(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-10-28
(45)【発行日】2024-11-06
(54)【発明の名称】加工装置及び連通管の洗浄方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/304 20060101AFI20241029BHJP
【ＦＩ】
H01L21/304 622P
H01L21/304 643Z
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2020003563
(22)【出願日】2020-01-14
(65)【公開番号】P2021111717
(43)【公開日】2021-08-02
【審査請求日】2022-11-25
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110001014
【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】中川 貴裕
【審査官】湯川 洋介
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１５－１９３０５６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特公平０５－０５５２６７（ＪＰ，Ｂ２）
【文献】特開２００８－１８２０８４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０８－１６４３７０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－０００８１９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０００－１０６３３４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０４－３１４３７７（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２００７／０２７７８５１（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／３０４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
保持面に被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該保持面に吸引保持された被加工物を加工する加工手段と、を備える加工装置であって、該保持面を吸引源に連通させる連通管と、該保持面の上方から該保持面に水を供給する水供給部と、を備え、
該水供給部は、水を供給するノズルと、該ノズルを水平方向の一方向であるＸ軸方向に移動させるノズル水平移動機構とを備え、
該ノズル水平移動機構によって該ノズルを該Ｘ軸方向に往復移動させ該被加工物を保持していない該保持面に該水供給部から水を供給するとともに、該連通管を該吸引源に連通させることにより該連通管内に該水を進入させて該連通管内を洗浄する加工装置。
【請求項2】
該チャックテーブルは、該保持面を有するポーラス部材を備え、該水供給部から供給した水を該保持面から吸引させることにより該ポーラス部材及び該連通管内を洗浄する請求項１記載の加工装置。
【請求項3】
チャックテーブルの保持面によって吸引保持された被加工物を加工する加工装置において、該保持面と吸引源とを連通する連通管内を洗浄する連通管の洗浄方法であって、水供給部のノズルを水平方向の一方向であるＸ軸方向に往復移動させ該保持面に水を供給するとともに、該保持面を該吸引源に連通させ、該保持面から該水を吸引して該連通管内を該水によって洗浄する、
連通管の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、加工装置及び連通管の洗浄方法に関する。
【背景技術】
【0002】
研削砥石を用いて被加工物を研削して薄化する研削装置は、保持面がポーラス部材によって形成されているチャックテーブルを備えており、保持面を吸引源に連通させて被加工物を吸引保持している。
保持面に吸引保持されている被加工物を研削砥石を用いて研削すると研削屑が発生する。発生した研削屑は、保持面に作用する吸引力によって被加工物の外周部分からポーラス部材の内部に進入して、保持面を吸引源に連通している連通管内に滞留する。
保持面に吸引保持されている被加工物を研削砥石を用いて研削すると研削屑が発生する。発生した研削屑は、保持面に作用する吸引力によって被加工物の外周部分からポーラス部材の内部に進入して、保持面を吸引源に連通している連通管内に滞留する。
【0003】
研削加工の終了後、被加工物を保持面から離間させる際には、特許文献１に示すように連通管にエアと水とを供給して連通管内を陽圧にする。
これにより保持面から被加工物を離間させるとともに、連通管内に進入した細かな研削屑が僅かに排出される。しかし、連通管内に進入した研削屑のすべてが保持面から排出されないため、一度連通管内に進入した研削屑が連通管内に滞留し続けることがある。
これにより保持面から被加工物を離間させるとともに、連通管内に進入した細かな研削屑が僅かに排出される。しかし、連通管内に進入した研削屑のすべてが保持面から排出されないため、一度連通管内に進入した研削屑が連通管内に滞留し続けることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２０１５－０６０９２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
そのため、連通管内に進入した研削屑が連通管の内壁に付着してしまう。研削屑の付着によって流路が狭まり被加工物を吸引する保持面の吸引力が低下すると、研削加工中に被加工物が保持面から離れるという問題がある。
また、被加工物に研磨液を供給すると共に研磨パッドを被加工物に押し付けて研磨する研磨装置は、保持面から研磨液を吸引することがある。そのため研磨液が連通管の内壁に付着することによって流路が狭まり、上記と同様の不具合が発生するという問題がある。
したがって、保持面において被加工物を吸引保持する加工装置においては、連通管の内壁に研削屑等を付着させないようにするという課題がある。
また、被加工物に研磨液を供給すると共に研磨パッドを被加工物に押し付けて研磨する研磨装置は、保持面から研磨液を吸引することがある。そのため研磨液が連通管の内壁に付着することによって流路が狭まり、上記と同様の不具合が発生するという問題がある。
したがって、保持面において被加工物を吸引保持する加工装置においては、連通管の内壁に研削屑等を付着させないようにするという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、保持面によって被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該保持面に吸引保持された被加工物を加工する加工手段と、を備える加工装置であって、該保持面を吸引源に連通させる連通管と、該保持面の上方から該保持面に水を供給する水供給部と、を備え、該水供給部は、水を供給するノズルと、該ノズルを水平方向の一方向であるＸ軸方向に移動させるノズル水平移動機構とを備え、該ノズル水平移動機構によって該ノズルを該Ｘ軸方向に往復移動させ該被加工物を保持していない該保持面に該水供給部から水を供給するとともに、該連通管を該吸引源に連通させることにより該連通管内に該水を進入させて該連通管内を洗浄する加工装置である。
該チャックテーブルは、該保持面を有するポーラス部材を備え、該水供給部から供給した水を該保持面から吸引させることにより該ポーラス部材及び該連通管内を洗浄することが望ましい。
本発明は、チャックテーブルの保持面によって吸引保持された被加工物を加工する加工装置において、該保持面と吸引源とを連通する連通管内を洗浄する連通管の洗浄方法であって、水供給部のノズルを水平方向の一方向であるＸ軸方向に往復移動させ該保持面に水を供給するとともに、該保持面を該吸引源に連通させて、該保持面から該水を吸引させて該連通管内を該水によって洗浄する、連通管の洗浄方法である。
該チャックテーブルは、該保持面を有するポーラス部材を備え、該水供給部から供給した水を該保持面から吸引させることにより該ポーラス部材及び該連通管内を洗浄することが望ましい。
本発明は、チャックテーブルの保持面によって吸引保持された被加工物を加工する加工装置において、該保持面と吸引源とを連通する連通管内を洗浄する連通管の洗浄方法であって、水供給部のノズルを水平方向の一方向であるＸ軸方向に往復移動させ該保持面に水を供給するとともに、該保持面を該吸引源に連通させて、該保持面から該水を吸引させて該連通管内を該水によって洗浄する、連通管の洗浄方法である。
【発明の効果】
【0007】
被加工物の加工中に保持面から連通管の内部に進入して連通管の内壁に付着した加工屑等を洗い流して除去することにより、連通管の内部が狭まることを防ぎ、保持面を吸引するときに保持面に伝達される吸引力の低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
１ 加工装置
図１に示す加工装置１は、例えば研削砥石３４０を用いて被加工物１０００を研削加工する研削加工装置である。以下、加工装置１について説明する。被加工物１０００の下面１００２には、デバイス保護等を目的とするテープ１００３が貼着されている。
図１に示す加工装置１は、例えば研削砥石３４０を用いて被加工物１０００を研削加工する研削加工装置である。以下、加工装置１について説明する。被加工物１０００の下面１００２には、デバイス保護等を目的とするテープ１００３が貼着されている。
【0010】
加工装置１は、図１に示すように、Ｙ軸方向に延設されたベース１０と、ベース１０の＋Ｙ方向側に立設されたコラム１１とを備えている。
【0011】
コラム１１の－Ｙ方向側の側面には、例えば、加工手段３を支持する加工送り手段４が配設されている。加工手段３は、Ｚ軸方向の回転軸３５を有するスピンドル３０と、スピンドル３０を回転可能に支持するハウジング３１と、回転軸３５を軸にしてスピンドル３０を回転駆動するスピンドルモータ３２と、スピンドル３０の下端に接続された円環状のマウント３３と、マウント３３の下面に着脱可能に装着された研削ホイール３４とを備えている。研削ホイール３４は、ホイール基台３４１と、ホイール基台３４１の下面に環状に配列された略直方体形状を有する複数の研削砥石３４０とを備えており、研削砥石３４０の下面は被加工物１０００を研削する研削面３４０１となっている。
スピンドルモータ３２を用いて、回転軸３５を軸にしてスピンドル３０を回転させることにより、スピンドル３０に接続されているマウント３３及びマウント３３に装着されている研削砥石３４０が、回転軸３５を軸にして回転することとなる。
スピンドルモータ３２を用いて、回転軸３５を軸にしてスピンドル３０を回転させることにより、スピンドル３０に接続されているマウント３３及びマウント３３に装着されている研削砥石３４０が、回転軸３５を軸にして回転することとなる。
【0012】
スピンドル３０の内部には、図示しない研削水供給部が配設されており、被加工物１０００の研削加工時に、該研削水供給部から研削面３４０１と被加工物１０００の上面１００１との接触部分に向けて、研削水が供給されることとなる。
【0013】
加工送り手段４は、Ｚ軸方向の回転軸４５を有するボールネジ４０と、ボールネジ４０に対して平行に配設された一対のガイドレール４１と、ボールネジ４０の上端に連結され回転軸４５を軸にしてボールネジ４０を回動させるＺ軸モータ４２と、内部のナットがボールネジ４０に螺合し側部がガイドレール４１に摺接する昇降板４３と、昇降板４３に連結されスピンドル３０を保持するホルダ４４とを備えている。
Ｚ軸モータ４２を用いてボールネジ４０を駆動することにより、ボールネジ４０が回転軸４５を軸にして回転すると、これに伴って、昇降板４３がガイドレール４１に案内されてＺ軸方向に昇降移動するとともにホルダ４４に保持されている加工手段３がＺ軸方向に移動する構成となっている。
Ｚ軸モータ４２を用いてボールネジ４０を駆動することにより、ボールネジ４０が回転軸４５を軸にして回転すると、これに伴って、昇降板４３がガイドレール４１に案内されてＺ軸方向に昇降移動するとともにホルダ４４に保持されている加工手段３がＺ軸方向に移動する構成となっている。
【0014】
ベース１０の上には、チャックテーブル２が配設されている。チャックテーブル２は、保持面２０１を有する円板状のポーラス部材２０と、ポーラス部材２０を支持する環状の枠体２１とを備えている。ポーラス部材２０の保持面２０１は被加工物１０００が吸引保持される面であり、枠体２１の上面２１１は、保持面２０１に面一に形成されている。
【0015】
チャックテーブル２は、図示しないＹ軸移動手段に接続されている。該Ｙ軸移動手段を用いてチャックテーブル２を駆動することにより、チャックテーブル２は、Ｙ軸方向に往復移動することが可能となっている。
【0016】
チャックテーブル２の周囲にはカバー２７が配設されており、カバー２７は蛇腹２８に伸縮可能に連結されている。
チャックテーブル２がＹ軸方向に移動すると、カバー２７が支持テーブル２２と一体的にＹ軸方向に移動して、蛇腹２８が伸縮することとなる。
チャックテーブル２がＹ軸方向に移動すると、カバー２７が支持テーブル２２と一体的にＹ軸方向に移動して、蛇腹２８が伸縮することとなる。
【0017】
加工装置１には吸引源９が配設されている。保持面２０１と吸引源９とは、連通管８を通じて連通されている。連通管８には、保持面２０１と吸引源９との連通状態を切り替える吸引バルブ９０が配設されている。
【0018】
ベース１０の上には、水供給部５が配設されている。水供給部５は、ノズル５０と、ノズル５０を支持するノズル水平移動手段５１とを備えている。
ノズル５０は、チャックテーブル２の移動経路の上方に配設されており、チャックテーブル２の保持面２０１の上方から保持面２０１に水を供給する機能を有している。ノズル５０は、流路６１を通じて水供給源６に接続されており、流路６１には、ノズル５０と水供給源６との連通状態を切り替える水バルブ６０が配設されている。
ノズル水平移動手段５１は、チャックテーブル２の移動経路に跨るようにＸ軸方向に延ばして架設された門型の部材であり、ノズル５０をＸ軸方向に往復移動可能に支持している。
ノズル５０は、チャックテーブル２の移動経路の上方に配設されており、チャックテーブル２の保持面２０１の上方から保持面２０１に水を供給する機能を有している。ノズル５０は、流路６１を通じて水供給源６に接続されており、流路６１には、ノズル５０と水供給源６との連通状態を切り替える水バルブ６０が配設されている。
ノズル水平移動手段５１は、チャックテーブル２の移動経路に跨るようにＸ軸方向に延ばして架設された門型の部材であり、ノズル５０をＸ軸方向に往復移動可能に支持している。
【0019】
例えば、チャックテーブル２がノズル５０の下方に位置付けられており、かつ、水バルブ６０が開いている状態で、ノズル５０に水供給源６から水を供給するとともに、ノズル水平移動手段５１を用いてノズル５０を駆動することにより、ノズル５０が保持面２０１に向かって水１００４を供給しながら、Ｘ軸方向に往復移動することとなる。
【0020】
チャックテーブル２の下方には、図２に示すように、チャックテーブル２を回転させる回転手段７が配設されている。
回転手段７は、駆動モータ７２と、駆動モータ７２によってＺ軸方向の回転軸ａを軸に回転可能な駆動軸７０と、駆動軸７０の上端に連結されている駆動プーリ７１と、駆動プーリ７１に巻回されて駆動プーリ７１の駆動力を従動プーリ７６に伝達する伝動ベルト７３と、駆動プーリ７１とともに伝動ベルト７３に巻回されている従動プーリ７６と、従動プーリ７６に接続されている従動軸７５と、従動軸７５の下端に連結されたロータリージョイント７７と、を備えている。従動軸７５は、チャックテーブル２の枠体２１に連結されている。
回転手段７は、駆動モータ７２と、駆動モータ７２によってＺ軸方向の回転軸ａを軸に回転可能な駆動軸７０と、駆動軸７０の上端に連結されている駆動プーリ７１と、駆動プーリ７１に巻回されて駆動プーリ７１の駆動力を従動プーリ７６に伝達する伝動ベルト７３と、駆動プーリ７１とともに伝動ベルト７３に巻回されている従動プーリ７６と、従動プーリ７６に接続されている従動軸７５と、従動軸７５の下端に連結されたロータリージョイント７７と、を備えている。従動軸７５は、チャックテーブル２の枠体２１に連結されている。
【0021】
駆動モータ７２を用いて回転軸ａを軸にして駆動軸７０を回転させると、駆動プーリ７１が回転するとともに、駆動プーリ７１の回転力が伝動ベルト７３によって従動プーリ７６に伝達されて従動プーリ７６が回転することとなる。これにより、従動プーリ７６に接続されている従動軸７５がＺ軸方向の回転軸２５を軸にして回転して、従動軸７５に連結されているチャックテーブル２が回転軸２５を軸にして回転する構成となっている。
【0022】
なお、加工装置１は、上記の単軸の研削加工装置に限定されるものではなく、例えば複軸の研削加工装置、切削加工装置、または研磨加工装置等であってもよい。
加工装置１が切削加工装置である場合には、例えば該切削加工装置に有する切削ブレードの側方等に図示しない切削水ノズルが配設されており、被加工物１０００の切削加工時に、該切削水ノズルから該切削ブレードと被加工物１０００の上面１００１との接触部分に向けて、切削水が供給されるものとする。
加工装置１が切削加工装置である場合には、例えば該切削加工装置に有する切削ブレードの側方等に図示しない切削水ノズルが配設されており、被加工物１０００の切削加工時に、該切削水ノズルから該切削ブレードと被加工物１０００の上面１００１との接触部分に向けて、切削水が供給されるものとする。
【0023】
加工装置１を用いて被加工物１０００の研削加工を行う際には、まず、テープ１００３が貼着されている被加工物１０００を、テープ１００３が保持面２０１に接触するように、チャックテーブル２の保持面２０１に載置して、吸引バルブ９０が開いた状態で吸引源９を作動させる。これにより、生み出された吸引力が連通管８を通じて保持面２０１に伝達されて、被加工物１０００が保持面２０１に吸引保持される。
【0024】
そして、被加工物１０００が保持面２０１に吸引保持されている状態で、図示しないＹ軸移動手段等を用いてチャックテーブル２を＋Ｙ方向に移動させて、加工手段３の下方に位置付ける。
次いで、回転手段７を用いて回転軸２５を軸にしてチャックテーブル２を回転させることにより、保持面２０１に保持されている被加工物１０００を回転させるとともに、スピンドルモータ３２を用いて回転軸３５を軸にして研削砥石３４０を回転させる。
次いで、回転手段７を用いて回転軸２５を軸にしてチャックテーブル２を回転させることにより、保持面２０１に保持されている被加工物１０００を回転させるとともに、スピンドルモータ３２を用いて回転軸３５を軸にして研削砥石３４０を回転させる。
【0025】
被加工物１０００が回転軸２５を軸にして回転しており、かつ、研削砥石３４０が回転軸３５を軸にして回転している状態で、加工送り手段４を用いて研削砥石３４０を－Ｚ方向に下降させて、研削砥石３４０の研削面３４０１を被加工物１０００の上面１００１に接触させる。研削面３４０１が被加工物１０００の上面１００１に接触している状態で、さらに研削砥石３４０を－Ｚ方向に下降させることによって被加工物１０００が研削される。
被加工物１０００の研削加工を行うと、加工屑１００５が発生する。被加工物１０００の研削加工により発生した加工屑１００５は、その一部が吸引源９の吸引力によって吸引されて、ポーラス部材２０の内部や連通管８の内壁等に付着する。
被加工物１０００の研削加工を行うと、加工屑１００５が発生する。被加工物１０００の研削加工により発生した加工屑１００５は、その一部が吸引源９の吸引力によって吸引されて、ポーラス部材２０の内部や連通管８の内壁等に付着する。
【0026】
２ 連通管の洗浄方法
（１）水供給工程
上記の加工装置１を用いた連通管８の洗浄方法について以下に説明する。
まず、保持面２０１に被加工物１０００が吸引保持されていない状態で、図示しないＹ軸移動手段等を用いてチャックテーブル２を＋Ｙ方向に移動させて、図１に示すように、ノズル５０の下方にチャックテーブル２を位置付ける。
（１）水供給工程
上記の加工装置１を用いた連通管８の洗浄方法について以下に説明する。
まず、保持面２０１に被加工物１０００が吸引保持されていない状態で、図示しないＹ軸移動手段等を用いてチャックテーブル２を＋Ｙ方向に移動させて、図１に示すように、ノズル５０の下方にチャックテーブル２を位置付ける。
【0027】
次に、水バルブ６０を開く。そして、ノズル５０の下方にチャックテーブル２が位置付けられており、かつ、水バルブ６０が開いている状態で、図３に示すように、水供給源６からノズル５０に水１００４を供給する。これにより、ノズル５０から保持面２０１に水１００４が供給される。
【0028】
さらに、ノズル５０から保持面２０１に水１００４を供給しながら、ノズル水平移動手段５１を用いてノズル５０をＸ軸方向に往復移動させる。これにより、水１００４が保持面２０１の全面に行き渡り、例えば保持面２０１の全面が水１００４に覆われた状態となる。
【0029】
（２）洗浄工程
その後、吸引バルブ９０を開いて、保持面２０１を吸引源９に連通させる。そして、保持面２０１が吸引源９に連通している状態で吸引源９を作動する。すると、吸引源９によって生み出された吸引力が連通管８を通じて保持面２０１に伝達され、保持面２０１から水１００４が吸引される。
これにより、水１００４がポーラス部材２０を通って連通管８の内部に進入し、ポーラス部材２０の内部、及び連通管８の内壁に付着している加工屑１００５（図２に図示されている）等が流水洗浄される。
その後、吸引バルブ９０を開いて、保持面２０１を吸引源９に連通させる。そして、保持面２０１が吸引源９に連通している状態で吸引源９を作動する。すると、吸引源９によって生み出された吸引力が連通管８を通じて保持面２０１に伝達され、保持面２０１から水１００４が吸引される。
これにより、水１００４がポーラス部材２０を通って連通管８の内部に進入し、ポーラス部材２０の内部、及び連通管８の内壁に付着している加工屑１００５（図２に図示されている）等が流水洗浄される。
【0030】
例えば、水供給工程において行われた水１００４の供給により、保持面２０１に部分的に水１００４に行き渡っているが、保持面２０１の全面は水１００４に覆われていないような場合には、洗浄工程において水１００４とエアとが一緒に吸引される。この場合も同様に、水１００４とエアとの混合流体（キャビテーションにより生成された泡を含む）によって、ポーラス部材２０の内部、及び連通管８の内壁に付着している加工屑１００５等が洗い流される。
【0031】
ここで、連通管８の洗浄を被加工物１０００の研削加工後に行う場合は、チャックテーブル２の水平位置を研削加工時の位置よりも少し－Ｙ方向側に移動させてから、保持面２０１に水１００４の供給を行う。
【0032】
なお、水供給工程においては、水供給部５から保持面２０１に水１００４を供給するかわりに、例えば図１に示した加工手段３のスピンドル３０の内部に配設されている図示しない研削水供給部から保持面２０１に向けて研削水を供給してもよい。
また、加工装置１が切削加工装置である場合には、水供給部５から保持面２０１に向けて水１００４を供給するかわりに、例えば図示しない切削ブレードの側方等に配設された図示しない切削水ノズルから保持面２０１に向けて切削水を供給してもよい。
また、加工装置１が切削加工装置である場合には、水供給部５から保持面２０１に向けて水１００４を供給するかわりに、例えば図示しない切削ブレードの側方等に配設された図示しない切削水ノズルから保持面２０１に向けて切削水を供給してもよい。
【0033】
被加工物１０００の加工中に保持面２０１から連通管８の内部に進入して連通管８の内壁に付着した加工屑１００５等を洗い流して除去することにより、連通管８の内部が狭まるのを防ぎ、保持面２０１の吸引力の低下を防止することができる。
【符号の説明】
【0034】
１：加工装置 １０：ベース １１：コラム
２：チャックテーブル ２０：ポーラス部材 ２０１：保持面
２１：枠体 ２１１：枠体の上面 ２２：基台 ２４：回転手段 ２５：回転軸
２７：カバー ２８：蛇腹
３：加工手段 ３０：スピンドル ３１：ハウジング ３２：スピンドルモータ
３３：マウント ３４：研削ホイール ３４０：研削砥石３４１：ホイール基台
３４０１：研削面 ３５：回転軸
４：上下移動手段 ４０：ボールネジ ４１：ガイドレール ４２：Ｚ軸モータ
４３：昇降板 ４４：ホルダ ４５：回転軸
５：水供給部 ５０：ノズル ５１：ノズル水平移動手段
６：水供給源 ６０：水バルブ ６１：流路
７：回転手段 ７０：駆動軸 ７１：駆動プーリ ７２：駆動モータ ７４：回転軸
７３：伝動ベルト ７５：従動軸 ７６：従動プーリ ７７：ロータリージョイント
８：連通管 ９：吸引源 ９０：吸引バルブ
１０００：被加工物 １００１：被加工物の上面
１００２：被加工物の下面 １００３：テープ １００４：水
１００５：加工屑
２：チャックテーブル ２０：ポーラス部材 ２０１：保持面
２１：枠体 ２１１：枠体の上面 ２２：基台 ２４：回転手段 ２５：回転軸
２７：カバー ２８：蛇腹
３：加工手段 ３０：スピンドル ３１：ハウジング ３２：スピンドルモータ
３３：マウント ３４：研削ホイール ３４０：研削砥石３４１：ホイール基台
３４０１：研削面 ３５：回転軸
４：上下移動手段 ４０：ボールネジ ４１：ガイドレール ４２：Ｚ軸モータ
４３：昇降板 ４４：ホルダ ４５：回転軸
５：水供給部 ５０：ノズル ５１：ノズル水平移動手段
６：水供給源 ６０：水バルブ ６１：流路
７：回転手段 ７０：駆動軸 ７１：駆動プーリ ７２：駆動モータ ７４：回転軸
７３：伝動ベルト ７５：従動軸 ７６：従動プーリ ７７：ロータリージョイント
８：連通管 ９：吸引源 ９０：吸引バルブ
１０００：被加工物 １００１：被加工物の上面
１００２：被加工物の下面 １００３：テープ １００４：水
１００５：加工屑
【図1】
【図2】
【図3】