特許 7573668 金属含有材料の高圧アニーリングプロセス

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-17

(45)【発行日】2024-10-25

(54)【発明の名称】金属含有材料の高圧アニーリングプロセス

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/336 20060101AFI20241018BHJP

   H01L 29/786 20060101ALI20241018BHJP

   H01L 21/20 20060101ALI20241018BHJP

   H01L 21/28 20060101ALI20241018BHJP

   H01L 21/477 20060101ALI20241018BHJP

【ＦＩ】

H01L29/78 627F

H01L21/20

H01L21/28 B

H01L21/28 301B

H01L21/28 301R

H01L21/477

H01L29/78 616V

H01L29/78 617M

H01L29/78 618B

【請求項の数】 14

(21)【出願番号】P 2023031560

(22)【出願日】2023-03-02

(62)【分割の表示】P 2020547132の分割

【原出願日】2019-01-28

(65)【公開番号】P2023063338

(43)【公開日】2023-05-09

【審査請求日】2023-03-02

(31)【優先権主張番号】62/641,110

(32)【優先日】2018-03-09

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】390040660

【氏名又は名称】アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ

【住所又は居所原語表記】３０５０ Ｂｏｗｅｒｓ Ａｖｅｎｕｅ Ｓａｎｔａ Ｃｌａｒａ ＣＡ ９５０５４ Ｕ．Ｓ．Ａ．

(74)【代理人】

【識別番号】100094569

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 伸一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100103610

【弁理士】

【氏名又は名称】▲吉▼田 和彦

(74)【代理人】

【識別番号】100109070

【弁理士】

【氏名又は名称】須田 洋之

(74)【代理人】

【識別番号】100067013

【弁理士】

【氏名又は名称】大塚 文昭

(74)【代理人】

【氏名又は名称】上杉 浩

(74)【代理人】

【識別番号】100120525

【弁理士】

【氏名又は名称】近藤 直樹

(74)【代理人】

【識別番号】100139712

【弁理士】

【氏名又は名称】那須 威夫

(74)【代理人】

【識別番号】100176418

【弁理士】

【氏名又は名称】工藤 嘉晃

(72)【発明者】

【氏名】スィング コーシャル ケー

(72)【発明者】

【氏名】シェック メイイー

(72)【発明者】

【氏名】ネマニ シュリーニバス ディー

(72)【発明者】

【氏名】イェ エリー ワイ

【審査官】田付 徳雄

(56)【参考文献】

【文献】米国特許出願公開第２０１４／０２３９２９２（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１６－１１５９１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１７９５９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１２－００８３８２６（ＫＲ，Ａ）

【文献】特開２００４－２４１７８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－０１６４９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－２０９５３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１０８７３９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３３６

Ｈ０１Ｌ ２１／２０

Ｈ０１Ｌ ２１／２８

Ｈ０１Ｌ ２１／４７７

Ｈ０１Ｌ ２９／７８６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

処理チャンバであって、
前記処理チャンバの内部容積部の中に配置され、処理中に光学的に透明な基板を支持するように構成された基板支持体であって、金属含有層が前記光学的に透明な基板に配置されている、基板支持体と、
前記処理チャンバの前記内部容積部に酸素含有混合ガスを供給するように構成されたガスパネルと、
前記金属含有層を前記酸素含有混合ガスの存在下で熱アニールする間、２バールから５０バールの間のプロセス圧力で、前記内部容積部内の前記酸素含有混合ガスを維持するように前記ガスパネルを制御するように構成されたコントローラと
を含み、
前記金属含有層がＴＦＴデバイス構造体の電極であり、
前記ガスパネルが前記酸素含有混合ガスを前記内部容積部に供給する前に、前記金属含有層にインジウムまたはモリブデンを含むドーパントを注入し、
前記金属含有層に注入される前記ドーパントが前記金属含有層の結晶化度を高め、
前記高めた結晶化度は、ドープされた金属含有層が利用されると、膜特性の電子移動度を増大させ、前記ＴＦＴデバイス構造体の電気性能を向上させる、処理チャンバ。

【請求項2】

前記酸素含有混合ガスが前記内部容積部に供給されている間、基板温度を４００℃未満に維持するようにさらに構成された、請求項１に記載の処理チャンバ。

【請求項3】

前記酸素含有混合ガスが、Ｏ₃ガス、Ｏ₂ガス、Ｈ₂Ｏ、Ｈ₂Ｏ₂、Ｎ₂Ｏ、ＮＯ₂、ＣＯ₂、ＣＯ、空気、乾燥蒸気からなる群から選択された少なくとも１つの酸素含有ガスを含む、請求項１に記載の処理チャンバ。

【請求項4】

前記酸素含有混合ガスが乾燥蒸気または空気を含む、請求項１に記載の処理チャンバ。

【請求項5】

前記コントローラが約５バールから１００バールの間で前記プロセス圧力を維持するように構成された、請求項１に記載の処理チャンバ。

【請求項6】

前記金属含有層が金属酸化物層である、請求項１に記載の処理チャンバ。

【請求項7】

前記金属酸化物層が、ａ－ＩＧＺＯ（アモルファスインジウムガリウム亜鉛酸化物）、ドープされたＩＧＺＯ、ＩｎＧａＺｎＯＮ、ＺｎＯ、ＺｎＯＮ、ＺｎＳｎＯ、ＣｄＳｎＯ、ＧａＳｎＯ、ＴｉＳｎＯ、ＣｕＢＯ₂、ＣｕＡｌＯ₂、ＣｕＧａＯ₂、ＳｒＣｕＯ、ＬａＣｕＯＳ、ＧａＮ、ＩｎＧａＮ、ＡｌＧａＮおよびＩｎＧａＡｌＮからなる群から選択される、請求項６に記載の処理チャンバ。

【請求項8】

前記金属含有層が薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）デバイス構造体の活性層である、請求項１に記載の処理チャンバ。

【請求項9】

前記金属含有層がＩｎＧａＺｎＯＮである、請求項１に記載の処理チャンバ。

【請求項10】

前記金属含有層を熱アニールした後、前記金属含有層がより高い移動度を有する、請求項１に記載の処理チャンバ。

【請求項11】

前記金属含有層を熱アニールした後、前記金属含有層がより高い膜密度を有する、請求項１に記載の処理チャンバ。

【請求項12】

処理チャンバであって、
前記処理チャンバの内部容積部の中に配置され、処理中に光学的に透明な基板を支持するように構成された基板支持体であって、金属含有層が前記光学的に透明な基板に配置され、前記金属含有層が、ａ－ＩＧＺＯ（アモルファスインジウムガリウム亜鉛酸化物）、ドープされたＩＧＺＯ、ＩｎＧａＺｎＯＮ、ＺｎＯ、ＺｎＯＮ、ＺｎＳｎＯ、ＣｄＳｎＯ、ＧａＳｎＯ、ＴｉＳｎＯ、ＣｕＢＯ₂、ＣｕＡｌＯ₂、ＣｕＧａＯ₂、ＳｒＣｕＯ、ＬａＣｕＯＳ、ＧａＮ、ＩｎＧａＮ、ＡｌＧａＮおよびＩｎＧａＡｌＮからなる群から選択される、基板支持体と、
前記処理チャンバの前記内部容積部に処理ガスを供給するように構成されたガスパネルと、
前記ガスパネルを制御して、プロセス圧力を２バールから５０バールの間に維持することにより、前記金属含有層を熱処理し、
前記金属含有層を熱処理する間、前記光学的に透明な基板の基板温度を５００℃未満に維持するように構成されたコントローラと
を含み、
前記金属含有層がＴＦＴデバイス構造体の電極であり、
前記ガスパネルが前記処理ガスを前記内部容積部に供給する前に、前記金属含有層にインジウムまたはモリブデンを含むドーパントを注入し、
前記金属含有層に注入される前記ドーパントが前記金属含有層の結晶化度を高め、
前記高めた結晶化度は、ドープされた金属含有層が利用されると、膜特性の電子移動度を増大させ、前記ＴＦＴデバイス構造体の電気性能を向上させる、処理チャンバ。

【請求項13】

前記ガスパネルが、前記金属含有層を熱処理する間に前記処理ガスを供給し、前記処理ガスは乾燥蒸気、空気、カルコゲン蒸気、またはテルル蒸気である、請求項１２に記載の処理チャンバ。

【請求項14】

前記金属含有層を熱処理した後、前記金属含有層がより高い移動度を有する、請求項１２に記載の処理チャンバ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は一般に、ＴＦＴデバイス構造体、半導体、またはメモリ用途に利用できる膜スタックの金属含有層を形成する方法に関する。

【背景技術】

【0002】

表示デバイスは、テレビ、モニタ、携帯電話、ＭＰ３プレーヤ、電子ブックリーダ、および携帯情報端末（ＰＡＤ）などの広範囲の電子応用分野で広く使用されている。表示デバイスは一般に、液晶に電界を加えることによって所望の画像を生成するように設計され、この液晶は、２枚の基板間のギャップを埋めており、誘電場の強度を制御する異方性の誘電率を有する。基板を通過させる光の量を調整することによって、光強度および画像強度、画質および消費電力を効率的に制御することができる。

【0003】

アクティブマトリクス液晶表示装置（ＡＭＬＣＤ）またはアクティブマトリクス有機発光ダイオード（ＡＭＯＬＥＤ）などの多種多様な表示デバイスが、タッチスクリーンパネルを利用する表示デバイスの光源として使用され得る。ＴＦＴデバイスの製造において、電子移動度が高く、漏洩電流が少なく、絶縁破壊電圧が高い電子デバイスが、光が通過するためのより大きい画素面積および回路の集積化を可能にして、その結果、より明るい表示装置、より高い総合電気効率、より速い応答時間、およびより高い解像度の表示装置が得られる。不純物を含む金属電極層のように、デバイス内に形成される材料層の膜品質が低いと、デバイスの電気性能が悪くなり、デバイスの実用寿命が短くなることが多い。それゆえに、ＴＦＴデバイス内に膜層を形成し集積する安定した確実な方法が、閾電圧シフトが少ない電子デバイスを製造する際に使用する、膜漏洩が少なく絶縁破壊電圧が高いデバイス構造体を提供するために非常に重要になっており、電子デバイスの総合性能の改善が望まれている。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

したがって、デバイス電気性能およびデバイス安定性の改善をもたらすＴＦＴデバイスを製造するための、材料の改善が必要とされている。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示は、ＴＦＴ表示装置用途、半導体または抵抗ランダムアクセスメモリ（ＲｅＲＡＭ）における金属含有層にアニーリングプロセスを実施する方法を提示する。１つの例では、金属含有層を基板上に形成する方法は、処理チャンバ内の基板に酸素含有混合ガスを供給するステップであって、基板が、光学的に透明な基板に配置された金属含有層を含むステップと、酸素含有混合ガスを処理チャンバ内で２バールから５０バールの間のプロセス圧力に維持するステップと、金属含有層を酸素含有混合ガスの存在下で熱アニールするステップとを含む。

【0006】

別の例では、基板上に配置された金属含有層の密度を高くする方法は、光学的に透明な基板上に配置された金属含有層を２バールより大きい圧力で熱処理するステップと、誘電体層を熱処理する間に基板温度を５００℃未満に維持するステップとを含む。

【0007】

さらに別の例では、基板上に配置された金属含有層の密度を高くする方法は、基板上に金属含有層を形成するステップと、金属含有層にドーパントを注入するステップと、基板上の金属含有層を２バールよりも大きい圧力で、基板温度を５００℃未満に維持しながら熱処理するステップとを含む。

【0008】

上述の、本発明の特徴が列挙された様式が詳細に理解できるように、上で簡潔に要約した本発明のより具体的な説明は、添付の図面にそのいくつかが示されている実施形態を参照することによって得られるであろう。しかし、本発明が、その他の同様に効果的な実施形態を認めることができるので、添付の図面は、本発明の典型的な実施形態を示すのみであり、したがって、本発明の範囲を限定するものとみなされるべきでないことに留意されたい。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】いくつかの実施形態による、カセットが配置されている処理チャンバの簡略化前面断面図である。

【図2】図１の処理チャンバを組み込むことができるクラスタシステムの図である。

【図3】薄膜トランジスタデバイス構造の１つの例の断面図である。

【図4】薄膜トランジスタデバイス構造の別の例の断面図である。

【図5】いくつかの実施形態による、金属含有材料において実施されるアニーリングプロセスのフロー図である。

【図6A-6D】いくつかの実施形態による、図５の金属含有材料を熱アニールする順序の１つの実施形態を描写する図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

理解しやすいように、可能な場合には同様のアニール条件による大気圧でのアニールなどの、各図に共通の同じ要素を指定するのに同じ参照数字が使用されている。１つの実施形態の要素および特徴は、別に詳述されていなくても他の実施形態に有利に組み込まれることが企図されている。

【0011】

しかし、本発明では、その他の同様に効果的な実施形態を認めることができるので、添付の図面は、本発明の例示的な実施形態を示すのみであり、したがって、本発明の範囲を限定するものとみなされるべきでないことに留意されたい。

【0012】

本開示の実施形態は一般に、ＴＦＴデバイス構造体と、表示デバイスの電気性能を向上させるようにＴＦＴデバイス構造体のソース、ドレイン、インターフェースおよびコンタクト領域の活性層に熱アニーリングプロセスを実施する方法とを提示する。半導体またはメモリデバイス製造プロセスを含む他の用途でもまた、本明細書に記載の実施形態を利用することができる。熱アニーリングプロセスでは、金属電極、ソース／ドレインおよび／またはコンタクト領域、および／または基板上の膜層の活性層膜特性の密度を上げることができる。１つの例では、熱処理プロセスは、金属含有層（たとえば、活性層）などの、金属含有層の熱エネルギーを供給するために実施され、あるいは、金属電極層（たとえば、金属ゲート電極、ソース－ドレインおよび／またはコンタクト領域もしくは電極層、または他の適切な金属構造体）がＴＦＴデバイス内に形成される。熱アニーリングプロセスでは、活性層膜構造体の酸素欠乏の密度を上げる、または最小限にして、良好な品質、インターフェース管理および熱安定性をデバイス構造体にもたらすことができる。熱アニーリングプロセスではまた、金属含有材料の結晶性の程度を増大させて、金属含有層の電気特性を改善することもできる。それゆえに、表示デバイスのソース／ドレインおよび／またはコンタクト領域の金属電極および活性層の所望の膜特性により、トランジスタデバイスおよびダイオードデバイスの電気性能を効率的に向上させることができる。

【0013】

図１は、単一基板の高圧アニーリングプロセスのための、単一基板処理チャンバ１００の簡略化前面断面図である。単一基板処理チャンバ１００は、外面１１２と、内部容積部１１５を囲む内面１１３とを備えた本体１１０を有する。図１にあるようないくつかの実施形態では、本体１１０は環状断面を有するが、他の実施形態では、本体１１０の断面は長方形または任意の閉じた形状であり得る。本体１１０の外面１１２は、それだけには限らないがステンレス鋼などの、耐食鋼（ＣＲＳ）から作ることができる。単一基板処理チャンバ１００から外部環境への熱損失を防止する１つまたは複数の熱遮蔽体１２５が、本体１１０の内面１１３に配置される。本体１１０の内面１１３ならびに熱遮蔽体１２５は、それだけには限らないがＨＡＳＴＥＬＬＯＹ（登録商標）、ＩＣＯＮＥＬ（登録商標）、およびＭＯＮＥＬ（登録商標）などの、高い腐食耐性を示すニッケルベースの鋼合金から作ることができる。

【0014】

基板支持体１３０が、内部容積部１１５の中に配置される。基板支持体１３０は、ステム１３４と、ステム１３４によって保持された基板支持部材１３２とを有する。ステム１３４は、チャンバ本体１１０を貫通して形成された通路１２２に通される。アクチュエータ１３８に接続されたロッド１３９は、チャンバ本体１１０を貫通して形成された第２の通路１２３に通される。ロッド１３９は、基板支持体１３０のステム１３４を収容する開口１３６を有する、プレート１３５に連結される。リフトピン１３７が基板支持部材１３２に接続される。アクチュエータ１３８は、プレート１３５が上または下へ動いてリフトピン１３７と接続および分離するようにロッド１３９を作動する。リフトピン１３７が上昇または下降すると、基板支持部材１３２は、チャンバ１００の内部容積部１１５の中で上昇または下降する。基板支持部材１３２には、中心に抵抗加熱要素１３１が埋設されている。電源１３３が、抵抗加熱要素１３１に電力供給するように構成される。電源１３３ならびにアクチュエータ１３８の動作は、コントローラ１８０によって制御される。

【0015】

単一基板処理チャンバ１００は、本体１１０に開口１１１を有し、この開口を通して１つまたは複数の基板１２０が、内部容積部１１５に配置された基板支持体１３０に載せられ、またそこから降ろされ得る。開口１１１は、本体１１０にトンネル１２１を形成する。スリットバルブ１２８は、スリットバルブ１２８が開いているときにしか開口１１１および内部容積部１１５にアクセスできないように、トンネル１２１を封止可能に閉鎖するように構成される。処理用の内部容積部１１５を密閉するために、高圧封止材１２７を利用してスリットバルブ１２８と本体１１０の間を封止する。高圧封止材１２７は、ポリマーから、たとえば、それだけには限らないがパーフルオロエラストマーおよびポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などのフルオロポリマーから作ることができる。高圧封止材１２７はさらに、封止性能を改善するために封止材にバイアスをかけるばね部材を含み得る。処理中に高圧封止材１２７を高圧封止材１２７の最大安全動作温度より下に維持するために、冷却チャネル１２４が、高圧封止材１２７に隣接するトンネル１２１に配置される。冷却流体源１２６からの、それだけには限らないが不活性、誘電性および高性能の熱伝達流体などの冷却剤を冷却チャネル１２４の中に循環させることができる。冷却流体源１２６からの冷却剤の流れは、温度センサ１１６または流量センサ（図示せず）から受け取られたフィードバックを通して、コントローラ１８０によって制御される。スリットバルブ１２８が開いているときに開口１１１を通る、内部容積部１１５からの熱の流れを阻止するために、環状形状の熱チョーク１２９がトンネル２２１の周囲に形成される。

【0016】

単一基板処理チャンバ１００は、本体１１０を貫通するポート１１７を有し、このポートは、ガスパネル１５０、コンデンサ１６０およびポート１１７を接続する流体回路１９０に流体連通している。流体回路１９０は、ガス導管１９２、供給源導管１５７、入口分離バルブ１５５、排気導管１６３、および出口分離バルブ１６５を有する。いくつかのヒータ１９６、１５８、１５２、１５４、１６４、１６６は、流体回路１９０の様々な部分とのインターフェースとなっている。いくつかの温度センサ１５１、１５３、１１９、１６７および１６９もまた、温度測定値を取り込み、その情報をコントローラ１８０に送るために流体回路１９０の様々な部分に配置されている。コントローラ１８０は温度測定値情報を用いて、流体回路１９０の温度が、流体回路１９０および内部容積部１１５に配置された処理流体の凝縮点を超える温度に維持されるように、ヒータ１５２、１５４、１５８、１９６、１６４、および１６６の動作を制御する。

【0017】

ガスパネル１５０は、加圧された処理流体を内部容積部１１５に供給するように構成される。内部容積部１１５に導入された処理流体の圧力は、本体１１０に連結された圧力センサ１１４によって監視される。コンデンサ１６０は、冷却流体供給源（図示せず）に流体連結され、ガス導管１９２を通って内部容積部１１５を出る気相の処理流体を凝縮するように構成される。こうして、凝縮された処理流体はポンプ１７６によって取り出される。１つまたは複数のヒータ１４０が本体１１０に配置され、単一基板処理チャンバ１００の内部容積部１１５を加熱するように構成される。ヒータ１４０、１５２、１５４、１５８、１９６、１６４、および１６６は、流体回路１９０の処理流体を気相に維持し、コンデンサ１６０への出口分離バルブ１６５は、流体回路中での凝縮を防止するために開いている。

【0018】

コントローラ１８０は、単一基板処理チャンバ１００の動作を制御する。コントローラ１８０は、ガスパネル１５０、コンデンサ１６０、ポンプ１７０、入口分離バルブ１５５、出口分離バルブ１６５、電源１３３および１４５の動作を制御する。コントローラ１８０はまた、温度センサ１１６、圧力センサ１１４、アクチュエータ１３８、冷却流体供給源１２６および温度読み取りデバイス１５６および１６２に通信可能に接続される。

【0019】

処理流体には、酸素含有および／または窒素含有ガス、および／またはカルコゲンもしくはテルル（Ｓ、Ｓｅ、Ｔｅなど）ガス、または酸素、乾燥蒸気、水、過酸化水素、アンモニア、Ｓ蒸気、Ｓｅ蒸気、Ｈ₂Ｓ、Ｈ₂Ｓｅなどの蒸気が含まれ得る。処理流体は、基板上で金属材料と反応させて金属酸素窒化物、金属酸化物、金属オキシカルコゲナイドまたは金属カルコゲナイドを形成することができる。酸素含有および／または窒素含有ガスの代替として、またはそれに加えて、処理流体にはケイ素含有ガスも含まれ得る。ケイ素含有ガスの例としては、有機ケイ素、テトラアルキルオルソシリケートガスおよびジシロキサンがある。有機ケイ素ガスには、少なくとも１つの炭素－ケイ素結合を有する有機化合物のガスが含まれる。テトラアルキルオルソシリケートガスには、ＳｉＯ₄ ^4-イオンと結びついた４つのアルキル基から構成されたガスが含まれる。より具体的には、１つまたは複数のガスは、（ジメチルシリル）（トリメチルシリル）メタン（（Ｍｅ）₃ＳｉＣＨ₂ＳｉＨ（Ｍｅ）₂）、ヘキサメチルジシラン（（Ｍｅ）₃ＳｉＳｉ（Ｍｅ）₃）、トリメチルシラン（（Ｍｅ）₃ＳｉＨ）、クロロトリメチルシラン（（Ｍｅ）₃ＳｉＣｌ）、テトラメチルシラン（（Ｍｅ）₄Ｓｉ）、テトラエトキシシラン（（ＥｔＯ）₄Ｓｉ）、テトラメトキシシラン（（ＭｅＯ）₄Ｓｉ）、テトラキス－（トリメチルシリル）シラン（（Ｍｅ₃Ｓｉ）₄Ｓｉ）、（ジメチルアミノ）ジメチル－シラン（（Ｍｅ₂Ｎ）ＳｉＨＭｅ₂）、ジメチルジエトキシシラン（（ＥｔＯ）₂Ｓｉ（Ｍｅ）₂）、ジメチル－ジメトキシシラン（（ＭｅＯ）₂Ｓｉ（Ｍｅ）₂）、メチルトリメトキシシラン（（ＭｅＯ）₃Ｓｉ（Ｍｅ））、ジメトキシテトラメチル－ジシロキサン（（（Ｍｅ）₂Ｓｉ（ＯＭｅ））₂Ｏ）、トリス（ジメチルアミノ）シラン（（Ｍｅ₂Ｎ）₃ＳｉＨ）、ビス（ジメチルアミノ）メチルシラン（（Ｍｅ₂Ｎ）₂ＣＨ₃ＳｉＨ）、ジシロキサン（（ＳｉＨ₃）₂Ｏ）、およびこれらの組み合わせとすることができる。

【0020】

基板１２０を処理する間、高圧領域１１５の環境は、処理流体を高圧領域内で蒸気相に維持する温度および圧力に維持される。このような圧力および温度は、処理流体の組成に基づいて選択される。水蒸気の場合では、温度および圧力は、水蒸気を乾燥蒸気状態に維持する条件に保持される。１つの例では、高圧領域１１５は、大気圧よりも大きい圧力、たとえば約２バールよりも大きい圧力に加圧される。別の例では、高圧領域１１５は、約２０から約５０バールの間など、約１０から約５０バールの間の圧力に加圧される。別の例では、高圧領域１１５は、約１００バールまでの圧力に加圧される。処理する間、高圧領域１１５はまた、高温に、たとえば、約３００℃から約５００℃の間などの２２５℃を超える温度に維持される（カセット１５０に配置される基板１５５のサーマルバジェットによって制限される）。

【0021】

図２は、図１に示された処理チャンバ１００などの、１つまたは複数の処理チャンバを含む例示的な処理システム２００の概略的な上面図であり、処理チャンバは処理システムに組み込まれ一体化されている。１つの実施形態では、処理システム２００は、Ｓａｎｔａ Ｃｌａｒａ、ＣａｌｉｆｏｒｎｉａにあるＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃ．から市販されている、Ｃｅｎｔｕｒａ（登録商標）またはＥｎｄｕｒａ（登録商標）一体化処理システムとすることができる。他の処理システム（他の製造業者からのものを含む）が、本開示から利益を得るように適合され得ることが企図される。

【0022】

システム２００は、真空気密処理プラットフォーム２０４、ファクトリインターフェース２０２、およびシステムコントローラ２４４を含む。プラットフォーム２０４は、図１に描写された１つの処理チャンバ１００などの、複数の処理チャンバ１００、２１２、２３２、２２８、２２０と、真空基板移送チャンバ２３６に連結されている少なくとも１つのロードロックチャンバ２２２とを含む。２つのロードロックチャンバ２２２が図２に示されている。ファクトリインターフェース２０２は、ロードロックチャンバ２２２によって移送チャンバ２３６に連結されている。

【0023】

１つの実施形態では、ファクトリインターフェース２０２は、基板を移送しやすくするために、少なくとも１つのドッキングステーション２０８、および少なくとも１つのファクトリインターフェースロボット２１４を含む。ドッキングステーション２０８は、１つまたは複数の前方開口型統一ポッド（ＦＯＵＰ）を受け入れるように構成される。２つのＦＯＵＰ ２０６Ａ～Ｂが、図２の実施形態に示されている。ブレード２１６がロボット２１４の一方の端部に配置されているファクトリインターフェースロボット２１４は、ロードロックチャンバ２２２を経由する処理のために、基板をファクトリインターフェース２０２から処理プラットフォーム２０４まで移送するように構成される。任意選択で、１つまたは複数の計測学ステーション５１８が、ＦＯＵＰ ２０６Ａ～Ｂからの基板を測定しやすくするために、ファクトリインターフェース２０２の末端２２６に接続され得る。

【0024】

ロードロックチャンバ２２２のそれぞれが、ファクトリインターフェース２０２に連結された第１のポート、および移送チャンバ２３６に連結された第２のポートを有する。ロードロックチャンバ２２２は、圧力制御システム（図示せず）に連結され、このシステムは、ロードロックチャンバ２２２をポンプダウンおよび通気して、移送チャンバ２３６の真空環境と、ファクトリインターフェース２０２の実質的に周囲の（たとえば大気の）環境との間に基板を通しやすくする。

【0025】

移送チャンバ２３６には、真空ロボット２３０が配置されている。真空ロボット２３０は、ロードロックチャンバ２２２と計測学システム２１０と処理チャンバ２１２、２３２、２２８、２２０の間で基板２２４を移送することができるブレード２３４を有する。

【0026】

システム２００の１つの実施形態では、システム２００は、１つまたは複数の処理チャンバ１００、２１２、２３２、２２８、２２０を含むことがあり、これらは、アニーリングチャンバ（たとえば、高圧アニーリングチャンバ、ＲＴＰチャンバ、レーザアニールチャンバ）、堆積チャンバ、エッチチャンバ、洗浄チャンバ、硬化チャンバ、または他の同様のタイプの半導体処理チャンバとすることができる。システム２００のいくつかの実施形態では、処理チャンバ１００、２１２、２３２、２２８、２２０のうちの１つまたは複数、移送チャンバ２３６、ファクトリインターフェース２０２および／またはロードロックチャンバ２２２のうちの少なくとも１つ。

【0027】

システムコントローラ２４４は、処理システム２００に連結される。計算デバイス２０１を含み得る、または計算デバイス２０１内に含まれ得るシステムコントローラ２４４は、システム２００の処理チャンバ１００、２１２、２３２、２２８、２２０の直接制御を用いて処理システム２００の動作を制御する。あるいは、システムコントローラ２４４は、処理チャンバ１００、２１２、２３２、２２８、およびシステム２００と結びついたコンピュータ（またはコントローラ）を制御することができる。動作中、システムコントローラ２４４はまた、それぞれのチャンバからのデータ収集およびフィードバックによって、システム２００の動作を最適化することも可能にする。

【0028】

システムコントローラ２４４は、上述の計算デバイス２０１とほとんど同様に、一般に中央処理ユニット（ＣＰＵ）２３８、メモリ２４０、および支援回路２４２を含む。ＣＰＵ２３８は、工業環境で使用できる汎用コンピュータプロセッサの任意の形のものでよい。支援回路２４２は、従来ＣＰＵ２３８に連結され、キャッシュ、クロック回路、入力／出力サブシステム、電源などを含み得る。ソフトウェアルーチンにより、ＣＰＵ２３８が特定用途向けコンピュータ（コントローラ）２４４に変わる。ソフトウェアルーチンは、システム２００から遠隔に設置されている第２のコントローラ（図示せず）によって記憶および／または実行されてもよい。

【0029】

図３は、金属含有層を含むＴＦＴデバイス３５０の一例を描写しており、この金属含有層は、図２に描写されたシステム２００に組み込むことができる図１に描写の高圧アニーリングプロセス１００などの、高圧アニーリングチャンバ内で熱アニーリングプロセスにかけることができる。薄膜トランジスタデバイス構造体３５０は、基板３０１に配置されたボトムゲートＴＦＴ構造体である。基板３０１は、異なるデバイス構造体または異なる膜スタックを基板３０１上に形成しやすくするために、その上にあらかじめ形成されている膜、構造体または層の異なる組み合わせを有し得ることに留意されたい。１つの例では、基板３０１は、図３に示されるように、その上に形成されたデバイス構造体３５０を有し得る。あるいは、基板３０１は、図４にさらに示されるように、その上に配置された別のデバイス構造体４５０を有することがあり、これについては以下でさらに説明する。基板３０１は、ガラス基板、プラスチック基板、ポリマー基板、金属基板、単一基板、ロールツーロール基板、または他の、薄膜トランジスタを形成するのに適している適切な透明な基板のうちの任意の１つとすることができる。

【0030】

ゲート電極層３０２が基板３０１上に形成され、パターニングされ、ゲート絶縁体層３０４が後に続く。１つの実施形態では、ゲート電極層３０２は、アルミニウム（Ａｌ）、タングステン（Ｗ）、クロム（Ｃｒ）、タンタル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍｏ）、銅（Ｃｕ）またはこれらの組み合わせなどの、任意の適切な金属材料から製作することができる。ゲート絶縁体層３０４に適している材料には、酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）、酸窒化ケイ素（ＳｉＯＮ）、窒化ケイ素（ＳｉＮ）などが含まれる。図３に描写された薄膜トランジスタデバイス構造体３５０は、ゲート電極層３０２がデバイス構造体３５０の底部に形成されているボトムゲートデバイス構造であることに留意されたい。

【0031】

活性層３０６が、ゲート絶縁体層３０４の上に形成される。活性層３０６に利用される材料は、プラスチック材料などのフレキシブル基板材料が基板の損傷なしに低温で処理されることを可能にする適切な低温製造である、高い電子移動度を有する透明な金属酸化物材料から選択することができる。活性層３０６に利用できる適切な材料の例としては、ａ－ＩＧＺＯ（アモルファスインジウムガリウム亜鉛酸化物）、ＩｎＧａＺｎＯＮ、ＺｎＯ、ＺｎＯＮ、ＺｎＳｎＯ、ＣｄＳｎＯ、ＧａＳｎＯ、ＴｉＳｎＯ、ＣｕＢＯ₂、ＣｕＡｌＯ₂、ＣｕＧａＯ₂、ＳｒＣｕＯ、ＬａＣｕＯＳ、ＧａＮ、ＩｎＧａＮ、ＡｌＧａＮまたはＩｎＧａＡｌＮが特に挙げられる。

【0032】

活性層３０６の形成後、バリア層３０８を活性層３０６の上に形成することができる。バリア層３０８は、次にその上に形成される金属電極層３１０（たとえば、ソース－ドレイン電極用）に良好な境界面接着ならびに良好なバリア特性（たとえば、拡散バリア）をもたらすように、金属含有材料から形成することができる。バリア層３０８は、活性層３０６の上に所望のパターンを形成するようにパターニングされて、次のエッチングプロセスで基板３０１に配置される膜層にフィーチャが転写されやすくなり得る。図３に描写されたバリア層３０８は所望のパターンにパターニングされるが、活性層３０６から金属電極層３１０の中へ、またはその逆に成分が拡散することを防止する阻止／拡散バリア特性をバリア層３０８が効率的に実現できる限り、バリア層３０８は、デバイス構造体３５０の全体連続ブランク膜、または必要に応じて任意の異なるフィーチャを含めて、任意の形にできることに留意されたい。１つの実施形態では、バリア層３０８は、Ｔａ₂Ｏ₅またはＴｉＯ₂などの金属誘電体層によって、または必要に応じて任意の適切な金属誘電体層によって製作された、図３に描写されたような、金属含有誘電体層の単層とすることができる。別の実施形態では、バリア層３０８は、必要に応じて複合体膜の形にすることができる。

【0033】

ソース－ドレイン金属電極層などの金属電極層３１０がバリア層３０８の上に配置された後、次に、エッチングプロセスが実施されてチャネル３２０が金属電極層３１０に形成される。エッチング後、次に、パッシベーション層などの絶縁材料層３１４が金属電極層３１０の上に形成されて、薄膜トランジスタデバイス構造体３５０を形成するプロセスが完了する。

【0034】

１つの実施形態では、金属電極層３１０として使用できる材料の例としては、銅（Ｃｕ）、金、銀（Ａｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）、タンタル（Ｔａ）、これらの合金、およびこれらの組み合わせがある。絶縁材料層３１４として使用できる適切な材料には、酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）、酸窒化ケイ素（ＳｉＯＮ）、または窒化ケイ素（ＳｉＮ）などが含まれる。

【0035】

図４は、図３に描写されたボトムゲートデバイス構造体３５０ではなく、基板３０１の上に形成されたトップゲート低温ポリシリコン（ＬＴＰＳ）ＴＦＴデバイス構造体４５０の一例を描写している。ＬＴＰＳ ＴＦＴデバイス４５０は、任意選択の絶縁層４０４が上に配置されていたり配置されていなかったりする光学的に透明な基板３０１上に形成されたソース領域４０９ａ、チャネル領域４０８、およびドレイン領域４０９ｂ（またはたとえば、金属コンタクト領域またはソースドレイン金属コンタクトとも呼ばれる）を含む活性層４５２を用いて構築されたＭＯＳデバイスである。１つの例では、ソース領域４０９ａ、チャネル領域４０８、およびドレイン領域４０９ｂを含む活性層は、プラスチック材料などのフレキシブル基板材料が基板の損傷なしに低温で処理されることを可能にする適切な低温製造である、高い電子移動度を有する金属酸化物材料などの、透明な金属含有層から製作することができる。ソース領域４０９ａ、チャネル領域４０８、およびドレイン領域４０９ｂに利用できるこのような材料の適切な例としては、ａ－ＩＧＺＯ（アモルファスインジウムガリウム亜鉛酸化物）、ドープされたＩＧＺＯ、ＩｎＧａＺｎＯＮ、ＺｎＯ、ＺｎＯＮ、ＺｎＳｎＯ、ＣｄＳｎＯ、ＧａＳｎＯ、ＴｉＳｎＯ、ＣｕＢＯ₂、ＣｕＡｌＯ₂、ＣｕＧａＯ₂、ＳｒＣｕＯ、ＬａＣｕＯＳ、ＧａＮ、ＩｎＧａＮ、ＡｌＧａＮまたはＩｎＧａＡｌＮが特に挙げられる。

【0036】

次に、ゲート絶縁層４０６が、堆積されたポリシリコン層の上部に堆積されて、バリア層４１１およびその上に配置されたゲート電極などの金属電極層４１４が、チャネル領域４０８、ソース領域４０９ａ、およびドレイン領域４０９ｂから分離される。バリア層４１１は、次にその上に形成される金属電極層４１４（たとえば、ゲート電極）に良好な界面接着ならびに良好なバリア特性（たとえば、拡散バリア）をもたらすように、金属含有材料から形成することができる。バリア層４１１は、ゲート絶縁層４０６の上に所望のパターンを形成するようにパターニングされて、次のエッチングプロセスで基板１０２に配置される膜層にフィーチャが転写されやすくなり得る。バリア層４１１は、ゲート絶縁層４０６から金属電極層４１４の中へ、またはその逆に成分が拡散することを防止する阻止／拡散バリア特性を効率的に実現することができる。１つの実施形態では、バリア層４１１は、Ｔａ₂Ｏ₅またはＴｉＯ₂などの金属誘電体層によって、または必要に応じて任意の適切な金属誘電体層によって製作された、図４に描写されたような、金属含有誘電体層の単層とすることができる。別の実施形態では、バリア層４１１は、必要に応じて複合体膜の形にすることができる。

【0037】

ゲート電極層４１４は、ゲート絶縁層４０６の上部に形成され、バリア層４１１がこれらの間に置かれている。ゲート絶縁層４０６はまた、一般に二酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）層で作られるので、一般にはゲート酸化物層としても知られている。次に、層間絶縁体などの絶縁材料層４１２と、ＴＦＴデバイスの制御を可能にするために絶縁材料層４１２を貫通して、デバイス接続部（図示せず）とが作られる。

【0038】

絶縁材料層４１２が形成された後、ソース－ドレイン金属電極層４１０ａ、４１０ｂが次に、絶縁材料層４１２に堆積、形成およびパターニングされる。ソース－ドレイン金属電極層４１０ａ、４１０ｂがパターニングされた後、パッシベーション層４１８が次に、ソース－ドレイン金属電極層４１０ａ、４１０ｂを覆って形成される。

【0039】

図５は、図３～４の活性層３０６、４５２、または図３～４それぞれの金属電極３０２、３１０、４１０ａ、４１０ｂ、４１４などの金属含有層に対して実施される、熱アニーリングプロセス５００の１つの例のフロー図を示す。

【0040】

方法５００は操作５０２で、図３および図４の基板３０１などの基板を供給することによって開始する。基板３０１は、光学的に透明な基板とすることができる。基板３０１は、図６Ａに示されるように、その上に配置された材料層６０１を含み得る。材料層６０１は、ＴＦＴデバイス構造体を形成するために利用できる単層または多層とすることができる。あるいは、材料層６０１は、ＴＦＴデバイス構造体を形成するのに利用できる複数の材料を含み得る構造体とすることができる。

【0041】

基板３０１は、図６Ｂに示されるように、材料層６０１上に形成された金属含有層６０２をさらに含む。材料層６０１が存在しない例では、金属含有層６０２は、基板３０１上に直接形成することができる。いくつかの例では、金属含有層６０２は、図３もしくは図４の活性層３０６、４５２、または図３～４の金属電極３０２、３１０、４１０ａ、４１０ｂ、４１４として使用することができる。一例では、金属含有層６０２は、ａ－ＩＧＺＯ（アモルファスインジウムガリウム亜鉛酸化物）、ドープされたＩＧＺＯ、ＩｎＧａＺｎＯＮ、ＺｎＯ、ＺｎＯＮ、ＺｎＳｎＯ、ＣｄＳｎＯ、ＧａＳｎＯ、ＴｉＳｎＯ、ＣｕＢＯ₂、ＣｕＡｌＯ₂、ＣｕＧａＯ₂、ＳｒＣｕＯ、ＬａＣｕＯＳ、ＧａＮ、ＩｎＧａＮ、ＡｌＧａＮまたはＩｎＧａＡｌＮなどからなる群から選択された金属酸化物層である。１つの例では、金属含有層６０２は、ＩＧＺＯ層またはドープされたＩＧＺＯ層である。あるいは、金属含有層６０２は、銅（Ｃｕ）、金、銀（Ａｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）、タンタル（Ｔａ）またはこれらの合金などの、金属層とすることができる。

【0042】

操作５０４で、イオンを金属含有層６０２に注入するための任意選択のイオンドーピング／注入プロセスが実施されて、図６Ｃに示される、ドープされた金属含有層６１０が形成される。イオン注入プロセスが除かれる例では、より詳細に以下で説明する、操作５０６の熱アニーリングプロセスが金属含有層６０２に直接実施され得る。イオンドーピング／注入プロセスは、ドーパントが中に形成される金属含有層６０２の特定の位置で、特定の膜／表面特性をドープ、コーティング、処理、注入、挿入または修正するために実施されて、ドープされた金属含有層６１０が形成される。イオンドーピング／注入プロセスでは、金属含有層６０２の膜／表面特性を修正するために入射イオンを利用して、金属含有層６０２にドープされるドーパントによって、ドープされた金属含有層６１０を形成する。イオンドーピング／注入プロセスは、任意の適切なイオン注入／ドーピング処理ツールで実施することができる。所望の種類の原子を含むイオンは、所望の濃度で金属含有層６０２にドープすることができる。金属含有層６０２にドープされたイオンは、金属含有層６０２の格子構造、結晶性の程度、結合構造、または膜密度に影響を及ぼす、改善する、または変更する金属含有層６０２の膜／表面特性を修正して、ドープされた金属含有層６１０を形成することができる。

【0043】

金属含有層６０２がＩｎＧａＺｎＯを含む実施形態では、金属含有層６０２にドープされるイオンは、インジウム（Ｉｎ）またはモリブデン（Ｍｏ）、ガリウム（Ｇａ）、亜鉛（Ｚｎ）などを含み得る。金属含有層６０２（たとえば、ＩｎＧａＺｎＯ）にドープされるＩｎまたはＭｏドーパントは、高い移動度などの電気特性、ＩｎＧａＺｎＯ材料の（たとえば、アモルファス構造、Ｃ軸配向結晶構造（ＣＡＡＣ）、多結晶構造、さらには単結晶構造からの）結晶化度を変え、それによって、所望の膜特性を持つドープされた金属含有層６１０が得られると考えられる。たとえば、ＩｎＧａＺｎＯ材料のＩｎまたはＭｏドーパントによって得られる高い結晶化度により、膜特性の電子移動度が増大し、それによって、ドープされた金属含有層６１０が利用されると、ＴＦＴデバイス構造または半導体デバイスの電気性能が向上すると考えられる。

【0044】

さらに、ＩｎＧａＺｎＯ材料に含まれるガリウム（Ｇａ）と酸化亜鉛（ＺｎＯ）の比率もまた、ドープされた金属含有層６１０の結果として生じる格子構造に影響を及ぼし得ると考えられる。ＩｎＧａＺｎＯ材料に含まれるＧａ成分の比率により、膜透明度ならびに全体の膜バンドギャップが増大し得ると考えられる。ＩｎＧａＺｎＯ材料に含まれるＺｎまたはＺｎＯ成分の比率により、移動度が向上すると共に、結晶化度向上のための熱アニーリング温度要件が緩和し得る。それゆえに、ＩｎＧａＺｎＯ材料へのＩｎドーパントの適切な用量を選択することによって、ＩｎＧａＺｎＯ材料の所望の結晶性を得ることができる。さらに、ＩｎＧａＺｎＯの所望の結晶性はまた、後続の操作５０６での熱アニーリングプロセスの温度要件を緩和する助けにもなって、基板３０１が比較的低い熱サイクルバジェットを有する光学的に透明な材料であることが多いので、ＴＦＴデバイスの適用においてプロセスの利点をもたらす。

【0045】

１つの実施形態では、ＩｎＧａＺｎＯ材料中に結果として生じたＩｎドーパントは、ドープされた金属含有層６１０中に形成された、約８．５×１０¹⁵イオン／ｃｍ²などの、約５×１０¹⁵イオン／ｃｍ²から約９×１０¹⁵イオン／ｃｍ²の間のドーピング濃度を有し得る。さらに、ＩｎＧａＺｎＯ材料中のＩｎまたはＭｏ成分の比率は、原子量で約１０％～１３％から約１４％～１６％へ増加させることができる（約１５％から約３０％の間の増加）。

【0046】

いくつかのプロセスパラメータは、イオンドーピング／注入プロセスの間に制御することができる。イオンドーピング／注入プロセスは、イオンドーピング混合ガスをイオンドーピング／注入ツールに所望の量の電力エネルギーと共に供給することによって実施して、イオンドーピング混合ガスから基板３０１の中へイオンをドーピングすることができる。イオンドーピング混合ガスは、約１０ｓｃｃｍから約１０００ｓｃｃｍの間の流量で、イオンドーピング／注入ツールに供給することができる。注入の間に蒸気相状態で使用されるイオンドーピングに供給するための適切な成分には、インジウム蒸気およびモリブデン蒸気が含まれる。容量性または誘導性ＲＦ電力などのＲＦ電力、ＤＣ電力、電磁エネルギー、イオンビーム、またはマグネトロンスパッタリングがイオンドーピング／注入プロセスに供給されて、処理中にイオンドーピング混合ガスを解離する助けになり得る。解離エネルギーによって生成されたイオンは、基板支持体に、または基板支持体の上のガス入口に、または両方にＤＣまたはＲＦ電気バイアスを加えることによって生じた電界を用いて、基板に向けて加速することができる。いくつかの実施形態では、ガス含有高エネルギーイオンはプラズマとすることができる。約３５ｋｅｖから約５５ｋｅＶの間などの、約２０ｋｅＶから約８０ｋｅｖの間の、たとえば約４５ｋｅＶのエネルギーが、イオンを金属含有層６０２に注入するために使用され得る。基板温度は、約１５℃などの、約５℃から約５０℃の間に制御され得る。

【0047】

操作５０６で、高圧アニーリングプロセスが実施される。２バールよりは大きいが未満であるなどの、高いプロセス圧力で実施されるアニーリングプロセスは、ドープされる金属含有層６１０の空孔の密度を高くし修復することを助けて、図６Ｄに示された、所望の膜特性を持つアニールされた金属含有層６０３が形成され得る。いくつかの例では、高いプロセス圧力は１００バールまでになり得る。イオンドーピング／注入プロセスが操作５０４で実施されない実施形態では、高圧アニーリングプロセスは、図６Ｂの金属含有層６０２に対し実施されて、図６Ｄに示される、アニールされた金属含有層６０３が形成され得る。アニーリングプロセスは、図１に描写された処理チャンバ１００などの処理チャンバで、または基板を１枚ずつ処理するものを含む他の適切な処理チャンバで実施することができる。

【0048】

操作５０６で実施される高圧アニーリングプロセスでは、処理圧力を蒸気相の、たとえば実質的に液滴が存在しない乾燥蒸気相の、高圧領域で維持する。処理圧力および温度は、膜欠陥を修復するために膜構造の密度を高くするように制御されて不純物が除去され、膜密度が高められる。１つの例では、高圧領域１１５は、たとえば約２バールを超える、大気圧より大きい圧力まで加圧される。別の例では、高圧領域１１５は、約３５バールなどの、約５～約５０バールなどの、約５～約１００バールの圧力まで加圧される。この高圧は、膜構造体の密度を高くすることを効率的に助けることができるので、５００℃未満などの比較的低い温度が、基板３０１の熱サイクル損傷の可能性を低減する。

【0049】

処理の間、高圧領域１１５は、外側チャンバ１１０の中に配置されたヒータ１２２によって比較的低い温度に、たとえば、約１５０℃から約３５０℃の間などの、５００℃未満の温度に維持される。それゆえに、基板への低いサーマルバジェットが、高圧アニーリングプロセスを低い温度状況と共に利用することによって獲得され得る。

【0050】

高圧プロセスは、金属含有層６０２またはドープされた金属含有層６１０のダングリングボンドを取り除く駆動力をもたらし、それによって、金属含有層６０２のダングリングボンドがアニーリングプロセスの間に修復され、反応し、飽和し得ると考えられる。１つの例では、Ｏ₃ガス、Ｏ₂ガス、空気、Ｈ₂Ｏ、Ｈ₂Ｏ₂、Ｎ₂Ｏ、ＮＯ₂、ＣＯ₂、ＣＯおよび乾燥蒸気などの酸素含有ガス、または硫黄（Ｓ）蒸気およびセレン（Ｓｅ）蒸気を含むカルコゲン蒸気、またはテルル蒸気もしくは他の適切なガスが、アニーリングプロセスの間に供給され得る。１つの特定の例では、酸素含有ガスは、水蒸気、たとえば乾燥蒸気、および／または空気を含む。アニーリングプロセスの間に、酸素含有ガスからの酸素成分は、金属含有層６０２に入り込み、結合構造を変え、その中の原子空孔を取り除き、それによって、格子構造が高密度になり強化され、金属含有層６０２の結晶化度が高まり得る。いくつかの例では、Ａｒ、Ｎ₂、Ｈｅ、Ｋｒなどの不活性ガスまたはキャリアガスが、酸素含有ガスと共に供給されることがある。１つの実施形態では、酸素含有混合ガスに供給される酸素含有ガスは、２バールより大きい圧力で供給される乾燥蒸気である。

【0051】

１つの例示的な実施態様では、プロセス圧力は、５バールから１００バールの間などの、２０バールから約８０バールの間などの、たとえば約２５バールから７５バールの間の、約３５バールなどの、２バールより大きい圧力に調節される。プロセス温度は、約１５０℃から約３８０℃の間などの、約１８０℃から約４００℃の間などの、１５０℃を超えるが５００℃未満に制御することができる。１つの例では、硫黄（Ｓ）蒸気、セレン（Ｓｅ）蒸気などのカルコゲン蒸気が、ＳまたはＳｅを含むＩｎＧａＺｎＯなどの金属オキシカルコゲンのアニーリングプロセスの間に供給されることがある。

【0052】

高圧のアニーリングプロセス後には、金属含有層６０２またはドープされた金属含有層６１０は、高密度化膜構造を有し、この構造は、約１大気圧の圧力の従来のアニーリングプロセスによってアニールされた金属含有層６０２またはドープされた金属含有層６１０と比較して、両アニーリングプロセスは同じアニール温度であるが、高い膜密度、高い膜移動度、低いキャリア濃度および低い膜抵抗を実現するアモルファス形態を持つ、比較的堅牢な膜構造になる。１つの例では、１大気圧の従来のアニーリングプロセスと比較して、同じアニール温度のもとではあるが、インジウムドーパント（ドープされた金属含有層６１０から形成）を含む高圧アニールされた金属含有層６０３の移動度は、約５倍から約２０倍の間で増大し、抵抗は約１０倍増大し、キャリア濃度は約１００分の１に減少する。

【0053】

１つの例では、１大気圧の従来のアニーリングプロセスと比較して、同じアニール温度のもとではあるが、インジウムドーパント（金属含有層６０２から形成）を含まない高圧アニールされた金属含有層６０３の移動度は、約１．５倍から約５倍の間で増大し、抵抗は約２０パーセント～約９９パーセント増大し、キャリア濃度は約１００分の１に減少する。

【0054】

このように、金属含有層を熱アニールする方法が提供される。金属含有層は、２バールを超えるが５０バール未満などの、高いプロセス圧力を用いる高圧アニーリングプロセスによって熱処理／アニールすることができる。このような高圧アニーリングプロセスを利用することによって、プロセス温度は５００℃未満に維持され、それによって、金属含有層が形成される基板に付与されるサーマルバジェットが低減し、所望の結晶化度および構造集積化管理による良好な膜品質が実現し得る。

【0055】

以上は本発明の実施形態を対象とするが、本発明の基本的な範囲から逸脱することなく、本発明の他のさらなる実施形態を考案することができ、また本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲によって決定される。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6A-6D】