特許7578848荷電粒子ビーム装置、及び荷電粒子ビーム装置の制御方法

発明の名称　荷電粒子ビーム装置、及び荷電粒子ビーム装置の制御方法

出願人　株式会社日立ハイテクサイエンス　（識別番号 503460323）

　　　　特許公開件数ランキング 1347 位（5件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2357 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7578848

公報発行日　2024年11月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7578848

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