特許7587675加熱及びチャッキング能を有する静電チャック

発明の名称　加熱及びチャッキング能を有する静電チャック

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 41 位（525件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 34 位（513件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7587675

公報発行日　2024年11月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7587675

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