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特許7587654感光性樹脂組成物、硬化膜、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-11-12
(45)【発行日】2024-11-20
(54)【発明の名称】感光性樹脂組成物、硬化膜、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置
(51)【国際特許分類】
G03F 7/004 20060101AFI20241113BHJP
G03F 7/029 20060101ALI20241113BHJP
G03F 7/031 20060101ALI20241113BHJP
G02B 5/20 20060101ALI20241113BHJP
【ＦＩ】
G03F7/004 505
G03F7/029
G03F7/031
G02B5/20 101
【請求項の数】
16
(21)【出願番号】P 2023150387
(22)【出願日】2023-09-15
(62)【分割の表示】P 2021522258の分割
【原出願日】2020-05-20
(65)【公開番号】P2023161048
(43)【公開日】2023-11-02
【審査請求日】2023-09-19
(31)【優先権主張番号】P 2019097698
(32)【優先日】2019-05-24
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】306037311
【氏名又は名称】富士フイルム株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000109
【氏名又は名称】弁理士法人特許事務所サイクス
(72)【発明者】
【氏名】奈良 裕樹
【審査官】塚田 剛士
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１９－２１０４５３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１４２３７２（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１８／１３５３７０（ＷＯ，Ａ１）
【文献】米国特許出願公開第２０１４／０３４６４１６（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０３Ｆ ７／００４
Ｇ０３Ｆ ７／０２９
Ｇ０３Ｆ ７／０３１
Ｇ０２Ｂ ５／２０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
着色剤と、樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、紫外線吸収剤と、溶剤と、を含む感光性樹脂組成物であって、前記着色剤は、カラーインデックスピグメントブルー１５：３およびカラーインデックスピグメントブルー１５：４から選ばれる少なくとも１種のフタロシアニン顔料を含み、かつ、前記着色剤は、前記フタロシアニン顔料以外の着色剤の含有量が０．５質量％未満であり、
前記光重合開始剤は、オキシム化合物、α－ヒドロキシケトン化合物、α－アミノケトン化合物、および、アシルホスフィン化合物から選ばれる少なくとも１種であり、
前記紫外線吸収剤は、共役ジエン化合物、ベンゾトリアゾール化合物及びトリアジン化合物から選ばれる少なくとも１種であり、
感光性樹脂組成物は、前記光重合開始剤１００質量部に対して前記紫外線吸収剤を１～２００質量部含み、前記重合性化合物１００質量部に対して前記紫外線吸収剤を５～１００質量部含み、かつ、前記感光性樹脂組成物の全固形分中に前記紫外線吸収剤を０．５～１０質量％含有する、感光性樹脂組成物。
【請求項2】
前記フタロシアニン顔料の平均二次粒子径が５０～１００ｎｍである、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項3】
前記感光性樹脂組成物の全固形分中に前記着色剤を１０質量％以上含む、請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項4】
前記樹脂は、アミン価が２５～６０ｍｇＫＯＨ／ｇの樹脂を含む、請求項１～３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項5】
前記アミン価が２５～６０ｍｇＫＯＨ／ｇの樹脂は、（メタ）アクリル樹脂である、請求項４に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項6】
前記樹脂は、アルカリ可溶性樹脂を含む、請求項１～５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項7】
前記光重合開始剤は、オキシム化合物およびα－アミノケトン化合物から選ばれる少なくとも１種である、請求項１～６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項8】
前記紫外線吸収剤は、共役ジエン化合物である、請求項１～７のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項9】
カラーフィルタの画素形成用である、請求項１～８のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項10】
シアン色の画素形成用である、請求項９に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項11】
固体撮像素子用である、請求項１～１０のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項12】
請求項１～１１のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物から得られる硬化膜。
【請求項13】
請求項１２に記載の硬化膜を有するカラーフィルタ。
【請求項14】
請求項１２に記載の硬化膜を有する固体撮像素子。
【請求項15】
前記硬化膜がシアン色画素であり、更に、イエロー色画素とマゼンタ色画素とを含む、請求項１４に記載の固体撮像素子。
【請求項16】
請求項１２に記載の硬化膜を有する画像表示装置。【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、カラーインデックスピグメントブルー１５：３およびカラーインデックスピグメントブルー１５：４から選ばれる少なくとも１種のフタロシアニン顔料を含む感光性樹脂組成物に関する。また、本発明は、感光性樹脂組成物を用いた硬化膜、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話等の普及から、電荷結合素子（ＣＣＤ）イメージセンサなどの固体撮像素子の需要が大きく伸びている。ディスプレイや光学素子のキーデバイスとしてカラーフィルタが使用されている。
【0003】
カラーフィルタとしては、赤色画素、緑色画素および青色画素を備えた加法混合方式のカラーフィルタや、シアン色画素、マゼンタ色画素およびイエロー色画素を備えた減法混色方式のカラーフィルタなどが知られている。カラーフィルタの各色の画素は、着色剤を含む感光性樹脂組成物などを用いて製造されている。
【0004】
特許文献１の段落番号０１２３～０１３０には、カラーインデックスピグメントブルー１５：３を含む顔料分散体と、アクリル樹脂溶液と、光重合性単量体と、光重合開始剤と、レベリング剤溶液と、溶剤とを含むシアン色感光性着色組成物が記載されている。
【0005】
特許文献２には、カラーインデックスピグメントグリーン７と、青色色材と、黄色色材と、分散剤と、アルカリ可溶性樹脂と、多官能モノマーと、光開始剤と、溶剤とを含有するカラーフィルタ用感光性着色樹脂組成物が記載されている。特許文献２の段落番号０１１３には、青色色材として、ピグメントブルー１５：３、ピグメントブルー１５：４、ピグメントブルー１５：６等が用いられることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】特開２０１７－１４２３７２号公報
【文献】特開２０１８－０４５１８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
一般的に、カラーフィルタは複数色の画素を有している。このような複数色の画素を有するカラーフィルタは、１色ずつ画素を順次形成して製造される。例えば、感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィ法にて複数色の画素を有するカラーフィルタを形成する場合、感光性樹脂組成物を用いて支持体上に感光性樹脂組成物層を形成し、次いで、感光性樹脂組成物層をパターン状に露光し、次いで、感光性樹脂組成物層の未露光部を現像除去してパターン（画素）を形成する操作を各色の画素毎行って製造される。このため、先の工程で形成した画素（以下、第１の画素ともいう）上にも、次工程で形成される他色の感光性樹脂組成物が適用される。先の工程で形成した画素（第１の画素）上に適用された他色の感光性樹脂組成物は、パターン形成時の現像処理によって除去されるが、第１の画素の硬化性などが不十分であると、第１の画素上に適用された他色の感光性樹脂組成物に含まれる着色剤などが第１の画素側へ移行して混色が生じることがある。このため、感光性樹脂組成物を用いて形成される画素については、他の色相の画素との混色が少ないものであることが望まれている。また、カラーフィルタに用いられる画素においては、分光特性に優れること、耐光性に優れることなども求められている。また、これらの特性について、近年ではより高い水準での並立が求められている。
【0008】
ところで、シアン色の画素形成用の感光性樹脂組成物については、これまで検討があまり進められておらず、従来公知のシアン色の画素形成用の感光性樹脂組成物では、シアン色に適した分光特性と、耐光性と、他の色相の画素との混色の抑制とを、近年要求されている高い水準で並立できる画素などの硬化膜を形成することは困難であった。また、本発明者の検討によれば、特許文献１、２に記載された組成物においても、これらの特性について更なる改善の余地があることが分かった。
【0009】
よって、本発明の目的は、シアン色の発現に適した分光特性を有し、耐光性に優れ、かつ、他の色相の画素との混色の発生を抑制できる硬化膜を形成できる感光性樹脂組成物、硬化膜、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明者の鋭意検討の結果、感光性樹脂組成物に含まれる着色剤中のカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）ピグメントブルー１５：３およびＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４から選ばれる少なくとも１種のフタロシアニン顔料の含有量を高めることにより、シアン色に適した分光特性を有する硬化膜を形成できることを見出した。また、本発明者が、この感光性樹脂組成物を用いて得られた硬化膜について更に検討を進めたところ、耐光性について改善の余地があることが分かった。本発明者が更に検討を進めたところ、着色剤として、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３およびＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４から選ばれる少なくとも１種のフタロシアニン顔料を５０質量％以上含むものを用い、かつ、紫外線吸収剤を感光性樹脂組成物の全固形分中に０．１～１０質量％含有させることにより、シアン色に適した分光特性を有し、耐光性に優れ、かつ、他の色相の画素との混色の発生を抑制できる硬化膜を形成できることを見出し、本発明を完成するに至った。本発明は以下を提供する。
＜１＞ 着色剤と、樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、紫外線吸収剤と、溶剤と、を含む感光性樹脂組成物であって、
着色剤は、カラーインデックスピグメントブルー１５：３およびカラーインデックスピグメントブルー１５：４から選ばれる少なくとも１種のフタロシアニン顔料を含み、かつ、着色剤中にフタロシアニン顔料を５０質量％以上含み、
感光性樹脂組成物の全固形分中に紫外線吸収剤を０．１～１０質量％含有する、感光性樹脂組成物。
＜２＞ フタロシアニン顔料の平均二次粒子径が５０～１００ｎｍである、＜１＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜３＞ 感光性樹脂組成物の全固形分中に着色剤を１０質量％以上含む、＜１＞または＜２＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜４＞ 樹脂は、アミン価が２５～６０ｍｇＫＯＨ／ｇの樹脂を含む、＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
＜５＞ アミン価が２５～６０ｍｇＫＯＨ／ｇの樹脂は、（メタ）アクリル樹脂である、＜４＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜６＞ 上記樹脂は、アルカリ可溶性樹脂を含む、＜１＞～＜５＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
＜７＞ 光重合開始剤１００質量部に対して、紫外線吸収剤を１～２００質量部含む、＜１＞～＜６＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
＜８＞ 重合性化合物１００質量部に対して、紫外線吸収剤を０．１～１００質量部含む、＜１＞～＜７＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
＜９＞ カラーフィルタの画素形成用である、＜１＞～＜８＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
＜１０＞ シアン色の画素形成用である、＜９＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜１１＞ 固体撮像素子用である、＜１＞～＜１０＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
＜１２＞ ＜１＞～＜１１＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物から得られる硬化膜。
＜１３＞ ＜１２＞に記載の硬化膜を有するカラーフィルタ。
＜１４＞ ＜１２＞に記載の硬化膜を有する固体撮像素子。
＜１５＞ 上記硬化膜がシアン色画素であり、
更に、イエロー色画素とマゼンタ色画素とを含む、＜１４＞に記載の固体撮像素子。
＜１６＞ ＜１２＞に記載の硬化膜を有する画像表示装置。
＜１＞ 着色剤と、樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、紫外線吸収剤と、溶剤と、を含む感光性樹脂組成物であって、
着色剤は、カラーインデックスピグメントブルー１５：３およびカラーインデックスピグメントブルー１５：４から選ばれる少なくとも１種のフタロシアニン顔料を含み、かつ、着色剤中にフタロシアニン顔料を５０質量％以上含み、
感光性樹脂組成物の全固形分中に紫外線吸収剤を０．１～１０質量％含有する、感光性樹脂組成物。
＜２＞ フタロシアニン顔料の平均二次粒子径が５０～１００ｎｍである、＜１＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜３＞ 感光性樹脂組成物の全固形分中に着色剤を１０質量％以上含む、＜１＞または＜２＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜４＞ 樹脂は、アミン価が２５～６０ｍｇＫＯＨ／ｇの樹脂を含む、＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
＜５＞ アミン価が２５～６０ｍｇＫＯＨ／ｇの樹脂は、（メタ）アクリル樹脂である、＜４＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜６＞ 上記樹脂は、アルカリ可溶性樹脂を含む、＜１＞～＜５＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
＜７＞ 光重合開始剤１００質量部に対して、紫外線吸収剤を１～２００質量部含む、＜１＞～＜６＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
＜８＞ 重合性化合物１００質量部に対して、紫外線吸収剤を０．１～１００質量部含む、＜１＞～＜７＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
＜９＞ カラーフィルタの画素形成用である、＜１＞～＜８＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
＜１０＞ シアン色の画素形成用である、＜９＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜１１＞ 固体撮像素子用である、＜１＞～＜１０＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
＜１２＞ ＜１＞～＜１１＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物から得られる硬化膜。
＜１３＞ ＜１２＞に記載の硬化膜を有するカラーフィルタ。
＜１４＞ ＜１２＞に記載の硬化膜を有する固体撮像素子。
＜１５＞ 上記硬化膜がシアン色画素であり、
更に、イエロー色画素とマゼンタ色画素とを含む、＜１４＞に記載の固体撮像素子。
＜１６＞ ＜１２＞に記載の硬化膜を有する画像表示装置。
【発明の効果】
【0011】
本発明によれば、シアン色の発現に適した分光特性を有し、耐光性に優れ、かつ、他の色相の画素との混色の発生を抑制できる硬化膜を形成できる感光性樹脂組成物、硬化膜、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
本明細書において、「～」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基（原子団）と共に置換基を有する基（原子団）をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において、「（メタ）アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において、構造式中のＭｅはメチル基を表し、Ｅｔはエチル基を表し、Ｂｕはブチル基を表し、Ｐｈはフェニル基を表す。
本明細書において、重量平均分子量および数平均分子量は、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィ）法により測定したポリスチレン換算値である。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
本明細書において、顔料とは、溶剤に対して溶解しにくい化合物を意味する。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、「～」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基（原子団）と共に置換基を有する基（原子団）をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において、「（メタ）アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において、構造式中のＭｅはメチル基を表し、Ｅｔはエチル基を表し、Ｂｕはブチル基を表し、Ｐｈはフェニル基を表す。
本明細書において、重量平均分子量および数平均分子量は、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィ）法により測定したポリスチレン換算値である。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
本明細書において、顔料とは、溶剤に対して溶解しにくい化合物を意味する。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
【0013】
＜感光性樹脂組成物＞
本発明の感光性樹脂組成物は、
着色剤と、樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、紫外線吸収剤と、溶剤と、を含む感光性樹脂組成物であって、
上記着色剤は、カラーインデックスピグメントブルー１５：３およびカラーインデックスピグメントブルー１５：４から選ばれる少なくとも１種のフタロシアニン顔料を含み、かつ、上記着色剤中に上記フタロシアニン顔料を５０質量％以上含み、
上記感光性樹脂組成物の全固形分中に上記紫外線吸収剤を０．１～１０質量％含有することを特徴とする。
本発明の感光性樹脂組成物は、
着色剤と、樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、紫外線吸収剤と、溶剤と、を含む感光性樹脂組成物であって、
上記着色剤は、カラーインデックスピグメントブルー１５：３およびカラーインデックスピグメントブルー１５：４から選ばれる少なくとも１種のフタロシアニン顔料を含み、かつ、上記着色剤中に上記フタロシアニン顔料を５０質量％以上含み、
上記感光性樹脂組成物の全固形分中に上記紫外線吸収剤を０．１～１０質量％含有することを特徴とする。
【0014】
本発明の感光性樹脂組成物によれば、シアン色の発現に適した分光特性を有し、耐光性に優れ、かつ、他の色相の画素との混色の発生を抑制できる硬化膜を形成できる。特に、波長４００～５３０ｎｍの範囲の光の平均透過率が高く、波長６１０～７００ｎｍの範囲の光の平均透過率の低い硬化膜を形成できる。着色剤として、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３およびＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４から選ばれる少なくとも１種のフタロシアニン顔料を５０質量％以上含むものを用いたことにより、シアン色に適した分光特性を有する硬化膜を形成することができる。そして、着色剤として、上記フタロシアニン顔料を５０％以上含むものを用いるとともに、感光性樹脂組成物の全固形分中に上記紫外線吸収剤を０．１～１０質量％含有させることにより、耐光性に優れ、かつ、他の色相の画素との混色の発生を抑制できる硬化膜を形成できる。
【0015】
本発明の感光性樹脂組成物は、膜厚が０．４～１．０μｍの硬化膜を形成した際に、膜の厚み方向における波長４００～５３０ｎｍの範囲の光の平均透過率は７０％以上であることが好ましく、８０％以上であることがより好ましく、８５％以上であることが更に好ましい。また、膜の厚み方向における波長４００～５３０ｎｍの範囲の光の透過率の最小値は４０％以上であることが好ましく、５０％以上であることがより好ましく、６０％以上であることが更に好ましい。また、膜の厚み方向における波長６１０～７００ｎｍの範囲の光の平均透過率は３０％以下であることが好ましく、２５％以下であることがより好ましく、２０％以下であることが更に好ましい。また、膜の厚み方向における波長６１０～７００ｎｍの範囲の光の透過率の最大値は４０％以下であることが好ましく、３０％以下であることがより好ましく、２５％以下であることが更に好ましい。
【0016】
本発明の感光性樹脂組成物は、膜厚が０．４～１．０μｍの硬化膜を形成した際に、膜の厚み方向における波長４００～７００ｎｍの範囲の光に対する透過スペクトルにおいて、波長４００～５３０ｎｍの範囲に透過率のピーク値が存在することが好ましい。また、波長５４０～６００ｎｍの範囲に透過率がピーク値の５０％になる波長（以下、この波長をλＴ５０ともいう）が存在することが好ましい。また、波長５６０～６２０ｎｍの範囲に透過率がピーク値の２０％になる波長（以下、この波長をλＴ２０ともいう）が存在することが好ましい。λＴ５０は波長５４５～５９５ｎｍの範囲に存在することが好ましく、波長５５０～５９０ｎｍの範囲に存在することがより好ましい。λＴ２０は波長５６５～６１５ｎｍの範囲に存在することが好ましく、波長５６０～６１０ｎｍの範囲に存在することがより好ましい。また、λＴ２０とλＴ５０との差（λＴ２０－λＴ５０）は、５～８０ｎｍであることが好ましく、７～５０ｎｍであることがより好ましく、１０～３０ｎｍであることが更に好ましい。
【0017】
得られる硬化膜の透過率の値は、着色剤に含まれるＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３およびＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４から選ばれる少なくとも１種のフタロシアニン顔料の含有量、並びに、感光性樹脂組成物中の着色剤の含有量などを変更することで適宜調整することができる。
【0018】
本発明の感光性樹脂組成物は、カラーフィルタの画素形成用の感光性樹脂組成物として好ましく用いることができ、カラーフィルタのシアン色の画素形成用の感光性樹脂組成物としてより好ましく用いることができる。
【0019】
本発明の感光性樹脂組成物は、画像表示装置用の感光性樹脂組成物として好ましく用いることができる。より詳しくは、画像表示装置用のカラーフィルタの画素形成用の感光性樹脂組成物として好ましく用いることができ、画像表示装置用のカラーフィルタのシアン色の画素形成用の感光性樹脂組成物としてより好ましく用いることができる。画像表示装置の種類としては特に限定はないが、有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの有機半導体素子を光源として有する表示装置などが挙げられる。
【0020】
また、本発明の感光性樹脂組成物は、固体撮像素子用の感光性樹脂組成物として用いることもできる。より詳しくは、固体撮像素子用のカラーフィルタの画素形成用の感光性樹脂組成物として好ましく用いることができ、固体撮像素子用のカラーフィルタのシアン色の画素形成用の感光性樹脂組成物としてより好ましく用いることができる。
【0021】
本発明の感光性樹脂組成物によって形成される硬化膜および画素の厚さは、０．５～３．０μｍであることが好ましい。下限は０．８μｍ以上が好ましく、１．０μｍ以上がより好ましく、１．１μｍ以上がさらに好ましい。上限は２．５μｍ以下が好ましく、２．０μｍ以下がより好ましく、１．８μｍ以下がさらに好ましい。また、本発明の感光性樹脂組成物によって形成される画素の線幅（パターンサイズ）は、２．０～１０．０μｍであることが好ましい。上限は７．５μｍ以下が好ましく、５．０μｍ以下がより好ましく、４．０μｍ以下がさらに好ましい。下限は２．２５μｍ以上が好ましく、２．５μｍ以上がより好ましく、２．７５μｍ以上がさらに好ましい。
【0022】
以下、本発明の感光性樹脂組成物について詳細に説明する。
【0023】
＜＜着色剤＞＞
本発明の感光性樹脂組成物は着色剤を含有する。本発明の感光性樹脂組成物に用いられる着色剤は、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３およびＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４から選ばれる少なくとも１種のフタロシアニン顔料を含む。以下、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３とＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４とを合わせて特定フタロシアニン顔料ともいう。
本発明の感光性樹脂組成物は着色剤を含有する。本発明の感光性樹脂組成物に用いられる着色剤は、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３およびＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４から選ばれる少なくとも１種のフタロシアニン顔料を含む。以下、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３とＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４とを合わせて特定フタロシアニン顔料ともいう。
【0024】
特定フタロシアニン顔料の平均二次粒子径は、可視光の透過性を高めて、シアン色に適した分光特性を有する硬化膜が得られやすいという理由から５０～１００ｎｍであることが好ましい。下限は、耐光性の観点から５５ｎｍ以上であることが好ましく、６０ｎｍ以上であることがより好ましい。上限は、分光特性の観点から９５ｎｍ以下であることが好ましく、９０ｎｍ以下であることがより好ましい。
【0025】
なお、本明細書において、顔料の平均二次粒子径は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を使用して、電子顕微鏡写真から顔料の二次粒子の大きさを直接計測して測定した。具体的には、個々の顔料の二次粒子の短軸径と長軸径を計測し、平均をその顔料の粒径とした。次に、１００個の顔料のそれぞれについて、それぞれの顔料の体積を、求めた粒径の立方体と近似して求め、体積平均粒径を平均二次粒子径とした。
【0026】
本発明の感光性樹脂組成物に用いられる着色剤は、特定フタロシアニン顔料を５０質量％以上含有し、５５質量％以上含有することが好ましく、６０質量％以上含有することがより好ましく、６５質量％以上含有することが更に好ましい。上限は１００質量％であってもよく、９５質量％以下であってもよく、９０質量％以下であってもよい。
【0027】
本発明の感光性樹脂組成物に用いられる着色剤は、特定フタロシアニン顔料としてＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３とＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４との両者を含むものであってもよく、いずれか一方のみを含むものであってもよい。本発明の感光性樹脂組成物がＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３を含む場合は、感光性樹脂組成物の塗布性を向上させやすい。本発明の感光性樹脂組成物がＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４を含む場合は、感光性樹脂組成物の保存安定性や、得られる硬化膜の耐熱性を向上させやすい。また、本発明の感光性樹脂組成物に用いられる着色剤が、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３とＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４とを含む場合は、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３とＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４との質量比は、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３の１００質量部に対して、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４が１０～１０００質量部であることが好ましく、２５～４００質量部であることがより好ましく、５０～２００質量部であることが更に好ましい。
【0028】
本発明の感光性樹脂組成物に用いられる着色剤は、上記特定フタロシアニン顔料以外の着色剤（以下、他の着色剤ともいう）を含有していてもよい。他の着色剤を含有する場合は、より優れた耐光性や、他色の画素との色分離の向上という効果が期待できる。本発明の感光性樹脂組成物に用いられる着色剤が更に他の着色剤を含有する場合、着色剤中における他の着色剤の含有量は、５０質量％未満であることが好ましく、４５質量％未満であることが更に好ましく、４０質量％未満であることが更に好ましく、３５質量％未満であることがより一層好ましく、３０質量％未満であることが特に好ましい。下限は、１０質量％以上であることが好ましく、２０質量％以上であることがより好ましい。
また、本発明の感光性樹脂組成物に用いられる着色剤は、他の着色剤を実質的に含有しないことも好ましい。この態様によれば、透過光量を高め、より高感度な画素を得ることもできる。なお、着色剤が、他の着色剤を実質的に含有しない場合とは、着色剤中における他の着色剤の含有量が０．５質量％未満であることを意味し、０．１質量％未満であることが好ましく、他の着色剤を含有しないことが更に好ましい。
また、本発明の感光性樹脂組成物に用いられる着色剤は、他の着色剤を実質的に含有しないことも好ましい。この態様によれば、透過光量を高め、より高感度な画素を得ることもできる。なお、着色剤が、他の着色剤を実質的に含有しない場合とは、着色剤中における他の着色剤の含有量が０．５質量％未満であることを意味し、０．１質量％未満であることが好ましく、他の着色剤を含有しないことが更に好ましい。
【0029】
他の着色剤としては、赤色着色剤、緑色着色剤、青色着色剤、黄色着色剤、紫色着色剤、オレンジ色着色剤などの有彩色着色剤が挙げられ、緑色着色剤、青色着色剤および黄色着色剤であることが好ましく、より優れた耐光性が得られやすいという理由から黄色着色剤であることがより好ましい。他の着色剤は、顔料であってもよく、染料であってもよい。顔料と染料とを併用してもよい。また、顔料は、無機顔料、有機顔料のいずれでもよい。また、顔料には、無機顔料または有機‐無機顔料の一部を有機発色団で置換した材料を用いることもできる。無機顔料や有機‐無機顔料の一部を有機発色団で置換することで、色相設計をしやすくできる。顔料としては以下に示すものが挙げられる。
【0030】
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４，２１５，２３１，２３２（メチン系），２３３（キノリン系）等（以上、黄色顔料）、
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３等（以上、オレンジ色顔料）、
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２７０，２７２，２７９，２９４（キサンテン系、Ｏｒｇａｎｏ Ｕｌｔｒａｍａｒｉｎｅ、Ｂｌｕｉｓｈ Ｒｅｄ），２９５（アゾ系），２９６（アゾ系）等（以上、赤色顔料）、
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７，１０，３６，３７，５８，５９，６２，６３等（以上、緑色顔料）、
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１，１９，２３，２７，３２，３７，４２，６０（トリアリールメタン系），６１（キサンテン系）等（以上、紫色顔料）、
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１，２，１５，１５：１，１５：２，１５：６，１６，２２，２９，６０，６４，６６，７９，８０，８７（モノアゾ系），８８（メチン系）等（以上、青色顔料）。
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３等（以上、オレンジ色顔料）、
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２７０，２７２，２７９，２９４（キサンテン系、Ｏｒｇａｎｏ Ｕｌｔｒａｍａｒｉｎｅ、Ｂｌｕｉｓｈ Ｒｅｄ），２９５（アゾ系），２９６（アゾ系）等（以上、赤色顔料）、
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７，１０，３６，３７，５８，５９，６２，６３等（以上、緑色顔料）、
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１，１９，２３，２７，３２，３７，４２，６０（トリアリールメタン系），６１（キサンテン系）等（以上、紫色顔料）、
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１，２，１５，１５：１，１５：２，１５：６，１６，２２，２９，６０，６４，６６，７９，８０，８７（モノアゾ系），８８（メチン系）等（以上、青色顔料）。
【0031】
また、緑色顔料として、１分子中のハロゲン原子数が平均１０～１４個であり、臭素原子数が平均８～１２個であり、塩素原子数が平均２～５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いることもできる。具体例としては、国際公開第２０１５／１１８７２０号に記載の化合物が挙げられる。また、緑色顔料として中国特許出願第１０６９０９０２７号明細書に記載の化合物、国際公開第２０１２／１０２３９５号に記載のリン酸エステルを配位子として有するフタロシアニン化合物、特開２０１９－００８０１４号公報に記載のフタロシアニン化合物および特開２０１８－１８００２３号公報に記載のフタロシアニン化合物を用いることもできる。
【0032】
また、青色顔料として、リン原子を有するアルミニウムフタロシアニン化合物を用いることもできる。具体例としては、特開２０１２－２４７５９１号公報の段落番号００２２～００３０、特開２０１１－１５７４７８号公報の段落番号００４７に記載の化合物が挙げられる。
【0033】
また、黄色顔料として、特開２０１７－２０１００３号公報に記載の化合物、特開２０１７－１９７７１９号公報に記載の化合物、特開２０１７－１７１９１２号公報の段落番号００１１～００６２、０１３７～０２７６に記載の化合物、特開２０１７－１７１９１３号公報の段落番号００１０～００６２、０１３８～０２９５に記載の化合物、特開２０１７－１７１９１４号公報の段落番号００１１～００６２、０１３９～０１９０に記載の化合物、特開２０１７－１７１９１５号公報の段落番号００１０～００６５、０１４２～０２２２に記載の化合物、特開２０１３－０５４３３９号公報の段落番号００１１～００３４に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４－０２６２２８号公報の段落番号００１３～００５８に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８－０６２６４４号公報に記載のイソインドリン化合物、特開２０１８－２０３７９８号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８－０６２５７８号公報に記載のキノフタロン化合物、特許第６４３２０７７号公報に記載のキノフタロン化合物、特許第６４３２０７６号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８－１５５８８１号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８－１１１７５７号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８－０４０８３５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１７－１９７６４０号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１６－１４５２８２号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４－０８５５６５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４－０２１１３９号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－２０９６１４号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－２０９４３５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－１８１０１５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－０６１６２２号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－０５４３３９号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－０３２４８６号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１２－２２６１１０号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０７４９８７号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０８１５６５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０７４９８６号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０７４９８５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０５０４２０号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０３１２８１号公報に記載のキノフタロン化合物、特公昭４８－０３２７６５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１９－００８０１４号公報に記載のキノフタロン化合物、下記式（ＱＰ１）で表される化合物、下記式（ＱＰ２）で表される化合物を用いることもできる。
【化1】
【0034】
式（ＱＰ１）中、Ｘ１～Ｘ１６は各々独立に水素原子又はハロゲン原子を表し、Ｚ１は炭素数１～３のアルキレン基を表す。式（ＱＰ１）で表される化合物の具体例としては、特許第６４４３７１１号公報の段落番号００１６に記載されている化合物が挙げられる。
【化2】
【0035】
式（ＱＰ２）中、Ｙ１～Ｙ３は、それぞれ独立にハロゲン原子を示す。ｎ、ｍは０～６の整数、ｐは０～５の整数を表す。（ｎ＋ｍ）は１以上である。式（ＱＰ２）で表される化合物の具体例としては、特許６４３２０７７号公報の段落番号００４７～００４８に記載されている化合物が挙げられる。
【0036】
赤色顔料として、特開２０１７－２０１３８４号公報に記載の構造中に少なくとも１つ臭素原子が置換したジケトピロロピロール化合物、特許第６２４８８３８号の段落番号００１６～００２２に記載のジケトピロロピロール化合物、国際公開第２０１２／１０２３９９号に記載のジケトピロロピロール化合物、国際公開第２０１２／１１７９６５号に記載のジケトピロロピロール化合物、特開２０１２－２２９３４４号公報に記載のナフトールアゾ化合物などを用いることもできる。また、赤色顔料として、芳香族環に対して、酸素原子、硫黄原子または窒素原子が結合した基が導入された芳香族環基がジケトピロロピロール骨格に結合した構造を有する化合物を用いることもできる。
【0037】
染料としては特に制限はなく、公知の染料が使用できる。例えば、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリアリールメタン系、アントラキノン系、アントラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピロメテン系等の染料が挙げられる。また、特開２０１２－１５８６４９号公報に記載のチアゾール化合物、特開２０１１－１８４４９３号公報に記載のアゾ化合物、特開２０１１－１４５５４０号公報に記載のアゾ化合物も好ましく用いることができる。また、黄色染料として、特開２０１３－０５４３３９号公報の段落番号００１１～００３４に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４－０２６２２８号公報の段落番号００１３～００５８に記載のキノフタロン化合物などを用いることもできる。
【0038】
他の着色剤は、色素多量体であってもよい。色素多量体は、一分子中に、色素構造を２以上有するものであり、色素構造を３以上有することが好ましい。上限は、特に限定はないが、１００以下とすることもできる。一分子中に有する複数の色素構造は、同一の色素構造であってもよく、異なる色素構造であってもよい。色素多量体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、２０００～５００００が好ましい。下限は、３０００以上がより好ましく、６０００以上がさらに好ましい。上限は、３００００以下がより好ましく、２００００以下がさらに好ましい。色素多量体は、特開２０１１－２１３９２５号公報、特開２０１３－０４１０９７号公報、特開２０１５－０２８１４４号公報、特開２０１５－０３０７４２号公報、国際公開第２０１６／０３１４４２号等に記載されている化合物を用いることもできる。
【0039】
着色剤の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分中１０質量％以上であることが好ましく、１５質量％以上であることがより好ましく、２０質量％以上であることが更に好ましい。上限は、８０質量％以下が好ましく、７５質量％以下がより好ましく、７０質量％以下が更に好ましい。
【0040】
＜＜樹脂＞＞
本発明の感光性樹脂組成物は樹脂を含む。樹脂は、例えば、顔料などの粒子を組成物中で分散させる用途や、バインダーの用途で配合される。なお、主に粒子等を組成物中で分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外を目的として樹脂を使用することもできる。
本発明の感光性樹脂組成物は樹脂を含む。樹脂は、例えば、顔料などの粒子を組成物中で分散させる用途や、バインダーの用途で配合される。なお、主に粒子等を組成物中で分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外を目的として樹脂を使用することもできる。
【0041】
樹脂としては、例えば、（メタ）アクリル樹脂、（メタ）アクリルアミド樹脂、エポキシ樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルホスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、シロキサン樹脂、ポリイミン樹脂、ポリウレタン樹脂などが挙げられる。
【0042】
樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、２０００～２００００００が好ましい。上限は、１００００００以下が好ましく、５０００００以下がより好ましい。下限は、３０００以上が好ましく、４０００以上がより好ましく、５０００以上が更に好ましい。
【0043】
本発明の感光性樹脂組成物は、アミン価を有する樹脂を含むことも好ましい。この態様によれば、顔料を微細に分散でき、感光性樹脂組成物を用いて微細な画素（パターン）を形成した場合であっても、欠陥の少ない画素（パターン）を欠陥することができる。上記樹脂のアミン価は２５～６０ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、２６～５９ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましく、２７～５８ｍｇＫＯＨ／ｇであることが更に好ましい。アミン価を有する樹脂は上述した特定フタロシアニン顔料の分散剤として好ましく用いられる。
【0044】
アミン価を有する樹脂の酸価は感光性樹脂組成物の解像性と顔料の分散性の両立の観点から０～２５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましい。上限は、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましく、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることがより好ましい。下限は、アルカリ可溶解性を向上して解像性を向上しやすいという理由から５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることが好ましく、１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることがより好ましい。また、アミン価を有する樹脂の酸価は０ｍｇＫＯＨ／ｇでもよい。アミン価を有する樹脂の酸価が０ｍｇＫＯＨ／ｇの場合は、顔料の分散安定性を良好にするという効果が得られる。
【0045】
アミン価を有する樹脂の数平均分子量としては、５００～５００００が好ましく、３０００～３００００がより好ましい。
【0046】
アミン価を有する樹脂としては、（メタ）アクリル樹脂、ポリイミン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアミド樹脂などが挙げられ、樹脂の透明性および耐熱性が良好であるという理由から（メタ）アクリル樹脂であることが好ましい。塩基性樹脂の具体例としては、Ｎ，Ｎ－ジ置換アミノ基含有ビニルモノマーと、アルキル（メタ）アクリレートモノマーと、その他のビニル系モノマーとの共重合体などが挙げられる。Ｎ，Ｎ－ジ置換アミノ基含有ビニルモノマーとしては、Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノエチル（メタ）アクリルアミド、又はＮ，Ｎ－ジエチルアミノエチル（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。アルキル（メタ）アクリレートモノマーとしては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、又はラウリル（メタ）アクリレート等の不飽和モノカルボン酸と炭素数１～１８のアルキルアルコールとの反応で得られる（メタ）アクリルエステル類等が挙げられる。その他のビニル系モノマーとしては、（メタ）アクリロニトリル等のニトロ基含有ビニル系モノマー類、スチレン、α－メチルスチレン、又はベンジル（メタ）アクリレート等のビニル系芳香族モノマー類、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、又はポリエチレングリコール（メタ）アクリレート等の水酸基含有ビニル系モノマー類、（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアクリルアミド、Ｎ－イソプロピルアクリルアミド、又はダイアセトンアクリルアミド等のアミド基含有ビニル系モノマー類、Ｎ－メチロール（メタ）アクリルアミド、又はジメチロール（メタ）アクリルアミド等のビニル系モノマー類、Ｎ－メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、又はＮ－ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド等のアルコキシメチル基含有ビニル系モノマー類、エチレン、プロピレン、又はイソプレン等のオレフィン類、クロロプレン、又はブタジエン等のジエン類、メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、ｎ－プロピルビニルエーテル、イソプロピルビニルエーテル、ｎ－ブチルビニルエーテル、又はイソブチルビニルエーテル等のビニルエーテル類、酢酸ビニル、又はプロピオン酸ビニル等の脂肪酸ビニル類等が挙げられる。
【0047】
アミン価を有する樹脂の市販品としては、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ１６１、１６２、１６３、１６４、１６６、１６７、１６８、１７４、１８２、１８３、１８４、１８５、２０００、２００１、２０５０、２１５０、２１６３、２１６４、ＢＹＫ－ＬＰＮ６９１９（以上、ビックケミー・ジャパン社製）、ＳＯＬＳＰＥＲＳＥ１１２００、１３２４０、１３６５０、１３９４０、２４０００、２６０００、２８０００、３２０００、３２５００、３２５５０、３２６００、３３０００、３４７５０、３５１００、３５２００、３７５００，３８５００，３９０００，５３０９５、５６０００、７１００（以上、日本ルーブリゾール社製）、Ｅｆｋａ ＰＸ ４３００、４３３０、４０４６、４０６０、４０８０（以上、ＢＡＳＦ社製）等が挙げられる。
【0048】
本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂を含むことが好ましい。本発明の感光性樹脂組成物がアルカリ可溶性樹脂を含むことにより、感光性樹脂組成物の現像性が向上し、本発明の感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィ法でパターン形成した際においては、現像残渣の発生などを効果的に抑制できる。アルカリ可溶性樹脂としては、酸基を有する樹脂が挙げられる。酸基としては、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性ヒドロキシ基などが挙げられ、カルボキシル基が好ましい。アルカリ可溶性樹脂が有する酸基は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。なお、アルカリ可溶性樹脂は、分散剤として用いることもできる。
【0049】
アルカリ可溶性樹脂は、酸基を側鎖に有する繰り返し単位を含むことが好ましく、酸基を側鎖に有する繰り返し単位を樹脂の全繰り返し単位中５～７０モル％含むことがより好ましい。酸基を側鎖に有する繰り返し単位の含有量の上限は、５０モル％以下であることが好ましく、３０モル％以下であることがより好ましい。酸基を側鎖に有する繰り返し単位の含有量の下限は、１０モル％以上であることが好ましく、２０モル％以上であることがより好ましい。
【0050】
アルカリ可溶性樹脂は、重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂であることも好ましい。重合性基としては、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基等が挙げられる。重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂は、側鎖に重合性基を有する繰り返し単位と、側鎖に酸基を有する繰り返し単位とを含む樹脂であることが好ましい。
【0051】
アルカリ可溶性樹脂は、下記式（ＥＤ１）で示される化合物および／または下記式（ＥＤ２）で表される化合物（以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。）を含むモノマー成分に由来する繰り返し単位を含むことも好ましい。
【0052】
【化3】
【0053】
式（ＥＤ１）中、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数１～２５の炭化水素基を表す。
式（ＥＤ２）中、Ｒは、水素原子または炭素数１～３０の有機基を表す。式（ＥＤ２）の詳細については、特開２０１０－１６８５３９号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【化4】
【0054】
エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開２０１３－０２９７６０号公報の段落番号０３１７の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【0055】
アルカリ可溶性樹脂については、特開２０１２－２０８４９４号公報の段落番号０５５８～０５７１（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の段落番号０６８５～０７００）の記載、特開２０１２－１９８４０８号公報の段落番号００７６～００９９の記載、特開２０１８－１０５９１１号公報の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【0056】
アルカリ可溶性樹脂の酸価は、３０～５００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。下限は、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が好ましく、７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましい。上限は、４００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、３００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が更に好ましい。
【0057】
本発明の感光性樹脂組成物は、樹脂としてマレイミド構造を有する樹脂を用いることもできる。なお、本明細書において、マレイミド構造とは、マレイミド化合物に由来する構造のことである。マレイミド化合物としては、マレイミドおよび、Ｎ－置換マレイミドが挙げられる。Ｎ－置換マレイミドとしては、シクロヘキシルマレイミド、フェニルマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、ｎ－ブチルマレイミド、ラウリルマレイミド等が挙げられる。
【0058】
マレイミド構造を有する樹脂は、マレイミド構造を有する繰り返し単位を含む樹脂であることが好ましい。マレイミド構造は繰り返し単位の主鎖に含まれていてもよく、繰り返し単位の側鎖に含まれていてもよい。色ムラの抑制された硬化膜を形成しやすいという理由から、マレイミド構造は繰り返し単位の主鎖に含まれていることが好ましい。
【0059】
本発明の感光性樹脂組成物は、樹脂として式（Ｉ）で表される化合物由来の繰り返し単位（以下、繰り返し単位ｉ１－１ともいう）を含む樹脂ｉ（以下、樹脂ｉともいう）を含有することも好ましい。本発明の感光性樹脂組成物が樹脂ｉを含むことで、色ムラの抑制された硬化膜が得られやすい。樹脂ｉの全繰り返し単位中における繰り返し単位ｉ１－１の含有量は５モル％以上であることが好ましく、１０モル％以上であることがより好ましく、１５モル％以上であることが更に好ましい。
【化5】
【0060】
式中、Ｘｉ１は、ＯまたはＮＨを表し、Ｏであることが好ましい。
Ｒｉ１は水素原子またはメチル基を表す。
Ｌｉ１は２価の連結基を表す。２価の連結基としては、炭化水素基、複素環基、－ＮＨ－、－ＳＯ－、－ＳＯ２－、－ＣＯ－、－Ｏ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－およびこれらの２以上を組み合わせてなる基が挙げられる。炭化水素基としては、アルキル基、アリール基などが挙げられる。複素環基は、非芳香族の複素環基であってもよく、芳香族複素環基であってもよい。複素環基は、５員環または６員環が好ましい。複素環基を構成するヘテロ原子の種類は窒素原子、酸素原子、硫黄原子などが挙げられる。複素環基を構成するヘテロ原子の数は１～３が好ましい。複素環基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。炭化水素基および複素環基は置換基を有していてもよい。置換基としては、アルキル基、アリール基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子などが挙げられる。
Ｒｉ１０は置換基を表す。Ｒｉ１０が表す置換基としては、以下に示す置換基Ｔｉが挙げられ、炭化水素基であることが好ましく、アリール基を置換基として有していてもよいアルキル基であることがより好ましい。
ｍは０～２の整数を表し、０または１が好ましく、０がより好ましい。
ｐは０以上の整数を表し、０～４が好ましく、０～３がより好ましく、０～２が更に好ましく、０または１がより一層好ましく、１が特に好ましい。
Ｒｉ１は水素原子またはメチル基を表す。
Ｌｉ１は２価の連結基を表す。２価の連結基としては、炭化水素基、複素環基、－ＮＨ－、－ＳＯ－、－ＳＯ２－、－ＣＯ－、－Ｏ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－およびこれらの２以上を組み合わせてなる基が挙げられる。炭化水素基としては、アルキル基、アリール基などが挙げられる。複素環基は、非芳香族の複素環基であってもよく、芳香族複素環基であってもよい。複素環基は、５員環または６員環が好ましい。複素環基を構成するヘテロ原子の種類は窒素原子、酸素原子、硫黄原子などが挙げられる。複素環基を構成するヘテロ原子の数は１～３が好ましい。複素環基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。炭化水素基および複素環基は置換基を有していてもよい。置換基としては、アルキル基、アリール基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子などが挙げられる。
Ｒｉ１０は置換基を表す。Ｒｉ１０が表す置換基としては、以下に示す置換基Ｔｉが挙げられ、炭化水素基であることが好ましく、アリール基を置換基として有していてもよいアルキル基であることがより好ましい。
ｍは０～２の整数を表し、０または１が好ましく、０がより好ましい。
ｐは０以上の整数を表し、０～４が好ましく、０～３がより好ましく、０～２が更に好ましく、０または１がより一層好ましく、１が特に好ましい。
【0061】
（置換基Ｔｉ）
置換基Ｔｉとしては、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、炭化水素基、複素環基、－ＯＲｔｉ１、－ＣＯＲｔｉ１、－ＣＯＯＲｔｉ１、－ＯＣＯＲｔｉ１、－ＮＲｔｉ１Ｒｔｉ２、－ＮＨＣＯＲｔｉ１、－ＣＯＮＲｔｉ１Ｒｔｉ２、－ＮＨＣＯＮＲｔｉ１Ｒｔｉ２、－ＮＨＣＯＯＲｔｉ１、－ＳＲｔｉ１、－ＳＯ２Ｒｔｉ１、－ＳＯ２ＯＲｔｉ１、－ＮＨＳＯ２Ｒｔｉ１または－ＳＯ２ＮＲｔｉ１Ｒｔｉ２が挙げられる。Ｒｔｉ１およびＲｔｉ２は、それぞれ独立して水素原子、炭化水素基または複素環基を表す。Ｒｔｉ１とＲｔｉ２が結合して環を形成してもよい。
置換基Ｔｉとしては、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、炭化水素基、複素環基、－ＯＲｔｉ１、－ＣＯＲｔｉ１、－ＣＯＯＲｔｉ１、－ＯＣＯＲｔｉ１、－ＮＲｔｉ１Ｒｔｉ２、－ＮＨＣＯＲｔｉ１、－ＣＯＮＲｔｉ１Ｒｔｉ２、－ＮＨＣＯＮＲｔｉ１Ｒｔｉ２、－ＮＨＣＯＯＲｔｉ１、－ＳＲｔｉ１、－ＳＯ２Ｒｔｉ１、－ＳＯ２ＯＲｔｉ１、－ＮＨＳＯ２Ｒｔｉ１または－ＳＯ２ＮＲｔｉ１Ｒｔｉ２が挙げられる。Ｒｔｉ１およびＲｔｉ２は、それぞれ独立して水素原子、炭化水素基または複素環基を表す。Ｒｔｉ１とＲｔｉ２が結合して環を形成してもよい。
【0062】
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
炭化水素基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、１～３０が好ましく、１～１５がより好ましく、１～８が更に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、分岐がより好ましい。
アルケニル基の炭素数は、２～３０が好ましく、２～１２がより好ましく、２～８が特に好ましい。アルケニル基は直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましい。
アルキニル基の炭素数は、２～３０が好ましく、２～２５がより好ましい。アルキニル基は直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましい。
アリール基の炭素数は、６～３０が好ましく、６～２０がより好ましく、６～１２が更に好ましい。
複素環基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。複素環基は、単環または縮合数が２～４の縮合環が好ましい。複素環基の環を構成するヘテロ原子の数は１～３が好ましい。複素環基の環を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子または硫黄原子が好ましい。複素環基の環を構成する炭素原子の数は３～３０が好ましく、３～１８がより好ましく、３～１２がより好ましい。
炭化水素基および複素環基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、上述した置換基Ｔｉで説明した置換基が挙げられる。
炭化水素基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、１～３０が好ましく、１～１５がより好ましく、１～８が更に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、分岐がより好ましい。
アルケニル基の炭素数は、２～３０が好ましく、２～１２がより好ましく、２～８が特に好ましい。アルケニル基は直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましい。
アルキニル基の炭素数は、２～３０が好ましく、２～２５がより好ましい。アルキニル基は直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましい。
アリール基の炭素数は、６～３０が好ましく、６～２０がより好ましく、６～１２が更に好ましい。
複素環基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。複素環基は、単環または縮合数が２～４の縮合環が好ましい。複素環基の環を構成するヘテロ原子の数は１～３が好ましい。複素環基の環を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子または硫黄原子が好ましい。複素環基の環を構成する炭素原子の数は３～３０が好ましく、３～１８がより好ましく、３～１２がより好ましい。
炭化水素基および複素環基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、上述した置換基Ｔｉで説明した置換基が挙げられる。
【0063】
式（Ｉ）で表される化合物は、下記式（Ｉ－１）で表される化合物であることが好ましい。
【化6】
【0064】
Ｘｉ１は、ＯまたはＮＨを表し、Ｏであることが好ましい。
Ｒｉ１は水素原子またはメチル基を表す。
Ｒｉ２、Ｒｉ３およびＲｉ１１はそれぞれ独立して炭化水素基を表す。
Ｒｉ２およびＲｉ３が表す炭化水素基は、アルキレン基またはアリーレン基であることが好ましく、アルキレン基であることがより好ましい。アルキレン基の炭素数は１～１０であることが好ましく、１～５であることがより好ましく、１～３であることが更に好ましく、２または３であることが特に好ましい。Ｒｉ１１が表す炭化水素基は、アリール基を置換基として有していてもよいアルキル基であることが好ましく、アリール基を置換基として有するアルキル基であることがより好ましい。アルキル基の炭素数は、１～２０が好ましく、１～１０がより好ましく、１～５が更に好ましい。なお、アルキル基が置換基としてアリール基を有する場合におけるアルキル基の炭素数は、アルキル部位の炭素数のことを意味する。
Ｒｉ１２は置換基を表す。Ｒｉ１２が表す置換基としては、上述した置換基Ｔｉが挙げられる。
ｎは０～１５の整数を表し、０～５の整数であることが好ましく０～４の整数であることがより好ましく、０～３の整数であることが更に好ましい。
ｍは０～２の整数を表し、０または１であることが好ましく、０であることがより好ましい。
ｐ１は０以上の整数を表し、０～４が好ましく、０～３がより好ましく、０～２が更に好ましく、０～１がより一層好ましく、０が特に好ましい。
ｑ１は１以上の整数を表し、１～４が好ましく、１～３がより好ましく、１～２が更に好ましく、１が特に好ましい。
Ｒｉ１は水素原子またはメチル基を表す。
Ｒｉ２、Ｒｉ３およびＲｉ１１はそれぞれ独立して炭化水素基を表す。
Ｒｉ２およびＲｉ３が表す炭化水素基は、アルキレン基またはアリーレン基であることが好ましく、アルキレン基であることがより好ましい。アルキレン基の炭素数は１～１０であることが好ましく、１～５であることがより好ましく、１～３であることが更に好ましく、２または３であることが特に好ましい。Ｒｉ１１が表す炭化水素基は、アリール基を置換基として有していてもよいアルキル基であることが好ましく、アリール基を置換基として有するアルキル基であることがより好ましい。アルキル基の炭素数は、１～２０が好ましく、１～１０がより好ましく、１～５が更に好ましい。なお、アルキル基が置換基としてアリール基を有する場合におけるアルキル基の炭素数は、アルキル部位の炭素数のことを意味する。
Ｒｉ１２は置換基を表す。Ｒｉ１２が表す置換基としては、上述した置換基Ｔｉが挙げられる。
ｎは０～１５の整数を表し、０～５の整数であることが好ましく０～４の整数であることがより好ましく、０～３の整数であることが更に好ましい。
ｍは０～２の整数を表し、０または１であることが好ましく、０であることがより好ましい。
ｐ１は０以上の整数を表し、０～４が好ましく、０～３がより好ましく、０～２が更に好ましく、０～１がより一層好ましく、０が特に好ましい。
ｑ１は１以上の整数を表し、１～４が好ましく、１～３がより好ましく、１～２が更に好ましく、１が特に好ましい。
【0065】
式（Ｉ）で表される化合物は、下記式（ＩＩＩ）で表される化合物であることが好ましい。
式中、Ｒｉ１は水素原子またはメチル基を表し、Ｒｉ２１およびＲｉ２２はそれぞれ独立してアルキレン基を表し、ｎは０～１５の整数を表す。Ｒｉ２１およびＲｉ２２が表すアルキレン基の炭素数は１～１０であることが好ましく、１～５であることがより好ましく、１～３であることが更に好ましく、２または３であることが特に好ましい。ｎは０～５の整数であることが好ましく、０～４の整数であることがより好ましく、０～３の整数であることが更に好ましい。
【化7】
【0066】
式（Ｉ）で表される化合物としては、パラクミルフェノールのエチレンオキサイドまたはプロピレンオキサイド変性（メタ）アクリレートなどが挙げられる。市販品としては、アロニックスＭ－１１０（東亞合成（株）製）などが挙げられる。
【0067】
樹脂ｉは、更に、アルキル（メタ）アクリレート由来の繰り返し単位（以下、繰り返し単位ｉ１－２ともいう）を含むことが好ましい。樹脂ｉが更に繰り返し単位ｉ１－２を有する場合においては、感光性樹脂組成物の溶剤溶解性を向上させる効果が得られる。アルキル（メタ）アクリレートのアルキル部位の炭素数は、３～１０であることが好ましく、３～８であることがより好ましく、３～６であることが更に好ましい。アルキル（メタ）アクリレートの好ましい具体例としては、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシルアクリレートなどがあげられ、より優れた溶剤溶解性が得られやすいという理由からｎ－ブチル（メタ）アクリレートであることが好ましい。樹脂ｉの全繰り返し単位中における繰り返し単位ｉ１－２の含有量は５モル％以上であることが好ましく、１０モル％以上であることがより好ましく、１５モル％以上であることが更に好ましい。
【0068】
樹脂ｉは、更に、酸基を有する繰り返し単位を含むことも好ましい。この態様によれば、感光性樹脂組成物の現像性を向上させる効果が得られる。樹脂ｉの全繰り返し単位中における酸基を有する繰り返し単位の含有量は５モル％以上であることが好ましく１０モル％以上であることがより好ましく１５モル％以上であることが更に好ましい。上限は６０モル％以下であることが好ましく、５０モル％以下であることがより好ましい。酸基を有する繰り返し単位を含む樹脂ｉはアルカリ可溶性樹脂でもある。
【0069】
樹脂ｉは、更に、エチレン性不飽和結合含有基を有する繰り返し単位を含むことも好ましい。樹脂ｉの全繰り返し単位中におけるエチレン性不飽和結合含有基を有する繰り返し単位の含有量は５モル％以上であることが好ましく、１０モル％以上であることがより好ましく、１５モル％以上であることが更に好ましい。上限は５０モル％以下であることが好ましく、４０モル％以下であることがより好ましい。
【0070】
本発明の感光性樹脂組成物は、芳香族カルボキシル基を有する樹脂（以下、樹脂Ａｃともいう）を含むことも好ましい。樹脂Ａｃを用いることで現像時の顔料の色抜けが生じにくく、かつ優れた現像性を有する硬化膜を形成できる。
【0071】
樹脂Ａｃにおいて、芳香族カルボキシル基は繰り返し単位の主鎖に含まれていてもよく、繰り返し単位の側鎖に含まれていてもよい。上述した効果がより顕著に得られやすいという理由から、芳香族カルボキシル基は繰り返し単位の主鎖に含まれていることが好ましい。詳細は不明だが、主鎖近くに芳香族カルボキシル基が存在することで、これらの特性がより向上するものと推測される。なお、本明細書において、芳香族カルボキシル基とは、芳香族環にカルボキシル基が１個以上結合した構造の基のことである。芳香族カルボキシル基において、芳香族環に結合したカルボキシル基の数は、１～４個であることが好ましく、１～２個であることがより好ましい。
【0072】
樹脂Ａｃは、式（ｂ－１）で表される繰り返し単位および式（ｂ－１０）で表される繰り返し単位から選ばれる少なくとも一種の繰り返し単位を含む樹脂であることが好ましい。
式（ｂ－１）中、Ａｒ１は芳香族カルボキシル基を含む基を表し、Ｌ１は、－ＣＯＯ－または－ＣＯＮＨ－を表し、Ｌ２は、２価の連結基を表す。
式（ｂ－１０）中、Ａｒ１０は芳香族カルボキシル基を含む基を表し、Ｌ１１は、－ＣＯＯ－または－ＣＯＮＨ－を表し、Ｌ１２は３価の連結基を表し、Ｐ１０はポリマー鎖を表す。
【化8】
式（ｂ－１０）中、Ａｒ１０は芳香族カルボキシル基を含む基を表し、Ｌ１１は、－ＣＯＯ－または－ＣＯＮＨ－を表し、Ｌ１２は３価の連結基を表し、Ｐ１０はポリマー鎖を表す。
【0073】
まず式（ｂ－１）について説明する。式（ｂ－１）においてＡｒ１が表す芳香族カルボキシル基を含む基としては、芳香族トリカルボン酸無水物から由来する構造、芳香族テトラカルボン酸無水物から由来する構造などが挙げられる。芳香族トリカルボン酸無水物および芳香族テトラカルボン酸無水物としては、下記構造の化合物が挙げられる。
【化9】
【0074】
上記式中、Ｑ１は、単結合、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯ－、－ＳＯ２－、－Ｃ（ＣＦ３）２－、下記式（Ｑ－１）で表される基または下記式（Ｑ－２）で表される基を表す。
【化10】
【0075】
Ａｒ１が表す芳香族カルボキシル基を含む基の具体例としては、式（Ａｒ－１）で表される基、式（Ａｒ－２）で表される基、式（Ａｒ－３）で表される基などが挙げられる。
【化11】
【0076】
式（Ａｒ－１）中、ｎ１は１～４の整数を表し、１または２であることが好ましく、２であることがより好ましい。
式（Ａｒ－２）中、ｎ２は１～８の整数を表し、１～４の整数であることが好ましく、１または２であることがより好ましく、２であることが更に好ましい。
式（Ａｒ－３）中、ｎ３およびｎ４はそれぞれ独立して０～４の整数を表し、０～２の整数であることが好ましく、１または２であることがより好ましく、１であることが更に好ましい。ただし、ｎ３およびｎ４の少なくとも一方は１以上の整数である。
式（Ａｒ－３）中、Ｑ１は、単結合、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯ－、－ＳＯ２－、－Ｃ（ＣＦ３）２－、上記式（Ｑ－１）で表される基または上記式（Ｑ－２）で表される基を表す。
式（Ａｒ－２）中、ｎ２は１～８の整数を表し、１～４の整数であることが好ましく、１または２であることがより好ましく、２であることが更に好ましい。
式（Ａｒ－３）中、ｎ３およびｎ４はそれぞれ独立して０～４の整数を表し、０～２の整数であることが好ましく、１または２であることがより好ましく、１であることが更に好ましい。ただし、ｎ３およびｎ４の少なくとも一方は１以上の整数である。
式（Ａｒ－３）中、Ｑ１は、単結合、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯ－、－ＳＯ２－、－Ｃ（ＣＦ３）２－、上記式（Ｑ－１）で表される基または上記式（Ｑ－２）で表される基を表す。
【0077】
式（ｂ－１）においてＬ１は、－ＣＯＯ－または－ＣＯＮＨ－を表し、－ＣＯＯ－を表すことが好ましい。
【0078】
式（ｂ－１）においてＬ２が表す２価の連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＮＨ－、－Ｓ－およびこれらの２種以上を組み合わせた基が挙げられる。アルキレン基の炭素数は、１～３０が好ましく、１～２０がより好ましく、１～１５が更に好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。アリーレン基の炭素数は、６～３０が好ましく、６～２０がより好ましく、６～１０が更に好ましい。アルキレン基およびアリーレン基は置換基を有していてもよい。置換基としては、ヒドロキシ基などが挙げられる。Ｌ２が表す２価の連結基は、－Ｏ－Ｌ２ａ－Ｏ－で表される基であることが好ましい。Ｌ２ａは、アルキレン基；アリーレン基；アルキレン基とアリーレン基とを組み合わせた基；アルキレン基およびアリーレン基から選ばれる少なくとも１種と、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＮＨ－および－Ｓ－から選ばれる少なくとも１種とを組み合わせた基などが挙げられる。アルキレン基の炭素数は、１～３０が好ましく、１～２０がより好ましく、１～１５が更に好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。アルキレン基およびアリーレン基は置換基を有していてもよい。置換基としては、ヒドロキシ基などが挙げられる。
【0079】
次に、式（ｂ－１０）について説明する。式（ｂ－１０）においてＡｒ１０が表す芳香族カルボキシル基を含む基としては、式（ｂ－１）のＡｒ１と同義であり、好ましい範囲も同様である。
【0080】
式（ｂ－１０）においてＬ１１は、－ＣＯＯ－または－ＣＯＮＨ－を表し、－ＣＯＯ－を表すことが好ましい。
【0081】
式（ｂ－１０）においてＬ１２が表す３価の連結基としては、炭化水素基、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＮＨ－、－Ｓ－およびこれらの２種以上を組み合わせた基が挙げられる。炭化水素基は、脂肪族炭化水素基、芳香族炭化水素基が挙げられる。脂肪族炭化水素基の炭素数は、１～３０が好ましく、１～２０がより好ましく、１～１５が更に好ましい。脂肪族炭化水素基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。芳香族炭化水素基の炭素数は、６～３０が好ましく、６～２０がより好ましく、６～１０が更に好ましい。炭化水素基は置換基を有していてもよい。置換基としては、ヒドロキシ基などが挙げられる。Ｌ１２が表す３価の連結基は、下記式（Ｌ１２－１）で表される基であることが好ましく、式（Ｌ１２－２）で表される基であることがより好ましい。
【化12】
【0082】
Ｌ１２ａおよびＬ１２ｂはそれぞれ３価の連結基を表し、Ｘ１はＳを表し、＊１は式（ｂ－１０）のＬ１１との結合位置を表し、＊２は式（ｂ－１０）のＰ１０との結合位置を表す。
【0083】
Ｌ１２ａおよびＬ１２ｂが表す３価の連結基としては、炭化水素基；炭化水素基と、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＮＨ－および－Ｓ－から選ばれる少なくとも１種とを組み合わせた基などが挙げられる。
【0084】
式（ｂ－１０）においてＰ１０はポリマー鎖を表す。Ｐ１０が表すポリマー鎖は、ポリ（メタ）アクリル繰り返し単位、ポリエーテル繰り返し単位、ポリエステル繰り返し単位およびポリオール繰り返し単位から選ばれる少なくとも１種の繰り返し単位を有することが好ましい。ポリマー鎖Ｐ１０の重量平均分子量は５００～２００００が好ましい。下限は１０００以上が好ましい。上限は１００００以下が好ましく、５０００以下がより好ましく、３０００以下が更に好ましい。Ｐ１０の重量平均分子量が上記範囲であれば組成物中における顔料の分散性が良好である。芳香族カルボキシル基を有する樹脂が式（ｂ－１０）で表される繰り返し単位を有する樹脂である場合は、この樹脂は分散剤として好ましく用いられる。
【0085】
本発明の感光性樹脂組成物は、式（ＯＰ１）で表される構造の樹脂（以下、樹脂ＯＰともいう）を用いることも好ましい。この樹脂は分散剤として好ましく用いられる。
式中、Ｒｐ４は数平均分子量４００～３００００であり、エチレン性不飽和結合含有基を有するポリエーテル残基および／またはポリエステル残基を表し、ｙは１～２の数を表す。
【化13】
【0086】
Ｒｐ４の数平均分子量は、より好ましくは４００～１００００であり、更に好ましくは４００～３０００である。Ｒｐ４の数平均分子量が上記範囲であれば顔料の分散性が良好であり、このような樹脂は分散剤として好ましく用いられる。
【0087】
Ｒｐ４が表すエチレン性不飽和結合含有基を有するポリエーテル残基および／またはポリエステル残基としては、スチレン基、（メタ）アクリロイル基、シアノアクリロイル基、ビニルエーテル基等を有するポリエーテル残基および／またはポリエステル残基が挙げられる。
【0088】
Ｒｐ４は、下記式（Ｒｐ－１）で表される基であることが好ましい。
－Ｒｐ１２－Ｏ－Ｒｐ１３－（Ｏ－Ｒｐ１４）Ｓ
式中、Ｒｐ１２はアルキレン基を表し、Ｒｐ１３は３価以上の多価アルコール残基を表し、Ｒｐ１４は（メタ）アクリロイル基またはシアノアクリロイル基を表し、ｓは２以上を表す。
－Ｒｐ１２－Ｏ－Ｒｐ１３－（Ｏ－Ｒｐ１４）Ｓ
式中、Ｒｐ１２はアルキレン基を表し、Ｒｐ１３は３価以上の多価アルコール残基を表し、Ｒｐ１４は（メタ）アクリロイル基またはシアノアクリロイル基を表し、ｓは２以上を表す。
【0089】
Ｒｐ１２は炭素数８以下のアルキレン基が好ましい。また、顔料分散性の観点からｓは２以上が好ましい。この場合、Ｒｐ１４は互いに異なる基を用いても良い。ｓは２～５が更に好ましく、２が特に好ましい。
【0090】
Ｒｐ１３が表す３価以上の多価アルコールとしてはグリセリン、プロピルアルコール、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等が挙げられる。特に３～６価のものが好ましい。
【0091】
樹脂ＯＰは、Ｒｐ４が単一種のリン酸エステルでも良いし、異なるＲｐ４からなるリン酸エステルを複数種用いても良い。また、樹脂ＯＰは、式（ＯＰ１）中のｙが１である樹脂のみであってもよいし、式（ＯＰ１）中のｙが１の樹脂と、式（ＯＰ１）中のｙが２の樹脂との混合物であってもよい。また、式（ＯＰ１）で表される化合物のＲｐ４が、数平均分子量４００～１００００（より好ましくは４００～３０００）のポリカプロラクトン残基であると、顔料分散性が良好になり好ましい。
【0092】
本発明の感光性樹脂組成物は、分散剤としての樹脂を含有することができる。分散剤としては、酸性分散剤（酸性樹脂）、塩基性分散剤（塩基性樹脂）が挙げられる。ここで、酸性分散剤（酸性樹脂）とは、酸基の量が塩基性基の量よりも多い樹脂を表す。酸性分散剤（酸性樹脂）としては、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、酸基の量が７０モル％以上である樹脂が好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）が有する酸基は、カルボキシル基が好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）の酸価は、１０～１０５ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。また、塩基性分散剤（塩基性樹脂）とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤（塩基性樹脂）としては、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、塩基性基の量が５０モル％を超える樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミノ基が好ましい。
【0093】
分散剤として用いる樹脂は、上述したアミン価を有する樹脂であることが好ましい。
【0094】
分散剤として用いる樹脂は、グラフト樹脂であることも好ましい。グラフト樹脂の詳細は、特開２０１２－２５５１２８号公報の段落番号００２５～００９４の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【0095】
分散剤として用いる樹脂は、主鎖及び側鎖の少なくとも一方に窒素原子を含むポリイミン系分散剤であることも好ましい。ポリイミン系分散剤としては、ｐＫａ１４以下の官能基を有する部分構造を有する主鎖と、原子数４０～１００００の側鎖とを有し、かつ主鎖及び側鎖の少なくとも一方に塩基性窒素原子を有する樹脂が好ましい。塩基性窒素原子は、塩基性を呈する窒素原子であれば特に制限はない。ポリイミン系分散剤については、特開２０１２－２５５１２８号公報の段落番号０１０２～０１６６の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【0096】
分散剤として用いる樹脂は、コア部に複数個のポリマー鎖が結合した構造の樹脂であることも好ましい。このような樹脂としては、例えばデンドリマー（星型ポリマーを含む）が挙げられる。また、デンドリマーの具体例としては、特開２０１３－０４３９６２号公報の段落番号０１９６～０２０９に記載された高分子化合物Ｃ－１～Ｃ－３１などが挙げられる。
【0097】
分散剤として用いる樹脂は、エチレン性不飽和結合含有基を側鎖に有する繰り返し単位を含む樹脂であることも好ましい。エチレン性不飽和結合含有基を側鎖に有する繰り返し単位の含有量は、樹脂の全繰り返し単位中１０モル％以上であることが好ましく、１０～８０モル％であることがより好ましく、２０～７０モル％であることが更に好ましい。また、分散剤は、特開２０１８－０８７９３９号公報に記載された樹脂を用いることもできる。
【0098】
分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、ビックケミー・ジャパン社製のＤＩＳＰＥＲＢＹＫシリーズ、日本ルーブリゾール社製のＳＯＬＳＰＥＲＳＥシリーズ、ＢＡＳＦ社製のＥｆｋａシリーズ、味の素ファインテクノ（株）製のアジスパーシリーズ等が挙げられる。また、特開２０１２－１３７５６４号公報の段落番号０１２９に記載された製品、特開２０１７－１９４６６２号公報の段落番号０２３５に記載された製品を分散剤として用いることもできる。
【0099】
感光性樹脂組成物の全固形分中における樹脂の含有量は、１０～５０質量％であることが好ましい。上限は４０質量％以下であることが好ましく、３０質量％以下であることがより好ましい。下限は１５質量％以上であることが好ましく、２０質量％以上であることがより好ましい。
【0100】
また、本発明の感光性樹脂組成物に含まれる樹脂中におけるアルカリ可溶性樹脂の含有量は１０～１００質量％であることが好ましく、２０～１００質量％であることがより好ましく、３０～１００質量％であることが更に好ましい。
【0101】
また、本発明の感光性樹脂組成物に含まれる樹脂中におけるアミン価を有する樹脂の含有量は０～１００質量％であることが好ましい。上限は９０質量％以下であることが好ましく、８０質量％以下であることがより好ましい。下限は１０質量％以上であることが好ましく、２０質量％以上であることが更に好ましい。
【0102】
また、本発明の感光性樹脂組成物が樹脂として分散剤を含む場合、分散剤の含有量は特定フタロシアニン顔料１００質量部に対して１０～１００質量部であることが好ましい。上限は８０質量部以下であることが好ましく、６０質量部以下であることがより好ましい。下限は２０質量部以上であることが好ましく、３０質量部以上であることが更に好ましい。また、分散剤中におけるアミン価を有する樹脂の含有量は０～１００質量％であることが好ましく、１０～１００質量％であることがより好ましく、２０～１００質量％であることが更に好ましい。また、樹脂中における分散剤の含有量は、１０～１００質量％であることが好ましい。上限は９５質量％以下であることが好ましく、９０質量％以下であることがより好ましい。下限は２０質量％以上であることが好ましく、３０質量％以上であることが更に好ましい。
【0103】
＜＜重合性化合物＞＞
本発明の感光性樹脂組成物は、重合性化合物を含有する。重合性化合物としては、ラジカル、酸または熱により架橋可能な公知の化合物を用いることができる。本発明において、重合性化合物は、例えば、エチレン性不飽和結合含有基を有する化合物であることが好ましい。エチレン性不飽和結合含有基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられる。本発明で用いられる重合性化合物は、ラジカル重合性化合物であることが好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、重合性化合物を含有する。重合性化合物としては、ラジカル、酸または熱により架橋可能な公知の化合物を用いることができる。本発明において、重合性化合物は、例えば、エチレン性不飽和結合含有基を有する化合物であることが好ましい。エチレン性不飽和結合含有基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられる。本発明で用いられる重合性化合物は、ラジカル重合性化合物であることが好ましい。
【0104】
重合性化合物としては、モノマー、プレポリマー、オリゴマーなどの化学的形態のいずれであってもよいが、モノマーが好ましい。重合性化合物の分子量は、１００～３０００が好ましい。上限は、２０００以下が好ましく、１５００以下がより好ましく、１０００以下が更に好ましい。下限は、１５０以上が好ましく、２５０以上がより好ましい。
【0105】
モノマータイプの重合性化合物のエチレン性不飽和結合含有基（以下、Ｃ＝Ｃ価という）は、感光性樹脂組成物の経時安定性、および得られる硬化膜の耐光性などの観点から２～１４ｍｍｏｌ／ｇであることが好ましい。下限は、３ｍｍｏｌ／ｇ以上であることが好ましく、４ｍｍｏｌ／ｇ以上であることがより好ましく、５ｍｍｏｌ／ｇ以上であることが更に好ましい。上限は１２ｍｍｏｌ／ｇ以下であることが好ましく、１０ｍｍｏｌ／ｇ以下であることがより好ましく、８ｍｍｏｌ／ｇ以下であることが更に好ましい。エチレン性不飽和結合含有基のＣ＝Ｃ価は、エチレン性不飽和結合含有基の１分子中に含まれるエチレン性不飽和結合含有基の数を重合性化合物の分子量で割ることで算出した。
【0106】
重合性化合物は、エチレン性不飽和結合含有基を３個以上含む化合物であることが好ましく、エチレン性不飽和結合含有基を３～１５個含む化合物であることがより好ましく、エチレン性不飽和結合含有基を３～６個含む化合物であることが更に好ましい。また、重合性化合物は、３～１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、３～６官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましい。重合性化合物の具体例としては、特開２００９－２８８７０５号公報の段落番号００９５～０１０８、特開２０１３－０２９７６０号公報の段落０２２７、特開２００８－２９２９７０号公報の段落番号０２５４～０２５７、特開２０１３－２５３２２４号公報の段落番号００３４～００３８、特開２０１２－２０８４９４号公報の段落番号０４７７、特開２０１７－０４８３６７号公報、特許第６０５７８９１号公報、特許第６０３１８０７号公報、特開２０１７－１９４６６２号公報に記載されている化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【0107】
重合性化合物としては、ジペンタエリスリトールトリアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ－３３０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ－３２０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ－３１０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製、ＮＫエステルＡ－ＤＰＨ－１２Ｅ；新中村化学工業（株）製）、およびこれらの（メタ）アクリロイル基がエチレングリコールおよび／またはプロピレングリコール残基を介して結合している構造の化合物（例えば、サートマー社から市販されている、ＳＲ４５４、ＳＲ４９９）が好ましい。また、重合性化合物としては、ジグリセリンＥＯ（エチレンオキシド）変性（メタ）アクリレート（市販品としてはＭ－４６０；東亞合成製）、ペンタエリスリトールテトラアクリレート（新中村化学工業（株）製、ＮＫエステルＡ－ＴＭＭＴ）、１，６－ヘキサンジオールジアクリレート（日本化薬（株）製、ＫＡＹＡＲＡＤ ＨＤＤＡ）、ＲＰ－１０４０（日本化薬（株）製）、アロニックスＴＯ－２３４９（東亞合成（株）製）、ＮＫオリゴＵＡ－７２００（新中村化学工業（株）製）、８ＵＨ－１００６、８ＵＨ－１０１２（大成ファインケミカル（株）製）、ライトアクリレートＰＯＢ－Ａ０（共栄社化学（株）製）などを用いることもできる。
【0108】
また、重合性化合物として、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートなどの３官能の（メタ）アクリレート化合物を用いることも好ましい。３官能の（メタ）アクリレート化合物の市販品としては、アロニックスＭ－３０９、Ｍ－３１０、Ｍ－３２１、Ｍ－３５０、Ｍ－３６０、Ｍ－３１３、Ｍ－３１５、Ｍ－３０６、Ｍ－３０５、Ｍ－３０３、Ｍ－４５２、Ｍ－４５０（東亞合成（株）製）、ＮＫエステル Ａ９３００、Ａ－ＧＬＹ－９Ｅ、Ａ－ＧＬＹ－２０Ｅ、Ａ－ＴＭＭ－３、Ａ－ＴＭＭ－３Ｌ、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ、Ａ－ＴＭＰＴ、ＴＭＰＴ（新中村化学工業（株）製）、ＫＡＹＡＲＡＤ ＧＰＯ－３０３、ＴＭＰＴＡ、ＴＨＥ－３３０、ＴＰＡ－３３０、ＰＥＴ－３０（日本化薬（株）製）などが挙げられる。
【0109】
重合性化合物は、酸基を有する重合性化合物を用いることもできる。酸基を有する重合性化合物を用いることで、現像時に未露光部の重合性化合物が除去されやすく、現像残渣の発生を抑制できる。酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基等が挙げられ、カルボキシル基が好ましい。酸基を有する重合性化合物の市販品としては、アロニックスＭ－３０５、Ｍ－５１０、Ｍ－５２０、アロニックスＴＯ－２３４９（東亞合成（株）製）等が挙げられる。酸基を有する重合性化合物の好ましい酸価としては、０．１～４０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは５～３０ｍｇＫＯＨ／ｇである。重合性化合物の酸価が０．１ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であれば、現像液に対する溶解性が良好であり、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であれば、製造や取扱い上、有利である。
【0110】
重合性化合物は、カプロラクトン構造を有する重合性化合物を用いることもできる。カプロラクトン構造を有する重合性化合物は、例えば、日本化薬（株）からＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＣＡシリーズとして市販されており、ＤＰＣＡ－２０、ＤＰＣＡ－３０、ＤＰＣＡ－６０、ＤＰＣＡ－１２０等が挙げられる。
【0111】
重合性化合物は、アルキレンオキシ基を有する重合性化合物を用いることもできる。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物は、エチレンオキシ基および／またはプロピレンオキシ基を有する重合性化合物が好ましく、エチレンオキシ基を有する重合性化合物がより好ましく、エチレンオキシ基を４～２０個有する３～６官能（メタ）アクリレート化合物がさらに好ましい。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ基を４個有する４官能（メタ）アクリレートであるＳＲ－４９４、イソブチレンオキシ基を３個有する３官能（メタ）アクリレートであるＫＡＹＡＲＡＤ ＴＰＡ－３３０などが挙げられる。
【0112】
重合性化合物は、フルオレン骨格を有する重合性化合物を用いることもできる。フルオレン骨格を有する重合性化合物の市販品としては、オグソールＥＡ－０２００、ＥＡ－０３００（大阪ガスケミカル（株）製、フルオレン骨格を有する（メタ）アクリレートモノマー）などが挙げられる。
【0113】
重合性化合物としては、トルエンなどの環境規制物質を実質的に含まない化合物を用いることも好ましい。このような化合物の市販品としては、ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ ＬＴ、ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＥＡ－１２ ＬＴ（日本化薬（株）製）などが挙げられる。
【0114】
重合性化合物としては、特公昭４８－０４１７０８号公報、特開昭５１－０３７１９３号公報、特公平０２－０３２２９３号公報、特公平０２－０１６７６５号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭５８－０４９８６０号公報、特公昭５６－０１７６５４号公報、特公昭６２－０３９４１７号公報、特公昭６２－０３９４１８号公報に記載されたエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物も好適である。また、特開昭６３－２７７６５３号公報、特開昭６３－２６０９０９号公報、特開平０１－１０５２３８号公報に記載された分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する重合性化合物を用いることも好ましい。また、重合性化合物は、ＵＡ－７２００（新中村化学工業（株）製）、ＤＰＨＡ－４０Ｈ（日本化薬（株）製）、ＵＡ－３０６Ｈ、ＵＡ－３０６Ｔ、ＵＡ－３０６Ｉ、ＡＨ－６００、Ｔ－６００、ＡＩ－６００、ＬＩＮＣ－２０２ＵＡ（共栄社化学（株）製）などの市販品を用いることもできる。
【0115】
感光性樹脂組成物の全固形分中における重合性化合物の含有量は０．１～５０質量％であることが好ましい。下限は、０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上が更に好ましい。上限は、４５質量％以下がより好ましく、４０質量％以下が更に好ましい。重合性化合物は、１種単独であってもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上を併用する場合は、それらの合計が上記範囲となることが好ましい。
【0116】
＜＜光重合開始剤＞＞
本発明の感光性樹脂組成物は光重合開始剤を含有する。光重合開始剤としては、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。光重合開始剤は、光ラジカル重合開始剤であることが好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は光重合開始剤を含有する。光重合開始剤としては、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。光重合開始剤は、光ラジカル重合開始剤であることが好ましい。
【0117】
光重合開始剤としては、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物など）、アシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、α－ヒドロキシケトン化合物、α－アミノケトン化合物などが挙げられる。光重合開始剤は、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α－ヒドロキシケトン化合物、α－アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、ホスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリールイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物、シクロペンタジエン－ベンゼン－鉄錯体、ハロメチルオキサジアゾール化合物および３－アリール置換クマリン化合物であることが好ましく、オキシム化合物、α－ヒドロキシケトン化合物、α－アミノケトン化合物、および、アシルホスフィン化合物から選ばれる化合物であることがより好ましく、オキシム化合物であることが更に好ましい。光重合開始剤としては、特開２０１４－１３０１７３号公報の段落００６５～０１１１、特許第６３０１４８９号公報に記載された化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【0118】
α－ヒドロキシケトン化合物の市販品としては、Ｏｍｎｉｒａｄ １８４、Ｏｍｎｉｒａｄ １１７３、Ｏｍｎｉｒａｄ ２９５９、Ｏｍｎｉｒａｄ １２７（以上、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社製）、Ｉｒｇａｃｕｒｅ １８４、Ｉｒｇａｃｕｒｅ １１７３、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ２９５９、Ｉｒｇａｃｕｒｅ １２７（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。α－アミノケトン化合物の市販品としては、Ｏｍｎｉｒａｄ ９０７、Ｏｍｎｉｒａｄ ３６９、Ｏｍｎｉｒａｄ ３６９Ｅ、Ｏｍｎｉｒａｄ ３７９ＥＧ（以上、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社製）、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ９０７、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ３６９、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ３６９Ｅ、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ３７９ＥＧ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。アシルホスフィン化合物の市販品としては、Ｏｍｎｉｒａｄ ８１９、Ｏｍｎｉｒａｄ ＴＰＯ（以上、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社製）、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ８１９、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ＴＰＯ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。
【0119】
オキシム化合物としては、特開２００１－２３３８４２号公報に記載の化合物、特開２０００－０８００６８号公報に記載の化合物、特開２００６－３４２１６６号公報に記載の化合物、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１６５３－１６６０）に記載の化合物、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１５６－１６２）に記載の化合物、Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５年、ｐｐ．２０２－２３２）に記載の化合物、特開２０００－０６６３８５号公報に記載の化合物、特開２０００－０８００６８号公報に記載の化合物、特表２００４－５３４７９７号公報に記載の化合物、特開２００６－３４２１６６号公報に記載の化合物、特開２０１７－０１９７６６号公報に記載の化合物、特許第６０６５５９６号公報に記載の化合物、国際公開第２０１５／１５２１５３号に記載の化合物、国際公開第２０１７／０５１６８０号に記載の化合物、特開２０１７－１９８８６５号公報に記載の化合物、国際公開第２０１７／１６４１２７号の段落番号００２５～００３８に記載の化合物、国際公開第２０１３／１６７５１５号に記載の化合物などが挙げられる。オキシム化合物の具体例としては、３－ベンゾイルオキシイミノブタン－２－オン、３－アセトキシイミノブタン－２－オン、３－プロピオニルオキシイミノブタン－２－オン、２－アセトキシイミノペンタン－３－オン、２－アセトキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オン、２－ベンゾイルオキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オン、３－（４－トルエンスルホニルオキシ）イミノブタン－２－オン、及び２－エトキシカルボニルオキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オンなどが挙げられる。市販品としては、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ＯＸＥ０１、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ＯＸＥ０２、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ＯＸＥ０３、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ＯＸＥ０４（以上、ＢＡＳＦ社製）、ＴＲ－ＰＢＧ－３０４（常州強力電子新材料有限公司製）、アデカオプトマーＮ－１９１９（（株）ＡＤＥＫＡ製、特開２０１２－０１４０５２号公報に記載の光重合開始剤２）が挙げられる。また、オキシム化合物としては、着色性が無い化合物や、透明性が高く変色し難い化合物を用いることも好ましい。市販品としては、アデカアークルズＮＣＩ－７３０、ＮＣＩ－８３１、ＮＣＩ－９３０（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられる。
【0120】
光重合開始剤として、フルオレン環を有するオキシム化合物を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１４－１３７４６６号公報に記載の化合物が挙げられる。
【0121】
光重合開始剤として、カルバゾール環の少なくとも１つのベンゼン環がナフタレン環となった骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。そのようなオキシム化合物の具体例としては、国際公開第２０１３／０８３５０５号に記載の化合物が挙げられる。
【0122】
光重合開始剤として、フッ素原子を有するオキシム化合物を用いることもできる。フッ素原子を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１０－２６２０２８号公報に記載の化合物、特表２０１４－５００８５２号公報に記載の化合物２４、３６～４０、特開２０１３－１６４４７１号公報に記載の化合物（Ｃ－３）などが挙げられる。
【0123】
光重合開始剤として、ニトロ基を有するオキシム化合物を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム化合物は、二量体とすることも好ましい。ニトロ基を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１３－１１４２４９号公報の段落番号００３１～００４７、特開２０１４－１３７４６６号公報の段落番号０００８～００１２、００７０～００７９に記載されている化合物、特許４２２３０７１号公報の段落番号０００７～００２５に記載されている化合物、アデカアークルズＮＣＩ－８３１（（株）ＡＤＥＫＡ製）が挙げられる。
【0124】
光重合開始剤として、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開第２０１５／０３６９１０号に記載されるＯＥ－０１～ＯＥ－７５が挙げられる。
【0125】
本発明において好ましく使用されるオキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0126】
【化14】
【化15】
【0127】
オキシム化合物は、波長３５０～５００ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物が好ましく、波長３６０～４８０ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物がより好ましい。また、オキシム化合物の波長３６５ｎｍ又は波長４０５ｎｍにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、高いことが好ましく、１０００～３０００００であることがより好ましく、２０００～３０００００であることが更に好ましく、５０００～２０００００であることが特に好ましい。化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いて測定することができる。例えば、分光光度計（Ｖａｒｉａｎ社製Ｃａｒｙ－５ ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）にて、酢酸エチルを用い、０．０１ｇ／Ｌの濃度で測定することが好ましい。
【0128】
光重合開始剤としては、２官能あるいは３官能以上の光ラジカル重合開始剤を用いてもよい。そのような光ラジカル重合開始剤を用いることにより、光ラジカル重合開始剤の１分子から２つ以上のラジカルが発生するため、良好な感度が得られる。また、非対称構造の化合物を用いた場合においては、結晶性が低下して溶剤などへの溶解性が向上して、経時で析出しにくくなり、着色組成物の経時安定性を向上させることができる。２官能あるいは３官能以上の光ラジカル重合開始剤の具体例としては、特表２０１０－５２７３３９号公報、特表２０１１－５２４４３６号公報、国際公開第２０１５／００４５６５号、特表２０１６－５３２６７５号公報の段落番号０４０７～０４１２、国際公開第２０１７／０３３６８０号の段落番号００３９～００５５に記載されているオキシム化合物の２量体、特表２０１３－５２２４４５号公報に記載されている化合物（Ｅ）および化合物（Ｇ）、国際公開第２０１６／０３４９６３号に記載されているＣｍｐｄ１～７、特表２０１７－５２３４６５号公報の段落番号０００７に記載されているオキシムエステル類光開始剤、特開２０１７－１６７３９９号公報の段落番号００２０～００３３に記載されている光開始剤、特開２０１７－１５１３４２号公報の段落番号００１７～００２６に記載されている光重合開始剤（Ａ）、特許第６４６９６６９号に記載されているオキシム化合物などが挙げられる。
【0129】
感光性樹脂組成物の全固形分中の光重合開始剤の含有量は０．１～３０質量％が好ましい。下限は、０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましい。上限は、２０質量％以下が好ましく、１５質量％以下がより好ましい。光重合開始剤は、１種単独であってもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上を併用する場合は、それらの合計が上記範囲となることが好ましい。
【0130】
＜＜紫外線吸収剤＞＞
本発明の感光性樹脂組成物は、紫外線吸収剤を含有する。紫外線吸収剤は、波長３００～３８０ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物であることが好ましく、波長３２０～３８０ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物であることがより好ましい。また、紫外線吸収剤の波長３６５ｎｍにおけるモル吸光係数は、５０００Ｌ・ｍｏｌ－１・ｃｍ－１以上であることが好ましく、１００００Ｌ・ｍｏｌ－１・ｃｍ－１以上であることがより好ましく、３００００Ｌ・ｍｏｌ－１・ｃｍ－１以上であることが更に好ましい。上限は、例えば、１０００００Ｌ・ｍｏｌ－１・ｃｍ－１以下が好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、紫外線吸収剤を含有する。紫外線吸収剤は、波長３００～３８０ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物であることが好ましく、波長３２０～３８０ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物であることがより好ましい。また、紫外線吸収剤の波長３６５ｎｍにおけるモル吸光係数は、５０００Ｌ・ｍｏｌ－１・ｃｍ－１以上であることが好ましく、１００００Ｌ・ｍｏｌ－１・ｃｍ－１以上であることがより好ましく、３００００Ｌ・ｍｏｌ－１・ｃｍ－１以上であることが更に好ましい。上限は、例えば、１０００００Ｌ・ｍｏｌ－１・ｃｍ－１以下が好ましい。
【0131】
紫外線吸収剤としては、共役ジエン化合物、メチルジベンゾイル化合物、トリアジン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、サリシレート化合物、クマリン化合物、アクリロニトリル化合物、ベンゾジチアゾール化合物、ケイ皮酸化合物、α－β不飽和ケトン、カルボスチリル化合物などが挙げられ、より優れた耐光性が得られやすいという理由から共役ジエン化合物、ベンゾトリアゾール化合物及びトリアジン化合物が好ましい。
【0132】
共役ジエン化合物は、下記式（ＵＶ－１）で表される化合物であることが好ましい。
【化16】
【0133】
式（ＵＶ－１）において、Ｒ１及びＲ２は、各々独立に、水素原子、炭素数１～２０のアルキル基、又は炭素数６～２０のアリール基を表し、Ｒ１とＲ２とは互いに同一でも異なっていてもよい。ただし、Ｒ１及びＲ２の少なくとも一方は、炭素数１～２０のアルキル基、又は炭素数６～２０のアリール基である。Ｒ１及びＲ２は、Ｒ１及びＲ２が結合する窒素原子とともに、環状アミノ基を形成していてもよい。環状アミノ基としては、例えば、ピペリジノ基、モルホリノ基、ピロリジノ基、ヘキサヒドロアゼピノ基、ピペラジノ基等が挙げられる。Ｒ１及びＲ２は、各々独立に、炭素数１～２０のアルキル基が好ましく、炭素数１～１０のアルキル基がより好ましく、炭素数１～５のアルキル基が更に好ましい。
【0134】
式（ＵＶ－１）において、Ｒ３及びＲ４は、各々独立に、電子求引性基を表す。Ｒ３及びＲ４は、各々独立に、アシル基、カルバモイル基、アルキルオキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、シアノ基、ニトロ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルホニルオキシ基又はスルファモイル基であることが好ましく、アシル基、カルバモイル基、アルキルオキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、シアノ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルホニルオキシ基又はスルファモイル基であることがより好ましい。また、Ｒ３及びＲ４は、互いに結合して環状の電子求引性基を形成してもよい。Ｒ３およびＲ４が互いに結合して形成する環状の電子求引性基としては、例えば、２個のカルボニル基を含む６員環が挙げられる。
【0135】
式（ＵＶ－１）のＲ１、Ｒ２、Ｒ３、及びＲ４の少なくとも１つは、連結基を介して、ビニル基と結合したモノマーより導かれるポリマーの形になっていてもよい。他のモノマーとの共重合体であっても良い。
【0136】
式（ＵＶ－１）で示される紫外線吸収剤の置換基の説明は、特開２００９－２６５６４２号公報の段落番号００２４～００３３の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。式（ＵＶ－１）で示される紫外線吸収剤の具体例としては、下記構造の化合物、特開２００９－２６５６４２号公報の段落番号００３４～００３６に記載の化合物などが挙げられる。また、式（ＵＶ－１）で示される紫外線吸収剤の市販品としては、ＵＶ－５０３（大東化学（株）製）などが挙げられる。
【化17】
【0137】
メチルジベンゾイル化合物は、下記式（ＵＶ－２）で表される化合物であることが好ましい。
【化18】
【0138】
式（ＵＶ－２）において、Ｒ１０１及びＲ１０２は、各々独立に、置換基を表し、ｍ１およびｍ２は、それぞれ独立して０～４を表す。
【0139】
Ｒ１０１及びＲ１０２が表す置換基としては、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基、ヘテロアリーロキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロアリールチオ基、－ＮＲＵ１ＲＵ２、－ＣＯＲＵ３、－ＣＯＯＲＵ４、－ＯＣＯＲＵ５、－ＮＨＣＯＲＵ６、－ＣＯＮＲＵ７ＲＵ８、－ＮＨＣＯＮＲＵ９ＲＵ１０、－ＮＨＣＯＯＲＵ１１、－ＳＯ２ＲＵ１２、－ＳＯ２ＯＲＵ１３、－ＮＨＳＯ２ＲＵ１４及び－ＳＯ２ＮＲＵ１５ＲＵ１６が挙げられる。ＲＵ１～ＲＵ１６は、各々独立に、水素原子、炭素数１～８のアルキル基又はアリール基を表す。
【0140】
Ｒ１０１及びＲ１０２が表す置換基は、各々独立にアルキル基又はアルコキシ基であることが好ましい。アルキル基の炭素数は、１～２０が好ましく、１～１０がより好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状が挙げられ、直鎖または分岐が好ましく、分岐がより好ましい。アルコキシ基の炭素数は、１～２０が好ましく、１～１０がより好ましい。アルコキシ基は、直鎖または分岐が好ましく、分岐がより好ましい。
【0141】
式（ＵＶ－２）において、Ｒ１０１及びＲ１０２の一方がアルキル基で、他方がアルコキシ基である組み合わせが好ましい。
【0142】
ｍ１およびｍ２は、それぞれ独立して０～４を表す。ｍ１およびｍ２は、それぞれ独立して０～２が好ましく、０～１がより好ましく、１が特に好ましい。
【0143】
式（ＵＶ－２）で表される化合物の具体例としては、アボベンゾンなどが挙げられる。
【0144】
トリアジン化合物は、下記式（ＵＶ－３－１）、（ＵＶ－３－２）又は（ＵＶ－３－３）で表される化合物であることが好ましい。
【化19】
【0145】
式中、Ｒｄ１は、独立に水素原子、炭素数１～１５のアルキル基、炭素数３～８のアルケニル基又は炭素数６～１８のアリール基、炭素数７～１８のアルキルアリール基または炭素数７～１８のアリールアルキル基を表す。アルキル基、アルケニル基、アリール基、アルキルアリール基およびアリールアルキル基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、上述した置換基Ｔｉで説明した基が挙げられる。
式中、Ｒｄ２～Ｒｄ９は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１５のアルキル基、炭素数３～８のアルケニル基又は炭素数６～１８のアリール基、炭素数７～１８のアルキルアリール基または炭素数７～１８のアリールアルキル基を表す。アルキル基、アルケニル基、アリール基、アルキルアリール基およびアリールアルキル基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、上述した置換基Ｔｉで説明した基が挙げられる。
式中、Ｒｄ２～Ｒｄ９は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１５のアルキル基、炭素数３～８のアルケニル基又は炭素数６～１８のアリール基、炭素数７～１８のアルキルアリール基または炭素数７～１８のアリールアルキル基を表す。アルキル基、アルケニル基、アリール基、アルキルアリール基およびアリールアルキル基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、上述した置換基Ｔｉで説明した基が挙げられる。
【0146】
トリアジン化合物の具体例としては、２－［４－［（２－ヒドロキシ－３－ドデシルオキシプロピル）オキシ］－２－ヒドロキシフェニル］－４，６－ビス（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジン、２－［４－［（２－ヒドロキシ－３－トリデシルオキシプロピル）オキシ］－２－ヒドロキシフェニル］－４，６－ビス（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジン、２－（２，４－ジヒドロキシフェニル）－４，６－ビス（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジンなどのモノ（ヒドロキシフェニル）トリアジン化合物；２，４－ビス（２－ヒドロキシ－４－プロピルオキシフェニル）－６－（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジン、２，４－ビス（２－ヒドロキシ－３－メチル－４－プロピルオキシフェニル）－６－（４－メチルフェニル）－１，３，５－トリアジン、２，４－ビス（２－ヒドロキシ－３－メチル－４－ヘキシルオキシフェニル）－６－（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジンなどのビス（ヒドロキシフェニル）トリアジン化合物；２，４－ビス（２－ヒドロキシ－４－ブトキシフェニル）－６－（２，４－ジブトキシフェニル）－１，３，５－トリアジン、２，４，６－トリス（２－ヒドロキシ－４－オクチルオキシフェニル）－１，３，５－トリアジン、２，４，６－トリス［２－ヒドロキシ－４－（３－ブトキシ－２－ヒドロキシプロピルオキシ）フェニル］－１，３，５－トリアジンなどのトリス（ヒドロキシフェニル）トリアジン化合物等が挙げられる。トリアジン化合物の市販品としては、ＴＩＮＵＶＩＮ ４００、ＴＩＮＵＶＩＮ ４０５、ＴＩＮＵＶＩＮ ４６０、ＴＩＮＵＶＩＮ ４７７、ＴＩＮＵＶＩＮ ４７９（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。
【0147】
ベンゾトリアゾール化合物は、下記式（ＵＶ－４）で表される化合物であることが好ましい。
式中、Ｒｅ１～Ｒｅ３は、独立に水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～９のアルキル基、炭素数１～９のアルコキシ基、炭素数７～１８のアルキルアリール基または炭素数７～１８のアリールアルキル基を表す。アルキル基、アルキルアリール基およびアリールアルキル基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、上述した置換基Ｔｉで説明した基が挙げられ、炭素数１～９のアルコキシカルボニル基が好ましい。
【化20】
【0148】
ベンゾトリアゾール化合物の具体例としては、２－（２’－ヒドロキシ－３’，５’－ジ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル）－５－クロロベンゾトリアゾール、２－（２’－ヒドロキシ－３’－ｔｅｒｔ－ブチル－５’－メチルフェニル）－５－クロロベンゾトリアゾール、２－（２’－ヒドロキシ－３’－ｔｅｒｔ－アミル－５’－イソブチルフェニル）－５－クロロベンゾトリアゾール、２－（２’－ヒドロキシ－３’－イソブチル－５’－メチルフェニル）－５－クロロベンゾトリアゾール、２－（２’－ヒドロキシ－３’－イソブチル－５’－プロピルフェニル）－５－クロロベンゾトリアゾール、２－（２’－ヒドロキシ－３’，５’－ジ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２－（２’－ヒドロキシ－５’－メチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２－［２’－ヒドロキシ－５’－（１，１，３，３－テトラメチル）フェニル］ベンゾトリアゾール、２－（２－ヒドロキシ－５－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル）－２Ｈ－ベンゾトリアゾール、３－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－５－（１，１－ジメチルエチル）－４－ヒドロキシ、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４，６－ビス（１－メチル－１－フェニルエチル）フェノール、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－６－（１－メチル－１－フェニルエチル）－４－（１，１，３，３－テトラメチルブチル）フェノールなどが挙げられる。市販品としては、ＴＩＮＵＶＩＮ ＰＳ、ＴＩＮＵＶＩＮ ９９－２、ＴＩＮＵＶＩＮ １０９、ＴＩＮＵＶＩＮ ３２６、ＴＩＮＵＶＩＮ ３２８、ＴＩＮＵＶＩＮ ３８４－２、ＴＩＮＵＶＩＮ ９００、ＴＩＮＵＶＩＮ ９２８、ＴＩＮＵＶＩＮ １７１、ＴＩＮＵＶＩＮ １１３０（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。ベンゾトリアゾール化合物としてはミヨシ油脂製のＭＹＵＡシリーズを用いてもよい。
【0149】
ベンゾフェノン化合物としては、２，２’－ジヒドロキシ－４－メトキシベンゾフェノン、２，２’－ジヒドロキシ－４，４’－ジメトキシベンゾフェノン、２，２’，４，４’－テトラヒドロキシベンゾフェノン、２－ヒドロキシ－４－メトキシベンゾフェノン、２，４－ジヒドロキシベンゾフェノン、２－ヒドロキシ－４－オクトキシベンゾフェノンなどが挙げられる。ベンゾフェノン化合物の市販品としては、ユビナールＡ、ユビナール３０４９、ユビナール３０５０（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。
【0150】
サリシレート化合物としては、フェニルサリシレート、ｐ－オクチルフェニルサリシレート、ｐ－ｔ－ブチルフェニルサリシレートなどが挙げられる。
【0151】
クマリン化合物としては、例えば、クマリン－４、４－ヒドロキシクマリン、７－ヒドロキシクマリンなどが挙げられる。
【0152】
アクリロニトリル化合物としては、２－シアノ－３，３－ジフェニルアクリル酸エチル、２－シアノ－３，３－ジフェニルアクリル酸２－エチルヘキシルなどが挙げられる。
【0153】
感光性樹脂組成物の全固形分中における紫外線吸収剤の含有量は、０．１～１０質量％である。上限は、９．５質量％以下であることが好ましく、９質量％以下であることがより好ましい。下限は０．５質量％以上であることが好ましく、１質量％以上であることがより好ましい。紫外線吸収剤の含有量が０．１質量％以上であれば、得られる硬化膜の耐光性を向上させることができる。また、紫外線吸収剤の含有量が１０質量％以下であれば、他の色相の画素との混色の発生が抑制された硬化膜を形成することができる。更には、感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィ法にて画素を形成する際において、感光性樹脂組成物の解像性を向上させることもでき、矩形性の良い画素を形成することもできる。
【0154】
本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤１００質量部に対して、紫外線吸収剤を１～２００質量部含むことが好ましい。この態様によれば、解像性と耐光性をより高い水準で両立することができる。上記紫外線吸収剤の含有量の上限は、１９０質量部以下であることが好ましく、１７０質量部以下であることがより好ましい。下限は５質量部以上であることが好ましく、１０質量部以上であることがより好ましい。
【0155】
本発明の感光性樹脂組成物は、重合性化合物１００質量部に対して、紫外線吸収剤を０．１～１００質量部含むことが好ましい。この態様によれば、解像性と耐光性をより高い水準で両立することができる。である。上記紫外線吸収剤の含有量の上限は、８０質量部以下であることが好ましく、５０質量部以下であることがより好ましい。下限は１質量部以上であることが好ましく、５質量部以上であることがより好ましい。
【0156】
本発明の感光性樹脂組成物に含まれる紫外線吸収剤は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。本発明の感光性樹脂組成物が紫外線吸収剤を２種以上含む場合は、それらの合計が上記範囲である。
【0157】
＜＜溶剤＞＞
本発明の感光性樹脂組成物は、溶剤を含有する。溶剤としては、各成分の溶解性や感光性樹脂組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はない。溶剤としては有機溶剤が挙げられる。有機溶剤としては、エステル系溶剤、ケトン系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、エーテル系溶剤、炭化水素系溶剤などが挙げられる。これらの詳細については、国際公開第２０１５／１６６７７９号の段落番号０２２３を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、環状アルキル基が置換したエステル系溶剤、環状アルキル基が置換したケトン系溶剤も好ましく用いることもできる。有機溶剤の具体例としては、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ジクロロメタン、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、２－ヘプタノン、シクロヘキサノン、酢酸シクロヘキシル、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３－メトキシ－Ｎ，Ｎ－ジメチルプロパンアミド、３－ブトキシ－Ｎ，Ｎ－ジメチルプロパンアミドなどが挙げられる。ただし有機溶剤としての芳香族炭化水素類（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある（例えば、有機溶剤全量に対して、５０質量ｐｐｍ（ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｍｉｌｌｉｏｎ）以下とすることもでき、１０質量ｐｐｍ以下とすることもでき、１質量ｐｐｍ以下とすることもできる）。
本発明の感光性樹脂組成物は、溶剤を含有する。溶剤としては、各成分の溶解性や感光性樹脂組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はない。溶剤としては有機溶剤が挙げられる。有機溶剤としては、エステル系溶剤、ケトン系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、エーテル系溶剤、炭化水素系溶剤などが挙げられる。これらの詳細については、国際公開第２０１５／１６６７７９号の段落番号０２２３を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、環状アルキル基が置換したエステル系溶剤、環状アルキル基が置換したケトン系溶剤も好ましく用いることもできる。有機溶剤の具体例としては、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ジクロロメタン、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、２－ヘプタノン、シクロヘキサノン、酢酸シクロヘキシル、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３－メトキシ－Ｎ，Ｎ－ジメチルプロパンアミド、３－ブトキシ－Ｎ，Ｎ－ジメチルプロパンアミドなどが挙げられる。ただし有機溶剤としての芳香族炭化水素類（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある（例えば、有機溶剤全量に対して、５０質量ｐｐｍ（ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｍｉｌｌｉｏｎ）以下とすることもでき、１０質量ｐｐｍ以下とすることもでき、１質量ｐｐｍ以下とすることもできる）。
【0158】
本発明においては、金属含有量の少ない有機溶剤を用いることが好ましく、有機溶剤の金属含有量は、例えば１０質量ｐｐｂ（ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｂｉｌｌｉｏｎ）以下であることが好ましい。必要に応じて質量ｐｐｔ（ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｔｒｉｌｌｉｏｎ）レベルの有機溶剤を用いてもよく、そのような有機溶剤は例えば東洋合成社が提供している（化学工業日報、２０１５年１１月１３日）。
【0159】
有機溶剤から金属等の不純物を除去する方法としては、例えば、蒸留（分子蒸留や薄膜蒸留等）やフィルタを用いたろ過を挙げることができる。ろ過に用いるフィルタのフィルタ孔径としては、１０μｍ以下が好ましく、５μｍ以下がより好ましく、３μｍ以下が更に好ましい。フィルタの材質は、ポリテトラフロロエチレン、ポリエチレンまたはナイロンが好ましい。
【0160】
有機溶剤は、異性体（原子数が同じであるが構造が異なる化合物）が含まれていてもよい。また、異性体は、１種のみが含まれていてもよいし、複数種含まれていてもよい。
【0161】
有機溶剤中の過酸化物の含有率が０．８ｍｍｏｌ／Ｌ以下であることが好ましく、過酸化物を実質的に含まないことがより好ましい。
【0162】
感光性樹脂組成物中における溶剤の含有量は、１０～９５質量％であることが好ましく、２０～９０質量％であることがより好ましく、３０～９０質量％であることが更に好ましい。
【0163】
また、本発明の感光性樹脂組成物は、環境規制の観点から環境規制物質を実質的に含有しないことが好ましい。なお、本発明において、環境規制物質を実質的に含有しないとは、感光性樹脂組成物中における環境規制物質の含有量が５０質量ｐｐｍ以下であることを意味し、３０質量ｐｐｍ以下であることが好ましく、１０質量ｐｐｍ以下であることが更に好ましく、１質量ｐｐｍ以下であることが特に好ましい。環境規制物質は、例えばベンゼン；トルエン、キシレン等のアルキルベンゼン類；クロロベンゼン等のハロゲン化ベンゼン類等が挙げられる。これらは、ＲＥＡＣＨ（Ｒｅｇｉｓｔｒａｔｉｏｎ Ｅｖａｌｕａｔｉｏｎ Ａｕｔｈｏｒｉｚａｔｉｏｎ ａｎｄ Ｒｅｓｔｒｉｃｔｉｏｎ ｏｆ ＣＨｅｍｉｃａｌｓ）規則、ＰＲＴＲ（Ｐｏｌｌｕｔａｎｔ Ｒｅｌｅａｓｅ ａｎｄ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｒｅｇｉｓｔｅｒ）法、ＶＯＣ（Ｖｏｌａｔｉｌｅ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ）規制等のもとに環境規制物質として登録されており、使用量や取り扱い方法が厳しく規制されている。これらの化合物は、感光性樹脂組成物に用いられる各成分などを製造する際に溶剤として用いられることがあり、残留溶剤として感光性樹脂組成物中に混入することがある。人への安全性、環境への配慮の観点よりこれらの物質は可能な限り低減することが好ましい。環境規制物質を低減する方法としては、系中を加熱や減圧して環境規制物質の沸点以上にして系中から環境規制物質を留去して低減する方法が挙げられる。また、少量の環境規制物質を留去する場合においては、効率を上げる為に該当溶剤と同等の沸点を有する溶剤と共沸させることも有用である。また、ラジカル重合性を有する化合物を含有する場合、減圧留去中にラジカル重合反応が進行して分子間で架橋してしまうことを抑制するために重合禁止剤等を添加して減圧留去してもよい。これらの留去方法は、原料の段階、原料を反応させた生成物（例えば重合した後の樹脂溶液や多官能モノマー溶液）の段階、またはこれらの化合物を混ぜて作製した感光性樹脂組成物の段階などのいずれの段階でも可能である。
【0164】
＜＜顔料誘導体＞＞
本発明の感光性樹脂組成物は顔料誘導体を含有することができる。顔料誘導体は顔料の分散助剤として用いられる。顔料誘導体としては、発色団の一部分を、酸基または塩基性基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物は顔料誘導体を含有することができる。顔料誘導体は顔料の分散助剤として用いられる。顔料誘導体としては、発色団の一部分を、酸基または塩基性基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。
【0165】
顔料誘導体を構成する発色団としては、キノリン骨格、ベンゾイミダゾロン骨格、ジケトピロロピロール骨格、アゾ骨格、フタロシアニン骨格、アンスラキノン骨格、キナクリドン骨格、ジオキサジン骨格、ペリノン骨格、ペリレン骨格、チオインジゴ骨格、イソインドリン骨格、イソインドリノン骨格、キノフタロン骨格、スレン骨格、金属錯体系骨格等が挙げられ、キノリン骨格、ベンゾイミダゾロン骨格、ジケトピロロピロール骨格、アゾ骨格、キノフタロン骨格、イソインドリン骨格およびフタロシアニン骨格が好ましく、アゾ骨格およびベンゾイミダゾロン骨格がより好ましい。
【0166】
顔料誘導体が有する酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基およびそれらの塩が挙げられる。塩を構成する原子または原子団としては、アルカリ金属イオン（Ｌｉ＋、Ｎａ＋、Ｋ＋など）、アルカリ土類金属イオン（Ｃａ２＋、Ｍｇ２＋など）、アンモニウムイオン、イミダゾリウムイオン、ピリジニウムイオン、ホスホニウムイオンなどが挙げられる。
【0167】
顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基、ピリジル基およびそれらの塩、アンモニウム基の塩、並びにフタルイミドメチル基が挙げられる。アミノ基としては、－ＮＨ２、ジアルキルアミノ基、アルキルアリールアミノ基、ジアリールアミノ基、環状アミノ基などが挙げられる。塩を構成する原子または原子団としては、水酸化物イオン、ハロゲンイオン、カルボン酸イオン、スルホン酸イオン、フェノキシドイオンなどが挙げられる。
【0168】
顔料誘導体としては、可視透明性に優れた顔料誘導体（以下、透明顔料誘導体ともいう）を用いることもできる。透明顔料誘導体の波長４００～７００ｎｍの範囲におけるモル吸光係数の最大値（εｍａｘ）は３０００Ｌ・ｍｏｌ－１・ｃｍ－１以下であることが好ましく、１０００Ｌ・ｍｏｌ－１・ｃｍ－１以下であることがより好ましく、１００Ｌ・ｍｏｌ－１・ｃｍ－１以下であることがさらに好ましい。εｍａｘの下限は、例えば１Ｌ・ｍｏｌ－１・ｃｍ－１以上であり、１０Ｌ・ｍｏｌ－１・ｃｍ－１以上でもよい。
【0169】
顔料誘導体の具体例としては、特開昭５６－１１８４６２号公報、特開昭６３－２６４６７４号公報、特開平０１－２１７０７７号公報、特開平０３－００９９６１号公報、特開平０３－０２６７６７号公報、特開平０３－１５３７８０号公報、特開平０３－０４５６６２号公報、特開平０４－２８５６６９号公報、特開平０６－１４５５４６号公報、特開平０６－２１２０８８号公報、特開平０６－２４０１５８号公報、特開平１０－０３００６３号公報、特開平１０－１９５３２６号公報、国際公開第２０１１／０２４８９６号の段落番号００８６～００９８、国際公開第２０１２／１０２３９９号の段落番号００６３～００９４、国際公開第２０１７／０３８２５２号の段落番号００８２、特開２０１５－１５１５３０号公報の段落番号０１７１、特開２０１１－２５２０６５号公報の段落番号０１６２～０１８３、特開２００３－０８１９７２号公報、特許第５２９９１５１号公報、特開２０１５－１７２７３２号公報、特開２０１４－１９９３０８号公報、特開２０１４－０８５５６２号公報、特開２０１４－０３５３５１号公報、特開２００８－０８１５６５号公報に記載の化合物が挙げられる。
【0170】
顔料誘導体の含有量は顔料１００質量部に対して１～３０質量部であることが好ましい。下限は２質量部以上であることが好ましく、３質量部以上であることがより好ましい。上限は、２５質量部以下であることが好ましく、２０質量部以下であることがより好ましく、１５質量部以下であることが更に好ましい。顔料誘導体は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上併用する場合はそれらの合計量が上記範囲であることが好ましい。
【0171】
＜＜エポキシ基を有する化合物＞＞
本発明の感光性樹脂組成物は、エポキシ基を有する化合物を含有することができる（以下、更にエポキシ化合物ともいう）。エポキシ化合物としては、１分子内にエポキシ基を１個以上有する化合物が挙げられ、エポキシ基を２個以上有する化合物が好ましい。エポキシ化合物は、エポキシ基を１分子内に１～１００個有することが好ましい。エポキシ基の数の上限は、例えば、１０個以下とすることもでき、５個以下とすることもできる。エポキシ基の数の下限は、２個以上が好ましい。エポキシ化合物としては、特開２０１３－０１１８６９号公報の段落番号００３４～００３６、特開２０１４－０４３５５６号公報の段落番号０１４７～０１５６、特開２０１４－０８９４０８号公報の段落番号００８５～００９２に記載された化合物、特開２０１７－１７９１７２号公報に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。
本発明の感光性樹脂組成物は、エポキシ基を有する化合物を含有することができる（以下、更にエポキシ化合物ともいう）。エポキシ化合物としては、１分子内にエポキシ基を１個以上有する化合物が挙げられ、エポキシ基を２個以上有する化合物が好ましい。エポキシ化合物は、エポキシ基を１分子内に１～１００個有することが好ましい。エポキシ基の数の上限は、例えば、１０個以下とすることもでき、５個以下とすることもできる。エポキシ基の数の下限は、２個以上が好ましい。エポキシ化合物としては、特開２０１３－０１１８６９号公報の段落番号００３４～００３６、特開２０１４－０４３５５６号公報の段落番号０１４７～０１５６、特開２０１４－０８９４０８号公報の段落番号００８５～００９２に記載された化合物、特開２０１７－１７９１７２号公報に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。
【0172】
エポキシ化合物は、低分子化合物（例えば、分子量２０００未満、さらには、分子量１０００未満）でもよいし、高分子化合物（ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅ）（例えば、分子量１０００以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が１０００以上）でもよい。エポキシ化合物の重量平均分子量は、２００～１０００００が好ましく、５００～５００００がより好ましい。重量平均分子量の上限は、１００００以下が好ましく、５０００以下がより好ましく、３０００以下が更に好ましい。
【0173】
エポキシ化合物の市販品としては、例えば、ＥＨＰＥ３１５０（（株）ダイセル製）、ＥＰＩＣＬＯＮ Ｎ－６９５（ＤＩＣ（株）製）等が挙げられる。
【0174】
感光性樹脂組成物の全固形分中におけるエポキシ化合物の含有量は、０．１～２０質量％が好ましい。下限は、例えば、０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましい。上限は、例えば、１５質量％以下が好ましく、１０質量％以下が更に好ましい。感光性樹脂組成物に含まれるエポキシ化合物は１種のみでもよく、２種以上でもよい。２種以上の場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
【0175】
＜＜フリル基含有化合物＞＞
本発明の感光性樹脂組成物は、フリル基を含む化合物（以下、フリル基含有化合物ともいう）を含有することが好ましい。この態様によれば、低温での硬化性に優れた感光性樹脂組成物とすることができる。
本発明の感光性樹脂組成物は、フリル基を含む化合物（以下、フリル基含有化合物ともいう）を含有することが好ましい。この態様によれば、低温での硬化性に優れた感光性樹脂組成物とすることができる。
【0176】
フリル基含有化合物は、フリル基（フランから１つの水素原子を除いた基）を含んでいれば特にその構造が限定されるものではない。フリル基含有化合物については、特開２０１７－１９４６６２号公報の段落番号００４９～００８９に記載された化合物を用いることができる。また、特開２０００－２３３５８１号公報、特開１９９４－２７１５５８号公報、特開１９９４－２９３８３０号公報、特開１９９６－２３９４２１号公報、特開１９９８－５０８６５５号公報、特開２０００－００１５２９号公報、特開２００３－１８３３４８号公報、特開２００６－１９３６２８号公報、特開２００７－１８６６８４号公報、特開２０１０－２６５３７７号公報、特開２０１１－１７００６９号公報などに記載されている化合物を用いることもできる。
【0177】
フリル基含有化合物は、モノマーであってもよく、ポリマーであってもよい。得られる硬化膜の耐久性などを向上させやすいという理由からポリマーであることが好ましい。ポリマーの場合、重量平均分子量は、２０００～７００００が好ましい。上限は、６００００以下が好ましく、５００００以下がより好ましい。下限は、３０００以上が好ましく、４０００以上がより好ましく、５０００以上が更に好ましい。なお、ポリマータイプのフリル基含有化合物は、本発明の感光性樹脂組成物における樹脂にも該当する成分である。
【0178】
モノマータイプのフリル基含有化合物（以下、フリル基含有モノマーともいう）としては、下記式（ｆｕｒ－１）で表される化合物が挙げられる。
式中、Ｒｆ１は水素原子またはメチル基を表し、Ｒｆ２は２価の連結基を表す。
【化21】
【0179】
Ｒｆ２が表す２価の連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＮＨ－、－Ｓ－およびこれらの２種以上を組み合わせた基が挙げられる。アルキレン基の炭素数は、１～３０が好ましく、１～２０がより好ましく、１～１５が更に好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。アリーレン基の炭素数は、６～３０が好ましく、６～２０がより好ましく、６～１０が更に好ましい。アルキレン基およびアリーレン基は置換基を有していてもよい。置換基としては、ヒドロキシ基などが挙げられる。
【0180】
フリル基含有モノマーは、下記式（ｆｕｒ－１－１）で表される化合物であることが好ましい。
式中、Ｒｆ１は水素原子またはメチル基を表し、Ｒｆ１１は－Ｏ－または－ＮＨ－を表し、Ｒｆ１２は単結合または２価の連結基を表す。Ｒｆ１２が表す２価の連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＮＨ－、－Ｓ－およびこれらの２種以上を組み合わせた基が挙げられる。アルキレン基の炭素数は、１～３０が好ましく、１～２０がより好ましく、１～１５が更に好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。アリーレン基の炭素数は、６～３０が好ましく、６～２０がより好ましく、６～１０が更に好ましい。アルキレン基およびアリーレン基は置換基を有していてもよい。置換基としては、ヒドロキシ基などが挙げられる。
【化22】
【0181】
フリル基含有モノマーの具体例としては、下記構造の化合物が挙げられる。以下の構造式中、Ｒｆ１は水素原子またはメチル基を表す。
【化23】
【0182】
ポリマータイプのフリル基含有化合物（以下、フリル基含有ポリマーともいう）としては、フリル基を含む繰り返し単位を含む樹脂であることが好ましく、上記式（ｆｕｒ－１）で表される化合物由来の繰り返し単位を含む樹脂であることがより好ましい。フリル基含有ポリマー中のフリル基の濃度は、フリル基含有ポリマー１ｇあたり０．５～６．０ｍｍｏｌが好ましく、１．０～４．０ｍｍｏｌがさらに好ましい。フリル基の濃度が０．５ｍｍｏｌ以上、好ましくは１．０ｍｍｏｌ以上であると耐溶剤性などに優れた画素を形成しやすい。フリル基の濃度が６．０ｍｍｏｌ以下、好ましくは４．０ｍｍｏｌ以下であれば、感光性樹脂組成物の経時安定性が良好である。
【0183】
フリル基含有ポリマーは、フリル基を有する繰り返し単位の他に、酸基を有する繰り返し単位および／または重合性基を有する繰り返し単位を含んでいてもよい。酸基としては、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性ヒドロキシ基などが挙げられる。重合性基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基等のエチレン性不飽和結合含有基が挙げられる。フリル基含有ポリマーが酸基を有する繰り返し単位を含む場合、その酸価は１０～２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、４０～１３０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましい。
【0184】
フリル基含有ポリマーが重合性基を有する繰り返し単位を含む場合は、より耐溶剤性などに優れた画素を形成しやすい。
【0185】
フリル基含有ポリマーは、特開２０１７－１９４６６２号公報の段落番号００５２～０１０１に記載された方法で製造することができる。
【0186】
感光性樹脂組成物の全固形分中におけるフリル基含有化合物の含有量は、０．１～７０質量％であることが好ましい。下限は、２．５質量％以上であることが好ましく、５．０質量％以上であることがより好ましく、７．５質量％以上であることが更に好ましい。上限は、６５質量％以下であることが好ましく、６０質量％以下であることがより好ましく、５０質量％以下であることが更に好ましい。また、フリル基含有化合物としてフリル基含有ポリマーを用いた場合、感光性樹脂組成物に含まれる樹脂中におけるフリル基含有ポリマーの含有量は、０．１～１００質量％であることが好ましい。下限は、１０質量部以上であることが好ましく、１５質量部以上であることがより好ましい。上限は、９０質量部以下であることが好ましく、８０質量部以下であることがより好ましく、７０質量部以下であることが更に好ましい。フリル基含有化合物は、１種のみでもよく、２種以上でもよい。２種以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【0187】
＜＜シランカップリング剤＞＞
本発明の感光性樹脂組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくともいずれかによってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられ、アルコキシ基が好ましい。すなわち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基を有する化合物が好ましい。また、加水分解性基以外の官能基としては、例えば、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、エポキシ基、オキセタニル基、アミノ基、ウレイド基、スルフィド基、イソシアネート基、フェニル基などが挙げられ、アミノ基、（メタ）アクリロイル基およびエポキシ基が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、特開２００９－２８８７０３号公報の段落番号００１８～００３６に記載の化合物、特開２００９－２４２６０４号公報の段落番号００５６～００６６に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
本発明の感光性樹脂組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくともいずれかによってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられ、アルコキシ基が好ましい。すなわち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基を有する化合物が好ましい。また、加水分解性基以外の官能基としては、例えば、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、エポキシ基、オキセタニル基、アミノ基、ウレイド基、スルフィド基、イソシアネート基、フェニル基などが挙げられ、アミノ基、（メタ）アクリロイル基およびエポキシ基が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、特開２００９－２８８７０３号公報の段落番号００１８～００３６に記載の化合物、特開２００９－２４２６０４号公報の段落番号００５６～００６６に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【0188】
感光性樹脂組成物の全固形分中におけるシランカップリング剤の含有量は、０．１～５質量％が好ましい。上限は、３質量％以下が好ましく、２質量％以下がより好ましい。下限は、０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましい。シランカップリング剤は、１種のみでもよく、２種以上でもよい。２種以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【0189】
＜＜硬化促進剤＞＞
本発明の感光性樹脂組成物は、硬化促進剤を含有することができる。硬化促進剤としては、分子内に２個以上のメルカプト基を有する多官能チオール化合物などが挙げられる。多官能チオール化合物は安定性、臭気、解像性、現像性、密着性等の改良を目的として添加してもよい。多官能チオール化合物は、２級のアルカンチオール類であることが好ましく、式（Ｔ１）で表される化合物であることがより好ましい。
式（Ｔ１）
（式（Ｔ１）中、ｎは２～４の整数を表し、Ｌは２～４価の連結基を表す。）
本発明の感光性樹脂組成物は、硬化促進剤を含有することができる。硬化促進剤としては、分子内に２個以上のメルカプト基を有する多官能チオール化合物などが挙げられる。多官能チオール化合物は安定性、臭気、解像性、現像性、密着性等の改良を目的として添加してもよい。多官能チオール化合物は、２級のアルカンチオール類であることが好ましく、式（Ｔ１）で表される化合物であることがより好ましい。
式（Ｔ１）
【化24】
【0190】
式（Ｔ１）において、連結基Ｌは炭素数２～１２の脂肪族基であることが好ましく、ｎが２であり、Ｌが炭素数２～１２のアルキレン基であることが特に好ましい。
【0191】
また、硬化促進剤は、メチロール系化合物（例えば特開２０１５－０３４９６３号公報の段落番号０２４６において、架橋剤として例示されている化合物）、アミン類、ホスホニウム塩、アミジン塩、アミド化合物（以上、例えば特開２０１３－０４１１６５号公報の段落番号０１８６に記載の硬化剤）、塩基発生剤（例えば、特開２０１４－０５５１１４号公報に記載のイオン性化合物）、シアネート化合物（例えば、特開２０１２－１５０１８０号公報の段落番号００７１に記載の化合物）、アルコキシシラン化合物（例えば、特開２０１１－２５３０５４号公報に記載のエポキシ基を有するアルコキシシラン化合物）、オニウム塩化合物（例えば、特開２０１５－０３４９６３号公報の段落番号０２１６に酸発生剤として例示されている化合物、特開２００９－１８０９４９号公報に記載の化合物）などを用いることもできる。
【0192】
感光性樹脂組成物の全固形分中における硬化促進剤の含有量は、０．３～８．９質量％が好ましく、０．８～６．４質量％がより好ましい。
【0193】
＜＜重合禁止剤＞＞
本発明の感光性樹脂組成物は、重合禁止剤を含有することができる。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ｐ－メトキシフェノール、ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－ｐ－クレゾール、ピロガロール、ｔｅｒｔ－ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’－チオビス（３－メチル－６－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール）、２，２’－メチレンビス（４－メチル－６－ｔ－ブチルフェノール）、Ｎ－ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩（アンモニウム塩、第一セリウム塩等）が挙げられる。中でも、ｐ－メトキシフェノールが好ましい。感光性樹脂組成物の全固形分中における重合禁止剤の含有量は、０．０００１～５質量％が好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、重合禁止剤を含有することができる。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ｐ－メトキシフェノール、ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－ｐ－クレゾール、ピロガロール、ｔｅｒｔ－ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’－チオビス（３－メチル－６－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール）、２，２’－メチレンビス（４－メチル－６－ｔ－ブチルフェノール）、Ｎ－ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩（アンモニウム塩、第一セリウム塩等）が挙げられる。中でも、ｐ－メトキシフェノールが好ましい。感光性樹脂組成物の全固形分中における重合禁止剤の含有量は、０．０００１～５質量％が好ましい。
【0194】
＜＜界面活性剤＞＞
本発明の感光性樹脂組成物は、界面活性剤を含有することができる。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。界面活性剤については、国際公開第２０１５／１６６７７９号の段落番号０２３８～０２４５に記載された界面活性剤が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。
本発明の感光性樹脂組成物は、界面活性剤を含有することができる。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。界面活性剤については、国際公開第２０１５／１６６７７９号の段落番号０２３８～０２４５に記載された界面活性剤が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【0195】
本発明において、界面活性剤はフッ素系界面活性剤であることが好ましい。感光性樹脂組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで液特性（特に、流動性）がより向上し、省液性をより改善することができる。また、厚みムラの小さい硬化膜を形成することもできる。
【0196】
フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３～４０質量％が好適であり、より好ましくは５～３０質量％であり、特に好ましくは７～２５質量％である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、感光性樹脂組成物中における溶解性も良好である。
【0197】
フッ素系界面活性剤としては、特開２０１４－０４１３１８号公報の段落番号００６０～００６４（対応する国際公開第２０１４／０１７６６９号の段落番号００６０～００６４）等に記載の界面活性剤、特開２０１１－１３２５０３号公報の段落番号０１１７～０１３２に記載の界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファックＦ１７１、Ｆ１７２、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１７７、Ｆ１４１、Ｆ１４２、Ｆ１４３、Ｆ１４４、Ｒ３０、Ｆ４３７、Ｆ４７５、Ｆ４７９、Ｆ４８２、Ｆ５５４、Ｆ７８０、ＥＸＰ、ＭＦＳ－３３０（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ－３８２、ＳＣ－１０１、ＳＣ－１０３、ＳＣ－１０４、ＳＣ－１０５、ＳＣ－１０６８、ＳＣ－３８１、ＳＣ－３８３、Ｓ－３９３、ＫＨ－４０（以上、ＡＧＣ（株）製）、ＰｏｌｙＦｏｘ ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。
【0198】
また、フッ素系界面活性剤は、フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。このようなフッ素系界面活性剤は、特開２０１６－２１６６０２号公報に記載されたフッ素系界面活性剤が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【0199】
フッ素系界面活性剤は、ブロックポリマーを用いることもできる。フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができる。また、特開２０１０－０３２６９８号公報の段落番号００１６～００３７に記載されたフッ素含有界面活性剤や、下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。
上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは３０００～５００００であり、例えば、１４０００である。上記の化合物中、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。
【化25】
【0200】
また、フッ素系界面活性剤は、エチレン性不飽和結合含有基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開２０１０－１６４９６５号公報の段落番号００５０～００９０および段落番号０２８９～０２９５に記載された化合物、ＤＩＣ（株）製のメガファックＲＳ－１０１、ＲＳ－１０２、ＲＳ－７１８Ｋ、ＲＳ－７２－Ｋ等が挙げられる。また、フッ素系界面活性剤は、特開２０１５－１１７３２７号公報の段落番号００１５～０１５８に記載の化合物を用いることもできる。
【0201】
ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、プルロニックＬ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２（ＢＡＳＦ社製）、テトロニック３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１（ＢＡＳＦ社製）、ソルスパース２００００（日本ルーブリゾール（株）製）、ＮＣＷ－１０１、ＮＣＷ－１００１、ＮＣＷ－１００２（富士フイルム和光純薬（株）製）、パイオニンＤ－６１１２、Ｄ－６１１２－Ｗ、Ｄ－６３１５（竹本油脂（株）製）、オルフィンＥ１０１０、サーフィノール１０４、４００、４４０（日信化学工業（株）製）などが挙げられる。
【0202】
シリコン系界面活性剤としては、例えば、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ８４００（以上、東レ・ダウコーニング（株）製）、ＴＳＦ－４４４０、ＴＳＦ－４３００、ＴＳＦ－４４４５、ＴＳＦ－４４６０、ＴＳＦ－４４５２（以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）、ＫＰ－３４１、ＫＦ－６００１、ＫＦ－６００２（以上、信越シリコーン株式会社製）、ＢＹＫ３０７、ＢＹＫ３２３、ＢＹＫ３３０（以上、ビックケミー社製）等が挙げられる。
【0203】
感光性樹脂組成物の全固形分中における界面活性剤の含有量は、０．００１質量％～５．０質量％が好ましく、０．００５～３．０質量％がより好ましい。界面活性剤は、１種のみでもよく、２種以上でもよい。２種以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【0204】
＜＜酸化防止剤＞＞
本発明の感光性樹脂組成物は、酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤としては、フェノール化合物、亜リン酸エステル化合物、チオエーテル化合物などが挙げられる。フェノール化合物としては、フェノール系酸化防止剤として知られる任意のフェノール化合物を使用することができる。好ましいフェノール化合物としては、ヒンダードフェノール化合物が挙げられる。フェノール性ヒドロキシ基に隣接する部位（オルト位）に置換基を有する化合物が好ましい。前述の置換基としては炭素数１～２２の置換又は無置換のアルキル基が好ましい。また、酸化防止剤は、同一分子内にフェノール基と亜リン酸エステル基を有する化合物も好ましい。また、酸化防止剤は、リン系酸化防止剤も好適に使用することができる。
本発明の感光性樹脂組成物は、酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤としては、フェノール化合物、亜リン酸エステル化合物、チオエーテル化合物などが挙げられる。フェノール化合物としては、フェノール系酸化防止剤として知られる任意のフェノール化合物を使用することができる。好ましいフェノール化合物としては、ヒンダードフェノール化合物が挙げられる。フェノール性ヒドロキシ基に隣接する部位（オルト位）に置換基を有する化合物が好ましい。前述の置換基としては炭素数１～２２の置換又は無置換のアルキル基が好ましい。また、酸化防止剤は、同一分子内にフェノール基と亜リン酸エステル基を有する化合物も好ましい。また、酸化防止剤は、リン系酸化防止剤も好適に使用することができる。
【0205】
感光性樹脂組成物の全固形分中における酸化防止剤の含有量は、０．０１～２０質量％であることが好ましく、０．３～１５質量％であることがより好ましい。酸化防止剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【0206】
＜＜その他成分＞＞
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、増感剤、フィラー、熱硬化促進剤、可塑剤及びその他の助剤類（例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など）を含有してもよい。これらの成分を適宜含有させることにより、膜物性などの性質を調整することができる。これらの成分は、例えば、特開２０１２－００３２２５号公報の段落番号０１８３以降（対応する米国特許出願公開第２０１３／００３４８１２号明細書の段落番号０２３７）の記載、特開２００８－２５００７４号公報の段落番号０１０１～０１０４、０１０７～０１０９等の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、潜在酸化防止剤を含有してもよい。潜在酸化防止剤としては、酸化防止剤として機能する部位が保護基で保護された化合物であって、１００～２５０℃で加熱するか、又は酸／塩基触媒存在下で８０～２００℃で加熱することにより保護基が脱離して酸化防止剤として機能する化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤としては、国際公開第２０１４／０２１０２３号、国際公開第２０１７／０３０００５号、特開２０１７－００８２１９号公報に記載された化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤の市販品としては、アデカアークルズＧＰＡ－５００１（（株）ＡＤＥＫＡ製）等が挙げられる。また、特開２０１８－１５５８８１号公報に記載されているように、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２９を耐候性改良の目的で添加しても良い。
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、増感剤、フィラー、熱硬化促進剤、可塑剤及びその他の助剤類（例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など）を含有してもよい。これらの成分を適宜含有させることにより、膜物性などの性質を調整することができる。これらの成分は、例えば、特開２０１２－００３２２５号公報の段落番号０１８３以降（対応する米国特許出願公開第２０１３／００３４８１２号明細書の段落番号０２３７）の記載、特開２００８－２５００７４号公報の段落番号０１０１～０１０４、０１０７～０１０９等の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、潜在酸化防止剤を含有してもよい。潜在酸化防止剤としては、酸化防止剤として機能する部位が保護基で保護された化合物であって、１００～２５０℃で加熱するか、又は酸／塩基触媒存在下で８０～２００℃で加熱することにより保護基が脱離して酸化防止剤として機能する化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤としては、国際公開第２０１４／０２１０２３号、国際公開第２０１７／０３０００５号、特開２０１７－００８２１９号公報に記載された化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤の市販品としては、アデカアークルズＧＰＡ－５００１（（株）ＡＤＥＫＡ製）等が挙げられる。また、特開２０１８－１５５８８１号公報に記載されているように、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２９を耐候性改良の目的で添加しても良い。
【0207】
本発明の感光性樹脂組成物は、得られる硬化膜の屈折率を調整するために金属酸化物を含有させてもよい。金属酸化物としては、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２等が挙げられる。金属酸化物の一次粒子径は１～１００ｎｍが好ましく、３～７０ｎｍがより好ましく、５～５０ｎｍが更に好ましい。金属酸化物はコア－シェル構造を有していてもよい。また、この場合、コア部は中空状であってもよい。
【0208】
本発明の感光性樹脂組成物は、耐光性改良剤を含んでもよい。耐光性改良剤としては、特開２０１７－１９８７８７号公報の段落番号００３６～００３７に記載の化合物、特開２０１７－１４６３５０号公報の段落番号００２９～００３４に記載の化合物、特開２０１７－１２９７７４号公報の段落番号００３６～００３７、００４９～００５２に記載の化合物、特開２０１７－１２９６７４号公報の段落番号００３１～００３４、００５８～００５９に記載の化合物、特開２０１７－１２２８０３号公報の段落番号００３６～００３７、００５１～００５４に記載の化合物、国際公開第２０１７／１６４１２７号の段落番号００２５～００３９に記載の化合物、特開２０１７－１８６５４６号公報の段落番号００３４～００４７に記載の化合物、特開２０１５－０２５１１６号公報の段落番号００１９～００４１に記載の化合物、特開２０１２－１４５６０４号公報の段落番号０１０１～０１２５に記載の化合物、特開２０１２－１０３４７５号公報の段落番号００１８～００２１に記載の化合物、特開２０１１－２５７５９１号公報の段落番号００１５～００１８に記載の化合物、特開２０１１－１９１４８３号公報の段落番号００１７～００２１に記載の化合物、特開２０１１－１４５６６８号公報の段落番号０１０８～０１１６に記載の化合物、特開２０１１－２５３１７４号公報の段落番号０１０３～０１５３に記載の化合物などが挙げられる。
【0209】
本発明の感光性樹脂組成物は、顔料などと結合または配位していない遊離の金属の含有量が１００ｐｐｍ以下であることが好ましく、５０ｐｐｍ以下であることがより好ましく、１０ｐｐｍ以下であることが更に好ましく、実質的に含有しないことが特に好ましい。この態様によれば、顔料分散性の安定化（凝集抑止）、分散性良化に伴う分光特性の向上、硬化性成分の安定化、金属原子・金属イオンの溶出に伴う導電性変動の抑止、表示特性の向上などの効果が期待できる。また、特開２０１２－１５３７９６号公報、特開２０００－３４５０８５号公報、特開２００５－２００５６０号公報、特開平０８－０４３６２０号公報、特開２００４－１４５０７８号公報、特開２０１４－１１９４８７号公報、特開２０１０－０８３９９７号公報、特開２０１７－０９０９３０号公報、特開２０１８－０２５６１２号公報、特開２０１８－０２５７９７号公報、特開２０１７－１５５２２８号公報、特開２０１８－０３６５２１号公報などに記載された効果も得られる。上記の遊離の金属の種類としては、Ｎａ、Ｋ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｍｎ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｓｎ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｇｅ、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｃｓ、Ｎi、Ｃｄ、Ｐｂ、Ｂｉ等が挙げられる。また、本発明の感光性樹脂組成物は、顔料などと結合または配位していない遊離のハロゲンの含有量が１００ｐｐｍ以下であることが好ましく、５０ｐｐｍ以下であることがより好ましく、１０ｐｐｍ以下であることが更に好ましく、実質的に含有しないことが特に好ましい。ハロゲンとしては、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ及びそれらの陰イオンが挙げられる。感光性樹脂組成物中の遊離の金属やハロゲンの低減方法としては、イオン交換水による洗浄、ろ過、限外ろ過、イオン交換樹脂による精製等の方法が挙げられる。
【0210】
本発明の感光性樹脂組成物は、テレフタル酸エステルを実質的に含まないことも好ましい。ここで、「実質的に含まない」とは、テレフタル酸エステルの含有量が、感光性樹脂組成物の全量中、１０００質量ｐｐｂ以下であることを意味し、１００質量ｐｐｂ以下であることがより好ましく、ゼロであることが特に好ましい。
【0211】
本発明の感光性樹脂組成物の含水率は、通常３質量％以下であり、０．０１～１．５質量％が好ましく、０．１～１．０質量％の範囲であることがより好ましい。含水率は、カールフィッシャー法にて測定することができる。
【0212】
本発明の感光性樹脂組成物は、膜面状（平坦性など）の調整、膜厚の調整などを目的として粘度を調整して用いることができる。粘度の値は必要に応じて適宜選択することができるが、例えば、２５℃において０．３ｍＰａ・ｓ～５０ｍＰａ・ｓが好ましく、０．５ｍＰａ・ｓ～２０ｍＰａ・ｓがより好ましい。粘度の測定方法としては、例えば、東機産業製 粘度計 ＲＥ８５Ｌ（ローター：１°３４’×Ｒ２４、測定範囲０．６～１２００ｍＰａ・ｓ）を使用し、２５℃に温度調整を施した状態で測定することができる。
【0213】
本発明の感光性樹脂組成物を液晶表示装置用途のカラーフィルタとして用いる場合、カラーフィルタを備えた液晶表示素子の電圧保持率は、７０％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましい。高い電圧保持率を得るための公知の手段を適宜組み込むことができ、典型的な手段としては純度の高い素材の使用（例えばイオン性不純物の低減）や、組成物中の酸性官能基量の制御が挙げられる。電圧保持率は、例えば特開２０１１－００８００４号公報の段落０２４３、特開２０１２－２２４８４７号公報の段落０１２３～０１２９に記載の方法等で測定することができる。
【0214】
＜収容容器＞
本発明の感光性樹脂組成物の収容容器としては、特に限定はなく、公知の収容容器を用いることができる。また、収容容器として、原材料や感光性樹脂組成物中への不純物混入を抑制することを目的に、容器内壁を６種６層の樹脂で構成する多層ボトルや６種の樹脂を７層構造にしたボトルを使用することも好ましい。このような容器としては例えば特開２０１５－１２３３５１号公報に記載の容器が挙げられる。また、容器内壁は、容器内壁からの金属溶出を防ぎ、感光性樹脂組成物の保存安定性を高めたり、成分変質を抑制するなど目的で、ガラス製やステンレス製などにすることも好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物の収容容器としては、特に限定はなく、公知の収容容器を用いることができる。また、収容容器として、原材料や感光性樹脂組成物中への不純物混入を抑制することを目的に、容器内壁を６種６層の樹脂で構成する多層ボトルや６種の樹脂を７層構造にしたボトルを使用することも好ましい。このような容器としては例えば特開２０１５－１２３３５１号公報に記載の容器が挙げられる。また、容器内壁は、容器内壁からの金属溶出を防ぎ、感光性樹脂組成物の保存安定性を高めたり、成分変質を抑制するなど目的で、ガラス製やステンレス製などにすることも好ましい。
【0215】
＜感光性樹脂組成物の調製方法＞
本発明の感光性樹脂組成物は、前述の成分を混合して調製できる。感光性樹脂組成物の調製に際しては、全成分を同時に溶剤に溶解および／または分散して感光性樹脂組成物を調製してもよいし、必要に応じて、各成分を適宜２つ以上の溶液または分散液としておいて、使用時（塗布時）にこれらを混合して感光性樹脂組成物を調製してもよい。
本発明の感光性樹脂組成物は、前述の成分を混合して調製できる。感光性樹脂組成物の調製に際しては、全成分を同時に溶剤に溶解および／または分散して感光性樹脂組成物を調製してもよいし、必要に応じて、各成分を適宜２つ以上の溶液または分散液としておいて、使用時（塗布時）にこれらを混合して感光性樹脂組成物を調製してもよい。
【0216】
また、感光性樹脂組成物の調製に際して、顔料を分散させるプロセスを含むことが好ましい。顔料を分散させるプロセスにおいて、顔料の分散に用いる機械力としては、圧縮、圧搾、衝撃、剪断、キャビテーションなどが挙げられる。これらプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ボールミル、ペイントシェーカー、マイクロフルイダイザー、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化、超音波分散などが挙げられる。またサンドミル（ビーズミル）における顔料の粉砕においては、径の小さいビーズを使用する、ビーズの充填率を大きくする事等により粉砕効率を高めた条件で処理することが好ましい。また、粉砕処理後にろ過、遠心分離などで粗粒子を除去することが好ましい。また、顔料を分散させるプロセスおよび分散機は、「分散技術大全、株式会社情報機構発行、２００５年７月１５日」や「サスペンション（固／液分散系）を中心とした分散技術と工業的応用の実際 総合資料集、経営開発センター出版部発行、１９７８年１０月１０日」、特開２０１５－１５７８９３号公報の段落番号００２２に記載のプロセス及び分散機を好適に使用出来る。また顔料を分散させるプロセスにおいては、ソルトミリング工程にて粒子の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器、処理条件等は、例えば特開２０１５－１９４５２１号公報、特開２０１２－０４６６２９号公報の記載を参酌できる。
【0217】
感光性樹脂組成物の調製にあたり、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、感光性樹脂組成物をフィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂、ナイロン（例えばナイロン－６、ナイロン－６，６）等のポリアミド樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン樹脂（高密度、超高分子量のポリオレフィン樹脂を含む）等の素材を用いたフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン（高密度ポリプロピレンを含む）およびナイロンが好ましい。
【0218】
フィルタの孔径は、０．０１～７．０μｍが好ましく、０．０１～３．０μｍがより好ましく、０．０５～０．５μｍが更に好ましい。フィルタの孔径が上記範囲であれば、微細な異物をより確実に除去できる。フィルタの孔径値については、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。フィルタは、日本ポール株式会社（ＤＦＡ４２０１ＮＩＥＹなど）、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社（旧日本マイクロリス株式会社）および株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタを用いることができる。
【0219】
また、フィルタとしてファイバ状のろ材を用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられる。市販品としては、ロキテクノ社製のＳＢＰタイプシリーズ（ＳＢＰ００８など）、ＴＰＲタイプシリーズ（ＴＰＲ００２、ＴＰＲ００５など）、ＳＨＰＸタイプシリーズ（ＳＨＰＸ００３など）が挙げられる。
【0220】
フィルタを使用する際、異なるフィルタ（例えば、第１のフィルタと第２のフィルタなど）を組み合わせてもよい。その際、各フィルタでのろ過は、１回のみでもよいし、２回以上行ってもよい。また、上述した範囲内で異なる孔径のフィルタを組み合わせてもよい。また、第１のフィルタでのろ過は、分散液のみに対して行い、他の成分を混合した後で、第２のフィルタでろ過を行ってもよい。
【0221】
＜硬化膜＞
本発明の硬化膜は、上述した本発明の感光性樹脂組成物から得られる硬化膜である。本発明の硬化膜は、カラーフィルタの着色画素として好ましく用いることができる。着色画素としては、シアン色画素が好ましい。本発明の硬化膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。例えば、膜厚は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上がさらに好ましい。
本発明の硬化膜は、上述した本発明の感光性樹脂組成物から得られる硬化膜である。本発明の硬化膜は、カラーフィルタの着色画素として好ましく用いることができる。着色画素としては、シアン色画素が好ましい。本発明の硬化膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。例えば、膜厚は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上がさらに好ましい。
【0222】
本発明の硬化膜は、膜の厚み方向における波長４００～５３０ｎｍの範囲の光の平均透過率が７０％以上であることが好ましく、８０％以上であることがより好ましく、８５％以上であることが更に好ましい。また、膜の厚み方向における波長４００～５３０ｎｍの範囲の光の透過率の最小値は４０％以上であることが好ましく、５０％以上であることがより好ましく、６０％以上であることが更に好ましい。また、膜の厚み方向における波長６１０～７００ｎｍの範囲の光の平均透過率は３０％以下であることが好ましく、２５％以下であることがより好ましく、２０％以下であることが更に好ましい。また、膜の厚み方向における波長６１０～７００ｎｍの範囲の光の透過率の最大値は４０％以下であることが好ましく、３０％以下であることがより好ましく、２５％以下であることが更に好ましい。
【0223】
本発明の硬化膜は、膜の厚み方向における波長４００～７００ｎｍの範囲の光に対する透過スペクトルにおいて、波長４００～５３０ｎｍの範囲に透過率のピーク値が存在することが好ましい。また、波長５４０～６００ｎｍの範囲に透過率がピーク値の５０％になる波長（以下、この波長をλＴ５０ともいう）が存在することが好ましい。また、波長５６０～６２０ｎｍの範囲に透過率がピーク値の２０％になる波長（以下、この波長をλＴ２０ともいう）が存在することが好ましい。λＴ５０は波長５４５～５９５ｎｍの範囲に存在することが好ましく、波長５５０～５９０ｎｍの範囲に存在することがより好ましい。λＴ２０は波長５６５～６１５ｎｍの範囲に存在することが好ましく、波長５６０～６１０ｎｍの範囲に存在することがより好ましい。また、λＴ２０とλＴ５０との差（λＴ２０－λＴ５０）は、５～８０ｎｍであることが好ましく、７～５０ｎｍであることがより好ましく、１０～３０ｎｍであることが更に好ましい。
【0224】
＜カラーフィルタ＞
次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。本発明のカラーフィルタは、上述した本発明の硬化膜を有する。より好ましくは、カラーフィルタの画素として、本発明の硬化膜を有する。更に好ましくは、カラーフィルタのシアン色画素として、本発明の硬化膜を有する。本発明のカラーフィルタは、ＣＣＤ（電荷結合素子）やＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）などの固体撮像素子や画像表示装置などに用いることができる。
次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。本発明のカラーフィルタは、上述した本発明の硬化膜を有する。より好ましくは、カラーフィルタの画素として、本発明の硬化膜を有する。更に好ましくは、カラーフィルタのシアン色画素として、本発明の硬化膜を有する。本発明のカラーフィルタは、ＣＣＤ（電荷結合素子）やＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）などの固体撮像素子や画像表示装置などに用いることができる。
【0225】
本発明のカラーフィルタにおいて本発明の硬化膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。膜厚は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上が更に好ましい。
【0226】
本発明のカラーフィルタは、画素の幅が０．５～２０．０μｍであることが好ましい。下限は、１．０μｍ以上であることが好ましく、２．０μｍ以上であることがより好ましい。上限は、１５．０μｍ以下であることが好ましく、１０．０μｍ以下であることがより好ましい。また、画素のヤング率が０．５～２０ＧＰａであることが好ましく、２．５～１５ＧＰａがより好ましい。
【0227】
本発明のカラーフィルタに含まれる各画素は高い平坦性を有することが好ましい。具体的には、画素の表面粗さＲａは、１００ｎｍ以下であることが好ましく、４０ｎｍ以下であることがより好ましく、１５ｎｍ以下であることが更に好ましい。下限は規定されないが、例えば０．１ｎｍ以上であることが好ましい。画素の表面粗さは、例えばＶｅｅｃｏ社製のＡＦＭ（原子間力顕微鏡） Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ３１００を用いて測定することができる。また、画素上の水の接触角は適宜好ましい値に設定することができるが、典型的には、５０～１１０°の範囲である。接触角は、例えば接触角計ＣＶ－ＤＴ・Ａ型（協和界面科学（株）製）を用いて測定できる。また、画素の体積抵抗値は高いことが好ましい。具体的には、画素の体積抵抗値は１０９Ω・ｃｍ以上であることが好ましく、１０１１Ω・ｃｍ以上であることがより好ましい。上限は規定されないが、例えば１０１４Ω・ｃｍ以下であることが好ましい。画素の体積抵抗値は、例えば超高抵抗計５４１０（アドバンテスト社製）を用いて測定することができる。
【0228】
また、本発明のカラーフィルタは、本発明の硬化膜の表面に保護層を設けてもよい。保護層を設けることで、酸素遮断化、低反射化、親疎水化、特定波長の光（紫外線、近赤外線等）の遮蔽等の種々の機能を付与することができる。保護層の厚さとしては、０．０１～１０μｍが好ましく、０．１～５μｍがさらに好ましい。保護層の形成方法としては、有機溶剤に溶解した樹脂組成物を塗布して形成する方法、化学気相蒸着法、成型した樹脂を接着材で貼りつける方法等が挙げられる。保護層を構成する成分としては、（メタ）アクリル樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルホスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、ポリオール樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂、アラミド樹脂、ポリアミド樹脂、アルキド樹脂、エポキシ樹脂、変性シリコーン樹脂、フッ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、セルロース樹脂、Ｓｉ、Ｃ、Ｗ、Ａｌ２Ｏ３、Ｍｏ、ＳｉＯ２、Ｓｉ２Ｎ４などが挙げられ、これらの成分を二種以上含有しても良い。例えば、酸素遮断化を目的とした保護層の場合、保護層はポリオール樹脂、ＳｉＯ２、Ｓｉ２Ｎ４を含むことが好ましい。また、低反射化を目的とした保護層の場合、保護層は（メタ）アクリル樹脂、フッ素樹脂を含むことが好ましい。
【0229】
樹脂組成物を塗布して保護層を形成する場合、樹脂組成物の塗布方法としては、スピンコート法、キャスト法、スクリーン印刷法、インクジェット法等の公知の方法を用いることができる。樹脂組成物に含まれる有機溶剤は、公知の有機溶剤（例えば、プロピレングリコール１－モノメチルエーテル２－アセテート、シクロペンタノン、乳酸エチル等）を用いることが出来る。保護層を化学気相蒸着法にて形成する場合、化学気相蒸着法としては、公知の化学気相蒸着法（熱化学気相蒸着法、プラズマ化学気相蒸着法、光化学気相蒸着法）を用いることができる
【0230】
保護層は、必要に応じて、有機・無機微粒子、特定波長（例えば、紫外線、近赤外線等）の吸収剤、屈折率調整剤、酸化防止剤、密着剤、界面活性剤等の添加剤を含有しても良い。有機・無機微粒子の例としては、例えば、高分子微粒子（例えば、シリコーン樹脂微粒子、ポリスチレン微粒子、メラミン樹脂微粒子）、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウム、酸化インジウム、酸化アルミニウム、窒化チタン、酸窒化チタン、フッ化マグネシウム、中空シリカ、シリカ、炭酸カルシウム、硫酸バリウム等が挙げられる。特定波長の吸収剤は公知の吸収剤を用いることができる。紫外線吸収剤および近赤外線吸収剤としては、上述した素材が挙げられる。これらの添加剤の含有量は適宜調整できるが、保護層の全重量に対して０．１～７０質量％が好ましく、１～６０質量％がさらに好ましい。
【0231】
また、保護層としては、特開２０１７－１５１１７６号公報の段落番号００７３～００９２に記載の保護層を用いることもできる。
【0232】
＜カラーフィルタの製造方法＞
次に、カラーフィルタの製造方法について説明する。本発明のカラーフィルタは、上述した本発明の感光性樹脂組成物を用いて支持体上に着色組成物層を形成する工程と、フォトリソグラフィ法により感光性樹脂組成物に対してパターンを形成する工程と、を経て製造できる。
次に、カラーフィルタの製造方法について説明する。本発明のカラーフィルタは、上述した本発明の感光性樹脂組成物を用いて支持体上に着色組成物層を形成する工程と、フォトリソグラフィ法により感光性樹脂組成物に対してパターンを形成する工程と、を経て製造できる。
【0233】
フォトリソグラフィ法によるパターン形成は、本発明の感光性樹脂組成物を用いて支持体上に感光性樹脂組成物層を形成する工程と、感光性樹脂組成物層をパターン状に露光する工程と、感光性樹脂組成物層の未露光部を現像除去してパターン（画素）を形成する工程と、を含むことが好ましい。必要に応じて、感光性樹脂組成物層をベークする工程（プリベーク工程）、および、現像されたパターン（画素）をベークする工程（ポストベーク工程）を設けてもよい。
【0234】
感光性樹脂組成物層を形成する工程では、本発明の感光性樹脂組成物を用いて、支持体上に感光性樹脂組成物層を形成する。支持体としては、特に限定は無く、用途に応じて適宜選択できる。例えば、ガラス基板、シリコン基板などが挙げられ、シリコン基板であることが好ましい。また、シリコン基板には、電荷結合素子（ＣＣＤ）、相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）、透明導電膜などが形成されていてもよい。また、シリコン基板には、各画素を隔離するブラックマトリクスが形成されている場合もある。また、シリコン基板には、上部の層との密着性改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層が設けられていてもよい。
【0235】
感光性樹脂組成物の塗布方法としては、公知の方法を用いることができる。例えば、滴下法（ドロップキャスト）；スリットコート法；スプレー法；ロールコート法；回転塗布法（スピンコーティング）；流延塗布法；スリットアンドスピン法；プリウェット法（たとえば、特開２００９－１４５３９５号公報に記載されている方法）；インクジェット（例えばオンデマンド方式、ピエゾ方式、サーマル方式）、ノズルジェット等の吐出系印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、グラビア印刷、反転オフセット印刷、メタルマスク印刷法などの各種印刷法；金型等を用いた転写法；ナノインプリント法などが挙げられる。インクジェットでの適用方法としては、特に限定されず、例えば「広がる・使えるインクジェット－特許に見る無限の可能性－、２００５年２月発行、住ベテクノリサーチ」に示された方法（特に１１５ページ～１３３ページ）や、特開２００３－２６２７１６号公報、特開２００３－１８５８３１号公報、特開２００３－２６１８２７号公報、特開２０１２－１２６８３０号公報、特開２００６－１６９３２５号公報などに記載の方法が挙げられる。また、感光性樹脂組成物の塗布方法は、国際公開第２０１７／０３０１７４号、国際公開第２０１７／０１８４１９号に記載された方法を用いることもでき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【0236】
支持体上に形成した感光性樹脂組成物層は、乾燥（プリベーク）してもよい。低温プロセスにより硬化膜を製造する場合は、プリベークを行わなくてもよい。プリベークを行う場合、プリベーク温度は、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１１０℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。プリベーク時間は、１０～３００秒が好ましく、４０～２５０秒がより好ましく、８０～２２０秒がさらに好ましい。プリベークは、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。
【0237】
次に、感光性樹脂組成物層をパターン状に露光する（露光工程）。例えば、感光性樹脂組成物層に対し、ステッパー露光機やスキャナ露光機などを用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン状に露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。
【0238】
露光に際して用いることができる放射線（光）としては、ｇ線、ｉ線等が挙げられる。また、波長３００ｎｍ以下の光（好ましくは波長１８０～３００ｎｍの光）を用いることもできる。波長３００ｎｍ以下の光としては、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦ線（波長１９３ｎｍ）などが挙げられ、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）が好ましい。また、３００ｎｍ以上の長波な光源も利用できる。
【0239】
また、露光に際して、光を連続的に照射して露光してもよく、パルス的に照射して露光（パルス露光）してもよい。なお、パルス露光とは、短時間（例えば、ミリ秒レベル以下）のサイクルで光の照射と休止を繰り返して露光する方式の露光方法のことである。パルス露光の場合、パルス幅は、１００ナノ秒（ｎｓ）以下であることが好ましく、５０ナノ秒以下であることがより好ましく、３０ナノ秒以下であることが更に好ましい。パルス幅の下限は、特に限定はないが、１フェムト秒（ｆｓ）以上とすることができ、１０フェムト秒以上とすることもできる。周波数は、１ｋＨｚ以上であることが好ましく、２ｋＨｚ以上であることがより好ましく、４ｋＨｚ以上であることが更に好ましい。周波数の上限は５０ｋＨｚ以下であることが好ましく、２０ｋＨｚ以下であることがより好ましく、１０ｋＨｚ以下であることが更に好ましい。最大瞬間照度は、５０００００００Ｗ／ｍ２以上であることが好ましく、１００００００００Ｗ／ｍ２以上であることがより好ましく、２００００００００Ｗ／ｍ２以上であることが更に好ましい。また、最大瞬間照度の上限は、１０００００００００Ｗ／ｍ２以下であることが好ましく、８００００００００Ｗ／ｍ２以下であることがより好ましく、５００００００００Ｗ／ｍ２以下であることが更に好ましい。なお、パルス幅とは、パルス周期における光が照射されている時間のことである。また、周波数とは、１秒あたりのパルス周期の回数のことである。また、最大瞬間照度とは、パルス周期における光が照射されている時間内での平均照度のことである。また、パルス周期とは、パルス露光における光の照射と休止を１サイクルとする周期のことである。
【0240】
照射量（露光量）は、例えば、０．０３～２．５Ｊ／ｃｍ２が好ましく、０．０５～１．０Ｊ／ｃｍ２がより好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が１９体積％以下の低酸素雰囲気下（例えば、１５体積％、５体積％、または、実質的に無酸素）で露光してもよく、酸素濃度が２１体積％を超える高酸素雰囲気下（例えば、２２体積％、３０体積％、または、５０体積％）で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常１０００Ｗ／ｍ２～１０００００Ｗ／ｍ２（例えば、５０００Ｗ／ｍ２、１５０００Ｗ／ｍ２、または、３５０００Ｗ／ｍ２）の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度１０体積％で照度１００００Ｗ／ｍ２、酸素濃度３５体積％で照度２００００Ｗ／ｍ２などとすることができる。
【0241】
次に、感光性樹脂組成物層の未露光部を現像除去してパターン（画素）を形成する。感光性樹脂組成物層の未露光部の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。これにより、露光工程における未露光部の感光性樹脂組成物層が現像液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。現像液の温度は、例えば、２０～３０℃が好ましい。現像時間は、２０～１８０秒が好ましい。また、残渣除去性を向上するため、現像液を６０秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。
【0242】
現像液は、有機溶剤、アルカリ現像液などが挙げられ、アルカリ現像液が好ましく用いられる。アルカリ現像液としては、アルカリ剤を純水で希釈したアルカリ性水溶液（アルカリ現像液）が好ましい。アルカリ剤としては、例えば、アンモニア、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、ジエタノールアミン、ヒドロキシアミン、エチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、エチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス（２－ヒドロキシエチル）アンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８－ジアザビシクロ［５．４．０］－７－ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの無機アルカリ性化合物が挙げられる。アルカリ剤は、分子量が大きい化合物の方が環境面および安全面で好ましい。アルカリ性水溶液のアルカリ剤の濃度は、０．００１～１０質量％が好ましく、０．０１～１質量％がより好ましい。また、現像液は、さらに界面活性剤を含有していてもよい。界面活性剤としては、上述した界面活性剤が挙げられ、ノニオン系界面活性剤が好ましい。現像液は、移送や保管の便宜などの観点より、一旦濃縮液として製造し、使用時に必要な濃度に希釈してもよい。希釈倍率は特に限定されないが、例えば１．５～１００倍の範囲に設定することができる。また、現像後純水で洗浄（リンス）することも好ましい。また、リンスは、現像後の感光性樹脂組成物層が形成された支持体を回転させつつ、現像後の感光性樹脂組成物層へリンス液を供給して行うことが好ましい。また、リンス液を吐出させるノズルを支持体の中心部から支持体の周縁部に移動させて行うことも好ましい。この際、ノズルの支持体中心部から周縁部へ移動させるにあたり、ノズルの移動速度を徐々に低下させながら移動させてもよい。このようにしてリンスを行うことで、リンスの面内ばらつきを抑制できる。また、ノズルを支持体中心部から周縁部へ移動させつつ、支持体の回転速度を徐々に低下させても同様の効果が得られる。
【0243】
現像後、乾燥を施した後に追加露光処理や加熱処理（ポストベーク）を行うことが好ましい。追加露光処理やポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の硬化処理である。ポストベークにおける加熱温度は、例えば１００～２４０℃が好ましく、２００～２４０℃がより好ましい。ポストベークは、現像後の膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。追加露光処理を行う場合、露光に用いられる光は、波長４００ｎｍ以下の光であることが好ましい。また、追加露光処理は、韓国公開特許第１０－２０１７－０１２２１３０号公報に記載された方法で行ってもよい。
【0244】
＜固体撮像素子＞
本発明の固体撮像素子は、上述した本発明の硬化膜を有する。固体撮像素子の好ましい一態様としては、上述した本発明の硬化膜がシアン色画素であり、更に、イエロー色画素とマゼンタ色画素とを含む態様が挙げられる。
本発明の固体撮像素子は、上述した本発明の硬化膜を有する。固体撮像素子の好ましい一態様としては、上述した本発明の硬化膜がシアン色画素であり、更に、イエロー色画素とマゼンタ色画素とを含む態様が挙げられる。
【0245】
本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明の硬化膜を備え、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
【0246】
基板上に、固体撮像素子（ＣＣＤ（電荷結合素子）イメージセンサ、ＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）イメージセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、カラーフィルタを有する構成である。更に、デバイス保護膜上であってカラーフィルタの下（基板に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。また、カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各着色画素が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各着色画素よりも低屈折率であることが好ましい。このような構造を有する撮像装置の例としては、特開２０１２－２２７４７８号公報、特開２０１４－１７９５７７号公報、国際公開第２０１８／０４３６５４号、米国特許出願公開第２０１８／００４０６５６号明細書に記載の装置が挙げられる。本発明の固体撮像素子を備えた撮像装置は、デジタルカメラや、撮像機能を有する電子機器（携帯電話等）の他、車載カメラや監視カメラ用としても用いることができる。
【0247】
＜画像表示装置＞
本発明の画像表示装置は、上述した本発明の硬化膜を有する。画像表示装置としては、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などが挙げられる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木昭夫著、（株）工業調査会、１９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田龍男編集、（株）工業調査会、１９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
本発明の画像表示装置は、上述した本発明の硬化膜を有する。画像表示装置としては、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などが挙げられる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木昭夫著、（株）工業調査会、１９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田龍男編集、（株）工業調査会、１９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
【実施例】
【0248】
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。
【0249】
＜重量平均分子量（Ｍｗ）の測定＞
樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、以下の条件に従って、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）によって測定した。
カラムの種類：ＴＯＳＯＨ ＴＳＫｇｅｌ Ｓｕｐｅｒ ＨＺＭ－Ｈと、ＴＯＳＯＨ ＴＳＫｇｅｌ Ｓｕｐｅｒ ＨＺ４０００と、ＴＯＳＯＨ ＴＳＫｇｅｌ Ｓｕｐｅｒ ＨＺ２０００とを連結したカラム
展開溶剤：テトラヒドロフラン
カラム温度：４０℃
流量（サンプル注入量）：１．０μＬ（サンプル濃度０．１質量％）
装置名：東ソー（株）製 ＨＬＣ－８２２０ＧＰＣ
検出器：ＲＩ（屈折率）検出器
検量線ベース樹脂：ポリスチレン樹脂
樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、以下の条件に従って、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）によって測定した。
カラムの種類：ＴＯＳＯＨ ＴＳＫｇｅｌ Ｓｕｐｅｒ ＨＺＭ－Ｈと、ＴＯＳＯＨ ＴＳＫｇｅｌ Ｓｕｐｅｒ ＨＺ４０００と、ＴＯＳＯＨ ＴＳＫｇｅｌ Ｓｕｐｅｒ ＨＺ２０００とを連結したカラム
展開溶剤：テトラヒドロフラン
カラム温度：４０℃
流量（サンプル注入量）：１．０μＬ（サンプル濃度０．１質量％）
装置名：東ソー（株）製 ＨＬＣ－８２２０ＧＰＣ
検出器：ＲＩ（屈折率）検出器
検量線ベース樹脂：ポリスチレン樹脂
【0250】
＜酸価の測定方法＞
測定サンプルをテトラヒドロフラン／水＝９／１（質量比）混合溶液に溶解し、得られた溶液を２５℃において、電位差滴定装置（商品名：ＡＴ－５１０、京都電子工業製）を用いて、０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液で中和滴定した。滴定ｐＨ曲線の変曲点を滴定終点として、次式により酸価を算出した。
Ａ＝５６．１１×Ｖｓ×０．１×ｆ／ｗ
Ａ：酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）
Ｖｓ：滴定に要した０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液の使用量（ｍＬ）
ｆ：０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液の力価
ｗ：測定サンプルの質量（ｇ）（固形分換算）
測定サンプルをテトラヒドロフラン／水＝９／１（質量比）混合溶液に溶解し、得られた溶液を２５℃において、電位差滴定装置（商品名：ＡＴ－５１０、京都電子工業製）を用いて、０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液で中和滴定した。滴定ｐＨ曲線の変曲点を滴定終点として、次式により酸価を算出した。
Ａ＝５６．１１×Ｖｓ×０．１×ｆ／ｗ
Ａ：酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）
Ｖｓ：滴定に要した０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液の使用量（ｍＬ）
ｆ：０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液の力価
ｗ：測定サンプルの質量（ｇ）（固形分換算）
【0251】
＜アミン価の測定方法＞
測定サンプルを酢酸に溶解し、得られた溶液を２５℃において、電位差滴定装置（商品名：ＡＴ－５１０、京都電子工業製）を用いて、０．１ｍｏｌ／Ｌ過塩素酸／酢酸溶液で中和滴定した。滴定ｐＨ曲線の変曲点を滴定終点として次式によりアミン価を算出した。
Ｂ＝５６．１１×Ｖｓ×０．１×ｆ／ｗ
Ｂ：アミン価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）
Ｖｓ：滴定に要した０．１ｍｏｌ／Ｌ過塩素酸／酢酸溶液の使用量（ｍＬ）
ｆ：０．１ｍｏｌ／Ｌ過塩素酸／酢酸溶液の力価
ｗ：測定サンプルの質量（ｇ）（固形分換算）
測定サンプルを酢酸に溶解し、得られた溶液を２５℃において、電位差滴定装置（商品名：ＡＴ－５１０、京都電子工業製）を用いて、０．１ｍｏｌ／Ｌ過塩素酸／酢酸溶液で中和滴定した。滴定ｐＨ曲線の変曲点を滴定終点として次式によりアミン価を算出した。
Ｂ＝５６．１１×Ｖｓ×０．１×ｆ／ｗ
Ｂ：アミン価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）
Ｖｓ：滴定に要した０．１ｍｏｌ／Ｌ過塩素酸／酢酸溶液の使用量（ｍＬ）
ｆ：０．１ｍｏｌ／Ｌ過塩素酸／酢酸溶液の力価
ｗ：測定サンプルの質量（ｇ）（固形分換算）
【0252】
＜顔料の平均二次粒子径の測定方法＞
顔料の平均二次粒子径は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を使用して、電子顕微鏡写真から顔料の二次粒子の大きさを直接計測して測定した。具体的には、個々の顔料の二次粒子の短軸径と長軸径を計測し、平均をその顔料の粒径とした。次に、１００個の顔料のそれぞれについて、それぞれの顔料の体積を、求めた粒径の立方体と近似して求め、体積平均粒径を平均二次粒子径とした。
顔料の平均二次粒子径は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を使用して、電子顕微鏡写真から顔料の二次粒子の大きさを直接計測して測定した。具体的には、個々の顔料の二次粒子の短軸径と長軸径を計測し、平均をその顔料の粒径とした。次に、１００個の顔料のそれぞれについて、それぞれの顔料の体積を、求めた粒径の立方体と近似して求め、体積平均粒径を平均二次粒子径とした。
【0253】
＜感光性樹脂組成物の調製＞
下記表に記載の種類の着色剤と、下記表に記載の種類の分散剤と、下記表に記載の溶剤の一部とを混合し、直径０．３ｍｍのジルコニアビーズ２３０質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて５時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して、固形分２０重量％の顔料分散液を製造した。
次に、得られた顔料分散液と、下記表に記載の種類の溶剤の残りと、下記表に記載の種類の後添樹脂と、下記表に記載の種類の重合性化合物と、下記表に記載の種類の光重合開始剤と、下記表に記載の種類の紫外線吸収剤と、を混合して感光性樹脂組成物を調製した。下記表に、感光性樹脂組成物中の各成分の配合量を示す。各成分の数値は質量部である。併せて、着色剤中のＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３（ＰＢ１５：３）とＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４（ＰＢ１５：４）との合計の含有量（質量％）、感光性組成物の全固形分中における紫外線吸収剤の含有量（質量％）、光重合開始剤１００質量部に対する紫外線吸収剤の含有量（質量部）、重合性化合物１００質量部に対する紫外線吸収剤の含有量（質量部）を示す。なお、下記表に示すＹｅｌｌｏｗ組成物およびＭａｇｅｎｔａ組成物は後述する混色評価用感光性樹脂組成物である。
下記表に記載の種類の着色剤と、下記表に記載の種類の分散剤と、下記表に記載の溶剤の一部とを混合し、直径０．３ｍｍのジルコニアビーズ２３０質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて５時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して、固形分２０重量％の顔料分散液を製造した。
次に、得られた顔料分散液と、下記表に記載の種類の溶剤の残りと、下記表に記載の種類の後添樹脂と、下記表に記載の種類の重合性化合物と、下記表に記載の種類の光重合開始剤と、下記表に記載の種類の紫外線吸収剤と、を混合して感光性樹脂組成物を調製した。下記表に、感光性樹脂組成物中の各成分の配合量を示す。各成分の数値は質量部である。併せて、着色剤中のＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３（ＰＢ１５：３）とＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４（ＰＢ１５：４）との合計の含有量（質量％）、感光性組成物の全固形分中における紫外線吸収剤の含有量（質量％）、光重合開始剤１００質量部に対する紫外線吸収剤の含有量（質量部）、重合性化合物１００質量部に対する紫外線吸収剤の含有量（質量部）を示す。なお、下記表に示すＹｅｌｌｏｗ組成物およびＭａｇｅｎｔａ組成物は後述する混色評価用感光性樹脂組成物である。
【0254】
【表1】
【0255】
【表2】
【0256】
上記表中、略語で記載した原料は以下の通りである。
（着色剤）
ＰＢ１５：３ ： Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３（平均二次粒子径６８ｎｍ）
ＰＢ１５：４ ： Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４（平均二次粒子径７１ｎｍ）
ＰｃＡｌ ： 下記構造の化合物（アルミニウムフタロシアニン、平均二次粒子径９４ｎｍ）
ＰＹ１５０ ： Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０（平均二次粒子径８１ｎｍ）
ＰＧ７ ： Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７（平均二次粒子径８０ｎｍ）
ＰＲ１２２ ： Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２（平均二次粒子径６７ｎｍ）
（着色剤）
ＰＢ１５：３ ： Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３（平均二次粒子径６８ｎｍ）
ＰＢ１５：４ ： Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４（平均二次粒子径７１ｎｍ）
ＰｃＡｌ ： 下記構造の化合物（アルミニウムフタロシアニン、平均二次粒子径９４ｎｍ）
【化26】
ＰＧ７ ： Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７（平均二次粒子径８０ｎｍ）
ＰＲ１２２ ： Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２（平均二次粒子径６７ｎｍ）
【0257】
（分散剤、後添樹脂）
Ｐ１：ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ－２００１（ビックケミー・ジャパン社製、酸価１９ｍｇＫＯＨ／ｇ、アミン価２９ｍｇＫＯＨ／ｇ、アクリル樹脂）
Ｐ２：Ｅｆｋａ ＰＸ ４３００（ＢＡＳＦ社製、アミン価５７ｍｇＫＯＨ／ｇ、アクリル樹脂）
Ｐ３：下記構造の樹脂（重量平均分子量＝１００００、酸価３１．５ｍｇＫＯＨ／ｇ、アミン価０ｍｇＫＯＨ／ｇ、主鎖に付記した数値は繰り返し単位のモル比を表す。）
Ｐ４：下記構造の樹脂（重量平均分子量＝２４０００、酸価５２．５ｍｇＫＯＨ／ｇ、アミン価０ｍｇＫＯＨ／ｇ、主鎖に付記した数値は繰り返し単位のモル比を表し、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数を表す。）
Ｐ５：下記構造の樹脂（重量平均分子量＝２１０００、酸価３６．０ｍｇＫＯＨ／ｇ、アミン価４７ｍｇＫＯＨ／ｇ、ｘ＝４８，ｙ＝１２，ａ／ｂ／ｃ／ｄ／ｅ＝３６／４／３５／１／２４（モル比））
Ｐ６：下記構造の樹脂（重量平均分子量＝１２０００、酸価１９５．４ｍｇＫＯＨ／ｇ、アミン価０ｍｇＫＯＨ／ｇ、主鎖に付記した数値は繰り返し単位のモル比を表す。）
Ｐ１：ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ－２００１（ビックケミー・ジャパン社製、酸価１９ｍｇＫＯＨ／ｇ、アミン価２９ｍｇＫＯＨ／ｇ、アクリル樹脂）
Ｐ２：Ｅｆｋａ ＰＸ ４３００（ＢＡＳＦ社製、アミン価５７ｍｇＫＯＨ／ｇ、アクリル樹脂）
Ｐ３：下記構造の樹脂（重量平均分子量＝１００００、酸価３１．５ｍｇＫＯＨ／ｇ、アミン価０ｍｇＫＯＨ／ｇ、主鎖に付記した数値は繰り返し単位のモル比を表す。）
【化27】
【化28】
【化29】
【化30】
【0258】
（重合性化合物）
Ｍ１：下記構造の化合物
Ｍ２：下記構造の化合物の混合物（左側の化合物：右側の化合物＝７：３（質量比））
Ｍ３：下記構造の化合物（ｌ＋ｍ＋ｎ＋ｏ＋ｐ＋ｑ＝１２）
Ｍ４：下記構造の化合物
Ｍ１：下記構造の化合物
【化31】
【化32】
【化33】
【化34】
【0259】
（光重合開始剤）
Ｉ１：下記構造の化合物（α－アミノケトン化合物）
Ｉ２：下記構造の化合物（オキシム化合物）
Ｉ１：下記構造の化合物（α－アミノケトン化合物）
Ｉ２：下記構造の化合物（オキシム化合物）
【化35】
【0260】
（紫外線吸収剤）
Ｕ１：下記構造の化合物（共役ジエン化合物）
Ｕ２：下記構造の化合物（トリアジン化合物）
Ｕ３：下記構造の化合物（ベンゾトリアゾール化合物）
Ｕ１：下記構造の化合物（共役ジエン化合物）
Ｕ２：下記構造の化合物（トリアジン化合物）
Ｕ３：下記構造の化合物（ベンゾトリアゾール化合物）
【化36】
【0261】
（界面活性剤）
Ｗ１：下記構造の化合物（フッ素系界面活性剤、重量平均分子量＝１４０００、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。）
Ｗ１：下記構造の化合物（フッ素系界面活性剤、重量平均分子量＝１４０００、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。）
【化37】
【0262】
（その他添加剤）
Ｘ１：２，２－ビス（ヒドロキシメチル）－１－ブタノールの１，２－エポキシ－４－（２－オキシラニル）シクロヘキサン付加物（下記構造の化合物、エポキシ化合物）
Ｘ２：下記構造の化合物（シランカップリング剤）
Ｘ１：２，２－ビス（ヒドロキシメチル）－１－ブタノールの１，２－エポキシ－４－（２－オキシラニル）シクロヘキサン付加物（下記構造の化合物、エポキシ化合物）
【化38】
【化39】
【0263】
（溶剤）
Ｓ１：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
Ｓ２：プロピレングリコールモノメチルエーテル
Ｓ１：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
Ｓ２：プロピレングリコールモノメチルエーテル
【0264】
＜評価＞
（シアン色としての分光特性の評価）
ガラス基板上に、感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布し、次いで、ホットプレートを使用して１００℃１２０秒加熱処理（プリベーク）し、次いでｉ線で１０００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光し、次いで、２００℃で５分間加熱を行い、厚さ０．６μｍの硬化膜を作製した。得られた硬化膜について、大塚電子（株）製のＭＣＰＤ－３０００を用い、４００～７００ｎｍの範囲の光透過率（透過率）を測定した。４００～５３０ｎｍの透過率の平均値をＴ１、６１０～７００ｎｍの透過率の平均値をＴ２、５０％透過率をλ５０としたときに、以下の基準でシアン色としての分光特性を判断した。以下３項目を全て満たしている場合をＡ、２項目のみ満たしている場合をＢ、１項目のみ満たしている場合をＣ、いずれも満たしていない場合をＤとした。
・Ｔ１が７０％以上である。
・Ｔ２が３０％以下である。
・λ５０が５４０～５９０ｎｍの範囲内である。
（シアン色としての分光特性の評価）
ガラス基板上に、感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布し、次いで、ホットプレートを使用して１００℃１２０秒加熱処理（プリベーク）し、次いでｉ線で１０００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光し、次いで、２００℃で５分間加熱を行い、厚さ０．６μｍの硬化膜を作製した。得られた硬化膜について、大塚電子（株）製のＭＣＰＤ－３０００を用い、４００～７００ｎｍの範囲の光透過率（透過率）を測定した。４００～５３０ｎｍの透過率の平均値をＴ１、６１０～７００ｎｍの透過率の平均値をＴ２、５０％透過率をλ５０としたときに、以下の基準でシアン色としての分光特性を判断した。以下３項目を全て満たしている場合をＡ、２項目のみ満たしている場合をＢ、１項目のみ満たしている場合をＣ、いずれも満たしていない場合をＤとした。
・Ｔ１が７０％以上である。
・Ｔ２が３０％以下である。
・λ５０が５４０～５９０ｎｍの範囲内である。
【0265】
（耐光性の評価）
ガラス基板上に、感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布し、次いで、ホットプレートを使用して１００℃１２０秒加熱処理（プリベーク）し、次いでｉ線で１０００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光し、次いで、２００℃で５分間加熱を行い、厚さ０．６μｍの硬化膜を作製した。得られた硬化膜について、大塚電子（株）製のＭＣＰＤ－３０００を用い、波長４００～７００ｎｍの範囲の光透過率（透過率）を測定した。次に、上記で作製した硬化膜に対し、耐光試験機（スーパーキセノンウェザーメーターＳＸ７５、スガ試験機株式会社製）を用いて１０００００Ｌｕｘの光を１０００時間かけて照射した（総照射量１億Ｌｕｘ・ｈｒ）。光照射後の硬化膜の透過率を測定し、以下の基準にて耐光性を評価した。
Ａ：光照射後の硬化膜の波長４００～７００ｎｍの透過率の積算値が、光照射前の硬化膜の波長４００～７００ｎｍの透過率の積算値の９７％以上である。
Ｂ：光照射後の硬化膜の波長４００～７００ｎｍの透過率の積算値が、光照射前の硬化膜の波長４００～７００ｎｍの透過率の積算値の９５％以上９７％未満である。
Ｃ：光照射後の硬化膜の波長４００～７００ｎｍの透過率の積算値が、光照射前の硬化膜の波長４００～７００ｎｍの透過率の積算値の９５％未満である。
ガラス基板上に、感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布し、次いで、ホットプレートを使用して１００℃１２０秒加熱処理（プリベーク）し、次いでｉ線で１０００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光し、次いで、２００℃で５分間加熱を行い、厚さ０．６μｍの硬化膜を作製した。得られた硬化膜について、大塚電子（株）製のＭＣＰＤ－３０００を用い、波長４００～７００ｎｍの範囲の光透過率（透過率）を測定した。次に、上記で作製した硬化膜に対し、耐光試験機（スーパーキセノンウェザーメーターＳＸ７５、スガ試験機株式会社製）を用いて１０００００Ｌｕｘの光を１０００時間かけて照射した（総照射量１億Ｌｕｘ・ｈｒ）。光照射後の硬化膜の透過率を測定し、以下の基準にて耐光性を評価した。
Ａ：光照射後の硬化膜の波長４００～７００ｎｍの透過率の積算値が、光照射前の硬化膜の波長４００～７００ｎｍの透過率の積算値の９７％以上である。
Ｂ：光照射後の硬化膜の波長４００～７００ｎｍの透過率の積算値が、光照射前の硬化膜の波長４００～７００ｎｍの透過率の積算値の９５％以上９７％未満である。
Ｃ：光照射後の硬化膜の波長４００～７００ｎｍの透過率の積算値が、光照射前の硬化膜の波長４００～７００ｎｍの透過率の積算値の９５％未満である。
【0266】
（矩形性の評価）
直径８インチ（１インチ＝２５．４ｍｍ）のシリコンウエハをオーブン中で２００℃のもと３０分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハ上に、下塗り用レジスト液（ＣＴ－４０００、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を乾燥膜厚が０．１μｍになるように塗布し、さらに２２０℃のオーブン中で１時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハ基板を得た。
感光性樹脂組成物を、上記で作製した下塗り層付シリコンウエハ基板の下塗り層上に塗布した。次いで、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行なった。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ－３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して３６５ｎｍの波長で、パターンを有するマスクを通して５００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光した。マスクは１．４μｍ×１．４μｍのアイランドパターンを有するマスクを用いた。
次いで、照射された塗布膜が形成されている基板をスピン・シャワー現像機（ＤＷ－３０型、（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、アルカリ現像液（ＣＤ－２０６０、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて室温で６０秒間パドル現像を行った。次いで、パドル現像後の基板を、真空チャック方式で水平回転テーブルに固定し、回転装置によってシリコンウエハを回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理（２３秒×２回）を行い、次いで、スピン乾燥を行い、次いで、２００℃で３００秒間、ホットプレートを用いて加熱処理（ポストベーク）を行い、硬化膜のパターン（画素）を形成した。
得られた硬化膜のパターンを裁断し、硬化膜のパターンの断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用い、２００００倍に拡大して観察し、以下の基準で矩形性を評価した。
Ａ：硬化膜のパターンの基板側（基板と接している側）の表面の幅が、基板と反対側の表面の幅の９０％以上、１３０％以下である。
Ｂ：硬化膜のパターンの基板側（基板と接している側）の表面の幅が、基板と反対側の表面の幅の８０％以上９０％未満であるか、または、１３０％を超え１６０％未満である。
Ｃ：硬化膜のパターンの基板側（基板と接している側）の表面の幅が、基板と反対側の表面の幅の８０％未満であるか、または、１６０％以上である。または、現像により剥がれてしまい、硬化膜のパターンを形成できなかった。
直径８インチ（１インチ＝２５．４ｍｍ）のシリコンウエハをオーブン中で２００℃のもと３０分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハ上に、下塗り用レジスト液（ＣＴ－４０００、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を乾燥膜厚が０．１μｍになるように塗布し、さらに２２０℃のオーブン中で１時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハ基板を得た。
感光性樹脂組成物を、上記で作製した下塗り層付シリコンウエハ基板の下塗り層上に塗布した。次いで、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行なった。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ－３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して３６５ｎｍの波長で、パターンを有するマスクを通して５００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光した。マスクは１．４μｍ×１．４μｍのアイランドパターンを有するマスクを用いた。
次いで、照射された塗布膜が形成されている基板をスピン・シャワー現像機（ＤＷ－３０型、（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、アルカリ現像液（ＣＤ－２０６０、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて室温で６０秒間パドル現像を行った。次いで、パドル現像後の基板を、真空チャック方式で水平回転テーブルに固定し、回転装置によってシリコンウエハを回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理（２３秒×２回）を行い、次いで、スピン乾燥を行い、次いで、２００℃で３００秒間、ホットプレートを用いて加熱処理（ポストベーク）を行い、硬化膜のパターン（画素）を形成した。
得られた硬化膜のパターンを裁断し、硬化膜のパターンの断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用い、２００００倍に拡大して観察し、以下の基準で矩形性を評価した。
Ａ：硬化膜のパターンの基板側（基板と接している側）の表面の幅が、基板と反対側の表面の幅の９０％以上、１３０％以下である。
Ｂ：硬化膜のパターンの基板側（基板と接している側）の表面の幅が、基板と反対側の表面の幅の８０％以上９０％未満であるか、または、１３０％を超え１６０％未満である。
Ｃ：硬化膜のパターンの基板側（基板と接している側）の表面の幅が、基板と反対側の表面の幅の８０％未満であるか、または、１６０％以上である。または、現像により剥がれてしまい、硬化膜のパターンを形成できなかった。
【0267】
（欠陥の評価）
直径８インチ（１インチ＝２５．４ｍｍ）のシリコンウエハをオーブン中で２００℃のもと３０分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハ上に、下塗り用レジスト液（ＣＴ－４０００、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を乾燥膜厚が０．１μｍになるように塗布し、さらに２２０℃のオーブン中で１時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハ基板を得た。
感光性樹脂組成物を、上記で作製した下塗り層付シリコンウエハ基板の下塗り層上に塗布した。次いで、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行なった。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ－３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して３６５ｎｍの波長で、パターンを有するマスクを通して５００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光した。マスクは１．４μｍ×１．４μｍのアイランドパターンを２．８μｍ×２．８μｍの周期で形成可能なものを用い、１１ｍｍ×１１ｍｍのサイズのショットをウエハの外周３ｍｍを除く全領域に露光した。
次いで、照射された塗布膜が形成されている基板をスピン・シャワー現像機（ＤＷ－３０型、（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、アルカリ現像液（ＣＤ－２０６０、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて室温で６０秒間パドル現像を行った。次いで、パドル現像後の基板を、真空チャック方式で水平回転テーブルに固定し、回転装置によってシリコンウエハを回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理（２３秒×２回）を行い、次いで、スピン乾燥を行い、次いで、２００℃で３００秒間、ホットプレートを用いて加熱処理（ポストベーク）を行い、硬化膜のパターン（画素）を形成した。得られた硬化膜のパターンの欠陥数について、ウエハ欠陥評価装置（ＣｏｍＰＬＵＳ３、ＡＭＡＴ社製）を用いて検査した。評価は以下の基準により欠陥の評価を行った。
Ａ：８インチウエハ内の総欠陥数≦３０
Ｂ：３０＜８インチウエハ内の総欠陥数≦１００
Ｃ：１００＜８インチウエハ内の総欠陥数
直径８インチ（１インチ＝２５．４ｍｍ）のシリコンウエハをオーブン中で２００℃のもと３０分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハ上に、下塗り用レジスト液（ＣＴ－４０００、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を乾燥膜厚が０．１μｍになるように塗布し、さらに２２０℃のオーブン中で１時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハ基板を得た。
感光性樹脂組成物を、上記で作製した下塗り層付シリコンウエハ基板の下塗り層上に塗布した。次いで、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行なった。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ－３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して３６５ｎｍの波長で、パターンを有するマスクを通して５００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光した。マスクは１．４μｍ×１．４μｍのアイランドパターンを２．８μｍ×２．８μｍの周期で形成可能なものを用い、１１ｍｍ×１１ｍｍのサイズのショットをウエハの外周３ｍｍを除く全領域に露光した。
次いで、照射された塗布膜が形成されている基板をスピン・シャワー現像機（ＤＷ－３０型、（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、アルカリ現像液（ＣＤ－２０６０、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて室温で６０秒間パドル現像を行った。次いで、パドル現像後の基板を、真空チャック方式で水平回転テーブルに固定し、回転装置によってシリコンウエハを回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理（２３秒×２回）を行い、次いで、スピン乾燥を行い、次いで、２００℃で３００秒間、ホットプレートを用いて加熱処理（ポストベーク）を行い、硬化膜のパターン（画素）を形成した。得られた硬化膜のパターンの欠陥数について、ウエハ欠陥評価装置（ＣｏｍＰＬＵＳ３、ＡＭＡＴ社製）を用いて検査した。評価は以下の基準により欠陥の評価を行った。
Ａ：８インチウエハ内の総欠陥数≦３０
Ｂ：３０＜８インチウエハ内の総欠陥数≦１００
Ｃ：１００＜８インチウエハ内の総欠陥数
【0268】
（混色の評価）
感光性樹脂組成物を、直径８インチ（１インチ＝２５．４ｍｍ）のシリコンウエハ上に塗布した。次いで、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行なった。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ－３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して３６５ｎｍの波長で５００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光した。マスクは２ｃｍ×２ｃｍのアイランドパターンを有するマスクを用いた。次いで、照射された塗布膜が形成されている基板をスピン・シャワー現像機（ＤＷ－３０型、（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、アルカリ現像液（ＣＤ－２０６０、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて室温で６０秒間パドル現像を行った。次いで、パドル現像後の基板を、真空チャック方式で水平回転テーブルに固定し、回転装置によってシリコンウエハを回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理（２３秒×２回）を行い、次いで、スピン乾燥を行い、次いで、２００℃で３００秒間、ホットプレートを用いて加熱処理（ポストベーク）を行い、硬化膜のパターンを形成した。
得られた硬化膜のパターンについて、大塚電子（株）製のＭＣＰＤ－３０００を用い、波長４００～７００ｎｍの範囲の光透過率（透過率）を測定した。
次に、上記で作製した硬化膜のパターン上に、混色評価用感光性樹脂組成物をスピンコートし、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行い厚さ０．６μｍの塗布膜を形成した。混色評価用感光性樹脂組成物としては、上述したＹｅｌｌｏｗ組成物およびＭａｇｅｎｔａ組成物を用いた。
次いで、混色評価用感光性樹脂組成物の塗布膜が形成されている基板をスピン・シャワー現像機（ＤＷ－３０型、（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、アルカリ現像液（ＣＤ－２０６０、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて室温で６０秒間パドル現像を行い、混色評価用感光性樹脂組成物の塗布膜を剥離した。次いで、パドル現像後の基板を、真空チャック方式で水平回転テーブルに固定し、回転装置によってシリコンウエハを回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理（２３秒×２回）を行い、次いで、スピン乾燥を行い混色評価試験を行った。
混色評価試験後の硬化膜のパターンについて、大塚電子（株）製のＭＣＰＤ－３０００を用い、波長４００～７００ｎｍの範囲の光透過率（透過率）を測定し、透過率の積算値の変化量を求め、以下の基準にて混色を評価した。
Ａ：透過率の積算値の変化量が１％未満である
Ｂ：透過率の積算値の変化量が１％以上１．５％未満である
Ｃ：透過率の積算値の変化量が１．５％以上である
感光性樹脂組成物を、直径８インチ（１インチ＝２５．４ｍｍ）のシリコンウエハ上に塗布した。次いで、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行なった。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ－３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して３６５ｎｍの波長で５００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光した。マスクは２ｃｍ×２ｃｍのアイランドパターンを有するマスクを用いた。次いで、照射された塗布膜が形成されている基板をスピン・シャワー現像機（ＤＷ－３０型、（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、アルカリ現像液（ＣＤ－２０６０、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて室温で６０秒間パドル現像を行った。次いで、パドル現像後の基板を、真空チャック方式で水平回転テーブルに固定し、回転装置によってシリコンウエハを回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理（２３秒×２回）を行い、次いで、スピン乾燥を行い、次いで、２００℃で３００秒間、ホットプレートを用いて加熱処理（ポストベーク）を行い、硬化膜のパターンを形成した。
得られた硬化膜のパターンについて、大塚電子（株）製のＭＣＰＤ－３０００を用い、波長４００～７００ｎｍの範囲の光透過率（透過率）を測定した。
次に、上記で作製した硬化膜のパターン上に、混色評価用感光性樹脂組成物をスピンコートし、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行い厚さ０．６μｍの塗布膜を形成した。混色評価用感光性樹脂組成物としては、上述したＹｅｌｌｏｗ組成物およびＭａｇｅｎｔａ組成物を用いた。
次いで、混色評価用感光性樹脂組成物の塗布膜が形成されている基板をスピン・シャワー現像機（ＤＷ－３０型、（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、アルカリ現像液（ＣＤ－２０６０、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて室温で６０秒間パドル現像を行い、混色評価用感光性樹脂組成物の塗布膜を剥離した。次いで、パドル現像後の基板を、真空チャック方式で水平回転テーブルに固定し、回転装置によってシリコンウエハを回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理（２３秒×２回）を行い、次いで、スピン乾燥を行い混色評価試験を行った。
混色評価試験後の硬化膜のパターンについて、大塚電子（株）製のＭＣＰＤ－３０００を用い、波長４００～７００ｎｍの範囲の光透過率（透過率）を測定し、透過率の積算値の変化量を求め、以下の基準にて混色を評価した。
Ａ：透過率の積算値の変化量が１％未満である
Ｂ：透過率の積算値の変化量が１％以上１．５％未満である
Ｃ：透過率の積算値の変化量が１．５％以上である
【0269】
【表3】
【0270】
【表4】
【0271】
【表5】
【0272】
上記表に示す通り、実施例は、シアン色としての分光特性、耐光性および混色の評価が優れていた。
【0273】
（実施例１００）
シリコンウエハ上に、Ｃｙａｎ組成物を製膜後の膜厚が１．０μｍになるようにスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用いて、１００℃で２分間加熱した。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ－３０００ｉ５＋（キヤノン（株）製）を用い、１０００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で２μｍ四方のドットパターンのマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）０．３質量％水溶液を用い、２３℃で６０秒間パドル現像を行った。その後、スピン・シャワーにてリンスを行い、更に純水にて水洗した。次いで、ホットプレートを用いて、２００℃で５分間加熱することで、Ｃｙａｎ組成物をパターニングした。同様にＹｅｌｌｏｗ組成物、Ｍａｇｅｎｔａ組成物を順次パターニングし、シアン、イエロー及びマゼンタの着色パターン（ベイヤーパターン）を形成してカラーフィルタを製造した。
Ｃｙａｎ組成物としては、実施例２の感光性樹脂組成物を使用した。
Ｙｅｌｌｏｗ組成物、Ｍａｇｅｎｔａ組成物としては、それぞれ上述したＹｅｌｌｏｗ組成物およびＭａｇｅｎｔａ組成物を使用した。
得られたカラーフィルタを公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。この固体撮像素子は好適な画像認識能を有していた。
シリコンウエハ上に、Ｃｙａｎ組成物を製膜後の膜厚が１．０μｍになるようにスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用いて、１００℃で２分間加熱した。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ－３０００ｉ５＋（キヤノン（株）製）を用い、１０００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で２μｍ四方のドットパターンのマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）０．３質量％水溶液を用い、２３℃で６０秒間パドル現像を行った。その後、スピン・シャワーにてリンスを行い、更に純水にて水洗した。次いで、ホットプレートを用いて、２００℃で５分間加熱することで、Ｃｙａｎ組成物をパターニングした。同様にＹｅｌｌｏｗ組成物、Ｍａｇｅｎｔａ組成物を順次パターニングし、シアン、イエロー及びマゼンタの着色パターン（ベイヤーパターン）を形成してカラーフィルタを製造した。
Ｃｙａｎ組成物としては、実施例２の感光性樹脂組成物を使用した。
Ｙｅｌｌｏｗ組成物、Ｍａｇｅｎｔａ組成物としては、それぞれ上述したＹｅｌｌｏｗ組成物およびＭａｇｅｎｔａ組成物を使用した。
得られたカラーフィルタを公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。この固体撮像素子は好適な画像認識能を有していた。