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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-10-07
(45)【発行日】2024-10-16
(54)【発明の名称】評価用密閉収納容器、および密閉収納容器のダストの評価方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/673 20060101AFI20241008BHJP
B65D 85/30 20060101ALI20241008BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 T
B65D85/30 500
【請求項の数】
2
(21)【出願番号】P 2021103523
(22)【出願日】2021-06-22
(65)【公開番号】P2022000889
(43)【公開日】2022-01-04
【審査請求日】2023-06-27
(73)【特許権者】
【識別番号】000190149
【氏名又は名称】信越半導体株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100102532
【弁理士】
【氏名又は名称】好宮 幹夫
(74)【代理人】
【識別番号】100194881
【弁理士】
【氏名又は名称】小林 俊弘
(74)【代理人】
【識別番号】100215142
【弁理士】
【氏名又は名称】大塚 徹
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 聖二
【審査官】鈴木 孝章
(56)【参考文献】
【文献】特開平０６－１９８１６０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２０－１１５５９１（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６７３
Ｂ６５Ｄ ８５／３０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ウェーハを収納する容器本体と、該容器本体の開口部を開閉する蓋とを備えており、前記容器本体内のダストの評価を行うための評価用密閉収納容器であって、前記容器本体において、前記蓋の対向壁面の中心位置に接続口が設けられており、
該接続口に、前記ダストを評価するための気中パーティクル測定器と繋がる管が接続されており、該管の先端は前記対向壁面から前記容器本体内に突出しておらず、
前記評価用密閉収納容器は、搬送室との間での前記ウェーハの搬入または搬出において、前記蓋と嵌合するロードポートのロードポートドアによる前記蓋の開放または閉塞時の前記ダストの流入の評価に用いられるものであることを特徴とする評価用密閉収納容器。
【請求項2】
ウェーハを収納する容器本体と、該容器本体の開口部を開閉する蓋とを備えた密閉収納容器において、前記容器本体内のダストを評価する方法であって、前記密閉収納容器と搬送室との間で前記ウェーハを搬入または搬出するとき、
前記密閉収納容器として、前記容器本体において、前記蓋の対向壁面の中心位置に接続口を設け、該接続口に、前記ダストを評価するための気中パーティクル測定器と繋いだ管を先端が前記対向壁面から前記容器本体内に突出しないように接続したものを用い、
前記蓋にロードポートのロードポートドアを嵌合させて前記蓋を開放または閉塞したときの前記ダストの流入を評価することを特徴とする密閉収納容器のダストの評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は評価用密閉収納容器、および密閉収納容器の圧力またはダストの評価方法に関する。
【背景技術】
【0002】
シリコン等の半導体ウェーハ（以下、単に、ウェーハとも言う）を製造する工程で使用される装置のＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅ）におけるロードポートや半導体ウェーハを収納する密閉収納容器（以下、単に、収納容器とも言う）であるＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）などの位置関係はＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）規格によって規定されている（特許文献１参照）。
【0003】
ここで、ロードポートによってＦＯＵＰの蓋が開いた際に、ＦＯＵＰ内がロードポートなどの装置やＦＯＵＰのパッキンなどから発塵したダストを含む外気の流入によって汚染されることがある。ＦＯＵＰに収納された半導体ウェーハの欠陥の原因となるため装置などの設備導入時などに、ＦＯＵＰの蓋を開けた際にＦＯＵＰ内にどの程度のダストが流入するかを評価する、ダストの流入（発塵）評価や、蓋の開閉時の収納容器の急激な圧力の変化を生じないように、蓋の開閉動作のスピードや押圧の条件調整のため容器内の圧力の変動を評価する、圧力変動評価が実施されている。
【0004】
これらの評価においては、発塵や圧力変動を測定する測定器を繋ぐチューブ（管）をＦＯＵＰの下面（底面）や側面、上面（天板）などの壁部に貫通する穴をあけて、チューブをＦＯＵＰ内に導入して、これらの評価を行っていた。
しかしながら、収納容器内において、チューブを下面（底面）から導入した場合には、下面からチューブが突き出ているため、収納容器内の下側領域には半導体ウェーハは載置できない。チューブを上面（天板）から導入した場合には、上面からチューブが突き出ているため、収納容器内の上側領域には半導体ウェーハは載置できない。チューブを側面から導入した場合には、側面からチューブが突き出ているため、収納容器内の中央領域には半導体ウェーハは載置できない。
しかしながら、収納容器内において、チューブを下面（底面）から導入した場合には、下面からチューブが突き出ているため、収納容器内の下側領域には半導体ウェーハは載置できない。チューブを上面（天板）から導入した場合には、上面からチューブが突き出ているため、収納容器内の上側領域には半導体ウェーハは載置できない。チューブを側面から導入した場合には、側面からチューブが突き出ているため、収納容器内の中央領域には半導体ウェーハは載置できない。
【0005】
以上のことより、従来、ＦＯＵＰなどの収納容器にウェーハを上側から下側まで全て載置した、通常の使用状態で、これらの発塵や圧力変動を測定することができなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】特開２００５－２７７２９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもので、ＦＯＵＰなどの密閉収納容器にウェーハを特には上側から下側まで全て充填したような通常の使用状態でも、これらのＦＯＵＰの蓋の開閉時に流入する空気による発塵や圧力変動を評価することが可能な評価用密閉収納容器および密閉収納容器の圧力またはダストの評価方法を提供することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記目的を達成するために、本発明は、ウェーハを収納する容器本体と、該容器本体の開口部を開閉する蓋とを備えており、前記容器本体内の圧力またはダストの評価を行うための評価用密閉収納容器であって、
前記容器本体において、前記蓋の対向壁面の中心位置に接続口が設けられており、
該接続口に、前記圧力または前記ダストを評価するための外部評価測定器と繋がる管が接続されており、該管の先端は前記対向壁面から前記容器本体内に突出しておらず、
前記評価用密閉収納容器は、搬送室との間での前記ウェーハの搬入または搬出において、前記蓋と嵌合するロードポートのロードポートドアによる前記蓋の開放または閉塞時の前記圧力の変動または前記ダストの流入の評価に用いられるものであることを特徴とする評価用密閉収納容器を提供する。
前記容器本体において、前記蓋の対向壁面の中心位置に接続口が設けられており、
該接続口に、前記圧力または前記ダストを評価するための外部評価測定器と繋がる管が接続されており、該管の先端は前記対向壁面から前記容器本体内に突出しておらず、
前記評価用密閉収納容器は、搬送室との間での前記ウェーハの搬入または搬出において、前記蓋と嵌合するロードポートのロードポートドアによる前記蓋の開放または閉塞時の前記圧力の変動または前記ダストの流入の評価に用いられるものであることを特徴とする評価用密閉収納容器を提供する。
【0009】
このような本発明の評価用の収納容器であれば、突出したチューブの存在により一部の領域にウェーハを充填できない従来品とは異なり、特には通常の使用状態、すなわち、上側から下側まで全てウェーハを充填した状態（以下、フル充填とも言う）とすることができ、その状態で、ウェーハの搬送室への搬出入における蓋の開閉時での圧力の変動またはダストの流入（発塵）の評価を行うことができる。すなわち、従来よりも一層、実際の使用状況に則した状態で評価を行うことができ、より正確な評価が可能である。
またダストが上側や下側から流入する外気のどちらに含まれていても、より確実に検出して評価できる。さらに上記接続口は、蓋のパッキンの上下左右の気密状態が破壊し得る位置からほぼ等しい位置にあるため、圧力変動の経時変化に関し、そのような気密状態の破壊位置の依存性も殆どない。
またダストが上側や下側から流入する外気のどちらに含まれていても、より確実に検出して評価できる。さらに上記接続口は、蓋のパッキンの上下左右の気密状態が破壊し得る位置からほぼ等しい位置にあるため、圧力変動の経時変化に関し、そのような気密状態の破壊位置の依存性も殆どない。
【0010】
このとき、前記外部評価測定器が差圧計であるものとすることができる。
または、前記外部評価測定器が気中パーティクル測定器であるものとすることができる。
または、前記外部評価測定器が気中パーティクル測定器であるものとすることができる。
【0011】
このようなものであれば、簡便に、差圧計により収納容器内の圧力の変動を測定して評価できるし、また、気中パーティクル測定器により収納容器内での発塵の評価を行うことができる。
【0012】
また本発明は、ウェーハを収納する容器本体と、該容器本体の開口部を開閉する蓋とを備えた密閉収納容器において、前記容器本体内の圧力またはダストを評価する方法であって、
前記密閉収納容器と搬送室との間で前記ウェーハを搬入または搬出するとき、
前記密閉収納容器として、前記容器本体において、前記蓋の対向壁面の中心位置に接続口を設け、該接続口に、前記圧力または前記ダストを評価するための外部評価測定器と繋いだ管を先端が前記対向壁面から前記容器本体内に突出しないように接続したものを用い、
前記蓋にロードポートのロードポートドアを嵌合させて前記蓋を開放または閉塞したときの前記圧力の変動または前記ダストの流入を評価することを特徴とする密閉収納容器の圧力またはダストの評価方法を提供する。
前記密閉収納容器と搬送室との間で前記ウェーハを搬入または搬出するとき、
前記密閉収納容器として、前記容器本体において、前記蓋の対向壁面の中心位置に接続口を設け、該接続口に、前記圧力または前記ダストを評価するための外部評価測定器と繋いだ管を先端が前記対向壁面から前記容器本体内に突出しないように接続したものを用い、
前記蓋にロードポートのロードポートドアを嵌合させて前記蓋を開放または閉塞したときの前記圧力の変動または前記ダストの流入を評価することを特徴とする密閉収納容器の圧力またはダストの評価方法を提供する。
【0013】
このような本発明の評価方法であれば、ウェーハのフル充填という実際の使用状況に則した状態で、収納容器内での圧力変動または発塵の評価を行うことができ、より正確な評価が可能である。
また、ダストのより確実な評価を行えるし、圧力変動の経時変化について気密状態の破壊位置による依存性も殆どない。
また、ダストのより確実な評価を行えるし、圧力変動の経時変化について気密状態の破壊位置による依存性も殆どない。
【0014】
このとき、前記外部評価測定器を差圧計とすることができる。または、前記外部評価測定器を気中パーティクル測定器とすることができる。
【0015】
このようにすれば、簡便に、差圧計を用いた圧力変動の評価や気中パーティクル測定器を用いた発塵の評価を行うことができる。
【発明の効果】
【0016】
本発明の評価用密閉収納容器および密閉収納容器の圧力またはダストの評価方法であれば、収納容器にウェーハをフル充填した状態で評価を行うことも可能であり、それによって収納容器内での圧力変動または発塵の評価を、より一層実際の使用状況に則した正確なものとすることができる。ダストや圧力に関して、より確実な評価が可能である。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【図1】本発明の評価用密閉収納容器を配置したウェーハ移載装置の一例を示す説明図である。
【図2】本発明の評価用密閉収納容器の一例を示す側面図である。
【図3】本発明の評価用密閉収納容器の一例を示す上面図である。
【図4】容器本体に流入する外気の流れを側面から見た場合の一例を示す説明図である。
【図5】容器本体に流入する外気の流れを上面から見た場合の一例を示す説明図である。
【図6】比較例１の評価用ＦＯＵＰを示す側面図である。
【図7】比較例２の評価用ＦＯＵＰを示す側面図である。
【図8】比較例３の評価用ＦＯＵＰを示す側面図である。
【図9】比較例４の評価用ＦＯＵＰを示す側面図である。
【図10】比較例５の評価用ＦＯＵＰを示す側面図である。
【図11】比較例１における容器本体に流入する外気の流れを示す説明図である。
【図12】比較例２における容器本体に流入する外気の流れを示す説明図である。
【図13】比較例３における容器本体に流入する外気の流れを示す説明図である。
【図14】比較例４における容器本体に流入する外気の流れを示す説明図である。
【図15】比較例５における容器本体に流入する外気の流れを示す説明図である。
【図16】一般的な密閉収納容器を配置したウェーハ移載装置の一例を示す説明図である。
【図17】一般的な密閉収納容器の一例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0018】
以下、本発明についてより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
まず本発明者が本発明を見出すに至った経緯について説明する。
本発明者は密閉収納容器（ここではＦＯＵＰを例に挙げて説明する）の蓋を開けた際にＦＯＵＰ内に侵入する外気の流れについて調査した。
その結果、ＦＯＵＰ内に全てウェーハが載置された状態でロードポートのロードポートドアによりＦＯＵＰの蓋を開けると、容器本体と蓋の隙間から外気が流れ込む。しかし、ウェーハが下側から上側まで、水平且つ均等に載置されていることから、ＦＯＵＰ上面（天板）の壁と、最も上側に位置するウェーハとの間の空間を通って、蓋側から最奥部の側壁に向かって外気が導入される。これと同時にＦＯＵＰ下面（底面）の壁と、最も下側に位置するウェーハとの間の空間を通って、蓋側から最奥部の側壁に向かって外気が導入される。
それぞれ最奥部の側壁に達した外気の流れは側壁に沿って流れ、上側の外気は下側へ、下側の外気は上側へと流れ、側壁の中央部の付近でぶつかり、次に均等且つ水平に載置されたウェーハの間を通って蓋側の方へ流れることが確認された。
まず本発明者が本発明を見出すに至った経緯について説明する。
本発明者は密閉収納容器（ここではＦＯＵＰを例に挙げて説明する）の蓋を開けた際にＦＯＵＰ内に侵入する外気の流れについて調査した。
その結果、ＦＯＵＰ内に全てウェーハが載置された状態でロードポートのロードポートドアによりＦＯＵＰの蓋を開けると、容器本体と蓋の隙間から外気が流れ込む。しかし、ウェーハが下側から上側まで、水平且つ均等に載置されていることから、ＦＯＵＰ上面（天板）の壁と、最も上側に位置するウェーハとの間の空間を通って、蓋側から最奥部の側壁に向かって外気が導入される。これと同時にＦＯＵＰ下面（底面）の壁と、最も下側に位置するウェーハとの間の空間を通って、蓋側から最奥部の側壁に向かって外気が導入される。
それぞれ最奥部の側壁に達した外気の流れは側壁に沿って流れ、上側の外気は下側へ、下側の外気は上側へと流れ、側壁の中央部の付近でぶつかり、次に均等且つ水平に載置されたウェーハの間を通って蓋側の方へ流れることが確認された。
【0019】
ＦＯＵＰの蓋開閉機構や搬送室内のウェーハ搬送ロボットなど各所から発塵する可能性があり、ＦＯＵＰの蓋を開けた際に、容器本体内に流れ込む外気にダストが含まれることが多く、上側の外気の流れのみ、または下側の外気の流れのみ、さらに上側と下側の両方の流れの両方にダストが含まれている可能性がある。測定する位置が上側や下側にあり、下側または上側の流れのみにダストが含まれている場合に確実には評価できない可能性がある。
また蓋開閉時の圧力変動を測定する場合には、測定する位置が上側や下側にあった場合に、圧力変動の時間的経過が正しく測定できない場合があった。
また蓋開閉時の圧力変動を測定する場合には、測定する位置が上側や下側にあった場合に、圧力変動の時間的経過が正しく測定できない場合があった。
【0020】
これらを鑑みて発塵や圧力変動を測定する場所は、ＦＯＵＰの蓋側から最奥の側壁（すなわち、蓋の対向壁面）の中央付近が適切であることがわかった。また、発塵や圧力変動を測定する管はその側壁に開けた穴と繋ぐのみとし、管の先端位置が側壁と同一平面内であり突出していないことが適切であることがわかった。
本発明者はこれらを見出し、本発明を完成させた。
本発明者はこれらを見出し、本発明を完成させた。
【0021】
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。
本発明の評価用密閉収納容器を説明するにあたって、まず、一般的な密閉収納容器とウェーハ移載装置の関係性について説明する。
図１６に一般的な密閉収納容器を配置したウェーハ移載装置１０の一例を示す。なお、一般的な密閉収納容器１０１と、処理装置２０を併せて図示している。ここでは密閉収納容器１０１の一例として、ＦＯＵＰのタイプを挙げて説明するが、タイプは特に限定されない。
ウェーハ移載装置１０の搬送（移載）対象のウェーハは特に限定されず、例えば半導体シリコンウェーハ、化合物半導体ウェーハなど各種半導体ウェーハが挙げられ、特には研磨されたシリコンウェーハやエピタキシャル成長にて成膜した、シリコンウェーハとすることができる。
その他、ガラス基板などのウェーハ状のものも移載搬送可能な装置である。
本発明の評価用密閉収納容器を説明するにあたって、まず、一般的な密閉収納容器とウェーハ移載装置の関係性について説明する。
図１６に一般的な密閉収納容器を配置したウェーハ移載装置１０の一例を示す。なお、一般的な密閉収納容器１０１と、処理装置２０を併せて図示している。ここでは密閉収納容器１０１の一例として、ＦＯＵＰのタイプを挙げて説明するが、タイプは特に限定されない。
ウェーハ移載装置１０の搬送（移載）対象のウェーハは特に限定されず、例えば半導体シリコンウェーハ、化合物半導体ウェーハなど各種半導体ウェーハが挙げられ、特には研磨されたシリコンウェーハやエピタキシャル成長にて成膜した、シリコンウェーハとすることができる。
その他、ガラス基板などのウェーハ状のものも移載搬送可能な装置である。
【0022】
ここで、一般的なＦＯＵＰ１０１について図１７を参照して説明する。
ＦＯＵＰ１０１はウェーハを収納する密閉収納容器である。ＦＯＵＰ１０１は、容器本体１０２と蓋１０３とを備える。容器本体１０２は複数のウェーハを収納可能に形成されており、前面に開口部（ウェーハ搬出口）を有する。この開口部からウェーハの出し入れが行われる。図１７において、容器本体１０２の前面は右側の面である。蓋１０３は容器本体１０２の前面の開口部を開閉するためのものである。蓋１０３が閉まると容器本体１０２の内側は密閉される。
ＦＯＵＰ１０１内にウェーハＷを収納して搬送する場合、通常、ウェーハＷはフル充填されている。
ＦＯＵＰ１０１はウェーハを収納する密閉収納容器である。ＦＯＵＰ１０１は、容器本体１０２と蓋１０３とを備える。容器本体１０２は複数のウェーハを収納可能に形成されており、前面に開口部（ウェーハ搬出口）を有する。この開口部からウェーハの出し入れが行われる。図１７において、容器本体１０２の前面は右側の面である。蓋１０３は容器本体１０２の前面の開口部を開閉するためのものである。蓋１０３が閉まると容器本体１０２の内側は密閉される。
ＦＯＵＰ１０１内にウェーハＷを収納して搬送する場合、通常、ウェーハＷはフル充填されている。
【0023】
次に、図１６を参照してウェーハ移載装置１０について説明する。
まずウェーハ移載装置１０はＥＦＥＭ１１を有している。このＥＦＥＭ１１はＦＯＵＰ１０１に収納されたウェーハＷを、ＦＯＵＰ１０１から処理装置２０まで、ミニエンバイロメント方式で搬送する。ＥＦＥＭ１１は、搬送ロボット１２と、搬送室１３、ロードポート１４とを備える。
搬送ロボット１２はＦＯＵＰ１０１に収納されたウェーハＷを取り出して搬送するものである。
搬送室１３は搬送ロボット１２を格納する。搬送ロボット１２によりＦＯＵＰ１０１より取り出されたウェーハＷは搬送室１３を介して処理装置２０に搬送される。
まずウェーハ移載装置１０はＥＦＥＭ１１を有している。このＥＦＥＭ１１はＦＯＵＰ１０１に収納されたウェーハＷを、ＦＯＵＰ１０１から処理装置２０まで、ミニエンバイロメント方式で搬送する。ＥＦＥＭ１１は、搬送ロボット１２と、搬送室１３、ロードポート１４とを備える。
搬送ロボット１２はＦＯＵＰ１０１に収納されたウェーハＷを取り出して搬送するものである。
搬送室１３は搬送ロボット１２を格納する。搬送ロボット１２によりＦＯＵＰ１０１より取り出されたウェーハＷは搬送室１３を介して処理装置２０に搬送される。
【0024】
ロードポート１４はＦＯＵＰ１０１とＥＦＥＭ１１との間でウェーハＷを受け渡すためのインターフェースである。ロードポート１４は、ロードポート架台（架台）１５と、ロードポートドア（ドア）１６とを備える。架台１５は、ＦＯＵＰ１０１を載置する箇所である。ドア１６は、ウェーハ出入り口（基板搬入口）となる開口部を開閉するためのものであり、ラッチキー機構が組み込まれている。ＦＯＵＰ１０１のドア１６が閉まると搬送室１３の内側は密閉される。
【0025】
ＦＯＵＰ１０１から処理装置２０までウェーハＷを搬送する場合、まず、ＦＯＵＰ１０１は架台１５の所定の位置に、ＦＯＵＰ１０１の蓋１０３とロードポート１４のドア１６とが対向するように配置される。この際、ＦＯＵＰ１０１の蓋１０３とロードポート１４のドア１６が嵌合し、ラッチキーを回転させた後に蓋１０３を開く。そして、ＦＯＵＰ１０１に収納されたウェーハＷを搬送ロボット１２によって処理装置２０まで搬送する。これにより、ウェーハＷのミニエンバイロメント方式の搬送が行われる。
【0026】
上述の通り、ＦＯＵＰ１０１は蓋１０３によって密閉されているため、例えば蓋１０３が開くと内側が負圧となる。ＦＯＵＰ１０１の内側が負圧になると、外気が流れ込み、空気中のダストが容器本体１０２内に侵入する。
このようにウェーハＷの搬出または搬入に伴う蓋１０３の開放または閉塞時には、容器本体１０２内の圧力変動やダストの流入が生じ得る。そのため、それらについての評価が実施されている。
このようにウェーハＷの搬出または搬入に伴う蓋１０３の開放または閉塞時には、容器本体１０２内の圧力変動やダストの流入が生じ得る。そのため、それらについての評価が実施されている。
【0027】
以下、その評価の際に用いることができる本発明の評価用密閉収納容器の各構成について説明する。
図１に本発明の評価用密閉収納容器を配置したウェーハ移載装置の一例を示す。ウェーハ移載装置１０自体は図１６のものと同様である。図１６とは、一般的なＦＯＵＰ１０１ではなく、本発明の評価用密閉収納容器１が配置されている点で異なっている。
また、図２、図３に本発明の評価用密閉収納容器１の側面図および上面図を示す。
ここでは密閉収納容器１の一例として、ＦＯＵＰのタイプを挙げて説明するが、タイプは特に限定されない。
評価用密閉収納容器（評価用ＦＯＵＰとも呼ぶ）１は、容器本体２と蓋３とを備える。容器本体２は複数のウェーハＷを収納可能に形成されており、前面に開口部（ウェーハ搬出口）を有する。この開口部からウェーハＷの出し入れが可能である。なお、蓋３は、一般的なＦＯＵＰ１０１と同様にロードポート１４のドア１６と嵌合し、ラッチキー機構によって蓋３の開閉が可能である。
また、評価用ＦＯＵＰ１は、容器本体２の蓋３（開口部）と対向する壁面４に接続口５が設けられており、その位置は対向壁面４の中心位置である。なお、この接続口５は対向壁面４を貫通するように形成されている。
そして、この接続口５には管状の接続手段（管６）の一端が接続されており、他端は外部評価測定器７と繋がっている。接続口５の側の管６の先端は対向壁面４から容器本体２の内部に向かって突出しないようにして接続されている。つまり、対向壁面４と管６の先端との間に段差は生じていない。
図１に本発明の評価用密閉収納容器を配置したウェーハ移載装置の一例を示す。ウェーハ移載装置１０自体は図１６のものと同様である。図１６とは、一般的なＦＯＵＰ１０１ではなく、本発明の評価用密閉収納容器１が配置されている点で異なっている。
また、図２、図３に本発明の評価用密閉収納容器１の側面図および上面図を示す。
ここでは密閉収納容器１の一例として、ＦＯＵＰのタイプを挙げて説明するが、タイプは特に限定されない。
評価用密閉収納容器（評価用ＦＯＵＰとも呼ぶ）１は、容器本体２と蓋３とを備える。容器本体２は複数のウェーハＷを収納可能に形成されており、前面に開口部（ウェーハ搬出口）を有する。この開口部からウェーハＷの出し入れが可能である。なお、蓋３は、一般的なＦＯＵＰ１０１と同様にロードポート１４のドア１６と嵌合し、ラッチキー機構によって蓋３の開閉が可能である。
また、評価用ＦＯＵＰ１は、容器本体２の蓋３（開口部）と対向する壁面４に接続口５が設けられており、その位置は対向壁面４の中心位置である。なお、この接続口５は対向壁面４を貫通するように形成されている。
そして、この接続口５には管状の接続手段（管６）の一端が接続されており、他端は外部評価測定器７と繋がっている。接続口５の側の管６の先端は対向壁面４から容器本体２の内部に向かって突出しないようにして接続されている。つまり、対向壁面４と管６の先端との間に段差は生じていない。
【0028】
従来の評価用ＦＯＵＰでは、測定に用いる管は容器本体内に突出しているため、その突出している領域にはウェーハを収納することができなかった。つまり、特にはウェーハのフル充填という実際の使用状況に則した状態で、収納容器内での圧力変動または収納容器内へのダストの流入（発塵）の評価を行うことができなかった。しかしながら、本発明では管６は容器本体２の内部へ突出していないのでウェーハをフル充填した上で評価を行うことができる。そのため、より正確な評価が可能である。
【0029】
なお、管６と繋がる外部評価測定器７としては、例えば、気中パーティクル測定器や差圧計が挙げられ、これらであれば簡便に評価できる。しかし特に限定されるものではなく、管６を通じて評価用ＦＯＵＰ内の空気を吸入したり、圧力を検知するなどして、ダストの流入や圧力変動の測定を行うことができるものであれば良い。
このように圧力やダストを評価するための装置は、評価用ＦＯＵＰ１と外部評価測定器７とからなっている。
このように圧力やダストを評価するための装置は、評価用ＦＯＵＰ１と外部評価測定器７とからなっている。
【0030】
次に、本発明の評価用ＦＯＵＰ１の有効性についてさらに示すため、評価用ＦＯＵＰ１にウェーハＷを収納して、ロードポート１４にて蓋３を開けた時に流入する空気の流れを説明する。
【0031】
ＦＯＵＰ１に、例えばウェーハＷがフル充填されている場合（あるいはそれに近い状態の場合）、ウェーハＷは水平且つ均等な間隔で載置されていることから、流入する外気は、このウェーハＷに沿った水平な流れとなって流入する。これは大きく分けて２つの流れが存在する。側面から見た場合の図４、上面から見た場合の図５に、それらの流れを示す。
第１の流れは、評価用ＦＯＵＰ１の上面（天板）の壁と、最も上側に位置するウェーハとの間の空間を通って外気が流入する。これと同時に第２の流れは、評価用ＦＯＵＰ１の下面（底面）の壁と、最も下側に位置するウェーハとの間の空間を通って外気が流入する。
そして第１の流れは、評価用ＦＯＵＰ１の上面の壁と、最も上側に位置するウェーハとの間の空間を通って奥まで流れ、その後、最奥部の側壁に沿って下側へと流れる。第２の流れは、評価用ＦＯＵＰ１の下面の壁と、最も下側に位置するウェーハとの間の空間を通って奥まで流れ、その後、最奥部の側壁に沿って上側側へと流れる。
さらに、最奥部の側壁に沿って下側へと流れる第１の流れと、最奥部の側壁に沿って上側へと流れる第２の流れとが評価用ＦＯＵＰ１の最奥部の中央付近でぶつかり、中央部付近に載置されたウェーハとウェーハの間を通って蓋側へと合流して流れる。
第１の流れは、評価用ＦＯＵＰ１の上面（天板）の壁と、最も上側に位置するウェーハとの間の空間を通って外気が流入する。これと同時に第２の流れは、評価用ＦＯＵＰ１の下面（底面）の壁と、最も下側に位置するウェーハとの間の空間を通って外気が流入する。
そして第１の流れは、評価用ＦＯＵＰ１の上面の壁と、最も上側に位置するウェーハとの間の空間を通って奥まで流れ、その後、最奥部の側壁に沿って下側へと流れる。第２の流れは、評価用ＦＯＵＰ１の下面の壁と、最も下側に位置するウェーハとの間の空間を通って奥まで流れ、その後、最奥部の側壁に沿って上側側へと流れる。
さらに、最奥部の側壁に沿って下側へと流れる第１の流れと、最奥部の側壁に沿って上側へと流れる第２の流れとが評価用ＦＯＵＰ１の最奥部の中央付近でぶつかり、中央部付近に載置されたウェーハとウェーハの間を通って蓋側へと合流して流れる。
【0032】
これより、流入する外気に含まれる発塵を評価する位置は、第１の外気の流れと、第２の外気の流れがぶつかる評価用ＦＯＵＰ１の最奥部の側壁（すなわち、蓋３に対向する壁）の中央部付近が最適であり、上述したように、本発明の評価用ＦＯＵＰ１では実際にその位置に外部評価測定器７と繋がる管６が接続されている接続口５が測定用に設けられている。
【0033】
この位置にて気中パーティクルカウンターの吸入口として外部評価測定器７を繋げている本発明では、第１の流れにのみ含まれたダスト、第２の流れにのみ含まれたダスト、また第１及び第２の両方の流れに含まれたダストについていずれでも確実に検出できる。
これに対して、例えば上側領域に管が接続されている従来品のような場合では、下側領域のみに流入してきたダスト（第２の流れにのみ含まれたダスト）を検出できない可能性がある。下側領域に管が接続されている場合は、その逆に第１の流れにのみ含まれたダストを検出できない可能性がある。このように正確な評価ができない恐れがある。
これに対して、例えば上側領域に管が接続されている従来品のような場合では、下側領域のみに流入してきたダスト（第２の流れにのみ含まれたダスト）を検出できない可能性がある。下側領域に管が接続されている場合は、その逆に第１の流れにのみ含まれたダストを検出できない可能性がある。このように正確な評価ができない恐れがある。
【0034】
さらに、前述したように評価用ＦＯＵＰ１内の全体にウェーハＷを載置することが可能であることから、実際の使用時と同様な状態で、評価用ＦＯＵＰ１の蓋３の開閉時の影響を評価できるが、それと併せて、これらのフル充填のウェーハＷについて、蓋３の開閉時の前後のパーティクル個数を測定しておくことで、評価用ＦＯＵＰ１内のどの位置で流入する外気に含まれるダストの影響が大きいか、ウェーハＷの載置された位置やウェーハＷの面内のマップ位置を確認することで、どの流れによるダストの影響か詳細に解析することが可能となった。
【0035】
また、圧力変動を測定するために、差圧計を繋げた場合、評価用ＦＯＵＰ１の蓋３を開けた時に、容器本体２と蓋３のパッキン部のいずれかの位置で気密状態が破壊され外気が流入し、圧力変動が発生する。蓋３の上側、下側、左側、右側のいずれの位置で気密状態が破壊して気圧の変動が発生しても、それらの位置から対向壁面４の接続口（測定口）まではほぼ等しい位置にある。そのことから、気圧変動の経時変化における、気密状態が破壊する位置の依存性が殆ど発生しない。このような依存性がなく、安定した評価を行うことができる。
【0036】
次に、本発明の密閉収納容器の圧力またはダストの評価方法について説明する。特には、図１－３に示すような本発明の評価用ＦＯＵＰ１を用いた場合について説明する。
ウェーハＷを収納した評価用ＦＯＵＰ１を、ＥＦＥＭ１１のロードポート１４の架台１５に載置する。評価用ＦＯＵＰ１の蓋３とロードポート１４のドア１６を嵌合させ、ラッチキー機構によりラッチキーを回してロックを解除した状態で、ドア１６により評価用ＦＯＵＰ１の蓋３を開く。この時、評価用ＦＯＵＰ１の容器本体２の内側の密閉空間は負圧となる。これより評価用ＦＯＵＰ１の容器本体２の外部から内側の密閉空間へと外気が流入する。
このとき、評価用ＦＯＵＰ１に繋げられている差圧計や気中パーティクル測定器などの外部評価測定器７によって、管６および接続口５を介して容器本体２内の圧力や流入したダストを検出し、それらの変動を評価する。
ウェーハＷを収納した評価用ＦＯＵＰ１を、ＥＦＥＭ１１のロードポート１４の架台１５に載置する。評価用ＦＯＵＰ１の蓋３とロードポート１４のドア１６を嵌合させ、ラッチキー機構によりラッチキーを回してロックを解除した状態で、ドア１６により評価用ＦＯＵＰ１の蓋３を開く。この時、評価用ＦＯＵＰ１の容器本体２の内側の密閉空間は負圧となる。これより評価用ＦＯＵＰ１の容器本体２の外部から内側の密閉空間へと外気が流入する。
このとき、評価用ＦＯＵＰ１に繋げられている差圧計や気中パーティクル測定器などの外部評価測定器７によって、管６および接続口５を介して容器本体２内の圧力や流入したダストを検出し、それらの変動を評価する。
【0037】
なお、上記はウェーハＷを評価用ＦＯＵＰ１から搬出する際の蓋３の開放時の影響評価を説明したものであるが、これに限定されず、逆にウェーハＷを評価用ＦＯＵＰ１に搬入する場合や、蓋３を閉塞する場合についても同様にして評価を行うことができる。そして、得られた評価を基にして、ウェーハＷの搬出入時における蓋３の開閉動作のスピードなどの各種の条件を適切に調整した上で、実際に搬出入を行うことができる。
【実施例】
【0038】
以下、本発明の実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
後述する実施例、比較例１～５の各種の評価用ＦＯＵＰに、各々、ウェーハを出来るだけ収納し、図１に示すようなウェーハ移載装置のロードポートを用いて評価用ＦＯＵＰの蓋を開放し、ダストの流入の評価を外部評価測定器（気中パーティクル測定器）を用いて行った。
（実施例）
図２と同様の本発明の評価用ＦＯＵＰを用意した。これは、容器本体の開口部と対向する側面（蓋の対向壁面）に外部評価測定器と管によって繋がれた接続口を備え、該接続口は開口部と対向する側面の中心に位置している。さらに管の先端は開口部と対向する側面と同じ平面内に留まり、容器本体の内側には突出していない。ウェーハは上側から下側まで載置されている。
後述する実施例、比較例１～５の各種の評価用ＦＯＵＰに、各々、ウェーハを出来るだけ収納し、図１に示すようなウェーハ移載装置のロードポートを用いて評価用ＦＯＵＰの蓋を開放し、ダストの流入の評価を外部評価測定器（気中パーティクル測定器）を用いて行った。
（実施例）
図２と同様の本発明の評価用ＦＯＵＰを用意した。これは、容器本体の開口部と対向する側面（蓋の対向壁面）に外部評価測定器と管によって繋がれた接続口を備え、該接続口は開口部と対向する側面の中心に位置している。さらに管の先端は開口部と対向する側面と同じ平面内に留まり、容器本体の内側には突出していない。ウェーハは上側から下側まで載置されている。
【0039】
（比較例１）
図６の評価用ＦＯＵＰを用意した。これは、容器本体の開口部と隣接する上面に外部評価測定器と管によって繋がれた接続口を備え、該接続口は開口部と隣接する上面の中心に位置している。さらに管の先端はＦＯＵＰの上面と同じ平面内に留まり、容器本体の内側には突出していない。それ以外は実施例１と同じ評価用ＦＯＵＰである。
図６の評価用ＦＯＵＰを用意した。これは、容器本体の開口部と隣接する上面に外部評価測定器と管によって繋がれた接続口を備え、該接続口は開口部と隣接する上面の中心に位置している。さらに管の先端はＦＯＵＰの上面と同じ平面内に留まり、容器本体の内側には突出していない。それ以外は実施例１と同じ評価用ＦＯＵＰである。
【0040】
（比較例２）
図７の評価用ＦＯＵＰを用意した。これは、容器本体の開口部と隣接する上面に外部評価測定器と管によって繋がれた接続口を備え、該接続口は開口部と隣接する上面の中心に位置している。さらに管の先端はＦＯＵＰの上面から容器本体の内側中心まで突出している。上半分の空間にウェーハが載置されていない。それ以外は実施例１と同じ評価用ＦＯＵＰである。
図７の評価用ＦＯＵＰを用意した。これは、容器本体の開口部と隣接する上面に外部評価測定器と管によって繋がれた接続口を備え、該接続口は開口部と隣接する上面の中心に位置している。さらに管の先端はＦＯＵＰの上面から容器本体の内側中心まで突出している。上半分の空間にウェーハが載置されていない。それ以外は実施例１と同じ評価用ＦＯＵＰである。
【0041】
（比較例３）
図８の評価用ＦＯＵＰを用意した。これは、容器本体の開口部と隣接する下面に外部評価測定器と管によって繋がれた接続口を備え、該接続口は開口部と隣接する下面の中心に位置している。さらに管の先端はＦＯＵＰの下面と同じ平面内に留まり、容器本体の内側には突出していない。それ以外は実施例１と同じ評価用ＦＯＵＰである。
図８の評価用ＦＯＵＰを用意した。これは、容器本体の開口部と隣接する下面に外部評価測定器と管によって繋がれた接続口を備え、該接続口は開口部と隣接する下面の中心に位置している。さらに管の先端はＦＯＵＰの下面と同じ平面内に留まり、容器本体の内側には突出していない。それ以外は実施例１と同じ評価用ＦＯＵＰである。
【0042】
（比較例４）
図９の評価用ＦＯＵＰを用意した。これは、容器本体の開口部と隣接する下面に外部評価測定器と管によって繋がれた接続口を備え、該接続口は開口部と隣接する下面の中心に位置している。さらに管の先端はＦＯＵＰの下面から容器本体の内側中心まで突出している。下半分の空間にウェーハが載置されていない。それ以外は実施例１と同じ評価用ＦＯＵＰである。
図９の評価用ＦＯＵＰを用意した。これは、容器本体の開口部と隣接する下面に外部評価測定器と管によって繋がれた接続口を備え、該接続口は開口部と隣接する下面の中心に位置している。さらに管の先端はＦＯＵＰの下面から容器本体の内側中心まで突出している。下半分の空間にウェーハが載置されていない。それ以外は実施例１と同じ評価用ＦＯＵＰである。
【0043】
（比較例５）
図１０の評価用ＦＯＵＰを用意した。これは、容器本体の開口部と対向する側面に外部評価測定器と管によって繋がれた接続口を備え、該接続口は開口部と対向する側面の中心に位置している。さらに管の先端は開口部と対向する側面から容器本体の内側中心まで突出している。中央の空間にウェーハが載置されていない。それ以外は実施例１と同じ評価用ＦＯＵＰである。
図１０の評価用ＦＯＵＰを用意した。これは、容器本体の開口部と対向する側面に外部評価測定器と管によって繋がれた接続口を備え、該接続口は開口部と対向する側面の中心に位置している。さらに管の先端は開口部と対向する側面から容器本体の内側中心まで突出している。中央の空間にウェーハが載置されていない。それ以外は実施例１と同じ評価用ＦＯＵＰである。
【0044】
実施例の場合には、管が開口部に対向する側面から内側密閉空間に突出していないことから、ＦＯＵＰの内部全体にウェーハを載置できる。実際の使用に即した状態での評価を行うことができる。そして、接続口が、開口部に対向する側面の中心位置に設けられていることから、蓋を開いた際に流入する外気において、図４に示すように、上側及び下側の流れである、第１及び第２の流れが合流する位置で採取して検出することができ、第１及び第２の流れの両方のダストの影響を評価することができ、比較例１－５と比較してより正確に評価を行うことができた。
【0045】
比較例１の場合には、ＦＯＵＰの容器本体から管が上面から内側密閉空間に突出していないことから、ＦＯＵＰの内部全体にウェーハを載置できる。しかし、接続口が、ＦＯＵＰの容器本体の上面に設けられていることから、蓋を開いた際に流入する外気において、図１１に示すように、上側の流れである第１の流れのダストの影響しか評価することができない。
【0046】
比較例２の場合には、ＦＯＵＰの容器本体から管が内側密閉空間の上側から中心まで突出していることから、ＦＯＵＰの内部上半分の空間にウェーハを載置できない。これより、蓋を開いた際に流入する外気において、ＦＯＵＰの容器本体の上半分の空間にウェーハが存在しないことから、図１２に示すように、上側の流れである第１の流れが遅くなりダストの影響を十分に評価することができない。
【0047】
比較例３の場合には、ＦＯＵＰの容器本体から管が下面から内側密閉空間に突出していないことから、ＦＯＵＰの内部全体にウェーハを載置できる。しかし、接続口が、ＦＯＵＰの容器本体の下面に設けられていることから、蓋を開いた際に流入する外気において、図１３に示すように、下側の流れである第２の流れのダストの影響しか評価することができない。
【0048】
比較例４の場合には、ＦＯＵＰの容器本体から管が内側密閉空間の下側から中心まで突出していることから、ＦＯＵＰの内部下半分の空間にウェーハを載置できない。これより、蓋を開いた際に流入する外気において、ＦＯＵＰの容器本体の下半分の空間にウェーハが存在しないことから、図１４に示すように、下側の流れである第２の流れが遅くなりダストの影響を十分に評価することができない。
【0049】
比較例５の場合には、ＦＯＵＰの容器本体から管が開口部に対向する側面の中心から内側密閉空間の中心まで突出していることから、ＦＯＵＰの内部の中央空間にウェーハを載置できない。これより、蓋が開いた際に流入する外気において、ＦＯＵＰの容器本体の中央の空間にウェーハが存在しないことから、図１５に示すように、上側及び下側の流れである、第１及び第２の流れがぶつかった後に流れの速度が遅くなり、且つ流れが乱れることから、ダストの影響を十分に評価することができない。
【0050】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【0051】
１…本発明の評価用密閉収納容器（評価用ＦＯＵＰ）、 ２…容器本体、
３…蓋、 ４…蓋の対向壁面、 ５…接続口、 ６…管、 ７…外部評価測定器、
１０…ウェーハ移載装置、 １１…ＥＦＥＭ、 １２…搬送ロボット、
１３…搬送室、 １４…ロードポート、 １５…ロードポート架台、
１６…ロードポートドア、 ２０…処理装置
１０１…一般的な密閉収納容器（一般的なＦＯＵＰ）、 １０２…容器本体、
１０３…蓋、 Ｗ…ウェーハ。
３…蓋、 ４…蓋の対向壁面、 ５…接続口、 ６…管、 ７…外部評価測定器、
１０…ウェーハ移載装置、 １１…ＥＦＥＭ、 １２…搬送ロボット、
１３…搬送室、 １４…ロードポート、 １５…ロードポート架台、
１６…ロードポートドア、 ２０…処理装置
１０１…一般的な密閉収納容器（一般的なＦＯＵＰ）、 １０２…容器本体、
１０３…蓋、 Ｗ…ウェーハ。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】