特許 7568430 ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-07

(45)【発行日】2024-10-16

(54)【発明の名称】ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法

(51)【国際特許分類】

   F28D 15/02 20060101AFI20241008BHJP

【ＦＩ】

F28D15/02 101H

F28D15/02 102A

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2020112761

(22)【出願日】2020-06-30

(65)【公開番号】P2022011550

(43)【公開日】2022-01-17

【審査請求日】2023-02-23

(73)【特許権者】

【識別番号】000005290

【氏名又は名称】古河電気工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100114292

【弁理士】

【氏名又は名称】来間 清志

(74)【代理人】

【識別番号】100205659

【弁理士】

【氏名又は名称】齋藤 拓也

(72)【発明者】

【氏名】▲高▼田 早紀

【審査官】古川 峻弘

(56)【参考文献】

【文献】米国特許出願公開第２０１７／０１２２６７１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１３／１２５４２７（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ２８Ｄ １５／００－１５／０６

Ｈ０１Ｌ ２３／３４－２３／４７３

Ｈ０５Ｋ ７／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１金属板と第２金属板との間に形成される内部空間に作動流体を有するベーパーチャンバであって、
前記第１金属板は、板部と、前記板部の周縁から前記第２金属板に向かって延在する第１周縁壁部とを有し、
前記第２金属板は、板部と、前記板部の周縁から前記第１金属板に向かって延在する第２周縁壁部とを有し、
前記ベーパーチャンバは、接合部と少なくとも１つ以上の延在部とを備え、
前記接合部では、前記第１金属板の前記第１周縁壁部と前記第２金属板の前記第２周縁壁部とが接合されており、
前記延在部は、前記接合部と接合され、前記接合部から延在し、
前記延在部の少なくとも１つは、前記接合部から前記ベーパーチャンバの前記内部空間に向かって延在していることを特徴とするベーパーチャンバ。

【請求項2】

前記延在部は、前記第１金属板の前記板部の内面および前記第２金属板の前記板部の内面の少なくとも一方の内面に接触している、請求項１に記載のベーパーチャンバ。

【請求項3】

前記延在部は、表面に設けられ、前記接合部から離れる方向に向かって延在する少なくとも１つ以上の溝部を備える、請求項１または２に記載のベーパーチャンバ。

【請求項4】

前記延在部の少なくとも１つは、前記接合部から前記ベーパーチャンバの外部に向かって延在している、請求項１～３のいずれか１項に記載のベーパーチャンバ。

【請求項5】

請求項１～４のいずれか１項に記載のベーパーチャンバの製造方法であって、
前記接合部と前記延在部とをレーザーで形成するレーザー加工工程を有することを特徴とするベーパーチャンバの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話などの電気・電子機器に搭載されている半導体素子などの電子部品は、高性能化などの要求から、小型化が進んでいる。

【0003】

例えば、特許文献１には、カバー板と底板とが接合されて構成され、内部に作動流体を収容する筐体と、凝縮した作動流体を蒸発部へ流通させるための第１の隙間を形成するように、カバー板および底板の配列方向と蒸発部および凝縮部の配列方向との両方向に略直交する方向に配列された複数の第１の板状体と、各第１の板状体の周囲に形成され、蒸発した作動流体を凝縮部へ流通させる気相流路部とを具備する熱輸送装置が記載されている。

【0004】

特許文献１では、カバー板の周縁部と底板の周縁部とが接合されている。熱輸送装置の側面の外側には、カバー板の周縁部、底板の周縁部、およびこれらの接合部（以下、これらの部材をあわせて周縁接合部ともいう）が設けられている。周縁接合部は、熱輸送装置の冷却機能を有していない。そのため、特許文献１の熱輸送装置は、小型化の要求に対して不十分である。また、ベーパーチャンバなどの熱輸送装置では、小型化が進むにつれて、機械的強度が低下することがある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２００７－１１３８６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本開示の目的は、小型化を図りつつ、機械的強度に優れるベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

［１］ 第１金属板と第２金属板との間に形成される内部空間に作動流体を有するベーパーチャンバであって、前記第１金属板は、板部と、前記板部の周縁から前記第２金属板に向かって延在する第１周縁壁部とを有し、前記第２金属板は、板部と、前記板部の周縁から前記第１金属板に向かって延在する第２周縁壁部とを有し、前記ベーパーチャンバは、接合部と少なくとも１つ以上の延在部とを備え、前記接合部では、前記第１金属板の前記第１周縁壁部と前記第２金属板の前記第２周縁壁部とが接合されており、前記延在部は、前記接合部と接合され、前記接合部から延在していることを特徴とするベーパーチャンバ。
［２］ 前記延在部の少なくとも１つは、前記接合部から前記ベーパーチャンバの前記内部空間に向かって延在している、上記［１］に記載のベーパーチャンバ。
［３］ 前記延在部は、前記第１金属板の前記板部の内面および前記第２金属板の前記板部の内面の少なくとも一方の内面に接触している、上記［２］に記載のベーパーチャンバ。
［４］ 前記延在部は、表面に設けられ、前記接合部から離れる方向に向かって延在する少なくとも１つ以上の溝部を備える、上記［２］または［３］に記載のベーパーチャンバ。
［５］ 前記延在部の少なくとも１つは、前記接合部から前記ベーパーチャンバの外部に向かって延在している、上記［１］～［４］のいずれか１つに記載のベーパーチャンバ。
［６］ 上記［１］～［５］のいずれか１つに記載のベーパーチャンバの製造方法であって、前記接合部と前記延在部とをレーザーで形成するレーザー加工工程を有することを特徴とするベーパーチャンバの製造方法。

【発明の効果】

【0008】

本開示によれば、小型化を図りつつ、機械的強度に優れるベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、実施形態のベーパーチャンバの一例を示す斜視図である。

【図2】図２は、図１のＡ面の拡大断面図である。

【図3】図３は、実施形態のベーパーチャンバを構成する延在部の他の例を示す斜視図である。

【図4】図４は、実施形態のベーパーチャンバを構成する延在部の他の例を示す拡大断面図である。

【図5】図５は、実施形態のベーパーチャンバを構成する延在部の他の例を示す拡大断面図である。

【図6】図６は、実施形態のベーパーチャンバを構成する延在部の他の例を示す拡大断面図である。

【図7】図７は、実施形態のベーパーチャンバを構成する延在部の他の例を示す拡大断面図である。

【図8】図８は、図７の延在部をベーパーチャンバの内部空間からみた正面図である。

【図9】図９は、実施形態のベーパーチャンバを構成する延在部の他の例を示す斜視図である。

【図10】図１０は、図９のＢ面の拡大断面図である。

【図11】図１１は、実施形態のベーパーチャンバを構成する延在部の他の例を示す拡大断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、実施形態に基づき詳細に説明する。

【0011】

本発明者は、鋭意研究を重ねた結果、第１金属板と第２金属板とを接合する接合部の構成に着目することによって、小型化を図りつつ、機械的強度を向上させた。

【0012】

実施形態のベーパーチャンバは、第１金属板と第２金属板との間に形成される内部空間に作動流体を有するベーパーチャンバであって、第１金属板は、板部と、板部の周縁から第２金属板に向かって延在する第１周縁壁部とを有し、第２金属板は、板部と、板部の周縁から第１金属板に向かって延在する第２周縁壁部とを有し、ベーパーチャンバは、接合部と少なくとも１つ以上の延在部とを備え、接合部では、第１金属板の第１周縁壁部と第２金属板の第２周縁壁部とが接合されており、延在部は、接合部と接合され、接合部から延在している。ここで、第１周縁壁部は第１金属板１０の周縁壁部１２と、また第２周縁壁部は第２金属板２０の周縁壁部２２に対応している。以下では、第１金属板１０の周縁壁部１２を第１周縁壁部１２ともいい、第２金属板２０の周縁壁部２２を第２周縁壁部２２ともいう。

【0013】

図１は、実施形態のベーパーチャンバの一例を示す斜視図である。図２は、図１のＡ面の拡大断面図である。なお、図１では、便宜上、ベーパーチャンバの内部構造がわかるように部分的に透過した状態を示している。

【0014】

図１～２に示すように、実施形態のベーパーチャンバ１は、第１金属板１０および第２金属板２０を有する。第１金属板１０および第２金属板２０が対向するように、第１金属板１０および第２金属板２０が接合されている。すなわち、第１金属板１０および第２金属板２０は内部が閉じられている。また、ベーパーチャンバ１は、第１金属板１０および第２金属板２０の間に形成される内部空間Ｓに作動流体を有する。内部空間Ｓは、第１金属板１０および第２金属板２０によって密閉されている。ベーパーチャンバ１の内部に設けられる内部空間Ｓには、作動流体が封入されている。

【0015】

内部空間Ｓに封入されている作動流体は、ベーパーチャンバ１の冷却性能の観点から、純水、エタノール、メタノール、アセトン、フッ素系溶媒などが挙げられる。

【0016】

図２に示すように、ベーパーチャンバ１を構成する第１金属板１０は、板部１１および第１周縁壁部１２を有する。第１金属板１０の第１周縁壁部１２は、板部１１の周縁１１ｃから第２金属板２０に向かって延在している。例えば、第１周縁壁部１２は、板部１１の周縁全体に亘って設けられる。

【0017】

ベーパーチャンバ１を構成する第２金属板２０は、板部２１および第２周縁壁部２２を有する。第２金属板２０の板部２１は、第１金属板１０の板部１１と対向する。すなわち、第２金属板２０の板部２１の内面２１ａと第１金属板１０の板部１１の内面１１ａとは互いに対向する。第２金属板２０の第２周縁壁部２２は、板部２１の周縁２１ｃから第１金属板１０に向かって延在している。例えば、第２周縁壁部２２は、板部２１の周縁全体に亘って設けられる。

【0018】

ベーパーチャンバ１は、接合部３０と少なくとも１つ以上の延在部４０とを備える。

【0019】

接合部３０では、第１金属板１０の第１周縁壁部１２と第２金属板２０の第２周縁壁部２２とが接合されている。第２金属板２０の周縁２１ｃに向かって延びる第１周縁壁部１２と第１金属板１０の周縁１１ｃに向かって延びる第２周縁壁部２２とが接合部３０で接合されていることによって、ベーパーチャンバ１の内部に設けられる内部空間Ｓが密閉される。

【0020】

第１周縁壁部１２と第２周縁壁部２２を含む部分、すなわちベーパーチャンバ１の側壁には、接合部３０が設けられる。第１周縁壁部１２が板部１１の周縁全体に亘って設けられ、第２周縁壁部２２が板部２１の周縁全体に亘って設けられる場合、接合部３０はベーパーチャンバ１の側壁の全面に設けられる。

【0021】

延在部４０は、接合部３０と接合されて、接合部３０から延在している。具体的には、延在部４０の基端４１が接合部３０と接合している。延在部４０は、図１に示すように、接合部３０の全体から延在してもよいし、図３に示すように、接合部３０の一部から延在してもよい。このように、ベーパーチャンバ１は、全体にわたって、図１に示すように１つの延在部４０を備えてもよいし、図３に示すように複数の延在部４０を備えてもよい。

【0022】

第１金属板の周縁部と第２金属板の周縁部とが接合される従来のベーパーチャンバにおける周縁接合部に比べて、基端４１から先端４２までの延在部４０の長さは非常に短い。ベーパーチャンバ１の小型化の観点から、延在部４０の長さは１０ｍｍ以下であることが好ましい。

【0023】

このように、ベーパーチャンバ１では、接合部３０は、板部１１の周縁１１ｃから第２金属板２０に向かって延在する第１周縁壁部１２と板部２１の周縁２１ｃから第１金属板１０に向かって延在する第２周縁壁部２２とを接合している。すなわち、接合部３０は、第１金属板の周縁部と第２金属板の周縁部とが接合されている従来のベーパーチャンバと異なり、第１金属板１０の周縁１１ｃと第２金属板２０の周縁２１ｃとを接合しない。そのため、従来のベーパーチャンバの周縁接合部に相当する長さだけ、実施形態のベーパーチャンバ１は小型化できる。また、従来のベーパーチャンバの周縁接合部に相当する長さだけベーパーチャンバ１の内部空間Ｓを増加すると、ベーパーチャンバ１の大きさを従来よりも大型化せずに、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性を向上できる。

【0024】

さらに、接合部３０に連結する延在部４０は、互いに突き合わされている第１金属板１０の第１周縁壁部１２と第２金属板２０の第２周縁壁部２２とをベーパーチャンバ１の厚み方向内側から支持している。ベーパーチャンバの小型化および薄型化に伴い、第１金属板１０および第２金属板２０が薄型化されても、薄型化された第１周縁壁部１２と第２周縁壁部２２とは延在部４０によって確実に支持されているため、第１周縁壁部１２と第２周縁壁部２２との接合強度は十分に大きい。また、上記のように、延在部４０は、第１金属板の周縁部と第２金属板の周縁部とが接合されている従来のベーパーチャンバにおける周縁接合部とは異なり、非常に小さい。そのため、ベーパーチャンバ１は、小型化を図りつつ、優れた機械的強度を有する。

【0025】

図４は、ベーパーチャンバ１を構成する延在部４０の他の例を示す拡大断面図である。図４に示すように、複数の延在部４０が接合部３０の同じ位置から延在してもよい。ベーパーチャンバ１が接合部３０から延在している複数の延在部４０を備えると、ベーパーチャンバ１の機械的強度はさらに向上する。

【0026】

また、図２に示すように、延在部４０の少なくとも１つは、接合部３０からベーパーチャンバ１の内部空間Ｓに向かって延在していることが好ましい。内部空間Ｓに向かって延在している延在部４０は、第１周縁壁部１２および第２周縁壁部２２をベーパーチャンバ１の内部から支持する。

【0027】

延在部４０が接合部３０からベーパーチャンバ１の内部空間Ｓに向かって延在していると、延在部４０の全体がベーパーチャンバ１の内部に設けられる。そのため、ベーパーチャンバ１はさらに小型化できる。

【0028】

さらに、延在部４０がベーパーチャンバ１の内部空間Ｓに向かって延在すると、ベーパーチャンバ１の外側、すなわちベーパーチャンバ１の側壁の外面には、従来のベーパーチャンバの周縁接合部に相当する構成が設けられていない。そのため、従来のような周縁接合部を除去する後工程が不要である。さらに、ベーパーチャンバ１の側壁の外面には、バリが設けられていない。そのため、面出し加工が不要である。このように、ベーパーチャンバ１の製造を簡便化できる。

【0029】

延在部４０の全てが接合部３０からベーパーチャンバ１の内部空間Ｓに向かって延在していると、ベーパーチャンバ１の小型化や製造方法の簡便性がさらに向上する。

【0030】

また、延在部４０は、第１金属板１０の板部１１の内面１１ａおよび第２金属板２０の板部２１の内面２１ａの少なくとも一方の内面に接触していることが好ましい。

【0031】

図５に示すように、例えば、延在部４０の先端４２は、第１金属板１０の板部１１の内面１１ａに接触していることが好ましい。ベーパーチャンバ１の内部空間Ｓに向かって延在している延在部４０が第１金属板１０の板部１１の内面１１ａに接触していると、延在部４０は、第１周縁壁部１２に加えて、板部１１についても、ベーパーチャンバ１の内部から支持する。そのため、ベーパーチャンバ１の機械的強度はさらに向上する。

【0032】

また、延在部４０の先端４２が第２金属板２０の板部２１の内面２１ａに接触していると、延在部４０は、第２周縁壁部２２に加えて、板部２１についても、ベーパーチャンバ１の内部から支持する。そのため、ベーパーチャンバ１の機械的強度はさらに向上する。

【0033】

図６に示すように、ベーパーチャンバ１が、第１金属板１０の板部１１の内面１１ａに接触している延在部４０、および第２金属板２０の板部２１の内面２１ａに接触している延在部４０を備えると、これらの延在部４０は、第１周縁壁部１２および第２周縁壁部２２、ならびに板部１１および板部２１をベーパーチャンバ１の内部から支持する。そのため、ベーパーチャンバ１の機械的強度はさらに向上する。

【0034】

また、延在部４０は、表面に設けられ、接合部３０から離れる方向に向かって延在する少なくとも１つ以上の溝部４３を備えることが好ましい。

【0035】

図７は、ベーパーチャンバを構成する延在部４０の他の例を示す拡大断面図である。図８は、図７の延在部４０をベーパーチャンバ１の内部空間Ｓからみた正面図である。図７では、液相の作動流体Ｆ（Ｌ）の流れる方向を黒塗り矢印で示している。図７～８に示すように、例えば、延在部４０は、延在部４０の第１表面４０ａに設けられ、延在部４０の基端４１から先端４２に向かって延在する少なくとも１つ以上の溝部４３を備えることが好ましい。溝部４３の溝幅４３ｗが非常に微細であるため、溝部４３は液相の作動流体に対する毛細管現象を発揮する。

【0036】

先端４２が板部１１の内面１１ａに接触している延在部４０に溝部４３を設けると、ベーパーチャンバ１の内部空間に封入されている液相の作動流体は、溝部４３による毛細管現象によって、矢印Ｆ（Ｌ）で示すように、板部１１の内面１１ａから溝部４３に容易に浸入し、溝部４３に沿って延在部４０の基端４１の方に移動する。このように、液相の作動流体は、板部１１の内面１１ａから吸い上げられて不図示の熱源に向かって移動する。このように、液相の作動流体が内部空間Ｓを良好に循環するため、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性は向上する。

【0037】

また、先端４２が板部２１の内面２１ａに接触している延在部４０に溝部４３を設けると、液相の作動流体は、溝部４３による毛細管現象によって、矢印Ｆ（Ｌ）で示すように、板部２１の内面２１ａから溝部４３に容易に浸入し、溝部４３に沿って延在部４０の基端４１の方に移動する。このように、液相の作動流体は、板部２１の内面２１ａから吸い込まれて不図示の熱源に向かって移動する。このように、液相の作動流体が内部空間Ｓを良好に循環するため、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性は向上する。

【0038】

溝部４３が延在部４０の基端４１から先端４２まで延在すると、液相の作動流体の循環がさらに良好になるため、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性はさらに向上する。先端４２が板部１１の内面１１ａに接触している延在部４０と、先端４２が板部２１の内面２１ａに接触している延在部４０とのどちらにも溝部４３を設けると、ベーパーチャンバ１の内面から移動する液相の作動流体の量が増加するため、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性はさらに向上する。

【0039】

図７～８では、延在部４０において、延在部４０同士が互いに対向する面、換言するとベーパーチャンバ１の内側に向いている面である第１表面４０ａに溝部４３が設けられている例を示しているが、溝部４３は延在部４０の第２表面４０ｂに設けられてもよい。第２表面４０ｂは、第１表面の背面であり、ベーパーチャンバ１の外側に向いている面である。

【0040】

溝部４３が延在部４０の第２表面４０ｂに設けられても、第１表面４０ａに設けられる溝部４３と同様の効果を発揮する。第２表面４０ｂに設けられる溝部４３に比べて、第１表面４０ａに設けられる溝部４３は、液相の作動流体を効率的に循環するため、ベーパーチャンバ１の熱輸送特性は向上する。

【0041】

図９は、ベーパーチャンバ１を構成する延在部４０の他の例を示す斜視図である。図１０は、図９のＢ面の拡大断面図である。図９～１０に示すように、延在部４０の少なくとも１つは、接合部３０からベーパーチャンバ１の外部に向かって延在していてもよい。

【0042】

上記のように、延在部４０は、第１金属板の周縁部と第２金属板の周縁部とが接合されている従来のベーパーチャンバにおける周縁接合部とは異なり、非常に小さい。接合部３０に接合する延在部４０がベーパーチャンバ１の外部に延在していても、従来のベーパーチャンバに比べて、実施形態のベーパーチャンバ１は小型化できる。

【0043】

例えば、ベーパーチャンバ１は、図１１に示すように、接合部３０からベーパーチャンバ１の内部空間Ｓに向かって延在している延在部４０、および接合部３０からベーパーチャンバ１の外部に向かって延在している延在部４０を備えてもよい。

【0044】

ベーパーチャンバ１の小型化および機械的強度を向上する接合部３０および延在部４０の形成には、レーザーを用いた加工が好ましく、その中でもファイバレーザーを用いた加工がより好ましい。レーザーによる加工では、第１金属板１０の第１周縁壁部１２と第２金属板２０の第２周縁壁部２２とを局所的に短時間で接合することができる。その結果、ベーパーチャンバ１の小型化および機械的強度の向上を達成できる。

【0045】

また、第１金属板１０および第２金属板２０を構成する材料は、高い熱伝導率やレーザーによる加工容易性などの観点から、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、ステンレス鋼が好ましい。その中でも、軽量化を図る目的のためには、アルミニウム、アルミニウム合金がより好ましく、機械的強度を高める目的のためには、ステンレス鋼がより好ましい。また、使用環境に応じて、第１金属板１０および第２金属板２０には、スズ、スズ合金、チタン、チタン合金、ニッケル、ニッケル合金などを使用してもよい。

【0046】

第１金属板１０の外面１０ｂや第２金属板２０の外面２０ｂには、不図示の発熱体が装着される。ベーパーチャンバ１と発熱体とが熱的に接続されると、発熱体がベーパーチャンバによって冷却される。発熱体は、例えば半導体素子など、稼動中に熱を発生する電子部品のような部材である。

【0047】

次に、上記のベーパーチャンバ１の製造方法について説明する。

【0048】

ベーパーチャンバ１の製造方法は、接合部３０と延在部４０とをレーザーで形成するレーザー加工工程を有する。レーザー加工工程では、ファイバレーザーで接合部３０と延在部４０とを形成することが好ましい。レーザー加工では、第１金属板１０の第１周縁壁部１２と第２金属板２０の第２周縁壁部２２とを局所的に接合する加工制御に優れ、接合部３０を短時間で形成できる。また、第１周縁壁部１２および第２周縁壁部２２はレーザー照射の標的になるため、ベーパーチャンバの小型化および薄型化に伴って第１金属板１０および第２金属板２０が薄型化されても、薄型化された第１周縁壁部１２と第２周縁壁部２２との接合は容易である。さらに、接合部３０を形成しながら、延在部４０を同時に形成できる。レーザーの中でも、ファイバレーザーは、加工制御および短時間加工がさらに優れている。

【0049】

具体的には、板部１１の内面１１ａと板部２１の内面２１ａとが互いに対向し、第１周縁壁部１２と第２周縁壁部２２とが互いに接触している状態で、第１周縁壁部１２と第２周縁壁部２２との接触部分に対してレーザーを照射する。例えば、第１周縁壁部１２と第２周縁壁部２２とが互いに接触している状態で、外部からレーザーを照射する。第１周縁壁部１２と第２周縁壁部２２との接触部分の全てに対してレーザーを走査しながら照射すると、一度のレーザー照射でベーパーチャンバ１を製造することができる。延在部４０の延在方向、延在部４０の有無などは、第１周縁壁部１２と第２周縁壁部２２との接触力、レーザーの照射条件などによって、容易に制御できる。

【0050】

こうして製造したベーパーチャンバ１は、様々な姿勢であっても良好な熱輸送特性を求められている、携帯電話などの電子機器に好適に用いられる。ベーパーチャンバ１を備える電子機器は、様々な使用状態であっても、ベーパーチャンバ１の高い熱輸送特性を有する。

【0051】

以上説明した実施形態によれば、第１金属板の第１周縁壁部と第２金属板の第２周縁壁部とが接合部を介して接合されている。そのため、ベーパーチャンバは小型化できる。また、接合部に接続されている延在部によって、第１金属板の第１周縁壁部と第２金属板の第２周縁壁部とがベーパーチャンバの厚み方向内側から支持されている。そのため、ベーパーチャンバは、小型化を図りながら、優れた機械的強度を有する。

【0052】

なお、図９～１１に示すベーパーチャンバ１の外部に向かって延在している延在部４０は、上記のように非常に小さい。そのため、ベーパーチャンバ１は、このような延在部４０を除去しなくてもよい。但し、所望の要求に応じて、ベーパーチャンバ１の外部に向かって延在している延在部４０は、ベーパーチャンバ１から除去してもよい。

【0053】

以上、実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本開示の概念および特許請求の範囲に含まれるあらゆる態様を含み、本開示の範囲内で種々に改変することができる。

【符号の説明】

【0054】

１ ベーパーチャンバ
１０ 第１金属板
１１ 板部
１１ａ 板部の内面
１１ｂ 板部の外面
１１ｃ 板部の周縁
１２ 第１金属板の周縁壁部（第１周縁壁部）
１２ａ 第１周縁壁部の内面
１２ｂ 第１周縁壁部の外面
２０ 第２金属板
２１ 板部
２１ａ 板部の内面
２１ｂ 板部の外面
２１ｃ 板部の周縁
２２ 第２金属板の周縁壁部（第２周縁壁部）
２２ａ 第２周縁壁部の内面
２２ｂ 第２周縁壁部の外面
３０ 接合部
４０ 延在部
４０ａ 延在部の表面（第１表面）
４０ｂ 延在部の表面（第２表面）
４１ 延在部の基端
４２ 延在部の先端
４３ 溝部
Ｓ 内部空間
Ｆ（Ｌ） 液相の作動流体の流れ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】