ホーム > 特許ランキング > 本田技研工業株式会社
▶ 本田技研工業株式会社の特許一覧 ▶ 国立大学法人 東京大学の特許一覧
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-10-25
(45)【発行日】2024-11-05
(54)【発明の名称】駆動アクチュエータ
(51)【国際特許分類】
H02N 11/00 20060101AFI20241028BHJP
H02N 1/00 20060101ALI20241028BHJP
【ＦＩ】
H02N11/00 Z
H02N1/00
【請求項の数】
8
(21)【出願番号】P 2021042389
(22)【出願日】2021-03-16
(65)【公開番号】P2022142269
(43)【公開日】2022-09-30
【審査請求日】2023-08-30
(73)【特許権者】
【識別番号】000005326
【氏名又は名称】本田技研工業株式会社
(73)【特許権者】
【識別番号】504137912
【氏名又は名称】国立大学法人 東京大学
(74)【代理人】
【識別番号】100165179
【弁理士】
【氏名又は名称】田▲崎▼ 聡
(74)【代理人】
【識別番号】100126664
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴木 慎吾
(74)【代理人】
【識別番号】100154852
【弁理士】
【氏名又は名称】酒井 太一
(74)【代理人】
【識別番号】100194087
【弁理士】
【氏名又は名称】渡辺 伸一
(72)【発明者】
【氏名】長田 将彦
(72)【発明者】
【氏名】山本 晃生
【審査官】北川 大地
(56)【参考文献】
【文献】特開２００８－０７９４０６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開昭６１－２４９２９２（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１６／１７０６８４（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００６－２２４４３５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００５－１８８６８１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１６３４１９（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０２Ｎ １１／００
Ｈ０２Ｎ １／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
回転駆動される可動部と、前記可動部の回転方向の一方に連結され、絶縁液が封入され、複数の電極を有し、前記電極に電圧が印加されると形状が変化する第１アクチュエータパックと、
前記可動部の前記回転方向の他方に連結され、絶縁液が封入され、複数の電極を有し、前記電極に電圧が印加されると形状が変化する第２アクチュエータパックと、
前記第１アクチュエータパックと前記第２アクチュエータパックとが、前記第１アクチュエータパック内の前記絶縁液と前記第２アクチュエータパック内の前記絶縁液とが移動可能に連結されるパイプと、
を備え、
前記第１アクチュエータパックは、一端が前記可動部に直接接続され、他端が前記パイプの一端に接続され、
前記第２アクチュエータパックは、一端が前記可動部に直接接続され、他端が前記パイプの他端に接続されている、
駆動アクチュエータ。
【請求項2】
回転駆動される可動部と、前記可動部の回転方向の一方に連結され、絶縁液が封入され、複数の電極を有し、前記電極に電圧が印加されると形状が変化する第１アクチュエータパックと、
前記可動部の前記回転方向の他方に連結され、絶縁液が封入され、複数の電極を有し、前記電極に電圧が印加されると形状が変化する第２アクチュエータパックと、
前記第１アクチュエータパックと前記第２アクチュエータパックとが、前記第１アクチュエータパック内の前記絶縁液と前記第２アクチュエータパック内の前記絶縁液とが移動可能に連結されるパイプと、
複数のモーメントアームと、を備え、
前記第１アクチュエータパックは、一端が第１の前記モーメントアームを介して前記可動部に接続され、他端が前記パイプの一端に接続され、
前記第２アクチュエータパックは、一端が第２の前記モーメントアームを介して前記可動部に接続され、他端が前記パイプの他端に接続されている、
駆動アクチュエータ。
【請求項3】
回転駆動される可動部と、前記可動部の回転方向の一方に連結され、絶縁液が封入され、複数の電極を有し、前記電極に電圧が印加されると形状が変化する第１アクチュエータパックと、
前記可動部の前記回転方向の他方に連結され、絶縁液が封入され、複数の電極を有し、前記電極に電圧が印加されると形状が変化する第２アクチュエータパックと、
前記第１アクチュエータパックと前記第２アクチュエータパックとが、前記第１アクチュエータパック内の前記絶縁液と前記第２アクチュエータパック内の前記絶縁液とが移動可能に連結される複数のパイプと、
前記第１アクチュエータパックまたは前記第２アクチュエータパックの収縮による前記絶縁液を収容するバッファ部と、を備え、
前記第１アクチュエータパックは、一端が前記可動部に接続され、他端が前記複数のパイプのうちの第１のパイプの一端に接続され、
前記第１のパイプの他端が、前記バッファ部に接続され、
前記第２アクチュエータパックは、一端が前記可動部に接続され、他端が前記複数のパイプのうちの第２のパイプの他端に接続され、
前記第２のパイプの他端が、前記バッファ部に接続される、
駆動アクチュエータ。
【請求項4】
前記第１アクチュエータパックの形状、前記第２アクチュエータパックの形状、前記パイプの形状、前記第１アクチュエータパックと前記パイプとの接続部の形状、前記第２アクチュエータパックと前記パイプとの接続部の形状のうち少なくとも１つは、前記絶縁液の粘性に基づく、請求項１から請求項３のうちのいずれか１項に記載の駆動アクチュエータ。
【請求項5】
前記第１アクチュエータパックと前記第２アクチュエータパックとは、前記可動部に対して拮抗して配置されている、請求項１から請求項４のうちのいずれか１項に記載の駆動アクチュエータ。
【請求項6】
前記パイプは、当該パイプの途中に、前記第１アクチュエータパックまたは前記第２アクチュエータパックの収縮による前記絶縁液を収容するバッファ部を更に備える、
請求項１または請求項２に記載の駆動アクチュエータ。
【請求項7】
前記複数の電極それぞれは、前記第１アクチュエータパック内に配置され、前記第２アクチュエータパック内に配置され、
交流の電圧が印加されることで発生する静電引力によって移動し、
前記第１アクチュエータパック及び前記第２アクチュエータパックは、
前記複数の電極に発生する静電引力によって移動することで変形する、
請求項１から請求項６のうちのいずれか１項に記載の駆動アクチュエータ。
【請求項8】
前記複数の電極それぞれは、前記第１アクチュエータパックの表面に配置され、前記第２アクチュエータパックの表面に配置され、
前記第１アクチュエータパックの表面の前記複数の電極間の電圧差に基づいて前記複数の電極が引き寄せられ、
前記第２アクチュエータパックの表面の前記複数の電極間の電圧差に基づいて前記複数の電極が引き寄せられ、
前記第１アクチュエータパック及び前記第２アクチュエータパックは、
前記複数の電極が引き寄せられることによって変形する、
請求項１から請求項６のうちのいずれか１項に記載の駆動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、駆動アクチュエータに関する。
【背景技術】
【0002】
人間に近い環境で動作するロボットには、作業性・安定性の観点から人間に近い特性が要求されている。このため、人工筋を用いた駆動手法が検討されている。このような人工筋としては、空気圧による駆動アクチュエータが提案されている（例えば、非特許文献１参照）。
非特許文献１に記載のように、関節の駆動には、伸縮性人工筋を拮抗に配置して駆動するのが一般的である。
非特許文献１に記載のように、関節の駆動には、伸縮性人工筋を拮抗に配置して駆動するのが一般的である。
【0003】
図１３は、従来技術における伸縮性人工筋を拮抗に配置した構成例を示す図である。図１３のように、駆動アクチュエータ９００は、回転駆動される可動部９０１と、可動部の回転方向の一方に連結される第１空気圧人工筋９０２と、可動部の回転方向の他方に連結される第２空気圧人工筋９０３とを有する。図１３のように可動部９０１を角度α傾ける場合は、第１空気圧人工筋９０２が伸長し、第２空気圧人工筋９０３が収縮する。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【0004】
【文献】坂口雄紀、細田耕、“空気圧人工筋と人間型関節を装備した三次元二足歩行ロボットＰｎｅｕｍａｔ－ＢＲＰの開発”、ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集、２００７ 巻、１Ｐ１－Ｆ０５（１）～１Ｐ１－Ｆ０５（４）、２００７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、従来技術では、駆動アクチュエータの駆動時に伸縮性人工筋の一方が収縮することで可動部９０１等に接触するため、可動域を広く取れないという課題があった。
【0006】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであって、可動域を広く取ることができる駆動アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
（１）上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る駆動アクチュエータは、回転駆動される可動部と、前記可動部の回転方向の一方に連結され、絶縁液が封入され、複数の電極を有し、前記電極に電圧が印加されると形状が変化する第１アクチュエータパックと、前記可動部の前記回転方向の他方に連結され、絶縁液が封入され、複数の電極を有し、前記電極に電圧が印加されると形状が変化する第２アクチュエータパックと、前記第１アクチュエータパックと前記第２アクチュエータパックとが、前記第１アクチュエータパック内の前記絶縁液と前記第２アクチュエータパック内の前記絶縁液とが移動可能に連結されるパイプと、を備える。
【0008】
（２）また、本発明の一態様に係る駆動アクチュエータにおいて、前記第１アクチュエータパックは、一端が前記可動部に接続され、他端が前記パイプの一端に接続され、前記第２アクチュエータパックは、一端が前記可動部に接続され、他端が前記パイプの他端に接続されているようにしてもよい。
【0009】
（３）また、本発明の一態様に係る駆動アクチュエータにおいて、前記第１アクチュエータパックの形状、前記第２アクチュエータパックの形状、前記パイプの形状、前記第１アクチュエータパックと前記パイプとの接続部の形状、前記第２アクチュエータパックと前記パイプとの接続部の形状のうち少なくとも１つは、前記絶縁液の粘性に基づくようにしてもよい。
【0010】
（４）また、本発明の一態様に係る駆動アクチュエータにおいて、前記第１アクチュエータパックと前記第２アクチュエータパックとは、前記可動部に対して拮抗して配置されているようにしてもよい。
【0011】
（５）また、本発明の一態様に係る駆動アクチュエータにおいて、前記パイプは、当該パイプの途中に前記絶縁液を収納するバッファ部を更に備えるようにしてもよい。
【0012】
（６）また、本発明の一態様に係る駆動アクチュエータにおいて、前記複数の電極それぞれは、前記第１アクチュエータパック内に配置され、前記第２アクチュエータパック内に配置され、交流の電圧が印加されることで発生する静電引力によって移動し、前記第１アクチュエータパック及び前記第２アクチュエータパックは、前記複数の電極に発生する静電引力によって移動することで変形するようにしてもよい。
【0013】
（７）また、本発明の一態様に係る駆動アクチュエータにおいて、前記複数の電極それぞれは、前記第１アクチュエータパックの表面に配置され、前記第２アクチュエータパックの表面に配置され、前記第１アクチュエータパックの表面の前記複数の電極間の電圧差に基づいて前記複数の電極が引き寄せられ、前記第２アクチュエータパックの表面の前記複数の電極間の電圧差に基づいて前記複数の電極が引き寄せられ、前記第１アクチュエータパック及び前記第２アクチュエータパックは、前記複数の電極が引き寄せられることによって変形するようにしてもよい。
【発明の効果】
【0014】
（１）～（７）によれば、第１アクチュエータパックと第２アクチュエータパックとをパイプで接続した。この結果、（１）～（７）によれば、アクチュエータパックが収縮した場合、他のアクチュエータパックへ絶縁液がパイプを介して移動できるので、可動域を広く取ることができる。
（３）によれば、アクチュエータパック内の絶縁液の移動をスムーズにすることができる。
（４）によれば、２つのアクチュエータパックが拮抗している場合であっても、他のアクチュエータパックへ絶縁液がパイプを介して移動できるので、可動域を広く取ることができる。
（５）によれば、複数のアクチュエータパックが拮抗していない場合や大きさが異なる場合であっても、他のアクチュエータパックへ絶縁液がパイプを介して移動できるので、可動域を広く取ることができる。
（６）によれば、収縮側のアクチュエータパックの膨らみが抑えられるので、可動域・駆動力を増加させることができる。
（７）によれば、伸長側のアクチュエータパックの電圧をオン状態にすることで、伸長側のアクチュエータパックが伸びきれ、収縮側が収縮に専念でき収縮率を大きくすることができるので、可動域・駆動力を増加させることができる。
（３）によれば、アクチュエータパック内の絶縁液の移動をスムーズにすることができる。
（４）によれば、２つのアクチュエータパックが拮抗している場合であっても、他のアクチュエータパックへ絶縁液がパイプを介して移動できるので、可動域を広く取ることができる。
（５）によれば、複数のアクチュエータパックが拮抗していない場合や大きさが異なる場合であっても、他のアクチュエータパックへ絶縁液がパイプを介して移動できるので、可動域を広く取ることができる。
（６）によれば、収縮側のアクチュエータパックの膨らみが抑えられるので、可動域・駆動力を増加させることができる。
（７）によれば、伸長側のアクチュエータパックの電圧をオン状態にすることで、伸長側のアクチュエータパックが伸びきれ、収縮側が収縮に専念でき収縮率を大きくすることができるので、可動域・駆動力を増加させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】第１実施形態に係る駆動アクチュエータの構成例を示す図である。
【図2】第１実施形態に係るアクチュエータパックの構成例を示す図である。
【図3】第１実施形態の第１変形例に係る駆動アクチュエータの構成例を示す図である。
【図4】第１実施形態の第２変形例に係る駆動アクチュエータが複数のアクチュエータパックが拮抗していない構成例を示す図である。
【図5】第１実施形態の第３変形例に係るアクチュエータパックとパイプとの接続例と、アクチュエータパックとパイプの形状例を示す図である。
【図6】従来技術によるＨＡＳＥＬによるアクチュエータパックの構成例と動作原理を示す図である。
【図7】従来技術による２つのアクチュエータパックが可動部に対して拮抗に配置して駆動した状態例を示す図である。
【図8】第２実施形態に係る駆動アクチュエータの構成例を示す図である。
【図9】従来技術によるＨＡＳＥＬによるアクチュエータパックを屈折する関節に適用した場合の問題点を示す図である。
【図10】第２実施形態における第１変形例の構成を示す図である。
【図11】第２実施形態における第２変形例の構成を示す図である。
【図12】第２実施形態における第３変形例の構成を示す図である。
【図13】従来技術における伸縮性人工筋を拮抗に配置した構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【0017】
＜第１実施形態＞
図１は、本実施形態に係る駆動アクチュエータの構成例を示す図である。図１のように、駆動アクチュエータ１は、可動部１１と、第１アクチュエータパック１２と、第２アクチュエータパック１３と、パイプ３１とを備える。
第１アクチュエータパック１２は、電極１２１と、絶縁液１２２とを備える。
第２アクチュエータパック１３は、電極１３１と、絶縁液１３２とを備える。
なお、電極１２１、１３１の数、長さはこれに限らない。また、絶縁液１２２、１３２は、各アクチュエータパックに封入されている。
図１は、本実施形態に係る駆動アクチュエータの構成例を示す図である。図１のように、駆動アクチュエータ１は、可動部１１と、第１アクチュエータパック１２と、第２アクチュエータパック１３と、パイプ３１とを備える。
第１アクチュエータパック１２は、電極１２１と、絶縁液１２２とを備える。
第２アクチュエータパック１３は、電極１３１と、絶縁液１３２とを備える。
なお、電極１２１、１３１の数、長さはこれに限らない。また、絶縁液１２２、１３２は、各アクチュエータパックに封入されている。
【0018】
可動部１１は、第１アクチュエータパック１２と第２アクチュエータパック１３が制御部４１によって制御されることで、軸２１を中心に回転駆動される。
【0019】
第１アクチュエータパック１２は、可動部１１の回転方向の一方に連結される。
第２アクチュエータパック１３は、可動部１１の回転方向の他方に連結される。
第２アクチュエータパック１３は、可動部１１の回転方向の他方に連結される。
【0020】
電極１２１、１３１は、例えばＦＰＣ（Flexible Printed Circuits；フレキシブル基板）フィルムである。
【0021】
絶縁液１２２、１３２は、例えばフロリナート（Fluorinert）ＦＣ－７７（３Ｍ（登録商標））である。なお、絶縁液１２２、１３２は、他の物であってもよい。また、第１アクチュエータパック１２、第２アクチュエータパック１３、パイプ３１それぞれの外装は、例えば非伸縮素材である。
【0022】
パイプ３１は、第１アクチュエータパック１２の一端と第２アクチュエータパック１３の一端とを接続し、絶縁素材でできている。パイプ３１は、形状が例えば円筒形である。
【0023】
なお、第１アクチュエータパック１２と第２アクチュエータパック１３をつなぐパイプ３１の位置は、可動部１１、軸２１に干渉しない位置に設けられている。また、図１に示した例は一例であり、アクチュエータパックの大きさと位置、パイプ３１の取り付け位置と太さ等は、これに限らない。
【0024】
（アクチュエータパックの構成例）
次に、第１アクチュエータパック１２と第２アクチュエータパック１３の詳細な構成例を説明する。
図２は、本実施形態に係るアクチュエータパックの構成例を示す図である。なお、第１アクチュエータパック１２と第２アクチュエータパック１３の構成は同様であるため、図２では第１アクチュエータパック１２を例に説明する。図２では、アクチュエータパックの長手方向をｘ軸方向、短手方向をｙ軸方向、高さ方向をｚ軸方向とする。
次に、第１アクチュエータパック１２と第２アクチュエータパック１３の詳細な構成例を説明する。
図２は、本実施形態に係るアクチュエータパックの構成例を示す図である。なお、第１アクチュエータパック１２と第２アクチュエータパック１３の構成は同様であるため、図２では第１アクチュエータパック１２を例に説明する。図２では、アクチュエータパックの長手方向をｘ軸方向、短手方向をｙ軸方向、高さ方向をｚ軸方向とする。
【0025】
図２の例では、第１アクチュエータパック１２が、左側に５枚の電極１２１１～１２１５、右側に５枚の電極１２１６～１２２０、絶縁液１２２、およびビーズ１２３を備える。ビーズ１２３は例えばガラスビーズである。なお、図２では、ビーズ１２３のうちの一部を描写している。
【0026】
電極１２１１～１２２０それぞれの大きさは、例えば２０×８０（ｍｍ）である。図２の初期状態ｇ１１のように、左右の電極は、交互に一部が重なるように配置されている。初期状態ｇ１１で電極の重なりは、ｘ軸方向に例えば３０（ｍｍ）である。また、第１アクチュエータパック１２の初期状態ｇ１１の外形は、例えば１５０（＝１３０＋２）×３０×１０（ｍｍ）である。
【0027】
これらの電極１２１１～１２２０に、三相の交流（例えば１６００（Ｖ））を印加すると、電極に静電引力が生じて移動することで収縮状態ｇ１２になる。収縮状態ｇ１２で電極の重なりは、ｘ軸方向に例えば５０（ｍｍ）である。この結果、第１アクチュエータパック１２の収縮状態ｇ１２のｘ軸方向の長さは、例えば１３０（＝１１０＋２０）（ｍｍ）である。このように、収縮状態ｇ１２のｘ軸方向の長さは、初期状態ｇ１１に対して２０（ｍｍ）縮む（参考文献１参照）。
【0028】
参考文献１；Akio Yamamoto, Toshiki Niino , Toshiro Higuchi,“Modeling and identification of an electrostatic motor”, Precision Engineering 30(1):104-113, January 2006
【0029】
また、このようなアクチュエータパックは、設計により変位量を調整可能であり、積層数で出力を増加することができる（参考文献１参照）。
なお、図２に示したアクチュエータパックの構成は一例であり、これに限らない。
なお、図２に示したアクチュエータパックの構成は一例であり、これに限らない。
【0030】
このようなアクチュエータパックを可動部１１に拮抗に配置しただけでは、駆動時にアクチュエータパックの一方が収縮する際に絶縁液１２２が収縮しない。このため、パイプ３１を備えない場合は、収縮したアクチュエータパックが膨らむため、可動域が狭まり駆動力が弱められたり駆動変位が妨げられる。
このため、本実施形態では、図１のように第１アクチュエータパック１２と第２アクチュエータパック１３とをパイプ３１で接続する。
このため、本実施形態では、図１のように第１アクチュエータパック１２と第２アクチュエータパック１３とをパイプ３１で接続する。
【0031】
関節の駆動の際は、第１アクチュエータパック１２が伸長し、第２アクチュエータパック１３が収縮すると、収縮した第２アクチュエータパック１３の絶縁液１３２の一部がパイプ３１を介して第１アクチュエータパック１２に移動する。
【0032】
これにより、本実施形態によれば、収縮したアクチュエータパックの絶縁液による膨らみを抑えることができるので、可動域が狭まり駆動力が弱められることを低減でき、駆動変位が妨げられることを低減できる。
【0033】
なお、第１アクチュエータパック１２と第２アクチュエータパック１３を接続するパイプ３１は、最短長が好ましいが、これに限らない。
【0034】
（第１変形例）
第１アクチュエータパック１２と第２アクチュエータパック１３と大きさと絶縁液１２２，１３２の量も同じであっても異なっていてもよい。第１アクチュエータパック１２Ａと第２アクチュエータパック１３Ａと大きさが異なっている場合は、図３のようにパイプ３１Ａがバッファ部３２を備えていてもよい。
第１アクチュエータパック１２と第２アクチュエータパック１３と大きさと絶縁液１２２，１３２の量も同じであっても異なっていてもよい。第１アクチュエータパック１２Ａと第２アクチュエータパック１３Ａと大きさが異なっている場合は、図３のようにパイプ３１Ａがバッファ部３２を備えていてもよい。
【0035】
図３は、本実施形態の第１変形例に係る駆動アクチュエータの構成例を示す図である。図３のように、駆動アクチュエータ１Ａは、可動部１１と、第１アクチュエータパック１２Ａと、第２アクチュエータパック１３Ａと、パイプ３１Ａと、バッファ部３２を備える。
第１アクチュエータパック１２Ａは、電極１２１と、絶縁液１２２とを備える。
第２アクチュエータパック１３Ａは、電極１３１と、絶縁液１３２とを備える。
第１アクチュエータパック１２Ａは、電極１２１と、絶縁液１２２とを備える。
第２アクチュエータパック１３Ａは、電極１３１と、絶縁液１３２とを備える。
【0036】
第１アクチュエータパック１２Ａと第２アクチュエータパック１３Ａとの大きさは異なっている。
【0037】
パイプ３１Ａは、例えば第１アクチュエータパック１２Ａと第２アクチュエータパック１３Ａの中間点にバッファ部３２を備える。
バッファ部３２は、例えば球状であり、絶縁素材でできている。
バッファ部３２は、例えば球状であり、絶縁素材でできている。
【0038】
第１アクチュエータパック１２Ａと第２アクチュエータパック１３Ａとの大きさが異なっている場合、一方が収縮してパイプ３１Ａを介して絶縁液１２２（または１３２）が他方に入りきらない可能性がある。このような場合は、図３のようにパイプ３１Ａの途中にバッファ部３２を設けることで、収縮による絶縁液１２２（または１３２）を一時的に収容することができる。
【0039】
なお、図３に示したバッファ部３２に位置や大きさは一例であり、これに限らない。バッファ部３２は、第１アクチュエータパック１２Ａと第２アクチュエータパック１３Ａの違いに基づく大きさである。また、バッファ部３２の位置は、駆動を阻害しない位置である。
また、バッファ部３２は、例えばパイプ３１Ａの一部を太くするように形成されたものであってもよい。また、バッファ部３２の数は１つに限らず、２つ以上であってもよい。
また、バッファ部３２は、例えばパイプ３１Ａの一部を太くするように形成されたものであってもよい。また、バッファ部３２の数は１つに限らず、２つ以上であってもよい。
【0040】
（第２変形例）
第２変形例は、駆動アクチュエータが複数のアクチュエータパックが拮抗していない場合の例を説明する。
図４は、本実施形態の第２変形例に係る駆動アクチュエータが複数のアクチュエータパックが拮抗していない構成例を示す図である。図４のように、駆動アクチュエータ１Ｂは、可動部１１Ｂと、第１アクチュエータパック１２Ｂと、第２アクチュエータパック１３Ｂと、第３アクチュエータパック１４Ｂと、第４アクチュエータパック１５Ｂと、パイプ３１Ｂ（３１Ｂ１，３１Ｂ２，３１Ｂ３，３１Ｂ４）と、バッファ部３２Ｂを備える。
なお、図４では省略しているが、アクチュエータパック１２Ｂ，１３Ｂ，１４Ｂ，１５Ｂそれぞれは、電極と絶縁液を備える。
第２変形例は、駆動アクチュエータが複数のアクチュエータパックが拮抗していない場合の例を説明する。
図４は、本実施形態の第２変形例に係る駆動アクチュエータが複数のアクチュエータパックが拮抗していない構成例を示す図である。図４のように、駆動アクチュエータ１Ｂは、可動部１１Ｂと、第１アクチュエータパック１２Ｂと、第２アクチュエータパック１３Ｂと、第３アクチュエータパック１４Ｂと、第４アクチュエータパック１５Ｂと、パイプ３１Ｂ（３１Ｂ１，３１Ｂ２，３１Ｂ３，３１Ｂ４）と、バッファ部３２Ｂを備える。
なお、図４では省略しているが、アクチュエータパック１２Ｂ，１３Ｂ，１４Ｂ，１５Ｂそれぞれは、電極と絶縁液を備える。
【0041】
駆動アクチュエータ１Ｂでは、可動部１１Ｂが球関節２１Ｂを中心に回転して傾く。また、可動部１１Ｂには、４つのアクチュエータパック１２Ｂ，１３Ｂ，１４Ｂ，１５Ｂの一端が接続されている。また、第１アクチュエータパック１２Ｂの他端にはパイプ３１Ｂ１の一端が接続され、第２アクチュエータパック１３Ｂの他端にはパイプ３１Ｂ２の一端が接続され、第３アクチュエータパック１４Ｂの他端にはパイプ３１Ｂ３の一端が接続され、第４アクチュエータパック１５Ｂの他端にはパイプ３１Ｂ４の一端が接続されている。パイプ３１Ｂ１の他端がバッファ部３２Ｂに接続され、パイプ３１Ｂ２の他端がバッファ部３２Ｂに接続され、パイプ３１Ｂ３の他端がバッファ部３２Ｂに接続され、パイプ３１Ｂ４の他端がバッファ部３２Ｂに接続されている。
【0042】
図４の例は、例えばロボット等の肩の筋に対応する。このような場合、３つのアクチュエータパックに対して１つのアクチュエータパックを拮抗させて駆動することとなり、絶縁液の移動にあたり、少なくとも１つのバッファが必要である。
【0043】
なお、図４に示したアクチュエータパックそれぞれの大きさと取り付け位置、パイプ３１Ｂそれぞれの長さや太さ位置、バッファ部３２Ｂの大きさや位置は一例であり、これに限らない。また、バッファ部３２Ｂは、１つに限らず２つ以上であってもよい。
【0044】
（第３変形例）
次に、アクチュエータパックとパイプとの接続について説明する。
アクチュエータパック内の絶縁液の一例として、フロリーナＦＣ－７７を示したが、絶縁液はこれに限らない。絶縁液の粘性に応じて、図５のように、アクチュエータパックとパイプとの接続の形状、アクチュエータパックの形状、およびパイプの太さ等を変えるようにしてもよい。
次に、アクチュエータパックとパイプとの接続について説明する。
アクチュエータパック内の絶縁液の一例として、フロリーナＦＣ－７７を示したが、絶縁液はこれに限らない。絶縁液の粘性に応じて、図５のように、アクチュエータパックとパイプとの接続の形状、アクチュエータパックの形状、およびパイプの太さ等を変えるようにしてもよい。
【0045】
図５は、本実施形態の第３変形例に係るアクチュエータパックとパイプとの接続例と、アクチュエータパックとパイプの形状例を示す図である。
第１の構造例ｇ２１は、絶縁液の粘性が通常の場合のアクチュエータパック１２Ｃとパイプ３１Ｃとの接続例と形状例である。絶縁液の粘性が通常の場合は、アクチュエータパック１２Ｃの一端にパイプ３１Ｃが接続される形状である。
第１の構造例ｇ２１は、絶縁液の粘性が通常の場合のアクチュエータパック１２Ｃとパイプ３１Ｃとの接続例と形状例である。絶縁液の粘性が通常の場合は、アクチュエータパック１２Ｃの一端にパイプ３１Ｃが接続される形状である。
【0046】
第２の構造例ｇ２２は、絶縁液の粘性が高い場合のアクチュエータパック１２Ｄとパイプ３１Ｄとの第１の接続例と第１の形状例である。絶縁液の粘性が高い場合は、パイプ３１Ｄの太さを第１の構造例ｇ２１のパイプ３１Ｃより太くする。
【0047】
第３の構造例ｇ２３は、絶縁液の粘性が高い場合のアクチュエータパック１２Ｅとパイプ３１Ｅとの第２の接続例と第２の形状例である。絶縁液の粘性が高い場合は、パイプ３１Ｅの接続部ｇ２４を膨張させる。
【0048】
このように、粘性に応じて、第１アクチュエータパックの形状、第２アクチュエータパックの形状、パイプの形状、第１アクチュエータパックとパイプとの接続部の形状、第２アクチュエータパックとパイプとの接続部の形状のうち少なくとも１つを変えることで、アクチュエータパック内の絶縁液の移動をスムーズにすることができる。
【0049】
なお、図５に示した接続例や形状は一例であり、これに限らない。例えばパイプを太くしつつパイプ３１の接続部を膨張させるようにしてもよい。
【0050】
以上のように、本実施形態では、第１アクチュエータパックと第２アクチュエータパックとをパイプで接続するようにした。
【0051】
これにより、本実施形態によれば、アクチュエータパックが収縮した際に、収縮したアクチュエータパック内の絶縁液が他のアクチュエータパックへ移動できるので、可動域を広く取れ、また駆動力を妨げることなく効率的に駆動が可能となる。
【0052】
＜第２実施形態＞
本実施形態では、アクチュエータパックがＨＡＳＥＬ（Hydraulically Amplified Self-healing ELectrostatic）の例を説明する。
本実施形態では、アクチュエータパックがＨＡＳＥＬ（Hydraulically Amplified Self-healing ELectrostatic）の例を説明する。
【0053】
（従来のＨＡＳＥＬによる駆動アクチュエータ）
まず、従来のＨＡＳＥＬによる駆動アクチュエータを説明する。図６は、従来技術によるＨＡＳＥＬによるアクチュエータパックの構成例と動作原理を示す図である。図６のように、従来技術のアクチュエータパック９５０は、フィルム９５１と、第１の電極９５２と、第２の電極９５３と、絶縁油９５４とを有する（参考文献２参照）。
まず、従来のＨＡＳＥＬによる駆動アクチュエータを説明する。図６は、従来技術によるＨＡＳＥＬによるアクチュエータパックの構成例と動作原理を示す図である。図６のように、従来技術のアクチュエータパック９５０は、フィルム９５１と、第１の電極９５２と、第２の電極９５３と、絶縁油９５４とを有する（参考文献２参照）。
【0054】
第１の電極９５２は、不図示の制御装置から電圧ＶＯが供給される。第２の電極９５３は、接地されている。
【0055】
初期状態ｇ９５１では、印加される電圧ＶＯが０（Ｖ）であり、アクチュエータパック９５０の短手の長さがｔ０であり、長手の長さがＬ０である。
【0056】
ＨＡＳＥＬによるアクチュエータパック９５０は、高電圧印加で電極が閉じる（Ｚｉｐｐｉｎｇ）。その際に絶縁油が移動することで、アクチュエータパック９５０を駆動する。
このため、例えば印加電圧ＶＯが１（ｋＶ）の場合、電圧印加状態ｇ９５２のように、アクチュエータパック９５０の一部が閉じる。電圧印加状態ｇ９５２では、アクチュエータパック９５０の短手の長さがｔ２（＞ｔ０）であり、長手の長さがＬ２（＜Ｌ０）である。すなわち、電圧印加によってフィルム９５１が伸長するはずなのに、絶縁油９５４の影響で、収縮してしまう。
このため、例えば印加電圧ＶＯが１（ｋＶ）の場合、電圧印加状態ｇ９５２のように、アクチュエータパック９５０の一部が閉じる。電圧印加状態ｇ９５２では、アクチュエータパック９５０の短手の長さがｔ２（＞ｔ０）であり、長手の長さがＬ２（＜Ｌ０）である。すなわち、電圧印加によってフィルム９５１が伸長するはずなのに、絶縁油９５４の影響で、収縮してしまう。
【0057】
参考文献２；Nicholas Kellaris, Vidyacharan Gopaluni Venkata, et al, “Peano-HASEL actuators: Muscle-mimetic, electrohydraulic transducers that linearly contract
on activation”, Sci. Robot. 3, eaar3276 (2018), January 2018
on activation”, Sci. Robot. 3, eaar3276 (2018), January 2018
【0058】
図７は、従来技術による２つのアクチュエータパックが可動部に対して拮抗に配置して駆動した状態例を示す図である。図７のように、従来技術の駆動アクチュエータ９６０は、可動部９６１に、第１のアクチュエータパック９７１と第２のアクチュエータパック９８１とが拮抗して配置されている。第１のアクチュエータパック９７１は、第１の電極９７２、第２の電極９７３、フィルム９７４、および絶縁油９７５を有している。第２のアクチュエータパック９８１は、第１の電極９８２、第２の電極９８３、フィルム９８４、および絶縁油９８５を有している。
【0059】
図７に示す例は、第１のアクチュエータパック９７１の電極に電圧が印加されていない状態、すなわち、第１の電極９７２に０（Ｖ）が印加され、第２の電極９７３が接地されている状態である。また、第２のアクチュエータパック９８１の電極に電圧が印加されている状態、すなわち、第１の電極９８２にＶＯ（Ｖ）が印加され、第２の電極９８３が接地されている状態である。
【0060】
この場合は、図７のように収縮側の第２のアクチュエータパック９８１の電圧をオン状態（印加状態）にすると、半面膨らんでしまい収縮率が小さい。
なお、図７に示したように、従来技術のアクチュエータパックは、フィルム９７４、９８４の一部だけに電極（第１の電極、第２の電極）が設けられている。
なお、図７に示したように、従来技術のアクチュエータパックは、フィルム９７４、９８４の一部だけに電極（第１の電極、第２の電極）が設けられている。
【0061】
（ＨＡＳＥＬによる駆動アクチュエータ）
次に、本実施形態のＨＡＳＥＬによる駆動アクチュエータについて説明する。
図８は、本実施形態に係る駆動アクチュエータの構成例を示す図である。図８のように、駆動アクチュエータ１Ｆは、可動部１１と、第１アクチュエータパック１２Ｆと、第２アクチュエータパック１３Ｆと、パイプ３１Ｆとを備える。
第１アクチュエータパック１２Ｆは、第１の電極１２１Ｆと、第２の電極１２２Ｆと、フィルム１２３Ｆと、絶縁液１２４Ｆとを備える。
第２アクチュエータパック１３Ｆは、第１の電極１３１Ｆと、第２の電極１３２Ｆと、フィルム１３３Ｆと、絶縁液１３４Ｆとを備える。
次に、本実施形態のＨＡＳＥＬによる駆動アクチュエータについて説明する。
図８は、本実施形態に係る駆動アクチュエータの構成例を示す図である。図８のように、駆動アクチュエータ１Ｆは、可動部１１と、第１アクチュエータパック１２Ｆと、第２アクチュエータパック１３Ｆと、パイプ３１Ｆとを備える。
第１アクチュエータパック１２Ｆは、第１の電極１２１Ｆと、第２の電極１２２Ｆと、フィルム１２３Ｆと、絶縁液１２４Ｆとを備える。
第２アクチュエータパック１３Ｆは、第１の電極１３１Ｆと、第２の電極１３２Ｆと、フィルム１３３Ｆと、絶縁液１３４Ｆとを備える。
【0062】
絶縁液１２４Ｆ、絶縁液１３４Ｆそれぞれは、液体誘電体であり、例えばＥｎｖｉｒｏｔｅｍｐ（登録商標） ＦＲ３である。なお、絶縁液１２４Ｆ、１３４Ｆは、他の物であってもよい。また、第１アクチュエータパック１２Ｆ、第２アクチュエータパック１３Ｆ、パイプ３１Ｆそれぞれの外装は、例えば非伸縮素材である。
【0063】
第１アクチュエータパック１２Ｆは、第１の電極１２１Ｆが制御部４１Ｆから電圧が印加され、第２の電極１２２Ｆが接地される。第１アクチュエータパック１２Ｆは、一端が可動部１１に接続され、他端がパイプ３１Ｆの一端に接続されている。
【0064】
第２アクチュエータパック１３Ｆは、第１の電極１３１Ｆが制御部４１Ｆから電圧が印加され、第２の電極１３２Ｆが接地される。第２アクチュエータパック１３Ｆは、一端が可動部１１に第１アクチュエータパック１２Ｆと拮抗して接続され、他端がパイプ３１Ｆの他端に接続されている。
【0065】
なお、図８に示したように、本実施形態のアクチュエータパック（第１アクチュエータパック１２Ｆ、第２アクチュエータパック１３Ｆ）は、フィルム１２３Ｆ、１３３Ｆのほぼ全面に電極（第１の電極（１２１Ｆ、１３１Ｆ）、第２の電極（１２２Ｆ、１３２Ｆ））が設けられている。
【0066】
図８の例は、第１アクチュエータパック１２Ｆが電圧オン状態（第１の電極１２１Ｆに電圧ＶＯを印加）であり、第２アクチュエータパック１３Ｆが電源オフ状態（第１の電極１３１Ｆに０（Ｖ）印加）である。この結果、伸長側の第１アクチュエータパック１２Ｆを電圧オン状態にすることで、第１の電極１２１Ｆと第２の電極１２２Ｆとが引き寄せられることで、第１アクチュエータパック１２Ｆが閉じる。そして、第１アクチュエータパック１２Ｆ内の絶縁液１２４Ｆの一部が、パイプ３１Ｆを介して第２アクチュエータパック１３Ｆに移動する。ｄこの場合は、伸長側の第２アクチュエータパック１３Ｆが伸びきれ、収縮側の第１アクチュエータパック１２Ｆが収縮に専念でき収縮率が大きい。
【0067】
本実施形態によれば、可動部１１との干渉を避け、可動域を降らすことが可能となる。
【0068】
なお、図８の構成でも、図５と同様に絶縁液の濃度に応じて、アクチュエータパックとパイプの形状やパイプの太さを変更するようにしてもよい。
また、図８の構成でも、２つのアクチュエータパックの大きさが異なっていたり、３つ以上のアクチュエータパックが拮抗せずに配置されている場合は、パイプ３１Ｆの途中にバッファ部を備えていてもよい。
また、図８の構成でも、２つのアクチュエータパックの大きさが異なっていたり、３つ以上のアクチュエータパックが拮抗せずに配置されている場合は、パイプ３１Ｆの途中にバッファ部を備えていてもよい。
【0069】
（変形例）
次に、本実施形態の変形例を説明する。
図９は、従来技術によるＨＡＳＥＬによるアクチュエータパックを屈折する関節に適用した場合の問題点を示す図である。図９の例では、２つの可動部９９１と可動部９９２が、例えば手や足のように接続され動作する。そして、第１の可動部９９１に第１アクチュエータパック９９３の一端が接続され、第２の可動部９９２に第１アクチュエータパック９９３の他端が接続されている。また、第１の可動部９９１に第２アクチュエータパック９９４の一端が接続され、第２の可動部９９２に第２アクチュエータパック９９４の他端が接続されている。なお、第１アクチュエータパック９９３と第２アクチュエータパック９９４の構成は、図６、７と同様であり、電極がフィルムの一部に設けられている。
次に、本実施形態の変形例を説明する。
図９は、従来技術によるＨＡＳＥＬによるアクチュエータパックを屈折する関節に適用した場合の問題点を示す図である。図９の例では、２つの可動部９９１と可動部９９２が、例えば手や足のように接続され動作する。そして、第１の可動部９９１に第１アクチュエータパック９９３の一端が接続され、第２の可動部９９２に第１アクチュエータパック９９３の他端が接続されている。また、第１の可動部９９１に第２アクチュエータパック９９４の一端が接続され、第２の可動部９９２に第２アクチュエータパック９９４の他端が接続されている。なお、第１アクチュエータパック９９３と第２アクチュエータパック９９４の構成は、図６、７と同様であり、電極がフィルムの一部に設けられている。
【0070】
初期状態ｇ９９１では、第１アクチュエータパック９９３と第２アクチュエータパック９９４の両方に電圧が印加されていず、オフ状態である。
屈折状態ｇ９９２では、第２アクチュエータパック９９４がオフ状態であり、第１アクチュエータパック９９３に電圧が印加されオン状態である。この場合は、第２アクチュエータパック９９４の内側（鎖線で囲んだ領域９９５）が可動部９９１と干渉する場合があり得る。このように、アクチュエータパックが可動部と干渉した場合は、曲げ角が小さくなってしまう。すなわち従来の構成では、可動域を広く取れない場合があった。
屈折状態ｇ９９２では、第２アクチュエータパック９９４がオフ状態であり、第１アクチュエータパック９９３に電圧が印加されオン状態である。この場合は、第２アクチュエータパック９９４の内側（鎖線で囲んだ領域９９５）が可動部９９１と干渉する場合があり得る。このように、アクチュエータパックが可動部と干渉した場合は、曲げ角が小さくなってしまう。すなわち従来の構成では、可動域を広く取れない場合があった。
【0071】
（第１変形例）
図１０は、本実施形態における第１変形例の構成を示す図である。図１０のように、第１変形例の駆動アクチュエータ１Ｇは、第１可動部１１Ｇ１、第２可動部１１Ｇ２、第１アクチュエータパック１２Ｇ、モーメントアーム１２０Ｇ１、モーメントアーム１２０Ｇ２、第２アクチュエータパック１３Ｇ、モーメントアーム１３０Ｇ１、モーメントアーム１３０Ｇ２、およびパイプ３１Ｇを備える。
図１０は、本実施形態における第１変形例の構成を示す図である。図１０のように、第１変形例の駆動アクチュエータ１Ｇは、第１可動部１１Ｇ１、第２可動部１１Ｇ２、第１アクチュエータパック１２Ｇ、モーメントアーム１２０Ｇ１、モーメントアーム１２０Ｇ２、第２アクチュエータパック１３Ｇ、モーメントアーム１３０Ｇ１、モーメントアーム１３０Ｇ２、およびパイプ３１Ｇを備える。
【0072】
第１変形例の駆動アクチュエータ１Ｇは、モーメントアームを介してアクチュエータパックが各可動部に接続され、２つのアクチュエータパックがパイプによって接続されている。なお、第１変形例では、モーメントアームがアクチュエータパックに対して、アクチュエータパックの長手方向であるｙ軸方向に接続されている。
【0073】
第１可動部１１Ｇ１には、モーメントアーム１２０Ｇ１の一端が接続されている。第１アクチュエータパック１２Ｇは、一端がモーメントアーム１２０Ｇ１の他端に接続され、他端がモーメントアーム１２０Ｇ２の一端に接続されている。第２可動部１１Ｇ２には、モーメントアーム１２０Ｇ２の他端が接続されている。
【0074】
第１可動部１１Ｇ１には、モーメントアーム１３０Ｇ１の一端が接続されている。第２アクチュエータパック１３Ｇは、一端がモーメントアーム１３０Ｇ１の他端に接続され、他端がモーメントアーム１３０Ｇ２の一端に接続されている。第２可動部１１Ｇ２には、モーメントアーム１３０Ｇ２の他端が接続されている。
【0075】
第１アクチュエータパック１２Ｇと第２アクチュエータパック１３Ｇとは、パイプ３１Ｇによって接続されている。
【0076】
【0077】
初期状態ｇ１０１では、第１アクチュエータパック１２Ｇと第２アクチュエータパック１３Ｇの両方の電力に電圧が印加されていず、オフ状態である。
【0078】
屈折状態ｇ１０２では、第２アクチュエータパック１３Ｇがオフ状態であり、第１アクチュエータパック１２Ｇの電極に電圧が印加されオン状態である。この場合、第１アクチュエータパック１２Ｇ内の絶縁液がパイプ３１Ｇを介して第２アクチュエータパック１３Ｇに流れる。
【0079】
第１変形例では、モーメントアーム（１２０Ｇ１、１２０Ｇ２、１３０Ｇ１、１３０Ｇ２）とパイプ３１Ｇによって、屈折時のアクチュエータパック（第１アクチュエータパック１２Ｇと第２アクチュエータパック１３Ｇ）の収縮による可動部（第１可動部１１Ｇ１、第２可動部１１Ｇ２）との干渉を回避することができ、可動域を増やすことが可能となる。
【0080】
なお、第１変形例において、パイプ３１Ｇは、可動部１１Ｇ１，１１Ｇ２の駆動を阻害しない位置が好ましい。
また、図１０に示した構成や各配置や形状は一例であり、これに限らない。
また、図１０に示した構成や各配置や形状は一例であり、これに限らない。
【0081】
（第２変形例）
図１１は、本実施形態における第２変形例の構成を示す図である。図１１のように、第２変形例の駆動アクチュエータ１Ｈは、第１可動部１１Ｈ１、第２可動部１１Ｈ２、第１アクチュエータパック１２Ｈ、モーメントアーム１２０Ｈ１、モーメントアーム１２０Ｈ２、第２アクチュエータパック１３Ｈ、モーメントアーム１３０Ｈ１、モーメントアーム１３０Ｈ２、およびパイプ３１Ｈを備える。
図１１は、本実施形態における第２変形例の構成を示す図である。図１１のように、第２変形例の駆動アクチュエータ１Ｈは、第１可動部１１Ｈ１、第２可動部１１Ｈ２、第１アクチュエータパック１２Ｈ、モーメントアーム１２０Ｈ１、モーメントアーム１２０Ｈ２、第２アクチュエータパック１３Ｈ、モーメントアーム１３０Ｈ１、モーメントアーム１３０Ｈ２、およびパイプ３１Ｈを備える。
【0082】
第２変形例の駆動アクチュエータ１Ｈは、モーメントアームを介してアクチュエータパックが各可動部に接続され、２つのアクチュエータパックがパイプによって接続されている。なお、第２変形例では、モーメントアームがアクチュエータパックに対して、アクチュエータパックの短手方向であるｘ軸方向に接続されている。
【0083】
第１可動部１１Ｈ１には、モーメントアーム１２０Ｈ１の一端が接続されている。第１アクチュエータパック１２Ｈは、一端がモーメントアーム１２０Ｈ１の他端に接続され、他端がモーメントアーム１２０Ｈ２の一端に接続されている。第２可動部１１Ｈ２には、モーメントアーム１２０Ｈ２の他端が接続されている。
【0084】
第１可動部１１Ｈ１には、モーメントアーム１３０Ｈ１の一端が接続されている。第２アクチュエータパック１３Ｈは、一端がモーメントアーム１３０Ｈ１の他端に接続され、他端がモーメントアーム１３０Ｈ２の一端に接続されている。第２可動部１１Ｈ２には、モーメントアーム１３０Ｈ２の他端が接続されている。
【0085】
第１アクチュエータパック１２Ｈと第２アクチュエータパック１３Ｈとは、パイプ３１Ｈによって接続されている。
【0086】
【0087】
初期状態ｇ２０１では、第１アクチュエータパック１２Ｈと第２アクチュエータパック１３Ｈの両方の電極に電圧が印加されていず、オフ状態である。
【0088】
屈折状態ｇ２０２では、第２アクチュエータパック１３Ｈがオフ状態であり、第１アクチュエータパック１２Ｈの電極に電圧が印加されオン状態である。この場合、第１アクチュエータパック１２Ｈ内の絶縁液がパイプ３１Ｈを介して第２アクチュエータパック１３Ｈに流れる。
【0089】
第２変形例でも、モーメントアーム（１２０Ｈ１、１２０Ｈ２、１３０Ｈ１、１３０Ｈ２）とパイプ３１Ｈによって、屈折時のアクチュエータパック（第１アクチュエータパック１２Ｈと第２アクチュエータパック１３Ｈ）の収縮による可動部（第１可動部１１Ｈ１、第２可動部１１Ｈ２）との干渉を回避することができ、可動域を増やすことが可能となる。
【0090】
なお、第２変形例において、パイプ３１Ｈは、可動部の駆動を阻害しない位置が好ましい。
また、図１１に示した構成や各配置や形状は一例であり、これに限らない。
また、図１１に示した構成や各配置や形状は一例であり、これに限らない。
【0091】
（第３変形例）
図１２は、本実施形態における第３変形例の構成を示す図である。図１２のように、第３変形例の駆動アクチュエータ１Ｊは、第１可動部１１Ｊ１、第２可動部１１Ｊ２、第１アクチュエータパック１２Ｊ、第２アクチュエータパック１３Ｊ、第１パイプ３１Ｊ１、および第２パイプ３１Ｊ２を備える。
図１２は、本実施形態における第３変形例の構成を示す図である。図１２のように、第３変形例の駆動アクチュエータ１Ｊは、第１可動部１１Ｊ１、第２可動部１１Ｊ２、第１アクチュエータパック１２Ｊ、第２アクチュエータパック１３Ｊ、第１パイプ３１Ｊ１、および第２パイプ３１Ｊ２を備える。
【0092】
第３変形例の駆動アクチュエータ１Ｊは、第２実施形態の第１アクチュエータパック１２Ｆ、第２アクチュエータパック１３Ｆと異なり、第１アクチュエータパック１２Ｊ、第２アクチュエータパック１３Ｊそれぞれが細分化されている。
【0093】
第１アクチュエータパック１２Ｊは、一端が第１可動部１１Ｊ１に接続され、他端が第１パイプ３１Ｊ１の一端と第２パイプ３１Ｊ２の一端に接続されている。
第２アクチュエータパック１３Ｊは、一端が第１可動部１１Ｊ１に接続され、他端が第１パイプ３１Ｊ１の他端と第２パイプ３１Ｊ２の他端に接続されている。
第２アクチュエータパック１３Ｊは、一端が第１可動部１１Ｊ１に接続され、他端が第１パイプ３１Ｊ１の他端と第２パイプ３１Ｊ２の他端に接続されている。
【0094】
なお、図１２に示したアクチュエータパック（第１アクチュエータパック１２Ｊ、第２アクチュエータパック１３Ｊ）は、フィルムのほぼ全面に電極、第２の電極が設けられている。また、図１２では制御部を省略している。また、第１パイプ３１Ｊ１と第２パイプ３１Ｊ２は、バッファ部を備えていてもよい。
【0095】
初期状態ｇ３０１では、第１アクチュエータパック１２Ｊと第２アクチュエータパック１３Ｊの両方の電極に電圧が印加されていず、オフ状態である。
【0096】
屈折状態ｇ３０２では、第２アクチュエータパック１３Ｊがオフ状態であり、第１アクチュエータパック１２Ｊの電極に電圧が印加されオン状態である。この場合、第１アクチュエータパック１２Ｊ内の絶縁液が第１パイプ３１Ｊ１と第２パイプ３１Ｊ２を介して第２アクチュエータパック１３Ｊに流れる。
【0097】
第３変形例でも、第１パイプ３１J１と第２パイプによって、屈折時のアクチュエータパック（第１アクチュエータパック１２Jと第２アクチュエータパック１３J）の収縮による可動部（第１可動部１１J１、第２可動部１１J２）との干渉を回避することができ、可動域を増やすことが可能となる。
【0098】
なお、第３変形例において、第１パイプ３１Ｊ１と第２パイプ３１Ｊ２は、可動部の駆動を阻害しない位置が好ましい。
また、図１２に示した構成や各配置や形状は一例であり、これに限らない。また、パイプの本数は、２つに限らず１つであっても３つ以上であってもよい。
また、図１２に示した構成や各配置や形状は一例であり、これに限らない。また、パイプの本数は、２つに限らず１つであっても３つ以上であってもよい。
【0099】
以上のように、上述した各実施形態、各変形例の駆動アクチュエータ１（１Ａ，１Ｂ，１Ｆ，１Ｇ，１Ｈ，１Ｊ）では、第１アクチュエータパック１２（１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｆ，１２Ｇ，１２Ｈ，１２Ｊ）と第２アクチュエータパック１３（１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｆ，１３Ｇ，１３Ｈ，１３Ｊ）とをパイプ３１（３１Ａ，３１Ｂ１，３１Ｂ２，３１Ｂ３，３１Ｂ４，３１Ｆ，３１Ｇ，３１Ｈ，３１Ｊ１，３１Ｊ２）で接続した。この結果、上述した各実施形態、各変形例の駆動アクチュエータでは、によれば、アクチュエータパックが収縮した場合、他のアクチュエータパックへ絶縁液がパイプを介して移動できるので、可動域を広く取ることができる。
【0100】
なお、上述した各実施形態、各実施例において、アクチュエータパックとパイプそれぞれの外装が非伸縮素材の例を説明したが、これに限らない。アクチュエータパックとパイプそれぞれの外装は、伸縮素材であってもよい。この場合であっても、駆動力を妨げない効果は得られる。
【0101】
なお、上述した各実施形態、各変形例の駆動アクチュエータは、例えば、二足歩行ロボット、受付ロボット、産業用ロボット等に適用可能である。また、上述した各実施形態、各変形例の駆動アクチュエータは、人の作業をアシストするシステムにも適用可能である。この場合は、人にパイプで接続されている２つ以上からなるアクチュエータパックを取り付けるようにしてもよい。
【0102】
なお、本発明における制御部４１（４１Ｆ）の機能の全てまたは一部を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより制御部４１（４１Ｆ）が行う処理の全てまたは一部を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、「コンピュータシステム」は、ホームページ提供環境（あるいは表示環境）を備えたＷＷＷシステムも含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ－ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリ（ＲＡＭ）のように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。
【0103】
また、上記プログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピュータシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピュータシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク（通信網）や電話回線等の通信回線（通信線）のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよい。さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であってもよい。
【0104】
以上、本発明を実施するための形態について実施形態を用いて説明したが、本発明はこうした実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変形および置換を加えることができる。
【符号の説明】
【0105】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｆ，１Ｇ，１Ｈ…駆動アクチュエータ、１１，１１Ｂ…可動部、１２，１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｆ，１２Ｇ，１２Ｈ…第１アクチュエータパック、１３，１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｆ，１３Ｇ，１３Ｈ…第２アクチュエータパック、１４Ｂ…第３アクチュエータパック、１５Ｂ…第４アクチュエータパック、１２１，１３１…電極、１２２，１３２，１２４Ｆ，１３４Ｆ…絶縁液、１２３Ｆ，１３３Ｆ…フィルム、１２０Ｇ１，１２０Ｇ２，１３０Ｇ１，１３０Ｇ２，１２０Ｈ１，１２０Ｈ２，１３０Ｈ１，１３０Ｈ２…モーメントアーム、１２３…ビーズ、３１，３１Ａ，３１Ｂ１，３１Ｂ２，３１Ｂ３，３１Ｂ４，３１Ｆ，３１Ｇ，３１Ｈ…パイプ、３２，３２Ｂ…バッファ部、４１，４１Ｆ…制御部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】