特許7568900IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

レーザ加工装置、レーザ加工方法および加工物の製造方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

レーザビームの走査方向による加工線幅の差を低減し、対象物をレーザ加工することが求められている。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示のレーザ加工装置は、非限定的で例示的な実施形態において、レーザビームを出射する光源装置と、レンズを有し、前記光源装置から出射されるレーザビームを、前記レンズを介して集光し、集光されたレーザビームで対象物を照射するレーザヘッドと、前記対象物上に形成される、長軸と短軸を持つ楕円形状を有するレーザビームスポットを揺動させる揺動機構と、前記レーザビームスポットの長軸方向における第１揺動周波数が・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示の実施形態によれば、レーザビームの走査方向による加工線幅の差を低減し、対象物をレーザ加工することが可能になる、レーザ加工装置、レーザ加工方法および当該レーザ加工方法を含む加工物の製造方法が提供され得る。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 図１は、本開示の例示的なレーザ加工装置の構成例を模式的に示すブロック図である。
【図2】 図２は、本開示の例示的なガルバノスキャナの典型的な構成例を示す模式図である。
【図3】 図３は、本開示の例示的な制御装置のハードウェア構成例を示すブロック図である。
【図4A】 図４Ａは、レーザビームの走査方向が楕円スポットの短軸方向に平行である様子を例示す図である。
【図4B】 図４Ｂは、レーザビームの走査方向が楕円スポットの短軸方向に対して９０°で交差する様子を例示す図である。
【図4C】 図４Ｃは、レーザビームの走査方向が楕円スポットの短軸方向に対して４５°で交差する様子を例示す図である。
【図5A】 図５Ａは、レーザビームスポットの揺動パターンの例を示すグラフである。
【図5B】 図５Ｂは、レーザビームスポットの揺動パターンの例を示すグラフである。
【図5C】 図５Ｃは、レーザビームスポットの揺動パターンの例を示すグラフである。
【図6A】 図６Ａは、比較例における、Ｘ１軸およびＹ１軸方向に沿った光量積算値でプロットした曲線をそれぞれ例示するグラフである。
【図6B】 図６Ｂは、図５Ｃの例の揺動パターンに従ってビームスポットを揺動させた場合の、Ｘ１軸およびＹ１軸方向に沿った光量積算値でプロットした曲線をそれぞれ例示するグラフである。
【図7】 図７は、レーザビームスポットの円形の揺動パターンを例示するグラフである。
【図8】 図８は、波長ビーム結合によって結合したレーザビームを出射する光源装置の構成例を示す図である。

代表図 図1本件の代表的な図

２２：レーザモジュール ２６：ビームコンバイナ １００、１００Ａ：光源装置 ２００：揺動機構 ２００Ａ：ガルバノスキャナ ２１０：ドライバ ２２０：モータ ２２１：第１モータ ２２２：第２モータ ２３０：ミラー ２３１：第１スキャンミラー ２３２：第２スキャンミラー ２４０：レンズ ３００：レーザヘッド ４００：Ｄ／Ａコンバータ ５００：制御装置 ５０１：入力装置 ５０２：表示装置 ５０３：通信Ｉ／Ｆ ５０４：記憶装置 ５０５：プロセッサ ５０６：ＲＯＭ ５０７：ＲＡＭ ５０８：バス １０００：レーザ加工装置 Ｌ：レーザ光（レーザビーム） Ｓ：レーザビームスポット Ｗ：対象物 ＷＢ：波長結合ビーム

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