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公報発行日 2024年11月22
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本発明の球状AlN粒子は粒子表面が平滑であるため、従来よりも流動性に優れ、TIMとして適用可能な球状AlN粒子フィラーとして樹脂へ高充填することができ、TIMとして使用でき、特にパワーデバイス向け等のTIM分野に好適な球状AlNフィラーとなることができる。
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