特許7579427ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法

発明の名称　ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法

出願人　ギガフォトン株式会社　（識別番号 300073919）

　　　　特許公開件数ランキング 487 位（20件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 724 位（9件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7579427

公報発行日　2024年11月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7579427

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