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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-10-15
(45)【発行日】2024-10-23
(54)【発明の名称】台車及び基板処理装置の構成部材の支持方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/66 20060101AFI20241016BHJP
B62B 3/04 20060101ALI20241016BHJP
【ＦＩ】
H01L21/66 B
B62B3/04 A
【請求項の数】
12
(21)【出願番号】P 2020212802
(22)【出願日】2020-12-22
(65)【公開番号】P2022099052
(43)【公開日】2022-07-04
【審査請求日】2023-09-26
(73)【特許権者】
【識別番号】000219967
【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002756
【氏名又は名称】弁理士法人弥生特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】藤田 裕人
(72)【発明者】
【氏名】藤原 潤
【審査官】堀江 義隆
(56)【参考文献】
【文献】特開２０２０－０２１９６７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－０６９７３７（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６６
Ｂ６２Ｂ ３／０４
Ｇ０１Ｒ ３１／２６
Ｇ０１Ｒ ３１／２８
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
横方向へスライドして外部へ引き出される基板処理装置の構成部材を、当該基板処理装置の外部にて支持する台車において、車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記構成部材が引き出される横方向を後方とすると、
前記構成部材の左右を各々支持するために、前記第１の支持部及び前記第２の支持部の組が、左右方向に離れて設けられ、
前記各組における第１の支持部と前記第２の支持部とは、前後方向に並んで設けられると共に当該前後方向の相対位置が変更可能であり、
互いに摺動可能な第１の摺動部材と第２の摺動部材とからなるスライド部が設けられ、
前記第１の支持部、前記第２の支持部に前記第１の摺動部材、前記第２の摺動部材が夫々設けられ、
前記第２の支持部は、前後方向において前記第１の支持部側に設けられる中間支持部と、当該中間支持部に対して前記第１の支持部とは逆側に設けられる端部側支持部と、からなり、
前記スライド部は複数設けられ、
前記第１の支持部、前記中間支持部には一の前記スライド部における前記第１の摺動部材、前記第２の摺動部材が夫々設けられ、当該第１の支持部及び当該中間支持部の前後方向の相対位置が変更可能であり、
前記端部側支持部、前記中間支持部には他の前記スライド部における前記第１の摺動部材、前記第２の摺動部材が夫々設けられ、当該端部側支持部及び当該中間支持部の前後方向の相対位置が変更可能である台車。
【請求項2】
横方向へスライドして外部へ引き出される基板処理装置の構成部材を、当該基板処理装置の外部にて支持する台車において、
車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記構成部材が引き出される横方向を後方とすると、
前記構成部材の左右を各々支持するために、前記第１の支持部及び前記第２の支持部の組が、左右方向に離れて設けられ、
前記第１の支持部に対して前後方向の相対位置が変更可能な基部が設けられ、
前記第２の支持部は前記基部において左右方向に移動可能に設けられ、
前記第１の位置における前記第２の支持部は、前記第１の支持部に対して左右方向に並び、
前記第２の位置における前記第２の支持部は前記第１の支持部に対して前後方向に並ぶ台車。
【請求項3】
横方向へスライドして外部へ引き出される基板処理装置の構成部材を、当該基板処理装置の外部にて支持する台車において、
車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記構成部材が引き出される横方向を後方とすると、
前記構成部材の左右を各々支持するために、前記第１の支持部及び前記第２の支持部の組が、左右方向に離れて設けられ、
前記各組における前記第２の支持部は回動軸まわりに回動自在であり、
当該第２の支持部は、前記第２の位置において前記回動軸に対して前記第１の支持部側とは逆側に伸長する台車。
【請求項4】
前記回動軸は縦方向に沿った軸である請求項３記載の台車。
【請求項5】
横方向へスライドして外部へ引き出される基板処理装置の構成部材を、当該基板処理装置の外部にて支持する台車において、
車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記第１の支持部及び前記第２の支持部は縦方向に複数段に設けられる台車。
【請求項6】
各段における前記第２の支持部は、一括して前記第１の位置と前記第２の位置との間で位置の変更が行えるように、互いに接続部材を介して互いに接続されている請求項５記載の台車。
【請求項7】
前記接続部材には、前記床上を転動して移動するための車輪が設けられている請求項６記載の台車。
【請求項8】
横方向へスライドして外部へ引き出される基板処理装置の構成部材を、当該基板処理装置の外部にて支持する台車において、
車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記構成部材における被支持部を下方から支持し、当該被支持部の移動に伴って転動する転動体が、前記第１の支持部及び前記第２の支持部に各々設けられ、
前記転動体は、前後方向に間隔を空けて設けられ、
前記第２の支持部が前記第１の位置に位置する状態、前記第２の位置に位置する状態の各々において、
前後方向に隣接する転動体の距離のうち最大の距離は、前後方向における前記被支持部の後端と前記構成部材の重心との距離以下である台車。
【請求項9】
横方向へスライドして外部へ引き出される基板処理装置の構成部材を、当該基板処理装置の外部にて支持する台車において、
車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記第２の支持部は、前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、
前記第１の支持部は、前記第２の支持部が第１の位置に位置する状態で、前記基板処理装置から第１の引き出し量で当該基板処理装置の外部へ当該横方向に引き出した前記基板処理装置の構成部材を支持し、
前記第２の支持部は、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記基板処理装置から前記第１の引き出し量よりも大きい第２の引き出し量で当該基板処理装置の外部へ当該横方向に引き出した前記構成部材を支持し、
前記第１の支持部に対して前記第２の支持部の位置を前記第１の位置、前記第２の位置の夫々で固定するための固定部を備える台車。
【請求項10】
前記第２の支持部が前記第１の位置に位置する状態で前記第１の引き出し量で引き出された前記構成部材を台車に対して固定し、前記第２の支持部が前記第２の位置に位置する状態で前記第２の引き出し量で引き出された前記構成部材を台車に対して固定するロック機構を備える請求項９記載の台車。
【請求項11】
車輪を備える台車本体によって構成される台車を床上にて移動させる工程と、前記台車本体に接続される第２の支持部が第１の位置に位置して当該台車の横方向の幅が第１の長さである状態で、基板処理装置から第１の引き出し量で当該基板処理装置の外部へ当該横方向に引き出した前記基板処理装置の構成部材を前記台車本体に設けられる第１の支持部に支持する工程と、
前記第２の支持部の位置を第２の位置にし、前記台車の前記横方向の幅を前記第１の長さより大きい第２の長さとする工程と、
前記台車の横方向の幅が前記第２の長さの状態で、前記基板処理装置から前記第１の引き出し量よりも大きい第２の引き出し量で当該基板処理装置の外部へ当該横方向に引き出した前記構成部材を前記第１の支持部及び前記第２の支持部により支持する工程と、
固定部により前記第１の支持部に対して前記第２の支持部の位置を前記第１の位置、前記第２の位置の夫々で固定する工程と、
を備える基板処理装置の構成部材の支持方法。
【請求項12】
前記第２の支持部が前記第１の位置に位置する状態で前記第１の引き出し量で引き出された前記構成部材を、ロック機構により台車に対して固定する工程と、
前記第２の支持部が前記第２の位置に位置する状態で前記第２の引き出し量で引き出された前記構成部材を、前記ロック機構により台車に対して固定する工程と、
を備える請求項１１記載の基板処理装置の構成部材の支持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、台車及び基板処理装置の構成部材の支持方法に関する。
【背景技術】
【0002】
基板である半導体ウエハ（以下、ウエハと記載する）を処理する処理装置の一例として、当該ウエハに形成された半導体デバイスの電気的特性の検査を行うウエハ検査装置が挙げられる。特許文献１には、このウエハ検査装置について示されており、ウエハ検査装置のセルを構成する部材を当該セルから引き出して、台車に載せて整備を行うことが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０２０－２１９６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本開示は、基板処理装置から当該装置の構成部材を装置の外部に引き出して台車に支持するにあたり、必要時以外には台車が占めるスペースを削減することができる技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本開示の台車は、横方向へスライドして外部へ引き出される基板処理装置の構成部材を、当該基板処理装置の外部にて支持する台車において、
車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記構成部材が引き出される横方向を後方とすると、
前記構成部材の左右を各々支持するために、前記第１の支持部及び前記第２の支持部の組が、左右方向に離れて設けられ、
前記各組における第１の支持部と前記第２の支持部とは、前後方向に並んで設けられると共に当該前後方向の相対位置が変更可能であり、
互いに摺動可能な第１の摺動部材と第２の摺動部材とからなるスライド部が設けられ、
前記第１の支持部、前記第２の支持部に前記第１の摺動部材、前記第２の摺動部材が夫々設けられ、
前記第２の支持部は、前後方向において前記第１の支持部側に設けられる中間支持部と、当該中間支持部に対して前記第１の支持部とは逆側に設けられる端部側支持部と、からなり、
前記スライド部は複数設けられ、
前記第１の支持部、前記中間支持部には一の前記スライド部における前記第１の摺動部材、前記第２の摺動部材が夫々設けられ、当該第１の支持部及び当該中間支持部の前後方向の相対位置が変更可能であり、
前記端部側支持部、前記中間支持部には他の前記スライド部における前記第１の摺動部材、前記第２の摺動部材が夫々設けられ、当該端部側支持部及び当該中間支持部の前後方向の相対位置が変更可能である。
本開示の台車は、横方向へスライドして外部へ引き出される基板処理装置の構成部材を、当該基板処理装置の外部にて支持する台車において、
車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記構成部材が引き出される横方向を後方とすると、
前記構成部材の左右を各々支持するために、前記第１の支持部及び前記第２の支持部の組が、左右方向に離れて設けられ、
前記第１の支持部に対して前後方向の相対位置が変更可能な基部が設けられ、
前記第２の支持部は前記基部において左右方向に移動可能に設けられ、
前記第１の位置における前記第２の支持部は、前記第１の支持部に対して左右方向に並び、
前記第２の位置における前記第２の支持部は前記第１の支持部に対して前後方向に並ぶ。
本開示の台車は、横方向へスライドして外部へ引き出される基板処理装置の構成部材を、当該基板処理装置の外部にて支持する台車において、
車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記構成部材が引き出される横方向を後方とすると、
前記構成部材の左右を各々支持するために、前記第１の支持部及び前記第２の支持部の組が、左右方向に離れて設けられ、
前記各組における前記第２の支持部は回動軸まわりに回動自在であり、
当該第２の支持部は、前記第２の位置において前記回動軸に対して前記第１の支持部側とは逆側に伸長する台車。
本開示の台車は、横方向へスライドして外部へ引き出される基板処理装置の構成部材を、当該基板処理装置の外部にて支持する台車において、
車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記第１の支持部及び前記第２の支持部は縦方向に複数段に設けられる台車。
本開示の台車は、横方向へスライドして外部へ引き出される基板処理装置の構成部材を、当該基板処理装置の外部にて支持する台車において、
車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記構成部材における被支持部を下方から支持し、当該被支持部の移動に伴って転動する転動体が、前記第１の支持部及び前記第２の支持部に各々設けられ、
前記転動体は、前後方向に間隔を空けて設けられ、
前記第２の支持部が前記第１の位置に位置する状態、前記第２の位置に位置する状態の各々において、
前後方向に隣接する転動体の距離のうち最大の距離は、前後方向における前記被支持部の後端と前記構成部材の重心との距離以下である台車。
本開示の台車は、横方向へスライドして外部へ引き出される基板処理装置の構成部材を、当該基板処理装置の外部にて支持する台車において、
車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記第２の支持部は、前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、
前記第１の支持部は、前記第２の支持部が第１の位置に位置する状態で、前記基板処理装置から第１の引き出し量で当該基板処理装置の外部へ当該横方向に引き出した前記基板処理装置の構成部材を支持し、
前記第２の支持部は、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記基板処理装置から前記第１の引き出し量よりも大きい第２の引き出し量で当該基板処理装置の外部へ当該横方向に引き出した前記構成部材を支持し、
前記第１の支持部に対して前記第２の支持部の位置を前記第１の位置、前記第２の位置の夫々で固定するための固定部を備える。
車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記構成部材が引き出される横方向を後方とすると、
前記構成部材の左右を各々支持するために、前記第１の支持部及び前記第２の支持部の組が、左右方向に離れて設けられ、
前記各組における第１の支持部と前記第２の支持部とは、前後方向に並んで設けられると共に当該前後方向の相対位置が変更可能であり、
互いに摺動可能な第１の摺動部材と第２の摺動部材とからなるスライド部が設けられ、
前記第１の支持部、前記第２の支持部に前記第１の摺動部材、前記第２の摺動部材が夫々設けられ、
前記第２の支持部は、前後方向において前記第１の支持部側に設けられる中間支持部と、当該中間支持部に対して前記第１の支持部とは逆側に設けられる端部側支持部と、からなり、
前記スライド部は複数設けられ、
前記第１の支持部、前記中間支持部には一の前記スライド部における前記第１の摺動部材、前記第２の摺動部材が夫々設けられ、当該第１の支持部及び当該中間支持部の前後方向の相対位置が変更可能であり、
前記端部側支持部、前記中間支持部には他の前記スライド部における前記第１の摺動部材、前記第２の摺動部材が夫々設けられ、当該端部側支持部及び当該中間支持部の前後方向の相対位置が変更可能である。
本開示の台車は、横方向へスライドして外部へ引き出される基板処理装置の構成部材を、当該基板処理装置の外部にて支持する台車において、
車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記構成部材が引き出される横方向を後方とすると、
前記構成部材の左右を各々支持するために、前記第１の支持部及び前記第２の支持部の組が、左右方向に離れて設けられ、
前記第１の支持部に対して前後方向の相対位置が変更可能な基部が設けられ、
前記第２の支持部は前記基部において左右方向に移動可能に設けられ、
前記第１の位置における前記第２の支持部は、前記第１の支持部に対して左右方向に並び、
前記第２の位置における前記第２の支持部は前記第１の支持部に対して前後方向に並ぶ。
本開示の台車は、横方向へスライドして外部へ引き出される基板処理装置の構成部材を、当該基板処理装置の外部にて支持する台車において、
車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記構成部材が引き出される横方向を後方とすると、
前記構成部材の左右を各々支持するために、前記第１の支持部及び前記第２の支持部の組が、左右方向に離れて設けられ、
前記各組における前記第２の支持部は回動軸まわりに回動自在であり、
当該第２の支持部は、前記第２の位置において前記回動軸に対して前記第１の支持部側とは逆側に伸長する台車。
本開示の台車は、横方向へスライドして外部へ引き出される基板処理装置の構成部材を、当該基板処理装置の外部にて支持する台車において、
車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記第１の支持部及び前記第２の支持部は縦方向に複数段に設けられる台車。
本開示の台車は、横方向へスライドして外部へ引き出される基板処理装置の構成部材を、当該基板処理装置の外部にて支持する台車において、
車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記構成部材における被支持部を下方から支持し、当該被支持部の移動に伴って転動する転動体が、前記第１の支持部及び前記第２の支持部に各々設けられ、
前記転動体は、前後方向に間隔を空けて設けられ、
前記第２の支持部が前記第１の位置に位置する状態、前記第２の位置に位置する状態の各々において、
前後方向に隣接する転動体の距離のうち最大の距離は、前後方向における前記被支持部の後端と前記構成部材の重心との距離以下である台車。
本開示の台車は、横方向へスライドして外部へ引き出される基板処理装置の構成部材を、当該基板処理装置の外部にて支持する台車において、
車輪を備えて床上を移動自在であり、前記構成部材を支持する第１の支持部を含む台車本体と、
前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記構成部材を支持するための第２の支持部と、
を備え、
前記第２の支持部は、前記台車における前記横方向の幅が第１の長さとなる第１の位置と当該横方向の幅が第１の長さよりも大きい第２の長さとなる第２の位置との間で移動自在に前記台車本体に接続され、
前記第１の支持部は、前記第２の支持部が第１の位置に位置する状態で、前記基板処理装置から第１の引き出し量で当該基板処理装置の外部へ当該横方向に引き出した前記基板処理装置の構成部材を支持し、
前記第２の支持部は、少なくとも前記第２の位置にて前記第１の支持部と共に前記基板処理装置から前記第１の引き出し量よりも大きい第２の引き出し量で当該基板処理装置の外部へ当該横方向に引き出した前記構成部材を支持し、
前記第１の支持部に対して前記第２の支持部の位置を前記第１の位置、前記第２の位置の夫々で固定するための固定部を備える。
【発明の効果】
【0006】
本開示によれば、基板処理装置から当該装置の構成部材を装置の外部に引き出して台車に支持するにあたり、必要時以外には当該台車が占めるスペースを削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【図1】本開示の第１の実施形態に係る台車が用いられるウエハ検査装置の平面図である。
【図2】前記台車と、前記台車に支持されるテスタとを示す概略斜視図である。
【図3】前記台車の概略側面図である
【図4】前記台車の概略側面図である
【図5】前記台車の上面図である。
【図6】前記台車の上面図である。
【図7】前記台車を構成する支持台の概略縦断側面図である。
【図8】前記台車を構成する支持台の概略縦断側面図である。
【図9】前記支持台の概略縦断背面図である。
【図10】前記支持台に設けられるボールの位置を示すための側面図である。
【図11】第２の実施形態に係る台車の平面図である。
【図12】前記台車の平面図である。
【図13】前記台車を構成する支持台の概略縦断側面図である。
【図14】前記台車を構成する支持台の概略縦断側面図である。
【図15】第３の実施形態に係る台車の斜視図である。
【図16】前記台車の平面図である。
【図17】前記台車の平面図である。
【図18】前記台車を構成する支持台の概略側面図である。
【図19】前記台車を構成する支持台の概略側面図である。
【図20】第４の実施形態に係る台車の平面図である。
【図21】前記台車の平面図である。
【図22】前記台車を構成する支持台の概略側面図である。
【図23】前記台車を構成する支持台の概略側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0008】
（第１の実施形態）
本開示の第１の実施形態に係る台車３は、工場のクリーンルーム内に設置された、基板処理装置であるウエハ検査装置１を整備するために用いられる。先にウエハ検査装置１について平面図である図１を参照して詳しく説明すると、当該ウエハ検査装置１はローダー１１及びセルタワー１２を備えており、ローダー１１とセルタワー１２とは互いに横方向に接続されている。この例ではセルタワー１２は１２個のセル１３によって構成されており、ローダー１１とセルタワー１２との接続方向に見て、セル１３は４×３の行列状に配置されている。つまり縦方向においては、セル１３が３段に設けられている。
本開示の第１の実施形態に係る台車３は、工場のクリーンルーム内に設置された、基板処理装置であるウエハ検査装置１を整備するために用いられる。先にウエハ検査装置１について平面図である図１を参照して詳しく説明すると、当該ウエハ検査装置１はローダー１１及びセルタワー１２を備えており、ローダー１１とセルタワー１２とは互いに横方向に接続されている。この例ではセルタワー１２は１２個のセル１３によって構成されており、ローダー１１とセルタワー１２との接続方向に見て、セル１３は４×３の行列状に配置されている。つまり縦方向においては、セル１３が３段に設けられている。
【0009】
ローダー１１には、ウエハＷを格納するキャリアＣを載置するステージ１４と、当該ステージ１４上のキャリアＣと各セル１３との間でウエハＷを受け渡す搬送機構１５と、が設けられる。各セル１３においては搬送されたウエハＷに対して、当該ウエハＷに形成された電気回路における導通状態などの電気的特性についての検査が行われる。セル１３についてさらに説明すると、セル１３内には当該セル１３の構成部材として、カード型部材（不図示）及びテスタ２が設けられる。カード型部材の下面はウエハＷの表面に対向し、当該下面にはウエハＷの表面に接触して上記の検査を行うための端子が設けられる。
【0010】
図２の斜視図も参照して説明すると、テスタ２は、上記の検査を行うための回路が形成された基板等が搭載される部材であり、カード型部材に上方から接続されて用いられる。そして当該テスタ２はカード型部材から分離された状態で、作業者によりセル１３の外部へと水平に引き出され、引き出された部分について整備を行うことができるように構成されている。この引き出し方向は、ローダー１１が接続される側とは逆側であり、以降はこの引き出し方向を後方として説明する。なお、以降の説明における左側、右側とは、後方から前方に向って見たときの左側、右側である。
【0011】
テスタ２の外形としては左右対称であり、前後に長尺な直方体である本体部２１と、本体部２１の左右の側面において夫々前後に伸長する突条部２２と、により構成されている。セル１３内においては被支持部である当該突条部２２が、図示しない支持部によって下方から支持され、テスタ２が水平姿勢に保たれる。そして本体部２１の上面側においては、部品２３、２４が前方側、後方側に夫々設けられている。
【0012】
上記のテスタ２の整備として、具体的には部品２３、２４についての整備（点検や交換することを含む）が含まれ、部品２３、２４のうち整備対象の部品が露出するように、テスタ２をスライド移動させてセル１３内から引き出す。そのようにテスタ２が引き出されることで、突条部２２のセル１３の外部に露出した部位を下方から支持するために、上記の台車３が用いられる。この台車３はクリーンルームの床上を移動自在であり、テスタ２の整備を行う際にセルタワー１２の後方に配置されて使用される。
【0013】
ところで例えばクリーンルーム内にてウエハ検査装置１が複数設けられ、前後に配置される場合が有る。その一方で、上記のテスタ２について、比較的大型のものを用いることが検討されている。それに合わせてウエハ検査装置１が大型化してフットプリントが上昇すると、クリーンルーム内に配置されるウエハ検査装置１の数が変更されないとした場合、セルタワー１２の後方のスペースの前後幅が比較的狭くなることが考えられる。そうなると、仮にセルタワー１２の後方に配置される台車３の前後幅が比較的大きい場合には、テスタ２の整備中は常に装置間における人の通行が妨げられてしまうおそれが有るが、そのような状態の発生を抑制することが要請されている。
【0014】
上記したように部品２３、２４は、テスタ２の前後の互いに異なる位置に設けられるので、後部側の部品２４の整備を行う際には、前部側の部品２３の整備を行う際に比べてテスタ２の引き出し量は小さくてよい。従ってテスタ２を支持する台車３における引き出し方向の幅（横方向の幅）についても小さくてよい。そこで、台車３はテスタ２のセル１３からの引き出し量に応じてその横幅を変更可能に構成されている。
【0015】
図２は台車３の概略斜視図であり、図３、図４は台車３の概略側面図である。部品２４の整備の際には、その前後幅が図３に示すように比較的小さい第１の長さとされた状態で台車３はセルタワー１２の後方に配置され、当該テスタ２の後部側が台車３に、テスタ２の前部側がセル１３に夫々支持される。そして部品２３の整備の際には、その前後幅が図４に示すように第１の長さよりも大きい第２の長さとされた状態で台車３はセルタワー１２の後方に配置され、テスタ２全体がセル１３から引き出されて台車３に支持される。つまり台車３は、比較的小さい第１の引き出し量で装置の外部へと引き出されたテスタ２を第１の長さの状態で支持し、第１の引き出し量よりも大きい第２の引き出し量で装置の外部へと引き出されたテスタ２を第２の長さの状態で支持する。
【0016】
台車３の構成について詳述する前に図２～図４を用いて概略構成を述べる。なお、台車３は既述したように移動自在であるが、以降の台車３についての説明において用いる前後左右とは特に記載無い限り、上記のようにテスタ２を支持するためにセルタワー１２の後方に配置した状態における前後左右であるものとする。既述の縦方向に並ぶ３段のセル１３から各々テスタ２を引き出して支持することができるように、当該台車３は各セル１３の高さに応じて、支持台４を縦方向に３段に備えている。そして上記したテスタ２の突条部２２の配置に合わせて、各段に支持台４は２つずつ、左右に離れて対をなして設けられている。従って支持台４は計６つ設けられており、左右の２つの支持台４によって１つのテスタ２が支持される。
【0017】
この支持台４は前後に伸縮可能であり、短縮状態と伸長状態とを切り替えることで、図３、図４に示すように台車３の前後幅が変更される。また、各支持台４上には転動体であるボール４９が前後に多数設けられ（図２では表示を省略している）、このボール４９が引き出された突条部２２を直接、下方から支持する。即ち、テスタ２の引き出し時において当該突条部２２に接しているボール４９が当該突条部２２の移動に伴って転動するように構成されており、比較的小さい力で当該引き出しを行うことができるようになっている。なお、引き出したテスタ２をセル１３に戻す際においてもボール４９の転動によって、比較的小さい力で戻すことができる。
【0018】
以下、台車３の上面図である図５、図６、支持台４の概略縦断側面図である図７、図８を参照しながら説明する。なお、図５、図７は図２、図３と同じく台車３の前後幅が第１の長さである状態（従って、支持台４については短縮状態）を示し、図６、図８は図４と同じく台車３の前後幅が第２の長さである状態（従って、支持台４については伸長状態）を示す。
【0019】
台車３は鉛直方向に伸びる４本の支柱を備えている。これらの支柱について、前方側の左右に配置されるものを３１、後方側の左右に配置されるものを３２とする。支柱３１同士、支柱３２同士は梁３３によって各々接続されており、当該梁３３は左右に伸びると共に上下に複数段に設けられている。前後に並ぶ支柱３１、３２は、支持台４により互いに接続されている。
【0020】
支柱３１、３２の下端にはキャスター３４（図３、図４参照）が設けられており、各キャスター３４は鉛直軸周りに回動して向きを変えることができる。従って、上記したように台車３はキャスター３４を構成する車輪の転動により、床上を自在に移動させて所望の配置とすることができる。支柱３１のキャスター３４にはストッパ３５が設けられており、当該キャスター３４の車輪を固定することができる。
【0021】
各段の支持台４は同様に構成されている。また、同じ段における互いに対をなす左右の支持台４は、台車３の左右の中心に対して概ね鏡面対称に形成されており、ここでは左右の支持台４のうち、代表して右側の支持台４を説明する。上記のように支持台４は伸縮するが、短縮状態では扁平な直方体として構成されており、その前端部が支柱３１に、その後端部が支柱３２に夫々支持されている。そして当該支持台４は、上面視で長辺が前後方向に揃い、正面視で支柱３１、３２から台車３の左右の中央へ向けて張り出すように設けられている。
【0022】
図５～図８に示すように、支持台４は、基部４１、前部台４２、中間台４３、後部台４４及びスライド部４５により構成されている。スライド部４５は４つ設けられ、伸長方向に互いに摺動可能に係合されたレール４６及びレール４７によって各々構成されている。前部台４２、中間台４３、後部台４４は各々テスタ２の突条部２２を支持するための部材であり、いずれも扁平な直方体として形成され、この順で前方から後方に向って設けられている。従って、前部台４２が支柱３１に接続される支持台４の前端部をなし、後部台４４が支柱３２に接続される支持台４の後端部をなす。前後の長さについては、前部台４２＞後部台４４＞中間台４３となっている。
【0023】
基部４１は前後に長尺で肉厚の板状体であり、中間台４３についてはその下部側がこの基部４１に貫かれると共に、当該基部４１の長さ方向の中心部に固定されている。従って、見方によっては基部４１の前側、後側が中間台４３から突出するように構成されている。そして、前部台４２の後方側の下部には凹部５１が形成され、当該凹部５１内に基部４１の前側が進入し、左右対称に設けられる２つのスライド部４５（一のスライド部）により当該凹部５１と基部４１の前側とが互いに接続されている。詳しく述べると、概略縦断背面図である図９に示すように凹部５１の左側壁、右側壁に各スライド部４５のレール４６（第１の摺動部材）が固定されて設けられ、基部４１の前側の左側面、右側面に各スライド部４５のレール４７（第２の摺動部材）が固定されて設けられている。
【0024】
また、後部台４４の前方側の下部には凹部５２が形成され、当該凹部５２内に基部４１の後側が進入し、２つのスライド部４５（他のスライド部）により当該凹部５２と基部４１の後側とが互いに接続されている。詳しく述べると、凹部５２の左側壁、右側壁に各スライド部４５のレール４６（第１の摺動部材）が固定されて設けられ、基部４１の後側の左側面、右側面に各スライド部４５のレール４７（第２の摺動部材）が固定されて設けられている。従って、中間台４３については基部４１を介してその前方側、後方側の夫々にレール４７が設けられている。上記の構成により、基部４１に対して前部台４２、後部台４４の各々がスライド移動可能であり、支持台４の短縮状態では中間台４３の前後に各々前部台４２、後部台４４が接し、支持台４の伸長状態では中間台４３に対して前部台４２及び後部台４４が離れる。
【0025】
前部台４２は第１の支持部、中間台４３及び後部台４４は第２の支持部に相当する。また、中間台４３は中間支持部に相当し、後部台４４は前後方向において中間台４３に対して前部台４２とは逆側に設けられる端部側支持部に相当する。そして、上記の短縮状態の前部台４２に対する中間台４３及び後部台４４の各位置が第１の位置、伸長状態の前部台４２に対する中間台４３及び後部台の各位置が第２の位置である。なお、上記のように支持台４は左右に設けられるので、前部台４２、中間台４３及び後部台４４からなる組が左右に設けられていることになる。
【0026】
前部台４２の上面、後部台４４の上面には、凹部５１、凹部５２に夫々開口するように小径の貫通孔５３が設けられている。また、基部４１の上面において中間台４３よりも前側に２つの凹部が前後に離れて設けられ、中間台４３よりも後側に２つの凹部が前後に離れて設けられている。そのように中間台４３に対して前側、後側に夫々形成された２つの凹部のうち、中間台４３寄りのものを凹部５４、中間台４３からより離れたものを凹部５５とする。凹部５４、５５の左右の位置と貫通孔５３の左右の位置とは互いに揃っており、支持台４の伸縮により、貫通孔５３を凹部５４及び凹部５５のうちの一方に重ねることができる。
【0027】
前部台４２の上方から各貫通孔５３にピン５６を挿入し、当該ピン５６の下端を凹部５４または凹部５５に進入させることで、前部台４２と中間台４３との前後方向における相対位置を固定することができる。また、後部台４４の上方から貫通孔５３にピン５６を挿入し、当該ピン５６の下端を凹部５４または凹部５５に進入させることで、後部台４４と中間台４３との前後方向における相対位置を固定することができる。短縮状態で支持台４を固定する際には、凹部５４にピン５６を進入させ、伸長状態で支持台４を固定する場合には各凹部５５にピン５６を進入させる。
【0028】
前部台４２、後部台４４の各々の上面には、前後に伸びる突条部である位置規制部５７が設けられている。当該位置規制部５７は、台車３の左右の中心寄りの位置に配置され、引き出されたテスタ２の突条部２２に当接することで、当該テスタ２の左右の位置を規制する。また、後部台４４の上面においては位置規制部５７よりも後方に、左右に伸びる突条部であるストッパ５８が設けられている。ストッパ５８は、引き出されたテスタ２の突条部２２の後端に当接することで、当該テスタ２の前後の位置を規制する。
【0029】
前部台４２、中間台４３、後部台４４の各々の上面には、既述したボール４９が設けられており、多数の当該ボール４９が、位置規制部５７よりも台車３の左右の中心寄りの位置にて互いに間隔を空けて前後に一列に配置されている。なお図７、図８に示すように各ボール４９は台座４０を介して、前部台４２、中間台４３、後部台４４上に設けられている。なお図の煩雑化を避けるために、第１の実施形態を説明する図では、図７、図８及び後述の図１０以外の各図では台座４０の表示を省略している。本例ではボール４９は前部台４２、後部台４４の各々に複数、中間台４３に１つ設けられている。
【0030】
また、前部台４２の後端側にはロック機構３６が設けられている。ロック機構３６は前部台４２に固定される本体部３７と、本体部３７から台車３の左右の中心側へ向けて突出する先端部３８とを備えており、当該先端部３８の突出量は調整自在である。この突出量の調整により、先端部３８は台車３に引き出されたテスタ２の本体部２１の側面に形成される図示しない孔部に進入する。それにより台車３にテスタ２を固定することができる。なお、既述したように右側の支持台４と、左側の支持台４とは概ね鏡面対称の関係であるが、このロック機構３６は右側の支持台４のみに設けられている。以上のように構成される台車３において、前部台４２、支柱３１及びその下方のキャスター３４については、台車本体を構成する。
【0031】
続いて、テスタ２の前方側の部品２３を整備するにあたり、当該テスタ２を台車３に支持させる手順を説明する。支持台４が短縮状態で固定されることで台車３については図３、図５等に示した第１の長さになっており、当該台車３はセルタワー１２の後方のテスタ２の引き出しが行われる領域から外れた位置にて待機しているものとする。作業者は支持台４の長さ方向が前後に揃うように台車３の向きを調整すると共に、台車３を整備対象のテスタ２を含むセル１３の後方に近接させた後、前方側のキャスター３４のストッパ３５により当該キャスター３４の車輪を固定することで、台車３の前方側の支柱３１の位置を固定する。
【0032】
続いて作業者は支持台４から各ピン５６を取り外して、支持台４の長さ変更が可能な状態とした後、台車３の後方側の支柱３２を後方へと引っ張り、当該支柱３２に接続される後方側のキャスター３４を利用して当該支柱３２の位置をずらす。それにより、上下３段の支持台４を一括して伸長状態とすると共に台車３の前後幅を拡大させ、当該台車３の長さが、図４、図６等で述べた第２の長さとされる。その後、作業者は取り外したピン５６を支持台４に挿入して、当該支持台４を伸長状態で固定する。
【0033】
そして、作業者は整備対象のテスタ２が含まれるセル１３から当該テスタ２を後方に水平に移動させて引き出す。それにより、テスタ２の本体部２１が左右に並ぶ支持台４間に進入すると共に、テスタ２の突条部２２の後端が、当該セル１３に対応する高さの段の支持台４における前方側のボール４９に乗り上げ、セル１３と台車３との各々がテスタ２を支持した状態となる。作業者はテスタ２をさらに後方へと引き出し、突条部２２がボール４９の列上を移動する。既述したように突条部２２を支持するボール４９は、当該突条部２２の移動によって転動する。
【0034】
そして突条部２２の後端がストッパ５８に当接し、テスタ２の全体が台車３に引き出されて支持されると、作業者はロック機構３６によりテスタ２を台車３に固定する。なお、図６、図８ではこのように引き出しが完了した状態におけるテスタ２、テスタ２の突条部２２を夫々示している。部品２３がセル１３の外部に露出した状態になっているので、作業者は当該部品２３の整備を行うことができる。整備後は以上に述べた手順とは逆の手順で台車３からセル１３へテスタ２を戻し、台車３をセルタワー１２の後方から退避させる。
【0035】
テスタ２の前側の部品２３を整備する場合について説明したが、テスタ２の後側の部品２４を整備する場合には、ピン５６の着脱を行わず、支持台４が短縮状態のまま（即ち台車３が第１の長さのまま）テスタ２を引き出すことを除いて、部品２３を整備する場合と同様の手順で作業を行う。なお、図５、図７ではそのように台車３が第１の長さのままで、引き出しが完了した状態のテスタ２、テスタ２の突条部２２を夫々示している。この状態において、テスタ２の前端側はセル１３に、テスタ２の後端側は台車３に夫々支持されており、部品２３、２４のうち部品２４のみがセル１３の外部に露出しており、当該部品２４を整備可能である。
【0036】
ところでボール４９の配置とテスタ２との位置関係について、既述したように支持台４を伸長状態として引き出しを行う際の側面図である図１０を参照しながら説明する。点Ｐは側面視のテスタ２の重心を示している。前後に並ぶ多数のボール４９について、隣接するボール４９間の各距離のうち最大のものについてＬ１とする。具体的に、前部台４２で最も後端側に配置されるボール４９と中間台４３のボール４９との距離、及び後部台４４で最も前端側に配置されるボール４９と中間台４３のボール４９との距離がＬ１である。そして、テスタ２の突条部２２の後端（引き出し方向の端）と重心Ｐとの前後の距離をＬ２とすると、距離Ｌ２≧距離Ｌ１である。
【0037】
仮に距離Ｌ２＜距離Ｌ１であるものとして、テスタ２を引き出す際の距離Ｌ１を形成する２つのボール４９上での突条部２２の動きを見ると、当該突条部２２の後端が後方側のボール４９に到達する前に、テスタ２の重心Ｐが前方側のボール４９を越えて後方側に位置してしまう。そうなると当該２つのボール４９間でテスタ２の後端が下がるようにテスタ２が傾いてしまう。つまり距離Ｌ２≧距離Ｌ１とすることで、前後方向においてボール４９間に重心Ｐが位置したときに、突条部２２の後端側がボール４９に支持されるように当該ボール４９は配置されており、安定して少ない力でテスタ２の引き出しが可能である。なお、支持台４を短縮状態にした場合は、距離Ｌ１は伸長状態の距離Ｌ１よりも小さいため、短縮状態にした場合と同様に距離Ｌ２≧距離Ｌ１となり、テスタ２を安定して引き出すことができる。
【0038】
このように台車３については、整備に必要なテスタ２の引き出し量に合わせて、支持台４を伸縮させることにより横幅が変更可能であるように構成されている。それにより、上記の引き出し量が大きくてもテスタ２の支持を可能にしつつ、当該引き出し量が少なくて済む場合には、台車３の横幅を小さく抑え、当該台車３の後方側において比較的大きなスペースの確保ができる。従って、台車３でテスタ２を支持するにあたり、台車３による人の通行の妨げが抑制される。
【0039】
また、各段の支持台４は接続部材である支柱３２により互いに接続されているため、上記のように当該支柱３２を移動させることで、各段の支持台４を一括で伸縮させることができる。従って、部品２３の整備のために台車３をセルタワー１２の後方に配置した後、速やかに台車３の長さを変更し、テスタ２の引き出しを行うことができる。また、そのように各段の支持台４が一括で伸縮するため、テスタ２をセル１３に戻した後、速やかに台車３の長さを変更してセルタワー１２の後方から別の場所に退避させることができる。なお、左右の支持台４も梁３３及び支柱３２を介して互いに接続され、一括で伸縮するのでこの台車３の長さの変更をより速やかに行うことができる。そして、支柱３２の下端には床上を転動するキャスター３４が設けられるため、作業者はこの支持台４の伸縮による台車３の長さ変更を、比較的少ない力で行うことができる。
【0040】
（第２の実施形態）
第２の実施形態の台車３Ａについて、上面図である図１１、図１２、概略側面図である図１３、図１４を参照して、台車３との差異点を中心に説明する。なお、この第２の実施形態以降の各台車についての説明で用いる前後左右についても、テスタ２を支持するために台車をセル１３の後方に配置したときの前後左右であるものとする。
第２の実施形態の台車３Ａについて、上面図である図１１、図１２、概略側面図である図１３、図１４を参照して、台車３との差異点を中心に説明する。なお、この第２の実施形態以降の各台車についての説明で用いる前後左右についても、テスタ２を支持するために台車をセル１３の後方に配置したときの前後左右であるものとする。
【0041】
この台車３Ａは支持台４の代わりに支持台４Ａを備える。支持台４Ａについても支持台４と同様に伸縮し、それにより台車３Ａの長さが変更される。ただし、支持台４Ａには中間台４３が設けられず、従って当該伸縮にあたり、前部台４２と後部台４４との相対位置が変更される。つまり既述した台車３の支持台４は２段に伸縮する構成であったが、この台車３Ａの支持台４Ａの伸縮は１段であり、スライド部４５は１つの支持台４Ａにおいて、２つのみ設けられる。
【0042】
支持台４Ａにおける基部４１の後端は後部台４４に固定されている。そして当該基部４１の前側は、支持台４の基部４１と同様、前部台４２に設けられる凹部５１内に進入し、当該凹部５１の左右の側壁と、基部４１の前側の左右の側面とがスライド部４５によって接続されている。そのような構成により、既述したように前部台４２と後部台４４との相対位置を変更して支持台４Ａの長さを変更することが可能であり、支持台４Ａの短縮状態では前部台４２と後部台４４とが接する。
【0043】
上記のようにこの支持台４Ａは１段の伸縮であるため、図１３、図１４に示すように、支持台４の長さを固定するためのピン５６は１つの支持台４に１つのみ設けられており、ピン５６が挿入される貫通孔５３も前部台４２の凹部５１にのみ開口する。また短縮状態で支持台４Ａを固定するためにピン５６が差し込まれる凹部５４、伸長状態で支持台４Ａを固定するためにピン５６が差し込まれる凹部５５についても基部４１の後側、前側に１つずつ設けられる。
【0044】
なお支持台４Ａには中間台４３が設けられないため、支持台４Ａの伸長状態においては、既述した前後に隣接するボール４９間の距離の最大値Ｌ１が比較的大きくなる。具体的には後部台４４の最前端のボール４９と前部台４２の最後端のボール４９との距離が比較的長くなるが、既述した距離Ｌ２≧距離Ｌ１の関係となるように各々配置される。なお、以降の各実施形態でもこの関係となるように、ボール４９が設けられるものとする。
【0045】
この台車３Ａについては台車３と同様の手順で使用され、引き出したテスタ２を支持する。この台車３Ａについても台車３と同様、テスタ２の引き出し量を大きくする必要がある場合を除いて、横幅を短くしておくことができるので、台車３と同様の効果が得られる。また当該台車３Ａについては構成部品の数が比較的少ないため、製造コストを抑制する観点から有利である。
【0046】
（第３の実施形態）
第３の実施形態の台車６について、概略斜視図である図１５、上面図である図１６、図１７、及び当該台車６を構成する支持台４Ｂ及び延長台６１の概略側面図である図１８、図１９を参照して、台車３との差異点を中心に説明する。先に台車６の概略構成を説明すると、この台車６は、台車３における短縮状態の支持台４と概ね同様の構成の支持台４Ｂを備え、支持台４Ｂは支持台４と同じく、台車６に上下３段、且つ左右に設けられる。
第３の実施形態の台車６について、概略斜視図である図１５、上面図である図１６、図１７、及び当該台車６を構成する支持台４Ｂ及び延長台６１の概略側面図である図１８、図１９を参照して、台車３との差異点を中心に説明する。先に台車６の概略構成を説明すると、この台車６は、台車３における短縮状態の支持台４と概ね同様の構成の支持台４Ｂを備え、支持台４Ｂは支持台４と同じく、台車６に上下３段、且つ左右に設けられる。
【0047】
ただし支持台４Ｂは伸長せず、代わりに台車６においては各支持台４Ｂの後方に、水平な延長台６１が当該支持台４Ｂと同じ高さに設けられる。従って、延長台６１についても支持台４Ｂと同じく、上下３段且つ左右に設けられている。そして、左右に並んだ延長台６１は対となって、テスタ２の後方側の左右を支持するために用いられる。なお、この第３の実施形態では支持台４Ｂが第１の支持部、延長台６１が第２の支持部である。
【0048】
そして、この延長台６１は鉛直軸周りに回動してその向きを変更可能であり、この向き変更（位置変更）によって台車６の横幅が変更される。当該台車６の横幅について、比較的短い第１の長さであるときには支持台４及び延長台６１のうち支持台４のみがテスタ２の支持に用いられ、台車３を用いる場合と同じく、部品２４の整備のためにテスタ２の一部のみが台車６に支持される。そして、第１の長さよりも大きい第２の長さであるときには支持台４及び延長台６１がテスタ２の支持に用いられ、台車３を用いる場合と同じく、部品２３の整備のためにテスタ２全体が台車６に支持される。なお、図１６、図１８は延長台６１が第１の位置となることで台車６が第１の長さである状態を示し、図１５、図１７、図１９は延長台６１が第２の位置となることで台車６の横幅が第２の長さである状態を示している。
【0049】
以下、台車６の各部について詳しく説明するが、以降の説明では左右方向における台車の中心側を左右方向中心側、その反対側を左右方向外側と記載する。支持台４Ｂについて支持台４との差異点を述べると、前後に並ぶボール４９の列の後方に位置するストッパ５８が、着脱自在であることが挙げられる。これは後述するように台車６の長さを変更するにあたり、支持台４の上記の位置と延長台６１との間でストッパ５８を付け替えることで、第１の長さの状態、第２の長さの状態の夫々において、引き出されるテスタ２の前後の位置を適切にするためである。
【0050】
延長台６１の回動を妨げないように、各支柱３２は支持台４Ｂを貫通せず、支持台４Ｂを後方側から支持している。そして、各支柱３２の後方側に、鉛直方向に伸びる支柱６２が設けられており、これら支柱３２の後方側の側面と、支柱６２の前方側の側面とが蝶番６３によって接続されている。そして、蝶番６３を構成する軸６４は縦方向、より詳しくは鉛直方向に沿っている。従って、当該軸６４の周りを支柱６２は旋回自在であると共に、支柱６２は、当該支柱３２に対して前後に並ぶ一の位置（図１７の位置）と、当該一の位置から台車３の左右の中央側にずれた他の位置（図１６の位置）との間を移動することができる。以降、説明の便宜上、特に記載無い限り、支柱６２が上記の一の位置に位置しているものとして説明する。なおこの一の位置は、台車６の横幅が第２の長さ、延長台６１については第２の位置となる位置であり、蝶番６３については閉じている。そして軸６４の左右方向の位置が、支柱３２、６２における左右方向中心側の側面の位置と揃っている。
【0051】
そして、支柱６２から後方に離れた位置に鉛直方向に伸びる支柱６５が設けられており、支柱６２、６５間が延長台６１と、前後に伸びる梁６６とにより互いに接続されている（図１５参照）。そして、梁６６は支柱６２の下端と支柱６５の下端とを接続し、その下方にはキャスター６７が設けられている。
【0052】
続いて延長台６１について説明する。左右に各々設けられる延長台６１は、台車６Ａの左右の中心に対して鏡面対称に形成されている。図１７に示すように、延長台６１は平面視、長辺が前後方向に沿った矩形板状に構成されており、その前端部、その後端部が夫々支柱６２、６５に固定されている。従って、第２の位置における支持台６１は回動軸である軸６４から支柱６２を介して、第１の支持部である支持台４Ｂとは逆側に向けて伸長している。また、延長台６１は、支柱６２、６５から左右方向中心側に張り出すように設けられており、延長台６１における左右方向中心側の縁と、当該延長台６１の前方に並ぶ支持台４Ｂにおける左右方向中心側の縁との左右における位置は互いに揃っている。
【0053】
延長台６１において上記のように支柱６２、６５から張り出した部位の上面には、支持台４Ｂに設けられるものと同様の位置規制部５７が前後方向に伸長して設けられており、この位置規制部５７の左右の位置は、当該延長台６１の前方に並ぶ支持台４Ｂの位置規制部５７の左右の位置と同じである。また、延長台６１の上面において当該位置規制部５７が設けられる位置よりも左右方向中心側には、複数のボール４９が前後方向に並んで設けられる。これらのボール４９の左右の位置は、当該延長台６１の前方に並ぶ支持台４Ｂのボール４９の左右の位置と同じである。そして、延長台６１において各ボール４９の後方側の位置にて、ストッパ５８が着脱自在とされている。
【0054】
また、支柱３２、支柱６２の各々の長さ方向の中央部の左右方向外側において、接続用部材７１が設けられている（図１５参照）。当該接続用部材７１は支柱３２の側部、支柱６２の側部から後方、前方に夫々伸びるように形成されている。図１７に示すように、これらの接続用部材７１には鉛直方向に貫通孔７２が穿孔されると共に各貫通孔７２は互いに重なり、ピン５６がこれらの貫通孔７２に差し込まれている。それにより支柱３２、６２が互いに固定されると共に、台車６の前後の長さが第２の長さで固定される。ピン５６を接続用部材７１から取り外すことで、上記した支柱６２の旋回が可能になり、台車６の前後の長さを変更することができる。
【0055】
また、各支柱６５の長さ方向の中央部の左右方向外側において、当該支柱６５の側部から後方に向けて伸びる接続用部材７３が設けられており、当該接続用部材７３には貫通孔７４が鉛直方向に設けられている。台車６の前後の長さを比較的短い第１の長さとする場合には、各支柱６５を台車６の左右の中央に寄せるように旋回させて、左右に並んだ状態とする。この状態における延長台６１の位置が第１の位置であり、当該第１の位置では、平面視、延長台６１の長辺は左右方向に揃うと共に短辺が前後方向に揃う。従って、延長台６１は回動軸である軸６４から支柱６２を介して台車６の左右の中心側へ向って伸びた状態となっている（図１６参照）。
【0056】
このように延長台６１については、台車６が第１の長さであるときと第２の長さであるときとで、向きが９０°変化するように回動する。そして、上記のように台車６が第１の長さとなり、支柱６５が左右に並んだ状態では、各接続用部材７３の貫通孔７４が上下に重なった状態となる。ピン５６をこれらの貫通孔に差し込むことで、支柱６５同士が互いに固定され、台車６は当該第１の長さで固定された状態となる。
【0057】
続いて、テスタ２の前方側の部品２３を整備するにあたり、当該テスタ２を台車６に支持させる手順を、台車３に支持させるときの手順との差異点を中心に説明する。先ず、台車６は図１６に示した第１の長さの状態で固定されていると共に、ストッパ５８が支持台４Ｂに設けられた状態になっているものとする。作業者はこの台車６を、セル１３の後方へと移動させた後、台車３による作業時と同様に支柱３１の下方のキャスター３４のストッパ３５により、当該キャスター３４の車輪を固定する。続いて作業者は接続用部材７３に差し込まれているピン５６を取り外し、図１６に矢印で示すように支柱６５を互いに離すように旋回させて延長台６１の向きを変更し、当該延長台６１の長さ方向が前後方向に揃うようにすることで、台車６の横幅を第２の長さとする。
【0058】
そして作業者は取り外したピン５６について、支柱６５を旋回させたことで互いに重なった各接続用部材７１に差し込み、延長台６１の向きを固定させた後、ストッパ５８を支持台４から取り外して、延長台６１に付け替える。然る後、作業者はセル１３からテスタ２を後方に引き出し、突条部２２が支持台４及び延長台６１の各ボール４９に乗り上げるようにする。突条部２２がストッパ５８に当接するまで引き出しを行った後、作業者はロック機構３６によりテスタ２を台車６に固定する。なお、図１７、図１９ではこのように引き出しが完了した状態におけるテスタ２、テスタ２の突条部２２を夫々示している。
【0059】
テスタ２の後方側の部品２４を整備する場合については、ピン５６の着脱、支柱６５の旋回及びストッパ５８の付け替えを行わず、台車６が第１の長さのままテスタ２を引き出すことを除いて、部品２３を整備する場合の手順と同じである。図１６、図１８では、そのように台車６が第１の長さのままで引き出しが完了した状態におけるテスタ２、テスタ２の突条部２２を夫々示している。なお、引き出したテスタ２をセル１３に戻す場合は、台車６を第１の長さとして引き出した場合、台車６を第２の長さとして引き出した場合のいずれも、引き出したときとは逆の手順の作業を行う
【0060】
この台車６についても台車３、３Ａと同様、部品２３の整備を行うためにテスタ２を支持する場合以外にはその前後幅を小さくしておくことができ、そのように前後幅が小さい状態において台車６の後方側に十分なスペースを確保することができる。また、当該台車６はスライド部２５を含まず、構成が簡素であるため製造コストをより抑えることができるため好ましい。ただし、この台車６においては第１の長さにしたときに延長台６１はテスタ２を支持しない構成である。そのため第１の長さの台車の横幅をより小さくする観点からは台車３、３Ａのように後部台４４がスライドし、第１の長さであるときにその後部台４４によってもテスタ２の支持が行われる構成とすることが好ましい。なお、この台車６について支柱３２と延長台６１とは支柱６２を介して接続されているが、蝶番６３を延長台６１と同じ高さに配置し、支柱６２を設けずに延長台６１と支柱３２とが直接、蝶番６３により接続された構成であってもよい。そのように支柱６２を設けない場合は、支柱６２と支柱６５とを接続する梁６６に設けていたキャスター６７は、例えば支柱６５の下端に設ければよい。
【0061】
（第４の実施形態）
第４の実施形態の台車６Ａについて、上面図である図２０、図２１及び当該台車６Ａを構成する支持台４Ｃ及び延長台６１の概略側面図である図２２、図２３を参照して、台車６との差異点を中心に説明する。台車６Ａについても台車６と同様に延長台６１の回動によって、台車６Ａの横幅が第１の長さと第２の長さとの間で変更される。図２０、図２２は第１の長さの状態を示し、図２１、図２３は第２の長さの状態を示している。ただし、後に詳しく示すように、台車６Ａではそのように台車６Ａの長さ変更を行う際における延長台６１が回動する経路について台車３と異なる。
第４の実施形態の台車６Ａについて、上面図である図２０、図２１及び当該台車６Ａを構成する支持台４Ｃ及び延長台６１の概略側面図である図２２、図２３を参照して、台車６との差異点を中心に説明する。台車６Ａについても台車６と同様に延長台６１の回動によって、台車６Ａの横幅が第１の長さと第２の長さとの間で変更される。図２０、図２２は第１の長さの状態を示し、図２１、図２３は第２の長さの状態を示している。ただし、後に詳しく示すように、台車６Ａではそのように台車６Ａの長さ変更を行う際における延長台６１が回動する経路について台車３と異なる。
【0062】
先に台車６Ａが第２の長さとされた状態、延長台６１について見れば第２の位置に位置する状態を説明する。図２１に示すように台車６Ａは支持台４Ｂの代わりに支持台４Ｃを備えている。この支持台４Ｃは台車６の支持台４Ｂと概ね同様の構成であるが、支持台４Ｂとの差異点として左右方向外側の後部が切り欠かれていることが挙げられる。この切り欠きを７６とすると、当該切り欠き７６は平面視矩形状であり、前後に細長に形成されている。従って、支持台４Ｃはこの切り欠き７６が形成されることにより、左右方向中心側が後方に突出するように形成され、当該突出部を７７とする。支柱３２は、当該突出部７７の後端における左右方向外側を貫通して、支持台４Ｃを支持するように配置されている。
【0063】
台車６Ａに設けられる延長台６１については左右方向の幅が比較的小さく形成されており、上記の突出部７７から後方へ伸びるように配置されている。この台車６Ａには支柱６２が設けられておらず、延長台６１の前端面と支柱３２の後側の側面とが蝶番６３によって接続されている。なお、この台車６Ａが第２の長さであるときの蝶番６３は閉じた状態となっており、蝶番６３の軸６４の左右の位置は、支柱３２及び延長台６１の各々における左右方向外側の側面の位置と揃っている。延長台６１の後端部は台車６と同様に支柱６５に貫通され、当該支柱６５により支持されている。
【0064】
以上に述べたように構成されることで、延長台６１は突出部７７に対する左右方向外側の位置を通過するように、軸６４を回動軸として回動可能である。続いて台車６Ａが第１の長さである状態、即ち延長台６１について見れば第１の位置に位置する状態を説明する。台車６Ａが第１の長さであるときの延長台６１の向きは、台車６Ａが第２の長さであるときの延長台６１の向きと１８０°異なり、図２０に示すように延長台６１は支柱６５と共に平面視、切り欠き７３に収まる位置に位置する。つまり、延長台６１は回動軸である軸６４から、前後方向における支持台４Ｃ（第１の支持部）が位置する側へ向けて伸び出した状態となっている。なお、切り欠き７３に収まった状態の当該延長台６１及び支柱６５と、支持台４Ｃとは平面視、矩形をなす。
【0065】
台車６の説明で述べた、第１の長さ、第２の長さで各々台車を固定するためにピン５６が挿通される接続用部材７１、７３については、延長台６１が支持台４Ｃに対して既述した各状態で固定されるように任意の位置に設ければよい。この台車６Ａについても、台車６と同様の手順で使用されて作業が行われる。その際に横幅が変更できるので、既述した各台車と同様、テスタ２を支持するにあたり、その後方のスペースが常時狭くなってしまうことを防ぐことができる。
【0066】
また、台車６Ａが第１の長さであるときに、延長台６１は上記のように支持台４Ｃの切り欠き７３に収まることで、支持台４Ｃと延長台６１とが左右に並ぶ状態となる。そのように各台が左右に並ぶことで、第１の長さであるときの台車６Ａの横幅がより抑えられるので好ましい。ただしそのように構成されることで、台車６Ａではその横幅を変更する際に延長台６１は支持台４Ｃの左右方向外側を移動するので、台車６Ａの左右には比較的大きなスペースが必要になる。従って、当該台車の左右に必要なスペースを小さくする観点からは、上記の台車６のように延長台６１が回動するために必要な領域が、支持台４Ｂの後方に限られる構成とすることが好ましい。
【0067】
既述の各実施形態ではテスタ２の突条部２２を支持するための転動体をボール４９として構成しているが、転がることで突条部２２を移動させることができればよく、例えばローラーであってもよい。なお、支持台４及び延長台６１について、突条部２２との間の摩擦が比較的低いものであれば、テスタ２を移動させることができるので、転動体が設けられない構成であってもよい。
【0068】
また、既述の各実施形態では３段に積層されたセル１３から各々テスタ２を引き出して支持することができるように、支持台４も３段にしているが、支持台４の段数としてはセル１３の積層数に合わせて適宜設定すればよく、３段であることに限られない。そして、当該支持台４の段数について複数段とすることにも限られず、１段のみ備えるように台車を構成してもよい。
【0069】
さらに台車に支持される基板処理装置の構成部材としては、装置から横方向に移動させて支持できるものであればよい。従って当該台車の適用はウエハ検査装置１に限られず、横方向に移動して外部への引き出し量が調整される構成部材を有する基板処理装置であれば適用することが可能である。また、当該構成部材を支持する位置は、その構成部材の形状や構成によって適宜変更可能であり、例えば構成部材の左右の中央部を台車が支持する構成であってもよい。つまり、左右に対となるように支持部を備えるように台車を構成することには限られない。
【0070】
今回開示された実施形態については、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の特許請求の範囲及びその趣旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更または組み合わせが行われてもよい。
【符号の説明】
【0071】
１ ウエハ検査装置
２ テスタ
３ 台車
３１ 支柱
３４ キャスター
４２ 前部台
４４ 後部台
２ テスタ
３ 台車
３１ 支柱
３４ キャスター
４２ 前部台
４４ 後部台
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】