特許7574678波形生成装置、波形生成方法及び荷電粒子ビーム照射装置

発明の名称　波形生成装置、波形生成方法及び荷電粒子ビーム照射装置

出願人　株式会社ニューフレアテクノロジー　（識別番号 504162958）

　　　　特許公開件数ランキング 412 位（25件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 673 位（10件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7574678

公報発行日　2024年10月29

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7574678

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