特許 7589526 基板受け渡し方法、及び基板受け渡し装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-18

(45)【発行日】2024-11-26

(54)【発明の名称】基板受け渡し方法、及び基板受け渡し装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20241119BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20241119BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B65G49/07 D

【請求項の数】 16

(21)【出願番号】P 2020198968

(22)【出願日】2020-11-30

(65)【公開番号】P2022086777

(43)【公開日】2022-06-09

【審査請求日】2023-08-15

(73)【特許権者】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002756

【氏名又は名称】弁理士法人弥生特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】帯金 正

【審査官】鈴木 孝章

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１５－１３８８５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－３０５８６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－２３５８４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１６４９２９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ６５Ｇ ４９／０７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を収容した搬送容器が載置される複数の載置部を上下方向に並べて、これらの載置部が一体に昇降するように構成された昇降体と、前記昇降体を昇降させて、搬送容器が載置される各載置部を、各々外部搬送機構との間で搬送容器の受け渡しを行う受け渡し高さ位置、及び基板を処理する基板処理部に設けられた搬送口を介して搬送容器と基板処理部との間で基板の搬入出を行う搬入出高さ位置に昇降移動させる昇降機構と、を備えた基板受け渡し装置を用い、
搬送容器が載置された一の載置部を前記搬入出高さ位置に位置させて、前記搬送容器に収容された基板を基板処理部に搬入して処理を行い、処理後の基板を前記搬送容器に戻すように基板を搬入出する工程と、
前記外部搬送機構が、前記受け渡し高さ位置にて、前記一の載置部とは異なる他の載置部との間で搬送容器の受け渡しを行うにあたり、前記一の載置部に載置された前記搬送容器に対して、前記基板を搬入出する工程を実施していることにより、前記受け渡し高さ位置に前記他の載置部を位置させることができない場合には、前記搬入出する工程を一時停止する工程と、
続いて、前記受け渡し高さ位置に、前記他の載置部を位置させて、前記外部搬送機構と間での搬送容器の受け渡しを行う工程と、
前記他の載置部への搬送容器の受け渡しを行う工程を実施した後、前記一の載置部を前記搬入出高さ位置へ移動させて、当該一の載置部に載置されている前記搬送容器の残りの基板について、前記搬入出する工程を再開する工程と、を含む基板受け渡し方法。

【請求項2】

前記受け渡し高さ位置と、前記搬入出高さ位置とは、同じ高さ位置である、請求項１に記載の基板受け渡し方法。

【請求項3】

前記外部搬送機構と間での搬送容器の受け渡しを行う工程では、処理の終了した基板を収容した搬送容器の前記外部搬送機構への引き渡しを行う、請求項１または２に記載の基板受け渡し方法。

【請求項4】

前記一の載置部に載置された前記搬送容器についての前記基板を搬入出する工程は、前記他の載置部に載置された前記搬送容器について前記基板の搬入出が終了した後、前記受け渡し高さ位置との間で前記搬送容器の受け渡しを行う位置に前記外部搬送機構が到着するまでの期間中に実施される、請求項３に記載の基板受け渡し方法。

【請求項5】

前記他の載置部に載置された前記搬送容器の受け渡しを行う工程を実施するために、前記他の載置部に載置された前記搬送容器について前記基板の搬入出が終了した後、前記外部搬送機構を呼び出す工程を実施する、請求項３または４に記載の基板受け渡し方法。

【請求項6】

前記外部搬送機構を呼び出す工程は、前記一の載置部に載置された前記搬送容器についての前記基板を搬入出する工程を実施する前に実施する、請求項５に記載の基板受け渡し方法。

【請求項7】

前記一の載置部に載置された前記搬送容器についての前記基板を搬入出する工程は、前記他の載置部から、処理の終了した基板を収容した搬送容器を前記外部搬送機構へ引き渡した後、前記受け渡し高さ位置との間で前記搬送容器の受け渡しを行う位置に前記外部搬送機構が到着するまでの期間中に実施される、請求項１ないし６のいずれか一項に記載の基板受け渡し方法。

【請求項8】

前記搬送容器が、基板の取り出し口を塞ぐ蓋体を備える場合に、
前記基板受け渡し装置は、前記蓋体を開閉する蓋体開閉機構と、前記基板処理部と間で基板の受け渡しを行う高さ位置に位置し、前記蓋体を開いた搬送容器の取り出し口と、前記搬送口とを着脱する接続機構と、を備え、
前記基板の搬入出を行う期間のため、前記接続機構による前記蓋体が開放された搬送容器の取り出し口と、前記搬送口との接続と前記蓋体開閉機構による前記搬送容器の蓋体の開放と、を実施する工程と、
前記基板の搬入出を行わない期間のため、前記蓋体開閉機構による前記搬送容器の蓋体の閉止と、前記接続機構による前記搬送容器の取り出し口と、前記搬送口との接続の解除と、を実施する工程と、を含む、請求項１ないし７のいずれか一項に記載の基板受け渡し方法。

【請求項9】

基板を収容した搬送容器が載置される複数の載置部を上下方向に並べて、これらの載置部が一体に昇降するように構成された昇降体と、
前記昇降体を昇降させて、搬送容器が載置される各載置部を、各々外部搬送機構との間で搬送容器の受け渡しを行う受け渡し高さ位置、及び基板を処理する基板処理部に設けられた搬送口を介して搬送容器と基板処理部との間で基板の搬入出を行う搬入出高さ位置に昇降移動させる昇降機構と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、搬送容器が載置された一の載置部を前記搬入出高さ位置に位置させて、前記搬送容器に収容された基板を基板処理部に搬入して処理を行い、処理後の基板を前記搬送容器に戻すように基板を搬入出するステップと、前記外部搬送機構が、前記受け渡し高さ位置にて、前記一の載置部とは異なる他の載置部との間で搬送容器の受け渡しを行うにあたり、前記一の載置部に載置された前記搬送容器に対して、前記基板を搬入出するステップを実施していることにより、前記受け渡し高さ位置に前記他の載置部を位置させることができない場合には、前記搬入出するステップを一時停止するステップと、続いて、前記受け渡しを高さ位置に、前記他の載置部を位置させて、前記外部搬送機構と間での搬送容器の受け渡しを行うステップと、前記他の載置部への搬送容器の受け渡しを行うステップを実施した後、前記一の載置部を前記搬入出高さ位置へ移動させて、当該一の載置部に載置されている前記搬送容器の残りの基板について、前記搬入出するステップを再開するステップと、を繰り返す制御を実施するように構成された基板受け渡し装置。

【請求項10】

前記受け渡し高さ位置と、前記搬入出高さ位置とは、同じ高さ位置である、請求項９に記載の基板受け渡し装置。

【請求項11】

前記制御部は、前記外部搬送機構と間での搬送容器の受け渡しを行うステップでは、処理の終了した基板を収容した搬送容器の前記外部搬送機構への引き渡しを行う、請求項９または１０に記載の基板受け渡し装置。

【請求項12】

前記一の載置部に載置された前記搬送容器についての前記基板を搬入出するステップは、前記他の載置部に載置された前記搬送容器について前記基板の搬入出が終了した後、前記受け渡し高さ位置との間で前記搬送容器の受け渡しを行う位置に前記外部搬送機構が到着するまでの期間中に実施される、請求項１１に記載の基板受け渡し装置。

【請求項13】

前記制御部は、
前記他の載置部に載置された前記搬送容器の受け渡しを行うステップを実施するために、前記他の載置部に載置された前記搬送容器について前記基板の搬入出が終了した後、前記外部搬送機構を呼び出すステップを実施する、請求項１１または１２に記載の基板受け渡し装置。

【請求項14】

前記外部搬送機構を呼び出すステップは、前記一の載置部に載置された前記搬送容器についての前記基板を搬入出するステップを実施する前に実施する、請求項１３に記載の基板受け渡し装置。

【請求項15】

前記一の載置部に載置された前記搬送容器についての前記基板を搬入出するステップは、前記他の載置部から、処理の終了した基板を収容した搬送容器を前記外部搬送機構へ引き渡した後、前記受け渡し高さ位置との間で前記搬送容器の受け渡しを行う位置に前記外部搬送機構が到着するまでの期間中に実施される、請求項９ないし１４のいずれか一項に記載の基板受け渡し装置。

【請求項16】

前記搬送容器が、基板の取り出し口を塞ぐ蓋体を備える場合に、
前記基板受け渡し装置は、前記蓋体を開閉する蓋体開閉機構と、
前記基板処理部と間で基板の受け渡しを行う高さ位置に位置し、前記蓋体を開いた搬送容器の取り出し口と、前記搬送口とを着脱する接続機構と、を備え、
前記制御部は、
前記基板の搬入出を行う期間のため、前記接続機構による前記蓋体が開放された搬送容器の取り出し口と、前記搬送口との接続と、前記蓋体開閉機構による前記搬送容器の蓋体の開放と、を実施するステップと、
前記基板の搬入出を行わない期間のため、前記蓋体開閉機構による前記搬送容器の蓋体の閉止と、前記接続機構による前記搬送容器の取り出し口と前記搬送口との接続の解除と、を実施するステップと、を制御する用に構成される、請求項９ないし１５のいずれか一項に記載の基板受け渡し装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、基板受け渡し方法、及び基板受け渡し装置に関する。

【背景技術】

【0002】

基板を処理するにあたって、例えば基板である半導体ウエハ（以下「ウエハ」という）は、密閉型の搬送容器に収容されて、各基板処理装置を外部の搬送機構により搬送される。基板処理装置が、搬送容器が載置されるロードポートを備える場合には、外部搬送機構とロードポートとの間で搬送容器の受け渡しが行われる。そして基板処理装置に設けられた搬送アームにより、搬送容器からウエハが取り出されて基板処理部に搬入される。

【0003】

特許文献１には、被処理体を複数収容する筐体を載置し且つ側面に沿って互いに離間して配置された２つのロードポートを備えたローダ室が記載されている。さらにこのローダ室は、これらのロードポートの間に配置され、これらのロードポートと処理室との間で被処理体を搬送する搬送装置を備えている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００８－２３５８４５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本開示は、基板受け渡し装置の設置面積の増大を抑えつつ、効率的に搬送容器の入れ替えを行う技術を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の基板受け渡し方法は、基板を収容した搬送容器が載置される複数の載置部を上下方向に並べて、これらの載置部が一体に昇降するように構成された昇降体と、前記昇降体を昇降させて、搬送容器が載置される各載置部を、各々外部搬送機構との間で搬送容器の受け渡しを行う受け渡し高さ位置、及び基板を処理する基板処理部に設けられた搬送口を介して搬送容器と基板処理部との間で基板の搬入出を行う搬入出高さ位置に昇降移動させる昇降機構と、を備えた基板受け渡し装置を用い、
搬送容器が載置された一の載置部を前記搬入出高さ位置に位置させて、前記搬送容器に収容された基板を基板処理部に搬入して処理を行い、処理後の基板を前記搬送容器に戻すように基板を搬入出する工程と、
前記外部搬送機構が、前記受け渡し高さ位置にて、前記一の載置部とは異なる他の載置部との間で搬送容器の受け渡しを行うにあたり、前記一の載置部に載置された前記搬送容器に対して、前記基板を搬入出する工程を実施していることにより、前記受け渡し高さ位置に前記他の載置部を位置させることができない場合には、前記搬入出する工程を一時停止する工程と、
続いて、前記受け渡し高さ位置に、前記他の載置部を位置させて、前記外部搬送機構と間での搬送容器の受け渡しを行う工程と、
前記他の載置部への搬送容器の受け渡しを行う工程を実施した後、前記一の載置部を前記搬入出高さ位置へ移動させて、当該一の載置部に載置されている前記搬送容器の残りの基板について、前記搬入出する工程を再開する工程と、を含む。

【発明の効果】

【0007】

本開示によれば、基板受け渡し装置の設置面積の増大を抑えつつ、効率的に搬送容器の入れ替えを行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本開示に係るロードポートが適用されるプローブ装置の平面図である。

【図2】前記プローブ装置の一部を示す縦断側面図である。

【図3】本開示に係るロードポートの縦断側面図である。

【図4】前記ロードポートの第１の正面図である。

【図5】前記ロードポートの第２の正面図である。

【図6】前記プローブ装置における開閉ドアの開閉を説明する第１の縦断側面図である。

【図7】前記プローブ装置における開閉ドアの開閉を説明する第２の縦断側面図である。

【図8】本開示に係るロードポートの第１の作用図である。

【図9】本開示に係るロードポートの第２の作用図である。

【図10】本開示に係るロードポートの第３の作用図である。

【図11】本開示に係るロードポートの第４の作用図である。

【図12】本開示に係るロードポートの第５の作用図である。

【図13】本開示に係るロードポートの第６の作用図である。

【図14】本開示に係るロードポートの第７の作用図である。

【図15】本開示に係るロードポートの第８の作用図である。

【図16】本開示に係るロードポートの第９の作用図である。

【図17】本開示に係るロードポートの第１０の作用図である。

【図18】本開示に係るロードポートの第１１の作用図である。

【図19】本開示に係るロードポートの第１２の作用図である。

【図20】本開示に係るロードポートの第１３の作用図である。

【図21】他の実施形態に係るロードポートの第１の作用図である。

【図22】他の実施形態に係るロードポートの第２の作用図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

本開示にかかる基板受け渡し装置をプローブ装置のロードポートに適用した一実施形態について説明する。プローブ装置１０について図１、図２を用いて説明する。図１に示すようにプローブ装置１０は、基板であるウエハＷを搬送する搬送室１２を備え、搬送室１２の手前には、搬送容器Ｃが載置されるロードポート１１が設置されている。搬送容器Ｃは、例えば２５枚の基板であるウエハＷが収容されている。搬送容器Ｃの一側面には、ウエハＷの取り出し口７０が設けられ、取り出し口７０には、取り出し口７０を塞ぐ蓋体７１が設けられている。

【0010】

図２に示すように搬送室１２の正面壁には、ウエハＷを搬入出するための搬送口であるウエハ搬送口５０が一か所設けられる。ウエハ搬送口５０には搬送容器Ｃの蓋体７１と一緒に開閉される開閉ドア５１が取り付けられている。開閉ドア５１については後述する。また搬送室１２内には、ウエハＷを搬送するための搬送アーム４０が設けられている。搬送アーム４０は、基台４１に対して進退自在に構成され、ウエハＷを水平に支持する基板支持部４４を備えている。基台４１は回転軸４３により回転自在に構成されると共に、昇降機構４２により昇降自在に構成されている。搬送室１２の側方には、プローブ装置の本体部１４が接続されている。

【0011】

本体部１４は、例えばウエハＷに形成された被検査チップの電極パッドにプローブ針を電気的に接触させて当該被検査チップの電気的特性を調べる。搬送室１２、及び本体部１４は、基板処理部に相当する。

【0012】

プローブ装置１０によるウエハＷの処理について説明しておくと、搬送容器Ｃは、例えばＡＧＶ（Automatic Guided Vehicle）１００などの外部搬送機構からロードポート１１に受け渡される。搬送容器Ｃに収容されたウエハＷは、一枚ずつ取り出され、搬送室１２→本体部１４の経路で搬送されてプローブ検査が行われる。処理を終えた処理済みのウエハＷは、プローブ装置１０内を逆の経路で搬送されて、搬送容器Ｃへと戻される。

【0013】

一般にウエハＷを処理する処理装置においては、ウエハＷを収容した搬送容器Ｃを例えばＡＶＧ１００などの外部搬送機構により装置に搬送し、ロードポートに載置される搬送容器Ｃを入れ替えて順番にウエハＷの処理を行う。ここで処理装置の処理効率を上げるために搬送容器Ｃの入れ替えを行う間もできるだけ他の搬送容器Ｃ内のウエハＷの処理を行うことが好ましい。

【0014】

そこで例えばロードポートを横方向に複数並べて設置し、各ロードポートに搬送容器Ｃを搬送し、一のロードポートにおいて搬送容器Ｃの入れ替えを行うときに他のロードポートに載置された搬送容器Ｃ内のウエハＷの処理を行う手法が考えられる。しかしながらこの手法では、複数のロードポートの設置数が多くなることに伴い、装置全体のフットプリントが大きくなる問題がある。また複数の箇所に搬送容器Ｃを運ぶことになると外部搬送機構の搬送位置の位置合わせのためのティーチングが煩雑になる問題がある。
このような背景の元、本開示に係るプローブ装置１０は、装置のフットプリントが広がりを抑えながらプローブ装置１０の処理効率を向上させることができるロードポート１１を備えている。

【0015】

本開示のロードポート１１について図２～図５を参照して説明する。以下の説明では、便宜上、搬送室１２側を前方側、ロードポート１１側を後方側として説明する。
図２に示すように、ロードポート１１は、基台３０の上方に昇降体２０を配置した構成となっている。図４、図５に示すように昇降体２０は、上下方向に間隔を空けて並べられた天板２１、底板２２と、これら天板２１、底板２２を支える左右の側壁２３とを備え、前面と後面とが開放された筐体として構成されている。天板２１は、左右の周縁部が側壁２３よりも左右にはり出している。

【0016】

図２～図５に示すように、昇降体２０の天板２１の上面側及び底板２２の上面側には、各々搬送容器Ｃを載置する載置部であるステージ２５が設けられている。即ち昇降体２０には、２つのステージ２５が上下方向に並べて配置することが可能となっている。ステージ２５にはモータあるいはエアシリンダ等の駆動部を備えたステージ移動機構（図示せず）が設けられている。このステージ移動機構によって、ステージ２５は、前後方向に伸びるレール２４（図２には不図示）に沿って前進動作及び後退動作を行うことができる。ステージ２５は、搬送容器Ｃの取り出し口７０がウエハ搬送口５０と接続される位置まで前進させたロード位置と、このロード位置から後退して、ＡＧＶ１００との間で搬送容器Ｃの受け渡しが行われるアンロード位置との間で移動する。

【0017】

また基台３０の上方には、昇降体２０の周囲を囲む架構３１が設けられている。さらに図４、図５に示すように、昇降体２０の左右には、基台３０から上方に向けて伸び出す昇降機構であるエアシリンダ３３が、前後に２本ずつ並べて合計４本設けられている。
エアシリンダ３３は、シリンダチューブ３４と、シリンダチューブ３４内に設けられ先端が上方に突出したピストンロッド３５とを備えている。このエアシリンダ３３は、シリンダチューブ３４内へのエアの供給することで、ピストンロッド３５をシリンダチューブ３４の外に突出させる。本例ではピストンロッド３５の先端が上昇するように配置されている。ピストンロッド３５の先端は、昇降体２０の天板２１側の側壁２３からはり出した部位の下面に接続されピストンロッド３５を上昇させることで昇降体２０が上昇し、ピストンロッド３５を下降させることで昇降体２０が下降する。

【0018】

上述の昇降体２０の昇降動作に伴って、天板２１及び底板２２に設けられているステージ２５も一体となって昇降する。これにより昇降体２０は、外部搬送機構との間で搬送容器Ｃの受け渡しをする高さ位置（受け渡し高さ位置）及び、搬送室１２との間でウエハＷの搬入出を行う高さ位置（搬入出高さ位置）に、天板２１（上段）側、底板２２（下段）側の各ステージ２５を移動させることができる。本例では、搬送室１２との間でウエハＷの搬入出を行う高さ位置（搬入出高さ位置）と、ＡＧＶ１００との間で搬送容器Ｃの受け渡しを行う高さ位置（受け渡し高さ位置）とは、同じ高さに設定されている。以下の説明では、本例における搬入出高さ位置、受け渡し高さ位置を基準高さ位置ともいう。
図４は、上段側のステージ２５に載置された搬送容器Ｃを基準高さ位置に移動させた状態を示し、図５は、下段側のステージ２５に載置された搬送容器Ｃを基準高さ位置に移動させた状態を示している。

【0019】

また架構３１の中段には、昇降体２０が下降したときに、上段側のステージ２５を基準高さ位置に位置合わせをするための規制部材３６ａが設けられている。規制部材３６ａは、天板２１の周縁に下面側から当接して、昇降体２０の下降を規制する（図４）。また架構３１の上段には、昇降体２０が上昇したときに、下段側のステージ２５を基準高さ位置に位置合わせをするための規制部材３６ｂが設けられている。規制部材３６ｂは、天板２１の周縁に上面側から当接して、昇降体２０の上昇を規制する（図５）。これらの規制部材３６ａ、３６ｂは、規制部材３６ａ、３６ｂと、天板２１との衝突の衝撃を吸収するショックアブソーバで構成されている。

【0020】

また図２、図３に示すように昇降体２０の底板２２の下面の前後の位置には、ストッパー２６が設けられている。これらのストッパー２６は、夫々底板２２の下方に退避した位置と、底板２２の下方から前後方向に突出した位置と、の間で伸縮する構造となっている。一方、架構３１の下部側には、上段側のステージ２５を基準高さ位置に移動させたときに、底板２２から突出した状態のストッパー２６を、上面側から係止する係止部３２ａが設けられている（図３）。

【0021】

また架構３１の上部側には、下段側のステージ２５を基準高さ位置に移動させたときに、底板２２から突出した状態のストッパー２６を、下面側から係止する係止部３２ｂが設けられている。なお、ストッパー２６が係止部３２ｂに係止されている状態は、図示を省略してある。
そして昇降体２０の昇降動作の際には、ストッパー２６を底板２２の下方に退避させ、各ステージ２５を基準高さに位置させたときに、ストッパー２６を伸ばして、係止部３２ａ、３２ｂに係止させる。これにより、昇降体２０が所定の高さ位置に固定され、位置ずれの発生や、エアシリンダ３３のエア漏れ等による落下を防ぐことができる。

【0022】

続いて開閉ドア５１について図３及び図６、図７を参照して説明する。開閉ドア５１は搬送室１２のウエハ搬送口５０を塞ぐ板状に形成されると共に、搬送容器Ｃ側に設けられた蓋体７１を保持する蓋体保持部５２を備えている。
蓋体保持部５２は、搬送容器Ｃと対向する面に図示しないラッチキーが設けられており、蓋体７１の鍵穴（不図示）に対して、ラッチキーの差し込み及び引き抜きが行われる。

【0023】

この蓋体保持部５２は、搬送容器Ｃから蓋体７１を取り外し、ウエハ搬送口５０を塞ぐ位置から前方へ移動して当該ウエハ搬送口５０を開放する。（図６）。しかる後、ドア開閉機構５３により、開閉ドア５１を下方側に退避させる。（図７）。

【0024】

またアンロード位置にある搬送容器Ｃを前進させてロード位置に位置させることで搬送容器Ｃの取り出し口と、ウエハ搬送口５０とが接続される。なお蓋体７１の着脱に関わらず搬送容器をロード位置に移動させて搬送容器Ｃの取り出し口と、ウエハ搬送口５０とを合わせた状態を接続とする。
さらに搬送容器Ｃの取り出し口７０と、ウエハ搬送口５０とが接続された状態からステージ２５を後退させることで接続が解除される。
開閉ドア５１は、蓋体開閉機構に相当し、ステージ２５の移動機構は、搬送容器Ｃの取り出し口７０と、ウエハ搬送口５０とを接続する接続機構に相当する。

【0025】

図１、図２に戻ってプローブ装置１０は制御部９を備えている。制御部９は、例えばコンピュータよりなり、プログラム、メモリ、ＣＰＵを含むデータ処理部を有している。プログラムは、制御部９からプローブ装置１０の各部に制御信号を送り、搬送容器Ｃの受け渡し動作、ウエハＷの搬入出動作を含む、プロ―プ検査を進行させるように命令（各ステップ）が組み込まれる。また制御部９は、搬送容器Ｃの回収、及び後続の搬送容器Ｃの搬入のためＡＧＶ１００に対して搬送容器Ｃの回収、搬入を要求するコール信号を送信する。プログラムは、コンピュータ記憶媒体、例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ハードディスク、ＭＯ（光磁気ディスク）等の記憶部に格納されて制御部９にインストールされる。

【0026】

続いて本開示の一実施形態に係るロードポート１１の作用について説明する。以下、図８～図２０では、収容しているウエハＷについて、プローブ装置１０にて検査が行われている途中の搬送容器Ｃにドットパターンを付して示す。またすべてのウエハＷについての検査が終了し、回収を待機している状態の搬送容器Ｃには斜線パターンを付して示している。さらにまだプローブ装置１０へのウエハＷの搬入が開始されていない搬送容器Ｃは、いずれもパターンも付さずに白抜きの状態で示している。また、プローブ装置１０にて先に検査を行う搬送容器Ｃから順に搬送容器Ｃに符号１、２、３、４併記してある（Ｃ１～Ｃ４）。

【0027】

搬送容器Ｃを搬送するＡＧＶ１００について簡単に説明すると、ＡＧＶ１００は、搬送容器Ｃを保持して半導体製造工場に設けられた装置間を搬送する車体である。ＡＧＶ１００は、車体本体と、ロードポート１１のステージ２５との間で搬送容器Ｃの受け渡しを行うためのアーム１０１を備え、ステージ２５との間で搬送容器Ｃの受け渡しを行う。なお記述のようにＡＧＶ１００との間で搬送容器Ｃの受け渡しを行う受け渡し高さ位置は、ウエハ搬送口５０を介してウエハＷの搬入出を行う搬入出高さ位置と同じである（基準高さ位置）。またＡＧＶ１００は、プローブ装置１０から送信されるコール信号に基づいて、処理が終了したウエハＷを収容した搬送容器Ｃの回収のための移動や、後続の搬送容器Ｃをプローブ装置１０に搬送するための移動を行う。

【0028】

最初に、搬送容器Ｃ１を受け取る前において、例えば昇降体２０は、搬送容器Ｃ１を受け取る基準高さ位置に、上段側のステージ２５を配置する。そしてＡＧＶ１００により搬送されてきた搬送容器Ｃ１がアンロード位置にある上段側のステージ２５に引き渡される（図８）。次いで昇降体２０は、搬送容器Ｃを受け取る基準高さ位置に、下段側のステージ２５が配置されるように移動し、ＡＧＶ１００により搬送されてきた搬送容器Ｃ２が下段側のステージ２５に引き渡される（図９）。

【0029】

続いて昇降体２０は、上段側のステージ２５を基準高さ位置に位置させる。次いで搬送容器Ｃ１を前進させてロード位置に移動させ、ウエハ搬送口５０に搬送容器Ｃ１の取り出し口７０を接続し、搬送容器Ｃ１の蓋体７１を開く（取り出し口と搬送口との接続と、蓋体の開放と、を実施する工程）。そして搬送アーム４０の基板支持部４４を搬送容器Ｃ１に進入させて、搬送容器Ｃ１内のウエハＷを取り出し、プローブ装置１０の本体部１４に搬入して検査を行う。また、検査の終了したウエハＷは搬送容器Ｃ１に戻す（図１０）。

【0030】

さらに搬送容器Ｃ１内のウエハＷの検査が終了し、すべてのウエハＷが搬送容器Ｃ１に戻されると、搬送容器Ｃ１の蓋体７１が閉じられて、搬送容器Ｃ１をロード位置から後退させる（蓋体の閉止と、取り出し口と搬送口との接続の解除と、を実施する工程）。さらにＡＧＶ１００に向けて、搬送容器Ｃ１の回収に向かわせるように呼び出すコール信号が送信される（図１１、外部搬送機構を呼び出す工程）。このコール信号の送信は、図１２を用いて説明する、搬送容器Ｃ２に収容されたウエハＷの搬入出を開始する前に実施される。

【0031】

そして搬送容器Ｃ１についてウエハＷの搬入出が終了した後、ＡＧＶ１００が搬送容器Ｃ１を受け取るために到着するまでの期間中に、下段側のステージ２５を基準高さ位置に上昇させる。次いで既述の搬送容器Ｃ１と同様に取り出し口７０と、ウエハ搬送口５０を接続し、搬送容器Ｃ２の蓋体７１を開く。そして搬送容器Ｃ２内のウエハＷを搬送アーム４０により取り出してプローブ装置１０内に搬入し、検査を行い、検査の終了したウエハＷを搬送容器Ｃ２に戻す（図１２、基板を搬入出する工程）。

【0032】

ここで、下段側のステージ２５（ここでは「一の載置部」に相当する）に載置された搬送容器Ｃ２に収容されたウエハＷの処理が終了していない時点にて、処理の終了したウエハＷを収容した搬送容器Ｃ１を、ＡＧＶ１００が回収する場合について考える。この場合には、上段側のステージ２５（ここでは「他の載置部」に相当する）は、基準位置の上方に配置されているため、搬送容器Ｃ１の引き渡しを行うことができない（図１２）。
そこで本例のロードポート１１は、ＡＧＶ１００が搬送容器Ｃ１を回収する位置に到着するタイミングに合わせて、搬送容器Ｃ２内のウエハＷの搬入出を一時停止（ウエハＷの検査を一時停止）する（搬入出する工程を一時停止する工程）。さらに搬送容器Ｃ２の蓋体７１を閉じ、搬送容器Ｃ２をアンロード位置に後退させる。次いで上段側のステージ２５を基準高さ位置に下降させ、搬送容器Ｃ１をＡＧＶ１００により回収する（図１３、搬送容器の受け渡しを行う工程）。

【0033】

ＡＧＶ１００により搬送容器Ｃ１を回収した後、未処理のウエハＷを収容した後続の搬送容器Ｃ３を搬送するＡＧＶ１００がプローブ装置１０に到着するまでの期間中に、ウエハＷの検査を再開する。即ち、下段側のステージ２５を基準高さ位置に上昇させ、搬送容器Ｃ２の蓋体７１を開く。一時停止していた搬送容器Ｃ２に収容されたウエハＷの検査を再開する（図１４、搬入出する工程を再開する工程、及び基板を搬入出する工程）。

【0034】

従って、搬送容器Ｃ３を搬送してきたＡＧＶ１００が搬送容器Ｃ３を受け渡す位置に到着するタイミングでは、図１４に示すように上段側のステージ２５（他の載置部）は基準位置の上方に配置されている。このため、搬送容器Ｃ１の引き渡しを行うことができない。そこで、ここでも搬送容器Ｃ２内のウエハＷの搬入出（ウエハＷの検査）を一時停止する（搬入出する工程を一時停止する工程）。さらに搬送容器Ｃ２の蓋体７１を閉じ、アンロード位置に後退させる。次いで上段側のステージ２５を基準高さ位置に下降させ、ＡＧＶ１００より搬送容器Ｃ３を受け取る（図１５）。

【0035】

こうして上段側のステージ２５に搬送容器Ｃ３が引き渡されたら、下段側のステージ２５を基準高さ位置に移動させる。さらに既述のように搬送容器Ｃ２を搬送室１２に接続し、一時停止していた搬送容器Ｃ２内のウエハＷの搬入出を再開する（図１６、搬入出する工程を再開する工程、及び基板を搬入出する工程）。

【0036】

そして搬送容器Ｃ２内のウエハＷの検査が終了し、すべてのウエハＷが搬送容器Ｃ２に戻されると、搬送容器Ｃ２の蓋体７１を閉じると共に、搬送容器Ｃ２をアンロード位置に後退させる。さらに搬送容器Ｃ２を回収するようにＡＧＶ１００にコール信号を送信する（図１７、外部搬送機構を呼び出す工程）。

【0037】

コール信号を送信すると、ＡＧＶ１００が搬送容器Ｃ２を受け取るために移動している間に、上段側のステージ２５（ここでは、「一の載置部」に相当する）を基準高さ位置に移動させる。そして搬送容器Ｃ３をロード位置に前進させて取り出し口７０とウエハ搬送口５０とを接続し、搬送容器Ｃ３の蓋体７１を取り外す。さらに搬送アーム４０により搬送容器Ｃ３内のウエハＷを取り出し、プローブ装置に搬入してウエハＷの検査を行い、検査の終了したウエハＷを搬送容器Ｃ３に戻す（図１８、基板を搬入出する工程）。

【0038】

そして搬送容器Ｃ２を回収するＡＧＶ１００が回収位置に到着するタイミングに合わせて、搬送容器Ｃ３内のウエハＷの検査を一時停止する（搬入出する工程を一時停止する工程）。さらに搬送容器Ｃ３の蓋体７１を閉じ、アンロード位置に後退させる。次いで下段側のステージ２５（ここでは「他の載置部」に相当する）を基準高さ位置に上昇させ、ＡＧＶ１００により搬送容器Ｃ２を回収する（図１９、搬送容器の受け渡しを行う工程）。

【0039】

続いてＡＧＶ１００が搬送容器Ｃ２を回収した後、後続の搬送容器Ｃ４を搬送するＡＧＶ１００がプローブ装置１０に到着するまでの期間中に、ウエハＷの検査を再開する。即ち、上段側のステージ２５を基準高さ位置に下降させ、ウエハＷの検査を再開する（図２０、搬入出する工程を再開する工程、及び基板を搬入出する工程）。
以降、図９～図２０を用いて説明した動作に基づき、搬送容器Ｃ１～Ｃ４を順番に入れ替える動作を繰り返し、ウエハＷの検査を行う。

【0040】

上述の実施形態は、ロードポート１１に搬送容器Ｃを載置するステージ２５を上下２段に配置した昇降体２０を設けている。そして昇降体２０を昇降させることで各ステージ２５に載置された搬送容器Ｃを、プローブ装置１０にウエハＷを搬入するための搬入出高さ位置に位置させることができるように構成している。このように搬送容器Ｃを載置するステージ２５を上下に配置することで、ロードポート１１を設置する面積が大きくなることを防ぐことができる。

【0041】

そして一のステージ２５に載置された搬送容器Ｃ（以下、「一の搬送容器Ｃ」ともいう）内のウエハＷのプローブ検査が終了する。続いて当該搬送容器Ｃの回収のためのＡＧＶ１００が回収位置に到着するまでに他のステージ２５に載置された搬送容器Ｃ（以下、「他の搬送容器Ｃ」ともいう）を搬入出高さ位置に移動させてウエハＷのプローブ検査を行う。このように構成することで、ＡＧＶ１００が搬送容器Ｃの回収に向かっている期間中に、他の搬送容器Ｃ内のウエハＷの検査を行うことができる。

【0042】

また一の搬送容器Ｃを回収するＡＧＶ１００が到着すると、他の搬送容器ＣのウエハＷの処理を一時停止した後、前記一の搬送容器Ｃの回収を行う。さらに一の搬送容器Ｃを回収した後、未処理ウエハＷが収容された後続の新たな搬送容器Ｃを搬送するＡＧＶ１００がプローブ装置に到着までに、処理を一時停止した一の搬送容器Ｃ内のウエハＷの処理を行う。このように構成することで、新たな搬送容器Ｃの搬入を行うＡＧＶ１００が移動している間に、他の搬送容器Ｃに収容されたウエハＷのプローブ検査を行うことができる。上述の作用により、複数のステージ２５が上下に並んだ構造を採用したことに伴う搬送容器Ｃの受け渡し動作がウエハＷの処理効率の低下を抑制し、プローブ装置１０のスループットを向上させることができる。

【0043】

ここで搬送容器Ｃ内のウエハＷの搬入出が行われる搬入出高さ位置と、ＡＧＶ１００との間で搬送容器Ｃの受け渡しが行われる受け渡し高さ位置とは、異なる高さ位置に設定されていてもよい。
例えば図２１（Ａ）～（Ｆ）、図２２（Ａ）～（Ｆ）は、外部搬送機構であるＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）１０３を用い搬送容器Ｃの受け渡しを行う例を示している。
この例は、下段側の搬送容器ＣがウエハＷの搬入出を行う高さ位置（搬入出高さ位置）にあるときに上段側の搬送容器Ｃが搬送容器Ｃの受け渡しをする高さ位置（受け渡し高さ位置）に位置する。
そしてこの例は、ＯＨＴ１０３から下降した搬送容器Ｃを載置する載置部１０２を備え、載置部に載置された搬送容器Ｃが例えば搬送アーム（不図示）により搬送容器Ｃの受け渡しをする高さ位置に位置するステージ２５に受け渡される。

【0044】

この例では、図２１（Ａ）～（Ｃ）に示すように、まず例えば下段側のステージ２５に搬送容器Ｃ１が受け渡され、上段側に搬送容器Ｃ２が受け渡される。そして下段側の搬送容器Ｃ１の処理を終える。さらに続く上段側の搬送容器Ｃ２の処理を行っているときに、下段側の搬送容器Ｃ１をＯＨＴ１０３との間で受け渡しを行う。この場合には、上段側の搬送容器Ｃ２の処理中は一時停止の必要がある（図２１（Ｄ）～（Ｆ）の動作）。

【0045】

一方、図２２（Ａ）～（Ｃ）に示すように下段側に新たな搬送容器Ｃ３が受け渡され、上段側の搬送容器Ｃ２の処理を終える。そして続く下段側の搬送容器Ｃ３の処理を行っているときに、上段側の搬送容器Ｃ２をＯＨＴ１０３との間で受け渡しを行う。この場合には、下段側の搬送容器Ｃ３の処理中は一時停止しなくても、上段側の処理容器の受け渡しを並行して実施可能（図２２（Ｄ）～（Ｆ）の動作）である。なお図２１における（Ａ）、（Ｂ）の動作において、上段側のステージ２５が搬送容器Ｃを受け渡す高さ位置にあるときに下段側の搬送容器Ｃ１は、ウエハＷを搬入出する高さ位置にある。そのため搬送容器Ｃ２の受け渡しを行う間に搬送容器Ｃ１の処理を行うことができる。
またステージ２５を天板２１、及び底板２２よりも後方側にはり出す位置までスライドできるように構成し、当該天板２１、及び底板２２よりも後方側の位置のステージ２５にてＯＨＴ１０３との間で搬送容器Ｃを受け渡してもよい。

【0046】

さらに昇降体２０は、上下に３段以上のステージ２５が配置された構成でもよい。また、本開示に係るロードポート１１は、プローブ装置１０に限らず、成膜装置やエッチング装置などの基板処理装置に用いてもよい。
今回開示された実施形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。

【符号の説明】

【0047】

９ 制御部
１１ ロードポート
２０ 昇降体
２５ ステージ
３３ エアシリンダ
５０ ウエハ搬送口
１００ ＡＧＶ
Ｃ（Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４） 搬送容器
Ｗ ウエハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】