを有して巻かれた状態で、バンドラップがそれ自体に沿って螺旋状になるように重ねられている、請求項３記載の基板搬送装置。

【請求項7】

接続されたプーリの少なくとも１つのプーリがアイドラプーリであり、前記アイドラプーリが、前記アイドラプーリの回転によって前記アーム関節枢動軸を中心に前記エンドエフェクタが回転するように、前記エンドエフェクタに連結されている、請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項8】

前記少なくとも１つのバンドが、前記アイドラプーリの周りにそれ自体に対して重ねられている、請求項７記載の基板搬送装置。

【請求項9】

前記アイドラプーリが非円形プーリである、請求項７記載の基板搬送装置。

【請求項10】

前記アイドラプーリは、前記バンドが前記アイドラプーリに巻き付けられ、前記アイドラプーリから送り出されるときに、前記少なくとも１つのバンドが着座する、非円形の半径方向周辺部を備えるバンド着座面を有する、請求項７記載の基板搬送装置。

【請求項11】

接続されたプーリの少なくとも１つのプーリの別のプーリが駆動プーリであり、前記駆動プーリが非円形プーリである、請求項７記載の基板搬送装置。

【請求項12】

前記アイドラプーリおよび前記駆動プーリが、前記エンドエフェクタの伸長および収縮ストロークの全体にわたって各々の回転方向で前記アイドラプーリと前記駆動プーリとの間の略一定の減速比を維持するように巻き付く、および巻き付き解除する、それぞれの対向するバンドに係合するプーリプロファイルを有する、請求項１１記載の基板搬送装置。

【請求項13】

前記エンドエフェクタが、その上に基板保持ステーションを有する、請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項14】

前記エンドエフェクタが２つ以上の基板保持ステーションを有し、前記２つ以上の基板保持ステーションの少なくとも２つが前記エンドエフェクタの対向する両端部上にある、請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項15】

搬送チャンバ内の基板を移送するための基板搬送装置であって、
前記搬送チャンバ内に配置されたフレームであって、前記搬送チャンバが、チャンバ端部と、前記チャンバ端部の間に延びるチャンバ側面を有し、各チャンバ側面は、チャンバ側面を貫通する少なくとも４つの処理ステーション開口部を有する、フレームと、
前記フレームに接続された駆動セクションと、
前記フレームに対して枢動軸を中心に回転し、前記チャンバ側面の各々の前記少なくとも４つの処理ステーション開口部の各々への、および前記チャンバ側面の各々の前記少なくとも４つの処理ステーション開口部の各々からの、前記基板の移送をもたらすために、前記枢動軸に対して伸長および収縮するように、前記駆動セクションに動作可能に接続された少なくとも１つの関節式アームリンクを有する関節式アームと、を備え、
前記関節式アームが、前記少なくとも１つの関節式アームリンクに枢動可能に取り付けられたエンドエフェクタを有して、前記エンドエフェクタと前記少なくとも１つの関節式アームリンクとの間に関節を形成し、アーム関節枢動軸が、前記エンドエフェクタが前記アーム関節枢動軸を中心に前記少なくとも１つの関節式アームリンクに対して回転するように配置され、前記関節式アームが、プーリと前記プーリを接続する二重の対向するバンドとを備える駆動バンドトランスミッションであって、前記関節式アームを伸長または収縮させ、対応するエンドエフェクタストロークを介して前記エンドエフェクタを移動させるアーム運動ストロークを介して前記関節式アームを伸長および収縮させる駆動バンドトランスミッションを有し、
前記二重の対向するバンドが、前記チャンバ側面の各々の前記少なくとも４つの処理ステーション開口部の各々への、および前記チャンバ側面の各々の前記少なくとも４つの処理ステーション開口部の各々からの、前記基板の移送をもたらすために、前記チャンバ側面の各々の前記少なくとも４つの処理ステーション開口部の各々に前記エンドエフェクタを位置付けるように、前記エンドエフェクタストロークの端から端までの３６０°を超えるエンドエフェクタの回転を提供する、前記アーム関節枢動軸を中心にした前記エンドエフェクタの回転を決定する、前記プーリのうちの少なくとも１つの上での巻き付き形状を有しており、
前記エンドエフェクタが、前記アーム関節枢動軸の片側に配置された１つまたは複数の基板保持位置を有する、基板搬送装置。

【請求項16】

前記巻き付き形状が、前記エンドエフェクタストロークの中間ストロークからいずれかの端まで１８０°を超えるエンドエフェクタの回転を提供する、請求項１５記載の基板搬送装置。

【請求項17】

前記巻き付き形状が、前記プーリのうちの少なくとも１つの共通の回転のためのそれぞれの対向するバンドの非対称の巻き付き速度および巻き付き解除速度をもたらす、請求項１５記載の基板搬送装置。

【請求項18】

前記対向するバンドによって互いに接続された前記プーリのうちの少なくとも１つの別のプーリが、前記エンドエフェクタストロークの全体にわたって前記対向するバンドの各バンドに対する略一定の張力を維持するように、前記それぞれの対向するバンドの非対称の巻き付きおよび巻き付き解除を補償するように配置されたコンペンセータを有して構成されている、請求項１７記載の基板搬送装置。

【請求項19】

前記コンペンセータが、前記別のプーリの共通の回転のために、前記プーリのうちの少なくとも１つに対する前記それぞれの対向するバンドの非対称の巻き付き速度および巻き付き解除速度に相応する、前記別のプーリに対する前記それぞれの対向するバンドの非対称の巻き付き解除速度および巻き付き速度を生成する幾何学的形状を有している、請求項１８記載の基板搬送装置。

【請求項20】

前記別のプーリが、前記それぞれの対向するバンドの各々のためのカムローブを備えたそれぞれの非円形プーリプロファイルを有し、前記それぞれの非円形プーリプロファイルのそれぞれのカムローブが前記コンペンセータを形成する、請求項１８記載の基板搬送装置。

【請求項21】

前記それぞれの非円形プーリプロファイルの前記それぞれのカムローブが、前記コンペンセータの幾何学的形状を画定する角度だけ位相外のプーリ周辺部に配置される、請求項２０記載の基板搬送装置。

【請求項22】

前記プーリのうちの少なくとも１つがアイドラプーリであり、前記別のプーリが駆動プーリである、請求項１８記載の基板搬送装置。

【請求項23】

前記アイドラプーリおよび前記駆動プーリが、前記エンドエフェクタストロークの全体にわたって各々の回転方向で前記アイドラプーリと前記駆動プーリとの間の略一定の減速比を維持するように巻き付く、および巻き付き解除する、それぞれの対向するバンドに係合するプーリプロファイルを有する、請求項２２記載の基板搬送装置。

【請求項24】

前記アイドラプーリは、前記バンドが前記アイドラプーリに巻き付けられ、前記アイドラプーリから送り出されるときに、少なくとも１つのバンドが着座する、非円形の半径方向周辺部を備えるバンド着座面を有する、請求項２２記載の基板搬送装置。

【請求項25】

接続されたプーリの少なくとも１つのプーリの別のプーリが駆動プーリであり、前記駆動プーリが非円形プーリである、請求項２４記載の基板搬送装置。

【請求項26】

前記対向するバンドの各々が、それ自体に対して重ねられている、請求項１５記載の基板搬送装置。

【請求項27】

前記対向するバンドの各々は、バンドラップが前記プーリ上でそれ自体の上に螺旋状になるように重ねられている、請求項２６記載の基板搬送装置。

【請求項28】

前記対向するバンドの各々は、バンドラップがそれ自体を包むように重ねられている、請求項２６記載の基板搬送装置。

【請求項29】

前記対向するバンドの各々は、前記バンドがプーリ軸に沿って並置されたコイルエッジを有して巻かれた状態で、バンドラップがそれ自体に沿って螺旋状になるように重ねられている、請求項２６記載の基板搬送装置。

【請求項30】

前記プーリのうちの少なくとも１つがアイドラプーリであり、前記アイドラプーリが、前記アイドラプーリの回転によって前記アーム関節枢動軸を中心に前記エンドエフェクタが回転するように、前記エンドエフェクタに連結されている、請求項１５記載の基板搬送装置。

【請求項31】

前記対向するバンドの各々が、前記アイドラプーリの周りにそれ自体に対して重ねられている、請求項３０記載の基板搬送装置。

【請求項32】

搬送チャンバ内の基板を移送するための基板搬送装置を提供する工程であって、前記搬送チャンバが、チャンバ端部と、前記チャンバ端部の間に延びるチャンバ側面を有し、各チャンバ側面は、チャンバ側面を貫通する少なくとも４つの処理ステーション開口部を有し、前記基板搬送装置が、
フレームと、
前記フレームに接続された駆動セクションと、
前記フレームに対して枢動軸を中心に回転し、前記枢動軸に対して伸長および収縮するように、前記駆動セクションに動作可能に接続された少なくとも１つの関節式アームリンクを有する関節式アームと、
前記少なくとも１つの関節式アームリンクに枢動可能に取り付けられたエンドエフェクタであって、前記エンドエフェクタと前記少なくとも１つの関節式アームリンクとの間に関節を形成し、アーム関節枢動軸が、前記エンドエフェクタが前記アーム関節枢動軸を中心に前記少なくとも１つの関節式アームリンクに対して回転するように配置されている、エンドエフェクタと、を備える、工程と、
前記関節式アームを伸長および収縮させて、前記チャンバ側面の各々の前記少なくとも４つの処理ステーション開口部の各々への、および前記チャンバ側面の各々の前記少なくとも４つの処理ステーション開口部の各々からの、前記基板の移送をもたらす、プーリと前記プーリを接続する少なくとも１つのバンドとを備える駆動バンドトランスミッションを用いて、それぞれ伸長ストロークおよび収縮ストロークを介して前記エンドエフェクタを移動させる工程と、を含み、
前記少なくとも１つのバンドが、接続されたプーリのうちの少なくとも１つの周りに巻かれ、前記少なくとも１つのバンドが、それ自体に対して重ねられ、前記駆動バンドトランスミッションが、前記チャンバ側面の各々の前記少なくとも４つの処理ステーション開口部の各々への、および前記チャンバ側面の各々の前記少なくとも４つの処理ステーション開口部の各々からの、前記基板の移送をもたらすために、前記チャンバ側面の各々の前記少なくとも４つの処理ステーション開口部の各々に前記エンドエフェクタを位置付けるように、前記エンドエフェクタのエンドエフェクタ中間ストロークの回転位置から前記エンドエフェクタの最大ストロークの回転位置まで１８０°超である、前記アーム関節枢動軸を中心にした、前記少なくとも１つの関節式アームリンクに対する、前記エンドエフェクタの回転を生成し、
前記エンドエフェクタが、前記アーム関節枢動軸の片側に配置された１つまたは複数の基板保持位置を有する、方法。

【請求項33】

最大伸長ストロークと最大収縮ストロークとの間の前記エンドエフェクタの回転が、前記エンドエフェクタ中間ストロークの回転位置のいずれの方向でも少なくとも約±３００°である、請求項３２記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

［関連出願への相互参照］
本出願は、２０２０年１月２３日に出願された米国仮特許出願番号第６２，９６４，８１７号の非仮出願であり、その利益を主張し、その開示全体が引用により本明細書に組み込まれる。

【0002】

［技術分野］
例示的な実施形態は、概して、ロボット搬送装置、およびより具体的には、ロボット駆動伝達装置に関する。

【背景技術】

【0003】

概して、いくつかのロボットマニピュレータは、ロボットマニピュレータのさまざまな関節リンクの駆動回転のために金属バンドおよびプーリ駆動システムを利用している。金属バンドは、従来、プーリとバンドとの間でトルクを移送するために、ねじによってそれぞれのプーリに連結されている。プーリがバンドとプーリとの間の接触角を超えて回転させられる場合に、バンドが方向を逆にして、それ自体の上に折り畳まれ得るため、バンドとプーリとの間の従来のねじ式連結は、プーリに対する運動の範囲を制限し得る。このように、従来のバンドおよびプーリ駆動システムによって駆動されるロボットマニピュレータのための関節は、典型的に、約３６０°以下の回転（たとえば、約＋／－１８０°の回転）に制限される。

【発明の概要】

【0004】

開示された実施形態の前述の態様および他の特徴は、添付の図面に関連して行われた以下の記載において説明される。

【図面の簡単な説明】

【0005】

【図1A】開示された実施形態の態様による例示的な基板搬送装置を例示する。

【図1B】開示された実施形態の態様による例示的な基板搬送装置を例示する。

【図1C】開示された実施形態の態様による例示的な基板搬送装置を例示する。

【図1D】開示された実施形態の態様による例示的な基板搬送装置を例示する。

【図1E】開示された実施形態の態様による例示的な基板搬送装置を例示する。

【図2A】開示された実施形態の態様による例示的な基板処理装置を例示する。

【図2B】開示された実施形態の態様による例示的な基板処理装置を例示する。

【図2C】開示された実施形態の態様による例示的な基板処理装置を例示する。

【図2D】開示された実施形態の態様による例示的な基板処理装置を例示する。

【図2E】開示された実施形態の態様による例示的な基板処理装置を例示する。

【図3A】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の一部の概略図である。

【図3B】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の一部の概略図である。

【図3C】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の一部の概略図である。

【図3D】開示された実施形態の態様による基板処理装置の一部の概略図である。

【図4A】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションを例示する。

【図4B】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションを例示する。

【図4C】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションを例示する。

【図4D】断面図である。

【図5A】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションの一部を例示する。

【図5B】開示された実施形態の態様による図５Ａの例示的なトランスミッションの一部の断面図を例示する。

【図6】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションの一部を例示する。

【図7】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションの一部を例示する。

【図8A】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションの一部を例示する。

【図8B】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションの一部を例示する。

【図8C】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションの一部を例示する。

【図9A】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションの一部を例示する。

【図9B】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションの一部を例示する。

【図10A】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションの一部を例示する。

【図10B】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションの一部を例示する。

【図11】開示された実施形態の態様による図９Ａ、９Ｂ、１０Ａ、および１０Ｂの例示的なトランスミッションの一部の断面図を例示する。

【図12A】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションの一部を例示する。

【図12B】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションの一部を例示する。

【図12C】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションの一部を例示する。

【図13A】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションの上部プーリ部分および下部プーリ部分の対向するバンドラップ（band wrap）を概略的に例示する。

【図13B】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの基板搬送装置の例示的なトランスミッションの上部プーリ部分および下部プーリ部分の対向するバンドラップを概略的に例示する。

【図14】開示された実施形態による、非円形プーリの所与の回転角に対する非円形プーリの周りに巻かれたバンドの長さの違いを例示する、所与の非円形プーリの例示的なグラフを例示する。

【図15】開示された実施形態の態様による、駆動プーリ角度に対する図１Ａ～１Ｅの搬送装置のトランスミッションにおける振動周波数の例示的なグラフを例示する。

【図16】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの搬送装置のトランスミッションの例示的なバンド構成の概略図である。

【図17A】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの搬送装置のトランスミッションの例示的なバンド構成の概略図である。

【図17B】前述の断面図である。

【図18A】開示された実施形態の態様による図１Ａ～１Ｅの搬送装置のトランスミッションの例示的なバンド構成の概略図である。

【図18B】開示された実施形態の態様による、図１８Ａのトランスミッションの例示的なバンド構成を含む、図１Ａ～１Ｅの搬送装置のアームリンクの概略図である。

【図19A】開示された実施形態の態様による例示的なバンド設置固定具を例示する。

【図19B】開示された実施形態の態様による例示的なバンド設置固定具を例示する。

【図20】開示された実施形態の態様による例示的な方法である。

【図21】開示された実施形態の態様による例示的な方法である。

【図22】開示された実施形態の態様による例示的な方法である。

【発明を実施するための形態】

【0006】

図１Ａ～２Ｅを参照すると、本明細書でさらに開示されるように、開示された実施形態の態様を組み込んだ基板処理装置またはツールの概略図が示されている。開示された実施形態の態様は、図面を参照して説明されるが、開示された実施形態の態様が、多くの形態で具体化され得ることが理解されるべきである。さらに、任意の適切なサイズ、形状、またはタイプの要素または材料が使用され得る。

【0007】

本明細書に記載される開示された実施形態の態様は、ロボットマニピュレータ用のバンドおよびプーリのトルクトランスミッション駆動構成を提供する。概して、半導体処理装置におけるプロセスモジュールの数の増加が半導体処理業界において望まれている（すなわち、これらの処理装置は高密度プロセスモジュールツールと呼ばれ得る）。増加した数のツールへ／から基板を搬送するために、基板搬送装置は、増加した到達要件を満たす必要がある。本明細書で提供される開示された実施形態の態様は、高密度プロセスモジュールツールのプロセスモジュールのいずれかへの基板搬送を促進するアーム運動を提供するように、（上記の従来の搬送アームと比較した）関節角度の回転の増加をもたらす。増加した関節角度の回転は、たとえば、開示された実施形態の態様のバンドおよびプーリのトルクトランスミッション駆動構成によってもたらされ、それにより、入力（たとえば、駆動）プーリと出力（たとえば、従動）プーリとの間の駆動（または減速）比（ここで、駆動比は、駆動プーリの直径と従動プーリの直径との比率である）によって画定される回転角ＲＲによる駆動プーリおよび／または従動プーリの回転が提供される。開示された実施形態の一態様では、駆動プーリの回転は約３２０°（たとえば、本明細書に記載される中間ストローク位置から約＋／－１６０°）の回転であり得る。駆動プーリの回転が約３２０°であり、駆動プーリと従動プーリとの比率が２：１であることで、従動プーリは最大約６４０°（たとえば、中間ストロークから約＋／－３２０°）まで回転し得る。駆動プーリと従動プーリとの間で３：１の比率が利用される場合、従動プーリは最大約９６０°（たとえば、中間ストロークから約＋／－４８０°）まで回転し得る。従動プーリの約３６０°を超える回転によって、たとえば、ロボットマニピュレータの関節リンクにおけるストロークの増加が原因で、ロボットマニピュレータの運動の範囲が増大される。

【0008】

図１Ａ～１Ｅを参照すると、例示的な基板搬送装置１００～１０４が例示され、以下でより詳細に説明される。基板搬送装置１００～１０４の各々は、概して、フレーム１１０Ｆと、フレーム１１０Ｆに接続された駆動セクション１１０と、関節式アームであって、関節式アームが、フレーム１１０Ｆに対して枢動軸（たとえば、本明細書に記載されるショルダ軸ＳＸ）を中心に回転し、枢動軸（たとえば、ショルダ軸ＳＸ）に対して伸長および収縮するように、駆動セクション１１０に動作可能に接続された少なくとも１つの関節式アームリンク（たとえば、アッパーアームリンク１３０、またはアッパーアームリンク１３０およびフォアアームリンク１３１）を有する関節式アーム（たとえば、搬送アーム１２０～１２４などの搬送アームとも呼ばれる）と、を含む。本明細書でより詳細に説明されるように、搬送アームは、少なくとも１つの関節式アームリンクに枢動可能に取り付けられたエンドエフェクタ１４０、１４０Ａ、１４０Ｂ、１４１、１４２を有して、エンドエフェクタ１４０、１４０Ａ、１４０Ｂ、１４１、１４２と少なくとも１つの関節式アームリンクとの間に関節（たとえば、リスト関節３３６（図３Ａを参照））を形成し、エンドエフェクタ１４０、１４０Ａ、１４０Ｂ、１４１、１４２がリスト軸ＷＸを中心に少なくとも１つの関節式アームリンクに対して回転するように、アーム関節枢動軸（たとえば、リスト関節ＷＸ）が配置されている。

【0009】

搬送アーム１２０～１２４は、本明細書ではスカラアーム構成を有するものとして説明されているが、他の態様では、搬送アームは任意の適切な構成を有し得る。図１Ａを参照すると、基板搬送装置１００は、搬送アーム１２０および駆動セクション１１０を含む。搬送アーム１２０は、（本明細書に記載されるように）駆動セクション１１０の出力部に連結され、回転のショルダ軸ＳＸで駆動セクション１３０に回転可能に連結されたアッパーアームリンク１３０と、回転のエルボ軸ＥＸでアッパーアームリンク１３０に回転可能に連結されたフォアアームリンク１３１と、回転のリスト軸ＷＸでフォアアームリンク１３１に回転可能に連結された少なくとも１つの単一端エンドエフェクタ（たとえば、基板ホルダ）１４０と、を含む。ここで、エンドエフェクタ１４０は、リスト軸ＷＸの片側に配置された単一の基板保持位置１４０Ｈを含む。他の態様では、エンドエフェクタ１４０は、リスト軸ＷＸの片側に、略同じ平面に並んで配置された、または上下に積み重ねられた、２つ以上の基板保持位置を含んでもよい。一態様では、エンドエフェクタ１４０の回転は、たとえば、エンドエフェクタ１４０が搬送装置１００の伸長および収縮の軸と整列されたままであるように、アッパーアームリンク１３０に従属させられ得る。他の態様では、エンドエフェクタ１４０は、リスト軸ＷＸを中心にしたエンドエフェクタ１４０の回転が、アッパーアームリンク１３０およびフォアアームリンク１３１の移動から独立する（しかし回転は調整され得る）ように、駆動セクション１１０のそれぞれの駆動モータに連結されてもよい。

【0010】

ここで図１Ｂを参照すると、基板搬送装置１０１は搬送装置１００に略類似している。しかし、本態様では、搬送アーム１０１は、少なくとも２つの対向する基板保持位置１４０Ｈ１、１４０Ｈ２（たとえば、デュアルパン）を有する少なくとも１つのデュアルパンエンドエフェクタ１４１を含む。たとえば、エンドエフェクタ１４１は、エンドエフェクタ１４１の各々の対向する端部１４１Ｅ１、１４１Ｅ２が、少なくとも１つのそれぞれの基板保持位置１４０Ｈ１、１４０Ｈ２を有するように、リスト軸ＷＸの対向する両側に伸長する（たとえば、基板保持位置１４０Ｈ１、１４０Ｈ２はリスト軸ＷＸを挟んで正反対に対向させられている）。本例では、エンドエフェクタ１４１は、端部１４１Ｅ１、１４１Ｅ２間で非関節式である実質的に剛性のエンドエフェクタとして例示されている（ここで、リスト軸ＷＸは端部１４１Ｅ１、１４１Ｅ２間に配置されている）。単一の基板保持ステーション１４０Ｈ１、１４０Ｈ２が、説明目的のみで各端部１４１Ｅ１、１４１Ｅ２上に例示されているが、他の態様では、端部１４１Ｅ１、１４１Ｅ２の１つまたは複数が、上下に積み重ねられて配置された、または略同じ平面に並んで配置された２つ以上の基板保持ステーションを有してもよいことも留意される。一態様では、エンドエフェクタ１４１の回転は、たとえば、エンドエフェクタ１４１が搬送装置１００の伸長および収縮の軸と整列されたままであるように、アッパーアームリンク１３０に従属させられ得る。他の態様では、エンドエフェクタ１４１は、リスト軸ＷＸを中心にしたエンドエフェクタ１４１の回転が、アッパーアームリンク１３０およびフォアアームリンク１３１の移動から独立する（しかし回転は調整され得る）ように、駆動セクション１１０のそれぞれの駆動モータに連結されてもよい。

【0011】

図１Ｃを参照すると、基板搬送装置１０１は搬送装置１００に略類似している。しかし、本態様では、搬送アーム１０２は２つの単一端エンドエフェクタ１４０Ａ、１４０Ｂを含む。ここで、単一端エンドエフェクタ１４０Ａ、１４０Ｂの各々は上記のエンドエフェクタ１４０に略類似している。他の態様では、搬送アーム１０２は２つのデュアルパンエンドエフェクタを含んでもよく、ここで、デュアルパンエンドエフェクタの各々は上記のデュアルパンエンドエフェクタ１４１に略類似している。一態様では、エンドエフェクタ１４０Ａ、１４０Ｂの各々は、他方のエンドエフェクタ１４０Ａ、１４０Ｂに対してリスト軸ＷＸを中心に独立して回転可能であり、ここで、各エンドエフェクタは、駆動セクション１１０のそれぞれの駆動モータに連結されている。他の態様では、エンドエフェクタ１４０Ａ、１４０Ｂは、一方のエンドエフェクタ１４０Ａ、１４０Ｂが回転すると、他方のエンドエフェクタ１４０Ａ、１４０Ｂが同じ回転速度でリスト軸ＷＸを中心に対向する方向に回転するように、任意の適切な方法で駆動セクションの共通の駆動モータに差動的に連結されてもよい。

【0012】

図１Ｄを参照すると、本態様では、搬送アーム１２３は、駆動セクション１１０に回転可能に連結されたアッパーアームリンク１３０と、介在するアームリンクなしでアッパーアームリンク１３０に回転可能に連結された少なくとも１つのエンドエフェクタ１４０Ａ、１４０Ｂとを含む（すなわち、少なくとも１つのエンドエフェクタ１４０Ａ、１４０Ｂはアッパーアームリンク１３０に直接連結されている）。本例では、アッパーアームリンク１３０は、ショルダ軸ＳＸとリスト軸ＷＸとの間の実質的に非関節式のリンクである。少なくとも１つのエンドエフェクタ１４０Ａ、１４０Ｂの各々は上記のエンドエフェクタ１４０、１４０Ａ、１４０Ｂに略類似し得る。２つの単一端エンドエフェクタ１４０Ａ、１４０Ｂは例示目的のみで例示されているが、他の態様では、搬送アーム１２３は１つのみの単一端エンドエフェクタ１４０を有し得る。さらに他の態様では、基板搬送アーム１２３は、上記のデュアルパンエンドエフェクタ１４１に略類似した１つまたは複数のデュアルパンエンドエフェクタを含んでもよい。ここで、エンドエフェクタの各々は、（駆動セクションのそれぞれの駆動モータなどによって）アッパーアームリンク１３０に対して独立して回転可能であり得る。

【0013】

図１Ｅを参照すると、基板搬送装置１０４は搬送アーム１２０に略類似した搬送アーム１２４を含むが、本態様では、搬送アーム１２０は少なくとも１つの並置パンエンドエフェクタ１４２を含む。本例では、並置パンエンドエフェクタ１４２は２つの並んだ（たとえば、デュアルパン）基板保持位置１４０Ｓ１、１４０Ｓ２を含むが、他の態様では、２つを超える並んだ基板保持位置が存在し得る。並んだ基板保持位置は、上述したように、略同じ平面に配置される。並んだ基板保持位置１４０Ｓ１、１４０Ｓ１により、本明細書に記載されるように、並んだ基板保持ステーションへ／から基板を略同時にピッキングおよび配置する。

【0014】

図１Ａ～２Ｅを参照すると、たとえば半導体ツールステーション２００～２０３などの処理装置が、開示された実施形態の態様に従って示されている。半導体ツールステーションが図面に示されているが、本明細書に記載される開示された実施形態の態様は、任意のツールステーションまたはロボットマニピュレータを利用するアプリケーションに適用することができる。示される例では、ツールステーション２００、２０２、２０３はクラスタツールとして示されているが、開示された実施形態の態様は、たとえば、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、２０１３年３月１９日に発行された「ＬｉｎｅａｒｌｙＤｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＷｏｒｋｐｉｅｃｅＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＴｏｏｌ」と題された米国特許第８，３９８，３５５号明細書、および２０１１年３月８日に発行された「ＡｐｐａｒａｔｕｓａｎｄＭｅｔｈｏｄｓｆｏｒＴｒａｎｓｐｏｒｔｉｎｇａｎｄＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＳｕｂｓｔｒａｔｅｓ」と題された米国特許第７，９０１，５３９号明細書に記載されるものなどの、線形ツールステーションなどの、任意の適切なツールステーションに適用され得る。ツールステーション２００～２０３は、概して、大気フロントエンド２１１、真空ロードロック２１２、および真空バックエンド２１３を含む。他の態様では、ツールステーションは任意の適切な構成を有し得る。フロントエンド２１１、ロードロック２１２、およびバックエンド２１３の各々の構成要素は、たとえば、クラスタ化アーキテクチャ制御などの任意の適切な制御アーキテクチャの一部であり得るコントローラ２９９に接続され得る。制御システムは、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、２０１１年３月８日に発行された「ＳｃａｌａｂｌｅＭｏｔｉｏｎＣｏｎｔｒｏｌＳｙｓｔｅｍ」と題される米国特許第７，９０４，１８２号明細書に開示されるものなどの、マスタコントローラ、クラスタコントローラ、および自律リモートコントローラを有する閉ループコントローラであり得る。他の態様では、任意の適切なコントローラおよび／または制御システムが利用されてもよい。

【0015】

図２Ａを参照すると、一態様では、フロントエンド２１１は、概して、ロードポートモジュール２２０、およびたとえば、機器用フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）などの、ミニエンバイロメント２２１を含む。ロードポートモジュール２２０は、３００ｍｍのロードポートのためのＳＥＭＩ規格Ｅ１５．１、Ｅ４７．１、Ｅ６２、Ｅ１９．５またはＥ１．９、４５０ｍｍのロードポート、前面開口部または底面開口のボックス／ポッドおよびカセットのためのＳＥＭＩ規格に準拠するボックスオープナ／ローダーとツール間のスタンダード（ＢＯＬＴＳ）インターフェースであり得る。他の態様では、ロードポートモジュール２２０は、２００ｍｍ、３００ｍｍ、および／または４５０ｍｍの基板もしくはウエハのインターフェース、または、たとえば、より大きいもしくはより小さい基板またはフラットパネルディスプレイ用のフラットパネルなどの任意の他の適切な基板インターフェースとして構成されてもよい。図２Ａには３つのロードポートモジュールが示されているが、他の態様では、任意の適切な数のロードポートモジュールが、フロントエンド２１１に組み込まれてもよい。ロードポートモジュール２２０は、オーバーヘッド搬送システム、無人搬送車、有人搬送車、有軌道式無人搬送車から、または任意の他の適切な搬送方法から、基板キャリアまたはカセット２５０を受けるように構成され得る。ロードポートモジュール２２０は、ロードポート２４０を介してミニエンバイロメント２２１とインターフェース接続し得る。ロードポート２４０によって、基板カセット２５０とミニエンバイロメント２２１との間の基板の通行が可能になり得る。ミニエンバイロメント２２１は、概して、本明細書に記載される開示された実施形態の１つまたは複数の態様を組み込み得る任意の適切な大気移送ロボット２２２を含む。一態様では、ロボット２２２は、たとえば、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、米国特許第６，００２，８４０号明細書に記載されるものなどの軌道搭載型ロボットであり得る。ミニエンバイロメント２２１は、複数のロードポートモジュール間の基板転送のための制御された清浄な区域を提供し得る。

【0016】

真空ロードロック２１２は、ミニエンバイロメント２２１とバックエンド２１３との間に配置され、それらに接続され得る。なお、本明細書で使用されるような真空という用語が、基板が処理される１０^-5Ｔｏｒｒ以下などの高真空を意味し得る。ロードロック２１２は、概して、大気および真空のスロットバルブを含む。スロットバルブは、大気フロントエンドから基板を積載した後にロードロックを排気するために、および窒素などの不活性ガスを用いてロードロックを通気するときに搬送チャンバ内を真空に維持するために利用される環境分離を提供し得る。ロードロック１１０１０（またはミニエンバイロメント２２１）はまた、処理のための所望の位置に基準の基板を整列させるためのアライナを含み得る。他の態様では、真空ロードロックは、処理装置の任意の適切な場所に配置され、任意の適切な構成を有してもよい。

【0017】

真空バックエンド２１３は、概して、搬送チャンバ２１４、１つまたは複数のタンデム処理ステーション２３０（たとえば、共通のハウジング内に配置された少なくとも２つの基板保持ステーションを備えた処理ステーション）、および本明細書に記載される開示された実施形態の１つまたは複数の態様を含み得る任意の適切な真空移送ロボット２８０を含む。移送ロボット２８０は、ロードロック２１２とさまざまな処理ステーション２３０との間で基板を搬送するために移送チャンバ２１４内に配置され得る。処理ステーション２３０は、さまざまな沈着、エッチング、または他のタイプのプロセスを介して基板上で動作して、基板上に電気回路または他の所望の構造を形成し得る。典型的なプロセスは、限定されないが、プラズマエッチングまたは他のエッチングプロセスなどの真空を使用する薄膜プロセス、化学蒸着（ＣＶＤ）、プラズマ蒸着（ＰＶＤ）、イオン注入などの注入、計測、ラピッドサーマルプロセス（ＲＴＰ）、ドライストリップ原子層蒸着（ＡＬＤ）、酸化／拡散、窒化物の形成、真空リソグラフィー、エピタキシー（ＥＰＩ）、ワイヤボンダおよび蒸発、または真空圧を使用する他の薄膜プロセスを含む。処理ステーション２３０は、基板を、搬送チャンバ２１４から処理ステーション２３０に、またはその逆に通過させることを可能にするために、搬送チャンバ２１４に接続される。本態様では、処理ステーション２３０は各々、２つの並んだ基板保持ステーションを有するものとして例示されているが、図２Ｂに例示されるものなどの他の態様では、処理ステーション２３０Ａは単一の基板保持ステーションを有し得、ここで、処理ステーション２３０Ａは並んで配置されている。

【0018】

依然として図２Ａを参照すると、上記のように、搬送チャンバ２１４は、対向する処理ステーション２３０の２つの列を形成するように、各側面に沿って配置された（他の態様では、３つより多いまたは少ない処理ステーションが側面の各々に配置され得る）処理ステーション２３０のうちの３つを備えた長手方向に伸長された長方形構成を有する。なお、基板搬送装置１００が、例示目的のみで、少なくとも部分的に図２Ａの搬送チャンバ２１４内に例示され（たとえば、駆動ハウジング３２２の一部が、搬送チャンバ２１４の密閉された雰囲気の外側に配置され得る）、搬送チャンバ２１４が、搬送装置１００～１０４のいずれか１つを含み得る。一例として、図２Ｅは、搬送装置１０４が少なくとも部分的に中に配置された搬送チャンバ２１４を例示している。

【0019】

図２Ｂに例示されるものなどの他の態様では、（搬送チャンバ２１４に略類似している）搬送チャンバ２１４Ａは、搬送チャンバの各ファセットに（ロードロック２１２を含む）２つの基板保持ステーションが連結された多面的な６面構成を有する。上述したように、および図２Ｂに例示されるように、処理ステーション２３０は各々、その中に単一の基板保持ステーションを有し、搬送チャンバ２１４の異なるファセット上に対で配置されている。他の態様では、２つの基板保持ステーションを有する（図２Ａに示されるものなどの）処理ステーション２３０は、図２Ｂにおいて搬送チャンバ２１４の異なるファセット上に配置されてもよい。なお、基板搬送装置１０１が、例示目的で、少なくとも部分的に図２Ｂの搬送チャンバ２１４Ａ内に例示され、搬送チャンバが、搬送装置１００～１０４のいずれか１つを含み得る。

【0020】

図２Ｃを参照すると、図２Ａの搬送チャンバ２１４に類似した搬送チャンバ２１４Ｂが例示されている。しかし、搬送チャンバ２１４Ｂは、（１つまたは複数の）ロードロック２１２の反対側の搬送チャンバ２１４Ｂの長手方向端部に処理ステーション２３０を含む。理解され得るように、タンデム単一処理ステーション２３０のいずれか１つは、図２Ｂの処理ステーション２３０Ａのうちの２つと置き換えられ得る。なお、基板搬送装置１０２が、例示目的で、少なくとも部分的に図２Ｃの搬送チャンバ２１４Ｂ内に例示され、搬送チャンバ２１４Ｂが、搬送装置１００～１０４のいずれか１つを含み得る。

【0021】

図２Ｄを参照すると、図２Ａの搬送チャンバ２１４に略類似した搬送チャンバ２１４Ｃが例示されているが、搬送チャンバ２１４Ｃは、２つの基板保持ステーションを搬送チャンバ２１４Ｃの４つの側面の各々に連結することができる、実質的に正方形の構成を有する。図２Ｄに示される例では、処理ステーション２３０および処理ステーション２３０Ａの両方が、搬送チャンバ２１４Ｃのそれぞれの側面に連結されている。ここで、処理ステーションが（１つまたは複数の）ロードロック２１２の反対側の搬送チャンバ２１４Ｃの側面に連結されるよりもむしろ、搬送チャンバ２１４Ｃが、搬送チャンバ２１４、２１４Ａ、２１４Ｂ、２１４Ｃのいずれか１つに略類似し得る別の搬送チャンバ２１４Ｘに連通可能に連結されるように、（１つまたは複数の）他のロードロック２１２Ａが搬送チャンバ２１４Ｃに連結され得る。このようにして、基板処理ツール２０３は、任意の適切な数の搬送チャンバおよび処理ステーションを含むように線形に伸長され得る。なお、基板搬送装置１０３が、例示目的で、少なくとも部分的に図２Ｄの搬送チャンバ２１４Ｃ内に例示され、搬送チャンバが、搬送装置１００～１０４のいずれか１つを含み得る。

【0022】

図３Ａおよび３Ｂを参照すると、基板搬送装置３２０が例示されている。基板搬送装置３２０は、概して、上記の基板搬送装置１００～１０４（および搬送装置２２２）の各々を例示するものである。理解され得るように、上記のロボット搬送装置１００～１０４、２２２の各々は、少なくとも１つのトルクトランスミッションバンドによって駆動される少なくとも１つのアームリンクを含み得る。たとえば、搬送アーム１２０～１２４は、所定の減速比を有する駆動プーリ３４２およびアイドラプーリ３４４と、駆動プーリ３４２およびアイドラプーリ３４４を接続する少なくとも１つのバンド３５０、３５１とを備える駆動バンドトランスミッション３９０であって、それぞれ伸長３９９または収縮３９８のエンドエフェクタストロークを介してエンドエフェクタ１４０、１４０Ａ、１４０Ｂ、１４１、１４２を移動させる搬送アーム１２０～１２４を伸長および収縮させる駆動バンドトランスミッション３９０を有する。伸長ストローク３９９および収縮ストローク３８９の各々は、搬送アーム１２０～１２４を伸長または収縮させ、（たとえば、図２Ａに例示される）対応するエンドエフェクタストロークを介してエンドエフェクタ１４０、１４０Ａ、１４０Ｂ、１４１、１４２を移動させるアーム運動ストロークとして言及され得る。以下でより詳細に説明されるように、少なくとも１つのバンド３５０、３５１は、（少なくとも１つのバンド３５０、３５１が接続されている）プーリ３４２、３４４（すなわち、接続されたプーリ）のうちの少なくとも１つの周りに巻かれ、そして、少なくとも１つのバンド３５０、３５１は、それ自体に対して（またはその上に）重ねられ（たとえば、図４Ｂ、４Ｃ、７、９Ｂ、１０Ｂ、１３、１６を参照）、そして、トランスミッションは、エンドエフェクタのエンドエフェクタ中間ストロークの回転位置ＭＩＤ（図２Ａ）からエンドエフェクタの最大ストロークの回転位置ＭＡＸ（図２Ａ）までの約＋／－１８０°を超える、リスト軸ＷＸを中心にした、少なくとも１つの関節式アームリンク（たとえば、アッパーアームリンク３２６またはフォアアームリンク３２８）に対する、エンドエフェクタ１４０、１４０Ａ、１４０Ｂ、１４１、１４２の回転ＲＲを生成する。一態様では、最大伸長ストローク（最大ストロークの回転位置ＭＡＸ（図２Ａ）など）と最大収縮ストロークＭＡＸＲ（図２Ａ）との間の１４０、１４０Ａ、１４０Ｂ、１４１、１４２からのエンドエフェクタの回転ＲＲは、少なくとも約＋／－３００°である（およびいくつかの態様では約＋／－３６０°を超える）。

【0023】

図３Ａおよび３Ｂに例示されるように、本明細書に記載されるものなどのロボット搬送装置における使用のための例示的なトルクトランスミッションバンド構成が、本明細書に記載される搬送装置のいずれか１つの典型であるロボット搬送装置３２０に関する開示された実施形態の態様に従って例示されている。図３Ａおよび３Ｂで見られるように、ロボット搬送装置３２０は、一態様では駆動ハウジング３２２を形成する、任意の適切なフレーム１１０Ｆに取り付けられた搬送アーム３２４を含むが、他の態様では、駆動ハウジング３２２は任意の適切な方法でフレーム１１０Ｆに連結される。一態様では、搬送アーム３２４は、スカラアームであり得、近位端および遠位端を有するアッパーアーム３２６と、近位端および遠位端を有するフォアアーム３２８と、１つまたは複数の基板を上に保持するように構成された少なくとも１つの基板支持体またはエンドエフェクタ３３０を含み得る。アッパーアーム３２６の近位端は、ショルダ関節３３２でベース３２２に回転可能に接続されている。フォアアーム３２８の近位端は、エルボ関節３３４でアッパーアーム３２６の遠位端に回転可能に接続されている。１つまたは複数の基板支持体３３０は、リスト関節３３６でフォアアーム３２８の遠位端に回転可能に接続され得る。本明細書に例示されるスカラアームに加えて、開示された実施形態の態様で利用され得るアーム構成の他の例としては、限定されないが、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、２００８年５月８日に出願された「ＳｕｂｓｔｒａｔｅＴｒａｎｓｐｏｒｔＡｐｐａｒａｔｕｓｗｉｔｈＭｕｌｔｉｐｌｅＭｏｖａｂｌｅＡｒｍｓＵｔｉｌｉｚｉｎｇａＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｗｉｔｃｈＭｅｃｈａｎｉｓｍ」と題される米国特許出願番号第１２／１１７，４１５号、および２０１３年２月１１日に出願された「ＳｕｂｓｔｒａｔｅＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＡｐｐａｒａｔｕｓ」と題される国際特許出願番号ＰＣＴ／ＵＳ２０１３／０２５５１３に記載されるアーム構成の他に、２０１９年１２月２日に出願され、「ＳｕｂｓｔｒａｔｅＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＡｐｐａｒａｔｕｓ」と題された、米国仮特許出願番号第６２／９４２，５４４号に記載される「デュアルヨー」移送アーム、またはベルトおよび／またはバンドが、駆動セクション内に配置されているかどうか（たとえば、シャフト配置を駆動させる並んだモータの場合と同様）および／またはアームリンク内に配置されているかどうかにかかわらず、搬送アームの操作のためにトルクを１つのプーリから別のプーリに伝達するためのベルトおよび／またはバンドを使用する、任意の他の適切な搬送アームが挙げられる。開示された実施形態の態様が適用され得るトルクトランスミッションバンドの適切な例としては、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、２０１４年８月２６日に出願され、「ＳｕｂｓｔｒａｔｅＴｒａｎｓｐｏｒｔＡｐｐａｒａｔｕｓ」と題された、米国特許出願番号第１４／４６９，２６０号、１９９８年７月１４日に発行され、「ＲｏｂｏｔｉｃＪｏｉｎｔＵｓｉｎｇＭｅｔａｌｌｉｃＢａｎｄｓ」と題された、米国特許第５，７７８，７３０号明細書、および１９９７年１１月４日に発行され、「ＲｏｂｏｔｉｃＪｏｉｎｔＵｓｉｎｇＭｅｔａｌＢａｎｄｓ」と題された、米国特許第５，６８２，７９５号明細書に記載されるものが挙げられ得る。

【0024】

駆動ハウジング３２２は、それぞれの駆動シャフトを駆動させるように構成された１つまたは複数のサーボまたはモータ３７０Ｍ、３７１Ｍを含み得る。搬送駆動ハウジング３２２は、上記のものなどの任意の適切な大気または真空ロボット搬送に利用され得る。駆動セクション１１０は、少なくとも１つの駆動シャフト３３９、３４０が少なくとも部分的に中に配置された駆動ハウジング３２２を含み得る。理解され得るように、２つまたは３つ以上の駆動シャフトが存在する場合、駆動シャフトは、同軸または並んだ配置などの任意の適切な配置を有し得る。２つの駆動シャフト３３９、３４０が図３Ａに例示されているが、他の態様では、駆動セクション１１０は任意の適切な数の駆動シャフトを含み得る。駆動シャフト３３９、３４０は、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、２０１２年１０月９日に発行された「ＲｏｂｏｔＤｒｉｖｅｗｉｔｈＭａｇｎｅｔｉｃＳｐｉｎｄｌｅＢｅａｒｉｎｇｓ」と題された米国特許第８，２８３，８１３号明細書および２０１１年８月３０日に発行された「ＳｕｂｓｔｒａｔｅＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＡｐｐａｒａｔｕｓｗｉｔｈＭｏｔｏｒｓＩｎｔｅｇｒａｌｔｏＣｈａｍｂｅｒＷａｌｌｓ」と題された米国特許第８，００８，８８４号明細書に記載される方法などの任意の適切な方法で、駆動ハウジング３２２内に機械的に支持され得るか、または（たとえば、実質的に非接触で）磁気的に懸架され得る。駆動セクション１１０の各駆動シャフト３３９、３４０は、それぞれのモータ３７０Ｍ、３７１Ｍによって駆動され得、ここで、各モータはステータＳＴＡＴおよびロータＲＯＴを含む。本明細書に記載される駆動モータが、永久磁石モータ、可変リラクタンスモータ（対応するコイルユニットを備えた少なくとも１つの突極および透磁性材料の少なくとも１つの突極を有する少なくとも１つのそれぞれのロータを有する）、または任意の他の適切な駆動モータであり得ることが留意される。（１つまたは複数の）ステータは、少なくとも部分的に駆動ハウジング３２２内に固定され得、（１つまたは複数の）ロータは、任意の適切な方法で、それぞれの駆動シャフト３３９、３４０に固定され得る。一態様では、（１つまたは複数の）ステータＳＴＡＴは、（１つまたは複数の）搬送アーム３２４が任意の適切な隔離壁またはバリアの利用を介して動作する雰囲気から密閉されている「外部」または「非密閉」環境（（１つまたは複数の）搬送アームが動作する雰囲気が、本明細書では、真空または任意の他の適切な環境であり得る「密閉」環境と呼ばれる）に配置され得、一方で、（１つまたは複数の）ロータＲＯＴは密閉環境内に配置される。本明細書で使用されるような「隔離壁」という用語が、ロボットドライブおよび／または（ドライブに関連づけられた）センサの可動部品とロボットドライブおよび／またはセンサの対応する固定部品との間に配置され得る、任意の適切な非強磁性材料から作られた壁を指し得ることが留意される。ここで、第１の駆動シャフト３３９は、ショルダ関節３３２を中心にしたアッパーアーム３２６の回転を駆動させるために、モータ３７０Ｍ、３７１Ｍの１つに駆動的に接続され得る。（本態様では第１の駆動シャフトと同心である）第２の駆動シャフト３４０は、エルボ関節３３４を中心にしたフォアアーム３２８の回転を駆動させるために、モータ３７０Ｍ、３７１Ｍのもう１つに駆動的に接続され得る。アームリンクの各々（たとえば、アッパーアーム、フォアアーム、および／またはエンドエフェクタ）を駆動させるためのモータ３７０Ｍ、３７１Ｍが、任意の適切な方法で、ロボット搬送装置３２０の基板ピッキングおよび基板配置の操作を制御するためのコントローラ１１０９１などの任意の適切なコントローラに接続され得ることが留意される。

【0025】

図３Ａおよび３Ｂで見られるように、第１のプーリ３４２が、たとえば、ショルダ関節３３２で駆動シャフト３４０に接続され、それにより、駆動シャフト３４０が回転すると、第１のプーリ３４２は駆動シャフト３４０と共に回転する。第２のプーリ３４４が、たとえば、エルボ関節３３４で（たとえば、任意の適切なベアリングＢ１を使用して）シャフトＳ１に回転可能に取り付けられ、（アッパーアーム３２６に固定され得る）シャフト３５４などによって、任意の適切な方法でフォアアーム３２８に接続され、それにより、第２のプーリ３４４が回転すると、フォアアーム３２８は第２のプーリ３４４と共に回転する。理解され得るように、第１のプーリおよび第２のプーリは、一態様で、プーリが同じ直径または異なる直径を有し得る（たとえば、駆動プーリが従動プーリより小さいか、またはその逆である）ように、互いに対して任意の適切な直径（たとえば駆動比）を有し得る。また理解され得るように、第１のプーリ３４２および第２のプーリ３４４は、それぞれ、駆動プーリおよび従動プーリであり得る。第２のプーリ３４２は、１つまたは複数のトルクトランスミッションバンド３５０（２つのトルクトランスミッションバンド３５０、３５１が図３Ａおよび３Ｂに例示されている）などによって、任意の適切な方法で第１のプーリ３４２に連結され得る。トルクトランスミッションバンドは、トルクを第１のプーリ３４２から第２のプーリ３４４に伝達することができる任意の適切な材料で構成され得る。一態様では、トルクトランスミッションバンドは、任意の適切な金属で構成された金属バンドであり得る。

【0026】

上記のように、トルクトランスミッションバンド３５０、３５１は、二重の対向するバンドを形成し、ここで、各トルクトランスミッションバンドの少なくとも一端は、それ自体に対して重ねられて、たとえば、上記のものなどの従来の搬送アームと比較して、より大きな関節角度の回転をもたらす。図４Ａ～４Ｃは、図３Ａの駆動または第１のプーリ３４２および従動または第２のプーリ３４４に関する例示的なバンドおよびプーリの構成を例示しているが、図４Ａ～４Ｃに例示されているバンドおよびプーリの配置が、本明細書に記載される搬送装置の任意のバンドおよびプーリの配置の典型であり得ることが留意される。図４Ａで見られるように、プーリ４４２、４４４の各々は、略円形の構成を有するが、他の態様では、以下でより詳細に説明されるように、プーリはカム付き円周プロファイルを有してもよい。また理解され得るように、プーリ４４２、４４４は、実質的に１：１の駆動比を有するものとして例示されているが、他の態様では、本明細書で留意されるように任意の適切な駆動比が提供され得る。各プーリ４４２、４４４は、プーリ対を備え得、上部プーリ部分４４２Ｔ、４４４Ｔおよび下部プーリ部分４４２Ｂ、４４４Ｂを含み得る。いくつかの態様では、上部プーリ部分４４２Ｔ、４４４Ｔは、それぞれの下部プーリ部分４４２Ｂ、４４４Ｂとは別個で異なり、ここで、上部プーリ部分４４２Ｔは下部プーリ部分４４２Ｂの上に積み重ねられて、プーリ４４２を形成し、上部プーリ部分４４４Ｔは下部プーリ部分４４４Ｂの上に積み重ねられて、プーリ４４４を形成する。別個で異なる上部プーリ部分および下部プーリ部分を有することで、単一のモノリシックプーリの周りのそれぞれの対向するバンドの両方の巻き付けと比較して、それぞれのプーリ部分の周りの対向するバンドの巻き付けが容易になり得る。理解され得るように、積み重ねられた上部プーリ部分４４２Ｔ、４４４Ｔおよびそれぞれの下部プーリ部分４４２Ｂ、４４４Ｂは、上部プーリ部分４４２Ｔ、４４４Ｔおよびそれぞれの下部プーリ部分４４２Ｂ、４４４Ｂの両方が、それぞれの回転軸を中心に互いにユニットとし回転し、単一のモノリシックプーリとして作用するように互いに連結され得る。積み重ねられた上部プーリ部分４４２Ｔ、４４４Ｔおよびそれぞれの下部プーリ部分４４２Ｂ、４４４Ｂではまた、たとえば、プーリの各レベルで実質的に反対のカムプロファイルを有する二重レベルの単一のモノリシックプーリの製造コストと比較して、非円形プーリなどに伴う製造コストが削減され得る。

【0027】

依然として図４Ａ～４Ｃを参照すると、トルクトランスミッションバンド３５０、３５１は、プーリ３４２、３４４の周りに連続的な円形ベルトを形成しなくてもよい。むしろ、トルクトランスミッションバンド３５０の一端は、第１のプーリ３４２の周りに少なくとも部分的に（たとえば、時計回り方向に）巻かれ、取り付けられ得、一方で、トルクトランスミッションバンド３５０の他端は、第２のプーリ３４４の周りに少なくとも部分的に（たとえば、反時計回り方向に）巻かれ、取り付けられ得る。トルクトランスミッションバンド３５０の端部は、本明細書でより詳細に説明されるように、ピンまたは任意の他の適切な取り外し可能または取り外し不可能な化学的または機械的な留め具などを用いて、任意の適切な方法でそれぞれのプーリ３４２、３４４に取り付けられ得る。トルクトランスミッションバンド３５０に略類似した第２のトルクトランスミッションバンド３５１は、トルクトランスミッションバンド３５０に関して上記した方法に略類似した方法で、その端部がプーリ３４２、３４２に取り付けられ得るが、トルクトランスミッションバンド３５１がプーリ３４２、３４４の周りに巻かれる方向は、逆にされ得る（たとえば、トルクトランスミッションバンド３５１の一端はプーリ３４２の周りに反時計回り方向に巻かれ、トルクトランスミッションバンド３５１の他端はプーリ３４４の周りに時計回り方向に巻かれる）。このデュアルトルクトランスミッションバンド構成では、どちらのトルクトランスミッションバンドも緩むことがないように、両方のトルクトランスミッションバンド３５０、３５１を一定の張力下に置く。

【0028】

上述したように、各トルクトランスミッションバンド３５０、３５１の少なくとも一端は、それ自体に対して重ねられるため、トランスミッションは、エンドエフェクタ（または他の関節式アームリンク）の中間ストロークの回転位置ＭＩＤ（図２Ａ）からエンドエフェクタ（または他の関節式アームリンク）の最大ストロークの回転位置ＭＡＸ（図２Ａ）までの約１８０°を超えるそれぞれの関節枢動軸を中心にした、別の関節式アームリンクに対する、エンドエフェクタ（またはバンド／プーリのトランスミッションによって回転駆動される他の関節式アームリンク）の回転を生成する。プーリ３４２などのプーリ上に重ねられているバンド３５１などのバンドは、図４Ｂおよび４Ｃにおいて、重なりを明確にするために強調されたバンドピッチと共に例示されている。図４Ｂおよび４Ｃで見られるように、開示された実施形態のいくつかの態様では、少なくとも１つのバンド３５０、３５１は、バンドラップ（band wrap）がそれぞれのプーリ上でそれ自体の上に螺旋状になるように重ねられる。それぞれのプーリへのバンド３５１（または本明細書に記載される他のバンド）の重なりを促進するために、バンド３５１とプーリ３４２との間の連結は、（本明細書でより詳細に説明されるように）プーリ３４２の外周バンド着座面ＰＳＳ（図４Ｃ）からプーリの内部に移動させられ得、ここで、図４Ｃで見られるように、バンド３５１の端部３５１Ｅが、バンド通路ＢＰを通ってプーリ３４２の内部に入る。

【0029】

再び図３Ａおよび３Ｂを参照すると、理解され得るように、基板支持体３３０は、たとえば、本明細書に記載されるトルクトランスミッションバンドおよびプーリトランスミッションなどの任意の適切なトランスミッションを使用して従属させられ得、それにより、基板支持体３３０の長手方向軸３３０Ｘが、ロボットアーム３２４の伸長および収縮の軸と整列させられたままになる。たとえば、図３Ｂを参照すると、第１のプーリ３４２’は、シャフトＳ１に固定され、少なくとも部分的にフォアアーム３２８内に伸長し得る。第２のプーリ３４４’は、任意の適切なベアリングＢ２を使用して、（フォアアーム３２８に固定され得る）シャフトＳ２などのリスト関節３３６に回転可能に取り付けられ得る。第２のプーリ３４４’は、第２のプーリ３４４’が回転するとエンドエフェクタ３３０が第２のプーリ３４４’と共に回転するように、シャフト３５４’などを用いて任意の適切な方法でエンドエフェクタ３３０に接続され得る。フォアアーム３２８とアッパーアーム３２６との間の相対運動が第２のプーリ３４４’の回転を引き起こし、それによって順に、アッパーアームおよびフォアアームに対してエンドエフェクタ３３０を回転させ、それにより、エンドエフェクタの長手方向軸３３０Ｘが伸長および収縮の軸と整列したままになるように、トルクトランスミッションバンド３５０、３５１に略類似したトルクトランスミッションバンド３５０’、３５１’によって第１のプーリ３４２’を第２のプーリ３４４’に連結し得る。他の態様では、フォアアームに関して本明細書に記載された方法に略類似した方法で、リスト関節３３６を中心にした基板支持体３３０の回転を駆動させるために、第３のモータおよび駆動シャフトがロボット搬送装置３２０に追加されてもよい。

【0030】

理解され得るように、再び図３Ａを参照すると、基板ホルダ３３０は、両側エンドエフェクタ（たとえば、エンドエフェクタの回転軸またはリスト関節の対向する両側に１つまたは複数の基板を保持することができるエンドエフェクタ）として例示されているが、他の態様では、本明細書に記載される搬送アームの基板ホルダは、たとえば、片側エンドエフェクタ、バッチエンドエフェクタ（たとえば、積み重ねられてまたは並んで２つ以上の基板を保持することができるエンドエフェクタ）またはそれらの組み合わせなどの任意の適切な構成を有し得る。また理解され得るように、搬送アーム３２４のアッパーアーム３２６およびフォアアーム３２８のリンクは、バンドおよびプーリによって生成された粒子がアームリンクの外側に移送されないように搬送アームが動作する環境から、アームリンクの内部を密閉またはそうでなければ隔離するための任意の適切なカバーＣ１、Ｃ２を有し得る。

【0031】

ここで図３Ｃを参照すると、理解され得るように、本明細書に記載されるロボット搬送装置の任意の適切なアームリンクは、本明細書に記載されるものなどのトルクトランスミッションバンドによって従属および駆動され得る。たとえば、再び本明細書に記載される搬送装置のいずれか１つを例示し、表し得る、図３Ｃに例示されるロボット搬送装置は、第１またはアッパーアームリンク１７２１と第１のアームリンク１７２１に回転可能に取り付けられた第２またはフォアアームリンク１７２２とを有するアーム１７２０を含む。アームリンクは、上記の駆動セクション１１０に略類似し得る任意の適切な駆動セクション１７００によって駆動され得る。本態様では、駆動セクション１７００は、各々がそれぞれの駆動モータ（図示されないが、各モータは図３Ａおよび３Ｂに関して上記したものに略類似し得る）によって駆動される内側駆動シャフト１２６２、中間駆動シャフト１２６１、および外側駆動シャフト１２６０を有する同軸駆動シャフト構成を含む。外側駆動シャフト１２６０は、外側駆動シャフト１２６０が回転すると第１のアームリンク１７２１も共に回転するように、（ショルダ軸ＳＸと同軸であり得る）駆動回転軸Ｘを中心に第１のアームリンク１７２１に連結され得る。第２のアームリンク１７２２は、たとえば、ベースアーム１７２０が伸長および収縮させられる（たとえば、単一の駆動モータがアーム１７２０の伸長および収縮を引き起こす）と、第２のアームリンク１７２２のショルダ軸ＳＸが略直線経路に沿って移動するように制約されるように、駆動セクション１７００（または任意の他の適切な位置）のハウジング１７０１に従属され得る。たとえば、第１のプーリ１７８０は、駆動回転軸Ｘと略同心円状に取り付けられ得、たとえば、第１のプーリ１７８０が第１のアームリンク１７２１に対して回転可能に固定されるように、任意の適切な方法で駆動セクション１７００（または搬送装置の任意の他の適切な部分）のハウジング１７０１に接地され得る。他の態様では、第１のプーリ１７８０は、任意の適切な方法で回転可能に固定されてもよい。従属されたまたは第２のプーリ１７８３が、任意の適切なベアリングＥＸＢなどによって、任意の適切な方法でアーム１７２０のエルボ軸ＥＸに回転可能に取り付けられ得る。第２のプーリ１７８３は、たとえば、第２のプーリ１７８３が回転すると第２のアームリンク１７２２も共に回転するように、シャフト１７６３によって第２のアームリンク１７２２に連結され得る。プーリ１７８０、１７８３は、本明細書に記載されるものなどのトルクトランスミッションバンド１７９１などによって、任意の適切な方法で互いに連結され得る。一態様では、プーリ１７８０、１７８３は、プーリのいずれかの端部で終端された少なくとも２つのトルクトランスミッションバンドで互いに連結され得、その後、上記のように緩みおよびバックラッシュを実質的に排除するために互いに対して張力をかけられ得る。他の態様では、プーリ７８０、７８３を連結するために、任意の適切なトランスミッション部材が使用されてもよい。

【0032】

本態様では、外側シャフト１２７１および内側シャフト１２７０を有する同軸スピンドル（駆動シャフト構成）が、第２のアームリンク１７２２のショルダ軸ＳＸに配置され得る。外側シャフト１２７１は、たとえば、任意の適切な方法で中間駆動シャフト１２６１によって駆動され得る。たとえば、プーリ１７８１は、駆動シャフト１２６１が回転するとプーリ１７８１も共に回転するように、中間駆動シャフト１２６１に連結され得る。アイドラプーリ１７８４が、エルボ軸ＥＸを中心にした回転のために第１のアームリンク１７２１内に配置され得る。アイドラプーリ１７８４は、アイドラプーリ１７８４が回転するとシャフト１７６５も共に回転するように、シャフト１７６５に連結され得る。シャフト１７６５およびプーリ１７８４は、任意の適切なベアリングＥＸＢなどを用いて任意の適切な方法で支持され得る。アイドラプーリ１７８４は、本明細書に記載されるものに略類似した任意の適切なトランスミッション１７９０などを介して任意の適切な方法でプーリ１７８１に連結され得る。第２のアイドラプーリ１７８７も、プーリ１７８４と１７８７とが一斉に回転するように、第２のアームリンク１７２２内のシャフト１７６５に連結され得る。ショルダプーリ１７８９が、シャフト１２７１とショルダプーリ１７８９とが一斉に回転するように、シャフト１２７１に連結され得る。第２のアイドラプーリ１７８７は、本明細書に記載されるものに略類似した任意の適切なトランスミッション１７９４などを介して、任意の適切な方法でショルダプーリ１７８９に連結され得る（たとえば、ここで、アイドラプーリ１７８７はショルダプーリ１７８９に関する駆動プーリと呼ばれ、ショルダプーリ１７８９はプーリ１７８７に関するアイドラプーリと呼ばれ得る）。一態様では、トランスミッション１７９４の少なくとも１つのバンドは、プーリ１７８９の周りにそれ自体に対して重ねられる。

【0033】

同軸スピンドルの内側シャフト１２７０は、たとえば、任意の適切な方法で内側駆動シャフト１２６２によって駆動され得る。たとえば、プーリ１７８２は、駆動シャフト１２６２が回転するとプーリ１７８２も共に回転するように、内側駆動シャフト１２６２に連結され得る。アイドラプーリ１７８５が、エルボ軸ＥＸを中心にした回転のために第１のアームリンク１７２１内に配置され得る。アイドラプーリ１７８５は、アイドラプーリ１７８５が回転するとシャフト１７６４も共に回転するように、シャフト１７６４に連結され得る。シャフト１７６４およびプーリ１７８５は、任意の適切なベアリングＥＸＢなどを用いて任意の適切な方法で支持され得る。アイドラプーリ１７８５は、本明細書に記載されるものに略類似した任意の適切なトランスミッション１７９２などを介して任意の適切な方法でプーリ１７８２に連結され得る。第２のアイドラプーリ１７８６も、プーリ１７８５と１７８６とが一斉に回転するように、第２のアームリンク１７２２内のシャフト１７６４に連結され得る。ショルダプーリ１７８８は、シャフト１２７０とショルダプーリ１７８８とが一斉に回転するように、内側シャフト１２７０に連結され得る。第２のアイドラプーリ１７８６は、本明細書に記載されるものに略類似した任意の適切なトランスミッション１７９３などを介して、任意の適切な方法でショルダプーリ１７８８に連結され得る（たとえば、ここで、アイドラプーリ１７８６はショルダプーリ１７８８に関する駆動プーリと呼ばれ、ショルダプーリ１７８８はプーリ１７８６に関するアイドラプーリと呼ばれ得る）。一態様では、トランスミッション１７９３の少なくとも１つのバンドは、プーリ１７８８の周りにそれ自体に対して重ねられる。

【0034】

プーリ１７８０～１７８９の１つまたは複数が、本明細書に記載されるものに略類似し得ることが留意される。たとえば、いくつかの態様では、プーリ１７８０～１７８９の１つまたは複数は、円形または非円形の形状を有し得る。いくつかの態様では、プーリ１７８０～１７８９の１つまたは複数は、一緒に連結されて積み重ねられたまたは対になったプーリを形成する、上部プーリ部分および下部プーリ部分を有し得る。理解され得るように、トランスミッション１７９０～１７９４のバンドは、本明細書に記載される方法でそれ自体に対して重ねられるように、それぞれの連結されたプーリの１つまたは複数の周りに巻かれ得る。

【0035】

理解され得るように、一態様では、（本明細書に記載されるものなどの）任意の適切な（１つまたは複数の）エンドエフェクタＥＥ１、ＥＥ２は、プーリ１７８８、１７８９の回転により、（１つまたは複数の）エンドエフェクタＥＥ１、ＥＥ２が関節枢動軸（たとえば、リスト軸ＷＸ）を中心に回転するように、任意の適切な方法でシャフト１２７０、１２７０に取り付けられ得る。ここで、エンドエフェクタの各々は、互いに対する関節枢動軸（たとえば、リスト軸ＷＸ）を中心にした独立した回転のために、それぞれのプーリ１７８８、１７８９に別々に接続される。

【0036】

別の態様では、アーム１７２０が、開示全体が引用により前に本明細書に組み込まれた、「ＳｕｂｓｔｒａｔｅＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＡｐｐａｒａｔｕｓ」と題され、２０１３年２月１１日に出願された、国際特許出願番号ＰＣＴ／ＵＳ２０１３／０２５５１３に記載されるように、移送アーム１２１４を、たとえば、細長い搬送チャンバに通して搬送するための「ブーム」または「ベース」タイプのアームとして構成されるように、任意の適切な移送アーム１２１４（たとえば、任意の適切な数のアームリンクおよびエンドエフェクタを有する、本明細書に記載されるものなど）がシャフト１２７０、１２７０に取り付けられ得る。たとえば、図３Ｄを参照すると、自動化モジュールまたは移送モジュール２０３０が、開示された実施形態の態様に従って例示され、ここで、基板が、基板のシングルタッチで自動化モジュール２０３０を介して処理ツールモジュール２０２５、２０２６、２０４０間で移送される。処理ツールモジュールは、自動化モジュール２０３０のポート２０３０Ｐ１～２０３０Ｐ６などを介して任意の適切な方法で（たとえば、並んで、上下に積み重ねられて、および／または他の任意の適切な配置で）自動化モジュール２０３０に連結され得る。自動化モジュール２０３０は移送ロボット２０８０を含む。一態様では、移送ロボット２０８０は、上記のものに略類似し得る駆動セクション２０８１を含み得る。ブームまたはベースアーム２０８２Ｂが駆動セクション２０８１に回転可能に取り付けられ得、１つまたは複数のそれぞれの基板ホルダ２０８３を有する１つまたは複数のマルチリンクアーム２０８２が、ショルダ軸ＳＸでベースアーム２０８２Ｂに回転可能に取り付けられ得る。駆動セクション２０８１は、（１つまたは複数の）アーム２０８２が、矢印の方向２４００に（たとえば、自動化モジュール２０３０および／または真空トンネルの長手方向軸に沿って）、また基板を自動化モジュール２０３０の両側面に移送するための矢印の方向２４０１に基板を移送することができるように、（１つまたは複数の）アーム２０８２および（１つまたは複数の）エンドエフェクタ２０８３をユニットとしてショルダ軸ＳＸを中心に回転させるように構成され得る。理解され得るように、ベースアーム２０８２Ｂは、１つまたは複数のマルチリンクアーム２０８２およびそれらのエンドエフェクタを自動化モジュール２０３０の長さに沿って方向２４００に搬送するために軸ＢＸを中心に回転させることができる。

【0037】

再び図３Ｃを参照すると、本明細書に記載される搬送装置のいずれか１つまたは複数は、任意の適切なＺ軸駆動部１２０３を含み得る。Ｚ軸駆動部１２０３は、移送アームを、搬送アームの伸長／収縮の軸に略垂直な方向１７９９に移動させるように構成され得る。

【0038】

再び図４Ａ～４Ｃを参照すると、開示された実施形態の態様は、バンドが接続されているプーリの少なくとも１つの周りを、１回転を超えて巻くための各バンドを提供する。バンド３５１がそれ自体に対して重ねられるようにプーリ３４２の周りに１回転を超えて巻かれたバンド３５１の例が、図４Ｂおよび４Ｃに概略的に例示されており、本明細書に記載される他のバンドが、図４Ａ～４Ｃに関して記載される方法に略類似した方法で、それぞれのプーリの周りを巻き得る。また上述のように、プーリ３４２、３４４（プーリが２個のプーリである場合には上部および下部３４２Ｔ、３４２Ｂ、３４４Ｔ、３４４Ｂを含む）は、略円形の構成を有するものとして例示されているが、他の態様では、プーリは、プーリの回転角度に基づくカム付き円周プロファイル（たとえば、非円形プーリを形成する可変直径）を有し得、それにより、運動出力（たとえば、プーリの周りからのバンドの解放／展開）および運動入力（たとえば、プーリの周りのバンドの取り入れ／巻き）が、（たとえば、プーリの周りのバンドラップによって形成され得る階段状のプーリ表面上のバンドの移動によって引き起こされる振動の誘発を実質的に最小限に抑えるように）スムーズになる。一態様では、プーリのカム付き円周プロファイルは、対向するバンドにおける定常状態または略一定の張力およびプーリ間の定常状態または（たとえば、約１％未満の変動を有する）略一定の駆動比を維持する（本明細書でより詳細に記載されるような）コンペンセータを形成し得る。たとえばプーリ３４２、３４４（プーリが２個のプーリである場合には上部および下部３４２Ｔ、３４２Ｂ、３４４Ｔ、３４４Ｂを含む）などのプーリの１つまたは複数が非円形プーリである場合、プーリ３４２、３４４間の駆動比は可変駆動比であり得る。必要に応じて、駆動比の任意の変動性はコントローラ２９９によって解決され得、ここで、可変駆動比は、コントローラ２９９によってモデル化され、補償され得る（たとえば、解消され得る）（たとえば、コントローラは、駆動比レゾルバを形成するか、またはそうでなければ含む）。たとえば、非円形プーリまたはスプロケットは、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、「ＮｏｎｃｉｒｃｕｌａｒＤｒｉｖｅ」と題された、１９８９年９月１２日に発行された、米国特許第４，８６５，５７７号明細書に記載されている。ロボットハンドリング装置の当業者は、米国特許第４，８６５，５７７号明細書に基づいて、本明細書に記載される搬送アームおよびロボットのモーションコントロールに関して当業者に知られているものの可変駆動比をモデル化し、対応するモーションコントロールを生成する方法を理解するであろうから、モデル化およびモーションコントロールの生成についてのさらなる議論が本明細書から省略される。理解され得るように、共通のバンドに連結されている本明細書に記載されるプーリはいずれも、本明細書に記載されるような可変駆動比を有し得る一方で、他の態様では、略一定の駆動比を有し得る。

【0039】

また図４Ｄを参照すると、いくつかの態様では、プーリ（プーリ３４２など）の外周バンド着座面ＰＳＳおよびバンド（バンド３５１など）は湾曲され得る（たとえば、図４Ｄで凹状の湾曲が例示されているが、他の態様において、湾曲は凸状であってもよい）。外周バンド着座面ＰＳＳおよびバンドにおけるこの湾曲は、プーリの軸方向４７７におけるバンドの軸方向滑りを実質的に防止するように、プーリに対するバンドの自己追跡／位置合わせを容易にし得る。

【0040】

図４Ａ、４Ｃ、５Ａ、５Ｂ、６、および７を参照して、プーリへのバンドの１つの例示的な連結が、開示された実施形態の態様に従って説明される。なお、バンド３５１と上部プーリ部分３４２Ｔとの間の接続が例示目的のみで記載され、本明細書に記載される接続が、本明細書に記載されるプーリ／プーリ部分およびバンドのいずれに対しても利用され得ることが留意される。プーリが非円形である場合などのいくつかの態様では、各下部プーリ部分が、プーリの周りの対向するバンドラップの長さの変化を考慮するために、本明細書に記載されるそれぞれの上部プーリ部分に略類似しているが、逆手であり得ることも留意される。図４Ａ、４Ｃ、５Ａ、および７に見られるように、上部プーリ部分３４２Ｔは、外周バンド着座面ＰＳＳから上部プーリ部分３４２Ｔの（たとえば、外周バンドの内部に位置する）内部の開口５１０まで伸長するバンド通路ＢＰを含む。バンド通路ＢＰは、内壁ＢＰＷ１（たとえば、プーリの中心に最も近いバンド通路ＢＰの側）および外壁ＢＰＷ２（たとえば、外周バンド着座面ＰＳＳに最も近いバンド通路ＢＰの側）を有するように、上部プーリ部分３４２Ｔに形成される。バンド通路ＢＰは、外周バンド着座面ＰＳＳに開口しており、それにより、内壁ＢＰＷ１は、外周バンド着座面ＰＳＳからバンド通路ＢＰへのバンド３５１のスムーズな移行を提供するように、外周バンド着座面ＰＳＳに実質的に接している。バンド通路ＢＰは、円弧状経路に沿って開口５１０に伸長し、ここで、バンド通路ＢＰと外周バンド着座面ＰＳＳとの間の距離は、円弧状経路に沿って開口５１０に向かって増加する。

【0041】

図５Ａに見られるように、バンド通路ＢＰは、開口５１０に開口しており、それにより、バンド３５１の端部３５１Ｅ１は、少なくとも部分的に開口５１０内に伸長する。バンド３５１の端部３５１Ｅはリテーナ開口６００を含む。プーリ５４２は、バンド３５１のリテーナ開口６００を通って伸長するようにバンド通路ＢＰおよび開口５１０の１つまたは複数の少なくとも一部を横切って交差する方向に伸長する、リテーナ部材５３０（図５Ｂ、６および７）を受容するように構成された、交差開口５０１を含む（図５Ｂ、６、および７を参照）。バンド端部３５１Ｅが少なくとも部分的に開口５１０に挿入され、リテーナ部材５３０が交差開口５０１およびリテーナ開口６００の両方を通って伸長すると、バンド３５１は、リテーナ部材５３０がバンド３５１の端部３５１Ｅを上部プーリ部分３４２Ｔに固定するため、バンド通路から引き抜かれることが実質的に防止される。リテーナ部材５３０は、バンド３５１が本明細書に記載されるように対向するバンド３５０に対して張力がかけられている場合などに、少なくともバンド３５１によってリテーナ部材５３０に加えられる張力によって所定の位置に保持され得る。リテーナ部材５３０は、ピン、クリップ、ボルトなどの任意の適切なリテーナであり得る。

【0042】

図７に見られるように、バンド３５１が、プーリ３４２の外周バンド着座面ＰＳＳに着座されている状態からそれ自体に着座される状態に移行する（すなわち、バンドラップがそれ自体を包み、包まれた（内側）バンドラップは、内側バンドラップに着座された（プーリ軸に対して半径方向の）外側バンドラップを有する）、バンド通路ＢＰの出口７５０において、バンドラップ層の間に形成されるステップが実質的にないように、バンド通路ＢＰは、バンド３５１の幅６２０（図６も参照）よりもわずかに大きい内壁ＢＰＷ１と外壁ＢＰＷ２との間の幅７００を有している。バンド通路ＢＰの出口７５０でのこの実質的にステップのない移行によって、バンド３５１を支持し、上部プーリ部分３４２Ｔからのバンド３５１の巻き付きおよび巻き付き解除によって生成され得る振動のレベルを、本明細書に記載されるように実質的に一定のレベルで実質的に維持する。本態様では、バンド通路ＢＰおよび／または開口５１０は、放電加工（ＥＤＭ）などの任意の適切な方法で形成され得る。いくつかの態様では、開口５１０は省略され得る。外周バンド着座面ＰＳＳが、任意の適切な円形または非円形のプロファイルを有するように、研削、フライス加工などによって形成され得ることが留意される。

【0043】

図８Ａ、８Ｂ、および８Ｃを参照して、プーリへのバンドの別の例示的な連結が、開示された実施形態の態様に従って説明される。バンド３５１と上部プーリ部分３４２Ｔとの間の接続が例示目的のみで記載され、本明細書に記載される接続が本明細書に記載されるプーリ／プーリ部分およびバンドのいずれかと共に利用され得ることが留意される。プーリが非円形である場合などのいくつかの態様では、各下部プーリ部分が、プーリの周りの対向するバンドラップの長さの変化を考慮するために、本明細書に記載されるそれぞれの上部プーリ部分に略類似しているが、逆手であり得ることも留意される。本態様では、上部プーリ部分３４２Ｔは、本体８００と、外周バンド着座面ＰＳＳを形成するように任意の適切な方法で本体８００に連結されているクランプ部分８１０とを含む。一態様では、本体８００はクランプ連結面８５０を含み、クランプ部分８１０は、本体８００およびクランプ部分８１０が互いに連結されたときにクランプ連結面８５０と実質的に接触する嵌合本体連結面８５１を含む。たとえば、クランプ部分８１０は、任意の適切な留め具８２０（たとえば、ボルト、ねじなど）およびアライメント特徴部８２１（たとえば、ピン、溝など）を使用して本体８００に連結され、それにより、クランプ部分８１０は、繰り返し可能な方法で（たとえば、クランプ部分８１０が本体８００に連結されるたびに略同じ空間的関係で）本体８００から連結解除および連結され得る。本体８００は開口８３０を含み得、外周バンド着座面ＰＳＳに留め具用の穴／突起がないままであるように、開口８３０を通って留め具８２０がアクセスされ得る。

【0044】

本態様では、バンド通路ＢＰは、本体８００とクランプ部分８１０との間に形成され、少なくとも部分的にクランプ連結面８５０および嵌合本体連結面８５１の１つまたは複数に沿って伸長する。図８Ａに示される例では、バンド通路ＢＰは嵌合本体連結面８５１に形成されるが、他の態様では、バンド通路は、クランプ連結面８５０に形成されるか、またはクランプ連結面８５０および嵌合本体連結面８５１の両方に形成され得る。本態様では、バンド３５１の端部３５１Ｅは、留め具用のクリアランス開口８９０およびリテーナ開口６００を含み得る。本態様では、アライメント特徴部８２１の１つまたは複数は、リテーナ開口６００を通って、バンド３５１の端部３５１Ｅを上部プーリ部分３４２Ｔに固定するが、留め具８２０は、留め具用のクリアランス開口８９０に実質的に接触しない。他の態様では、バンド３５１は、クランプ部分８１０と本体８００との間の圧縮（たとえば、摩擦）によって上部プーリ部分３４２Ｔに固定され得る。他の態様では、バンド３５１は、任意の適切な方法で上部プーリ部分３４２Ｔに固定され得る。

【0045】

上記の方法に類似した方法で、バンド通路ＢＰは、バンド３５１の幅６２０（図６も参照）よりもわずかに大きいかまたは略等しい、内壁ＢＰＷ１と外壁ＢＰＷ２（内壁ＢＰＷ１は本体８００によって形成され、外壁ＢＰＷ２はクランプ部分８１０によって形成されている）との間の幅７００を有し、それにより、バンド３５１が、（たとえば、図７に示す方法に類似した方法で）プーリ３４２の外周バンド着座面ＰＳＳに着座されている状態からそれ自体に着座される状態に移行する、バンド通路ＢＰの出口７５０において、バンドラップ層の間に形成されるステップが実質的にない。バンド通路ＢＰの出口７５０でのこの実質的にステップのない移行によって、バンド３５１を支持し、上部プーリ部分３４２Ｔからのバンド３５１の巻き付きおよび巻き付き解除によって生成され得る振動のレベルを、本明細書に記載されるように実質的に一定のレベルで実質的に維持する。本態様では、バンド通路ＢＰおよび外周バンド着座面ＰＳＳは、たとえば、クランプ部分８１０が本体８００に連結されて、任意の適切な方法で形成され得る。一態様では、バンド通路ＢＰ、開口８３０、および／または外周バンド着座面ＰＳＳは、放電加工によって形成され得る。他の態様では、外周バンド着座面ＰＳＳは、任意の適切な円形または非円形のプロファイルを有するように、研削、フライス加工などによって形成され得る。

【0046】

図９Ａ、９Ｂ、および１１を参照して、プーリへのバンドの別の例示的な連結が、開示された実施形態の態様に従って説明される。バンド３５１と上部プーリ部分３４２Ｔとの間の接続が例示目的のみで記載され、本明細書に記載される接続が本明細書に記載されるプーリ／プーリ部分およびバンドのいずれかと共に利用され得ることが留意される。プーリが非円形である場合などのいくつかの態様では、各下部プーリ部分が、プーリの周りの対向するバンドラップの長さの変化を考慮するために、本明細書に記載されるそれぞれの上部プーリ部分に略類似しているが、逆手であり得ることも留意される。本態様では、プーリ３４２（および上部プーリ部分３４２Ｔ）は、図４Ａ～７に関して上記したものに略類似し得るが、本態様では、プーリは、上部プーリ部分３４２Ｔの内部に、バンド通路ＢＰに沿って方向９２０に移動可能であるバンドテンショナ９００を含む（下部プーリ部分３４２Ｂは同様の方法でバンドテンショナを含む）。本態様では、バンドテンショナ９００は、少なくとも部分的にバンド通路ＢＰが開口する開口９１０内に配置されている。ここで、（バンド３５１の端部３５１Ｅにおいてリテーナ開口６００を通って伸長する）リテーナ部材５３０は、バンドテンショナ９００と共に方向９２０に移動するようにバンドテンショナ９００における凹部９３０内に伸長する。理解され得るように、リテーナ部材５３０はバンド３５１の端部３５１Ｅを通って伸長するため、バンド３５１の端部３５１Ｅもまた、バンド３５１における張力を締めたり緩めたりするようにベルトテンショナ９００と共に方向９２０に移動する。

【0047】

バンドテンショナ９００は、任意の適切な方法で方向９２０に移動させられ得る。たとえば、ウェッジまたは他の適切なスペーサ（図１２Ｂおよび１２Ｃのウェッジ１０８６に略類似している）は、バンドテンショナ９００の側面９４０と開口９１０の対向する壁９４１との間で駆動させられて、バンドテンショナ９００を方向９２０に移動させ、バンド３５１における張力を増加させ得る。他の態様では、バンドテンショナ９００は、ねじジャッキ機構１２１０と連結させられ得る（図１２Ａを参照－下部プーリ部分が同様のねじジャッキ機構を含み得ることが留意される）。ここで、ねじジャッキ機構１２１０は、上部プーリ部分３４２Ｔに（対して移動しないように）固定されているベース１２１２を含む。ベース１２１２は、ねじジャッキ１２１１が挿入されるねじ山付き開口を含む。ねじジャッキは、バンドテンショナ９００およびバンド３５０の端部３５１Ｅを方向９２０に引っ張ってバンド３５１における張力を増加させる（または他の態様では、バンドテンショナ９００およびバンド３５０の端部３５１Ｅを押圧するようにバンドテンショナ９００の側面９４０に対して締め付けられる）ように、（ねじジャッキとバンドテンショナとの間の軸方向の移動を制限しながら、バンドテンショナ９００に対するねじジャッキの回転を可能にするクリップなどを用いて）バンドテンショナ９００に固定され得る。

【0048】

図１０Ａ、１０Ｂ、および１１を参照して、プーリへのバンドの別の例示的な連結が、開示された実施形態の態様に従って説明される。バンド３５１と上部プーリ部分３４２Ｔとの間の接続が例示目的のみで記載され、本明細書に記載される接続が本明細書に記載されるプーリ／プーリ部分およびバンドのいずれかと共に利用され得ることが留意される。プーリが非円形である場合などのいくつかの態様では、各下部プーリ部分が、プーリの周りの対向するバンドラップの長さの変化を考慮するために、本明細書に記載されるそれぞれの上部プーリ部分に略類似しているが、逆手であり得ることも留意される。本態様では、プーリ３４２（および上部プーリ部分３４２Ｔ）は、図４Ａ～７に関して上記したものに略類似し得るが、本態様では、上部プーリ部分３４２Ｔは、バンド通路ＢＰよりもむしろ、バンド侵入開口ＢＡを含む。バンド侵入開口ＢＡは、放電加工と比較して、鋳造、鍛造、フライス加工などの従来の機械加工プロセスによって形成され得る（しかし、侵入開口ＢＡを形成するために放電加工が使用されてもよい）。図１０Ａおよび１０Ｂに見られるように、侵入開口は、バンド３５１の幅６２０よりも実質的に大きい。侵入開口ＢＡは、バンド連結支持面１０１０と共に形成され得、バンド連結支持面１０１０は、外周バンド着座面ＰＳＳとバンド連結支持面１０１０との間のスムーズな（たとえば、接線方向の）移行を形成するように、外周バンド着座面ＰＳＳから接線方向に離れる。本態様では、上部プーリ部分３４２Ｔは、上部プーリ部分３４２Ｔの内部にバンドテンショナ９００を含む（下部プーリ部分３４２Ｂは、同様の方法でバンドテンショナを含む）。バンドテンショナ９００は、上記のものに略類似しており、バンド３５１の端部３５１Ｅが開口９１０内で方向９２０に移動して、上記のようにバンド３５１の張力を増加または減少させるように、上記の方法に類似した方法で方向９２０に移動させられ得る。バンドがプーリ上（本明細書に記載されるまたは本明細書に記載される図１６～１８Ａに例示される態様での非円形またはカム付きの駆動プーリ上など）でそれ自体に重ならない場合などの一態様では、バンドテンショナは、図１２Ｂおよび１２Ｃに示されるように（または示されるものに類似した）バンドアンカーポイント１２００に組み込まれ得る。本態様では、各バンドアンカーポイント１２００は、ピン１０６２が取り付けられているベース１０８４を含む。それぞれのバンドの端部は孔（たとえば、リテーナ開口６００）を含み、孔を通ってピン１０６２のスポーク１０８０が突出する。バンドをスポーク１０８０に固定するために、保持ばねクリップ１０８２、または他の適切なリテーナが、スポーク１０８０に取り付けられている（保持ばねクリップ構成がまた上記のリテーナ５３０に関して利用され得、ここで、クリップが、バンドと開口５１０、９１０の壁との間で開口５１０、９１０を介してリテーナ５３０に設置されることが留意される）。スポーク１０８０はベース１０８４から突出しており、バンドの取り付け位置を提供する。他の態様では、スポーク１０８０は、プーリ／プーリ部分の円周方向の縁または側面から直接突出し得る。一態様では、バンドセグメントにおける孔は、スポーク１０８０よりもわずかに大きく、保持ばねクリップ１０８２は、バンドをしっかりと保持しないため、バンドは自由にスポーク１０８０を中心に枢動する。一態様では、ベース１０８４は、ピン１０６２の位置調整を提供し、それによって、バンドの張力を調整するための調整可能なベースである。たとえば、ねじ１０８６は、プーリ／プーリ部分における閾値開口部に入り、プーリ／プーリ部分に隣接する締め付けウェッジ１０８８を保持する。締め付けウェッジ１０８８の一方の面は、ベース１０８４の対角面１０９０と係合する。バンドにおける張力を増大させるために、ねじ１０８６が締められ、締め付けウェッジ１０８８を矢印Ａの方向に押し下げる。これにより、ウェッジ１０８８を対角面１０９０に押し付け、それによって、ベース１０８４を矢印Ｂの方向に摺動させる。逆に、バンドにおける張力を低下させるために、ねじ１０８６は緩められる。他の態様では、バンドは、任意の適切な方法で、本明細書に記載される搬送アームのプーリ／プーリ部分および他のプーリに連結されてもよい。バンドアンカーポイントの適切な例は、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、１９９８年７月１４日に発行された米国特許第５，７７８，７３０号明細書に見られ得る。

【0049】

図３Ｃ、１３Ａ、１３Ｂ、１４、および１５を参照すると、一態様では、開示された実施形態は、螺旋状のプーリトランスミッションのペアのセットを含み、そのプロファイル（たとえば、従動側および駆動側）は、駆動比およびバンド張力の変化が、重ねられたバンドのマルチラッピング効果の結果として最小化されるように、一意に決定することができる。入力トランスミッションの設計変数には、（限定されないが）バンドの厚さ、公称駆動比、プーリ間の距離、およびバンドの曲げ半径が含まれる。たとえば、トルクトランスミッション（たとえば、トランスミッション１７９４などであり、これらは上記のトルクトランスミッションのいずれかに略類似し得る）は、（上記のものに略類似した）二重の対向するバンド１３００、１３０１を含み、バンド１３００、１３０１は、所定の減速比で、エンドエフェクタストロークの端から端まで（図２Ａの位置ＭＡＸＲとＭＡＸとの間など）の約３６０°を超えるエンドエフェクタの回転の（関節式アームリンク１７２２に対する）関節枢動軸またはリスト軸ＷＸを中心にした（上記のエンドエフェクタ１４０、１４０Ａ、１４０Ｂ、１４１、１４２に類似し得る）エンドエフェクタＥＥ１、ＥＥ２の回転を提供する、プーリ１７８７、１７８９のうちの少なくとも１つの上での巻き付き形状を有する。トランスミッション１７９４およびプーリ１７８７、１７８９が例示目的で使用される一方で、本明細書に記載される他のトランスミッションおよびそれぞれのプーリがいずれも、トランスミッション１７９４およびプーリ１７８７、１７８９と同様に構成され得ることが留意される。

【0050】

二重の対向するバンド１３００、１３０１の巻き付き形状は、バンドに接続されたプーリ１７８７、１７８９のうちの少なくとも１つの共通の回転のための、それぞれの対向するバンド１０３０、１３０１の非対称の巻き付きおよび巻き付き解除の速度をもたらす（本例では、プーリ１７８７、１７８９の両方が非対称の巻き付きおよび巻き付き解除の速度を示す）。バンドの非対称の巻き付きおよび巻き付き解除を補償するために、対向するバンド１３００、１３０１によって互いに接続されたプーリ１７８７、１７８９の少なくとも１つの別のプーリ１７８７、１７８９が、エンドエフェクタストロークの全体にわたって、対向するバンド１３００、１３０１の各バンド１３００、１３０１に対する略一定の張力を維持するように、それぞれの対向するバンド１３００、１３０１の非対称の巻き付きおよび巻き付き解除を補償するように配置されたコンペンセータにより構成されている。本明細書に記載されるように、コンペンセータは、別のプーリ１７８７、１７８９の共通の回転のために、プーリ１７８７、１７８９のうちの少なくとも１つに対するそれぞれの対向するバンド１３００、１３０１の非対称の巻き付き速度および巻き付き解除速度に相応する、別のプーリ１７８７、１７８９に対するそれぞれの対向するバンド１３００、１３０１の非対称の巻き付き解除速度および巻き付き速度を生成する幾何学的形状を有している。

【0051】

本態様では、プーリ１７８７は、上記のプーリ部分３４２Ｔ、３４２Ｂに略類似し得る上部プーリ部分１７８７Ｔおよび下部プーリ部分１７８７Ｂを含む。上部プーリ部分１７８７Ｔおよび下部プーリ部分１７８７Ｂの各々は、それぞれの対向するバンド１３００、１３０１の各々のためのカムローブ１３７０、１３７１を備えた非円形プーリプロファイルを有し、ここで、それぞれの非円形プロファイルのそれぞれのカムローブ１３７０、１３７１は、プーリ１７８９の非対称の巻き付き速度および巻き付き解除速度のためのコンペンセータを形成する。それぞれの非円形プーリプロファイルのそれぞれのカムローブ１３７０、１３７１は、コンペンセータの幾何学的形状を画定する角度（図１３Ａおよび１３Ｂを参照）だけ位相外のプーリ周辺部に配置されている（たとえば、上部プーリ部分１７８７Ｔのカムローブ１３７１の開始／終了は、たとえば、軸ＥＸに対する下部プーリ部分１７８７Ｂのカムローブ１３７０の開始／停止に対して異なる回転角にある）。ここで、カムローブ１３７０、１３７１の各々は、以下でより詳細に説明されるように、それぞれのカム付き外周バンド着座面ＰＳＳ１Ｔ、ＰＳＳ１Ｂを含む。

【0052】

同様に、プーリ１７８９は、上記のプーリ部分３４２Ｔ、３４２Ｂに略類似し得る上部プーリ部分１７８９Ｔおよび下部プーリ部分１７８９Ｂを含む。本態様では、上部プーリ部分１７８９Ｔおよび下部プーリ部分１７８９Ｂの各々は、それぞれの対向するバンド１３００、１３０１の各々のためのカムローブ１３７２、１３７３を備えた非円形プーリプロファイルを有し、ここで、それぞれの非円形プロファイルのそれぞれのカムローブ１３７２、１３７３は、プーリ１７８７の非対称の巻き付き速度および巻き付き解除速度のためのコンペンセータを形成する。それぞれの非円形プーリプロファイルのそれぞれのカムローブ１３７２、１３７３は、コンペンセータの幾何学的形状を画定する角度（図１３Ａおよび１３Ｂを参照）だけ位相外のプーリ周辺部に配置されている（たとえば、上部プーリ部分１７８９Ｔのカムローブ１３７２の開始／終了は、たとえば、軸ＥＸに対する下部プーリ部分１７８９Ｂのカムローブ１３７３の開始／停止に対して異なる回転角にある）。ここで、カムローブ１３７２、１３７３の各々は、以下でより詳細に説明されるように、それぞれのカム付き外周バンド着座面ＰＳＳ２Ｔ、ＰＳＳ２Ｂを含む。

【0053】

カム付き外周バンド着座面ＰＳＳ１Ｔ、ＰＳＳ１Ｂ、ＰＳＳ２Ｂ、ＰＳＳ２Ｂは、少なくとも部分的に、それらのそれぞれのプーリの周りの二重の対向するバンド１３００、１３０１の巻き付き形状を画定する。一態様では、巻き付き形状は、中間ストローク（たとえば、図２Ａの位置ＭＩＤなど）からエンドエフェクタストローク（たとえば、少なくとも３６０°の回転ＲＲに対する図２Ａにおける位置ＭＡＸ、ＭＡＸＲなど）のいずれかの端までの略１８０°を超えるエンドエフェクタＥＥ１、ＥＥ２の回転ＲＲを提供し、いくつかの態様では、回転ＲＲは、中間ストロークから約＋／－３００°を超えるか、または約＋／－３６０°を超える。一態様では、カム付き外周バンド着座面ＰＳＳ１Ｔ、ＰＳＳ１Ｂ、ＰＳＳ２Ｂ、ＰＳＳ２Ｂは、（プーリが、鋳造、鍛造、機械加工されるときなどに）それぞれのプーリと一体的に形成され得る。他の態様では、カム付き外周バンド着座面ＰＳＳ１Ｔ、ＰＳＳ１Ｂ、ＰＳＳ２Ｂ、ＰＳＳ２Ｂは、少なくともトランスミッションの従動側の「犠牲バンドラップ」などで、それぞれのプーリ上に形成されてもよい。犠牲バンドラップは、バンド張力の変動を低減し、摩耗を低減し、および／または粒子生成を低減し得る。

【0054】

本例では、プーリ１７８９はアイドラまたは従動プーリ（そこにエンドエフェクタＥＥ１またはＥＥ２が接続されている）と呼ばれ得、プーリ１７８７は駆動プーリと呼ばれ得る。上述のように、アイドラプーリ１７８９は非円形プーリである。アイドラプーリ１７８９は、バンド１３００、１３０１がアイドラプーリ１７８９に巻き付けられ、アイドラプーリ１７８９から送り出される際に、少なくとも１つのバンド１３００、１３０１が着座する、非円形の半径方向周辺部（図１３Ａおよび１３Ｂを参照）を備えたバンド着座面（たとえば、上部プーリ部分１７８９Ｔおよび下部プーリ部分１７８９Ｂのそれぞれのカム付き外周バンド着座面ＰＳＳ２Ｔ、ＰＳＳ２Ｂ）を有する。駆動プーリ１７８７もまた、バンド１３００、１３０１が駆動プーリ１７８７に巻き付けられ、駆動プーリ１７８７から送り出される際に、少なくとも１つのバンド１３００、１３０１が着座する、非円形の半径方向周辺部（図１３Ａおよび１３Ｂを参照）を備えたバンド着座面（たとえば、上部プーリ部分１７８７Ｔおよび下部プーリ部分１７８７Ｂのそれぞれのカム付き外周バンド着座面ＰＳＳ１Ｔ、ＰＳＳ１Ｂ）を有する非円形プーリである。提供された例では、アイドラプーリおよび駆動プーリの両方は非円形であるが、他の態様では、アイドラプーリは円形であり、駆動プーリは非円形であり得るか、またはその逆であり得る。アイドラプーリ１７８９および駆動プーリ１７８７のプーリプロファイル（たとえば、それぞれの上部プーリ部分１７８７Ｔ、１７８９Ｔおよび下部プーリ部分１７８７Ｂ、１７８９Ｂのそれぞれのカム付き外周バンド着座面ＰＳＳ１Ｔ、ＰＳＳ１Ｂ、ＰＳＳ２Ｔ、ＰＳＳ２Ｂ）は、エンドエフェクタの伸長および収縮のストロークの全体にわたって各々の回転方向でアイドラプーリ１７８９と駆動プーリ１７８７との間の略一定の減速比を維持するように巻き付く、および巻き付き解除する、それぞれの対向するバンド１３００、１３０１に係合する。

【0055】

図３Ｃ、１３Ａに見られるように、プーリ１７８７の上部プーリ部分１７８７Ｔおよび下部プーリ部分１７８７Ｂは、上下に積み重ねられ、軸ＥＸを中心に一斉に回転するように互いに連結される。上部プーリ部分１７８７Ｔおよび下部プーリ部分１７８７Ｂのカム付き外周バンド着座面ＰＳＳ１Ｔ、ＰＳＳ１Ｂのプロファイルは、上部バンド１３００および下部バンド１３０１がそれぞれの上部プーリ部分１７８７Ｔおよび下部プーリ部分１７８７Ｂによって送り出されるまたは巻き取られる速度の差を補償するように、互いに対して配置されている。同様に、プーリ１７８９の上部プーリ部分１７８９Ｔおよび下部プーリ部分１７８９Ｂは、上下に積み重ねられ、軸ＷＸを中心に一斉に回転するように互いに連結される。

【0056】

上部プーリ部分１７８９Ｔおよび下部プーリ部分１７８９Ｂのカム付き外周バンド着座面ＰＳＳ２Ｔ、ＰＳＳ２Ｂのプロファイルは、上部バンド１３００および下部バンド１３０１がそれぞれの上部プーリ部分１７８９Ｔおよび下部プーリ部分１７８９Ｂによって送り出されるまたは巻き取られる速度の差を補償するように、互いに対して配置されている。たとえば、積み重ねられたプーリ部分１７８７Ｔ、１７８７Ｂは、カム付き外周バンド着座面ＰＳＳ１Ｔ、ＰＳＳ１Ｂが逆手になるように、互いに対して配置され得る。たとえば、プーリ部分１７８７Ｔが、カム付き外周バンド着座面ＰＳＳ１Ｔのより小さな半径部分からバンド１０３０を送り出す／巻き付き解除する（または巻き取る／巻き付ける）とき、プーリ部分１７８７Ｂは、図１３Ａおよび１３Ｂに示されるように、カム付き外周バンド着座面ＰＳＳ１Ｂのより大きな半径部分からバンド１３０１を送り出す／巻き付き解除する（または巻き取る／巻き付ける）。同様に、積み重ねられたプーリ部分１７８８Ｔ、１７８９Ｂは、カム付き外周バンド着座面ＰＳＳ２Ｔ、ＰＳＳ２Ｂが逆手になるように、互いに対して配置され得る。たとえば、プーリ部分１７８９Ｔが、カム付き外周バンド着座面ＰＳＳ２Ｔのより小さな半径部分からバンド１０３０を送り出す／巻き付き解除する（または巻き取る／巻き付ける）とき、プーリ部分１７８９Ｂは、図１３Ａおよび１３Ｂに示されるように、カム付き外周バンド着座面ＰＳＳ２Ｂのより大きな半径部分からバンド１３０１を送り出す／巻き付き解除する（または巻き取る／巻き付ける）。図１３Ａにおいて、バンド１３００が、プーリ部分１７８７Ｔの周りに巻き付けられ、プーリ部分１７８９Ｔから巻き付きを解除され、一方で、バンド１３０１が、プーリ部分１７８９Ｂの周りに巻き付けられ、プーリ部分１７８７Ｂから巻き付きを解除されるように例示されていること、および図１３Ａにおいて、バンド１３００が、プーリ部分１７８７Ｔから巻き付きを解除され、プーリ部分１７８９Ｔに巻き付けられ、一方で、バンド１３０１が、プーリ部分１７８９Ｂから巻き付きを解除され、プーリ部分１７８７Ｂに巻き付けられるように例示されていることが留意される。

【0057】

カム付き外周バンド着座面ＰＳＳ１Ｔ、ＰＳＳ１Ｂ、ＰＳＳ２Ｔ、ＰＳＳ２Ｂのプロファイルは、上部プーリ部分１７８７Ｔ、１７８９Ｔおよび下部プーリ部分１７８７Ｂ、１７８９Ｂのそれぞれの１つに巻かれた上部バンドおよび下部バンドのそれぞれの長さを決定するように、以下の式を使用して決定され得る。

【0058】

【数1】

式中、

【0059】

【数2】

であり、および

【0060】

【数3】

である。

【0061】

上記の式［１］～［３］において、Ｌはそれぞれのプーリ部分の周りに巻かれたバンドの長さであり、Ｄ₀はカム付き外周バンド着座面ＰＳＳ１の最小直径であり、Ｄ₁はカム付き外周バンド着座面ＰＳＳ１の最大直径であり、φ₀はカムプロファイルが開始する（所定の基準位置からの）角度であり、φ₁はカムプロファイルが終了する（所定の基準位置からの）角度であり、ｈはバンドの厚さである。図１４が、非円形プーリの所与の回転角に対して非円形プーリの周りに巻かれた対向するバンドのバンド１３００、１３０１のうちの１つの長さの差を例示する、所与の非円形プーリ（プーリ１７８７など）の例示的なグラフを例示していることが留意される。上述のように、この長さの差は、図１３Ａおよび１３Ｂに例示されるように、対向するバンドに連結された他のプーリ（プーリ１７８９など）のコンペンセータによって、非円形プーリ（プーリ１７８７など）からのバンド１３００、１３０１の巻き付きおよび巻き付き解除中に「吸収される（absorbed）」または補償される。

【0062】

また図１５を参照すると、グラフが、駆動プーリ１７８７の角度に対するトランスミッション（図１３Ａおよび１３Ｂに例示されているトランスミッションなど）の振動周波数を例示している。グラフは、時計回り（ＣＷ）および反時計回り（ＣＣＷ）の両方の回転方向における駆動プーリ（プーリ１７８７など）での（たとえば、バンド張力に対応する）振動周波数を例示し、（エンドエフェクタストロークの中間ストロークに一致し得る）回転の中間ストロークを特定している。図１５において、グラフは、図１０Ａおよび１０Ｂに示されるようなバンドアンカーを備えた丸型プーリ（たとえば、バンドアンカーは従来の製造技術で機械加工されている）（すなわち、グラフ上で「丸型機械加工」として特定されている）；図９Ａおよび９Ｂに示されるようなバンドアンカーを備えた丸型プーリ（たとえば、バンドアンカーはＥＤＭによって形成されている）（すなわち、グラフ上で「丸型ＥＤＭ」として特定されている）；図１０Ａおよび１０Ｂに示されるようなバンドアンカーを備えた非円形プーリ（たとえば、バンドアンカーは従来の製造技術で機械加工されている）（すなわち、グラフ上で「螺旋型機械加工」として特定されている）；および図９Ａおよび９Ｂに示されるようなバンドアンカーを備えた非円形プーリ（たとえば、バンドアンカーはＥＤＭによって形成されている）（すなわち、グラフ上で「螺旋型ＥＤＭ」として特定されている）についてのプロットを例示している。本例では、バンドに対する張力は中間ストロークで約３９Ｈｚに設定されている。図１５に見られるように、張力はストローク全体にわたって駆動プーリで実質的に安定している。また、非円形駆動プーリおよび非円形アイドラプーリのペアが、他のプーリの組み合わせ（たとえば、丸型アイドラプーリを備えた丸型駆動プーリ、丸型アイドラプーリを備えた非円形駆動プーリ、または非円形アイドラプーリを備えた丸型駆動プーリ）と比較して、最も安定したバンド張力を提供することが留意される。

【0063】

図１６を参照すると、本明細書に記載される駆動プーリおよびアイドラプーリのペアのいずれかに略類似し得る駆動プーリ１６００およびアイドラ／従動プーリ１６０１を含む例示的なトランスミッションが例示されている。駆動プーリ１６００およびアイドラプーリ１６０１は、本明細書に記載される対向するバンドに略類似している対向するバンド１６１０、１６１０によって互いに接続されている。例示目的のみで、駆動プーリ１６００とアイドラプーリ１６０１との間の駆動比は約２：１であるが、任意の適切な駆動比が利用され得る。図１６に例示されるプーリおよびバンドの構成は、アイドラプーリ１６０１の少なくとも＋／－約３２０°の回転をもたらすが、駆動プーリ１６００は、バンド１６１０、１６１１を重ねること（たとえば、それらのラッピング）なしで回転する。ここで、アイドラプーリ１６０１の約＋／－３２０°の回転は、約２：１の公称（非円形プーリのわずかに可変の駆動比に対する公称）駆動比に基づいてもたらされる。しかし、開示された実施形態の本態様が、駆動プーリ１６００上のバンドラップを実質的に回避しながら、アイドラプーリの所望の角度ストロークに応じてさまざまな駆動比に拡張され得ることが留意される。

【0064】

図１７Ａおよび１７Ｂを参照すると、開示された実施形態の一態様において、バンド１７１０、１７１１は、プーリの円周に沿ってバンドが重なる（すなわち、バンドがそれ自体に着座する）ことなく、それぞれのプーリ１７００、１７０１の周りを複数回巻き付くように構成されている。本例では、プーリ１７００、１７０１は円形プーリであり得るが、他の態様では、プーリは上記のプーリのいずれかに略類似し得る。対向するバンド１７１０、１７１１もまた上記のものに略類似しているが、本例では、バンド１７１０、１７１１の末端は、バンドの重なりなしでプーリ１７００、１７００の周りにバンド１７１０、１７１１を複数回巻き付けるためのタイン構成を有する。開示された実施形態の本態様は、プーリ１７００、１７０１間の略一定の駆動比を提供し得る。

【0065】

たとえば、バンド１７１１は中央バンドセクション１７２０を含む。第１のバンドスパナセクション１７２１Ｅ１Ｂが、中央バンドセクション１７２０の第１の端部と一体的に形成される（または任意の適切な方法で連結される）。バンドタイン１７２２、１７２３が、第１のバンドスパナセクション１７２１Ｅ１Ｂと一体的に形成され（または任意の適切な方法で連結され）、第１のバンドスパナセクション１７２１Ｅ１Ｂから中央バンドセクション１７２０と反対の方向に伸長し、ここで、バンドタイン１７２２、１７２３の各々は、本明細書に記載される方法に類似した方法でプーリ１７０１に連結される。第２のバンドスパナセクション１７２１Ｅ２Ｂが、中央バンドセクション１７２０の第２の端部と一体的に形成される（または、任意の適切な方法で連結される）（すなわち、第１のバンドスパナセクション１７２１Ｅ１Ｂの反対側になる）。バンドタイン１７２４、１７２５が、第２のバンドスパナセクション１７２１Ｅ２Ｂと一体的に形成され（または任意の適切な方法で連結され）、第２のバンドスパナセクション１７２１Ｅ２Ｂから中央バンドセクション１７２０と反対の方向に伸長し、ここで、バンドタイン１７２４、１７２５の各々は、本明細書に記載される方法に類似した方法でプーリ１７００に連結される。

【0066】

同様に、バンド１７１０は中央バンドセクション１７４０を含む。第１のバンドスパナセクション１７４１Ｅ１Ｂが、中央バンドセクション１７４０の第１の端部と一体的に形成される（または任意の適切な方法で連結される）。バンドタイン１７４２、１７４３が、第１のバンドスパナセクション１７４１Ｅ１Ｂと一体的に形成され（または任意の適切な方法で連結され）、第１のバンドスパナセクション１７４１Ｅ１Ｂから中央バンドセクション１７４０と反対の方向に伸長し、ここで、バンドタイン１７４２、１７４３の各々は、本明細書に記載される方法に類似した方法でプーリ１７０１に連結される。第２のバンドスパナセクション１７４１Ｅ２Ｂが、中央バンドセクション１７４０の第２の端部と一体的に形成される（または、任意の適切な方法で連結される）（すなわち、第１のバンドスパナセクション１７４１Ｅ１Ｂの反対側になる）。バンドタイン１７４４、１７４５が、第２のバンドスパナセクション１７４１Ｅ２Ｂと一体的に形成され（または任意の適切な方法で連結され）、第２のバンドスパナセクション１７４１Ｅ２Ｂから中央バンドセクション１７４０と反対の方向に伸長し、ここで、バンドタイン１７４４、１７４５の各々は、本明細書に記載される方法に類似した方法でプーリ１７００に連結される。

【0067】

バンド１７１０のタイン１７４２およびタイン１７４３は、プーリ１７０１の軸方向高さに対して組み合わされたバンド端部高さ１７３２を形成するように、中央バンドセクション１７４０の高さ１７３３よりも高い、プーリ１７０１の軸方向高さに沿った距離１７３１だけ互いに分離されている。タイン１７４２、１７４３間の距離１７３１は、タイン１７４２、１７４３上の中央バンドセクション１７４０、１７２０の重なりのない、プーリ１７０１の周りのバンド１７１１の中央バンドセクション１７４０ならびに中央バンドセクション１７２０の巻き付けを提供する。同様に、バンド１７１０のタイン１７４４およびタイン１７４５は、プーリ１７００の軸方向高さに対して組み合わされたバンド端部高さ１７３２を形成するように、中央バンドセクション１７４０の高さ１７３３よりも高い、プーリ１７００の軸方向高さに沿った距離１７３１だけ互いに分離されている。タイン１７４４、１７４５間の距離１７３１は、タイン１７４４、１７４５上の中央バンドセクション１７４０、１７２０の重なりのない、プーリ１７００の周りのバンド１７１０の中央バンドセクション１７４０ならびにバンド１７１１の中央バンドセクション１７２０の巻き付けを提供する。

【0068】

バンド１７１１のタイン１７２２およびタイン１７２３は、タイン１７４２、１７４３の組み合わされた高さ１７３２よりも高い（たとえば、各タインの高さよりも高い、およびタイン１７４２、１７４３間のスペース１７３１よりも大きい）距離１７３０だけプーリ１７０１の軸方向長さに沿って互いに分離されている。タイン１７２２、１７２３を距離１７３０だけ分離することによって、プーリ１７０１の周りのバンド１７１０のタイン１７４２、１７４３の巻き付け、ならびにプーリ１７０１の周りのバンド１７１０、１７１１の中央バンドセクション１７２０、１７４０の巻き付けが提供される。バンド１７１０上の第１のバンドスパナセクション１７２１Ｅ１Ｂ（そこからタイン１７２２、１７２３が伸長する）のラッピングを回避するために、第１のバンドスパナセクション１７２１Ｅ１Ｂは、タイン１７４２、１７４３が通過するチャネル１７９０、１７９１を含む。チャネル１７９０、１７９１は、チャネル１７９０、１７９１の壁が、バンド１７１０上のバンド１７１１のラッピングを実質的に防止するべく、タイン１７４２、１７４３のそれぞれ１つに実質的に接触しないように成形およびサイズ合わせされる。

【0069】

バンド１７１１のタイン１７２４およびタイン１７２５もまた、タイン１７４４、１７４５の組み合わされた高さ１７３２よりも高い（たとえば、各タインの高さよりも高い、およびタイン１７４４、１７４５間のスペース１７３１よりも大きい）距離１７３０だけプーリ１７００の軸方向長さに沿って互いに分離されている。タイン１７２４、１７２５を距離１７３０だけ分離することによって、プーリ１７００の周りのバンド１７１０のタイン１７４４、１７４５の巻き付け、ならびにプーリ１７００の周りのバンド１７１０、１７１１の中央バンドセクション１７２０、１７４０の巻き付けが提供される。バンド１７１０上の第２のバンドスパナセクション１７２１Ｅ２Ｂ（そこからタイン１７２４、１７２５が伸長する）のラッピングを回避するために、第２のバンドスパナセクション１７２１Ｅ２Ｂもまた、タイン１７４４、１７４５が通過するチャネル１７９０、１７９１を含む。チャネル１７９０、１７９１は、チャネル１７９０、１７９１の壁が、バンド１７１０上のバンド１７１１のラッピングを実質的に防止するように、タイン１７４４、１７４５のそれぞれ１つに実質的に接触しないように成形およびサイズ合わせされる。

【0070】

図１８Ａおよび１８Ｂを参照すると、開示された実施形態の態様に従って、対向するバンドおよびプーリの構成が例示されている。本態様では、バンド１８００、１８０１は、両方のプーリ１８２０、１８２１が、実質的に互いにそれら自体の上のバンド１８００、１８０１のラッピングなしで、バンド１８００、１８０１の複数の回転を収容するように、プーリ１８２０、１８２１の周りに巻き付けられる。開示された実施形態の本態様はまた、プーリ１８２０、１８２１間の略一定の駆動比を提供し得る。ここで、プーリ１８２０、１８２１の少なくとも１つの軸方向長さは、プーリ間の距離１８９９に依存している。たとえば、バンド１８００は、（リスト軸ＷＸまたは本明細書に記載される搬送アームの任意の他の適切な軸と一致し得る）プーリ軸１８２１ＡＸに沿って並置されたコイルエッジ１８０５、１８０６を有して巻かれて、バンドラップがそれ自体に並んで螺旋状になるように、少なくともプーリ１８２１上に重ねられる。同様に、バンド１８０１は、プーリ軸１８２１ＡＸに沿って並置されたコイルエッジ１８０７、１８０８を有して巻かれて、バンドラップがそれ自体に並んで螺旋状になるように、少なくともプーリ１８２１上に重ねられる。バンド１８００、１８０１は、プーリ１８２０の角ストローク全体にわたってそれら自体に重ならないように、（駆動プーリと呼ばれ得る）プーリ１８２０に巻かれる。他の態様では、バンド１８００、１８０１は、プーリ１８２１に関する方法に類似した方法でプーリ１８２０の周りに巻かれてもよい。

【0071】

図１８Ｂに見られるように、開示された実施形態の本態様は、プーリ１８２０を駆動させる、アームリンク１８５０内に別のトランスミッション１８６０を提供することによって、さまざまなアームリンク１８５０の長さに対してスケーリングされ得る。別のトランスミッション１８６０は、上記のトランスミッションのいずれかに略類似し得るか、または別のトランスミッション１８６０は、従来のシングル回転のバンドプーリトランスミッションに略類似し得る（ここで、バンドは、バンドの重なり／ラッピングなしで、シングル回転以下で、それぞれのプーリの周りに巻かれる）。ここで、別のトランスミッション１８６０のプーリ１８２２とプーリ１８２０との間の距離１８８１は、プーリ１８２０、１８２１間の距離１８９９を同じに保ちながら、アームリンク１８５０の全長に応じて増加または減少され得る。

【0072】

図１９Ａおよび１９Ｂを参照すると、例示的なバンド設置固定具１９００が例示されている。バンド設置固定具１９００は、バンドがそれぞれのプーリの少なくとも１つの周りに複数回巻かれるようにそれぞれのプーリの周りにバンドを巻くために、それぞれのプーリの少なくとも１つに隣接するアームリンク内に提供され得るか、または他の方法で設置され得る（図２０、ブロック２０００）。バンド設置固定具１９００は、一対のガイドホイール１９１１、１９１２が枢動可能に取り付けられているバンドテンショナ１９１０を含む。ガイドホイール１９１１、１９１２は、バンドテンショナ１９１０によって（たとえば、任意の適切な方法で）（本明細書に記載されるプーリのいずれかに略類似し得る）プーリ１９４４に対して付勢される。ガイドホイール１９１１、１９１２は、巻かれているバンドの高さに対応するさまざまな高さに配置される。たとえば、ガイドホイール１９１１は、下部プーリ部分１９４４Ｂの周りにバンド３５０を巻くための高さに配置され、一方で、ガイドプーリ１９１２は、上部プーリ部分１９４４Ｔの周りにバンド３５１を巻くための高さに配置される。一態様では、ガイドホイール１９１１、１９１２の高さは、２つまたは３つ以上の積み重ねられたプーリ（図３Ｃに示されるものなど）の周りにバンドを巻くように調整可能である。ガイドホイール１９１１、１９１２の各々は、それぞれのガイドホイール１９１１、１９１２を回転させるのに必要な力を増加および／または減少させる調整可能な摩擦ブレーキであり得る張力部材１９１１Ｔ、１９１２Ｔを含み、ここで、ガイドホイールは、実質的にガイドホイールとバンドとの間の滑りなしにそれぞれのバンド３５０、３５１と摩擦係合するように構成されている。バンド設置固定具１９００はまた、プーリ１９４４上のそれぞれの高さにバンドを整列させる少なくとも１つのバンド高さゲージ１９１５を含む（図１９Ａおよび１９Ｂにおいて、バンド高さゲージ１９１５は、バンド３５１を設置するための位置に示されているが、バンド３５０を設置するために、別のバンド高さゲージが提供され得るか、またはバンド高さゲージ１９１５が、バンド３５０の設置のための位置１９１６へとプーリ１９４４の反対側に移動させられ得る）。バンド高さゲージ１９１５は、プーリとのバンドの高さの位置合わせを有効にする溝または他のアライメント特徴部を含み得る。

【0073】

たとえば、バンド３５１を上部プーリ部分１９４４Ｔに設置するために、バンド３５１は、（本明細書に記載されるバンドアンカーのいずれかに略類似し得る）バンドアンカー１９６６において上記の方法で上部プーリ部分１９４４Ｔに固定され得る（図２０、ブロック２０１０）。バンドアンカー１９６６は、ガイドホイール１９１１に隣接して配置され得る。バンド３５１は、上部プーリ部分１９４４Ｔとガイドホイール１９１１との間でバンドアンカー１９６６から伸長し、バンド高さゲージ１９１５によって所定の高さに位置合わせされる。上部プーリ部分１９４４Ｔは、任意の適切な駆動モータなどを用いて、またはたとえば、上部プーリ部分１９４４Ｔに連結されたノブ１９４０を使用して手動で、任意の適切な方法で（本明細書に記載されるプーリ軸のいずれか１つであり得る）軸ＡＸを中心に巻き付き方向（方向１９９９など）に駆動または回転させられ得る（図２０、ブロック２０２０）。上部プーリ部分１９４４Ｔが巻き付き方向１９９９に回転させられると、ガイドホイール１９１１は、プーリ１９４４に対してバンドに張力をかける（図２０、ブロック２０３０）ためにバンド３５１に移動抵抗を提供する。所望の数のバンドラップが上部プーリ部分１９４４Ｔに提供された後、ガイドホイール１９１１は、上部プーリ部分１９４４Ｔ上のバンドラップの張力を維持する（図２０、ブロック２０４０）。

【0074】

たとえば、バンド３５０を下部プーリ部分１９４４Ｂに設置するために、バンド３５０は、バンドアンカー１９６６に関して上記した方法に略類似した方法で、任意の適切なバンドアンカーにおいて上記の方法で下部プーリ部分１９４４Ｂに固定され得る（図２０、ブロック２０１０）。下部プーリ部分１９４４Ｂのバンドアンカーは、ガイドホイール１９１２に隣接して配置され得る。バンド３５０は、下部プーリ部分１９４４Ｂとガイドホイール１９１２との間でバンドアンカーから伸長し、バンド高さゲージ１９１５によって所定の高さに位置合わせされる。下部プーリ部分１９４４Ｂは、任意の適切な駆動モータなどを用いて、またはたとえば、下部プーリ部分１９４４Ｂに連結された（ノブ１９４０に類似した）ノブを使用して手動で、任意の適切な方法で（本明細書に記載されるプーリ軸のいずれか１つであり得る）軸ＡＸを中心に巻き付き方向（方向１９９８など）に駆動または回転させられ得る（図２０、ブロック２０２０）。下部プーリ部分１９４４Ｂが巻き付き方向１９９８に回転させられると、ガイドホイール１９１２は、下部プーリ部分１９４４Ｂに対してバンドに張力をかけるためにバンド３５０に移動抵抗を提供する（図２０、ブロック２０３０）。所望の数のバンドラップが下部プーリ部分１９４４Ｂに提供された後、ガイドホイール１９１２は、下部プーリ部分１９４４Ｂ上のバンドラップの張力を維持する（図２０、ブロック２０４０）。

【0075】

理解され得るように、図１９Ａに示されるようにプーリ部分が上下に積み重ねられる場合、下部プーリ部分１９４４Ｂは、たとえば、ノブ１９４０によって回転駆動され得るように、上部プーリ部分１９４４Ｔに先行して巻き付かれ得る。ここで、上部プーリ部分および下部プーリ部分は、対向する巻き付き方向１９９８、１９９９へのバンド３５０、３５１の巻き付きを促進するために軸ＡＸを中心に独立して回転可能である。バンド３５０、３５１が、それぞれの上部プーリ部分１９４４Ｔおよび下部プーリ部分１９４４Ｂの周りに巻かれた後、およびそれぞれのガイドホイール１９１１、１９１２によってバンドラップに張力が維持されている状態で、上部プーリ部分１９４４Ｔおよび下部プーリ部分１９４４Ｂは、軸ＡＸを中心にユニットとして回転するように、任意の適切な方法で共にロックされ得る（図２０、ブロック２０５０）。

【0076】

バンド３５０、３５１の自由端は、ガイドホイール１９１１、１９１２によってバンドラップに張力が維持されている状態で、バンド３５０、３５１が上記のように互いに張力がかけられるように、任意の適切な方法でトランスミッションにおける別のプーリに固定され得る（図２０、ブロック２０６０）。バンド３５０、３５１は、反対側のラップで別のプーリの周りに複数の回転で巻かれる場合、バンドラップにおける張力が、反対側の巻き付きの間にプーリ１９４４のバンド設置固定具１９１０によって維持されながら、プーリ１９４４に関して上記した方法に略類似した方法で巻かれ得る。

【0077】

開示された実施形態の一態様によれば、例示的な方法が、図１Ａ－２Ｅおよび２１に関して説明される。当該方法に従って、基板搬送装置１００、１０１、１０２、１０３、１０４が提供される（図２１、ブロック２１００）。エンドエフェクタ１４０、１４０Ａ、１４０Ｂ、１４１、１４２は、それぞれ、関節式アーム１２０～１２４を伸長および収縮する、所定の減速比を有する駆動プーリおよびアイドラプーリと、（上記のような）駆動プーリおよびアイドラプーリを接続する少なくとも１つのバンドとを備えた（上記のような）駆動バンドトランスミッションを用いて、伸長３９９または収縮３８９のエンドエフェクタストロークを介して移動させられ（図２１、ブロック２１１０）、ここで、少なくとも１つのバンドは、駆動プーリおよびアイドラプーリの少なくとも１つの周りに巻かれ、そして、少なくとも１つのバンドは、それ自体に対して重ねられ、そして、所定の減速比を有するトランスミッションによって、エンドエフェクタは、エンドエフェクタのエンドエフェクタ中間ストロークの回転位置からエンドエフェクタの最大ストロークの回転位置まで（たとえば、回転ＲＲは少なくとも約３６０°である）略１８０°を超えて関節枢動軸を中心に、少なくとも１つの関節式アームリンクに対して回転するが、他の態様では、中間ストロークからのエンドエフェクタの回転は、約＋／－３００°超または約＋／－３６０°超であり得る。

【0078】

開示された実施形態の一態様によれば、例示的な方法が、図１Ａ～２Ｅおよび２２に関して説明される。当該方法に従って、基板搬送装置１００、１０１、１０２、１０３、１０４が提供される（図２２、ブロック２２００）。エンドエフェクタ１４０、１４０Ａ、１４０Ｂ、１４１、１４２は、対応するエンドエフェクタストロークを介して移動させられ（図２２、ブロック２２１０）、ここで、関節式アーム１２０～１２４は、関節式アーム１２０～１２４を伸長または収縮させるアーム運動ストロークを介して関節式アーム１２０～１２４を伸長および収縮させる、所定の減速比を有する駆動プーリおよびアイドラプーリと、（上記のような）プーリを接続する二重の対向するバンドとを備えた駆動バンドトランスミッションを有し、ここで、（上記のような）二重の対向するバンドは、所定の減速比で、エンドエフェクタストロークの端から端までの約３６０°を超えるエンドエフェクタの回転の関節枢動軸（たとえば、リスト軸ＷＸ）を中心にしたエンドエフェクタ１４０、１４０Ａ、１４０Ｂ、１４１、１４２の回転を提供する、（上記のような）プーリのうちの少なくとも１つの上での巻き付き形状を有している。

【0079】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、基板搬送装置は、
フレームと、
フレームに接続された駆動セクションと、
フレームに対して枢動軸を中心に回転し、枢動軸に対して伸長および収縮するように、駆動セクションに動作可能に接続された少なくとも１つの関節式アームリンクを有する関節式アームと、を備え、
関節式アームは、少なくとも１つの関節式アームリンクに枢動可能に取り付けられたエンドエフェクタを有して、エンドエフェクタと少なくとも１つの関節式アームリンクとの間に関節を形成し、アーム関節枢動軸が、エンドエフェクタがアーム関節枢動軸を中心に少なくとも１つの関節式アームリンクに対して回転するように配置され、関節式アームは、所定の減速比を有する駆動プーリおよびアイドラプーリと、駆動プーリとアイドラプーリとを接続する少なくとも１つのバンドとを備える駆動バンドトランスミッションであって、それぞれ伸長または収縮のエンドエフェクタストロークを介してエンドエフェクタを移動させる関節式アームを伸長および収縮させる駆動バンドトランスミッションを有し、
少なくとも１つのバンドは、駆動プーリおよびアイドラプーリの少なくとも１つの周りに巻かれ、少なくとも１つのバンドは、それ自体に対して重ねられ、所定の減速比を有するトランスミッションによって、エンドエフェクタは、エンドエフェクタ中間ストロークの回転位置からエンドエフェクタストロークの最大ストロークの回転位置まで略１８０°を超えて関節枢動軸を中心に、少なくとも１つの関節式アームリンクに対して回転する。

【0080】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、エンドエフェクタの回転は、エンドエフェクタストロークの端から端まで約３６０°を超える。

【0081】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのバンドは、それ自体に対して重ねられる。

【0082】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのバンドは、バンドラップがプーリ上でそれ自体の上に螺旋状になるように重ねられる。

【0083】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのバンドは、バンドラップがそれ自体を包むように重ねられる。

【0084】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのバンドは、バンドがプーリ軸に沿って並置されたコイルエッジを有して巻かれた状態で、バンドラップがそれ自体に沿って螺旋状になるように重ねられる。

【0085】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アイドラプーリは、アイドラプーリの回転によって関節枢動軸を中心にエンドエフェクタが回転するように、エンドエフェクタに連結される。

【0086】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのバンドは、アイドラプーリの周りにそれ自体に対して重ねられる。

【0087】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アイドラプーリは非円形プーリである。

【0088】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アイドラプーリは、バンドがアイドラプーリに巻き付けられ、アイドラプーリから送り出されるときに、少なくとも１つのバンドが着座する、非円形の半径方向周辺部を備えるバンド着座面を有する。

【0089】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、駆動プーリは非円形プーリである。

【0090】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アイドラプーリおよび駆動プーリは、伸長または収縮のエンドエフェクタストロークの全体にわたって各々の回転方向でアイドラプーリと駆動プーリとの間の略一定の減速比を維持するように巻き付く、および巻き付き解除する、それぞれの対向するバンドに係合するプーリプロファイルを有する。

【0091】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、エンドエフェクタは、その上に基板保持ステーションを有する。

【0092】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、エンドエフェクタは２つ以上の基板保持ステーションを有し、２つ以上の基板保持ステーションの少なくとも２つはエンドエフェクタの対向する両端部上にある。

【0093】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、エンドエフェクタは２つ以上のエンドエフェクタを有し、その各々は、互いに対する関節枢動軸を中心にした独立した回転のために、それぞれのアイドラプーリに別々に接続されている。

【0094】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、基板搬送装置は、
フレームと、
フレームに接続された駆動セクションと、
フレームに対して枢動軸を中心に回転し、枢動軸に対して伸長および収縮するように、駆動セクションに動作可能に接続された少なくとも１つの関節式アームリンクを有する関節式アームと、を備え、
関節式アームは、少なくとも１つの関節式アームリンクに枢動可能に取り付けられたエンドエフェクタを有して、エンドエフェクタと少なくとも１つの関節式アームリンクとの間に関節を形成し、アーム関節枢動軸が、エンドエフェクタがアーム関節枢動軸を中心に少なくとも１つの関節式アームリンクに対して回転するように配置され、関節式アームは、所定の減速比を有する駆動プーリおよびアイドラプーリと、駆動プーリとアイドラプーリとを接続する二重の対向するバンドとを備える駆動バンドトランスミッションであって、関節式アームを伸長または収縮させ、対応するエンドエフェクタストロークを介してエンドエフェクタを移動させるアーム運動ストロークを介して関節式アームを伸長および収縮させる駆動バンドトランスミッションを有し、
二重の対向するバンドは、所定の減速比で、エンドエフェクタストロークの端から端までの約３６０°を超えるエンドエフェクタの回転の関節枢動軸を中心にしたエンドエフェクタの回転を提供する、プーリのうちの少なくとも１つの上での巻き付き形状を有している。

【0095】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、巻き付き形状は、エンドエフェクタストロークの中間ストロークからいずれかの端までの略１８０°を超えるエンドエフェクタの回転を提供する。

【0096】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、巻き付き形状は、プーリのうちの少なくとも１つの共通の回転のためのそれぞれの対向するバンドの非対称の巻き付き速度および巻き付き解除速度をもたらす。

【0097】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、対向するバンドによって互いに接続されたプーリのうちの少なくとも１つの別のプーリが、エンドエフェクタストロークの全体にわたって対向するバンドの各バンドに対する略一定の張力を維持するように、それぞれの対向するバンドの非対称の巻き付きおよび巻き付き解除を補償するように配置されたコンペンセータにより構成されている。

【0098】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、コンペンセータは、別のプーリの共通の回転のために、プーリのうちの少なくとも１つに対するそれぞれの対向するバンドの非対称の巻き付き速度および巻き付き解除速度に相応する、別のプーリに対するそれぞれの対向するバンドの非対称の巻き付き解除速度および巻き付き速度を生成する幾何学的形状を有している。

【0099】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別のプーリは、それぞれの対向するバンドの各々のためのカムローブを備えたそれぞれの非円形プーリプロファイルを有し、それぞれの非円形プロファイルのそれぞれのカムローブはコンペンセータを形成する。

【0100】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、それぞれの非円形プーリプロファイルのそれぞれのカムローブは、コンペンセータの幾何学的形状を画定する角度だけ位相外のプーリ周辺部に配置される。

【0101】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、プーリのうちの少なくとも１つはアイドラプーリであり、別のプーリは駆動プーリである。

【0102】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アイドラプーリおよび駆動プーリは、エンドエフェクタストロークの全体にわたって各々の回転方向でアイドラプーリと駆動プーリとの間の略一定の減速比を維持するように巻き付く、および巻き付き解除する、それぞれの対向するバンドに係合するプーリプロファイルを有する。

【0103】

【0104】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、駆動プーリは非円形プーリである。

【0105】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、対向するバンドの各々は、それ自体に対して重ねられる。

【0106】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、対向するバンドの各々は、バンドラップがプーリ上でそれ自体の上に螺旋状になるように重ねられる。

【0107】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、対向するバンドの各々は、バンドラップがそれ自体を包むように重ねられる。

【0108】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、対向するバンドの各々は、バンドがプーリ軸に沿って並置されたコイルエッジを有して巻かれた状態で、バンドラップがそれ自体に沿って螺旋状になるように重ねられる。

【0109】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、プーリのうちの少なくとも１つはアイドラプーリであり、アイドラプーリは、アイドラプーリの回転によって関節枢動軸を中心にエンドエフェクタが回転するように、エンドエフェクタに連結されている。

【0110】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、対向するバンドの各々は、アイドラプーリの周りにそれ自体に対して重ねられる。

【0111】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、方法は、
基板搬送装置を提供する工程であって、基板搬送装置が、
フレームと、
フレームに接続された駆動セクションと、
フレームに対して枢動軸を中心に回転し、枢動軸に対して伸長および収縮するように、駆動セクションに動作可能に接続された少なくとも１つの関節式アームリンクを有する関節式アームと、
少なくとも１つの関節式アームリンクに枢動可能に取り付けられたエンドエフェクタであって、エンドエフェクタと少なくとも１つの関節式アームリンクとの間に関節を形成し、アーム関節枢動軸が、エンドエフェクタがアーム関節枢動軸を中心に少なくとも１つの関節式アームリンクに対して回転するように配置されている、エンドエフェクタと、を備える、工程と、
所定の減速比を有する駆動プーリおよびアイドラプーリと、駆動プーリおよびアイドラプーリを接続する少なくとも１つのバンドとを備え、関節式アームを伸長および収縮させる駆動バンドトランスミッションを用いて、それぞれ伸長または収縮のエンドエフェクタストロークを介してエンドエフェクタを移動させる工程と、を含み、
少なくとも１つのバンドは、駆動プーリおよびアイドラプーリの少なくとも１つの周りに巻かれ、少なくとも１つのバンドは、それ自体に対して重ねられ、所定の減速比を有するトランスミッションによって、エンドエフェクタは、エンドエフェクタ中間ストロークの回転位置からエンドエフェクタストロークの最大ストロークの回転位置まで略１８０°を超えて関節枢動軸を中心に、少なくとも１つの関節式アームリンクに対して回転する。

【0112】

【0113】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのバンドは、それ自体に対して重ねられる。

【0114】

【0115】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのバンドは、バンドラップがそれ自体を包むように重ねられる。

【0116】

【0117】

【0118】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのバンドは、アイドラプーリの周りにそれ自体に対して重ねられる。

【0119】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アイドラプーリは非円形プーリである。

【0120】

【0121】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、駆動プーリは非円形プーリである。

【0122】

【0123】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、エンドエフェクタは、その上に基板保持ステーションを有する。

【0124】

【0125】

【0126】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、方法は、
基板搬送装置を提供する工程であって、基板搬送装置が、
フレームと、
フレームに接続された駆動セクションと、
フレームに対して枢動軸を中心に回転し、枢動軸に対して伸長および収縮するように、駆動セクションに動作可能に接続された少なくとも１つの関節式アームリンクを有する関節式アームと、
少なくとも１つの関節式アームリンクに枢動可能に取り付けられたエンドエフェクタであって、エンドエフェクタと少なくとも１つの関節式アームリンクとの間に関節を形成し、アーム関節枢動軸が、エンドエフェクタがアーム関節枢動軸を中心に少なくとも１つの関節式アームリンクに対して回転するように配置された、エンドエフェクタと、を備える、工程と、
対応するエンドエフェクタストロークを介してエンドエフェクタを移動させる工程であって、関節式アームが、所定の減速比を有する駆動プーリおよびアイドラプーリと、駆動プーリおよびアイドラプーリを接続する二重の対向するバンドとを備える駆動バンドトランスミッションであって、関節式アームを伸長または収縮させるアーム運動ストロークを介して関節式アームを伸長および収縮させる駆動バンドトランスミッションを有する、工程とを含み、
二重の対向するバンドは、所定の減速比で、エンドエフェクタストロークの端から端までの約３６０°を超えるエンドエフェクタの回転の関節枢動軸を中心にしたエンドエフェクタの回転を提供する、プーリのうちの少なくとも１つの上での巻き付き形状を有している。

【0127】

【0128】

【0129】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、当該方法は、コンペンセータまたは別のプーリを用いて、エンドエフェクタストロークの全体にわたって対向するバンドの各バンドに対する略一定の張力を維持するように、それぞれの対向するバンドの非対称の巻き付きおよび巻き付き解除を補償する工程をさらに含む。

【0130】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、当該方法は、コンペンセータの幾何学的形状を用いて、別のプーリの共通の回転のために、プーリのうちの少なくとも１つに対するそれぞれの対向するバンドの非対称の巻き付き速度および巻き付き解除速度に相応する、別のプーリに対するそれぞれの対向するバンドの非対称の巻き付き解除速度および巻き付き速度を生成する工程をさらに含む。

【0131】

【0132】

【0133】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、プーリの少なくとも１つはアイドラプーリであり、別のプーリは駆動プーリである。

【0134】

【0135】

【0136】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、駆動プーリは非円形プーリである。

【0137】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、対向するバンドの各々は、それ自体に対して重ねられる。

【0138】

【0139】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、対向するバンドの各々は、バンドラップがそれ自体を包むように重ねられる。

【0140】

【0141】

【0142】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、対向するバンドの各々は、アイドラプーリの周りにそれ自体に対して重ねられる。

【0143】

前述の説明が、開示された実施形態の態様の例示にすぎないことを理解されたい。開示された実施形態の態様から逸脱することなく、当業者によってさまざまな代替および修正が企図され得る。したがって、開示された実施形態の態様は、本明細書に添付された任意の請求項の範囲内にあるすべてのそのような代替、修正、および変形を包含することを意図している。さらに、異なる特徴が相互に異なる従属請求項または独立請求項に記載されているという単なる事実は、これらの特徴の組み合わせが利点を有して使用することができず、そのような組み合わせが開示された実施形態の態様の範囲内にとどまることを示すものではない。

【図1A】