知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-11-22
(45)【発行日】2024-12-02
(54)【発明の名称】切削装置
(51)【国際特許分類】
B24B 45/00 20060101AFI20241125BHJP
B24B 27/06 20060101ALI20241125BHJP
B24B 49/10 20060101ALI20241125BHJP
B24B 49/12 20060101ALI20241125BHJP
B23Q 17/24 20060101ALI20241125BHJP
B23Q 17/00 20060101ALI20241125BHJP
B23Q 3/155 20060101ALI20241125BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20241125BHJP
【ＦＩ】
B24B45/00 A
B24B27/06 M
B24B49/10
B24B49/12
B23Q17/24 Z
B23Q17/00 B
B23Q3/155 F
B23Q3/155 K
H01L21/78 F
【請求項の数】
4
(21)【出願番号】P 2021101357
(22)【出願日】2021-06-18
(65)【公開番号】P2023000497
(43)【公開日】2023-01-04
【審査請求日】2024-04-23
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】100075384
【弁理士】
【氏名又は名称】松本 昂
(74)【代理人】
【識別番号】100172281
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 知広
(74)【代理人】
【識別番号】100206553
【弁理士】
【氏名又は名称】笠原 崇廣
(74)【代理人】
【識別番号】100189773
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 英哲
(74)【代理人】
【識別番号】100184055
【弁理士】
【氏名又は名称】岡野 貴之
(74)【代理人】
【識別番号】100185959
【弁理士】
【氏名又は名称】今藤 敏和
(72)【発明者】
【氏名】蘇 志博
【審査官】マキロイ 寛済
(56)【参考文献】
【文献】特開２００７－０９８５３６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２１－０５０７７７（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開昭６０－１８６１２７（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開２０１３－０７９９５０（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２４Ｂ ４５／００
Ｂ２４Ｂ ２７／０６
Ｂ２４Ｂ ４９／１０
Ｂ２４Ｂ ４９／１２
Ｂ２３Ｑ １７／２４
Ｂ２３Ｑ １７／００
Ｂ２３Ｑ ３／１５５
Ｈ０１Ｌ ２１／３０１
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
被加工物を切削する切削装置であって、スピンドルと、該スピンドルの先端部に固定されるブレードマウントとを有し、該ブレードマウントに装着される切削ブレードで該被加工物を切削する切削ユニットと、
該ブレードマウントからの該切削ブレードの取り外しと、該ブレードマウントへの該切削ブレードの装着とを行うブレード交換ユニットと、
センサと、
判定部と、
報知部と、を備え、
該ブレードマウントは、
雄ねじ部を有し該切削ブレードに設けられた貫通孔に挿入されるボス部と、
該ボス部の端部から突出し該切削ブレードを支持するフランジ部と、
該雄ねじ部に螺合され該切削ブレードを該フランジ部と挟持する固定ナットと、を含み、
該ブレード交換ユニットは、
該切削ブレードを保持するブレード保持部と、
該固定ナットを保持する固定ナット保持部と、
該固定ナット保持部を回転させるモータと、
該ブレード保持部及び該固定ナット保持部を移動させる移動部と、を含み、
該センサは、該ボス部の軸線方向における該固定ナット保持部の位置を検出し、
該判定部は、該固定ナット保持部によって保持された該固定ナットを該モータによって回転させて該雄ねじ部に螺合させた際における該固定ナットの螺合状態を、該センサによって検出された該固定ナット保持部の位置に基づいて判定し、
該報知部は、該判定部による判定の結果を報知することを特徴とする切削装置。
【請求項2】
該判定部は、該モータのトルクが閾値に達した際に該センサによって検出された該固定ナット保持部の位置に基づいて、該固定ナットが該切削ブレードの固定に適した位置に到達しているか否かを判定することを特徴とする請求項１に記載の切削装置。
【請求項3】
該センサは、光学式センサ又はスイッチであることを特徴とする請求項１又は２に記載の切削装置。
【請求項4】
該ブレード交換ユニットは、該固定ナット保持部を該ボス部の軸線方向に沿って移動させる直動アクチュエータを有し、該直動アクチュエータは、該固定ナットが該ボス部に接触した際に該固定ナット保持部を該ボス部の軸線方向に沿って自由に移動可能な状態にすることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、被加工物を切削する切削装置に関する。
【背景技術】
【0002】
複数のデバイスが形成されたウェーハを分割して個片化することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが製造される。また、複数のデバイスチップを所定の基板上に実装し、実装されたデバイスチップを樹脂でなる封止材（モールド樹脂）で被覆することにより、パッケージ基板が得られる。パッケージ基板を分割して個片化することにより、パッケージ化された複数のデバイスチップをそれぞれ備える複数のパッケージデバイスが製造される。デバイスチップやパッケージデバイスは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に組み込まれる。
【0003】
ウェーハ、パッケージ基板等の被加工物を分割する際には、切削装置が用いられる。切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、被加工物に切削加工を施す切削ユニットとを備える。切削ユニットは、スピンドルと、スピンドルの先端部に固定されるブレードマウントとを備えており、ブレードマウントに被加工物を切削する環状の切削ブレードが装着される。
【0004】
切削装置で被加工物を切削する際には、固定ナットによって切削ブレードがブレードマウントに固定される（特許文献１参照）。そして、ブレードマウントに切削ブレードが装着された状態でスピンドルを回転させ、回転する切削ブレードをチャックテーブルによって保持された被加工物に切り込ませることにより、被加工物が切削され、分割される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２０１３－１３２７０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
切削ユニットに装着された切削ブレードは、被加工物の加工によって摩耗するため、定期的に交換される。切削ブレードを交換する際は、まず、切削ブレードを固定している固定ナットを緩めて取り外し、使用済みの切削ブレードをブレードマウントから取り外す。その後、交換用の切削ブレード（未使用の切削ブレード）をブレードマウントに装着し、固定ナットで固定する。
【0007】
切削ブレードの交換を手作業で行うと、手間がかかる上、作業中に切削ブレードや固定ナットが誤って落下するおそれがある。そこで、切削装置には、切削ブレードを自動で着脱して交換するブレード交換ユニットが搭載されることがある。ブレード交換ユニットは、切削ブレードを保持する複数のブレード保持部と、固定ナットを保持する固定ナット保持部とを備えている。
【0008】
ブレード交換ユニットで切削ユニットに切削ブレードを装着する際には、まず、ブレード保持部によって保持された切削ブレードがブレードマウントに装着される。次に、固定ナット保持部によって保持された固定ナットが、ブレードマウントの正面に位置付けられる。その後、固定ナット保持部を回転させると、固定ナットが回転してブレードマウントに螺合し、切削ブレードがブレードマウントと固定ナットとによって挟持される。
【0009】
しかしながら、固定ナットをブレードマウントの正面に位置付ける際、様々な要因によって固定ナットが意図せずブレードマウントに対して僅かに傾いた状態で配置されることがある。この場合、固定ナットを回転させても固定ナットがブレードマウントに適切に螺合せず、固定ナットを切削ブレードの固定に適した位置（固定位置）まで締め付けることが困難になる。
【0010】
切削ブレードが固定位置に到達しないと、切削ブレードがブレードマウントに確実に固定されていない状態となる。そして、切削ブレードの固定が不十分な状態のままで被加工物の切削加工が続行されると、被加工物の加工不良や切削ブレードの破損が発生するおそれがある。
【0011】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、切削ブレードの固定が不十分な状態で切削加工が実施されることを防止可能な切削装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0012】
本発明の一態様によれば、被加工物を切削する切削装置であって、スピンドルと、該スピンドルの先端部に固定されるブレードマウントとを有し、該ブレードマウントに装着される切削ブレードで該被加工物を切削する切削ユニットと、該ブレードマウントからの該切削ブレードの取り外しと、該ブレードマウントへの該切削ブレードの装着とを行うブレード交換ユニットと、センサと、判定部と、報知部と、を備え、該ブレードマウントは、雄ねじ部を有し該切削ブレードに設けられた貫通孔に挿入されるボス部と、該ボス部の端部から突出し該切削ブレードを支持するフランジ部と、該雄ねじ部に螺合され該切削ブレードを該フランジ部と挟持する固定ナットと、を含み、該ブレード交換ユニットは、該切削ブレードを保持するブレード保持部と、該固定ナットを保持する固定ナット保持部と、該固定ナット保持部を回転させるモータと、該ブレード保持部及び該固定ナット保持部を移動させる移動部と、を含み、該センサは、該ボス部の軸線方向における該固定ナット保持部の位置を検出し、該判定部は、該固定ナット保持部によって保持された該固定ナットを該モータによって回転させて該雄ねじ部に螺合させた際における該固定ナットの螺合状態を、該センサによって検出された該固定ナット保持部の位置に基づいて判定し、該報知部は、該判定部による判定の結果を報知する切削装置が提供される。
【0013】
なお、好ましくは、該判定部は、該モータのトルクが閾値に達した際に該センサによって検出された該固定ナット保持部の位置に基づいて、該固定ナットが該切削ブレードの固定に適した位置に到達しているか否かを判定する。また、好ましくは、該センサは、光学式センサまたはタッチスイッチである。また、好ましくは、該ブレード交換ユニットは、該固定ナット保持部を該ボス部の軸線方向に沿って移動させる直動アクチュエータを有し、該直動アクチュエータは、該固定ナットが該ボス部に接触した際に該固定ナット保持部を該ボス部の軸線方向に沿って自由に移動可能な状態にする。
【発明の効果】
【0014】
本発明の一態様に係る切削装置は、ブレードマウントのボス部に形成された雄ねじ部に固定ナットを螺合させた際における、固定ナットの螺合状態を判定する判定部を備える。これにより、切削装置で被加工物を加工する際に、切削ブレードが固定ナットによって適切に固定されているか否かを確認することが可能となる。その結果、切削ブレードの固定が不十分な状態で切削加工が実施されることを回避でき、被加工物の加工不良や切削ブレードの破損の発生が防止される。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】切削装置を示す斜視図である。
【図2】切削ユニットを示す分解斜視図である。
【図3】ブレード交換ユニットを示す斜視図である。
【図4】交換装置を示す斜視図である。
【図6】直動アクチュエータを示す断面図である。
【図7】ブレード保管部を示す斜視図である。
【図8】図８（Ａ）は切削ユニット及びナット着脱ユニットを示す一部断面正面図であり、図８（Ｂ）は固定ナット保持部が初期位置に位置付けられた状態の切削ユニット及びナット着脱ユニットを示す一部断面正面図である。
【図9】図９（Ａ）は固定ナット保持部が固定位置に到達した状態の切削ユニット及びナット着脱ユニットを示す一部断面正面図であり、図９（Ｂ）は固定ナット保持部が固定位置に到達していない状態の切削ユニット及びナット着脱ユニットを示す一部断面正面図である。
【図10】図１０（Ａ）は固定ナット保持部が固定位置に到達する場合における固定ナット保持部の位置とモータのトルクとの関係を示すグラフであり、図１０（Ｂ）は固定ナット保持部が固定位置に到達しない場合における固定ナット保持部の位置とモータのトルクとの関係を示すグラフである。
【図11】制御部を示すブロック図である。
【図12】固定ナットの螺合状態の判定方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、添付図面を参照して本発明の一態様に係る実施形態を説明する。まず、本実施形態に係る切削装置の構成例を説明する。図１は、切削装置２を示す斜視図である。なお、図１において、Ｘ軸方向（加工送り方向、第１水平方向、前後方向）とＹ軸方向（割り出し送り方向、第２水平方向、左右方向）とは、互いに垂直な方向である。また、Ｚ軸方向（鉛直方向、上下方向、高さ方向）は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と垂直な方向である。
【0017】
切削装置２は、切削装置２を構成する各構成要素を支持及び収容する基台４を備える。基台４の前方側の角部には、矩形状の開口４ａが設けられている。また、開口４ａの内部には、昇降機構（不図示）によって昇降するカセット保持台６が設けられている。カセット保持台６の上面上には、複数の被加工物１１を収容可能なカセット８が配置される。なお、図１ではカセット８の輪郭を二点鎖線で示している。
【0018】
例えば被加工物１１は、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハであり、互いに概ね平行な表面及び裏面を含む。また、被加工物１１は、互いに交差するように格子状に配列された複数のストリート（分割予定ライン）によって、複数の矩形状の領域に区画されている。ストリートによって区画された領域の表面（上面）側にはそれぞれ、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）デバイス等のデバイスが形成されている。被加工物１１をストリートに沿って切削して分割することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが製造される。
【0019】
ただし、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば被加工物１１は、シリコン以外の半導体（ＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＧａＮ、ＳｉＣ等）、ガラス、セラミックス、樹脂、金属等でなるウェーハであってもよい。また、被加工物１１に形成されるデバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はなく、被加工物１１にはデバイスが形成されていなくてもよい。さらに、被加工物１１は、ＣＳＰ（Chip Size Package）基板、ＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded package）基板等のパッケージ基板であってもよい。
【0020】
被加工物１１の裏面（下面）側には、被加工物１１よりも直径が大きい円形のテープ（ダイシングテープ）１３が貼付される。テープ１３としては、円形に形成されたフィルム状の基材と、基材上に設けられた粘着層（糊層）とを有するシートを用いることができる。例えば、基材はポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタラート等の樹脂でなり、粘着層はエポキシ系、アクリル系、又はゴム系の接着剤等でなる。また、粘着層は、紫外線の照射によって硬化する紫外線硬化型の樹脂であってもよい。
【0021】
テープ１３の外周部は、環状のフレーム１５に貼付される。フレーム１５はＳＵＳ（ステンレス鋼）等の金属等でなり、フレーム１５の中央部にはフレーム１５を厚さ方向に貫通する円柱状の開口が設けられている。フレーム１５の開口の直径は被加工物１１の直径よりも大きく、被加工物１１はフレーム１５の開口の内側に配置される。
【0022】
テープ１３の中央部が被加工物１１に貼付されるとともにテープ１３の外周部がフレーム１５に貼付されると、被加工物１１がテープ１３を介してフレーム１５によって支持される。そして、被加工物１１はフレーム１５によって支持された状態でカセット８に収容される。
【0023】
開口４ａの側方には、長手方向がＸ軸方向に沿う矩形状の開口４ｂが設けられている。開口４ｂの内部には、平板状の移動テーブル１０ａを備えるボールねじ式の移動機構１０が設けられている。また、移動テーブル１０ａの前後には、Ｘ軸方向に伸縮可能な蛇腹状の防塵防滴カバー１２が設けられている。移動テーブル１０ａ及び防塵防滴カバー１２は、開口４ｂの内部に設けられている移動機構１０の構成要素（ボールねじ等）を覆うように配置されている。
【0024】
移動テーブル１０ａ上には、被加工物１１を保持するチャックテーブル（保持テーブル）１４が設けられている。チャックテーブル１４にはモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されており、回転駆動源はチャックテーブル１４をＺ軸方向と概ね平行な回転軸の周りで回転させる。また、移動機構１０はチャックテーブル１４を移動テーブル１０ａとともにＸ軸方向に沿って移動させる。
【0025】
チャックテーブル１４の上面は、水平方向（ＸＹ平面方向）と概ね平行な平坦面であり、被加工物１１を保持する保持面１４ａを構成している。保持面１４ａは、チャックテーブル１４の内部に形成された吸引路（不図示）、バルブ（不図示）等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。また、チャックテーブル１４の周囲には、被加工物１１を支持しているフレーム１５を把持して固定する複数のクランプ１６が設けられている。
【0026】
開口４ｂの上方には、Ｙ軸方向に沿って配置された一対のガイドレール１８が設けられている。一対のガイドレール１８は、フレーム１５を下方から支持する支持面と、支持面に概ね垂直な側面とを備えており、Ｙ軸方向と概ね平行な状態を維持しつつ互いに接近及び離隔するように移動する。一対のガイドレール１８は、フレーム１５を挟み込むことによって被加工物１１及びフレーム１５の位置合わせを行う。
【0027】
基台４の上方には、門型の第１支持構造２０が開口４ｂを跨ぐように配置されている。第１支持構造２０の前面側（ガイドレール１８側）には、レール２２がＹ軸方向に沿って固定されている。レール２２には、被加工物１１を保持する保持ユニット２６が移動機構２４を介して連結されている。
【0028】
移動機構２４は、保持ユニット２６をレール２２に沿ってＹ軸方向に移動させる。また、移動機構２４はエアシリンダを備えており、エアシリンダはＺ軸方向に沿って昇降するロッドを内蔵している。そして、エアシリンダのロッドの下端部に、保持ユニット２６が固定されている。
【0029】
保持ユニット２６は、一対のガイドレール１８によって位置合わせが行われたフレーム１５を保持して、チャックテーブル１４上に搬送する。例えば保持ユニット２６は、フレーム１５の上面側を吸引して保持する複数の吸引パッドを備える。吸引パットでフレーム１５を吸引することにより、被加工物１１及びフレーム１５が保持ユニット２６によって吸引保持される。
【0030】
また、保持ユニット２６の開口４ａ側（カセット保持台６側）の端部には、フレーム１５を把持する把持機構２６ａが設けられている。カセット８に収容されたフレーム１５を把持機構２６ａで把持した状態で、保持ユニット２６をＹ軸方向に沿ってカセット８から離れる方向に移動させることにより、被加工物１１及びフレーム１５がカセット８から一対のガイドレール１８上に引き出される。また、一対のガイドレール１８上に配置されたフレーム１５を把持機構２６ａで把持した状態で、保持ユニット２６をＹ軸方向に沿ってカセット８側に移動させることにより、被加工物１１及びフレーム１５がカセット８に収容される。
【0031】
さらに、第１支持構造２０の前面側には、レール２８がＹ軸方向に沿って固定されている。レール２８には、被加工物１１を保持する保持ユニット３２が移動機構３０を介して連結されている。移動機構３０は、保持ユニット３２をレール２８に沿ってＹ軸方向に移動させる。また、移動機構３０はエアシリンダを備えており、エアシリンダはＺ軸方向に沿って昇降するロッドを内蔵している。エアシリンダのロッドの下端部に、保持ユニット３２が固定されている。保持ユニット３２の構成は、保持ユニット２６と同様である。
【0032】
第１支持構造２０の後方には、門型の第２支持構造３４が開口４ｂを跨ぐように配置されている。第２支持構造３４の前面側（第１支持構造２０側）の両端部には、一対の移動機構３６Ａ，３６Ｂが固定されている。また、移動機構３６Ａの下部には切削ユニット３８Ａが固定され、移動機構３６Ｂの下部には切削ユニット３８Ｂが固定されている。
【0033】
移動機構３６Ａは、切削ユニット３８ＡをＹ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動させるボールねじ式の移動機構である。移動機構３６Ａによって、切削ユニット３８ＡのＹ軸方向及びＺ軸方向における位置が制御される。また、移動機構３６Ｂは、切削ユニット３８ＢをＹ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動させるボールねじ式の移動機構である。移動機構３６Ｂによって、切削ユニット３８ＢのＹ軸方向及びＺ軸方向における位置が制御される。
【0034】
図２は、切削ユニット３８Ａを示す分解斜視図である。切削ユニット３８Ａには、環状の切削ブレード４４が装着される。切削ユニット３８Ａは、切削ブレード４４を回転させて被加工物１１に切り込ませることにより、被加工物１１を切削する。
【0035】
切削ユニット３８Ａは、筒状のハウジング４０を備える。ハウジング４０には、Ｙ軸方向に沿って配置された円柱状のスピンドル４２が収容されている。スピンドル４２の先端部（一端側）はハウジング４０の外部に露出しており、スピンドル４２の先端部にはねじ穴４２ａが設けられている。また、スピンドル４２の基端部（他端側）にはモータ等の回転駆動源が連結されている。
【0036】
スピンドル４２の先端部には、切削ブレード４４が装着される。例えば切削ブレード４４は、金属等でなる環状の基台４６と、基台４６の外周縁に沿って形成された環状の切り刃４８とが一体となって構成されたハブタイプの切削ブレード（ハブブレード）である。切削ブレード４４の中央部には、切削ブレード４４（基台４６）を厚さ方向に貫通する円柱状の貫通孔（開口）４４ａが設けられている。
【0037】
基台４６は、互いに概ね平行な表面（第１面）４６ａと裏面（第２面）４６ｂとを備える。また、基台４６の裏面４６ｂ側には切り刃４８が設けられている。切り刃４８は、基台４６の外周縁から基台４６の半径方向外側に向かって突出するように形成されている。例えば切り刃４８は、ダイヤモンド等でなる砥粒がニッケルめっき層等の結合材によって固定された電鋳砥石によって構成される。
【0038】
スピンドル４２の先端部には、ブレードマウント５０が固定される。ブレードマウント５０は、円柱状のボス部（支持軸）５２と、ボス部５２の端部（基端部）に接続された円盤状のフランジ部５４とを含む。フランジ部５４は、ボス部５２の端部からボス部５２の半径方向外側に向かって突出するように形成されている。すなわち、ボス部５２はフランジ部５４よりも直径が小さく、フランジ部５４の表面５４ａの中央部から突出するように形成されている。また、ボス部５２及びフランジ部５４には、ボス部５２の中央部及びフランジ部５４の中央部を貫通する円柱状の貫通孔（開口）５０ａが設けられている。
【0039】
ボス部５２の先端部の外周面には、雄ねじ部（ねじ溝）５２ａが設けられている。また、フランジ部５４の外周部には、フランジ部５４の表面５４ａから突出する環状の凸部５４ｂが設けられている。凸部５４ｂの先端面は、表面５４ａと概ね平行な平坦面であり、切削ブレード４４を支持する環状の支持面５４ｃを構成している。
【0040】
また、ブレードマウント５０は、切削ブレード４４をブレードマウント５０に固定する環状の固定ナット５６を含む。固定ナット５６は、ボス部５２に形成されている雄ねじ部５２ａに螺合され、締結される。
【0041】
固定ナット５６の中央部には、固定ナット５６を厚さ方向に貫通する円柱状の貫通孔（開口）５６ａが設けられている。貫通孔５６ａは、ボス部５２と概ね同径に形成されている。また、貫通孔５６ａで露出する固定ナット５６の側面（内周面）には、ボス部５２の雄ねじ部５２ａに対応する雌ねじ部（ねじ溝）が設けられている。さらに、固定ナット５６には、固定ナット５６を厚さ方向に貫通する複数（図２では４個）の円柱状の貫通孔５６ｂが、固定ナット５６の周方向に沿って概ね等間隔に形成されている。
【0042】
ねじ５８を、ブレードマウント５０の貫通孔５０ａを介してスピンドル４２のねじ穴４２ａに挿入し、ねじ穴４２ａに螺合させて締め付けることにより、ブレードマウント５０がスピンドル４２の先端部に固定される。また、切削ブレード４４の貫通孔４４ａにボス部５２を挿入すると、切削ブレード４４がブレードマウント５０に装着される。この状態で、ボス部５２の雄ねじ部５２ａに固定ナット５６を螺合させて締め付けると、切削ブレード４４がフランジ部５４の支持面５４ｃと固定ナット５６とによって挟持され、ブレードマウント５０に固定される。そして、切削ブレード４４は、回転駆動源からスピンドル４２及びブレードマウント５０を介して伝達される動力によって、Ｙ軸方向と概ね平行な回転軸の周りを回転する。
【0043】
なお、上記では切削ユニット３８Ａについて説明したが、切削ユニット３８Ｂ（図１参照）の構成も切削ユニット３８Ａと同様である。そして、切削ユニット３８Ａに装着された切削ブレード４４と切削ユニット３８Ｂに装着された切削ブレード４４とは、互いに対面するように配置される。
【0044】
また、切削ユニット３８Ａ，３８Ｂには、ワッシャータイプの切削ブレード（ワッシャーブレード）が装着されてもよい。ワッシャーブレードは、ダイヤモンド等の砥粒がメタルボンド、レジンボンド、ビトリファイドボンド等の結合材で固定された環状の切り刃のみによって構成される。
【0045】
図１に示すように、切削ユニット３８Ａ，３８Ｂに隣接する位置にはそれぞれ、チャックテーブル１４によって保持された被加工物１１等を撮像する撮像ユニット６０が設けられている。例えば撮像ユニット６０として、可視光を受光して電気信号に変換する撮像素子を備える可視光カメラや、赤外線を受光して電気信号に変換する撮像素子を備える赤外線カメラが用いられる。チャックテーブル１４上の被加工物１１を撮像ユニット６０で撮像することによって取得された画像に基づいて、被加工物１１と切削ユニット３８Ａ，３８Ｂとの位置合わせ等が行われる。
【0046】
開口４ｂの開口４ａとは反対側の側方には、円形の開口４ｃが設けられている。開口４ｃの内部には、被加工物１１を洗浄する洗浄ユニット６２が設けられている。洗浄ユニット６２は、被加工物１１を保持して回転するスピンナテーブル６４を備えている。スピンナテーブル６４には、スピンナテーブル６４をＺ軸方向と概ね平行な回転軸の周りで回転させるモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。
【0047】
スピンナテーブル６４の上方には、スピンナテーブル６４によって保持された被加工物１１に向かって洗浄用の流体（洗浄流体）を噴射するノズル６６が配置されている。洗浄流体としては、純水等の液体や、液体（純水等）と気体（エアー等）とが混合された流体（混合流体）を用いることができる。被加工物１１を保持したスピンナテーブル６４を回転させつつ、ノズル６６から被加工物１１に向かって流体を滴下することにより、被加工物１１が洗浄される。
【0048】
第２支持構造３４の後方（裏面側）には、切削ユニット３８Ａ，３８Ｂに装着されている切削ブレード４４を交換するブレード交換ユニット６８が設けられている。ブレード交換ユニット６８は、ブレードマウント５０（図２参照）からの切削ブレード４４の取り外しと、ブレードマウント５０への切削ブレード４４の装着とを行う。なお、ブレード交換ユニット６８の詳細については後述する。
【0049】
また、切削装置２は表示部（表示ユニット、表示装置）７０を備える。表示部７０は、各種のディスプレイによって構成され、切削装置２に関する情報（加工条件、加工状況、被加工物１１の画像等）を表示する。
【0050】
表示部７０としては、例えばタッチパネルが用いられる。この場合、表示部７０には切削装置２を操作するための操作画面が表示され、切削装置２のオペレーターは表示部７０のタッチ操作によって切削装置２に情報を入力できる。すなわち、表示部７０は切削装置２に情報を入力するための入力部（入力ユニット、入力装置）としても機能し、ユーザーインターフェースとして用いられる。ただし、入力部は表示部７０とは別途独立して設けられたマウス、キーボード等であってもよい。
【0051】
また、切削装置２は表示灯（警告灯）７２を備える。例えば表示灯７２は、切削装置２で異常が発生した際に所定の色又はパターンで点灯する。また、切削装置２には、音又は音声を発するスピーカー（不図示）が搭載されていてもよい。
【0052】
表示部７０に表示された情報、表示灯７２の点灯色又は点灯パターンに対応する情報、スピーカーが発する情報は、オペレーターに報知される。すなわち、表示部７０、表示灯７２及びスピーカーは、オペレーターに情報を報知する報知部（報知ユニット、報知装置）に相当する。
【0053】
さらに、切削装置２は、切削装置２を制御する制御部（制御ユニット、制御装置）７４を備える。制御部７４は、切削装置２を構成する各構成要素（移動機構１０、チャックテーブル１４、クランプ１６、ガイドレール１８、移動機構２４、保持ユニット２６、移動機構３０、保持ユニット３２、移動機構３６Ａ，３６Ｂ、切削ユニット３８Ａ，３８Ｂ、撮像ユニット６０、洗浄ユニット６２、ブレード交換ユニット６８、表示部７０、表示灯７２等）に接続されている。制御部７４は、切削装置２の各構成要素の動作を制御するための制御信号を生成し、切削装置２の稼働を制御する。
【0054】
例えば制御部７４は、コンピュータによって構成される。具体的には、制御部７４は、切削装置２の稼働に必要な演算を行うＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサと、切削装置２の稼働に用いられる各種の情報（データ、プログラム等）を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等のメモリとを含んで構成される。
【0055】
被加工物１１を切削装置２で加工する際は、まず、加工の対象となる複数の被加工物１１がカセット８に収容される。そして、カセット８がカセット保持台６の上面上に載置される。
【0056】
カセット８に収容された被加工物１１は、保持ユニット２６によってカセット８から搬出される。具体的には、保持ユニット２６は把持機構２６ａでフレーム１５の端部を把持した状態で、カセット８から離れるようにＹ軸方向に沿って移動する。これにより、被加工物１１がカセット８から引き出され、一対のガイドレール１８上に配置される。そして、フレーム１５が一対のガイドレール１８によって挟み込まれ、被加工物１１及びフレーム１５の位置合わせが行われる。
【0057】
次に、フレーム１５の上面側が保持ユニット２６によって保持され、被加工物１１がチャックテーブル１４上に搬送される。被加工物１１は、チャックテーブル１４上にテープ１３を介して配置される。また、フレーム１５が複数のクランプ１６によって固定される。この状態で、保持面１４ａに吸引源の吸引力（負圧）を作用させると、被加工物１１がテープ１３を介してチャックテーブル１４によって吸引保持される。
【0058】
そして、切削ユニット３８Ａ，３８Ｂに装着された切削ブレード４４が回転しながら被加工物１１に切り込む。これにより、被加工物１１に切削加工が施される。例えば被加工物１１は、切削ブレード４４によってストリートに沿って切削され、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップに分割される。
【0059】
被加工物１１の加工が完了すると、フレーム１５の上面側が保持ユニット３２によって保持され、被加工物１１がチャックテーブル１４から洗浄ユニット６２に搬送される。そして、洗浄ユニット６２によって被加工物１１の洗浄が行われる。
【0060】
被加工物１１の洗浄が完了すると、フレーム１５の上面側が保持ユニット２６によって保持され、一対のガイドレール１８上に搬送される。そして、フレーム１５が一対のガイドレール１８によって挟み込まれ、被加工物１１及びフレーム１５の位置合わせが行われる。その後、保持ユニット２６は把持機構２６ａでフレーム１５を把持した状態でカセット８側に向かって移動し、被加工物１１をカセット８に収容する。
【0061】
上記のように、被加工物１１が切削装置２によって加工される。なお、制御部７４には、切削装置２の一連の動作を記述するプログラムが記憶されている。そして、オペレーターが切削装置２に被加工物１１の加工を指示すると、制御部７４はプログラムを読み出して実行し、切削装置２の各構成要素の動作を制御するための制御信号を順次生成する。これにより、被加工物１１の加工が自動で実施される。
【0062】
切削ユニット３８Ａ，３８Ｂに装着された切削ブレード４４は、被加工物１１を切削することによって徐々に摩耗するため、定期的に交換される。切削装置２においては、ブレード交換ユニット６８によって切削ブレード４４の交換が自動で実施される。
【0063】
図３は、ブレード交換ユニット６８を示す斜視図である。ブレード交換ユニット６８は、移動部８０と、切削ブレード４４の交換を行う交換装置（交換機構）９０とを備える。移動部８０は、交換装置９０をＸ軸方向に沿って移動させる移動機構（移動ユニット）であり、交換装置９０に連結されている。
【0064】
移動部８０は、水平方向（ＸＹ平面方向）に沿って配置された板状の基台８２を備える。基台８２の下面側には、Ｘ軸方向に沿って配置されたボールねじ８４が固定されている。ボールねじ８４の端部には、ボールねじ８４を回転させるパルスモータ（不図示）が接続されている。また、基台８２のＹ軸方向における両端部には、Ｘ軸方向に沿う一対のガイドレール８６が、基台８２の下面から下方に突出するように設けられている。そして、移動部８０の下側に交換装置９０が装着されている。
【0065】
図４は、交換装置９０を示す斜視図である。交換装置９０は、移動部８０（図３参照）に連結される基台９２を備える。基台９２は、水平方向（ＸＹ平面方向）に沿って配置された板状の上壁９２ａと、上壁９２ａの後方側の端部から下方に向かって突出する柱状の側壁９２ｂと、側壁９２ｂの下端部から前方側に突出し上壁９２ａと概ね平行に配置された板状の支持台９２ｃとを含む。
【0066】
上壁９２ａの上面には、直方体状の移動ブロック９４が固定されている。移動ブロック９４は、ボールねじ８４（図３参照）が螺合されるナット部９４ａを備えている。また、上壁９２ａのＹ軸方向における両端部には、Ｘ軸方向に沿う一対の接続部９６が設けられている。一対の接続部９６は、正面視でＬ字状に形成され、上壁９２ａの上面に固定されている。
【0067】
移動ブロック９４のナット部９４ａにボールねじ８４（図３参照）を螺合させるとともに、一対の接続部９６を一対のガイドレール８６（図３参照）に嵌め込むことにより、交換装置９０が移動部８０に装着される。そして、パルスモータによってボールねじ８４を回転させると、交換装置９０が一対のガイドレール８６に沿ってＸ軸方向に移動する。
【0068】
支持台９２ｃ上には、切削ブレード４４及び固定ナット５６（図２参照）の着脱を行う着脱ユニット（着脱機構）１００が設けられている。着脱ユニット１００は、切削ブレード４４の着脱を行う一対のブレード着脱ユニット（ブレード着脱機構）１１０Ａ，１１０Ｂと、ブレード着脱ユニット１１０Ａ，１１０Ｂの前方に設けられ固定ナット５６の着脱を行う一対のナット着脱ユニット（ナット着脱機構）１４０Ａ，１４０Ｂとを備える。
【0069】
ブレード着脱ユニット１１０Ａ，１１０Ｂは、支持台９２ｃのＹ軸方向における両端部に固定されており、Ｙ軸方向において互いに離隔している。ブレード着脱ユニット１１０Ａは、切削ユニット３８Ａ（図１参照）からの切削ブレード４４の取り外しと、切削ユニット３８Ａへの切削ブレード４４の装着とを行う。一方、ブレード着脱ユニット１１０Ｂは、切削ユニット３８Ｂ（図１参照）からの切削ブレード４４の取り外しと、切削ユニット３８Ｂへの切削ブレード４４の装着とを行う。
【0070】
ナット着脱ユニット１４０Ａ，１４０Ｂは、支持台９２ｃのＹ軸方向における両端部に固定されており、Ｙ軸方向において互いに離隔している。ナット着脱ユニット１４０Ａは、切削ユニット３８Ａ（図１参照）からの固定ナット５６（図２参照）の取り外しと、切削ユニット３８Ａへの固定ナット５６の装着とを行う。一方、ナット着脱ユニット１４０Ｂは、切削ユニット３８Ｂ（図１参照）からの固定ナット５６（図２参照）の取り外しと、切削ユニット３８Ｂへの固定ナット５６の装着とを行う。
【0071】
図５（Ａ）は、ブレード着脱ユニット１１０Ａを示す斜視図である。ブレード着脱ユニット１１０Ａは、回転駆動源を構成するモータ１１２を備える。モータ１１２は、ロータ、ステータ等の構成要素を収容する筐体１１４と、Ｙ軸方向に沿って配置されロータに接続された円柱状の回転軸（出力軸）１１６とを備える。回転軸１１６の先端部は、筐体１１４から露出している。
【0072】
また、ブレード着脱ユニット１１０Ａは、支持台９２ｃ（図４参照）上に固定された柱状のガイドレール１１８を備える。ガイドレール１１８はＹ軸方向に沿って配置されており、モータ１１２はガイドレール１１８に装着されている。モータ１１２に外力が付与されると、モータ１１２がガイドレール１１８に沿ってＹ軸方向に移動する。
【0073】
回転軸１１６の先端部には、切削ブレード４４を保持するブレード保持部（ブレード保持ユニット）１２０が装着されている。ブレード保持部１２０は、側面視で長円状に形成され回転軸１１６の先端部に固定された板状の支持部材１２２と、支持部材１２２のモータ１１２とは反対側を向く面側に設けられたブレード把持部（ブレード把持ユニット）１２４Ａ，１２４Ｂとを備える。ブレード把持部１２４Ａ，１２４Ｂは、互いに離隔するように支持部材１２２の両端部に設けられている。
【0074】
ブレード把持部１２４Ａ，１２４Ｂはそれぞれ、支持部材１２２に固定された円柱状の保持部１２６を備える。保持部１２６は、モータ１１２とは反対側を向く表面１２６ａを備える。また、保持部１２６には、表面１２６ａから突出する柱状の位置決めピン１２８が設けられている。位置決めピン１２８は、その先端部がスピンドル４２に固定されたねじ５８の凹部５８ａ（図２参照）に挿入可能に形成されている。
【0075】
保持部１２６の周囲には、切削ブレード４４を把持する複数の把持部材１３０が、保持部１２６の周方向に沿って概ね等間隔に配置されている。把持部材１３０はそれぞれ柱状に形成され、把持部材１３０の基端部（一端側）は保持部１２６の外周面に固定されている。また、把持部材１３０の先端部（他端側）は保持部１２６の表面１２６ａから突出している。図５（Ａ）には、切削ブレード４４を四方から把持する４本の把持部材１３０が設けられている例を示している。
【0076】
把持部材１３０の先端部は、例えば保持部１２６の内部に収容されたアクチュエータ（不図示）によって、保持部１２６の半径方向に沿って移動する。このアクチュエータは、把持部材１３０の先端部が切削ブレード４４の基台４６（図２参照）と接触して切削ブレード４４が把持される状態（閉状態）と、把持部材１３０の先端部が閉状態の際よりも保持部１２６の半径方向外側に配置され切削ブレード４４の基台４６の把持が解除される状態（開状態）とを切り替える。
【0077】
また、モータ１１２には、筐体１１４の側面からＸ軸方向に突出する直方体状の接続部材１３２が設けられている。そして、接続部材１３２には、直動アクチュエータ１３４が接続されている。直動アクチュエータ１３４は、モータ１１２及びブレード保持部１２０をＹ軸方向と概ね平行な直線状の経路に沿って移動させる移動機構である。
【0078】
例えば直動アクチュエータ１３４は、ロッドを内蔵するエアシリンダによって構成され、ロッドの先端部が接続部材１３２に固定される。直動アクチュエータ１３４を駆動してロッドをＹ軸方向に沿って進退させると、モータ１１２及びブレード保持部１２０がガイドレール１１８に沿ってＹ軸方向に移動する。
【0079】
なお、上記ではブレード着脱ユニット１１０Ａの構成について説明したが、ブレード着脱ユニット１１０Ｂ（図４参照）もブレード着脱ユニット１１０Ａと同様に構成される。そして、切削ユニット３８Ａ，３８Ｂに装着された切削ブレード４４を交換する際には、ブレード着脱ユニット１１０Ａ，１１０Ｂによって切削ブレード４４が保持される。なお、切削ブレード４４の交換時におけるブレード着脱ユニット１１０Ａ，１１０Ｂの具体的な動作については後述する。
【0080】
図５（Ｂ）は、ナット着脱ユニット１４０Ａを示す斜視図である。ナット着脱ユニット１４０Ａは、回転駆動源を構成するモータ１４２を備える。モータ１４２は、ロータ、ステータ等の構成要素を収容する筐体１４４と、Ｙ軸方向に沿って配置されロータに接続された円柱状の回転軸（出力軸）１４６とを備える。回転軸１４６の先端部は、筐体１４４から露出している。
【0081】
また、ナット着脱ユニット１４０Ａは、支持台９２ｃ（図４参照）上に固定された柱状のガイドレール１４８を備える。ガイドレール１４８はＹ軸方向に沿って配置されており、モータ１４２はガイドレール１４８に装着されている。モータ１４２に外力が付与されると、モータ１４２がガイドレール１４８に沿ってＹ軸方向に移動する。
【0082】
回転軸１４６の先端部には、固定ナット５６（図２参照）を保持する固定ナット保持部（固定ナット保持ユニット）１５０が固定されている。固定ナット保持部１５０は、回転軸１４６の先端部に固定された円柱状の回転部材１５２を備える。回転部材１５２にはばね等の付勢部材が連結されており、回転部材１５２は外力の付与によってＹ軸方向に沿って移動できる。また、回転部材１５２は、モータ１４２とは反対側を向く表面１５２ａを備える。
【0083】
回転部材１５２には、表面１５２ａから突出する複数の保持ピン１５４が設けられている。保持ピン１５４は、固定ナット５６の貫通孔５６ｂ（図２参照）の位置及び大きさに対応して形成されており、貫通孔５６ｂに挿入可能となっている。なお、保持ピン１５４の数は、貫通孔５６ｂの数に応じて適宜設定される。
【0084】
また、回転部材１５２の周囲には、固定ナット５６を把持する複数の把持部材１５６が、回転部材１５２の周方向に沿って概ね等間隔に配置されている。把持部材１５６はそれぞれ柱状に形成されており、把持部材１５６の基端部（一端側）は回転部材１５２の外周面に固定されている。図５（Ｂ）には、固定ナット５６の外周面を四方から把持する４本の把持部材１５６が設けられている例を示している。
【0085】
把持部材１５６の先端部（他端側）は回転部材１５２の表面１５２ａから突出しており、この先端部には、回転部材１５２の中心側に向かって屈曲した爪部１５６ａが形成されている。また、把持部材１５６にはばね等の付勢部材が連結されており、爪部１５６ａは外力の付与によって回転部材１５２の半径方向に沿って移動できる。
【0086】
さらに、回転部材１５２の周囲には、中空の円柱状に形成されたカバー１５８が設けられている。回転部材１５２と把持部材１５６の基端部とは、カバー１５８の内部に収容されている。回転部材１５２がカバー１５８の内側に向かって押圧されると、回転部材１５２を付勢している付勢部材（ばね）が縮み、回転部材１５２が複数の把持部材１５６とともにカバー１５８の内側に押し込まれる。
【0087】
回転部材１５２がカバー１５８の内側に押し込まれると、複数の把持部材１５６の先端側（爪部１５６ａ側）がカバー１５８の内壁と接触して押圧され、把持部材１５６を付勢している付勢部材（ばね）が縮む。これにより、把持部材１５６の先端側が回転部材１５２の半径方向内側に向かって移動する。そして、複数の把持部材１５６は、その長さ方向がカバー１５８の内壁に沿うように配置された状態となる。このとき、把持部材１５６の爪部１５６ａは、例えば回転部材１５２の外周縁よりも回転部材１５２の半径方向内側に配置される（閉状態）。
【0088】
一方、回転部材１５２の押圧が解除されると、回転部材１５２がカバー１５８の外側に向かって移動し、把持部材１５６の先端側がカバー１５８の内壁によって押圧された状態が解除される。これにより、複数の把持部材１５６の先端側が回転部材１５２の半径方向外側に向かって移動する。そして、把持部材１５６の先端側が、閉状態の際よりも回転部材１５２の半径方向外側に配置された状態となる。このとき、把持部材１５６の爪部１５６ａは、例えば回転部材１５２の外周縁よりも回転部材１５２の半径方向外側に配置される（開状態）。
【0089】
固定ナット保持部１５０は、固定ナット５６を保持して回転する。具体的には、まず、固定ナット５６の貫通孔５６ｂ（図２参照）に回転部材１５２の保持ピン１５４が挿入されるように、固定ナット５６が回転部材１５２の表面１５２ａと接触する。この状態で回転部材１５２がカバー１５８の内側に押し込まれると、複数の把持部材１５６が閉状態となって爪部１５６ａが固定ナット５６の外周面と接触し、固定ナット５６が把持される。
【0090】
複数の把持部材１５６によって固定ナット５６が保持された状態でモータ１４２を駆動させると、モータ１４２の動力が回転軸１４６を介して回転部材１５２に伝達され、回転部材１５２がＹ軸方向と概ね平行な回転軸の周りを回転する。これにより、固定ナット５６の取り外し及び装着が行われる。
【0091】
ただし、複数の把持部材１５６の閉状態と開状態とを切り替える方法は上記に限定されない。例えば固定ナット保持部１５０は、カバー１５８を回転部材１５２の長さ方向に沿って移動させるアクチュエータを備えていてもよい。この場合、カバー１５８の往復によって複数の把持部材１５６の閉状態と開状態とが切り替えられる。また、固定ナット保持部１５０は、複数の把持部材１５６を回転部材１５２の径方向に沿って移動させて閉状態と開状態とを切り替えるアクチュエータを備えていてもよい。
【0092】
モータ１４２には、筐体１４４の側面からＸ軸方向に突出する直方体状の接続部材１６０が設けられている。そして、接続部材１６０には、直動アクチュエータ１６２が接続されている。直動アクチュエータ１６２は、モータ１４２及び固定ナット保持部１５０をＹ軸方向と概ね平行な直線状の経路に沿って移動させる移動機構である。
【0093】
例えば直動アクチュエータ１６２は、ロッドを内蔵するエアシリンダによって構成され、ロッドの先端部が接続部材１６０に固定される。直動アクチュエータ１６２を駆動してロッドをＹ軸方向に沿って進退させると、モータ１４２及び固定ナット保持部１５０がガイドレール１４８に沿ってＹ軸方向に移動する。
【0094】
図６は、直動アクチュエータ１６２を示す断面図である。直動アクチュエータ１６２は、Ｙ軸方向に沿って配置された筒状のシリンダ１６４を備える。シリンダ１６４には、シリンダ１６４の内部をシリンダ１６４の長さ方向に沿って移動可能なピストン１６６が収容されている。シリンダ１６４の内部の空間は、ピストン１６６によって第１室１６８Ａと第２室１６８Ｂとに区画されている。
【0095】
第１室１６８Ａには、第１室１６８Ａに供給される気体及び第１室１６８Ａから排出される気体が流れる第１流路１７０Ａが接続されている。また、第２室１６８Ｂには、第２室１６８Ｂに供給される気体及び第２室１６８Ｂから排出される気体が流れる第２流路１７０Ｂが接続されている。第１流路１７０Ａ及び第２流路１７０Ｂはそれぞれ、バルブ（不図示）を介して、エアー等の気体を供給する気体供給源（不図示）に接続されている。
【0096】
ピストン１６６の第２室１６８Ｂ側には、円柱状のロッド１７２がＹ軸方向に沿って設けられている。ロッド１７２の基端部はピストン１６６に固定され、ロッド１７２の先端部はシリンダ１６４の側壁の設けられた開口１６４ａを介してシリンダ１６４の外部に露出している。そして、ロッド１７２の先端部はモータ１４２に連結された接続部材１６０（図５（Ｂ）参照）に固定される。
【0097】
気体供給源から第１流路１７０Ａを介して第１室１６８Ａに気体を供給するとともに、第２室１６８Ｂを大気開放して第２室１６８Ｂ内の気体を第２流路１７０Ｂを介して外部に排出すると、ピストン１６６が第２室１６８Ｂ側に移動し、ロッド１７２がシリンダ１６４から射出される方向に移動する。これにより、モータ１４２及び固定ナット保持部１５０（図５（Ｂ）参照）がＹ軸方向に沿って前進する。
【0098】
一方、第１室１６８Ａを大気開放して第１室１６８Ａ内の気体を第１流路１７０Ａを介して外部に排出するとともに、気体供給源から第２流路１７０Ｂを介して第２室１６８Ｂに気体を供給すると、ピストン１６６が第１室１６８Ａ側に移動し、ロッド１７２がシリンダ１６４に収容される方向に移動する。これにより、モータ１４２及び固定ナット保持部１５０（図５（Ｂ）参照）がＹ軸方向に沿って後退する。
【0099】
また、第１室１６８Ａ及び第２室１６８Ｂを大気開放すると、ピストン１６６がＹ軸方向に沿って自由に移動可能な状態となる。これにより、ロッド１７２に接続されたモータ１４２及び固定ナット保持部１５０（図５（Ｂ）参照）もＹ軸方向に沿って自由に移動可能な状態となる。
【0100】
第１室１６８Ａ及び第２室１６８Ｂへの気体の供給や、第１室１６８Ａ及び第２室１６８Ｂの大気開放は、第１流路１７０Ａに接続されたバルブ及び第２流路１７０Ｂに接続されたバルブを制御部７４（図１参照）で開閉させることによって制御できる。このようにして、モータ１４２及び固定ナット保持部１５０のＹ軸方向における移動が、直動アクチュエータ１６２によって制御される。
【0101】
なお、上記ではナット着脱ユニット１４０Ａの構成について説明したが、ナット着脱ユニット１４０Ｂ（図４参照）もナット着脱ユニット１４０Ａと同様に構成される。また、図６に示す直動アクチュエータ１６２の構成は、ブレード着脱ユニット１１０Ａ，１１０Ｂの直動アクチュエータ１３４（図５（Ａ）参照）にも適用できる。
【0102】
固定ナット保持部１５０で固定ナット５６（図２参照）を保持して回転させることにより、切削ユニット３８Ａ，３８Ｂに装着された切削ブレード４４の交換を行う際の、固定ナット５６の締め付け及び取り外しを自動で行うことができる。なお、切削ブレード４４の交換時における固定ナット保持部１５０の具体的な動作については後述する。
【0103】
上記のブレード交換ユニット６８によって、切削ユニット３８Ａ，３８Ａに装着されている切削ブレード４４の交換が行われる。また、切削装置２には、交換用の切削ブレード４４（未使用の切削ブレード４４）や使用済みの切削ブレード４４を保管するブレード保管部が搭載されている。そして、ブレード交換ユニット６８は、ブレードマウント５０（図２参照）に装着されている使用済みの切削ブレード４４と、ブレード保管部に保管されている交換用の切削ブレード４４とを交換する。
【0104】
図７は、一対のブレード保管部（ブレードラック）１８０Ａ，１８０Ｂを示す斜視図である。ブレード保管部１８０Ａ，１８０Ｂはそれぞれ複数の切削ブレード４４を保持可能であり、Ｙ軸方向に沿って互いに対向するように配置される。例えばブレード保管部１８０Ａ，１８０Ｂは、第２支持構造３４（図１参照）の後方に設けられ、基台４の上面に固定される。ただし、ブレード保管部１８０Ａ，１８０Ｂの設置場所に制限はない。
【0105】
ブレード保管部１８０Ａ，１８０Ｂはそれぞれ、Ｚ軸方向に沿って配置された柱状の支持構造１８２を備える。支持構造１８２には、Ｙ軸方向に沿って配置された円柱状の回転軸１８４が収容されている。回転軸１８４の先端部（一端側）は支持構造１８２の側面から露出しており、回転軸１８４の基端部（他端側）にはモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。
【0106】
回転軸１８４の先端部には、円盤状の支持部材１８６が固定されている。支持部材１８６は、互いに概ね平行な表面１８６ａ及び裏面１８６ｂを有し、回転軸１８４の先端部は支持部材１８６の裏面１８６ｂ側の中心部に固定されている。支持部材１８６は、回転駆動源から回転軸１８４を介して伝達される動力により、Ｙ軸方向と概ね平行な回転軸の周りを回転する。
【0107】
支持部材１８６の表面１８６ａ側には、切削ブレード４４が保管される領域に相当する複数の保管部１８８が、支持部材１８６の周方向に沿って概ね等間隔に設けられている。例えば保管部１８８には、支持部材１８６の表面１８６ａから突出する円柱状のボス部（支持軸）１９０が設けられている。ボス部１９０は、その径が切削ブレード４４の貫通孔４４ａの径に対応するように形成されており、貫通孔４４ａに挿入可能となっている。切削ブレード４４の貫通孔４４ａにボス部１９０が挿入されると、切削ブレード４４が支持部材１８６の表面１８６ａとボス部１９０とによって支持され、保管部１８８で保管される。
【0108】
次に、切削ブレード４４の交換時におけるブレード交換ユニット６８の動作の具体例を、図７等を参照しつつ説明する。以下では一例として、切削ユニット３８Ａ（図１参照）に装着されている使用済みの切削ブレード４４と、ブレード保管部１８０Ａに保管されている交換用の切削ブレード４４とが交換される場合について説明する。
【0109】
まず、移動部８０（図３参照）によって交換装置９０をＸ軸方向に沿って移動させ（図７参照）、ブレード着脱ユニット１１０Ａのブレード把持部１２４Ａを、ブレード保管部１８０Ａに保持されている交換用の切削ブレード４４に対向させる。そして、直動アクチュエータ１３４（図５（Ａ）参照）によってブレード把持部１２４ＡをＹ軸方向に沿って前進させ、ブレード保管部１８０Ａに接近させる。
【0110】
次に、複数の把持部材１３０（図５（Ａ）参照）で切削ブレード４４を把持する。これにより、交換用の切削ブレード４４がブレード把持部１２４Ａによって保持される。その後、直動アクチュエータ１３４（図５（Ａ）参照）によってブレード把持部１２４ＡをＹ軸方向に沿って後退させ、ブレード保管部１８０Ａから離隔させる。
【0111】
次に、移動部８０（図３参照）によって交換装置９０をＸ軸方向に沿って移動させ、第１支持構造２０及び第２支持構造３４（図１参照）の下側を介して交換装置９０を切削ユニット３８Ａに対向する位置に配置する。このとき、ナット着脱ユニット１４０Ａの固定ナット保持部１５０が、切削ユニット３８Ａのブレードマウント５０（図２参照）と対向するように位置付けられる。
【0112】
そして、直動アクチュエータ１６２（図５（Ｂ）参照）によって固定ナット保持部１５０をＹ軸方向に沿って前進させ、固定ナット保持部１５０をブレードマウント５０（図２参照）に接近させる。これにより、固定ナット保持部１５０が備える複数の保持ピン１５４（図５（Ｂ）参照）が、固定ナット５６の貫通孔５６ｂ（図２参照）に挿入される。また、固定ナット５６が回転部材１５２の表面１５２ａ（図５（Ｂ）参照）に押し付けられる。
【0113】
回転部材１５２が固定ナット５６によって押圧されると、回転部材１５２がカバー１５８の内側に押し込まれ、複数の把持部材１５６が閉状態となる。これにより、固定ナット５６が複数の把持部材１５６の爪部１５６ａによって把持される。
【0114】
次に、モータ１４２（図５（Ｂ）参照）の動力によって回転軸１４６を回転させ、固定ナット保持部１５０を第１の方向に回転させる。これにより、固定ナット保持部１５０によって把持された固定ナット５６が回転して緩み、ボス部５２（図２参照）から取り外される。
【0115】
その後、直動アクチュエータ１６２（図５（Ｂ）参照）によって固定ナット保持部１５０をＹ軸方向に沿って後退させ、ブレードマウント５０（図２参照）から離隔させる。このとき、回転部材１５２はカバー１５８の内側に押し込まれた状態に維持され、固定ナット５６はボス部５２から取り外された後も固定ナット保持部１５０によって保持される。
【0116】
次に、移動部８０（図３参照）によって交換装置９０をＸ軸方向に沿って移動させ、ブレード着脱ユニット１１０Ａのブレード把持部１２４Ｂを、切削ユニット３８Ａのブレードマウント５０（図２参照）と対向するように位置付ける。そして、直動アクチュエータ１３４（図５（Ａ）参照）によってブレード把持部１２４ＢをＹ軸方向に沿って前進させ、ブレードマウント５０に接近させる。
【0117】
次に、複数の把持部材１３０（図５（Ａ）参照）で切削ブレード４４を把持する。これにより、使用済みの切削ブレード４４がブレード把持部１２４Ｂによって保持される。その後、直動アクチュエータ１３４（図５（Ａ）参照）によってブレード把持部１２４ＢをＹ軸方向に沿って後退させ、ブレードマウント５０から離隔させる。これにより、切削ユニット３８Ａから使用済みの切削ブレード４４が取り外される。
【0118】
次に、モータ１１２（図５（Ａ）参照）の動力によって回転軸１１６及び支持部材１２２を１８０°回転させる。これにより、ブレード把持部１２４Ａの位置とブレード把持部１２４Ｂの位置とが入れ替わる。そして、交換用の切削ブレード４４を保持しているブレード把持部１２４Ａが、切削ユニット３８Ａのブレードマウント５０に対向するように位置付けられる。
【0119】
次に、直動アクチュエータ１３４（図５（Ａ）参照）によってブレード把持部１２４ＡをＹ軸方向に沿って前進させることにより、ブレード把持部１２４Ａをブレードマウント５０に接近させる。これにより、ブレード把持部１２４Ａによって保持されている交換用の切削ブレード４４の貫通孔４４ａ（図２参照）に、ブレードマウント５０のボス部５２が挿入される。
【0120】
そして、複数の把持部材１３０（図５（Ａ）参照）による切削ブレード４４を把持が解除される。その結果、交換用の切削ブレード４４がブレードマウント５０（図２参照）に装着される。その後、直動アクチュエータ１３４（図５（Ａ）参照）によってブレード把持部１２４ＡをＹ軸方向に沿って後退させ、ブレードマウント５０から離隔させる。
【0121】
次に、移動部８０（図３参照）によって交換装置９０をＸ軸方向に沿って移動させ、固定ナット５６（図２参照）を保持した状態の固定ナット保持部１５０を、切削ユニット３８Ａのブレードマウント５０（図２参照）と対向するように位置付ける。そして、直動アクチュエータ１６２（図５（Ｂ）参照）によって固定ナット保持部１５０をＹ軸方向に沿って前進させ、ブレードマウント５０（図２参照）に接近させる。これにより、固定ナット保持部１５０によって保持された固定ナット５６が、ブレードマウント５０のボス部５２（図２参照）の先端部に位置付けられる。
【0122】
次に、モータ１４２（図５（Ｂ）参照）の動力によって回転軸１４６を回転させ、固定ナット保持部１５０を第２の方向に回転させる。これにより、固定ナット保持部１５０によって把持された固定ナット５６が回転してボス部５２の雄ねじ部５２ａ（図２参照）に螺合し、雄ねじ部５２ａに締め付けられる。その結果、交換用の切削ブレード４４がフランジ部５４の支持面５４ｃ（図２参照）と固定ナット５６とによって挟持され、切削ユニット３８Ａに固定される。
【0123】
その後、直動アクチュエータ１６２（図５（Ｂ）参照）によって固定ナット保持部１５０をＹ軸方向に沿って後退させ、ブレードマウント５０（図２参照）から離隔させる。このとき、回転部材１５２（図５（Ｂ）参照）がカバー１５８の外側に向かって移動し、複数の把持部材１５６が開状態となる。これにより、複数の把持部材１５６による固定ナット５６の把持が解除される。
【0124】
次に、移動部８０（図３参照）によって交換装置９０をＸ軸方向に沿って移動させ、使用済みの切削ブレード４４を保持しているブレード把持部１２４Ｂを、ブレード保管部１８０Ａと対向させる。そして、直動アクチュエータ１３４（図５（Ａ）参照）によってブレード把持部１２４ＢをＹ軸方向に沿って前進させ、ブレード保管部１８０Ａに接近させる。これにより、ブレード把持部１２４Ｂによって保持された使用済みの切削ブレード４４の貫通孔４４ａ（図２参照）にボス部１９０が挿入され、使用済みの切削ブレード４４がブレード保管部１８０Ａに保管される。
【0125】
上記のように、ブレード交換ユニット６８によって切削ブレード４４の交換が行われる。なお、上記では切削ユニット３８Ａに装着されている使用済みの切削ブレード４４と、ブレード保管部１８０Ａに保管されている交換用の切削ブレード４４とが、ブレード着脱ユニット１１０Ａ及びナット着脱ユニット１４０Ａによって交換される場合の動作について説明した。ただし、切削ユニット３８Ｂに装着されている使用済みの切削ブレード４４と、ブレード保管部１８０Ｂに保管されている交換用の切削ブレード４４とが、ブレード着脱ユニット１１０Ｂ及びナット着脱ユニット１４０Ｂによって交換される場合の動作も同様である。
【0126】
次に、固定ナット５６の装着時におけるナット着脱ユニット１４０Ａ，１４０Ｂの動作の詳細について説明する。図８（Ａ）は、切削ユニット３８Ａ及びナット着脱ユニット１４０Ａを示す一部断面正面図である。以下では代表例として、ナット着脱ユニット１４０Ａが切削ユニット３８Ａに固定ナット５６を装着する場合の動作について説明する。ただし、ナット着脱ユニット１４０Ｂが切削ユニット３８Ｂに固定ナット５６を装着する場合の動作も同様である。
【0127】
固定ナット５６の装着時、ブレードマウント５０には交換用の切削ブレード４４が装着されている。また、固定ナット保持部１５０は固定ナット５６を保持しており、固定ナット５６は切削ブレード４４と接触して切削ブレード４４を支持する支持面５６ｃを備えている。
【0128】
なお、図８（Ａ）に示すように、ナット着脱ユニット１４０Ａには、固定ナット保持部１５０の位置を検出するセンサ２００が設けられている。例えば、ガイドレール１４８の前端部には、モータ１４２の前進を制止する制止部１４８ａがガイドレール１４８の上面から上方に突出するように設けられている。そして、制止部１４８ａのモータ１４２側に、センサ２００が筐体１１４と対向するように設置されている。
【0129】
センサ２００は、モータ１４２の筐体１４４がセンサ２００に接近又は接触したことを検出する。例えばセンサ２００は、筐体１４４を検出する光学式センサであり、筐体１４４がセンサ２００に近づくと筐体１４４を検出する。また、センサ２００は、タッチスイッチ、押しボタン等のスイッチであってもよい。この場合、筐体１４４がスイッチに接触すると、スイッチが作動して筐体１４４が検出される。
【0130】
モータ１４２の筐体１４４と固定ナット保持部１５０との位置関係は、ナット着脱ユニット１４０Ａの寸法（回転軸１４６の長さ、固定ナット保持部１５０の厚さ等）に応じて予め決定されている。そのため、モータ１４２の筐体１４４がセンサ２００によって検出されるか否かに基づいて、固定ナット保持部１５０の位置を確認することができる。すなわち、センサ２００は固定ナット保持部１５０の位置を検出する検出器として機能する。
【0131】
なお、センサ２００の種類や設置場所は、固定ナット保持部１５０の位置の検出が可能であれば制限はない。例えばセンサ２００は、固定ナット保持部１５０を直接検知してもよい。また、センサ２００として、モータ１１２の筐体１１４や固定ナット保持部１５０の位置を測定可能な変位センサを用いることもできる。
【0132】
固定ナット５６をブレードマウント５０に装着する際には、まず、移動部８０（図３参照）によって固定ナット保持部１５０の位置が制御され、固定ナット保持部１５０によって保持された固定ナット５６がブレードマウント５０のボス部５２に対面するように位置付けられる。このとき固定ナット５６は、ボス部５２の先端面と同心円状に位置付けられる。
【0133】
次に、直動アクチュエータ１６２を作動させ、モータ１４２及び固定ナット保持部１５０を前進させる。これにより、固定ナット保持部１５０がボス部５２の軸線方向（ボス部５２の長さ方向）に沿って移動し、固定ナット５６がボス部５２の先端部に接触する。これにより、固定ナット保持部１５０及び固定ナット５６が初期位置に配置される。
【0134】
図８（Ｂ）は、固定ナット保持部１５０が初期位置に位置付けられた状態の切削ユニット３８Ａ及びナット着脱ユニット１４０Ａを示す一部断面正面図である。固定ナット保持部１５０が初期位置に配置されて固定ナット５６がボス部５２に接触すると、直動アクチュエータ１６２は、固定ナット保持部１５０をボス部５２の軸線方向に沿って自由に移動可能な状態にする。具体的には、直動アクチュエータ１６２の第１室１６８Ａ及び第２室１６８Ｂ（図６参照）が大気開放され、ロッド１７２がＹ軸方向に沿って自由に移動可能な状態となる。
【0135】
次に、モータ１４２の動力によって固定ナット保持部１５０を回転させる。これにより、固定ナット５６がボス部５２の雄ねじ部５２ａに螺合し、回転しながら切削ブレード４４側に移動する。なお、このときモータ１４２及び固定ナット保持部１５０は進退自由な状態であるため、固定ナット５６の螺合の進行に伴い、モータ１４２及び固定ナット保持部１５０も固定ナット５６に追従してボス部５２の軸線方向に沿って前進する。
【0136】
固定ナット保持部１５０は、切削ブレード４４の固定に適した固定位置に到達するまで回転する。具体的には、固定ナット保持部１５０は、固定ナット５６の支持面５６ｃが切削ブレード４４（基台４６の表面４６ａ）に接触するまで回転し、固定ナット５６をボス部５２に締め付ける。
【0137】
図９（Ａ）は、固定ナット保持部１５０が固定位置に到達した状態の切削ユニット３８Ａ及びナット着脱ユニット１４０Ａを示す一部断面正面図である。固定ナット保持部１５０が固定位置に到達すると、切削ブレード４４がフランジ部５４と固定ナット５６とによって挟持される。これにより、切削ブレード４４がブレードマウント５０に固定される。
【0138】
なお、固定ナット保持部１５０を初期位置に位置付ける際、移動部８０（図３参照）の経年劣化等の様々な要因によって、固定ナット５６が意図せずボス部５２の先端面に対して僅かに傾いた状態、すなわち、固定ナット５６の径方向とボス部５２の径方向とがずれた状態で配置されることがある。この場合、固定ナット５６を回転させても固定ナット５６がボス部５２の雄ねじ部５２ａに適切に螺合せず、固定ナット５６の締め付けが阻害されることがある。
【0139】
図９（Ｂ）は、固定ナット保持部１５０が固定位置に到達していない状態の切削ユニット３８Ａ及びナット着脱ユニット１４０Ａを示す一部断面正面図である。固定ナット５６がボス部５２の先端面に対して傾斜した状態で固定ナット５６が回転すると、ボス部５２の雄ねじ部５２ａと固定ナット５６の雌ねじ部とが適切に噛み合わず、固定ナット５６の回転が妨げられる。その結果、固定ナット保持部１５０が固定位置に到達する前に固定ナット５６が回転しなくなる。
【0140】
固定ナット保持部１５０が固定位置に到達しないと、切削ブレード４４が固定ナット５６によってブレードマウント５０に確実に固定されていない状態となる。そして、切削ブレード４４の固定が不十分な状態のままで被加工物１１の切削加工が続行されると、被加工物１１の加工不良や切削ブレード４４の破損が発生しやすくなる。
【0141】
そこで、本実施形態においては、固定ナット５６を回転させてボス部５２の雄ねじ部５２ａに螺合させた際における固定ナット５６の螺合状態を、センサ２００によって検出された固定ナット保持部１５０の位置に基づいて判定する。これにより、切削ブレード４４の固定が不十分であることに気づかないまま被加工物１１の加工が開始されることを防止できる。
【0142】
図１０（Ａ）は、固定ナット保持部１５０が固定位置に到達する場合における固定ナット保持部１５０（固定ナット５６）の回転時間とモータ１４２のトルクとの関係を示すグラフである。固定ナット保持部１５０が初期位置に配置された状態で（図８（Ｂ）参照）、固定ナット保持部１５０をモータ１４２によって回転させると、固定ナット５６が所定の回転速度で回転し始める（時刻ｔ０）。そして、固定ナット５６がボス部５２の雄ねじ部５２ａに螺合する位置に固定ナット保持部１５０が到達して固定ナット５６と雄ねじ部５２ａとが噛み合うまで（時刻ｔ１）、モータ１４２のトルクが徐々に増加する。
【0143】
その後、固定ナット５６は雄ねじ部５２ａと噛み合った状態で回転しながらフランジ部５４側に移動し、切削ブレード４４に接近する。そして、固定ナット５６の支持面５６ｃが切削ブレード４４に接触する位置に固定ナット保持部１５０が到達すると、切削ブレード４４がフランジ部５４と固定ナット５６とによって挟まれ（図９（Ａ）参照）、モータ１４２のトルクが急増する（時刻ｔ２）。
【0144】
また、固定ナット保持部１５０が固定位置に到達又は近接すると、モータ１４２の筐体１４４がセンサ２００によって検出される（図９（Ａ）参照）。すなわち、センサ２００は、固定ナット保持部１５０が固定位置に到達し又は近接した際に筐体１４４を検出可能な位置に設置されている。そのため、センサ２００によって固定ナット保持部１５０が固定位置に到達又は近接したことが検出される。
【0145】
ここで、時刻ｔ１におけるトルクの値と時刻ｔ２におけるトルクの値との間の値（例えば、時刻ｔ２の直前におけるトルクの値）、又は、時刻ｔ２におけるトルクの値が、トルクの閾値Ｔｔｈに設定される。そして、固定ナット５６が初期位置に正しく配置され、ボス部５２の雄ねじ部５２ａに正常に螺合する場合には、モータ１４２のトルクが閾値Ｔｔｈに達し、センサ２００によって筐体１４４が検出される。
【0146】
図１０（Ｂ）は、固定ナット保持部１５０が固定位置に到達しない場合における固定ナット保持部１５０（固定ナット５６）の回転時間とモータ１４２のトルクとの関係を示すグラフである。固定ナット５６がボス部５２の先端面に対して傾いた状態でボス部５２の雄ねじ部５２ａに螺合した場合にも、固定ナット５６の回転開始（時刻ｔ０）から固定ナット５６と雄ねじ部５２ａとが噛み合うまで（時刻ｔ１）、図１０（Ａ）と同様にモータ１４２のトルクが徐々に増加する（時刻ｔ１）。
【0147】
しかしながら、固定ナット５６がボス部５２の雄ねじ部５２ａに不適切に螺合するため、固定ナット５６が雄ねじ部５２ａに到達した後、固定ナット５６の回転が妨げられる。その結果、固定ナット保持部１５０が固定位置に到達する前に、固定ナット５６の回転が停止し、モータ１４２のトルクが急増して閾値Ｔｔｈに達する（時刻ｔ３）。
【0148】
また、固定ナット５６の回転が停止すると、モータ１４２の筐体１４４がセンサ２００によって検出される前にモータ１４２及び固定ナット保持部１５０の前進が停止する（図９（Ｂ）参照）。すなわち、センサ２００によって固定ナット保持部１５０が固定位置に到達又は近接していないことが検出される。
【0149】
従って、モータ１４２のトルクが閾値Ｔｔｈに達した際に、センサ２００によって筐体１４４が検出されたか否か、すなわち、センサ２００によって検出された固定ナット保持部１５０の位置に基づいて、固定ナット５６がボス部５２の雄ねじ部５２ａに適切に螺合しているか否かを判定できる。
【0150】
ナット着脱ユニット１４０Ａの動作の制御及び固定ナット５６の螺合状態の判定は、制御部７４によって行われる。図１１は、制御部７４を示すブロック図である。なお、図１１には、制御部７４の機能的な構成を示すブロックに加えて、切削装置２の一部の構成要素（表示部７０、表示灯７２、モータ１４２、センサ２００）を示すブロックを図示している。制御部７４は、固定ナット５６の螺合状態を判定する判定部２１０と、判定部２１０による判定に用いられる情報（データ、プログラム等）を記憶する記憶部２１２とを含む。
【0151】
固定ナット５６を回転させてボス部５２の雄ねじ部５２ａに螺合させる際には、モータ１４２から制御部７４にモータ１４２のトルクの値が逐次入力される。また、記憶部２１２は、モータ１４２のトルクの閾値Ｔｔｈ（図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）参照）を記憶する閾値記憶部２１２ａを含む。
【0152】
判定部２１０は、モータ１４２のトルクと閾値Ｔｔｈとを比較するトルク比較部２１０ａを含む。トルク比較部２１０ａには、モータ１４２からトルクの測定値が入力されるとともに、閾値記憶部２１２ａからトルクの閾値Ｔｔｈが入力される。そして、トルク比較部２１０ａは、トルクの測定値と閾値Ｔｔｈとを比較することにより、モータ１４２のトルクが閾値Ｔｔｈに達しているか否かを判定する。
【0153】
また、判定部２１０は、固定ナット５６の螺合状態を判定する螺合判定部２１０ｂを含む。固定ナット保持部１５０の回転が開始すると、センサ２００が駆動する。そして、センサ２００によってモータ１４２の筐体１４４（図９（Ａ）及び図９（Ｂ）参照）が検出されたか否かの情報を含む信号（検出信号）が、センサ２００から螺合判定部２１０ｂに入力される。
【0154】
モータ１４２のトルクが閾値Ｔｔｈに達すると、トルク比較部２１０ａはトルクが閾値Ｔｔｈに達した旨を示す信号（閾値到達信号）を螺合判定部２１０ｂに出力する。そして、螺合判定部２１０ｂに閾値到達信号が入力されると、螺合判定部２１０ｂは検出信号に基づいて固定ナット５６の螺合状態を判定する。
【0155】
具体的には、固定ナット５６の回転が停止した際にモータ１４２の筐体１４４がセンサ２００によって検出されている場合には、トルク比較部２１０ａから螺合判定部２１０ｂに閾値到達信号が入力されるとともに、センサ２００から螺合判定部２１０ｂに筐体１４４の検出を示す検出信号が入力される。この場合、螺合判定部２１０ｂは、固定ナット５６の螺合が適切であり、固定ナット５６が切削ブレード４４の固定に適した位置に到達していると判定する。
【0156】
一方、固定ナット５６の回転が停止した際にモータ１４２の筐体１４４がセンサ２００によって検出されていない場合には、トルク比較部２１０ａから螺合判定部２１０ｂに閾値到達信号が入力されるとともに、センサ２００から螺合判定部２１０ｂに筐体１４４の非検出を示す検出信号が入力される。この場合、螺合判定部２１０ｂは、固定ナット５６の螺合が不適切であり、固定ナット５６が切削ブレード４４の固定に適した位置に到達していないと判定する。
【0157】
判定部２１０（螺合判定部２１０ｂ）による固定ナット５６の螺合状態の判定の結果は、制御部７４に含まれる報知部２１４及び報知制御部２１６に出力される。そして、報知部２１４は、判定部２１０による判定の結果を外部のコンピュータ、サーバ等に送信することにより、判定結果を報知する。
【0158】
また、報知制御部２１６は、表示部７０及び表示灯７２を制御して、判定部２１０による判定の結果を表示部７０及び表示灯７２に報知させる。例えば報知制御部２１６は、表示部７０に判定結果を示すメッセージ等を表示させるための制御信号を生成し、表示部７０に出力する。また、報知制御部２１６は、表示灯７２を判定結果に対応する色又はパターンで点灯させるための制御信号を生成し、表示灯７２に出力する。また、前述の通り、切削装置２にはスピーカーが搭載されていてもよい。この場合には、報知制御部２１６は、スピーカーに判定結果を示す音又は音声を発させるための制御信号を生成し、スピーカーに出力する。これにより、表示部７０、表示灯７２及びスピーカーが、固定ナット５６の螺合状態をオペレーターに報知する報知部として機能する。
【0159】
なお、モータ１４２のトルクの値、センサ２００によって検出された情報、判定部２１０による判定の結果及び判定時刻等は、記憶部２１２や外部のサーバ等に記憶されてもよい。これにより、固定ナット５６の螺合状態に関する情報が蓄積され、被加工物１１の加工不良や切削ブレード４４の破損が生じた際における原因究明に活用することができる。
【0160】
【0161】
まず、固定ナット保持部１５０を初期位置に配置する（ステップＳ１）。具体的には、固定ナット保持部１５０によって保持された固定ナット５６がブレードマウント５０のボス部５２の先端面と対向するように配置された後（図８（Ａ）参照）、直動アクチュエータ１３４によって固定ナット保持部１５０が前進して初期位置に位置付けられる（図８（Ｂ）参照）。その後、固定ナット保持部１５０はボス部５２の軸線方向（長さ方向）に沿って自由に移動可能な状態となる。
【0162】
次に、固定ナット保持部１５０の回転を開始する（ステップＳ２）。これにより、固定ナット保持部１５０によって保持されている固定ナット５６が所定の回転数で回転する。また、固定ナット保持部１５０の回転が開始すると、モータ１４２のトルクの計測も開始され（ステップＳ３）、トルクの計測値がトルク比較部２１０ａに入力される。
【0163】
次に、モータ１４２のトルクと閾値Ｔｔｈとがトルク比較部２１０ａによって比較される（ステップＳ４）。そして、モータ１４２のトルクが閾値Ｔｔｈに達していない場合は（ステップＳ４でＮＯ）、固定ナット保持部１５０の回転とモータ１４２のトルクの計測とが継続される。一方、モータ１４２のトルクが閾値に達している場合には（ステップＳ４でＹＥＳ）、トルク比較部２１０ａから螺合判定部２１０ｂに閾値到達信号が入力され、螺合判定部２１０ｂによって固定ナット５６の螺合状態が判定される（ステップＳ５）。
【0164】
固定ナット５６の螺合状態が正常であり、固定ナット５６が切削ブレード４４の固定に適した位置に到達していると判定されると（ステップＳ５でＹＥＳ）、固定ナット５６の螺合状態が正常である旨が、表示部７０、表示灯７２、報知部２１４等によって報知され（ステップＳ６）、固定ナット５６の装着が完了する。
【0165】
一方、固定ナット５６の螺合状態が異常であり、固定ナット５６が切削ブレード４４の固定に適した位置に到達していないと判定されると（ステップＳ５でＮＯ）、固定ナット保持部１５０の回転が緊急停止される（ステップＳ７）。これにより、ボス部５２に適切に螺合していない固定ナット５６の締め付けが継続されてボス部５２の雄ねじ部５２ａ及び固定ナット５６の雌ねじ部が損傷することを回避できる。そして、固定ナット５６の螺合状態が異常である旨が、表示部７０、表示灯７２、報知部２１４等によって報知される（ステップＳ８）。
【0166】
固定ナット５６の螺合状態が異常であることが報知されると、固定ナット５６の異常な螺合を解消する措置がとられる（ステップＳ９）。例えば、切削装置２のオペレーターは、切削ユニット３８Ａを点検し、必要に応じて固定ナット５６を手作業で取り外す。なお、固定ナット保持部１５０を固定ナット５６の締め付け時とは逆方向に回転させることにより、固定ナット５６をボス部５２から取り外してもよい。
【0167】
固定ナット５６の異常な螺合が解消された後、改めて固定ナット保持部１５０が初期位置に配置され（ステップＳ１）、固定ナット５６の装着が再開される。また、固定ナット５６がオペレーターの手作業によって取り外された場合には、オペレーターは続けて固定ナット５６を手作業でボス部５２に正しく螺合させてもよい。
【0168】
以上の通り、本実施形態に係る切削装置２は、ブレードマウント５０のボス部５２に形成された雄ねじ部５２ａに固定ナット５６を螺合させた際における、固定ナット５６の螺合状態を判定する制御部７４（判定部２１０）を備える。これにより、切削装置２で被加工物１１を加工する際に、切削ブレード４４が固定ナット５６によって適切に固定されているか否かを確認することが可能となる。その結果、切削ブレード４４の固定が不十分な状態で切削加工が実施されることを回避でき、被加工物１１の加工不良や切削ブレード４４の破損の発生が防止される。
【0169】
なお、上記実施形態においては、モータ１４２のトルクが閾値Ｔｔｈに達した際にセンサ２００によって検出された情報に基づいて固定ナット５６の螺合状態が判定される場合について説明した。ただし、判定部２１０は他の情報に基づいて固定ナット５６の螺合状態を判定することもできる。
【0170】
例えば、固定ナット保持部１５０及び固定ナット５６の回転は、ボス部５２に正常に螺合した固定ナット５６が固定位置に到達したとき、又は、ボス部５２に適切に螺合していない固定ナット５６が雄ねじ部５２ａに締め付けられた際に、強制的に停止される。そのため、固定ナット５６の回転が停止した際（モータ１４２の回転速度がゼロになった際）にセンサ２００が検出した情報に基づいて、固定ナット５６の螺合状態を判定することもできる。
【0171】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【0172】
１１ 被加工物
１３ テープ（ダイシングテープ）
１５ フレーム
２ 切削装置
４ 基台
４ａ，４ｂ，４ｃ 開口
６ カセット保持台
８ カセット
１０ 移動機構
１０ａ 移動テーブル
１２ 防塵防滴カバー
１４ チャックテーブル（保持テーブル）
１４ａ 保持面
１６ クランプ
１８ ガイドレール
２０ 第１支持構造
２２ レール
２４ 移動機構
２６ 保持ユニット
２６ａ 把持機構
２８ レール
３０ 移動機構
３２ 保持ユニット
３４ 第２支持構造
３６Ａ，３６Ｂ 移動機構
３８Ａ，３８Ａ 切削ユニット
４０ ハウジング
４２ スピンドル
４２ａ ねじ穴
４４ 切削ブレード
４４ａ 貫通孔（開口）
４６ 基台
４６ａ 表面（第１面）
４６ｂ 裏面（第２面）
４８ 切り刃
５０ ブレードマウント
５０ａ 貫通孔（開口）
５２ ボス部（支持軸）
５２ａ 雄ねじ部（ねじ溝）
５４ フランジ部
５４ａ 表面
５４ｂ 凸部
５４ｃ 支持面
５６ 固定ナット
５６ａ 貫通孔（開口）
５６ｂ 貫通孔
５６ｃ 支持面
５８ ねじ
５８ａ 凹部
６０ 撮像ユニット
６２ 洗浄ユニット
６４ スピンナテーブル
６６ ノズル
６８ ブレード交換ユニット
７０ 表示部（表示ユニット、表示装置）
７２ 表示灯（警告灯）
７４ 制御部（制御ユニット、制御装置）
８０ 移動部
８２ 基台
８４ ボールねじ
８６ ガイドレール
９０ 交換装置（交換機構）
９２ 基台
９２ａ 上壁
９２ｂ 側壁
９２ｃ 支持台
９４ 移動ブロック
９４ａ ナット部
９６ 接続部
１００ 着脱ユニット（着脱機構）
１１０Ａ，１１０Ｂ ブレード着脱ユニット（ブレード着脱機構）
１１２ モータ
１１４ 筐体
１１６ 回転軸（出力軸）
１１８ ガイドレール
１２０ ブレード保持部（ブレード保持ユニット）
１２２ 支持部材
１２４Ａ，１２４Ｂ ブレード把持部（ブレード把持ユニット）
１２６ 保持部
１２６ａ 表面
１２８ 位置決めピン
１３０ 把持部材
１３２ 接続部材
１３４ 直動アクチュエータ
１４０Ａ，１４０Ｂ ナット着脱ユニット（ナット着脱機構）
１４２ モータ
１４４ 筐体
１４６ 回転軸（出力軸）
１４８ ガイドレール
１４８ａ 制止部
１５０ 固定ナット保持部（固定ナット保持ユニット）
１５２ 回転部材
１５２ａ 表面
１５４ 保持ピン
１５６ 把持部材
１５６ａ 爪部
１５８ カバー
１６０ 接続部材
１６２ 直動アクチュエータ
１６４ シリンダ
１６４ａ 開口
１６６ ピストン
１６８Ａ 第１室
１６８Ｂ 第２室
１７０Ａ 第１流路
１７０Ｂ 第２流路
１７２ ロッド
１８０Ａ，１８０Ｂ ブレード保管部（ブレードラック）
１８２ 支持構造
１８４ 回転軸
１８６ 支持部材
１８６ａ 表面
１８６ｂ 裏面
１８８ 保管部
１９０ ボス部（支持軸）
２００ センサ
２１０ 判定部
２１０ａ トルク比較部
２１０ｂ 螺合判定部
２１２ 記憶部
２１２ａ 閾値記憶部
２１４ 報知部
２１６ 報知制御部
１３ テープ（ダイシングテープ）
１５ フレーム
２ 切削装置
４ 基台
４ａ，４ｂ，４ｃ 開口
６ カセット保持台
８ カセット
１０ 移動機構
１０ａ 移動テーブル
１２ 防塵防滴カバー
１４ チャックテーブル（保持テーブル）
１４ａ 保持面
１６ クランプ
１８ ガイドレール
２０ 第１支持構造
２２ レール
２４ 移動機構
２６ 保持ユニット
２６ａ 把持機構
２８ レール
３０ 移動機構
３２ 保持ユニット
３４ 第２支持構造
３６Ａ，３６Ｂ 移動機構
３８Ａ，３８Ａ 切削ユニット
４０ ハウジング
４２ スピンドル
４２ａ ねじ穴
４４ 切削ブレード
４４ａ 貫通孔（開口）
４６ 基台
４６ａ 表面（第１面）
４６ｂ 裏面（第２面）
４８ 切り刃
５０ ブレードマウント
５０ａ 貫通孔（開口）
５２ ボス部（支持軸）
５２ａ 雄ねじ部（ねじ溝）
５４ フランジ部
５４ａ 表面
５４ｂ 凸部
５４ｃ 支持面
５６ 固定ナット
５６ａ 貫通孔（開口）
５６ｂ 貫通孔
５６ｃ 支持面
５８ ねじ
５８ａ 凹部
６０ 撮像ユニット
６２ 洗浄ユニット
６４ スピンナテーブル
６６ ノズル
６８ ブレード交換ユニット
７０ 表示部（表示ユニット、表示装置）
７２ 表示灯（警告灯）
７４ 制御部（制御ユニット、制御装置）
８０ 移動部
８２ 基台
８４ ボールねじ
８６ ガイドレール
９０ 交換装置（交換機構）
９２ 基台
９２ａ 上壁
９２ｂ 側壁
９２ｃ 支持台
９４ 移動ブロック
９４ａ ナット部
９６ 接続部
１００ 着脱ユニット（着脱機構）
１１０Ａ，１１０Ｂ ブレード着脱ユニット（ブレード着脱機構）
１１２ モータ
１１４ 筐体
１１６ 回転軸（出力軸）
１１８ ガイドレール
１２０ ブレード保持部（ブレード保持ユニット）
１２２ 支持部材
１２４Ａ，１２４Ｂ ブレード把持部（ブレード把持ユニット）
１２６ 保持部
１２６ａ 表面
１２８ 位置決めピン
１３０ 把持部材
１３２ 接続部材
１３４ 直動アクチュエータ
１４０Ａ，１４０Ｂ ナット着脱ユニット（ナット着脱機構）
１４２ モータ
１４４ 筐体
１４６ 回転軸（出力軸）
１４８ ガイドレール
１４８ａ 制止部
１５０ 固定ナット保持部（固定ナット保持ユニット）
１５２ 回転部材
１５２ａ 表面
１５４ 保持ピン
１５６ 把持部材
１５６ａ 爪部
１５８ カバー
１６０ 接続部材
１６２ 直動アクチュエータ
１６４ シリンダ
１６４ａ 開口
１６６ ピストン
１６８Ａ 第１室
１６８Ｂ 第２室
１７０Ａ 第１流路
１７０Ｂ 第２流路
１７２ ロッド
１８０Ａ，１８０Ｂ ブレード保管部（ブレードラック）
１８２ 支持構造
１８４ 回転軸
１８６ 支持部材
１８６ａ 表面
１８６ｂ 裏面
１８８ 保管部
１９０ ボス部（支持軸）
２００ センサ
２１０ 判定部
２１０ａ トルク比較部
２１０ｂ 螺合判定部
２１２ 記憶部
２１２ａ 閾値記憶部
２１４ 報知部
２１６ 報知制御部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】